TWI686011B - 高頻模組 - Google Patents

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Abstract

本發明之高頻模組，於介電基板之內部或上表面設置有接地平面。於介電基板之底面構裝有高頻半導體元件。配置於較接地平面更靠底面側之空間之屏蔽構造，自高頻半導體元件之下方與側方包圍高頻半導體元件，且與接地平面連接。於屏蔽構造設置有開口。輻射構造部，使自高頻半導體元件輸出之高頻訊號自開口以電磁波形式輻射。

Description

高頻模組
本發明係關於一種高頻模組。
已提出各種將天線與高頻半導體元件模組化而成之高頻模組(專利文獻1、專利文獻2、專利文獻3等)。
專利文獻1所揭示之裝置包含構裝於電路基板之半導體元件。於半導體元件之上表面配設有屏蔽電磁波之屏蔽層，於屏蔽層之上方配設有天線元件。天線元件藉由貫通屏蔽層之連接部而與半導體元件之上表面電性連接。藉此，實現兼具電磁波之屏蔽功能與天線功能之小型半導體裝置。
於專利文獻1所揭示之另一裝置中，將於上表面設置有屏蔽層之半導體元件構裝於模組基板。設置於屏蔽層上之天線元件經由配置於半導體元件旁邊之連接部、及模組基板而與半導體元件電性連接。模組基板與天線元件之間之半導體元件及連接部藉由密封樹脂而密封。
於專利文獻2中，揭示有一種搭載有功率放大器用電晶體等電路零件之電路模組。於該電路模組中，於搭載有電路零件之模組基板之上表面整面上，以包入電路零件之方式形成有絕緣樹脂層。框狀之側面屏蔽板以包圍電路零件周圍之方式搭載於模組基板上，並埋設於絕緣樹脂層中。於絕緣樹脂層之上表面形成有上表面屏蔽層。
於專利文獻3所揭示之無線通訊模組中，於介電基板之內部配置有接地層。於較接地層更靠下側之面構裝有高頻元件。於較設置層更靠上側 配置有天線圖案。複數個訊號用導體柱及複數個接地導體柱自構裝有高頻元件之面突出。訊號用導體柱連接於高頻元件，接地導體柱連接於接地層。訊號用導體柱及接地導體柱之前端電性連接於構裝基板之端子。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2013-21628號公報
[專利文獻2]日本特開2007-157891號公報
[專利文獻3]國際公開第2016/063759號
於專利文獻1所揭示之裝置中，於屏蔽層之兩側，分別配置有半導體元件與天線元件。因此，該裝置具有將半導體元件、屏蔽層、及天線元件積層而成之構造。因此，難以使裝置整體之厚度較半導體元件、屏蔽層、及天線元件之各者之厚度之合計為薄。
於專利文獻2所揭示之電路模組中並未搭載天線元件。因此，必須與電路模組分開地另外準備天線元件，且將兩者連接。
專利文獻3所揭示之無線通訊模組中，並未屏蔽高頻元件。
本發明之目的在於提供一種能夠屏蔽高頻半導體元件、且能夠薄型化之高頻模組。
本發明之第1觀點之高頻模組，具有：介電基板； 接地平面，其設置於上述介電基板之內部或上表面；高頻半導體元件，其構裝於上述介電基板之底面；屏蔽構造，其配置於較上述接地平面更靠上述底面側之空間，自上述高頻半導體元件之下方與側方包圍上述高頻半導體元件，且與上述接地平面連接；開口，其設置於上述屏蔽構造；及輻射構造部，其使自上述高頻半導體元件輸出之高頻訊號自上述開口以電磁波形式輻射。
可利用接地平面與屏蔽構造來屏蔽高頻半導體元件。自作為屏蔽層而發揮功能之接地平面觀察，由於高頻半導體元件與輻射構造部配置於相同之側，故可謀求高頻模組之薄型化。
11‧‧‧介電基板
12‧‧‧接地平面
13‧‧‧高頻半導體元件
14‧‧‧通孔導體
15‧‧‧導體柱
16‧‧‧輸入輸出用之端子
17‧‧‧密封樹脂層
18‧‧‧通孔導體
20‧‧‧屏蔽構造
20A‧‧‧第1部分
