TWI687630B - 乾燥系統與控制方法 - Google Patents

乾燥系統與控制方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI687630B
TWI687630B TW108113172A TW108113172A TWI687630B TW I687630 B TWI687630 B TW I687630B TW 108113172 A TW108113172 A TW 108113172A TW 108113172 A TW108113172 A TW 108113172A TW I687630 B TWI687630 B TW I687630B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
gas
weight percentage
module
control module
cavity
Prior art date
Application number
TW108113172A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202040068A (zh
Inventor
邵柏森
呂永傑
Original Assignee
亞台富士精機股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 亞台富士精機股份有限公司 filed Critical 亞台富士精機股份有限公司
Priority to TW108113172A priority Critical patent/TWI687630B/zh
Priority to CN201910373109.2A priority patent/CN111829333A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI687630B publication Critical patent/TWI687630B/zh
Publication of TW202040068A publication Critical patent/TW202040068A/zh

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

本發明提供一種乾燥系統以及一種適用於此乾燥系統的控制方法。乾燥系統包括抽氣模組、控制模組以及感測模組。抽氣模組、控制模組以及感測模組彼此電性連接，且抽氣模組連接於腔體。控制方法包括控制模組驅動抽氣模組將腔體內部的空氣抽出，感測模組將腔體內部的殘餘氣體離子化以取得氣體資料，並將氣體資料傳遞至控制模組，以及控制模組判斷氣體資料是否符合預定標準。當控制模組判斷氣體資料不符合預定標準時，控制模組控制抽氣模組繼續將腔體內部的殘餘氣體抽出；當控制模組判斷氣體資料符合預定標準時，控制模組終止抽氣模組運作。

