TWI631576B - 流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法 - Google Patents

流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI631576B
TWI631576B TW106103318A TW106103318A TWI631576B TW I631576 B TWI631576 B TW I631576B TW 106103318 A TW106103318 A TW 106103318A TW 106103318 A TW106103318 A TW 106103318A TW I631576 B TWI631576 B TW I631576B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
frame member
preface
horizontal frame
groove
fluid control
Prior art date
Application number
TW106103318A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201738468A (zh
Inventor
落石将彥
博
宇波博志
才記由次
Original Assignee
富士金股份有限公司
日立國際電氣股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士金股份有限公司, 日立國際電氣股份有限公司 filed Critical 富士金股份有限公司
Publication of TW201738468A publication Critical patent/TW201738468A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI631576B publication Critical patent/TWI631576B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0821—Attachment or sealing of modular units to each other
    • F15B13/0825—Attachment or sealing of modular units to each other the modular elements being mounted on a common member, e.g. on a rail
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0878—Assembly of modular units
    • F15B13/0885—Assembly of modular units using valves combined with other components
    • F15B13/0892—Valves combined with fluid components
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B5/00—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them
    • F16B5/02—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them by means of fastening members using screw-thread
    • F16B5/0216—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them by means of fastening members using screw-thread the position of the plates to be connected being adjustable
    • F16B5/0225—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them by means of fastening members using screw-thread the position of the plates to be connected being adjustable allowing for adjustment parallel to the plane of the plates
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B5/00—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them
    • F16B5/10—Joining sheets or plates, e.g. panels, to one another or to strips or bars parallel to them by means of bayonet connections
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
    • F16L3/22—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets specially adapted for supporting a number of parallel pipes at intervals
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0878—Assembly of modular units
    • F15B13/0885—Assembly of modular units using valves combined with other components
    • F15B13/0889—Valves combined with electrical components
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B7/00—Connections of rods or tubes, e.g. of non-circular section, mutually, including resilient connections
    • F16B7/04—Clamping or clipping connections
    • F16B7/044—Clamping or clipping connections for rods or tubes being in angled relationship
    • F16B7/0446—Clamping or clipping connections for rods or tubes being in angled relationship for tubes using the innerside thereof
    • F16B7/0473—Clamping or clipping connections for rods or tubes being in angled relationship for tubes using the innerside thereof with hook-like parts gripping, e.g. by expanding, behind the flanges of a profile

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Supports For Pipes And Cables (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Connection Of Plates (AREA)

Abstract

提供一種，可將氣體管線部對框架有效率且容易裝著的流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法。框架(2)的第1橫框架構件(10)係具備：朝左右方向延伸的勾掛構件(16)、位於比勾掛構件(16)還下側並且被形成有朝前方開口之複數個第1溝(13c)的下側部(13)。朝上下方向延伸的管線支持構件(30)係具有：平板狀的機器載置部(31)、從機器載置部(31)的左右兩緣往後方突出的一對側板部(32)。各側板部(32)係具有：位於比勾掛構件(16)還下側的基部(36)、位於比基部(36)還上側且為勾掛構件(16)之後側的上方部(37)。在基部(36)係形成有，往後方開口並被嵌入至第1溝(13c)中的第2溝(36a)；在上方部(37)係設置有，往前方突出並從上側抵接於勾掛構件(16)的突起部(37A)。

