CN214193446U - 粉末的原子层沉积装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种粉末的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体由外管体的容置空间延伸至真空腔体的反应空间，并在反应空间内形成一凸出管部。驱动单元通过外管体驱动真空腔体转动，以搅动反应空间内的粉末。凸出管部与反应空间的长宽比值介于一特定范围内，使得输送至反应空间的非反应气体扬起反应空间内的粉末，并将粉末扩散到反应空间的各个区域，以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。

Description

粉末的原子层沉积装置

技术领域

本实用新型有关于一种粉末的原子层沉积装置，其中反应空间内的凸出管部与反应空间的长宽比值介于一特定范围内，使得非反应气体扬起反应空间内的粉末，以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。

背景技术

奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。

量子点(Quantum Dot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II-VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。

量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘光或红光，而2到3奈米的量子点则会发出蓝光或绿光，当然光色取决于量子点的材料组成。

应用量子点的发光二极体(LED)产生的光可接近连续光谱，同时具有高演色性，并有利于提高发光二极体的发光品质。此外亦可通过改变量子点的尺寸调整发射光的波长，使得量子点成为新一代发光装置及显示器的发展重点。

量子点虽然具有上述的优点及特性，但在应用或制造的过程中容易产生团聚现象。此外量子点具有较高的表面活性，并容易与空气及水气发生反应，进而缩短量子点的寿命。

具体来说，将量子点制作成为发光二极体的密封胶时，可能会产生团聚效应，而降低了量子点的光学性能。此外，量子点在制作成发光二极体的密封胶后，外界的氧或水气仍可能会穿过密封胶而接触量子点的表面，导致量子点氧化，并影响量子点及发光二极体的效能或使用寿命。量子点的表面缺陷及悬空键(dangling bonds)亦可能造成非辐射复合(nonradiative recombination)，同样会影响量子点的发光效率。

目前业界主要通过原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)在量子点的表面形成一层奈米厚度的薄膜，或者是在量子点的表面形成多层薄膜，以形成量子井结构。

原子层沉积可以在基板上形成厚度均匀的薄膜，并可有效控制薄膜的厚度，理论上亦适用于三维的量子点。量子点静置在承载盘时，相邻的量子点之间会存在接触点，使得原子层沉积的前驱物气体无法接触这些接触点，并导致无法在所有的奈米颗粒的表面皆形成厚度均匀的薄膜。

实用新型内容

为了解决上述先前技术的问题，本實用新型提出一种粉末的原子层沉积装置，可于原子层沉积制程中充份搅拌粉末，使得粉末扩散到真空腔体的反应空间的各个区域，以利于在各个粉末的表面上形成厚度均匀的薄膜。

本實用新型的一目的，在于提供一种粉末的原子层沉积装置，主要包括一驱动单元、一轴封装置及一真空腔体，其中驱动单元通过轴封装置连接并驱动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体位于外管体的容置空间，并延伸至真空腔体的一反应空间，以在反应空间内形成一凸出管部。驱动单元通过外管体连接真空腔体，并通过外管体带动真空腔体转动。驱动单元带动外管体及真空腔体转动时，内管体会保持不动。

反应空间具有一第一长度及一第一宽度，而凸出管部则有一第二长度及一第二宽度，其中第一长度、第二长度、第一宽度及/或第二宽度的比值介于一特定范围内，以利于通过真空腔体的转动及向反应空间喷出的非反应气体，充份且均匀的搅动反应空间内的粉末，并以原子层沉积的方式在所有粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。

本實用新型的一目的，在于提供一种粉末的原子层沉积装置，其中反应空间可以是任意几何形状的柱状体，第一长度为反应空间的最大长度，而第一宽度则为反应空间的最大宽度。

为了达到上述的目的，本實用新型提出一种粉末的原子层沉积装置，包括：一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；其中该反应空间具有一第一长度，而该凸出管部则有一第二长度，该第一长度为该反应空间内的最大长度，且该第二长度与该第一长度的比值大于0.1并小于0.9。

