TWI692596B - 氣體供應容器以及自此容器供應試劑氣體之方法 - Google Patents

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羅伯特 柴勒
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Abstract

本發明揭示一種用於儲存及施配一試劑氣體之氣體供應容器，其包含一過濾器，使得該容器能夠在其過濾之後依一高純度位準來輸送試劑氣體。該過濾器包含一多孔燒結本體，且在一低壓下，於依一相對較低流動速率且伴隨跨越該過濾器之一相對較低壓降自該容器輸送期間，藉由使一供應試劑氣體透過該過濾器流動，而有效地供應試劑氣體之一所要純度位準。

Description

氣體供應容器以及自此容器供應試劑氣體之方法
所描述之揭示內容係關於容納在包含一內部過濾器之容器且更特定言之包含一內部過濾器之基於吸附劑之容器中之工業試劑氣體之領域中之技術以及在需要高純度試劑氣體之一應用中使用此一容器及此等試劑氣體之方法。
各種包裝或容器係大體上已知且用於含有、儲存、運輸及輸送用於廣泛工業應用範圍中之試劑氣體。一試劑氣體之不同用途可具有供應試劑氣體之不同要求(諸如一或多或少嚴格要求之純度位準)。經供應用於離子植入方法之試劑氣體需要一高純度位準但該位準可低於經供應用於涉及由試劑氣體產生之一電漿之一程序(例如一電漿沈積程序)中之一試劑氣體之一所需純度位準。
一試劑氣體之高純度位準可藉由在輸送期間使用一過濾器自一試劑氣體移除次微米大小顆粒來提供。就「對數減少值」或LRV而言，一過濾流體之一純度位準有時係指基於過濾器之移除效率之一量度。就一指定顆粒大小而言，一對數減少值係一指定流動速率(或氣體速度)下過濾效率之一量度。一LRV值1意謂(具有一給定大小之)90%之污染物由過濾器保留。LRV 2意謂(具有一給定大小之)99%之污染物由過濾器保 留。LRV 3意謂(具有一給定大小之)99.9%之污染物由過濾器保留。用於一量測中之相關顆粒大小可為識別為一「最大穿透顆粒大小」(MPPS)之一大小，就用於半導體處理中之試劑氣體而言，其通常為一微米或一次微米級(諸如30微米或0.060微米)。可基於試劑氣體之一類型、流動速率或測試或經測試之過濾器及試劑氣體系統之另一變數選擇用於一測試中之一顆粒大小。K.W.Lee及B.Y.H.Liu之「On the Minimum Efficiency and the Most Penetrating Particle Size for Fibrous Filters」，Journal of the Air Pollution Control Association第30卷，Iss.4，1980中描述用於判定過濾器之MPPS之方法及技術。
由於由半導體材料製成之產品變得變得越來越快及越來越小，因此，用於半導體材料及衍生器件之程序及原材料必須亦不斷改良。此包含需要供應試劑氣體之改良，其包含經供應用於商業用途(包含半導體處理及微電子器件製造)之試劑氣體之純度之改良。
本發明係關於用於含有、運輸、儲存、處置及輸送工業有用試劑氣體之儲存容器。在一些實施例中，該容器係一基於吸附劑之容器，意謂該容器含有具有用於試劑氣體之一親和性之吸附劑及使試劑氣體容納在該容器內作為在與呈一蒸氣(氣態)形式之氣態試劑氣體平衡之吸附劑之表面處以吸附形式存在之吸附試劑氣體。該容器含有試劑氣體且允許在亞大氣壓力(或近似亞大氣壓力)下輸送試劑氣體。在其他實施例中，該容器係一壓力調節容器。
根據本發明，該容器包含位於該容器之內部上之一過濾器且該容器能夠在其過濾之後依一高純度位準輸送試劑氣體。自該容器輸送 之該高純度試劑氣體可用於需要高純度之應用(諸如通常用於半導體處理中之各種程序((尤其)包含離子植入程序、磊晶生長、電漿蝕刻、反應性離子蝕刻、金屬化、物理氣相沈積、化學氣相沈積、電漿沈積、光微影、清洗及摻雜))中，其中此等用途係半導體、微電子、光伏打及平板顯示器器件及產品之製造之部分。
實例性容器包含位於容器內部之一過濾器，該過濾器包含、由或基本上由在依一低流動速率及在低壓下將試劑氣體自該容器輸送期間有效地過濾通過該過濾器之試劑氣體之一多孔燒結本體組成。該過濾器有效地提供過濾微米或次微米大小顆粒以產生具有各種工業應用所需之一純度位準之氣態流體試劑之一流動之一所要有效性。對於微米或次微米級顆粒(例如30微米、10微米、1微米、0.1微米、0.01微米或0.003微米或一特定MPPS)，自所描述之一容器輸送之實例性試劑氣體可具有至少一3、4、5、7或9對數減少值、依一較低或非常低流動速率(例如每分鐘20標準立方厘米(sccm)、每分鐘10標準立方厘米(sccm)、每分鐘5標準立方厘米(sccm)或每分鐘220標準立方厘米(sccm)以下之一流動速率)之一純度位準。
在一些實施例中，本發明係關於一種用於儲存及施配試劑氣體之儲存及施配容器。該容器包含：一內部容積、位於該內部容積內之吸附劑及位於該內部容積內之試劑氣體。試劑氣體包含吸附於該吸附劑上之一部分及作為與吸附試劑氣體平衡之氣態試劑氣體存在之一部分。該容器包含與該內部容積連通之一出口，及位於該內部容積與該出口之間的一流動路徑中之一過濾器。該過濾器包含一多孔燒結本體。
本發明之其他實施例係關於自本描述之一容器輸送試劑氣 體之方法。
100:儲存及施配系統
102:容器
104:側壁
106:內部
108:吸附劑材料
112:上端
114:閥總成
116:螺紋耦合件
118:旋鈕
120:閥
130:空心導管
132:過濾器
200:處理設備
