TWI664014B - 一種高純微米級球形二氧化矽微粉的製備方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭示了一種高純微米級球形二氧化矽微粉的製備方法，其包含以下步驟：i)提供一含矽前驅體溶液；ii)將該含矽前驅體溶液加入到含有乳化劑的油相中並攪拌得到混合溶液；iii)將鹼性催化劑加入至該混合溶液中，靜置陳化後，用溶劑與水的混合物洗滌沉澱物，乾燥後得到該二氧化矽微球，其中，該含矽前驅體為Si(OR)₄、矽酸乙酯40、矽酸乙酯32、SiR₂(OR₁)₃中的一種或兩種以上的混合物，其中，R、R₁、R₂各自獨立為C_1-3烷基。本發明的二氧化矽微球純度極高，所有金屬雜質的含量都為0.2ppm以下，且本發明的製備方法操作簡單，製備過程中的產物易處理，最終所得到的二氧化矽微球粒徑在0.3μm~40μm。

Description

一種高純微米級球形二氧化矽微粉的製備方法

本發明涉及一種高純微米級球形二氧化矽微粉的製備方法。

高純二氧化矽微球，其放射性元素含量低，微米級球形化，能夠降低膨脹係數，增強材料的機械性能和電性能，提高阻燃性能，同時可以降低塑封料的吸水率。目前已經廣泛用於航空、航太、電子資訊、新型塗料、特種陶瓷、高檔化妝品、高效催化劑、液相色譜填料、顏料、超大螢幕液晶顯示以及超大型積體電路塑封料等領域。

目前對二氧化矽粉體球形化研究最為成功的國家是日本和美國，製備高純微米級的原料有水玻璃、提純過的石英、正矽酸乙酯、四氯化矽等。製備方法有物理法和矽化合物化學合成法，其中物理法包括超細粉碎機械法、高頻等離子熔融法、燃燒法(氣體火焰法、高溫熔融噴射法)(參見CN102815713B、CN102530962B、CN101023038B)，代表公司有日本TATSTMORL，日本電氣化學，美國的Sturtevant.mill；矽化合物化學合成法包括種子法、沉澱法、溶膠-凝膠(Sol-Gel)、化學液相法、乳化法等，代 表公司有韓國Sukgyung At。

等離子法製備的微球結構緻密，鬆裝密度高，但能耗高，溫度場小而集中，溫度範圍難以控制，不易放大，很難形成規模化生產，主要應用於研究領域。氣體火焰法裝置要求苛刻、技術參數難控制，目前日本已有能量產的設備，但日本限制該工藝的關鍵技術和設備的出口。高溫熔融氣流噴射法的加熱裝置要求穩定的溫度場、易於調節的溫度範圍和不會對矽微粉造成二次污染的清潔熱源環境。燃燒法最難解決樣品被污染問題。氣相熱分解(CN102001670B)一次顆粒7~20nm，生產過程易自動化控制，設備投資大，生產規模不宜過大，且產品售價昂貴。

種子法(CN101205067B)製備的微球粒徑小，並且不適合放大。化學沉澱法是在溶液狀態將不同化學成分的物質，在混合液中加入適當的沉澱劑製備前驅體沉澱，再將沉澱物進行乾燥或煆燒，從而製得粉體。化學液相法(CN104724716A、CN104176739A)容易控制形狀和粒徑，工業化生產成本較低，但體積收縮大。溶膠凝膠法(Sol-gel)是向矽源溶液中加酸或酸酐，降低體系的pH值，使矽酸根聚合凝膠化，再將矽凝膠過濾乾燥，焙燒去除有機成分，即得SiO₂粉末，凝膠乾燥時間長，含部分有機雜質。CN104556076B揭示的水包油乳化法(O/W)固化時間長，影響工業化及產能，CN104030302B揭示的油包水乳化法(W/O)，用大量易燃易爆的有機溶劑(例如：柴油)作為反應介質，對人體和環境都有一定的危害，混合向矽酸 鈉溶液中，滴加酸(H₂SO₄、HCl等)進行沉澱反應，經過濾、烘乾、粉碎、煆燒即得SiO₂粉末，沉澱生成速度較快，但反應不易控制，且金屬含量容易超標。