Description

流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法
本發明係有關於半導體製造裝置等中所被使用的流體控制裝置，及氣體管線部的裝卸方法。
先前以來，半導體製造裝置之框體的垂直壁面上所被固定的流體控制裝置，係被提出(例如參照專利文獻1)。各氣體管線部的管線保持構件，係將其鉤狀的上端部勾掛至上橫框架構件的缺口，將管線保持構件之下端嵌入至下橫框架的狹縫，將上部罩蓋及下部罩蓋藉由螺栓對上橫框架構件及下橫框架構件做固定，藉此以將管線保持構件的上端部及下端部對上橫框架構件及下橫框架構件做固定。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]日本特開2012-241823號公報
可是，在專利文獻1中的流體控制裝置中，在管線保持構件裝卸之際，必須要拆卸上部罩蓋及下部罩蓋，但由於與其他機器之關係，上部罩蓋的上側係沒有什麼空間，上部罩蓋的拆卸係為困難。再者，將管線保持構件對上橫框架構件進行裝卸之際，必須要先使管線保持構件的上端部通過上橫框架的上側，但由於上部罩蓋的上側沒有什麼空間，因此管線保持構件的裝卸係為困難。又，使用螺栓來固定管線保持構件，因此作業效率不佳。
於是本發明的目的在於提供一種，可將氣體管線部對框架有效率且容易裝著的流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法。
為了解決上記目的，本發明之一態樣的流體控制裝置，係為具備被安裝有複數流體控制機器之管線支持構件的氣體管線部，是被可裝卸地安裝至框架的流體控制裝置，其中，前記框架係具有，第1橫框架構件及位於其下側的第2橫框架構件；前記第1橫框架構件係具備：朝左右方向延伸的勾掛構件、和位於比前記勾掛構件還下側且被形成有往前方開口之複數個第1溝的下側部；上下方向延伸的前記管線支持構件係具有：平板狀機器載置部、和從前記機器載置部的左右兩緣往後方突出的一對側板部；各側板部係具有：位於比前記勾掛構件還下側的基 部、和位於比前記基部還上側且為前記勾掛構件之後側的上方部；在前記基部係形成有，往後方開口並被嵌入至前記第1溝中的第2溝；在前記上方部係設有，往前方突出並從上側抵接於前記勾掛構件的突起部。
又，亦可在前記上方部之後端係形成有，從其上端越往下方前進而越從前記機器載置部遠離的傾斜面。
又，亦可在前記管線支持構件之下端係設有，藉由螺栓而被固定在前記第2橫框架構件的螺栓固定部；前記螺栓固定部，係在藉由前記螺栓而被固定在前記第2橫框架構件的狀態下，是隨著越往下方前進就越往前方地傾斜。
又，亦可在前記第2橫框架構件係形成有，朝左右方向排列的複數個第1固定孔；在前記管線支持構件之下端係設有，被形成有第2固定孔的螺栓固定部；藉由在前記第2固定孔及對應之前記第1固定孔中插入螺栓，前記螺栓固定部係被固定在前記第2橫框架構件。
又，亦可在前記第2橫框架構件係形成有，朝左右方向延伸並往前方開口的狹縫；在前記管線支持構件之下端係設有，被形成有第2固定孔的螺栓固定部；藉由在前記第2固定孔及前記狹縫中插入螺栓，前記螺栓固定部係被固定在前記第2橫框架構件。
又，本發明之一態樣的氣體管線部對框架的裝卸方法，係為對框架裝卸氣體管線部之方法，其中，該 框架係為：具有第1橫框架構件及位於前記第1橫框架構件之下側的第2橫框架構件，前記第1橫框架構件係具備：朝左右方向延伸的勾掛構件、和位於比前記勾掛構件還下側且被形成有往前方開口之複數個第1溝的下側部；該氣體管線部係為：具備上下方向延伸的管線支持構件，其係具有讓複數流體控制機器做安裝的平板狀的機器載置部、和從前記機器載置部的左右兩緣往後方突出的一對側板部；各側板部係具有基部、和位於比前記基部還上側的上方部；在前記基部係形成有往後方開口的第2溝；在前記上方部係設有往前方突出的突起部；其中，在使前記氣體管線部對上下方向呈傾斜的狀態下，將前記管線支持構件的各基部的前記第2溝，嵌入至前記第1橫框架構件的前記下側部的前記第1溝中，使前記上方部位於前記勾掛構件之後側；以前記第2溝為中心，使前記氣體管線部旋轉以使前記上方部朝向前方，使前記上方部的前記突出部從上側抵接於前記第1橫框架構件的前記勾掛構件，使前記氣體管線部對前記第1橫框架構件呈現懸吊狀態。
