TWI675013B - 薄玻璃片及其形成系統與方法 - Google Patents
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Abstract
方法包括加熱具複數個玻璃層的玻璃預形體,及朝遠端方向抽拉玻璃預形體,以形成抽拉玻璃片,抽拉玻璃片從玻璃預形體遠端延伸且具有複數個玻璃層。抽拉玻璃片比玻璃預形體薄。抽拉玻璃片可捲繞到收集捲軸上。至少部分玻璃層可自抽拉玻璃片移除。示例性玻璃片包括第一玻璃層、鄰接第一玻璃層的第二玻璃層和至多約0.1毫米的厚度。示例性離子交換玻璃片包括至多約0.1毫米的厚度和表面層,表面層受到壓縮應力並延伸到玻璃片內部達一層深度。
Description
本申請案主張西元2014年11月26日申請的美國專利申請案第62/084826號的優先權權益,該專利申請案全文內容以引用方式併入本文中。
本發明係關於玻璃片,且更特別係關於薄玻璃片及形成薄玻璃片的系統和方法。
玻璃片可利用各種不同製程形成。例如,玻璃片可利用下拉製程(例如融合抽拉或狹槽抽拉)或浮式製程形成。薄玻璃片可藉由蝕刻或研磨厚玻璃片,使玻璃片厚度減至預定厚度而形成。
茲揭示薄玻璃片及形成薄玻璃片的方法。
茲揭示方法,包含加熱玻璃預形體,玻璃預形體包含複數個玻璃層。朝遠端方向抽拉玻璃預形體,以形成抽拉玻璃片,抽拉玻璃片從玻璃預形體遠端延伸且包含複數個玻璃層。抽拉玻璃片的厚度小於玻璃預形體的厚度。將抽拉玻璃片捲繞到收集捲軸上。
茲揭示方法,包含加熱玻璃預形體,玻璃預形體包含第一玻璃層和鄰接第一玻璃層的第二玻璃層。
朝遠端方向抽拉玻璃預形體,以形成抽拉玻璃片,抽拉玻璃片從玻璃預形體遠端延伸且包含第一玻璃層和第二玻璃層。抽拉玻璃片的厚度小於玻璃預形體的厚度。自抽拉玻璃片移除至少一部分的第二玻璃層。
茲揭示系統,包含加熱單元、抽拉單元和收集單元。加熱單元配置以加熱玻璃預形體,玻璃預形體包含複數個玻璃層。抽拉單元配置以朝遠端方向抽拉玻璃預形體,以形成抽拉玻璃片從玻璃預形體遠端延伸。抽拉玻璃片包含複數個玻璃層。抽拉玻璃片的厚度小於玻璃預形體的厚度。收集單元配置以將抽拉玻璃片捲繞到收集捲軸上。
茲揭示玻璃片,包含第一玻璃層、鄰接第一玻璃層的第二玻璃層和至多約0.1毫米(mm)的厚度。
茲揭示離子交換玻璃片,包含至多約0.1mm的厚度和表面層,表面層受到壓縮應力並延伸到玻璃片內部達一層深度。
附加特徵和優點將詳述於後,熟諳此技術者在參閱或實行所述實施例後,包括以下詳細實施方式說明、申請專利範圍和附圖,在某種程度上將變得更清楚易懂。
應理解以上概要說明和下述詳細說明僅為舉例說明,及擬提供概觀或架構以對申請專利範圍的本質和特性有所瞭解。所含附圖提供進一步瞭解,故當併入及構成說明書的一部分。圖式描繪一或更多實施例,並
連同實施方式說明一起用於解釋各種實施例的原理和操作。
100、112‧‧‧玻璃預形體
102、102a-c‧‧‧核心層
104、106‧‧‧披覆層
110‧‧‧玻璃片
120‧‧‧電子裝置
200、220、240‧‧‧分配器
222、242‧‧‧凹槽
224、244‧‧‧玻璃組成
226、228、246、248‧‧‧表面
230‧‧‧抽拉線
300‧‧‧再抽拉系統
310‧‧‧進料單元
312‧‧‧輸送捲軸
314‧‧‧剝除單元
316‧‧‧剝除輥
318‧‧‧抗靜電裝置
320‧‧‧進料驅動單元
322‧‧‧進料包殼
324‧‧‧孔徑控制裝置
330‧‧‧抽拉單元
332‧‧‧預熱區
334‧‧‧加熱區
336‧‧‧冷卻區
338‧‧‧遠端方向/箭頭
340‧‧‧導邊單元
342‧‧‧抽拉驅動單元
344‧‧‧抽拉包殼
350‧‧‧收集單元
352‧‧‧孔徑控制裝置
354‧‧‧收集驅動單元
356‧‧‧厚度測量裝置
358‧‧‧缺陷偵測裝置
360‧‧‧塗佈應用裝置
362‧‧‧切斷裝置
364‧‧‧收集捲軸
366‧‧‧自由環路
368‧‧‧收集包殼
第1圖係玻璃片層疊結構的示例性實施例局部截面圖。
第2圖係形成設備的示例性實施例截面圖,形成設備用於形成玻璃片。
第3圖係再抽拉系統的示例性實施例示意圖。
第4圖係第1圖所示玻璃片的局部截面圖,其中移除一玻璃層而形成雙層玻璃片。
第5圖係電子裝置的示例性實施例局部截面圖,電子裝置形成在第4圖所示雙層玻璃片上。
第6圖係第5圖所示電子裝置與玻璃片的局部截面圖,其中玻璃片的一層移除而形成單層玻璃片。
第7圖係玻璃片層疊結構的另一示例性實施例局部截面圖。
第8圖係示例性抽拉玻璃片實施例的截面照片。
第9圖係第8圖所示抽拉玻璃片被彎曲成彎曲半徑的照片。
現將詳述示例性實施例,實施例乃圖示如附圖。盡可能以相同的元件符號表示各圖中相同或相仿的
零件。圖中部件未必按比例繪製,重點係放在說明示例性實施例的原理。
玻璃片可利用適當形成製程形成,例如下拉製程(例如融合抽拉製程或狹槽抽拉製程)或浮式製程。隨著形成玻璃片厚度減小,利用此形成製程形成玻璃片變得益發困難。故將難以或甚至不可能利用此形成製程直接形成薄玻璃片。
薄玻璃片可藉由蝕刻或研磨厚單層玻璃片,使玻璃片厚度減至預定厚度而形成。然蝕刻及研磨製程成本高、需使用化學蝕刻劑及/或會於玻璃片表面引入裂縫。
在不同實施例中,形成玻璃片的方法包含加熱玻璃預形體,玻璃預形體包含複數個玻璃層。複數個玻璃層包含至少第一層和第二層。例如,第一層包含核心層,第二層包含一或更多披覆層鄰接核心層。各玻璃層個別包含玻璃、玻璃-陶瓷或上述組合物。在一些實施例中,一或更多玻璃層為透明玻璃層。玻璃預形體可呈平面(例如平板)或非平面(例如彎板)。方法進一步包含朝遠端方向抽拉玻璃預形體,以形成抽拉玻璃片,抽拉玻璃片從玻璃預形體遠端延伸。抽拉玻璃片包含複數個玻璃層(例如核心層和一或更多披覆層鄰接核心層)。抽拉玻璃片的厚度小於玻璃預形體的厚度。抽拉玻璃片可捲繞到收集捲軸上。此外或或者,可自抽拉玻璃片移除一或更多玻璃層,以進一步減小抽拉玻璃片的
厚度。此外或或者,可在捲繞步驟之前或之後,在抽拉玻璃片上形成電子裝置。
第1圖係玻璃預形體100的示例性層疊結構實施例截面圖。玻璃預形體100包含層疊結構,層疊結構包含複數個玻璃層。例如,玻璃預形體100包含一元層疊結構,其中玻璃層接合或融合在一起,而非僅彼此相鄰堆疊。玻璃預形體100可呈實質平面(如第1圖所示)或非平面。在第1圖所示實施例中,玻璃預形體100包含核心層102,核心層置於第一披覆層104與第二披覆層106之間。在一些實施例中,如第1圖所示,第一披覆層104和第二披覆層106為外層。在其他實施例中,第一披覆層及/或第二披覆層為置於核心層與外層間的中間層。
