TWI630324B - 用來排空腔室之方法及幫浦配置 - Google Patents

Abstract

本發明係有關於一種用來排空腔室之方法，其中由一增壓幫浦及一下游前置幫浦構成之幫浦配置係與該腔室連接。在該方法中，加速該增壓幫浦，將來自該腔室之氣體導入該增壓幫浦，使得由該增壓幫浦暫時抽取一超過由該增壓幫浦之驅動所提供之動力之過剩動力。該氣體被傳送至該增壓幫浦之出口。只要該增壓幫浦之出口壓力高於一預定臨界值該氣體便被排放通過一旁通閥，且當該增壓幫浦之出口壓力已降低至該臨界值以下時該氣體被向前傳送至該前置幫浦。又，藉由該前置幫浦壓縮由該增壓幫浦供給之氣體。本發明亦有關於一種用以實施該方法之幫浦配置。藉由本發明，該前置幫浦可設計成用於一比該增壓幫浦小之質量流。

Description

用來排空腔室之方法及幫浦配置

本發明係有關於一種用來排空腔室之方法及幫浦配置。與該腔室連接之該幫浦配置包含一增壓幫浦及一下游前置幫浦。

在許多技術應用中，目前需要一可在一短時間內排空至一預定真空之腔室。其中一例係閉鎖腔室，多數產品係透過該閉鎖腔室導入一真空腔室。該等產品可為，例如，譬如多數獨立製造步驟在該真空腔室中實施之太陽能電池、顯示器等大量生產物件。該等產品需要以更短之循環時間導入該真空腔室。具有一數百公升體積之閉鎖腔室必須以比10秒少很多之時間排空至一小於10^-2毫巴之壓力是不尋常的。

為排空該等閉鎖腔室，通常使用由兩串聯連接幫浦構成之幫浦配置，其中該第一幫浦配置通常被稱為增壓幫浦，且該下游幫浦配置通常被稱為前置幫浦。兩幫浦配置之串聯連接是有利的，因為依據理想氣體定律(壓力*體積=常數；假設溫度不變)，該前置幫浦可設計成用於一比該增壓幫浦小很多之體積流。

但是，如果欲由大氣壓開始在一非常短時間內排空一閉鎖腔室，該增壓幫浦開始時以高壓傳送一高體積流，結果是一大體積流到達該增壓幫浦之出口。可處理該大體積流之前置幫浦係笨重且昂貴的。

本發明之目的在於提供一種允許以在裝置方面較少之成本快速地排空一腔室之幫浦配置。以所述習知技術作為起點，該目的係盟由獨立申請專利範圍之特徵達成。附屬申請專利範圍係有關於有利之實施例。

在依據本發明之方法中，開始時加速該增壓幫浦。接著將來自欲排空之該腔室之氣體導入該增壓幫浦，使得由該增壓幫浦暫時抽取一超過由該增壓幫浦之驅動所提供之動力之過剩動力。只要在該增壓幫浦中之出口壓力高於一預定臨界值，便排放被傳送至該增壓幫浦之出口之該氣體通過一旁通閥。當該增壓幫浦之出口壓力已降低至該臨界值以下時向前傳送該氣體至該前置幫浦。藉由該前置幫浦壓縮由該增壓幫浦供給之氣體。

首先將說明數個措辭。該等措辭“增壓幫浦”及“前置幫浦”表示在該幫浦配置中之幫浦的順序。該等措辭不會對於該幫浦之構態產生一限制。

本發明已確認，由於加速該增壓幫浦及後來抽取過剩動力，來自該腔室之氣體可以一使該氣體可繞過該前置幫浦直接排放之高壓傳送至該增壓幫浦。只有在該排空程序已進行到該增壓幫浦不再可壓縮該氣體至該對應 壓力之程度時，才另外使用該前置幫浦來進一步壓縮。藉由本發明，該前置幫浦可被設置成不僅用於一比該增壓幫浦小之體積流亦可用於一比該增壓幫浦小之質量流。

通常，在該旁通閥之出口主要是大氣壓。在這情形下，該臨界值對應於該大氣突流。因此只要該增壓幫浦之出口壓力高於大氣壓，該氣體便透過該旁通閥排放。在其尖峰，該增壓幫浦之出口壓力可超過大氣壓至少一1巴，較佳地至少2巴，且更佳地至少3巴。藉由該前置幫浦壓縮之氣體可類似地在大氣壓排放至環境。

