TWI680292B - 檢測系統和檢測方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供了一種檢測系統和檢測方法，包括：運動單元、檢測單元及校驗單元；所述運動單元用以承載待檢測對象，並被控制為帶動待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向檢測單元和校驗單元發送觸發訊號；所述檢測單元用以根據觸發訊號在預定位置對待檢測對象進行檢測；所述校驗單元用以根據觸發訊號及預定位置的資訊判斷多個預定位置中是否有未經檢測單元檢測的缺失的預定位置並得到缺失的預定位置。在本發明提供的檢測系統和檢測方法中，校驗單元能檢測到未經檢測單元檢測的缺失的預定位置，由此即使丟了一些需要操作的預定位置，也無需重新掃描以獲取缺失的預定位置，避免了因為部分預定位置的丟失而檢測整個待檢測對象，提高了檢測系統的效率。

Description

檢測系統和檢測方法

本發明是關於檢測技術領域，尤其是關於一種檢測系統和檢測方法。

自動光學檢測（Automatic Optical Inspection: AOI）技術，可實現晶圓、晶片或其他待測對象的快速、高精度無損檢測，該技術廣泛地應用於PCB、IC晶圓、LED、以及太陽能面板等多個領域。自動光學檢測技術一般採用高精度光學成像系統對待測對象進行成像，運動台承載待測對象進行高速掃描以實現高速測量；系統將掃描的圖像和理想參考圖像進行比較，或通過特徵提取等方式，識別出待測對象的表面缺陷。

掃描過程中運動台與圖像採集設備沒有資訊交互，處於開環控制，當掃描過程中出現異常導致掃描點訊號丟失後，無法定位丟失點的位置資訊，直到掃描完成後才能獲知丟失點數量和丟失點資訊。隨著設備掃描速率的提升，此類問題出現的概率也隨之增加，一旦出現此類問題就需要對整個矽晶片進行重新掃描，嚴重影響了整台機器的產率和用戶體驗。

本發明的目的在於提供一種檢測系統和檢測方法，可以記錄觸發訊號丟失位置，使圖像採集設備直接採集預定位置中資訊丟失位置的圖像，從而提高設備的效率。

為了達到上述目的，本發明提供了一種檢測系統，包括：運動單元、檢測單元及校驗單元；其中，

所述運動單元用以承載待檢測對象，並被控制為帶動所述待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向所述檢測單元和所述校驗單元發送觸發訊號；

所述檢測單元用以根據所述觸發訊號在所述預定位置對所述待檢測對象進行檢測；

所述校驗單元用以根據所述觸發訊號及預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測系統中，所述校驗單元還用以將得到的所述缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元，所述運動單元還用以帶動所述待檢測對象至未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置，並向所述檢測單元發出觸發訊號。

可選的，在所述的檢測系統中，所述檢測系統還包括控制單元，所述控制單元用以向所述運動單元及所述校驗單元發送所述預定位置資訊。

可選的，在所述的檢測系統中，所述校驗單元還用以將得到的所述缺失的預定位置的資訊發送給所述控制單元，所述控制單元還用以向所述運動單元發送所述缺失的預定位置的資訊，所述運動單元還用以帶動所述待檢測對象至未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置，並向所述檢測單元發出觸發訊號。

可選的，在所述的檢測系統中，所述預定位置資訊包含呈陣列排布的所述多個預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測系統中，所述校驗單元包括第一校驗單元和第二校驗單元，所述第一校驗單元用以將所述觸發訊號、所述檢測單元的檢測方向以及所述預定位置資訊進行編碼發送給所述第二校驗單元，所述第二校驗單元用以將所述第一校驗單元發送的資訊解碼並將解碼後的觸發訊號與解碼後的預定位置資訊比對，以判斷是否有缺失的觸發訊號，從而判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測系統中，所述編碼方向包括正向編碼和反向編碼。

可選的，在所述的檢測系統中，所述第二校驗單元通過記錄相鄰的觸發訊號的時間間隔的方式來判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測系統中，所述第一校驗單元採用正交編碼。

