CN103162941B - 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 - Google Patents
一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103162941B CN103162941B CN201310065809.8A CN201310065809A CN103162941B CN 103162941 B CN103162941 B CN 103162941B CN 201310065809 A CN201310065809 A CN 201310065809A CN 103162941 B CN103162941 B CN 103162941B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- energy
- laser
- sample
- host computer
- imageing sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本发明提供了一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置，其包括激光电源(1)、激光器(2)、光束整形器(3)、偏振能量调节器(4)、聚焦透镜(5)、分光镜(6)、成像光学系统(7)、图像传感器(8)、光电探测器(9)、能量探测器(10)、图像采集卡(11)、光电处理电路(12)、能量采集处理电路(13)、能量调节控制器(14)、样品台(15)、运动控制卡(16)和上位机(17)；采用偏振能量调节方式来调节辐照在被测样品上表面激光脉冲能量，调节方便；采用能量均匀分布的激光光斑辐照来诱导被测样品表面损伤，准确地反映了被测样品表面损伤阈值。该测量装置自动化程度高，使用快捷、方便。
Description
技术领域
本发明涉及一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置，属于激光测试技术领域。
背景技术
强激光对光学薄膜的破坏制约着激光向高功率、高能量发展，也是影响光学薄膜稳定性、可靠性和使用寿命的重要因素。随着高功率、大能量激光器出现，以及激光调Q技术和锁模技术的发展，强激光对光学薄膜的破坏频繁发生，激光对光学元件及其薄膜的损伤成为人们所关注的热点，而准确、高效地测试激光薄膜损伤阈值是提高激光薄膜抗损伤能力的先决条件。九十年代以来，形成了ISO11254光学薄膜激光损伤阈值定量测试标准。1996年我国相关部门根据上述测试标准颁布了相应的国标GB/T16601-1996光学表面激光损伤阈值测试方法，并于1997年4月起推广实施1-on-1测试标准。
目前关于激光损伤阈值的测量主要是用手动方式操作激光器、衰减系统和样品来实现。利用未经过光束整形的激光束直接辐照光学薄膜，激光束光场强度分布服从高斯函数形式分布，辐照激光光斑的中心强度大，边缘相对较弱，光斑中心位置易于导致薄膜的损伤，损伤薄膜面积包络的激光脉冲能量小于实际能量，测量偏差较大。
发明内容
为准确测量光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值，本发明提供了一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置。该装置基于平顶高斯光束诱导光学薄膜和光电器件表面损伤，准确的反映了光学薄膜和光电器件表面损伤阈值，且该装置易于自动控制。
如附图1所示，本发明提供的一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置包括激光电源1、激光器2、光束整形器3、能量调节器4、聚焦透镜5、分光镜6、成像光学系统7、图像传感器8、光电探测器9、能量探测器10、图像采集卡11、光电处理电路12、能量采集处理电路13、能量调节控制器14、样品台15、运动控制卡16和上位机17；其中激光电源1为脉冲触发式高压电源，分别与上位机17和激光器2相连接，在上位机17的控制下向激光器2供电，激光器2发出的激光束依次经过光束整形器3、能量调节器4和聚焦透镜5后入射到分光镜6表面，部分激光束被分光镜6反射后辐照到被测样品表面，另一部分激光束穿过分光镜6被能量探测器10接收，能量采集处理电路13对能量探测器10获得的激光脉冲能量信息进行处理并传送给上位机17；被测样品表面透过分光镜6被成像光学系统7成像在图像传感器8的探测面上，图像采集卡11对图像传感器8获得的图像信息处理并传送给上位机17进行损伤薄膜面积的测量；能量探测器10表面对入射激光的散射光被光电探测器9接收，光电处理电路12将光电探测器9获得的电信号处理后传送给上位机17进行显示；
所述的激光器2为脉冲运转激光器，发射波长优选1064nm、532nm或355nm，其发射脉冲激光的最大重复频率为10Hz，脉冲宽度为10ns，其发射的激光脉冲用于辐照被测样品；
所述的光束整形器3为折射式非球面伽利略望远型光学系统，其由一个非球面负透镜和一个正透镜及机械夹具构成，其中的光学元件表面镀制对激光器2发射激光波长的增透膜，位于激光器2输出激光束的光路中，并与激光束同光轴，用于对激光器2输出的光束进行整形，从而获得平顶高斯光束分布辐射光斑；
如附图2所示，所述的平顶高斯光束为光强分布曲线中心部位附近平坦的高斯光束辐射光斑，90%以上的能量集中在光强平顶分布部分；
所述的能量调节器4优选机械旋转式、电光式或磁光式能量调节器，其中的光学元件表面镀制对激光器2发射激光波长的增透膜，位于激光光路中，并在光束整形器3的右侧，根据能量调节控制器14的控制信号来调节作用在样品表面的激光脉冲能量；
