TWI636247B - 偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置 - Google Patents

Abstract

提供即使在來自光源的光線有每小時的照度變動之狀況中，也可高精度地檢測偏光光線的偏光軸的偏光軸檢測器、偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置。

偏光軸檢測器係具備具有用以檢測偏光軸之可旋轉的檢測用偏光子(311a)，與檢測通過檢測用偏光子(311a)之來自光源的偏光光線之照度資訊的第一照度感測器(311b)的第一偏光光線檢測部(311)，和具有直接檢測來自光源的偏光光線之照度資訊的第二照度感測器(312a)，且並排設置於第一偏光光線檢測部(311)的第二偏光光線檢測部(312)。偏光測定裝置係依據以第一偏光光線檢測部(311)所檢測之照度資訊，與以第二偏光光線檢測部(312)所檢測之照度資訊，運算出來自光源的偏光光線的偏光特性。

Description

偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置

本發明係關於用以測定偏光光線之偏光軸的偏光軸檢測器、偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置。

近來，關於以液晶面板為首之液晶顯示元件的配向膜及視角補償薄膜的配向層等之配向處理，逐漸採用照射所定波長的偏光光線來進行配向，稱為光配向的技術。

光配向所用的照射裝置，係一般具備光源與偏光子，照射使光源的光線通過偏光子所得之偏光光線。於光配向技術中，從照射裝置照射之偏光光線的偏光軸(光照射部之偏光光線的軸)是否成為所希望的偏光軸非常重要。因此，將偏光子的角度設定成所定角度之後，實際進行偏光光線照射來測定偏光軸，如果未成為所希望偏光軸的話，則需要修正偏光子的角度的作業。

作為先前的偏光軸測定方法，例如有專利文 獻1所記載的技術。該技術係除了照射裝置具備之第一偏光子之外，設置用以檢測偏光軸的第二偏光子，使第二偏光子一邊旋轉，一邊檢測依序通過第一偏光子及第二偏光子的光線，並依據其檢測結果，測定偏光光線的偏光特性。具體來說，求出表示第二偏光子旋轉時的檢測光線之光量的週期性變化的變化曲線，根據其變化曲線，作為前述偏光特性，測定偏光軸及消光比。

〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕

〔專利文獻1〕日本特開2014-20890號公報

在前述專利文獻1所記載之技術中，作為光源，利用放電燈。於放電燈，存在有起因於電弧的搖動之光量的經時變化，使第二偏光子旋轉之間，光量也時時刻刻變化。然而，前述專利文獻1所記載之技術，並未考慮該放電燈之電弧的搖動，故偏光光線之偏光軸的測定精度較低。

因此，本發明的課題係提供即使在來自光源的光線有每小時的照度變動之狀況中，也可高精度地檢測偏光光線的偏光軸的偏光軸檢測器、偏光測定裝置、偏光測定方法及偏光光線照射裝置。

為了解決前述課題，關於本發明的偏光軸檢測器之一樣態，係檢測從光源照射之偏光光線的偏光軸的偏光軸檢測器，具備：第一偏光光線檢測部，係具有用以檢測前述偏光軸之可旋轉的檢測用偏光子，與檢測通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的第一照度感測器；及第二偏光光線檢測部，係具有直接檢測來自前述光源的偏光光線之照度資訊的第二照度感測器，且並排設置於前述第一偏光光線檢測部。

如此，將檢測未通過檢測用偏光子之來自光源的偏光光線的第二偏光光線檢測部，並排設置於第一偏光光線檢測部。因此，可利用兩個偏光光線檢測部觀察相同偏光光線的搖動，可將以第二偏光光線檢測部所檢測出之偏光光線的照度資訊，設為以第一偏光光線檢測部所檢測出之偏光光線的照度資訊的基準值。所以，即使在因光源的輸出的偏差及閃爍等，來自光源的偏光光線的照度每小時變動之狀況中，也可進行考慮到其照度變動之偏光軸的檢測。

又於前述偏光軸檢測器中，前述光源，係線狀光源；前述第一照度感測器與前述第二照度感測器，係沿著前述線狀光源延伸存在的方向並排配設為佳。

如此，將光源設為線狀光源時，因為將兩個照度感測器並排配置於線狀光源的照度變動較少的方向，所以，可減少各場所的依存性，可獲得有信賴性的測定結果。

進而，關於本發明的偏光測定裝置之一樣態，具備：前述任一之偏光軸檢測器；及偏光光線測定部，係依據利用前述偏光軸檢測器檢測出的照度資訊，來測定前述偏光光線；前述偏光光線測定部，係具備：旋轉控制部，係使前述檢測用偏光子，旋轉成複數指定角度；照度資訊修正部，係依據於前述複數指定角度中以前述第一照度感測器所檢測出之照度資訊的檢測照度值，與同步於前述第一照度感測器所致之該檢測照度值的檢測，以前述第二照度感測器所檢測出之照度資訊的參照照度值，來運算出修正包含於前述檢測照度值之從前述光源照射之偏光光線的每小時的照度變動所致之誤差的修正後照度值；及偏光特性運算部，係運算出表示前述檢測用偏光子的旋轉角度與以前述照度資訊修正部所運算出之修正後照度值的關係的偏光光線角度特性，且以該偏光光線角度特性為基準，運算出來自前述光源的偏光光線的偏光特性。

如此，使用以第二偏光光線檢測部所檢測出之參照照度值，修正以第一偏光光線檢測部所檢測出之檢測照度值所包含之來自光源的偏光光線之每小時的照度變動所致之誤差，所以，可運算出修正前述誤差的偏光光線角度特性。所以，即使在使檢測用偏光子旋轉之間來自光源的偏光光線變動之狀況中，也可高精度地運算出該偏光光線的偏光特性。

又，於前述偏光測定裝置中，前述照度資訊修正部，係將以前述第一照度感測器所檢測出之前述檢測 照度值，除以同步於該檢測照度值的檢測而以前述第二照度感測器所檢測出之前述參照照度值，藉此運算出前述修正後照度值為佳。如此，僅利用除算的比較簡單的手法，即可適切修正包含於檢測照度值之來自光源的偏光光線的照度變動所致之誤差。

又進而，於前述偏光測定裝置中，前述照度資訊修正部，係由以前述第一照度感測器所檢測出之前述檢測照度值，減去於前述複數指定角度中以前述第二照度感測器所檢測出之各參照照度值的平均值與同步於前述檢測照度值的檢測而以前述第二照度感測器所檢測出之前述參照照度值的差分，藉此運算出前述修正後照度值為佳。如此，僅利用減算與平均值計算的比較簡單的手法，即可適切修正包含於檢測照度值之來自光源的偏光光線的照度變動所致之誤差。