本實用新型提出一种粉末的原子层沉积装置，包括：一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；其中该反应空间具有一第一宽度及一第一长度，该第一长度为该反应空间的最大长度，而第一宽度为该反应空间的最大宽度，该第一宽度垂直该第一长度，且该反应空间的该第一宽度与该第一长度的比值大于0.4并小于3.1。

本實用新型提出一种粉末的原子层沉积装置，包括：一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；其中该反应空间具有一第一宽度，而该凸出管部则具有一第二宽度，该第一宽度为该反应空间的最大宽度，且该第一宽度与该第二宽度的比值大于1.4并小于6。

所述的粉末的原子层沉积装置，其中该反应空间为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。

所述的粉末的原子层沉积装置，其中该真空腔体的一底部设置一凹槽，该凹槽由该真空腔体的该底部延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元固定在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。

所述的粉末的原子层沉积装置，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将该非反应气体输送至该真空腔体的该反应空间内，以吹动该反应空间内的该粉末。

所述的粉末的原子层沉积装置，其中该真空腔体的一外表面包括一凹槽，该凹槽由该真空腔体的该外表面延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元锁固在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。

本实用新型的有益效果是：可于原子层沉积制程中充份搅拌粉末，使得粉末充满整个真空腔体的反应空间，并减少各个粉末之间的接触点，以利于在各个粉末的表面上形成厚度均匀的薄膜。

附图说明

图1为本实用新型粉末的原子层沉积装置一实施例的立体示意体。

图2为本实用新型粉末的原子层沉积装置一实施例的剖面示意图。

图3为本实用新型粉末的原子层沉积装置的部分构造一实施例的剖面示意图。

图4为本实用新型粉末的原子层沉积装置又一实施例的剖面示意体。

图5为本实用新型粉末的原子层沉积装置又一实施例的剖面分解示意图。

附图标记说明：10-粉末的原子层沉积装置；11-真空腔体；111-盖板；113-腔体；115-底部；117-凹槽；12-反应空间；121-粉末；13-轴封装置；130-凸出管部；131-外管体；132-容置空间；133-内管体；134-连接空间；135-固定单元；139-过滤单元；14-齿轮；15-驱动单元；171-抽气管线；173-进气管线；175-非反应气体输送管线；177-加热器；179-温度感测单元；191-承载板；193-固定架；195-连接轴；a-第一宽度；b-第一长度；c-第二长度；d-第二宽度。

具体实施方式

请参阅图1及图2，分别为本實用新型粉末的原子层沉积装置一实施例的立体示意图及剖面示意图。如图所示，粉末的原子层沉积装置10主要包括一真空腔体11、一轴封装置13及一驱动单元15，其中驱动单元15通过轴封装置13连接真空腔体11，并带动真空腔体11转动。

真空腔体11内具有一反应空间12，用以容置复数个粉末121，其中粉末121可以是量子点(Quantum Dot)，例如ZnS、CdS、CdSe等II-VI半导体材料，而形成在量子点上的薄膜可以是三氧化二铝(Al2O3)。真空腔体11可包括一盖板111及一腔体113，其中盖板111用以覆盖腔体113，并在两者之间形成反应空间12。

在本實用新型一实施例中，轴封装置13包括一外管体131及一内管体133，其中外管体131具有一容置空间132，而内管体133则具有一连接空间134，例如外管体131及内管体133可为空心柱状体。外管体131的容置空间132用以容置内管体133，其中外管体131及内管体133同轴设置。轴封装置13可以是一般常见的轴封或磁流体轴封，主要用以隔离真空腔体11的反应空间12与外部的空间，以维持反应空间12的真空。

驱动单元15通过外管体131动力连接真空腔体11，并通过外管体131带动真空腔体11转动。此外驱动单元15并未连接内管体133，因此驱动单元15带动外管体131及真空腔体11转动时，内管体133不会随着转动。在本實用新型一实施例中，驱动单元15可为马达，通过至少一齿轮14连接外管体131，并经由齿轮14带动外管体131及真空腔体11相对于内管体133转动。