210:壓力調節
220:導管
可考量各種繪示性實施例之以下描述連同附圖更完全理解本發明。
圖1係附接至自容器供應試劑氣體之一器件之所描述之一容器之一示意圖。
儘管揭示內容可依循各種修改及替代形式，但其具體細節已在圖式中以實例之方式展示且將詳細描述。然而，應理解本發明不使揭示內容之態樣受限於所描述之特定繪示性實施例。相反，本發明意欲涵蓋落入揭示內容之精神及範疇內之所有修改、等效物及替代方案。
相關申請案之交叉參考
本申請案根據35 USC 119規定主張2018年3月6日申請之美國臨時專利申請案第62/639,462號的權利，該案之全部內容為了所有目的係以引用的方式併入本文中。
如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，除非內容另有明確規定，否則單數形式「一」及「該」包含複數指涉物。如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，除非內容另有明確規定，否則術語「或」一般用於包含「及/或」之意義。
術語「約」一般係指被視為等效於所列舉之值(例如具有相同功能或結果)之數字之一範圍。在許多例項中，術語「約」可包含約整至最近顯著圖式之數字。
使用端點表達之數值範圍包含歸入該範圍內之所有數字(例如1至5包含1、1.5、2、2.75、3、3.80、4及5)。
應參考圖式(其中不同圖式中之類似元件編號相同)閱讀以下詳細描述。詳細描述及不必按比例之圖式描繪繪示性實施例且不意欲限制本發明之範疇。所描繪之繪示性實施例僅意欲具例示性。除非另有明確規定，否則任何繪示性實施例之選定特徵可併入一額外實施例。
本發明係關於用於含有一試劑氣體及依一高純度位準自容器輸送試劑氣體之氣體儲存及供應容器。在一些實施例中，氣體儲存及供應容器可為用於含有一試劑氣體及依一高純度位準自容器輸送該試劑氣體之一基於吸附劑之儲存容器。在其他實施例中，氣體儲存及供應容器可為用於含有一試劑氣體及依一高純度位準自容器輸送該試劑氣體之一壓力調節氣體儲存及供應容器。如本文所使用，參考流體儲存及施配容器之術語「壓力調節」意謂此等容器具有安置於容器之一內部容積中及/或容器之一閥頭中之至少一壓力調節器器件、設定壓力閥或真空或壓力啟動止回閥，其中各此壓力調節器組件經調適使得其回應於緊靠壓力調節器組件之下游之流體流動路徑中之流體壓力，且打開以在相對於壓力調節器組件之上游之較高流體壓力之一特定下游減少壓力條件下且此開口操作以維持流體在一特定或「設定點」壓力位準下自容器排放之流體之壓力之後達成流體流動。
根據本文所描述之各種實施例，一氣體儲存及供應容器包含安置於該容器之一內部中之一過濾器使得該容器能夠在其在用於各種工業應用中(諸如用於(尤其)包含離子植入程序、電漿沈積程序之半導體處理方法中)之一純度位準下內部過濾之後輸送試劑氣體。在一些情況中， 該內部過濾器排除使用一二次外部過濾器。換言之，該容器能夠在無需一外部過濾器之情況下在用於各種工業應用中之一純度位準下內部過濾之後輸送試劑氣體。在一些實施例中，該容器在可為亞大氣壓力(例如不大於近似大氣壓力)之一內部壓力下含有試劑氣體且亦可在一亞大氣壓力或不大於近似大氣壓力之一壓力下輸送氣體。
根據本發明之各種實施例，該氣體儲存及供應容器能夠在亞大氣壓力下儲存試劑氣體。用於在亞大氣壓力下儲存試劑氣體之容器之各種實例係已知且可根據本描述使用。此等例示性容器包含界定一容器內部及一出口之大體上剛性側壁，其中該出口通常包含一閥以控制該容器之內部與外部之間的流動。該等容器側壁經設計以耐受安全地超過建議由該容器含有之一氣體之一所要最大壓力之一壓力。內部含有能夠吸收一表面上之試劑氣體之吸附劑材料使得試劑氣體以一吸附形式(吸附試劑氣體、吸附於吸附劑表面上)及一非吸附、氣態形式(存在與吸附試劑氣體平衡之容器內部處之氣態試劑氣體)存在於該容器之內部。
根據各種實施例之一氣體儲存及供應容器能夠在低壓(例如近似大氣壓力(1000torr以下，特定言之760torr以下))下、特定言之在亞大氣壓力下儲存及輸送試劑氣體。在包含大體上周圍溫度之一溫度範圍內(例如在自約攝氏0度至約攝氏30度或攝氏40度之一範圍內)，容器內部可不高度加壓且較佳地在不超過約一個大氣壓(絕對)之一壓力下、較佳地係亞大氣壓之一壓力下(諸如在760torr以下(例如500torr以下或200torr以下、100torr以下、50torr以下或10torr以下(絕對)之一壓力下))。在任何特定及相關工業或應用中，一容器用於處置、儲存、處理、運輸或使用一試劑氣體之實例性操作溫度可為近似室溫(例如攝氏24度(例如在自約攝氏 20度至約攝氏26度之一範圍內))，在該溫度下，內部容器壓力較佳地係亞大氣。然而，就在一顯著較高或一顯著較低溫度下使用、固持、儲存或處理一試劑氣體之應用而言，本描述之容器及方法亦可視需要用於較高操作溫度及較低操作溫度下。
實例性容器包含選擇性允許試劑氣體添加至容器內部或自容器內部移除之一開口(諸如可包含可打開及閉合之一閥之一排放端口)。可在排放端口處附接至閥的是一流量或壓力調節機構(諸如一壓力閥或一流量計量器件)。例如，在一開口及排放端口處，容器可經耦合至可打開及閉合之一閥頭，以允許試劑氣體自容器之內部透過施配端口及閥頭施配。為達成一所要壓力或試劑氣體自容器流動之流動速率，一壓力調節器、流量計或其他流量調節器件可位於容器內部外之閥頭處。替代地或另外，在容器內，一或多個壓力調節器、流量計或其他流量調節器件可視情況被連接至位於容器內部的容器開口。根據特定實施例，不需要位於容器之一內部之一內部流量調節機構(壓力閥或流量計)，且該內部流量調節機構可自本描述之一容器排除。根據所描述之容器及方法之特定實例性實施例，一流量調節機構可經設計以在一個大氣壓以下之一壓力下操作，以允許試劑氣體在亞大氣壓力下自容器移除。在(例如)美國專利6,132,492及PCT專利公開案WO 2017/008039(PCT/US2016/041578)中描述流體供應容器及附屬項目(諸如可用於根據本描述之一一般意義之類型的流量閥及壓力閥)之實例，此等文件之全部內容係以引用的方式併入本文中。
