TWI683762B - 搬運車系統 - Google Patents
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Abstract
搬運車系統(1)係具備:在下段軌道(20)朝其中一方向行駛的第1搬運車(40A);在上段軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車(40B);從第2搬運車受取被搬運物(F),並且將被搬運物授予第1搬運車之第1收授部(13);以及從第1搬運車受取被搬運物,並且將被搬運物授予第2搬運車之第2收授部(15)。區域(10)係分別具有第1領域(10A)與第2領域(10B),下段軌道係配置成橫跨第1領域與第2領域,在第1領域內,配置第1收授部及第2收授部,在第2領域內,配置可與第1搬運車之間收授被搬運物之第3收授部(11A),第1領域內的下段軌道,係朝其中一方向依照第2收授部、第1收授部的順序被分別配置,第1領域內的上段軌道係依照第1收授部、第2收授部的順序被分別配置。
Description
本發明係關於搬運車系統。
已知的搬運車系統之一,係將搬運車沿著設在頂棚的軌道行駛來搬運物品。例如:在半導體工場等場所,用來搬運物品的搬運車系統,係配置有:分別環繞在被設置了用來進行相同或近似的處理的處理裝置之複數個區域(內部迴圈)的軌道(圈內路線);連接上述複數個區域之間的第2軌道(圈際路線)。搬運車在將物品從其中一個區域往其他區域搬運時,係從其中一個區域的圈內路線經過圈際路線,而駛入作為目的之其他區域的圈內路線內。
近年來,隨著半導體工場的大規模化,在圈內路線及圈際路線之兩者,都有增加搬運量也就是增加搬運車台數的傾向。在上述的構成方式的搬運車系統中,由於在各區域內的處理裝置的處理能力(吞吐量)係有差別,因此增加搬運車台數的話,吞吐量較高的區域內的搬運車的密度也會增大,在從圈際路線進到圈內路線的入口
處以及在圈內路線內的搬運車的堵塞現象會有趨於慢性化的虞慮。
作為用來謀求提昇區域內的搬運能力之搬運車系統,例如專利文獻1的搬運車系統,係除了:行駛圈內路線及圈際路線之兩者的第1搬運車用的行駛軌道之外,又在吞吐量較高的處理裝置的旁邊局部性地配置第2搬運車用的行駛軌道,在第1搬運車與第2搬運車之間,係經由暫存區來收授物品,第2搬運車則是在暫存區與設備之間收授物品。上述搬運車系統是以這種方式,對於吞吐量較高的處理裝置局部性地配置第2搬運車,藉此,可局部性地提昇搬運能力。
[專利文獻1]日本特開2006-224944號公報
然而,上述習知的系統,從第1搬運車將物品交付給第2搬運車時,第1搬運車必須從圈際路線進入到圈內路線內。因此,如果搬運量增加的話,區域內的搬運車的密度也會增大,而有發生堵塞現象之虞慮,對於區域內整體的搬運能力的提昇無法充分助益。
因此,本發明之目的,係提供:可謀求提昇
搬運能力及緩和搬運車的堵塞現象之搬運車系統。
本發明的搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道;在第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車;連接複數個區域之間的第2軌道;在第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車;從第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予第1搬運車之第1收授部;從第1搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予第2搬運車之第2收授部;區域係分別具有第1領域與第2領域,第1軌道係配置成橫跨第1領域與第2領域,在第1領域內,配置第1收授部及第2收授部,在第2領域內,配置可與第1搬運車之間收授被搬運物之第3收授部,第1領域內的第1軌道,係在第1搬運車的行駛方向上,被配置成依序通過第2收授部、第1收授部,第1領域內的第2軌道,係在第2搬運車的行駛方向上,被配置成依序通過第1收授部、第2收授部。
根據這種構成方式的搬運車系統,係可分別將第1搬運車當作區域內搬運用,將第2搬運車當作區域間搬運用來使用,因此,第1搬運車不必行駛於區域間,以及第2搬運車不必行駛於區域內。換言之,第1搬運車與第2搬運車係可各自分擔不同工作,行駛於區域內的第1搬運車的台車數無需增減,可隨時保持一定數量。藉此,可很有效率地讓搬運車行駛,能夠緩和堵塞現象。並
且當第1搬運車沿著第1軌道朝其中一方向行駛中,係在第1收授部從第2搬運車受取被搬運物,而在第3收授部授予該被搬運物,或者是在第3收授部受取被搬運物,而在第2收授部將該被搬運物授予第2搬運車。此外,同樣地,當第2搬運車沿著第2軌道朝其中一方向行駛中,係在第1收授部將被搬運物授予第1搬運車,並且在第2收授部從第1搬運車受取該被搬運物。以這種方式,第1搬運車及第2搬運車係在一連串的行駛中,係可反覆地執行:受取被搬運物,然後,授予被搬運物的動作,對於第1搬運車及第2搬運車而言,係可執行有效率的搬運。此一結果,係可謀求搬運能力的提昇、以及緩和搬運車的堵塞現象。
在其中一種實施方式中,亦可將第3收授部在沿著第1軌道的方向上,配置在第1收授部與第2收授部之間。
這種構成方式的搬運車系統,當第1搬運車在第1軌道朝其中一方向行駛中,係在第1收授部從第2搬運車受取被搬運物,而在第3收授部授予該被搬運物,或者,在第3收授部受取被搬運物,而在第2收授部將該被搬運物授予第2搬運車。以這種方式,第1搬運車在一連串的行駛中,係可反覆地執行:受取被搬運物,然後,授予被搬運物的動作,對於第1搬運車而言,係可執行有效率的搬運。
