TWI652110B - 紫外線硬化處理系統 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於可容易進行供給於吹淨箱之環境氣體之調整操作。

本發明之解決手段係構成一種薄膜塗佈系統1，其特徵在於包含：紫外硬化用裝置4，其具有內部被導入降低氧濃度之環境氣體，且供工件2通過該內部之吹淨箱16、及對上述吹淨箱16之內部之工件2照射紫外線之照射器14；氮氣流量調整盤8，其具備根據輸入信號對朝上述吹淨箱16之環境氣體之噴吹壓力進行控制之電動氣動調節器71，且藉由上述噴吹壓力之調整對導入上述吹淨箱16內之上述環境氣體之流量進行調整；及作為遠程操作裝置之操作裝置10，其對上述氮氣流量調整盤8具有之電動氣動調節器71進行遠程操作。

Description

紫外線硬化處理系統

本發明係關於對工件照射紫外線而進行紫外線硬化處理之系統。

例如，於印刷系統或薄膜塗佈系統等中，使用有紫外線硬化處理系統，該紫外線硬化處理系統係對工件照射紫外線而進行紫外線硬化處理者。以印刷系統為例，於對工件即薄片塗佈紫外線硬化型之UV墨水之後，一面搬送工件一面藉由紫外線照射器照射紫外線，使UV墨水紫外線硬化後定影於薄片上，藉以進行印刷。

於紫外線硬化處理系統中，為了提高紫外線硬化之效率，還知有一種在使氧濃度降低之環境下對工件照射紫外線之技術。例如，於印刷系統中已知有一種技術，其具備藉由將氮氣導入內部而使氧濃度降低之氮吹淨箱，且使薄片通過此氮吹淨箱之內部，於該內部照射紫外線(例如，參照專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2014-65204號公報

通常於連接氮吹淨箱與氮供給源之配管路徑上設置 有對流動於氮吹淨箱之氮氣的流量進行調整之氮氣流量調整裝置，作業員藉由操作設置於氮氣流量調整裝置之操作部而進行流量調整。然而，於大規模之紫外線硬化處理系統中，包含紫外線照射器之本體與氮氣流量調整裝置有時被設置為相離非常遠。於此種情況下，為了進行氮氣之流量調整，作業員需要特意離開本體而移動至氮氣流量調整裝置之設置場所，造成作業非常繁瑣。

本發明之目的在於提供一種紫外線硬化處理系統，其可容易進行供給於吹淨箱之環境氣體之調整操作。

為了達成上述目的，本發明提供一種紫外線硬化處理系統，其特徵在於包含：紫外硬化用裝置，其具有內部被導入降低氧濃度之環境氣體，且供工件通過該內部之吹淨箱、及對位於上述吹淨箱內部之工件照射紫外線之紫外線照射器；流量調整裝置，其具備根據輸入信號對上述環境氣體之朝上述吹淨箱之噴吹壓力進行控制之電動氣動調節器，且藉由上述噴吹壓力之調整對導入上述吹淨箱內之上述環境氣體之流量進行調整；及遠程操作裝置，其對上述流量調整裝置具有之電動氣動調節器進行遠程操作。

此外，本發明係於上述紫外線硬化處理系統中，其特徵在於，上述流量調整裝置具備電磁閥，該電磁閥係於產生異常時將朝上述吹淨箱之環境氣體之供給切斷，上述電動氣動調節器係設於上述電磁閥之上游側。

此外，本發明係於上述紫外線硬化處理系統中，其特徵在於，具備電源裝置，該電源裝置係朝上述紫外硬化用裝置及上述流量調整裝置供給電力，上述遠程操作裝置具備接受使用者操作 之操作部、及基於上述使用者操作而生成上述輸入信號且將該輸入信號輸出至上述流量調整裝置之信號生成部，上述電源裝置具備上述操作部、及上述信號生成部。

