TWI701453B - 空中無線測試系統及測試方法 - Google Patents
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Abstract
空中(OTA)無線測試系統包括負載板,設置在負載板上的插座,安裝在插座中的測試器件(DUT),以及,該插座和該負載板中的波導特徵被配置為將電磁波傳遞並引導到該被測器件的天線結構和/或從該被測器件的天線結構傳遞並引導電磁波。該波導特徵包括位於該插座中的波導通道,該波導通道由圍繞該被測器件的天線結構的多個彈簧針限定。該波導特徵還包括位於該負載板中的輻射通道,該輻射通道由貫穿該負載板的整個厚度的成排的通孔柵欄限定。本發明能夠顯著提高OTA測試的性能。
Description
本發明涉及半導體集成電路器件的無線測試的領域,以及更特別地,涉及一種空中(over-the-air,OTA)無線測試系統。
經過複雜處理的半導體器件經受各種類型的電測試,其中,這些電測試用以測試它們的特性及其缺陷。射頻(radio frequency,RF)微電子器件(諸如集成有RF發射器和/或接收器電路的晶片封裝)通常是使用RF自動測試設備來測試的。為了測試具有集成天線或無線被測器件(device under test,DUT)的這種晶片封裝,通常需要使用電連接到RF儀器電路的負載板(load board)。該負載板具有用於容納晶片封裝的插座。
然而,先前技術的OTA無線測試系統不能夠提供適當的準確度和性能。因此,期望提供一種能夠在OTA無線測試系統中測試無線DUT的改進方式。還希望提供具有適當的準確度和性能的改進型OTA無線測試系統。
有鑑於此,本發明提供一種改進型的空中(OTA)無線測試系統及測試方法,以解決上述問題。
根據本發明的一方面,提供了一種空中(OTA)無線測試系
統。該OTA無線測試系統包括負載板,設置在該負載板上的插座,以及,安裝在該插座中的被測器件,其中,該插座和該負載板中設置有具有波導特徵的結構,該具有波導特徵的結構被配置為傳遞並引導電磁波到該被測器件的天線結構和/或傳遞並引導來自該被測器件的天線結構的電磁波。
根據本發明的另一方面,提供了一種測試方法,用於測試集成有天線的被測器件。該測試方法包括以下步驟:將該被測器件安裝在插座中;將該插座安裝到負載板上,以電連接該被測器件與該負載板的電路,其中,該插座和該負載板中設置有具有波導特徵的結構,該具有波導特徵的結構被配置為傳遞並引導電磁波到該被測器件的天線結構和/或傳遞並引導來自該被測器件的天線結構的電磁波;以及,執行該被測器件的測試。
所屬技術領域中具有通常知識者在閱讀附圖所示優選實施例的下述詳細描述之後,可以毫無疑義地理解本發明的這些目的及其它目的。
1、2:OTA無線測試系統
10:容器
101:待測對象
102:容器10的側壁
104:容器10的底板
110:測試腔室
20:機器板
20a:機器板20的頂表面
201:機器板20的孔
201a:孔201的外圍表面
30:支架
106、206、306:電磁波吸收材料層
302a:支架30具有的傾斜內表面
302:支架30的腿部
30b、30c:支架30的側壁表面
30a:支架30的頂表面
310、320:穿孔
304:支架30的頂板
302b:腿部302的底表面
306’:支架30的側部
306a:側部306’具有的傾斜內表面
40:負載板
410、420:輻射通道
402:電鍍通孔
404:通孔柵欄
50:插座
510、520:波導通道
502:彈簧針
60:被測器件(DUT)
600:射頻(RF)晶粒
602:接觸點或焊盤
610、620:天線結構
80:自動處理器
800:控制器/計算機
801:測試天線
900:控制器/電源單元
通過閱讀後續的詳細描述和實施例可以更全面地理解本發明,該實施例參照附圖給出。其中:第1圖是根據本發明一實施例的示例性空中(OTA)無線測試系統的示意性透視圖。
第2圖是示出第1圖的OTA無線測試系統的多個部分的分解透視圖。
第3圖是沿第1圖中的XZ平面截取的示意性橫截面圖。
第4圖是根據本發明一實施例示出的負載板和插座的橫截面的透視放大視圖。
第5圖和第6圖是分別從頂部和底部觀察到的支架的透視圖。
第7圖是根據本發明另一實施例的示例性OTA無線測試系統的示意性透視圖。