在其中一種實施方式中,第1收授部及/或
第2收授部,亦可在分別行駛於互相平行配置的第1軌道及第2軌道上的第1搬運車及第2搬運車之間,收授被搬運物。又,此處所稱的「平行」,也包含了:大致為平行。
根據這種構成方式的搬運車系統,係可很容易地配置:可從第1搬運車及第2搬運車收授被搬運物的第1收授部及/或第2收授部。
在其中一種實施方式中,第1搬運車及第2搬運車亦可在互相平行配置的第1軌道及第2軌道上,朝相同方向行駛。又,此處所稱的「平行」,也包含了:大致為平行。
在其中一種實施方式中,第1收授部及/或第2收授部亦可配置在:第1軌道及第2軌道的其中一方的下方,並且是位於第1軌道及第2軌道的另一方的側方。
根據這種構成方式的搬運車系統,係可節省搬運車系統的設備面積的空間。又,對於第1收授部及/或第2收授部進行收授被搬運物的第1搬運車及/或第2搬運車,只要藉由執行昇降台的昇降及昇降台的橫移之其中一方的動作之簡易的控制,即可收授被搬運物。藉此,可縮短進行被搬運物的收授所需的時間。此外,第1搬運車或第2搬運車係可採用:不具有橫移機構的搬運車。
在其中一種實施方式中,第1收授部及/或第2收授部亦可配置在:第2軌道的下方,並且是位於第
1軌道的側方。
在其中一種實施方式中,亦可在第1收授部配置複數個第1載置部,第2搬運車係優先地從配置在其中一方向的上游側的第1載置部授予被搬運物,第1搬運車係優先地從配置在其中一方向的上游側的第1載置部受取被搬運物。
根據這種構成方式的搬運車系統,第2搬運車係可在較早的階段就將被搬運物授予第1收授部,第1搬運車係可在較早的階段就從第1收授部受取被搬運物。藉此,第2搬運車係可增加授予被搬運物的機會,第1搬運車係可增加受取被搬運物的機會,因此可很有效率地執行從第2搬運車到第1搬運車之被搬運物的收授。
在其中一種實施方式中,亦可在第2收授部配置複數個第2載置部,第1搬運車係優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部授予被搬運物,第2搬運車係優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部受取被搬運物。
根據這種構成方式的搬運車系統,第1搬運車係可在較早的階段就將被搬運物授予第2收授部,第2搬運車係可在較早的階段就從第2收授部受取被搬運物。藉此,第1搬運車係可增加授予被搬運物的機會,第2搬運車係可增加受取被搬運物的機會,因此可很有效率地執行從第1搬運車到第2搬運車之被搬運物的收授。
在其中一種實施方式中,亦可在第2領域
中,沿著第1軌道配置:執行相同或近似的處理之處理裝置,並且經由第3收授部在第1搬運車與處理裝置之間,進行被搬運物的收授。
根據這種構成方式的搬運車系統,係可提供:可對應於迴圈方式的搬運車系統。
根據本發明,係可謀求搬運能力的提昇及緩和搬運車的堵塞現象。
1‧‧‧搬運車系統
10‧‧‧區域
10A‧‧‧第1領域
10B‧‧‧第2領域
11‧‧‧處理裝置
11A‧‧‧第3收授部
13‧‧‧第1收授部
13A~13E‧‧‧第1載置部
15‧‧‧第2收授部
15A~15E‧‧‧第2載置部
20‧‧‧下段軌道(第1軌道)
20A‧‧‧下段圈內路線
20B‧‧‧下段圈際路線
20C‧‧‧連絡路線
30‧‧‧上段軌道(第2軌道)
30A‧‧‧上段圈際路線
30B‧‧‧繞道部
40A‧‧‧第1搬運車
40B‧‧‧第2搬運車
80‧‧‧系統控制裝置
120、220‧‧‧第1軌道
130、230‧‧‧第2軌道
F‧‧‧被搬運物
第1圖係顯示本發明的其中一種實施方式的搬運車系統的結構之結構圖。
第2圖係將第1圖的搬運車系統的部分結構予以擴大顯示的平面圖。
第3圖係從第1圖中的III-III線來觀看時的正面圖。
第4圖(a)係顯示在第2搬運車的第1收授部之被搬運物的收授方法之正面圖;第4圖(b)係顯示在第1搬運車的第1收授部之被搬運物的收授方法之正面圖。
第5圖(a)係顯示在第2搬運車的第2收授部之被搬運物的收授方法之正面圖;第5圖(b)係顯示在第1搬運車的第2收授部之被搬運物的收授方法之正面圖。
第6圖係顯示第1圖的第1搬運車及第2搬運車的結
構之一例的側面圖。
第7圖係從第1圖中的III-III線來觀看變形例2的搬運車系統時的正面圖。
第8圖係從第1圖中的III-III線來觀看變形例3的搬運車系統時的正面圖。
以下將佐以圖面來說明本發明之其中一種實施方式。在圖面的說明中,針對於同一個構成元件係標示同一個元件符號,並省略其重複的說明。
如第1圖所示,搬運車系統1針對於配置了執行相同或近似的處理之複數個處理裝置11的區域10之間,係使用可沿著軌道移動的第1搬運車40A及第2搬運車40B來搬運被搬運物F(例如:請參考第3圖)。被搬運物F的一種例子是前開式晶圓傳送盒(FOUP;Front Opening Unified Pod)。此處,係舉出例如在半導體工場等場所,第1搬運車40A及第2搬運車40B係沿著架設在工場的頂棚等的單向通行的軌道行駛的搬運車系統1為例來做說明。
如第1圖所示,搬運車系統1,主要係具有:下段軌道(第1軌道)20、在下段軌道20朝其中一方向行駛的第1搬運車40A、第3收授部11A、設置在較之下段軌道20更上方的上段軌道(第2軌道)30、在上段軌道30朝其中一方向行駛的第2搬運車40B、第1收授部
13、第2收授部15、系統控制裝置80。區域10係具有:被配置第1收授部13及第2收授部15之第1領域10A、被配置處理裝置11及第3收授部11A之第2領域10B。