又，亦可在前記上方部與前記第1溝之間係設有，具有面朝下方之落差面的落差部；在使前記氣體管線部對上下方向呈傾斜的狀態下，將前記落差部的前記落差面，載置於前記第1橫框架構件的前記下側部之上面；使前記氣體管線部往斜上方移動，將前記管線支持構件的各基部的前記第2溝，嵌入至前記第1橫框架構件的前記下側部的前記第1溝中。
若依據本發明，則可提供一種，可將氣體管線部對框架有效率且容易裝著的流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法。
1‧‧‧流體控制裝置
2‧‧‧框架
3‧‧‧氣體管線部
4‧‧‧第1縱框架構件
5‧‧‧第2縱框架構件
7‧‧‧流體控制機器
9‧‧‧螺栓
10‧‧‧第1橫框架構件
13‧‧‧第1下側部
13c‧‧‧第1溝
16‧‧‧勾掛構件
20，120‧‧‧第2橫框架構件
22a‧‧‧第1固定孔
30‧‧‧管線支持構件
31‧‧‧機器載置部
32‧‧‧側板部
33B‧‧‧螺栓固定部
33c‧‧‧第2固定孔
36‧‧‧基部
36a‧‧‧第2溝
37‧‧‧上方部
37A‧‧‧突起部
37C‧‧‧第1傾斜面
120a‧‧‧狹縫
[圖1]本實施形態所述之流體控制裝置的斜視圖。
[圖2]一個氣體管線部被裝著於框架之狀態的圖示。
[圖3](a)係將第1橫框架構件做了部分省略的斜視圖，(b)係第1橫框架構件的部分放大圖。
[圖4]第2橫框架構件的部分省略斜視圖。
[圖5](a)係管線支持構件的部分省略斜視圖，(b)係管線支持構件的部分省略側面圖。
[圖6]將氣體管線部裝著於第1橫框架構件及第2橫框架構件之狀態的部分省略側面圖。
[圖7]將管線支持構件裝著於第1橫框架構件及第2橫框架構件之狀態下的管線支持構件的卡合部及固定部附近的放大斜視圖。
[圖8]氣體管線部對框架之裝著方法的說明圖。
[圖9]第2橫框架構件的變形例的圖示。
有關本發明的實施形態所述之流體控制裝置1及氣體管線部3的裝卸方法，參照圖式來加以說明。以下的說明中如圖1所示般地定義上下方向、左右方向、及前後方向。
圖1係圖示了本實施形態所述之流體控制裝置1的斜視圖。圖2係一個氣體管線部3被裝著於框架2之狀態的圖示。
如圖1所示，流體控制裝置1係具備：框架2、和複數個氣體管線部3(為了簡化圖示而只對一個氣體管線部3標示元件號碼)。
框架2係被固定於例如半導體製造裝置之框體的垂直壁面。框架2係呈方形的框狀，具備：第1橫框架構件10、第2橫框架構件20、第1縱框架構件4，第2縱框架構件5。第2橫框架構件20，係與第1橫框架構件10呈平行，位於第1橫框架構件10之下側。第1縱框架構件4及第2縱框架構件5，係正交於第1橫框架構件10及第2橫框架構件20，分別被連接至它們的端部。各框架構件10、20、4、5，係以例如不鏽鋼所構成。
如圖2所示，各氣體管線部3，係被支持在第1橫框架構件10及第2橫框架構件20，具備：管線支持構件30、複數個接榫6、複數個流體控制機器7。各接榫6，係藉由未圖示的螺栓而被固定在管線支持構件30。複數個流體控制機器7，係由自動閥、手動閥、調控器、壓力計、及流量控制機器(例如質量流量控制器(MFC：Mass Flow Controller))等所構成，對接榫6藉由螺栓8(為了簡化圖示而只對一個螺栓8標示元件號碼)而被固定。
接著，關於第1橫框架構件10的詳細結構，參照圖3加以說明。圖3(a)係圖示第1橫框架構件10的部分省略斜視圖，圖3(b)係圖示第1橫框架構件10的部分放大圖。
如圖3(a)、(b)所示，第1橫框架構件10，係藉由將板金彎折而被形成，呈現在前方具有開口10a的剖面略ㄈ字狀，具備第1上側部11、第1後側部12、第1下側部13。