在開始該排空程序時，在該腔室中通常主要是大氣壓，使得該排空程序在大氣壓下開始。在開始該排空程序之前，可關閉該增壓幫浦之入口，使得沒有來自該腔室之氣體可進入該增壓幫浦。接著該排空程序在氣體導入該增壓幫浦時開始。

為了可以在該排空程序開始時以高壓(例如大氣壓)傳送大體積流，該增壓幫浦必須提供一高壓縮動力。該高壓縮動力係藉由，在該排空程序時，有由該增壓幫浦暫時抽取比由該增壓幫浦之驅動所提供更大之壓縮動力的事實提供。超過該驅動動力之過剩動力係由該增壓幫浦之動能抽取。因此該增壓幫浦被制動，且該幫浦之轉速減少。

在本發明之範圍中，在該增壓幫浦中抽取之動力可比該驅動動力高很多。例如，在其尖峰，該過剩動力可大於該驅動動力之50%，較佳地大於100%，且更佳地大於200%。在一100%過剩動力之情形下，該壓縮動力是該驅動 動力之兩倍。

又，亦可設置成不只瞬時地而且在某一段時間抽取該過剩動力。如果該排空程序在該腔室之壓力降低至該出口壓力以下時開始，且在到達該腔室中之最終壓力時結束，則在抽取過剩動力時之時段可延長例如超過該排空程序之10%，較佳地超過20%，且更佳地超過50%。由於抽取該過剩動力，該增壓幫浦之轉速可減少至少5%，較佳地至少10%，且更佳地至少25%。

為了可由該幫浦抽取過剩動力至該程度，該幫浦必須，在該排空程序開始之前，處於可獲得一對應大量之動能。因此在該排空程序開始前加速該幫浦。

為了可提供適當動能，在該排空程序開始時該增壓幫浦之轉速宜高於8000rpm，較佳地高於10,000rpm，且更佳地高於12,000rpm。該等旋轉之部件之直徑宜大於5cm，較佳地大於10cm，且更佳地大於20cm。

如果以實質大氣壓將來自該腔室之氣體導入該增壓幫浦，則該增壓幫浦受到一突然之負載。目前已作為增壓幫浦使用之某些幫浦種類，例如機械增壓幫浦，通常比較不適合調節該等突然之負載。在一有利實施例中，使用一螺桿型幫浦作為一增壓幫浦，且其較佳構態在以下更詳細地說明。

利用本發明之方法，一具有大於100L之體積之腔室可在少於五秒之時間由大氣壓排空至一小於10^-2毫巴之壓力。在該數量級之一閉鎖腔室必須以一短循環時間重 覆排空之閉鎖應用之範圍內，這可能是是特別有意義的。在該閉鎖腔室之入口主要是大氣壓，這表示當該入口開啟以便將一組分導入該閉鎖腔室時，在該閉鎖腔室中亦假設是大氣壓。該閉鎖腔室之出口係與一壓力為例如10^-2毫巴之真空腔室接合。因此在可開啟該出口以便將該組分送入該真空腔室之前，該閉鎖腔室必須排空至該壓力。

如果該閉鎖之循環時間是例如10秒，則由該增壓幫浦抽取過剩動力之時間可為例如1秒，而剩餘之循環時間則被用來再加速該增壓幫浦至該開始轉速。更一般而言，過剩動力之抽取時間宜為該循環時間之至少5%，更佳地至少10%。在該循環時間之至少30%，較佳地至少50%，且更佳地至少70%，由該增壓幫浦抽取之動力比該驅動動力低，使得該增壓幫浦被加速。

本發明亦有關於一種幫浦配置。該幫浦配置包含一增壓幫浦及一前置幫浦，其中該增壓幫浦之出口與該前置幫浦之入口連接。在該增壓幫浦與前置幫浦之間，配置有一旁通閥，且藉由該增壓幫浦傳送之氣體可藉由該旁通閥排放同時繞過該前置幫浦。該幫浦配置亦包含一控制單元，該控制單元係組配成如果該增壓幫浦之轉速高於一預定轉速臨界值，則輸出一控制信號。該轉速臨界值係使得，在超過各個轉速後，該增壓幫浦準備抽取過剩動力。該幫浦配置係適用於依據本發明之方法在一短時間排空一腔室。