容器內部之吸附劑(亦稱為一固相實體吸著劑介質)可為具有用於一或多個試劑氣體之一吸附親和力的任何吸附劑。吸附劑可用於選擇性(例如可逆地)吸附及解吸試劑氣體至吸附劑上以允許試劑氣體：首先 依一引起試劑氣體吸附於吸附劑上的方式來輸送至容器；接著，允許在近似大氣壓力下(較佳地在亞大氣壓力下)將經吸附之試劑氣體(與亦位於容器內部之經解吸之氣態試劑氣體之量平衡)儲存於閉合容器內部內；且最終允許試劑氣體自吸附劑解吸(例如在真空下)及較佳地仍在近似大氣壓力下(例如在亞大氣壓力下)作為氣態試劑氣體透過容器中之一開口自容器移除。
吸附劑可為任何當前已知或未來開發之吸附劑材料，且一容器之一特定吸附劑可取決於諸如待容納於容器中之試劑氣體之類型及量、容器之容積、由容器供應或容納在容器中之吸附劑之所要壓力的因數，及其他因數。各種吸附劑材料係試劑氣體及試劑氣體儲存技術中已知，且將被理解為如所描述般用作為一容器中之一吸附劑。美國專利5,704,967(其全部內容係以引用的方式併入本文中)、美國專利6,132,492(先前所提及)及PCT專利公開案WO 2017/008039(亦先前所提及)中提及吸附劑材料之特定實例。
已知且可適合於用於如本文所描述之一容器中之吸附劑材料之非限制性實例：聚合吸附劑(諸如微多孔TEFLON、大孔型聚合物、玻璃域聚合物；磷矽酸鋁(ALPOS)；黏土；沸石；金屬有機框架(MOF)；多孔矽；蜂巢基質材料；活性碳及其他碳材料；及其他類似材料。碳吸附劑材料之一些實例包含：由合成烴樹脂(諸如聚丙烯腈、磺化聚苯乙烯-二乙烯基苯等等)之熱解形成之碳；纖維炭；木炭；由天然源材料(諸如椰子殼、瀝青、木材、石油、煤等等)形成之活性碳。
所描述之一例示性容器可實質上填充一層適合吸附劑材料。吸附劑可呈任何形狀、形式、大小等等以有效及可逆地將試劑氣體吸 附於吸附劑上以在亞大氣壓力下儲存於容器中。一吸附劑之大小、形狀及其他物理性質(例如多孔率)可影響吸附劑吸附試劑氣體之能力以及吸附劑之填充密度及空隙(間隙空間)容積。可基於之一儲存容器系統之因數((尤其)包含試劑氣體之類型、吸附劑之類型、容器之操作溫度及壓力)之一平衡而選擇此等因數。吸附劑材料可具有任何適合大小、形狀、多孔率、大小之範圍及大小分佈。有用形狀及形式之實例包含珠、顆粒、丸、片、殼、鞍、粉末、不規則形狀顆粒、壓製單塊、任何形狀及大小之擠出物、布或網形式材料、蜂巢基質單塊及(吸附劑及其他組分之)複合物以及前述類型之吸附劑材料之粉末或壓碎形式。
容器包含連同吸附劑位於容器之一內部且位於自容器內部引導至一容器出口之一流動路徑之一過濾器。該過濾器係當試劑氣體自容器內部(例如)透過可包含一閥之一出口傳至一外部時自試劑氣體移除顆粒物質(包含微米級或次微米級顆粒)之一過濾器。容器可含有及輸送用於工業應用中之多種試劑氣體之任何者，其中試劑氣體針對試劑氣體之各種工業用途視需要依一期望高純度位準輸送。
高純度位準下之試劑氣體之用途之實例包含：離子植入、磊晶生長、電漿蝕刻、反應性離子蝕刻、金屬化、物理氣相沈積、化學氣相沈積、電漿沈積、光微影、清洗及摻雜，其中此等用途係半導體、微電子、光伏打及平板顯示器器件及產品之製造之部分。試劑氣體之特定用途可需要尤其高純度位準(例如電漿沈積之方法)。根據本發明，含有一內部過濾器之容器可用於儲存用於此等目的之任何者之試劑氣體及依一所需純度位準輸送一試劑氣體，包含需要尤其高純度試劑氣體(諸如電漿沈積方法)之目的。
根據各種實施例，一容器(如本文所描述)包含一過濾器。該過濾器能定位於該容器之一內部中及位於將該過濾器放置於容器內部與該容器之一外部之間的一流動路徑中之一位置處。更特定言之，該過濾器安置於閥入口處之該流動路徑中。替代地，該過濾器安置於閥座部與閥出口之間的過濾器路徑中。該過濾器可藉由一螺紋連接安裝於該閥入口上或在一些情況中，其可短柱焊接於該閥入口上。該過濾器不需要一過濾器外殼或一殼。該過濾器較佳地具有一相對小尺寸及容納在該容器內部中之一合宜形狀，同時藉由在一低壓下依一相對較低流動速率且伴隨跨越該過濾器之一相對較低壓降自該容器輸送期間使試劑氣體透過該過濾器流動而仍有效地提供一供應試劑氣體之一所要純度位準。
用於過濾器之實例包含包括、由或基本上由一多孔金屬燒結本體(有時亦指稱一多孔燒結本體)組成之過濾器。當定位於一容器之一內部中時，可有效地過濾一試劑氣體之多孔燒結本體之實例可具有一相對薄輪廓(一小厚度)、一高多孔率且可形成為用於放置於一容器內部及試劑氣體之一流動路徑中之一所要形狀。有用形狀之實例包含可為平面或一三維圓形形狀(諸如(例如)一杯、圓錐體、圓柱體、管或閉合端管，但不限於此等形狀)之一類片隔膜之形式。多孔燒結本體可展現與其如本文所描述之用途一致之物理性質之一組合(諸如厚度、多孔率、比表面積(BET)及正面面積之一所要組合)。