此外，本發明係於上述紫外線硬化處理系統中，其特徵在於，上述操作部係設為對上述電源裝置進行遠程操作之裝置。

本發明中，由於流量調整裝置具備電動氣動調節器，且具備遠程操作此電動氣動調節器之遠程操作裝置，因此使用者不需要為了流量調整操作而移動至流量調整裝置，可使用遠程操作裝置迅速且簡單地進行流量調整操作。

1‧‧‧薄膜塗佈系統(紫外線硬化處理系統)

2‧‧‧工件

4‧‧‧紫外硬化用裝置

6‧‧‧電源裝置

8‧‧‧氮氣流量調整盤(流量調整裝置)

10‧‧‧操作裝置(遠程操作裝置)

12‧‧‧搬送機構

14‧‧‧照射器(紫外線照射器)

14A‧‧‧紫外線照射口

16‧‧‧吹淨箱

19‧‧‧滾筒

19A‧‧‧滾筒之周面

20‧‧‧紫外線放電燈

24‧‧‧開口

25‧‧‧框體

26‧‧‧紫外線導入窗

27‧‧‧光學濾波器

30‧‧‧環境氣體導入管

31‧‧‧噴嘴開口

34‧‧‧商用電源

35‧‧‧電力轉換裝置

36‧‧‧高壓線

37‧‧‧控制線

38‧‧‧電源線

39‧‧‧通信線

40‧‧‧觸控面板(操作部)

42‧‧‧氮氣供給源

44‧‧‧MR單元

45‧‧‧壓力計

46‧‧‧氣體配管

48‧‧‧氣體配管

50‧‧‧開口

60‧‧‧導入管

61‧‧‧分歧管

62‧‧‧電磁閥

66‧‧‧氧濃度檢測機構

67‧‧‧流量調整機構

68‧‧‧取樣導入配管

69‧‧‧氧濃度計

70‧‧‧取樣切換電磁閥

71‧‧‧電動氣動調節器

71A‧‧‧調節器

71B‧‧‧電路單元

72‧‧‧流量感測器

73‧‧‧操作面板

74‧‧‧速度控制器

75‧‧‧作動狀態顯示欄

76‧‧‧設定值顯示欄

76A‧‧‧顯示欄

77‧‧‧監視鍵

78‧‧‧異常鍵

80‧‧‧通信線

83‧‧‧PLC電路(信號生成部)

84、85‧‧‧通信電路

B‧‧‧室

D‧‧‧指示信號(輸入信號)

P‧‧‧照射部位

W‧‧‧噴吹壓力範圍

圖1為顯示本發明之實施形態之薄膜塗佈系統之概略構成之圖。

圖2為將吹淨箱之剖面與照射器、及滾筒一併加以顯示之放大圖。

圖3為將吹淨箱之構成與滾筒一併加以顯示之立體圖。

圖4為顯示電動氣動調節器之噴吹壓力與各分歧管之流量檢測值之合計值之關係之圖。

圖5為顯示噴吹壓力與吹淨箱之氧濃度檢測值之關係之圖。

圖6為顯示作業員進行之氮流量調整順序之流程圖。

圖7為顯示操作裝置之觸控面板之顯示例之圖。

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。本實 施形態中，作為紫外線硬化處理系統之一態樣，例示一薄膜塗佈系統。

圖1為顯示本實施形態之薄膜塗佈系統1之概略構成之圖。薄膜塗佈系統1係對塗佈有紫外線硬化型之塗劑之工件2照射紫外線而使塗劑進行紫外線硬化之系統，工件2係例如光學薄膜等之各種薄膜狀之材料。如圖1所示，此薄膜塗佈系統1具備裝置本體即紫外硬化用裝置4、電源裝置6、氮氣流量調整盤8及操作裝置10。