該控制信號可傳送至欲排空之腔室之一控制 器，以便顯示該增壓幫浦準備進行下一個排空程序。因此該腔室之控制器可開啟該增壓幫浦之入口，藉此該增壓幫浦與該腔室連接。接著來自該腔室之氣體進入該增壓幫浦，且該腔室被快速地排空。當該氣體進入該增壓幫浦時，該負載突然增加，使得該增壓幫浦之轉速減少。

該增壓幫浦之控制單元可更組配成在該排空程序開始之前加速該增壓幫浦使得該轉速臨界值被超過。為了為抽取該過剩動力提供一適當量之動能，該轉速臨界值宜高於該增壓幫浦之傳送轉速。該傳送轉速表示當該吸入壓力為100毫巴時假設為一穩定狀態之轉速。在該傳送轉速下，該驅動動力對應於該幫浦動力，這表示該增壓幫浦之轉速保持不變。該轉速臨界值可比該傳送轉速高10%，較佳地30%，且更佳地50%。在絕對數值中，該轉速臨界值可例如為至少8000rpm，較佳地至少10,000rpm，且更佳地至少12,000rpm。通常，供在本發明之範圍內之一應用使用之增壓幫浦係在相當低之轉速操作。在操作該等增壓幫浦時通常不超過一6000rpm之轉速。在依據本發明之方法之情形下，亦可加速該增壓幫浦超過該傳送轉速。

依據本發明之配置可更包含該欲排空之腔室。為達成這目的，該配置之控制單元可設置成在已超過該轉速臨界值後，開啟該幫浦之入口，且該增壓幫浦透過該入口連接該腔室。此外，該控制單元可組配成當加速該增壓幫浦時保持該入口關閉。

在一有利實施例中，使用一螺桿型幫浦作為一 增壓幫浦，其中兩螺紋之螺桿互相接合使得該氣體在該等螺圈之間由一抽吸側傳送至一加壓側。為了可承受所述高轉速，該等螺桿宜在所有情況下具有兩螺紋，使得在該等螺桿之縱向上增加之力互相抵銷。該等螺桿之螺紋宜為雙紋螺紋構態。在此，在一徑向上，可存在該等螺桿之點對稱性使得該等螺桿藉由圍繞該縱軸旋轉180°成為它們本身的像。該等螺桿之直徑宜大於10cm，較佳地大於15cm，且更佳地大於20cm，使得該等螺桿整體具有大約上述尺寸。

為了讓該螺桿型幫浦可容納在增壓幫浦情形中所需之大體積流，該入口孔宜大於一螺桿之橫截面積之60%，較佳地大於80%，且更佳地大於100%。為了保持洩漏損失低，它設置成，靠近該加壓側，在該幫浦之殼體與該螺桿之螺紋之間的徑向間距係儘可能地小(徑向最小間距)，例如小於0.2mm，較佳地小於0.1mm。

在該入口區域，即特別在該入口孔形成之殼體部份中，一抽吸間隙可存在該螺桿之螺紋與該殼體之間以便讓一大容積流進入該等幫浦之工作腔室中。該抽吸間隙之徑向直徑宜比該徑向最小間距大50倍，較佳地100倍，且更佳地200倍。該抽吸間隙可延伸例如該殼體之一至少15°，較佳地至少30°之圓周角。在縱向上，該抽吸可延伸該螺桿之一螺紋之長度之至少20%，較佳地至少30%，且更佳地至少40%。該抽吸間隙之長度宜對應於在該區域中之該螺紋一360°圈之長度。因此該螺紋在該入口區域中具 有一大節距。該第一360°圈可延伸例如該螺紋之長度之至少20%，較佳地30%，且更佳地40%。總之，該雙紋螺紋之各螺圈宜包含至少三、更佳地至少四完整360°圈。