核心層102包含第一主表面和相對第一主表面的第二主表面。在一些實施例中,第一披覆層104熔接核心層102的第一主表面。此外或或者,第二披覆層106熔接核心層102的第二主表面。在此實施例中,第一披覆層104與核心層102及/或第二披覆層106與核心層102間的界面無任何接合材料,例如聚合物介層、黏著劑、塗層或增設或配置以黏接各披覆層至核心層的任何非玻璃材料。故第一披覆層104及/或第二披覆層106直接熔接核心層102,或直接鄰接核心層102。在一些實施例中,玻璃預形體包含一或更多中間層置於核心層與第一披覆層之間及/或核心層與第二披覆層之間。例
如,中間層包含中間玻璃層及/或形成於核心層與披覆層界面的擴散層。擴散層可包含混摻區,混摻區包含直接鄰接擴散層的各層部件。在一些實施例中,玻璃預形體100包含玻璃-玻璃疊層(例如原位融合多層玻璃-玻璃疊層),其中直接鄰接玻璃層間界面為玻璃-玻璃界面。
在一些實施例中,核心層102包含第一玻璃組成,第一及/或第二披覆層104、106包含第二玻璃組成,第二玻璃組成不同於第一玻璃組成。例如,在第1圖所示實施例中,核心層102包含第一玻璃組成,第一披覆層104和第二披覆層106各自包含第二玻璃組成。在其他實施例中,第一披覆層包含第二玻璃組成,第二披覆層包含第三玻璃組成,第三玻璃組成不同於第一玻璃組成及/或第二玻璃組成。
玻璃預形體可利用適當製程形成,例如融合抽拉、下拉、狹槽抽拉、上拉或浮式製程。在一些實施例中,玻璃預形體係利用融合抽拉製程形成。第2圖係溢流分配器200的示例性實施例截面圖,用於形成玻璃預形體,例如玻璃預形體100。溢流分配器200可依美國專利案第4,214,886號所述配置,該專利案全文以引用方式併入本文中。例如,溢流分配器200包含下溢流分配器220和設在下溢流分配器上方的上溢流分配器240。下溢流分配器220包含凹槽222。第一玻璃組成224熔化及以熔化或黏滯狀態供給凹槽222。第一玻璃組成224形成玻璃預形體100的核心層102,此將進一
步描述於後。上溢流分配器240包含凹槽242。第二玻璃組成244熔化及以熔化或黏滯狀態供給凹槽242。第二玻璃組成244形成玻璃預形體100的第一和第二披覆層104、106,此將進一步描述於後。
第一玻璃組成224溢出凹槽222及往下流到下溢流分配器220的相對外形成表面226、228。外形成表面226、228於抽拉線230會合。第一玻璃組成224分別往下流到下溢流分配器220的外形成表面226、228的分離流將於抽拉線230會合,在此融合在一起而形成玻璃預形體100的核心層102。
第二玻璃組成244溢出凹槽242及往下流到上溢流分配器240的相對外形成表面246、248。第二玻璃組成244由上溢流分配器240轉向朝外,使第二玻璃組成流動繞過下溢流分配器220,並接觸流過下溢流分配器的外形成表面226、228的第一玻璃組成224。第二玻璃組成244的分離流融合至第一玻璃組成224各自往下流到下溢流分配器220的外形成表面226、228的各分離流。第一玻璃組成224各流於抽拉線230會合後,第二玻璃組成244即形成玻璃預形體100的第一和第二披覆層104、106。
在一些實施例中,核心層102呈熔化或黏滯狀態的第一玻璃組成224接觸第一和第二披覆層104、106呈熔化或黏滯狀態的第二玻璃組成244,以形成玻璃預形體100。此外或或者,如第2圖所示,玻璃預形體
100包含行進遠離下溢流分配器220的抽拉線230的玻璃帶。玻璃預形體100可由適當手段抽離下溢流分配器220,包括如重力及/或拉輥。當玻璃預形體100行進遠離下溢流分配器220便隨之冷卻。
在一些實施例中,塗層施用於玻璃預形體100的一或二外表面。塗層可依液體(例如利用噴塗或浸泡)或膜般施用。塗層有助於保護玻璃預形體100的表面免遭損壞及/或保留融合抽拉片初始品質。例如,塗層包含插層,當玻璃預形體100如所述捲繞時,插層配置以防止表面間接觸。
在一些實施例中,玻璃預形體100捲繞到捲軸上,以輸送到所述再抽拉單元。在其他實施例中,玻璃預形體100直接從溢流分配器200輸送到再抽拉單元。故在抽拉所述玻璃預形體期間,玻璃預形體100的近端仍耦接至溢流分配器200。在其他實施例中,玻璃預形體100經切斷成玻璃預形體段,預形體段輸送到再抽拉單元。可利用適當技術切斷玻璃預形體100,例如刻劃、彎曲、熱衝擊及/或雷射切割。
雖然第1圖所示玻璃預形體100包含三層,但本發明亦包括其他實施例。在其他實施例中,玻璃預形體具有預定層數,例如二、四或更多層。例如,包含兩層的玻璃預形體可利用二溢流分配器形成,溢流分配器設置使二層接合,同時行進遠離各溢流分配器的抽拉線,或利用具分離凹槽的單一溢流分配器,使二玻璃組
成流過溢流分配器的相對外形成表面及於溢流分配器的抽拉線會合。包含四或更多層的玻璃預形體可利用附加溢流分配器及/或利用具分離凹槽的溢流分配器形成。故藉由相應修改溢流分配器,可形成具預定層數的玻璃預形體。
在一些實施例中,玻璃預形體100包含至少約0.05mm、至少約0.1mm、至少約0.2mm或至少約0.3mm的厚度。此外或或者,玻璃預形體100包含至多約5mm、至多約3mm、至多約2mm、至多約1.5mm、至多約1mm、至多約0.7mm、至多約0.5mm、至多約0.3mm或至多約0.2mm的厚度。例如,玻璃預形體100包含約0.05mm至約5mm、約0.1mm至約1mm、約0.1mm至約0.7mm或約0.1mm至約0.3mm的厚度。玻璃預形體100的各玻璃層預形體厚度比率包含各玻璃層厚度與玻璃預形體厚度的比率。在一些實施例中,核心層102的預形體厚度比率為至少約0.5、至少約0.7、至少約0.8、至少約0.85、至少約0.9或至少約0.95。此外或或者,核心層102的預形體厚度比率為至多約0.8、至多約0.75、至多約0.7、至多約0.6或至多約0.5。
玻璃預形體可抽拉以形成比玻璃預形體薄的抽拉玻璃片。此製程可稱為再抽拉或再形成製程。在一些實施例中,利用再抽拉系統抽拉玻璃預形體。第3圖係再抽拉系統300的示例性實施例示意圖,用於抽拉玻璃
預形體,例如玻璃預形體100。再抽拉系統300包含進料單元310、抽拉單元330和收集單元350。
在一些實施例中,如第3圖所示,進料單元310包含輸送捲軸312。玻璃預形體100提供於輸送捲軸312上,及藉由自輸送捲軸展開玻璃預形體而供給抽拉單元330。在其他實施例中,玻璃預形體以玻璃預形體段或片形式提供,及將預形體段推進到抽拉單元而輸送到抽拉單元330。例如,玻璃預形體片由支持裝置支撐,支持裝置將預形體片推進到抽拉單元。在又一些其他實施例中,玻璃預形體以玻璃預形體帶形式提供(例如耦接至形成單元),及將預形體帶遠端推進到抽拉單元而輸送到抽拉單元330。
