CN112730333A - 镀膜光学镜片检测方法及检测设备 - Google Patents

镀膜光学镜片检测方法及检测设备 Download PDF

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CN112730333A
CN112730333A CN202011522764.9A CN202011522764A CN112730333A CN 112730333 A CN112730333 A CN 112730333A CN 202011522764 A CN202011522764 A CN 202011522764A CN 112730333 A CN112730333 A CN 112730333A
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林敬刚
王建顺
赵越
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Goertek Optical Technology Co Ltd
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Goertek Optical Technology Co Ltd
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties

Abstract

本发明公开了一种镀膜光学镜片检测方法及检测设备，该镀膜光学镜片检测方法包括：处理单元在待测镜片上划分多个待测区域；激光器向每个待测区域发射激光；透过每个待测区域的激光经漫反射板形成漫反射；光电探测器接收经漫反射板漫反射后的激光；处理单元获取光电探测器接收的每束激光的检测脉冲数据，并与激光透过的待测区域的预设脉冲数据对比；当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域为合格。根据本公开的一个实施例，该检测方法能够对不同待测区域进行检测，检测的范围大，适用于不同面积的镜片，通过对透过镜片的激光的数据进行分析，不受镜片形状的影响，不需要重复调试光源。

Description

镀膜光学镜片检测方法及检测设备
技术领域
本发明涉及镀膜光学镜片技术领域，更具体地，涉及一种镀膜光学镜片检测方法及检测设备。
背景技术
目前，为了达到光学镜片的特殊光学要求，通常在光学镜片的表面镀上金属或薄膜形成镀膜光学镜片，从而使光学镜片具有减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等特殊的光学要求。
镀膜光学镜片在光学仪器中属于关键性元件，镀膜光学镜片的表面质量指标(麻点,划痕,毛刺,脏污等瑕疵)检测在行业中仍属于重点与难点。由于检测样品数量大,检测精度要求高,使用人工检测法不仅耗时长,效率低,成本高,而且依靠人眼观察检测具有误检率高,对人眼伤害严重等缺点。
现有的非人工检测方法是利用机器视觉技术(CCD)检测镀膜光学镜片的表面是否合格。但利用机器视觉技术(CCD)检测镀膜光学镜片的适用性低，无法适应大面积以及曲面的光学镜片。由于CCD的景深有限，无法有效监测曲面镜片，由于CCD的视野问题，检测大面积的光学镜片时需要将多次拍照的数据组合，效率低下，耗时长，无法适应大批量生产。光学镜片的透光率高，对CCD中的打光强度要求极高，调试光源的难度高。
因此，需要一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种镀膜光学镜片检测方法的新技术方案。
根据本发明的第一方面，提供了一种镀膜光学镜片检测方法，该镀膜光学镜片检测方法包括：
处理单元在待测镜片上划分多个待测区域；
激光器向每个所述待测区域发射激光；
透过每个所述待测区域的激光经漫反射板形成漫反射；
光电探测器接收经所述漫反射板漫反射后的激光；