驱动单元15可带动外管体131及真空腔体11以同一方向持续转动，例如顺时针或逆时针方向持续转动。在不同实施例中，驱动单元15可带动外管体131及真空腔体11以顺时针的方向旋转一特定角度后，再以逆时针的方向旋转特定角度，例如特定角度可为360度。真空腔体11转动时，会搅拌反应空间12内的粉末121，以利于粉末121与前驱物气体或非反应气体接触

内管体133的连接空间134内可设置至少一抽气管线171、至少一进气管线173、至少一非反应气体输送管线175、一加热器177及/或一温度感测单元179，如图2及图3所示。

抽气管线171流体连接真空腔体11的反应空间12，并用以抽出反应空间12内的气体，使得反应空间12为真空状态，以进行后续的原子层沉积制程。具体而言抽气管线171可连接一帮浦，并通过帮浦抽出反应空间12内的气体。

进气管线173流体连接真空腔体11的反应空间12，并用以将一前驱物或一非反应气体输送至反应空间12，其中非反应气体可以是氮气或氩气等惰性气体。例如进气管线173可通过阀件组连接一前驱物储存槽及一非反应气体储存槽，并通过阀件组将前驱物气体输送至反应空间12内，使得前驱物气体沉积粉末121表面。在实际应用时，进气管线173可能会将一载送气体(carrier gas)及前驱物气体一起输送到反应空间12内。而后通过阀件组将非反应气体输送至反应空间12内，并通过抽气管线171抽气，以去除反应空间12内的前驱物气体。在本實用新型一实施例中，进气管线173可连接复数个分枝管线，并分别通过各个分枝管线将不同的前驱物气体依序输送至反应空间12内。

此外进气管线173可增大输送至反应空间12的非反应气体的流量，并通过非反应气体吹动反应空间12内的粉末121，使得粉末121受到非反应气体的带动，而扩散到反应空间12的各个区域。

在本實用新型一实施例中，进气管线173可包括至少一非反应气体输送管线175，其中非反应气体输送管线175流体连接真空腔体11的反应空间12，并用以将一非反应气体输送至反应空间12，例如非反应气体输送管线175可通过阀件组连接一氮气储存槽，并通过阀件组将氮气输送至反应空间12。非反应气体用以吹动反应空间12内的粉末121，配合驱动单元15驱动真空腔体11转动，可有效且均匀的翻搅反应空间12内的粉末121，并可在各个粉末121的表面沉积厚度均匀的薄膜。

在粉末上形成薄膜的原子层沉积装置10的进气管线173及非反应气体输送管线175都用以将非反应气体输送至反应空间12，其中进气管线173输送的非反应气体的流量较小，主要用以去除反应空间12内的前驱物气体，而非反应气体输送管线175输送的非反应气体的流量较大，主要用以吹动反应空间12内的粉末121。

具体而言，进气管线173及非反应气体输送管线175将非反应气体输送至反应空间12的时间点不同，因此在实际应用时可不设置非反应气体输送管线175，并调整进气管线173在不同时间点输送的非反应气体的流量。当要去除反应空间12内的前驱物气体时，可降低进气管线173输送至反应空间12的非反应气体的流量，而要吹动反应空间12内的粉末121时，则增加进气管线173输送至反应空间12的非反应气体的流量。

加热器177用以加热连接空间134及内管体133，并通过加热器177加热内管体133内的抽气管线171、进气管线173及/或非反应气体输送管线175，以提高抽气管线171、进气管线173及/或非反应气体输送管线175内的气体的温度。例如可提高进气管线173输送至反应空间12的非反应气体及/或前驱物气体的温度，并可提高非反应气体输送管线175输送至反应空间12的非反应气体的温度。使得非反应气体及/或前驱物气体进入反应空间12时，不会造成反应空间12的温度大幅下降或改变。此外可通过温度感测单元179量测加热器177或连接空间134的温度，以得知加热器177的工作状态。当然在真空腔体11的内部、外部或周围通常会设置另一个加热装置，其中加热装置邻近或接触真空腔体11，并用以加热真空腔体11及反应空间12。

