TWI750836B - 可拆式粉末原子層沉積裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，主要包括一真空腔體、一軸封裝置及一驅動單元，其中驅動單元連接軸封裝置，而真空腔體透過至少一連接單元鎖固在軸封裝置的一端。驅動單元透過軸封裝置帶動真空腔體轉動，以攪拌真空腔體的一反應空間內的粉末，以利於在粉末的表面形成厚度均勻的薄膜。此外完成原子層沉積的真空腔體可由軸封裝置上卸下，以方便使用者將粉末由真空腔體取出，並清潔真空腔體，以提高使用時的便利性。

Description

可拆式粉末原子層沉積裝置
本發明有關於一種可拆式粉末原子層沉積裝置，方便使用者將粉末由真空腔體取出，並清潔真空腔體，以提高使用時的便利性。
奈米顆粒(nanoparticle)一般被定義為在至少一個維度上小於100奈米的顆粒，奈米顆粒與宏觀物質在物理及化學上的特性截然不同。一般而言，宏觀物質的物理特性與本身的尺寸無關，但奈米顆粒則非如此，奈米顆粒在生物醫學、光學和電子等領域都具有潛在的應用。
量子點(Quantum Dot)是半導體材料的奈米顆粒，目前研究的半導體材料為II-VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到矚目。量子點的尺寸通常在2至50奈米之間，量子點被紫外線照射後，量子點中的電子會吸收能量，並從價帶躍遷到傳導帶。被激發的電子從傳導帶回到價帶時，會通過發光釋放出能量。
量子點的能隙與尺寸大小相關，量子點的尺寸越大能隙越小，經照射後會發出波長較長的光，量子點的尺寸越小則能隙越大，經照射後會發出波長較短的光。例如5到6奈米的量子點會發出橘光或紅光，而2到3奈米的量子點則會發出藍光或綠光，當然光色還需取決於量子點的材料組成。
應用量子點的發光二極體(LED)產生的光接近連續光譜，同時具有高演色性，並有利於提高發光二極體的發光品質。此外亦可透過改變量子點的尺寸調整發射光的波長，使得量子點成為新一代發光裝置及顯示器的發展重點。
量子點雖然具有上述的優點及特性，但在應用或製造的過程中容易產生團聚現象。此外量子點具有較高的表面活性，並容易與空氣及水氣發生反應，進而縮短量子點的壽命。
具體來說，將量子點製作成為發光二極體的密封膠時，可能會產生團聚效應，而降低量子點的光學性能。此外，量子點在製作成發光二極體的密封膠後，外界的氧或水氣仍可能會穿過密封膠而接觸量子點的表面，導致量子點氧化，並影響量子點及發光二極體的效能或使用壽命。量子點表面的缺陷及懸空鍵(dangling bonds)亦可能造成非輻射復合(non-radiative recombination)，同樣會影響量子點的發光效率。
目前業界主要透過原子層沉積(atomic layer deposition，ALD)在量子點的表面形成一層奈米厚度的薄膜，或者是在量子點的表面形成多層薄膜，以形成量子井結構。
原子層沉積可以在基板上形成厚度均勻的薄膜，並可有效控制薄膜的厚度，理論上亦適用於三維的量子點。量子點靜置在承載盤時，相鄰的量子點之間會存在接觸點，使得原子層沉積的前驅物氣體無法接觸這些接觸點，並導致無法在所有的奈米顆粒的表面皆形成厚度均勻的薄膜。
一般而言，原子層沉積通常需要在真空環境下進行，因此原子層沉積裝置的構造往往較為厚實，並具有一定的重量，不利於使用者搬運及操作。為此本發明提出一種可拆式粉末原子層沉積裝置，在完成粉末的原子層沉積製程後，可將真空腔體由軸封裝置及/或驅動單元上卸下，方便使用者取出真空腔體內的粉末，並清潔真空腔體。
本發明的一目的，在於提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，主要包括一驅動單元、一軸封裝置及一真空腔體，其中驅動單元連接軸封裝置，而軸封裝置的另一端則透過至少一連接單元鎖固在真空腔體上，使得驅動單元可透過軸封裝置驅動真空腔體轉動。在完成原子層沉積製程後，可將真空腔體由軸封裝置上卸下，以利於使用者將真空腔體內的粉末取出，並清潔真空腔體，以提高使用時的便利性。
本發明的一目的，在於提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，可將完成原子層沉積製程的真空腔體及粉末由軸封裝置上卸下，並將另一個裝載粉末的真空腔體鎖固在軸封裝置上，進行粉末的原子層沉積，有利於提高製程的效率。
本發明的一目的，在於提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，其中真空腔體的底部具有一凹部，而凸出軸封裝置的一內管體則用以插設在真空腔體底部的凹部內，並在真空腔體的反應空間內形成一凸出管部。進氣管線由內管體延伸至凸出管部，有利於透過進氣管線輸出的非反應氣體吹動反應空間內的粉末，減少各個粉末之間的接觸點，並在各個粉末的表面形成厚度均勻的薄膜。