处理单元获取所述光电探测器接收的每束激光的检测脉冲数据，并与所述激光透过的待测区域的预设脉冲数据对比；
当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域为合格。
可选地，所述激光器向每个所述待测区域发射激光包括：
所述激光器发射多束激光，所述多束激光对应所述多个待测区域；
每束激光依次通过扫描振镜系统、平顶光整形器和聚焦系统处理，以使每束激光射向对应的一个所述待测区域。
可选地，所述激光器发射多束激光包括：激光器依次发射多束激光；
其中，前后发射的两束激光之间间隔的时间为预设时间段；
所述扫描振镜系统具有多个状态，所述多个状态对应所述多束激光；
在每个所述预设时间段内，所述扫描振镜系统调整为对应的一个状态；
每束所述激光通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理；
通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理的激光再通过平顶光整形器和聚焦系统处理，以射向对应的一个所述待测区域。
可选地，所述检测脉冲数据包括检测脉宽数据和检测波峰数据，所述预设脉冲数据包括预设脉宽数据和预设波峰数据；
所述阈值包括第一阈值和第二阈值；
当所述检测脉宽数据与所述预设脉宽数据的差值小于或等于所述第一阈值，且所述检测波峰数据与所述预设波峰数据的差值小于或等于所述第二阈值时，则对应的所述待测区域为合格。
可选地，所述激光器发射的激光为高斯光束。
可选地，所述处理单元获取所述光电探测器接收的激光的检测脉冲数据包括：
所述处理单元通过示波器将所述光电探测器接收的激光处理，以形成检测脉冲数据；
所述处理单元获取所述检测脉冲数据。
根据本发明的第二方面，提供了一种镀膜光学镜片检测设备，该镀膜光学镜片检测设备包括：处理单元、激光器、漫反射板和光电探测器，所述处理单元与所述激光器以及所述光电探测器电连接；
所述处理单元用于在待测镜片上划分多个待测区域，并用于控制所述激光器向每个所述待测区域发射激光；
所述漫反射板用于对透过每个所述待测区域的激光形成漫反射；
所述光电探测器用于接收经所述漫反射板漫反射后的激光；
所述处理单元用于获取所述光电探测器接收的每束激光的检测脉冲数据，并与所述激光透过的待测区域的预设脉冲数据对比；
当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域为合格。
可选地，还包括扫描振镜系统、平顶光整形器和聚焦系统；
所述激光器向每个所述待测区域发射的激光依次经过所述扫描振镜系统、所述平顶光整形器和所述聚焦系统处理后射向对应的一个待测区域。
可选地，所述激光器依次发射多束激光；
其中，前后发射的两束激光之间间隔的时间为预设时间段；
所述扫描振镜系统具有多个状态，所述多个状态对应所述多束激光；
在每个所述预设时间段内，所述扫描振镜系统调整为对应的一个状态；
每束所述激光通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理；
通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理的激光再通过平顶光整形器和聚焦系统处理，以射向对应的一个所述待测区域。
可选地，所述处理单元获取的所述检测脉冲数据包括检测脉宽数据和检测波峰数据，所述预设脉冲数据包括预设脉宽数据和预设波峰数据；
所述阈值包括第一阈值和第二阈值；
当所述检测脉宽数据与所述预设脉宽数据的差值小于或等于所述第一阈值，且所述检测波峰数据与所述预设波峰数据的差值小于或等于所述第二阈值时，则对应的所述待测区域为合格。
可选地，还包括示波器，所述示波器与所述光电探测器和所述处理单元电连接；
所述示波器用于将所述光电探测器接收的激光处理为检测脉冲数据；
所述处理单元通过所述示波器获取检测脉冲数据。