所述的聚焦透镜5为平凸透镜，其焦距优选200mm，表面镀制对激光器2发射激光波长的增透膜，与激光束同光轴，用于对从能量调节器4出射的激光束进行汇聚；
所述的分光镜6为平面镜，表面镀制对45度入射激光波长的分光膜，反射光和透射光强度比例为24:1，对45度入射可见光的增透膜，与入射激光光路呈45度角放置，用于实现辐射样品光路、能量探测光路和样品表面成像光路的分离；
所述的成像光学系统7为相机镜头，放大倍率范围优选1~10，其中光学元件表面镀制可见光的增透膜，对激光器2发射波长的高反射膜，位于图像传感器8与分光镜6之间，用于将被测样品表面成像到图像传感器8的探测面上，同时阻挡激光波长进入图像传感器8；
所述的图像传感器8优选CCD相机或CMOS相机，用于将薄膜的光学图像转换为电子图像信号，图像采集卡11根据上位机17的控制指令采集和处理图像传感器8获得的电子图像信号，并将该信号传输给上位机17进行处理；
所述的光电探测器9优选硅光电二极管或硅光电三极管，其探测面朝向能量探测器10的探测面，用于探测能量探测器10探测面散射的激光脉冲信号，光电处理电路12根据上位机17的控制指令采集和测量光电探测器9获得的脉冲信号，并将脉冲宽度测量结果传送给上位机17；
所述的能量探测器10为热释电探测器件，与聚焦透镜5关于分光镜6对称放置，用于接收入射到其探测表面的激光能量，能量采集处理电路13根据上位机17的控制指令来采集能量探测器10获得的激光脉冲能量信息，依据分光镜6对激光波长的分光比例，对激光脉冲能量进行标定、记录和运算，并将该信号传输给上位机17进行处理；
所述的样品台15为XY二维运动台，其在运动控制卡16的控制下带动被测样品作二维运动，以满足不同脉冲能量辐照被测样品不同位置的记录要求；
所述的上位机17为工控计算机，用于向激光电源1、图像采集卡11、光电处理电路12、能量采集处理电路13、能量调节控制器14和运动控制卡16发送控制指令，同时将获得的激光脉冲能量与损伤薄膜的面积相除来获得辐照在被测样品表面的激光脉冲能量密度，根据样品表面损伤概率拟合出样品表面激光损伤阈值，数字输出激光脉冲宽度、辐照到样品表面的激光脉冲能量、样品表面损伤面积及激光损伤阈值。
有益效果：本发明采用平顶高斯光束诱导光学薄膜和光电器件表面损伤，表面损伤面积等于辐射激光光斑面积，准确的反映了光学薄膜和光电器件表面的损伤阈值，而且该测量装置自动化程度高，使用快捷、方便。
附图说明
图1是一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置示意图。
图2是平顶高斯光束归一化光强分布示意图。
图中：1-激光电源，2-激光器，3-光束整形器，4-能量调节器，5-聚焦透镜，6-分光镜，7-成像光学系统，8-图像传感器，9-光电探测器，10-能量探测器，11-图像采集卡，12-光电处理电路，13-能量采集处理电路，14-能量调节控制器，15-样品台，16-运动控制卡，17-上位机。
具体实施方式
实施例1 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置。
如附图1所示，本发明提供了一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置包括激光电源1、激光器2、光束整形器3、能量调节器4、聚焦透镜5、分光镜6、成像光学系统7、图像传感器8、光电探测器9、能量探测器10、图像采集卡11、光电处理电路12、能量采集处理电路13、能量调节控制器14、样品台15、运动控制卡16和上位机17；其中激光电源1为脉冲触发式高压电源，分别与上位机17和激光器2相连接，在上位机17的控制下向激光器2供电，激光器2发出的激光束依次经过光束整形器3、能量调节器4和聚焦透镜5后入射到分光镜6表面，部分激光束被分光镜6反射后辐照到被测样品表面，另一部分激光束穿过分光镜6被能量探测器10接收，能量采集处理电路13对能量探测器10探测的激光脉冲能量信息处理并传送给上位机17；被测样品表面透过分光镜6被成像光学系统7成像在图像传感器8的探测面上，图像采集卡11对图像传感器8获得的图像信息处理并传送给上位机17进行损伤薄膜面积的测量；能量探测器10表面对入射激光的散射光被光电探测器9接收，光电处理电路12将光电探测器9获得的电信号处理后传送给上位机17进行显示；
所述的激光器2为脉冲运转激光器，发射波长为1064nm，532nm或355nm，其发射脉冲激光的最大重复频率为10Hz，最大激光脉冲能量为500mJ，激光脉冲宽度为10ns，其发射的激光脉冲用于辐照被测样品；
所述的光束整形器3为折射式非球面伽利略望远型结构，通光孔径为15mm，其中的光学元件表面镀制对激光器2发射激光波长的增透膜，透射率大于99%，其位于激光器2输出激光束的光路中，并与激光束同光轴，用于对激光器2输出的光束进行整形，从而获得平顶高斯光束分布辐射光斑；
如附图2所示，所述的平顶高斯光束为光强分布曲线中心部位附近平坦的高斯光束辐射光斑，90%以上的能量集中在光强平顶分布部分；
所述的能量调节器4为机械旋转式，由两个偏振片所构成的起偏器和检偏器组合，其中的光学元件表面镀制对激光器2发射激光波长的增透膜，透射率大于99.5%，位于光束整形器3右侧，能量调节控制器14控制检偏器绕光轴旋转来调节作用在样品表面的激光脉冲能量；
所述的聚焦透镜5为平凸透镜，直径为20mm，焦距为200mm，表面镀制对激光器2发射激光波长的增透膜，透射率大于99.5%，与激光束同光轴，用于对从能量调节器4出射的激光束进行汇聚；
所述的分光镜6为平面镜，表面镀制对45度入射激光波长的分光膜，反射光和透射光强度比例为24:1，对45度入射可见光的增透膜，与入射激光光路呈45度角放置，用于实现辐射样品光路、能量探测光路和样品表面成像光路的分离；