因此，本領域尚需開發新的工藝簡單的製備方法，可以製備得到不同粒徑的微球，且避免微球間的團聚等缺點。

本發明的目的在於提供一種高純微米級球形二氧化矽微粉的製備方法，本方法藉由油包水(W/O)乳化法化學合成矽微粉，其純度極高，採用安全無毒的白油替代傳統使用的有機溶劑為反應介質，固化時間快，球形化率高，金屬離子濃度趨近零，即所有金屬雜質的含量都為0.2ppm以下，本發明的製備方法操作簡單，製備過程中的產物易處理，最終產物二氧化矽微球粒徑在0.3μm~40μm。

本發明的第一態樣，提供一種二氧化矽微球的製備方法，該製備包括以下步驟：i)提供一含矽前驅體溶液；ii)將該含矽前驅體溶液加入到含有乳化劑的油相中並攪拌得到混合溶液；iii)將鹼性催化劑加入至該混合溶液中，靜置陳化後，用溶劑與水的混合物洗滌沉澱物，乾燥後得到該二氧化矽微球，其中，該含矽前驅體為Si(OR)₄、矽酸乙酯40、矽酸 乙酯32、SiR₂(OR₁)₃中的一種或兩種以上的混合物，其中，R、R₁、R₂各自獨立為C_1-3烷基。

在另一較佳實施態樣中，該含矽前驅體為矽酸四甲酯、矽酸四乙酯、甲基三甲氧基矽烷及乙基三甲氧基矽烷的一種或兩種以上的混合物。

在另一較佳實施態樣中，該含矽前驅體溶液的溶劑為水，溶液的pH為1-4，含矽前驅體與水的質量比為0.3：1~3：1。

在另一較佳實施態樣中，該含矽前驅體溶液進一步包含SiO₂。

在另一較佳實施態樣中，該含矽前驅體溶液為矽酸四乙酯溶液，其中，以100重量份矽酸四乙酯溶液總重量計，SiO₂含量為5重量份至35重量份。

在另一較佳實施態樣中，該乳化劑為非離子型的乳化劑。

在另一較佳實施態樣中，該油相為烷烴類液體，該的烷烴類液體的運動黏度：5mm²/s運動黏度(40℃)32mm²/s。

在另一較佳實施態樣中，該烷烴類液體為白油。

在另一較佳實施態樣中，該的鹼性催化劑為氨水、二乙胺、三乙胺中的一種或兩種以上的組合。

在另一較佳實施態樣中，該溶劑為乙酸乙酯、乙醇、異丙醇、丙醇、丁醇中的一種或兩種以上的混合溶劑。

本發明的第二態樣，提供一種二氧化矽微球，該二氧 化矽微球由第一方面該的製備方法製成，所製得的二氧化矽微球平均粒徑為0.3μm~40μm。

本發明的二氧化矽微球純度極高，所有金屬雜質的含量都為0.2ppm以下。

本發明的有益之處在於：

(1)採用鹼金屬含量較低的含矽前驅體為原料，搭配安全無毒的白油替代柴油為反應介質，並調控油相的運動黏度，可達到固化時間快，球形化率高，金屬離子、游離陰離子符合高純要求，粒徑可控，操作簡單。

(2)製備的微球，可降低塑封料的熱膨脹係數、吸水率、內部應力、收縮率和改善熱導率；提高其強度、耐磨性、抗老化性能及材料表面的光潔度；提高其彈性、耐磨性及抗老化性。

應理解，在本發明範圍內中，本發明的上述各技術特徵和在下文(如實施例)中具體描述的各技術特徵之間都可以互相組合，從而構成新的或較佳的技術方案。限於篇幅，在此不再一一贅述。

圖1為實施例1製備的3μm的單分散的二氧化矽微球的SEM圖片。

圖2為實施例2製備的8μm的單分散的二氧化矽微粉的SEM圖片。

圖3為實施例3製備的10μm的單分散的二氧化矽微粉 的SEM圖片。

圖4為實施例4製備的15μm的單分散的二氧化矽微粉的SEM圖片。

圖5為實施例5製備的20μm的單分散的二氧化矽微粉的SEM圖片。

圖6為實施例6製備的35μm的單分散的二氧化矽微粉的SEM圖片。

圖7為實施例7製備的5μm的單分散的二氧化矽微粉的SEM圖片。

圖8為實施例7製備的0.5μm的單分散的二氧化矽微粉的SEM圖片。

本申請的發明人經過廣泛而深入地研究，首次研發出一種製備高純微米級球形二氧化矽微粉的方法，以高純度含矽前驅體藉由乳化法製備的二氧化矽微球，工藝簡單，純度高，耐熱性好，可以藉由該方法製備得到不同粒徑的微球，而且避免了微球間的團聚等缺點。在此基礎上，完成了本發明。