可選的，在所述的檢測系統中，所述檢測單元包括圖像採集設備，所述檢測操作包括圖像採集。

相應地，還提供了一種採用上述任一項所述的檢測系統進行的檢測方法，所述檢測方法包括：

運動單元和校驗單元獲取預定位置資訊；

所述運動單元被控制為按照所述預定位置資訊帶動待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向所述檢測單元和所述校驗單元發送觸發訊號；

所述檢測單元根據所述觸發訊號在所述預定位置對所述待檢測對象進行檢測；

所述校驗單元根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測方法中，還包括：

在運動單元和校驗單元獲取預定位置資訊之前，控制單元向所述運動單元和所述校驗單元發送預定位置資訊；以及

所述校驗單元得到所述缺失的預定位置的資訊之後，將得到的所述缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元或所述控制單元。

可選的，在所述的檢測方法中，還包括：

所述運動單元在獲取所述預定位置資訊並開始運動後，發送起始訊號給所述校驗單元和所述檢測單元；以及

所述運動單元完成運動後發送終止訊號給所述校驗單元和所述檢測單元，所述校驗單接收到所述終止訊號後根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測方法中，所述校驗單元根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊包括：所述校驗單元根據所述預定位置資訊比較時間上相鄰的兩個觸發訊號之間的時間間隔來判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

可選的，在所述的檢測方法中，所述運動單元發送觸發訊號給所述校驗單元的方法包括：所述運動單元發送所述觸發訊號給所述第一校驗單元，所述第一校驗單元將所述觸發訊號通過正交編碼後發送給所述第二校驗單元。

可選的，在所述的檢測方法中，所述第二校驗單元對編碼後的資訊進行正交解碼，解碼後，所述第二校驗單元記錄時間上相鄰的兩個觸發訊號的時間間隔。

可選的，在所述的檢測方法中，所述校驗單元判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失預定位置的方法包括：所述第二校驗單元判斷解碼後的觸發訊號個數是否與預定位置資訊中的預定位置的個數相等，如果不相等，判斷所述多個預定位置中有未經檢測單元檢測的缺失的預定位置；如果相等，則判斷所述多個預定位置中沒有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置。

可選的，在所述的檢測方法中，還包括：

所述第二校驗單元將缺失的預定位置的資訊發送給所述控制單元；

所述控制單元發送缺失的預定位置的資訊給所述運動單元；

所述運動單元運動到缺失的預定位置；以及

所述檢測單元採集所述缺失的預定位置處的圖像。

可選的，在所述的檢測方法中，還包括：

所述第二校驗單元將缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元；

所述運動單元運動到缺失的預定位置；以及

所述檢測單元採集所述缺失的預定位置處的圖像。

在本發明提供的檢測系統和檢測方法中，所述校驗單元能檢測到未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置，由此在檢測單元丟了一些需要操作的預定位置的情況下，也無需重新掃描以獲取缺失的預定位置，避免了因為部分預定位置的丟失而檢測整個待檢測對象，提高了檢測系統的效率。

下面將結合示意圖對本發明的具體實施方式進行更詳細的描述。根據下列描述和所附申請專利範圍，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精准的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。

參照圖1和圖2，本發明提供了一種檢測系統，包括運動單元120、檢測單元130及校驗單元140；其中，

所述運動單元120用以承載待檢測對象，並被控制為帶動所述待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向所述檢測單元130和所述校驗單元140發送觸發訊號；

所述檢測單元130用以根據所述觸發訊號在所述預定位置對所述待檢測對象進行檢測；

所述校驗單元140用以根據所述觸發訊號及預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。

所述待檢測對象可以是PCB、IC晶圓、LED、以及太陽能面板等，也可以是PCB、IC晶圓、LED、以及太陽能面板等基底上的模塊、區塊。

所述預定位置包括所述待檢測對象的需要被檢測的位置和/或在檢測流程中的所處位置、順序等定位資訊，缺失的預定位置表示在檢測流程中待檢測對象的一個或者多個需要被檢測的、卻遺漏檢測的位置。