進而，於前述偏光測定裝置中，前述偏光特性運算部，係具備以前述偏光光線角度特性為基準，特定通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線的照度成為極值之前述檢測用偏光子的旋轉角度，並依據特定出的旋轉角度，作為前述偏光特性，運算出前述偏光光線的偏光軸角度的偏光軸角度運算部為佳。藉此，可高精度地運算出偏光軸角度。

又，於前述偏光測定裝置中，前述偏光特性運算部，係具備以前述偏光光線角度特性為基準，特定通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度的 最大值與最小值，並依據特定出的最大值與最小值，作為前述偏光特性，運算出前述偏光光線的消光比的消光比運算部為佳。藉此，可高精度地運算出消光比。

又進而，關於本發明的偏光測定方法之一樣態，係測定從光源照射之偏光光線的偏光測定方法，具備：使用以檢測前述偏光軸的檢測用偏光子，旋轉成複數指定角度，並檢測於各指定角度中通過該檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的檢測照度值的步驟；及與檢測通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的時機同步，直接檢測不通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的參照照度值的步驟。

如此，可在相同時機中檢測出通過檢測用偏光子之來自光源的偏光光線，與未通過檢測用偏光子之來自光源的偏光光線。因此，即使在將參照照度值設為檢測照度值的基準值，來自光源的偏光光線的照度每小時變動之狀況中，也可進行考慮到其照度變動之偏光軸的檢測。

又，於前述偏光測定方法中，更具備：依據於前述複數指定角度中檢測出之前述檢測照度值與前述參照照度值，運算出修正包含於前述檢測照度值之從前述光源照射之偏光光線的每小時的照度變動所致之誤差的修正後照度值的步驟；運算出表示前述檢測用偏光子的旋轉角度與前述修正後照度值之關係的偏光光線角度特性的步驟；及以前述偏光光線角度特性為基準，運算出來自前述 光源的偏光光線之偏光特性的步驟為佳。

如此，可使用參照照度值來修正包含於檢測照度值之來自光源的偏光光線的每小時的照度變動所致之誤差。因此，可運算出修正了前述誤差的偏光光線角度特性。所以，即使在使檢測用偏光子旋轉之間來自光源的偏光光線變動之狀況中，也可高精度地運算出該偏光光線的偏光特性。

進而，關於本發明的偏光光線照射裝置之一樣態，係對配向膜照射偏光光線來進行光配向的偏光光線照射裝置，具備：光照射部，係具有線狀光源，與沿著該線狀光源延伸存在之方向來配設的複數偏光子，照射藉由前述偏光子使前述線狀光源的光線偏光的偏光光線；及前述任一之偏光測定裝置，係測定前述光照射部所照射之偏光光線。

藉此，偏光測定裝置可高精度地測定從光照射部照射之偏光光線的偏光特性。所以，可適切判斷從光照射部照射之偏光光線的偏光軸是否成為所希望之偏光軸。

在本發明的偏光軸檢測器中，於檢測通過檢測用偏光子之來自光源的偏光光線的第一偏光光線檢測部，並排設置未通過檢測用偏光子之來自光源的偏光光線的第二偏光光線檢測部。因此，即使在來自光源的偏光光線的照度每小時變動之狀況中，也可進行考慮到其照度變 動之偏光軸的檢測。

又，在具備該偏光軸檢測器的偏光測定裝置中，可使用以第二偏光光線檢測部所檢測出之參照照度值，來修正以第一偏光光線檢測部所檢測出之檢測照度值，所以，即使在使檢測用偏光子旋轉之間來自光源的偏光光線變動之狀況中，也可高精度運算出該偏光光線的偏光特性。

10A，10B‧‧‧光照射部

11‧‧‧放電燈

12‧‧‧鏡片

13A‧‧‧偏光子單元

13B‧‧‧偏光子單元

13Aa‧‧‧偏光子

13Ba‧‧‧偏光子

13Ab‧‧‧框架

13Bb‧‧‧框架

14‧‧‧燈室

14a‧‧‧光射出口

20‧‧‧搬送部

21‧‧‧工件台

22‧‧‧導件

23‧‧‧電磁石

30‧‧‧偏光測定裝置

31‧‧‧偏光軸檢測器

32‧‧‧X方向搬送部

33‧‧‧Y方向搬送部

34‧‧‧控制部

34a‧‧‧旋轉子控制部

34b‧‧‧輸入訊號轉換部

34c‧‧‧偏光特性運算部

34d‧‧‧畫像顯示部

34e‧‧‧搬送控制部

35‧‧‧監視器

100‧‧‧偏光光線照射裝置

311‧‧‧第一偏光光線檢測部

311a‧‧‧檢測用偏光子(檢光子)

311b‧‧‧第一照度感測器

311c‧‧‧受光部

311d‧‧‧支持構件

311e‧‧‧旋轉致動器

311f‧‧‧旋轉子

311g‧‧‧開口部

311h‧‧‧冷氣供給部

312‧‧‧第二偏光光線檢測部

312a‧‧‧第二照度感測器

312b‧‧‧受光部

312c‧‧‧支持構件

312d‧‧‧開口部

312e‧‧‧冷氣供給部

W‧‧‧工件

〔圖1〕揭示本實施形態之偏光光線照射裝置的概略構造圖。

〔圖2〕正交於光照射部的長邊方向之方向的剖面圖。

〔圖3〕光照射部之長邊方向的剖面圖。

〔圖4〕揭示偏光子之配置例的圖。

〔圖5〕揭示偏光軸檢測器之主要部的立體圖。

〔圖6〕揭示偏光軸檢測器之主要部的剖面立體圖。

〔圖7〕揭示第一偏光光線檢測部的構造的模式圖。

〔圖8〕揭示偏光測定裝置之構造的區塊圖。

〔圖9〕揭示以控制部執行之偏光測定處理順序的流程圖。

〔圖10〕揭示偏光光線的角度特性之一例的圖。

〔圖11〕說明本實施形態之效果的圖。

以下，依據圖面來說明本發明的實施形態。

圖1係揭示本實施形態之偏光光線照射裝置的概略構造圖。

偏光光線照射裝置100係具備光照射部10A及10B，與搬送工件W的搬送部20。在此，工件W係形成光配向膜，例如被整形成液晶面板的大小之矩形狀的基板。

偏光光線照射裝置100係一邊從光照射部10A及10B照射所定波長的偏光光線(偏光的光線)，一邊藉由搬送部20使工件W直線移動，對工件W的光配向膜照射前述偏光光線來進行光配向處理者。