紫外硬化用裝置4係進行紫外線硬化處理之主裝置，其具備搬送機構12、複數(圖示例中為2個)之照射器14、及吹淨箱16。搬送機構12係搬送工件2之裝置，具備使工件2周向迴轉之滾筒19。滾筒19直接連結於馬達(未圖示)、或者隔著聯接器且經由減速機連接於馬達而被旋轉驅動。再者，也可取代滾筒19，而採用搬送工件2之任意之機構。

照射器14係對工件2照射紫外線之紫外線照射器，且與滾筒19之周面對向配置。為了加快塗劑之硬化速度以期提高塗佈處理之生產率，照射器14之光源係採用高輸出型之紫外線放電燈20(例如水銀燈等)。

吹淨箱16係為了使工件2通過內部且於降低了氧濃度之環境下對此工件2進行紫外線照射而設置。藉由朝吹淨箱16注入作為環境氣體之惰性氣體，將存在於內部之氧稀釋，以使該氧之濃度(以下，稱為「氧濃度」)降低。此薄膜塗佈系統1中用於惰性氣體之氣體係氮氣，也可取代氮氣，而將氦氣、氖氣或氬氣等之稀有氣體用於惰性氣體。

圖2為將吹淨箱16之剖面與照射器14、及滾筒19一併加以顯示之放大圖，圖3為將吹淨箱16之構成與滾筒19一併加以顯示之立體圖。如圖2及圖3所示，吹淨箱16具備一框體25，該框體25具有供滾筒19之周面19A插入之開口24。如圖3所示，此框體25係在與自開口24插入之滾筒19之周面19A對向之部位設置有朝該滾筒19之寬度方向延伸之紫外線導入窗26。照射器14係將紫外線照射口14A朝著紫外線導入窗26而配置，自紫外線照射口14A照射之紫外線通過紫外線導入窗26被導入吹淨箱16且照射於滾筒19之周面19A。此吹淨箱16係於紫外線導入窗26設置有波長濾波器等適宜之光學濾波器27，朝周面19A照射適合於紫外線硬化處理之光學特性之紫外線。

工件2係隨著滾筒19之轉動被自開口24朝吹淨箱16中導引，於吹淨箱16中被照射紫外線而使塗劑紫外線硬化(紫外線硬化處理)後，自開口24排出。

此外，如圖2及圖3所示，於吹淨箱16設置有複數根(圖示例中為6根)之環境氣體導入管30，該等環境氣體導入管30延伸於滾筒19之寬度方向且貫通框體25。環境氣體導入管30係將環境氣體導入吹淨箱16之內部而朝該內部噴出之管子。亦即，於環境氣體導入管30之周面係橫貫滾筒19之寬度全長設置有多個噴嘴開口31，環境氣體被自該等噴嘴開口31噴射。藉由此環境氣體之噴射，使吹淨箱16中之氧濃度降低。

尤其是，於此吹淨箱16中，如圖2所示，環境氣體導入管30係設於對照射部位P噴吹環境氣體之位置，該照射部位P上照射有自紫外線導入窗26導入之紫外線。藉此，包含照射部位P 之範圍被維持於環境氣體充裕之狀態，從而能在與其他部位相比氧濃度相對較低之狀態下有效率地進行紫外線照射。

再者，於圖1之紫外硬化用裝置4圖示了紫外線硬化處理所需之主要構成。亦即，紫外硬化用裝置4除了圖1所示之構成外，還可具備對工件2塗佈塗劑之裝置、於紫外線硬化處理後將工件2之塗佈面乾燥之裝置等薄膜塗佈處理之實施所需之各種裝置或構件。