14‧‧‧螺桿

15‧‧‧幫浦殼體

16‧‧‧控制單元；控制及驅動單元

17‧‧‧驅動馬達

18‧‧‧齒輪

19‧‧‧螺紋

20‧‧‧抽吸側

21‧‧‧加壓側

22‧‧‧第一螺圈

23‧‧‧第二螺圈

24‧‧‧入口孔

25‧‧‧抽吸間隙

26‧‧‧第一殼體部份

27‧‧‧第二殼體部份

28‧‧‧過渡邊緣

29‧‧‧孔；線

35‧‧‧切面

40‧‧‧真空腔室

41‧‧‧產品

42‧‧‧閉鎖腔室

43,44‧‧‧滑門

45‧‧‧輸送帶

46‧‧‧增壓幫浦

47‧‧‧前置幫浦

48‧‧‧閥

49‧‧‧旁通閥

50‧‧‧控制器

以下將參照附圖依據有利實施例舉例說明本發明，其中：圖1：顯示與一閉鎖腔室連接之依據本發明之一幫浦配置；圖2：顯示適用於依據本發明之配置之一螺桿型幫浦之立體、部份切除圖；圖3：以一放大圖顯示來自圖1之幫浦之一細部結構；圖4：顯示來自圖3之該幫浦之另一狀態之圖；圖5：顯示沿一螺桿之一軸，適用於依據本發明之配置之一螺桿型幫浦之示意橫截面圖；及圖6A/B：顯示沿圖5中之線A-A與B-B之截面。

在圖1所示之一真空腔室40中，在一產品41上實施某些方法步驟。以簡化方塊顯示之產品41可為例如多數半導體元件，譬如例如太陽能電池或顯示器。該方法步驟可為一塗布程序。就該方法步驟而言，在該真空腔室40中之壓力必須在0.5毫巴以下。為了保持該真空腔室在該壓力，一真空幫浦(未顯示在圖1中)與該真空腔室40連接。

該真空腔室40係藉一閉鎖件與一閉鎖腔室42接合，且該產品41透過該閉鎖腔室42導入該真空腔室中。該 閉鎖腔室42具有一入口孔及一出口孔，且該入口孔及該出口孔具有滑門43、44。該等滑門43、44係藉由一控制器50控制使得它們不會在任何時間同時開啟。當該滑門43開啟時，在該閉鎖腔室42中主要是大氣壓。該閉鎖具有一例如2001之體積。

當該滑門43開啟時，該產品41可藉由輸送帶45導入該閉鎖腔室42中。在已接著再關閉該滑門43後，藉由一與該閉鎖腔室42連接之幫浦配置排空該閉鎖腔室42，使得在該閉鎖腔室42中之壓力對應於主要在該真空腔室40中小於0.5毫巴之壓力。在完成該排空程序後，開啟該滑門44，且藉由該等輸送帶45導入該產品41。接著再關閉該滑門44，使該閉鎖腔室42到達大氣壓，且開啟該滑門43。因此完成在該閉鎖中之一循環。該循環之循環時間大約是10秒。

就該排空程序本身而言，藉此在該閉鎖腔室中之壓力由大氣壓減少至一小於0.5毫巴之最終壓力，可獲得一比該循環時間短很多之時間。該排空程序可延長例如五秒之時間。

為了可在該短時間排空這體積之一閉鎖，需要在大氣壓與最終壓力之間之整個壓力範圍內特別具有一高度抽吸能力之一有力幫浦配置。這係藉由依據本發明之幫浦配置提供，其中，如圖1所示，串聯連接作為一增壓幫浦46之螺桿型幫浦及作為一前置幫浦47之一液體環真空幫浦。該液體環真空幫浦具有習知構態，因此不需要詳 細說明。

為開始該排空程序，開始加速該增壓幫浦46至一比該傳送轉速高很多之轉速。關閉一配置在該增壓幫浦46與該閉鎖腔室42之間之閥48，使得沒有來自該閉鎖腔室42可進入該增壓幫浦46之入口。因此該增壓幫浦46沒有負載，使得一比較低之驅動動力便足以加速該增壓幫浦46。

當該增壓幫浦46已加速至超過一預定轉速臨界值之程度時，該增壓幫浦46之一控制單元16傳送一控制信號至該閉鎖腔室之控制器50。因此該控制器50具有該增壓幫浦46準備進行下一個排空程序之資訊。當該閉鎖腔室42亦準備進行下一個排空程序時，該控制器50可開啟該閥48使得該增壓幫浦46可由該閉鎖腔室42吸入空氣。該空氣被該增壓幫浦46傳送，且在該程序中被壓縮，使得在該增壓幫浦46之出口主要是一比大氣壓高很多之壓力。在其尖峰，在該增壓幫浦46之出口可主要是一高於大氣壓3巴之壓力。