光照射部10A及10B係分別具備身為線狀之光源的放電燈11，與反射放電燈11之光線的鏡片12。又，光照射部10A係具備配置於其光射出側的偏光子單元13A，光照射部10B係具備配置於其光射出側的偏光子單元13B。進而，光照射部10A及10B係分別具備燈室14。放電燈11、鏡片12及偏光子單元13A(或13B)係被收容於燈室14。

光照射部10A及光照射部10B係在使放電燈11的長邊方向一致於與工件W的搬送方向(X方向)正交之方向(Y方向)之狀態下，沿著工件W的搬送方向(X方向)並排設置。

在此，針對光照射部10A的具體構造進行說明。

圖2係正交於光照射部10A的長邊方向之方向的剖面圖，圖3係光照射部10A之長邊方向的剖面圖。因光照射部10A與光照射部10B具有相同的構造，在此針對光照射部10A的構造進行說明。

放電燈11係長條狀之長弧型放電燈。放電燈11係例如照射波長200nm~400nm的紫外光。

作為光配向膜的材料，公知有以波長254nm的光線進行配向者、以波長313nm的光線進行配向者、以波長365nm的光線進行配向者等，光源的種類因應需要的波長而適切選擇。

再者，作為光源，也可使用將放射紫外光的LED或LD並排配置成直線狀的線狀光源。此時，並排LED或LD的方向相當於燈管的長邊方向。

鏡片12係將來自放電燈11的放射光反射至所定方向者，如圖2所示，是剖面為橢圓形的橢圓狀聚光鏡。鏡片12係以其長邊方向與放電燈11的長邊方向一致之方式配置。

燈室14係於其底面，具有從光照射部10A照射之光線通過的光射出口14a。於光射出口14a，安裝有具有用以使通過其之光線偏光的偏光子的偏光子單元13A。

偏光子單元13A係如圖4所示，將複數偏光子13Aa並排配置於框架13Ab內所構成者。如此，於放電燈11的正下，複數偏光子13Aa沿著該放電燈11的長邊方向並排配置。

偏光子13Aa係線柵型偏光元件，偏光子13Aa的個數係配合照射偏光光線的區域之大小來適切選擇。又，各偏光子13Aa係以分別透射軸朝向相同方向之方式配置。

偏光子單元13B也具有與偏光子單元13A相同的構造。

但是，在將光照射部並排成兩段的雙燈方式之狀況中，偏光子單元13B的偏光子13Ba係如圖4所示，偏光子13Aa的接縫與偏光子13Ba的接縫，以於工件W的搬送方向(X方向)中不重疊之方式，使位置偏離而配置於正交於搬送方向的方向(Y方向)。藉此，光照射部10A及10B係能以均勻的能量分布來照射偏光光線。

回到圖1，搬送部20係具備藉由真空吸附等的方法來吸附保持工件W之平板狀的工件台21、沿著工件台21的移動方向延伸之兩個導件22、及作為一例而構成工件台21之移動機構的電磁石23。

在此，作為前述移動機構，例如採用線性電動機平台。線性電動機平台係使移動體(工件台)藉由空氣，浮上於棋盤格狀地設置有強磁性體的凸極之平面狀的台板上，對移動體施加磁力，並使移動體與台板的凸極之間的磁力變化，藉此使移動體(工件台)移動的機構。

工件台21係以其一邊的方向朝向平台移動方向(X方向)之方式配置，並且藉由導件22來彌補真直度之狀態下可往返移動地支持。

在本說明書中，將工件台21的移動方向是X方向， 垂直於X方向的水平方向是Y方向，垂直方向是Z方向。又，工件W為矩形狀，以一邊的方向朝向X方向，另一方的邊朝向Y方向的姿勢，被保持於工件台21上。

工件台21的移動路徑係以通過光照射部10A及10B的正下方之方式設計。然後，搬送部20係以將工件W搬送至光照射部10A及10B所致之偏光光線的照射位置，且通過該照射位置之方式構成。在此通過的過程中，工件W的光配向膜被進行光配向處理。

又，偏光光線照射裝置100係具備偏光測定裝置30。偏光測定裝置30係具備偏光軸檢測器31、用以將偏光軸檢測器31沿著導件22往X方向搬送的X方向搬送部32、及用以將偏光軸檢測器31往Y方向搬送的Y方向搬送部33。進而，該偏光測定裝置30係除了偏光軸檢測器31、X方向搬送部32、Y方向搬送部33之外，也具備後述之控制部34及監視器35。

偏光軸檢測器31係檢測出從光照射部10A及10B照射之偏光光線的偏光軸(光照射面之偏光光線的軸)。

X方向搬送部32係使偏光軸檢測器31往X方向移動的移動機構，例如具有與上述之搬送部20相同的構造。亦即，偏光軸檢測器31的移動路徑係以通過光照射部10A及10B的正下方之方式設計。X方向搬送部32係於X方向中，將偏光軸檢測器31搬送至光照射部10A及10B所致之偏光光線的照射位置。

Y方向搬送部33係使偏光軸檢測器31往Y方向移動的移動機構。Y方向搬送部33係在偏光軸檢測器31位於光照射部10A及10B所致之偏光光線的照射位置之狀態下，使偏光軸檢測器31往Y方向(偏光子單元13A及13B的偏光子的排列方向)移動。

在本實施形態中，將偏光子單元13A及13B的各偏光子的正下方(各偏光子的中央位置)分別設為測定偏光軸的位置(以下，也稱為「偏光測定位置」)，偏光軸檢測器31係於各偏光測定位置中測定偏光軸者。

以下，針對偏光軸檢測器31的具體構造，一邊參照圖5及圖6一邊進行說明。

偏光軸檢測器31係具備第一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312。

第一偏光光線檢測部311係具備用以檢測偏光軸的檢測用偏光子(以下，也稱為「檢光子」)311a，與用以檢測通過檢測用偏光子311a之偏光光線的第一照度感測器311b。第一照度感測器311b係具備對通過檢測用偏光子311a之偏光光線進行受光的受光部311c(圖6)。受光部311c係藉由支持構件311d固定於偏光軸檢測器31的框體。

