TWI728511B - 基板處理裝置以及基板處理方法 - Google Patents

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TWI728511B
TWI728511B TW108137625A TW108137625A TWI728511B TW I728511 B TWI728511 B TW I728511B TW 108137625 A TW108137625 A TW 108137625A TW 108137625 A TW108137625 A TW 108137625A TW I728511 B TWI728511 B TW I728511B
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日商斯庫林集團股份有限公司
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Abstract

提供一種適當地鏈結複數個攝影機與這些攝影機所拍攝的各個被拍攝區域的技術。基板處理裝置100為處理基板W的裝置。基板處理裝置100係具備：複數個洗淨處理單元1；複數個攝影機70，係拍攝互為不同的被拍攝區域PA；影像處理部815，係處理各個攝影機70所拍攝的影像PH；以及鏈結處理部814，係因應影像處理部815的影像處理而鏈結各個被拍攝區域PA與各個攝影機70。

Description

基板處理裝置以及基板處理方法
本發明係關於一種基板處理裝置以及基板處理方法，特別是關於一種以攝影機(camera)來拍攝處理基板之處理部的技術。成為處理對象的基板係例如包含有半導體基板、液晶顯示裝置以及有機EL(Electroluminescence；電致發光)顯示裝置等的FPD(Flat Panel Display；平板顯示器)用基板、光碟用基板、磁碟用基板、磁光碟用基板、光罩(photomask)用基板、陶瓷(ceramic)基板、太陽能電池用基板、印刷電路基板等。
以往，在半導體器件(semiconductor device)等的製程中係對基板供給純水、光阻液(photoresist liquid)、蝕刻液(etching liquid)等的各種處理液來進行洗淨處理以及塗布處理等的基板處理。作為進行使用了這些處理液之液體處理的裝置，廣為使用的有一邊使基板以水平姿勢進行旋轉一邊從噴嘴(nozzle)將處理液吐出至該基板之表面的基板處理裝置。有的情況此種基板處理裝置係為了要並行處理複數個基板而具備複數個處理單元。
近年來，在基板處理裝置中有進行以下的作業：以攝影機來拍攝處理基板的處理單元且處理所獲得的影像並監視基板處理是否已被適當進行。例如在專利文獻1中已有提出以下的方案：拍攝吐出處理液的噴嘴且處理依此所取得的影像，藉此監視來自噴嘴的處理液之吐出。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2015-173148號公報。
在並列通信(parallel communication)之攝影機的情況下係有必要依每一攝影機設置專用的通信線。另一方面，在串列通信(serial communication)之攝影機的情況下，因能夠共享通信線故而具有容易增設的優點(merit)。然而，因通信線被共享故而在串列通信之攝影機已連接於電腦(computer)的情況下，為了要特定某個攝影機拍攝某個被拍攝區域而有必要事先鏈結各個攝影機與這些攝影機所拍攝的各個被拍攝區域。
以往的鏈結作業係基於作業員的手動作業或目視確認來進行。具體而言，作業員係在設置複數個攝影機時事先記錄各個攝影機之固有的識別資訊(序列號(serial number)等)以及成為各個攝影機之拍攝對象的被拍攝區域之資訊(例如處理單元的編號等)，且將該記錄輸入至電腦。因此，以往的鏈結作業恐有對作業員造成龐大的作業負擔並且發生人為失誤(miss)之虞。
本發明之目的係在於提供一種適當地進行複數個攝影機與這些攝影機所拍攝的各個被拍攝區域之鏈結的技術。
為了解決上述課題，第一態樣為一種基板處理裝置，係用以處理基板，並具備：至少一個處理單元，係處理前述基板；第一攝影機以及第二攝影機，係拍攝互為不同的被拍攝區域；以及鏈結處理部，係處理以前述第一攝影機以及前述第二攝影機之各個攝影機所取得的影像，藉此生成顯示各個前述被拍攝區域與前述第一攝影機以及前述第二攝影機之各 個攝影機之鏈結的鏈結資訊。
第二態樣為第一態樣所記載之基板處理裝置，其中前述第一攝影機以及前述第二攝影機的資料傳輸方式為串列通信。
第三態樣為第一態樣或第二態樣所記載之基板處理裝置，其中更進一步具備：第一照明器具，係照明第一個前述被拍攝區域；以及第二照明器具，係照明與第一個前述被拍攝區域不同的第二個前述被拍攝區域。
第四態樣為第三態樣所記載之基板處理裝置，其中更進一步具備：照明控制部，係控制前述第一照明器具以及前述第二照明器具之各自的點亮以及熄滅之動作；前述鏈結處理部係因應前述影像所示的亮度值而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第五態樣為第四態樣所記載之基板處理裝置，其中前述照明控制部係進行：使前述第一照明器具點亮並使前述第二照明器具熄滅的控制以及使前述第一照明器具熄滅並使前述第二照明器具點亮的控制。
第六態樣為第三態樣至第五態樣中任一態樣所記載之基板處理裝置，其中前述第一照明器具以及前述第二照明器具各自的照明圖案係互為不同；前述鏈結處理部係因應前述照明圖案而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第七態樣為第六態樣所記載之基板處理裝置，其中前述鏈結處理部係因應前述影像中的亮度值分布而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第八態樣為第六態樣或第七態樣所記載之基板處理裝置，其中從前述第一照明器具以及前述第二照明器具之各個照明器具所射出的光之顏色係互為不同；前述鏈結處理部係因應前述影像所具有的顏色資訊而 特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第九態樣為第一態樣至第八態樣中任一態樣所記載之基板處理裝置，其中更進一步具備：記憶部，係記憶用以顯示與指標物對應的前述被拍攝區域之參照資訊；前述處理單元係包含前述指標物；前述鏈結處理部係基於前述指標物之像以及前述參照資訊而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第十態樣為第九態樣所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元係包含在前述被拍攝區域內移動的可動部；前述指標物係包含前述可動部；前述鏈結處理部係基於前述可動部之位置而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第十一態樣為第九態樣或第十態樣所記載之基板處理裝置，其中前述鏈結處理部係基於圖案匹配(pattern matching)而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
第十二態樣為第一態樣至第十一態樣中任一態樣所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元有複數個；前述第一攝影機以及前述第二攝影機各自所拍攝的前述被拍攝區域係設定於互為不同的前述處理單元。
第十三態樣為第五態樣所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元係有複數個；第一個前述被拍攝區域係設定於第一個前述處理單元，第二個前述被拍攝區域係設定於第二個前述處理單元；前述鏈結處理部係將前述第一攝影機以及前述第二攝影機當中已拍攝到以前述第一攝影機以及前述第二攝影機各自所取得的前述影像當中平均亮度值較大的前述影像之一方鏈結至第一個前述被拍攝區域以及第二個前述被拍攝區域當中已被照明的前述被拍攝區域。
第十四態樣為第一態樣至第十三態樣中任一態樣所記載之基 板處理裝置，其中前述第一攝影機以及前述第二攝影機係拍攝已被設定於共通之前述處理單元的不同之前述被拍攝區域。
第十五態樣為第一態樣至第十四態樣中任一態樣所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元當中至少一個處理單元係包含：基板保持部，係將前述基板保持於水平；旋轉馬達，係使前述基板保持部繞朝向鉛直方向延伸的旋轉軸線進行旋轉；噴嘴，係朝向已由前述基板保持部所保持的前述基板吐出處理液；以及噴嘴移動部，係使前述噴嘴移動至前述第一攝影機以及前述第二攝影機當中一方的攝影機所拍攝的前述被拍攝區域內。
第十六態樣為一種基板處理方法，係用以處理基板，並包含：工序(a)，係在處理單元中處理前述基板；以及工序(b)，係藉由鏈結處理部處理被拍攝區域互為不同之第一攝影機以及第二攝影機各自拍攝所取得的影像，藉此鏈結各個前述被拍攝區域與前述第一攝影機以及前述第二攝影機的各個攝影機。