第1上側部11，係呈現朝左右方向延伸並正交於上下方向的平板狀，在其兩端係分別設有，用來安裝第1、2縱框架構件4、5所需的安裝部14。位於一對安裝部14之間的第1上側部11之前端，係設有朝下側突出的第1前側部15。在第1前側部15的後面15A，係有跨越其左右方向之全長而延伸的勾掛構件16，藉由螺栓15B而被固定。
第1後側部12，係從第1上側部11之後端往下側突出，呈現正交於前後方向並朝左右方向延伸的平板狀。
第1下側部13，係從第1後側部12之下端往前側突出，呈現朝左右方向延伸並正交於上下方向的平板狀，在其兩端係分別設有，用來安裝第1、2縱框架構件4、5所需的安裝部17。第1下側部13係具有上面13A與 下面13D。在第1下側部13的前端部13B係形成有，朝前方開口的複數個第1溝13c(為了簡化圖示而只對一個第1溝13c標示元件號碼)。各第1溝13c係被形成為，越往後方寬度就越緩緩變窄。
接著，關於第2橫框架構件20的詳細結構，參照圖4加以說明。
圖4係圖示了第2橫框架構件20的部分省略斜視圖。
如圖4所示，第2橫框架構件20，係藉由將板金彎折而被形成，呈現朝後方開口的剖面略逆ㄈ的字狀，具備第2上側部21、第2前側部22、第2下側部23。
第2上側部21係呈現朝左右方向延伸並正交於上下方向的平板狀。第2前側部22，係從第2上側部21之前端往下側突出，呈現朝左右方向延伸並正交於前後方向的平板狀。在第2前側部22的兩端係分別設有，用來安裝第1、2縱框架構件4、5所需的安裝部24。在第2前側部22的一對安裝部24之間係形成有，朝左右方向排列的複數個第1固定孔22a(為了簡化圖示而只對一個第1固定孔22a標示元件號碼)。第2下側部23，係從第2前側部22之下端往後方突出，呈現朝左右方向延伸並正交於上下方向的平板狀。
接著，關於管線支持構件30的詳細結構，參照圖5來加以說明。
圖5(a)係圖示管線支持構件30的部分省略斜視圖，圖5(b)係圖示管線支持構件30的部分省略側面圖。
管線支持構件30係例如藉由將不鏽鋼的板材予以彎折而被形成。管線支持構件30係具有：朝上下方向延伸的平板狀的機器載置部31、從機器載置部31的左右兩緣往後方突出的一對側板部32、被設在機器載置部31之下端的固定部33。
在機器載置部31係複數形成有，與用來固定接榫6的未圖示之螺栓做螺合的接榫孔31a(為了簡化圖示而只對一個接榫孔31a標示元件號碼)。
一對側板部32，係具有相同形狀。各側板部32係呈現朝上下方向延伸的平板狀，具有卡合部34、和位於卡合部34之下側的板狀部35。卡合部34，係在管線支持構件30被裝著於框架2時，位於比第1橫框架構件10的第1下側部13還上側。
卡合部34係具備：從機器載置部31之右緣直接往後方突出的基部36、和從基部36之上端往上方延伸的上方部37。在上方部37係設有，從其上端部往前方突出的突起部37A。藉由基部36、上方部37、及突起部37A，形成了往前方開口的凹部37b。在上方部37之後端係形成有，從其上端越往下方前進而越從機器載置部31遠離的第1傾斜面37C。
在基部36之下端係形成有，往後方開口的第 2溝36a。第2溝36a之下側部分，係藉由隨著從機器載置部31越遠離而越往下方傾斜的第2傾斜面36B，而被形成。在基部36之後端且為第2溝36a的上側，係有缺口36c是沿著上下方向而被形成。藉由該當缺口36c，在基部36之後端係被形成有，具有面朝下方之落差面36D的落差部36E。此外，基部36之後端係藉由：從第1傾斜面37C之下端朝下方延伸的第1後面36F、位於比第1後面36F還下側且前側並形成缺口36c的第2後面36G、將第1後面36F與第2後面36G做連接的落差面36D所構成。
固定部33係具備：被連接在機器載置部31之下端並往後方突出的連接部33A、從連接部33A之後端往下方突出的螺栓固定部33B。連接部33A係對機器載置部31而被彎折成直角。螺栓固定部33B，係越往下方就越往前方傾斜，並被形成有用來插入螺栓9所需的一對第2固定孔33c。