圖7係揭示第一偏光光線檢測部311的構造的模式圖。在該圖7中，揭示第一偏光光線檢測部311檢測從光照射部10A照射之偏光光線之狀況的構造。

如圖7所示，來自光照射部10A之放電燈11的光線 (放射光L1)，係通過偏光子單元13A而進行直線偏光，其偏光光線L2射入至檢測用偏光子311a。受光部311c係此時，將通過檢測用偏光子311a的光線，作為檢測光L3而進行受光。

檢測用偏光子311a係例如線柵型偏光元件。再者，檢測用偏光子311a係只要是直線偏光子，可使用任意的偏光子。

又，檢測用偏光子311a係將其法線方向S作為旋轉軸，可涵蓋180°以上的檢測測定範圍內自由旋轉地構成。檢測用偏光子311a的旋轉係藉由自預先設定之基準位置P0的旋轉角度θ來規定。

檢測用偏光子311a的旋轉角度θ，是構成偏光子單元13A的偏光子13Aa之透射軸T1的方向與檢測用偏光子311a之透射軸T2的方向一致的角度時，以受光部311c受光之光線的照度成為最大。又，檢測用偏光子311a的旋轉角度θ，是透射軸T2正交於透射軸T1的角度時，以受光部311c受光之光線的照度成為最小。

亦即，受光部311c受光之光線的照度，係因應檢測用偏光子311a的旋轉角度而週期性變動。所以，利用一邊使檢測用偏光子311a旋轉一邊監視受光部311c受光之光線的照度，可測定從光照射部10A、10B照射之偏光光線的偏光軸角度。

為了以可使檢測用偏光子311a旋轉之方式構成，第一偏光光線檢測部311係具備用以使檢測用偏光子311a 旋轉的旋轉機構。該旋轉機構係例如具備圖5及圖6所示之旋轉致動器311e，與固定於旋轉致動器311e的旋轉子311f。

旋轉致動器311e係藉由後述之控制部34進行驅動控制。檢測用偏光子311a係被固定於旋轉子311f，利用控制部34驅動控制旋轉致動器311e來使旋轉子311f旋轉，而讓檢測用偏光子311a旋轉。藉此，檢測用偏光子311a與第一照度感測器311b(受光部311c)相對性旋轉。

進而，如圖6所示，第一照度感測器311b係具有限制對受光部311c之入射光的開口部311g。開口部311g係配合光照射部10A、10B的偏光子單元13A、13B也通過傾斜射入之光線來生成偏光光線，為了擷取該等傾斜射入的成分所致之偏光光線，成為將射入角為例如0°~65°的範圍的偏光光線，射入至受光部311c的形狀。

又，第一偏光光線檢測部311係具備用以冷卻第一照度感測器311b的冷卻機構。該冷卻機構係例如空氣冷卻方式所致者，具備從外部擷取冷卻的冷氣供給部311h。

再者，冷卻機構也可採用水冷方式所致者。但是，有鑑於水冷閥破損時的影響等，採用空氣冷卻方式為佳。

又，第二偏光光線檢測部312係除了未具備第一偏光光線檢測部311中之檢測用偏光子311a，與用以使該檢測用偏光子311a旋轉的旋轉機構，具有與第一 偏光光線檢測部311相同的構造。

亦即，第二偏光光線檢測部312係如圖5及圖6所示，具備直接射入來自光照射部10A、10B的偏光光線，檢測該偏光光線之照度的第二照度感測器312a。第二照度感測器312a係具備對來自光照射部10A、10B的偏光光線進行直接受光的受光部312b(圖6)。

第二照度感測器312a係藉由支持構件312c，以受光部312b的高度位置成為與第一照度感測器311b的受光部311c的高度位置同等之方式支持。支持構件312c係固定於偏光光線檢測器31的框體。

又，如圖6所示，第二照度感測器312a係具有限制對受光部312b之入射光的開口部312d。開口部312d係與上述之開口部311f相同，成為將射入角為例如0°~65°的範圍的偏光光線，射入至受光部312b的形成。

進而，第二偏光光線檢測部312係具備用以冷卻第二照度感測器312a的冷卻機構。該冷卻機構係例如空氣冷卻方式所致者，具備從外部擷取冷卻的冷氣供給部312e。

再者，冷卻機構也可採用水冷方式所致者。但是，有鑑於水冷閥破損時的影響等，採用空氣冷卻方式為佳。

第二照度感測器312a係在與第一照度感測器311b相同波長區域具有感度者為佳。但是，只要可同時檢測出放電燈11的放射光，作為於不同波長區域具有感度者亦可。

具體來說，第一照度感測器311b及第二照度感測器312a係在例如200nm~400nm的波長區域具有感度者為佳。更具體來說，第一照度感測器311b及第二照度感測器312a係例如254nm、313nm、365nm的照度容易測定為佳。

又，第一照度感測器311b的受光部311c與第二照度感測器312a的受光部312b，係沿著放電燈11的管軸方向(長邊方向)並排設置。放電燈11的管軸方向，係與移動偏光軸檢測器31的Y方向相同之方向。

此係因為從放電燈11放射之光線，在管徑方向中照度變化較大，在管軸方向中照度變化較小。如此，利用將受光部311c與受光部312b沿著放電燈11的管軸方向(長邊方向)併設，可減少第一照度感測器311b與第二照度感測器312a所檢測出之光線的照度的差。

再者，已針對第一偏光光線檢測部311及第二偏光光線檢測部312分別具有用以冷卻受光部的冷卻機構之狀況進行說明，但是，從放電燈11放射之熱也會透過Y方向搬送部32等而從偏光軸檢測部31的下側傳達。因此，於偏光軸檢測部31的框體底部設置隔熱構件，或使旋轉機構懸吊亦可。

接著，針對構成偏光測定裝置30的控制部34進行說明。

圖8係揭示偏光測定裝置30之構造的區塊圖。

如上所述，偏光測定裝置30係具備偏光軸檢測器 31、X方向搬送部32、Y方向搬送部33、控制部34及監視器35。

控制部34係具備旋轉子控制部34a、輸入訊號轉換部34b、偏光特性運算部34c、畫像顯示部34d、及搬送控制部34e。

旋轉子控制部34a係對於第一偏光光線檢測部311，輸出用以驅動控制旋轉致動器311d的驅動指令。在本實施形態中，於各偏光測定位置中，使檢光子311a在預先設定之旋轉角度範圍θ 1≦θ≦θ 2內，旋轉成複數指定角度，在各指定角度中第一照度感測器311b測定偏光光線。旋轉角度範圍係跨越第一照度感測器311b所檢測出之偏光光線的照度應成為最小的檢光子311a的角度(設定基準值θ a)，例如設定於±20°的範圍。