請繼續參考圖1，在一種優選實現方式中，所述校驗單元140將得到的未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元120，所述運動單元120帶動所述待檢測對象至所述缺失的預定位置，並向所述檢測單元130發出觸發訊號。運動單元120每運動到所述多個預定位置中的一個預定位置就會發出觸發訊號給檢測單元130和校驗單元140，如果有丟失一個觸發訊號，校驗單元140將尋找出丟失的預定位置的資訊發送給運動單元120。運動單元120可以直接運動到該丟失的預定位置，然後檢測單元130便可直接檢測這一位置下的待檢測對象，檢測單元130不用重新檢測整個產品的圖像，提高了整個檢測系統的效率。

優選的，所述檢測系統還包括控制單元110，所述控制單元110用以向所述運動單元120及所述校驗單元140發送預定位置資訊。所述控制單元110發送的預定位置資訊包含運動單元120可能運動到的位置的資訊，運動單元120按照這個預定位置資訊運動。

請繼續參考圖2，在另一種優選實現方式中，所述校驗單元140將得到的未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置的資訊發送給所述控制單元110，所述控制單元110向所述運動單元120發送所述缺失的預定位置的資訊，所述運動單元120帶動所述待檢測對象至所述缺失的預定位置，並向所述檢測單元130發出觸發訊號。運動單元120每運動到所述多個預定位置中的一個預定位置就會發出觸發訊號給檢測單元130和校驗單元140，如果有丟失一個觸發訊號，校驗單元140將尋找出缺失的預定位置的資訊發送給控制單元110。控制單元110可以選擇性的在整個檢測流程任意階段將缺失的預定位置的資訊發送給運動單元120，運動單元120可以直接運動到該缺失的預定位置，然後檢測單元130便可直接檢測這一位置下的待檢測對象，檢測單元130不用重新檢測整個產品的圖像，提高了整個檢測系統的效率。優選的，當待檢測對象是PCB、IC晶圓、LED、以及太陽能面板等基底上的模塊、區塊時，控制單元110可以選擇在一個PCB、IC晶圓、LED、以及太陽能面板等基底所有模塊、區塊檢測流程結束後，將缺失的預定位置的資訊發送給運動單元120，運動單元120可以直接運動到該缺失的預定位置，然後檢測單元130便可直接檢測這一位置下的待檢測對象，提高了整個檢測系統的效率。

優選的，所述預定位置資訊包含呈陣列排布的所述多個預定位置的資訊。例如，圖3是本實施例的控制單元110發送的預定位置資訊的示意圖，A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A8和A9是其中的預定位置，多個預定位置（即A1至A9）以陣列的形式存放和發送。

優選的，所述校驗單元140包括第一校驗單元141和第二校驗單元142，所述第一校驗單元141用以將（從所述運動單元120接收的）觸發訊號、檢測單元130的檢測方向以及預定位置資訊進行編碼發送給所述第二校驗單元142，所述第二校驗單元142用以將接收的編碼資訊解碼並將解碼後的觸發訊號與解碼後的預定位置資訊比對判斷是否有缺失的觸發訊號從而判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置。所述第一校驗單元141和所述第二校驗單元142都選用同步控制器。如圖4和如圖5的訊號圖，第一校驗單元141將觸發訊號1發送給第二校驗單元142，產生第二校驗單元142的觸發訊號2，得到觸發時間訊號3。

優選的，所述編碼方向包括正向編碼和反向編碼。所述檢測單元130可以從正向開始檢測運動單元120上的待檢測圖像，也可以從反向開始檢測運動單元120上的待檢測圖像。因此，編碼的內容就可以有兩種形式，可以是正向檢測資訊，使用正向編碼的方式，如圖4；也可以是反向檢測資訊，使用反向編碼的方式，如圖5。

優選的，所述第二校驗單元142通過記錄相鄰的觸發訊號的時間間隔的方式來判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置。例如，t1表示第一個觸發訊號和第二個觸發訊號之間的時間間隔，在此可以稱為第一時間間隔，t2表示第二個觸發訊號和第三個觸發訊號之間的時間間隔，在此也可以稱為第二時間間隔，t3、t4、t5、t6、t7和t8依次表示第三個和第四個、第四個和第五個、第五個和第六個、第六個和第七個、第七個和第八個、以及第八個和第九個觸發訊號之間的時間間隔，即分別為第三、第四、第五、第六、第七和第八時間間隔。如果上一步判斷丟失了一個觸發訊號，例如時間間隔t2超過設定的時間，則判斷丟失的觸發訊號為第二個觸發訊號。