所述的成像光学系统7为相机镜头，放大倍率为2，其中的光学元件表面镀制可见光的增透膜，透射率大于99%，对激光器2发射波长的高反射膜，反射率大于99%，位于图像传感器8与分光镜6之间，用于将被测样品表面成像到图像传感器8的探测面上，同时阻挡激光波长进入到图像传感器8；
所述的图像传感器8为CCD相机或CMOS相机，探测面尺寸为1/3英寸，用于将薄膜的光学图像转换为电子图像信号，图像采集卡11根据上位机17的控制指令采集和处理图像传感器8获得的电子图像信号，并将该信号传输给上位机17进行处理；
所述的光电探测器9为硅光电二极管或硅光电三极管，脉冲上升时间为47ps，光谱响应范围为400-1100nm，其探测面朝向能量探测器10的探测面，用于探测能量探测器10探测面散射的激光脉冲信号，光电处理电路12根据上位机17控制指令采集和测量光电探测器9获得的脉冲宽度信息，并将脉冲宽度测量结果传送给上位机17；
所述的能量探测器10为热释电探测器件，有效探测口径为25mm，最低能量为50uJ，最高能量100mJ，与聚焦透镜5关于分光镜6对称放置，用于接收入射到其探测表面的激光能量，能量采集处理电路13根据上位机17的控制指令来采集能量探测器10获得的激光脉冲能量信息，依据分光镜6对激光波长的分光比例，对激光脉冲能量进行标定、记录和运算，并将该信号传送给上位机17进行处理；
所述的样品台15为XY二维运动台，其在运动控制卡16的控制下带动被测样品作二维运动，以满足辐照被测样品不同位置的记录要求；
所述的上位机17为工控计算机，用于向激光电源1、图像采集卡11、光电处理电路12、能量采集处理电路13、能量调节控制器14和运动控制卡16发送控制指令，同时将获得的激光脉冲能量与损伤薄膜的面积相除来获得辐照在被测样品表面的激光脉冲能量密度，根据样品表面损伤概率拟合出样品表面激光损伤阈值，数字输出激光脉冲宽度、辐照到样品表面的激光脉冲能量、样品表面损伤面积及激光损伤阈值。
被测样品表面激光损伤阈值测量过程和步骤如下：
1）将被测样品装夹在样品台15上；
2）开启本测量装置的电源，系统自检，自检完成后进入测量界面；
3）软件界面设置激光器2的发射波长、被测样品尺寸、样品台最大位移量及移动步长，系统自动计算每行测试点数量及行数，点击开始测量；
4）上位机17发指令给激光电源1要求其按照设置的参数工作，同步触发图像采集卡11、光电处理电路12和能量采集处理电路13进行数据采集处理；
5）在最大激光脉冲能量状态，辐照十个不同点，每辐照一个点上位机17发一次指令给运动控制卡16控制样品台15沿X或Y向移动一个步长，软件判断被测样品是否发生损伤，若样品表面无损伤，则超过测量范围，系统提示更换较小焦距的聚焦透镜，若样品表面损伤，记录并显示激光脉冲能量，测量并显示损伤部位面积，计算并显示辐照激光能量密度、损伤概率和脉冲宽度；
6）上位机17发指令给能量调节控制器14控制能量调节器4使输出激光能量约为上次辐照脉冲能量的95%，重复步骤4）至5），直到辐照样品表面不同位置十次未发现样品表面损伤；
7）上位机17软件记录并显示不同激光脉冲能量辐照激光能量密度、损伤概率和脉冲宽度，以激光能量为横轴，损伤几率为纵轴，生成损伤几率与激光能量点的分布图，通过用直线拟合出零损伤几率，计算并显示被测样品的激光损伤阈值。
实施例2 能量调节器4为电光式能量调节器，其由两个偏振片和电光调制器组成，两个偏振片的通光方向一致，电光调制器置于两个偏振片之间，通过能量调节控制器14控制加载到电光调制器上的电压来实现激光脉冲能量的调节，其它同实施例1。
实施例3 能量调节器4为磁光式能量调节器，其由两个偏振片和法拉第旋光器组成，两个偏振片的通光方向一致，法拉第旋光器置于两个偏振片之间，通过能量调节控制器14控制法拉第旋光器上的磁场强度来实现激光脉冲能量的调节，其它同实施例1。
Claims (1)
1.一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置，其特征在于包括激光电源(1)、激光器(2)、光束整形器(3)、能量调节器(4)、聚焦透镜(5)、分光镜(6)、成像光学系统(7)、图像传感器(8)、光电探测器(9)、能量探测器(10)、图像采集卡(11)、光电处理电路(12)、能量采集处理电路(13)、能量调节控制器(14)、样品台(15)、运动控制卡(16)和上位机(17)；其中激光电源(1)为脉冲触发式高压电源，分别与上位机(17)和激光器(2)相连接，在上位机(17)的控制下向激光器(2)供电，激光器(2)发出高斯分布的激光束经过光束整形器(3)后变换为平顶高斯分布的激光束，然后依次经过能量调节器(4)和聚焦透镜(5)后入射到分光镜(6)表面，部分激光束被分光镜(6)反射后辐照到被测样品表面，另一部分激光束穿过分光镜(6)被能量探测器(10)接收，能量采集处理电路(13)对能量探测器(10)探测的激光脉冲能量信息处理并传送给上位机(17)；被测样品表面透过分光镜(6)被成像光学系统(7)成像在图像传感器(8)的探测面上，图像采集卡(11)对图像传感器(8)获得的图像信息处理并传送给上位机(17)进行损伤薄膜面积的测量；能量探测器(10)表面对入射激光的散射光被光电探测器(9)接收，光电处理电路(12)将光电探测器(9)获得的电信号处理后传输给上位机(17)进行显示；
所述的激光器(2)为脉冲激光器，发射波长为1064nm、532nm或355nm；
所述的光束整形器(3)为折射式非球面伽利略望远型结构；
所述的能量调节器(4)为机械旋转式偏振能量调节器、电光式偏振能量调节器或磁光式偏振能量调节器；
所述的聚焦透镜(5)为石英材质的平凸透镜；
