TWI718521B - 回流高效率有機廢氣處理系統及其方法 - Google Patents

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TWI718521B
TWI718521B TW108112802A TW108112802A TWI718521B TW I718521 B TWI718521 B TW I718521B TW 108112802 A TW108112802 A TW 108112802A TW 108112802 A TW108112802 A TW 108112802A TW I718521 B TWI718521 B TW I718521B
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扶亞民
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    • B01D53/06—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with moving adsorbents, e.g. rotating beds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
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    • F23G2209/00—Specific waste
    • F23G2209/14—Gaseous waste or fumes

Abstract

本發明為一種回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，主要係將焚燒裝置的排氣能經由回流熱交換器來進行熱回收，並將該焚燒裝置的排氣再經由該回流熱交換器和吸附區出口的淨氣排放管路的排出氣體(吸附處理氣體)進行熱交換，而得以冷卻再輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。

Description

回流高效率有機廢氣處理系統及其方法
本發明係有關於一種回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，尤指一種用來將燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，且不用經過該煙囪來進行排放，使有機廢氣的處理效率能提升，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備。
按，目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經由該處理設備所脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐來進行燃燒，再將燃燒後的氣體來輸送到煙囪來進行排放。
但是近年來，不管是中央政府或是各地方政府都對空氣汙染非常重視，也因此在煙囪的排放標準上訂定了有關懸浮微粒(PM10)及細懸浮微粒(PM2.5)空氣品質標準，並依據其國內健康影響研究結果，以健康影響為優先考量，將「細懸浮微粒(PM2.5)」24小時值訂為35μg/m3、年平均值訂為15μg/m3。且環保署初步訂於民國109(2020)年達成全國細懸浮微粒濃度年平均值15μg/m3的目標，同時將依國際管制趨勢發展，逐期檢討其細懸浮微粒(PM2.5)空氣品質標準，並朝達成WHO提出之空氣品質準則值(24小時值訂為25μg/m3、年平均值訂為10μg/m3)為空氣品質改善目標。
因此，本發明人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有提升有機廢氣處理效率的回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本發明人所欲研發之發明動機者。
本發明之主要目的，在於提供一種回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，主要係將焚燒裝置的排氣能經由回流熱交換器來進行熱回收，並將該焚燒裝置的排氣再經由該回流熱交換器和吸附區出口的淨氣排放管路的排出氣體(吸附處理氣體)進行熱交換，而得以冷卻再輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升，進而增加整體之實用性。
本發明之另一目的，在於提供一種回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，透過該吸附轉輪增設一高溫脫附區，以用來進行在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪能恢復其吸附能力，而增加揮發性有機廢氣的處理效能，並達到減少汙染物排放之效果，進而增加整體之使用性。
本發明之再一目的，在於提供一種回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，透過該淨氣排放管路連接一淨氣旁通管路，該淨氣旁通管路之另一端係與該煙囪排放管路連接，讓該淨氣排放管路在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器之回流冷側管路進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路所連接的淨氣旁通管路來進行旁通分流，使部分 的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路再經由該煙囪進行排放，藉此，透過該淨氣旁通管路來讓該淨氣排放管路能形成分流之效能，進而增加整體之利用性。
為了能夠更進一步瞭解本發明之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發明。
A‧‧‧一側
B‧‧‧另一側
10:焚燒裝置
11:進氣口
12:出氣口
20:吸附轉輪
201:吸附區
202:冷卻區
203:脫附區
204:高溫脫附區
21:廢氣進氣管路
22:淨氣排放管路
221:風車
222:淨氣旁通管路
2221:淨氣旁通控制閥門
23:冷卻氣進氣管路
231:氣體旁通管路
24:冷卻氣輸送管路
241:冷卻氣控制閥門
25:第一熱氣輸送管路
251:熱氣控制閥門
26:第一脫附濃縮氣體管路
261:風車
27:連通管路
271:連通控制閥門
28:高溫脫附濃縮氣體管路
29:高溫熱氣管路
30:第一熱交換器
301:第一冷側管路
302:第一熱側管路
40:第一加熱裝置
50:第二熱交換器
501:第二冷側管路
502:第二熱側管路
51:第二熱氣回收管路
52:第二焚燒熱氣回收管路
53:第二脫附濃縮氣體輸送管路
60:回流熱交換器
601:回流冷側管路
602:回流熱側管路
61:回流熱氣回收管路
62:回流回收管路
621:風車
70:除塵設備
80:煙囪
81:煙囪排放管路
811‧‧‧風車
90‧‧‧第二加熱裝置
91‧‧‧第二熱氣輸送管路
92‧‧‧第二外氣進氣管路
S100‧‧‧吸附區吸附
S110‧‧‧冷卻區冷卻
S120‧‧‧脫附區脫附
S130‧‧‧焚燒氣體回收輸送
S140‧‧‧經過回流回收管路
S200‧‧‧吸附區吸附
S210‧‧‧冷卻區冷卻
S220‧‧‧脫附區脫附
S230‧‧‧脫附濃縮氣體輸送
S240‧‧‧焚燒氣體回收輸送
S250‧‧‧焚燒氣體再輸送
S260‧‧‧經過回流回收管路
S300‧‧‧吸附區吸附
S310‧‧‧冷卻區冷卻
S320‧‧‧脫附區脫附
S330‧‧‧脫附濃縮氣體輸送
S340‧‧‧焚燒氣體回收輸送
S350‧‧‧焚燒氣體再輸送
S360‧‧‧經過回流回收管路
第1圖係為本發明之第一種實施方式的主要步驟流程圖。
第2圖係為本發明之第一種實施方式的主要架構示意圖。
第3圖係為本發明之第一種實施方式具有淨氣旁通管路的架構示意圖。
第4圖係為本發明之第一種實施方式的具有淨氣旁通管路的另一架構示意圖。
第5圖係為本發明之第一種實施方式具有高溫脫附區的架構示意圖。
第6圖係為本發明之第一種實施方式具有高溫脫附區的另一架構示意圖。
第7圖係為本發明之第二種實施方式的主要步驟流程圖。
第8圖係為本發明之第二種實施方式的主要架構示意圖。
第9圖係為本發明之第二種實施方式具有淨氣旁通管路的架構示意圖。
第10圖係為本發明之第二種實施方式的具有淨氣旁通管路的另一架 構示意圖。
第11圖係為本發明之第二種實施方式具有高溫脫附區的架構示意圖。
第12圖係為本發明之第二種實施方式具有高溫脫附區的另一架構示意圖。
第13圖係為本發明之第三種實施方式的主要步驟流程圖。
第14圖係為本發明之第三種實施方式的主要架構示意圖。
第15圖係為本發明之第三種實施方式具有淨氣旁通管路的架構示意圖。
第16圖係為本發明之第三種實施方式的具有淨氣旁通管路的另一架構示意圖。
第17圖係為本發明之第三種實施方式具有高溫脫附區的架構示意圖。
第18圖係為本發明之第三種實施方式具有高溫脫附區的另一架構示意圖。
請參閱第1~18圖，係為本發明實施例之示意圖，而本發明之回流高效率有機廢氣處理系統及其方法的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的揮發有機廢氣處理系統或類似設備，主要是將燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，且不經過該煙囪來進行排放，使有機廢氣的處理效率能提升。
而本發明第一種實施方式(如第2圖至第6圖所示)的回流 高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一焚燒裝置10、一吸附轉輪20、一第一加熱裝置40及一回流熱交換器60，其中該回流熱交換器60係設有回流冷側管路601及回流熱側管路602，該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62，而該焚燒裝置10係設有至少一進氣口11及至少一出氣口12，且該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入燃燒，再讓經過燃燒後之氣體由該出氣口12來排出。
而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25及一第一脫附濃縮氣體管路26，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側A，以使該吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側B連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。
另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內 提供降溫使用，另第二種實施態樣係為該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。
