TWI642138B - 晶圓固定裝置、晶圓固定基座及晶圓真空吸盤 - Google Patents

Abstract

一種晶圓固定裝置，包括：一晶圓固定基座及一升降裝置。該晶圓固定基座包括一旋轉軸座、一吸盤座以及一晶圓真空吸盤；該吸盤座固定設置在該旋轉軸座上；該晶圓真空吸盤以彈性材料製造，且固定設置在該吸盤座上。該晶圓真空吸盤具有一吸盤本體、一環狀支撐凸緣以及一真空槽；該環狀支撐凸緣自該吸盤本體的周緣軸向向上突伸；該真空槽形成在該吸盤本體頂面，且被該環狀支撐凸緣所圍繞；該升降裝置連接該晶圓固定基座，且具有至少一頂針。該彈性晶圓真空吸盤的環狀支撐凸緣可氣密地接觸並撐起一晶圓的周緣，避免刮傷該晶圓底面。

Description

晶圓固定裝置、晶圓固定基座及晶圓真空吸盤

本發明關於一種晶圓基座組件，尤指一種晶圓固定裝置及其固定基座和晶圓真空吸盤。該晶圓固定裝置可在晶圓解鍵合製程中提供穩定且持續的真空吸力來穩固地固定晶圓，避免晶圓意外自該晶圓固定裝置脫落。

在半導體晶圓製造的領域中，晶圓解鍵合(Debonding)製程主要在將晶圓(Wafer)與載具(Carrier)進行分離，以便能讓晶圓進行後續的製程。在該晶圓解鍵合製程中，相互黏著的晶圓與載具被一同固定到一晶圓基座上，接著透過雷射解鍵合(Laser Debonding)、熱抽離(Thermal Slide)或機械力剝離等方式，使該晶圓與載具之間的鍵合膠失去黏著性或被破壞，接著透過吸取裝置將載具從該晶圓上方移除。在移除該載具的過程中，若該晶圓基座為一般真空吸盤(Vacuum Chuck)或邊緣夾持卡盤(Clamp Chuck)，難以穩固地將晶圓緊密固定於基座上，有可能造成晶圓在基座上產生滑落或鬆脫。

本發明人有鑑於晶圓從容易意外地自現有晶圓基座上鬆脫 或滑落的問題，改良其不足與缺失，進而創作出一種晶圓固定裝置、及其固定基座和晶圓真空吸盤。

本發明主要目的在於提供一種晶圓固定裝置，其可在晶圓解鍵合製程中，提供穩定且持續的真空吸力來穩固地固定晶圓，避免晶圓意外地自該晶圓固定裝置脫落。

為達上述目的，本發明晶圓固定裝置包括：一晶圓固定基座和一升降裝置；其中，該晶圓固定基座包括一旋轉軸座、一吸盤座以及一晶圓真空吸盤，在該旋轉軸座內貫穿形成有一真空氣孔；該吸盤座固定設置在該旋轉軸座上，在該吸盤座內形成有一與該真空氣孔相連通的真空氣道，在該吸盤座上貫穿形成有至少一與該真空氣道相連通的下真空吸孔，且在該吸盤座上進一步貫穿形成有至少一下貫穿孔；該晶圓真空吸盤以彈性材料製造，且固定設置在該吸盤座上，該晶圓真空吸盤具有一吸盤本體、一環狀支撐凸緣以及一真空槽；在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上真空吸孔，該上真空吸孔與該下真空吸孔相對應，且在該吸盤本體上進一步貫穿形成有至少一上貫穿孔，該上貫穿孔與該下貫穿孔對應；該環狀支撐凸緣自該吸盤本體的周緣軸向向上突伸；該真空槽形成在該吸盤本體頂面，被該環狀支撐凸緣所圍繞，且與該上真空吸孔及該下真空吸孔相連通；以及其中，該升降裝置連接該晶圓固定基座，且具有一驅動組件、一支撐臂、以及至少一頂針；該支撐臂設置在該驅動組件上，受該驅 動組件的驅動而相對該晶圓固定基座上下移動；該頂針固定設置在該支撐臂上，以可活動方式延伸通過該下貫穿孔以及該上貫穿孔，該頂針的頂端可向下縮回到該真空槽內或向上伸出到該真空槽外。