所述的分光镜(6)为平面镜，表面镀制对45度入射激光波长的部分透射膜，透射率为2%，对45度入射可见光的增透膜，与入射激光光路呈45度角放置；
所述的成像光学系统(7)为相机镜头，其中的光学元件表面镀制可见光的增透膜，对激光器(2)发射波长的高反射膜，将被测样品表面成像到图像传感器(8)的探测面上，同时阻挡激光波长进入到图像传感器(8)；
所述的图像传感器(8)为CCD相机或CMOS相机；
所述的光电探测器(9)为硅光电二极管或硅光电三极管，脉冲上升时间为47ps，光谱响应范围为400-1100nm；
所述的能量探测器(10)为热释电探测器件；
所述的样品台(15)为XY二维运动台，其在运动控制卡(16)的控制下带动被测样品作二维运动；
所述的上位机(17)为工控计算机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310065809.8A CN103162941B (zh) | 2013-03-01 | 2013-03-01 | 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310065809.8A CN103162941B (zh) | 2013-03-01 | 2013-03-01 | 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103162941A CN103162941A (zh) | 2013-06-19 |
| CN103162941B true CN103162941B (zh) | 2016-11-16 |
Family
ID=48586211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310065809.8A Active CN103162941B (zh) | 2013-03-01 | 2013-03-01 | 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103162941B (zh) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104296969B (zh) * | 2014-10-13 | 2017-02-22 | 同济大学 | 一种激光损伤阈值标定方法 |
| CN105842248B (zh) * | 2016-03-23 | 2024-02-20 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法 |
| CN107271403A (zh) * | 2016-04-07 | 2017-10-20 | 南京理工大学 | 一种基于光散射的光学薄膜lidt测试装置与测试方法 |
| CN106442538A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-02-22 | 中国电子科技集团公司第四十研究所 | 一种基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法 |
| CN106370629A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-02-01 | 中国科学院新疆理化技术研究所 | 一种用于光电材料光致发光谱辐射损伤的测试方法 |
| CN106872068B (zh) * | 2016-12-19 | 2019-06-07 | 中北大学 | 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置 |
| CN106872069B (zh) * | 2016-12-19 | 2019-06-04 | 中北大学 | 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法 |
| CN106770176A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-05-31 | 同方威视技术股份有限公司 | 拉曼光谱检测设备和拉曼光谱检测设备的安全监控方法 |
| CN106959206B (zh) * | 2017-03-21 | 2019-12-13 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于光热弱吸收的熔石英元件零概率损伤阈值预测方法 |
| CN108955582A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-12-07 | 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学 | 激光聚焦光斑面积测量装置 |
| CN109186958B (zh) * | 2018-09-19 | 2023-07-21 | 西安工业大学 | 一种多光共轴激光损伤阈值测试装置及实现方法 |
| CN109540839B (zh) * | 2018-12-06 | 2022-04-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Ito透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法 |
| CN111474174B (zh) * | 2020-04-29 | 2022-10-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大口径光学元件损伤密度测试装置和方法 |