第十七態樣為第十六態樣所記載之基板處理方法，其中前述第一攝影機以及前述第二攝影機的資料傳輸方式為串列通信。
第十八態樣為第十六態樣或第十七態樣所記載之基板處方法，其中前述工序(b)係包含：工序(b-1)，係在使照明第一個前述被拍攝區域的第一照明器具點亮並且使照明第二個前述被拍攝區域的第二照明器具熄滅的狀態下以前述第一攝影機以及前述第二攝影機進行拍攝；工序(b-2)，係將前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之一方的攝影機鏈結於前述第一個前述被拍攝區域，前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之一方的攝影機係已拍攝到在前述工序(b-1)所取得的前述影像當中平均亮度值較大的前述影像；工序(b-3)，係在使前述第一照明器具熄滅並且使前述 第二照明器具點亮的狀態下以前述第一攝影機以及前述第二攝影機進行拍攝；以及工序(b-4)，係將前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之另一方的攝影機鏈結於第二個前述被拍攝區域，前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之另一方的攝影機係已拍攝到在前述工序(b-3)所取得的前述影像當中平均亮度值較大的前述影像。
依據第一態樣的基板處理裝置，藉由處理以各個攝影機所取得的各個影像來特定與各個影像對應的被拍攝區域。藉此，能夠使鏈結各個被拍攝區域與對應於各個拍攝區域的各個攝影機之處理自動化。從而，因能夠抑制基於作業員之手動作業或目視確認而造成的人為錯誤(error)之發生，故而能夠適當地鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的各個被拍攝區域。
依據第二態樣的基板處理裝置，因各個攝影機進行串列通信故而能夠共享通信線。因此，能更輕易地增加攝影機的台數。
依據第三態樣的基板處理裝置，能夠藉由以各個照明器具照明各個被拍攝區域而優異地拍攝被拍攝區域。
依據第四態樣的基板處理裝置，能夠藉由控制照明器具之點亮以及熄滅的動作來變更各個被拍攝區域的照明狀況。藉此，因能夠使藉由各個攝影機之拍攝所取得的影像之亮度值變動，故而能夠輕易地特定與各個影像對應的被拍攝區域。因此，能夠輕易地鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的被拍攝區域。
依據第五態樣的基板處理裝置，藉由使第一照明器具以及第二照明器具之一方的照明器具點亮，就可照明第一被拍攝區域以及第二被拍攝區域之中所對應的一方的被拍攝區域。因此，第一攝影機以及第二攝影機當中，拍攝已被照明之被拍攝區域的攝影機之影像的亮度值會成為比拍攝未被 照明之被拍攝區域的攝影機之影像的亮度值更亮。藉此，能夠適當地鏈結與各個攝影機對應的被拍攝區域。
依據第六態樣的基板處理裝置，能夠因應照明圖案之差異從影像中輕易地特定被拍攝區域。
依據第七態樣的基板處理裝置，能夠因應藉由照明圖案之差異所產生的亮部分以及暗部分之位置的差異從影像中特定被拍攝區域。
依據第八態樣的基板處理裝置，能夠因應顏色之差異從影像中輕易地特定被拍攝區域。
依據第九態樣的基板處理裝置，能夠基於以攝影機所取得的影像中之指標物以及參照資訊而特定與該攝影機對應的被拍攝區域。
依據第十態樣的基板處理裝置，能夠基於影像中的可動部之位置而特定與影像對應的被拍攝區域。
依據第十一態樣的基板處理裝置，能夠基於圖案匹配而特定與各個影像對應的被拍攝區域。
依據第十二態樣的基板處理裝置，因從各個攝影機之影像特定與特定之處理單元對應的被拍攝區域，故而能夠鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的處理單元。
依據第十三態樣的基板處理裝置，因從各個攝影機之影像特定與特定之處理單元對應的被拍攝區域，故而能夠鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的各個處理單元。又，因使照明器具依順序點亮，故而能夠從以各個攝影機所取得的影像之中輕易地特定已被照明的影像。藉此，能夠精度佳地鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的處理單元。
依據第十四態樣的基板處理裝置，在共通的處理單元內，能夠鏈結各個被拍攝區域與各個攝影機。
依據第十五態樣的基板處理裝置，能夠將拍攝進行液體處理之處理單元的攝影機與所對應的被拍攝區域適當地鏈結。
依據第十六態樣的基板處理方法，藉由處理以各個攝影機所取得的各個影像來特定與各個影像對應的被拍攝區域。藉此，可以使鏈結各個拍攝區域與對應於各個拍攝區域的各個攝影機之處理自動化。從而，因能夠抑制基於作業員之手動作業或目視確認而造成的人為錯誤之發生，故而能夠適當地鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的被拍攝區域。
依據第十七態樣的基板處理方法，因各個攝影機進行串列通信故而能夠共享通信線。因此，能夠輕易地增加攝影機的台數。
依據第十八態樣的基板處理方法，因從各個攝影機之影像特定與特定之處理單元對應的被拍攝區域，故而能夠鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的各個處理單元。又，因使第一照明器具以及第二照明器具依順序點亮，故而能夠從以各個攝影機所取得的影像之中輕易地特定已被照明的影像。藉此，能夠精度佳地鏈結各個攝影機與各個攝影機所拍攝的被拍攝區域。
1,1(1)~1(12),1A:洗淨處理單元
8:控制部
9:指標物
10:腔室
11:側壁
12:頂壁
13:底壁
14:FFU
15:分隔板
18:排氣導管
20:旋轉夾具
21:旋轉基座
21a:保持面
22:旋轉馬達
23:蓋構件
24:旋轉軸
25:凸緣狀構件
26:夾具銷(可動部)
28:下表面處理液噴嘴
30,60,65:噴嘴(可動部)
31:吐出頭
32,62,67:噴嘴臂
33,63,68:噴嘴基台
40:處理杯
41:內杯
42:中杯
43:外杯
43a,52a:下端部
43b,47b,52b:上端部
43c,52c:折疊部
44:底部
45:內壁部
46:外壁部
47:第一導引部
48:中壁部
49:廢棄槽
50:內側回收槽
51:外側回收槽
52:第二導引部
53:處理液分離壁
70,70(1)~70(12),70a,70b:攝影機
71,71(1)~71(12):照明器具
73:序列匯流排纜線
83:記憶部
85:顯示部
87:輸入部
100:基板處理裝置
102:索引器
103:主搬運機器人
332:馬達(噴嘴驅動部)
812:照明控制部
814:鏈結處理部
815:影像處理部
816:吐出判定部
832:鏈結資訊
834:參照資訊
CX:旋轉軸線
LA1:亮區域
PA,PA(1)~PA(12),PAa,PAb:被拍攝區域
PH,PH(1)~PH(12):影像
TP1:處理位置
W:基板
圖1係顯示第一實施形態的基板處理裝置100之整體構成的圖。
圖2係第一實施形態的洗淨處理單元1的概略俯視圖。
圖3係第一實施形態的洗淨處理單元1的概略縱剖視圖。
圖4係顯示攝影機70與作為可動部的噴嘴30之位置關係的圖。
圖5係顯示控制部8與各個洗淨處理單元1之連接關係的方塊圖。
圖6係顯示第一鏈結處理的流程之一例的圖。
圖7係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。
圖8係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。
圖9係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。
圖10係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。
圖11係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。
圖12係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。
圖13係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。
圖14係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。
圖15係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。
圖16係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。
圖17係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。
圖18係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。