藉由上述技術手段，本發明晶圓固定裝置可連接一提供真空吸力的真空泵以能夠吸附並固定晶圓。當執行晶圓解鍵合製程時，將黏附在一載具下方的晶圓放置在該晶圓真空吸盤的環狀支撐凸緣上，並輸出真空吸力到該真空槽內，利用該晶圓與真空槽之間所形成的一真空氣室而牢牢吸附晶圓，迫使晶圓能緊密地固定於該晶圓真空吸盤上。該晶圓真空吸盤整體以彈性材質製造並能在壓力下適度變形。由於該晶圓真空吸盤僅以環狀支撐凸緣接觸晶圓底面周緣，接觸面積小，以至於能夠在接觸部位產生較大的壓力並使得環狀支撐凸緣頂端變形而更為氣密貼合晶圓底面周緣，因此該晶圓真空吸盤的該環狀支撐凸緣能夠良好氣密地接觸該晶圓下表面而避免在該晶圓與該環狀支撐凸緣之間產生間隙，因而能夠在該晶圓固定裝置輸出真空吸力時牢牢吸附該晶圓以及該載具，避免實施解鍵合時晶圓意外自該晶圓固定裝置脫落。尤其當該晶圓底面具有圖形，或是該晶圓為薄晶圓、翹曲晶圓或是表面不平坦的晶圓時，該晶圓真空吸盤僅以該環狀支撐凸緣接觸該晶圓底面周緣可有效避免該晶圓自該晶圓真空吸盤上鬆脫。

此外，由於該晶圓真空吸盤僅以該環狀支撐凸緣接觸該晶圓底面周緣，而非大面積接觸該晶圓底面，該真空槽的空間讓該晶圓底面懸空而不與任何物體接觸，故可避免該晶圓底面受到物體意外刮傷或撞傷而損毀的問題。

所述晶圓真空吸盤的彈性材料是選自由天然橡膠、人造橡膠、矽膠、及其混合物所組成的群組。

所述下真空吸孔為複數個，且該複數下真空吸孔均布在該吸盤座上；該上真空吸孔為複數個，且該複數上真空吸孔均布在該晶圓真空吸盤上。

所述旋轉軸座具有一軸桿以及一固定板；該固定板形成在該軸桿頂端；該真空氣孔貫穿該軸桿以及該固定板。

所述吸盤座具有一座體以及一氣道蓋；該座體設置在該旋轉軸座的該固定板上，該真空氣道形成在該吸盤座底面，且該真空氣道被該固定板氣密地且部分地覆蓋，該下真空吸孔貫穿形成在該座體內，該下貫穿孔貫穿形成在該座體內；該氣道蓋設置在該吸盤座底面上並且氣密地且部分地覆蓋該真空氣道，其中該固定板與該氣道蓋共同氣密地完全覆蓋該真空氣道。

所述固定板上貫穿形成有至少一板貫穿孔以供該頂針穿過。

所述固定板透過複數固定件而固定在該吸盤座的該座體上，並且將該氣道蓋固定在該座體底面上。

所述座體的真空氣道具有一環形氣道以及複數徑向氣道，該複數徑向氣道連通該環形氣道，且在該座體的中心處相連接；該氣道蓋具有一環形蓋板以及複數徑向蓋板，該環形蓋板氣密地覆蓋該環形氣道，該複數徑向蓋板自該環形蓋板向中心突伸，分別氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠外側部分；該旋轉軸座的該固定板氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠內側部分。