在下面的詳細描述中,為了說明的目的,闡述了許多具體細節,以便所屬技術領域中具有通常知識者能夠更透徹地理解本發明實施例。然而,顯而易見的是,可以在沒有這些具體細節的情況下實施一個或複數個實施例,不同的實施例可根據需求相結合,而並不應當僅限於附圖所列舉的實施例。
以下描述為本發明實施的較佳實施例。以下實施例僅用來例舉闡釋本發明的技術特徵,並非用來限制本發明的範疇。在通篇說明書及申請專利範圍當中使用了某些詞彙來指稱特定的組件。所屬技術領域中具有通常知識者應可理解,製造商可能會用不同的名詞來稱呼同樣的組件。本說明書及申請專利範圍並不以名稱的差異來作為區別組件的方式,而係以組件在功能上的差異來作為區別的基準。本發明的範圍應當參考后附的申請專利範圍來確定。在以下描述和申請專利範圍當中所提及的術語“包含”和“包括”為開放式用語,故應解釋成“包含,但不限定於…”的意思。此外,術語“耦接”意指間接或直接的電氣連接。因此,若文中描述一個裝置耦接至另一裝置,則代表該裝置可直接電氣連接於該另一裝置,或者透過其它裝置或連接手段間接地電氣連接至該另一裝置。
下面將參考特定實施例並且參考某些附圖來描述本發明,但係本發明不限於此,並且僅由申請專利範圍限制。所描述的附圖僅係示意性的而並非限制性的。在附圖中,為了說明的目的,一些元件的尺寸可能被誇大,而不係按比例繪製。在本發明的實踐中,尺寸和相對尺寸不對應於實際尺寸。
術語“晶粒(die)”,“晶片(chip)”,“半導體晶片”和“半導體晶粒”在整個說明書中可互換使用,以表示積體電路晶片或晶粒。本文使用
的術語“水平(horizontal)”可以定義為平行於平面或表面(例如基板或平台的表面)的方向,而不管它的朝向如何。如本文所使用的術語“垂直(vertical)”可以指與剛剛描述的水平方向正交的方向。而例如“在…上(on)”,“在…上方(above)”,“在…下(below)”,“底部(bottom)”,“頂部(top)”,“側(side)”(例如“側壁(sidewall)”),“較高(higher)”,“較低(lower)”,“上部(upper)”,“之上(over)”和“之下(under)”的術語均可以參考水平面。
無線微電子器件通常經歷多種測試以確保足夠的性能並驗證其射頻(radio frequency,RF)功能。某些測試由標準強制執行,而其它測試則作為產品開發和驗證的一部分執行。特定類別的測試是測試一個或多個無線發射器和接收器之間的通信的空中(OTA)性能。
當射頻信號從發射器傳輸到接收器時,信號沿著具有不同到達角,信號延遲,極化和功率的一個或多個路徑在無線電信道中傳播,這導致接收信號中的不同持續時間和強度的衰減。此外,由於其它發射器引起的噪聲和干擾會干擾無線電連接。
本發明涉及一種空中(OTA)無線測試系統,其具有改進的波導(wave guiding)結構或特徵,也就是說,空中(OTA)無線測試系統設置了具有波導特徵的結構,該波導結構或特徵配置在插座,負載板和支架中,使得電磁波傳播能被很好地控制,並且能夠提高無線測試的性能和準確性。
請參考第1圖至第3圖。第1圖是根據本發明一實施例的示例性空中(OTA)無線測試系統的示意性透視圖。第2圖是示出第1圖的OTA無線測試系統的多個部分的分解透視圖。第3圖是沿第1圖中的XZ平面截取的示意性橫截面圖。
在非限制性示例中,通過第1圖至第3圖描繪的配置可以適用於被測器件(DUT)或集成天線封裝(antenna-in package,AIP)的無線測試,被測器件
(DUT)或集成天線封裝(AIP)具有可以在無線電或微波域中產生電磁波的發射器、發射天線、接收天線、接收器和確定對象屬性的處理器。例如,來自發射器的無線電波反射物體並返回接收器,提供有關物體位置和速度的訊息。