下段軌道20係具有:下段圈內路線20A、下段圈際路線20B、連絡路線20C。下段圈內路線20A係被配置在區域10內,朝單一方向環繞的軌道。配置在區域10內的複數個處理裝置11,係沿著下段圈內路線20A配置。下段圈際路線20B係用來將被配置在互相不同區域10內的下段圈內路線20A彼此之間連接在一起的軌道。連絡路線20C係用來連接下段圈內路線20A與下段圈際路線20B的軌道。複數個第1搬運車40A係行駛於下段軌道20。下段圈內路線20A係配置成:橫跨第1領域10A與第2領域10B。在行駛於下段圈內路線20A的第1搬運車40A的行駛方向上,第2收授部15係配置在第1收授部13的上游側。亦即,第1領域10A內的下段圈內路線20A,係在第1搬運車40A的行駛方向上,配置成:依序地通過第2收授部15、第1收授部13。
第3收授部11A係在處理裝置11與第1搬運車40A之間,收授被搬運物F的埠(port)。第3收授部11A係分別配置在複數個處理裝置11的前方。
上段軌道30係配置在下段軌道20上方的軌道,具有:上段圈際路線30A與繞道部30B。上段圈際路線30A係連接區域10之間的軌道。繞道部30B係從上段圈際路線30A分支而進入區域10內的第1領域10A的一
部分,然後,再度回到上段圈際路線30A的軌道。在上段軌道30係有複數個第2搬運車40B行駛。在行駛於繞道部30B的第2搬運車40B的行駛方向上,第1收授部13係配置在第2收授部15的上游側。亦即,第1領域10A內的繞道部30B係被配置成:在第2搬運車40B的行駛方向上,係依序地通過第1收授部13、第2收授部15。
此外,在區域之間搬運被搬運物F時,原則上係利用行駛於上段圈際路線30A的第2搬運車40B來執行(詳細理由容後說明)。在平常的搬運時,原則上並不使用下段圈際路線20B,例如:只有在上段圈際路線30A無法使用的情況等的非常時期才使用。以這種方式,在平常的搬運時,係將下段軌道20當作內部迴圈搬運用,而將上段軌道30當作圈際迴圈搬運用,來分別使用它們,因此可以緩和圈內路線中的堵塞現象。
此外,上段圈際路線30A雖然是配置在下段圈際路線20B的上方,但是,在第1圖及第2圖中,為了便於說明起見,係將下段圈際路線20B及上段圈際路線30A繪製成左右並排(在第1圖及第2圖的右側)。
第1收授部13,係從第2搬運車40B受取被搬運物F,並且將被搬運物F授予第1搬運車40A的埠(port)。第1收授部13係被吊掛於從未圖示的頂棚往下吊掛的吊掛構件上。亦即,如第3圖所示,第1收授部13係設在與地板面14保持分開的位置。第1收授部13,係在分別行駛於:從平面圖觀看時呈互相平行配置的下段
圈內路線20A及繞道部30B的第1搬運車40A與第2搬運車40B之間,收授被搬運物F。
如第2圖所示,第1收授部13係沿著其中一方向(第2搬運車40B的行駛方向)配置有複數個(在本實施方式中係有五個)第1載置部13A~13E。行駛於繞道部30B後進入到區域10內的第2搬運車40B,係優先地從配置在其中一方向的上游側的第1載置部13A執行被搬運物F的授予工作。又,第1搬運車40A則是優先地從配置在其中一方向的上游側的第1載置部13A執行被搬運物F的受取工作。
又,如第3圖所示,第1收授部13係配置在行駛於繞道部30B的第2搬運車40B的下方,並且是配置在行駛於下段圈內路線20A的第1搬運車40A的側方。此外,第1搬運車40A及第2搬運車40B,從平面圖觀察時,係在互相平行配置的下段圈內路線20A及繞道部30B朝相同方向行駛。
從第2搬運車40B對於第1搬運車40A收授被搬運物F的方法,係如下所述。亦即,如第4圖(a)所示,行駛於繞道部30B的第2搬運車40B,係停止在第1收授部13(例如:第1載置部13A)的上方。第2搬運車40B係驅動昇降驅動部43(容後詳述)而將被搬運物F載置於第1載置部13A。如此一來,就結束了將被搬運物從第2搬運車40B授予到第1收授部13的工作。
其次,行駛於下段圈內路線20A的第1搬運
車40A,係如第4圖(b)所示,係在第1收授部13(例如:第1載置部13A)的側方停止。第1搬運車40A驅動橫向驅動部41(容後詳述)及昇降驅動部43(請參考第6圖),而從第1載置部13A受取被搬運物F。如此一來,就結束了從第1收授部13對於第1搬運車40A授予被搬運物F的工作。亦即,結束了從第2搬運車40B對於第1搬運車40A授予被搬運物F的工作。
再回到第1圖,第2收授部15係從第1搬運車40A受取被搬運物F,並且將被搬運物F授予第2搬運車40B的埠(port)。第2收授部15,係被吊掛於從未圖示的頂棚往下吊掛的吊掛構件上。亦即,如第3圖所示,第2收授部15係設在與地板面14保持分開的位置。第2收授部15,係在分別行駛於:從平面圖觀看時呈互相平行配置的下段圈內路線20A及繞道部30B的第1搬運車40A與第2搬運車40B之間,收授被搬運物F。
如第2圖所示,第2收授部15,係沿著其中一方向配置有複數個(在本實施方式中係有五個)第2載置部15A~15E。例如:從第3收授部11A受取了被處理裝置11所處理後的被搬運物F的第1搬運車40A,係優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部15A執行授予被搬運物F的工作。又,第2搬運車40B則是優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部15A執行受取被搬運物F的工作。
又,如第3圖所示,第2收授部15係配置在
行駛於繞道部30B的第2搬運車40B的下方,並且是配置在行駛於下段圈內路線20A的第1搬運車40A的側方。此外,第1搬運車40A及第2搬運車40B,係在從平面圖觀察時呈互相平行配置的下段圈內路線20A及繞道部30B朝相同方向行駛。