優選的，所述第一校驗單元141採用正交編碼。本實施例中，所述第一校驗單元141的編碼方式選用正交編碼的方式，即訊號1和訊號2為相位差90°的正交編碼訊號，正交編碼是一種典型的編碼方式，抗干擾性和準確性都非常高。而所述第二校驗單元142的解碼方式則選用正交解碼的方式。在本發明的其他實施例中，也可以採用其他類型的編碼方式即訊號1和訊號2也可以是相位差為其他角度的編碼訊號。

優選的，所述檢測單元130包括圖像採集設備131，所述檢測操作包括圖像採集。檢測單元130還包括圖像處理設備132，圖像採集設備131用於採集待檢測對象的圖像，所述圖像處理設備132對圖像進行處理和判斷。

如圖6，相應地，本發明實施例還提供了一種採用上述任一項所述的檢測系統進行的檢測方法，所述檢測方法包括：

S11：運動單元120和校驗單元140獲取預定位置資訊，在此，可通過控制單元110向運動單元120和校驗單元140發送預定位置資訊而使得運動單元120和校驗單元140獲取預定位置資訊；

S12：所述運動單元120接收到所述預定位置資訊後開始運動並發送起始訊號給所述校驗單元140和所述檢測單元130，所述運動單元120按照所述預定位置資訊帶動所述待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向所述檢測單元130和所述校驗單元140發送觸發訊號；

S13：所述檢測單元130根據所述觸發訊號在預定位置對所述待檢測對象進行檢測；

S14：所述校驗單元140對所述觸發訊號進行記錄；

S15：所述運動單元120完成運動並發送終止訊號給所述校驗單元140和所述檢測單元130；

S16：所述校驗單元140接收到終止訊號後根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊得到所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置；

S17：如果有缺失的預定位置，則依據所述預定位置資訊比較時間上相鄰的所述觸發訊號之間的時間間隔得到所述缺失的預定位置的資訊，並將缺失的預定位置的資訊反饋給所述控制單元110或所述運動單元120。

優選的，所述運動單元120發送觸發訊號給所述校驗單元140的方法包括：所述運動單元120發送所述觸發訊號給所述第一校驗單元141，所述第一校驗單元141將所述觸發訊號通過正交編碼後發送給所述第二校驗單元142。例如圖7所示是觸發訊號的陣列形式圖，B1、B2、B3、B4、B5、B6、B7、B8和B9是觸發訊號，觸發訊號個數為9個。

優選的，所述第二校驗單元142對編碼後的資訊進行正交解碼，解碼後，所述第二校驗單元142記錄相鄰兩個觸發訊號的時間間隔。如圖4和圖5所示，t1表示第一個觸發訊號和第二個觸發訊號之間的時間間隔，在此可以稱為第一時間間隔，t2表示第二個觸發訊號和第三個觸發訊號之間的時間間隔，在此也可以稱為第二時間間隔，t3、t4、t5、t6、t7和t8依次表示第三個和第四個、第四個和第五個、第五個和第六個、第六個和第七個、第七個和第八個、以及第八個和第九個觸發訊號之間的時間間隔，即分別為第三、第四、第五、第六、第七和第八時間間隔。

優選的，所述校驗單元140判斷所述多個預定位置中是否有未經檢測單元130檢測的缺失預定位置的方法包括：所述第二校驗單元142判斷解碼後的觸發訊號個數是否與預定位置資訊中預定位置的個數相等，如果不相等，判斷所述多個預定位置中有未經檢測單元130檢測的缺失的預定位置；如果相等，則判斷所述多個預定位置中沒有未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置。如果解碼的觸發訊號個數為8個，則判斷有丟失觸發訊號，例如，如果觸發訊號B3丟失，則記錄的觸發訊號陣列圖中，第三個訊號為觸發訊號B4。然而觸發訊號B4與前一個觸發訊號之間的時間間隔大於一預設時間，所述預設時間為正確的第三個觸發訊號（被丟失的第三個觸發訊號）與前一個觸發訊號之間的時間間隔，從而通過時間間隔大於預設時間可以判斷出第三個觸發訊號已經丟失。