在一些實施例中,進料單元310包含剝除單元314,剝除單元配置以自玻璃預形體100的一或更多表面移除塗層。例如,在第3圖所示實施例中,剝除單元314包含一對剝除輥316,剝除輥配置以自玻璃預形體100的相對表面移除膜。在其他實施例中,進料單元包含洗滌單元(例如刷子)、噴灑單元(例如噴灑溶劑)、加熱及/或冷卻單元或另一適當塗層或膜移除單元。剝除單元314設在輸送捲軸312遠端或下游,以於玻璃預形體引入抽拉單元330時嚙合玻璃預形體100。
在一些實施例中,進料單元310包含抗靜電裝置318,抗靜電裝置配置使積聚於玻璃預形體100的一或更多表面的電荷消散。例如,自玻璃預形體表面移除膜期間,靜電荷會積聚在玻璃預形體100的表面。抗靜電裝置318可提供靜電荷消散路徑,讓靜電荷離開玻璃預形體。抗靜電裝置318包含靜電棒、電離器或另一適當靜電消散裝置。抗靜電裝置318設在輸送捲軸312及/或剝除單元314遠端或下游,以於玻璃預形體引入抽拉單元330時嚙合玻璃預形體100。
在一些實施例中,進料單元310包含進料驅動單元320,進料驅動單元配置以驅使或引入玻璃預形體100至抽拉單元330。例如,在第3圖所示實施例中,進料驅動單元320包含一對驅動輥,用以嚙合玻璃預形體100的相對表面,而將玻璃預形體從輸送捲軸312拖拉到抽拉單元330。驅動輥嚙合其間玻璃預形體100,並旋轉以朝遠端方向拖拉玻璃預形體。在其他實施例中,進料驅動單元包含傳動帶、抓臂或另一適當驅動裝置。進料驅動單元320按進料速率將玻璃預形體100引入抽拉單元330。例如,當玻璃預形體引入抽拉單元330時,進料速率包含玻璃預形體100朝遠端方向行進的速度。進料驅動單元320可調整以調整進料速率。例如,驅動輥的轉速可提高以提高進料速率、或降低以降低進料速率。進料驅動單元320設在輸送捲軸312、剝除單元314及/或抗靜電裝置318遠端或下游,以將玻璃預形體100引入抽拉單元330。
在一些實施例中,進料單元310或部分進料單元封在進料包殼322內,以助於維持進料單元310的
各種部件周圍的控制環境。例如,進料包殼322包含潔淨室,以於玻璃預形體引入抽拉單元330時防止外來微粒及/或污染物沉積至玻璃預形體100上。在一些實施例中,進料包殼322內含惰性大氣。此外或或者,進料包殼322配置以減少靜電積聚於內。
在一些實施例中,進料單元310包含孔徑控制裝置324,孔徑控制裝置設置鄰接抽拉單元330。例如,孔徑控制裝置324可設在進料包殼322的出口及/或抽拉單元330的入口。孔徑控制裝置324有助於控制供玻璃預形體100引入抽拉單元330的開口尺寸。在第3圖所示實施例中,孔徑控制裝置324包含一對滑門,滑門可朝向彼此移動以限縮開口,及互相遠離以擴大開口。在其他實施例中,孔徑控制裝置包含擋門、隔膜或另一適當裝置。孔徑控制裝置324有助於密封進料包殼322與抽拉單元330間的開口,以限制進料包殼與抽拉單元間的氣流(例如空氣流),此可減低外來微粒及/或污染物掃過開口的可能性。
抽拉單元330設在進料單元310遠端或下游,如此所述玻璃預形體100可朝遠端方向從進料單元縱向推進到抽拉單元。抽拉單元330包含焙爐、徐冷窯或另一適當加熱單元且配置以加熱部分玻璃預形體,使玻璃預形體可抽拉成玻璃片,及/或在抽拉玻璃預形體後,冷卻部分抽拉玻璃片。在一些實施例中,抽拉單元330包含複數個加熱及/或冷卻區,各區配置以加熱或冷卻部分玻璃預形體及/或通過抽拉單元的抽拉玻璃片。例如,在第3圖所示實施例中,抽拉單元330包含預熱區332、加熱區334和冷卻區336。抽拉單元330的加熱及/或冷卻區各自包含加熱板(例如感應板及/或電阻加熱器)、紅外線加熱裝置、電磁加熱裝置、火炬、雷射、流體噴射(例如噴氣或噴水)或另一適當加熱或冷卻裝置。此外或或者,一或更多加熱及/或冷卻區包含散熱器設在加熱及/或冷卻元件與玻璃預形體100之間。散熱器可引起間接加熱及/或冷卻玻璃預形體,以助於均勻加熱及/或冷卻玻璃預形體(例如遍及玻璃預形體寬度)。在其他實施例中,抽拉單元包含附加加熱及/或冷卻區,或者一或更多加熱及/或冷卻區(例如預熱區及/或冷卻區)可省略。
預熱區332配置以加熱部分玻璃預形體100達預熱溫度,以形成玻璃預形體預熱部分。在一些實施例中,預熱溫度為高於或等於複數個玻璃層的最高應變點。在此所用玻璃層的「應變點」係玻璃層黏度為1014.7泊時的溫度。預熱單元332按預熱速率加熱部分玻璃預形體100達預熱溫度。例如,預熱速率可為約5℃/分鐘至約200℃/分鐘、約5℃/分鐘至約100℃/分鐘、約10℃/分鐘至約50℃/分鐘或約15℃/分鐘至約30℃/分鐘。在一些實施例中,預熱速率實質匹配玻璃預形體的CTE曲線。例如,預熱期間部分玻璃預形體100的溫度隨時間變化的斜率實質同於玻璃預形體的有效CTE隨
溫度變化的斜率。應理解相對於平均CTE,CTE在此情況下係指絕對CTE。控制預熱速率有助於避免在玻璃預形體中引入熱應力,導致玻璃預形體失控破裂或曲皺。
加熱區334配置以加熱玻璃預形體100的遠端部分達衰減溫度。在一些實施例中,加熱區334設在預熱區332遠端或下游,如此玻璃預形體100的預熱部分可朝遠端方向縱向推進到加熱區。例如,加熱區334配置以加熱玻璃預形體100的預熱部分達衰減溫度,以形成玻璃預形體加熱部分。在一些實施例中,衰減溫度為高於或等於複數個玻璃層的最高軟化點。此外或或者,衰減溫度係使玻璃預形體中心區的有效黏度在衰減溫度下為約100千泊(kP)至約10000kP。在一些實施例中,第一玻璃組成與第二玻璃組成的黏度差異很大,同時保持所述厚度比率。例如,第一玻璃組成與第二玻璃組成的黏度差異為至多約5kP,例如約0kP至約5kP或約1kP至約5kP。此表示第一玻璃組成和第二玻璃組成在抽拉玻璃預形體期間不會流向彼此。加熱區334按加熱速率加熱玻璃預形體100達衰減溫度。例如,加熱速率可為約5℃/分鐘至約200℃/分鐘、約5℃/分鐘至約100℃/分鐘、約10℃/分鐘至約50℃/分鐘或約15℃/分鐘至約30℃/分鐘。
在一些實施例中,加熱區334配置使玻璃預形體100的加熱部分在縱向方向上具有較短長度。例如,玻璃預形體100的加熱部分包含朝橫向方向延伸的