在該前置幫浦47與該增壓幫浦46之間配置有一旁通閥49，在該旁通閥49之出口主要是大氣壓。該旁通閥49係組配成為一過壓閥，使得只要在該增壓幫浦46之出口之壓力高於大氣壓，來自該增壓幫浦46之出口之壓縮氣體便透過該旁通閥49自動地逸出。如果在該增壓幫浦46之出口之壓力降低至大氣壓以下，該旁通閥49關閉。接著該氣體被該前置幫浦47接收且進一步壓縮使得該氣體可以大氣壓排放至環境中。

在該閉鎖腔室42中之壓力越接近最終壓力，在該增壓幫浦46與該前置幫浦47之間之壓力變得越低。該前置幫浦47係組配成使得它可將該氣體由該壓力壓縮至大氣壓。

在該排空程序中，該增壓幫浦46接受特別高之負載。當該閥48開啟時，進入該增壓幫浦46之空氣流產生一突然之負載。此外，由於一大體積流以大氣壓進入，該增壓幫浦46需要一高壓縮動力。該壓縮動力超過該增壓幫浦46之驅動動力，這表示由該增壓幫浦46抽取一過剩動力。該過剩動力係由該增壓幫浦46之動旋轉能獲得，這表示該增壓幫浦46之轉速在這狀態時減少。

為了可提供適當動旋轉能，在該排空程序開始之前加速該增壓幫浦46至一高於10,000rpm之高轉速。由於抽取該過剩動力，故該轉速在一秒內減少至9000rpm。該剩餘循環時間被用來再加速該增壓幫浦46至該初始轉速。在這狀態下，該驅動動力因此比由該增壓幫浦46抽取之壓縮動力高。

以下說明在開始該排空程序時先承受該等負載且接著在整個壓力範圍內具有所需抽吸能力之增壓幫浦46。

適合作為一增壓幫浦之螺桿型幫浦包含，如圖2所示，被收納在一幫浦殼體15中之兩螺桿14。由於該幫浦殼體15未被完全顯示，該等螺桿14中之一螺桿可看到整個長度，而另一螺桿14則大部份被該幫浦殼體15遮蔽。該等 兩螺桿14互相接合，這表示一螺桿14之螺紋突起接合在另一螺桿14之兩螺紋突起之間的凹部中。

該幫浦包含一控制及驅動單元16，其中，就各螺桿14而言，配置有一電子控制驅動馬達17。該等驅動馬達17之電子控制器係設置成使得該等兩螺桿14互相完全同步地運作，且該等螺桿14之螺紋突起沒有接觸。為了另外保護使該等螺桿14不受破壞，該等兩螺桿14在所有情況下具有一齒輪18。如果該等螺桿14之電子同步故障，則該等齒輪18互相嚙合且產生兩螺桿14之確實耦合。

各螺桿14具有兩螺紋19，使得該幫浦總共具有四螺紋19。該等螺紋19在所有情況下由在該螺桿14之中心之一抽吸側20延伸至在該螺桿14之外端之一加壓側21。一螺桿14之兩螺紋係定向於相反方向使得它們由該抽吸側20向該加壓側21側工作。

各螺紋19包含一第一螺圈22及一第二螺圈23。因此該等螺紋19具有雙紋螺紋，這表示該等螺圈22、23互相交錯使得它們一起形成一雙螺旋狀形態。該等兩螺圈22、23係形成為該等螺紋19在徑向上對稱。當由該第一螺紋19之加壓側至該第二螺紋19之加壓側看該螺桿14時，該螺桿14更在一縱向上具有對稱性。

該等螺紋19係組配成使得在該抽吸側20之區域中兩相鄰螺紋突起之間封閉一比在該加壓側21之區域中大之體積。因此，對應於封閉在該等螺紋突起之間之體積的該等工作腔室之體積由該抽吸側減少至該加壓側，使得 收容在該工作腔室中之氣體在由該抽吸側至該加壓側之路徑上被壓縮。

該幫浦之殼體15具有一入口孔24，且該入口孔24係配置成可提供進入所有四螺紋19之抽吸側20之入口。為容許大體積流進入該幫浦，該入口孔24具有一大橫截面。在示範實施例中，該入口孔24之橫截面積比由一螺桿14佔據之圓形輪廓大。