從第1搬運車40A對於第2搬運車40B收授被搬運物F的方法係如下所述。亦即,如第5圖(a)所示,行駛於下段圈內路線20A的第1搬運車40A係在第2收授部15(例如:第2載置部15A)的側方停止。第1搬運車40A驅動橫向驅動部41(容後詳述)及昇降驅動部43(請參考第6圖)而將被搬運物F授予到第2載置部15A。如此一來,就結束了從第1搬運車40A將被搬運物F授予到第2收授部15的工作。
其次,行駛於繞道部30B的第2搬運車40B係如第5圖(b)所示,停止在第2收授部15(例如:第2載置部15A)的上方。第2搬運車40B驅動昇降驅動部43(容後詳述),而從第2載置部15A受取被搬運物F。如此一來,就結束了從第2收授部15將被搬運物F授予到第2搬運車40B的工作。亦即,結束了從第1搬運車40A將被搬運物F授予到第2搬運車40B的工作。
其次,說明分別行駛於下段軌道20及上段軌道30的第1搬運車40A及第2搬運車40B的結構。第1搬運車40A及第2搬運車40B都是將被搬運物F以吊掛狀態加以夾持並且進行搬運的OHT(Overhead Hoist
Transport)型搬運車。如第6圖所示,第1搬運車40A及第2搬運車40B係具有:橫向驅動部41、θ傾角驅動部42、昇降驅動部43、以及昇降台44。
橫向驅動部41,係可使:θ傾角驅動部42、昇降驅動部43及昇降台44在水平面內,朝向與行駛軌道(下段軌道20及上段軌道30)正交的方向移動的部分。θ傾角驅動部42,係在水平面內使昇降驅動部43及昇降台44轉動的部分。
昇降驅動部43,係藉由皮帶45的捲揚及釋出而使昇降台44進行昇降的部分。又,昇降驅動部43的皮帶45,亦可改用鋼線及鋼索等之適宜的吊掛材。在昇降台44的下部,係設有:用來夾持被搬運物F的夾頭46。分別設在第1搬運車40A及第2搬運車40B的前後之前框架47A及後框架47B,係可將未圖示的落下防止片往被搬運物F的下側進退,而可防止被搬運物F的落下。
如第1圖所示,系統控制裝置80係用來執行搬運車系統1整體的各種控制處理的部分,例如係由:中央處理器(CPU;Central Processing Unit)、唯讀記憶體(ROM;Read Only Memory)及隨機存取記憶體(RAM;Random Access Memory)等所組成的電子控制單元。
在本實施方式中,系統控制裝置80,例如:針對於第2搬運車40B係將其控制成:優先地從配置在其中一方向的上游側的第1載置部13A授予被搬運物F,而針對於第1搬運車40A則是控制成:優先地從配置在其中
一方向的上游側的第1載置部13A受取被搬運物F。此外,系統控制裝置80,例如:針對於第1搬運車40A係將其控制成:優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部15A授予被搬運物F,而針對於第2搬運車40B則是控制成:優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部15A受取被搬運物F。
其次,說明上述實施方式的搬運車系統1的作用效果。根據上述實施方式的搬運車系統1,係可分別將第1搬運車40A當成區域內搬運專用,而將第2搬運車40B當成區域間搬運專用,因此,第1搬運車40A不會行駛在區域之間,以及第2搬運車40B不會行駛在區域內。亦即,可使第1搬運車40A與第2搬運車40B分擔各自角色的任務,不必增減行駛在區域內的第1搬運車40A的台車數量而可隨時都將數量保持一定。藉此,可使第1搬運車40A及第2搬運車40B做有效率的行駛,可緩和堵塞現象。根據上述實施方式的搬運車系統1,第1搬運車40A在下段圈內路線20A朝其中一方向行駛中,係在第1收授部13從第2搬運車40B受取被搬運物F,在第3收授部11A授予該被搬運物F,或者是在第3收授部11A受取被搬運物F,而在第2收授部15將該被搬運物F授予第2搬運車40B。又,同樣地,第2搬運車40B在繞道部30B朝其中一方向行駛中,係在第1收授部13將被搬運物F授予第1搬運車40A,並且在第2收授部15從第1搬運車40A受取該被搬運物F。以這種方式,第1搬運車
40A及第2搬運車40B係在一連串的行駛中,反覆地執行:受取被搬運物F之後,授予該被搬運物F的動作,因此,對於第1搬運車40A及第2搬運車40B而言,可達成很有效率的搬運。其結果,係可謀求搬運能力的提昇、以及緩和搬運車的堵塞現象。
上述實施方式的搬運車系統1,第1收授部13及第2收授部15係在分別行駛於互相平行配置的下段圈內路線20A及繞道部30B的第1搬運車40A及第2搬運車40B之間,收授被搬運物F。藉此,可很容易配置:能夠從第1搬運車40A及第2搬運車40B收授被搬運物F的第1收授部13及第2收授部15。
上述實施方式的搬運車系統1,第1收授部13及第2收授部15係配置在行駛於繞道部30B的第2搬運車40B的下方,並且是配置在行駛於下段圈內路線20A的第1搬運車40A的側方,因此,可以節省搬運車系統1整體的設備面積的空間。又,第1搬運車40A只要藉由執行昇降台的橫移之簡單的控制,就可以對於第1收授部13及第2收授部15執行被搬運物F的收授,而且第2搬運車40B只要藉由昇降台的昇降之簡單的控制,就可以對於第1收授部13及第2收授部15執行被搬運物F的收授,因此,可縮短進行被搬運物F的收授所需的時間。
上述實施方式的搬運車系統1,係在第1收授部13配置有複數個第1載置部13A、13B、13C、13D、13E,第2搬運車40B係優先地從配置在其中一方向的上