另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側B連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該第一加熱裝置40的一端連接，以能將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該第一加熱裝置40內進行加熱，另該第一加熱裝置40的另一端係與該第一熱氣輸送管路25的另一端連接，而該第一熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側A係與該第一脫附濃縮氣體管路26的一端連接，該第一脫附濃縮氣體管路26的另一端係與該焚燒裝置10之進氣口11連接，使將經由該第一加熱裝置40所提升之熱氣能透過該第一熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送到該焚燒裝置10之進氣口11內。另該第一加熱裝置40係為加熱器或管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。另該第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261，以能將該第一脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。
另本發明第一種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該 第一熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該第一熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該第一熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。
另該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62，該回流熱交換器60之回流冷側管路601的一端係與該淨氣排放管路22的另一端連接，該回流熱氣回收管路61的一端係與該回流熱交換器60之回流熱側管路602的一端連接，該回流熱氣回收管路61的另一端該焚燒裝置10之出氣口12連接，該回流回收管路62的一端係與該回流熱側管路602的另一端連接，該回流回收管路62的另一端係與該廢氣進氣管路21連接。再者，該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上及該回流回收管路62上係可以同時各設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流回收管路6 2上來單獨設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上來單獨設有一除塵設備70來使用，讓經過該回流熱氣回收管路61內的氣體或是經過該回流回收管路62的氣體可以透過該除塵設備70進行過濾，其中該除塵設備70係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器60之回流回收管路62係設有一風車621，以能將該回流回收管路62內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由連接的回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602進行熱回收，再透過該回流回收管路62來輸送到該除塵設備70內以進行粉塵或二氧化矽(SiO2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備70所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪80來進行排放，讓該煙囪80的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。
而該回流熱交換器60係連接一煙囪80，該煙囪80係設有一煙囪排放管路81，該煙囪排放管路81的一端係與該煙囪80連接，該煙囪排放管路81的另一端係與該回流熱交換器60之回流冷側管路601的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能 進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路81來輸送到煙囪80來進行排放，且該煙囪排放管路81係設有一風車811，以能將該煙囪排放管路81內的氣體推向該煙囪80內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器60之回流冷側管路601內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路81連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路81再經由該煙囪80進行排放。另該淨氣旁通管路222係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。
而本發明第一種實施方式中的吸附轉輪20除了設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203外，還增設有一高溫脫附區204，該高溫脫附區204係設有一高溫脫附濃縮氣體管路28及一高溫熱氣管路29，以用來在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪20能恢復其吸附能力，使該吸附轉輪20能具有四個區域。而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，且該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端 係與該第一脫附濃縮氣體管路26連接，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該第一脫附濃縮氣體管路26內，另該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側B係與高溫熱氣管路29的一端連接，其中該高溫熱氣管路29係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二熱氣輸送管路91，該第二熱氣輸送管路91的一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，該第二熱氣輸送管路91的另一端係與該第二加熱裝置90連接。另第二種實施態樣係該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二外氣進氣管路92，該第二外氣進氣管路92的另一端係與該第二加熱裝置90連接，該第二外氣進氣管路92係為供新鮮空氣或是外氣來進入。而上述所稱之第二加熱裝置90係為加熱器及管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一，以讓進入該吸附轉輪20之高溫脫附區204的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，來供進行高溫脫附使用。
本發明第一種實施方式(如第1圖至第6圖所示)的回流高效率有機廢氣處理方法，其主要係用於有機廢氣處理系統，係包括有一焚燒裝置10，一吸附轉輪20、一第一加熱裝置40及一回流熱交換器60，該吸附轉輪20係設有吸附區201、脫附區203及冷卻區202，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一 冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25及一第一脫附濃縮氣體管路26，該回流熱交換器60係設有回流冷側管路601及回流熱側管路602，該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62。而該焚燒裝置10係設有至少一進氣口11及至少一出氣口12，且該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入燃燒，再讓經過燃燒後之氣體由該出氣口12來排出。
而該處理方法的主要步驟(如第1圖所示)係包括：步驟S100吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路21的另一端來送入該吸附轉輪20之吸附區201的一側A進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路22的另一端來輸送到該回流熱交換器60之回流冷側管路601的一端。而完成上述步驟S100後即進行下一步驟S110。
其中上述之步驟S100中該回流熱交換器60係連接一煙囪80，該煙囪80係設有一煙囪排放管路81，該煙囪排放管路81的一端係與該煙囪80連接，該煙囪排放管路81的另一端係與該回流熱交換器60之回流冷側管路601的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路81來輸送到煙囪80來進行排放，且該煙囪排放管路81係設有一風車811，以能將該煙囪排放管路81內的氣體推向該煙囪80內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器60之回流冷側管路601內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管 路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路81連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路81再經由該煙囪80進行排放。另該淨氣旁通管路222係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。
另，下一步進行的步驟S110冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路23的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪20之冷卻區202進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路24的另一端來將經過冷卻區202之冷卻氣輸送到該第一加熱裝置40的一端。而完成上述步驟S110後即進行下一步驟S120。
其中上述之步驟S110中該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係為該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣 輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。另該第一加熱裝置40係為加熱器或管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。
另，下一步進行的步驟S120脫附區脫附：透過與第一加熱裝置40的另一端所連接的第一熱氣輸送管路25來將熱氣體輸送到該吸附轉輪20之脫附區203進行脫附，再透過該第一脫附濃縮氣體管路26的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到該焚燒裝置10之進氣口11。而完成上述步驟S120後即進行下一步驟S130。
其中該上述之步驟S120中該第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261，以能將該第一脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。另該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該第一熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該連通控 制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該第一熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。