所述各頂針頂端上分別設置有一彈性接觸襯墊。

所述彈性接觸襯墊呈圓筒狀。

所述驅動組件為一氣壓缸，在該氣壓缸上以可伸縮方式設置有一作動桿；該支撐臂固定在該作動桿上。

本發明另一目的在於提供一種晶圓固定基座，包括：一旋轉軸座，在該旋轉軸座內貫穿形成有一真空氣孔；一吸盤座，固定設置在該旋轉軸座上，在該吸盤座內形成有一與該真空氣孔相連通的真空氣道，在該吸盤座上貫穿形成有至少一與該真空氣道相連通的下真空吸孔，在該吸盤座上貫穿形成有至少一下貫穿孔；以及一晶圓真空吸盤，以彈性材料製造，且固定設置在該吸盤座上，該晶圓真空吸盤具有一吸盤本體、一環狀支撐凸緣以及一真空槽；在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上真空吸孔，該上真空吸孔與該下真空吸孔相對應，在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上貫穿孔，該上貫穿孔與該下貫穿孔對應；該環狀支撐凸緣自該吸盤本體的周緣軸向向上突伸；該真空槽形成在該吸盤本體頂面，被該環狀支撐凸緣所圍繞，且與該上真空吸孔及該下真空吸孔相連通。

本發明的該晶圓真空吸盤的彈性材料是選自由天然橡膠、人造橡膠、矽膠、及其混合物所組成的群組。

本發明的該下真空吸孔為複數個，且該複數下真空吸孔均布在該吸盤座上；該上真空吸孔為複數個，且該複數上真空吸孔均布在該晶圓真空吸盤上。

本發明的該旋轉軸座具有一軸桿以及一固定板；該固定板形成在該軸桿頂端；該真空氣孔貫穿該軸桿以及該固定板。

本發明的該吸盤座具有一座體以及一氣道蓋；該座體設置在該旋轉軸座的該固定板上，該真空氣道形成在該吸盤座底面，且該真空氣道被該固定板氣密地且部分地覆蓋，該下真空吸孔貫穿形成在該座體內，該下貫穿孔亦貫穿形成在該座體內；該氣道蓋設置在該吸盤座底面上並且氣密地且部分地覆蓋該真空氣道，其中該固定板與該氣道蓋共同氣密地完全覆蓋該真空氣道。

本發明的該固定板上貫穿形成有至少一板貫穿孔以供該頂針穿過。

本發明的該固定板透過複數固定件而固定在該吸盤座的該座體上，並且將該氣道蓋固定在該座體底面上。

本發明的該座體的該真空氣道具有一環形氣道以及複數徑向氣道，該複數徑向氣道連通該環形氣道，且在該座體的中心處相連接；該氣道蓋具有一環形蓋板以及複數徑向蓋板，該環形蓋板氣密地覆蓋該環形氣道，該複數徑向蓋板自該環形蓋板向中心突伸，分別氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠外側部分；該旋轉軸座的該固定板氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠內側部分。

本發明又一目的在於提供一種晶圓真空吸盤，其以彈性材料製造，且包括：一吸盤本體，在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上真空吸孔，且在該吸盤本體上亦貫穿形成有至少一上貫穿孔； 一環狀支撐凸緣，自該吸盤本體的周緣軸向向上突伸；以及一真空槽，形成在該吸盤本體頂面，被該環狀支撐凸緣所圍繞，且與該上真空吸孔相連通。