圖19係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。
圖20係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。
圖21係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。
圖22係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。
圖23係第二實施形態的洗淨處理單元1A的概略俯視圖。
以下，一邊參照所附圖式一邊針對本發明的實施形態加以說明。再者，本實施形態所記載的構成要素僅為例示，並非用以將本發明之範圍僅限定於這些實施形態。有的情況在圖式中為了易於理解起見會依需要而誇張或簡化各部的尺寸或數目來圖示。
顯示相對性的或絕對性的位置關係的表現(例如，「朝向一方向」、「沿著一方向」、「平行」、「正交」、「中心」、「同心」、「同軸」等)，只要沒有特別事先說明，不僅是嚴格地表示位置關係，也表示在公差或者可獲得同程度之功能的範圍內相對地位移角度或距離後的狀態。顯示相等之狀態的表現(例如，「同一個」、「相等」、「均質」等)，只要沒有特別事先說明，不僅表示定量且嚴格相等之狀態，也表示存在公差或者可獲得同程度之功能的差之狀態。顯示形狀的表現(例如，「四角形狀」或「圓筒形狀」等)，只要沒有特別事先說明，不僅是幾何學上的形狀且是嚴格地表示形狀，在可獲得同程度之功效的範圍內亦表 示具有例如凹凸以及倒角等的形狀。「備置」、「備有」、「具備」、「包含」或「具有」一構成要素的表現，並非是將其他構成要素之存在予以除外的排他性表現。所謂「~之上」的表現，只要沒有特別事先說明，除了是指兩個要素相接觸的情況以外，也包含兩個要素分離的情況。
[1.第一實施形態]
圖1係顯示第一實施形態的基板處理裝置100之整體構成的圖。基板處理裝置100是逐片處理作為處理對象的基板W的葉片式之處理裝置。基板處理裝置100係在使用藥液以及沖洗液(rinse liquid)(純水等)對作為圓形薄板狀之矽基板的基板W進行洗淨處理之後，進行乾燥處理。作為藥液例如可使用SC1(Standard clean-1；第一標準清洗液(亦即氨氣過氧化氫混合液(ammonia-hydrogen peroxide mixture)))、SC2(Standard clean-2；第二標準清洗液(亦即鹽酸過氧化氫混合水溶液(hydrochloric hydrogen peroxide mixed water solution)))、DHF(Diluted Hydrofluoric acid；稀氫氟酸)液等。在以下的說明中，所謂處理液係將藥液與沖洗液總稱為「處理液」。再者，基板處理裝置100亦可構成：供給非為洗淨處理用而是成膜處理用之光阻液等的塗布液、去除不必要之膜用的藥液、蝕刻用之藥液來濕式處理基板。
基板處理裝置100係具備複數個洗淨處理單元1、索引器(indexer)102以及主搬運機器人(main transfer robot)103。索引器102係將從裝置外所接收的處理對象之基板W搬運至裝置內，並且將已完成洗淨處理之處理完畢的基板W搬出至裝置外。索引器102係載置複數個載具(carrier)(省略圖示)並且具備移送機器人(省略圖示)。作為載具亦可採用將基板W收納於密閉空間的FOUP(Front Opening Unified Pod；前開式晶圓傳送盒)或SMIF(Standard Mechanical InterFace；標準機械介面)傳送盒、或是將基板W暴露於外部空氣中的OC(Open Cassette；開放式晶圓盒)。移送機器人係在載具與主搬運機器人103 之間移送基板W。
洗淨處理單元1係對一片基板W進行液體處理及乾燥處理。在基板處理裝置100係配置有十二個洗淨處理單元1。具體而言，以包圍主搬運機器人103之周圍的方式配置有四個塔(tower)，該四個塔係分別包含已被積層於鉛直方向的三個洗淨處理單元1。在圖1中係概略地顯示一個被重疊成三層的洗淨處理單元1。再者，基板處理裝置100中的洗淨處理單元1之數量並非被限定於十二個，亦可做適當變更。
主搬運機器人103係設置於已積層有洗淨處理單元1的四個塔之中央。主搬運機器人103係將從索引器102所接收到的處理對象之基板W搬入至各個洗淨處理單元1。又，主搬運機器人103係從各個洗淨處理單元1搬出處理完畢的基板W並交付給索引器102。
[洗淨處理單元1]
以下，雖然就已搭載於基板處理裝置100的十二個洗淨處理單元1當中之一個洗淨處理單元1加以說明，但是就其他的洗淨處理單元1而言，除了噴嘴30、60、65之配置關係不同以外，其餘具有相同的構成。
圖2係第一實施形態的洗淨處理單元1的概略俯視圖。圖3係第一實施形態的洗淨處理單元1的概略縱剖視圖。圖2係顯示基板W並未保持於旋轉夾具(spin chuck)20的狀態，圖3係顯示基板W已保持於旋轉夾具20的狀態。
洗淨處理單元1係在腔室10內具備：旋轉夾具20，係將基板W保持於水平姿勢(基板W之表面的法線沿著鉛直方向的姿勢)；三個噴嘴30、60、65，係用以將處理液供給至由旋轉夾具20所保持的基板W之上表面；處理杯(processing cup)40，係包圍旋轉夾具20之周圍；以及攝影機70，係拍攝旋轉夾具20之上方空間。又，在腔室10內的處理杯40之周圍係設置有將腔室10之 內側空間上下分隔的分隔板15。
腔室10係具備：側壁11，係沿著鉛直方向並且包圍四方；頂壁12，係封閉側壁11之上側；以及底壁13，係封閉側壁11之下側。由側壁11、頂壁12以及底壁13所包圍的空間係成為基板W的處理空間。又，在腔室10的側壁11之一部分係設置有搬入搬出口以及擋門(shutter)(皆省略圖示)，該搬入搬出口係主搬運機器人103用以對腔室10搬入基板W或者搬出基板W，該擋門係開閉該搬入搬出口。
在腔室10的頂壁12係安裝有FFU(Fan Filter Unit；風扇過濾器單元)14，該FFU14係用以將設置有基板處理裝置100的無塵室(clean room)內的空氣更進一步潔淨化並供給至腔室10內的處理空間。FFU14係具備風扇以及過濾器(例如HEPA(High Efficiency Particulate Air；高效率微粒空氣)過濾器)，該風扇係用以取入無塵室內的空氣並送出至腔室10內。FFU14係在腔室10內的處理空間形成潔淨空氣的降流(downflow)。為了將從FFU14所供給來的潔淨空氣均勻地分散，亦可將穿設有多數個吹出孔的衝孔板設置於頂壁12的正下方。
旋轉夾具20係具備旋轉基座(spin base)21、旋轉馬達(spin motor)22、蓋(cover)構件23以及旋轉軸24。旋轉基座21係具有圓板形狀且以水平姿勢固定於沿著鉛直方向延伸的旋轉軸24之上端。旋轉馬達22係設置於旋轉基座21之下方且具有作為使旋轉軸24進行旋轉的旋轉馬達之功能。旋轉馬達22係透過旋轉軸24使旋轉基座21在水平面內進行旋轉。蓋構件23係具有包圍旋轉馬達22以及旋轉軸24之周圍的筒狀。
圓板形狀的旋轉基座21之外徑係比由旋轉夾具20所保持之圓形的基板W之直徑稍大。因而，旋轉基座21係具有與應保持的基板W之下表面的整面相對向的保持面21a。
在旋轉基座21的保持面21a之周緣部係豎設有複數個(在本實施形 態中為四個)夾具銷(chuck pin)26。各個夾具銷26係沿著與圓形的基板W之外周緣之外徑對應的圓周上隔出均等之間隔所配置。在本實施形態中，四個夾具銷26係以90°間隔所設置。各個夾具銷26係藉由已收容於旋轉基座21內之省略圖示的連桿(link)機構所連動驅動。旋轉夾具20係使各個夾具銷26分別抵接於基板W之外周端來夾持基板W，藉此在旋轉基座21之上方以已鄰近於保持面21a的水平姿勢來保持該基板W(參照圖3)。又，旋轉夾具20係使各個夾具銷26分別從基板W之外周端分離，藉此解除基板W之夾持。各個夾具銷26是以水平姿勢保持基板W的基板保持部。
覆蓋旋轉馬達22的蓋構件23係使蓋構件23之下端固定於腔室10的底壁13，且使蓋構件23之上端到達旋轉基座21之正下方為止。在蓋構件23之上端部係設置有凸緣狀構件25，該凸緣狀構件25係從蓋構件23往外方大致水平地突出且進而朝向下方屈曲而延伸。在旋轉夾具20利用藉由複數個夾具銷26所為之夾持而保持住基板W的狀態下，旋轉馬達22會使旋轉軸24旋轉，藉此能夠使基板W繞著沿著通過基板W之中心的鉛直方向之旋轉軸線CX進行旋轉。再者，旋轉馬達22的驅動係藉由控制部8所控制。
噴嘴30係將吐出頭31安裝於噴嘴臂(nozzle arm)32之前端所構成。噴嘴臂32之基端側係固定連結於噴嘴基台33。可藉由已設置於噴嘴基台32的馬達332(噴嘴移動部)繞著沿著鉛直方向的軸進行轉動。
藉由噴嘴基台33轉動，則如圖2中之箭頭AR34所示，噴嘴30會在旋轉夾具20之上方的位置與比處理杯40更外側的待機位置之間沿著水平方向呈圓弧狀地移動。藉由噴嘴基台33的轉動，噴嘴30會在旋轉基座21的保持面21a之上方擺動。詳言之，在比旋轉基座21更上方移動至朝向水平方向延伸的既定之處理位置TP1。再者，所謂使噴嘴30移動至處理位置TP1係與使噴嘴30之前端部的吐出頭31移動至處理位置TP1同義。
