DE102015116965B4 - Kammeranordnung und Verfahren - Google Patents

Kammeranordnung und Verfahren Download PDF

Info

Publication number
DE102015116965B4
DE102015116965B4 DE102015116965.7A DE102015116965A DE102015116965B4 DE 102015116965 B4 DE102015116965 B4 DE 102015116965B4 DE 102015116965 A DE102015116965 A DE 102015116965A DE 102015116965 B4 DE102015116965 B4 DE 102015116965B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pump
vacuum chamber
chamber
energy storage
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102015116965.7A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102015116965A1 (de
Inventor
Christoph Haeusler
Marco Kenne
Rayk Hencke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Original Assignee
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Asset GmbH and Co KG filed Critical Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority to DE102015116965.7A priority Critical patent/DE102015116965B4/de
Publication of DE102015116965A1 publication Critical patent/DE102015116965A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102015116965B4 publication Critical patent/DE102015116965B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
    • C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

Verfahren (100a) zum Abpumpen einer Kammeranordnung (100b), welche eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104) aufweist, welche mittels einer Substrattransfer-Öffnung (106) verbunden sind, wobei ein erstes Ventil (116a) ein Sammelrohr (114) mit der ersten Vakuumkammer (102) koppelt und ein zweites Ventil (116b) das Sammelrohr (114) mit der zweiten Vakuumkammer (104) koppelt, wobei das Sammelrohr (114) mehrere Pumpen (110a, 110b) miteinander koppelt, von denen zumindest eine Pumpe (110b) einen Schwungmasse-Energiespeicher (116) aufweist, welcher sich zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) und/oder der zweiten Vakuumkammer (104) entladen lässt, das Verfahren (100a) aufweisend:• Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) oder der zweiten Vakuumkammer (104) in einem ersten Pump-Modus, in welchem das erste Ventil (116a) oder das zweite Ventil (116b) geschlossen sind;• Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) und der zweiten Vakuumkammer (104) in einem zweiten Pump-Modus, in dem das erste Ventil (116a) und das zweite Ventil (116b) geöffnet sind;• Transportieren eines Substrats durch die Substrattransfer-Öffnung (106).