寬度(對應玻璃預形體100的寬度)和朝縱向方向延伸的長度(對應玻璃預形體的長度)。加熱部分的長度為至多約10公分(cm)、至多約5cm、至多約3cm或至多約0.5cm。故加熱速率宜夠快,使玻璃預形體100的加熱部分得維持較短。短加熱部分有助於維持在加熱部分中及/或在將玻璃預形體抽拉成抽拉玻璃片時的玻璃預形體100寬度。例如,在抽拉玻璃預形體期間,短加熱部分可防止玻璃預形體100的邊緣往內拖拉。此外或或者,玻璃預形體供給加熱區的速率及/或抽拉玻璃片抽出加熱區的速率可提高以減少玻璃預形體及/或抽拉玻璃片接觸加熱區的時間。故藉由提高玻璃預形體及/或抽拉玻璃片通過加熱區的速率,可縮短加熱區的有效長度。在一些實施例中,玻璃預形體100的加熱部分的溫度比玻璃預形體預熱部分的溫度高至少約100℃、至少約150℃或至少約200℃。若玻璃預形體預熱部分的溫度和玻璃預形體衰減區加熱部分的溫度太接近,則預熱區會發生衰減。預熱溫度應夠高,使玻璃得部分鬆弛,但也應夠低,以防止玻璃在預熱區衰減,玻璃應快速加熱達衰減溫度。故加熱區配置以在較短縱向距離內快速改變玻璃預形體的溫度。
玻璃預形體100朝遠端方向縱向抽拉(如箭頭338所示),以形成從玻璃預形體遠端延伸的抽拉玻璃片110,此如第3圖所示。例如,玻璃預形體100的加熱部分可朝遠端方向338抽拉或拖拉,使玻璃預形體遠
端伸長而形成抽拉玻璃片110。故抽拉玻璃片110包含複數個玻璃層,抽拉玻璃片的厚度小於玻璃預形體100的厚度。例如,抽拉玻璃片110包含第1圖所示層疊結構,並參考玻璃預形體100描述。在一些實施例中,玻璃預形體100厚度與抽拉玻璃片110厚度的比率為至少約2、至少約5、至少約10、至少約20、至少約30、至少約50、至少約100或至少約200。此外或或者,玻璃預形體100厚度與抽拉玻璃片110厚度的比率為至多約300。
在一些實施例中,抽拉玻璃片110包含至多約0.7mm、至多約0.5mm、至多約0.3mm、至多約0.2mm、至多約0.1mm、至多約0.05mm、至多約0.03mm、至多約0.02mm或至多約0.01mm的厚度。此外或或者,抽拉玻璃片110包含至少約0.001mm、至少約0.01mm或至少約0.05mm的厚度。抽拉玻璃片110的各玻璃層的片厚度比率包含各玻璃層厚度與拉玻璃片厚度的比率。片厚度比率係在自所述抽拉玻璃片移除任何玻璃層前計算。在一些實施例中,各玻璃層的片厚度比率同於或實質同於各玻璃層的預形體厚度比率。換言之,將玻璃預形體100抽拉成抽拉玻璃片110後,玻璃層的相對厚度實質不變。例如,各玻璃層的片厚度比率為各玻璃層預形體厚度比率的約20%、約15%、約10%、約5%或約2%以內。故在一些實施例中,核心層102的片厚度比率為至少約0.7、至少約0.8、至少約0.85、至少約0.9或至少約0.95。此外或或者,核心層102的片厚度比率為至多約0.8、至多約0.75、至多約0.7、至多約0.6或至多約0.5。
回溯第3圖,在一些實施例中,抽拉單元330包含導邊單元340,導邊單元配置以朝橫向及/或縱向方向拉緊玻璃預形體100及/或抽拉玻璃片110。例如,在第3圖所示實施例中,導邊單元340包含邊輥對(僅圖示一對),邊輥配置以嚙合抽拉玻璃片110的相對邊緣,以將抽拉玻璃片往外拉向邊緣,及朝橫向方向拉緊抽拉玻璃片。在其他實施例中,導邊單元包含皮帶、抓臂或另一適當邊緣嚙合裝置。在又一些其他實施例中,導邊單元包含一或更多冷卻裝置(例如流體噴射、冷卻輻射管或另一適當冷卻裝置)且配置以選擇性冷卻抽拉玻璃片的相對邊緣區域,以將抽拉玻璃片往外拉向邊緣,及朝橫向方向拉緊抽拉玻璃片。導邊單元340可設在加熱區334。故導邊單元340可拉緊抽拉玻璃片110,同時玻璃片處於夠高溫度,以在受此張力下伸長或變形。此外或或者,導邊單元340可由抽拉玻璃片對邊嚙合抽拉玻璃片110,而不嚙合抽拉玻璃片邊緣間的中心區。故抽拉玻璃片未嚙合的中心區仍無因接觸導邊單元造成的缺陷。邊緣冷卻及/或拖拉(例如在加熱區)有助於防止曲皺及最小化橫向衰減。
冷卻區336配置使部分抽拉玻璃片110冷卻至冷卻溫度。在一些實施例中,冷卻區336設在加熱區
334遠端或下游,如此抽拉玻璃片110鄰接玻璃預形體100加熱部分的近端可遠端推進到冷卻區。例如,冷卻區336配置使抽拉玻璃片110的近端冷卻至冷卻溫度。在一些實施例中,冷卻溫度係依據玻璃層的玻璃組成且匹配以最小化形狀和抽拉玻璃片內應力。此外或或者,冷卻溫度為低於或等於複數個玻璃層的最高應變點。冷卻區336按冷卻速率使抽拉玻璃片110冷卻至冷卻溫度。在一些實施例中,玻璃通過黏彈性區時的冷卻速率比玻璃在彈性區下方快。此外或或者,冷卻速率可匹配CTE曲線及/或預熱速率。控制冷卻抽拉玻璃片近端部分宜夠迅速,以助於設定抽拉玻璃片寬度,及應夠緩慢,以最小化熱誘發形狀扭曲及/或應力。
在一些實施例中,抽拉單元330包含抽拉驅動單元342,抽拉驅動單元配置以驅使或將抽拉玻璃片110抽出抽拉單元330。例如,在第3圖所示實施例中,抽拉驅動單元342包含一對驅動輥,用以嚙合抽拉玻璃片110的相對表面,而將抽拉玻璃片拖拉過抽拉單元330。驅動輥嚙合其間抽拉玻璃片110,並旋轉以朝遠端方向縱向拖拉抽拉玻璃片。在其他實施例中,抽拉驅動單元包含傳動帶、抓臂或另一適當驅動裝置。抽拉驅動單元342按抽拉速率驅使或將抽拉玻璃片110抽出抽拉單元330。例如,抽拉速率包含當抽拉玻璃片110抽出抽拉單元330時朝遠端方向行進的速度。抽拉驅動單元342可調整以調整抽拉速率。例如,驅動輥的轉速可
提高以提高抽拉速率、或降低以降低抽拉速率。在一些實施例中,抽拉速率大於進料速率。故將抽拉玻璃片110抽出抽拉單元330比將玻璃預形體100引入抽拉單元快。在一些實施例中,抽拉速率與進料速率的比率實質同於玻璃預形體厚度與抽拉玻璃片厚度的比率。例如,下拉比與速度比間可呈近似線性關係。此抽拉速率與進料速率關係有助於拖拉玻璃預形體的加熱遠端區而形成由此延伸的抽拉玻璃片。抽拉驅動單元342設在預熱單元332、加熱單元334及/或冷卻單元336遠端或下游,以將抽拉玻璃片110抽出抽拉單元330。例如,抽拉驅動單元342可設於冷卻單元336或冷卻單元遠端或下游,以嚙合抽拉玻璃片110的區域,該區溫度低於衰減溫度(例如冷卻溫度)。
在一些實施例中,抽拉單元330或部分抽拉單元封在抽拉包殼344內,以助於維持抽拉單元的各種部件周圍的控制環境。例如,抽拉包殼344包含潔淨室及/或內含惰性大氣。
收集單元350設在抽拉單元330遠端或下游,如此所述抽拉玻璃片110可從抽拉單元推進到收集單元。在一些實施例中,收集單元350包含孔徑控制裝置352,孔徑控制裝置設置鄰接抽拉單元330。例如,孔徑控制裝置352可設在抽拉包殼344的出口及/或收集單元350的入口。孔徑控制裝置352有助於控制供抽