返回上揭之圖1，電源裝置6係將商用電源34之電力供給於薄膜塗佈系統1之各部分之裝置。商用電源34係供給於設置有此薄膜塗佈系統1之設施之商用之交流電力。電源裝置6具備對商用電源34之商用電力進行電力轉換之電力轉換裝置35，電力轉換裝置35係生成使紫外硬化用裝置4及氮氣流量調整盤8作動之電力。此電源裝置6通常設置於設施所具備之電源設備(例如分電盤及配電盤)等之附近，此電源裝置6與紫外硬化用裝置4之間，係藉由傳輸高壓電力之高壓線36、傳輸電力之控制信號之控制線37所連接。高壓線36之高壓電力，例如使用在被供給於照射器14之紫外線放電燈20之點亮。於電力之控制信號中包含有電力值之穩定化控制等之各種控制所需要之信號。此外，電源裝置6與氮氣流量調整盤8之間，係藉由傳輸該氮氣流量調整盤8之驅動電力之電源線38所連接。

放置此電源裝置6之場所，如上述，係依設施之電源設備之位置而定，不限一定要配置於紫外硬化用裝置4之附近。於電源裝置6遠離紫外硬化用裝置4而設置之情況，操作紫外硬化用裝置4之作業員，於每次電源之投入/切斷等之電源操作時，需要特 意移動至電源裝置6，其作業性差。尤其是，於與放置紫外硬化用裝置4之室B(例如，無塵室等)不同之室內配置電源裝置6之情況，需要穿行於室之間，其作業性更差。

因此，於此薄膜塗佈系統1中，遠程操作電源裝置6之操作裝置10被設置於紫外硬化用裝置4之附近、或者設於該紫外硬化用裝置4。操作裝置10係藉由通信線39能通信地與電源裝置6連接，且接受作業員之操作，藉由通信將此操作傳送至電源裝置6。再者，電源裝置6與操作裝置10之間之通信，不限於有線也可為無線通信。此外，此通信可使用任意之通信協定。

此操作裝置10具備操作器之一例即觸控面板40，於此觸控面板40顯示有各種之資訊。此資訊包含有各種之參數，該等參數係與使用薄膜塗佈系統1之紫外線硬化處理相關。此參數內包含有例如氮氣流量調整盤8吐出之氮氣之噴吹壓力，該內容則容待後述。再者，操作裝置10還可另外具備與觸控面板40不同之、顯示該等各種之資訊之顯示裝置。此外，操作裝置10也可取代觸控面板40，而具備任意之操作器。

氮氣流量調整盤8係連接於氮氣供給源42且以氮氣作為環境氣體而供給於吹淨箱16之裝置。氮氣供給源42係設施所具備之設備，例如可為具備多個之氮氣高壓瓶等之構成。放置此氮氣流量調整盤8之場所，係設於與氮氣供給源42相應之場所，不限於紫外硬化用裝置4之附近，可根據氮氣供給源42之位置而配置。氮氣流量調整盤8係藉由氮氣供給源42與氣體配管46而被連接，於此氣體配管46設置有MR單元44及壓力計45。MR單元44係具備減壓閥及自氮氣中除去水分或塵埃之除去單元之裝置，壓力 計45係檢測氣體配管46中之氣體壓力之計量器。

於使薄膜塗佈系統1作動時，作業員一面確認壓力計45之值一面手動操作MR單元44之減壓閥之閥，將自氮氣供給源42供給於氮氣流量調整盤8之氮氣之壓力調整為規定值。

氮氣流量調整盤8與吹淨箱16之間，係藉由氣體配管48所連接。於此薄膜塗佈系統1中，氣體配管48不是1根，而是按吹淨箱16具備之複數根數量被自氮氣流量調整盤8引出。具體而言，如圖1所示，於氮氣流量調整盤8之內部，具備連接有氮氣供給源42之氣體配管46之導入管60、及將此導入管60按照環境氣體導入管30之根數而分歧之分歧管61。於該等分歧管61之每根管連接有氣體配管48，該等氣體配管48分別被連接於環境氣體導入管30之各者。該等分歧管61及氣體配管48，分別將其直徑及一長度整合為不會於氣體阻力或流量產生差異之程度。