另，下一步進行的步驟S130焚燒氣體回收輸送：將經過焚燒後之氣體透過與該焚燒裝置10之出氣口12所連接的回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602的一端。而完成上述步驟S130後即進行下一步驟S140。
另，下一步進行的步驟S140經過回流回收管路：將輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602的焚燒後之氣體，再經由與回流熱交換器60之回流熱側管路602的另一端所連接的回流回收管路62來輸送到該廢氣進氣管路21的一端。
其中該上述之步驟S140中該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上及該回流回收管路62上係可以同時各設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流回收管路62上來單獨設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上來單獨設有一除塵設備70來使用，讓經過該回流熱氣回收管路61內的氣體或是經過該回流回收管路62的氣體可以透過該除塵設備70進行過濾，其中該除塵設備70係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵 器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器60之回流回收管路62係設有一風車621，以能將該回流回收管路62內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該回流熱氣回收管路61輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602進行熱回收，再透過該回流回收管路62來輸送到該除塵設備70內以進行粉塵或二氧化矽(SiO2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備70所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪80來進行排放，讓該煙囪80的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。
而而本發明第一種實施方式中的吸附轉輪20除了設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203外，還增設有一高溫脫附區204，該高溫脫附區204係設有一高溫脫附濃縮氣體管路28及一高溫熱氣管路29，以用來在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪20能恢復其吸附能力，使該吸附轉輪20能具有四個區域。而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，且該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路26連接，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該第一脫附濃縮氣體管路26內，另該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側B係與高溫熱氣管路29的一端連接，其中該高溫熱氣管路29係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該高溫熱 氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二熱氣輸送管路91，該第二熱氣輸送管路91的一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，該第二熱氣輸送管路91的另一端係與該第二加熱裝置90連接。另第二種實施態樣係該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二外氣進氣管路92，該第二外氣進氣管路92的另一端係與該第二加熱裝置90連接，該第二外氣進氣管路92係為供新鮮空氣或是外氣來進入。而上述所稱之第二加熱裝置90係為加熱器及管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一，以讓進入該吸附轉輪20之高溫脫附區204的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，來供進行高溫脫附使用。
而本發明第二種實施方式(如第8圖至第12圖所示)的回流高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一焚燒裝置10、一吸附轉輪20、一第一加熱裝置40、第二熱交換器50及一回流熱交換器60，其中該第二熱交換器50係設有第二冷側管路501及第二熱側管路502，該第二熱交換器50係連接有一第二焚燒熱氣回收管路52及一第二脫附濃縮氣體輸送管路53，該回流熱交換器60係設有回流冷側管路601及回流熱側管路602，該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62，而該焚燒裝置10係設有至少一進氣口11及至少一出氣口12，且該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一，使該有機廢氣能由該進氣口11來 進入燃燒，再讓經過燃燒後之氣體由該出氣口12來排出。
而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25及一第一脫附濃縮氣體管路26，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側A，以使該吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側B連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。
另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。
另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側B連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該第 一加熱裝置40的一端連接，以能將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該第一加熱裝置40內進行加熱，另該第一加熱裝置40的另一端係與該第一熱氣輸送管路25的另一端連接，而該第一熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側A係與該第一脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經由該第一加熱裝置40所提升之熱氣能透過該第一熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送。另該第一加熱裝置40係為加熱器或管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。另該第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261，以能將該第一脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。
另本發明第二種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該第一熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過 該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該第一熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。
另該第二熱交換器50係連接有一第二焚燒熱氣回收管路52及一第二脫附濃縮氣體輸送管路53，其中該第二焚燒熱氣回收管路52的一端係與該第二熱交換器50之第二熱側管路502的一端連接，該第二焚燒熱氣回收管路52的另一端係與該焚燒裝置10之出氣口12連接，該第一脫附濃縮氣體管路26的一端係與該第二熱交換器50之第二冷側管路501的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路53的一端係與該第二熱交換器50之第二冷側管路501的一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路53的另一端係與該焚燒裝置10之進氣口11連接。藉此，讓經由該第二熱交換器50之第二冷側管路501所輸送的脫附濃縮氣體能透過該第二脫附濃縮氣體輸送管路53來輸送到該焚燒裝置10之進氣口11，再將經過該焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該出氣口12來透過該第二焚燒熱氣回收管路52來輸送到該第二熱交換器50之第二熱側管路502內進行熱回收。
另該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62，該回流熱交換器60之回流冷側管路601的一端係與該淨氣排放管路22的另一端連接，該回流熱氣回收管路61的一端係與該回流熱交換器60之回流熱側管路602的一端連接，該回流熱 氣回收管路61的另一端係與該第二熱交換器50之第二熱側管路502的另一端連接，該回流回收管路62的一端係與該回流熱側管路602的另一端連接，該回流回收管路62的另一端係與該廢氣進氣管路21連接。再者，該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上及該回流回收管路62上係可以同時各設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流回收管路62上來單獨設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上來單獨設有一除塵設備70來使用，讓經過該回流熱氣回收管路61內的氣體或是經過該回流回收管路62的氣體可以透過該除塵設備70進行過濾，其中該除塵設備70係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器60之回流回收管路62係設有一風車621，以能將該回流回收管路62內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該直焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該第二熱交換器50之第二熱側管路502所連接的回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602進行熱回收，再透過該回流回收管路62來輸送到該除塵設備70內以進行粉塵或二氧化矽(SiO2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備70所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體 能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪80來進行排放，讓該煙囪80的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。