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Kammeranordnung und ein Verfahren.
  • Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallband und/oder ein Halbleitersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden. Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Substrat oder auf mehreren Substraten abzuscheiden. Um ein großflächiges Abscheiden auf entsprechend großflächigen Substraten effizient zu realisieren, kann eine sogenannt In-Line-Anlage genutzt werden, bei der ein Substrat beispielsweise mittels Rollen durch die gesamte Anlage transportiert wird, wobei während des Transports des Substrats durch die In-Line-Anlage hindurch in einem oder mehreren Bereichen der In-Line-Anlage ein Beschichtungsprozess durchgeführt werden kann.
  • Verschiedene Kammern einer Prozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen (In-Line-Anlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Ferner kann die Prozessieranlage einen Eingangsbereich und einen Ausgangsbereich derart aufweisen, dass ein Substrat in die Prozessieranlage hinein und/oder aus der Prozessieranlage heraus gebracht werden kann.
  • Je nach Bauform der Prozessieranlage können in dem Eingangsbereich und/oder in dem Ausgangsbereich zumindest eine Kammer angeordnet sein, welche das Einschleusen (Hineinbringen) und/oder Ausschleusen (Herausbringen) eines Substrats ermöglicht. Die Zeit, welche zum Einschleusen und/oder Ausschleusen eines Substrats benötigt wird, wird auch als Taktzeit bezeichnet, und beeinflusst die wirtschaftliche Leistungsfähigkeit der Prozessieranlage. Anschaulich kann die Prozessieranlage wirtschaftlicher arbeiten, je mehr Substrate pro Zeit prozessiert werden können. Die Kammer(n) des Eingangsbereich und/oder des Ausgangsbereich werden dazu zyklisch belüftet und wieder abgepumpt.
  • Die Taktzeit wird unter anderem dadurch begrenzt, wie schnell das Innere der Kammern (zyklisch) auf Übergabedruck gebracht werden kann, bei dem das Substrat in die nächste Kammer übergeben wird. Herkömmlicherweise nimmt die Taktzeit ab, je mehr Kammern der Eingangsbereich und/oder in dem Ausgangsbereich aufweisen, d.h. in je mehr Schritten das Einschleusen und/oder Ausschleusen erfolgt. Dadurch wird allerdings große Standfläche benötigt, und es werden hohe Anschaffungskosten und Betriebskosten verursacht.
  • Herkömmlicherweise werden zum Abpumpen der Kammern jeweils mehrere leistungsstarke Pumpen verwendet, welche allerdings eine große Standfläche benötigen und hohe Anschaffungskosten und Betriebskosten verursachen. Alternativ wird herkömmlicherweise ein komplexes Zuleitungsnetzwerk verwendet, um die vorhandenen Pumpen dynamisch an diejenige Kammer zu koppeln, welche am meisten Pumpleistung benötigt. Dabei gibt es eine Vielzahl von Pumpkonzepten, in denen Pumpen verschiedenster Bautypen verwendet werden, deren Pumpverhalten, je nach vorherrschender Meinung, an den Druckbereich der abzupumpenden Kammer und die benötigte Dynamik angepasst ist. Diese Zuleitungsnetzwerke sind stark an das jeweilige Anlagenkonzept angepasst und können nicht ohne weiteres modifiziert werden, wenn sich der Prozess und/oder eine Kammer der Prozessieranlage ändert. Ferner benötigen diese Zuleitungsnetzwerke eine große Anzahl von Ventilen und eine komplexe Steuerung für diese, was hohe Anschaffungskosten und Betriebskosten verursacht.
  • EP 1 582 607 A1 beschreibt ein Pumpkonzept, welches ein Zuleitungsnetzwerk aufweist, mittels dessen zwei Vakuumkammern zyklisch abgepumpt werden können.
  • DE 21 21 813 A beschreibt eine Strahlpumpe, in welcher mittels eines Flüssigkeitsstrahls ein Unterdruck erzeugt werden soll zum Erzeugen eines Vakuums. Diese Pumpenart ist sehr einfach aufgebaut und weist selbst keinerlei bewegte Teile auf.
  • WO 2014/001090 A1 beschreibt eine Pumpenanordnung zum Evakuieren genau einer Kammer, wobei die Pumpenanordnung aus einer Boosterpumpe und einer vorgeschalteten Vorpumpe besteht, welche mittels genau eines Ventils an die Kammer angeschlossen ist. Die Boosterpumpe wird beschleunigt und dann schlagartig Gas aus der unter Atmosphärendruck stehenden Kammer in die Boosterpumpe eingelassen, so dass der Boosterpumpe vorübergehend eine Übermaßleistung entnommen wird, die über die von dem Antrieb der Boosterpumpe bereitgestellte Leistung hinausgeht. Die Übermaßleistung wird aus der kinetischen Rotationsenergie der Boosterpumpe gewonnen, was bedeutet, dass sich die Drehzahl der Boosterpumpe in dieser Phase vermindert.
  • Anschaulich wurde gemäß verschiedenen Ausführungsformen erkannt, dass der Druckbereich, in dem eine Pumpe ihre maximale Pumpleistung erreicht, häufig zu klein ist, um den Arbeitsdruckbereich einer Kammer des Eingangsbereichs und/oder des Ausgangsbereichs vollständig zu überdecken. Daher arbeiten die verwendeten Pumpen häufig einen Großteil der Zeit, in der abgepumpt wird, mit einer geringen Pumpleistung. Beispielsweise erreichen Turbomolekularpumpen ihre maximale Pumpleistung häufig erst dann, wenn der Übergabedruck bereits erreicht ist, d.h. wenn das Abpumpen zum Übergeben des Substrats in die nachfolgende Kammer (Eingangsbereich) und/oder zum Aufnehmen des Substrats aus der vorangehenden Kammer (Ausgangsbereich) abgebrochen wird. Anschaulich wird eine Pumpenanordnung bereitgestellt, welche in einem breiteren Druckbereich eine große Pumpleistung erreicht.
  • Ferner wurde gemäß verschiedenen Ausführungsformen erkannt, dass die Zeit, in denen eine Kammer zum Aufnehmen eines nachfolgenden Substrats belüftet wird, nicht abgepumpt wird. In Zuleitungsnetzwerken wird diese.Pumpe dann häufig an eine andere Kammer gekoppelt, so dass deren Pumpleistung nicht verloren geht. Wird kein Zuleitungsnetzwerk verwendet geht deren Pumpleistung verloren, d.h. die Pumpe arbeitet im Leerlauf. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Pumpe mit einem Schwungmasse-Energiespeicher verwendet (auch als Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe bezeichnet), welche im Leerlauf die Schwungmasse beschleunigt und damit Energie speichert, welche zum Abpumpen dann freigegeben werden kann. Somit können anschaulich kleinere und/oder weniger Pumpen verwendet werden, da deren Pumpleistung auf den Zeitraum konzentriert wird, in dem das Abpumpen erfolgt.
  • Ferner wurde gemäß verschiedenen Ausführungsformen erkannt, dass die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in dem Zeitraum, in dem deren Schwungmasse-Energiespeicher aufgeladen wird (Aufladezeitraum), noch genug Pumpleistung aufweist, um ein bereits erzeugtes Vakuum zu erhalten. Anschaulich kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers zum Abpumpen einer Kammer eingesetzt werden, so dass noch weniger Pumpen benötigt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer, welche mittels einer Substrattransfer-Öffnung verbunden sind; eine Transportvorrichtung zum Transportieren eines Substrats durch die Substrattransfer-Öffnung hindurch; mehrere Pumpen, deren Ansauganschlüsse mittels eines Sammelrohres miteinander (z.B. gasleitend) gekoppelt sind und von denen zumindest eine Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist, welcher sich zum Abpumpen des Sammelrohres entladen lässt; ein erstes Ventil, welches das Sammelrohr mit der ersten Vakuumkammer koppelt; ein zweites Ventil, welches das Sammelrohr mit der zweiten Vakuumkammer koppelt; eine Steuerung zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer und/oder der zweiten Vakuumkammer gemäß mehrerer Pump-Modi, von denen in einem ersten Pump-Modus das erste Ventil und/oder das zweite Ventil geschlossen sind und in einem zweiten Pump-Modus das erste Ventil und das zweite Ventil geöffnet sind.
  • Die Pumpe kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Vakuumpumpe (z.B. eine Gastransfervakuumpumpe) aufweisen oder daraus gebildet sein. Eine Pumpe kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zumindest eine von Folgenden Pumpen-Typen aufweisen oder daraus gebildet sein: eine trockenverdichtende Vakuumpumpe, eine Drehschieberpumpe, eine Kreiskolbenpumpe, eine Sperrschieberpumpe, eine Wälzkolbenpumpe, eine Trockenläuferpumpe, eine Schraubenpumpe, eine Rootspumpe, eine Membranpumpe, eine Rotationskolbenpumpe, eine Drehkolbenpumpe eine Exzenterschneckenpumpen, eine Zahnradpumpe, eine Turbomolekularpumpe, und/oder eine Schraubenpumpe. Der Schwungmasse-Energiespeicher kann Teil der Pumpe sein oder zusätzlich an der Pumpe angebracht werden, z.B. an einem Rotor und/oder an einer Welle der Pumpe.
  • Anschaulich kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe zum individuellen/gemeinsamen Abpumpen zweier Kammern verwendet werden. In dem ersten Pump-Modus kann genau eine Kammer versorgt werden (Individual-Pump-Modus), so dass z.B. diese abgepumpt werden kann, z.B. in einem Zeitraum (Entladezeitraum), in dem das Entladen des Schwungmasse-Energiespeichers erfolgt (Entlade-Pump-Modus). Alternativ oder zusätzlich kann in dem ersten Pump-Modus kann genau eine Kammer versorgt werden (Individual-Pump-Modus), so dass z.B. diese abgepumpt werden kann und/oder deren Vakuum erhalten werden kann, z.B. in einem Zeitraum (Entladezeitraum), in dem das Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers erfolgt (Auflade-Pump-Modus). Beispielsweise kann die Pumpe auf Grundlage ihres Betrieb-Modus (Entlade-Pump-Modus oder Auflade-Pump-Modus) zwischen den zwei Kammern umgeschaltet werden.
  • In dem zweiten Pump-Modus können beide Kammern gemeinsam mittels der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe versorgt werden (Gemeinsam-Pump-Modus), so dass z.B. beide Kammern abgepumpt werden können und/oder deren Vakuum erhalten werden kann, z.B. in einem Zeitraum (Aufladezeitraum), in dem das Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers erfolgt (Auflade-Pump-Modus).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuerung derart eingerichtet sein, dass die Substrattransfer-Öffnung in dem ersten Pump-Modus geschlossen ist und/oder in dem zweiten Pump-Modus geöffnet ist. Beispielsweise kann der zweite Pump-Modus einen Substrat-Transfermodus (Umschleusen eines Substrats) aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann der erste Pump-Modus einen Evakuierung-Pump-Modus (von größer Vakuum auf kleiner Vakuum bringen) und/oder einen Belüftung-Pump-Modus (von kleiner Vakuum auf größer Vakuum bringen) aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung ferner ein Substrattransfer-Ventil aufweisen, wobei die Steuerung eingerichtet ist, das Substrattransfer-Ventil während des ersten Pump-Modus in einen Geschlossen-Zustand zu bringen und/oder zu halten, in dem das Substrattransfer-Ventil die Substrattransfer-Öffnung verschließt (z.B. abdichtet, z.B. vakuumdicht), und während des zweiten Pump-Modus in einen Geöffnet-Zustand zu bringen und/oder zu halten, in dem das Substrattransfer-Ventil die Substrattransfer-Öffnung freilegt (d.h. offen lässt). Anschaulich kann die Substrattransfer-Öffnung in einem Geöffnet-Zustand des Substrattransfer-Ventils geöffnet sein und in einem Geschlossen-Zustand des Substrattransfer-Ventils geschlossen sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuerung eingerichtet sein, ein Substrat in dem zweiten Pump-Modus durch die Substrattransfer-Öffnung zu transportieren (d.h. zwischen der ersten Vakuumkammer und der zweiten Vakuumkammer).
  • Die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen auch als Boosterpumpe bezeichnet sein oder werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Verfahren zum Abpumpen einer Kammeranordnung, welche eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer aufweist, mittels einer Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist, Folgendes aufweisen: Abpumpen der ersten Vakuumkammer mittels der zumindest einen Pumpe in einem ersten Pump-Modus (z.B. in dem Entlade-Pump-Modus und/oder in dem Individual-Pump-Modus), in welchem die zumindest eine Pumpe elektrische Energie und mechanische Energie aus dem Schwungmasse-Energiespeicher zum Abpumpen verwendet; Abpumpen einer zweiten Vakuumkammer mittels der zumindest einen Pumpe in einem zweiten Pump-Modus (z.B. in dem Auflade-Pump-Modus und/oder in dem Gemeinsam-Pump-Modus), in welchem die zumindest eine Pumpe einen ersten Teil der elektrischen Energie zum Abpumpen verwendet und einen zweiten Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie umwandelt und in dem Schwungmasse-Energiespeicher speichert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Substrattransfer-Öffnung in dem ersten Pump-Modus geschlossen sein und/oder in dem zweiten Pump-Modus geöffnet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Stellen eines Substrattransfer-Ventils, so dass dieses die Substrattransfer-Öffnung in dem ersten Pump-Modus abdichtet und in dem zweiten Pump-Modus öffnet. Anschaulich kann die Substrattransfer-Öffnung in einem Geöffnet-Zustand des Substrattransfer-Ventils geöffnet sein und in einem Geschlossen-Zustand des Substrattransfer-Ventils geschlossen sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner aufweisen: Transportieren eines Substrat während des zweiten Pump-Modus durch die Substrattransfer-Öffnung (d.h. zwischen der ersten Vakuumkammer und der zweiten Vakuumkammer). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer; zumindest eine Pumpe, welche einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist; eine Steuerung zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer und/oder der zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe gemäß mehrerer Pump-Modi, von denen: die zumindest eine Pumpe in einem ersten Pump-Modus, elektrische Energie und mechanische Energie aus dem Schwungmasse-Energiespeicher zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer verwendet; und die zumindest eine Pumpe in einem zweiten Pump-Modus, einen ersten Teil der elektrischen Energie zum Abpumpen der zweiten Vakuumkammer verwendet und einen zweiten Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie umwandelt und in dem Schwungmasse-Energiespeicher speichert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer; eine Pumpenanordnung, welche mehrere Pumpstufen aufweist, von denen eine erste Pumpstufe zumindest eine Vorpumpe aufweist und eine zweite Pumpstufe, welche zwischen die erste Pumpstufe und die erste Vakuumkammer und/oder zwischen die erste Pumpstufe und die zweite Vakuumkammer geschaltet ist, zumindest eine Pumpe mit einem Schwungmasse-Energiespeicher aufweist; ein erstes Ventil, welches die zweite Pumpstufe mit der ersten Vakuumkammer koppelt; ein zweites Ventil, welches die zweite Pumpstufe mit der zweiten Vakuumkammer koppelt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zwischen die zweite Pumpstufe ein Sammelrohr (eine Pumpleitung) aufweisen, welches das erste Ventil und das zweite Ventil miteinander koppelt. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Sammelrohr mit einem Ansauganschluss zumindest der Pumpe mit dem Schwungmasse-Energiespeicher (d.h. die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) (z.B. gasleitend) gekoppelt sein. Optional kann die zweite Pumpstufe zumindest eine weitere Pumpe (d.h. eine weitere Pumpe oder mehrere weitere Pumpen) mit einem Schwungmasse-Energiespeicher aufweisen, deren Ansauganschluss mit dem Sammelrohr (z.B. gasleitend) gekoppelt ist.
  • Optional kann die erste Pumpstufe eine weitere Vorpumpe (d.h. eine weitere Vorpumpe oder mehrere weitere Vorpumpe) aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ kann die erste Pumpstufe genau die eine Vorpumpe aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Entladen eines Schwungmasse-Energiespeichers einer Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) zum Abpumpen einer ersten Vakuumkammer, wobei ein Druck der ersten Vakuumkammer mittels der Pumpe von größer Vakuum auf gleich oder kleiner als Vakuum gebracht wird (Evakuierung-Pump-Modus); Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers während des Abpumpens einer zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe, wobei ein Druck der zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe bei gleich oder kleiner als Vakuum gehalten wird (Halten-Pump-Modus).
  • Das Entladen kann aufweisen, den Schwungmasse-Energiespeicher abzubremsen, z.B. durch einen Pumpvorgang. Das Laden kann aufweisen, den Schwungmasse-Energiespeicher zu beschleunigen, z.B. indem dieser angetrieben wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer; zumindest eine Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist; eine Steuerung, welche eingerichtet ist: den Schwungmasse-Energiespeicher zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer zu entladen, wobei ein Druck der ersten Vakuumkammer mittels der Pumpe von größer Vakuum auf gleich oder kleiner als Vakuum gebracht wird (Evakuierung-Pump-Modus); den Schwungmasse-Energiespeicher während des Abpumpens der zweiten Vakuumkammer aufzuladen, wobei ein Druck der zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe bei gleich oder kleiner als Vakuum gehalten wird (Halten-Pump-Modus).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Druck der ersten Vakuumkammer mittels des Abpumpens von der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe von größer Vakuum, z.B. größer als 0,3 mbar, z.B. größer als ungefähr Normaldruck (Luftdruck), auf gleich oder kleiner als Vakuum gebracht sein oder werden, z.B. kleiner als ein oder gleich zu einem Übergabedruck.
  • Der Übergabedruck kann anschaulich einen Druck bezeichnen, bei dem das Substrat in eine angrenzende Kammer transferiert werden kann (umgeschleust).
  • Der Übergabedruck kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner als ungefähr 0,3 bar sein, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,1 bar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,5 mbar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,1 mbar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,05 mbar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,01 mbar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,005 mbar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,002 mbar, z.B. kleiner als oder gleich zu ungefähr 0,001 mbar.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Entladen eines Schwungmasse-Energiespeichers einer Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe), wobei die Pumpe während des Entladens mit einer ersten Vakuumkammer (z.B. gasleitend) gekoppelt ist und von einer zweiten Vakuumkammer entkoppelt ist; Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers, wobei die Pumpe während des Aufladens mit der zweiten Vakuumkammer (z.B. gasleitend) (z.B. gasleitend) gekoppelt ist; und Transportieren eines Substrats durch die erste Vakuumkammer und/oder die zweite Vakuumkammer hindurch.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer; eine Transportvorrichtung zum Transportieren eines Substrats eines Substrats durch die erste Vakuumkammer und/oder die zweite Vakuumkammer hindurch; zumindest eine Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist; eine Steuerung, welche eingerichtet ist: die zumindest eine Pumpe während des Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers mit der ersten Vakuumkammer zu koppeln und von der zweiten Vakuumkammer zu entkoppeln; die zumindest eine Pumpe während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers mit der zweiten Vakuumkammer zu koppeln.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Betreiben einer Pumpe, welche einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist, Folgendes aufweisen: Entladen des Schwungmasse-Energiespeichers; Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers; wobei die Pumpe während des Aufladens und des Entladens mit zumindest einem Vakuumbereich (z.B. gasleitend) gekoppelt ist; Transportieren eines Substrats durch den Vakuumbereich hindurch.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in dem Vakuumbereich ein Übergabedruck bereitgestellt sein oder werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Druck in dem Vakuumbereich während des Aufladens der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe kleiner als der Übergabedruck bereitgestellt sein oder werden. Anschaulich kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe aufgeladen werden, während diese den Vakuumbereich abpumpt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: einen Vakuumbereich, welcher in einer ersten Vakuumkammer und/oder einer zweiten Vakuumkammer angeordnet ist; zumindest eine Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist; eine Steuerung, welche eingerichtet ist die Pumpe während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers und des Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers mit dem Vakuumbereich zu koppeln; eine Transportvorrichtung zum Transportieren eines Substrats durch den Vakuumbereich hindurch.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Abpumpen eines Sammelrohres mittels mehrerer Pumpen, von denen zumindest eine Pumpe einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist, welcher sich zum Abpumpen des Sammelrohres entladen lässt, wobei das Sammelrohr mittels eines ersten Ventils mit einer ersten Vakuumkammer gekoppelt ist und mittels eines zweiten Ventils mit einer zweiten Vakuumkammer gekoppelt ist; Abpumpen der ersten Vakuumkammer und/oder der zweiten Vakuumkammer gemäß mehrerer Pump-Modi, von denen in einem ersten Pump-Modus das erste Ventil und/oder das zweite Ventil geschlossen sind und in einem zweiten Pump-Modus das erste Ventil und das zweite Ventil geöffnet sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung Folgendes aufweisen: eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer; mehrere Pumpen, deren Ansauganschlüsse mittels eines Sammelrohres miteinander (z.B. gasleitend) gekoppelt sind und von denen zumindest eine Pumpe einen Schwungmasse-Energiespeicher aufweist, welcher sich zum Abpumpen des Sammelrohres entladen lässt; ein erstes Ventil, welches das Sammelrohr mit der ersten Vakuumkammer koppelt; ein zweites Ventil, welches das Sammelrohr mit der zweiten Vakuumkammer koppelt; eine Steuerung zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer und/oder der zweiten Vakuumkammer gemäß mehrerer Pump-Modi, von denen in einem ersten Pump-Modus das erste Ventil und/oder das zweite Ventil geschlossen sind und in einem zweiten Pump-Modus das erste Ventil und das zweite Ventil geöffnet sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Vakuumkammer und die zweite Vakuumkammer mittels einer Substrattransfer-Öffnung miteinander verbunden sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportvorrichtung eine Transportfläche definieren, zum Transportieren eines Substrats entlang der Transportfläche, wobei die Transportfläche durch die Substrattransfer-Öffnung hindurch verläuft.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung ferner ein Substrattransfer-Ventil aufweisen, wobei die Steuerung eingerichtet ist, das Substrattransfer-Ventil während des ersten Pump-Modus in einen Geöffnet-Zustand zu bringen, in dem das Substrattransfer-Ventil die Substrattransfer-Öffnung verschließt (z.B. abdichtet, z.B. vakuumdicht), und während des zweiten Pump-Modus in einen Geschlossen-Zustand zu bringen, in dem das Substrattransfer-Ventil die Substrattransfer-Öffnung freilegt (d.h. offen lässt).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Vakuumkammer und die zweite Vakuumkammer mittels der Substrattransfer-Öffnung verbunden sein, welche in einem geschlossen-Zustand (des Substrattransfer-Ventils) die zwei Vakuumkammern voneinander separiert (z.B. voneinander gassepariert). Anschaulich kann die Substrattransfer-Öffnung in einem Geöffnet-Zustand des Substrattransfer-Ventils geöffnet sein (d.h. die erste Vakuumkammer und die zweite Vakuumkammer können gasleitend miteinander verbunden sein) und in einem Geschlossen-Zustand des Substrattransfer-Ventils geschlossen sein (d.h. die erste Vakuumkammer und die zweite Vakuumkammer können voneinander gassepariert sein).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Ankoppeln (gasleitend Verbinden) einer ersten Vakuumkammer, welche einen ersten Druck größer als Vakuum aufweist, an eine Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe), wobei zum Verringern des ersten Drucks mittels der Pumpe ein Schwungmasse-Energiespeicher der Pumpe entladen wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Abkoppeln (gasseparierend Trennen) der Pumpe (Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) von der ersten Vakuumkammer, wenn der Schwungmasse-Energiespeicher einen vorgegebenen Speicherwert unterschreitet und/oder wenn der erste Druck einen vorgegebenen Druck (z.B. den Übergabedruck) unterschreitet.
  • Ein Ventil kann in einem Geöffnet-Zustand zwei Bereiche miteinander gasleitend verbinden und in einem Geschlossen-Zustand die zwei Bereiche gasseparierend voneinander trennen.
  • Der vorgegebene Speicherwert kann einer Drehzahl der Schwungmasse (z.B. der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) zugeordnet sein oder von dieser repräsentiert werden. Beispielsweise kann der vorgegebene Speicherwert einer Drehzahl der Schwungmasse zugeordnet sein oder von dieser repräsentiert werden, welche kleiner als ungefähr 50% der Nenndrehzahl der Schwungmasse (z.B. der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) ist, z.B. kleiner als ungefähr 40% der Nenndrehzahl, z.B. kleiner als ungefähr 30% der Nenndrehzahl, z.B. kleiner als ungefähr 20% der Nenndrehzahl, z.B. kleiner als ungefähr 10% der Nenndrehzahl.
  • In einem Geladen-Zustand des Schwungmasse-Energiespeichers kann die Drehzahl ungefähr 100% der Nenndrehzahl betragen. Die Nenndrehzahl kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen größer als oder gleich zu ungefähr 500 Umdrehungen pro Minute (U/min) sein, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 1000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 2000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 3000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 4000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 5000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 6000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 7000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 8000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 9000 U/min, z.B. größer als oder gleich zu ungefähr 10000 U/min, und/oder kleiner als oder gleich zu ungefähr 12000 U/min.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung mehrere Kammern aufweisen, von denen zumindest eine Kammer einen Prozessierbereich aufweist (auch als Prozessierkammer bezeichnet). Der Prozessierbereich kann mittels einer Prozessierquelle in der Kammer bereitgestellt sein oder werden. Eine Prozessierquelle kann z.B. eine Beschichtungsquelle (ein Magnetron, ein Rohr-Magnetron oder ein Doppelrohr-Magnetron, ein Planarmagnetron oder Doppel-Planarmagnetron), eine Belichtungsvorrichtung (eine Lichtquelle, einen Laser, eine Blitzlampe oder eine Blitzlampenanordnung), eine Wärmequelle (z.B. einen Heizer), eine Ätzvorrichtung (z.B. eine Ätzgasquelle oder Ätzplasmaquelle), eine Strahlenquelle (z.B. eine Elektronenstrahlquelle oder Ionenstrahlquelle), oder Ähnliches aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung zumindest einen Eingangsbereich und/oder einen Ausgangsbereich aufweisen, wobei der der Eingangsbereich und/oder der Ausgangsbereich die erste Vakuumkammer und/oder die zweite Vakuumkammer aufweist. Optional können der Eingangsbereich und/oder der Ausgangsbereich eine dritte Vakuumkammer aufweisen. Alternativ können die zweite Vakuumkammer und/oder die dritte Vakuumkammer eine Prozessierkammer sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung im Allgemeinen ein Kammergehäuse aufweisen, in dem eine Kammer oder mehrere Kammern der Kammeranordnung bereitgestellt sein können oder werden können. Das Kammergehäuse kann beispielsweise zum Bereitstellen eines Unterdrucks oder eines Vakuums (Vakuumkammergehäuse) mit einer Vakuumpumpenanordnung (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und derart stabil eingerichtet sein, dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standzuhalten. Dementsprechend kann eine Vakuumkammer oder können mehrere Vakuumkammern in einem Kammergehäuse bereitgestellt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse, z.B. eine darin bereitgestellte Vakuumkammer, derart eingerichtet sein, dass darin ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum), bereitgestellt werden, oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) bereitgestellt werden, oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) bereitgestellt werden oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10-7 mbar bereitgestellt werden.
  • Die Vakuumpumpenanordnung kann eine erste Pumpstufe und eine zweite Pumpstufe aufweisen, welche seriell hintereinander geschaltet sein. Die erste Pumpstufe kann zumindest eine Vorpumpe (Vorvakuumpumpe) aufweisen oder daraus gebildet sein. Die zweite Pumpstufe kann zwischen die erste Pumpstufe und die Kammeranordnung geschaltet sein, d.h. an ihrem Ansauganschluss mit der Kammeranordnung (z.B. gasleitend) (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und mit ihrem Abführungsanschluss mit der ersten Pumpstufe (z.B. gasleitend) gekoppelt sein. Die zweite Pumpstufe kann zumindest eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Ferner kann eine Kammer der Kammeranordnung (z.B. eine Vakuumkammer) entsprechend ihres Verwendungszwecks bezeichnet werden. Beispielsweise kann eine Kammeranordnung zumindest eins von Folgendem aufweisen: eine Prozessierkammer zum Prozessieren eines Substrats, eine Schleusenkammer (z.B. mittels der ersten Vakuumkammer bereitgestellt) zum Einschleusen eines Substrats in die Kammeranordnung hinein und/oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Kammeranordnung heraus, eine Pufferkammer (z.B. mittels der zweiten Vakuumkammer bereitgestellt) zum Vorhalten eines Substrats, eine Transferkammer (z.B. mittels der dritten Vakuumkammer bereitgestellt) zum Bilden eines Substratbands (einer kontinuierlichen Folge von Substraten) aus mehreren Substraten und/oder eine Ventilkammer zum vakuumdichten Separieren zweier Abschnitte der Kammeranordnung voneinander.
  • Eine Prozessieranordnung kann die Kammeranordnung aufweisen und in zumindest eine Prozessierquelle, welche in einer Kammer der Kammeranordnung einen Prozessierbereich bereitstellt. Die Kammern einer Kammeranordnung können mittels eines Kammergehäuses oder mehrerer Kammergehäuse bereitgestellt sein oder werden. Die Kammern einer Kammeranordnung können zum Betrieb ein gemeinsames Vakuumsystem bilden.
  • Die erste Vakuumkammer und/oder die zweite Vakuumkammer können beispielsweise mittels eines gemeinsamen Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden.
  • Das Substrattransfer-Ventil kann eine Ventilklappe aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Zum Einschleusen eines Substrats in die Kammeranordnung hinein und/oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Kammeranordnung heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern und/oder eine oder mehrere Transferkammern verwendet werden.
  • Zum Einschleusen eines Substrats in die Kammeranordnung hinein kann beispielsweise das Substrat in eine belüftete Schleusenkammer (z.B. die erste Vakuumkammer) eingebracht werden. Anschließend kann die Schleusenkammer mit dem Substrat darin mittels eines Substrattransfer-Ventils vakuumdicht verschlossen und daraufhin evakuiert werden. Danach kann eine Substrattransfer-Öffnung zu einer angrenzenden Vakuumkammer (z.B. einer Pufferkammer) mittels eines weiteren Substrattransfer-Ventils geöffnet werden und das Substrat kann aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in die angrenzende Vakuumkammer der Kammeranordnung transportiert werden. Zum Belüften der Schleusenkammern kann die Substrattransfer-Öffnung zu der angrenzenden Vakuumkammer mittels des weiteren Substrattransfer-Ventils wieder verschlossen werden, und ein nächstes Substrat in die belüftete Schleusenkammer eingebracht werden.
  • Somit können Substrate schubweise (nacheinander) der Kammeranordnung zugeführt werden. Mehrere Substrate können jeweils einzeln schubweise oder mindestens zwei der mehreren Substrate können gemeinsam schubweise eingebracht werden.
  • Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der Transferkammer können mehrere schubweise eingebrachte Substrate zu einem so genannten Substratband derart zusammengeführt werden, dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in entsprechenden Prozessierkammern der Kammeranordnung prozessiert (z.B. beschichtet) werden. Alternativ kann ein Substrat auch direkt aus der Schleusenkammer in die Transferkammer eingebracht werden, ohne eine Pufferkammer zu verwenden, was beispielsweise eine verlängerte Taktzeit (die zum Einbringen eines Substrat in die Kammeranordnung hinein benötigte Zeit) verursachen kann.
  • Die Prozessierkammer, die Transferkammer, die Schleusenkammer und/oder die Pufferkammer können jeweils als Vakuumkammer eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung mehrere Vakuumkammern aufweisen, von denen eine erste Vakuumkammer (z.B. eine Schleusenkammer) zum Bereitstellen eines ersten Drucks eingerichtet ist und die zweite Vakuumkammer (z.B. eine Pufferkammer, eine Vakuumkammer oder eine Prozessierkammer) zum Bereitstellen des zweiten Drucks kleiner als der erste Druck eingerichtet ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Vakuumkammer zwischen der erste Vakuumkammer und eine Prozessierkammer angeordnet sein und mit der ersten Vakuumkammer durch eine verschließbare Substrattransfer-Öffnung hindurch verbunden sein. Anschaulich können der Eingangsbereich und/oder der Ausgangsbereich mehrstufig eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Vakuumkammer eine Pufferkammer sein und die erste Vakuumkammer kann eine Atmosphäre-Vakuum-Schleusenkammer sein. Alternativ kann die zweite Vakuumkammer eine Transferkammer sein und die erste Vakuumkammer kann eine Atmosphäre-Vakuum-Schleusenkammer sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung zwischen der ersten Vakuumkammer und der Prozessierkammer eine Transferkammer (z.B. die zweite Vakuumkammer) aufweisen, in welcher eine Transportvorrichtung angeordnet ist; wobei die Transportvorrichtung zum Überführen eines getakteten Substrattransports in einen kontinuierlichen Substrattransport eingerichtet ist. Beispielsweise kann die Transferkammer zum Bilden eines Substratbands (einer kontinuierlichen Folge von Substraten) aus mehreren Substraten (einer diskreten Folge von Substraten) eingerichtet sein.
  • Zum Einschleusen eines Substrats in die Kammeranordnung hinein kann beispielsweise das Substrat in eine belüftete erste Vakuumkammer (Atmosphäre-Vakuum-Schleusenkammer) eingebracht werden. Anschließend kann die erste Vakuumkammer mit dem Substrat darin mittels eines Substrattransfer-Ventils vakuumdicht verschlossen und daraufhin evakuiert werden. Danach kann eine Substrattransfer-Öffnung zu einer angrenzenden zweiten Vakuumkammer (z.B. einer Pufferkammer) mittels eines weiteren Substrattransfer-Ventils geöffnet werden und das Substrat kann aus der evakuierten ersten Vakuumkammer heraus in die zweite Vakuumkammer der Kammeranordnung transportiert werden. Zum Belüften der ersten Vakuumkammer kann die Substrattransfer-Öffnung zu der zweiten Vakuumkammer mittels des weiteren Substrattransfer-Ventils wieder verschlossen werden, und ein nächstes Substrat in die belüftete erste Vakuumkammer eingebracht werden.
  • Somit können Substrate schubweise (nacheinander) der Kammeranordnung zugeführt werden. Mehrere Substrate können jeweils einzeln schubweise oder mindestens zwei der mehreren Substrate können gemeinsam schubweise eingebracht werden.
  • Zum Transportieren zumindest eines Substrats (eines Substrats oder mehrerer Substrate) in die Kammeranordnung hinein, aus der Kammeranordnung heraus oder in der Kammeranordnung kann die Kammeranordnung eine Transportvorrichtung aufweisen. Die Transportvorrichtung kann beispielsweise mehrere Transportrollen aufweisen. Die Transportvorrichtung kann beispielsweise mehrere Gruppen von Transportrollen aufweisen, welche voneinander entkoppelt sind.
  • Das zumindest eine Substrat kann Glas, Metall, einen Halbleiter (z.B. Silizium) und/oder ein Polymer aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. in Form einer Platte. Beispielsweise kann das zumindest eine Substrat einen Siliziumwafer und/oder Glaswafer aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das zumindest eine Substrat eine Metallplatte und/oder Polymerplatte aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Eine Pumpe (kann auch als Verdichter oder Gebläse bezeichnet werden) kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Fördern eines Gases eingerichtet sein und/oder zum Verdichten eines Gases eingerichtet sein, was als Pumpen bezeichnet wird. Eine Pumpe kann einen im Betrieb der Pumpe zyklisch arbeitende Gastransfereinheit (einen Förderer und/oder einen Verdichter aufweisend) aufweisen, welcher Gas an einem Ansauganschluss der Pumpe ansaugt und aus einem Ausgangsanschluss herauspresst. Die Gastransfereinheit kann zum Betrieb der Pumpe mittels einer rotierenden Bewegung angetrieben werden und/oder in eine rotierende Bewegung versetzt werden (z.B. kann die Gastransfereinheit einen Rotor, eine Schraube, ein Zahnrad, Rotorblätter, und/oder einen Kolben aufweisen). Zum Betrieb kann die Pumpe Energie aufnehmen, welche zum Fördern und/oder Verdichten des Gases verwendet wird. Dazu kann die Pumpe einen elektrischen Pumpenantrieb aufweisen, welcher elektrische Energie aufnimmt und in mechanische Energie umwandelt und diese der Gastransfereinheit zuführt. Je mehr Gas gefördert werden soll und/oder je stärker das Gas verdichtet werden soll, desto mehr Energie kann die Pumpe benötigen, z.B. aufnehmen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Schwungmasse-Energiespeicher (z.B. Rotationsenergiespeicher) zumindest eine drehbar gelagerten Schwungmasse aufweisen oder daraus gebildet sein. Die drehbar gelagerten Schwungmasse kann zum Speichern mechanischer Energie (z.B. kinetischer Energie, z.B. Rotationsenergie) in eine Drehbewegung versetzt werden, wobei die mittels der Schwungmasse gespeicherte Energie umso größer ist, je größer das Trägheitsmoment der Schwungmasse ist und/oder je größer die Drehzahl (Rotationsfrequenz), d.h. deren Umdrehungen pro Zeiteinheit, sind. Zum Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers kann der Schwungmasse mechanische Energie zugeführt werden, d.h. die Schwungmasse kann z.B. beschleunigt werden. Zum Entladen des Schwungmasse-Energiespeichers kann der Schwungmasse mechanische Energie entzogen werden, d.h. die Schwungmasse kann z.B. abgebremst werden.
  • Die drehbar gelagerte Schwungmasse kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen mittels der Gastransfereinheit einer Pumpe bereitgestellt sein oder werden. Anschaulich kann die Gastransfereinheit auf eine hohe Drehzahl beschleunigt werden, in welchem diese mechanische Energie speichert. Alternativ oder zusätzlich kann die Schwungmasse mittels eines anderen drehbar gelagerten Bauelements der Pumpe bereitgestellt sein oder werden, z.B. mittels einer Welle und/oder mittels eines elektrischen Pumpenantriebs.
  • Der Schwungmasse kann zum Pumpen ein Teil der gespeicherten mechanischen Energie entzogen werden (Entladen des Schwungmasse-Energiespeichers), d.h. die Energie wird dann zum Pumpen verwendet. Mit anderen Worten wird dann mehr Energie zum Pumpen verwendet, als der Pumpe an elektrischer Energie zugeführt wird. Alternativ oder zusätzlich kann der Schwungmasse ein Teil der überschüssigen Energie, d.h. Energie, die zwar zur Verfügung steht, aber nicht zum Pumpen benötigt wird, zugeführt werden (Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers). Mit anderen Worten wird dann weniger Energie zum Pumpen verwendet, als der Pumpe an elektrischer Energie zugeführt wird.
  • Anschaulich kann eine größere Pumpleistung bereitgestellt werden, wenn der Schwungmasse-Energiespeicher entladen wird als wenn der Schwungmasse-Energiespeicher aufgeladen wird. Somit kann die Pumpe mittels des Schwungmasse-Energiespeichers eine kurzeitige Steigerung der Pumpleistung bewirken, z.B. wenn diese benötigt wird.
  • Beispielsweise kann die Gastransfereinheit zum Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers beschleunigt (d.h. deren Drehzahl kann erhöht werden) und/oder zum Einladen des Schwungmasse-Energiespeichers abgebremst werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuerung eine nach vorn gerichtete Steuerstrecke aufweisen und somit anschaulich eine Ablaufsteuerung implementieren, welche eine Eingangsgröße in eine Ausgangsgröße umsetzt. Die Steuerstrecke kann aber auch Teil eines Regelkreises sein, so dass eine Regelung implementiert wird. Die Regelung weist im Gegensatz zu der reinen Vorwärts-Steuerung eine fortlaufende Einflussnahme der Ausgangsgröße auf die Eingangsgröße auf, welche durch den Regelkreis bewirkt wird (Rückführung). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuer-RegelVorrichtung eine Steuerung und/oder eine Regelung aufweisen oder daraus gebildet sein.
  • Die Steuerung kann ferner eingerichtet sein, zum Betreiben der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in einem Auflade-Pump-Modus, die erste Pumpstufe zwischen Normaldruck und die zweite Pumpstufe (bzw. die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) zu schalten. Damit kann ein Saugvermögen der zweiten Pumpstufe (bzw. der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) in dem Auflade-Pump-Modus erhöht und/oder das Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers kann beschleunigt werden. Mittels der ersten Pumpstufe kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in einem Auflade-Pump-Modus vorgepumpt werden, d.h. mit ihrem Abgasanschluss an einen Druck kleiner als Vakuum (0,3 bar) gekoppelt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in einem Entlade-Pump-Modus mit ihrem Abgasanschluss an Normaldruck (z.B. gasleitend) gekoppelt sein, z.B. indem die erste Pumpstufe von der zweiten Pumpstufe entkoppelt wird. Somit kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe ihr hohes Saugvermögen direkt abführen, was es ermöglicht eine kleinere erste Pumpstufe zu verwenden.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
  • Es zeigen
    • 1A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 1B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 2A und 2B jeweils eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
    • 3A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 3B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 4A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Diagramm;
    • 4B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 5A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 5B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 6A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 6B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 7A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 7B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 8A ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 8B ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Diagramm;
    • 9A und 9B jeweils ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram;
    • 10A und 10B jeweils eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 11A eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 11B eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht;
    • 12 eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Schaltplan; und
    • 13A, 13B und 13C jeweils eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht.
  • In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
  • Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
  • Herkömmlicherweise werden die Eingangskammern einer Prozessieranordnung jede mittels einer, zwei, drei oder vier großer Pumpstände abgepumpt. Beispielsweise wird die Schleusenkammer auf Grobvakuum abgepumpt, anschließend wird die Pufferkammer (Buffer-Kammer) mittels Turbopumpen und teilweise weiterer Vorpumpstände, auf Übergabedruck zum Prozessraum gepumpt. Die Pumpstände an der Schleusenkammer werden im Vergleich zur gesamten Taktzeit, in der eingeschleust wird, nur relativ kurz benötigt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird ein Pumpkonzept bereitgestellt, welches die Abpumpzeit, die Anschaffungskosten, den benötigen Raumbedarf und die Wartungskosten zu reduziert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird nur noch ein Pumpstand aufweisend mindestens eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe (z.B. eine Boosterpumpe, wie z.B. eine SIHIbooster stand alone) und mindestens eine Vorpumpe benötigt, welcher mit der Pufferkammer (z.B. gasleitend) gekoppelt ist.
  • Weist der Pumpstand mehrere Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen auf, koppelt ein Sammelrohr (z.B. DN250 oder größer) die mehreren Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen miteinander, d.h. führt deren Pumpleistung zusammen, und führt über zwei Abgänge (z.B. DN250) direkt an die Kammeranordnung, wobei die zwei Abgänge (Rohr-Verbindungen) jeder mittels eines Ventils (z.B. RS-Klappen abtrennbar (separierbar) eingerichtet ist. Dadurch kann auf zusätzliche Turbopumpen verzichtet werden. Ein weiterer Abgang (weitere Rohr-Verbindung) der Sammelleitung (z.B. in DN160) führt an einen Flansch an der Schleusenkammer (z.B. die erste Vakuumkammer). Der weitere Abgang (z.B. DN160) kann mittels eines Ventils (z.B. eine RS-Klappe) abtrennbar eingerichtet sein, z.B. mittels eines DN160 Ventils.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Aufstellfläche der benötigten Pumpen gegenüber herkömmlichen Pumpen deutlich reduziert sein oder werden. Dadurch ist der Zugang zur Kammeranordnung, vor allem im Bereich der Schleusenkammern, deutlich verbessert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen lässt sich die Abpumpzeit der ersten Vakuumkammer bis zum Übergabedruck in die zweite Vakuumkammer verkürzen. Dadurch ist eine Taktzeitreduzierung der Prozessieranordnung möglich.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen sind die Wartungsabstände der verwendeten Pumpen größer (da z.B. weniger rotierende Teile verwendet werden, z.B. gegenüber Turbomolekularpumpen).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Pumpen der Kammeranordnung ölfrei arbeiten (eine Ölfrei-Pumpe oder auch Trockenläuferpumpe) .
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können ein großer herkömmlicher Pumpstand und dessen Turbopumpen entfallen, welche somit nicht mehr versorgt werden müssen. Dadurch werden weiter Kosten reduziert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen lässt sich der Kühlwasserverbrauch deutlich reduzieren (da z.B. weniger rotierende Teile verwendet werden, z.B. gegenüber Turbomolekularpumpen).
  • 1A veranschaulicht ein Verfahren 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren 100a kann in 121 aufweisen: Abpumpen der ersten Vakuumkammer oder der zweiten Vakuumkammer in einem ersten Pump-Modus (z.B. ein Individual-Pump-Modus), in welchem das erste Ventil und/oder das zweite Ventil geschlossen sind.
  • Das Verfahren 100a kann ferner in 123 aufweisen: Abpumpen der ersten Vakuumkammer und der zweiten Vakuumkammer in einem zweiten Pump-Modus (z.B. ein Gemeinsam-Pump-Modus), in dem das erste Ventil und das zweite Ventil geöffnet sind.
  • Das Verfahren 100a kann ferner in 125 aufweisen: Transportieren eines Substrats durch die Substrattransfer-Öffnung.
  • 1B veranschaulicht eine Kammeranordnung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren (z.B. dem Verfahren 100a) gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung 100b eine erste Vakuumkammer 102 und eine zweite Vakuumkammer 104 aufweisen, welche mittels einer Substrattransfer-Öffnung 106 verbunden sind.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100b eine Transportvorrichtung 108 aufweisen, zum Transportieren eines Substrats (nicht dargestellt) durch die Substrattransfer-Öffnung 106 hindurch. Die Transportvorrichtung 108 kann mehrere Transportrollen 108r aufweisen, welche eine Transportfläche 111f definieren, entlang derer das Substrat transportiert wird, z.B. auf die Transportrollen 108r aufgelegt.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100b mehrere Pumpen 110a, 110b aufweisen, deren Ansauganschlüsse 112a, 112b mittels eines Sammelrohres 114 miteinander (z.B. gasleitend) gekoppelt sind. Die mehrere Pumpen 110a, 110b können zumindest zwei Pumpen aufweisen, z.B. drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder z.B. mehr als zehn Pumpen. Die Anzahl der Pumpen kann an die benötigte Pumpleistung angepasst sein oder werden.
  • Von den mehreren Pumpen 110a, 110b kann zumindest eine Pumpe 110b (z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder z.B. mehr als zehn Pumpen) einen Schwungmasse-Energiespeicher 116 aufweisen, welcher sich zum Abpumpen des Sammelrohres 114 entladen lässt.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100b ein erstes Ventil 116a aufweisen, welches das Sammelrohr 114 mit der ersten Vakuumkammer 102 koppelt.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100b ein zweites Ventil 116b aufweisen, welches das Sammelrohr 114 mit der zweiten Vakuumkammer 104 koppelt.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 100b eine Steuerung 120 aufweisen, welche eingerichtet ist, die erste Vakuumkammer 102 und/oder die zweite Vakuumkammer 104 gemäß mehrerer Pump-Modi abzupumpen. Die Steuerung 120 kann eingerichtet sein, einen Zustand des ersten Ventils 116a und/oder des zweiten Ventils 116b zu steuern oder zu regeln (mit anderen Worten kann anstatt der Steuerung 120 auch eine Regelung verwendet werden, welche die Steuerstrecke der Steuerung 120 aufweist).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in einem zweiten Pump-Modus (z.B. einem Gemeinsam-Pump-Modus), wie in 1B veranschaulicht ist, das erste Ventil 116a und das zweite Ventil 116b in einen Geöffnet-Zustand gebracht und/oder in diesem gehalten werden. In dem Gemeinsam-Pump-Modus können die erste Vakuumkammer 102 und die zweite Vakuumkammer 104 mit dem Sammelrohr 114 gasleitend verbunden sein (d.h. mit dem Inneren des Sammelrohrs 114). In dem Gemeinsam-Pump-Modus können anschaulich beide Vakuumkammern 102, 104 gemeinsam abgepumpt werden.
  • Die Steuerung 120 kann optional eingerichtet sein, die Substrattransfer-Öffnung 106 gemäß der mehrerer Pump-Modi zu öffnen und/oder zu schließen. In dem Gemeinsam-Pump-Modus kann die Substrattransfer-Öffnung 106 beispielsweise geöffnet sein (bezüglich geöffnet gehalten werden) oder werden, so dass ein Substrat durch die Substrattransfer-Öffnung hindurch transportiert werden kann.
  • Die mehreren Pumpen 110a, 110b können Teil einer Pumpenanordnung 110 sein.
  • 2A und 2B veranschaulichen jeweils die Kammeranordnung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren (z.B. dem Verfahren 100a) gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in einem ersten Pump-Modus (z.B. einem Individual-Pump-Modus) das erste Ventil 116a (2B) und/oder das zweite Ventil 116b (2A) geschlossen sein oder werden.
  • Die Steuerung 120 kann optional eingerichtet sein, die Substrattransfer-Öffnung 106 gemäß der mehrerer Pump-Modi zu öffnen und/oder zu schließen. In dem Individual-Pump-Modus kann die Substrattransfer-Öffnung 106 beispielsweise geschlossen sein oder werden, z.B. mittels eines Substrattransfer-Ventils 106v.
  • Das Verfahren kann in 200a aufweisen, in dem Individual-Pump-Modus das erste Ventil 116a in einen Geöffnet-Zustand zu bringen und/oder in diesem zu halten. Das Verfahren kann in 200a aufweisen, in dem Individual-Pump-Modus das zweite Ventil 116b in einen Geschlossen-Zustand zu bringen und/oder in diesem zu halten. Mit anderen Worten kann die erste Vakuumkammer 102 mit dem Sammelrohr 114 gasleitend verbunden (d.h. gekoppelt) sein und die zweite Vakuumkammer 104 kann von dem Sammelrohr 114 gassepariert (d.h. entkoppelt) sein oder werden.
  • Alternativ oder zusätzlich kann das Verfahren in 200b aufweisen, in dem Individual-Pump-Modus das erste Ventil 116a in einen Geschlossen-Zustand zu bringen und/oder in diesem zu halten. Das Verfahren kann in 200a aufweisen, in dem Individual-Pump-Modus das zweite Ventil 116b in einen Geöffnet-Zustand zu bringen und/oder in diesem zu halten. Mit anderen Worten kann die zweite Vakuumkammer 104 mit dem Sammelrohr 114 gasleitend verbunden sein und die erste Vakuumkammer 102 kann von dem Sammelrohr 114 gassepariert sein oder werden.
  • Alternativ oder zusätzlich zu 200a und/oder 200b kann das Verfahren aufweisen in dem Individual-Pump-Modus das erste Ventil 116a in den Geschlossen-Zustand zu bringen und/oder in diesem zu halten und das zweite Ventil 116b in den Geschlossen-Zustand zu bringen und/oder in diesem zu halten. Mit anderen Worten kann die zweite Vakuumkammer 104 von dem Sammelrohr 114 gassepariert sein und die erste Vakuumkammer 102 kann von dem Sammelrohr 114 gassepariert sein. Dann kann z.B. eine dritte Vakuumkammer (nicht dargestellt) mittels der Pumpenanordnung 110 abgepumpt werden.
  • 3A veranschaulicht ein Verfahren 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren kann in 321 aufweisen: Abpumpen einer ersten Vakuumkammer 104 mittels einer Pumpe (einer Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe) in einem ersten Pump-Modus (z.B. einem Entlade-Pump-Modus), in welchem die Pumpe elektrische Energie und mechanische Energie aus ihrem Schwungmasse-Energiespeicher zum Abpumpen verwendet.
  • Das Verfahren kann ferner in 323 aufweisen: Abpumpen einer zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe in einem zweiten Pump-Modus (z.B. einem Auflade-Pump-Modus), in welchem die Pumpe einen ersten Teil der elektrischen Energie zum Abpumpen verwendet und einen zweiten Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie umwandelt und in dem Schwungmasse-Energiespeicher speichert.
  • In dem Entlade-Pump-Modus (kann auch als Schub-Pump-Modus oder Boost-Pump-Modus bezeichnet sein oder werden) kann anschaulich ein Teil der in dem Schwungmasse-Energiespeicher gespeicherten Energie verwendet werden, um das Abpumpen zu beschleunigen.
  • Optional kann das Verfahren 300a aufweisen: Transportieren eines Substrats durch die Substrattransfer-Öffnung hindurch.
  • 3B veranschaulicht eine Kammeranordnung 300b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen (z.B. dem Verfahren 300a) .
  • Die Kammeranordnung 300b kann die erste Vakuumkammer 102 und die zweite Vakuumkammer 104 aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 300b zumindest eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b (d.h. eine oder mehrere Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen) aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 300b eine Steuerung 120 aufweisen, welche eingerichtet ist, die erste Vakuumkammer 102 und/oder die zweite Vakuumkammer 104 mittels der zumindest einen Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b gemäß mehrerer Pump-Modi abzupumpen, von denen: die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in einem ersten Pump-Modus (z.B. einem Entlade-Pump-Modus), elektrische Energie und mechanische Energie aus dem Schwungmasse-Energiespeicher 116 zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer 102 verwendet; und die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b in einem zweiten Pump-Modus (z.B. einem Auflade-Pump-Modus), einen ersten Teil der elektrischen Energie zum Abpumpen der zweiten Vakuumkammer 104 verwendet und einen zweiten Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie umwandelt und in dem Schwungmasse-Energiespeicher 116 speichert. Mit anderen Worten kann der zweite Teil der elektrischen Energie den Schwungmasse-Energiespeicher 116 aufladen.
  • Dazu kann die Kammeranordnung 300b eine Energieversorgung 302 aufweisen, welche die elektrische Energie zum Versorgen der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b bereitstellt.
  • Beispielsweise kann die Energieversorgung 302 in dem Entlade-Pump-Modus eine erste elektrische Energie bereitstellen und in dem Auflade-Pump-Modus eine zweite elektrische Energie bereitstellen. Die erste elektrische Energie kann im Wesentlichen gleich der zweiten elektrischen Energie sein. Alternativ kann sich die erste elektrische Energie von der zweiten elektrischen Energie unterscheiden.
  • Optional kann Kammeranordnung 300b eine Transportvorrichtung 108 aufweisen (analog zur Kammeranordnung 100b) .
  • 4A veranschaulicht ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Diagramm 400a.
  • In dem Diagramm 400a sind ein Speicherwert 402 eines Schwungmasse-Energiespeichers über einer Zeit 404 veranschaulicht. Der Speicherwert 402 kann anschaulich die in dem Schwungmasse-Energiespeicher gespeicherte Energie repräsentieren und beispielsweise zu einer Drehzahl der Schwungmasse korreliert sein.
  • Das Verfahren kann in 401 aufweisen: Entladen eines Schwungmasse-Energiespeichers einer Pumpe (z.B. in dem Entlade-Pump-Modus). Während des Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers kann der Speicherwert abnehmen, z.B. kontinuierlich, z.B. linear. Alternativ kann der Speicherwert-Zeit-Verlauf 401z auch eine andere Abhängigkeit aufweisen. Beispielsweise kann die Drehzahl der Schwungmasse (z.B. die Drehzahl der Gastransfereinheit) während es Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers abnehmen.
  • Das Verfahren kann in 403 aufweisen: Aufladen eines Schwungmasse-Energiespeichers einer Pumpe (z.B. in dem Auflade-Pump-Modus). Während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers kann der Speicherwert zunehmen, z.B. kontinuierlich, z.B. linear. Alternativ kann der Speicherwert-Zeit-Verlauf 403z auch eine andere Abhängigkeit aufweisen. Beispielsweise kann die Drehzahl der Schwungmasse (z.B. die Drehzahl der Gastransfereinheit) während es Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers zunehmen.
  • Der Speicherwert 402 des Schwungmasse-Energiespeichers kann zwischen einem ersten Schwellwert 402n (z.B. einer Nenndrehzahl zugeordnet) und einem zweiten Schwellwert 402s (z.B. einem vordefinierten Entladen-Speicherwert) verändert werden. Beispielsweise kann bei oder nach Erreichen des zweiten Schwellwert 402s ein Umschalten in den Auflade-Pump-Modus erfolgen. Alternativ oder zusätzlich kann bei oder nach Erreichen des ersten Schwellwert 402n ein Umschalten in den Entlade-Pump-Modus erfolgen. Das Umschalten kann von der Steuerung gesteuert und/oder geregelt werden.
  • 4B veranschaulicht eine Kammeranordnung 400b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Die Kammeranordnung 400b kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine erste Vakuumkammer 102 und eine zweite Vakuumkammer 104 aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 300b eine Pumpenanordnung 110 aufweisen, welche mehrere Pumpstufen 410a, 410b aufweist, von denen eine erste Pumpstufe 410a zumindest eine Vorpumpe 110a aufweist und eine zweite Pumpstufe 410b, welche zwischen die erste Pumpstufe 410a und die zweite Vakuumkammer 104 geschaltet ist und/oder zwischen die erste Pumpstufe 410a und die erste Vakuumkammer 102 geschaltet ist. Die zweite Pumpstufe 410b kann zumindest eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 300b ein erstes Ventil 116a, aufweisen, welches zwischen die zweite Pumpstufe 410b und die erste Vakuumkammer 102 geschaltet ist.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 300b ein zweites Ventil 116b aufweisen, welches zwischen die zweite Pumpstufe 410b und die zweite Vakuumkammer 104 geschaltet ist.
  • Die Kammeranordnung 400b kann in einem der hierin beschriebenen Verfahren betrieben werden.
  • Die Steuerung 120 kann zum Betreiben der Pumpenanordnung 110 (z.B. der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b) in mehreren der hierin beschriebenen Pump-Modi eingerichtet sein.
  • Optional kann die Steuerung 120 eingerichtet sein, in dem Auflade-Pump-Modus die erste Pumpstufe 410a zwischen Normaldruck und die zweite Pumpstufe 410b (bzw. die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b) zu schalten. Damit kann ein Saugvermögen der zweiten 410b Pumpstufe (bzw. der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b) in dem Auflade-Pump-Modus erhöht werden. Alternativ oder zusätzlich kann die Steuerung 120 optional eingerichtet sein, in einem Entlade-Pump-Modus die zweite Pumpstufe 410b (bzw. die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b) mit Normaldruck zu koppeln, z.B. deren Abgasanschluss. In dem Entlade-Pump-Modus kann die zweite Pumpstufe 410b (bzw. die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b) ein höheres Saugvermögen aufweisen, als in dem Auflade-Pump-Modus. Somit kann in eine kleinere Pumpe 110a für die erste Pumpstufe 410a verwendet werden.
  • 5A veranschaulicht ein Verfahren 500a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren 500a kann in 521 aufweisen: Entladen eines Schwungmasse-Energiespeichers einer Pumpe zum Abpumpen einer ersten Vakuumkammer, wobei ein Druck der ersten Vakuumkammer mittels der Pumpe von größer Vakuum auf gleich oder kleiner als Vakuum gebracht wird.
  • Das Verfahren 500a kann in 523 aufweisen: Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers während des Abpumpens einer zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe, wobei ein Druck der zweiten Vakuumkammer mittels der Pumpe bei gleich oder kleiner als Vakuum gehalten wird.
  • 5B veranschaulicht eine Kammeranordnung 500b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen (z.B. in dem Verfahren 500a) .
  • Die Kammeranordnung 500b kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine erste Vakuumkammer 102 und eine zweite Vakuumkammer 104 aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 500b zumindest eine Pumpe 110b aufweisen, welche einen Schwungmasse-Energiespeicher 116 aufweist.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 500b zumindest eine Steuerung 120 aufweisen, welche eingerichtet ist den Schwungmasse-Energiespeicher 116 zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer 102 zu entladen, wobei ein Druck der ersten Vakuumkammer 102 mittels der Pumpe 110b von größer Vakuum auf gleich oder kleiner als Vakuum gebracht wird.
  • Ferner kann die Steuerung 120 eingerichtet sein, den Schwungmasse-Energiespeicher 116 während des Abpumpens der zweiten Vakuumkammer 104 aufzuladen, wobei ein Druck der zweiten Vakuumkammer 104 mittels der Pumpe 110b bei gleich oder kleiner als Vakuum gehalten wird.
  • 6A veranschaulicht ein Verfahren 600a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 600a in 621 aufweisen: Entladen eines Schwungmasse-Energiespeichers einer Pumpe, wobei die Pumpe während des Entladens mit einer ersten Vakuumkammer (z.B. gasleitend) gekoppelt ist und von einer zweiten Vakuumkammer entkoppelt ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 600a in 623 aufweisen: Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers, wobei die Pumpe während des Aufladens mit der zweiten Vakuumkammer (z.B. gasleitend) gekoppelt ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 600a in 625 aufweisen: Transportieren eines Substrats durch die erste Vakuumkammer und/oder die zweite Vakuumkammer hindurch.
  • 6B veranschaulicht eine Kammeranordnung 600b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen (z.B. in dem Verfahren 600a) .
  • Die Kammeranordnung 600b kann eine erste Vakuumkammer 102 und eine zweite Vakuumkammer 104 aufweisen.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 600b zumindest eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b aufweisen, welche einen Schwungmasse-Energiespeicher 116 aufweist.
  • Ferner kann die die Kammeranordnung 600b eine Steuerung 120 aufweisen, welche eingerichtet ist die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b während des Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers 116 mit der ersten Vakuumkammer 102 zu koppeln und von der zweiten Vakuumkammer 104 zu entkoppeln.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Steuerung 120 eingerichtet sein, die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers 116 mit der zweiten Vakuumkammer 104 zu koppeln und optional von der ersten Vakuumkammer 102 zu entkoppeln oder zu koppeln.
  • Beispielsweise kann der Schwungmasse-Energiespeicher 116 in dem Individual-Pump-Modus (in dem z.B. die zweite Vakuumkammer 104 bei Vakuum gehalten wird) und/oder in dem Gemeinsam-Pump-Modus (in dem z.B. beide Vakuumkammern 102, 104 bei Vakuum gehalten werden) aufgeladen werden. Alternativ oder zusätzlich Beispielsweise kann der Schwungmasse-Energiespeicher 116 in dem Individual-Pump-Modus (in dem z.B. die erste Vakuumkammer 102 evakuiert wird) entladen werden.
  • 7A veranschaulicht ein Verfahren 700a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 700a in 721 aufweisen: Entladen des Schwungmasse-Energiespeichers.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 700a in 723 aufweisen: Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 700a in 723 aufweisen, dass die Pumpe während des Aufladens und des Entladens mit zumindest einem Vakuumbereich (gasleitend) (z.B. gasleitend) gekoppelt ist. In dem Vakuumbereich kann ein Druck von kleiner Vakuum bereitgestellt sein oder werden, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum), bereitgestellt werden, oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) bereitgestellt werden, oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) bereitgestellt werden oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10-7 mbar bereitgestellt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren 700a in 723 aufweisen: Transportieren eines Substrats durch den Vakuumbereich hindurch.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Vakuumbereich mittels einer Vakuumkammer einer Kammeranordnung bereitgestellt sein oder werden, z.B. mittels einer Schleusenkammer, einer Transferkammer, einer Pufferkammer und/oder einer Prozessierkammer.
  • Beispielsweise kann der Schwungmasse-Energiespeicher in dem Individual-Pump-Modus (in dem z.B. eine Vakuumkammer bei Vakuum gehalten wird) und/oder in dem Gemeinsam-Pump-Modus (in dem z.B. zwei Vakuumkammern bei Vakuum gehalten werden) aufgeladen werden. Alternativ oder zusätzlich Beispielsweise kann der Schwungmasse-Energiespeicher 116 in dem Individual-Pump-Modus (in dem z.B. eine Vakuumkammer evakuiert wird) entladen werden.
  • 7B veranschaulicht eine Kammeranordnung 700b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen (z.B. in dem Verfahren 700a) .
  • Die Kammeranordnung 700b kann einen Vakuumbereich 702 aufweisen, welcher in einer ersten Vakuumkammer 102 und/oder einer zweiten Vakuumkammer 104 angeordnet ist.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 700b zumindest eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b aufweisen, welche einen Schwungmasse-Energiespeicher 116 aufweist, der aufladbar und/oder entladbar ist (d.h. aufgeladen und/oder entladen werden kann).
  • Ferner kann die Kammeranordnung 700b eine Steuerung 120 aufweisen, welche eingerichtet ist die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers 116 und des Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers 116 mit dem Vakuumbereich 702 zu koppeln, diesen zu evakuieren und/oder bei Vakuum zu halten.
  • Beispielsweise kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b in dem Entlade-Pump-Modus und/oder in dem Auflade-Pump-Modus mit dem Vakuumbereich 702 gasleitend gekoppelt sein.
  • Ferner kann die Kammeranordnung 700b ein Transportvorrichtung 108 zum Transportieren eines Substrats (nicht dargestellt) durch den Vakuumbereich 702 hindurch aufweisen.
  • 8A veranschaulicht ein Verfahren 800a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Verschiedene Elemente des Verfahrens sind über einem Zeitstrahl 404 veranschaulicht, welcher mehrere nacheinander folgende Zeiträume 404a, 404b, 404c, 404d aufweist.
  • Das Verfahren 800a kann in einem ersten Zeitraum 404a aufweisen: Einschleusen eines Substrats in eine erste Vakuumkammer und/oder Abpumpen (z.B. unter Vakuum Halten) einer zweiten Vakuumkammer mittels zumindest einer Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe (z.B. so dass in dieser ein Druck kleiner Vakuum gehalten wird, d.h. dass diese bei Vakuum gehalten wird).
  • Das Verfahren 800a kann in einem zweiten Zeitraum 404b aufweisen: Abpumpen (z.B. Evakuieren) der ersten Vakuumkammer mittels der zumindest einen Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe (z.B. so dass diese auf einen Druck kleiner Vakuum gebracht wird, z.B. auf einen Übergabedruck).
  • Das Verfahren 800a kann in einem dritten Zeitraum 404b aufweisen: Umschleusen (Transferieren) des Substrats aus der ersten Vakuumkammer in die zweite Vakuumkammer (z.B. indem das Substrat durch einen Substrattransfer-Öffnung transportiert wird, welche die erste Vakuumkammer und die zweite Vakuumkammer miteinander verbindet).
  • Das Verfahren 800a kann in einem vierten Zeitraum 404d aufweisen: Belüften der ersten Vakuumkammer (z.B. so dass diese auf einen Druck größer Vakuum gebracht wird) und/oder Abpumpen (z.B. unter Vakuum Halten) der zweiten Vakuumkammer mittels der zumindest einen Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe (z.B. so dass in dieser ein Druck kleiner Vakuum gehalten wird).
  • Das Verfahren 800a kann in 802 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines ersten Ventils in einen/einem Geschlossen-Zustand (d.h. Schließen des ersten Ventils und/oder Geschlossen Halten des ersten Ventils) in dem und/oder über den ersten Zeitraum 404a.
  • Das Verfahren 800a kann in 802 aufweisen: Bringen und/oder Halten des ersten Ventils in einen/einem Geöffnet-Zustand in dem und/oder über den zweiten Zeitraum 404b und in dem und/oder über den dritten Zeitraum 404c.
  • Das Verfahren 800a kann in 806 aufweisen: Bringen und/oder Halten des ersten Ventils in einen/einem Geschlossen-Zustand (d.h. Schließen des ersten Ventils und/oder Geschlossen Halten des ersten Ventils) in dem und/oder über den vierten Zeitraum 404d.
  • Das Verfahren 800a kann in 812 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines zweiten Ventils in einen/einem Offen-Zustand in dem und/oder über den ersten Zeitraum 404a.
  • Das Verfahren 800a kann in 814 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines zweiten Ventils in einen/einem Geschlossen-Zustand in dem und/oder über den zweiten Zeitraum 404b.
  • Das Verfahren 800a kann in 816 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines zweiten Ventils in einen/einem Offen-Zustand in dem und/oder über dem dritten Zeitraum 404c und in einem und/oder über dem vierten Zeitraum 404d.
  • Das Verfahren 800a kann in 822 aufweisen: Bringen und/oder Halten einer Substrattransfer-Öffnung (zumindest mittels eines Substrattransfer-Ventils) in einen/einem Geschlossen-Zustand in dem und/oder über den ersten Zeitraum 404a und in dem und/oder über den zweiten Zeitraum 404b.
  • Das Verfahren 800a kann in 824 aufweisen: Bringen und/oder Halten der Substrattransfer-Öffnung (zumindest mittels eines Substrattransfer-Ventils) in einen/einem Offen-Zustand in dem und/oder über den dritten Zeitraum 404c.
  • Das Verfahren 800a kann in 826 aufweisen: Bringen und/oder Halten der Substrattransfer-Öffnung (zumindest mittels eines Substrattransfer-Ventils) in einen/einem Geschlossen-Zustand in dem und/oder über den vierten Zeitraum 404d.
  • Das Verfahren 800a kann in 832 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines Drucks in der ersten Vakuumkammer von größer als Vakuum (z.B. Normaldruck) in dem und/oder über den ersten Zeitraum 404a, z.B. indem die erste Vakuumkammer belüftet wird.
  • Das Verfahren 800a kann in 834 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines Drucks in der ersten Vakuumkammer von kleiner als Vakuum (z.B. Übergabedruck) in dem und/oder über den zweiten Zeitraum 404b, in dem und/oder über den dritten Zeitraum 404c und in dem und/oder über den vierten Zeitraum 404d, z.B. indem die erste Vakuumkammer evakuiert wird (z.B. in einem Entlade-Pump-Modus).
  • Das Verfahren 800a kann in 842 aufweisen: Bringen und/oder Halten eines Drucks in der zweiten Vakuumkammer von kleiner als Vakuum (z.B. auf oder bei einen Übergabedruck) in dem und/oder über den ersten Zeitraum 404a, in dem und/oder über den zweiten Zeitraum 404b, in dem und/oder über den dritten Zeitraum 404c und in dem und/oder über den vierten Zeitraum 404d, z.B. indem die zweite Vakuumkammer Vakuum gehalten wird (z.B. in einem Auflade-Pump-Modus).
  • Das Verfahren 800a kann in 852 aufweisen: Aufladen der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in dem und/oder über den ersten Zeitraum 404a.
  • Das Verfahren 800a kann in 854 aufweisen: Entladen der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in dem und/oder über den zweiten Zeitraum 404b.
  • Das Verfahren 800a kann in 856 aufweisen: Aufladen der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in dem und/oder über den dritten Zeitraum 404c und in dem und/oder über den vierten Zeitraum 404d.
  • 8B veranschaulicht ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Diagramm 800b, welches eine Saugvermögen 852 einer Pumpe über einem Druck 854 veranschaulicht. Der Druck 854 kann den Druck in einem Bereich bezeichnen, aus dem die Pumpe Gas absaugt.
  • Das Saugvermögen 852 kann den Volumenstrom, d.h. ein Gasvolumen pro Zeiteinheit, beschreiben, mit welchem die Pumpe das Gas absaugt. Der Volumenstrom kann vom Druck 854 abhängig sein, beispielsweise kann das Produkt aus Druck 854 eines Gases und Volumen eines Gases konstant sein. Mit anderen Worten muss eine Pumpe mit sinkendem Druck 854 mehr Saugvermögen 852 bereitstellen, um dieselbe Masse an Gas abzupumpen.
  • Die Saugcharakteristik 855 einer Turbomolekularpumpe kann bei Normaldruck 854n eine nahezu verschwindendes Saugvermögen 852 aufweisen, welches im Bereich des Übergabedrucks 854d mit sinkendem Druck 854 zunimmt, aber erst unterhalb und/oder bei einem Übergabedruck 854d das Maximum erreichen. Somit arbeitet die Turbomolekularpumpe in einem großen Druckbereich bei einem niedrigen Saugvermögen 852.
  • Die Saugcharakteristik 857 einer Pumpenanordnung ohne Schwungmasse-Energiespeicher mit einer oder mehreren Pumpen (aufweisend eine Drehschieberpumpe, eine Wälzkolbenpumpe und/oder eine Vorpumpe) kann bei Normaldruck ein 854n niedriges Saugvermögen 852 aufweisen, welches bereits unterhalb des Normaldrucks 854n mit sinkendem Druck 854 zunimmt, aber hinter dem Saugvermögen 852 einer Turbomolekularpumpe zurückbleibt. Somit arbeitet die Pumpenanordnung ohne Schwungmasse-Energiespeicher in einem großen Druckbereich bei einem niedrigen Saugvermögen 852.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in mehreren Pump-Modi betrieben werden, von denen die Saugcharakteristik 862 in einem Entlade-Pump-Modus eine hohes Saugvermögen 852 bei Normaldruck 854n aufweist, welches abnimmt, je mehr der Schwungmasse-Energiespeicher entladen wird. In dem Entlade-Pump-Modus kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe optional gegen Normaldruck pumpen (d.h. ohne vorgeschaltete Pumpstufe).
  • In einem Aufladen-Pump-Modus kann die Saugcharakteristik 864 der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe ein ausgeprägtes Maximum aufweisen, z.B. indem die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe während des Aufladen-Pump-Modus vorgepumpt wird, z.B. mittels einer Vorpumpe (z.B. einer ersten Pumpstufe).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Umschalten 866 von dem Entlade-Pump-Modus in den Aufladen-Pump-Modus erfolgen, z.B. indem zwischen die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe und Normaldruck eine Vorpumpe (z.B. einer Pumpstufe) geschaltet wird und/oder indem die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe einen Vakuumbereich abpumpt der einen Druck 854 kleiner als Vakuum aufweist. Anschaulich kann somit ein Erholen des Saugvermögens der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe erfolgen bevor deren Saugvermögen 852 einbricht (sobald der Schwungmasse-Energiespeicher aufgebraucht ist).
  • Das Umschalten 854a kann beispielsweise erfolgen, wenn der Schwungmasse-Energiespeicher einen vorgegebenen Speicherwert unterschreitet und/oder wenn der Druck einen vorgegebenen Druck (z.B. einen weiteren Übergabedruck 856d) unterschreitet.
  • Zum Umschalten 854a kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe optional von der ersten Vakuumkammer abgekoppelt (gassepariert) werden und mit einer zweiten Vakuumkammer gekoppelt werden, in welcher ein Druck 854 kleiner als Vakuum bereitgestellt ist.
  • 9A veranschaulicht ein Verfahren 900a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren kann in einem Betriebszyklus 902 einer ersten Vakuumkammer (z.B. einer Schleusenkammer) Folgendes aufweisen: Einschleusen 902a eines Substrats in die erste Vakuumkammer; Abpumpen 902b (Evakuieren) der ersten Vakuumkammer; Ausschleusen 902c des Substrats aus der ersten Vakuumkammer; und Belüften 902d der ersten Vakuumkammer.
  • Das Verfahren kann in einem Betriebszyklus 904 einer zweiten Vakuumkammer (z.B. einer Pufferkammer) Folgendes aufweisen: Einschleusen 904a des Substrats in die zweite Vakuumkammer; Abpumpen 904b der zweiten Vakuumkammer (z.B. Vakuum Halten); und Ausschleusen 900c des Substrats aus der zweiten Vakuumkammer.
  • Mittels des Ausschleusens 902c des Substrats aus der ersten Vakuumkammer und Einschleusen 904a des Substrats in die zweite Vakuumkammer kann ein Umschleusen 910 (Transferieren 910) des Substrats von der ersten Vakuumkammer in die zweite Vakuumkammer erfolgen, z.B. bei einem ersten Übergabedruck.
  • Das Verfahren kann in einem Betriebszyklus 906 einer dritten Vakuumkammer (z.B. einer Transferkammer) Folgendes aufweisen: Einschleusen 906a des Substrats in die dritte Vakuumkammer; und Anschließen 906b des Substrats an ein Substratband (d.h. Zusammenführen des Substrats mit vorangehend transportierten Substraten).
  • Mittels des Ausschleusens 904c des Substrats aus der zweiten Vakuumkammer und Einschleusen 906a des Substrats in die dritte Vakuumkammer kann ein Umschleusen 912 (Transferieren 910) des Substrats von der zweiten Vakuumkammer in die dritte Vakuumkammer erfolgen, z.B. bei einem zweiten Übergabedruck kleiner als der erste Übergabedruck.
  • Die Betriebszyklen 902, 904, 906 können aufeinander abgestimmt sein, so dass eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe zwischen der ersten Vakuumkammer und der zweiten Vakuumkammer hin- und hergeschalten werden kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in dem Entlade-Pump-Modus zum Abpumpen (z.B. Evakuieren) der ersten Vakuumkammer mit dieser (z.B. gasleitend) gekoppelt sein, z.B. in dem oder über den zweiten Zeitraum 404b.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe in dem Auflade-Pump-Modus zum Abpumpen (z.B. Vakuum Halten) der zweiten Vakuumkammer mit dieser (z.B. gasleitend) gekoppelt sein, z.B. in dem oder über den dritten Zeitraum 404c, in dem oder über den vierten Zeitraum 404d und in dem oder über den ersten Zeitraum 404a.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe zu einem ersten Zeitpunkt 944a (z.B. gasleitend) mit der ersten Vakuumkammer gekoppelt sein oder werden und von der zweiten Vakuumkammer entkoppelt sein oder werden. Beispielsweise kann zum ersten Zeitpunkt 944a der erste Zeitraum 404a an den zweiten Zeitraum 404b angrenzen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe zu einem zweiten Zeitpunkt 944b (z.B. gasleitend) mit der zweiten Vakuumkammer gekoppelt sein oder werden. Beispielsweise kann zum zweiten Zeitpunkt 944a der zweite Zeitraum 404b an den dritten Zeitraum 404c angrenzen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zu dem zweiten Zeitpunkt 944b eine erste Substrattransfer-Öffnung geöffnet werden, welche die erste Vakuumkammer und die zweite Vakuumkammer miteinander verbindet.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe zu einem dritten Zeitpunkt 944c (z.B. gasleitend) von der zweiten Vakuumkammer entkoppelt sein oder werden. Beispielsweise kann zum dritten Zeitpunkt 944c der dritte Zeitraum 404c an den vierten Zeitraum 404d angrenzen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zu dem dritten Zeitpunkt 944c die erste Substrattransfer-Öffnung geschlossen werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zu dem ersten Zeitpunkt 944a eine zweite Substrattransfer-Öffnung geöffnet werden, welche die zweite Vakuumkammer und die dritte Vakuumkammer miteinander verbindet.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zu dem zweiten Zeitpunkt 944b die zweite Substrattransfer-Öffnung geschlossen werden.
  • 9B veranschaulicht ein Verfahren 900b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram, welches den Druck 854 über der Zeit 404 veranschaulicht.
  • Es sind ein erster Druckverlauf 916 für die erste Vakuumkammer und ein zweiter Druckverlauf 914 für die zweite Vakuumkammer veranschaulicht.
  • Mittels des Belüftens der ersten Vakuumkammer kann in dieser ein Druck größer als Vakuum bereitgestellt sein oder werden, z.B. Normaldruck 854n, z.B. in dem oder über den ersten Zeitraum 404a.
  • Mittels des Evakuierens der ersten Vakuumkammer kann in dieser ein Druck kleiner als Vakuum bereitgestellt sein oder werden, z.B. ein erster Übergabedruck 856d, z.B. in dem oder über dem dritten Zeitraum 404c und/oder zu dem zweiten Zeitpunkt 944b.
  • Der erste Übergabedruck 856d kann anschaulich ein Druck sein, bei dem das Umschleusen des Substrats aus der ersten Vakuumkammer heraus in die zweite Vakuumkammer hinein erfolgt. Der erste Übergabedruck 856d kann in einem Bereich von ungefähr 0,1 mbar bis ungefähr 0,3 bar liegen, z.B. im Grobvakuum oder z.B. bei ungefähr 0,5 mbar.
  • Mittels des Abpumpens (Vakuum Haltens) der zweiten Vakuumkammer kann in dieser ein Druck kleiner als Vakuum bereitgestellt sein oder werden, z.B. kleiner als der oder gleich dem ersten Übergabedruck 856d, z.B. durchgängig.
  • Mittels des Abpumpens der zweiten Vakuumkammer kann in dieser ein Druck kleiner als der erste Übergabedruck bereitgestellt sein oder werden, z.B. ein zweiter Übergabedruck 856d, z.B. in dem oder über den zweiten Zeitraum 404b und/oder zu dem ersten Zeitpunkt 944a.
  • Der zweite Übergabedruck 854d kann anschaulich ein Druck sein, bei dem das Umschleusen des Substrats aus der zweiten Vakuumkammer heraus in die dritte Vakuumkammer hinein erfolgt. Der zweite Übergabedruck 854d kann in einem Feinvakuumbereich liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,001 mbar bis ungefähr 0,01 bar, z.B. bei ungefähr 0,005 mbar.
  • Bei einem dritten Übergabedruck 857d kann die erste Vakuumkammer 102 von der Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe entkoppelt (gassepariert) sein oder werden. Der dritte Übergabedruck 857d kann in einem Bereich von ungefähr 0,001 mbar bis ungefähr 0,1 mbar liegen, z.B. bei ungefähr 0,02 mbar.
  • 10A veranschaulicht eine Kammeranordnung 1000a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen, z.B. in dem Individual-Pump-Modus.
  • In dem Individual-Pump-Modus kann das erste Ventil 116a geöffnet sein und das zweite Ventil 116b kann geschlossen sein. In dem Individual-Pump-Modus kann ein Substrat in der ersten Vakuumkammer 102 angeordnet sein.
  • Die erste Vakuumkammer 102 kann mittels einer ersten Substrattransfer-Öffnung 106 mit der zweiten Vakuumkammer (z.B. gasleitend) gekoppelt sein. Die erste Substrattransfer-Öffnung 106 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils verschlossen sein, z.B. vakuumdicht.
  • Die zweite Vakuumkammer 104 kann mittels einer zweiten Substrattransfer-Öffnung 1004 mit der dritten Vakuumkammer 102 (z.B. gasleitend) gekoppelt sein oder werden. Die zweite Substrattransfer-Öffnung 1004 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils geöffnet sein oder werden, z.B. gasleitend.
  • Ferner kann die erste Vakuumkammer 102 mittels eines Eingang-Substrattransfer-Öffnung 1006 mit einer Umgebung der Kammeranordnung 1000a gekoppelt sein oder werden. Die Eingang-Substrattransfer-Öffnung 1006 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils verschlossen sein oder werden, z.B. vakuumdicht.
  • Die erste Vakuumkammer 102 kann in dem Individual-Pump-Modus von einem Druck größer als Vakuum (z.B. Normaldruck) auf kleiner als Vakuum gebracht werden (mit anderen Worten evakuiert werden), z.B. auf den ersten Übergabedruck 856d, z.B. auf 0,5 mbar.
  • Die erste Vakuumkammer 102 kann ein Volumen aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 m3 bis ungefähr 5 m3, z.B. ungefähr 1,68 m3. Die zweite Vakuumkammer 102 kann ein Volumen aufweisen, welches größer ist als das der erste Vakuumkammer 102, z.B. in einem Bereich von ungefähr 2 m3 bis ungefähr 10 m3, z.B. ungefähr 3,29 m3.
  • Die erste Pumpstufe 410a kann genau eine Vorpumpe 110a aufweisen. Alternativ kann die erste Pumpstufe 410a eine andere Anzahl an Vorpumpen 110a aufweisen, z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Vorpumpen 110a.
  • Die zweite Pumpstufe 410b kann fünf Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen 110b aufweisen. Alternativ kann die zweite Pumpstufe 410b eine andere Anzahl an Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen 110b aufweisen, z.B. genau eine, zwei, drei, vier, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen 110b.
  • 10B veranschaulicht eine Kammeranordnung 1000b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einem Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen, z.B. in dem Individual-Pump-Modus.
  • In einem Gemeinsam-Pump-Modus können das erste Ventil 116a und das zweite Ventil 116b geöffnet sein oder werden.
  • Die erste Substrattransfer-Öffnung 106 kann mittels des Substrattransfer-Ventils geöffnet sein oder werden (z.B. gasleitend). Die zweite Substrattransfer-Öffnung 1004 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils geschlossen sein oder werden, z.B. vakuumdicht. Die Eingang-Substrattransfer-Öffnung 1006 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils verschlossen sein oder werden, z.B. vakuumdicht.
  • In dem Gemeinsam-Pump-Modus kann ein Umschleusen des Substrats von der ersten Vakuumkammer 102 in die zweite Vakuumkammer 104 erfolgen, z.B. durch die geöffnete erste Substrattransfer-Öffnung 106 hindurch.
  • Die miteinander (gasleitend) gekoppelten Vakuumkammern 102, 104 können in dem Gemeinsam-Pump-Modus auf kleiner als der erste Übergabedruck 856d gebracht werden, z.B. auf den dritten Übergabedruck 857d, z.B. auf 0,01 mbar.
  • 11A veranschaulicht eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. in einem weiteren Individual-Pump-Modus.
  • Die zweite Vakuumkammer 104 kann in dem weiteren Individual-Pump-Modus auf kleiner als der dritte Übergabedruck 857d gebracht werden, z.B. auf den zweiten Übergabedruck 854d, z.B. auf 0,005 mbar.
  • Die erste Substrattransfer-Öffnung 106 kann mittels des Substrattransfer-Ventils verschlossen sein oder werden (z.B. vakuumdicht). Die zweite Substrattransfer-Öffnung 1004 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils verschlossen sein oder werden, z.B. vakuumdicht. Die Eingang-Substrattransfer-Öffnung 1006 kann mittels eines Substrattransfer-Ventils verschlossen sein oder werden, z.B. vakuumdicht.
  • In dem weiteren Individual-Pump-Modus kann das Substrat in der zweiten Vakuumkammer 104 angeordnet sein oder werden.
  • 11B veranschaulicht eine Kammeranordnung 1100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht und 12 die Kammeranordnung 1100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Schaltplan.
  • Ein erstes Sammelrohr 114 kann mittels zweier Verbindungen mit der zweiten Vakuumkammer 104 gekoppelt sein, z.B. jeweils an einen Anschlussflansch 1210.
  • Die eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b oder die mehreren Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen 110b können jeweils mehrere (z.B. drei) Abgasflansche 1218 aufweisen (Abgasanschlüsse) für die Abgasleitung 1220. Davon können pro Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b zwei Abgasanschlüsse gebündelt über ein zweites Sammelrohr 1214 zur zentralen Abgasleitung geführt werden. Somit können die Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen 110b zu Beginn des Abpumpvorgangs (z.B. zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer 102) gegen Normaldruck (Atmosphäre) verdichten. Jeweils ein Abgasflansch 1218 pro Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe 110b kann mittels eines dritten Sammelrohrs 1216 zur Vorpumpe (z.B. eine Drehschieberpumpe) geführt werden und mit dieser verbunden sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mittels der Kammeranordnung 1200 ein Einschleusbereich (Eingangsbereich) bereitgestellt sein oder werden.
  • Nach dem Einschleusen des Substrates die erste Vakuumkammer 102 kann das Abpumpen der ersten Vakuumkammer 102 (z.B. eine Schleusenkammer) über das erste Ventil 116a erfolgen. Die zwei zweiten Ventile 116b können während des Abpumpens der ersten Vakuumkammer 102 geschlossen sein.
  • Bei Erreichen eines ersten Übergabedrucks (z.B. in einem Bereich von ungefähr 10-2 mbar bis ungefähr 0,3 bar) können die zwei zweiten Ventile 116b geöffnet werden, sowie das Klappenventil 106v zum Transfer des Substrates in die zweite Vakuumkammer 104 (Umschleusen).
  • Nach erfolgtem Transfer (Umschleusen) kann ein Schließen des ersten Ventils 116a und des Klappenventils 106 erfolgen. Danach kann ein Belüften der ersten Vakuumkammer 102 und Abpumpen der zweiten Vakuumkammer 104 auf einen zweiten Übergabedruck (z.B. in einem Bereich von ungefähr 10-2 mbar bis ungefähr 10-3 mbar) in Transferieren des Substrats in die dritte Vakuumkammer.
  • Danach kann ein weiteres Substrat in die erste Vakuumkammer 102 eingeschleust werden.
  • 13A veranschaulicht eine Kammeranordnung 1300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammeranordnung 1300a eine Prozessierkammeranordnung 1304 aufweisen, welche zumindest eine Prozessierkammer 1304p (z.B. als zweite Vakuumkammer) mit einer Prozessierquelle 1702 zum Prozessieren von Substraten 102s in einem Hochvakuum aufweist.
  • Die Prozessierkammeranordnung 1304 (oder zumindest deren Prozessierkammer 1304p) kann eingerichtet sein einen Druck in dem Hochvakuumbereich bereitzustellen. Dazu kann die Prozessierkammeranordnung 1304 (oder zumindest deren Prozessierkammer 1304p) mit einer Pumpenanordnung (nicht dargestellt) gekoppelt sein, welche eine oder mehrere Pumpen aufweist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung 1300a einen Eingangsbereich 1302 aufweisen, welche eine Schleusenkammer 1302k (z.B. als erste Vakuumkammer) oder mehrere Schleusenkammern (vergleiche 13B) zum Einschleusen von Substraten 102s in die Kammeranordnung 1300a hinein aufweist. Alternativ oder zusätzlich kann die Kammeranordnung 1300a einen Ausgangsbereich 1312 aufweisen, welche eine Schleusenkammer 1302k (z.B. als erste Vakuumkammer) oder mehrere Schleusenkammern (vergleiche 13B) zum Ausschleusen von Substraten 102s aus der Kammeranordnung 1300a heraus aufweist.
  • Der Eingangsbereich 1302 (oder zumindest deren Schleusenkammer 1302k) und/oder der Ausgangsbereich 1312 (oder zumindest deren Schleusenkammer 1302k) können eingerichtet sein einen Druck in dem Feinvakuumbereich bereitzustellen. Dazu können der Eingangsbereich 1302 (oder zumindest deren Schleusenkammer 1302k) und/oder der Ausgangsbereich 1312 (oder zumindest deren Schleusenkammer 1302k) mit der Pumpenanordnung (nicht dargestellt) gekoppelt sein, welche eine oder mehrere Pumpen aufweist, z.B. zumindest eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe.
  • Der Eingangsbereich 1302 und/oder der Ausgangsbereich 1312 können jeweils an die Prozessierkammeranordnung 1304 angrenzen. Zwischen dem Eingangsbereich 1302 und/oder dem Ausgangsbereich 1312 und der Prozessierkammeranordnung 1304 kann jeweils eine Substrattransfer-Öffnung 1004, 106, 1320 angeordnet sein, welche zum Öffnen und Schließen eingerichtet ist. In einem Geöffnet-Zustand der Substrattransfer-Öffnung 1004, 106, 1320 können die Prozessierkammeranordnung 1304 und der Eingangsbereich 1302 und/oder der Ausgangsbereich 1312 gasleitend miteinander verbunden sein. Die Substrattransfer-Öffnung 1004, 106, 1320 kann derart eingerichtet sein, dass ein Substrat 102s durch die Substrattransfer-Öffnung 1004, 106, 1320 hindurch transportiert werden kann.
  • 13B veranschaulicht eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. deren Eingangsbereich 1302 und/oder deren Ausgangsbereich 1312.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung mehrere Schleusenkammern aufweisen, von denen eine erste Schleusenkammer 1302a (z.B. als erste Vakuumkammer) zum Bereitstellen eines ersten Drucks (erster Übergabedruck) eingerichtet ist und eine zweite Schleusenkammer 1302k (z.B. als zweite Vakuumkammer) zum Bereitstellen eines zweiten Drucks (zweiter Übergabedruck) kleiner als der erste Druck eingerichtet ist.
  • Die zweite Schleusenkammer 1302k kann zwischen der ersten Schleusenkammer 1302a einer Prozessierkammeranordnung angeordnet sein.
  • Die erste Schleusenkammer 1302a kann eine Substrattransfer-Öffnung 1006 aufweisen, mit der die erste Schleusenkammer 1302a an ein Äußeres der Kammeranordnung angrenzen kann. Die Substrattransfer-Öffnung 1006 kann beispielsweise an eine äußere Atmosphäre, z.B. an ungefähr Normaldruck angrenzen. Beispielsweise kann die erste Schleusenkammer 1302a eine Atmosphäre-Vakuum-Schleusenkammer sein.
  • Die erste Schleusenkammer 1302a und die zweite Schleusenkammer 1302k können durch eine verschließbare Substrattransfer-Öffnung 106, 1004 hindurch verbunden sein. In einem Geöffnet-Zustand der Substrattransfer-Öffnung 106, 1004 können die erste Schleusenkammer 1302a und die zweite Schleusenkammer 1302k gasleitend miteinander verbunden sein. Die Substrattransfer-Öffnung 106, 1004 kann derart eingerichtet sein, dass ein Substrat 102s durch die Substrattransfer-Öffnung 106, 1004 hindurch transportiert werden kann.
  • 13C veranschaulicht eine Kammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. deren Eingangsbereich 1302 und/oder deren Ausgangsbereich 1312.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammeranordnung eine dritte Schleusenkammer 1302t aufweisen (auch als Transferkammer) bezeichnet. Die dritte Schleusenkammer 1302t kann zwischen der zweiten Schleusenkammer 1302k und einer Prozessierkammeranordnung 1304 angeordnet sein.
  • Die dritte Schleusenkammer 1302t und die zweite Schleusenkammer 1302k können durch eine verschließbare Substrattransfer-Öffnung 1004 hindurch verbunden sein. In einem Geöffnet-Zustand der Substrattransfer-Öffnung 1004 können die dritte Schleusenkammer 1302t und die zweite Schleusenkammer 1302k gasleitend miteinander verbunden sein. Die Substrattransfer-Öffnung 1004 kann derart eingerichtet sein, dass ein Substrat 102s durch die Substrattransfer-Öffnung 1004 hindurch transportiert werden kann.
  • Die dritte Schleusenkammer 1302t kann eine Transportvorrichtung 108 aufweisen welches zum Überführen eines getakteten Substrattransports in einen kontinuierlichen Substrattransport eingerichtet ist. Die Transportvorrichtung 108 kann eine Transportfläche definieren, entlang derer Substrate 102s transportiert werden.
  • Die Transportvorrichtung 108 kann mehrere Transportrollen 108r aufweisen.
  • Dazu kann die Transportvorrichtung 108 eine erste Transportgruppe 1320a aufweisen und eine zweite Transportgruppe 1320b aufweisen. Ferner kann die Transportvorrichtung 108 eine Transportsteuerung und/oder Transportregelung aufweisen, welche eingerichtet sind die erste Transportgruppe 1320a und die zweite Transportgruppe 1320b zu steuern und/oder zu regeln. Beispielsweise kann eine erste Transportgeschwindigkeit der ersten Transportgruppe 1320a und eine zweite Transportgeschwindigkeit der zweiten Transportgruppe 1320b gesteuert und/oder geregelt werden, z.B. auf Grundlage einer Substratposition. Alternativ oder zusätzlich können die erste Transportgruppe 1320a und/oder die zweite Transportgruppe 1320b auf Grundlage eines Zustandes einer Substrattransfer-Öffnung 1004, 1320 gesteuert und/oder geregelt sein oder werden.
  • Die erste Transportgruppe 1320a und/oder die zweite Transportgruppe 1320b können voneinander entkoppelt sein. Beispielsweise können die erste Transportgruppe 1320b und/oder die zweite Transportgruppe 1320b voneinander entkoppelt betrieben, z.B. gesteuert und/oder geregelt, werden.
  • Die Zeit, welche zum Einschleusen und/oder Ausschleusen eines Substrats benötigt wird, wird auch als Taktzeit bezeichnet und kann die Summe der vier Zeiträume 404a, 404b, 404c, 404d sein. Anschaulich kann die Prozessieranlage wirtschaftlicher arbeiten, je mehr Substrate pro Zeit zum Prozessieren eingeschleust und/oder ausgeschleust werden können. Die Kammer(n) des Eingangsbereichs 1302 und/oder des Ausgangsbereichs 1312 werden dazu zyklisch belüftet und wieder abgepumpt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Taktzeit in einem Bereich von ungefähr 57 s bis ungefähr 61 s liegen, z.B. wenn die Pumpenanordnung genau eine Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpe aufweist, oder in einem Bereich von ungefähr 40 s bis ungefähr 43 s liegen, z.B. wenn die Pumpenanordnung zwei Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen aufweist, oder in einem Bereich von ungefähr 31 s bis ungefähr 33 s liegen, z.B. wenn die Pumpenanordnung drei Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen aufweist, oder in einem Bereich von ungefähr 26 s bis ungefähr 28 s liegen, z.B. wenn die Pumpenanordnung vier Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen aufweist, oder in einem Bereich von ungefähr 23 s bis ungefähr 25 s liegen, z.B. wenn die Pumpenanordnung zwei Schwungmasse-Energiespeicher-Pumpen aufweist.

Claims (7)

  1. Verfahren (100a) zum Abpumpen einer Kammeranordnung (100b), welche eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104) aufweist, welche mittels einer Substrattransfer-Öffnung (106) verbunden sind, wobei ein erstes Ventil (116a) ein Sammelrohr (114) mit der ersten Vakuumkammer (102) koppelt und ein zweites Ventil (116b) das Sammelrohr (114) mit der zweiten Vakuumkammer (104) koppelt, wobei das Sammelrohr (114) mehrere Pumpen (110a, 110b) miteinander koppelt, von denen zumindest eine Pumpe (110b) einen Schwungmasse-Energiespeicher (116) aufweist, welcher sich zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) und/oder der zweiten Vakuumkammer (104) entladen lässt, das Verfahren (100a) aufweisend: • Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) oder der zweiten Vakuumkammer (104) in einem ersten Pump-Modus, in welchem das erste Ventil (116a) oder das zweite Ventil (116b) geschlossen sind; • Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) und der zweiten Vakuumkammer (104) in einem zweiten Pump-Modus, in dem das erste Ventil (116a) und das zweite Ventil (116b) geöffnet sind; • Transportieren eines Substrats durch die Substrattransfer-Öffnung (106).
  2. Verfahren (300a) zum Abpumpen einer Kammeranordnung (300b), welche eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104) aufweist, mittels zumindest einer Pumpe (110b), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher (116) aufweist, das Verfahren (300a) aufweisend: • Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) mittels der zumindest einen Pumpe (110b) in einem ersten Pump-Modus, in welchem die zumindest eine Pumpe (110b) elektrische Energie und mechanische Energie aus dem Schwungmasse-Energiespeicher (116) zum Abpumpen verwendet; • Abpumpen einer zweiten Vakuumkammer (104) mittels der zumindest einen Pumpe (110b) in einem zweiten Pump-Modus, in welchem die zumindest eine Pumpe (110b) einen ersten Teil der elektrischen Energie zum Abpumpen verwendet und einen zweiten Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie umwandelt und in dem Schwungmasse-Energiespeicher (116) speichert.
  3. Verfahren (500a) gemäß Anspruch 2, • wobei beim Entladen des Schwungmasse-Energiespeichers (116) der Pumpe (110b) zum Abpumpen einer ersten Vakuumkammer (102) ein Druck der ersten Vakuumkammer (102) mittels der Pumpe (110b) von größer Vakuum auf gleich oder kleiner als 0,3 bar gebracht wird; • wobei beim Aufladen des Schwungmasse-Energiespeichers (116) während des Abpumpens der zweiten Vakuumkammer (104) mittels der Pumpe (110b), ein Druck der zweiten Vakuumkammer (104) mittels der Pumpe (110b) bei gleich oder kleiner als 0,3 bar gehalten wird.
  4. Kammeranordnung (100b), aufweisend: • eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104), welche mittels einer Substrattransfer-Öffnung (106) verbunden sind; • eine Transportvorrichtung (108) zum Transportieren eines Substrats durch die Substrattransfer-Öffnung (106) hindurch; • mehrere Pumpen (110a, 110b), deren Ansauganschlüsse mittels eines Sammelrohres (114) miteinander gekoppelt sind und von denen zumindest eine Pumpe (110b) einen Schwungmasse-Energiespeicher (116) aufweist, welcher sich zum Abpumpen des Sammelrohres (114) entladen lässt; • ein erstes Ventil (116a), welches das Sammelrohr (114) mit der ersten Vakuumkammer (102) koppelt; • ein zweites Ventil (116b), welches das Sammelrohr (114) mit der zweiten Vakuumkammer (104) koppelt; • eine Steuerung (120) zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) und/oder der zweiten Vakuumkammer (104) gemäß mehrerer Pump-Modi, von denen in einem ersten Pump-Modus das erste Ventil (116a) oder das zweite Ventil (116b) geschlossen sind und in einem zweiten Pump-Modus das erste Ventil (116a) und das zweite Ventil (116b) geöffnet sind.
  5. Kammeranordnung (200b), aufweisend: eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104); zumindest eine Pumpe (110b), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher (116) aufweist; eine Steuerung (120) zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) und/oder der zweiten Vakuumkammer (104) mittels der zumindest einen Pumpe (110b) gemäß mehrerer Pump-Modi, von denen: • die zumindest eine Pumpe (110b) in einem ersten Pump-Modus, elektrische Energie und mechanische Energie aus dem Schwungmasse-Energiespeicher (116) zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) verwendet; und • die zumindest eine Pumpe (110b) in einem zweiten Pump-Modus, einen ersten Teil der elektrischen Energie zum Abpumpen der zweiten Vakuumkammer (104) verwendet und einen zweiten Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie umwandelt und in dem Schwungmasse-Energiespeicher (116) speichert.
  6. Kammeranordnung (500b) gemäß Anspruch 5, wobei die Steuerung (120)ferner eingerichtet ist: • den Schwungmasse-Energiespeicher (116) zum Abpumpen der ersten Vakuumkammer (102) zu entladen, wobei ein Druck der ersten Vakuumkammer (102) mittels der Pumpe (110b) von größer Vakuum auf gleich oder kleiner als 0,3 bar gebracht wird; • den Schwungmasse-Energiespeicher (116) während des Abpumpens der zweiten Vakuumkammer (104) aufzuladen, wobei ein Druck der zweiten Vakuumkammer (104) mittels der Pumpe (110b) bei gleich oder kleiner als 0,3 bar gehalten wird.
  7. Kammeranordnung (600b), aufweisend: eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104); eine Transportvorrichtung (108) zum Transportieren eines Substrats eines Substrats durch die erste Vakuumkammer (102) und/oder die zweite Vakuumkammer (104) hindurch; zumindest eine Pumpe (110b), welche einen Schwungmasse-Energiespeicher (116) aufweist; eine Steuerung (120), welche eingerichtet ist: • die zumindest eine Pumpe (110b) während des Entladens des Schwungmasse-Energiespeichers (116) mit der ersten Vakuumkammer (102) zu koppeln und von der zweiten Vakuumkammer (104) zu entkoppeln; • die zumindest eine Pumpe (110b) während des Aufladens des Schwungmasse-Energiespeichers (116) mit der zweiten Vakuumkammer (104) zu koppeln.
DE102015116965.7A 2015-10-06 2015-10-06 Kammeranordnung und Verfahren Active DE102015116965B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015116965.7A DE102015116965B4 (de) 2015-10-06 2015-10-06 Kammeranordnung und Verfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015116965.7A DE102015116965B4 (de) 2015-10-06 2015-10-06 Kammeranordnung und Verfahren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102015116965A1 DE102015116965A1 (de) 2017-04-06
DE102015116965B4 true DE102015116965B4 (de) 2024-05-08

Family

ID=58355565

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102015116965.7A Active DE102015116965B4 (de) 2015-10-06 2015-10-06 Kammeranordnung und Verfahren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102015116965B4 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016107830B4 (de) 2016-04-27 2022-02-03 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Vakuumkammeranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumkammeranordnung
DE102019124484A1 (de) * 2019-09-12 2021-03-18 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Ventilanordnung, Vakuumanordnung und Verfahren
DE102021106696A1 (de) * 2021-03-18 2022-09-22 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Vakuumkammerkörper, Schleusenkammer, und Verfahren

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2121813A1 (de) 1970-05-04 1971-11-25 Affri A Mechanische Einrichtung für die Bewegung von Strömungsmedien
EP1582607A1 (de) 2004-03-31 2005-10-05 Applied Films GmbH & Co. KG Schleusenanordnung für eine Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben von dieser
WO2014001090A1 (de) 2012-06-28 2014-01-03 Sterling Industry Consult Gmbh Verfahren und pumpenanordnung zum evakuieren einer kammer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2121813A1 (de) 1970-05-04 1971-11-25 Affri A Mechanische Einrichtung für die Bewegung von Strömungsmedien
EP1582607A1 (de) 2004-03-31 2005-10-05 Applied Films GmbH & Co. KG Schleusenanordnung für eine Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben von dieser
WO2014001090A1 (de) 2012-06-28 2014-01-03 Sterling Industry Consult Gmbh Verfahren und pumpenanordnung zum evakuieren einer kammer

Also Published As

Publication number Publication date
DE102015116965A1 (de) 2017-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102016107830B4 (de) Vakuumkammeranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumkammeranordnung
DE4412915B4 (de) Plasmabehandlungsanlage, Verfahren zu deren Betrieb und Verwendung derselben
DE102015116965B4 (de) Kammeranordnung und Verfahren
DE4412902B4 (de) Verfahren zur plasmaunterstützten, chemischen Dampfabscheidung und Vakuumplasmakammer
EP1582607B1 (de) Schleusenanordnung für eine Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben von dieser
WO2003100129A1 (de) Rundläufermaschine für cvd-beschichtungen
DE19929519A1 (de) Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage
DE102018115410A1 (de) Vakuumanordnung und Verfahren
DE10150015A1 (de) Mehrkammeranlage zur Behandlung von Gegenständen unter Vakuum, Verfahren zur Evakuierung dieser Anlage und Evakuierungssystem dafür
DE10348639B4 (de) Schleusensystem für eine Vakuumanlage
DE112009001885T5 (de) Vakuumbearbeitungsvorrichtung und Vakuumbearbeitungsverfahren
WO2004096678A1 (de) Vorrichtung zum transportieren eines flachen substrats in einer vakuumkammer
DE102014107636B4 (de) Vakuumprozessieranlage
EP2576856A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur reaktivgastrennung in in-line-beschichtungsanlagen
WO2009000813A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum schleusen eines substrats in eine und aus einer vakuumbeschichtungsanlage
DE102006026317B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erhöhung der Produktivität und der Anlagenauslastung von Vakuumbeschichtungsanlagen
EP3256618B1 (de) Verfahren zum betrieb einer inline-beschichtungsanlage und inline-beschichtungsanlage
DE102016109510B4 (de) Vakuumprozessieranlage und Verfahren zum schubweisen Einschleusen und Ausschleusen von Substraten
DE102011015464B4 (de) Vakuumpumpeinrichtung und -verfahren für staubhaltige Gase
WO2015082304A1 (de) Brennstoffzellen-vorrichtung mit verbesserter brennstoff-zirkulation im unteren leistungsbereich, sowie verfahren dafür
DE102014109265A1 (de) Vakuumbehandlungsanlage
DE102022100843A1 (de) Verfahren, Steuervorrichtung, Speichermedium und Vakuumanordnung
DE102013205709B4 (de) Schleusenverfahren und Vakuumsubstratbehandlungsanlage
DE102017101202B4 (de) Verfahren und Vakuumanordnung
DE102012110287A1 (de) Substratbehandlungsanlage und Verfahren zur Druckminderung

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE GMBH, 01324 DRESDEN, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R130 Divisional application to

Ref document number: 102015017520

Country of ref document: DE

R082 Change of representative