為了進一步增加進入該等工作腔室之體積流，在該幫浦之殼體15上形成有一抽吸間隙25，且該抽吸間隙25連接該入口孔24並且在圓周方向上接續該螺桿14之輪廓。在縱向上，該抽吸間隙25在該抽吸側20與該加壓側21之間延伸該螺紋19之長度之大約一半。在圓周方向上，該抽吸間隙25之尺寸隨著該入口孔改變；該入口孔24越延伸至在各點之側，在該點之該圓周方向上該抽吸間隙25之長度越短。在該入口孔24之最寬點，該抽吸間隙25延伸一大約45°之圓周角。在該入口孔24不再覆蓋該抽吸間隙25之區域中，該入口孔24延伸一大約120°之圓周角。在徑向上該抽吸間隙25之尺寸對應於在該區域中在該幫浦殼體15與該螺桿14之輪廓之間之間距。該間距係在大約10mm之範圍內。

由於該抽吸間隙，該氣體不再被限制以一徑向進入該等工作腔室，而是該氣體亦可移動經過一螺紋突起且通過該抽吸間隙進入該工作腔室。以此方式進一步增加進入該工作腔室之體積流。

增加進入該工作腔室之體積流之另一貢獻是藉 由在一螺桿14之第一螺紋19之抽吸側20與該螺桿14之第二螺紋19之抽吸側20之間有一間距之事實達成。依此方式，在該螺桿14之中心，留下該氣體亦可以一徑向進入該工作腔室之一空間。

該抽吸間隙25延伸之區域(=第一殼體部份26)可用以填充該等工作腔室。在該連接之第二殼體部份27中，在該殼體與該螺桿14之輪廓之間之間距係在技術上儘可能地小(徑向最小間距)。該壓縮在該第二殼體部份中發生，且由一工作腔室流入下一工作腔室之洩漏是不必要的。

在由該第一殼體部份26至該第二殼體部份27之過渡段形成一過渡邊緣28。該過渡邊緣28以一圓周方向延伸整個區段25且界定由該抽吸間隙25至該第二殼體部份27之過渡段，其中該徑向最小間距存在該殼體15與螺桿14之間。

當該工作腔室已通入第二殼體部份時，換言之，當向該抽吸側限定該工作腔室之該螺紋突起已與該過渡邊緣28形成一閉鎖時，開始壓縮。該過渡邊緣28係配置成使得在該螺紋突起與該過渡邊緣28之間形成一閉鎖係發生在該工作腔室仍具有其最大體積時。

當由該圓周方向觀看時，該過渡邊緣28係以與該橫交方向形成一比與該過渡邊緣28形成一閉鎖之該螺紋突起之梯度小的角度封閉。依此方式達成的是在該螺紋突起與該過渡邊緣28之間形成之一閉鎖不會突然發生而是延長一段短時間。依此方式，該幫浦之操作噪音減少。

該真正體積壓縮係緊接在閉鎖該工作腔室後發生在該螺紋之一短部份。用以密封該等鄰接之其他螺紋圈亦產生一熱力壓縮。

在該螺紋19之加壓側21，由該工作腔室排放該氣體。透過在該幫浦殼體15中之一孔29，來自位在外側之該等加壓側21之壓縮氣體被一起送至一中心出口孔。該出口孔(在圖中看不到)係配置成與該入口孔24相對。如圖2、3與5所示，該孔29整合在該幫浦殼體15中且延伸在兩螺桿14之間，其中該線29係部份地配置在一建立在兩螺桿14上之切面35內。

Claims (30)