而該回流熱交換器60係連接一煙囪80，該煙囪80係設有一煙囪排放管路81，該煙囪排放管路81的一端係與該煙囪80連接，該煙囪排放管路81的另一端係與該回流熱交換器60之回流冷側管路601的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路81來輸送到煙囪80來進行排放，且該煙囪排放管路81係設有一風車811，以能將該煙囪排放管路81內的氣體推向該煙囪80內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器60之回流冷側管路601內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路81連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路81再經由該煙囪80進行排放。另該淨氣旁通管路222係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。
而本發明第二種實施方式中的吸附轉輪20除了設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203外，還增設有一高溫脫附區204，該高溫脫附區204係設有一高溫脫附濃縮氣體管路28及一高溫熱氣管路29，以用來在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪20能恢復其吸附能力，使該吸附轉輪20能具有四個區域。而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，且該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路26連接，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該第一脫附濃縮氣體管路26內，另該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側B係與高溫熱氣管路29的一端連接，其中該高溫熱氣管路29係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二熱氣輸送管路91，該第二熱氣輸送管路91的一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，該第二熱氣輸送管路91的另一端係與該第二加熱裝置90連接。另第二種實施態樣係該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二外氣進氣管路92，該第二外氣進氣管路92的另一端係與該第二加熱裝置90連接，該第二外氣進氣管路92係為供新鮮空氣或是外氣來進入。而上述所稱之第二加熱裝置90係為加熱器及管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一，以讓進入該吸附轉輪20之高 溫脫附區204的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，來供進行高溫脫附使用。
本發明第二種實施方式(如第7圖至第12圖所示)的回流高效率有機廢氣處理方法，其主要係用於有機廢氣處理系統，係包括有一焚燒裝置10，一吸附轉輪20、一第一加熱裝置40、一第二熱交換器50及一回流熱交換器60，該吸附轉輪20係設有吸附區201、脫附區203及冷卻區202，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25及一第一脫附濃縮氣體管路26，該第二熱交換器50係設有第二冷側管路501及第二熱側管路502，該第二熱交換器50係連接有一第二焚燒熱氣回收管路52及一第二脫附濃縮氣體輸送管路53，該回流熱交換器60係設有回流冷側管路601及回流熱側管路602，該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62。而該焚燒裝置10係設有至少一進氣口11及至少一出氣口12，且該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入燃燒，再讓經過燃燒後之氣體由該出氣口12來排出。
而該處理方法的主要步驟(如第7圖所示)係包括：步驟S200吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路21的另一端來送入該吸附轉輪20之吸附區201的一側A進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路22的另一端來輸送到該回流熱交換器60之回流冷側管路601的一端。而完成上述步驟S200後即進行下一步驟S210。
其中上述之步驟S200中該回流熱交換器60係連接一煙囪80，該煙囪80係設有一煙囪排放管路81，該煙囪排放管路81的一端係與該煙囪80連接，該煙囪排放管路81的另一端係與該回流熱交換器60之回流冷側管路601的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路81來輸送到煙囪80來進行排放，且該煙囪排放管路81係設有一風車811，以能將該煙囪排放管路81內的氣體推向該煙囪80內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器60之回流冷側管路601內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路81連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路81再經由該煙囪80進行排放。另該淨氣旁通管路222係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。
另，下一步進行的步驟S210冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路23的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪20之冷卻區202進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路24的另一端來將經過冷卻區202之 冷卻氣輸送到該第一加熱裝置40的一端。而完成上述步驟S210後即進行下一步驟S220。
其中上述之步驟S210中該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。另該第一加熱裝置40係為加熱器或管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。
另，下一步進行的步驟S220脫附區脫附：透過與第一加熱裝置40的另一端所連接的第一熱氣輸送管路25來將熱氣體輸送到該吸附轉輪20之脫附區203進行脫附，再透過該第一脫附濃縮氣體管路26的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器50之第二冷側管路501的一端。而完成上述步驟S220後即進行下一步驟S230。
其中該上述之步驟S220中該第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261，以能將該第一脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。另該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之 間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該第一熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該第一熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。
另，下一步進行的步驟5230脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器50之第二冷側管路501的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路53來輸送到該焚燒裝置10之進氣口11。而完成上述步驟S230後即進行下一步驟S240。
另，下一步進行的步驟S240焚燒氣體回收輸送：將經過焚燒後之氣體透過與該焚燒裝置10之出氣口12所連接的第二焚燒熱氣回收管路52輸送到該第二熱交換器50之第二熱側管路502的一端。而完成上述步驟S240後即進行下一步驟S250。
另，下一步進行的步驟S250焚燒氣體再輸送：將輸送到 該第二熱交換器50之第二熱側管路502的焚燒後之氣體，再經由與該第二熱交換器50之第二熱側管路502的另一端所連接的回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602的一端。而完成上述步驟S250後即進行下一步驟S260。
另，下一步進行的步驟S260經過回流回收管路：將輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602的焚燒後之氣體，再經由與回流熱交換器60之回流熱側管路602的另一端所連接的回流回收管路62來輸送到該廢氣進氣管路21的一端。
其中該上述之步驟S260中該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上及該回流回收管路62上係可以同時各設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流回收管路62上來單獨設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上來單獨設有一除塵設備70來使用，讓經過該回流熱氣回收管路61內的氣體或是經過該回流回收管路62的氣體可以透過該除塵設備70進行過濾，其中該除塵設備70係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器，低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器60之回流回收管路62係設有一風車621，以能將該回流回收管路62內的氣體推向該廢氣進氣管 路21內。藉此，將經過該焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該第二熱交換器50之第二熱側管路502來傳遞到該回流熱氣回收管路61，再輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602進行熱回收，再透過該回流回收管路62來輸送到該除塵設備70內以進行粉塵或二氧化矽(SiO2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備70所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪80來進行排放，讓該煙囪80的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。