製備方法

本發明提供的二氧化矽微球的製備方法，其包括如下步驟：i)提供一含矽前驅體溶液； ii)將該含矽前驅體溶液加入到含有乳化劑的油相中並攪拌得到混合溶液；iii)將鹼性催化劑加入至該混合溶液中，靜置陳化後，用溶劑與水的混合物洗滌沉澱物，乾燥後得到該二氧化矽微球。

步驟i)該含矽前驅體為Si(OR)₄、矽酸乙酯40、矽酸乙酯32及SiR₂(OR₁)₃中的一種或兩種以上的混合物，其中，R、R₁、R₂各自獨立為C_1-3烷基；較佳為矽酸四甲酯(Tetramethyl orthosilicate，TMOS)、矽酸四乙酯(tetraethyl orthosilicate，TEOS)、甲基三甲氧基矽烷(methyltrimethoxysilane)或乙基三甲氧基矽烷(Ethyltrimethoxysilane)中的一種或兩種以上的混合物，更佳為矽酸四乙酯(TEOS)。

步驟i)該含矽前驅體溶液包含一溶劑，其中，該溶劑為水，溶液的pH為1-4且含矽前驅體與水的質量比為0.3：1~3：1。

步驟i)該含矽前驅體溶液進一步包含一SiO₂，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為5重量份至35重量份，較佳為15重量份至30重量份。在部分實施例中，含矽前驅體為矽酸四乙酯，該SiO₂含量為5重量份至35重量份。

步驟ii)該乳化劑為非離子型的乳化劑，該非離子型的乳化劑為OP系列(烷基酚與環氧乙烷縮合物)，NP系列(烷基酚與環氧乙烷縮合物)，司盤系列(Span，失水山梨醇 脂肪酸酯)，吐溫系列(Tween，聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯)中的至少一種或多種。較佳為司盤系列和吐溫系列形成的複合乳化劑，其中，司盤系列占複合乳化劑的質量百分比為70~90%，吐溫系列占複合乳化劑的質量百分比為10~30%，考慮複合乳化劑的穩定性，更佳為司盤-80和吐溫-80形成的複合乳化劑。

步驟ii)該乳化劑的HLB值(Hydrophile-Lipophile Balance Number，親水疏水平衡值，也稱水油度)為4.5~5.6。

步驟ii)該油相為烷烴類液體，其中，該烷烴類液體為白油，溶劑汽油的至少一種或多種，考慮製程的安全性及環境保護性，較佳為白油。

步驟ii)該油相的運動黏度：5mm²/s運動黏度(40℃)32mm²/s。若黏度小於5mm²/s，不易得到較大粒徑的微球，黏度大於32mm²/s，不易後處理。

步驟ii)該攪拌時間為10min~2h，包括預乳化與乳化的時間，同時，攪拌溫度為20℃~60℃。

步驟iii)為採用一次加入或者連續滴加的方式將鹼性催化劑加入至該混合溶液中反應，靜置陳化後，產生上層清液與下層白色沉澱，再用溶劑與水的混合物進行洗滌該白色沉澱，乾燥後得到該二氧化矽微球，其中，溶劑為乙酸乙酯、乙醇、異丙醇、丙醇、丁醇中的一種或兩種以上的混合溶劑，乾燥為在105℃下進行05hr~3hr，然後在400℃~800℃下進行05~1hr。

步驟iii)該的鹼性催化劑為氨水、二乙胺、三乙胺中的一種或兩種以上的組合。

步驟iii)該將鹼性催化劑加入至該混合溶液中反應時間為1h~10h，包括靜置陳化的時間，同時，攪拌溫度為20℃~80℃。

本發明提供的高純微米級二氧化矽微球的製備方法，除了上述步驟i)至步驟iii)，可進一步包含步驟iv)：iv)取步驟iii)靜置陳化後，所得上層清液進行純化、乾燥，該純化為利用離心分離法分離反應物，再用溶劑與水的混合物進行洗滌。

步驟iv)該溶劑為乙酸乙酯、乙醇、異丙醇、丙醇、丁醇中的一種或兩種以上的混合溶劑。

本發明的另一態樣，提供一種二氧化矽微球，該二氧化矽微球由上述步驟i)至步驟iii)或步驟i)至步驟iv)的製備方法製成，所製得的二氧化矽微球平均粒徑為0.3μm~40μm。