本發明的一目的，在於提供一種可拆式粉末原子層沉積裝置，主要於真空腔體的底部設置一過濾單元，軸封裝置連接真空腔體時，設置在軸封裝置內的抽氣管線會經由過濾單元流體連接真空腔體的反應空間，並透過過濾單元抽出真空腔體內的氣體，以避免在抽氣的過程中耗損真空腔體內的粉末。
為了達到上述的目的，本發明提出一種可拆式粉末原子層沉積裝置，包括：一軸封裝置；一驅動單元，連接軸封裝置；一真空腔體，透過至少一連接單元固定在軸封裝置上，並包括一反應空間用以容置複數個粉末，其中驅動單元透過軸封裝置帶動真空腔體轉動，連接單元解除鎖固後，真空腔體由軸封裝置卸下；至少一抽氣管線，流體連接真空腔體的反應空間，並用以抽出反應空間內的一氣體；及至少一進氣管線，流體連接真空腔體的反應空間，並用以將一前驅物氣體或一非反應氣體輸送至反應空間，其中非反應氣體用以吹動反應空間內的粉末。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中軸封裝置為一磁流體軸封。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中軸封裝置包括一外管體及一內管體，外管體包括一容置空間用以容置內管體，而內管體則包括至少一連接空間用以容置抽氣管線及進氣管線。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中驅動單元透過外管體連接真空腔體，並帶動真空腔體轉動。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中進氣管線包括至少一非反應氣體輸送管線位於內管體的連接空間內，流體連接真空腔體的反應空間，並用以將非反應氣體輸送至真空腔體的反應空間，以吹動反應空間內的粉末。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中真空腔體的一底部包括一凹部，凹部由真空腔體的底部延伸至反應空間，用以容置凸出軸封裝置的內管體，並在反應空間內形成一凸出管部。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，還包括一過濾單元位於真空腔體的凹部內，而抽氣管線及進氣管線經由過濾單元流體連接真空腔體的反應空間。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，包括一加熱器及一溫度感測單元設置在內管體內，加熱器用以加熱內管體的連接空間及進氣管線，而溫度感測單元則用以量測內管體的連接空間的溫度。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中真空腔體的一底部設置一凹部，用以容置部分軸封裝置的一凸部。
所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中真空腔體包括一蓋板及一腔體，蓋板的一內表面覆蓋腔體以在兩者之間形成反應空間，並於蓋板的內表面設置一監控晶圓。
請參閱圖1、圖2、圖3及圖4，分別為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置一實施例的立體示意圖、可拆式粉末原子層沉積裝置的軸封裝置的剖面示意圖、剖面示意圖及剖面分解示意圖。如圖所示，可拆式粉末原子層沉積裝置10主要包括一真空腔體11、一軸封裝置13及一驅動單元15，其中驅動單元15透過軸封裝置13連接並帶動真空腔體11轉動。
真空腔體11內具有一反應空間12，用以容置複數個粉末121，其中粉末121可以是量子點(Quantum Dot)，例如ZnS、CdS、CdSe等II-VI半導體材料，而形成在量子點上的薄膜可以是三氧化二鋁(Al2O3)。真空腔體11可包括一蓋板111及一腔體113，其中蓋板111的一內表面1111用以覆蓋腔體113，並在兩者之間形成反應空間12。
在本發明一實施例中，可於蓋板111的內表面1111設置一監控晶圓115，當蓋板111覆蓋腔體113時，監控晶圓115會位於反應空間12內。在反應空間12內進行原子層沉積時，監控晶圓115的表面會形成薄膜。在實際應用時可進一步量測監控晶圓115表面的薄膜厚度與粉末121表面的薄膜厚度，並計算出兩者之間的關係。而後便可透過量測監控晶圓115表面的薄膜厚度，換算出粉末121表面的薄膜厚度。