而本發明第二種實施方式中的吸附轉輪20除了設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203外，還增設有一高溫脫附區204，該高溫脫附區204係設有一高溫脫附濃縮氣體管路28及一高溫熱氣管路29，以用來在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪20能恢復其吸附能力，使該吸附轉輪20能具有四個區域。而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，且該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路26連接，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該第一脫附濃縮氣體管路26內，另該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側B係與高溫熱氣管路29的一端連接，其中該高溫熱氣管路29係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二熱氣輸送管路91，該第二熱氣輸送管路91的一端係與該第一 熱氣輸送管路25連接，該第二熱氣輸送管路91的另一端係與該第二加熱裝置90連接。另第二種實施態樣係該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二外氣進氣管路92，該第二外氣進氣管路92的另一端係與該第二加熱裝置90連接，該第二外氣進氣管路92係為供新鮮空氣或是外氣來進入。而上述所稱之第二加熱裝置90係為加熱器及管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一，以讓進入該吸附轉輪20之高溫脫附區204的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，來供進行高溫脫附使用。
而本發明第三種實施方式(如第14圖至第18圖所示)的回流高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一焚燒裝置10、一吸附轉輪20、一第一熱交換器30、第二熱交換器50及一回流熱交換器60，其中該第一熱交換器30係設有第一冷側管路301及第一熱側管路302，該第二熱交換器50係設有第二冷側管路501及第二熱側管路502，該第二熱交換器50係連接有一第二熱氣回收管路51、一第二焚燒熱氣回收管路52及一第二脫附濃縮氣體輸送管路53，該回流熱交換器60係設有回流冷側管路601及回流熱側管路602，該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62，而該焚燒裝置10係設有至少一進氣口11及至少一出氣口12，且該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入燃燒，再讓經過燃燒後之氣體由該出氣 口12來排出。
而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25及一第一脫附濃縮氣體管路26，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側A，以使該吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側B連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。
另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。
另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側B連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該第 一熱交換器30之第一冷側管路301的一端連接，以能將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該第一熱交換器30內進行熱交換，另該第一熱交換器30之第一冷側管路301的另一端係與該第一熱氣輸送管路25的另一端連接，而該第一熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側A係與該第一脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經由該第一熱交換器30所提升之熱氣能透過該第一熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送。另該第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261，以能將該第一脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。
另本發明第三種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該第一熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的 比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該第一熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。
另該第二熱交換器50係連接有一第二熱氣回收管路51、一第二焚燒熱氣回收管路52及一第二脫附濃縮氣體輸送管路53，其中該第二焚燒熱氣回收管路52的一端係與該第二熱交換器50之第二熱側管路502的一端連接，該第二焚燒熱氣回收管路52的另一端係與該焚燒裝置10之出氣口12連接，該第二熱氣回收管路51的一端係與該第二熱交換器50之第二熱側管路502的另一端連接，該第二熱氣回收管路51的另一端係與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的一端連接，該第一脫附濃縮氣體管路26的一端係與該第二熱交換器50之第二冷側管路501的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路53的一端係與該第二熱交換器50之第二冷側管路501的一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路53的另一端係與該焚燒裝置10之進氣口11連接。藉此，讓經由該第二熱交換器50之第二冷側管路501所輸送的脫附濃縮氣體能透過該第二脫附濃縮氣體輸送管路53來輸送到該焚燒裝置10之進氣口11，再將經過該焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該出氣口12來透過該第二焚燒熱氣回收管路52來輸送到該第二熱交換器50之第二熱側管路502內進行熱回收，並經由該第二熱氣回收管路51來輸送到該第一熱交換器30之第一熱側管路302內進行熱回收。
另該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62，該回流熱交換器60之回流冷側管路601的一 端係與該淨氣排放管路22的另一端連接，該回流熱氣回收管路61的一端係與該回流熱交換器60之回流熱側管路602的一端連接，該回流熱氣回收管路61的另一端係與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的另一端連接，該回流回收管路62的一端係與該回流熱側管路602的另一端連接，該回流回收管路62的另一端係與該廢氣進氣管路21連接。再者，該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上及該回流回收管路62上係可以同時各設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流回收管路62上來單獨設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上來單獨設有一除塵設備70來使用，讓經過該回流熱氣回收管路61內的氣體或是經過該回流回收管路62的氣體可以透過該除塵設備70進行過濾，其中該除塵設備70係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器60之回流回收管路62係設有一風車621，以能將該回流回收管路62內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該直焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該第二熱交換器50之第二熱側管路502來傳遞到該第一熱交換器30之第一熱側管路302內，再經由該回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602進 行熱回收，再透過該回流回收管路62來輸送到該除塵設備70內以進行粉塵或二氧化矽(SiO2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備70所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪80來進行排放，讓該煙囪80的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。
而該回流熱交換器60係連接一煙囪80，該煙囪80係設有一煙囪排放管路81，該煙囪排放管路81的一端係與該煙囪80連接，該煙囪排放管路81的另一端係與該回流熱交換器60之回流冷側管路601的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路81來輸送到煙囪80來進行排放，且該煙囪排放管路81係設有一風車811，以能將該煙囪排放管路81內的氣體推向該煙囪80內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器60之回流冷側管路601內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路81連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路81再經由該煙囪80進行排放。另該淨氣旁通管路222係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該 淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。