本發明方法製備的微球，具有低鹵素含量和低金屬含量特性，純度極高，且耐熱性好，可以藉由該方法製備得到不同粒徑的微球，而且避免了微球間的團聚等缺點，能夠用於電子封裝材料(EMC填料)、樹脂基複合材料、橡膠及塑膠工業高聚物中，可用於生物技術用於化工、醫藥、軍事領域(外加調色劑、PET薄膜填料)，可作為高效催化劑、食品、化妝品(石英)。

本發明提到的上述特徵，或實施例提到的特徵可以任 意組合。本案說明書所揭示的所有特徵可與任何組合物形式並用，說明書中所揭示的各個特徵，可以被任何提供相同、均等或相似目的的替代性特徵取代。因此除有特別說明，所揭示的特徵僅為均等或相似特徵的一般性例子。

下面結合具體實施例，進一步闡述本發明。應理解，這些實施例僅用於說明本發明而不用於限制本發明的範圍。下列實施例中未註明具體條件的實驗方法，通常按照常規條件或按照製造廠商所建議的條件。除非另外說明，否則百分比和份數是重量百分比和重量份數。

除非另行定義，文中所使用的所有專業與科學用語與本領域熟練人員所熟悉的意義相同。此外，任何與所記載內容相似或均等的方法及材料皆可應用於本發明方法中。文中該的較佳實施方法與材料僅作示範之用。

實施例1：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取200g去離子水，加酸至pH=1.50，與90g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應0.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為15重量份；步驟ii)取2.63g司盤-80，0.36g吐溫-80，85g運動黏度(40℃)=5mm²/s白油，轉速200rpm，時間15min；取40g矽溶膠加入混合白油中，轉速20000rpm，時間15min，得白色乳液； 步驟iii)加氨水反應2h，靜置陳化2h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球1。

所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖1所示。

實施例2：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與180g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為30重量份；步驟ii)取8.76g司盤-80，1.24g吐溫-80，85g運動黏度(40℃)=10mm²/s油相，轉速200rpm，時間25min；取85g矽溶膠加入混合白油中，轉速10000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加二乙胺反應2h，靜置陳化2h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球2。

所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖2所示。

實施例3：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與180g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為30重量份；步驟ii)取8.76g司盤-80，1.24g吐溫-80，85g運動黏度(40℃)=15mm²/s白油，轉速200rpm，時間30min；取85g矽溶膠加入混合白油中，轉速10000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加三乙胺反應2h，靜置陳化3h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球3。

所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖3所示。

實施例4：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與180g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為30重量份；步驟ii)取8.76g司盤-80，1.24g吐溫-80，100g運動黏度(40℃)=26mm²/s白油，轉速200rpm，時間40min；取85g矽溶膠加入混合油相中，轉速10000rpm，時間10min，得白色乳液； 步驟iii)加氨水反應3h，靜置陳化3h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球4。

所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖4所示。

實施例5：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與180g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為30重量份；步驟ii)取8.76g司盤-80，1.24g吐溫-80，120g運動黏度(40℃)=26mm²/s油相，轉速200rpm，時間40min取85g矽溶膠加入混合油相中，轉速8000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加氨水反應3h，靜置陳化3h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球5，所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖5所示。

實施例6：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與180g正矽 酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為30重量份；步驟ii)取8.76g司盤-80，1.24g吐溫-80，160g運動黏度(40℃)=32mm²/s油相，轉速200rpm，時間50min；取85g矽溶膠加入混合油相中，轉速8000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加氨水反應4h，靜置陳化4h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球6，所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖6所示。

實施例7：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與90g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為23重量份；步驟ii)取4.38g司盤-80，0.62g吐溫-80，85g運動黏度(40℃)=32mm²/s白油，轉速200rpm，時間50min；取85g矽溶膠加入混合白油中，轉速10000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加氨水反應2h，靜置陳化4h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米 級球形二氧化矽微球7，所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖7所示，步驟iv)另將步驟iii)靜置陳化後，上層清液離心分離得到的固體，用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球8。

所得到的高純微米級球形二氧化矽微球的SEM圖如圖8所示。

比較例1：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與90g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為23重量份；步驟ii)取4.38g司盤-80，0.62g吐溫-80，85g運動黏度(40℃)=3mm²/s白油，轉速200rpm，時間50min；取85g矽溶膠加入混合白油中，轉速10000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加氨水反應2h，靜置陳化4h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球9。