噴嘴30係以供給有複數種處理液(至少包含純水)的方式所構成，且能夠從吐出頭31吐出複數種處理液。再者，亦可在噴嘴30之前端設置複數個吐出頭31並從各個吐出頭31個別地吐出相同或不同的處理液。噴嘴30(詳言之為吐出頭31)係在處理位置TP1停止並吐出處理液。從噴嘴30所吐出的處理液係附著於已由旋轉夾具20所保持的基板W之上表面。
在本實施形態的洗淨處理單元1係除了上述噴嘴30還進一步設置有兩個噴嘴60、65。本實施形態的噴嘴60、65係具備與上述噴嘴30相同或類似的構成。亦即，噴嘴60係將吐出頭安裝於噴嘴臂62之前端所構成，且如箭頭AR64所示藉由已連結於噴嘴臂62之基端側的噴嘴基台63而在旋轉夾具20之上方的處理位置與比處理杯40更外側的待機位置之間呈圓弧狀地移動。噴嘴65係將吐出頭安裝於噴嘴臂67之前端所構成，且如箭頭AR69所示藉由已連結於噴嘴臂67之基端側的噴嘴基台68而在旋轉夾具20之上方的處理位置與比處理杯40更外側的待機位置之間呈圓弧狀地移動。
在噴嘴60、65亦是以供給有至少包含純水之複數種處理液之方式所構成，且在處理位置將處理液吐出至已由旋轉夾具20所保持的基板W之上表面。再者，噴嘴60、65之至少一方的噴嘴亦可為雙流體噴嘴(two fluid nozzle)，該雙流體噴嘴係混合純水等的洗淨液與加壓後的氣體來生成液滴且將該液滴與氣體的混合流體噴射至基板W。又，設置於洗淨處理單元1的噴嘴數目並非被限定於三支，只要是一支以上即可。
並非必須使噴嘴30、60、65之各個噴嘴呈圓弧狀地移動。例如，亦可藉由設置直路線(straight path)驅動部來使噴嘴進行直線移動。
以插通旋轉軸24之內側的方式沿著鉛直方向而設置有下表面處理液噴嘴28。下表面處理液噴嘴28之上端開口係形成於與已由旋轉夾具20所保持的基板W之下表面中央對向的位置。在下表面處理液噴嘴28亦以供給有複數 種處理液的方式所構成。從下表面處理液噴嘴28所吐出的處理液係附著於已由旋轉夾具20所保持的基板W之下表面。
包圍旋轉夾具20的處理杯40係具備能夠相互地獨立升降的內杯41、中杯42及外杯43。內杯41係包圍旋轉夾具20之周圍且具有相對於通過已由旋轉夾具20所保持的基板W之中心的旋轉軸線CX而大致成為旋轉對稱的形狀。該內杯41係一體地具備：俯視觀察呈圓環狀之底部44；圓筒狀之內壁部45，係從底部44之內周緣朝向上方豎起；圓筒狀之外壁部46，係從底部44之外周緣朝向上方豎起；第一導引部47，係從內壁部45與外壁部46之間豎起，且上端部一邊描繪平滑的圓弧一邊朝向中心側(與已由旋轉夾具20所保持的基板W之旋轉軸線CX靠近的方向)往斜上方延伸；以及圓筒狀之中壁部48，係從第一導引部47與外壁部46之間朝向上方豎起。
內壁部45係在內杯41已上升最高的狀態下保持適當之間隙而收容於蓋構件23與凸緣狀構件25之間。中壁部48係在內杯41與中杯42已最鄰近的狀態下保持適當之間隙而收容於中杯42之後述的第二導引部52與處理液分離壁53之間。
第一導引部47係具有一邊描繪平滑之圓弧一邊朝向中心側(與基板W之旋轉軸線CX靠近的方向)往斜上方延伸的上端部47b。又，內壁部45與第一導引部47之間係作為用以集中使用完畢的處理液並予以廢棄的廢棄槽49。第一導引部47與中壁部48之間係作為用以集中使用完畢的處理液並予以回收的圓環狀之內側回收槽50。更且，中壁部48與外壁部46之間係作為用以集中與內側回收槽50不同種類的處理液並予以回收的圓環狀之外側回收槽51。
在廢棄槽49係連接有省略圖示的排氣排液機構，該排氣排液機構係用以排出已由該廢棄槽49所集中的處理液並且將廢棄槽49的內部強制進行排氣。排氣排液機構例如是沿著廢棄槽49之周方向以等間隔設置有四個。又，在 內側回收槽50以及外側回收槽51係連接有回收機構(省略圖示)，該回收機構係用以將已由內側回收槽50以及外側回收槽所分別集中的處理液回收至已設置於基板處理裝置100之外部的回收槽(省略圖示)。再者，內部回收槽50以及外側回收槽51之底部係相對於水平方向僅傾斜微少角度，且在成為最低的位置連接有回收機構。藉此，已流入至內側回收槽50以及外側回收槽51的處理液能滑順地回收。
中杯42係包圍旋轉夾具20之周圍且具有相對於通過已由旋轉夾具20所保持的基板W之中心的旋轉軸線CX而大致成為旋轉對稱的形狀。該中杯42係具有：第二導引部52；以及圓筒狀之處理液分離壁53，係連結於該第二導引部52。
第二導引部52係位於內杯41的第一導引部47之外側，且具有：下端部52a，係與第一導引部47之下端部為同軸圓筒狀；上端部52b，係從下端部52a之上端一邊描繪平滑的圓弧一邊朝向中心側(與基板W之旋轉軸線CX靠近的方向)往斜上方延伸；以及折疊部52c，係將上端部52b之前端部朝向下方折疊所形成。下端部52a係以內杯41與中杯42最為鄰近的狀態在第一導引部47與中壁部48之間保持適當之間隙地收容於內側回收槽50內。又，上端部52b係以於上下方向與內杯41的第一導引部47之上端部47b重疊的方式所設置，且以內杯41與中杯42最為鄰近的狀態保持極微小之間隔地鄰近於第一導引部47之上端部47b。折疊部52c係以內杯41與中杯42最為鄰近的狀態使折疊部52c於水平方向與第一導引部47的上端部47b之前端重疊。
第二導引部52之上端部52b係以越靠下方壁厚就變得越厚的方式所形成。處理液分離壁53係具有以從上端部52b之下端外周緣部朝向下方延伸的方式所設置的圓筒形狀。處理液分離壁53係以內杯41與中 杯42最為鄰近的狀態在中壁部48與外杯43之間保持適當之間隙地收容於外側回收槽51內。
外杯43係具有相對於通過已由旋轉夾具20所保持的基板W之中的旋轉軸線CX而大致成為旋轉對稱的形狀。外杯43係在中杯42的第二導引部52之外側包圍旋轉夾具20。該外杯43係具有作為第三導引部的功能。外杯43係具有：下端部43a，係與第二導引部52之下端部52a形成為同軸圓筒狀；上端部43b，係從下端部43a之上端一邊描繪平滑的圓弧一邊朝向中心側(與基板W之旋轉軸向CX靠近的方向)往斜上方延伸；以及折疊部43c，係將上端部43b之前端部朝向下方折疊所形成。
下端部43a係以內杯41與外杯43最為鄰近的狀態在中杯42的處理液分離壁53與內杯41的外壁部46之間保持適當之間隙地收容於外側回收槽51內。上端部43b係以於上下方向與中杯42的第二導引部52重疊的方式所設置，且以中杯42與外杯43最為鄰近的狀態保持極微小之間隔地鄰近於第二導引部52之上端部52b。折疊部43c係以中杯42與外杯43最為鄰近的狀態於水平方向與第二導引部52的折疊部52c重疊。
內杯41、中杯42以及外杯43係相互地獨立而能夠進行升降。亦即，在內杯41、中杯42以及外杯43之各個杯體係個別地設置有升降機構(省略圖示)，藉此能個別獨立地進行升降。作為如此的升降機構係能夠採用例如滾珠螺桿(ball screw)機構以及氣壓缸(air cylinder)等公知的各種機構。
分隔板15係在處理杯40之周圍以將腔室10之內側空間上下分隔的方式所設置。分隔板15係既可為包圍處理杯40的一片板狀構件，又可為將複數個板狀構件接合在一起所成。又，在分隔板15亦可形成有貫通於厚度方向的貫通孔或缺口，在本實施形態中係形成有用以供支撐軸穿通的貫通孔，該支撐軸係用以支撐噴嘴30、60、65之噴嘴基台33、63、68。
分隔板15之外周端係連結於腔室10之側壁11。又，分隔板15中之包圍處理杯40之端緣部係以成為比外杯43之外徑更大的直徑之圓形狀的方式所形成。因而，分隔板15不會成為外杯43之升降的障礙。
又，在腔室10的側壁11之一部分且底壁13之附近係設置有排氣導管(exhaust duct)18。排氣導管18係連通連接於省略圖示的排氣機構。從風扇過濾器單元14所供給並流下至腔室10內的潔淨空氣當中已通過處理杯40與分隔板15之間的空氣係從排氣導管18排出至裝置外。
圖4係顯示攝影機70與作為可動部的噴嘴30之位置關係的圖。攝影機70係在鉛直方向上被設置於比基板W更靠鉛直方向上側。攝影機70係具備：例如是固態攝像元件之一種的CCD(Charge Coupled Device；電荷耦合元件)；以及電子快門(electronic shutter)、鏡頭(lens)等的光學系統。攝影機70之拍攝方向(亦即攝像光學系統之光軸方向)係為了拍攝基板W之上表面而面向基板W的上表面之旋轉中心(或者基板W的上表面之旋轉中心的附近)設定於斜下方。攝影機70係將已藉由旋轉夾具20所保持的基板W之上表面整體包含於攝影機70的視野中。例如，就水平方向而言，圖2中以鏈線所包圍的範圍(被拍攝區域)係包含於攝影機70之視野中。
攝影機70係以在攝影機70的拍攝視野中至少包含有處理位置TP1中的噴嘴30之前端的方式來設置，換句話說設置於包含有吐出頭31之附近的位置。在本實施形態中，如圖4所示，攝影機70係設置於從前方上方拍攝處理位置TP1中之噴嘴30的位置。因而，攝影機70係能夠拍攝包含處理位置TP1中的噴嘴30之前端的被拍攝區域PA。同樣，攝影機70係拍攝噴嘴60、65位於處理位置時之包含各個前端的被拍攝區域PA，該處理位置係指對已由旋轉夾具20所保持的基板W進行處理時的位置。在攝影機70被設置於圖2及圖4所示之位置的情況下，因噴嘴30、60係在攝影機70之拍攝視野內朝向橫向方向移動，故而能夠適 當地拍攝各個處理位置的各個噴嘴30、60之前端；但是就噴嘴65而言，因該噴嘴65係在攝影機70之視野內朝向深度方向移動，故而亦恐有無法適當地拍攝該處理位置附近的移動之虞。在此情況下，亦可與攝影機70不同地設置拍攝噴嘴65的攝影機。