而本發明第三種實施方式中的吸附轉輪20除了設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203外，還增設有一高溫脫附區204，該高溫脫附區204係設有一高溫脫附濃縮氣體管路28及一高溫熱氣管路29，以用來在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪20能恢復其吸附能力，使該吸附轉輪20能具有四個區域。而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，且該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路26連接，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該第一脫附濃縮氣體管路26內，另該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側B係與高溫熱氣管路29的一端連接，其中該高溫熱氣管路29係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二熱氣輸送管路91，該第二熱氣輸送管路91的一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，該第二熱氣輸送管路91的另一端係與該第二加熱裝置90連接。另第二種實施態樣係該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二外氣進氣管路92，該第二外氣進氣管路92的另一端係與該第二加熱裝置90連接，該第二外氣進氣管路92係為供新鮮空氣或是外氣來進入。而上述所稱之第二加熱裝置90係為加熱器及管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未 示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一，以讓進入該吸附轉輪20之高溫脫附區204的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，來供進行高溫脫附使用。
本發明第三種實施方式(如第13圖至第18圖所示)的回流高效率有機廢氣處理方法，其主要係用於有機廢氣處理系統，係包括有一焚燒裝置10，一吸附轉輪20、一第一熱交換器30、一第二熱交換器50及一回流熱交換器60，該吸附轉輪20係設有吸附區201、脫附區203及冷卻區202，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25及一第一脫附濃縮氣體管路26，該第一熱交換器30係設有第一冷側管路301及第一熱側管路302，該第二熱交換器50係設有第二冷側管路501及第二熱側管路502，該第二熱交換器50係連接有一第二熱氣回收管路51、一第二焚燒熱氣回收管路52及一第二脫附濃縮氣體輸送管路53，該回流熱交換器60係設有回流冷側管路601及回流熱側管路602，該回流熱交換器60係連接有一回流熱氣回收管路61及一回流回收管路62。而該焚燒裝置10係設有至少一進氣口11及至少一出氣口12，且該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一，使該有機廢氣能由該進氣口11來進入燃燒，再讓經過燃燒後之氣體由該出氣口12來排出。
而該處理方法的主要步驟(如第13圖所示)係包括：步驟S300吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路21的另一端來送入該 吸附轉輪20之吸附區201的一側A進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路22的另一端來輸送到該回流熱交換器60之回流冷側管路601的一端。而完成上述步驟S300後即進行下一步驟S310。
其中上述之步驟S300中該回流熱交換器60係連接一煙囪80，該煙囪80係設有一煙囪排放管路81，該煙囪排放管路81的一端係與該煙囪80連接，該煙囪排放管路81的另一端係與該回流熱交換器60之回流冷側管路601的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體能進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路81來輸送到煙囪80來進行排放，且該煙囪排放管路81係設有一風車811，以能將該煙囪排放管路81內的氣體推向該煙囪80內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221，以能將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器60之回流冷側管路601內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路81連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器60之回流冷側管路601進行熱交換外，還能透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體能直接流到該煙囪排放管路81再經由該煙囪80進行排放。另該淨氣旁通管路222係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。
另，下一步進行的步驟S310冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路23的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪20之冷卻區202進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路24的另一端來將經過冷卻區202之冷卻氣輸送到該第一熱交換器30之第一冷側管路301的一端。而完成上述步驟S310後即進行下一步驟S320。
其中上述之步驟S310中該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。
另，下一步進行的步驟S320脫附區脫附：透過與第一熱交換器30之第一冷側管路301的另一端所連接的第一熱氣輸送管路25來將熱氣體輸送到該吸附轉輪20之脫附區203進行脫附，再透過該第一脫附濃縮氣體管路26的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器50之第二冷側管路501的一端。而完成上述步驟S320後即進行下一步驟S330。
其中該上述之步驟S310中該第一脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261，以能將該第一脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃 縮氣體進行抽送。另該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該第一熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該第一熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該第一熱氣輸送管路25內的溫度能保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。
另，下一步進行的步驟S330脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器50之第二冷側管路502的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路53來輸送到該焚燒裝置10之進氣口11。而完成上述步驟S330後即進行下一步驟S340。
另，下一步進行的步驟S340焚燒氣體回收輸送：將經過焚燒後之氣體透過與該焚燒裝置10之出氣口12所連接的第二焚燒熱氣回收管路52輸送到該第二熱交換器50之第二熱側管路502的一端，再由該第二熱交換器50之第二熱側管路502的另一端所連接的第二熱 氣回收管路51輸送到該第一熱交換器30之第一熱側管路302的一端。而完成上述步驟S340後即進行下一步驟S350。
另，下一步進行的步驟S350焚燒氣體再輸送：將輸送到該第一熱交換器30之第一熱側管路302的焚燒後之氣體，再經由與該第一熱交換器30之第一熱側管路302的另一端所連接的回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602的一端。而完成上述步驟S350後即進行下一步驟S360。
另，下一步進行的步驟S360經過回流回收管路：將輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602的焚燒後之氣體，再經由與回流熱交換器60之回流熱側管路602的另一端所連接的回流回收管路62來輸送到該廢氣進氣管路21的一端。
其中該上述之步驟S360中該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上及該回流回收管路62上係可以同時各設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流回收管路62上來單獨設有一除塵設備70來使用，或是只於該回流熱交換器60之回流熱氣回收管路61上來單獨設有一除塵設備70來使用，讓經過該回流熱氣回收管路61內的氣體或是經過該回流回收管路62的氣體可以透過該除塵設備70進行過濾，其中該除塵設備70係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵 器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器60之回流回收管路62係設有一風車621，以能將該回流回收管路62內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該焚燒裝置10所燃燒後之氣體能由該第二熱交換器50之第二熱側管路502來傳遞到該第一熱交換器30之第一熱側管路302內，再經由該回流熱氣回收管路61來輸送到該回流熱交換器60之回流熱側管路602進行熱回收，再透過該回流回收管路62來輸送到該除塵設備70內以進行粉塵或二氧化矽(SiO2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備70所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體能進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪80來進行排放，讓該煙囪80的排放量能降低，並使有機廢氣的處理效率能提升。
而本發明第三種實施方式中的吸附轉輪20除了設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203外，還增設有一高溫脫附區204，該高溫脫附區204係設有一高溫脫附濃縮氣體管路28及一高溫熱氣管路29，以用來在線運轉(ON LINE)時，能將所殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，讓該吸附轉輪20能恢復其吸附能力，使該吸附轉輪20能具有四個區域。而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，且該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路26連接，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該第一脫附濃縮氣體管路26內，另該吸附轉輪20之 高溫脫附區204的另一側B係與高溫熱氣管路29的一端連接，其中該高溫熱氣管路29係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二熱氣輸送管路91，該第二熱氣輸送管路91的一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，該第二熱氣輸送管路91的另一端係與該第二加熱裝置90連接。另第二種實施態樣係該高溫熱氣管路29的另一端係連接一第二加熱裝置90，該第二加熱裝置90係設有一第二外氣進氣管路92，該第二外氣進氣管路92的另一端係與該第二加熱裝置90連接，該第二外氣進氣管路92係為供新鮮空氣或是外氣來進入。而上述所稱之第二加熱裝置90係為加熱器及管道加熱器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一，以讓進入該吸附轉輪20之高溫脫附區204的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，來供進行高溫脫附使用。
