TWI666388B - 工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置 - Google Patents

工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI666388B
TWI666388B TW107112259A TW107112259A TWI666388B TW I666388 B TWI666388 B TW I666388B TW 107112259 A TW107112259 A TW 107112259A TW 107112259 A TW107112259 A TW 107112259A TW I666388 B TWI666388 B TW I666388B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
port
aforementioned
cylinder
fluid
branch manifold
Prior art date
Application number
TW107112259A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201901041A (zh
Inventor
朝原浩之
染谷和孝
Original Assignee
日商Ｓｍｃ股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商Ｓｍｃ股份有限公司 filed Critical 日商Ｓｍｃ股份有限公司
Publication of TW201901041A publication Critical patent/TW201901041A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI666388B publication Critical patent/TWI666388B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/16—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with two or more servomotors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/02—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member
    • F15B11/024—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member by means of differential connection of the servomotor lines, e.g. regenerative circuits
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
    • F15B11/064—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam with devices for saving the compressible medium
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/021—Valves for interconnecting the fluid chambers of an actuator
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0814—Monoblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0817—Multiblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0832—Modular valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0832—Modular valves
    • F15B13/0839—Stacked plate type valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0871—Channels for fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B21/00—Common features of fluid actuator systems; Fluid-pressure actuator systems or details thereof, not covered by any other group of this subclass
    • F15B21/008—Reduction of noise or vibration
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K47/00—Means in valves for absorbing fluid energy
    • F16K47/04—Means in valves for absorbing fluid energy for decreasing pressure or noise level, the throttle being incorporated in the closure member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B2013/002—Modular valves, i.e. consisting of an assembly of interchangeable components
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/305—Directional control characterised by the type of valves
    • F15B2211/30505—Non-return valves, i.e. check valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/31—Directional control characterised by the positions of the valve element
    • F15B2211/3122—Special positions other than the pump port being connected to working ports or the working ports being connected to the return line
    • F15B2211/3133—Regenerative position connecting the working ports or connecting the working ports to the pump, e.g. for high-speed approach stroke
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40515—Flow control characterised by the type of flow control means or valve with variable throttles or orifices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40576—Assemblies of multiple valves
    • F15B2211/40584—Assemblies of multiple valves the flow control means arranged in parallel with a check valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F15B2211/41554—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit being connected to a return line and a directional control valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/86—Control during or prevention of abnormal conditions
    • F15B2211/8616—Control during or prevention of abnormal conditions the abnormal condition being noise or vibration
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/88—Control measures for saving energy
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/885—Control specific to the type of fluid, e.g. specific to magnetorheological fluid
    • F15B2211/8855—Compressible fluids, e.g. specific to pneumatics

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Actuator (AREA)

Abstract

構成工作缸驅動裝置(12)之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)係具備塊狀的分歧總管(30)，該塊狀的分歧總管(30)形成有使用於複數個流體壓工作缸(14)的驅動之流體流通的複數個孔。分歧總管(30)係構成為：可裝設用以交替將流體供應到各流體壓工作缸(14)的第一工作缸室(18)與第二工作缸室(20)之複數個切換閥(28)。於分歧總管(30)之複數個孔，安裝有複數個逆止閥(32)與複數個節流閥(34)。