游側的第1載置部13A授予被搬運物F,而第1搬運車40A係優先地從配置在其中一方向的上游側的第1載置部13A受取被搬運物F。如此一來,第2搬運車40B可以在較早階段就將被搬運物F授予第1收授部13,第1搬運車40A可以在較早階段就從第1收授部13受取被搬運物F。其結果,第2搬運車40B可增加收授被搬運物F的機會,第1搬運車40A可增加受取被搬運物F的機會,因此,可有效率地從第2搬運車40B對於第1搬運車40A執行被搬運物F的收授工作。
上述實施方式的搬運車系統1,係在第2收授部15配置有複數個第2載置部15A、15B、15C、15D、15E,第1搬運車40A係優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部15A授予被搬運物F,第2搬運車40B係優先地從配置在其中一方向的上游側的第2載置部15A受取被搬運物F。藉此,第1搬運車40A係可在較早階段將被搬運物F授予第2收授部15,第2搬運車40B係可在較早階段從第2收授部15受取被搬運物F。其結果,第1搬運車40A係可增加授予被搬運物F的機會,第2搬運車40B係可增加受取被搬運物F的機會,因此,可有效率地從第1搬運車40A對於第2搬運車40B執行被搬運物F的收授。
以上,係說明本發明的其中一種實施方式,但本發明並不限定為上述實施方式,只要是在不脫離發明的要旨的範圍內,亦可做各種的變更。
上述實施方式的搬運車系統1,係舉出:行駛於下段軌道20的第1搬運車40A以及行駛於上段軌道30的第2搬運車40B之雙方都具備橫向驅動部41的例子,亦即,係舉出:具備可將被搬運物F朝向與軌道正交的方向橫移的機構之例子來做說明。然而,在將第1收授部13及第2收授部15配置在行駛於上段軌道30的第2搬運車40B的下方之本實施方式中,第2搬運車40B亦可採用:不具備橫向驅動部41的結構。在這種情況下,係可用較低的價格來製作搬運車系統1。
此外,用來取代上述實施方式或變形例的構成方式,亦可採用例如第7圖所示的,將第1收授部13及第2收授部15配置在行駛於連接複數個區域10之間的第2軌道130之第2搬運車40B的側方,並且是配置在行駛於環繞著區域10的第1軌道120之第1搬運車40A的下方。這種情況下,只要將第3收授部11A配置在行駛於第1軌道120之第1搬運車40A的下方的話,第1搬運車40A不具備橫向驅動部41也無妨。在這種情況下,係可用較低的價格來製作搬運車系統1。
此外,用來取代上述實施方式或變形例的構成方式,亦可採用例如第8圖所示的,將第1收授部13及第2收授部15予以分別配置在:行駛於連接複數個區域10之間的第2軌道230之第2搬運車40B的側方,以及配置在行駛於環繞著區域10的第1軌道220之第1搬運車40A的側方。
1‧‧‧搬運車系統
10‧‧‧區域
10A‧‧‧第1領域
10B‧‧‧第2領域
11‧‧‧處理裝置
11A‧‧‧第3收授部
13‧‧‧第1收授部
15‧‧‧第2收授部
20‧‧‧下段軌道(第1軌道)
20A‧‧‧下段圈內路線
20B‧‧‧下段圈際路線
20C‧‧‧連絡路線
30‧‧‧上段軌道(第2軌道)
30A‧‧‧上段圈際路線
30B‧‧‧繞道部
40A‧‧‧第1搬運車
40B‧‧‧第2搬運車
80‧‧‧系統控制裝置
Claims (8)
- 一種搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道、在前述第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車、連接複數個前述區域之間的第2軌道、在前述第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車、從前述第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第1搬運車之第1收授部、從前述第1搬運車受取前述被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第2搬運車之第2收授部,前述區域係分別具有第1領域與第2領域,前述第1軌道係被配置成橫跨前述第1領域與前述第2領域,在前述第1領域內,配置有:前述第1收授部及前述第2收授部,在前述第2領域內,配置有:可與前述第1搬運車之間進行前述被搬運物的收授之第3收授部,前述第1領域內的前述第1軌道,係被配置成:在前述第1搬運車的行駛方向上,依序通過前述第2收授部、前述第1收授部,前述第1領域內的前述第2軌道,係被配置成:在前述第2搬運車的行駛方向上,依序通過前述第1收授部、前述第2收授部,前述第3收授部係在沿著前述第1軌道的方向上,被 配置於前述第1收授部與前述第2收授部之間。
- 如請求項1所述的搬運車系統,其中,前述第1收授部及/或前述第2收授部,係在分別行駛於互相平行配置的前述第1軌道及前述第2軌道上的前述第1搬運車及前述第2搬運車之間,進行前述被搬運物的收授。
- 一種搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道、在前述第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車、連接複數個前述區域之間的第2軌道、在前述第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車、從前述第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第1搬運車之第1收授部、從前述第1搬運車受取前述被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第2搬運車之第2收授部,前述區域係分別具有第1領域與第2領域,前述第1軌道係被配置成橫跨前述第1領域與前述第2領域,在前述第1領域內,配置有:前述第1收授部及前述第2收授部,在前述第2領域內,配置有:可與前述第1搬運車之間進行前述被搬運物的收授之第3收授部,前述第1領域內的前述第1軌道,係被配置成:在前述第1搬運車的行駛方向上,依序通過前述第2收授部、前述第1收授部, 前述第1領域內的前述第2軌道,係被配置成:在前述第2搬運車的行駛方向上,依序通過前述第1收授部、前述第2收授部,前述第1搬運車及前述第2搬運車係在互相平行配置的前述第1軌道及前述第2軌道上朝相同方向行駛。