1‧‧‧晶圓固定裝置

2‧‧‧晶圓固定基座

10‧‧‧吸盤座

100‧‧‧真空氣道

101‧‧‧環形氣道

103‧‧‧徑向氣道

11‧‧‧座體

110‧‧‧下貫穿孔

112‧‧‧下真空吸孔

15‧‧‧氣道蓋

151‧‧‧環形蓋板

153‧‧‧徑向蓋板

20‧‧‧晶圓真空吸盤

200‧‧‧真空槽

21‧‧‧吸盤本體

210‧‧‧上貫穿孔

212‧‧‧上真空吸孔

23‧‧‧環狀支撐凸緣

30‧‧‧旋轉軸座

300‧‧‧真空氣孔

31‧‧‧軸桿

33‧‧‧固定板

330‧‧‧板貫穿孔

40‧‧‧升降裝置

41‧‧‧驅動組件

42‧‧‧作動桿

43‧‧‧支撐臂

45‧‧‧頂針

451‧‧‧彈性接觸襯墊

80‧‧‧載具

90‧‧‧晶圓

圖1為本發明立體外觀圖。

圖2為本發明另一立體外觀圖。

圖3為本發明的吸盤座及晶圓真空吸盤的放大立體外觀圖。

圖4為本發明的吸盤座及晶圓真空吸盤的另一放大立體外觀圖。

圖5為本發明的驅動組件的放大立體外觀圖。

圖6為本發明省略該驅動組件的立體分解圖。

圖7為本發明省略該驅動組件的另一立體分解圖。

圖8為本發明的吸盤座的立體分解圖。

圖9為本發明的側面剖視圖。

圖10為本發明的局部放大側面剖視圖。

圖11為本發明的側面剖視操作示意圖。

圖12為本發明接續圖11的局部放大側面剖視操作示意圖。

請參照圖1及圖2，本發明晶圓固定裝置1包括：一晶圓固定基座2以及一升降裝置40。

請參照圖6，該晶圓固定基座2包括一旋轉軸座30、一吸盤座10以及一晶圓真空吸盤20。

請參照圖7及圖9，該旋轉軸座30可連接一外部馬達而受該馬達驅動旋轉。在該旋轉軸座30內貫穿形成有一真空氣孔300。較佳地，該旋轉軸座30具有一軸桿31以及一固定板33。該固定板33形成在該軸桿31頂端。該真空氣孔300貫穿該軸桿31以及該固定板33。較佳地，該固定板33上貫穿形成有至少一板貫穿孔330。較佳地，該固定板33透過複數螺栓或鉚釘等固定件而固定在該吸盤座10的座體11上。

請參照圖4及圖8，該吸盤座10固定設置在該旋轉軸座30上，在該吸盤座10內形成有一與該真空氣孔300相連通的真空氣道100。在該吸盤座10上貫穿形成有至少一與該真空氣道100相連通的下真空吸孔112。在該吸盤座10上貫穿形成有至少一下貫穿孔110。

該吸盤座10可以不鏽鋼製造，也可以聚醚醚酮(Polyetheretherketone，PEEK)製造以同時具有剛性及抗腐蝕效果。該吸盤座10具有一座體11以及一氣道蓋15。該座體11設置在該旋轉軸座30的固定板33上，該真空氣道100形成在該吸盤座10底面，且該真空氣道100被該固定板33氣密地且部分地覆蓋，該下真空吸孔112貫穿形成在該座體11內，該下貫穿孔110貫穿形成在該座體11內。較佳地，該下真空吸孔112為複數個，且該複數下真空吸孔112均布在該吸盤座10上。該氣道蓋15設置在該吸盤座10底面上，氣密地且部分地覆蓋該真空氣道100，且被該固定板33固定在該座體11底面上。此外，該固定板33與氣道蓋15共同氣密地完全覆蓋該真空氣道100。

較佳地，該座體11的真空氣道100具有一環形氣道101以及複數徑向氣道103，該複數徑向氣道103連通該環形氣道101，且在該座體11的 中心處相連接。該氣道蓋15具有一環形蓋板151以及複數徑向蓋板153，該環形蓋板151氣密地覆蓋該環形氣道101，該複數徑向蓋板153自該環形蓋板151向中心突伸，分別氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道103的靠外側部分(靠近該環形蓋板151的部分)。該旋轉軸座30的固定板33氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道103的靠內側部分(靠近該座體11的中心處)。