接著，關於將氣體管線部3裝著於框架2之狀態下的管線支持構件30與第1橫框架構件10及第2橫框架構件20之關係，參照圖6、7加以說明。
圖6係圖示了，將氣體管線部3裝著於第1橫框架構件10及第2橫框架構件20之狀態的部分省略側面圖。圖7係圖示了，將管線支持構件30裝著於第1橫框架構件10及第2橫框架構件20之狀態下的管線支持構件30的卡合部34及固定部33附近的放大斜視圖。
如圖6、7所示，將氣體管線部3裝著於第1橫框架構件10及第2橫框架構件20的狀態下，管線支持構件30的各上方部37，係位於第1橫框架構件10的第1前側部15之後方。然後，各上方部37的突起部37A，係從上側抵接於勾掛構件16，勾掛構件16係位於上方部37的凹部37b內。
又，如圖7所示，管線支持構件30的各基部36的第2溝36a，係以半搭榫接的方式而從前方被嵌入至第1橫框架構件10的第1下側部13的第1溝13c，於左右方向上，氣體管線部3係對框架2而被定位。第1溝13c係以可以收納2個側板部32的寸法而被形成，但隨著越往後方，寬度就越窄(形成推拔部分)。再者，一對側板部32之間隔，是以讓右側的側板部32接觸於對應之第1溝13c之左側的推拔部分，讓左側的側板部32接觸於對應之第1溝13c之右側的推拔部分的間隔，而被形成。因此，管線支持構件30的各基部36的第2溝36a往插入到裡面之際，氣體管線部3就會確實地對框架2做定位。
又，螺栓9，係在螺栓固定部33B中被插入至各第2固定孔33c及第2前側部22的第1固定孔22a，讓管線支持構件30的固定部33被固定於第2橫框架構件20。如上述，螺栓固定部33B，係隨著越往下方就越往前方地傾斜，因此若將螺栓固定部33B以抵接於第2橫框架構件20的第2前側部22的方式而藉由螺栓9加以固定，則往前方側的力會作用於管線支持構件30的上方部37。 藉此，管線支持構件30的上方部37，係被往第1橫框架構件10的第1前側部15推擠。
接著，關於氣體管線部3的裝卸方法，參照圖8來加以說明。
圖8係圖示了氣體管線部3對框架2之裝著方法的說明圖。
如圖8(a)所示，將氣體管線部3對上下方向呈傾斜而保持，將氣體管線部3的卡合部34之一部分，隔著開口10a而插入至第1橫框架構件10內，將各側板部32的卡合部34的基部36插入至第1橫框架構件10的第1下側部13的第1溝13c，同時將各落差部36E的落差面36D載置於第1下側部13的上面13A上。藉此，氣體管線部3的自重的大部分，就會被第1橫框架構件10所支持。
如圖8(b)所示，使各卡合部34的基部36的第2後面36G沿著第1下側部13的第1溝13c而往斜上方滑動，同時如圖8(c)所示，使氣體管線部3上升直到卡合部34的基部36的第2傾斜面36B抵接於第1下側部13的下面13D。
接著，使管線支持構件30的各基部36的第2溝36a，嵌入至第1橫框架構件10的第1下側部13的第1溝13c，同時以第2溝36a為中心而使氣體管線部3旋轉以使其固定部33靠近於第2前側部22。藉此，管線支持構件30的各上方部37的突起部37A，係從上側抵接於 第1橫框架構件10的第1前側部15上所被設置的勾掛構件16，勾掛構件16就會位於上方部37的凹部37b內。其結果為，氣體管線部3係變成對第1橫框架構件10呈現懸吊狀態。
將螺栓9，在螺栓固定部33B中插入至各第2固定孔33c及第2前側部22的第1固定孔22a，將管線支持構件30的固定部33固定於第2橫框架構件20。
又，將氣體管線部3從框架2拆下之際，係進行根據圖8(a)~(d)所說明的相反順序。亦即，將螺栓9從固定部33的螺栓固定部33B及第2橫框架構件20的第2前側部22拆下，以第2溝36a為中心使氣體管線部3旋轉以使其固定部33從第2前側部22遠離。將各基部36的第2溝36a從第1下側部13的第1溝13c拆下，使各基部36的第2後面36G沿著第1下側部13的第1溝13c滑動，同時使氣體管線部3下降直到各落差部36E的落差面36D抵接於第1下側部13的上面13A。然後，藉由使各卡合部34從第1橫框架構件10分離，氣體管線部3就被從框架2拆下。