在本實用新型实施例中，轴封装置13的内管体133由外管体131的容置空间132延伸至真空腔体11的反应空间12，其中反应空间12内的内管体133被定义为一凸出管部130。此外位于内管体133的连接空间134内的抽气管线171、进气管线173、非反应气体输送管线175、加热器177及/或温度感测单元179亦位于凸出管部130。通过凸出管部130的设置可缩短或调整进气管线173及/或非反应气体输送管线175与盖板111之间的距离，使得进气管线173及/或非反应气体输送管线175输送至反应空间12的非反应气体传递至盖板111上，并经由盖板111扩散到反应空间12的各个区域。

在本實用新型一实施例中，凸出管部130的一端设置一过滤单元139，其中抽气管线171经由过滤单元139流体连接反应空间12，并经由过滤单元139抽出反应空间12内的气体。过滤单元139主要用以过滤反应空间12内的粉末121，以避免粉末121在抽气的过程中进入抽气管线171内，而造成粉末121的损耗。

如图2所示，真空腔体11内的反应空间12的形状近似柱状体，并具有一第一宽度a及一第一长度b。例如当反应空间12为圆柱状体，第一宽度a为圆柱状体的直径，而第一长度b则是圆柱状体在轴向的高度。此外，凸出管部130的外观亦近似圆柱体，并具有一第二宽度d及第二长度c，其中第二宽度d为圆柱状体的直径，而第二长度c则是圆柱状体在轴向的凸出高度。

本實用新型主要通过真空腔体11的转动，配合非反应气体输送管线175将非反应气体传送至反应空间12，以充份且均匀的翻搅反应空间12内的粉末121。

发明人认为反应空间12内的粉末121被翻搅时的均匀度，会与真空腔体11的反应空间12及轴封装置13的凸出管部130的比例相关。为此发明人经过多次的尝试及实验后，找出反应空间12及/或凸出管部130的长度及宽度的最佳比例范围，使得真空腔体11内的粉末121可以均匀的扩散在反应空间12内，并在粉末121表面形成厚度均匀的薄膜。

在本實用新型一实施例中，反应空间12的第一长度b及凸出管部130的第二长度c的方向平行真空腔体11转动的轴心，其中凸出管部130的第二长度c与反应空间12的第一长度b的比值大于0.1并小于0.9，并以大于0.2并小于0.8为较佳。

在本實用新型一实施例中，反应空间12的第一长度b的方向平行真空腔体11转动的轴心，而反应空间12的第一宽度a则垂直第一长度b，其中反应空间12的第一宽度a与第一长度b的比值大于0.4并小于3.1，以大于0.5并小于3为较佳。

在本實用新型一实施例中，反应空间12的第一宽度a及凸出管部130的第二宽度d的方向垂直真空腔体11转动的轴心，其中反应空间12的第一宽度a与凸出管部130的第二宽度d的比值大于1.4并小于6，以大于1.5并小于6为较佳。

在本實用新型一具体实施例中，反应空间12的第一宽度a可为160mm至230mm；反应空间12的第一长度b可为80mm至90mm；凸出管部130的第二宽度d可为40mm至60mm；及凸出管部130的第二长度c可为40mm至60mm。当然上述反应空间12及凸出管部130的长度及宽度仅为本實用新型一实施例，并非本實用新型权利范围的限制。

在实际应用时可依据需求改变反应空间12及凸出管部130的第一宽度a、第一长度b、第二长度c及第二宽度d，只要使得反应空间12及/或凸出管部130的宽度及/或长度的比值介于上述实施例的范围内，便可通过真空腔体11的转动及向反应空间12喷出的非反应气体，充份且均匀的搅动反应空间12内的粉末121，并以原子层沉积的方式在所有粉末121的表面形成厚度均匀的薄膜。