請參照圖3，該晶圓真空吸盤20以彈性材料製造，較佳地，該晶圓真空吸盤20的彈性材料是選自由天然橡膠、人造橡膠、矽膠、及其混合物所組成的群組，但不限於此。該晶圓真空吸盤20且固定設置在該吸盤座10上，該晶圓真空吸盤20具有一吸盤本體21、一環狀支撐凸緣23以及一真空槽200。在該吸盤本體21上貫穿形成有至少一上真空吸孔212，該上真空吸孔212與該下真空吸孔112相對應。較佳地，該上真空吸孔212為複數個，且該複數上真空吸孔212均布在該晶圓真空吸盤20的該吸盤本體21上。在該吸盤本體21上貫穿形成有至少一上貫穿孔210，該上貫穿孔210與該下貫穿孔110對應。該環狀支撐凸緣23自該吸盤本體21的周緣軸向向上突伸。該真空槽200形成在該吸盤本體21頂面，被該環狀支撐凸緣23所圍繞，且與該上真空吸孔212及該下真空吸孔112相連通。

該升降裝置40連接該晶圓固定基座2，具有一驅動組件41、一支撐臂43、以及至少一頂針45。該支撐臂43設置在該驅動組件41上，受該驅動組件41的驅動而相對該晶圓固定基座2上下移動。該頂針45固定設置在該支撐臂43上，以可活動方式貫穿該下貫穿孔110、該上貫穿孔210以及該板貫穿孔330，該頂針45的頂端可向下縮回到該真空槽200內或向上伸出到該真空槽200外。較佳地，該驅動組件41可為一氣壓缸，在該氣壓缸上以 可伸縮方式設置有一作動桿42；該支撐臂43固定在該作動桿42上。較佳地，各頂針45頂端上分別設置有一彈性接觸襯墊451。該彈性接觸襯墊451以彈性材料製造，較佳地，該彈性接觸襯墊451的彈性材料是選自由天然橡膠、人造橡膠、矽膠、及其混合物所組成的群組，但不限於此。該彈性接觸襯墊451可呈圓筒狀。或者，該驅動組件41可為一步進馬達，在該步進馬達上以可伸縮方式設置該作動桿42。

本發明晶圓固定裝置1可連接一提供真空吸力的真空泵以能夠吸附並固定晶圓，以執行晶圓解鍵合製程，以下為本發明晶圓固定裝置1實施執行該晶圓解鍵合製程的操作說明。

請參照圖9及圖10，當執行該晶圓解鍵合製程時，將一載具80下方的晶圓90放置在晶圓真空吸盤20的環狀支撐凸緣23上，此時該真空泵輸出真空吸力到該真空槽200內，利用該晶圓90與真空槽200之間所形成的一真空氣室而牢牢吸附晶圓90，迫使晶圓90能緊密地固定於該晶圓真空吸盤20上。

請參照圖11，在吸附該晶圓90及該載具80後，以雷射解鍵合(Laser Debonding)、熱抽離(Thermal Slide)或機械力剝離等方式分離該載具80與該晶圓90，並移除該載具80。

請參照圖12，在移除該載具80並完成該晶圓90與該載具80的解鍵合製程後，該真空泵停止輸出真空吸力，同時頂針45受到該驅動組件41的驅動而向上伸出並將該晶圓90自該晶圓真空吸盤20上頂出該真空槽200外，以便供另外的機械手臂將該晶圓90移動到他處而進行後續製程。本發明晶圓固定裝置1亦可應用於需要將晶圓90緊密固定的清洗、蝕刻等製 程。

本發明晶圓固定裝置1具有至少下列優點：

1.該晶圓真空吸盤20整體以彈性材質製造並能在壓力下適度變形。由於該晶圓真空吸盤20僅以環狀支撐凸緣23接觸晶圓90底面周緣，接觸面積小，以至於能夠在接觸部位產生較大的壓力並使得環狀支撐凸緣23頂端變形而更為氣密貼合晶圓90底面周緣，因此該晶圓真空吸盤20的該環狀支撐凸緣23能夠良好氣密地接觸該晶圓90下表面而避免在該晶圓90與該環狀支撐凸緣23之間產生間隙，因而能夠在該晶圓固定裝置1輸出真空吸力時牢牢吸附該晶圓90以及該載具80，避免實施解鍵合時晶圓90意外自該晶圓固定裝置1脫落。尤其當該晶圓90底面具有圖形，或是該晶圓90為薄晶圓、翹曲晶圓或是表面不平坦的晶圓時，該晶圓真空吸盤20僅以該環狀支撐凸緣23接觸該晶圓90底面周緣可有效避免該晶圓90自該晶圓真空吸盤20上鬆脫。