如以上所述，若依據本實施形態的流體控制裝置1，則朝上下方向延伸的管線支持構件30係具有：平板狀的機器載置部31、從機器載置部31的左右兩緣往後方突出的一對側板部32。各側板部32係具有：位於比勾掛構件16還下側的基部36、位於比基部36還上側且為勾掛構件16之後側的上方部37。在基部36係形成 有，往後方開口並被嵌入至第1橫框架構件10的第1溝13c中的第2溝36a；在上方部37係設置有，往前方突出並從上側抵接於勾掛構件16的突起部37A。
藉由所述構成，使管線支持構件30的各基部36的第2溝36a，嵌入至第1橫框架構件10的第1下側部13的第1溝13c，使上方部37位於勾掛構件16之後側，以第2溝36a為中心而使氣體管線部3旋轉以使其上方部37朝向前方，使上方部37的突起部37A從上側抵接於第1橫框架構件10的勾掛構件16，可使氣體管線部3變成對第1橫框架構件10呈現懸吊狀態。藉此，即使第1橫框架構件10的上側沒有空間，仍可容易將氣體管線部3對框架2做裝著。又，由於不必使用螺栓等之固定具就裝著，因此可提升氣體管線部3對框架2裝著時的作業效率。此外，不只有在裝著時，就連在將氣體管線部3從框架2拆卸下來之際，也可容易拆下，可提升作業效率。
又，在上方部37之後端係形成有，從其上端越往下方前進而越從機器載置部31遠離的第1傾斜面37C。藉由所述構成，即使第1橫框架構件10中沒有什麼縱深的情況下，仍可容易進行管線支持構件30對第1橫框架構件10的裝著。
又，螺栓固定部33B，係在未被螺栓9固定於第2橫框架構件20的狀態下，是隨著越往下方就越往前方地傾斜，因此一旦使螺栓固定部33B抵接於第2橫框架構件20而藉由螺栓9予以固定，則往前方側的力會作 用於管線支持構件30的上方部37。藉此，管線支持構件30的上方部37，係被往第1橫框架構件10的第1前側部15推擠，因此可降低振動對氣體管線部3所致之影響。
藉由在螺栓固定部33B的一對第2固定孔33c及第2橫框架構件20的對應之第1固定孔22a中插入螺栓9，螺栓固定部33B係被固定於第2橫框架構件20。藉由所述構成，可降低振動對氣體管線部3所致之影響。
又，將氣體管線部3裝著於框架2之際，以使氣體管線部3對上下方向呈傾斜的狀態，將基部36的落差部36E的落差面36D，載置於第1橫框架構件10的第1下側部13的上面13A。藉此，可使氣體管線部3的自重的大部分，被第1橫框架構件10所支持，因此可減輕作業者的負擔，可提升氣體管線部3對框架2裝卸時的作業效率。
又，被形成在第1下側部13的各第1溝13c，係以隨著越往後方寬度就緩緩變窄的方式而被形成，因此可容易進行被形成在基部36的第2溝36a對第1溝13c之嵌合。又，在被形成於基部36的第2溝36a之下側部分，係藉由隨著越從機器載置部31遠離就越往下方傾斜的第2傾斜面36B而被形成，因此可使其從第1下側部13的下面13D遠離。藉此，可降低振動對氣體管線部3所致之影響。
此外，本發明係不限定於上述的實施形態。只要是當業者，就可在本發明的範圍內，進行各種的追加 或變更等。
例如，亦可在如圖9所示的第2橫框架構件120形成朝左右方向延伸的狹縫120a，在狹縫120a內插入母螺紋構件(未圖示)，藉此而在一對第2固定孔33c及前記狹縫120a中插入螺栓9，將螺栓固定部33B固定於第2橫框架構件120。藉由所述構成，就可將螺栓固定部33B固定在第2橫框架構件120的任意位置。
又，為了將管線支持構件30的固定部33固定於第1橫框架構件20，亦可使用像是先前技術的朝左右方向延伸的罩蓋來固定。又，雖然第2固定部33B是以2根螺栓9而對第2橫框架構件20做固定，但亦可在第2固定部33B的左右方向的中央部形成一個螺栓孔33c，而只藉由一根螺栓9，將第2固定部33B固定於第2橫框架構件20。又，雖然框架2係由一對橫框架構件與一對縱框架構件所構成，但亦可由一對橫框架構件所構成，而為各橫框架構件是被固定在半導體製造裝置之框體的垂直壁面的構成。