Description

工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置
本發明係有關用以驅動複數個流體壓工作缸之工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置。
以往，廣泛使用一種工作缸驅動裝置，該工作缸驅動裝置係將空氣等之流體交替供應到由流體壓工作缸的活塞所區隔之第1工作缸室與第2工作缸室來驅動流體壓工作缸(例如，參照日本特開2001-311404號公報)。
然而，在工場等地方，使用有複數個流體壓工作缸。上述用以驅動流體壓工作缸之工作缸驅動裝置亦可各別具備複數個切換閥、逆止閥、節流閥。一般而言，此種閥構件係相互以配管連接，此時，配管的數目多，故產生一些問題，即零件點數增加之同時將工作缸驅動裝置安裝到複數個流體壓工作缸時之組裝作業(配管連接作業等)變得繁雜。
本發明係鑑於此種課題而研創完成者，其目的係在提供一種工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅 動裝置，其係可削減零件點數之同時可容易進行組裝作業。
為了達成上述目的，本發明之工作缸驅動用分歧總管裝置係用以驅動複數個流體壓工作缸之工作缸驅動用分歧總管裝置，其具備塊狀的分歧總管，該塊狀的分歧總管形成有複數個孔，該複數個孔係使用於複數個流體壓工作缸的驅動之流體的流通，前述分歧總管係構成為可裝設用以交替將流體供應到由各前述流體壓工作缸的活塞所區隔之第一工作缸室與第二工作缸室之複數個切換閥，且於前述分歧總管之複數個前述孔，係安裝有複數個逆止閥與複數個節流閥。
依據此種構成，於分歧總管之複數個孔安裝有複數個逆止閥，故不需用以相互接合切換閥與逆止閥之配管。此外，在分歧總管之複數個孔安裝複數個節流閥，故不需用以相互接合切換閥與節流閥之配管。因此，故可削減工作缸驅動用分歧總管裝置的零件點數並且可容易進行組裝作業。
在上述工作缸驅動用分歧總管裝置中，前述分歧總管的複數個前述孔包含：複數個導入埠，係將流體引導到各前述切換閥；複數個導出埠，係從各前述切換閥引導流體；複數個第一連接埠，係用以使各前述流體壓工作缸的前述第一工作缸室與各前述切換閥相互連通；複數個第二連接埠，係用以使各前述流體壓工作缸的前述第二工作缸室與各前述切換閥相互連通；以及複數個第三連接埠，係相互接合各前述第一連接埠與各前述切換閥；於 各前述第三連接埠，容許從前述第一連接埠朝前述切換閥之方向的流體的流動並且設置阻止從前述切換閥朝前述第一連接埠的方向之流體的流動之前述逆止閥，且於各前述導出埠，設置前述節流閥，而各前述切換閥可各別將前述導入埠及前述第一連接埠之間、前述第一連接埠及前述導出埠之間、前述導出埠及前述第二連接埠之間、前述第二連接埠及前述第三連接埠之間切換為連通狀態與遮斷狀態，且在前述切換閥的第一位置上，前述導入埠與前述第一連接埠相互連通並且前述導出埠與前述第二連接埠相互連通，且將前述第一連接埠與前述導出埠之連通予以遮斷並且將前述第二連接埠與前述第三連接埠之連通予以遮斷，且在前述切換閥之第二位置上，前述第一連接埠與前述導出埠相互連通並且前述第二連接埠與前述第三連接埠相互連通，且將前述導入埠與前述第一連接埠之連通予以遮斷並且亦可將前述導出埠與前述第二連接埠之連通予以遮斷。
依據此種構成，在切換閥之第二位置上，將流體壓工作缸之第一工作缸室內的流體透過第一連接埠、第三連接埠、第二連接埠朝第二工作缸室供應同時將之排出到導出埠。藉此方式，第二工作缸室之流體壓增加並且第一工作缸室的流體壓急速減少，故可削減用以驅動流體壓工作缸之流體消耗量。因此，可於驅動複數個流體壓工作缸上謀求節省能源。
在上述工作缸驅動用分歧總管裝置中，各 前述第一連接埠及各前述第三連接埠亦可在前述第一連接埠中以延伸為直線狀之方式形成流體流路，該流體流路係從可裝設可連接與前述第一工作缸室連通之配管的連接器之開口部到前述逆止閥。
依據此種構成，與從第一連接埠的開口部到逆止閥之流體流路彎曲的情況比較，可減小流體與流路的壁面之間的摩擦阻力。藉此方式，可有效率地將第一工作缸室內的流體引導到第二工作缸室內。
在上述工作缸驅動用分歧總管裝置中，各前述節流閥亦可為可變節流閥，該可變節流閥係設置在比各前述逆止閥更靠近前述分歧總管之複數個前述切換閥的裝設部位之處所。
依據此種構成，可使從切換閥到可變節流閥之通路長度變得較短。亦即，可將從切換閥到可變節流閥之流體的容積予以縮小。因此，藉由變更可變節流閥之節流閥開度，可容易調整從第一連接埠被引導至第三連接埠之流體的流量(壓力)。
在上述工作缸驅動用分歧總管裝置中，亦可於前述分歧總管形成1個供應埠，該供應埠係與各前述導入埠連通以供應來自流體供應源之流體。
依據此種構成，驅動複數個流體壓工作缸時亦可將用以連接流體供應源與分歧總管之配管的數目予以減少。
在上述工作缸驅動用分歧總管裝置中，於 前述分歧總管形成有1個排出埠，該排出埠係與各前述導出埠連通來用以將流體排出到前述分歧總管的外部，而在前述排出埠亦可設置有1個消音器，該消音器係用以減低流體的排出聲。
依據此種構成，於驅動複數個流體壓工作缸的情況亦可將消音器設為1個。
本發明之工作缸驅動裝置具備上述工作缸驅動用分歧總管裝置以及複數個前述切換閥。