根据本公开的一个实施例，该检测方法能够对不同待测区域进行检测，检测的范围大，适用于不同面积的镜片，通过对透过镜片的激光的数据进行分析，不受镜片形状的影响，不需要重复调试光源。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1是本公开一个实施例中检测设备的示意图。
图2是本公开一个实施例中待测镜片的示意图。
附图标记：
1-处理单元，2-激光器，3-扫描振镜系统，31-第一振镜，32-第二振镜，33-第一扫描镜，34-第二扫描镜，4-平顶光整形器，5-聚焦系统，6-待测镜片，61-待测区域，7-漫反射板，8-光电探测器，9-示波器。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
根据本公开的一个实施例，提供了一种镀膜光学镜片检测方法，该镀膜光学镜片检测方法包括：
(1)处理单元1在待测镜片6上划分多个待测区域61。
多个待测区域61分布在待测镜片6的需要检测的部位，例如，待测镜片6上的镀膜区域被划分为多个待测区域61，对多个待测区域61进行检测以完成对待测镜片6的检测。
(2)激光器2向每个所述待测区域61发射激光。
激光器2发射的激光能够透过待测区域61，以通过透过待测区域61的激光信息对待测区域61进行判断。例如，处理单元1控制激光器2发射激光，可以是单个激光器2依次向多个待测区域61发射激光，也可以是多个激光器2分别向多个待测区域61发射激光。
(3)透过每个所述待测区域61的激光经漫反射板7形成漫反射。
漫反射板7设置在待测镜片6的光路上，以对透过待测区域61的激光形成漫反射。形成漫反射的激光不会对接收激光的光电探测器8造成损伤。
(4)光电探测器8接收经所述漫反射板7漫反射后的激光。
光电探测器8接收激光后得到激光的脉冲信号，脉冲信号包含着镜片的对应待测区域61内的数据。
(5)处理单元1获取所述光电探测器8接收的每束激光的检测脉冲数据，并与所述激光透过的待测区域61的预设脉冲数据对比。
处理单元1根据光电探测器8接收到的脉冲信号得到检测脉冲数据。
可选地，所述处理单元1获取所述光电探测器8接收的激光的检测脉冲数据包括：
所述处理单元1通过示波器9将所述光电探测器8接收的激光处理，以形成检测脉冲数据。
所述处理单元1获取所述检测脉冲数据。
示波器9能够有效地将光电探测器8接收到的脉冲信号转换为脉冲数据，透过待测区域61内的激光所包含的脉冲数据为检测脉冲数据。
预设脉冲数据为合格的镀膜光学镜片在与待测镜片6对应的区域内透过激光的脉冲数据。例如，将合格的镀膜光学镜片划分为多个合格区域，多个合格区域对应待测镜片6的多个待测区域。分别采集多个合格区域透过的激光的脉冲数据，并作为预设脉冲数据存储，以供处理单元1进行对比。
当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域61为合格。
阈值为在合格范围内允许的误差，将该阈值存储。
通过对比待测区域61的检测脉冲数据与预设脉冲数据，得到误差并判断误差值是否小于或等于阈值，以判断对应待测区域61是否合格。例如，检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值若小于或等于阈值，则对应的待测区域61满足合格的条件。当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值若大于阈值，则对应的待测区域6不合格。
在该实施例中，每个待测区域61均通过上述方法检测，当待测镜片6的所有待测区域61为合格时，则待测镜片6为良品，若出现待测区域61不合格，则待测镜片6为不良品。
该检测方法通过透过待测镜片6的激光对待测镜片6的不同待测区域61进行检测，不受到待测镜片6面积的限制，可以检测更大面积的待测镜片。激光需要透过待测镜片6，捕捉透过的激光不受待测镜片6的形状和结构的影响。并且，相比于现有的捕捉反射光，该检测方法提供的激光光源稳定，针对不同的待测镜片6不需要重复调试。该检测方法的适用性更高。