Claims (7)

  1. 一種流體控制裝置，係為具備被安裝有流體控制機器之管線支持構件的氣體管線部，是被可裝卸地安裝至框架的流體控制裝置，其中，前記框架係具有，第1橫框架構件及位於其下側的第2橫框架構件；前記第1橫框架構件係具備：朝左右方向延伸的勾掛構件、和位於比前記勾掛構件還下側且被形成有往前方開口之複數個第1溝的下側部；前記管線支持構件係具有：機器載置部、和從前記機器載置部的左右兩緣往後方突出的一對側板部；各側板部係具有：位於比前記勾掛構件還下側的基部、和位於比前記基部還上側且為前記勾掛構件之後側的上方部；在前記基部係形成有，往後方開口並被嵌入至前記第1溝中的第2溝；在前記上方部係設有，往前方突出並從上側抵接於前記勾掛構件的突起部。
  2. 如請求項1所記載之流體控制裝置，其中，在前記上方部之後端係形成有，從其上端越往下方前進而越從前記機器載置部遠離的傾斜面。
  3. 如請求項1或請求項2所記載之流體控制裝置，其中，在前記管線支持構件之下端係設有，藉由螺栓而被固定在前記第2橫框架構件的螺栓固定部；前記螺栓固定部，係在藉由前記螺栓而被固定在前記第2橫框架構件的狀態下，是隨著越往下方前進就越往前方地傾斜。
  4. 如請求項1所記載之流體控制裝置，其中，在前記第2橫框架構件係形成有，朝左右方向排列的複數個第1固定孔；在前記管線支持構件之下端係設有，被形成有第2固定孔的螺栓固定部；藉由在前記第2固定孔及對應之前記第1固定孔中插入螺栓，前記螺栓固定部係被固定在前記第2橫框架構件。
  5. 如請求項1所記載之流體控制裝置，其中，在前記第2橫框架構件係形成有，朝左右方向延伸並往前方開口的狹縫；在前記管線支持構件之下端係設有，被形成有第2固定孔的螺栓固定部；藉由在前記第2固定孔及前記狹縫中插入螺栓，前記螺栓固定部係被固定在前記第2橫框架構件。
  6. 一種氣體管線部的裝卸方法，係為對框架裝卸氣體管線部之方法，其中，該框架係為：具有第1橫框架構件及位於前記第1橫框架構件之下側的第2橫框架構件；前記第1橫框架構件係具備：朝左右方向延伸的勾掛構件、和位於比前記勾掛構件還下側且被形成有往前方開口之複數個第1溝的下側部；該氣體管線部係為：具備管線支持構件，其係具有讓流體控制機器做安裝的機器載置部、和從前記機器載置部的左右兩緣往後方突出的一對側板部；各側板部係具有基部、和位於比前記基部還上側的上方部；在前記基部係形成有往後方開口的第2溝；在前記上方部係設有往前方突出的突起部；其中，在使前記氣體管線部對上下方向呈傾斜的狀態下，將前記管線支持構件的各基部的前記第2溝，嵌入至前記第1橫框架構件的前記下側部的前記第1溝中，使前記上方部位於前記勾掛構件之後側；以前記第2溝為中心，使前記氣體管線部旋轉以使前記上方部朝向前方，使前記上方部的前記突出部從上側抵接於前記第1橫框架構件的前記勾掛構件，使前記氣體管線部對前記第1橫框架構件呈現懸吊狀態。
  7. 如請求項6所記載之氣體管線部的裝卸方法，其中，在前記上方部與前記第1溝之間係設有，具有面朝下方之落差面的落差部；在使前記氣體管線部對上下方向呈傾斜的狀態下，將前記落差部的前記落差面，載置於前記第1橫框架構件的前記下側部之上面；使前記氣體管線部往斜上方移動，將前記管線支持構件的各基部的前記第2溝，嵌入至前記第1橫框架構件的前記下側部的前記第1溝中。
TW106103318A 2016-01-28 2017-01-26 流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法 TWI631576B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016-014917 2016-01-28
JP2016014917 2016-01-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201738468A TW201738468A (zh) 2017-11-01
TWI631576B true TWI631576B (zh) 2018-08-01