於導入管60設置有保持開路之電磁閥62，於各種之異常產生時被閉路控制，切斷朝吹淨箱16之氮氣供給。

並且，如圖1所示，此氮氣流量調整盤8具備氧濃度檢測機構66及流量調整機構67。氧濃度檢測機構66係檢測吹淨箱16中之氧濃度之機構，具備取樣導入配管68、氧濃度計69、及取樣切換電磁閥70。取樣導入配管68係為了採取吹淨箱16中之氣體且導入氧濃度檢測機構66而設置之配管。於吹淨箱16之複數個部位設置有貫通內部之配管連接開口50(圖1)，於各配管連接開口50連接取樣導入配管68。

該等取樣導入配管68係於氮氣流量調整盤8之內部被連接於取樣切換電磁閥70，且於此取樣切換電磁閥70連接有氧 濃度計69。取樣切換電磁閥70係擇一選擇取樣導入配管68，將自該取樣導入配管68導入之氣體供給於氧濃度計69。氧濃度計69對自取樣切換電磁閥70供給之氣體之氧濃度進行檢測。此氧濃度檢測機構66係使取樣切換電磁閥70每隔一定時間依序切換選擇取樣導入配管68。藉此，依序檢測出在吹淨箱16之配管連接開口50之各個開口被採取之氧濃度，求出配管連接開口50之各氧濃度之誤差或平均值等各種之值。

流量調整機構67具備設於導入管60之電動氣動調節器71、設於各分歧管61之速度控制器74及流量感測器72。電動氣動調節器71係控制朝導入管60之噴吹壓力之調節器，且於普通環境(非真空狀態)下使用。藉由控制來調整噴吹壓力，一併調整流動於各分歧管61之氮氣之流量。速度控制器74係對流動於分歧管61之氮氣之流量進行調整，流量感測器72係對流動於此分歧管61之氮氣之流量進行檢測。於分歧管61之各流量產生有誤差等而需要個別地對該等進行調整之情況，使用速度控制器74進行調整。

圖4為顯示電動氣動調節器71之噴吹壓力與各分歧管61之流量檢測值之合計值之關係之圖，圖5為顯示噴吹壓力與吹淨箱16之氧濃度檢測值之關係之圖。如圖4所示，可知分歧管61之流量係與電動氣動調節器71之噴吹壓力大致成正比，藉由指示與所期望之流量對應之噴吹壓力，可一併調整分歧管61之各流量。此外，如圖5所示，可知在圖4中噴吹壓力與流量大致成正比之噴吹壓力範圍W中，越是提高噴吹壓力，則氧濃度越是降低而被維持在非常低之值。

返回上揭之圖1，於此氮氣流量調整盤8設置有操作 面板73。此操作面板73設置有顯示面板(未圖示)及操作器(未圖示)。顯示面板顯示電動氣動調節器71之噴吹壓力、氧濃度計69之氧濃度、及流量感測器72之流量之各個值。此外，操作器係用於電動氣動調節器71之噴吹壓力、速度控制器74、及電磁閥62之使用者操作。作業員一面觀察操作面板73之顯示一面調整電動氣動調節器71或速度控制器74，此外，作業員根據需要將電磁閥62關閉以切斷氮氣之供給。

然而，如上述，此氮氣流量調整盤8不限於一定要配置在紫外硬化用裝置4之附近。因此，操作紫外硬化用裝置4之作業員，為了確認電動氣動調節器71、氧濃度計69及流量感測器72之值或調整電動氣動調節器71之噴吹壓力，需要移動至氮氣流量調整盤8之操作面板73，其作業性差。此外，氮氣之流量調整所需之時間，會損失作業員移動至氮氣流量調整盤8之所在地之時間量。

因此，於此薄膜塗佈系統1中，電源裝置6之操作裝置10係作為具備氮氣流量調整盤8之遠程操作功能之遠程操作裝置而構成。由於操作裝置10具備遠程操作功能，因此作業員能一面於紫外硬化用裝置4之附近進行作業，一面操作操作裝置10而對氮氣流量調整盤8之電動氣動調節器71進行遠程操作，進而調整噴吹壓力。