拉玻璃片110引入收集單元350的開口尺寸。孔徑控制裝置352可如所述孔徑控制裝置324配置。
在一些實施例中,收集單元350包含收集驅動單元354,收集驅動單元配置以驅使或將抽拉玻璃片110抽出抽拉單元330及/或通過收集單元。收集驅動單元354大致可如所述抽拉驅動單元342配置。例如,在第3圖所示實施例中,收集驅動單元354包含一對驅動輥,用以嚙合抽拉玻璃片110的相對表面,而驅使抽拉玻璃片通過抽拉單元330及/或收集單元350。收集驅動單元354可調整以調整驅動速率。
在一些實施例中,收集單元350包含厚度測量裝置356,厚度測量裝置配置以測量抽拉玻璃片110的厚度。厚度測量裝置包含雷測測量裝置、超音波測量裝置、干涉儀或另一適當測量裝置。在一些實施例中,可響應測量厚度來調整再抽拉系統300的一或更多參數。例如,若測量厚度小於目標厚度,則可降低抽拉速率與進料速率的比率,藉以增加抽拉玻璃片110的厚度。或者,若測量厚度大於目標厚度,則可提高抽拉速率與進料速率的比率,藉以減小抽拉玻璃片110的厚度。
在一些實施例中,收集單元350包含缺陷偵測裝置358,缺陷偵測裝置配置以偵測抽拉玻璃片110的缺陷。缺陷偵測裝置358包含照相系統、干涉條紋圖案系統、反射系統或另一適當偵測系統。
在一些實施例中,收集單元350包含塗佈應用裝置360,塗佈應用裝置配置以施用塗層至抽拉玻璃片110的一或二外表面。塗佈應用裝置360包含液體塗佈裝置(例如噴塗裝置、蒸發應用裝置、浸泡單元、刷塗裝置)、膜施用裝置(例如軋輥)、沉積裝置(例如熱沉積裝置)或另一適當施用裝置。塗層有助於保護抽拉玻璃片110的表面免遭損壞及/或保留抽拉片初始品質。例如,塗層包含插層,當抽拉玻璃片110如所述捲繞時,插層配置以防止表面間接觸。塗層包含適當塗料,例如聚合物。
在一些實施例中,收集單元350包含切斷裝置362,切斷裝置配置以切斷抽拉玻璃片110。切斷裝置362包含刻劃輪、劃片刀尖、切割盤、雷射、火炬、流體噴射、彎折裝置、另一適當切斷裝置或上述組合物。在一些實施例中,切斷裝置362縱向切斷抽拉玻璃片110(例如調整抽拉玻璃片寬度及/或自抽拉玻璃片移除珠粒)。此外或或者,切斷裝置362包含複數個切斷裝置沿抽拉玻璃片110設在不同橫向位置。例如,切斷裝置362包含第一切斷裝置設在抽拉玻璃片110的第一邊緣附近和第二切斷裝置設在抽拉玻璃片110相對第一邊緣的第二邊緣附近。第一切斷裝置和第二切斷裝置各自可縱向切斷抽拉玻璃片110。故可自位於邊緣間的抽拉玻璃片中心區移除位於抽拉玻璃片110各邊緣的較厚區域或珠粒。
在一些實施例中,收集單元350包含收集捲軸364,用以捲繞抽拉玻璃片110。例如,如第3圖所示,收集捲軸364包含實質圓柱體供抽拉玻璃片110捲繞於上。捲軸直徑可依據玻璃片110的彎曲半徑。例如,薄玻璃片的彎曲半徑比厚玻璃片小。故比起薄玻璃片,厚玻璃片可收集在大直徑捲軸上。圓柱體包含圓形截面。在其他實施例中,收集捲軸截面可呈三角形、矩形、橢圓形或另一適當多邊形或非多邊形。在一些實施例中,收集捲軸364繞著捲軸中軸旋轉。旋轉有助於繞著收集捲軸364捲繞抽拉玻璃片110及/或將抽拉玻璃片110拖拉過抽拉單元330及/或收集單元350。在一些實施例中,藉由維持抽拉玻璃片中的自由環路366及/或收集驅動單元354與收集捲軸間的張力,可控制將抽拉玻璃片110捲繞到收集捲軸364上。
在一些實施例中,收集單元350或部分收集單元封在收集包殼368內,以助於維持收集單元的各種部件周圍的控制環境。例如,收集包殼368包含潔淨室及/或內含惰性大氣。
在一些實施例中,抽拉玻璃片110包含可撓玻璃片。可撓玻璃片能讓抽拉玻璃片110捲繞到所述收集捲軸上。利用所述製程形成抽拉玻璃片可使抽拉玻璃片具有實質無缺陷(例如切屑、裂痕、刮痕或其他缺陷)的初始外表面。此外或或者,抽拉玻璃片110包含一或更多未拋光外表面(例如未經拋光或研磨處理的外表
面)。初始外表面能將抽拉玻璃片彎曲成較小彎曲半徑,抽拉玻璃片又不會斷裂。例如,在一些實施例中,抽拉玻璃片110能彎曲成在理論最小彎曲半徑的約40%、約30%或約20%以內的彎曲半徑。理論最小彎曲半徑代表特定厚度且具初始或無缺陷表面的抽拉玻璃片可彎曲、又不會斷裂的彎曲半徑。在一些實施例中,抽拉玻璃片110能彎曲成小於或等於約50mm、小於或等於約40mm、小於或等於約35mm、小於或等於約30mm、小於或等於約25mm、小於或等於約20mm、小於或等於約15mm、小於或等於約10mm的彎曲半徑。
在一些實施例中,抽拉玻璃片110配置成強化玻璃片。例如,在一些實施例中,第一及/或第二披覆層104、106的第二玻璃組成包含不同於核心層102的第一玻璃組成的平均熱膨脹係數(CTE)。例如,第一和第二披覆層104、106可由平均CTE比核心層102小的玻璃組成形成。在此所用「平均熱膨脹係數」係指特定材料或層在0℃至300℃下的平均熱膨脹係數。除非另行指明,否則在此所用「熱膨脹係數」係指平均熱膨脹係數。抽拉玻璃片110冷卻後,直接鄰接層間的CTE失配(即第一和第二披覆層104、106的平均CTE與核心層102的平均CTE不同)將導致在披覆層中形成壓縮應力及在核心層中形成拉伸應力。在不同實施例中,第一和第二披覆層個別可具較大平均CTE、較小平均CTE或實質和核心層一樣的平均CTE。
在一些實施例中,核心層102的平均CTE與第一及/或第二披覆層104、106的平均CTE相差至少約5×10-7℃-1、至少約15×10-7℃-1、至少約25×10-7℃-1、至少約30×10-7℃-1、至少約40×10-7℃-1或至少約50×10-7℃-1。此外或或者,核心層102的平均CTE與第一及/或第二披覆層104、106的平均CTE相差至多約100×10-7℃-1、至多約75×10-7℃-1、至多約50×10-7℃-1、至多約40×10-7℃-1、至多約30×10-7℃-1、至多約20×10-7℃-1或至多約10×10-7℃-1。在一些實施例中,第一及/或第二披覆層104、106的第二玻璃組成包含至多約66×10-7℃-1、至多約55×10-7℃-1、至多約50×10-7℃-1、至多約40×10-7℃-1或至多約35×10-7℃-1的平均CTE。此外或或者,第一及/或第二披覆層104、106的第二玻璃組成包含至少約25×10-7℃-1或至少約30×10-7℃-1的平均CTE。此外或或者,核心層102的第一玻璃組成包含至少約40×10-7℃-1、至少約50×10-7℃-1、至少約55×10-7℃-1、至少約65×10-7℃-1、至少約70×10-7℃-1、至少約80×10-7℃-1或至少約90×10-7℃-1的平均CTE。此外或或者,核心層102的第一玻璃組成包含至多約110×10-7℃-1、至多約100×10-7℃-1、至多約90×10-7℃-1、至多約75×10-7℃-1或至多約70×10-7℃-1的平均CTE。