軸封裝置13包括一外管體131及一內管體133，其中外管體131具有一容置空間132，而內管體133則具有一連接空間134，例如外管體131及內管體133可為空心柱狀體。外管體131的容置空間132用以容置內管體133，其中外管體131及內管體133同軸設置。軸封裝置13可以是一般常見的軸封或磁流體軸封，主要用以隔離真空腔體11的反應空間12與外部的空間，以維持反應空間12的真空。
驅動單元15連接軸封裝置13的一端，並透過軸封裝置13帶動真空腔體11轉動，例如透過外管體131連接真空腔體11，並透過外管體131帶動真空腔體11轉動。
驅動單元15可帶動外管體131及真空腔體11以同一方向持續轉動，例如順時針或逆時針方向持續轉動。在不同實施例中，驅動單元15可帶動外管體131及真空腔體11以順時針的方向旋轉一特定角度後，再以逆時針的方向旋轉特定角度，例如特定角度可為360度。真空腔體11轉動時，會攪拌反應空間12內的粉末121，以利於粉末121均勻受熱並與前驅物氣體或非反應氣體接觸。
在本發明一實施例中，驅動單元15可為馬達，透過至少一齒輪14連接外管體131，並經由齒輪14帶動外管體131及真空腔體11相對於內管體133轉動。
內管體133的連接空間134內可設置至少一抽氣管線171、至少一進氣管線173、至少一非反應氣體輸送管線175、一加熱器177及/或一溫度感測單元179，如圖2及圖3所示。
抽氣管線171流體連接真空腔體11的反應空間12，並用以抽出反應空間12內的氣體，使得反應空間12為真空狀態，以進行原子層沉積製程。具體而言抽氣管線171可連接一幫浦，並透過幫浦抽出反應空間12內的氣體。
進氣管線173流體連接真空腔體11的反應空間12，並用以將一前驅物氣體或一非反應氣體輸送至反應空間12，其中非反應氣體可以是氮氣或氬氣等惰性氣體。例如進氣管線173可透過閥件組連接一前驅物氣體儲存槽及一非反應氣體儲存槽，並透過閥件組將前驅物氣體輸送至反應空間12內，使得前驅物氣體沉積粉末121表面。在實際應用時，進氣管線173可能會將一載送氣體(carrier gas)及前驅物氣體一起輸送到反應空間12內。而後透過閥件組將非反應氣體輸送至反應空間12內，並透過抽氣管線171抽氣，以去除反應空間12內的前驅物氣體。在本發明一實施例中，進氣管線173可連接複數個分枝管線，並分別透過各個分枝管線將不同的前驅物氣體依序輸送至反應空間12內。
此外進氣管線173可增大輸送至反應空間12的非反應氣體的流量，並透過非反應氣體吹動反應空間12內的粉末121，使得粉末121受到非反應氣體的帶動，而擴散到反應空間12的各個區域。
在本發明一實施例中，進氣管線173可包括至少一非反應氣體輸送管線175流體連接真空腔體11的反應空間12，並用以將一非反應氣體輸送至反應空間12，例如非反應氣體輸送管線175可透過閥件組連接一氮氣儲存槽，並透過閥件組將氮氣輸送至反應空間12。非反應氣體用以吹動反應空間12內的粉末121，配合驅動單元15驅動真空腔體11轉動，可有效且均勻的翻攪反應空間12內的粉末121，並在各個粉末121的表面沉積厚度均勻的薄膜。
可拆式粉末原子層沉積裝置10的進氣管線173及非反應氣體輸送管線175都用以將非反應氣體輸送至反應空間12，其中進氣管線173輸送的非反應氣體的流量較小，主要用以去除反應空間12內的前驅物氣體，而非反應氣體輸送管線175輸送的非反應氣體的流量較大，主要用以吹動反應空間12內的粉末121。
具體而言，進氣管線173及非反應氣體輸送管線175將非反應氣體輸送至反應空間12的時間點不同，因此在實際應用時可不設置非反應氣體輸送管線175，並調整進氣管線173在不同時間點輸送的非反應氣體的流量。當要去除反應空間12內的前驅物氣體時，可降低進氣管線173輸送至反應空間12的非反應氣體的流量，而要吹動反應空間12內的粉末121時，則增加進氣管線173輸送至反應空間12的非反應氣體的流量。
本發明的驅動單元15帶動外管體131及真空腔體11轉動時，內管體133及其內部的抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175不會隨著轉動，有利於提高進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175輸送至反應空間12的非反應氣體及/或前驅物氣體的穩定度。