依據本發明，在分歧總管之複數個孔安裝有複數個逆止閥與複數個節流閥，故可削減零件點數並且可容易進行組裝作業。
從與附屬的圖示一致之以下的適當的實施形態例之說明，將更清楚明白上述目的、特徵及優點。
10‧‧‧分歧總管裝置(工作缸驅動用分歧總管裝置)
12‧‧‧工作缸驅動裝置
14‧‧‧流體壓工作缸
16‧‧‧工作缸部
18‧‧‧第一工作缸室
20‧‧‧第二工作缸室
22‧‧‧活塞
24‧‧‧活塞桿
26‧‧‧流體供應源
28‧‧‧切換閥
30‧‧‧分歧總管
30a至30f‧‧‧第一至第六外面
32‧‧‧逆止閥
34‧‧‧節流閥
36‧‧‧供應埠
38‧‧‧排出埠
40‧‧‧導入埠
42‧‧‧第一連接埠
42a‧‧‧第一孔
42b‧‧‧第二孔
44‧‧‧第二連接埠
44a‧‧‧第三孔
44b‧‧‧第四孔
46‧‧‧第三連接埠
46a‧‧‧第五孔
46b‧‧‧第六孔
48‧‧‧導出埠
48a至48d‧‧‧第一至第四導出孔
50‧‧‧供應配管
51、54‧‧‧阻塞構件
52‧‧‧連接器
56‧‧‧消音器
58‧‧‧排出口
60‧‧‧第一連接配管
64‧‧‧第二連接配管
62、66‧‧‧連接器
67、69‧‧‧阻塞構件
68‧‧‧槽
70‧‧‧閥本體
72‧‧‧引導閥機構
74a至74e‧‧‧第一至第五埠
76‧‧‧本體
78‧‧‧閥室
80‧‧‧線軸
第1圖係將具備有本發明的一實施形態之工作缸驅動用分歧總管裝置之工作缸驅動裝置安裝在複數個流體壓工作缸之狀態的示意圖。
第2A圖係第1圖之工作缸驅動裝置的透視圖，第2B圖係從第2A圖的別的角度之透視圖。
第3圖係第2A圖的流體壓工作缸之橫斷面圖。
第4圖係進行流體壓工作缸之還原步驟時之在工作缸驅動裝置之沿著第3圖的IV-IV線之第1縱斷面圖。
第5圖係進行流體壓工作缸的還原步驟時之在工作缸 驅動裝置之沿著第3圖的V-V線之第2縱斷面圖。
第6圖係進行流體壓工作缸的還原步驟時之在工作缸驅動裝置之沿著第3圖的VI-VI線之第3縱斷面圖。
第7圖係表示從第1圖之切換閥的第二位置切換為第一位置的狀態之部分省略示意圖。
第8圖係進行流體壓工作缸的驅動步驟時之工作缸驅動裝置之第1縱斷面圖。
第9圖係進行流體壓工作缸的驅動步驟時之工作缸驅動裝置之第2縱斷面圖。
第10圖係進行流體壓工作缸的驅動步驟時之工作缸驅動裝置之第3縱斷面圖。
以下，就本發明之工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置舉出適當的實施形態，一邊參照附屬的圖示一邊加以說明。
如第1圖所示，本發明的一實施形態之工作缸驅動裝置12係用以驅動複數個流體壓工作缸14之裝置。流體壓工作缸14例如構成為空氣工作缸，其具有活塞22，該活塞22係將工作缸部16的內部區隔為第一工作缸室18與第二工作缸室20且透過流體壓的作用可往返滑動於工作缸部16的內部。一端部被連結在活塞22之活塞桿24的另一端部係從工作缸部16延伸到外部。
流體壓工作缸14係於活塞桿24推出時(伸展時)進行未圖示之工件的定位等之工作，而於活塞桿24 引進時不工作。第一工作缸室18係位於與活塞桿24相反側之驅動用壓力室(頭部側工作缸室)，第二工作缸室20係位於活塞桿24側之還原側壓力室(桿側工作缸室)。
如第1圖至第6圖所示，工作缸驅動裝置12具備流體供應源26與工作缸驅動用分歧總管裝置(以下，簡稱為「分歧總管裝置10」。)以及複數個切換閥28。流體供應源26係供應高壓流體者，例如，構成為空氣壓縮機(參照第1圖)。
分歧總管裝置10具備可連接設置複數個切換閥28之塊狀的1個分歧總管30以及安裝在分歧總管30之複數個逆止閥32以及複數個節流閥34。切換閥28、逆止閥32、節流閥34各別與流體壓工作缸14設置為同數目。在第2A圖及第2B圖的例中，各別設置5個切換閥28、逆止閥32、節流閥34，上述閥構件及流體壓工作缸14的數目可任意變更。
如第2A圖至第6圖所示，分歧總管30例如由鋁等之金屬材料以成為一體之方式構成為塊狀。但是，分歧總管30的構成材料不限定於金屬材料，可採用硬質樹脂等之任意的材料。
分歧總管30構成為立方體狀。亦即，分歧總管30具有第一外面30a、第二外面30b、第三外面30c、第四外面30d、第五外面30e、第六外面30f。第一外面30a與第二外面30b係在分歧總管30的高度方向(箭頭符號A方向)以相互分離之方式而配置。第一外面30a係將分歧總 管30設置於未圖示之固定台時與該固定台接觸之設置面。第二外面30b係位於第一外面30a的背側，為可裝設複數個切換閥28之裝設面(裝設部位)。第三外面30c與第四外面30d係在分歧總管30的長邊方向(箭頭符號B方向)以相互分離之方式而配置之側面。第五外面30e與第六外面30f係在分歧總管30的短邊方向(箭頭符號C方向)以相互分離之方式而配置之側面。
如第3圖至第6圖所示，於分歧總管30係形成有使用於複數個流體壓工作缸14的驅動之流體流通之複數個孔。亦即，於分歧總管30形成有1個供應埠36、1個排出埠38、複數個導入埠40、複數個第一連接埠42、複數個第二連接埠44、複數個第三連接埠46及複數個導出埠48。此外，導入埠40、第一連接埠42、第二連接埠44及第三連接埠46係各別與切換閥28設置為同數目。