Family

ID=59398367

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106103318A TWI631576B (zh) 2016-01-28 2017-01-26 流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10527071B2 (zh)
JP (1) JP6633102B2 (zh)
KR (1) KR102148090B1 (zh)
CN (1) CN108779867B (zh)
TW (1) TWI631576B (zh)
WO (1) WO2017130850A1 (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999059392A2 (en) * 1998-05-18 1999-11-25 The Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US20020134445A1 (en) * 1998-03-05 2002-09-26 Eidsmore Paul G. Modular surface mount manifold assemblies
TW200936924A (en) * 2007-12-20 2009-09-01 Oerlikon Trading Ag Gate valve for a vacuum chamber and vacuum chamber
KR20110001937A (ko) * 2009-06-30 2011-01-06 시케이디 가부시키가이샤 가스 공급 장치
TW201430259A (zh) * 2012-11-29 2014-08-01 Fujikin Kk 流體控制裝置
WO2014185854A1 (en) * 2013-05-14 2014-11-20 Patrick Johansson A method for joining building boards and a board fixture therefore

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH480549A (de) * 1967-10-25 1969-10-31 Underberg Emil Ewald Josef Vorrichtung zum Befestigen von Teilen auf einer Unterlage mittels Schrauben
JPS61191959U (zh) * 1985-05-23 1986-11-29
JP4238453B2 (ja) * 2000-03-10 2009-03-18 株式会社東芝 流体制御装置
DE10020218B4 (de) * 2000-04-25 2005-03-03 Kamax-Werke Rudolf Kellermann Gmbh & Co. Kg Montageeinheit aus einem Bauteil und mindestens einer gewindeformenden Schraube
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP5081665B2 (ja) * 2008-02-28 2012-11-28 株式会社フジキン 流体制御装置
JP5775718B2 (ja) * 2011-03-28 2015-09-09 株式会社フジキン 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
JP5797010B2 (ja) * 2011-05-20 2015-10-21 株式会社フジキン 流体制御装置
CN203604810U (zh) * 2013-12-12 2014-05-21 北京金日恒升科技有限公司 电缆挂钩和电缆悬挂装置
CN204574552U (zh) * 2015-04-03 2015-08-19 北京海林节能设备股份有限公司 一种太阳能集热器及其框架

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020134445A1 (en) * 1998-03-05 2002-09-26 Eidsmore Paul G. Modular surface mount manifold assemblies
WO1999059392A2 (en) * 1998-05-18 1999-11-25 The Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
TW200936924A (en) * 2007-12-20 2009-09-01 Oerlikon Trading Ag Gate valve for a vacuum chamber and vacuum chamber
KR20110001937A (ko) * 2009-06-30 2011-01-06 시케이디 가부시키가이샤 가스 공급 장치
TW201430259A (zh) * 2012-11-29 2014-08-01 Fujikin Kk 流體控制裝置
WO2014185854A1 (en) * 2013-05-14 2014-11-20 Patrick Johansson A method for joining building boards and a board fixture therefore

Also Published As

Publication number Publication date
KR102148090B1 (ko) 2020-08-25
CN108779867A (zh) 2018-11-09
TW201738468A (zh) 2017-11-01
US10527071B2 (en) 2020-01-07
CN108779867B (zh) 2020-02-28
KR20180095937A (ko) 2018-08-28
US20180372130A1 (en) 2018-12-27
WO2017130850A1 (ja) 2017-08-03
JPWO2017130850A1 (ja) 2018-12-27
JP6633102B2 (ja) 2020-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107781998B (zh) 热水器的安装结构
US20130048744A1 (en) Fluid control apparatus
TWI631576B (zh) 流體控制裝置及氣體管線部的裝卸方法
KR100731605B1 (ko) 릴레이 장치
CN103874365A (zh) 控制装置
JP4808008B2 (ja) 車両用エンジンのマウント構造
US20110250788A1 (en) Carrier system for an electrical connector assembly
JP5164005B2 (ja) 過長部品の送出規制部構造
JP7115993B2 (ja) 配線・配管材支持具
JP5044460B2 (ja) 配線ボックスの固定部材
JP2011006935A (ja) 足場装置
CN216912655U (zh) 一种挖掘机后罩焊合工装
JP3982808B2 (ja) 足場装置における巾木の取付装置
JP5894448B2 (ja) Ｌａｎケーブル作業区画冶具
JP3243538U (ja) 自動車の内部で荷台や作業台として利用可能な車内用装備
JP2504326B2 (ja) エレベ―タ乗場用三方枠の位置決装置及びエレベ―タ乗場用三方枠の取付方法
TWI568962B (zh) 流體控制裝置
KR20120007556U (ko) 측면 프레임 면재 취부용 지그
CN213135897U (zh) 一种异形件定位装置
JP5822274B2 (ja) デッキ及び取付部材並びに取付部材の取付方法
JP5875774B2 (ja) フェンスパネル取り付け用金具及び取り付け構造並びに取り付け方法
CN209886985U (zh) 连接柱卡的焊接工装
KR100251301B1 (ko) 엔진의 장착·탈거용 지그
JP5903247B2 (ja) 電気機器収納用箱体
JP5049191B2 (ja) 天板の取付構造