加熱器177用以加熱連接空間134及內管體133，並透過加熱器177加熱內管體133內的抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175，以提高抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175內的氣體的溫度。例如可提高進氣管線173輸送至反應空間12的非反應氣體及/或前驅物氣體的溫度，並可提高非反應氣體輸送管線175輸送至反應空間12的非反應氣體的溫度。使得非反應氣體及/或前驅物氣體進入反應空間12時，不會造成反應空間12的溫度大幅下降或改變。此外可透過溫度感測單元179量測加熱器177或連接空間134的溫度，以得知加熱器177的工作狀態。當然在真空腔體11的內部、外部或周圍通常會設置另一個加熱裝置，其中加熱裝置鄰近或接觸真空腔體11，並用以加熱真空腔體11及反應空間12。
在進行原子層沉積製程時，真空腔體11的反應空間12需要維持真空狀態，因此真空腔體11的結構通常較為厚實，重量亦較為沉重。軸封裝置13用以承載及驅動真空腔體11，同樣較為厚實及沉重。在操作時使用者需要將真空腔體11及軸封裝置13一起由驅動單元15上卸下，才能將真空腔體11內的粉末121取出，並清潔真空腔體11。如此一來不僅會造成使用者的負擔，亦可能在操作及清潔過程中發生碰撞，而造成使用者受傷或裝置損壞。
為了改善上述的問題，本發明將真空腔體11及軸封裝置13設計為兩個獨立的構件。在進行原子層沉積時，真空腔體11固定在軸封裝置13上，如圖3所示，真空腔體11透過至少一連接單元112連接並固定在軸封裝置13的一端，例如連接單元112可為螺絲。連接單元112為螺絲僅為本發明一實施例，在實際應用時可透過其他不同形式的連接單元112將真空腔體11鎖固在軸封裝置13上，例如透過氣缸接頭、卡扣機構、卡榫、快拆裝置、螺紋等具有可拆卸功能的連接單元112連接真空腔體11及軸封裝置13。
在本發明一實施例中，連接單元112、真空腔體11及軸封裝置13可為三個獨立的構件，例如連接單元112為螺絲，而真空腔體11及軸封裝置13上設置對應的連接孔。在本發明另一實施例中，連接單元112可直接設置在真空腔體11及/或軸封裝置13上，例如於真空腔體11及軸封裝置13上設置對應的氣缸接頭及連接孔、榫頭及卯眼、外螺紋及內螺紋等，同樣可透過連接單元112將真空腔體11鎖固在軸封裝置13上。
驅動單元15可經由軸封裝置13帶動真空腔體11轉動，以翻攪真空腔體11的反應空間12內的粉末121。當真空腔體11連接軸封裝置13時，軸封裝置13內的抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175會流體連接真空腔體11的反應空間12。
在完成粉末121的原子層沉積後，可解除連接單元112的鎖固，將真空腔體11由軸封裝置13上卸下，如圖4所示。由於真空腔體11的重量小於真空腔體11加上軸封裝置13的重量，將真空腔體11由軸封裝置13上卸下，可減低使用者操作或搬運真空腔體11的負擔。將真空腔體11由軸封裝置13上卸下，亦方便操作者取出真空腔體11內完成原子層沉積的粉末121，清潔及保養真空腔體11及/或軸封裝置13，並將新的粉末121放入真空腔體11的反應空間12內。
此外，本發明所述的可拆式粉末原子層沉積裝置10亦有利於提高原子層沉積的製程效率。具體而言，可準備多個真空腔體11，並分別在各個真空腔體11內放置粉末121。將其中一個真空腔體11鎖固在軸封裝置13上，並對真空腔體11內的粉末121進行原子層沉積。在完成粉末121的原子層沉積後，將真空腔體11及粉末121由軸封裝置13卸下，並將另一個真空腔體11固定在軸封裝置13上，對該真空腔體11內的粉末121進行原子層沉積製程。被卸下的真空腔體11可放置在冷卻區，待真空腔體11及粉末121的溫度下降後，再將粉末121由真空腔體11內取出。
在本發明一實施例中，真空腔體11的底部117可設置一過濾單元139，當真空腔體11連接軸封裝置13時，真空腔體11上的過濾單元139會覆蓋軸封裝置13的內管體133，使得內管體133內的抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175經由過濾單元139流體連接真空腔體11的反應空間12。
透過過濾單元139的設置，可避免抽氣管線171抽出反應空間12內的氣體時，將反應空間12內的粉末121一併抽出，造成粉末121的損耗。另外將過濾單元139設置在真空腔體11上，而非設置在軸封裝置13上，則可避免真空腔體11由軸封裝置13上卸下時，粉末121由真空腔體11的反應空間12散落到外部。
在本發明一實施例中，真空腔體11的底部117可設置一凹部119，其中過濾單元139設置在凹部119內，而軸封裝置13連接真空腔體11的一端則設置一對應的凸部135。在連接真空腔體11及軸封裝置13時，可將軸封裝置13的凸部135對準真空腔體11的凹部119，以完成兩者的對位，而後透過連接單元112將真空裝置11固定在軸封裝置13上。