一般來說，用作為所描述之一容器之一內部中之一過濾器之一多孔燒結本體可高度多孔且具有一相對較薄輪廓(即，一小厚度)，同時仍依用於一有用流動速率及壓力下之試劑氣體之一流動之一所要移除效率有效地執行一過濾功能。與否則類似之具有一較大厚度之一過濾器之一 壓降相比，一相對薄過濾器本體可歸因於將在過濾期間跨越該本體發生之一相對較低壓降而係較佳的。壓降與過濾器本體之厚度成正比。一較高多孔率燒結本體優於一較低多孔率燒結本體(給定相當的移除效率)，因為壓降亦與多孔率成指數比例。
更詳細地，用作為所描述之一過濾器隔膜之一多孔燒結本體可相對較薄(例如具有量值相對較小之一厚度)以(例如)允許在一相對較低壓降下透過該過濾器流動。有用或較佳多孔燒結本體之實例可具有3毫米以下(例如2毫米以下或1毫米以下(諸如在自約0.2毫米至約1.5毫米或1.7毫米之一範圍內))之一厚度(在使用期間在試劑氣體透過過濾器隔膜流動之一方向上之尺寸)。
所描述之一多孔燒結本體可具有將允許多孔燒結本體如本文所描述有效之任何多孔率以在所描述之一低壓及一低壓降下依一低流動速率過濾試劑氣體之一流量。實例性多孔燒結本體可具有一相對高多孔率(例如至少70%之一多孔率(例如在自55%至70%、更特定言之自55%至65%且甚至更特定言之自55%至60%)之一範圍內之一多孔率)。如本文所使用及在多孔燒結本體之技術中，一多孔燒結本體之一「多孔率」(有時亦指稱空隙分數)係作為本體之總容積之一百分比之本體中之空隙(即「空」)空間之一量度且計算為本體之總容積上之本體之空隙之容積之一分數。具有0%多孔率之一本體完全係固體。
多孔燒結本體可具有將允許燒結本體有效地用作為所描述之一過濾器之任何表面積以(例如)在係近似大氣壓力或係亞大氣之一壓力下依一低流動速率及一低壓降以及如本文所描述之過濾效率過濾試劑氣體之一流量。如多孔本體技術中所已知，比表面積(BET)係指使用由布魯諾 (Brunauer)、埃梅特(Emmett)及特勒(Teller)定義之理論計算之一多孔本體之每本體之質量之一表面積，其涉及一固體表面上之氣體分子之物理吸附。不受當前所描述之多孔本體限制，所描述之一多孔燒結本體之當前較佳比表面積(BET)可在自0.15平方米/克至0.60平方米/克之一範圍內、在自0.15平方米/克至0.50平方米/克且更特定言之自0.15平方米/克至0.25平方米/克之一範圍內。不同於此等範圍之比表面積(BET)值亦可取決於以下有用：一特定多孔燒結本體之其他結構特徵；經過濾之一氣態流量之特徵；及所要顆粒移除效率(由LRV所量測)。
由所描述之一多孔燒結本體製成之一過濾器隔膜可包含一有用正面面積，其係指在自容器輸送試劑氣體期間試劑氣體之一流量透過其之過濾器隔膜之一面積。一過濾器之一正面面積可足夠高以允許所描述之其他效能特徵，包含所描述之一低壓降、透過過濾器之流體之一低流動速率(每面積)及一所要移除效率(由LRV所量測)。例示性多孔燒結本體可構造成呈一扁平片之形式或替代地一三維形狀(諸如呈一杯、圓錐體、圓柱體、管或閉合端管之形式)之一過濾器隔膜。一有用過濾器本體之實例可包含具有在自2厘米至5厘米(例如自3厘米至4.5厘米)之一範圍內之一長度、在自0.5厘米至1.1厘米(例如自0.7厘米至1.0厘米)之一範圍內之一外徑、在自0.3厘米至0.8厘米(例如自0.4厘米至0.7厘米)之一範圍內之一內徑及在自0.6毫米至1.4毫米(例如自0.8毫米至1.2毫米)之一範圍內之一厚度之一圓柱體之一形式。
先前已大體上描述多孔燒結本體之各種實例且用於過濾器應用中。參閱(例如)美國專利號5,814,272、6,964,817、7,195,735、8,673,065及美國專利公開案2012/0079940及2013/0305673，此等文件之 全部內容以引用的方式併入本文中。本文所描述之多孔燒結本體之實例可由包含此等文件所識別之方法及材料之若干方法及材料製備。
一般而言，一多孔燒結本體可藉由製備金屬粉末顆粒之一混合物及視情況在一模具中燒結金屬顆粒之該混合物來製備以形成一多孔燒結本體。可選擇顆粒之性質以達成燒結本體之所要性質(諸如多孔率、表面積等等)。燒結係指加熱顆粒之一集合(同時顆粒之表面彼此接觸)至一溫度及達允許顆粒藉由黏聚機械地接合在一起但顆粒不液化之一時間之一程序。其他非金屬材料可視情況與金屬粉末顆粒組合使用(例如)用於處理(諸如一有機黏合劑)。
稍更詳細而言，可選擇金屬粉末顆粒以在一燒結本體中提供所要性質(諸如強度(例如剛性)、多孔率及表面積)。上文所識別之美國專利文件中描述組合物及可用於形成所描述之一多孔燒結本體之金屬顆粒之性質之實例。特定實例包含含有一金屬或金屬合金(諸如鉑、鉻、鎳或其等之一合金(諸如一不鏽鋼合金(參閱美國專利5,814,272))之高度各向異性分枝金屬顆粒。
在使用中，自一容器輸送且透過內部過濾器流動之試劑氣體之量可為用於一特定程序(例如藉由用於一特定半導體處理裝置或程序)中所要之量同時亦提供內部過濾器之所要有效性(例如顆粒保留)。就用於過濾用於處理一半導體或衍生產品(例如微電子器件或其之一前驅體)中之一試劑氣體之各種應用而言，流體透過過濾器之一流量(如以每時間流量之容積為單位來表達)可在每分鐘約20標準立方厘米(sccm)或每分鐘約10標準立方厘米(sccm)以下(例如5sccm以下、2sccm以下、1sccm以下或0.5sccm以下)。
在自容器輸送試劑氣體期間，流經過濾器之試劑氣體可基於而包含一相對較低流動速率、過濾器之一期望高多孔率及過濾器之一期望小厚度之因數而較佳地具有一相對較低壓降。在使用過濾器期間，所描述之跨越一過濾器之一厚度之一壓力差動(或「壓降」)(介於過濾器之一上游側與過濾器之一下游側之間)可為允許(例如流體之一給定流動速率之)過濾期間之所要有效性(例如顆粒保留)及亦商業可行之任何壓力差動。使用試劑氣體之相對低流動速率，由於一高度多孔過濾器具有一低厚度，因此本描述之一較佳方法可導致一相對低壓力差動。就過濾及輸送用於處理一半導體或微電子器件之一試劑氣體之各種應用而言，跨越過濾器隔膜之一壓力差動可在約100torr(差動)以下、較佳地約50torr(差動)以下、約30torr(差動)以下、約20torr(差動)以下、約10torr(差動)以下或約5torr(差動)以下同時仍允許流體透過過濾器之一有用流量。