在一些實施例中,披覆層的壓縮應力為至多約800兆帕(MPa)、至多約500MPa、至多約350Mpa或至多約150MPa。此外或或者,披覆層的壓縮應力為至少約10MPa、至少約20MPa、至少約30MPa、至少約50Mpa或至少約250MPa。此外或或者,核心層的拉伸應力為至多約150MPa、至多約120Mpa或至多約100MPa。此外或或者,核心層的拉伸應力為至少約5Mpa、至少約10MPa、至少約25MPa或至少約50MPa。
由於所述再抽拉方法不接觸抽拉玻璃片中心區及/或在控制環境中進行,故可維持固有玻璃強度,此有益於製造薄強化層疊玻璃結構。強化層疊玻璃結構可透過披覆層與核心層玻璃組成的CTE失配施予的壓縮表面與拉伸內部玻璃應力達成,或者可在再形成之前、期間或之後,利用玻璃離子交換獲得。強化亦可實施成結合兩種技術來強化玻璃片或結合回火方法。強化薄或超薄疊層有利用於彎曲、摺疊或可撓玻璃物件或含玻璃物件應用(例如可撓電子片、可撓顯示器、可撓覆片、可撓環境或防潮基板或超基板、光學連接器用波導和玻璃薄膜)。
因蝕刻及拋光技術僅於露出表面作用,故此類技術無法減小內部核心層厚度。再者,當製作強化超薄玻璃時,此類技術會影響CTE失配主宰的強度性質,包括核心層與總厚度比率。所述再抽拉製程能使抽拉玻
璃片具有和玻璃預形體一樣的厚度比率。換言之,再抽拉製程可使抽拉玻璃片保有玻璃預形體的原來玻璃厚度比率。在一些實施例中,可使用再形成超薄玻璃實現微米或奈米厚度。例如,超過3個玻璃層的多層玻璃疊層可再抽拉以於片內製造奈米邊界,此處期有光學或其他獨特性質。
在一些實施例中,至少部分移除抽拉玻璃片110的複數個玻璃層的至少一者,以形成薄化抽拉玻璃片。例如,可完全或實質完全移除抽拉玻璃片110的一或更多層,以減小抽拉玻璃片厚度及形成薄化抽拉玻璃片。在一些實施例中,自抽拉玻璃片至少部分移除第二層(例如第一披覆層104及/或第二披覆層106)。例如,可自抽拉玻璃片110移除第一披覆層104與第二披覆層106之一,而留下核心層102和另一披覆層做為雙層玻璃片。在一些實施例中,自抽拉玻璃片110分別移除第一披覆層104與第二披覆層106,而留下核心層102做為單層玻璃片。在一些實施例中,自抽拉玻璃片移除第一層(例如核心層102),而留下第二層(例如第一披覆層104及/或第二披覆層106)做為一或更多薄化玻璃片。例如,可自抽拉玻璃片110移除核心層102,而留下第一披覆層104和第二披覆層106做為雙層玻璃片。
在一些實施例中,第二層(例如第一披覆層104及/或第二披覆層106)較第一層(例如核心層102)不耐受。例如,在第1圖實施例中,第一披覆層104和第
二披覆層106較核心層102不耐受。第二玻璃組成(例如第一和第二披覆層104、106的組成)包含在試劑中的降解率大於第一玻璃組成(例如核心層102的組成)。故第一玻璃組成在試劑中的降解率小於第二玻璃組成在試劑中的降解率。在一些實施例中,第二玻璃組成在試劑中的降解率比第一玻璃組成在試劑中的降解率大至少10倍。在一些實施例中,使抽拉玻璃片110接觸試劑,以自核心層102移除至少部分第一披覆層104及/或第二披覆層106,及露出核心層的外表面。披覆層與核心層的耐受性差異能藉著讓抽拉玻璃片接觸試劑,使披覆層降解或溶解且不使核心層實質降解或溶解,而自核心層移除披覆層。
試劑包含適當組分使抽拉玻璃片的一或更多層降解或溶解。例如,試劑包含酸、鹼、另一適合組分或上述組合物。在一些實施例中,試劑包含酸,例如礦酸(例如HCl、HNO3、H2SO4、H3PO4、H3BO3、HBr、HClO4或HF)、羧酸(例如CH3COOH)或上述組合物。例如,在一些實施例中,試劑包含HCl(例如50體積%的HCl水溶液)。此外或或者,試劑包含HNO3。在一些實施例中,試劑包含鹼,例如LiOH、NaOH、KOH、RbOH、CsOH、Ca(OH)2、Sr(OH)2、Ba(OH)2或上述組合物。
在一些實施例中,試劑實質無HF。HF會與許多不同氧化物反應,因此對大多數玻璃組成具高反應
性。例如,HF會與二氧化矽反應形成氣態或水溶性氟化矽。抽拉玻璃片的核心層接觸包含HF的試劑將造成HF與核心層反應,以致粗糙化或結合核心層表面。使用實質無HF的試劑可防止試劑實質與核心層反應,而可自核心層移除披覆層,又不會破壞核心層表面。
在一些實施例中,促使第二層(例如第一披覆層104及/或第二披覆層106)與第一層(例如核心層102)離子交換。例如,存於核心層102的小陽離子(例如單價鹼金屬陽離子或二價鹼土金屬陽離子)可被存於第一披覆層104及/或第二披覆層106的大陽離子(例如單價鹼金屬陽離子、二價鹼土金屬陽離子或Ag+)取代。例如,在一些實施例中,存於核心層102的Na+被存於第一披覆層104及/或第二披覆層106的K+取代。小陽離子和大陽離子可具相同價數或氧化態。小陽離子被大陽離子取代會於核心層102形成受壓縮或壓縮應力(CS)的表面層。表面層延伸到核心層102內部或塊體達層深度(DOL)。此有助於在移除第一披覆層104及/或第二披覆層106後,提高薄化抽拉玻璃片(例如單層或雙層玻璃片)的強度。此外或或者,表面層可當作玻璃片內的埋置強化層(例如未或移除第一披覆層104及/或第二披覆層106前)。表面層的壓縮應力由核心層102內部區域的拉伸應力(TS)或中心張力平衡。離子交換可由適當方法引起,例如在自核心層102移除第一披覆層104及/或第二披覆層106前,加熱玻璃片(例如在將玻
璃預形體100抽拉成抽拉玻璃片110期間)。此原位離子交換(例如在再抽拉製程期間)可形成比利用習知技術實行離子交換所得片還薄的離子交換玻璃片。在一些實施例中,如所述自核心層102分別移除第一披覆層104和第二披覆層106,以形成薄單層離子交換玻璃片。