| CN111829757B (zh) * | 2020-07-15 | 2022-01-28 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及检测方法 |
| CN112033644B (zh) * | 2020-07-24 | 2022-11-08 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种高反射样品激光损伤阈值测试装置 |
| CN112326197B (zh) * | 2020-10-23 | 2022-03-08 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光光学元器件长寿命预测方法 |
| CN112730333A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-30 | 歌尔光学科技有限公司 | 镀膜光学镜片检测方法及检测设备 |
| CN112630983A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-04-09 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种激光系统、激光诱导损伤测试系统及方法 |
| CN113411567B (zh) * | 2021-06-02 | 2022-09-23 | 西北核技术研究所 | 一种阵列式图像传感器激光损伤阈值估算方法 |
| CN113484246A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-10-08 | 南开大学 | 一种可测量损伤阈值的高能激光损伤真空实验系统 |
| CN114689564B (zh) * | 2022-03-29 | 2023-05-16 | 上海建冶科技股份有限公司 | 一种激光除锈状态探测方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005114720A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-28 | Japan Science & Technology Agency | 光学材料のレーザー損傷閾値評価方法 |
| US20100118295A1 (en) * | 2008-11-10 | 2010-05-13 | Efimov Oleg M | System and Method for Measuring a Laser-Induced Damage Threshold in an Optical Fiber |
| CN101806657A (zh) * | 2010-03-17 | 2010-08-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法 |
| CN102175594A (zh) * | 2011-02-25 | 2011-09-07 | 同济大学 | 三波长脉冲激光共同作用下损伤阈值测量装置和装调方法 |
-
2013
- 2013-03-01 CN CN201310065809.8A patent/CN103162941B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005114720A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-28 | Japan Science & Technology Agency | 光学材料のレーザー損傷閾値評価方法 |
| US20100118295A1 (en) * | 2008-11-10 | 2010-05-13 | Efimov Oleg M | System and Method for Measuring a Laser-Induced Damage Threshold in an Optical Fiber |
| CN101806657A (zh) * | 2010-03-17 | 2010-08-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法 |
| CN102175594A (zh) * | 2011-02-25 | 2011-09-07 | 同济大学 | 三波长脉冲激光共同作用下损伤阈值测量装置和装调方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 355nm紫外激光损伤阈值自动测量装置及实验;胡建平 等;《光学与光电技术》;20050630;第3卷(第3期);第22-25页 * |
| 激光》.2010,第21卷(第10期),第1519-1523页. * |
| 蒋勇 等.熔石英亚表面微缺陷原位表征及损伤阈值研究.《光电子• * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103162941A (zh) | 2013-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103162941B (zh) | 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置 | |
| CN105021627B (zh) | 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法 | |