- 一種搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道、在前述第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車、連接複數個前述區域之間的第2軌道、在前述第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車、從前述第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第1搬運車之第1收授部、從前述第1搬運車受取前述被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第2搬運車之第2收授部,前述區域係分別具有第1領域與第2領域,前述第1軌道係被配置成橫跨前述第1領域與前述第2領域,在前述第1領域內,配置有:前述第1收授部及前述第2收授部,在前述第2領域內,配置有:可與前述第1搬運車之間進行前述被搬運物的收授之第3收授部,前述第1領域內的前述第1軌道,係被配置成:在前述第1搬運車的行駛方向上,依序通過前述第2收授部、前述第1收授部, 前述第1領域內的前述第2軌道,係被配置成:在前述第2搬運車的行駛方向上,依序通過前述第1收授部、前述第2收授部,前述第1收授部及/或前述第2收授部係配置在:前述第1軌道及前述第2軌道的其中一方的下方,並且是位於前述第1軌道及前述第2軌道的另一方的側方。
- 一種搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道、在前述第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車、連接複數個前述區域之間的第2軌道、在前述第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車、從前述第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第1搬運車之第1收授部、從前述第1搬運車受取前述被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第2搬運車之第2收授部,前述區域係分別具有第1領域與第2領域,前述第1軌道係被配置成橫跨前述第1領域與前述第2領域,在前述第1領域內,配置有:前述第1收授部及前述第2收授部,在前述第2領域內,配置有:可與前述第1搬運車之間進行前述被搬運物的收授之第3收授部,前述第1領域內的前述第1軌道,係被配置成:在前述第1搬運車的行駛方向上,依序通過前述第2收授部、 前述第1收授部,前述第1領域內的前述第2軌道,係被配置成:在前述第2搬運車的行駛方向上,依序通過前述第1收授部、前述第2收授部,前述第1收授部及/或前述第2收授部係配置在:前述第2軌道的下方,並且位於前述第1軌道的側方。
- 一種搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道、在前述第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車、連接複數個前述區域之間的第2軌道、在前述第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車、從前述第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第1搬運車之第1收授部、從前述第1搬運車受取前述被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第2搬運車之第2收授部,前述區域係分別具有第1領域與第2領域,前述第1軌道係被配置成橫跨前述第1領域與前述第2領域,在前述第1領域內,配置有:前述第1收授部及前述第2收授部,在前述第2領域內,配置有:可與前述第1搬運車之間進行前述被搬運物的收授之第3收授部,前述第1領域內的前述第1軌道,係被配置成:在前述第1搬運車的行駛方向上,依序通過前述第2收授部、 前述第1收授部,前述第1領域內的前述第2軌道,係被配置成:在前述第2搬運車的行駛方向上,依序通過前述第1收授部、前述第2收授部,係在前述第1收授部,配置有複數個第1載置部,前述第2搬運車係優先地從被配置在前述其中一方向上的上游側的前述第1載置部授予前述被搬運物,前述第1搬運車係優先地從被配置在前述其中一方向上的上游側的前述第1載置部受取前述被搬運物。