在輸送期間，試劑氣體透過過濾器之一流量之溫度可問允許商用有效過濾及試劑氣體之有效用途之任何溫度。就過濾用於處理一半導體或微電子器件之一化學試劑氣體之各種應用而言，一溫度可約為室溫(例如攝氏30度)或較高(例如至少攝氏100度、攝氏150度或攝氏200度之一溫度)。
包括、基本上由或由一多孔燒結本體組成之所描述之實例性過濾器可在各種工業應用(包含用於提供試劑氣體至用於半導體製造之程序(諸如用於離子植入及電漿沈積))所需之一純度位準下，有效地提供微米或次微米大小顆粒之一所要過濾位準。過濾器(如本文所描述)能夠針對微米或次微米規模顆粒(例如30微米、10微米、1微米、0.1微米、0.01微米或0.003微米或特定(MPPS))依高純度位準、依至少一3、4、5、7或9 對數減少值之一純度位準、依一低或非常低流動速率(諸如(例如)在或低於每分鐘20標準立方厘米(sccm)、每分鐘10標準立方厘米(sccm)、每分鐘5標準立方厘米(sccm)、每分鐘2標準立方厘米(sccm)、每分鐘1標準立方厘米(sccm)或每分鐘0.5標準立方厘米(sccm)之一流動速率)輸送自容器輸送之試劑氣體。如本文先前所描述，一對數減少值係針對一指定顆粒大小之一指定流動速率(或氣體速度)下之過濾效率之一量度。K.W.Lee及B.Y.H.Liu發表在1980年第30卷第4期之Journal of the Air Pollution Control Association期刊的「On the Minimum Efficiency and the Most Penetrating Particle Size for Fibrous Filters」論文中描述用於判定過濾器之最大穿透顆粒大小或MPPS的方法及技術。
可由容器含有之一試劑氣體可為用於一工業程序中之任何類型的試劑氣體。許多實例係已知係有害、有毒或否則係一安全風險之危險試劑氣體。有毒及其他危險特製氣體用於若干工業應用中，諸如包含以下之用途：離子植入、磊晶生長、電漿蝕刻、反應性離子蝕刻、金屬化、物理氣相沈積、化學氣相沈積、電漿沈積、光微影、清洗及摻雜，其中此等用途係半導體、微電子、光伏打及平板顯示器器件及產品之製造的部分。使用一容器或所描述之方法仍可適用於用於其他應用及其他工業或在其他應用及其他工業中有用之試劑氣體，特定言之可期望依高純度位準提供之試劑氣體。
可便於及有用地被容納在所描述之一容器中及由所描述之一容器供應及過濾之試劑氣體(其係危害、有害或否則危險)的非限制性實例包含：矽烷、甲基矽烷、三甲基矽烷、氫、甲烷、氮、一氧化碳、二硼烷、BP3、胂、膦、光氣、氯、BCl3、BF3、B2D6、六氟化鎢、氟化 氫、氯化氫、碘化氫、溴化氫、鍺烷、氨、銻化氫、硫化氫、氰化氫、硒化氫、碲化氫、氘化氫、三甲基銻化氫、鹵化物(氯、溴、碘及氟)、氣態化合物(諸如NF3、ClF3、GeF4、SiF4、AsF5、AsH3、PH3)、有機化合物、有機金屬化合物、烴及有機金屬V族化合物(諸如(CH3)3Sb)。就此等化合物之各者而言，可設想所有同位素。
圖1繪示例示性儲存及施配系統100及處理設備200。處理設備200可為任何有用類型之設備(諸如用於處理一半導體或微電子器件(諸如一離子植入裝置、一電漿沈積裝置或一電漿產生器)之一系統)。系統100可透過導管220自容器102供應試劑氣體至設備200。一流量計量器件、壓力閥或壓力調節器件210可視情況具有導管220，以影響、控制或量測試劑氣體自系統100至設備200之一流量。
在由圖1例示之實施例中，儲存及施配系統100包含使吸附劑材料108容納在容器之內部106內之容器102。然而，應大體上理解在一些替代實施例中，容器102可為一壓力調節容器(諸如由Entegris,Inc.of Billerica,MA製造及售賣之VAC®真空致動氣缸)。如圖1中所展示，側壁104界定相對於一外部之內部空間。上端112包含具有閥總成114之一開口，其包含螺紋耦合件116、閥120及旋鈕118以打開及閉合閥120以允許試劑氣體在容器102之內部與外部之間移動。
氣態試劑氣體(未具體編號)作為內部106中之一氣態試劑存在且與物理吸附至吸附劑材料108之表面之吸附試劑氣體平衡。空心導管130將閥120連接至過濾器132以提供用於內部106之間、透過過濾器132及至閥120以自容器102施配之試劑氣體之一閉合流動路徑。過濾器132係如本文所描述，其包括、基本上由或由所描述之一燒結本體組成。導管130 沿一長度閉合且在閥120之一端處包含一第一開口及在過濾器132之一第二端處包含一第二開口。為自內部106傳至容器之一外部，試劑氣體必須通過過濾器132以及導管130及閥120。
過濾器132可(例如)具有下表中所列之規範：
Figure 108106681-A0305-02-0019-1
在使用中，試劑氣體(例如氣態試劑氣體及吸附試劑氣體)可藉由壓力差動解吸而自例示性容器102移除，意謂藉由耦合件116連接至減少壓力之一源以引起氣態試劑氣體以流經閥總成114至內部106外部之一位置。所含有之試劑氣體可為用於任何工業(尤其半導體、微電子、光伏打或平板顯示器器件及產品之製造)中之任何試劑氣體(尤其一有害試劑氣體)。