20B‧‧‧第2部分
20C‧‧‧第3部分
30‧‧‧輻射構造部
31‧‧‧平板天線
32‧‧‧傳輸線路
33‧‧‧導體柱
34A‧‧‧饋電元件
34B‧‧‧無饋電元件
35、36‧‧‧上部輻射元件
37、38‧‧‧傳輸線路
40‧‧‧槽孔天線
41‧‧‧激振導體
42‧‧‧導體柱
圖1A係第1實施例之高頻模組之剖面圖，圖1B係圖1A之單點鏈線1B-1B之平剖面圖。
圖2係第2實施例之高頻模組之剖面圖。
圖3A係第3實施例之高頻模組之剖面圖，圖3B係圖3A之單點鏈線3B-3B之平剖面圖。
圖4A係第3實施例之變形例之高頻模組之剖面圖，圖4B係圖4A之單點鏈線4B-4B之平剖面圖。
圖5係第4實施例之高頻模組之剖面圖。
圖6係第5實施例之高頻模組之剖面圖。
圖7係第6實施例之高頻模組之剖面圖。
圖8係第7實施例之高頻模組之剖面圖。
圖9A係第8實施例之高頻模組之剖面圖，圖9B係第8實施例之高頻模組之槽孔天線部之仰視圖。
圖10A係第9實施例之高頻模組之剖面圖，圖10B係第9實施例之高頻模組之槽孔天線部之仰視圖。
圖11A係表示反射係數S11之模擬結果之曲線圖，圖11B係表示天線增益之模擬結果之曲線圖。
[第1實施例]
參照圖1A及圖1B，對第1實施例之高頻模組進行說明。
圖1A係第1實施例之高頻模組之剖面圖。於介電基板11之一面(以下稱為「上表面」)配置有接地平面(接地圖案)12。於介電基板11之另一面(以下稱為「底面」)構裝有高頻半導體元件13及其他被動元件。於本說明書中，將介電基板11之上表面所朝之方向定義為上方，將底面所朝之方向定義為「下方」，將相對於上下方向正交之方向定義為「側方」。再者，亦有如下情形，即，將相對於某基準位置相對地位於上方之區域、位於下方之區域、及位於側方之區域分別簡稱為「上方」、「下方」、及「側方」。複數個導體柱15自介電基板11之底面朝下方延伸。複數個導體柱15分別經由介電基板11內之配線及通孔導體而連接於高頻半導體元件13。
於介電基板11之底面形成有密封樹脂層17。密封樹脂層17埋入高頻半導體元件13及導體柱15。高頻半導體元件13由密封樹脂層17完全地覆蓋，複數個導體柱15之各者到達密封樹脂層17之表面(底面)。於導體柱15之各者之前端設置有輸入輸出用之端子16。
屏蔽構造20配置於較接地平面12更靠底面側之空間，且將高頻半導體元件13、及其他被動元件自下方與側方包圍。屏蔽構造20經由於介電基板11內沿厚度方向延伸之複數個通孔導體14而連接於接地平面12。屏蔽構造20包含配置於較高頻半導體元件13更靠下方之平面狀之第1部分20A、及自側方包圍高頻半導體元件13之框狀之第2部分20B。第1部分20A係與介電基板11之底面平行配置。第2部分20B將第1部分20A連接於通孔導體14。
高頻半導體元件13之下方及側方藉由屏蔽構造20而屏蔽，上方藉由接地平面12而屏蔽。將接地平面12與屏蔽構造20連接之複數個通孔導體14於俯視下以包圍高頻半導體元件13之方式而排列。複數個通孔導體14排列之間隔設定為於應自高頻模組輻射之電磁波之頻域可看作實質上於排列方向上連續之程度之寬窄。因此，複數個通孔導體14亦於應自高頻模組輻射之電磁波之頻域具有屏蔽功能。
於第1部分20A至少形成有1個開口23。於由屏蔽構造20、接地平面12、及周圍之通孔導體14所包圍之空間、或與開口23相同之平面上配置有輻射構造部30。配置於介電基板11內之傳輸線路32將高頻訊號自高頻半導體元件13傳輸至輻射構造部30為止。輻射構造部30使自高頻半導體元件13輸出之高頻訊號自開口23以電磁波形式輻射。此處，所謂「自開口23」包含「電磁波通過開口23內」、及「開口23本身成為輻射源」之兩者。