在本發明的一個實現方式中，優選的，所述第二校驗單元142將缺失的預定位置的資訊發送給所述控制單元110，所述控制單元110發送缺失的預定位置的資訊給所述運動單元120，所述運動單元120運動到缺失的預定位置，所述檢測單元130採集此處的圖像。圖7的B3對應圖3的A3，將預定位置A3發送給控制單元110，控制單元110直接再次發送給運動單元120，運動單元120直接運動到A3的位置，檢測單元130直接檢測此處的圖形，避免了有一個觸發訊號丟失後，運動單元120需要從A1開始運動，使檢測單元130重新檢測整個產品的圖形的問題，提高了整個檢測系統的效率。

在本發明的另一個實現方式中，優選的，所述第二校驗單元142將缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元120，所述運動單元120運動到缺失的預定位置，所述檢測單元130採集此處的圖像。即，另一種方法是，將A3直接反饋給運動單元120，運動單元120運動到缺失的預定位置，檢測單元130採集此處的圖像。也能避免檢測單元130重新檢測整個產品的圖形，提高了整個檢測系統的效率。

綜上，在本發明實施例提供的檢測系統和檢測方法中，所述校驗單元140能檢測到未經所述檢測單元130檢測的缺失的預定位置，由此在檢測單元丟了一些需要操作的預定位置的情況下，也無需重新掃描以獲取缺失的預定位置，避免了因為部分預定位置的丟失而檢測整個待檢測對象，提高了檢測系統的效率。

上述僅為本發明的優選實施例而已，並不對本發明起到任何限制作用。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本發明的技術方案的範圍內，對本發明揭露的技術方案和技術內容做任何形式的均等替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍屬於本發明的保護範圍之內。

110 控制單元
120 運動單元
130 檢測單元
131 圖像採集設備
132 圖像處理設備
140 校驗單元
141 第一校驗單元
142 第二校驗單元
1 第一校驗單元中的觸發訊號
2 第二校驗單元中的觸發訊號
3 時間間隔的訊號
t1 第一時間間隔
t2 第二時間間隔
t3 第三時間間隔
t4 第四時間間隔
t5 第五時間間隔
t6 第六時間間隔
t7 第七時間間隔
t8 第八時間間隔

圖1是本發明實施例檢測系統的一結構示意圖；
圖2是本發明實施例檢測系統的另一結構示意圖；
圖3是本發明實施例檢測系統的預定位置的資訊的示意圖；
圖4是本發明實施例檢測系統一觸發訊號以及觸發訊號的時間間隔的訊號圖；
圖5是本發明實施例檢測系統另一觸發訊號以及觸發訊號的時間間隔的訊號圖；
圖6是本發明實施例檢測方法的流程圖；
圖7是本發明實施例第二校驗單元解碼後的觸發訊號的示意圖。

Claims (19)