2.由於該晶圓真空吸盤20僅以該環狀支撐凸緣23接觸該晶圓90底面周緣，而非大面積接觸該晶圓90底面，該真空槽200的空間讓該晶圓90底面懸空而不與任何物體接觸，故可避免該晶圓90底面受到物體意外刮傷或撞傷而損毀的問題。

3.該頂針45可協助將該晶圓90移出該晶圓真空吸盤20的真空槽200，以利該晶圓90進行後續製程，且該頂針45的彈性接觸襯墊451能夠在接觸該晶圓90同時避免損傷該晶圓90。

Claims (17)

1. 一種晶圓固定裝置，包括：一晶圓固定基座和一升降裝置；其中，該晶圓固定基座包括一旋轉軸座、一吸盤座以及一晶圓真空吸盤，該旋轉軸座內貫穿形成有一真空氣孔；該吸盤座固定設置在該旋轉軸座上，在該吸盤座內形成有一與該真空氣孔相連通的真空氣道，在該吸盤座上貫穿形成有至少一與該真空氣道相連通的下真空吸孔，且在該吸盤座上進一步貫穿形成有至少一下貫穿孔；該晶圓真空吸盤以彈性材料製造，且固定設置在該吸盤座上，該晶圓真空吸盤具有一吸盤本體、一環狀支撐凸緣以及一真空槽；在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上真空吸孔，該上真空吸孔與該下真空吸孔相對應，在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上貫穿孔，該上貫穿孔與該下貫穿孔對應；該環狀支撐凸緣自該吸盤本體的周緣軸向向上突伸；該真空槽形成在該吸盤本體頂面，被該環狀支撐凸緣所圍繞，且與該上真空吸孔及該下真空吸孔相連通；以及其中，該升降裝置連接該晶圓固定基座，且具有一驅動組件、一支撐臂、以及至少一頂針；該支撐臂設置在該驅動組件上，受該驅動組件的驅動而相對該晶圓固定基座上下移動；該頂針固定設置在該支撐臂上，以可活動方式延伸通過該下貫穿孔以及該上貫穿孔，該頂針的頂端可向下縮回到該真空槽內或向上伸出到該真空槽外；其中，該旋轉軸座具有一軸桿以及一固定板；該固定板形成在該軸桿頂端；該真空氣孔貫穿該軸桿以及該固定板。
2. 如請求項1所述的晶圓固定裝置，其中該晶圓真空吸盤的彈性材料是選自由天然橡膠、人造橡膠、矽膠、及其混合物所組成的群組。
3. 如請求項1所述的晶圓固定裝置，其中該下真空吸孔為複數個，且該複數下真空吸孔均布在該吸盤座上；該上真空吸孔為複數個，且該複數上真空吸孔均布在該晶圓真空吸盤上。
4. 如請求項3所述的晶圓固定裝置，其中該吸盤座具有一座體以及一氣道蓋；該座體設置在該旋轉軸座的該固定板上，該真空氣道形成在該吸盤座底面，且該真空氣道被該固定板氣密地且部分地覆蓋，該下真空吸孔貫穿形成在該座體內，該下貫穿孔貫穿形成在該座體內；該氣道蓋設置在該吸盤座底面上並且氣密地且部分地覆蓋該真空氣道，其中該固定板與該氣道蓋共同氣密地完全覆蓋該真空氣道。
5. 如請求項4所述的晶圓固定裝置，其中該固定板上貫穿形成有至少一板貫穿孔以供該頂針穿過。
6. 如請求項5所述的晶圓固定裝置，其中該固定板透過複數固定件而固定在該吸盤座的該座體上，並且將該氣道蓋固定在該座體底面上。