系統100可連接至使用試劑氣體作為用於處理一半導體器件或材料、一微電子器件、一光伏打器件、一平板顯示器器件或其等之一組件或前驅體之一原料任何系統或設備(200)，例如用於以下之一系統、器件或工具：離子植入、磊晶生長、電漿蝕刻、反應性離子蝕刻、金屬化、物理氣相沈積、化學氣相沈積、電漿沈積、光微影、清洗或摻雜。
根據用於所描述之一容器之特定實例性方法，容器可含有用於一電漿沈積方法之一試劑氣體，且設備200可為用於執行電漿沈積(包含一電漿產生器)之設備。一電漿沈積方法通常係指涉及使用一電漿實現 一基板或一材料之薄膜沈積於一基板表面上之表面改質之一程序。根據例示性電漿沈積技術，一電漿產生器用於製備電漿離子。依據本描述，電漿產生器可自所描述之一容器供應試劑氣體以產生電漿。在實例性方法中，由本發明之一容器(例如如圖1處所繪示)供應之試劑氣體可將試劑氣體供應至一電漿沈積程序(例如可將試劑氣體輸送至一電漿產生器(例如圖1之設備200))。亦根據實例性方法，使用(例如)離子提取及加速導引由電漿產生器產生之電漿至含有一基板(目標)之一反應室(亦稱為電漿反應器)。基板(目標)曝露於電漿，且偏壓(諸如電)基板以引起電漿之離子組分變得沈積於基板之表面上。基板之實例包含矽晶圓及處理中之微電子器件。
電漿沈積方法之特定實例包含有時(尤其)指稱基於電漿之離子植入(PBII)、基於電漿之離子植入及沈積(PBIID)技術、電漿浸没摻雜、電漿輔助摻雜等等，電漿源離子植入(PSII)、電漿浸没離子植入(PIII)、電漿離子植入(PII)、電漿離子電鍍(PIP)等等之技術。
已描述本發明之若干繪示性實施例，熟習技術者應易於瞭解可在附於其之申請專利範圍之範疇內進行及使用之其他實施例。已在前述描述中闡述由此文件涵蓋之本發明之數種優點。然而，應理解在許多方面，本發明僅具繪示性。可在不超過本發明之範疇之情況下對細節(尤其在部件之形狀、大小及配置方面)進行改變。當然，本發明之範疇由隨附申請專利範圍中以其表達之語言界定。
100:儲存及施配系統
102:容器
104:側壁
106:內部
108:吸附劑材料
112:上端
114:閥總成
116:螺紋耦合件
118:旋鈕
120:閥
130:空心導管
132:過濾器
200:處理設備
210:壓力調節器件
220:導管

Claims (14)

  1. 一種用於儲存及施配一試劑氣體之氣體供應容器，該容器包括：一內部容積，吸附劑，其位於該內部容積內，試劑氣體，其位於該內部容積內，該試劑氣體包括吸附於該吸附劑上之一部分，及作為與該吸附試劑氣體平衡之氣態試劑氣體存在之一部分，至少一閥，其與該內部容積連通，該至少一閥具有一閥入口及一閥出口，一出口，其與該內部容積連通，及一過濾器，其位於該內部容積與該出口之間之一流動路徑中，該過濾器包括一多孔燒結本體，其中該多孔燒結本體具有自55%至70%之一多孔率，以及在流體流動之一方向上具有少於3毫米之一厚度，且其中在每分鐘20標準立方厘米之一流動速率下，該過濾器具有在一特定MPPS下係至少4之一對數減少值。
  2. 如請求項1之容器，其具有係亞大氣壓力之一內部壓力。
  3. 如請求項1之容器，其中該過濾器係安置於該閥入口處。
  4. 如請求項1之容器，其中在每分鐘10標準立方厘米之一流動速率下，該過濾器具有在一特定MPPS下係至少7之一對數減少值。
  5. 如請求項1至4中任一項之容器，其中該多孔燒結本體具有在自0.8毫米至1.2毫米之一範圍內之一厚度。
  6. 如請求項1至4中任一項之容器，其中該多孔燒結本體具有在自0.15平方米/克至0.30平方米/克之一範圍內之一比表面積(BET)。
  7. 如請求項1至4中任一項之容器，其中該吸附劑係選自一金屬有機框架、多孔有機聚合物及活性碳。
  8. 一種自如請求項1至7中任一項之一容器供應一試劑氣體之方法，該方法包括自該容器輸送該試劑氣體。
  9. 一種用於儲存及施配一試劑氣體之氣體供應容器，該容器包括：一內部容積，至少一壓力調節器，其經安置於該內部容積中，一閥，其與該內部容積連通，該閥具有具有一閥入口及一閥出口，及一過濾器，其位於該內部容積與該出口之間之一流動路徑中，該過濾器包括一多孔燒結本體，其中該多孔燒結本體具有自55%至70%之一多孔率，以及在流體流動之一方向上具有少於3毫米之一厚度，且其中在每分鐘20標準立方厘米之一流動速率下，該過濾器具有在一特定MPPS下係至少4之一對數減少值。
  10. 如請求項9之容器，其中該過濾器位於該閥入口處。
  11. 如請求項9之容器，其中在每分鐘10標準立方厘米之一流動速率下，該過濾器具有在一特定MPPS下係至少7之一對數減少值。
  12. 如請求項9至11中任一項之容器，其中該多孔燒結本體具有在自0.8毫米至1.2毫米之一範圍內之一厚度。
  13. 如請求項9至11中任一項之容器，其中該多孔燒結本體具有在自0.15平方米/克至0.30平方米/克之一範圍內之一比表面積(BET)。
  14. 一種自如請求項9至13中任一項之一容器供應一試劑氣體之方法，該方法包括自該容器輸送一試劑氣體。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3850265A4 (en) * 2018-09-13 2022-06-08 Entegris, Inc. MECHANICALLY REGULATED, ADSORBENT-BASED GAS STORAGE AND DISTRIBUTION VESSEL