例如，在設定基準值θ a設定為120°時，旋轉角度範圍成為100°≦θ≦140°。

又，在本實施形態中，於前述旋轉角度範圍中，例如，除了θ=θ a，設定每10°間隔來測定偏光光線的角度位置。亦即，在旋轉角度範圍為100°≦θ≦140°時，以θ=θ 1=100°、θ=110°、θ=130°、θ=θ 2=140°來測定偏光光線。旋轉子控制部34a係為了將檢光子311a設為前述4個角度位置之任一，對於旋轉致動器311d輸出驅動指令。

輸入訊號轉換部34b係輸入第一照度感測器 311b所檢測出之照度資訊的檢測照度值(照度計數值)Cd，及第二照度感測器312a所檢測之照度資訊的參照照度值(照度計數值)Cr，放大該等檢測訊號並輸出至偏光特性運算部34c。

在此，第一照度感測器311b與第二照度感測器312a係在相同時機檢測受光光線的照度者，輸入訊號轉換部34b係以輸入兩個感測器同時檢測出之兩個檢測訊號之方式構成。

偏光特性運算部34c係依據從輸入訊號轉換部34b輸入的照度資訊，運算出從光照射部10A、10B照射之偏光光線的偏光特性。在本實施形態中，偏光特性運算部34c係作為前述偏光特性，測定偏光軸角度與消光比。

畫像顯示部34d係將以偏光特性運算部34c運算出的偏光特性，輸出至監視器35。

搬送控制部34e係驅動控制X方向搬送部32及Y方向搬送部33，將偏光軸檢測器31往XY方向移動，移動至所定偏光測定位置。

控制部34及監視器35係以不受到從放電燈11放射之紫外光的影響(主要是熱的影響)之方式，設置在離開偏光軸檢測器31、X方向搬送部32及方向搬送部33的位置。控制部34係將對偏光軸檢測器31之驅動指令的輸出及來自偏光軸檢測器31之檢測訊號的取得等，透過未圖示的纜線進行。

圖9係揭示以控制部34執行之偏光測定處理順序的流程圖。此偏光測定處理係揭示所定偏光測定位置之偏光光線的測定順序者。

首先，在步驟S1中，控制部34係從旋轉子控制部34a對於旋轉致動器311d，輸出驅動指令，使檢光子311a旋轉至指定角度為止。在此，指定角度的初始值設為θ=θ 1。

接著，在步驟S2中，控制部34係從第一照度感測器311b取得檢測照度值Cd，從第二照度感測器312a取得參照照度值Cr，轉移至步驟S3。

在步驟S3中，以前述步驟S2中取得之檢測照度值Cd來除參照照度值Cr，計算出修正後照度值Cc(Cc=Cr/Cd)。該修正後照度值Cc係以參照照度值Cr來修正包含於檢測照度值Cd之來自放電燈11的光線之每小時的照度變動所致之誤差者。

接著，在步驟S4中，控制部34係判定預先設定之所有角度位置中照度測定是否完成。然後，在判斷照測定並未完成時，重新設定指定角度而轉移至前述步驟S1，在判斷照度測定已完成時，轉移至步驟S5。

在步驟S5中，控制部34係依據前述步驟S3中計算出之各角度位置之修正後照度值Cc，計算出偏光光線的偏光軸。

在本實施形態中，以各修正後照度值Cc為基準來進行曲線擬合，求出表示檢光子311a之旋轉角度與 修正後照度值Cc的關係的偏光光線角度特性(以下，單稱為「角度特性」)。該偏光光線角度特性係表示通過使檢光子311a旋轉時的檢光子311a之偏光光線的照度之週期性變化者，上述之照度變動所致之誤差被修正過的適切之特性。然後，根據求出的角度特性來計算出偏光軸角度。

在此，作為擬合函數，例如使用Acos²(θ+B)+C的函數。再者，作為擬合函數，也可使用其他函數。

圖10係揭示前述角度特性之一例的圖。在此，測定偏光光線的角度位置，係設為θ=120°±10°、θ=120°±20°的4處。

於該圖10中，縱軸是監視器照度計數值[%]，橫軸是檢光子311a的旋轉角度θ[度]。圖中虛線是參照照度值Cr，點a~d係各角度位置中計算出之修正後照度值Cc進行作圖者。又，曲線F係以該等4個測定點a~d為基準，藉由最小平方法及牛頓法來進行擬合，利用求出常數A、B、C所得之曲線，相當於前述偏光光線角度特性。

於該角度特性F中，監視器照度計數值成為最小的角度，是檢光子311a的透射軸與偏光子13Aa(或13Ba)的透射軸實際正交之檢光子311a的旋轉角度。又，從監視器照度計數值成為最小的角度減去90°的角度，是監視器照度計數值成為最大的角度，也就是檢光子311a的透射軸與偏光子13Aa(或13Ba)的透射軸實際一 致之檢光子311a的旋轉角度。

在此，監視器照度計數值成為最小的角度，係藉由上述之曲線擬合所求出的參數B，對於設定基準值θ a包含所定偏移θ b角者(B=θ a+θ b)。因此，控制部34係以角度(θ a+θ b)為基準，輸出實際的偏光軸角度(偏光子13Aa、13Ba之透射軸的方向)。

檢光子311a的旋轉角度係如上所述，藉由對於基準位置P0的角度θ來規定。因此，偏光軸角度是與檢光子311a相同藉由對於基準位置P0的角度來規定時，控制部34係作為實際的偏光軸角度，輸出從角度(θ a+θ b)減去90°的角度。又，偏光軸角度是藉由對於從基準位置P0偏移90°的位置的角度來規定時，控制部34係作為實際的偏光軸角度，直接輸出角度(θ a+θ b)。

接著，在步驟S6中，控制部34係到前述步驟S5中計算出之監視器照度計數值成為最小的角度(θ a+θ b)為止使檢光子311a旋轉，轉移至步驟S7。

在步驟S7中，控制部34係從第一照度感測器311b取得檢測照度值Cd(圖10的測定點e)，並將此設為偏光光線的最小照度，轉移至步驟S8。

在步驟S8中，控制部34係到前述步驟S5中計算出之監視器照度計數值成為最小的角度(θ a+θ b-90°)為止使檢光子311a旋轉，轉移至步驟S9。

在步驟S9中，控制部34係從第一照度感測器311b取得檢測照度值Cd(圖10的測定點f)，並將此 設為偏光光線的最大照度，轉移至步驟S10。

在步驟S10中，控制部34係依據前述步驟S7中取得之最小照度，與前述步驟S9中取得之最大照度的比(最大照度/最小照度)，計算出消光比。

在步驟S11中，控制部34係從畫像顯示部34d對於監視器35，輸出前述步驟S5中運算出之偏光軸角度與前述步驟S10中運算出之消光比。藉此，於監視器35顯示偏光特性的測定結果。