圖1B係圖1A之單點鏈線1B-1B之平剖面圖。於密封樹脂層17內密封有高頻半導體元件13。於與高頻半導體元件13不同之位置處設置有輻射構造部30。複數個導體柱15自側方包圍高頻半導體元件13及輻射構造部30。複數個導體柱15例如沿著虛擬長方形之外周而配置。於配置有複數個導體柱15之區域之外側，配置有屏蔽構造20之第2部分20B。第2部分20B包圍配置有複數個導體柱15之區域。第2部分20B於俯視下具有例如沿著虛擬長方形之外周線之形 狀。
其次，對圖1所示之第1實施例之高頻模組之製造方法進行說明。使用普通之印刷配線基板之製造方法而製作設置有接地平面12、通孔導體14、及傳輸線路32等之介電基板11。於該介電基板11上構裝高頻半導體元件13等電路零件、導體柱15、及屏蔽構造20之框狀之第2部分20B。於該等零件之構裝中，例如可使用迴焊技術。
將零件構裝於介電基板11之底面之後，對介電基板11之底面塗佈液狀樹脂。藉由使所塗佈之液狀樹脂硬化而形成密封樹脂層17。其後，藉由對密封樹脂層17之表層部進行研磨而使導體柱15之上表面及第2部分20B之上表面露出。於密封樹脂層17研磨後，形成屏蔽構造20之第1部分20A。進而，於導體柱15之露出之上表面形成輸入輸出用之端子16。最後，以高頻模組為單位將介電基板11及密封樹脂層17分離。
其次，對圖1所示之第1實施例之優異效果進行說明。於第1實施例中，將對輻射構造部30供給高頻訊號之高頻半導體元件13等被動元件、及連接該等之傳輸線路配置於由接地平面12、通孔導體14、及屏蔽構造20所包圍之空間內。因此，可屏蔽朝向高頻半導體元件13等之來自所有方向之電磁雜訊之入射、及朝向所有方向之電磁雜訊之輻射。
又，於第1實施例中，可朝介電基板11之下方向、例如構裝有高頻半導體元件13之底面所朝之方向輻射電磁波。於使介電基板11之下方向具有指向性之情形時，一般而言，將屏蔽構造20之第1部分20A用作天線之接地，且於屏蔽構造20之下側配置輻射元件。於該構造中，將高頻半導體元件13、屏蔽構造20、及輻射元件之3個構造物積層。
相對於此，於第1實施例中，將輻射構造部30相對於屏蔽構造20配置於與高頻半導體元件13相同側。因此，可謀求高頻模組之薄型化。
於使電磁波通過開口23內而輻射之情形時，為了抑制輻射效率之降低，較佳為使開口23之尺寸為輻射之電磁波之有效波長之1/2以上。例如，於將開口23設為正方形之情形時，較佳為使正方形之一邊之長度為有效波長之1/2以上。
若使開口23過大，則對於應屏蔽之頻域之電磁雜訊之屏蔽效果會降低。例如，較佳為將開口23之尺寸設為與高頻半導體元件13之動作中所使用之中頻訊號及局部(local)訊號之頻率中之最高頻率對應之有效波長之1/2以下。藉由如此設定開口23之尺寸而可有效地屏蔽中頻訊號及局部訊號之頻域之電磁雜訊。
[第2實施例]
其次，參照圖2對第2實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第1實施例之高頻模組(圖1)共通之構成省略說明。
圖2係第2實施例之高頻模組之剖面圖。於第2實施例中，於較接地平面12更靠上方之部分(以接地平面12為基準而與輻射構造部30為相反側)配置有上部輻射元件35、36。例如，將接地平面12配置於介電基板11之內層，將上部輻射元件35配置於介電基板11之上表面。將另一個上部輻射元件36配置於較接地平面12更靠上方之介電基板11內。例如，一個上部輻射元件35為平板天線，另一個上部輻射元件36為單極天線。
上部輻射元件35、36分別經由配置於介電基板11內之傳輸線路37、38而連接於高頻半導體元件13，且藉由高頻半導體元件13驅動。傳輸線路37、38通過設置於接地平面12上之開口而自接地平面12之上側之空間朝下側之空間延伸。