如第3圖所示，供應埠36係與各導入埠40連通且供應來自流體供應源26的流體的孔(通路)(參照第4圖)。供應埠36係沿著箭頭符號B方向而延伸為直線狀之貫穿孔，其開口於各個第三外面30c與第四外面30d。於供應埠36的第三外面30c側之端部，設置有阻塞構件51。於供應埠36之第四外面30d側的開口部，裝設用以連接被連接在流體供應源26的供應配管50之連接器52(參照第1圖)。此時，透過連接器52將供應配管50僅連接在供應埠36的單側之開口部，故與透過連接器52將供應配管50連接在供應埠36兩側的開口部之情況比較，可削減零件點數 (供應配管50的一部分及連接器52)。但是，亦可按照流體壓工作缸14及工作缸驅動裝置12的規格，透過連接器52將供應配管50連接在供應埠36兩側的開口部，使朝供應埠36之流體的供應量增加。
排出埠38係與各導出埠48連通而用以將流體排出到分歧總管30的外部之孔(通路)。排出埠38係沿著箭頭符號B方向而延伸為直線狀之貫穿孔，且各別開口於第三外面30c與第四外面30d。於排出埠38的第三外面30c側之端部設置有阻塞構件54。於排出埠38之第四外面30d側的端部設置有用以減低流體的排出聲(排氣音)之1個消音器56。排出埠38的第四外面30d側之開口部具有作為排出口58之功能(參照第1圖)。供應埠36與排出埠38係並列設置在箭頭符號C方向。但是，按照流體壓工作缸14及工作缸驅動裝置12的規格，亦可省略阻塞構件54之同時在排出埠38兩側的開口部設置消音器56。此時，可將排出埠38內的流體更順暢地排出到分歧總管30外部。
如第4圖所示，導入埠40係用以將流體引導到各切換閥28的孔(通路)。導入埠40係從供應埠36到第二外面30b為止沿著箭頭符號A方向延伸為直線狀。
第一連接埠42係用以使各流體壓工作缸14的第一工作缸室18與各切換閥28相互連通之孔(通路)。第一連接埠42係開口於第二外面30b與第五外面30e。具體而言，第一連接埠42包含第一孔42a及第二孔42b。第 一孔42a係從第五外面30e朝第六外面30f沿著箭頭符號C方向而呈直線狀地延伸到比分歧總管30的寬度方向中央更些許偏離到第五外面30e側之位置為止。第一孔42a係位於比供應埠36及排出埠38更靠近第一外面30a側之位置。第二孔42b係於第一孔42a中從第六外面30f側的端部到第二外面30b為止沿著箭頭符號A方向而延伸。第二孔42b位於供應埠36與排出埠38之間。於第一連接埠42的第一孔42a之朝第五外面30e的開口部，設置有可連接與流體壓工作缸14的第一工作缸室18連通之第一連接配管60的連接器62(參照第1圖)。
如第5圖所示，第二連接埠44係用以使各流體壓工作缸14的第二工作缸室20與各切換閥28相互連通的孔(通路)。第二連接埠44包含第三孔44a及第四孔44b。第三孔44a係從第五外面30e朝第六外面30f沿著箭頭符號C方向呈直線狀地延伸到比起分歧總管30的寬度方向中央更些許偏離到第六外面30f側之位置為止。
第四孔44b係在第三孔44a中從第六外面30f側的端部到第二外面30b沿著箭頭符號A方向延伸為直線狀。第二連接埠44之朝第五外面30e的開口部係位於比第一連接埠42之朝第五外面30e之開口部更靠近第二外面30b側(切換閥28側)之位置。於第二連接埠44的第三孔44a之朝第五外面30e之開口部，設置有可連接與流體壓工作缸14的第二工作缸室20連通之第二連接配管64的連接器66(參照第1圖)。
在第1圖中，於第二連接配管64，設置有槽68。槽68係用以儲存從第一工作缸室18朝第二工作缸室20供應之流體者，其構成為空氣槽。藉由設置槽68，可使第二工作缸室20的容積實質上擴大。
如第4圖所示，第三連接埠46係用以相互接合各第一連接埠42與各切換閥28的孔(通路)。第3連接埠46包含第五孔46a及第六孔46b。第五孔46a係從於第一孔42a之第六外面30f側的端部到第二外面30b為止沿著箭頭符號C方向延伸為直線狀。第六孔46b係從第五孔46a到第二外面30b為止沿著箭頭符號A方向延伸為直線狀。
於第三連接埠46之第五孔46a設置有逆止閥32，該逆止閥32係容許從第一連接埠42的第一孔42a朝切換閥28的方向之流體的流動並且阻止從切換閥28朝第一連接埠42的方向之流體的流動。第一連接埠42的第一孔42a與第三連接埠46的第五孔46a係以從第一孔42a之朝第五外面30e的開口部到逆止閥32之流體流路沿著箭頭符號C方向延伸為直線狀之方式而形成。
如第6圖所示，導出埠48係從各切換閥28引導流體的孔(通路)。導出埠48係從第二外面30b延伸到排出埠38。具體而言，導出埠48包含第一導出孔48a、第二導出孔48b、第三導出孔48c以及第四導出孔48d。第一導出孔48a係從第二外面30b朝第一外面30a沿著箭頭符號A方向延伸為直線狀。第二導出孔48b係從第一導出孔 48a到第六外面30f為止沿著箭頭符號C方向延伸為直線狀。第二導出孔48b係位於比第三連接埠46的第五孔46a更靠近第二外面30b側之位置。