如第1圖至第3圖所示,OTA無線測試系統1包括容器(container)10(或盒子)、放置在容器10上方的機器板(machine plate)20(或金屬蓋)、設置在機器板20上的支架(supporter)30、設置在支架30上的負載板(load board)40、設置在負載板40上的插座(socket)50,以及,安裝在插座50中且被插座50容納的集成有天線的被測器件(DUT)60(如天線封裝、包括射頻晶片的微電子器件)。容器10、機器板20、支架30、負載板40和插座50沿參考Z軸堆疊並對準(aligned)。機器板20覆蓋容器10的開口(opening),從而限定測試腔室(testing chamber)110。待測對象(object to be tested)101被放置在測試腔室110中。具體實現中可根據測試需求選取待測對象,例如,在一實施例中,待測對象可以是金屬平面,具體地,本發明實施例不做限制。此外,應當說明的是,在本發明實施例中,容器10、機器板20和支架30是可選的,即在一可選的變型實施例中,可以不包括容器10、機器板20和支架30。進一步地,在該變型實施例中,待測對象101可位於負載板40內,具體地,本發明實施例不做限制。
如第3圖所示,被測器件(DUT)60可以是其中具有集成的天線結構610和620的集成電路封裝或集成電路模組。被測器件(DUT)60可以是具有至少一個射頻(RF)晶粒(die)600的系統單晶片(System on a Chip,SoC)、系統級封裝或模組。射頻(RF)晶粒600具有與天線結構610和620相關聯並耦接到天線結構610和620的晶片上RF發射器和/或接收器電路。應當說明的是,本發明實施例雖然以天線結構610和620為例進行示例說明,但本發明對天線結構的具體數量並不做任何限制,即被測器件包括至少一個天線結構即可。此外,類似地,後面描述的波導特徵也並不限於附圖所示的特定示例,具體實現中可以根據設計
做相關調整,例如,一個波導可以涵蓋多個天線,而並不局限於每個天線都需要一個自己的波導,可以共用。
根據本發明一實施例,插座(例如,定制測試插座)50具有容納被測器件(DUT)60的腔室(cavity),但本發明並不限於此。插座50用於電連接到安裝在測試設備中的負載板40(例如,印刷電路板)的金屬線或接觸墊以及被測器件(DUT)60(例如,半導體封裝)的外部端子。插座50包括多個彈簧針(pogo pin)502,用於提供被測器件(DUT)60和負載板40的臨時(temporary)導電連接。從而,只有在測試的時候才會有電性連接,而不測試時DUT會被移走,沒有電性連接。在測試期間,被測器件(DUT)60及其天線結構610和620向下朝向待測對象101,且是對著彈簧針502的,使得這些彈簧針502與被測器件(DUT)60的下表面上的相應接觸點或焊盤602對準並電連接。被測器件(DUT)60可以通過自動處理器(automated handler)80安裝在插座50中,自動處理器80可以拾取被測器件(DUT)60並將其放置在插座50上。自動處理器80可以抓住或保持被測器件(DUT)60和插座50的組合,並且可以將它們安裝在負載板40上。
根據本發明一實施例,彈簧針502可以由金屬材料構成,例如銅,但本發明並不限於此。根據本發明一實施例,彈簧針502被設計成圍繞各個天線結構610和620,以便在插座50中限定波導通道(wave-guiding channel)510和520。如第3圖所示,所限定的波導通道510和520位於天線結構610和620的下方,沒有彈簧針設置在波導通道510和520內。
負載板40可以是多層印刷電路板或多層印刷線路板,其可以包括核心板(core,例如,FR4覆銅層壓核心板)、多個電介質疊壓層和在核心板的相對表面上的跡線。印刷電路板的不同層中的跡線通過電鍍通孔(plated through vias)402或電鍍穿孔(plated through holes)彼此電連接。
請參考第3圖和第4圖。第4圖是示出負載板40和插座50的橫截面的透
視放大視圖。根據本發明一實施例,類似於彈簧針502,一些電鍍通孔402被構造為貫穿負載板40的整個厚度的成排的通孔柵欄(rows of via fence)404,其在負載板40中限定輻射通道(radiation passage)410和420,以傳遞並引導電磁波到被測器件(DUT)60的集成天線結構610和620和/或傳遞並引導來自被測器件(DUT)60的集成天線結構610和620的電磁波。可以理解地,為簡單起見,在第4圖中未示出其餘的電鍍通孔402。根據本發明一實施例,通孔柵欄404可以電連接到負載板40的接地平面。