由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本發明的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出發明專利申請。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍；故，凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
S100‧‧‧吸附區吸附
S110‧‧‧冷卻區冷卻
S120‧‧‧脫附區脫附
S130‧‧‧焚燒氣體回收輸送
S140‧‧‧經過回流回收管路

Claims (42)

  1. 一種回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一焚燒裝置，該焚燒裝置係設有至少一進氣口及至少一出氣口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該第一熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接，該第一脫附濃縮氣體管路的另一端係與該焚燒裝置之進氣口連接；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第一加熱裝置的另一端係與該第一熱氣輸送管路的另一端連接；以及一回流熱交換器，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，該回流冷側管路的一端係與該淨氣排放管路的另一端連接，該回流熱氣回收管路的一端係與該回流熱側管路的一端連接，該回流熱氣回收管路的另一端係與該焚燒裝置之出氣口連接，該回流回收管路的一端係與該回流熱側管路的另一端連接，該回流回收管路的另一端係與該廢氣進氣 管路連接。
  2. 一種回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一焚燒裝置，該焚燒裝置係設有至少一進氣口及至少一出氣口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該第一熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第一加熱裝置的另一端係與該第一熱氣輸送管路的另一端連接；一第二熱交換器，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二焚燒熱氣回收管路及一第二脫附濃縮氣體輸送管路，該第二焚燒熱氣回收管路的一端係與該第二熱側管路的一端連接，該第二焚燒熱氣回收管路的另一端係與該焚燒裝置之出氣口連接，該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該第二冷側管路的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第二冷側管路的一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該焚燒裝置之進氣口連接；以及 一回流熱交換器，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，該回流冷側管路的一端係與該淨氣排放管路的另一端連接，該回流熱氣回收管路的一端係與該回流熱側管路的一端連接，該回流熱氣回收管路的另一端係與該第二熱交換器之第二熱側管路的另一端連接，該回流回收管路的一端係與該回流熱側管路的另一端連接，該回流回收管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接。
  3. 一種回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一焚燒裝置，該焚燒裝置係設有至少一進氣口及至少一出氣口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該第一熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接；一第一熱交換器，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第一冷側管路的一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第一冷側管路的另一端係與該第一熱氣輸送管路的另一端連接； 一第二熱交換器，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二熱氣回收管路、一第二焚燒熱氣回收管路及一第二脫附濃縮氣體輸送管路，該第二焚燒熱氣回收管路的一端係與該第二熱側管路的一端連接，該第二焚燒熱氣回收管路的另一端係與該焚燒裝置之出氣口連接，該第二熱氣回收管路的一端係與該第二熱側管路的另一端連接，該第二熱氣回收管路的另一端係與該第一熱交換器之第一熱側管路的一端連接，該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該第二冷側管路的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第二冷側管路的一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該焚燒裝置之進氣口連接；以及一回流熱交換器，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，該回流冷側管路的一端係與該淨氣排放管路的另一端連接，該回流熱氣回收管路的一端係與該回流熱側管路的一端連接，該回流熱氣回收管路的另一端係與該第一熱交換器之第一熱側管路的另一端連接，該回流回收管路的一端係與該回流熱側管路的另一端連接，該回流回收管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接。
  4. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該吸附轉輪係進一步增設一高溫脫附區，該高溫脫附區係設有一高溫脫附濃縮氣體管路及一高溫熱氣管路，該高溫脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之高溫脫附區的一側連接，該高溫脫附濃縮氣體管路的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路連接，該高溫熱氣管路的一端係 與該吸附轉輪之高溫脫附區的另一側連接。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該高溫熱氣管路的另一端係進一步連接一第二加熱裝置，該第二加熱裝置係設有一第二熱氣輸送管路，該第二熱氣輸送管路的一端係與該第一熱氣輸送管路連接，該第二熱氣輸送管路的另一端係與該第二加熱裝置連接，該第二加熱裝置係為加熱器。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該高溫熱氣管路的另一端係進一步連接一第二加熱裝置，該第二加熱裝置係設有一第二外氣進氣管路，該第二外氣進氣管路的另一端係與該第二加熱裝置連接，該第二外氣進氣管路係進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該第二加熱裝置係為加熱器。
  8. 如申請專利範圍第1或2項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該第一加熱裝置係為加熱器。
  9. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該焚燒裝置係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一。
  10. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器係進一步連接一煙囪，該煙囪係設有一煙囪排放管路，該煙囪排放管路的一端係與該煙囪連接，該煙囪排放管路的另一端係與該回流熱交換器之回流冷側管路的另一端連接。
  11. 如申請專利範圍第10項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該煙囪排放管路係進一步設有一風車。
  12. 如申請專利範圍第10項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該煙囪排放管路係進一步連接一淨氣旁通管路，該淨氣旁通管路之一端係與該淨氣排放管路連接，該淨氣旁通管路之另一端係與該煙囪排放管路連接。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣旁通管路係進一步設有一淨氣旁通控制閥門。
  14. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該第一熱氣輸送管路係設有一第一熱氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該第一熱氣控制閥門來形成比例風門。
  15. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門。
  16. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器之回流熱氣回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、 脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
  17. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器之回流回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
  18. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器之回流回收管路係進一步設有一風車。
  19. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步輸送外氣至該吸附轉輪之冷卻區，且該外氣係為新鮮空氣。
  20. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步設有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路之一端係與該冷卻氣進氣管路連接，該氣體旁通管路之另一端係與 該廢氣進氣管路連接。
  21. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風車。