- 一種搬運車系統,係具備:構成分別在複數個區域內環繞的環繞軌道之第1軌道、在前述第1軌道朝其中一方向行駛的第1搬運車、連接複數個前述區域之間的第2軌道、在前述第2軌道朝其中一方向行駛的第2搬運車、從前述第2搬運車受取被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第1搬運車之第1收授部、從前述第1搬運車受取前述被搬運物,並且將該被搬運物授予前述第2搬運車之第2收授部,前述區域係分別具有第1領域與第2領域,前述第1軌道係被配置成橫跨前述第1領域與前述第2領域,在前述第1領域內,配置有:前述第1收授部及前述第2收授部,在前述第2領域內,配置有:可與前述第1 搬運車之間進行前述被搬運物的收授之第3收授部,前述第1領域內的前述第1軌道,係被配置成:在前述第1搬運車的行駛方向上,依序通過前述第2收授部、前述第1收授部,前述第1領域內的前述第2軌道,係被配置成:在前述第2搬運車的行駛方向上,依序通過前述第1收授部、前述第2收授部,係在前述第2收授部,配置有複數個第2載置部,前述第1搬運車係優先地從被配置在前述其中一方向上的上游側的前述第2載置部授予前述被搬運物,前述第2搬運車係優先地從被配置在前述其中一方向上的上游側的前述第2載置部受取前述被搬運物。
- 如請求項1所述的搬運車系統,其中,在前述第2領域內,係沿著前述第1軌道配置有:執行相同或近似的處理之處理裝置,並且經由前述第3收授部在前述第1搬運車與前述處理裝置之間,進行前述被搬運物的收授。
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CN110831873B (zh) * | 2017-06-30 | 2021-07-16 | 村田机械株式会社 | 搬运系统以及搬运方法 |
EP3670389B1 (en) * | 2017-08-16 | 2024-05-15 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport vehicle, overhead transport system, and control method for overhead transport vehicle |
JP6928312B2 (ja) * | 2017-12-12 | 2021-09-01 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム及び搬送車システムでの搬送車の配備方法 |
WO2019211933A1 (ja) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
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US20230089547A1 (en) * | 2020-03-02 | 2023-03-23 | Murata Machinery, Ltd. | Automated warehouse system, and control method for automated warehouse system |
JP2024011483A (ja) | 2022-07-14 | 2024-01-25 | 株式会社ダイフク | 搬送システム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6990721B2 (en) * | 2003-03-21 | 2006-01-31 | Brooks Automation, Inc. | Growth model automated material handling system |
US20090013897A1 (en) * | 2007-07-09 | 2009-01-15 | Middlesex General Industries, Inc. | System and method of improving throughput and vehicle utilization of monorail factory transport systems |
TW201013820A (en) * | 2008-09-24 | 2010-04-01 | Inotera Memories Inc | Automatic transport system and control method thereof |
TW201112349A (en) * | 2009-02-20 | 2011-04-01 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processing apparatus |
TW201221448A (en) * | 2010-09-27 | 2012-06-01 | Daifuku Kk | Article transport facility |
CN202967393U (zh) * | 2012-12-04 | 2013-06-05 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 自动搬送轨道结构及搬送系统 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06100163A (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-12 | Daifuku Co Ltd | 台車使用の搬送設備 |
US5842917A (en) * | 1996-01-11 | 1998-12-01 | United Microelectronics Corproration | Automated manufacturing plant for semiconductor devices |
US6089811A (en) * | 1998-12-25 | 2000-07-18 | Fujitsu Limited | Production line workflow and parts transport arrangement |