在一个实施例中，所述激光器2向每个所述待测区域61发射激光包括：
所述激光器2发射多束激光，所述多束激光对应所述多个待测区域61。
每束激光依次通过扫描振镜系统3、平顶光整形器4和聚焦系统5处理，以使每束激光射向对应的一个所述待测区域61。
在该实施例中，激光器2对应待测区域61发射多数激光，每束激光对应一个待测区域61。
激光器2发出激光后经描振镜系统3处理能够调整激光光束的坐标，以能够发射至对应的待测区域61内。
扫描振镜系统3处理后的激光经平顶光整形器4处理能够调整激光的光束为与待测区域61的形状对应的光束形状。例如，划分的待测区域61为方形、圆形、矩形等形状，经平顶光整形器4处理后的光束调整为对应的形状，以使光束能够完全覆盖待测区域61后穿过，从而使激光光束的脉冲数据具有待测区域61内的所有数据，从而完整有效地检测到待测区域61。
平顶光整形器4处理后的激光经聚焦系统5处理，以使激光能够聚焦至对应待测区域61上，从而获取精确的数据。
在该实施例中，依次经扫描振镜系统3、平顶光整形器4和聚焦系统5处理的激光束携带了对应待测区域61内的完整数据，使获取的检测脉冲数据能够精准体现待测区域61内的镜片品质。
在一个实施例中，所述激光器2发射多束激光包括：激光器2依次发射多束激光；
其中，前后发射的两束激光之间间隔的时间为预设时间段；
所述扫描振镜系统3具有多个状态，所述多个状态对应所述多束激光；
在每个所述预设时间段内，所述扫描振镜系统3调整为对应的一个状态；
每束所述激光通过对应的一个状态下的扫描振镜系统3处理；
通过对应的一个状态下的扫描振镜系统3处理的激光再通过平顶光整形器4和聚焦系统5处理，以射向对应的一个所述待测区域61。
在该实施例中，激光器2间隔发射多束激光，间隔的时间为预设时间段。每束激光对应一个待测区域61，发射的多束激光依次射向多个待测区域61。
例如，在激光器2发射第一束激光前的预设时间段内，扫描振镜系统调整到对应第一个待测区域61的状态，以使激光能够射向该对应的第一个待测区域61。
发射完第一束激光后进入下一个预设时间段，在该预设时间段内，扫描振镜系统3调整到对应第二个待测区域61的状态，以使激光能够射向该对应的第二个待测区域61。
按照该方法依次发射多束激光，以分别射向多个待测区域61。
平顶光整形器4和聚焦系统5设置在经扫描振镜系统3处理后的激光的光路上，例如，平顶光整形器4和聚焦系统5对应扫描振镜系统3的状态设置多个状态，以使每个待测区域61对应的激光束能够准确地进入待测区域61。
可选地，每个待测区域61对应设置一组扫描振镜系统3、平面光整形器4和聚焦系统5。多个待测区域61可以同时进行检测，对应设置多个光电探测器8，以获取多个待测区域61的检测脉冲数据。这样可以提升检测效率。
在一个实施例中，所述检测脉冲数据包括检测脉宽数据和检测波峰数据，所述预设脉冲数据包括预设脉宽数据和预设波峰数据，所述阈值包括第一阈值和第二阈值。
当所述检测脉宽数据与所述预设脉宽数据的差值小于或等于所述第一阈值，且所述检测波峰数据与所述预设波峰数据的差值小于或等于所述第二阈值时，则对应的所述待测区域为合格。
激光脉冲具有对应脉宽和波峰，通过脉宽和波峰两个数据进行检测能够更准确地检测出待测区域61是否合格，以更准确地得到待测镜片6是否为良品。
预设的数据中包括了对应待测区域61的合格数据，例如第一阈值为合格产品的预存的脉宽数据的误差。第二阈值为合格产品的预存波峰数据的误差。
当待测区域61的检测脉宽数据满足第一阈值的误差范围，即检测脉宽数据与预设脉宽数据的差值小于或等于第一阈值。并且检测波峰数据满足第二阈值的误差范围，即检测波峰数据与预设波峰数据的差值小于或等于第二阈值。则该待测区域61符合合格的要求，该待测区域61合格。
当检测脉宽数据或检测波峰数据中存在不满足误差范围的情况时，该待测区域61为不合格，进一步地该待测镜片6为不良品。
在一个实施例中，所述激光器2发射的激光为高斯光束。
高斯光束的激光具有横截面的振幅分布遵守高斯函数的特征，这样能够利用高斯函数确定激光脉冲的脉宽和波峰，从而能够对检测脉冲数据和预设脉冲数据进行准确有效地对比。