此外可進一步在真空腔體11的凹部119及軸封裝置13的凸部135之間設置一O形環，例如O形環可設置在真空腔體11的凹部119或軸封裝置13的凸部135，以提高真空腔體11內的反應空間12的密封度。在不同實施例中，亦可於真空腔體11的凹部119及軸封裝置13的凸部135上設置對應的螺紋，其中真空腔體11可相對於軸封裝置13轉動以連接軸封裝置13，而後透過連接單元112將真空腔體11鎖固在軸封裝置13上。
在本發明一實施例中，凹部119可由真空腔體11的底部117延伸至反應空間12內，而軸封裝置13的內管體133則由外管體131的容置空間132延伸至外部，並凸出軸封裝置13及外管體131，如圖5所示。連接真空腔體11及軸封裝置13時，凸出軸封裝置13的內管體133可用以插入凹部119，如圖6所示。此外當真空腔體11連接軸封裝置13時，軸封裝置13的內管體133會由外管體131的容置空間132延伸至真空腔體11的凹部119及/或反應空間12，使得內管體133及凹部119在反應空間12內形成一凸出管部130。
透過凸出管部130的設置可縮短或調整進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175與蓋板111之間的距離，進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175輸送至反應空間12的非反應氣體可傳遞至蓋板111的內表面1111，並經由蓋板111的內表面1111擴散到反應空間12的各個區域，以利於吹動反應空間12內的粉末121。
在本發明一實施例中，可拆式粉末原子層沉積裝置10亦可包括一承載板191及至少一固定架193，其中承載板191可為一板體，用以承載驅動單元15、真空腔體11及軸封裝置13。例如承載板191連接驅動單元15，並透過驅動單元15連接軸封裝置13及真空腔體11。此外軸封裝置13及/或真空腔體11亦可透過至少一支撐架連接承載板191，以提高連接的穩定度。
承載板191可透過至少一連接軸195連接固定架193，其中固定架193的數量可為兩個，並分別設置在承載板191的兩側。承載板191可以連接軸195為軸心相對於固定架193轉動，以改變驅動單元15、軸封裝置13及真空腔體11的仰角，以利於在各個粉末121的表面形成厚度均勻的薄膜。
以上所述者，僅為本發明之一較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍，即凡依本發明申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本發明之申請專利範圍內。
10:可拆式粉末原子層沉積裝置 11:真空腔體 111:蓋板 1111:內表面 112:連接單元 113:腔體 115:監控晶圓 117:底部 119:凹部 12:反應空間 121:粉末 13:軸封裝置 130:凸出管部 131:外管體 132:容置空間 133:內管體 134:連接空間 135:凸部 139:過濾單元 14:齒輪 15:驅動單元 171:抽氣管線 173:進氣管線 175:非反應氣體輸送管線 177:加熱器 179:溫度感測單元 191:承載板 193:固定架 195:連接軸
[圖1]為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置一實施例的立體示意體。
[圖2]為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置的軸封裝置一實施例的剖面示意圖。
[圖3]為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置一實施例的剖面示意圖。
[圖4]為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置一實施例的剖面分解示意體。
[圖5]為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置又一實施例的剖面分解示意圖。
[圖6]為本發明可拆式粉末原子層沉積裝置又一實施例的剖面示意圖。
10:可拆式粉末原子層沉積裝置
11:真空腔體
111:蓋板
1111:內表面
112:連接單元
113:腔體
115:監控晶圓
117:底部
119:凹部
12:反應空間
121:粉末
13:軸封裝置
131:外管體
132:容置空間
133:內管體
134:連接空間
135:凸部
139:過濾單元
14:齒輪
15:驅動單元
171:抽氣管線
175:非反應氣體輸送管線