以下，對實現氮氣流量調整盤8之遠程操作功能之構成進行詳述，操作裝置10將接受之使用者操作輸出至電源裝置6。電源裝置6與氮氣流量調整盤8，係能相互通信地以通信線80連接，電源裝置6通過通信線80將使用者操作輸入至氮氣流量調整盤8，此外，氮氣流量調整盤8基於此使用者操作來調整噴吹壓力。 因此，即使作業員在遠離氮氣流量調整盤8之位置上(遠程)對操作裝置10進行操作，此操作仍會被輸入氮氣流量調整盤8，從而可對噴吹壓力進行調整。此外，氮氣流量調整盤8通過通信線80將電動氣動調節器71之噴吹壓力、氧濃度計69之氧濃度、及流量感測器72之流量傳送至電源裝置6。並且，該電源裝置6對操作裝置10進行輸出，該操作裝置10於觸控面板40顯示電動氣動調節器71、氧濃度計69及流量感測器72之各值。藉此，即使作業員不移行至氮氣流量調整盤8，也可於紫外硬化用裝置4之附近一面作業一面確認該等值。

氮氣流量調整盤8具備之電動氣動調節器71，係藉由自外部之裝置輸入指示噴吹壓力之指示信號D(輸入信號)，而可對環境氣體之朝吹淨箱16內之噴吹壓力進行電性控制之裝置。亦即，電動氣動調節器71具備調節器71A、及設於此調節器71A之電路單元71B。此電路單元71B具備供指示信號D輸入之輸入電路、及根據該指示信號D無段差地調整噴吹壓力之調整電路。

在此，於噴吹壓力之控制時，電動氣動調節器71藉由朝氣體吸入側施加一定以上之氣體壓力，能以良好之反應速度控制噴吹壓力。於設置有此電動氣動調節器71之導入管60還設置有閥體即電磁閥62。於較此電磁閥62靠沿環境氣體之氣流之上游側配置有電動氣動調節器71，因此，反應速度不會因電磁閥62之開度而損失。

於此薄膜塗佈系統1中，以電源裝置6自外部進行控制之方式構成電動氣動調節器71。具體而言，電源裝置6具備PLC電路83及通信電路84。PLC電路83係基於作業員之對操作裝置 10之操作而生成電動氣動調節器71之指示信號D且輸出至通信電路84之可程式邏輯控制器(Programmable Logic Controller，簡稱PLC)。於此PLC電路83設置有預先記憶噴吹壓力之使用者指示值、及輸入至電動氣動調節器71之指示信號D之對應之記憶體，PLC電路83基於該對應生成指示信號D。通信電路84係通過通信線80與氮氣流量調整盤8進行通信之電路。

另一方面，氮氣流量調整盤8具備通過通信線80與上述電源裝置6進行通信之通信電路85，通過該等通信電路84、85之通信，上述指示信號D自電源裝置6被傳送至氮氣流量調整盤8。氮氣流量調整盤8自電源裝置6接收指示信號D，將此指示信號D輸入至電動氣動調節器71，電動氣動調節器71基於指示信號D來調整噴吹壓力。藉此，作業員一面處於紫外硬化用裝置4之附近一面進行朝操作裝置10輸入噴吹壓力之指示值之操作，藉以對氮氣流量調整盤8之電動氣動調節器71進行遠程操作，調整流動於吹淨箱16之氮氣之流量。

圖6為顯示作業員使薄膜塗佈系統1作動時而進行之氮流量調整順序之流程圖。如該圖所示，作業員首先對氮氣供給源42之未圖示之閥進行操作等，開始朝氣體配管46供給氮氣(步驟S1)，且藉由MR單元44除去氮氣中之塵埃或霧氣(步驟S2)。接著，作業員一面確認壓力計45之值一面將內建於MR單元44之減壓閥調整為規定之壓力值(步驟S3)。藉此，朝氮氣流量調整盤8供給恆定地被維持在規定壓力值之氮氣。