根据本公开的另一个实施例，如图1，图2所示，提供了一种镀膜光学镜片检测设备，该镀膜光学镜片检测设备包括：处理单元1、激光器2、漫反射板7和光电探测器8，所述处理单元1与所述激光器2以及所述光电探测器8电连接。
所述处理单元1用于在待测镜片6上划分多个待测区域61，并用于控制所述激光器2向每个所述待测区域61发射激光。
所述漫反射板7用于对透过每个所述待测区域61的激光形成漫反射。
所述光电探测器8用于接收经所述漫反射板7漫反射后的激光。
所述处理单元1用于获取所述光电探测器8接收的每束激光的检测脉冲数据，并与所述激光透过的待测区域61的预设脉冲数据对比。
当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域为合格。
在该实施例中，处理单元1控制检测过程的进行，例如，处理单元1为工控机。处理单元1获取待测镜片6的数据或人工输入待测镜片6的数据，处理单元1根据待测镜片6的数据在待测镜片6上划分出多个待测区域61。例如，在待测镜片6的镀膜区域内划分出多个待测区域61，如图2所示，镀膜区域被划分为多个阵列分布的待测区域61。其中，多个待测区域61标记为D1,D2,D3,D4……Dn。
处理单元1控制激光器2向多个待测区域61发射激光，透过多个待测区域61的激光经漫反射板7形成漫反射，漫反射后的激光被光电探测器8接收到。
处理单元1通过光电探测器8接收的激光获取透过每个待测区域61的激光对应的检测脉冲数据。
可选地，镀膜光学镜片设备还包括示波器9，所述示波器9与所述光电探测器8和所述处理单元1电连接；
所述示波器9用于将所述光电探测器8接收的激光处理为检测脉冲数据；
所述处理单元1通过所述示波器9获取检测脉冲数据。
示波器9能够将激光的脉冲转换为图形数据，处理单元1从示波器9中更容易获得每个待测区域61对应的激光的检测脉冲数据。
处理单元1将获取的每个待测区域61对应的检测脉冲数据与该待测区域61对应预存的预设脉冲数据对比，根据检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值判断对应的待测区域61是否合格。
例如，检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值，则对应的待测区域61合格。检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值大于阈值，则对应的待测区域61不合格。阈值可根据对镀膜光学镜片的行业标准确定。
可选地，所述处理单元1获取的所述检测脉冲数据包括检测脉宽数据和检测波峰数据，所述预设脉冲数据包括预设脉宽数据和预设波峰数据，所述阈值包括第一阈值和第二阈值。
当所述检测脉宽数据与所述预设脉宽数据的差值小于或等于所述第一阈值，且所述检测波峰数据与所述预设波峰数据的差值小于或等于所述第二阈值时，则对应的所述待测区域为合格。
激光器2发射的激光例如是高斯光束，高斯光束的横截面的振幅分布遵守高斯函数。高斯光束的脉冲数据包含了波峰数据和脉宽数据，在待测区域61的作用下对光束的波峰数据和脉宽数据产生影响，存在瑕疵的不合格产品会很大程度影响脉冲数据。第一阈值为脉宽数据允许的数据误差范围，第二阈值为波峰数据允许的数据误差范围。
根据每个待测区域61对应的检测脉宽数据和检测波峰数据能够进一步准确地判断对应待测区域61是否合格。例如，当检测脉宽数据与预设脉宽数据的差值小于或等于第一阈值，且检测波峰数据与预设波峰数据的差值小于或等于第二阈值时，则对应的待测区域为合格。
当检测脉宽数据与预设脉宽数据的差值大于第一阈值和/或检测波峰数据与预设波峰数据的差值大于第二阈值时，对应待测区域为不合格。
通过脉宽数据和波峰数据两个数据进行判断能够更准确地检测待测区域61是否合格。
在一个实施例中，该镀膜光学镜片检测设备还包括扫描振镜系统3、平顶光整形器4和聚焦系统5.