於第2實施例中，輻射構造部30、上部輻射元件35及36分別朝高頻模組之下方、上方、及側方輻射電磁波。如此，第2實施例之高頻模組可 朝上方、下方、及側方之複數個方向輻射電磁波。
再者，亦可僅配置上部輻射元件35及36之一者。例如，配置有上部輻射元件35之高頻模組可朝下方及上方輻射電磁波。配置有上部輻射元件36之高頻模組可朝下方及側方輻射電磁波。
[第3實施例]
其次，參照圖3A及圖3B對第3實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第2實施例之高頻模組(圖2)共通之構成省略說明。
圖3A係第3實施例之高頻模組之剖面圖，圖3B係圖3A之單點鏈線3B-3B之平剖面圖。於第3實施例中，屏蔽構造20包含自開口23之緣延伸至介電基板11之底面之中空之筒狀之第3部分20C。圖3B表示第3部分20C為角筒狀之例，但亦可將第3部分20C設為圓筒狀。第3部分20C經由配置於介電基板11內之複數個通孔導體18而連接於接地平面12。於俯視下，第3部分20C與開口23之外周線大體一致。複數個通孔導體18於俯視下沿著筒狀之第3部分20C而離散地排列。複數個通孔導體18排列之間隔設定為於應自高頻模組輻射之電磁波之頻域可看作實質上於排列方向上連續之程度之寬窄、例如波長之1/4。
於藉由屏蔽構造20、接地平面12、及通孔導體14、18而屏蔽之空間中配置有高頻半導體元件13。輻射構造部30於俯視下配置於由筒狀之第3部分20C所包圍之區域、即被屏蔽之空間之外側。
於第3實施例中，藉由設置筒狀之第3部分20C及複數個通孔導體18，較第1及第2實施例而可提高屏蔽效果。
其次，參照圖4A及圖4B對第3實施例之變形例之高頻模組進行說明。圖4A係第3實施例之變形例之高頻模組之剖面圖。圖4B係圖4A之單點鏈線4B-4B之剖面圖。於本變形例中，作為屏蔽構造20之第3部分20C，使用複數個導體柱代替筒狀之導體。複數個導體柱於俯視下沿著開口23之外周線而離散 地排列。複數個導體柱排列之間隔設定為於應自高頻模組輻射之電磁波之頻域可看作實質上於排列方向上連續之程度之寬窄、例如波長之1/4。如此，作為第3部分20C，亦可使用複數個導體柱代替筒狀之導體。
[第4實施例]
其次，參照圖5對第4實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第3實施例之高頻模組(圖3)共通之構成省略說明。
圖5係第4實施例之高頻模組之剖面圖。於第4實施例中，使用平板天線31作為輻射構造部30。平板天線31形成於介電基板11之底面上。於俯視下，平板天線31配置於開口23之內側。自平板天線31輻射之電磁波通過開口23內而輻射至外部。
平板天線31相對於接地平面12於相反方向具有較強之指向性。因此，可於高頻模組之下方向獲得較強之指向性。
[第5實施例]
其次，參照圖6對第5實施例之高頻模組進行說明。以下，關於與第4實施例之高頻模組(圖5)共通之構成省略說明。
圖6係第5實施例之高頻模組之剖面圖。於第5實施例中，亦與第4實施例同樣地使用平板天線31作為輻射構造部30。於第5實施例中，平板天線31配置於與開口23相同之平面上。例如，於密封樹脂層17之表面，配置有屏蔽構造20之第1部分20A、及作為輻射構造部30之平板天線31。平板天線31經由配置於密封樹脂層17內之導體柱33而與配置於介電基板11之內部之傳輸線路32連接。
於第5實施例中，較第4實施例，自接地平面12至平板天線31之距離較長。因此，可謀求較第4實施例之高頻模組更寬頻帶化。
[第6實施例]
其次，參照圖7對第6實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第4實施例之高頻模組(圖5)共通之構成省略說明。