接著，作業員使電源裝置6與氮氣流量調整盤8進行通信，將電動氣動調節器71設定為能自電源裝置6之操作裝置10 進行遠程操作之狀態(步驟S4)。藉此，操作裝置10作為電動氣動調節器71之遠程操作裝置而發揮作用，作業員能使用操作裝置10對電動氣動調節器71之噴吹壓力進行遠程操作。然後，作業員操作操作裝置10而對電動氣動調節器71進行遠程操作，將噴吹壓力調整為規定之值(步驟S5)後，氮氣自此氮氣流量調整盤8被導入吹淨箱16。其結果，吹淨箱16中，維持於因應電動氣動調節器71之噴吹壓力之氧濃度(圖5)。

圖7為顯示操作裝置10之觸控面板40之顯示例之圖。於觸控面板40，除了顯示紫外硬化用裝置4之照射器14之作動狀態、及氮氣之供給狀態之作動狀態顯示欄75外，還設置有顯示各種之設定值之設定值顯示欄76。於此設定值顯示欄76設置有顯示電動氣動調節器71之噴吹壓力(圖示例中係「電動氣動調節器輸出」)之顯示欄76A。藉由此顯示欄76A之顯示，即使作業員遠離氮氣流量調整盤8，也能了解電動氣動調節器71之當前值(設定值)。此外，此操作裝置10藉由朝觸控面板40之設定值顯示欄76之觸控操作，接受各種之設定值(使用者指示值)之輸入操作而傳送至電源裝置6。於作業員遠程操作電動氣動調節器71之情況，對顯示欄76A進行觸控操作，藉由觸控操作輸入噴吹壓力之指示值。

此觸控面板40係設置有「監視」鍵77，該「監視」鍵77係對顯示氧濃度計69之氧濃度、及流量感測器72之流量之「監視畫面」切換畫面顯示者。作業員藉由操作「監視鍵」77而顯示監視畫面，能監視氧濃度或流量。

並且，於因某種主要原因而造成氧濃度計69不能降低至規定值之情況，作業員以提高電動氣動調節器71之噴吹壓力 之方式操作操作裝置10，對電動氣動調節器71進行遠程操作(圖6：步驟S6)。此外，由於在藉由監視畫面之顯示判斷為於分歧管61之各者而於流量上產生誤差之情況，有可能於吹淨箱16中產生氧濃度不勻，因此，作業員使用速度控制器74進行流量之調整(圖6：步驟S7)。對此速度控制器74之操作，係使用氮氣流量調整盤8之操作面板73而進行，但與電動氣動調節器71同樣，也能構成為可自操作裝置10之觸控面板40進行遠程操作。

此外，如圖7所示，於觸控面板40設置有為了於產生異常時緊急停止氮氣供給而操作之「異常」鍵78。此「異常」鍵78之操作，係與指示信號D同樣，通過電源裝置6被輸入至氮氣流量調整盤8，而氮氣流量調整盤之未圖示之控制電路，基於此輸入對電磁閥62進行閉路控制。

因此，在圖6之步驟S5中已開始朝紫外硬化用裝置4供給氮氣時、或者於紫外硬化用裝置4之作動中察覺到某種異常時，作業員對操作裝置10之「異常」鍵78進行操作。藉此，藉由氮氣流量調整盤8之遠程操作，能迅速地將氮氣供給切斷(圖6：步驟S8)。

再者，於觸控面板40還設置有對主選單畫面切換顯示之「主」鍵、或對PLC電路83之設定畫面切換顯示之「PLC」鍵等之各種按鍵。

如以上之說明，根據本實施形態，氮氣流量調整盤8係構成為具備電動氣動調節器71而作為調整流量之調節器，且具備遠程操作此電動氣動調節器71之操作裝置10。藉此，作業員(使用者)不需要為了氮氣之流量調整操作而移動至氮氣流量調整盤 8，就可使用操作裝置10迅速且簡單地進行流量調整操作。此外，由於流量調整之調節器為電動氣動調節器71，因此噴吹壓力不是手動調整，而是藉由電子控制進行調整。藉此，可正確且迅速地將噴吹壓力維持在規定之值，可將吹淨箱16中之氧濃度迅速地降低至規定之值且予維持。