7. 如請求項6所述的晶圓固定裝置，其中該座體的該真空氣道具有一環形氣道以及複數徑向氣道，該複數徑向氣道連通該環形氣道，且在該座體的中心處相連接；該氣道蓋具有一環形蓋板以及複數徑向蓋板，該環形蓋板氣密地覆蓋該環形氣道，該複數徑向蓋板自該環形蓋板向中心突伸，分別氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠外側部分；該旋轉軸座的該固定板氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠內側部分。
8. 如請求項1至3中任一項所述的晶圓固定裝置，其中該各頂針頂端上分別設置有一彈性接觸襯墊。
9. 如請求項8所述的晶圓固定裝置，其中該彈性接觸襯墊呈圓筒狀。
10. 如請求項1至3中任一項所述的晶圓固定裝置，其中該驅動組件為一氣壓缸，在該氣壓缸上以可伸縮方式設置有一作動桿；該支撐臂固定在該 作動桿上。
11. 一種晶圓固定基座，包括：一旋轉軸座，在該旋轉軸座內貫穿形成有一真空氣孔；一吸盤座，固定設置在該旋轉軸座上，在該吸盤座內形成有一與該真空氣孔相連通的真空氣道，在該吸盤座上貫穿形成有至少一與該真空氣道相連通的下真空吸孔，在該吸盤座上貫穿形成有至少一下貫穿孔；以及一晶圓真空吸盤，以彈性材料製造，且固定設置在該吸盤座上，該晶圓真空吸盤具有一吸盤本體、一環狀支撐凸緣以及一真空槽；在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上真空吸孔，該上真空吸孔與該下真空吸孔相對應，在該吸盤本體上貫穿形成有至少一上貫穿孔，該上貫穿孔與該下貫穿孔對應；該環狀支撐凸緣自該吸盤本體的周緣軸向向上突伸；該真空槽形成在該吸盤本體頂面，被該環狀支撐凸緣所圍繞，且與該上真空吸孔及該下真空吸孔相連通；其中，該旋轉軸座具有一軸桿以及一固定板；該固定板形成在該軸桿頂端；該真空氣孔貫穿該軸桿以及該固定板。
12. 如請求項11所述的晶圓固定基座，其中該晶圓真空吸盤的彈性材料是選自由天然橡膠、人造橡膠、矽膠、及其混合物所組成的群組。
13. 如請求項11所述的晶圓固定基座，其中該下真空吸孔為複數個，且該複數下真空吸孔均布在該吸盤座上；該上真空吸孔為複數個，且該複數上真空吸孔均布在該晶圓真空吸盤上。
14. 如請求項11所述的晶圓固定基座，其中該吸盤座具有一座體以及一氣道蓋；該座體設置在該旋轉軸座的該固定板上，該真空氣道形成在該吸盤座底面，且該真空氣道被該固定板氣密地且部分地覆蓋，該下真空吸孔貫穿形成在該座體內，該下貫穿孔貫穿形成在該座體內；該氣道蓋設置在 該吸盤座底面上並且氣密地且部分地覆蓋該真空氣道，其中該固定板與該氣道蓋共同氣密地完全覆蓋該真空氣道。
15. 如請求項14所述的晶圓固定基座，其中該固定板上貫穿形成有至少一板貫穿孔以供該頂針穿過。
16. 如請求項15所述的晶圓固定基座，其中該固定板透過複數固定件而固定在該吸盤座的該座體上，並且將該氣道蓋固定在該座體底面上。
17. 如請求項16所述的晶圓固定基座，其中該座體的該真空氣道具有一環形氣道以及複數徑向氣道，該複數徑向氣道連通該環形氣道，且在該座體的中心處相連接；該氣道蓋具有一環形蓋板以及複數徑向蓋板，該環形蓋板氣密地覆蓋該環形氣道，該複數徑向蓋板自該環形蓋板向中心突伸，分別氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠外側部分；該旋轉軸座的該固定板氣密地且部分地覆蓋該複數徑向氣道的靠內側部分。