比較例2：

減壓蒸餾正矽酸乙酯(TEOS)及乙酸乙酯待用。

步驟i)取90g去離子水，加酸至pH=2.5，與90g正矽酸乙酯(TEOS)混合，反應1.5h，形成澄清透明的含矽前驅體溶液，其中，以100重量份之含矽前驅體總重量計，該SiO₂含量為23重量份；步驟ii)取4.38g司盤-80，0.62g吐溫-80，85g運動黏度(40℃)=55mm²/s白油，轉速200rpm，時間50min；取85g矽溶膠加入混合白油中，轉速10000rpm，時間10min，得白色乳液；步驟iii)加氨水反應2h，靜置陳化4h後，取白色沉澱；依次用水與乙酸乙酯多次洗滌，乾燥後可得高純微米級球形二氧化矽微球10。

球形二氧化矽PCT測試水萃取液中游離雜質離子含量的測定：

稱取5.0000g試樣粉末於100mL聚四氟乙烯內襯的不鏽鋼反應罐中，加入50mL純水，密封後置於120℃烘箱中20h，取出後靜置冷卻到室溫，取上層清液待測，以前面所用純水作為空白，採用Agilent，ICP 720感應偶合電漿光譜儀(ICP-AES)測定萃取液中游離鈉、鉀、鈣、鎂離子含量；採用美國戴安DIONEX公司ICS2000離子色譜儀測定其中氯離子含量。對萃取液的有關指標測試結果見表2，表中資料顯示所合成的球形二氧化矽經過純水萃取後，萃取液中對電路有害的離子含量低於0.2ppm，該類粉體完全可以用於積體電路的配套材料，不會對電路產生腐蝕作 用。

根據上述實驗發現，本發明所得到的二氧化矽微球，所有金屬雜質的含量都為0.2ppm以下，純度極高，且本發明的製備方法操作簡單，製備過程中的產物易處理，最終所得到的二氧化矽微球粒徑在0.5μm~35μm。

在本發明提及的所有文獻都在本申請中引用作為參考，就如同每一篇文獻被單獨引用作為參考那樣。此外應理解，在閱讀了本發明的上述講授內容之後，本領域技術人員可以對本發明作各種改動或修改，這些等效形式同樣落於本申請所附申請專利範圍所限定的範圍。

Claims (10)

1. 一種二氧化矽微球的製備方法，其特徵在於，該製備包括下列步驟：i)提供一含矽前驅體溶液；ii)將該含矽前驅體溶液加入到含有乳化劑的油相中並攪拌得到混合溶液；iii)將鹼性催化劑加入至該混合溶液中，靜置陳化後，用溶劑與水的混合物洗滌沉澱物，乾燥後得到該二氧化矽微球，其中，該含矽前驅體溶液的溶劑為水，且該含矽前驅體為Si(OR)₄、矽酸乙酯40、矽酸乙酯32、SiR₂(OR₁)₃中的一種或兩種以上的混合物，其中，R、R₁、R₂各自獨立為C_1-3烷基。
2. 如請求項1所述的製備方法，其中，該含矽前驅體為矽酸四甲酯、矽酸四乙酯、甲基三甲氧基矽烷及乙基三甲氧基矽烷的一種或兩種以上的混合物。
3. 如請求項1所述的製備方法，其中，該含矽前驅體溶液的pH為1-4，含矽前驅體與水的質量比為0.3：1~3：1。
4. 如請求項1所述的製備方法，其中，該含矽前驅體溶液進一步包含SiO₂。
5. 如請求項4所述的製備方法，其中，該含矽前驅體溶液為矽酸四乙酯溶液，其中，以100重量份矽酸四乙酯溶液總重量計，SiO₂含量為5重量份至35重量份。
6. 如請求項1所述的製備方法，其中，該乳化劑為非離子型的乳化劑。
7. 如請求項1所述的製備方法，其中，該油相為烷烴類液體，該的烷烴類液體的運動黏度：5mm²/s運動黏度(40℃)32mm²/s。
8. 如請求項1所述的製備方法，其中，該鹼性催化劑為氨水、二乙胺、三乙胺中的一種或兩種以上的組合。
9. 如請求項1所述的製備方法，其中，該溶劑為乙酸乙酯、乙醇、異丙醇、丙醇、丁醇中的一種或兩種以上的混合溶劑。
10. 一種二氧化矽微球，其中，該二氧化矽微球由請求項1所述的製備方法製成，所製得的二氧化矽微球平均粒徑為0.3μm~40μm。