此外，根據本實施形態，氮氣流量調整盤8係構成為具備於產生異常時切斷朝吹淨箱16之氮氣供給之電磁閥62，電動氣動調節器71係設於此電磁閥62之上游側。藉由此構成，電動氣動調節器71之反應速度不會被電磁閥62之開度影響。

此外，於本實施形態中，具備朝紫外硬化用裝置4、及氮氣流量調整盤8供給電力之電源裝置6，此電源裝置6具備接受電動氣動調節器71之作業員之操作之操作部即操作裝置10、及基於此作業員之操作而生成電動氣動調節器71之指示信號D且輸出至氮氣流量調整盤8之作為信號生成部之PLC電路83。藉此，可將用於氮氣流量調整盤8之遠程操作之通信線80與電源裝置6之電源線38集中進行鋪設。此外，由於不需要另外具備遠程操作氮氣流量調整盤8之遠程操作裝置，因此可簡化系統構成。

此外，根據本實施形態，遠程操作電源裝置6之操作裝置10，係構成為具有操作電動氣動調節器71之操作部之功能。藉此，作業員可一面於紫外硬化用裝置4之附近進行作業，一面遠程操作設置於遠處之電源裝置6、及氮氣流量調整盤8，可期待作業之效率化。

再者，上述實施形態僅為本發明之一態樣之例示而已，只要於未超出本發明之實質內容之範圍內，就可任意地變形及 應用。

例如，電源裝置6與氮氣流量調整盤8之間之通信，不限於通信線80之有線通信，也可為無線通信，此外，通信之協定可任意。此外，例如，於上述實施形態中，為了降低氧濃度，藉由遠程操作設定電動氣動調節器71之噴吹壓力。但不限於此構成，PLC電路83也可根據規定之程式指定氧濃度，氮氣流量調整盤8接收該氧濃度之指定，對電動氣動調節器71之噴吹壓力進行調整以實現此氧濃度。此外，例如，本發明不限於薄膜塗佈系統1，只要為包含藉由紫外線照射使紫外線硬化型之材料硬化之紫外線硬化處理之系統，可適用於任意之系統。

Claims (3)

1. 一種紫外線硬化處理系統，其特徵在於，其包含：紫外硬化用裝置，其具有內部被導入降低氧濃度之環境氣體並供工件通過該內部之吹淨箱、與對位於上述吹淨箱內部之工件照射紫外線之紫外線照射器；流量調整裝置，其具備根據輸入信號對上述環境氣體之朝上述吹淨箱之噴吹壓力進行控制之電動氣動調節器，藉由上述噴吹壓力之調整，對導入上述吹淨箱內之上述環境氣體之流量進行調整；及遠程操作裝置，其對上述流量調整裝置具有之電動氣動調節器進行遠程操作，上述流量調整裝置具備電磁閥，該電磁閥係於產生異常時將朝上述吹淨箱之環境氣體之供給切斷，上述電動氣動調節器係設於上述電磁閥之上游側。
2. 如請求項1之紫外線硬化處理系統，其中，具備電源裝置，該電源裝置係朝上述紫外硬化用裝置及上述流量調整裝置供給電力，上述遠程操作裝置具備接受使用者操作之操作部、及基於上述使用者操作而生成上述輸入信號並將該輸入信號輸出至上述流量調整裝置之信號生成部，上述電源裝置具備上述操作部及上述信號生成部。
3. 如請求項2之紫外線硬化處理系統，其中，上述操作部係設於對上述電源裝置進行遠程操作之裝置。