Description

乾燥系統與控制方法
本發明提供一種乾燥系統，以及適用於此乾燥系統的控制方法。
乾燥是一種工業上常見的單元操作流程。一般而言，操作員會將待乾燥物置於乾燥室，並且藉由加熱將固體中的水分汽化並自待乾燥物的內部或表面排出。然而，對於一些加熱後容易分解或氧化的材料，需要以減壓或抽氣的方式進行低溫乾燥，在這種環境中，由於乾燥室內的壓力較一般大氣為低，一般溼度計不易判斷乾燥物的濕度狀態，從而無從得知乾燥流程是否完成。
本發明提供一種乾燥系統，以及適用於此乾燥系統的控制方法，可判斷待乾燥物的濕度狀態，並且控制乾燥流程持續進行或中止。
本發明的乾燥系統，包括一控制模組、一抽氣模組以及一感測模組。抽氣模組電性連接於控制模組且連接於一腔體。感測模組電性連接於控制模組且連接於腔體。
本發明的控制方法，適用於上述的乾燥系統，控制方法包括控制模 組驅動抽氣模組將腔體內部的氣體抽出、感測模組將腔體內部的殘餘氣體離子化以取得一氣體資料，並將氣體資料傳遞至控制模組，以及控制模組判斷氣體資料是否符合一預定標準。當控制模組判斷氣體資料不符合預定標準時，控制模組控制抽氣模組繼續將腔體內部的殘餘氣體抽出；當控制模組判斷氣體資料符合預定標準時，控制模組終止抽氣模組運作。
在本發明的一實施例中，抽氣模組包括一氣體幫浦以及一抽氣管線，且抽氣管線連接於氣體幫浦與腔體。
在本發明的一實施例中，感測模組包括一微量氣體分析儀以及一壓力感測器。
在本發明的一實施例中，控制方法更包括將氣體幫浦透過抽氣管線連接於腔體。
在本發明的一實施例中，控制方法更包括微量氣體分析儀將腔體內部的殘餘氣體離子化並分析殘餘氣體的一氣體離子荷質比，以取得殘餘氣體的各組成氣體的分壓，壓力感測器感測殘餘氣體的一氣體壓力，以及控制模組根據氣體壓力及各組成氣體的分壓，計算組成各組成氣體的元素的一重量百分比，其中氣體資料包括重量百分比。
在本發明的一實施例中，控制方法更包括控制模組根據氣體壓力及各組成氣體的分壓，計算各組成氣體的一碳元素的重量百分比、一氫元素的重量百分比、一氧元素的重量百分比以及一水分子的重量百分比，其中預定標準 包括碳元素的重量百分比、氫元素的重量百分比、氧元素的重量百分比以及水分子的重量百分比的至少其中之一。
在本發明的一實施例中，碳元素的重量百分比為0.05%、氫元素的重量百分比為0.05%、氧元素的重量百分比為0.005%以及水分子的重量百分比為0.0001%。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。
10:乾燥系統
100:抽氣模組
120:氣體幫浦
140:抽氣管線
200:控制模組
300:感測模組
320:微量氣體分析儀
340:壓力感測器
400:腔體
S01、S02、S03、S04:步驟
第1圖是本發明的一實施例的乾燥系統的方塊圖。
第2圖是本發明的一實施例的控制方法的步驟流程圖。
第1圖是本發明的一實施例的乾燥系統的方塊圖，第2圖是本發明的一實施例的控制方法的步驟流程圖，請參考第1圖以及第2圖。本實施例的控制方法適用於一乾燥系統10，乾燥系統10包括一抽氣模組100、一控制模組200以及一感測模組300，其中抽氣模組100、控制模組200以及感測模組300彼此電性連接，且抽氣模組100連接於一腔體400。
具體而言，抽氣模組100包括一氣體幫浦120以及一抽氣管線140，其中抽氣管線140用以連接於氣體幫浦120與腔體400。當使用者想要乾燥一待乾燥 物，或是想要降低腔體400內的濕度時，可以將待乾燥物置入腔體400內，並且將氣體幫浦120透過抽氣管線140連接於腔體400，再啟動乾燥系統10，此時控制模組200會驅動抽氣模組100將腔體400內部的氣體抽出(步驟S01)。在抽氣的過程當中，腔體400內部的氣體分子會逐漸變少，待抽氣經過一定時間後，感測模組300會將腔體400內部的氣體離子化以取得一氣體資料，並將氣體資料傳遞至控制模組200(步驟S02)。
詳細而言，本實施例的感測模組300包括一微量氣體分析儀(Residual Gas Analyzer,RGA)320，其中微量氣體分析儀320能將腔體400內部的殘餘氣體離子化，並且分析殘餘氣體的氣體離子荷質比。由於殘餘氣體中不同組成氣體的荷質比彼此相異，因此可進一步地取得殘餘氣體的各組成氣體的分壓。當腔體400內部的壓力降低的同時，壓力露點也會隨之降低，因此待乾燥物或是腔體400內部的細小水滴會更容易氣化成為水氣，並且隨著一般空氣離子化進而被微量氣體分析儀320分析偵測。此時，控制模組200根據氣體壓力以及各組成氣體的分壓，計算各組成氣體的碳元素的重量百分比、氫元素的重量百分比、氧元素的重量百分比以及水分子的重量百分比，並判斷此氣體資料是否符合一預定標準(步驟S03)。其中，預定標準包括碳元素的重量百分比、氫元素的重量百分比、氧元素的重量百分比以及水分子的重量百分比的至少其中之一，在本實施例中設定各個元素或分子成份的重量百分比閾值：碳元素0.05%、氫元素0.05%、氧元素0.05%以及水分子0.0001%，上述比例雖然是經過多次實驗後得到的最佳化結果，但本發明並不以此為限，依據所需要的目標乾燥程度，上述的重量百分比閾值也可調整為其它的數值。
當控制模組200判斷氣體資料不符合預定標準，也就是各個元素或分 子的成份未低於各別設定的閾值時，控制模組200將控制抽氣模組100繼續將腔體400內部的殘餘氣體抽出，使腔體400內部的細小水滴繼續揮發成水氣，進而達到乾燥的效果；當控制模組200判斷氣體資料符合預定標準，也就是各個元素或分子的成份低於各別設定的閾值時，代表此時腔體400內部的乾燥度已達到預定的目標，此時控制模組200將終止抽氣模組100運作(步驟S04)，並完成整個乾燥流程。
綜上所述，本發明的乾燥系統以及控制方法，藉由將腔體內部的氣體抽出、離子化腔體內部的殘餘氣體進而取得氣體資料，並判斷氣體資料是否符合預定標準，可在低溫乾燥的環境下取代溼度計確實掌握待乾燥物或腔體內部的乾燥度，大幅增加了乾燥流程的應用範圍以及準確度。
以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。
10:乾燥系統
100:抽氣模組
120:氣體幫浦
140:抽氣管線
200:控制模組
300:感測模組
320:微量氣體分析儀
340:壓力感測器
400:腔體