  22. 一種回流高效率有機廢氣處理方法，主要係用於該有機廢氣處理系統，係包括有一焚燒裝置，一吸附轉輪、一第一加熱裝置及一回流熱交換器，該吸附轉輪係設有吸附區、脫附區及冷卻區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，而該處理方法的主要步驟係包括：吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路的另一端來送入該吸附轉輪之吸附區的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路的另一端來輸送到該回流熱交換器之回流冷側管路的一端；冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪之冷卻區進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路的另一端來將經過冷卻區之冷卻氣輸送到該第一加熱裝置的一端；脫附區脫附：透過與第一加熱裝置的另一端所連接的第一熱氣輸送管路來將熱氣體輸送到該吸附轉輪之脫附區進行脫附，再透過該第一脫附濃縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到該焚燒裝置之進氣口；焚燒氣體回收輸送：將經過焚燒後之氣體透過與該焚燒裝置之出氣口所連接的回流熱氣回收管路來輸送到該回流熱交換器之回流熱側管路的 一端；以及經過回流回收管路：將輸送到該回流熱交換器之回流熱側管路的焚燒後之氣體，再經由與回流熱交換器之回流熱側管路的另一端所連接的回流回收管路來輸送到該廢氣進氣管路的一端。
  23. 一種回流高效率有機廢氣處理方法，主要係用於該有機廢氣處理系統，係包括有一焚燒裝置，一吸附轉輪、一第一加熱裝置、一第二熱交換器及一回流熱交換器，該吸附轉輪係設有吸附區、脫附區及冷卻區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二焚燒熱氣回收管路及一第二脫附濃縮氣體輸送管路，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，而該處理方法的主要步驟係包括：吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路的另一端來送入該吸附轉輪之吸附區的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路的另一端來輸送到該回流熱交換器之回流冷側管路的一端；冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪之冷卻區進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路的另一端來將經過冷卻區之冷卻氣輸送到該第一加熱裝置的一端；脫附區脫附：透過與第一加熱裝置的另一端所連接的第一熱氣輸送管路來將熱氣體輸送到該吸附轉輪之脫附區進行脫附，再透過該第一脫附濃 縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器之第二冷側管路的一端；脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器之第二冷側管路的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路來輸送到該焚燒裝置之進氣口；焚燒氣體回收輸送：將經過焚燒後之氣體透過與該焚燒裝置之出氣口所連接的第二焚燒熱氣回收管路輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的一端；焚燒氣體再輸送：將輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的焚燒後之氣體，再經由與該第二熱交換器之第二熱側管路的另一端所連接的回流熱氣回收管路來輸送到該回流熱交換器之回流熱側管路的一端；以及經過回流回收管路：將輸送到該回流熱交換器之回流熱側管路的焚燒後之氣體，再經由與回流熱交換器之回流熱側管路的另一端所連接的回流回收管路來輸送到該廢氣進氣管路的一端。
  24. 一種回流高效率有機廢氣處理方法，主要係用於該有機廢氣處理系統，係包括有一焚燒裝置，一吸附轉輪、一第一熱交換器、一第二熱交換器及一回流熱交換器，該吸附轉輪係設有吸附區、脫附區及冷卻區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二熱氣回收管路、一第二焚燒熱氣回收管路及一第二脫附濃縮氣體 輸送管路，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，而該處理方法的主要步驟係包括：吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路的另一端來送入該吸附轉輪之吸附區的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路的另一端來輸送到該回流熱交換器之回流冷側管路的一端；冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪之冷卻區進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路的另一端來將經過冷卻區之冷卻氣輸送到該第一熱交換器之第一冷側管路的一端；脫附區脫附：透過與第一熱交換器之第一冷側管路的另一端所連接的第一熱氣輸送管路來將熱氣體輸送到該吸附轉輪之脫附區進行脫附，再透過該第一脫附濃縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器之第二冷側管路的一端；脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器之第二冷側管路的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路來輸送到該焚燒裝置之進氣口；焚燒氣體回收輸送：將經過焚燒後之氣體透過與該焚燒裝置之出氣口所連接的第二焚燒熱氣回收管路輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的一端，再由該第二熱交換器之第二熱側管路的另一端所連接的第二熱氣回收管路輸送到該第一熱交換器之第一熱側管路的一端；焚燒氣體再輸送：將輸送到該第一熱交換器之第一熱側管路的焚燒後之氣體，再經由與該第一熱交換器之第一熱側管路的另一端所連接的回流 熱氣回收管路來輸送到該回流熱交換器之回流熱側管路的一端；以及經過回流回收管路：將輸送到該回流熱交換器之回流熱側管路的焚燒後之氣體，再經由與回流熱交換器之回流熱側管路的另一端所連接的回流回收管路來輸送到該廢氣進氣管路的一端。
  25. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該吸附轉輪係進一步增設一高溫脫附區，該高溫脫附區係設有一高溫脫附濃縮氣體管路及一高溫熱氣管路，該高溫脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之高溫脫附區的一側連接，該高溫脫附濃縮氣體管路的另一端係與該第一脫附濃縮氣體管路連接，該高溫熱氣管路的一端係與該吸附轉輪之高溫脫附區的另一側連接。
  26. 如申請專利範圍第25項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該高溫熱氣管路的另一端係進一步連接一第二加熱裝置，該第二加熱裝置係設有一第二熱氣輸送管路，該第二熱氣輸送管路的一端係與該第一熱氣輸送管路連接，該第二熱氣輸送管路的另一端係與該第二加熱裝置連接，該第二加熱裝置係為加熱器。
  27. 如申請專利範圍第25項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該高溫熱氣管路的另一端係進一步連接一第二加熱裝置，該第二加熱裝置係設有一第二外氣進氣管路，該第二外氣進氣管路的另一端係與該第二加熱裝置連接，該第二外氣進氣管路係進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。
  28. 如申請專利範圍第27項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該第二加熱裝置係為加熱器。
  29. 如申請專利範圍第22或23項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該第一加熱裝置係為加熱器。
  30. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該焚燒裝置係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、蓄熱式焚燒爐(RTO)或觸媒爐之其中任一。
  31. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該回流熱交換器係進一步連接一煙囪，該煙囪係設有一煙囪排放管路，該煙囪排放管路的一端係與該煙囪連接，該煙囪排放管路的另一端係與該回流熱交換器之回流冷側管路的另一端連接。
  32. 如申請專利範圍第31項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該煙囪排放管路係進一步設有一風車。
  33. 如申請專利範圍第31項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該煙囪排放管路係進一步連接一淨氣旁通管路，該淨氣旁通管路之一端係與該淨氣排放管路連接，該淨氣旁通管路之另一端係與該煙囪排放管路連接。
  34. 如申請專利範圍第33項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該淨氣旁通管路係進一步設有一淨氣旁通控制閥門。
  35. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該第一熱氣輸送管路係設有一第一熱氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該第一熱氣控制閥門來形成比例風門。
  36. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門。
  37. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該回流熱交換器之回流熱氣回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
  38. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該回流熱交換器之回流回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆 除塵器之其中任一。
  39. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該回流熱交換器之回流回收管路係進一步設有一風車。
  40. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣進氣管路係進一步輸送外氣至該吸附轉輪之冷卻區，且該外氣係為新鮮空氣。
  41. 如申請專利範圍第22、23或24項所述之回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣進氣管路係進一步設有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路之一端係與該冷卻氣進氣管路連接，該氣體旁通管路之另一端係與該廢氣進氣管路連接。
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