噴嘴30係可藉由噴嘴基台33之驅動而在已由旋轉夾具20所保持的基板W之上方的處理位置TP1(圖4中以虛線所示的位置)與比處理杯40更靠外的待機位置(圖4之實線位置)之間往復移動。處理位置TP1是從噴嘴30朝向已由旋轉夾具20所保持的基板W之上表面吐出處理液來進行洗淨處理的位置。處理位置TP1是比已由旋轉夾具20所保持的基板W中之中心更偏靠緣部的位置。待機位置是噴嘴30不進行洗淨處理時停止處理液之吐出而待機的位置。待機位置是已從旋轉基座21之上方離開的位置，且在水平面內為處理杯40之外側的位置。在待機位置亦可設置有收容噴嘴30之吐出頭31的待機艙(standby pod)。
處理位置TP1亦可為基板W之中心等的任意位置，更且處理位置TP1亦可為已從基板W之上方離開的位置。在後者的情況下，可使從噴嘴30所吐出的處理液從基板W之外方飛散至基板W之上表面。又，並非需要在使噴嘴30停止於處理位置TP1的狀態下使處理液從噴嘴30吐出。例如，亦可一邊使處理液從噴嘴30吐出一邊將處理位置TP1作為一方端而使噴嘴30在基板W之上方朝向水平方向延伸的既定之處理區間內移動。
如圖3所示，在腔室10內且比分隔板15更靠上方的位置設置有照明器具71。照明器具71係包含例如LED(Light Emitting Diode；發光二極體)燈作為光源。照明器具71係將攝影機70拍攝腔室10內所需要的照明光供給至處理空間。藉由各個照明器具71照明所對應的被拍攝區域PA之各個拍攝區域PA，各個攝影機70就能夠優異地拍攝各個被拍攝區域PA。為了在各個洗淨處理單元1間使藉由攝影機70所為的拍攝之條件一致，對各個洗淨處理單元1分別設置有同一構 成的照明器具71。
如圖3所示，在一個腔室10內，攝影機70與照明器具71係設置於腔室10之對角線上，攝影機70之拍攝方向(鏡頭之方向)與照明器具71之照明方向係設為面對面。然而，該位置關係並非為必須。例如，亦可將照明器具71配置於攝影機70之附近，攝影機70之拍攝方向與照明器具71之照明方向設定在相同的方向。
圖5係顯示控制部8與各個洗淨處理單元1之連接關係的方塊圖。作為已設置於基板處理裝置100的控制部8之硬體(hardware)的構成係與一般的電腦相同。亦即，控制部8係具備CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)、ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)及磁碟等，該CPU係進行各種運算處理，該ROM係作為記憶基本程式(basic program)的讀取專用之記憶體，該RAM係作為記憶各種資訊的讀寫自如之記憶體，該磁碟係事先記憶控制用軟體(software)(程式)以及資料等。藉由控制部8之CPU執行預定之處理程式，基板處理裝置100之各個要素的動作就可藉由控制部8所控制且進行基板處理裝置100中的處理。
圖5所示的照明控制部812、鏈結處理部814、吐出判定部816是藉由控制部8之CPU執行預定之處理程式而在控制部8內所實現的功能處理部。
照明控制部812係以能夠與基板處理裝置100所具備的各個照明器具71通信的方式所連接且控制各個照明器具71之點亮以及熄滅之動作(照明動作)。照明控制部812亦可獨立控制各個照明器具71之照明動作，例如在各個照明器具71當中一邊使一個照明器具71點亮一邊使其他的照明器具71熄滅等。
鏈結處理部814係具備影像處理部815。影像處理部815係處理以各個攝影機70所取得的各個影像PH。然後，鏈結處理部814係基於影像處理部815之處理結果而特定與特定對象之被拍攝區域PA對應的各個影像PH(亦即各個攝 影機70)。鏈結處理部814係能夠基於例如各個影像PH之亮度值而特定被拍攝區域PA。又，鏈結處理部814係能夠藉由檢測後述之各個影像PH中的指標物9之位置來特定被拍攝區域PA。
鏈結處理部814係因應上述特定結果而生成已記錄各個攝影機70與各個被拍攝區域PA之鏈結的鏈結資訊832。鏈結資訊832是顯示各個攝影機70之固有的識別資訊(例如序列號)與用以識別各個被拍攝區域PA的識別資訊(例如各個洗淨處理單元1之固有的識別資訊)之一對(pair)(組合)的資訊。鏈結資訊832係適當保存於記憶部83。記憶部83是記憶鏈結資訊832的鏈結資訊記憶部之一例。
吐出判定部816係藉由處理以各個攝影機70所取得的各個影像PH來進行處理液是否已從各個洗淨處理單元1中的各個噴嘴30吐出之判定。在該判定處理中亦可應用例如專利文獻1所記載的技術。例如，亦可在已配置於處理位置TP1的噴嘴30之吐出頭31與基板W之間事先設定判定區域，且在該判定區域中藉由吐出判定部816進行使用了基準影像的圖案匹配來判定處理液之吐出。藉由吐出判定部816判定各個洗淨處理單元1中之來自噴嘴30的處理液之吐出，就能夠檢測適當進行基板W之液體處理的洗淨處理單元1或者不正當進行基板W之液體處理的洗淨處理單元1。
又，亦可設置判定噴嘴位置的噴嘴位置判定部。例如，在以攝影機70所取得的影像PH上，亦可將判定區域事先設定於與處理位置TP1對應的位置，而噴嘴位置判定部藉由在該判定區域內進行使用了基準影像的圖案匹配來檢測噴嘴30之位置。藉由檢測判定區域中的噴嘴30之位置就能夠檢測來自被作為標準的處理位置TP1的噴嘴30之位置偏移。
控制部8係具備包含上述RAM或磁碟的記憶部83。記憶部83係記憶藉由各個攝影機70所拍攝到的影像之資料以及操作員(operator)之輸入值等。
在控制部8係連接有顯示部85以及輸入部87。顯示部85係因應來自控制部8的影像信號而顯示各種資訊。顯示部85係顯示例如以各個攝影機70所取得的各個影像PH。輸入部87係由鍵盤(keyboard)以及滑鼠(mouse)等的輸入器件所構成，且受理作業員對控制部8進行的輸入操作。
如圖5所示，基板處理裝置100係在十二個洗淨處理單元1之各個洗淨處理單元1各具備一個攝影機70以及照明器具71。亦即，基板處理裝置100係具備十二個攝影機70與十二個照明器具71。然後，各個攝影機70係拍攝互為不同之腔室10內的既定之被拍攝區域PA。亦即，各個攝影機70之被拍攝區域PA係互為不同。以下，在區別各個洗淨處理單元1的情況下，有的情況是稱為「洗淨處理單元1(n)」(n為1以上至12以下的整數)等。又，有的情況是將與各個洗淨處理單元1(n)對應的攝影機70以及照明器具71稱為「攝影機70(n)」、「照明器具71(n)」(n為1以上至12以下的整數)等。更且，有的情況是將攝影機70(n)之被拍攝區域PA稱為「被拍攝區域PA(n)」(n為1以上至12以下的整數)等。又，有的情況是將以各個攝影機70(n)所取得的影像PH稱為「影像PH(n)」(n為1以上至12以下的整數)等。
各個攝影機70與控制部8係由序列匯流排纜線(serial bus cable)73所連接。各個攝影機70與控制部8之間的資料傳輸方式為串列通信。再者，雖然各個攝影機70(1)至攝影機70(12)亦可以共通的纜線來連接於控制部8，但是各個攝影機70(1)至攝影機70(12)亦可以專用的纜線來連接於控制部8。
序列匯流排纜線73較佳是USB(Universal Serial Bus；通用串列匯流排)。在攝影機70具有支援如USB之即插即用(plug and play)的介面(interface)的情況下，只要連接於作為電腦的控制部8就可從控制部8供給有電源來使用。在利用作為攝影機之功能的情況下，只要以預定之順序從程式中讀取從攝影機廠商(camera maker)所提供的API(Application Program Interface；應用程式介面)即 可。一般而言，亦提供通用應用軟體(general purpose application software)，可使用這些通用應用軟體來取得及保存影像。
在各個攝影機70進行串列通信的情況下，因比並列通信更能夠簡化資料通信的構成(例如通信線以及進行同步處理等的處理部)，故而比較容易輕易地增加攝影機的數量。
在各個攝影機70進行串列通信的情況下，控制部8係可根據通信封包(communication packet)中所包含的攝影機70之固有資訊來掌握已接收的影像PH是從哪個攝影機70所送來。然而，控制部8無法僅以所發送來的資訊無歧異地決定該攝影機70要拍攝哪個洗淨處理單元1之被拍攝區域PA。因此，在基板處理裝置100中係需要鏈結各個攝影機70與各個攝影機70所拍攝的被拍攝區域PA之鏈結處理。
鏈結處理部814係藉由處理以各個攝影機70所取得的各個影像PH來特定各個攝影機70所拍攝的被拍攝區域PA。然後，鏈結處理部814係生成顯示各個攝影機70與各個被拍攝區域PA之鏈結的鏈結資訊832。以下，針對用以生成鏈結資訊832的各個鏈結處理加以說明。
[第一鏈結處理]
圖6係顯示第一鏈結處理的流程之一例的圖。圖6所示的鏈結處理係只要沒有特別事先說明就是在控制部8之控制下所進行。在圖6所示之例中係針對各個被拍攝區域PA(1)至被拍攝區域PA(12)依順序逐個特定所對應的各個攝影機70。