Claims (6)

  1. 一種控制方法，適用於一乾燥系統，該乾燥系統包括一抽氣模組、一控制模組以及一感測模組，其中該感測模組包括一微量氣體分析儀以及一壓力感測器，該抽氣模組、該控制模組以及該感測模組彼此電性連接，且該抽氣模組連接於一腔體，該控制方法包括：該控制模組驅動該抽氣模組將該腔體內部的氣體抽出；該感測模組的該微量氣體分析儀將該腔體內部的殘餘氣體離子化並分析該殘餘氣體的一氣體離子荷質比，且該壓力感測器感測該殘餘氣體的一氣體壓力以取得一氣體資料，該氣體資料包括根據該氣體壓力以及該殘餘氣體的各該組成氣體的分壓所計算得出的各該組成氣體的元素的一碳元素的重量百分比、一氫元素的重量百分比、一氧元素的重量百分比以及一水分子的重量百分比，並將該氣體資料傳遞至該控制模組；以及該控制模組判斷該氣體資料是否符合一預定標準，其中該預定標準包括該碳元素的重量百分比、該氫元素的重量百分比、該氧元素的重量百分比以及該水分子的重量百分比的至少其中之一；其中，當該控制模組判斷該氣體資料不符合該預定標準時，該控制模組控制該抽氣模組繼續將該腔體內部的該殘餘氣體抽出；其中，當該控制模組判斷該氣體資料符合該預定標準時，該控制模組終止該抽氣模組運作。
  2. 如請求項1所述的控制方法，其中該抽氣模組包括一氣體幫浦以及一抽氣管線，且該控制方法更包括：將該氣體幫浦透過該抽氣管線連接於該腔體。
  3. 如請求項1所述的控制方法，其中該碳元素的重量百分比為0.05%、該氫元素的重量百分比為0.05%、該氧元素的重量百分比為0.005%以及該水分子的重量百分比為0.0001%。
  4. 一種乾燥系統，包括：一控制模組；一抽氣模組，電性連接於該控制模組且連接於一腔體，該抽氣模組用以將該腔體內部的氣體抽出；以及一感測模組，電性連接於該控制模組，該感測模組連接於該腔體且包括一微量氣體分析儀以及一壓力感測器，該微量氣體分析儀用以將該腔體內部的殘餘氣體離子化並分析該殘餘氣體的一氣體離子荷質比，且該壓力感測器感測該殘餘氣體的一氣體壓力以取得一氣體資料，該氣體資料包括根據該氣體壓力以及該殘餘氣體的各該組成氣體的分壓所計算得出的各該組成氣體的元素的一碳元素的重量百分比、一氫元素的重量百分比、一氧元素的重量百分比以及一水分子的重量百分比，並將該氣體資料傳遞至該控制模組；其中，該控制模組用以判斷該氣體資料是否符合一預定標準，該預定標準包括該碳元素的重量百分比、該氫元素的重量百分比、該氧元素的重量百分比以及該水分子的重量百分比的至少其中之一，當該控制模組判斷該氣體資料不符合該預定標準時，該控制模組控制該抽氣模組繼續將該腔體內部的該殘餘氣體抽出；當該控制模組判斷該氣體資料符合該預定標準時，該控制模組終止該抽氣模組運作。
  5. 如請求項4所述的乾燥系統，其中該抽氣模組包括：一氣體幫浦；以及一抽氣管線，連接於該氣體幫浦與該腔體。
  6. 如請求項4所述的乾燥系統，其中該碳元素的重量百分比為0.05%、該氫元素的重量百分比為0.05%、該氧元素的重量百分比為0.005%以及該水分子的重量百分比為0.0001%。
TW108113172A 2019-04-16 2019-04-16 乾燥系統與控制方法 TWI687630B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108113172A TWI687630B (zh) 2019-04-16 2019-04-16 乾燥系統與控制方法
CN201910373109.2A CN111829333A (zh) 2019-04-16 2019-05-06 干燥系统与控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108113172A TWI687630B (zh) 2019-04-16 2019-04-16 乾燥系統與控制方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI687630B true TWI687630B (zh) 2020-03-11
TW202040068A TW202040068A (zh) 2020-11-01