再者，圖9的步驟S1~S4對應旋轉控制部，步驟S5~S10對應偏光特性運算部。又，步驟S5對應偏光軸角度運算部，步驟S6~S10對應消光比運算部。

接著，針對本實施形態的動作及效果進行說明。

首先，控制部34係驅動控制X方向搬送部32及Y方向搬送部33，將偏光光線檢測器31配置於偏光子單元13A的複數偏光子13Aa中位於Y方向的最遠端的偏光子13Aa的正下方。如此，控制部34係將偏光光線檢測器31配置於通過偏光特性的測定對象之偏光子31Aa的偏光光線的照射區域。

在設定基準值θ a=120°之狀況中，檢光子311a是θ=120°時，第一照度感測器311b所檢測出之偏光光線的照度應該會成為最小。因此，首先，控制部34係驅動控制旋轉致動器311d，使檢光子311a以成為θ=θ a-20°=100°之方式旋轉。

然後，在此狀態下，利用第一照度感測器311b與第二照度感測器312a，同時測定偏光光線的照度，控制部34係取得以該等兩個感測器所測定之照度資訊。亦即，控制部34係從第一照度感測器311b，取得通過檢光子311a的偏光光線之照度資訊的檢測照度值Cd，從第二照度感測器312a，取得未通過檢光子311a的偏光光線之照度資訊的參照照度值Cr。

接著，控制部34係驅動控制旋轉致動器311d，使檢光子311a以成為θ=100°的位置到θ=110°之方式旋轉。然後，在其位置中，控制部34係取得以第一照度感測器311b與第二照度感測器312a所測定之檢測照度值Cd與參照照度值Cr。

之後，控制部34係使檢光子311a分別旋轉成θ=130°與θ=140°，同樣地取得以第一照度感測器311b與第二照度感測器312a所測定之檢測照度值Cd與參照照度值Cr。

然後，控制部34係依據在各角度位置中所得之檢測照度值Cd與參照照度值Cr，計算出圖10所示之角度特性。

檢測照度值Cd是通過檢光子311a之偏光光線的照度值，所以，值會因應偏光子13Aa之透射軸與檢光子311a之透射軸所成的角而變動。所以，利用一邊使檢光子311a的旋轉角度θ變化，一邊監視檢測照度值Cd的變動，可計算出表示檢光子311a之旋轉角度與通過檢光子 311a的偏光光線之照度資訊的關係的角度特性。

然而，光源的放電燈11係因為電弧的搖動而光量時時刻刻在變化，在使檢光子311a的旋轉角度θ變化之間發生來自放電燈11之放射光的光量變化的現象。

因此，不考慮該放電燈之電弧的搖動，直接使用檢測照度值Cd來計算角度特性的話，會計算出包含從放電燈11照射之光線的每小時的照度變動所致之誤差的角度特性，偏光測定精度會明顯降低。

因此，在本實施形態中，以第一照度感測器311b測定通過檢光子311a之來自光照射部的偏光光線的照度，與此同步，以第二照度感測器312a測定不通過檢光子311a之來自光照射部的偏光光線的照度。亦即，藉由以兩者觀察相同電弧的搖動，將以第二照度感測器312a所得之參照照度值Cr，使用來作為以第一照度感測器311b所得之檢測照度值Cd的基準值。

控制部34係利用將從第一照度感測器311b所得之檢測照度值Cd，除以從第二照度感測器312a所得之參照照度值Cr，修正起因於檢測照度值Cd所包含之電弧的搖動的照度變動所致之誤差。然後，以修正後的照度值(修正後照度值Cc)為基準，使用曲線擬合的手法來計算出如圖10所示之角度特性F。

如上所述，同時測定之檢測照度值Cd及參照照度值Cr係電弧的搖動條件相同。所以，利用使用修正後照度值Cc，即使在使檢光子311a旋轉中電弧變化，也 可高精度地計算出角度特性。

控制部34係計算出如圖10所示之角度特性F時，依據該角度特性F來計算出偏光軸角度。具體來說，以角度特性F為基準，特定通過檢光子311a之偏光光線的照度成為最小之檢光子311a的旋轉角度(θ a+θ b)，並以此為基準，輸出實際的偏光軸角度。

接著，控制部34係使用角度特性F，計算出偏光光線的消光比。首先，控制部34係為了檢測出偏光光線的最小照度，驅動控制旋轉致動器311d，將檢光子311a旋轉成θ=(θ a+θ b)。在此狀態下，控制部34係從第一照度感測器311b取得最小照度值的檢測照度值Cd(圖10的測定點e)。

接下來，控制部34係為了檢測出偏光光線的最大照度，驅動控制旋轉致動器311d，將檢光子311a旋轉成θ=(θ a+θ b-90°)。在此狀態下，控制部34係從第一照度感測器311b取得最大照度值的檢測照度值Cd(圖10的測定點f)。

然後，控制部34係依據最小照度值與最大照度值的比(最大照度值/最小照度值)來計算出消光比。

藉由以上內容，可獲得通過偏光子單元13A的複數偏光子13Aa中位於Y方向最遠端之偏光子13Aa之偏光光線的偏光特性。接著，控制部34係驅動控制Y方向搬送部33，將偏光光線檢測器31配置於與之前測定出偏光特性之偏光子13Aa鄰接的偏光子13Aa的正下 方。如此，依序切換偏光特性的測定對象，測定偏光特性。

對於偏光子單元13A之所有偏光子13Aa的偏光特性測定完成時，控制部34係驅動控制X方向搬送部33及Y方向搬送部33，將偏光光線檢測器31配置於偏光子單元13B的複數偏光子13Ba中位於Y方向的最遠端之偏光子13Ba的正下方。然後，與偏光子單元13A的狀況相同，對於各偏光子13Ba分別測定偏光特性。