在該鏈結處理中，首先是設定有第一個被拍攝區域PA(1)作為特定對象之被拍攝區域PA(步驟S11)。接著，照明控制部812係使照明作為特定對象之被拍攝區域PA的照明器具71點亮且使其他的各個照明器具71熄滅(步驟S12)。最初在步驟S11中，因洗淨處理單元1(1)之被拍攝區域PA(1)係被設為特定 對象，故而在步驟S12中，照明控制部812會使照明器具71(1)點亮且使其他的照明器具71(2)至照明器具71(12)熄滅。
在步驟S12之後，全部的攝影機70進行拍攝(步驟S13)。各個攝影機70係透過串列匯流排纜線73將影像資料送至控制部8。因在被送至控制部8而來的各個影像資料中係包含有各個攝影機70之固有的識別資訊，故而控制部8係能夠藉由參照影像資料中所包含的固有資訊來判別是以哪個攝影機70來進行拍攝。但是，在初始階段，各個攝影機70之拍攝視野要對應哪個洗淨處理單元1之被拍攝區域PA是不明的。
當各個影像資料被送至控制部8時，鏈結處理部814之影像處理部815會進行算出各個影像資料所示的影像PH之平均亮度值(全像素的亮度值之平均值)的影像處理。然後，鏈結處理部814會從各個影像PH之中檢測平均亮度值成為最大的影像PH(步驟S14)。
已被照明的被拍攝區域PH之影像PH係成為比未被照明的被拍攝區域PA之影像PH更相對地亮。特別是在腔室10為暗室的情況下，照明未被進行的被拍攝區域PA之影像PH中的亮度值會成為極小。於是，能夠藉由比較各個影像PH的各個平均亮度值而輕易地特定與在步驟S12中已被照明之被拍攝區域PA對應的影像PH。
例如，在步驟S12中，被拍攝區域PA(1)已由照明器具71(1)所照明的情況下，以拍攝該被拍攝區域PA(1)的攝影機70(1)所取得的影像PH(1)會相對地變亮，而其他的被拍攝區域PA(2)至被拍攝區域PA(12)之影像PH(2)至影像PH(12)會變暗。從而，藉由算出平均亮度值就能夠特定與被拍攝區域PA(1)對應的攝影機70(1)。換言之，能夠特定與攝影機70(1)對應的被拍攝區域PA(1)。
再者，影像處理部815係除了平均亮度值以外亦可算出中間亮度值(全像素的亮度值之中間值)、亮度值之分散、亮度值之標準偏差等的亮度值之 代表值。然後，鏈結處理部814亦可基於該代表值而檢測與已被照明之影像對應的影像PH。又，影像處理部815亦可在事先所準備的基準影像與檢查對象的影像PH之間取亮度值的差分值且檢測該差分值超過預定之臨限值的影像。
在步驟S14之後，鏈結處理部814係將已拍攝到在步驟S13中已被抽出之影像PH的攝影機70鏈結於在步驟S12中已被照明的被拍攝區域PA(步驟S15)。具體而言，該處理係包含生成鏈結資訊832的處理以及將該鏈結資訊832保存於記憶部83的處理，該鏈結資訊832係描述有固有資訊及識別資訊之組合，該固有資訊係顯示在步驟S13中已被特定之影像PH的攝影機70，該識別資訊係顯示在步驟S12中已被照明的被拍攝區域PA。
在步驟S15之後，控制部8係針對全部的攝影機70判定是否已完成與各個被拍攝區域PA之鏈結(步驟S16)。具體而言，控制部8係判定是否已完成有關第十二個為止之被拍攝區域PA的處理。在步驟S16中，存在並未完成鏈結之被拍攝區域PA的情況下(「否」的情況下)，鏈結處理部814係將下一個被拍攝區域PA設定於特定對象(步驟S17)。然後，回到步驟S12，重複執行以後的處理。在步驟S16中，已完成全部之鏈結的情況下(「是」的情況下)，控制部8係完成各個攝影機70與被拍攝區域PA之鏈結處理。
如上所述，在第一鏈結處理中係能夠藉由逐個依序地點亮複數個照明器具71來使各個被拍攝區域PA之照明圖案(照明狀態或非照明狀態)不同。藉此，能夠使各個攝影機70所取得的各個影像PH當中與特定對象之被拍攝區域PA對應的影像PH具有比其他的影像PH更亮的亮度值。因此，能夠輕易地檢測所對應的影像PH。從而，能夠適當地特定與各個被拍攝區域PA對應的攝影機70。
再者，在步驟S12中，亦可僅使與特定對象之被拍攝區域PA對應的照明器具71熄滅且使其餘的照明器具71點亮。在此情況下，能夠僅將特定對象之被拍攝區域PA形成較暗。因此，在步驟S14中，鏈結處理部814可檢測以各 個攝影機70所取得的各個影像PH當中平均亮度值最大的影像PH作為所對應的影像。
依據基板處理裝置100，能夠使各個攝影機70與各個被拍攝區域PA之鏈結自動化。因此，能夠抑制因為作業員以手動作業以及目視確認進行所致的作業負擔及人為失誤之發生。因此，能夠迅速且精度佳地進行鏈結。
[第二鏈結處理]
在第一鏈結處理中係使一個照明器具71依順序地點亮，藉此可在各個被拍攝區域PA應用不同的照明圖案。相對於此，在第二鏈結處理中，複數個照明器具71係同時點亮且可對各個被拍攝區域PA應用不同的照明圖案。具體而言，有關各個照明器具71係使點亮的持續時間互為不同，藉此可對各個被拍攝區域PA應用不同的照明圖案。
在採用第二鏈結處理的情況下，各個攝影機70係可進行連續拍攝。所謂連續拍攝係指以一定間隔連續地拍攝各個攝影機70所對應的被拍攝區域PA。又，持續照明器具71之點亮的時間之資料係依每一被拍攝區域PA而事先保存於記憶部83來作為參照資訊834。鏈結處理部814係可基於以連續拍攝所取得的各個影像資料所示的亮度值與參照資訊834而檢測與各個被拍攝區域PA之照明圖案一致的影像PH。
例如，針對被拍攝區域PA(1)係使照明器具71(1)點亮一秒，針對被拍攝區域PA(2)係使照明器具71(2)點亮兩秒。鏈結處理部814係可從以各個攝影機70所取得的各個影像資料之中基於平均亮度值等的亮度值而取得適合於各個照明圖案的影像資料。例如，在各個影像與照明器具71(1)對應的攝影機70(1)之影像資料係僅包含有一秒之較亮的影像訊框(image frame)，該較亮的影像訊框係具有超過預定臨限值的平均亮度值。又，在來自與照明器具71(2)對應的攝影機70(2)之影像資料係僅包含有兩秒之上述較亮的影像訊框。如此，以點亮時間 不同的照明圖案來照明各個被拍攝區域PA，藉此亦能夠特定所對應的攝影機70。
在第二鏈結處理的情況下，同時以不同的照明圖案來照明全部的被拍攝區域PA，藉此可針對全部的被拍攝區域PA同時與各個攝影機70進行鏈結。但是，亦可將全部的被拍攝區域PA分成複數個群組(group)並依群組順序進行群組單位的鏈結處理。
在使照明圖案不同的情況下，除了點亮的持續時間以外，還可考慮改變熄滅之持續時間、點亮次數(熄滅次數)當中至少一個。例如，亦可以熄滅之持續時間不同的照明圖案來照明各個被拍攝區域PA。在此情況下，以各個攝影機70所取得的各個影像資料係相應於照明圖案而僅包含有較暗之影像訊框不同的時間，該較暗之影像訊框係具有平均亮度值比預定臨限值更小的平均亮度值。從而，鏈結處理部814係可藉由取得上述較暗之影像訊框的時間來特定與各個被拍攝區域PA對應的攝影機70。
[第三鏈結處理]
在第三鏈結處理中，各個照明器具71係將互為不同顏色之光照射於所對應的被拍攝區域PA，藉此不同的照明圖案可應用於各個被拍攝區域PA。各個攝影機70係可具備彩色影像感測器(color image sensor)以便能夠檢測各個顏色。各個被拍攝區域PA係由不同的顏色所照明，藉此以各個攝影機70所取得的各個影像PH係具有不同的顏色資訊。有關被照射於各個被拍攝區域PA的光之顏色的資訊係事先保存於記憶部83來作為參照資訊834。然後，鏈結處理部814係可藉由影像處理來特定各個影像PH所具有的顏色資訊，並且藉由參考參照資訊834來特定被照射到與該顏色資訊對應的顏色之光的被拍攝區域PA。
在第三鏈結處理的情況下，以不同的顏色來同時照明全部的被拍攝區域PA之各個被拍攝區域PA，藉此可針對全部的被拍攝區域PA同時與各個攝影機70進行鏈結。但是，亦可將全部的被拍攝區域PA分成複數個群組並依群組 順序進行群組單位的鏈結處理。
[第四鏈結處理]
在第四鏈結處理中，各個照明器具71係在以各個攝影機70所取得的各個影像PH間以亮度值分布不同的方式來照明各個被拍攝區域PA，藉此不同的照明圖案可應用於各個被拍攝區域PA。
圖7係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。圖8係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。圖9係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。圖10係示意性地顯示在第四鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。各個影像PH(1)至影像PH(4)係分別包含一個或複數個亮區域LA1。亮區域LA1是具有相對地亮(亮度值比預定之臨限值更大)之亮度值的像素之集合。亮區域LA1之位置係在各個影像PH(1)至影像PH(4)間不同。例如，亮區域LA1係分別在影像PH(1)時存在於靠左上的位置，在影像PH(2)時存在於靠左下的位置，在影像PH(3)時存在於靠右上的位置，在影像PH(4)時存在於靠左下的位置及靠右上的位置。