JP2004010250A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム |
TWI233913B (en) * | 2002-06-06 | 2005-06-11 | Murata Machinery Ltd | Automated guided vehicle system |
US7077264B2 (en) * | 2003-01-27 | 2006-07-18 | Applied Material, Inc. | Methods and apparatus for transporting substrate carriers |
TWI246501B (en) * | 2003-02-03 | 2006-01-01 | Murata Machinery Ltd | Overhead traveling carriage system |
JP4296601B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2009-07-15 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
US7637708B2 (en) * | 2006-01-09 | 2009-12-29 | Sumco Corporation | Production system for wafer |
JP5369560B2 (ja) | 2008-09-10 | 2013-12-18 | 村田機械株式会社 | 搬送装置 |
JP5686501B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2015-03-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN102470985B (zh) * | 2009-11-27 | 2015-07-22 | 株式会社大福 | 顶棚输送车 |
JP5141987B2 (ja) * | 2009-12-07 | 2013-02-13 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5440870B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2014-03-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US9633879B2 (en) * | 2014-05-14 | 2017-04-25 | Murata Machinery, Ltd. | Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby |
JP6698399B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-05-27 | 北陽電機株式会社 | 搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法 |
-
2016
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-
2018
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6990721B2 (en) * | 2003-03-21 | 2006-01-31 | Brooks Automation, Inc. | Growth model automated material handling system |
US20090013897A1 (en) * | 2007-07-09 | 2009-01-15 | Middlesex General Industries, Inc. | System and method of improving throughput and vehicle utilization of monorail factory transport systems |
TW201013820A (en) * | 2008-09-24 | 2010-04-01 | Inotera Memories Inc | Automatic transport system and control method thereof |
TW201112349A (en) * | 2009-02-20 | 2011-04-01 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processing apparatus |
TW201221448A (en) * | 2010-09-27 | 2012-06-01 | Daifuku Kk | Article transport facility |
CN202967393U (zh) * | 2012-12-04 | 2013-06-05 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 自动搬送轨道结构及搬送系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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