於定點中，如上所述，檢測出檢測照度值Cd與參照照度值Cr，以將參照照度值Cr以檢測照度值Cd修正之資料為基準，測定偏光軸角度的結果，揭示於圖11的α。在此，圖11的縱軸是偏光軸角度，橫軸是偏光軸角度的測定次數。如實驗結果α所示，在本實施形態中，被測定的偏光軸角度幾乎沒有偏離，標準差3 σ為0.004。亦即，被測定的偏光軸角度係在±0.004°之偏差極小的範圍中包含99.7%。

作為比較例，如本實施形態，不進行參照照度值Cr所致之修正，僅使用檢測照度值Cd來測定偏光軸角度。於圖11的β揭示其結果。

如實驗結果β所示，在比較例中測定結果會變動，有時也分散可見較強的突出值。此係因為使檢光子311a旋轉，在角度不同之4處中測定偏光光線之間發生電弧的搖動，無法穩定測定偏光軸角度。如此，可視覺上理解到因為電弧的搖動而測定結果不均。

又，統計比較例的測定結果，結果，被測定之偏光軸角度的標準差3 σ為0.035。亦即，被測定的偏光軸角度具有±0.035°的偏差。

於偏光光線照射裝置100中，根據光配向處理的要求精度的觀點，將偏光軸角度對於設定值調整為±0.05°以內為佳。亦即，偏光測定的要求精度為±0.01°程度為佳。然而，在前述比較例中，無法滿足偏光測定的要求精度。

在本實施形態中，除了具有檢光子之第一偏光光線檢測部311之外，具備不透過檢光子直接檢測偏光光線的第二偏光檢測部312，以第一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312，同時檢測相同偏光光線。

所以，可將以第二偏光光線檢測部312所檢測出之照度資訊，設為偏光光線的基準照度資訊，來修正以第一偏光光線檢測部311所檢測出之照度資訊所包含之起因於放電燈11的電弧之搖動的每小時的照度變動所致之誤差。因此，可高精度地計算出表示使第一偏光光線檢測部311的檢光子311a旋轉時之檢測光線的照度之週期性變化的角度特性，且可高精度地計算出偏光軸角度及消光比。

又，第一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312係並排配置於放電燈11的長邊方向。如此，因為並排配置於放電燈11的照度變動較少的方向，所以，可減少各場所的依存性，可獲得有信賴性的測定結果。

尤其，在作為光源而適用雙燈方式以上的燈管時，第 一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312並排配置於燈管的管徑方向的話，會容易受到從與測定對象的燈管鄰接的燈管放射之光線的影響，無法獲得有信賴性的測定結果。在本實施形態中，將第一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312並排配置於放電燈11的長邊方向，所以，即使在作為光源而適用雙燈方式以上的燈管之狀況中，也可獲得有信賴性的測定結果。

進而，第一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312係在並排配置於放電燈11的正下方之狀態下使用，關於熱的條件較為嚴格。例如，以鋁等來形成保持檢光子311a的保持構件時，因為從放電燈11放射之紫外光(熱)的影響而該保持構件會熱膨脹，檢光子311a與受光部311c的相對位置會偏離，有以受光部311c所檢測出之光線的照度變化之虞。

在本實施形態中，於第一偏光光線檢測部311與第二偏光光線檢測部312，分別設置用以冷卻第一照度感測器311b、第二照度感測器312a的冷卻機構，可穩定檢測出偏光光線。

又，以第二偏光光線檢測部312所檢測出之照度資訊(參照照度值Cr)為基準，來修正以第一偏光光線檢測部311所檢測出之照度資訊(檢測照度值Cd)時，利用將檢測照度值Cd除以參照照度值Cr，計算出修正過起因於放電燈11的電弧之搖動的每小時的照度變動所致之誤差的修正後照度值Cc。如此，可利用比較簡單 的手法，來修正前述誤差。

進而，偏光光線的測定點係設為將跨越以使第一偏光光線檢測部311的檢光子311a旋轉時之檢測光線的照度成為最小之方式設定的設定基準值θ a之所定旋轉角度範圍內的4處。然後，依據該等4處之測定點的照度資訊，計算出表示使第一偏光光線檢測部311的檢光子311a旋轉時之檢測光線的照度之週期性變化的角度特性。

如此，將在檢測光線的照度成為最小的角度的附近測定出之照度資訊，用於角度特性的計算，所以，可計算出抑制雜訊成分之影響的角度特性。

又，因為設置直接檢測來自光照射部10A、10B之偏光光線的第二偏光光線檢測部，也可一邊測定偏光光線的偏光軸角度及消光比，一邊測定偏光光線的照度。如此，可同時進行偏光光線之偏光特性的測定與偏光光線之照度的測定，可獲得高效率。

如上所述，在本實施形態中，即使在使用具有每小時的照度變動的光源之狀況中，也不受到該照度變動的影響，可簡便且高精度地測定偏光光線的偏光軸角度及消光比。

所以，可適切判斷從光照射部照射之偏光光線的偏光軸是否成為所希望之偏光軸等。然後，在未成為所希望之偏光軸時，為了成為所希望之偏光軸，可進行調整光照射部之偏光子的配置角度等的處理，可進行適切的光配向處 理。

(變形例)

於前述實施形態中，已針對利用將檢測照度值Cd除以參照照度值Cr，來計算出修正後照度值Cc之狀況進行說明，但是，例如也可適用其他方式。

以下，作為其他方式，針對使用減算與平均值來修正的方式進行說明。

首先，在θ=θ a±20°、θ=θ a±10°的合計4處中，第一偏光光線檢測部311及第二偏光光線檢測部312係分別測定檢測照度值Cd及參照照度值Cr。在此，將各指定角度中測定之檢測照度值Cd設為Cd1、Cd2、Cd3、Cd4，將在各指定角度中測定之參照照度值Cr設為Cr1、Cr2、Cr3、Cr4。

然後，控制部34係計算出各指定角度中測定之參照照度值Cr1~Cr4的平均值Cra，作為修正後照度值Cc，計算出從檢測照度值Cdn減去平均值Cra與參照照度值Crn的差分之值。亦即，修正後照度值Cc係Cc1=Cd1-(Cra-Cr1)、Cc2=Cd2-(Cra-Cr2)、Cc3=Cd3-(Cra-Cr3)、Cc4=Cd4-(Cra-Cr4)。

之後的處理係與圖9的步驟S5之後的處理相同。亦即，控制部34係已修正後照度值Cc1~Cc4為基準，藉由最小平方法及牛頓法來進行曲線擬合，求出擬合函數Acos²(θ+B)+C的常數A、B、C。控制部34係如 此計算出偏光光線角度特性。