1. 一種檢測系統，其特徵在於所述檢測系統包括：運動單元、檢測單元及校驗單元；其中所述運動單元用以承載待檢測對象，並被控制為帶動所述待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向所述檢測單元和所述校驗單元發送觸發訊號；所述檢測單元用以根據所述觸發訊號在所述預定位置對所述待檢測對象進行檢測；所述校驗單元用以根據所述觸發訊號及預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。
2. 如請求項1所述的檢測系統，其中所述校驗單元還用以將得到的所述缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元，所述運動單元還用以帶動所述待檢測對象至未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置，並向所述檢測單元發出觸發訊號。
3. 如請求項1所述的檢測系統，其中所述檢測系統還包括控制單元，所述控制單元用以向所述運動單元及所述校驗單元發送所述預定位置資訊。
4. 如請求項3所述的檢測系統，其中所述校驗單元還用以將得到的所述缺失的預定位置的資訊發送給所述控制單元，所述控制單元還用以向所述運動單元發送所述缺失的預定位置的資訊，所述運動單元還用以帶動所述待檢測對象至未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置，並向所述檢測單元發出觸發訊號。
5. 如請求項3所述的檢測系統，其中所述預定位置資訊包含呈陣列排布的所述多個預定位置的資訊。
6. 如請求項5所述的檢測系統，其中所述校驗單元包括第一校驗單元和第二校驗單元，所述第一校驗單元用以將所述觸發訊號、所述檢測單元的檢測方向以及所述預定位置資訊進行編碼發送給所述第二校驗單元，所述第二校驗單元用以將所述第一校驗單元發送的資訊解碼並將解碼後的觸發訊號與解碼後的預定位置資訊比對，以判斷是否有缺失的觸發訊號，從而判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。
7. 如請求項6所述的檢測系統，其中所述編碼方向包括正向編碼和反向編碼。
8. 如請求項7所述的檢測系統，其中所述第二校驗單元通過記錄相鄰的觸發訊號的時間間隔的方式來判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。
9. 如請求項8所述的檢測系統，其中所述第一校驗單元採用正交編碼。
10. 如請求項1至9中任一項所述的檢測系統，其中所述檢測單元包括圖像採集設備，所述檢測操作包括圖像採集。
11. 一種採用如請求項1至10中任一項所述的檢測系統進行的檢測方法，其特徵在於所述檢測方法包括：運動單元和校驗單元獲取預定位置資訊；所述運動單元被控制為按照所述預定位置資訊帶動待檢測對象至多個預定位置中的任一個後向所述檢測單元和所述校驗單元發送觸發訊號；所述檢測單元根據所述觸發訊號在所述預定位置對所述待檢測對象進行檢測；所述校驗單元根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。
12. 如請求項11所述的檢測方法，其中所述檢測方法還包括：在運動單元和校驗單元獲取預定位置資訊之前，控制單元向所述運動單元和所述校驗單元發送預定位置資訊；以及所述校驗單元得到所述缺失的預定位置的資訊之後，將得到的所述缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元或所述控制單元。
13. 如請求項11所述的檢測方法，其中所述檢測方法還包括：所述運動單元在獲取所述預定位置資訊並開始運動後，發送起始訊號給所述校驗單元和所述檢測單元；以及所述運動單元完成運動後發送終止訊號給所述校驗單元和所述檢測單元，所述校驗單接收到所述終止訊號後根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。
14. 如請求項13所述的檢測方法，其中所述校驗單元根據所述觸發訊號及所述預定位置資訊判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊包括：所述校驗單元根據所述預定位置資訊比較時間上相鄰的兩個觸發訊號之間的時間間隔來判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置、以及在有缺失的預定位置時，得到缺失的預定位置的資訊。
15. 如請求項11所述的檢測方法，其中所述運動單元發送觸發訊號給所述校驗單元的方法包括：所述運動單元發送所述觸發訊號給所述第一校驗單元，所述第一校驗單元將所述觸發訊號通過正交編碼後發送給所述第二校驗單元。
16. 如請求項15所述的檢測方法，其中所述第二校驗單元對編碼後的資訊進行正交解碼，解碼後，所述第二校驗單元記錄時間上相鄰的兩個觸發訊號的時間間隔。
17. 如請求項16所述的檢測方法，其中所述校驗單元判斷所述多個預定位置中是否有未經所述檢測單元檢測的缺失預定位置的方法包括：所述第二校驗單元判斷解碼後的觸發訊號個數是否與預定位置資訊中的預定位置的個數相等，如果不相等，判斷所述多個預定位置中有未經檢測單元檢測的缺失的預定位置；如果相等，則判斷所述多個預定位置中沒有未經所述檢測單元檢測的缺失的預定位置。
18. 如請求項17所述的檢測方法，其中所述檢測方法還包括：所述第二校驗單元將缺失的預定位置的資訊發送給所述控制單元；所述控制單元發送缺失的預定位置的資訊給所述運動單元；所述運動單元運動到缺失的預定位置；以及所述檢測單元採集所述缺失的預定位置處的圖像。
19. 如請求項17所述的檢測方法，其中所述檢測方法還包括：所述第二校驗單元將缺失的預定位置的資訊發送給所述運動單元；所述運動單元運動到缺失的預定位置；以及所述檢測單元採集所述缺失的預定位置處的圖像。