在本實用新型上述实施例中，主要以反应空间12及凸出管部130为圆柱体进行说明，但在实际应用时反应空间12及凸出管部130的形状并不局限为圆柱体，例如反应空间12为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。如图4所示，盖板111及/或腔体113的内表面可设置至少一任意几何形状的凹槽或凸部，以利于粉末121在反应空间12内扩散。在这种情况下，反应空间12的第一宽度a被定义为反应空间12内的最大宽度，而第一长度b则被定义为反应空间12内的最大长度。

在本實用新型一实施例中，粉末的原子层沉积装置10亦可包括一承载板191及至少一固定架193，其中承载板191可为一板体，用以承载驱动单元15、真空腔体11及轴封装置13。例如承载板191连接驱动单元15，并通过驱动单元15连接轴封装置13及真空腔体11。此外轴封装置13及/或真空腔体11亦可通过至少一支撑架连接承载板191，以提高连接的稳定度。

承载板191可通过至少一连接轴195连接固定架193，其中固定架193的数量可为两个，并分别设置在承载板191的两侧。承载板191可以连接轴195为轴心相对于固定架193转动，以改变驱动单元15、轴封装置13及真空腔体11的仰角，以利于在各个粉末121的表面形成厚度均匀的薄膜。

在本實用新型一实施例中，如图5所示，轴封装置13及真空腔体11可为两个独立及可拆卸的构件，其中真空腔体11的底部115及轴封装置13上可设置对应的连接孔，并可通过固定单元135穿过两者的连接孔，以将真空腔体11固定在轴封装置13上。在将固定单元135卸下后，真空腔体11便可与轴封装置13分离。通过此一可拆卸机构，有利于使用者将真空腔体11由轴封装置13上卸下，并取出真空腔体11内完成原子层沉积的粉末121，以及清洁真空腔体11。在实际应用时可将完成原子层沉积制程的真空腔体11由轴封装置13上卸下，并将另一个欲进行原子层沉积制程的真空腔体11固定在轴封装置13上，以提高制程的效率。

此外真空腔体11的底部115可设置一凹槽117，其中凹槽117由真空腔体11的底部115延伸至反应空间12内，而轴封装置13部分的内管体133则可插入凹槽117内，并在真空腔体11的反应空间12内形成凸出管部130。

本实用新型优点：

可于原子层沉积制程中充份搅拌粉末，使得粉末充满整个真空腔体的反应空间，并减少各个粉末之间的接触点，以利于在各个粉末的表面上形成厚度均匀的薄膜。

以上所述，仅为本实用新型的一较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型申请专利范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的申请专利范围内。

Claims (10)

1.一种粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；

一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；

一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；

至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；

其中该反应空间具有一第一长度，而该凸出管部则有一第二长度，该第一长度为该反应空间内的最大长度，且该第二长度与该第一长度的比值大于0.1并小于0.9。

2.根据权利要求1所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。

3.根据权利要求1所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的一底部设置一凹槽，该凹槽由该真空腔体的该底部延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元固定在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。

4.根据权利要求1所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将该非反应气体输送至该真空腔体的该反应空间内，以吹动该反应空间内的该粉末。

5.一种粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；

一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；

一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；

至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；

其中该反应空间具有一第一宽度及一第一长度，该第一长度为该反应空间的最大长度，而第一宽度为该反应空间的最大宽度，该第一宽度垂直该第一长度，且该反应空间的该第一宽度与该第一长度的比值大于0.4并小于3.1。

6.根据权利要求5所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。

7.根据权利要求5所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的一外表面包括一凹槽，该凹槽由该真空腔体的该外表面延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元锁固在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。

8.一种粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；

一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；

一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；

至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；

其中该反应空间具有一第一宽度，而该凸出管部则具有一第二宽度，该第一宽度为该反应空间的最大宽度，且该第一宽度与该第二宽度的比值大于1.4并小于6。

9.根据权利要求8所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。

10.根据权利要求8所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的外表面包括一凹槽，该凹槽由该真空腔体的外表面延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元锁固在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。

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