第三導出孔48c係以從第二外面30b貫穿第二導出孔48b之方式朝第一外面30a沿著箭頭符號A方向延伸為直線狀。在第三導出孔48c中不是在第二導出孔48b而是在第二外面30b側例如以密閉的方式設置有由鋼球等所構成的阻塞構件67。第四導出孔48d係在第三導出孔48c中從第一外面30a側的端部沿著箭頭符號C方向延伸為直線狀。第四導出孔48d係開口於構成排出埠38之壁面與第六外面30f。在第四導出孔48d中不是在第三導出孔48c而是在第六外面30f側例如以密閉的方式設置有由鋼球等所構成之阻塞構件69。
於導出埠48的第二導出孔48b，設置有節流閥34。節流閥34係在比逆止閥32更靠近分歧總管30之複數個切換閥28的裝設部位之處所(第二外面30b側)所設置的可變節流閥。亦即，節流閥34係以可變更導出埠48的流路截面積之方式所構成。使用者可藉由利用一字型螺絲起子等之工具來轉動節流閥34而使之前進後退移動，來變更導出埠48的流路截面積。
在第4圖至第6圖中，於分歧總管30中在可裝設複數個切換閥28之第二外面30b上，導入埠40、第1連接埠42、導出埠48、第2連接埠44、第3連接埠46之各別的開口部係沿著箭頭符號C方向依此順序而配 置。
如第1圖、第4圖及第5圖所示，複數個切換閥28係用以交替將流體供應到由各流體壓工作缸14的活塞22所區隔之第一工作缸室18與第二工作缸室20者。各切換閥28係所謂的5埠之引導式的電磁閥，其具備閥本體70以及設置在閥本體70之引導閥機構72。閥本體70具備形成有第一至第五埠74a至74e的本體76以及以可產生位移之方式配設在本體76的閥室78內之線軸80。
在本體76上，第一埠74a、第二埠74b、第五埠74e、第三埠74c、第四埠74沿著箭頭符號C方向且按照此順序而配置。第一埠74a與導入埠40連通。第二埠74b與第一連接埠42的第二孔42b連通。第三埠74c與第二連接埠44的第四孔44b連通。第四埠74d與第三連接埠46的第六孔46b連通。第五埠74e與導出埠48的第一導出孔48a連通。
線軸80具有第一至第四大徑部82a至82d。第一大徑部82a藉由與構成閥室78之壁面接觸而可遮斷第一埠74a與第二埠74b的連通。第二大徑部82b係藉由與構成閥室78之壁面接觸而可遮斷第二埠74b與第五埠74e的連通。第三大徑部82c係藉由與構成閥室78之壁面接觸而可遮斷第五埠74e與第三埠74c的連通。第四大徑部82d係藉由與構成閥室78的壁面而可遮斷第三埠74c與第四埠74d的連通。
亦即，切換閥28藉由使線軸80位移，而 可各別將導入埠40及第一連接埠42之間、第一連接埠42及導出埠48之間、導出埠48及第二連接埠44之間、第二連接埠44及第三連接埠46之間切換為連通狀態與遮斷狀態。
具體而言，如第7圖至第9圖所示，在切換閥28的第一位置上，導入埠40與第一連接埠42相互連通之同時導出埠48與第二連接埠44相互連通。此外，在此第一位置上，遮斷第一連接埠42與導出埠48的連通之同時遮斷第二連接埠44與第三連接埠46的連通。
如第1圖、第4圖及第5圖所示，在切換閥28的第二位置上，第一連接埠42與導出埠48相互連通並且第二連接埠44與第三連接埠46相互連通。再者，在此第二位置上，遮斷導入埠40與第一連接埠42的連通並且遮斷導出埠48與第二連接埠44的連通。
切換閥28係於非通電時藉由彈簧84(參照第1圖)所賦予之彈推力而被保持在第二位置，而通電時透過引導閥機構72的作用從第二位置切換到第一位置。此外，對切換閥28之通電係藉由從未圖示之上位裝置之PLC(Controllerprogrammable logic controller，可程式邏輯控制器)對切換閥28輸出通電指令來進行。對切換閥28之非通電係藉由從PLC對切換閥28輸出非通電指令來進行。
本實施形態之工作缸驅動裝置12基本上以以上的方式所構成，其次，就該動作(使用方法)加以說明。在初始狀態中，如第1圖所示，流體壓工作缸14的活塞 22位於活塞桿24的相反側之行程終端，而切換閥28位於第二位置。
在工作缸驅動裝置12中，進行使活塞桿24伸展之驅動步驟時，如第7圖所示，將切換閥28從第二位置切換到第一位置。如此一來，在第3圖及第8圖中，從流體供應源26透過供應配管50被引導到供應埠36之高壓的流體(壓縮空氣)係分歧到複數個導入埠40。然後，在第8圖中，分歧到各導入埠40之流體透過第一埠74a、第二埠74b、第一連接埠42、第一連接配管60而流入到各流體壓工作缸14的第一工作缸室18。藉此方式，活塞2位移到活塞桿24側且活塞桿24伸展。此時，第二連接埠44與第3連接埠46的連通被切換閥28遮斷，故流體供應源26的流體可有效率地被供應到第一工作缸室18內。
此外，如第9圖及第10圖所示，各流體壓工作缸14之第二工作缸室20內的流體透過第二連接配管64(槽68)、第二連接埠44、第三埠74c、第五埠74e而被引導到導出埠48且通過節流閥34後，在排出埠38流入(參照第7圖、第9圖及第10圖)。然後，從複數個導出埠48流入到排出埠38之流體通過消音器56而從排出口58被排出到大氣(參照第3圖)。
接著，進行引進活塞桿24之還原步驟時，如第1圖所示，將切換閥28從第一位置切換到第二位置。如此一來，停止從流體供應源26到第一工作缸室18內之流體的供應。然後，如第4圖及第6圖所示，第一工作缸 室18內之流體被引導到第一連接配管60、第一連接埠42之第一孔42a且分歧到第二孔42b與第三連接埠46。流動到第二孔42b之流體透過第二埠74b、第五埠74e被引導到導出埠48且通過節流閥34後，流入到排出埠38。