所述激光器2向每个所述待测区域61发射的激光依次经过所述扫描振镜系统3、所述平顶光整形器4和所述聚焦系统5处理后射向对应的一个待测区域61。
在该实施例中，通过扫描振镜系统3能够调整激光的路径，以使每束激光能够射向对应的待测区域61内。平顶光整形器4能够调整光束的形状，即光束形成的光斑形状，以使射向待测区域61内的光束与待测区域61的形状匹配。例如，射向待测区域61的光束在形成的光斑与待测区域61的形状相同，以覆盖待测区域61。
聚焦系统5能够调整光斑，以使光斑能够准确地聚集在对应的待测区域61内。透过对应待测区域61的光束能够有效地作用于该待测区域61。
可选地，所述激光器2依次发射多束激光。激光器2发射的每束激光最终射向其中一个待测区域61。依次发射的多个束激光依次射向多个待测区域61。
其中，前后发射的两束激光之间间隔的时间为预设时间段。
发射每束激光前具有预设时间段的时间间隔，以使扫描振镜系统3能够调整至对应的状态，以使激光射向对应的待测区域61。
所述扫描振镜系统3具有多个状态，所述多个状态对应所述多束激光。在每个所述预设时间段内，所述扫描振镜系统3调整为对应的一个状态。例如，在激光器2发射第一束激光前具有预设时间段的时间用于扫描振镜系统3调整到对应的状态，以使第一束激光可以射向对应的待测区域61。
在第n个预设时间段内，扫描振镜系统3通过该预设时间段的时间间隔调整至能够使激光光束射向该光束对应的待测区域61。
可选地，每束激光对应扫描振镜系统3的一个状态，并在该状态下射向对应的待测区域61。例如，第一束激光对应扫描振镜系统3的第一个状态，并在该状态下射向第一个待测区域61。第二束激光对应扫描振镜系统3的第二个状态，并在该状态下射向第二个待测区域61。第n束激光对应扫描振镜系统3的第n个状态，并在该状态下射向第n个待测区域61。
每束所述激光通过对应的一个状态下的扫描振镜系统3处理。
通过对应的一个状态下的扫描振镜系统3处理的激光再通过平顶光整形器4和聚焦系统5处理，以射向对应的一个所述待测区域61。
扫描振镜系统3处理了激光的方向后，通过平顶光整形器4处理光束的形状，以及通过聚焦系统5聚焦以使光斑能够聚集在待测区域61。
在该实施例中，扫描振镜系统3、平顶光整形器4和聚焦系统5能够使激光更加精确地作用到每个待测区域61，从而得到准确的数据，以使对镀膜光学镜片的检测更加精确。
可选地，扫描振镜系统3包括第一振镜31、第二振镜32、第一扫描镜33和第二扫描镜34。使处理单元1划分的多个待测区域61对应不同的坐标。每个待测区域61对应不同的X轴坐标和Y轴坐标。
第一振镜31和第一扫描镜33对激光光束的X轴坐标进行调整，以使激光光束的X轴坐标与对应待测区域61的X轴坐标匹配。第二振镜32和第二扫描镜33对激光光束的Y轴坐标进行调整，以使激光光束的Y轴坐标与对应待测区域61的Y轴坐标匹配。
激光器2发射的激光经扫描振镜系统3调整后能够准确地射向对应的待测区域61。
可选地，扫描振镜系统3的每个状态下，第一振镜31、第二振镜32、第一扫描镜33和第二扫描镜34调整至对应的角度，以满足坐标要求。每个状态的调整均在对应激光光束从激光器2发射出的前一个预设时间段内进行。预设时间段的具体时间可根据镀膜光学镜片检测设备的实际情况和生产要求进行设置。
可选地，处理单元1为工控机，通过软件系统对待测镜片6进行待测区域61的划分，并以待测区域61的数据控制激光器2发射激光，以射向对应的待测区域61进行检测。
本公开中，通过激光透过待测镜片6进行检测，激光器2的光源针对不同的待测镜片6不需要重复调试。激光透过待测镜片6的透过率随着待测镜片6的品质变化，有瑕疵的待测镜片6与无瑕疵的待测镜片6的透过率不相同，从而能够影响激光的脉冲数据。这样的检测方式不受待测镜片6结构的影响，无论待测镜片6是否为曲面均可以准确地检测。并且通过对不同待测区域61进行检测，可以检测更大面积的镜片。本公开设备的各部分响应速度更快，检测效率高。
上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。
虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (11)

1.一种镀膜光学镜片检测方法，其中，包括：
处理单元在待测镜片上划分多个待测区域；
激光器向每个所述待测区域发射激光；
透过每个所述待测区域的激光经漫反射板形成漫反射；