在一些實施例中,第一層(例如核心層102)較第二層(例如第一披覆層104及/或第二披覆層106)不耐受。例如,核心層102較第一披覆層104和第二披覆層106不耐受。第一玻璃組成(例如核心層102的組成)包含在試劑中的降解率大於第二玻璃組成(例如第一和第二披覆層104、106的組成)。在一些實施例中,使抽拉玻璃片110接觸試劑,以移除核心層102而將第一和第二披覆層104、106彼此分離。核心層與披覆層的耐受性差異能藉著讓抽拉玻璃片接觸試劑,使核心層降解或溶解且不使披覆層實質降解或溶解,而將披覆層彼此分離。
表1列出數個可用作所述第一玻璃組成的示例性玻璃組成(例如用於較耐受第一層)。表2列出數個可用作所述第二玻璃組成的示例性玻璃組成(例如用於較不耐受第二層)。表1與表2所列玻璃組成僅為舉例說明,其他適合玻璃組成亦落在本發明範圍內。
自抽拉玻璃片移除一或更多層可形成比利用習知形成技術實際所得片還薄的玻璃片。在一些實施例中,玻璃預形體和抽拉玻璃片包含較薄核心與較厚披覆層。例如,玻璃預形體包含100微米(μm)的厚度,核心層的預形體厚度比率為0.8。故核心層包含80μm的厚度,第一和第二披覆層各自包含10μm的厚度。玻璃預形體經抽拉使抽拉玻璃片包含1.25μm的厚度。故核心層包含1μm的厚度,第一和第二披覆層各自包含
0.125μm的厚度。如所述,分別移除第一和第二披覆層,以形成厚度1μm的薄化抽拉玻璃片。
抽拉玻璃片及/或薄化抽拉玻璃片可提供電子裝置用基板。在一些實施例中,自抽拉玻璃片移除外層。例如,自抽拉玻璃片100移除第一披覆層104,以露出核心層102的表面及形成雙層玻璃片,此如第4圖所示。故雙層玻璃片包含核心層102和第二披覆層106。如第5圖所示,電子裝置120形成於核心層102的露出表面。利用適當方法形成電子裝置120,例如微影(例如光微影、電子束微影、X射線微影或離子束微影)、印刷(例如噴墨、凹版印刷或網印)、沉積(例如物理氣相沉積或化學氣相沉積)或上述組合物。此外或或者,電子裝置120包含一或更多適合的電子裝置,例如電阻器、電容器、二極體、電晶體或上述組合物。例如,電子裝置120包含薄膜電晶體(TFT)。形成電子裝置120後,自抽拉玻璃片移除另一外層。例如,自抽拉玻璃片110移除第二披覆層106,以形成具電子裝置120形成於上的單層玻璃片,此如第6圖所示。故核心層102當作電子裝置120的基板。在於上形成電子裝置120期間,第二披覆層106有助於提供核心層102結構支撐或剛性,接著移除第二披覆層106而留下核心層做為薄及/或可撓基板用於電子裝置。在一些實施例中,核心層102無或實質無鹼金屬氧化物組分。例如,核心層的鹼金屬氧化物組分濃度為至多約0.3莫耳%、至多約0.2莫耳%或至多約0.1莫耳%。鹼金屬氧化物組分會干擾某些電子裝置操作,例如觸控感測器。故提供無鹼核心層能在核心層表面形成電子裝置,又不會干擾電子裝置操作。在一些實施例中,具電子裝置120形成於上的核心層102可用於可撓電子應用,例如可撓顯示器的零件。
在一些實施例中,自抽拉玻璃片移除內層。例如,自抽拉玻璃片110移除核心層102,以將第一披覆層104和第二披覆層106彼此分離,及形成二薄化玻璃片(例如兩個單層玻璃片)。在一些實施例中,在移除核心層102前,形成電子裝置至抽拉玻璃片110的一或二外表面(例如第一披覆層104及/或第二披覆層106的外表面)。分離第一披覆層104和第二披覆層106後,一或二披覆層當作電子裝置的基板。形成電子裝置時以核心層接合披覆層有助於在形成電子裝置期間提供結構支撐或剛性。披覆層分離後可留下一或二披覆層做為薄及/或可撓基板用於電子裝置。在一些實施例中,第一披覆層104及/或第二披覆層106無或實質無鹼金屬氧化物組分。在一些實施例中,具電子裝置形成於上的第一披覆層104及/或第二披覆層106可用於可撓電子應用,例如可撓顯示器的零件。
在一些實施例中,所述製程可用於形成包含奈米級阻障層於抽拉玻璃片內的抽拉玻璃片。例如,第7圖係玻璃預形體112的另一示例性層疊結構實施例截面圖。玻璃預形體112類似玻璃預形體100,除了玻璃預
形體112的核心層包含內核心層102a、第一外核心層102b和第二外核心層102c。故玻璃預形體112包含五層層疊結構。核心層置於第一披覆層104與第二披覆層106之間,內核心層102a置於第一外核心層102b與第二外核心層102c之間。如所述,玻璃預形體112可抽拉形成包含五層層疊結構的抽拉玻璃片。此抽拉製程可維持各層厚度比率。故最初在玻璃預形體中使用較薄外核心層可形成在內核心層與各披覆層間包含薄阻障層的抽拉玻璃片。此結構無法利用蝕刻或研磨製程由玻璃預形體形成,因蝕刻或研磨製程只在玻璃片的外表面作用。在一些實施例中,抽拉玻璃片的第一外核心層102b及/或第二外核心層102c包含至少約10奈米(nm)、至少約20nm或至少約40nm的厚度。此外或或者,抽拉玻璃片的第一外核心層102b及/或第二外核心層102c包含至多約100nm、至多約90nm或至多約80nm的厚度。例如,玻璃預形體112包含5毫米(mm)的厚度。第一外核心層102b和第二外核心層102c各自包含10μm的厚度。玻璃預形體112經抽拉形成包含厚度20μm的玻璃片。故抽拉玻璃片的第一外核心層102b和第二外核心層102c各自包含阻障層在內核心層102a與第一披覆層104或第二披覆層106之一間,且包含40nm的厚度。
在不同實施例中,抽拉玻璃片及/或薄化抽拉玻璃片的厚度可小於習知形成技術所能達成的厚度。此
外或或者,抽拉玻璃片及/或薄化抽拉玻璃片可具有融合抽拉玻璃片相關的初始表面,而無研磨及/或蝕刻製程造成的表面損壞。
所述玻璃片可用於各種應用,例如包括消費性或商業電子裝置的蓋玻璃或玻璃背板應用,包括如LCD、LED、OLED與量子點顯示器、電腦螢幕和自動櫃員機(ATM);觸控螢幕或觸控感測器應用、用於可攜式電子裝置,包括如行動電話、個人媒體播放器和平板電腦;積體電路應用,包括如半導體晶片;光伏應用;建築用玻璃應用(例如牆壁、後擋板或櫥櫃);汽車或車用玻璃應用;商業或家用器具應用;照明或招牌(例如靜態或動態招牌)應用;或運輸應用,包括如鐵路與航空應用。
利用融合抽拉製程形成具第1圖所示層疊結構且厚度為0.7mm的三層玻璃預形體。核心層的厚度為約620μm,第一和第二披覆層的厚度各自為約40μm。故核心層的預形體厚度比率為約0.9。玻璃預形體經抽拉形成厚度44μm的抽拉玻璃片。第8圖係抽拉玻璃片的截面照片。核心層的厚度為約40μm,第一和第二披覆層的厚度各自為約2μm。故核心層的片厚度比率為約0.9。
第9圖係圖示抽拉玻璃片被彎曲成半徑的照片。相較於理論最小彎曲半徑26mm,抽拉玻璃片能被彎曲成約31mm的半徑。