根據本發明一實施例,沒有金屬跡線或電鍍通孔設置在輻射通道410和420中。也就是說,輻射通道410和420僅包括負載板40的絕緣層壓部分,例如,電介質疊壓層,核心板的絕緣部分和焊接掩模(未示出),但本發明並不限於此。如第3圖所示,在一優選實施例中,輻射通道410和420分別與波導通道510和520對準。但本發明並不限於此,具體實現中,只要輻射通道410和420與波導通道510和520有通道口相連接就可以,而並不限定於基本對準或完全對準的優選情形。
綜上所述,在本發明實施例中,插座和負載板中設置有具有波導特徵的結構(或簡稱為波導特徵/結構),該具有波導特徵的結構被配置為傳遞並引導電磁波到該被測器件的天線結構和/或傳遞並引導來自該被測器件的天線結構的電磁波。本發明實施例的波導特徵/結構(包括由插座50中的彈簧針502限定的波導通道510和520以及由負載板40中的通孔柵欄404限定的輻射通道410和420)能夠顯著提高OTA測試的性能。根據實驗結果,當利用包括上述波導特徵的OTA無線測試系統時天線增益約為-3dBi,其中,該波導特徵包括插座50中的波導通道510和520以及負載板40中的輻射通道410和420。
根據本發明一實施例,支架30是金屬支架,但本發明並不限於此。根據本發明一實施例,支架30直接安裝在機器板20的頂表面(top surface)20a上。根據本發明一實施例,支架30可包括兩個相對的腿部302以及頂板(top plate)
304,頂板304是與這兩個腿部302一體(integrally)形成的。如第3圖所示,兩個相對的腿部302具有相同的長度或高度,使得當支架30被放置在機器板20的頂表面20a上時,頂板304的頂表面30a與機器板20的頂表面20a平行。兩個腿部302的每一個具有傾斜內表面(oblique inner surface)302a,使得由支架30限定的內部空間具有梯形橫截面輪廓,或者更具體地,等腰梯形輪廓。兩個穿孔(through openings)310和320設置在頂板304中。兩個穿孔310和320分別與負載板40中的輻射通道410和420對準。
支架30具有兩個相對的側壁表面(sidewall surfaces)30b,側壁表面30b中的每一個都黏附有電磁波吸收材料層306。支架30的另外兩個相對的側壁表面30c是被暴露出來的(exposed)。根據本發明一實施例,電磁波吸收材料層306,支架30和機器板20限定了用於通過電磁波的封閉空間。
第5圖和第6圖是分別從頂部和底部觀察到的支架的透視圖。第5圖主要示出了支架30的頂表面30a,側壁表面30b和側壁表面30c。第6圖主要示出了支架30的腿部302的底表面302b和傾斜內表面302a。如第6圖所示,支架30還包括兩個側部306’,其長度短於腿部302的長度。側部306’也具有傾斜內表面306a,傾斜內表面306a從穿孔310和320中的一個延伸到側壁表面30b。傾斜內表面306a的傾斜角度大於傾斜內表面302a的傾斜角度,以更適當地引導沿YZ平面的波形圖案和場分佈。
根據本發明一實施例,機器板20具有孔(aperture)201,孔201直接位於待測對象101的上方。從具有集成天線的被測器件(DUT)傳輸過來的諸如微波或射頻(RF)信號的電磁波可以穿過孔201並且被待測對象101反射。根據本發明一實施例,孔201的外圍表面201a襯有電磁波吸收材料層206。
根據本發明一實施例,容器10具有四個側壁102和一體連接到四個側壁102的底板104。根據本發明一實施例,容器10的內表面或內壁襯有電磁波吸收
材料層106,電磁波吸收材料層106被設計為吸收反射信號,從而提供非反射和無迴聲的腔室。
本發明還提供了一種測試方法,用於測試集成有天線的被測器件(DUT)。例如,首先,通過使用自動處理器將被測器件(DUT)60安裝在插座50中。然後,將插座50安裝在負載板40上(其中,負載板40安裝在支架30上),以便將被測器件(DUT)60與負載板40的電路電連接。如前所述,插座和負載板中的波導特徵被配置成將傳遞並引導電磁波到被測器件(DUT)60的天線結構和/或傳遞並引導來自被測器件(DUT)60的天線結構的電磁波。隨後,執行被測器件(DUT)60的測試。例如,可以通過負載板40將測試信號(例如,RF測試信號)發送到被測器件(DUT)60。然後,被測器件(DUT)60的天線結構輻射測試信號。之後,被測器件(DUT)60的天線結構接收待測對象反射回來的相關測試信號。也就是說,通過負載板40發送測試信號給被測器件(DUT)60,其中,該測試信號被被測器件(DUT)60的天線結構輻射至待測對象且該天線結構接收從該待測對象反射回來的信號,以執行該被測器件的測試。再例如,發送測試信號給待測對象或封裝天線,其中,該測試信號從該待測對象或該封裝天線經由該具有波導特徵的結構傳輸至被測器件(DUT)60,以執行該被測器件的測試。在本發明實施例中,該待測對象或該封裝天線可位於負載板40中(在不包括容器10、機器板20以及支架的變型實施例中)或容器10中。