Family

ID=70767257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108113172A TWI687630B (zh) 2019-04-16 2019-04-16 乾燥系統與控制方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN111829333A (zh)
TW (1) TWI687630B (zh)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1121256A (zh) * 1994-07-12 1996-04-24 佳能株式会社 用于制造电子源和成像设备的设备
CN106463335A (zh) * 2014-07-03 2017-02-22 株式会社岛津制作所 质谱分析装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3077602B2 (ja) * 1996-03-06 2000-08-14 三浦工業株式会社 真空冷却装置
JP5461223B2 (ja) * 2010-02-22 2014-04-02 株式会社松井製作所 粉粒体材料の減圧式乾燥装置
CN102012148B (zh) * 2010-11-19 2013-03-20 何天青 一种真空干燥控制方法
TWI654695B (zh) * 2012-12-06 2019-03-21 英福康公司 真空工具及測量該真空工具的客真空室中的氛圍的方法
US20180306763A1 (en) * 2017-04-21 2018-10-25 Mks Instruments, Inc. End point detection for lyophilization
CN107014156B (zh) * 2017-04-26 2019-03-29 常州广建仪器科技有限公司 被干燥物含水量测量方法、真空干燥装置及其控制方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1121256A (zh) * 1994-07-12 1996-04-24 佳能株式会社 用于制造电子源和成像设备的设备
CN106463335A (zh) * 2014-07-03 2017-02-22 株式会社岛津制作所 质谱分析装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111829333A (zh) 2020-10-27
TW202040068A (zh) 2020-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109545647B (zh) 具有质谱样品快速干燥功能的质谱仪及质谱分析方法
US10578513B2 (en) Method for controlling the leaktightness of sealed products and installation for the detection of leaks
US9134208B2 (en) Solid phase micro extraction (SPME) vacuum inlet
JP4162138B2 (ja) 昇温脱離ガス分析装置
CN108195923A (zh) 用于样品中挥发性有机化合物检测的方法及质谱仪装置
TWI687630B (zh) 乾燥系統與控制方法
CN109444249B (zh) 用于真空仪器的真空进换样装置
JP2008008632A (ja) 含水状態の多孔質部材におけるガスの拡散性の評価
CN110201954B (zh) 一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法
JP3846800B2 (ja) 発生ガス分析方法とその装置
CN108845067B (zh) 一种烟草及烟草制品中香味成分的吹扫捕集方法
US5244814A (en) Decay detection in wood
JPWO2017104053A1 (ja) イオン分析装置
Yu et al. Mass spectrometry coupled with vacuum thermal desorption for enhanced volatile organic sample analysis
JP7225672B2 (ja) 気体状組成物の分析方法および分析システム
JP2001212217A (ja) ホルマリンガス処理方法および処理装置
WO2008146333A1 (ja) 質量分析装置
JP4603786B2 (ja) 化学物質モニタ装置及び化学物質モニタ方法
JP3758606B2 (ja) 真空分析装置
CN110085504B (zh) 一种基于小孔原位取样接口的离子源系统及小型化质谱仪
CN214201277U (zh) 基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪样品靶处理系统
JP4247093B2 (ja) 水分測定方法及び水分測定装置
JPH1090227A (ja) 試料導入装置及びガス分析装置及び配管のリーク検査方法
JP4837056B2 (ja) ガス分析装置
CN110186757A (zh) 一种抑制干燥过程中木材开裂的方法