在第4圖及第5圖中，流動到第三連接埠46之流體透過第四埠74d、第三埠74c、第二連接埠44、第二連接配管64而流入到第二工作缸室20內。此外，藉由變更節流閥34的節流閥開度(流路截面積)，來調整從第一孔42a被引導到第三連接埠46之流體的流量與從第一孔42a被引導到第二孔42b之流體的流量的比例。流體流入到第二工作缸室20內時，活塞22位移到活塞桿24的相反側且引進活塞桿24。
在還原步驟中，使用從第一工作缸室18內被排出的流體使活塞22位移。因此，不必將流體從流體供應源26供應到第二工作缸室20內，即可抑制流體供應源26的消耗電力及空氣消耗量，故能謀求工作缸驅動裝置12的節省能源。
其次，以下就本實施形態的效果加以說明。
構成工作缸驅動裝置12之分歧總管裝置10係用以驅動複數個流體壓工作缸14之裝置。此分歧總管裝置10具備塊狀的分歧總管30，該塊狀的分歧總管30係形成有使用於複數個流體壓工作缸14的驅動之流體流通之複數個孔(供應埠36、排出埠38、導入埠40、第一連接埠42、第二連接埠44、第三連接埠46、導出埠48)。分歧總 管30係由用以交替供應流體到由各流體壓工作缸14的活塞22所區隔之第一工作缸室18與第二工作缸室20之複數個切換閥28以可裝設之方式所構成。於分歧總管30之複數個孔安裝有複數個逆止閥32與複數個節流閥34。
如此，在分歧總管裝置10中，於分歧總管30的複數個孔安裝有複數個逆止閥32，故不需用以相互接合切換閥28與逆止閥32之配管。再者，在分歧總管30的複數個孔安裝有複數個節流閥34，故不需用以相互接合切換閥28與節流閥34之配管。因此，可削減工作缸驅動用分歧總管裝置10的零件點數並且可容易進行組裝作業。
分歧總管30之複數個孔包含：複數個導入埠40，係將流體引導到各切換閥28；複數個導出埠48，係從各切換閥28引導流體；複數個第一連接埠42，係用以使各流體壓工作缸14的第一工作缸室18與各切換閥28相互連通；複數個第二連接埠44，係用以使各流體壓工作缸14的第二工作缸室20與各切換閥28相互連通；以及複數個第三連接埠46，係相互接合各第一連接埠42與各切換閥28。
於各第3連接埠46設置有逆止閥32，該逆止閥32係容許從第一連接埠42朝切換閥28的方向之流體的流動並且阻止從切換閥28朝第一連接埠42之方向的流體之流動。於各導出埠48，設置有節流閥34。
各切換閥28係可各別將導入埠40及第一連接埠42之間、第一連接埠42及導出埠48之間、導出埠 48及第二連接埠44之間、第二連接埠44及第三連接埠46之間切換為連通狀態與遮斷狀態。
在切換閥28的第一位置上，導入埠40與第一連接埠42相互連通並且導出埠48與第二連接埠44相互連通，且遮斷第一連接埠42與導出埠48的連通並且遮斷第二連接埠44與第三連接埠46的連通(參照第8圖)。
在切換閥28之第二位置上，第一連接埠42與導出埠48相互連通並且第二連接埠44與第三連接埠46相互連通，且遮斷導入埠40與第一連接埠42的連通並且遮斷導出埠48與第二連接埠44的連通(參照第4圖)。
此時，在切換閥28之第二位置上，將流體壓工作缸14的第一工作缸室18內之流體透過第一連接埠42、第三連接埠46、第二連接埠44朝第二工作缸室20供應之同時將之排出到導出埠48(參照第4圖至第6圖)。藉此方式，第二工作缸室20的流體壓增加並且第一工作缸室18的流體壓急速減少，故可削減用以驅動流體壓工作缸14之流體消耗量。因此，可謀求複數個流體壓工作缸14的驅動之節省能源。
各第一連接埠42及各第三連接埠46係在第一連接埠42中從可裝設可連接與第一工作缸室18連通的配管之連接器62之開口部到逆止閥32之流體流路以延伸為直線狀之方式而形成。
藉此方式，與從第一連接埠42的開口部到逆止閥32為止之流體流路彎曲的情況比較可減小流體與 流路的壁面之間的摩擦阻力。因此，可有效率地將第一工作缸室18內的流體引導到第二工作缸室20內。
各節流閥34係於比各逆止閥32更靠近分歧總管30之複數個切換閥28的裝設部位之處所所設置之可變節流閥。因此，可使從切換閥28到節流閥34之通路長度變得較短。亦即，可使從切換閥28到節流閥34之流體的容積變得較小。因此，藉由變更節流閥34的節流閥開度，可容易調整從第一連接埠42被引導到第三連接埠46之流體的流量(壓力)。
在分歧總管30，形成有與各導入埠40連通且供應來自流體供應源26的流體之1個供應埠36。藉此方式，於驅動複數個流體壓工作缸14時亦可減少用以連接流體供應源26與分歧總管30之配管的數目。
在分歧總管30，形成有與各導出埠48連通且用以將流體排出到分歧總管30外部之1個排出埠38。然後，於排出埠38，設置有用以減低流體的排出聲之1個消音器56。因此，於驅動數個流體壓工作缸14時亦可將消音器56設為1個。
本實施形態之工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置不限定於上述實施形態，只要在不脫離本發明的要旨之範圍內，當然可採用種種構成。