圖7係第6實施例之高頻模組之剖面圖。於第6實施例中，作為輻射構造部30，使用由饋電元件34A與無饋電元件34B所構成之堆疊平板天線。饋電元件34A與第4實施例之平板天線31(圖5)同樣地形成於介電基板11之底面上。無饋電元件34B配置於與開口23相同之平面上、且開口23之內側。例如，無饋電元件34B形成於密封樹脂層17之表面。無饋電元件34B與饋電元件34A電磁耦合。
於第6實施例中，藉由饋電元件34A與無饋電元件34B產生雙共振而可謀求寬頻帶化。
[第7實施例]
其次，參照圖8對第7實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第1實施例之高頻模組(圖1)共通之構成省略說明。
圖8係第7實施例之高頻模組之剖面圖。於第7實施例中，作為輻射構造部30，使用將開口23設為狹縫、且使一次共振頻率具有應輻射之電磁波之頻率之槽孔天線40。對於較槽孔天線40之一次共振頻率低之頻域之電磁波，屏蔽構造20作為無開口23之導體而動作，故可實現良好之屏蔽特性。
[第8實施例]
其次，參照圖9A及圖9B對第8實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第7實施例之高頻模組(圖8)共通之構成省略說明。
圖9A係第8實施例之高頻模組之剖面圖，圖9B係槽孔天線部之仰視圖。於第7實施例中，並未將槽孔天線40(圖8)之激振構造具體化，但於第8實施例中，輻射構造部30包含槽孔天線40及激振導體41。激振導體41經由傳輸線路32而連接於高頻半導體元件13。
藉由激振導體41作為平板天線動作而自激振導體41輻射電磁波。由該電磁波激振槽孔天線40。槽孔天線40之開口23係以於俯視下與正方形之激振導體41之相互對向之2邊交叉之方式而配置。
[第9實施例]
其次，參照圖10A至圖11B之圖式，對第9實施例之高頻模組進行說明。以下，對於與第8實施例之高頻模組(圖8)共通之構成省略說明。
圖10A係第9實施例之高頻模組之剖面圖，圖10B係槽孔天線部之仰視圖。於第8實施例中，槽孔天線40藉由激振導體41(圖9A、圖9B)激振，但於第9實施例中，自高頻半導體元件13經由差動傳輸線路而將差動訊號饋電至槽孔天線40。
差動傳輸線路包含配置於介電基板11內之一對傳輸線路32、及配置於密封樹脂層17內之一對導體柱42。一對導體柱42之上表面連接於開口23之兩側之導體(屏蔽構造20之第1部分20A)。饋電點於開口23之長度方向位於大致中心。於第9實施例中，作為輻射構造部30，使用將開口23設為狹縫之槽孔天線40。
其次，對第9實施例之優異效果進行說明。藉由模擬而算出對槽孔天線40進行差動饋電時、及進行一點饋電時之反射係數S11與天線增益。以下，對模擬結果進行說明。
將模擬對象之槽孔天線40之形成有狹縫之導體平面與接地平面12之間隔設為0.5mm，將對槽孔天線40饋電之導體柱42之直徑設為0.25mm。將進行差動饋電之情形時之槽孔天線40之開口之長度設為2.3mm，寬度設為0.2mm。作為比較例，將進行一點饋電之情形時之槽孔天線之開口之長度設為2.2mm，寬度設為0.2mm。於進行一點饋電之情形時，將一對導體柱之一者連接於地線。
圖11A係表示反射係數S11之模擬結果之曲線圖。橫軸中將頻率以單位「MHz」表示，縱軸中將反射係數S11以單位「dB」表示。圖11B表示天線增益之模擬結果之曲線圖。橫軸中將頻率以單位「MHz」表示，縱軸中將天線增益以單位「dBi」表示。於圖11A及圖11B之曲線圖中，實線表示進行差動饋電之情形時之模擬結果，虛線表示進行一點饋電之情形時之模擬結果。