如圖7至圖10所示，為了在各個影像PH間使亮區域LA1之位置不同，例如可在各個照明器具71間使相對於被拍攝區域PA之相對性的配置位置或照明方向等不同。例如，亦能以已配置於各個腔室10內之不同位置的複數個發光體來構成各個照明器具71。然後，照明控制部812係能以與事先所設定之亮度值分布對應的圖案來使各個照明器具71之各個發光體發光。藉此，能夠在以各個攝影機70所取得的影像PH間使亮度分布之圖案不同。
在採用第四鏈結處理的情況下，顯示依各個被拍攝區域PA的每一個被拍攝區域PA而被應用的亮度值分布之圖案的資料係事先保存於記憶部83來作為參照資訊834。然後，影像處理部815係可檢測亮區域LA1，鏈結處理部814 係可基於參照資訊834而特定與亮度值分布圖案一致的被拍攝區域PA，該亮度值分布圖案係相應於已被檢測出的亮區域LA1。
在第四鏈結處理的情況下，能夠針對複數個被拍攝區域PA同時與各個攝影機70進行鏈結。再者，亦可將全部的被拍攝區域PA分成複數個群組並依順序進行群組單位的鏈結處理。
[第五鏈結處理]
在第五鏈結處理中係能基於被配置於各個被拍攝區域PA內之適當位置的指標物9而鏈結各個攝影機70與各個被拍攝區域PA。指標物9例如是配置於各個洗淨處理單元1之腔室10內且顯示用以識別各個被拍攝區域PA的固有之識別資訊的構件。
圖11係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。圖12係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。圖13係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。圖14係示意性地顯示在第五鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。各個影像PH(1)至影像PH(4)係分別包含一個指標物9之像。各個指標物9係顯示用以識別配置有各個指標物9的被拍攝區域PA之識別資訊。圖11至圖14所示的各個指標物9係顯示被拍攝區域PA已被設定的洗淨處理單元1之識別資訊，具體而言是顯示如「MPC1」、「MPC2」…的字元。各個指標物9係除了字元以外亦可以記號、圖形或這些的組合來顯示所對應的被拍攝區域PA之識別資訊。
在採用第五鏈結處理的情況下，各個指標物9所顯示的識別資訊係事先保存於記憶部83來作為參照資訊834。影像處理部815係處理以攝影機70所取得的各個影像PH，藉此檢測影像PH中所包含的指標物9之像所示的識別資訊。作為此時所應用的影像處理亦可應用例如圖案辨識。鏈結處理部814 係基於所抽出的識別資訊與參照資訊834而特定與各個影像PH對應的被拍攝區域PA。再者，亦可對包含指標物9之像的影像PH應用藉由機械學習所取得的學習完畢模型來特定與該影像PH對應的被拍攝區域PA。
在第五鏈結處理的情況下，能夠從在以各個攝影機70所取得的影像PH中所包含的指標物9來直接特定被拍攝區域PA。因此，能夠適當鏈結各個攝影機70與對應於各個攝影機70的被拍攝區域PA。
在第五鏈結處理的情況下，可針對複數個被拍攝區域PA同時與各個攝影機70進行鏈結。再者，亦可將全部的被拍攝區域PA分成複數個群組並依群組順序進行群組單元的鏈結處理。
[第六鏈結處理]
在第五鏈結處理中係顯示各個被拍攝區域PA的固有之識別資訊來作為被配置於各個被拍攝區域PA內之適當位置的指標物。在第六鏈結處理中係將已配置於各個洗淨處理單元1的可動部作為指標物。可動部係能夠作為藉由控制部8來控制位置的構件。
圖15係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。圖16係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。圖17係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。圖18係示意性地顯示在第六鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。在圖15至圖18所示之例中，屬於可動部之一的噴嘴30係被作為指標物，在各個被拍攝區域PA當中的特定對象之一個被拍攝區域PA中噴嘴30(詳言之為吐出頭31)被配置於旋轉基座21之中心附近的位置L11，在其他的被拍攝區域PA中噴嘴30被配置於已從旋轉基座21之上方離開的位置L12。藉此，在各個影像PH當中僅在一個影像PH中噴嘴30被配置於位置L11，在其他的影像PH中噴嘴30被配置於位置L12。在圖15至圖18所示之例 中，在一個影像PH(1)中噴嘴30被配置於位置L11，在其他的影像PH(2)至影像PH(4)中噴嘴30之吐出頭31被配置於位置L12。因此，可明白與特定對象之被拍攝區域PA對應的攝影機70為攝影機70(1)。如此，針對各個被拍攝區域PA依順序地使可動部移動，藉此能夠針對全部的被拍攝區域PA特定所對應的攝影機70。
[第七鏈結處理]
在第六鏈結處理中係藉由使可動部逐個移動而逐個特定與被拍攝區域PA對應的攝影機70。在第七鏈結處理中係在各個被拍攝區域PA中使各個可動部相對地移動至不同的位置。又，在以各個攝影機70所取得的各個影像PH中檢測出可動部之位置，藉此特定與各個被拍攝區域PA對應的攝影機70。
圖19係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(1)所取得的影像PH(1)的圖。圖20係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(2)所取得的影像PH(2)的圖。圖21係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(3)所取得的影像PH(3)的圖。圖22係示意性地顯示在第七鏈結處理中以攝影機70(4)所取得的影像PH(4)的圖。在圖19至圖22中，屬於可動部之一的噴嘴30係被作為指標物，在各個被拍攝區域PA中使各個噴嘴30相對地移動至不同的位置。在圖19至圖22所示之例中，在各個影像PH(1)至影像PH(4)間噴嘴30之相對位置是不同的。具體而言，噴嘴30之吐出頭31係分別在影像PH(1)中被配置於旋轉基座21上之右緣附近的位置L21，在影像PH(2)中被配置於已從旋轉基座21上離開的位置L22，在影像PH(3)中被配置於旋轉基座21之中心附近的位置L23，在影像PH(4)中被配置於旋轉基座21上之左緣附近的位置L24。
在採用第七鏈結處理的情況下，在各個被拍攝區域PA中配置可動部的位置係事先保存於記憶部83來作為參照資訊834。又，鏈結處理部814係藉由處理以各個攝影機70所取得的各個影像PH來檢測各個影像PH中的可 動部(例如噴嘴30之吐出頭31)，並且檢測可動部之各個影像PH中的位置。可動部之檢測例如能夠應用進行與事先所準備的基準影像之圖案匹配的圖案辨識。又，可動部的位置之取得亦可利用藉由機械學習所取得的學習完畢模型。鏈結處理部814係藉由參考參照資訊834來特定與已被檢測出的可動部之位置一致的被拍攝區域PA。藉此，能夠適當地鏈結各個攝影機70與各個被拍攝區域PA。
在第七鏈結處理的情況下，能夠針對複數個被拍攝區域PA同時與各個攝影機70進行鏈結。再者，亦可將全部的被拍攝區域PA分成複數個群組並且依群組順序進行群組單位的鏈結處理。
再者，成為指標物的可動部係不被限定於噴嘴30。例如除了噴嘴60、65以外還可將夾具銷26作為指標物。又，不僅使一個可動部移動，亦可使複數個可動部移動。亦即，能夠藉由在各個被拍攝區域PA間變更複數個可動部之配置來使在以各個攝影機70所取得之各個影像PH間的可動部之位置不同。從而，能夠藉由在各個影像PH中檢測複數個可動部之位置來針對各個影像PH適當地特定所對應的被拍攝區域PA。
[2.第二實施形態]
其次，針對第二實施形態加以說明。再者，在以後的說明中，有關具有與已說明之要素同樣功能的要素，有的情況是附記相同的符號或追加了字母字元(alphabetic character)的符號並省略詳細的說明。
圖23係第二實施形態的洗淨處理單元1A的概略俯視圖。洗淨處理單元1A係具備兩個攝影機70a、70b。各個攝影機70a、70b之視野係設定於不同的位置。因此，各個攝影機70a、70b係拍攝不同的被拍攝區域PAa、PAb。又，雖然省略圖示但是攝影機70a、70b係將藉由拍攝所取得的影像資料以串列通信發送至控制部8。
在圖23所示之例中，攝影機70a係將被拍攝區域PAa作為拍攝對象，攝影機70b係將被拍攝區域PAb作為拍攝對象。控制部8係接收從各個攝影機70a、70b以串列通信送來的影像資料。雖然在該影像資料中係包含有各個攝影機70a、70b的固有之識別資訊(例如序列號)，但是控制部8係無法在控制部8處特定該序號是否對應於攝影機70a、70b之哪一個或者對應於哪個被拍攝區域PA。因此，為了監視各個被拍攝區域PAa、PAb，需要各個攝影機70a、70b與各個被拍攝區域PAa、PAb的鏈結。
鏈結處理部814係生成鏈結各個攝影機70a、70b與各個被拍攝區域PAa、PAb的鏈結資訊832。鏈結處理部814係基於藉由影像處理部815所為之以各個攝影機70a、70b所取得的各個影像PH之處理而特定所對應的被拍攝區域PAa、PAb。