Claims (7)

  1. 一種工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，其係用以使複數個流體壓工作缸(14)驅動之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，具備：塊狀的分歧總管(30)，該塊狀的分歧總管(30)係形成有使用於複數個流體壓工作缸(14)的驅動之流體流通之複數個孔，前述分歧總管(30)係構成為：可裝設用以交替供應流體到由各前述流體壓工作缸(14)的活塞(22)所區隔之第一工作缸室(18)與第二工作缸室(20)之複數個切換閥(28)，於前述分歧總管(30)之複數個前述孔，係安裝有複數個逆止閥(32)與複數個節流閥(34)。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，其中，前述分歧總管(30)之複數個前述孔包含：複數個導入埠(40)，係將流體引導到各前述切換閥(28)；複數個導出埠(48)，係從各前述切換閥(28)引導流體；複數個第一連接埠(42)，係用以使各前述流體壓工作缸(14)的前述第一工作缸室(18)與各前述切換閥(28)相互連通；複數個第二連接埠(44)，係用以使各前述流體壓工 作缸(14)的前述第二工作缸室(20)與各前述切換閥(28)相互連通；以及複數個第三連接埠(46)，係相互接合各前述第一連接埠(42)與各前述切換閥(28)，於各前述第三連接埠(46)設置有前述逆止閥(32)，該前述逆止閥(32)係容許從前述第一連接埠(42)朝前述切換閥28的方向之流體的流動並且阻止從前述切換閥(28)朝前述第一連接埠(42)之方向的流體之流動，於各前述導出埠(48)，設置有前述節流閥(34)，各前述切換閥(28)係可各別將前述導入埠(40)及前述第一連接埠(42)之間、前述第一連接埠(42)及前述導出埠(48)之間、前述導出埠(48)及前述第二連接埠(44)之間、前述第二連接埠(44)及前述第三連接埠(46)之間切換為連通狀態與遮斷狀態，在前述切換閥(28)的第一位置上，前述導入埠(40)與前述第一連接埠(42)相互連通並且前述導出埠(48)與前述第二連接埠(44)相互連通，且遮斷前述第一連接埠(42)與前述導出埠(48)的連通並且遮斷前述第二連接埠(44)與前述第三連接埠(46)的連通，在前述切換閥(28)之第二位置上，前述第一連接埠(42)與前述導出埠(48)相互連通並且前述第二連接埠(44)與前述第三連接埠(46)相互連通，且遮斷前述導入埠(40)與前述第一連接埠(42)的連通並且遮斷前述導出埠(48)與前述第二連接埠(44)的連通。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，其中，各前述第一連接埠(42)及各前述第三連接埠(46)係在前述第一連接埠(42)中從可裝設可連接與前述第一工作缸室(18)連通之配管(60)的連接器(62)的開口部到前述逆止閥(32)為止之流體流路以延伸為直線狀之方式而形成。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，其中，各前述節流閥(34)係設置在比各前述逆止閥(32)更靠近前述分歧總管(30)之複數個前述切換閥(28)的裝設部位(30b)之處所之可變節流閥(34)。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，其中，於前述分歧總管(30)，形成有與各前述導入埠(40)相通且供應來自流體供應源(26)的流體之1個供應埠(36)。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)，其中，於前述分歧總管(30)形成有與各前述導出埠(48)連通且用以將流體排出到前述分歧總管(30)外部之1個排出埠(38)，於前述排出埠(38)，設置有用以減低流體的排出聲之1個消音器(56)。
  7. 一種工作缸驅動裝置(12)，係具備如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述之工作缸驅動用分歧總管裝置(10)以及複數個前述切換閥(28)。
TW107112259A 2017-05-17 2018-04-10 工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置 TWI666388B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-098128 2017-05-17
JP2017098128A JP6684480B2 (ja) 2017-05-17 2017-05-17 シリンダ駆動用マニホールド装置及びシリンダ駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201901041A TW201901041A (zh) 2019-01-01
TWI666388B true TWI666388B (zh) 2019-07-21