自反射係數S11之模擬結果(圖11A)可知，藉由進行差動饋電而可謀求較進行一點饋電之情形更寬頻帶化。又，自天線增益之模擬結果(圖11B)可知，藉由進行差動饋電而可獲得較進行一點饋電之情形更高之天線增益。
於第9實施例中，對槽孔天線40進行差動饋電，故可謀求寬頻帶化及高增益化。又，若為了饋電而使用差動傳輸線路，則電磁場集中於一對傳輸線路32及一對導體柱42之附近。因此，可降低由屏蔽構造20及接地平面12所包圍之空間內之高頻訊號之干涉。
於上述第1實施例至第9實施例之各實施例中，於屏蔽構造20中形成有1個開口23，但亦可形成複數個開口23。於該情形時，對複數個開口23分別配置輻射構造部30即可。例如，藉由複數個輻射構造部30及開口23而可構成陣列天線。
上述各實施例為例示，當然能夠進行由不同之實施例所表示之構成之局部的置換或組合。關於由複數個實施例之相同之構成所產生之相同之作用效果，並未於每一實施例中逐一提及。進而，本發明並非限制於上述實施例。例如，對本領域中具有通常知識者而言當然明白，能夠進行各種變更、改良、組合等。
11‧‧‧介電基板
12‧‧‧接地平面
13‧‧‧高頻半導體元件
14‧‧‧通孔導體
15‧‧‧導體柱
16‧‧‧輸入輸出用之端子
17‧‧‧密封樹脂層
20‧‧‧屏蔽構造
20A‧‧‧第1部分
20B‧‧‧第2部分
23‧‧‧開口
30‧‧‧輻射構造部
32‧‧‧傳輸線路

Claims (9)

  1. 一種高頻模組，具有：介電基板；接地平面，其設置於上述介電基板之內部或上表面；高頻半導體元件，其構裝於上述介電基板之底面；屏蔽構造，其配置於較上述接地平面更靠上述底面側之空間，自上述高頻半導體元件之下方與側方包圍上述高頻半導體元件，且與上述接地平面連接；開口，其設置於上述屏蔽構造；輻射構造部，其使自上述高頻半導體元件輸出之高頻訊號自上述開口以電磁波形式輻射；及上部輻射元件，配置於上述介電基板之較上述接地平面更靠上方之部分，藉由上述高頻半導體元件驅動。
  2. 如請求項1所述之高頻模組，其中，上述屏蔽構造包含：於較上述高頻半導體元件更靠下方、與上述介電基板平行配置之第1部分；及將上述第1部分連接於上述接地平面之第2部分；上述開口係設置於上述第1部分。
  3. 如請求項1所述之高頻模組，其中，上述屏蔽構造包含：於較上述高頻半導體元件更靠下方、與上述介電基板平行配置之第1部分；及將上述第1部分連接於上述接地平面之第2部分；上述開口係設置於上述第1部分。
  4. 如請求項1至3中任一項所述之高頻模組，其中，上述輻射構造部包含平板天線，該平板天線配置於由上述接地平面與上述屏蔽構造所包圍之空間內，且朝上述開口輻射電磁波。
  5. 如請求項1至3中任一項所述之高頻模組，其中，上述輻射構造 部包含：饋電元件，其配置於由上述接地平面與上述屏蔽構造所包圍之空間內，且自上述高頻半導體元件饋電；及無體電元件，其配置於與上述開口相同之平面上、且上述開口之內側，與上述饋電元件電磁耦合。
  6. 如請求項1至3中任一項所述之高頻模組，其中，上述輻射構造部包含：平板天線，其配置於與上述開口相同之平面上、且上述開口之內側；導體柱，其自上述介電基板之上述底面到達上述平板天線；及傳輸線路，其將高頻訊號自上述高頻半導體元件傳輸至上述導體柱為止。
  7. 如請求項1至3中任一項所述之高頻模組，其中，上述輻射構造部包含槽孔天線，該槽孔天線將上述開口設為狹縫。
  8. 如請求項7所述之高頻模組，其中，上述輻射構造部包含激振導體，該激振導體配置於由上述屏蔽構造所屏蔽之空間內，激振上述槽孔天線。
  9. 如請求項7所述之高頻模組，其中，上述輻射構造部包含差動傳輸線路，該差動傳輸線路將差動訊號自上述高頻半導體元件供給至上述槽孔天線。
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