| EP0503874A2 (en) | Optical measurement device with enhanced sensitivity | |
| CN111504612B (zh) | 一种多光源激光损伤阈值的测试装置 | |
| CN106918309B (zh) | 电光晶体通光面法线与z轴偏离角的测量装置及其测量方法 | |
| CN204831220U (zh) | 氟化钙平晶两面平行度高精度测试装置 | |
| CN104502409A (zh) | 基于阵列激光源的结构表面裂纹红外无损检测及成像方法 | |
| CN202916206U (zh) | 一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置 | |
| CN106918310A (zh) | 非接触式电光晶体通光面法线与z轴偏离角测量装置及其测量方法 | |
| CN103792070B (zh) | 半导体激光阵列光学特性检测装置 | |
| CN112595493B (zh) | 一种激光损伤阈值和非线性吸收的共靶面测量装置和方法 | |
| CN106596079A (zh) | 一种四象限探测光电系统的测试装置与装调及测试方法 | |
| CN109269417A (zh) | 一种基于反射镜的非接触式振动位移传感器 | |
| CN210664764U (zh) | 高精度激光功率取样测量装置 | |
| RU2512659C2 (ru) | Способ измерения длины распространения инфракрасных поверхностных плазмонов по реальной поверхности | |
| WO2018201566A1 (zh) | 一种激光测量装置及其应用方法 | |
| CN102156135A (zh) | 激光毁伤硅基探测器的测量方法和装置 | |
| CN102879184A (zh) | 可旋入式光束准直检测单元及光束准直度检测方法 | |
| CN106872068B (zh) | 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置 | |
| CN103336013A (zh) | 密封环境中光敏芯片粘接强度的光声检测装置 | |
| CN106872069B (zh) | 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法 | |
| CN110986836A (zh) | 基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置 | |
| CN109668906A (zh) | 一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置 | |
| KR102231509B1 (ko) | 해석 장치 및 해석 방법 | |
| CN108204890B (zh) | 照明系统光场均匀性的测试方法及其检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Wang Fei Inventor after: Wang Xiaohua Inventor after: Wei Zhipeng Inventor after: Li Yuyao Inventor after: Pei Xianzi Inventor after: Li Chuzhong Inventor after: Fang Xuan Inventor after: Fu Xiuhua Inventor after: Che Ying Inventor after: Tian Ming Inventor after: Zhang Guoyu Inventor before: Wang Fei Inventor before: Li Yuyao Inventor before: Wang Xiaohua Inventor before: Wei Zhipeng Inventor before: Fang Xuan Inventor before: Zhang Guoyu Inventor before: Fu Xiuhua Inventor before: Che Ying |
|
| COR | Change of bibliographic data | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20201229 Address after: 223800 room 206, comprehensive building, majike Industrial Automation Co., Ltd., Kangcheng Road, Yunhe port, Sucheng District, Suqian City, Jiangsu Province Patentee after: JIANGSU HUINENG LASER INTELLIGENT TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 130022 No. 7089 Satellite Road, Changchun, Jilin, Chaoyang District Patentee before: CHANGCHUN University OF SCIENCE AND TECHNOLOGY |
|
| TR01 | Transfer of patent right |