第7圖是根據本發明另一實施例的示例性OTA無線測試系統的示意性透視圖,其中,相同的數字標號表示相同的元件、區域或層。
如第7圖所示,OTA無線測試系統2包括容器10(或盒子),放置在容器10上方的機器板20(或金屬蓋),設置在機器板20上的支架30,設置在支架30上的負載板40,設置在負載板40上的插座50和被容納在插座50內的被測器件(DUT)60。容器10,機器板20,支架30,負載板40和插座50沿參考Z軸堆疊並
對準。機器板20覆蓋容器10的開口,從而限定測試腔室110。測試天線801位於測試腔室110中。
類似地,插座50包括由插座50中的彈簧針502限定的波導通道510和520,用於波導目的。負載板40包括由負載板40中的通孔柵欄404限定的輻射通道410和420。由插座50中的彈簧針502限定的波導通道510和520以及由負載板40中的通孔柵欄404限定的輻射通道410和420能夠顯著提高OTA測試的性能。同樣,支架30具有傾斜內表面302a。
第7圖中描繪的OTA無線測試系統2和第3圖中的OTA無線測試系統1之間的一個區別在於:第3圖中的待測對象101被測試天線801替代。測試天線801電連接到用於信號分析目的的控制器/計算機800,從而可對測試天線801接收到的從被測器件(DUT)60的天線結構輻射過來的測試信號進行測試。
應當理解的是,該系統還可以包括其它處理或功能單元,例如信號處理單元,電源單元和/或轉換器單元等。這些處理或功能單元在本領域中是已知的,因此未在圖中示出。
如第7圖所示,測試天線801位於測試腔室110中並與機器板20的孔201對準。測試天線801被設計成通過通道接收來自集成有天線的被測器件(DUT)的諸如毫米波(mmw)的輻射波和/或發射輻射波至集成有天線的被測器件(DUT)。負載板40電連接到控制器和/或電源單元900,以傳輸和/或接收用於測試被測器件(DUT)60的信號和/或向被測器件(DUT)60提供直流(DC)功率。
本發明還提供了一種測試方法,用於測試集成有天線的被測器件(DUT)。例如,首先,通過使用自動處理器將被測器件(DUT)60安裝在插座50中。然後,將插座50安裝在負載板40上(其中,負載板40安裝在支架30上),以便將被測器件(DUT)60與負載板40的電路電連接。如前所述,插座和負載板中的波導特徵被配置成將傳遞並引導電磁波到被測器件(DUT)60的天線結構和
/或傳遞並引導來自被測器件(DUT)60的天線結構的電磁波。隨後,執行被測器件(DUT)60的測試。例如,可以通過負載板40將測試信號(例如,RF測試信號)發送到被測器件(DUT)60。然後,測試天線801接收從被測器件(DUT)60的天線結構輻射出來的相關輻射測試信號。也就是說,通過負載板40發送測試信號給被測器件(DUT)60,其中,該測試信號被被測器件(DUT)60輻射至封裝天線且該封裝天線接收從該被測器件的天線結構輻射過來的信號,以執行該被測器件的測試。
雖然已經對本發明實施例及其優點進行了詳細說明,但應當理解的係,在不脫離本發明的精神以及申請專利範圍所定義的範圍內,可以對本發明進行各種改變、替換和變更,例如,可以通過結合不同實施例的若干部分來得出新的實施例。所描述的實施例在所有方面僅用於說明的目的而並非用於限制本發明。本發明的保護範圍當視所附的申請專利範圍所界定者為准。所屬技術領域中具有通常知識者皆在不脫離本發明之精神以及範圍內做些許更動與潤飾。
以上所述僅為本發明之較佳實施例,凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾,皆應屬本發明之涵蓋範圍。
1:OTA無線測試系統
10:容器
20:機器板
30:支架
40:負載板