熟諳此技術者將明白,在不脫離本發明的精神或範圍內,當可作各種更動與潤飾。因此,本發明視後附申請專利範圍和其均等物所界定者為準。
Claims (30)
- 一種用於形成一玻璃片之方法,包含以下步驟:使呈一黏滯狀態之一第一玻璃層的一第一玻璃組成接觸呈一黏滯狀態之一第二玻璃層的一第二玻璃組成,以形成一玻璃預形體,該玻璃預形體包含複數個玻璃層;加熱包含該複數個玻璃層之該玻璃預形體;朝一遠端方向抽拉該玻璃預形體,以形成一抽拉玻璃片,該抽拉玻璃片從該玻璃預形體朝遠端延伸且包含該複數個玻璃層,該抽拉玻璃片的一厚度小於該玻璃預形體的一厚度;及將該抽拉玻璃片捲繞到一收集捲軸上。
- 如請求項1所述之方法,其中該玻璃預形體包含一一元層疊結構,該一元層疊結構包含該複數個玻璃層。
- 如請求項1所述之方法,其中:該複數個玻璃層各自的一預形體厚度比率包含:該玻璃預形體中之各別玻璃層的厚度與該玻璃預形體的厚度之一比率;該複數個玻璃層各自的一片厚度比率包含:該抽拉玻璃片的各別玻璃層的厚度與該抽拉玻璃片的厚度之一比率;及 該複數個玻璃層各自之該預形體厚度比率實質相同於該各別玻璃層的該片厚度比率。
- 如請求項1所述之方法,其中該複數個玻璃層包含一第一玻璃層和一第二玻璃層,該第二玻璃層鄰接該第一玻璃層,且該方法包含以下步驟:自該抽拉玻璃片移除至少一部分的該第二玻璃層。
- 如請求項4所述之方法,其中該第二玻璃層在一試劑中的一降解率大於該第一玻璃層在該試劑中的一降解率,且該移除步驟包含以下步驟:使該抽拉玻璃片接觸該試劑。
- 如請求項4所述之方法,其中該第一玻璃層包含一核心層,該第二玻璃層包含一第一披覆層和一第二披覆層,且該核心層置於該第一披覆層與該第二披覆層之間,該核心層的一片厚度比率包含:該抽拉玻璃片中的該核心層的厚度與該抽拉玻璃片在該移除步驟前的厚度的一比率,且該核心層的該片厚度比率為至多約0.8。
- 如請求項4所述之方法,其中該玻璃預形體的厚度為至少約100μm,且該抽拉玻璃片中之該第一層的厚度為小於約50μm。
- 如請求項4所述之方法,進一步包含以下步驟:在該移除步驟前,形成一電子裝置至該第一玻璃 層的一表面上。
- 如請求項8所述之方法,其中該電子裝置係一薄膜電晶體(TFT)。
- 如請求項1所述之方法,其中該複數個玻璃層包含一核心層,該核心層置於一第一披覆層與一第二披覆層之間,且該方法包含以下步驟:自該抽拉玻璃片移除至少一部分的該核心層,使該第一披覆層與該第二披覆層彼此分離。
- 如請求項10所述之方法,進一步包含以下步驟:在該移除步驟前,形成一電子裝置至該第一披覆層或該第二披覆層之至少一者的一表面上。
- 如請求項1所述之方法,其中該複數個玻璃層包含一核心層,該核心層置於一第一披覆層與一第二披覆層之間,且該核心層的一平均熱膨脹係數(CTE)大於該第一披覆層與該第二披覆層各自的一平均CTE。
- 如請求項12所述之方法,進一步包含以下步驟:藉由與各該第一披覆層和該第二披覆層離子交換,以化學強化該核心層。
- 如請求項13所述之方法,進一步包含以下步驟:在該抽拉步驟及該化學強化步驟後,自經強化之該核心層移除該第一披覆層與該第二披覆層。
- 一種用於形成一玻璃片之方法,包含以下步驟:使呈一黏滯狀態之一第一玻璃層的一第一玻璃組成接觸呈一黏滯狀態之一第二玻璃層的一第二玻璃組成,以形成一玻璃預形體,該玻璃預形體包含該第一玻璃層和第二玻璃層,該第二玻璃層鄰接該第一玻璃層;加熱該玻璃預形體,該玻璃預形體包含該第一玻璃層和該第二玻璃層,該第二玻璃層鄰接該第一玻璃層;朝一遠端方向抽拉該玻璃預形體,以形成一抽拉玻璃片,該抽拉玻璃片從該玻璃預形體朝遠端延伸且包含該第一玻璃層和該第二玻璃層,該抽拉玻璃片的一厚度小於該玻璃預形體的一厚度;及自該抽拉玻璃片移除至少一部分的該第二玻璃層。
- 如請求項15所述之方法,其中該第二玻璃層在一試劑中的一降解率大於該第一玻璃層在該試劑中的一降解率,且該移除步驟包含以下步驟:使該抽拉玻璃片接觸該試劑。
- 如請求項15所述之方法,進一步包含以下步驟:在該移除步驟前,形成一電子裝置至該第一玻璃層的一表面上。
- 如請求項15所述之方法,其中該第二玻璃層包含一第一披覆層和一第二披覆層,且該第一玻璃層包含一核心層,該核心層置於該第一披覆層與該第二披覆層之間。
- 如請求項15所述之方法,其中該第一玻璃層包含一第一披覆層和一第二披覆層,且該第二玻璃層包含一核心層,該核心層置於該第一披覆層與該第二披覆層之間。
- 如請求項15所述之方法,其中該抽拉步驟包含以下步驟:按一進料速率將該玻璃預形體引入一加熱單元,及按一抽拉速率將該抽拉玻璃片抽出該加熱單元,且該抽拉速率大於該進料速率。
- 如請求項15所述之方法,進一步包含以下步驟:將該抽拉玻璃片捲繞到一收集捲軸上。
- 一種用於形成一玻璃片之系統,包含:用於使呈一黏滯狀態之一第一玻璃層的一第一玻璃組成接觸呈一黏滯狀態之一第二玻璃層的一第二玻璃組成,以形成包含複數個玻璃層的一玻璃預形體之裝置;一加熱單元,配置以加熱該玻璃預形體,該玻璃預形體包含該複數個玻璃層;一抽拉單元,配置以朝一遠端方向抽拉該玻璃預 形體,以形成一抽拉玻璃片從該玻璃預形體朝遠端延伸,該抽拉玻璃片包含該複數個玻璃層,該抽拉玻璃片的一厚度小於該玻璃預形體的一厚度;及一收集單元,配置以將該抽拉玻璃片捲繞到一收集捲軸上。
- 一種由請求項1至21中任一項所述之方法形成之玻璃片,包含一第一玻璃層、鄰接該第一玻璃層的一第二玻璃層和至多約0.1mm的一厚度。
- 如請求項23所述之玻璃片,進一步包含多個未拋光外表面。
- 如請求項23所述之玻璃片,其中該第二玻璃層在一試劑中的一降解率大於該第一玻璃層在該試劑中的一降解率,使得該玻璃片接觸該試劑時可移除至少一部分的該第二玻璃層。
- 如請求項23所述之玻璃片,其中該第二玻璃層包含一第一披覆層和一第二披覆層,且該第一玻璃層包含一核心層,該核心層置於該第一披覆層與該第二披覆層之間。
- 如請求項26所述之玻璃片,其中該第一披覆層和該第二披覆層各自包含一平均熱膨脹係數(CTE),其小於該核心層的一平均CTE。
- 如請求項23所述之玻璃片,進一步包含 一電子裝置,其形成在該玻璃片的一表面上。
- 一種由請求項1至21中任一項所述之方法形成之離子交換玻璃片,包含至多約0.1mm的一厚度和一表面層,該表面層受到一壓縮應力並延伸到該玻璃片內部達一層深度。
- 一種消費性或商業電子裝置、建築用玻璃結構、車用玻璃結構或商業或家用器具,包含如請求項23至29中任一項所述之玻璃片。
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