CN112556775B (zh) * 2020-11-27 2023-07-25 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 基于称重法的梯度充放气式sf6气室容积测定方法
CN112556778B (zh) * 2020-11-27 2023-09-26 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 基于定容法的梯度放气式sf6气室容积测定方法
CN112556777B (zh) * 2020-11-27 2023-08-29 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 基于定容法的梯度充气式sf6气室容积测定方法
CN112556773B (zh) * 2020-11-27 2023-08-22 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 基于称重法的梯度放气式sf6气室容积测定方法
CN112556776B (zh) * 2020-11-27 2023-07-25 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 基于定容法的梯度充放气式sf6气室容积测定方法
CN112556774B (zh) * 2020-11-27 2023-01-31 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 基于称重法的梯度充气式sf6气室容积测定方法
TWI774149B (zh) * 2020-12-08 2022-08-11 古豐愿 安全負壓供氣鋼瓶
CN112902004B (zh) * 2021-01-18 2022-04-15 福建省建阳金石氟业有限公司 一种具有预处理功能的节能型无水氟化氢低温储存设备
TW202325398A (zh) * 2021-09-15 2023-07-01 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 包含複合吸附劑之本體及其相關方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001024908A1 (en) 1999-10-04 2001-04-12 Millipore Corporation Gas filtration/purification device
CN1705846A (zh) * 2000-04-19 2005-12-07 高级技术材料公司 包含内置于流体密封容器中并可在其内现场调节的调节器的气体储存和分配系统
CN201407481Y (zh) * 2009-05-18 2010-02-17 黄德欢 一种低压三氟化硼储气罐
TW201604468A (zh) * 2014-06-13 2016-02-01 安特格利斯公司 壓力調節的流體儲存與分配容器的以吸附劑爲主的壓力穩定
TW201641872A (zh) * 2015-05-17 2016-12-01 恩特葛瑞斯股份有限公司 氣體櫃

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5114447A (en) * 1991-03-12 1992-05-19 Mott Metallurgical Corporation Ultra-high efficiency porous metal filter
GB9220975D0 (en) 1992-10-06 1992-11-18 Air Prod & Chem Apparatus for supplying high purity gas
EP0627256B1 (en) 1993-06-04 1996-12-04 Millipore Corporation High-efficiency metal filter element and process for the manufacture thereof
US5456740A (en) 1994-06-22 1995-10-10 Millipore Corporation High-efficiency metal membrane getter element and process for making
US5814272A (en) 1996-02-21 1998-09-29 Millipore Corporation Method for forming dendritic metal particles
ATE230294T1 (de) * 1996-05-20 2003-01-15 Advanced Tech Materials Flüssigkeitsbehälter und -abgabesystem mit physikalischem sorptionsmittel mit hoher kapazität
JP3021412B2 (ja) * 1997-02-17 2000-03-15 高千穂化学工業株式会社 気体の貯蔵・送出方法及び気体の貯蔵・送出装置
US6503584B1 (en) 1997-08-29 2003-01-07 Mcalister Roy E. Compact fluid storage system