50:插座
306:電磁波吸收材料層
Claims (19)
- 一種空中無線測試系統,包括:負載板;插座,設置在該負載板上;以及被測器件,安裝在該插座中;其中,該插座和該負載板中設置有具有波導特徵的結構,該具有波導特徵的結構被配置為傳遞並引導來自待測對象或測試天線的電磁波到該被測器件的天線結構和/或傳遞並引導來自該被測器件的天線結構的電磁波到該待測對象或該測試天線;其中,該具有波導特徵的結構包括該插座中的波導通道,該波導通道由圍繞該被測器件的天線結構的多個彈簧針限定。
- 如申請專利範圍第1項所述之空中無線測試系統,其中,該空中無線測試系統還包括:容器;機器板,設置在該容器上;以及支架,設置在該機器板上,其中,該負載板設置在該支架上。
- 如申請專利範圍第2項所述之空中無線測試系統,其中,該機器板覆蓋該容器的開口,以限定測試腔室。
- 如申請專利範圍第3項所述之空中無線測試系統,其中,該待測對象位於該測試腔室中。
- 如申請專利範圍第3項所述之空中無線測試系統,其中,該測試天線位於該測試腔室中。
- 如申請專利範圍第1項所述之空中無線測試系統,其中,該被測器件為封裝天線,和/或,該被測器件為包括射頻晶片的微 電子器件。
- 如申請專利範圍第1項所述之空中無線測試系統,其中,該具有波導特徵的結構包括該負載板中的輻射通道,該輻射通道由貫穿該負載板的整個厚度的成排的通孔柵欄限定。
- 如申請專利範圍第7項所述之空中無線測試系統,其中,該負載板是印刷電路板,該印刷電路板包括核心板和多個電介質疊壓層以及位於該核心板的相對表面上的跡線。
- 如申請專利範圍第7項所述之空中無線測試系統,其中,該輻射通道僅包括該負載板的絕緣層壓部分。
- 如申請專利範圍第2項所述之空中無線測試系統,其中,該支架是金屬支架,該金屬支架包括兩個腿部以及與該兩個腿部一體形成的頂板。
- 如申請專利範圍第10項所述之空中無線測試系統,其中,該兩個腿部的每一個具有傾斜內表面,使得該支架限定的內部空間具有梯形橫截面輪廓。
- 如申請專利範圍第11項所述之空中無線測試系統,其中,該頂板中設置有穿孔,該穿孔與位於該負載板中的該輻射通道對準。
- 如申請專利範圍第12項所述之空中無線測試系統,其中,該支架還包括兩個側部,該兩個側部的長度短於該兩個腿部的長度。
- 如申請專利範圍第13項所述之空中無線測試系統,其中,該兩個側部的每一個具有傾斜內表面,該兩個側部的傾斜內表面從該穿孔延伸到該支架的側壁表面,以及,該兩個側部的傾斜內表面 的傾斜角大於該兩個腿部的傾斜內表面的傾斜角。
- 如申請專利範圍第10項所述之空中無線測試系統,其中,該支架具有兩個相對的側壁表面,以及,該兩個相對的側壁表面中的每一個黏附有電磁波吸收材料層。
- 如申請專利範圍第2項所述之空中無線測試系統,其中,該機器板具有孔,以及,該孔的外圍表面襯有電磁波吸收材料層。
- 如申請專利範圍第2項所述之空中無線測試系統,其中,該容器具有四個側壁和一體連接到該四個側壁的底板,以及,該容器的內表面或內壁襯有電磁波吸收材料層。
- 一種測試方法,用於測試集成有天線的被測器件,包括:將該被測器件安裝在插座中;將該插座安裝到負載板上,以電連接該被測器件與該負載板的電路,其中,該插座和該負載板中設置有具有波導特徵的結構,該具有波導特徵的結構包括該插座中的波導通道,該波導通道由圍繞該被測器件的天線結構的多個彈簧針限定,該具有波導特徵的結構被配置為傳遞並引導來自待測對象或測試天線的電磁波到該被測器件的天線結構和/或傳遞並引導來自該被測器件的天線結構的電磁波到該待測對象或該測試天線;以及執行該被測器件的測試。
- 如申請專利範圍第18項所述之測試方法,其中,該執行該被測器件的測試的步驟包括:通過該負載板發送測試信號給該被測器件,其中,該測試信號被該被測器件的天線結構輻射至該待測對象且該天線結構接收從該待測 對象反射回來的信號或該測試信號被該被測器件的天線結構輻射至測試天線且該測試天線接收從該被測器件的天線結構輻射過來的信號,以執行該被測器件的測試;或者發送測試信號給待測對象或該測試天線,其中,該測試信號從該待測對象或該測試天線經由該具有該波導特徵的結構傳輸至該被測器件,以執行該被測器件的測試。
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