177:加熱器
191:承載板
193:固定架
195:連接軸

Claims (9)

  1. 一種可拆式粉末原子層沉積裝置，包括：一軸封裝置；一驅動單元，連接該軸封裝置；一真空腔體，透過至少一連接單元固定在該軸封裝置上，並包括一反應空間用以容置複數個粉末，其中該驅動單元透過該軸封裝置帶動該真空腔體轉動，該連接單元解除鎖固後，該真空腔體由該軸封裝置卸下，其中該真空腔體的一底部設置一凹部，用以容置部分該軸封裝置的一凸部；至少一抽氣管線，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以抽出該反應空間內的一氣體；及至少一進氣管線，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以將一前驅物氣體或一非反應氣體輸送至該反應空間，其中該非反應氣體用以吹動該反應空間內的該粉末。
  2. 如請求項1所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中該軸封裝置為一磁流體軸封。
  3. 如請求項1所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中該軸封裝置包括一外管體及一內管體，該外管體包括一容置空間用以容置該內管體，而該內管體則包括至少一連接空間用以容置該抽氣管線及該進氣管線。
  4. 如請求項3所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中該驅動單元透過該外管體連接該真空腔體，並帶動該真空腔體轉動。
  5. 如請求項3所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中該進氣管線包括至少一非反應氣體輸送管線位於該內管體的該連接空間內，流體連接該真 空腔體的該反應空間，並用以將該非反應氣體輸送至該真空腔體的該反應空間，以吹動該反應空間內的該粉末。
  6. 如請求項3所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，其中該凹部由該真空腔體的該底部延伸至該反應空間，用以容置凸出該軸封裝置的該內管體，並在該反應空間內形成一凸出管部。
  7. 如請求項6所述的可拆式粉末原子層沉積裝置，還包括一過濾單元位於該真空腔體的該凹部內，而該抽氣管線及該進氣管線經由該過濾單元流體連接該真空腔體的該反應空間。
  8. 一種可拆式粉末原子層沉積裝置，包括：一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，該外管體包括一容置空間用以容置該內管體，而該內管體則包括至少一連接空間用以容置該抽氣管線及該進氣管線；一驅動單元，連接該軸封裝置；一真空腔體，透過至少一連接單元固定在該軸封裝置上，並包括一反應空間用以容置複數個粉末，其中該驅動單元透過該軸封裝置帶動該真空腔體轉動，該連接單元解除鎖固後，該真空腔體由該軸封裝置卸下；至少一抽氣管線，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以抽出該反應空間內的一氣體；及至少一進氣管線，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以將一前驅物氣體或一非反應氣體輸送至該反應空間，其中該非反應氣體用以吹動該反應空間內的該粉末；及 一加熱器及一溫度感測單元，設置在該內管體內，該加熱器用以加熱該內管體的該連接空間及該進氣管線，而該溫度感測單元則用以量測該內管體的該連接空間的溫度。
  9. 一種可拆式粉末原子層沉積裝置，包括：一軸封裝置；一驅動單元，連接該軸封裝置；一真空腔體，透過至少一連接單元固定在該軸封裝置上，並包括一反應空間用以容置複數個粉末，其中該驅動單元透過該軸封裝置帶動該真空腔體轉動，該連接單元解除鎖固後，該真空腔體由該軸封裝置卸下，其中該真空腔體包括一蓋板及一腔體，該蓋板的一內表面覆蓋該腔體以在兩者之間形成該反應空間，並於該蓋板的該內表面設置一監控晶圓；至少一抽氣管線，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以抽出該反應空間內的一氣體；及至少一進氣管線，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以將一前驅物氣體或一非反應氣體輸送至該反應空間，其中該非反應氣體用以吹動該反應空間內的該粉末。
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