攝影機70a、70b係在相同的洗淨處理單元1之腔室10的內部以不同的視野進行拍攝。因此，以各個攝影機70a、70b所取得的各個影像PH係具有不同的資訊。具體而言，在比較兩個影像PH時，除了在該兩個影像PH中包含有不共通的物體之像的情況以外，其餘有的情況是相同的物體之像包含於相對不同的位置。因此，例如從影像處理部815檢測用以識別的物體(或者該物體的位置)，藉此鏈結處理部814亦可檢測與被拍攝區域PA對應的影像PH。在此情況下，可將成為每個被拍攝區域PA之檢測對象的物體之資訊(物體之像的影像、位置資訊)事先保存於記憶部83來作為參照資訊834。
亦可在各個被拍攝區域PAa、PAb配置固有之指標物。在此情況下，影像處理部815係可在以各個攝影機70a、70b所取得的各個影像PH中以圖案辨識等之影像處理來檢測各個指標物。鏈結處理部814係可相應於該處理結果而特定與各個影像PH對應的被拍攝區域PAa、PAb。
指標物例如亦可如圖11至圖14所示的指標物9般地設置於各個 被拍攝區域PAa、PAb，且在各個被拍攝區域PAa、PAb以字元、圖形、記號或這些的組合來顯示固有之識別資訊。或者，如圖15至圖18以及圖19至圖22中所說明般，亦可將噴嘴30等的可動部作為指標物。例如可使噴嘴30移動至被拍攝區域PAa、PAb。
再者，基板處理裝置100亦可具備複數個洗淨處理單元1A。在此情況下，亦可應用第一實施形態中所說明的處理與第二實施形態中所說明的處理。具體而言，如在上述「第一鏈結處理」中所說明般，逐個依順序地點亮各個洗淨處理單元1A之各個照明器具71。藉此，由於以已被照明的洗淨處理單元1A之攝影機70a、70b所取得的兩個影像PH會相對地變亮，所以能夠輕易地特定被配置於該洗淨處理單元1A的攝影機70a、70b。而且，能夠藉由鏈結處理部814進行本實施形態中所說明的鏈結處理來適當地鏈結攝影機70a、70b與各自所拍攝的各個被拍攝區域PAa、PAb。
雖然本發明已做詳細說明，但是上述說明在全部的態樣中為例示，本發明並非被限定於此。可解釋為能夠在不脫離本發明之範圍內設想未被例示的無數個變化例。在上述各個實施形態及各個變化例中已說明的各個構成，只要不相互矛盾就能夠做適當組合或省略。
1,1(1)~1(12):洗淨處理單元
8:控制部
10:腔室
70,70(1)~70(12):攝影機
71,71(1)~71(12):照明器具
73:序列匯流排纜線
83:記憶部
85:顯示部
87:輸入部
100:基板處理裝置
812:照明控制部
814:鏈結處理部
815:影像處理部
816:吐出判定部
832:鏈結資訊
834:參照資訊
PA,PA(1)~PA(12):被拍攝區域
PH,PH(1)~PH(12):影像

Claims (18)

  1. 一種基板處理裝置，係用以處理基板，且具備：至少一個處理單元，係處理前述基板；第一攝影機以及第二攝影機，係拍攝包含前述處理單元的被拍攝區域之互為不同的被拍攝區域；以及鏈結處理部，係處理以前述第一攝影機以及前述第二攝影機之各個攝影機所取得的影像，藉此於前述被拍攝區域生成顯示前述處理單元的識別資訊，且生成顯示各個前述被拍攝區域的識別資訊與前述第一攝影機以及前述第二攝影機之各個攝影機之鏈結的鏈結資訊。
  2. 如請求項1所記載之基板處理裝置，其中前述第一攝影機以及前述第二攝影機的資料傳輸方式為串列通信。
  3. 如請求項1所記載之基板處理裝置，其中更進一步具備：第一照明器具，係照明第一個前述被拍攝區域；以及第二照明器具，係照明與第一個前述被拍攝區域不同的第二個前述被拍攝區域。
  4. 如請求項3所記載之基板處理裝置，其中更進一步具備：照明控制部，係控制前述第一照明器具以及前述第二照明器具之各自的點亮以及熄滅之動作；前述鏈結處理部係因應前述影像所示的亮度值而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
  5. 如請求項4所記載之基板處理裝置，其中前述照明控制部係進行：使前述第一照明器具點亮並使前述第二照明器具熄滅的控制以及使前述第一照明器具熄滅並使前述第二照明器具點亮的控制。
  6. 如請求項3所記載之基板處理裝置，其中前述第一照明器具以及前述第二照明器具各自的照明圖案係互為不同；前述鏈結處理部係因應前述照明圖案而特定與前述影像對應的前述被 拍攝區域。
  7. 如請求項6所記載之基板處理裝置，其中前述鏈結處理部係因應前述影像中的亮度值分布而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
  8. 如請求項6所記載之基板處理裝置，其中從前述第一照明器具以及前述第二照明器具之各個照明器具所射出的光之顏色係互為不同；前述鏈結處理部係因應前述影像所具有的顏色資訊而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
  9. 如請求項1所記載之基板處理裝置，其中更進一步具備：記憶部，係記憶顯示與指標物對應的前述被拍攝區域的參照資訊；前述處理單元係包含前述指標物；前述鏈結處理部係基於前述指標物之像以及前述參照資訊而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
  10. 如請求項9所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元係包含在前述被拍攝區域內移動的可動部；前述指標物係包含前述可動部；前述鏈結處理部係基於前述可動部之位置而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
  11. 如請求項9所記載之基板處理裝置，其中前述鏈結處理部係基於圖案匹配而特定與前述影像對應的前述被拍攝區域。
  12. 如請求項1所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元有複數個；前述第一攝影機以及前述第二攝影機各自所拍攝的前述被拍攝區域係設定於互為不同的前述處理單元。
  13. 如請求項5所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元係有複數個； 第一個前述被拍攝區域係設定於第一個前述處理單元，第二個前述被拍攝區域係設定於第二個前述處理單元；前述鏈結處理部係將前述第一攝影機以及前述第二攝影機當中已拍攝到以前述第一攝影機以及前述第二攝影機各自所取得的前述影像當中平均亮度值較大的前述影像之一方鏈結至第一個前述被拍攝區域以及第二個前述被拍攝區域當中已被照明的前述被拍攝區域。
  14. 如請求項1所記載之基板處理裝置，其中前述第一攝影機以及前述第二攝影機係拍攝已被設定於共通之前述處理單元的不同之前述被拍攝區域。
  15. 如請求項1至14中任一項所記載之基板處理裝置，其中前述處理單元當中至少一個處理單元係包含：基板保持部，係將前述基板保持於水平；旋轉馬達，係使前述基板保持部繞著朝向鉛直方向延伸的旋轉軸線進行旋轉；噴嘴，係朝向已由前述基板保持部所保持的前述基板吐出處理液；以及噴嘴移動部，係使前述噴嘴移動至前述第一攝影機以及前述第二攝影機當中一方的攝影機所拍攝的前述被拍攝區域內。
  16. 一種基板處理方法，係用以處理基板，且包含：工序(a)，係在處理單元中處理前述基板；以及工序(b)，係藉由鏈結處理部處理包含前述處理單元的被拍攝區域之被拍攝區域互為不同之第一攝影機以及第二攝影機各自拍攝所取得的影像，藉此於前述被拍攝區域生成顯示前述處理單元的識別資訊，且將各個前述被拍攝區域的識別資訊與前述第一攝影機以及前述第二攝影機的各個攝影機鏈結。
  17. 如請求項16所記載之基板處理方法，其中前述第一攝影機以及前述第二攝影機的資料傳輸方式為串列通信。
  18. 如請求項16或17所記載之基板處理方法，其中前述工序(b)係包含：工序(b-1)，係在使照明第一個前述被拍攝區域的第一照明器具點亮並且使照明第二個前述被拍攝區域的第二照明器具熄滅的狀態下以前述第一攝影機以及前述第二攝影機進行拍攝；工序(b-2)，係將前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之一方的攝影機鏈結於第一個前述被拍攝區域，前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之一方的攝影機係已拍攝到在前述工序(b-1)所取得的前述影像當中平均亮度值較大的前述影像；工序(b-3)，係在使前述第一照明器具熄滅並且使前述第二照明器具點亮的狀態下以前述第一攝影機以及前述第二攝影機進行拍攝；以及工序(b-4)，係將前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之另一方的攝影機鏈結於第二個前述被拍攝區域，前述第一攝影機或前述第二攝影機當中之另一方的攝影機係已拍攝到在前述工序(b-3)所取得的前述影像當中平均亮度值較大的前述影像。
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