光电探测器接收经所述漫反射板漫反射后的激光；
处理单元获取所述光电探测器接收的每束激光的检测脉冲数据，并与所述激光透过的待测区域的预设脉冲数据对比；
当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域为合格。
2.根据权利要求1所述的镀膜光学镜片检测方法，其中，所述激光器向每个所述待测区域发射激光包括：
所述激光器发射多束激光，所述多束激光对应所述多个待测区域；
每束激光依次通过扫描振镜系统、平顶光整形器和聚焦系统处理，以使每束激光射向对应的一个所述待测区域。
3.根据权利要求2所述的镀膜光学镜片检测方法，其中，所述激光器发射多束激光包括：激光器依次发射多束激光；
其中，前后发射的两束激光之间间隔的时间为预设时间段；
所述扫描振镜系统具有多个状态，所述多个状态对应所述多束激光；
在每个所述预设时间段内，所述扫描振镜系统调整为对应的一个状态；
每束所述激光通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理；
通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理的激光再通过平顶光整形器和聚焦系统处理，以射向对应的一个所述待测区域。
4.根据权利要求1所述的镀膜光学镜片检测方法，其中，所述检测脉冲数据包括检测脉宽数据和检测波峰数据，所述预设脉冲数据包括预设脉宽数据和预设波峰数据；
所述阈值包括第一阈值和第二阈值；
当所述检测脉宽数据与所述预设脉宽数据的差值小于或等于所述第一阈值，且所述检测波峰数据与所述预设波峰数据的差值小于或等于所述第二阈值时，则对应的所述待测区域为合格。
5.根据权利要求4所述的镀膜光学镜片检测方法，其中，所述激光器发射的激光为高斯光束。
6.根据权利要求1所述的镀膜光学镜片检测方法，其中，所述处理单元获取所述光电探测器接收的激光的检测脉冲数据包括：
所述处理单元通过示波器将所述光电探测器接收的激光处理，以形成检测脉冲数据；
所述处理单元获取所述检测脉冲数据。
7.一种镀膜光学镜片检测设备，其中，包括：处理单元、激光器、漫反射板和光电探测器，所述处理单元与所述激光器以及所述光电探测器电连接；
所述处理单元用于在待测镜片上划分多个待测区域，并用于控制所述激光器向每个所述待测区域发射激光；
所述漫反射板用于对透过每个所述待测区域的激光形成漫反射；
所述光电探测器用于接收经所述漫反射板漫反射后的激光；
所述处理单元用于获取所述光电探测器接收的每束激光的检测脉冲数据，并与所述激光透过的待测区域的预设脉冲数据对比；
当检测脉冲数据与预设脉冲数据的差值小于或等于阈值时，则对应的待测区域为合格。
8.根据权利要求7所述的镀膜光学镜片检测设备，其中，还包括扫描振镜系统、平顶光整形器和聚焦系统；
所述激光器向每个所述待测区域发射的激光依次经过所述扫描振镜系统、所述平顶光整形器和所述聚焦系统处理后射向对应的一个待测区域。
9.根据权利要求8所述的镀膜光学镜片检测设备，其中，所述激光器依次发射多束激光；
其中，前后发射的两束激光之间间隔的时间为预设时间段；
所述扫描振镜系统具有多个状态，所述多个状态对应所述多束激光；
在每个所述预设时间段内，所述扫描振镜系统调整为对应的一个状态；
每束所述激光通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理；
通过对应的一个状态下的扫描振镜系统处理的激光再通过平顶光整形器和聚焦系统处理，以射向对应的一个所述待测区域。
10.根据权利要求7所述的镀膜光学镜片检测设备，其中，所述处理单元获取的所述检测脉冲数据包括检测脉宽数据和检测波峰数据，所述预设脉冲数据包括预设脉宽数据和预设波峰数据；
所述阈值包括第一阈值和第二阈值；
当所述检测脉宽数据与所述预设脉宽数据的差值小于或等于所述第一阈值，且所述检测波峰数据与所述预设波峰数据的差值小于或等于所述第二阈值时，则对应的所述待测区域为合格。
11.根据权利要求7所述的镀膜光学镜片检测设备，其中，还包括示波器，所述示波器与所述光电探测器和所述处理单元电连接；
所述示波器用于将所述光电探测器接收的激光处理为检测脉冲数据；
所述处理单元通过所述示波器获取检测脉冲数据。
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