1. 一種用來排空腔室之方法，其中由一增壓幫浦及一下游前置幫浦構成之一幫浦配置與該腔室連接，且該方法具有以下步驟：a.加速該增壓幫浦；b.將來自該腔室之氣體導入該增壓幫浦，使得由該增壓幫浦暫時抽取一超過由該增壓幫浦之驅動所提供之動力之過剩動力；及c.傳送該氣體至該增壓幫浦之出口，其中i.只要該增壓幫浦之出口壓力高於一預定臨界值，便排放該氣體通過一旁通閥；ii.當該增壓幫浦之出口壓力已降低至該臨界值以下時向前傳送該氣體至該前置幫浦；d.藉由該前置幫浦壓縮由該增壓幫浦供給之氣體，其中該增壓幫浦係在該增壓幫浦之入口關閉之情形下在步驟a中加速。
2. 如請求項1之方法，其中該過剩動力達到一峰值，該峰值為該驅動動力之至少50%。
3. 如請求項1之方法，其中該過剩動力達到一峰值，該峰值為該驅動動力之至少100%。
4. 如請求項1之方法，其中該過剩動力達到一峰值，該峰值為該驅動動力之至少200%。
5. 如請求項1之方法，其中該過剩動力係在一排空程序之 至少10%期間抽取。
6. 如請求項1之方法，其中該過剩動力係在一排空程序之至少20%期間抽取。
7. 如請求項1之方法，其中該過剩動力係在一排空程序之至少50%期間抽取。
8. 如請求項1之方法，其中在一排空程序開始時該增壓幫浦之轉速高於8000rpm。
9. 如請求項1之方法，其中在一排空程序開始時該增壓幫浦之轉速高於10,000rpm。
10. 如請求項1之方法，其中在一排空程序開始時該增壓幫浦之轉速高於12,000rpm。
11. 如請求項1之方法，其中該增壓幫浦之出口壓力具有超過大氣壓至少1巴之一峰值。
12. 如請求項1之方法，其中該增壓幫浦之出口壓力具有超過大氣壓至少2巴之一峰值。
13. 如請求項1之方法，其中該增壓幫浦之出口壓力具有超過大氣壓至少3巴之一峰值。
14. 如請求項1至13中任一項之方法，其中該腔室係一閉鎖腔室，且該閉鎖腔室係以一小於15秒之循環時間操作。
15. 如請求項1至13中任一項之方法，其中該腔室係一閉鎖腔室，且該閉鎖腔室係以一小於10秒之循環時間操作。
16. 如請求項14之方法，其中該過剩動力係由該增壓幫浦抽取該閉鎖腔室之循環時間之至少5%。
17. 如請求項14之方法，其中該過剩動力係由該增壓幫浦抽 取該閉鎖腔室之循環時間之至少10%。
18. 一種幫浦配置，具有一增壓幫浦且具有一前置幫浦，其中該增壓幫浦之出口與該前置幫浦之入口連接，其中，在該增壓幫浦與前置幫浦之間，配置有一旁通閥，且藉由該增壓幫浦傳送之氣體可藉由該旁通閥排放同時繞過該前置幫浦，其中一控制單元係組配成如果該增壓幫浦之轉速高於一預定轉速臨界值，則輸出一控制信號，使得該增壓幫浦準備抽取過剩動力。
19. 如請求項18之幫浦配置，其中該轉速臨界值係比該幫浦之一傳送轉速高。
20. 如請求項18之幫浦配置，其中該轉速臨界值係比該幫浦之一傳送轉速高至少30%。
21. 如請求項18之幫浦配置，其中該轉速臨界值係比該幫浦之一傳送轉速高至少50%。
22. 如請求項18之幫浦配置，其中在該轉速臨界值高於8000rpm。
23. 如請求項18之幫浦配置，其中在該轉速臨界值高於10,000rpm。
24. 如請求項18之幫浦配置，其中在該轉速臨界值高於12,000rpm。
25. 如請求項18至24中任一項之幫浦配置，其中該增壓幫浦係一螺桿型幫浦。
26. 如請求項25之幫浦配置，其中該螺桿型幫浦之螺桿各具有兩螺紋。
27. 如請求項18之幫浦配置，其中設置一收納數個螺桿之殼體，且其中該殼體係設計成使得，在一螺紋之區域中，它具有一第一殼體部份及一第二殼體部份，其中在該第一殼體部份中有一在該殼體與該螺紋之間之抽吸間隙，且其中在該第二殼體部份中有一在該殼體與該螺紋之間之徑向最小間距。
28. 如請求項27之幫浦配置，其中該殼體具有一入口孔且其中該入口孔比該螺紋之橫截面積大60%。
29. 如請求項27之幫浦配置，其中該殼體具有一入口孔且其中該入口孔比該螺紋之橫截面積大80%。
30. 如請求項27之幫浦配置，其中該殼體具有一入口孔且其中該入口孔比該螺紋之橫截面積大100%。