Family

ID=64274155

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107112259A TWI666388B (zh) 2017-05-17 2018-04-10 工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置

Country Status (10)

Country Link
US (1) US11181127B2 (zh)
EP (1) EP3627018B1 (zh)
JP (1) JP6684480B2 (zh)
KR (1) KR102266451B1 (zh)
CN (1) CN110651145B (zh)
BR (1) BR112019023986A2 (zh)
MX (1) MX2019013588A (zh)
RU (1) RU2739850C9 (zh)
TW (1) TWI666388B (zh)
WO (1) WO2018211837A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019121433B4 (de) * 2019-08-08 2022-12-29 SMC Deutschland GmbH Fluidrückführvorrichtung für einen doppeltwirkenden Zylinder und Verfahren zum Betreiben eines solchen Zylinders
TW202141165A (zh) 2020-03-27 2021-11-01 美商應用材料股份有限公司 極紫外光遮罩吸收材料
US11300871B2 (en) * 2020-04-29 2022-04-12 Applied Materials, Inc. Extreme ultraviolet mask absorber materials
TW202202641A (zh) 2020-07-13 2022-01-16 美商應用材料股份有限公司 極紫外線遮罩吸收劑材料

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02118202A (ja) * 1988-10-27 1990-05-02 Nippon Pneumatic Mfg Co Ltd 分岐回路ユニット
JPH06213342A (ja) * 1992-09-29 1994-08-02 Herion Werke Kg 方向切換え弁
JPH0743447Y2 (ja) * 1988-10-14 1995-10-09 株式会社巴技術研究所 弁の操作速度制御装置
KR20030075002A (ko) * 2002-03-15 2003-09-22 김명환 서보액튜에이터 메니폴드
TWM265812U (en) * 2003-12-04 2005-05-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Floatable panel mount cable assembly
US20130276921A1 (en) * 2008-06-02 2013-10-24 Eaton Corporation Valve manifold

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1000617A1 (ru) * 1981-06-30 1983-02-28 Предприятие П/Я Р-6266 Самореверсирующийс пневмо(гидро)привод
JPH10132104A (ja) * 1996-10-28 1998-05-22 Smc Corp パイロット式３ポート切換弁
JP3705730B2 (ja) 2000-04-28 2005-10-12 Ｓｍｃ株式会社 空気圧シリンダの排気回収装置
DE10252592A1 (de) * 2001-11-12 2003-06-18 Otto Herman Seyfarth Integriertes pneumatisches Leitungssystem
JP4378627B2 (ja) 2004-03-30 2009-12-09 Ｓｍｃ株式会社 エアサーボシリンダ
DE202005016766U1 (de) * 2005-10-26 2006-01-12 Festo Ag & Co. Ventilbatterie
CA2699789A1 (en) * 2007-09-21 2009-03-26 Snap-On Tools Of Canada, Ltd. System and apparatus to synchronize a plurality of hydraulically actuated components
US9372485B2 (en) 2011-11-02 2016-06-21 Smc Kabushiki Kaisha Flow rate control device
JP2013104518A (ja) 2011-11-16 2013-05-30 Kawasaki Heavy Ind Ltd クッションバルブ装置、及びそれを備えるマルチクッションバルブユニット
RU141437U8 (ru) * 2013-03-22 2014-09-20 Общество с ограниченной ответственностью "Браво Моторс" Гидроцилиндр трансформации
JP6213342B2 (ja) * 2014-03-28 2017-10-18 三菱マテリアル株式会社 磁気記録膜形成用スパッタリングターゲット及びその製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0743447Y2 (ja) * 1988-10-14 1995-10-09 株式会社巴技術研究所 弁の操作速度制御装置
JPH02118202A (ja) * 1988-10-27 1990-05-02 Nippon Pneumatic Mfg Co Ltd 分岐回路ユニット
JPH06213342A (ja) * 1992-09-29 1994-08-02 Herion Werke Kg 方向切換え弁
KR20030075002A (ko) * 2002-03-15 2003-09-22 김명환 서보액튜에이터 메니폴드
TWM265812U (en) * 2003-12-04 2005-05-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Floatable panel mount cable assembly
US20130276921A1 (en) * 2008-06-02 2013-10-24 Eaton Corporation Valve manifold

Also Published As

Publication number Publication date
CN110651145A (zh) 2020-01-03
EP3627018A4 (en) 2021-02-24
RU2739850C1 (ru) 2020-12-29
KR102266451B1 (ko) 2021-06-17
CN110651145B (zh) 2021-07-16
BR112019023986A2 (pt) 2020-06-09
EP3627018B1 (en) 2022-12-21
RU2739850C9 (ru) 2021-10-26
TW201901041A (zh) 2019-01-01
JP2018194083A (ja) 2018-12-06
EP3627018A1 (en) 2020-03-25
MX2019013588A (es) 2020-01-13
WO2018211837A1 (ja) 2018-11-22
US11181127B2 (en) 2021-11-23
KR20200007041A (ko) 2020-01-21
JP6684480B2 (ja) 2020-04-22
US20200149560A1 (en) 2020-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI666388B (zh) 工作缸驅動用分歧總管裝置及工作缸驅動裝置
TWI695947B (zh) 滑軸閥
JP4463159B2 (ja) 往復ポンプ
KR101596303B1 (ko) 복동식 왕복가능 유량 증폭기의 작동방법
EP3822523A1 (en) Spool valve
KR100873359B1 (ko) 방향제어밸브
US7713033B2 (en) Double-acting, duplex pump controlled by two, two position spool valves
US8091857B2 (en) Valve
KR101411234B1 (ko) 복동식 왕복가능 압력 부스터 및 그 작동방법
US11933328B2 (en) Cylinder drive device and flow channel unit
JP2006336857A (ja) シリンダ
KR101505016B1 (ko) 복동식 왕복가능 압력 부스터용 자동 압력조절 제어 기구
JP5730369B2 (ja) 切換弁
KR101183136B1 (ko) 연동실린더
KR101366438B1 (ko) 복동식 왕복가능 유체 기구용 제어밸브
JPH0527681Y2 (zh)
KR20140003969A (ko) 3방향 밸브
KR20230122836A (ko) 2단 기어 펌프 기반의 역류 방지 기능이 개선된 락킹 실린더
KR20200099092A (ko) 유량 제어 밸브
JP3059614B2 (ja) スライド弁
RU2003128501A (ru) Гидромеханический привод
KR20150014743A (ko) 복동식 왕복가능 압력 부스터용 자동 왕복운동 제어 기구

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees