TWI613421B - 光學測定裝置 - Google Patents

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TWI613421B
TWI613421B TW104101580A TW104101580A TWI613421B TW I613421 B TWI613421 B TW I613421B TW 104101580 A TW104101580 A TW 104101580A TW 104101580 A TW104101580 A TW 104101580A TW I613421 B TWI613421 B TW I613421B
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望月學
藤森昭一
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日本先鋒公司
先鋒自動化設備股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種構造簡單、在發光元件的光學特性之測定上能得到可靠度高的測定結果之光學測定裝置。
光學測定裝置具備：一光衰減器，其衰減發光元件所發出的光；一測定器，其測定該光衰減器所衰減的光之光學特性；以及一控制部，其根據該發光元件所發出的光之光量，設定該光衰減器的衰減量。

Description

光學測定裝置
本發明係關於一種光學測定裝置。
專利文獻1揭示一種用於進行LED(Light Emitting Diode)的光學檢查之檢查裝置。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2013-11542號公報
然而，在專利文獻1所揭示的裝置中，是使用分光器來測定LED的光學特性，而就分光器的特性來說，在測定結果的可靠度上仍有改善的餘地。
本發明鑒於上述情況，將解決上述問題作為一課題。即，本發明的一課題是提供一種構造簡單、在發光元件的光學特性之測定上能得到可靠度高的測定結果之光學測定裝置。
本發明的申請專利範圍第1項之光學測定裝置具備：一光衰減器，其衰減發光元件所發出的光；一測定器，其測定該光衰減器所衰減的光之光學特性；以及一控制部，其根據該發光元件所發出的光之光 量，設定該光衰減器的衰減量。
3‧‧‧光學測定裝置
101‧‧‧發光元件
101a‧‧‧發光面
103‧‧‧載置桌
103a‧‧‧玻璃桌
103b‧‧‧切割片
105‧‧‧光檢測器
108‧‧‧積分球
108a‧‧‧內壁
108b‧‧‧取入口
108c‧‧‧取出口
109‧‧‧探針
111‧‧‧訊號線
113‧‧‧放大器
117‧‧‧光纖
117a‧‧‧光纖頭
117b‧‧‧光傳輸路
117c‧‧‧入射口
117d‧‧‧第一路徑
117e‧‧‧第二路徑
120‧‧‧光導波路
121‧‧‧分光器
123‧‧‧光衰減器
123a‧‧‧偏光板
123b‧‧‧偏光板
123c‧‧‧泡克耳斯單元
125‧‧‧電氣特性計測部
151‧‧‧控制部
153‧‧‧第1單元
155‧‧‧第2單元
157‧‧‧切換單元
159‧‧‧定位單元
163‧‧‧輸出部
A‧‧‧從作為測定對象之發光元件101的中心到外緣為止的距離
B‧‧‧相鄰之發光元件101彼此之間的距離
D‧‧‧範圍S0投影至發光元件101時的、從發光元件101的中心到範圍S0的外緣為止的距離
L‧‧‧作為測定對象之發光元件101與光纖117之間的距離
LCA‧‧‧發光中心軸
S0‧‧‧數值孔徑NA所示之範圍
S10‧‧‧步驟
S20‧‧‧步驟
S30‧‧‧步驟
S40‧‧‧步驟
S50‧‧‧步驟
S60‧‧‧步驟
S70‧‧‧步驟
S80‧‧‧步驟
X‧‧‧從作為測定對象之發光元件101的中心到與作為測定對象之發光元件101相鄰之發光元件101的外緣為止的距離
α‧‧‧在光纖117內全反射所得到之光的入射角的最大值
θ‧‧‧將Φ固定時，將與發光中心軸LCA所夾之角度
Φ‧‧‧將包含發光面101a之平面上的一方向當作基準軸(x軸)時，從該平面上的x軸逆時針旋轉的角度
僅以本發明的幾個實施形態為例，參照附圖進行以下的說明。
圖1(a)~(c)係顯示以光學測定裝置測定發光元件的發光狀況。
圖2係示意地顯示光學測定裝置的構造。
圖3係為光學測定裝置所包括的光纖及發光元件之放大圖。
圖4係顯示光學測定裝置所包括的光衰減器之構造。
圖5A係顯示分光器的光電轉換特性。
圖5B係顯示分光器所測定的發光元件的分光特性之一例。
圖6係為用於說明光學測定裝置的控制部在光學特性測定時進行的處理之流程圖。
圖7係為光學測定裝置的變形例1之說明圖。
圖8係為光學測定裝置的變形例2之說明圖。
圖9係為用於說明圖8所示之控制部在光學特性測定時進行的處理之流程圖。
圖10係為光學測定裝置的變形例3之說明圖。
以下，針對本發明的實施形態，參照圖面進行詳細說明。以下說明之實施形態僅為本發明的幾個例子，本發明並不受其內容所限制。另外，於各實施形態中說明的所有構造及動作並非本發明必須的構造或動作。此外，對相同的構成要件賦予相同的參照符號，並省略重複的說明。
<發光元件的發光狀況>
利用圖1對光學測定裝置3所測定的發光元件101的發光狀況進行說明。
圖1係顯示以光學測定裝置3測定發光元件101的發光狀況。
發光元件101至少包括電極及發光部，為當電力供給時可發出特定波長範圍之光的元件。發光元件101可例如為發光二極體。
如圖1(a)所示，從發光元件101的發光面101a出射的光呈放射狀。
發光面101a位於發光元件101的表面。將發光元件101的發光面101a的法線稱為發光中心軸LCA。在圖1(a)中，發光面101a為發光元件101在發光中心軸LCA正方向側上的表面。
將包含發光面101a之平面上的一方向當作基準軸(x軸)時，將從該平面上的x軸逆時針旋轉的角度定義為Φ。此外，將Φ固定時，將與發光中心軸LCA所夾之角度定義為θ。
發光元件101發光時，其從發光面101a出射的光強度會依與發光中心軸LCA所夾之角度θ等而不同。
光量為將Φ的值為由0°到360°、θ的值為由0°到90°為止的範圍內之光強度全部累計，並且針對發光元件101的背面側也進行計算，並將其兩者合計的值。
可藉由得知此光量而檢查出其發光元件101是否適用於各種使用方式。
從發光元件101出射的光強度的值，依據不同的θ及Φ而不同。為了以視覺方式表現光強度，使用如圖1(b)的圖進行說明。
在圖1(b)中，x軸與y軸的交點部份以θ=0°表示。圓上的各點分別表示θ=90°的每個Φ的位置。
圖1(c)為Φ值在固定位置的剖面圖。
在此，在距離發光元件101相同距離、且位於與發光中心軸LCA所夾的角度θ的位置上，將光強度定義為配光強度E(θ)。此配光強度E(θ)對應每個θ之配光強度分布如圖所示。
此外，一旦知道配光強度分布，即可按照接下來的步驟以求出 發光元件101的光量。
即，以發光中心軸LCA周圍的圓周對配光強度E(θ)作積分(Φ=0°至360°為止作積分)，求出周配光強度J(θ)。周配光強度J(θ)以J(θ)=E(θ)．2πr．sinθ表示。將此周配光強度J(θ)的θ=0°至θ°為止作積分，可求出發光元件101之表面側的光量K(θ)。
此外，將K(θ)乘上固定係數κ，可算出發光元件101之背面側的光量。
接著，將表面側的光量K(θ)加上背面側的光量K(θ)．κ，可算出發光元件101的光量。
另外，可知以同一製程製造的發光元件101，其發光元件101之表面側的光量與背面側的光量之差為大致固定。因此，只要實際測量一個發光元件101的光量而求出係數κ之後，其他的發光元件101也可適用此值。
在圖1的說明中，假設在距離發光元件101夠遠的位置進行測定，則發光元件101可被視為是一個點。發光元件101與一般的光檢測器105等(參照圖2)相比極為渺小，因此這樣的假設是可以成立的。於圖2之後的說明中若無特別記載，皆為相同。
<光學測定裝置的構造>
利用圖2及圖3，對光學測定裝置3的構造進行說明。
圖2係示意地顯示光學測定裝置3的構造。圖3係為光學測定裝置3所包括的光纖117及發光元件101之放大圖。
光學測定裝置3為測定發光元件101所發出的光之光學特性的裝置。在光學測定裝置3所測定的光學特性中，至少包括發光元件101所發出的光之光量、波長及色度。
光學測定裝置3供給電力至發光元件101使其發光，並測定該發光元件101所發出的光之光學特性。在發光元件101為多個排列的狀態 下，光學測定裝置3會依序對多個排列的發光元件101中的作為測定對象之發光元件101供給電力，以測定作為測定對象之發光元件101所發出的光之光學特性。
光學測定裝置3可適用於發光元件101的製程所包括的檢查步驟中所使用的檢查裝置。光學測定裝置3除了發光元件101的光學特性之外，也能測定其電氣特性。
光學測定裝置3至少具備載置桌103、探針109、光纖117、訊號線111、分光器121、光衰減器123、電氣特性計測部125、控制部151及輸出部163。
載置桌103為載置作為測定對象之發光元件101的測定樣品台。
載置桌103具有大致均勻的平板狀，設置為大致水平。
載置桌103與其所載置的發光元件101為彼此大致平行。
載置桌103至少具有玻璃桌103a與切割片103b。
玻璃桌103a使用藍寶石及玻璃等的透光材料，形成大致均勻的平板狀。
切割片103b的表面具有黏著性，層積在玻璃桌103a上。發光元件101載置於此切割片103b上。
具有切割片103b的載置桌103可在測定時將發光元件101輕易地移載至載置桌103，且抑制其移位。
此外，在發光元件101的製程中，在切割片103b上預先排列有多個發光元件101時，也可將發光元件101及切割片103b一起載置於玻璃桌103a上。
探針109供給電力至發光元件101，以使發光元件101發光。探針109與發光元件101的發光面101a大致平行，沿與發光元件101的法線呈直角的方向放射狀延伸。
圖2的探針109在測定發光元件101的光學特性時，接觸發光元件 101的電極並向其施加電壓。此外，探針109與電氣特性計測部125連接，可同時測定發光元件101的電氣特性。探針109配合發光元件101的電極位置，配置於發光元件101的上表面、下表面或是上下兩面。
使探針109接觸發光元件101時，可在載置桌103及發光元件101為固定的狀態下移動探針109。相反的，也可以在探針109為固定的狀態下，移動載置桌103及發光元件101。
光纖117取入發光元件101所發出的光，導光至分光器121。光纖117利用預定的數值孔徑取入光線。
如圖3所示，光纖117包括光纖頭117a、光傳輸路117b及入射口117c。
光纖頭117a為取入光的部分。
光纖頭117a形成為筒狀。光纖頭117a的頂端設有讓光入射的開口，即入射口117c。光纖頭117a配置為使入射口117c與發光元件101的發光面101a相對。入射口117c的中心軸與作為測定對象之發光元件101的發光中心軸LCA大致相同。光纖頭117a的中心軸與入射口117c的中心軸大致相同。
入射口117c使與預定的光纖117之數值孔徑相對應之範圍的光入射。
光傳輸路117b光學連接與光纖頭117a設有入射口117c的頂端相反側的端部以及分光器121。
光傳輸路117b將從入射口117c入射的光導光至分光器121。光傳輸路117b使從入射口117c入射的光在其內部全反射，盡可能降低傳輸損失，導光至分光器121。
分光器121經由光纖117及光衰減器123來檢測發光元件101所發出的光，測定其光學特性。
在分光器121所測定的光學特性中，至少包括發光元件101所發 出的光之光量、波長及色度。
分光器121包括受光元件。一旦有光入射至受光元件，分光器121就會藉由光電轉換產生對應此入射光的電荷。分光器121的受光元件，例如為CCD(Charge Coupled Device)或光電二極體陣列等。
分光器121對入射光進行波長分散，並求出分散後的各波長之光強度。各波長之光強度相當於入射光的波長光譜資訊。分光器121從此波長光譜資訊計算出紅(R)、綠(G)、藍(B)三刺激值的成分比例，求出入射光的色度。另外，分光器121累計分散後的各波長之光強度，求出入射光的光量。分光器121可應需要求出其他光學特性。
分光器121產生對應所求得的各種光學特性之電氣訊號。分光器121將所產生之電氣訊號經由信號線111輸出至控制部151。此電氣訊號相當於分光器121所測定之波長光譜資訊、色度資訊以及光量資訊等。
光衰減器123配置於光纖117的設有入射口117c之光纖頭117a與分光器121之間的光傳輸路117b上。
光衰減器123衰減發光元件101所發出的光，並將衰減後的光引導至分光器121。分光器121所檢測的光即為光衰減器123衰減後的光。
關於光衰減器123的詳細構造，利用圖4敘述如後。
在此，如圖3所示，將作為測定對象之發光元件101與光纖117之間的距離定義為L。將從作為測定對象之發光元件101的中心到外緣為止的距離定義為A。將相鄰之發光元件101彼此之間的距離定義為B。將從作為測定對象之發光元件101的中心到與作為測定對象之發光元件101相鄰之發光元件101的外緣為止的距離定義為X。
此外，在光纖117內全反射所得到之光的入射角的最大值定義為α。光纖117與發光元件101之間的介質假設為空氣，定義其折射率 =1。光纖117的數值孔徑定義為NA，數值孔徑NA所示之範圍定義為S0。將範圍S0投影至發光元件101時的、從發光元件101的中心到範圍S0的外緣為止的距離定義為D。
此時，數值孔徑NA為NA=sinα。距離X為X=A+B。距離D為D=Ltanα。
發光元件101若存在於數值孔徑NA所示之範圍S0中，則發光元件101所發出的光就會在光纖117內反覆進行全反射，而導光至分光器121。而發光元件101若不存在於範圍S0內，則發光元件101所發出的光就無法導光至分光器121。
因此，數值孔徑NA所示之範圍S0相當於藉由分光器121可檢測出光的範圍。
在本實施形態中，也可以將藉由分光器121檢測出光的範圍稱為「檢測範圍」。
此外，分光器121的檢測範圍相當於光學測定裝置3可測定出光學特性的光的範圍。
在光學測定裝置3中，預先設定滿足下式之距離L，以使作為測定對象之發光元件101位於範圍S0內，並且使測定對象以外之發光元件101不位於範圍S0內。
A/tanα≦L≦X/tanα
藉此，光學測定裝置3在排列有多個發光元件101的狀態下，不會檢測到測定對象之外的發光元件101所出射的、非預期的光，而只會檢測到作為測定對象之發光元件101所發出的光。
而所謂「測定對象之外的發光元件101所出射的、非預期的光」是指作為測定對象之發光元件101的發光所導致的測定對象之外的發光元件101所出射的光。
例如，作為測定對象之發光元件101所發出的光入射至測定對象 之外的發光元件101，導致測定對象之外的發光元件101被激發而出射的光的存在。
或是，例如作為測定對象之發光元件101所發出的光入射至測定對象之外的發光元件101，導致測定對象之外的發光元件101因反射而出射的光的存在。
電氣特性計測部125至少具備定位單元159、第1單元153、第2單元155及切換單元157。
定位單元159定位且固定探針109。具體而言，在載置桌103移動的形式下，定位單元159具有將探針109的頂端位置保持在固定位置的功能。相反的，在探針109移動的形式下，定位單元159具有將探針109的頂端位置移動至載置有發光元件101的載置桌103上之預定位置，並在此之後將其保持在該位置的功能。
第1單元153具有施加額定電壓、並且檢測出對額定電壓之發光元件101的各種電氣特性的作用。
通常，在施加有來自此第1單元153的電壓的狀態下，發光元件101發出的光由分光器121進行測定。
第1單元153檢測出的各種特性訊息將輸出至控制部151。
第2單元155為對發光元件101施加瞬間大電壓造成靜電放電並檢查其是否遭受靜電破壞等的單元。
第2單元155檢測出的靜電破壞資訊將輸出至控制部151。
切換單元157進行第1單元153與第2單元155的切換。
藉由切替單元157改變通過探針109施加至發光元件101的電壓。接著，藉由此改變，發光元件101的檢查項目可分別改變為檢測在額定電壓下的各種特性，或是檢測其是否遭到靜電破壞。
控制部151總體控制光學測定裝置3的動作。
由分光器121所測定出的波長光譜資訊、色度資訊以及光量資訊 輸入至控制部151。由第1單元153所輸出的各種電氣特性資訊輸入至控制部151。而由第2單元155所檢測出的靜電破壞資訊也輸入至控制部151。
控制部151藉由這些輸入對發光元件101之各種特性進行分類及分析。分析出各種特性後，控制部151將其分析結果由輸出部163進行影像輸出等的資訊輸出。並且，控制部151根據其分析結果，依據需要，控制光學測定裝置3的各構成要件。
<光衰減器>
利用圖4說明光衰減器123。
圖4係顯示光學測定裝置3所包括的光衰減器123之構造，
光衰減器123衰減發光元件101所發出的光，將衰減後的光引導至分光器121。
光衰減器123例如可利用電光元件來構成。
如圖4所示，利用電光元件所構成的光衰減器123，包括偏光板123a、偏光板123b以及泡克耳斯單元123c。
偏光板123a及偏光板123b用以將入射光之偏光狀態轉換成直線偏光。偏光板123a及偏光板123b配置為與入射光大致垂直。偏光板123a及偏光板123b配置為正交偏光的狀態。
泡克耳斯單元123c是由雙折射材料形成的。
泡克耳斯單元123c配置在偏光板123a與偏光板123b之間。泡克耳斯單元123c配置為與入射光大致垂直。
泡克耳斯單元123c連接未繪示之電壓源。該電壓源施加電壓至泡克耳斯單元123c，使其在與入射光的行進方向相同的方向上產生電場。該電壓源連接控制部151。該電壓源根據從控制部151輸入的控制訊號調節施加至泡克耳斯單元123c的電壓。
來自該電壓源的電壓一旦施加於泡克耳斯單元123c，就會由於電 光效應，其折射率根據施加電壓而變化。因此，泡克耳斯單元123c調變由偏光板123a轉換為直線偏光之入射光的相位，可將該入射光轉換為隨施加電壓延遲的橢圓偏光。
接著，由泡克耳斯單元123c轉換為隨施加電壓延遲的橢圓偏光之入射光，由偏光板123b轉換為直線偏光。
因此，具有泡克耳斯單元123c的光衰減器123，可通過根據施加電壓之入射光的相位調變進行振幅調變，因而可根據施加電壓調變入射光的光強度。
藉此，具有泡克耳斯單元123c的光衰減器123，能夠以對應於自控制部151輸入的控制訊號之衰減量來衰減入射光。
此外，光衰減器123可以是不具有泡克耳斯單元123c之電光元件，而是由具有克爾單元之電光元件構成的。甚至，光衰減器123也可以不是電光元件，而是由磁光元件、聲光元件或是液晶光學元件構成的。
再者，光衰減器123也可以是通過將中繼用光纖連接器即光纖聯軸器配置在光傳輸路117b上，在該光纖聯軸器設置氣隙而構成。
另外，光衰減器123亦可不具有泡克耳斯單元123c。光衰減器123可包括在正交偏光的狀態下配置的偏光板及檢偏板。並且，光衰減器123可將相對該偏光板的透射軸傾斜45°的軸當作旋轉軸，旋轉該偏光板以轉換入射光之偏光狀態，檢偏板再將其轉換為直線偏光後出射。此外，光衰減器123也可以包括兩片偏光板。兩片偏光板也可構成為至少位於入射光之下游側的偏光板可旋轉。而光衰減器123也可藉由位於入射光上游側的偏光板將偏光狀態轉換為直線偏光，並且藉由旋轉位於下游側的偏光板來衰減入射光。
此外，光衰減器123也具有使衰減量為零的構造。
<分光器之測定性能>
利用圖5A及圖5B來說明分光器121的測定性能。
圖5A係顯示分光器121的光電轉換特性。
在圖5A中的粗線代表分光器121中的入射光量與輸出電流之間的關係。而在圖5A中的虛線代表光檢測器中的入射光量與輸出電流之間的關係。
將輸入與輸出呈正比關係稱為「線性」。分光器121中的入射光量與輸出電流之間的關係顯示分光器121的光電轉換特性。意即，分光器121的光電轉換特性中之線性呈現在入射光量與輸出電流的正比關係中。分光器121的光電轉換特性中的線性為顯示分光器121之測定性能的一個指標。
如圖5A所示，可知分光器121的光電轉換特性中的線性不如光檢測器。
更進一步，將輸入與輸出之正比關係成立的範圍稱為「動態範圍」。動態範圍為線性成立之範圍。分光器121的光電轉換特性中的動態範圍為入射光量與輸出電流之間的正比關係成立的範圍，也是光電轉換特性中線性成立之範圍。
如圖5A所示，可知分光器121的光電轉換特性中的動態範圍比光檢測器的狹窄。
圖5B係顯示分光器121所測定的發光元件的分光特性之一例。
圖5B顯示使用分光器121測定供給電力時會發出特定波長範圍的光之元件的分光特性之一例。
如圖5B所示，至少在低於870nm的波長範圍和高於1000nm的波長範圍時，分光器121的相對強度為10%以下，靈敏度不佳。因此，分光器121至少無法測定低於870nm的波長範圍和高於1000nm的波長範圍之光的光量。圖5B的黑色部分顯示分光器121無法測定光量的範圍。
為了得到固定測定精度的光量，例如在相對強度為20~80%範圍內使用分光器121時，分光器121僅能測定880nm~920nm、950nm~990nm的波長範圍之光的光量。這是因為在相對強度為20%以下的範圍和80%以上的範圍內，分光器121的光電轉換特性中的線性降低，因此測定精度降低。圖5B的斜線部分表示分光器121可測定光量的範圍。
此外，雖未繪示，但光檢測器的光電轉換特性中的動態範圍非常大，因此至少對於圖5B所示800nm~1100nm的波長範圍之光的光量，能以較高的精度測定。
如此一來，在使用分光器121測定發光元件101的各種光學特性時，可能會由於進入分光器121之入射光量的情況造成分光器121的測定結果不正確。
因此，需要能以高可靠度測定發光元件101的光學特性之技術。
另外，不同種類的發光元件101，其發光特性大多也會因為種類不同而相異。所以，在測定不同種類的發光元件101之光學特性時，經常會有進入分光器121之入射光量不同的情形。因此，必須依據發光元件101的各個種類調整成適當的入射光量。
然而，為了調整進入分光器121之入射光量而依據發光元件101的各個種類改變測定環境，會造成很大的負擔。
例如，固定發光元件101的發光時間來調整進入分光器121之入射光量時，可能需要改變光纖117與發光元件101之間的距離。在這種情況下，由於發光元件101的種類不同而導致光量差的差距為100倍時，可能必須將光纖117與發光元件101之間的距離改變為10倍。而將光纖117與發光元件101之間的距離改變為10倍，將會造成很大的負擔。尤其，當發光元件101為擬似白色發光二極體時，一旦改變該距離，則發光元件101所發出的光之色度將會產生變化，因此，造成分 光器121之光學特性的測定精度降低。
再者，例如固定光纖117與發光元件101之間的距離來調整進入分光器121之入射光量時，可能需要改變發光元件101的發光時間。在這種情況下，發光元件101會產生溫度變化，而發光元件101所發出的光之波長和光量也會變化，因此，造成分光器121之光學特性的測定精度降低。
因此，需要即使在測定不同種類的發光元件101的光學特性時也能在相同的測定環境下高精度地測定之技術。
<光學特性測定時的控制部之處理>
在進行發光元件101之光學特性測定時，作為測定對象之發光元件101所發出的光入射至光纖117。入射至光纖117的光，經由光衰減器123衰減後，導光至分光器121。
分光器121一旦檢測出經由光衰減器123導光的光，則測定所檢測出的光之包括光量的各種光學特性。分光器121將包括光量的各種光學特性之測定結果輸出至控制部151。
用於總體控制光學測定裝置3的動作之控制部151在光學特性測定時，主要是進行以下的處理。
利用圖6說明在光學特性測定時控制部151所進行的處理。
圖6係為用於說明光學測定裝置3的控制部151在光學特性測定時進行的處理之流程圖。
在步驟S10中，控制部151判斷是否已輸入分光器121的測定結果。
控制部151待機直到有分光器121的測定結果輸入。另一方面，控制部151若判斷分光器121的測定結果已輸入，則將其存儲於預定的存儲區域中。接著，控制部151執行步驟S20。
在步驟S20中，控制部151根據分光器121的測定結果中所包括的 光量測定結果，驗證分光器121的測定結果之正確性。
控制部151驗證分光器121的測定結果之正確性，可使用例如以下的方法來進行驗證。
例如，控制部151預先存儲有在分光器121之光電轉換特性中的動態範圍內所能取得的分光器121的光量測定結果之範圍。接著，控制部151判斷在步驟S10中輸入的光量測定結果是否在預先存儲的光量測定結果的範圍內。然後，若在步驟S10中輸入的光量測定結果在預先存儲的光量測定結果的範圍內，則控制部151就會判斷在步驟S10中輸入的分光器121之測定結果為正確。另一方面，若在步驟S10中輸入的光量測定結果不在預先存儲的光量測定結果的範圍內，則控制部151就會判斷在步驟S10中輸入的分光器121之測定結果為不正確。
在步驟S30中，控制部151判斷分光器121之測定結果是否正確。
若控制部151經過步驟S20的驗證判斷分光器121之測定結果為正確時，則執行步驟S40。另一方面，若控制部151經過步驟S20的驗證判斷分光器121之測定結果為不正確時，則執行步驟S60。
在步驟S40中，控制部151令分光器121之測定結果有效。
在步驟S50中，控制部151輸出分光器121之測定結果至輸出部163。接著，控制部151結束光學特性之測定。
分光器121之測定結果由輸出部163輸出資訊。
在步驟S60中，控制部151令分光器121之測定結果無效。
在步驟S70中，控制部151設定光衰減器123的衰減量。
控制部151確認包括在步驟S60中被無效的分光器121之測定結果的光量測定結果。接著，控制部151根據該光量測定結果，求出光衰減器123中的衰減量。控制部151將包括求出之衰減量的控制訊號輸出至光衰減器123，設定光衰減器123的衰減量。
控制部151求得光衰減器123中的衰減量，可使用例如以下的方 法來求得。即，控制部151根據在分光器121之光電轉換特性中的動態範圍內所能取得的分光器121之光量測定結果的範圍之臨界值與在步驟S60中被無效的光量測定結果之差值，求得衰減量。
在步驟S80中，控制部151指示分光器121再次進行測定。
控制部151輸出控制訊號至分光器121，並指示分光器121進行再次測定。
在再次測定時，分光器121能夠檢測出被步驟S70中所設定的衰減量衰減後的光，並測定其光學特性。接著，再次測定後的分光器121的測定結果重新輸入至控制部151，進行在步驟S20中的驗證。藉此，在步驟S50中輸出的分光器121之測定結果，皆為可靠度高之測定。
如此一來，光學測定裝置3考慮在分光器121之光電轉換特性中的動態範圍，而選擇性地令分光器121之測定結果有效。
因此，光學測定裝置3能夠在發光元件101的光學特性測定時，僅將可靠度高的測定結果作為有效並輸出。
藉此，光學測定裝置3之光學特性的測定結果能得到高可靠度。
更進一步，若分光器121的測定結果為不正確，則光學測定裝置3會將分光器121的入射光自動調節成適當的光量。並且，光學測定裝置3能夠使分光器121再次測定已調節成適當光量之入射光的光學特性。
因此，光學測定裝置3即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特定時，也能不改變測定環境，自動保持進入分光器121之入射光量的合理性。
藉此，光學測定裝置3可在相同的測定環境下高精度地測定種類不同的發光元件101之光學特性。並且，光學測定裝置3能以簡單的構造得到可靠度高之測定結果。
<光學測定裝置的變形例>
利用圖7~圖10說明光學測定裝置3的變形例。
在圖7~圖10所示之光學測定裝置3的構造中，省略與圖2~圖6所示之光學測定裝置3相同構造之說明。
利用圖7說明光學測定裝置3的變形例1。
圖7係為光學測定裝置3的變形例1之說明圖。
變形例1的光學測定裝置3與圖2~圖6所示之光學測定裝置3相比，多了積分球108的構造。
積分球108形成為中空之略球狀。
積分球108具有內壁108a、取入口108b以及取出口108c。
內壁108a形成積分球108的內部空間。內壁108a由高反射率且擴散性佳的材料所構成。
在內壁108a設有取入口108b及取出口108c。
取入口108b為一開口，用以取入作為測定對象之發光元件101所發出的光。
取入口108b的大小比光纖117的入射口117c大得多。
取入口108b之開口中心軸與作為測定對象之發光元件101的發光中心軸LCA大致相同。
取入口108b將發光元件101所發出的光引導至積分球108的內部。從取入口108b引導至積分球108內部的光在內壁108a重覆反射，到達取出口108c。
取出口108c為一開口，用以將在內壁108a反射的光取出至積分球108的外部。
取出口108c設在與內壁108a的取入口108b不同的位置上。
圖7中的取出口108c中設有光纖117。
圖7中的取出口108c將在內壁108a反射的光引導至光纖117。引導 至光纖117的光入射至光纖117，經由光衰減器123導光至分光器121。
變形例1的光學測定裝置3藉由比光纖117的入射口117c大很多的積分球108的取入口108b，取入作為測定對象之發光元件101所發出的光。並且，變形例1中的光學測定裝置3使以積分球108取入的光入射至設於取出口108c中的光纖117。因此，變形例1中的光學測定裝置3能夠以分光器121檢測出更多的光，並更高精度地測定光量。
變形例1中的光學測定裝置3的其他構造與圖2~圖6所示之光學測定裝置3的構造相同。
使用圖8及圖9說明光學測定裝置3的變形例2。
圖8係為光學測定裝置3的變形例2之說明圖。圖9係為用於說明圖8所示之控制部151在光學特性測定時進行的處理之流程圖。
變形例2中的光學測定裝置3與圖7所示之變形例1的光學測定裝置3相比，多了光導波路120、光檢測器105以及放大器113的構造。
光導波路120設在設有入射口117c的光纖117之光纖頭117a與光衰減器123之間的光傳輸路117b上。
光導波路120將光傳輸路117b分支為朝向分光器121之第一路徑117d，和朝向光檢測器105之第二路徑117e。第一路徑117d為連接光導波路120與分光器121之間的光傳輸路117b。第二路徑117e為連接光導波路120與光檢測器105之間的光傳輸路117b。
光導波路120使入射的光在其內部全反射以極力抑制傳輸損失，將光分支並導光至第一路徑117d及第二路徑117e。導光至第一路徑117d及第二路徑117e的光，分別被導光至分光器121及光檢測器105。
光檢測器105經由光纖117及光導波路120檢測出發光元件101所發出的光，並測定其光學特性。
在光檢測器105所測定的光學特性中，至少包括發光元件101所發出的光之光量。
光檢測器105具有受光元件。光一旦入射至受光元件，則光檢測器105會藉由光電轉換產生對應此入射光的電荷。光檢測器105的受光元件例如為光電二極體等。
光檢測器105累計入射光的所有光強度，求出入射光的光量。光檢測器105對應求得的光量，產生電氣訊號。光檢測器105將所產生之電氣訊號經由訊號線111輸出至放大器113。此電氣訊號相當於光檢測器105所測定之光量資訊。
放大器113放大從光檢測器105輸出的電氣訊號，輸出至控制部151。
變形例2中的光學測定裝置3可在光檢測器105及分光器121中分別測定作為測定對象之發光元件101的光學特性。尤其，變形例2中的光學測定裝置3在光檢測器105測定光量，並且在分光器121測定包括光量之光學特性。
用於總體控制光學測定裝置3的動作之控制部151於光學特性測定時，進行與圖6所示之處理一部分不同的處理。
利用圖9說明包括在變形例2之光學測定裝置3中的控制部151在光學特性測定時所進行的處理。
此外，於圖9所示的各步驟中省略與圖6相同的處理說明。
在步驟S10中，控制部151判斷是否已輸入光檢測器105的光量測定結果及分光器121的測定結果。
控制部151待機直到有光檢測器105的光量測定結果及分光器121的測定結果輸入。另一方面，控制部151若判斷光檢測器105的光量測定結果及分光器121的測定結果已輸入，則將相對應的各結果存儲於預定的存儲區域中。接著，控制部151執行步驟S20。
在步驟S20中，控制部151根據光檢測器105的光量測定結果，驗證分光器121的測定結果之正確性。
控制部151可使用例如以下的方法來驗證分光器121的測定結果。
例如，控制部151確認在步驟S10中輸入的、分光器121的測定結果中所包含之光量測定結果。接著，控制部151求出分光器121之該光量測定結果與在步驟S10中所輸入的光檢測器105的光量測定結果之間的差值。然後，控制部151判定該差值是否在預定的容許範圍內。並且，若該差值在預定的容許範圍內，則控制部151判斷在步驟S10中所輸入的分光器121之測定結果為正確。另一方面，若該差值不在預定的容許範圍內，則控制部151判斷在步驟S10中所輸入的分光器121之測定結果為不正確。
此外，例如控制部151預先存儲有在分光器121之光電轉換特性中的動態範圍內所取得的分光器121的光量測定結果之範圍。接著，控制部151判斷在步驟S10中輸入的光檢測器105之光量測定結果是否在預先存儲的該分光器121之光量測定結果的範圍內。然後，若在步驟S10中輸入的光檢測器105之光量測定結果在預先存儲的該分光器121之光量測定結果的範圍內，則控制部151就會判斷在步驟S10中輸入的分光器121之測定結果為正確。另一方面，若在步驟S10中輸入的光檢測器105之光量測定結果不在預先存儲的該分光器121之光量測定結果的範圍內，則控制部151就會判斷在步驟S10中輸入的分光器121之測定結果為不正確。
在步驟S30~S60中，控制部151進行與圖6相同的處理。
在步驟S70中，控制部151設定光衰減器123的衰減量。
控制部151確認在步驟S60中被無效的分光器121之測定結果以及與該結果有對應關聯之光檢測器105之光量測定結果。接著，控制部151根據該光量測定結果，求出光衰減器123中的衰減量。控制部151將包括求出之衰減量的控制訊號輸出至光衰減器123，設定光衰減器 123的衰減量。
控制部151可使用例如以下的方法來求得光衰減器123中的衰減量。
例如，控制部151在步驟S20的驗證中，求出分光器121之光量測定結果與光檢測器105之光量測定結果之間的差值並驗證後，求出使該差值可控制在該差值之容許範圍內的衰減量。
另外，例如控制部151在步驟S20的驗證中，使用在分光器121之光電轉換特性中的動態範圍內所取得的分光器121的光量測定結果的範圍進行驗證時，可利用以下方式。即，控制部151根據該範圍的臨界值與光檢測器105之光量測定結果之間的差值，求出在光衰減器123中的衰減量。
在步驟S80中，控制部151指示光檢測器105及分光器121再次進行測定。
控制部151輸出控制訊號至光檢測器105及分光器121，並指示光檢測器105及分光器121進行再次測定。
如此一來，變形例2中的光學測定裝置3可根據動態範圍比分光器121更大的光檢測器105所測定之光量測定結果，選擇性地令分光器121之測定結果有效。
因此，變形例2中的光學測定裝置3能夠在發光元件101的光學特性測定時，僅將可靠度更高的測定結果作為有效並輸出。
藉此，變形例2中的光學測定裝置3之光學特性的測定結果能具有更高的可靠度。
變形例2的光學測定裝置3的其他構造與圖7所示之變形例1的光學測定裝置3的構造相同。
利用圖10說明光學測定裝置3的變形例3。
圖10係為光學測定裝置3的變形例3之說明圖。
變形例3中的光學測定裝置3具有將圖8及圖9所示之變形例2的光學測定裝置3所包括的光檢測器105配置在不同位置的構造。
變形例3中的光學測定裝置3不具備光導波路120。
光纖117的光傳輸路117b不分支，僅連接光衰減器123及分光器121。
光檢測器105設在積分球108之內壁108a上。在內壁108a中的光檢測器105的位置為未配置有取入口108b及取出口180c的位置。
測定對象之發光元件101所發出的光從取入口108b引導至積分球108的內部。從取入口108b引導至積分球108內部的光在內壁108a重覆反射，並入射至光纖117及光檢測器105。接著，該光經由光衰減器123衰減後，由分光器121測定其色度等，並且由光檢測器105測定其光量。
變形例3中的光學測定裝置3不使入射至光纖117的光分支，而是使設在內壁108a的光檢測器105直接檢測出積分球108所取入的光，測定其光量。
因此，變形例3中的光學測定裝置3能夠以光檢測器105檢測出更多的光，並更高精度地測定光量。
變形例3中的光學測定裝置3的其他構造與圖8及圖9所示之變形例2的光學測定裝置3的構造相同。
上述說明之實施形態，對熟習此項技術者顯而易見的是，可互相適用包括變形例之各個實施形態之間的技術。
上述說明僅以例示為其意圖，並非用於限制。因此，對熟習此項技術者顯而易見的是，可在不偏離申請專利的範圍下改變本發明之實施形態。
應將在本說明書以及申請專利範圍中所使用的所有用語解釋為「非限定」用語。例如，「包括」或「被包括」之用語，應解釋為 「所包括的並不限定於所記載者」。「具有」之用語，應解釋為「所具有的並不限定於所記載者」。此外，本說明書及申請專利範圍中所記載的不定冠詞「一個」應解釋為「至少一個」或是「一個或者一個以上」的意思。
<實施形態的構造及效果>
本實施形態的光學測定裝置3的特徵在於其具備：光衰減器123，其衰減發光元件101所發出的光；分光器121，其測定光衰減器123所衰減的光之光學特性；以及控制部151，其根據發光元件101所發出的光之光量，設定光衰減器123的衰減量。
藉由此構造，光學測定裝置3能夠不使用複雜的方式，即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特性時，也能在不改變測定環境的情況下，適當地保持進入分光器121的入射光量。並且，光學測定裝置3能以簡單的構造得到可靠度高之測定結果。
另外，本實施形態的光學測定裝置3具備一光纖117，其包括：入射口117c，其用於使該發光元件101所發出的光入射；以及光傳輸路117b，其用於將從入射口117c入射的光導光至分光器121。光衰減器123可配置在入射口117c與分光器121之間的光傳輸路117b上。
藉由此構造，光學測定裝置3能以更簡單的構造，實現即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特性時，也能在不改變測定環境的情況下，適當地保持進入分光器121的入射光量。並且，光學測定裝置3能以更簡單的構造得到可靠度高之測定結果。
此外，本實施形態的光學測定裝置3的控制部151可根據分光器121所測定之光學特性之一的光量，設定光衰減器123之衰減量。
藉由此構造，光學測定裝置3能夠不使用複雜的方式，即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特性時，也能在不改變測定環境的情況下，適當地保持進入分光器121的入射光量。並且，光學測 定裝置3能以簡單的構造得到可靠度更高之測定結果。
又，本實施形態的光學測定裝置3具備動態範圍比分光器121大的光檢測器105，用以測定發光元件101所發出的光之光量。控制部151可根據光檢測器105所測定的光量，設定光衰減器123的衰減量。
藉由此構造，光學測定裝置3能夠不使用複雜的方式，即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特性時，也能在不改變測定環境的情況下，更適當地保持進入分光器121的入射光量。並且，光學測定裝置3能以簡單的構造得到可靠度更高之測定結果。
再者，本實施形態的光學測定裝置3的光纖117之光傳輸路117b可在入射口117c與光衰減器123之間朝向光檢測器105分支，將入射的光分支並導光至分光器121及光檢測器105。
藉由此構造，光學測定裝置3能以更簡單的構造，實現即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特性時，也能在不改變測定環境的情況下，適當地保持進入分光器121的入射光量。並且，光學測定裝置3能以更簡單的構造得到可靠度高之測定結果。
此外，本實施形態的光學測定裝置3具備積分球108，其用於將發光元件101所發出的光取入至其內部。光纖117使取入至積分球108的光從入射口117c入射。光檢測器105可測定取入至積分球108的光之光量。
藉由此構造，光學測定裝置3能夠不使用複雜的方式，即使在測定發光特性不同的發光元件101之光學特性時，也能在不改變測定環境的情況下，更適當地保持進入分光器121的入射光量。並且，光學測定裝置3能以簡單的構造得到更高精度且可靠度高之測定結果。
<定義等>
「動態範圍」為輸入與輸出之正比關係成立的範圍。
作為本發明之「動態範圍」一例的是在「測定器」或「光量測 定器」的光電轉換特性中的動態範圍。在光電轉換特性中的動態範圍，為入射光量與輸出電流之正比關係成立的範圍。
分光器121作為本發明的「測定器」之一例。
光檢測器105作為本發明的「光量測定器」之一例。
控制部151作為本發明的「控制部」之一例。
光衰減器123作為本發明的「光衰減器」之一例。
光纖117作為本發明的「導光管」之一例。
入射口117c作為本發明的「入射口」之一例。
光傳輸路117b作為本發明的「光傳輸路」之一例。
積分球108作為本發明的「積分球」之一例。
3‧‧‧光學測定裝置
101‧‧‧發光元件
103‧‧‧載置桌
103a‧‧‧玻璃桌
103b‧‧‧切割片
109‧‧‧探針
111‧‧‧訊號線
117‧‧‧光纖
121‧‧‧分光器
123‧‧‧光衰減器
125‧‧‧電氣特性計測部
151‧‧‧控制部
153‧‧‧第1單元
155‧‧‧第2單元
157‧‧‧切換單元
159‧‧‧定位單元
163‧‧‧輸出部

Claims (5)

  1. 一種光學測定裝置，其包含：一光衰減器，其衰減發光元件所發出的光；一測定器，其測定該光衰減器所衰減的光之光學特性；一控制部，其根據該發光元件所發出的光之光量，設定該光衰減器的衰減量；及一導光管，其包括：一入射口，其讓該發光元件所發出的光入射；及一光傳輸路，其將從該入射口入射的光導光至該測定器；且該光衰減器配置在該入射口與該測定器之間的該光傳輸路上，該光衰減器由在該光傳輸路設置氣隙而構成。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之光學測定裝置，其中該控制部根據該測定器所測定的光學特性之一的光量，設定該光衰減器的衰減量。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之光學測定裝置，其中更包含一光量測定器，其動態範圍比該測定器之動態範圍大，用以測定該發光元件所發出的光之光量，該控制部根據該光量測定器所測定的光量，設定該光衰減器的衰減量。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之光學測定裝置，其中該導光管的該光傳輸路在該入射口與該光衰減器之間朝向該光量測定器分支，用以將該入射的光分支並導光至該測定器及該光量測定器。
  5. 如申請專利範圍第3項所述之光學測定裝置，其中更包含一積分球，其將該發光元件所發出的光取入至內部，該導光管使取入 至該積分球的光從該入射口入射，該光量測定器測定取入至該積分球的光之光量。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6449830B2 (ja) * 2016-10-11 2019-01-09 日機装株式会社 試験装置および発光装置の製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002206967A (ja) * 2001-01-11 2002-07-26 Minolta Co Ltd 測光装置および測色装置
JP2003322564A (ja) * 2002-04-26 2003-11-14 Ando Electric Co Ltd 光パワーメータ
TW200936992A (en) * 2007-11-30 2009-09-01 Otsuka Denshi Kk Apparatus for measuring optical property

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5494249U (zh) * 1977-12-15 1979-07-04
JPH0779203A (ja) * 1993-09-08 1995-03-20 Hitachi Cable Ltd 光受信器
JPH08255367A (ja) * 1995-03-15 1996-10-01 Sony Corp 光信号検出増幅装置
US6360032B1 (en) * 2000-02-18 2002-03-19 John G. Berger Two beam optical switch and attenuator and method of use
JP2002107640A (ja) * 2000-09-27 2002-04-10 Nikon Corp 光量調整装置、光源装置、測定装置、研磨状況モニタ装置及び研磨装置
JP4592969B2 (ja) * 2001-02-01 2010-12-08 浜松ホトニクス株式会社 分光装置および分光方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002206967A (ja) * 2001-01-11 2002-07-26 Minolta Co Ltd 測光装置および測色装置
JP2003322564A (ja) * 2002-04-26 2003-11-14 Ando Electric Co Ltd 光パワーメータ
TW200936992A (en) * 2007-11-30 2009-09-01 Otsuka Denshi Kk Apparatus for measuring optical property

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