US6101816A (en) * 1998-04-28 2000-08-15 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system
US6368648B1 (en) 2001-04-13 2002-04-09 The Dallas Group Of America, Inc. Adsorbent filtration system for treating used cooking oil or fat in frying operations
US6932945B2 (en) 2001-06-19 2005-08-23 Air Products And Chemicals, Inc. Adsorbent based gas delivery system with integrated purifier
US6964817B2 (en) 2002-07-15 2005-11-15 Hitachi Metals, Ltd. Porous sintered metal and filter thereof, and method for producing porous sintered metal
JP3894551B2 (ja) * 2002-07-15 2007-03-22 日立金属株式会社 多孔質焼結体の製造方法
US6743278B1 (en) 2002-12-10 2004-06-01 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent
US20080257755A1 (en) * 2003-03-10 2008-10-23 Re-Tec, Inc Gas Container
KR100620303B1 (ko) 2003-03-25 2006-09-13 도요다 지도샤 가부시끼가이샤 가스저장탱크 및 그 제조방법
TWI223905B (en) 2003-11-18 2004-11-11 Ind Tech Res Inst Hydrogen storage alloy can device with uniform hydrogen releasing and effective heat exchange structure
US7520994B2 (en) 2006-07-12 2009-04-21 Xing Dong Method to remove agent from liquid phase
KR101645735B1 (ko) 2007-10-24 2016-08-04 모트 코포레이션 소결 섬유 필터
JP5639164B2 (ja) 2009-06-18 2014-12-10 インテグリス・インコーポレーテッド 異なる平均サイズの粒子を具備する焼結多孔質材料
SG186255A1 (en) 2010-06-17 2013-01-30 Univ Singapore Method and system for storing natural gas
US20130305673A1 (en) * 2011-02-04 2013-11-21 Entegris, Inc. Porous Metal Body of Sintered Metal Powders and Metal Fibers
US9188284B2 (en) 2012-02-29 2015-11-17 Luon Energy Llc Natural gas adsorption devices
SG10201702144YA (en) 2012-09-21 2017-05-30 Entegris Inc Anti-spike pressure management of pressure-regulated fluid storage and delivery vessels
US20150094202A1 (en) 2013-09-27 2015-04-02 Basf Corporation Processes for activating adsorbent materials in adsorbed gas systems
KR20180019240A (ko) * 2015-07-09 2018-02-23 엔테그리스, 아이엔씨. 연료 공급 패키지
CN206329913U (zh) * 2016-09-22 2017-07-14 全球能源互联网研究院 一种金属氢化物储氢装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001024908A1 (en) 1999-10-04 2001-04-12 Millipore Corporation Gas filtration/purification device
CN1705846A (zh) * 2000-04-19 2005-12-07 高级技术材料公司 包含内置于流体密封容器中并可在其内现场调节的调节器的气体储存和分配系统
CN201407481Y (zh) * 2009-05-18 2010-02-17 黄德欢 一种低压三氟化硼储气罐
TW201604468A (zh) * 2014-06-13 2016-02-01 安特格利斯公司 壓力調節的流體儲存與分配容器的以吸附劑爲主的壓力穩定
TW201641872A (zh) * 2015-05-17 2016-12-01 恩特葛瑞斯股份有限公司 氣體櫃

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