此時，也可以修正過檢測照度值Cd所包含之起因於放電燈11的電弧之搖動的每小時的照度變動所致之誤差的照度值為基準，求出偏光光線角度特性，可高精度地測定偏光軸角度及消光比。

進而，於前述實施形態中，已針對在θ=θ a±20°與θ=θ a±10°中分別各1次合計4次，以第一偏光光線檢測部311測定照度之狀況進行說明，但是，測定次數係可因應允許測定時間來適當設定。最小平方法所致之計算即使測定點為3處也可進行，所以，測定次數設為3次亦可。在4處進行測定時，藉由使用4個3處的組合，針對個別來計算出角度特性等，提升測定結果的精度亦可。又，當然，測定次數設為5次以上亦可。

又，上述實施形態中，已針對在照度測定時，以每10°間隔使檢光子311a旋轉之狀況進行說明，但是，間隔角度也可適當設定。

進而，於前述實施形態中，已針對將偏光測定位置僅設定於各偏光子13Aa、13Ba的中央1處之狀況進行說明，但是，考慮在1個偏光子內有偏光軸角度的偏差之狀況，也可對於各偏光子設定複數個偏光測定位置。此時，藉由加權平均各偏光測定位置之測定結果等，計算出最後的偏光特性即可。

又，於前述實施形態中，設置以偏光測定裝置30所測定之偏光軸角度為基準，並以偏光子13Aa及偏 光子13Ba的偏光軸角度成為所希望之偏光軸角度之方式，自動調整偏光子13Aa及偏光子13Ba的角度的機構亦可。再者，偏光子13Aa及偏光子13Ba的角度調整，係作業者以手動進行亦可。

進而，於前述實施形態中，已針對將第一照度感測器311b的受光部311c，藉由支持構件311d固定於偏光軸檢測器31的框體之狀況進行說明，但是，受光部311c係作為可與檢光子311a一起旋轉的構造亦可。但是，對於為了穩定測定照度來說，如前述實施形態，固定受光部311c，使檢光子311a與受光部311c相對性旋轉的構造為佳。

又，於前述實施形態中，已針對作為光源而適用雙燈方式的放電燈11之狀況進行說明，但是，作為單燈方式亦可，3燈方式已上亦可。

又進而，於前述實施形態中，已針對作為工件W而使用形成光配向膜之液晶面板之狀況進行說明，但是，例如如視角補償薄膜般，作為捲繞於滾筒之長條帶狀的工件亦可。

Claims (7)

1. 一種偏光測定裝置，其特徵為：具備：偏光軸檢測器，係具備第一偏光光線檢測部與第二偏光光線檢測部，該第一偏光光線檢測部，係具有用以檢測前述偏光軸之可旋轉的檢測用偏光子，與檢測通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的第一照度感測器，該第二偏光光線檢測部，係具有直接檢測來自前述光源的偏光光線之照度資訊的第二照度感測器，且並排設置於前述第一偏光光線檢測部；及偏光光線測定部，係依據利用前述偏光軸檢測器檢測出的照度資訊，來測定前述偏光光線；前述偏光光線測定部，係具備：旋轉控制部，係使前述檢測用偏光子，旋轉成複數指定角度；照度資訊修正部，係依據於前述複數指定角度中以前述第一照度感測器所檢測出之照度資訊的檢測照度值，與同步於前述第一照度感測器所致之該檢測照度值的檢測，以前述第二照度感測器所檢測出之照度資訊的參照照度值，來運算出修正包含於前述檢測照度值之從前述光源照射之偏光光線的每小時的照度變動所致之誤差的修正後照度值；及偏光特性運算部，係運算出表示前述檢測用偏光子的旋轉角度與以前述照度資訊修正部所運算出之修正後照度值的關係的偏光光線角度特性，且以該偏光光線角度特性為基準，運算出來自前述光源的偏光光線的偏光特性。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之偏光測定裝置，其中，前述照度資訊修正部，係將以前述第一照度感測器所檢測出之前述檢測照度值，除以同步於該檢測照度值的檢測而以前述第二照度感測器所檢測出之前述參照照度值，藉此運算出前述修正後照度值。
3. 如申請專利範圍第1項所記載之偏光測定裝置，其中，前述照度資訊修正部，係由以前述第一照度感測器所檢測出之前述檢測照度值，減去於前述複數指定角度中以前述第二照度感測器所檢測出之各參照照度值的平均值與同步於前述檢測照度值的檢測而以前述第二照度感測器所檢測出之前述參照照度值的差分，藉此運算出前述修正後照度值。
4. 如申請專利範圍第1項所記載之偏光測定裝置，其中，前述偏光特性運算部，係具備：偏光軸角度運算部，係以前述偏光光線角度特性為基準，特定通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線的照度成為極值之前述檢測用偏光子的旋轉角度，並依據特定出的旋轉角度，作為前述偏光特性，運算出前述偏光光線的偏光軸角度。
5. 如申請專利範圍第1項所記載之偏光測定裝置，其中，前述偏光特性運算部，係具備：消光比運算部，係以前述偏光光線角度特性為基準，特定通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度的最大值與最小值，並依據特定出的最大值與最小值，作為前述偏光特性，運算出前述偏光光線的消光比。
6. 一種偏光測定方法，係測定從光源照射之偏光光線的偏光測定方法，其特徵為具備：使用以檢測前述偏光軸的檢測用偏光子，旋轉成複數指定角度，並檢測於各指定角度中通過該檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的檢測照度值的步驟；與檢測通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的時機同步，直接檢測不通過前述檢測用偏光子之來自前述光源的偏光光線之照度資訊的參照照度值的步驟；依據於前述複數指定角度中檢測出之前述檢測照度值與前述參照照度值，運算出修正包含於前述檢測照度值之從前述光源照射之偏光光線的每小時的照度變動所致之誤差的修正後照度值的步驟；運算出表示前述檢測用偏光子的旋轉角度與前述修正後照度值之關係的偏光光線角度特性的步驟；及以前述偏光光線角度特性為基準，運算出來自前述光源的偏光光線之偏光特性的步驟。
7. 一種偏光光線照射裝置，係對配向膜照射偏光光線來進行光配向的偏光光線照射裝置，其特徵為具備：光照射部，係具有線狀光源，與沿著該線狀光源延伸存在之方向來配設的複數偏光子，照射藉由前述偏光子使前述線狀光源的光線偏光的偏光光線；及前述申請專利範圍第1項所記載之偏光測定裝置，係測定前述光照射部所照射之偏光光線。