CN108955582A - 激光聚焦光斑面积测量装置 - Google Patents

激光聚焦光斑面积测量装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108955582A
CN108955582A CN201810644917.3A CN201810644917A CN108955582A CN 108955582 A CN108955582 A CN 108955582A CN 201810644917 A CN201810644917 A CN 201810644917A CN 108955582 A CN108955582 A CN 108955582A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
target material
measuring device
focal beam
beam spot
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810644917.3A
Other languages
English (en)
Inventor
李南雷
叶继飞
金星
常浩
周伟静
邢宝玉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Peoples Liberation Army Strategic Support Force Aerospace Engineering University
Original Assignee
Peoples Liberation Army Strategic Support Force Aerospace Engineering University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Peoples Liberation Army Strategic Support Force Aerospace Engineering University filed Critical Peoples Liberation Army Strategic Support Force Aerospace Engineering University
Priority to CN201810644917.3A priority Critical patent/CN108955582A/zh
Publication of CN108955582A publication Critical patent/CN108955582A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/28—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring areas

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本发明公开了一种激光聚焦光斑面积测量装置，包括：激光器、聚焦器件、光敏靶材料和图像采集处理模块，激光器与聚焦器件光路连接；聚焦器件与光敏靶材料光路连接，激光聚焦在光敏靶材料上形成光斑轮廓；图像采集处理模块采集光斑轮廓的图像，并测量光斑轮廓图像后得到光斑尺寸。该装置可直接测量激光聚焦光斑尺寸，测量面积分辨率为0.01μm2。

Description

激光聚焦光斑面积测量装置
技术领域
本发明涉及一种激光聚焦光斑面积测量装置，属于激光微推进领域。
背景技术
激光微推进技术是目前激光推进领域最有前景的发展方向。激光微推进技术的工作原理是将激光聚焦于工质表面，通过激光与物质的相互作用，形成微小的物质喷射流，实现宏观的冲量效应，进而推进装置运动。激光聚焦光斑面积的大小是影响激光微推进性能的重要指标，为了产生等离子体膨胀作用通常要求聚焦光斑直径小于100微米，这就需要对聚焦光斑面积进行精确的测量。
通常，对于激光光斑面积的测量方法采用CCD法，但是激光微推进聚焦光斑的直径在十微米至百微米量级，当前CCD法测量精度不满足十微米尺寸的测量要求；而且光斑的功率密度高于106W/cm2，会造成CCD器件的饱和失效。
发明内容
根据本申请的一个方面，提供了一种便捷、有效、高精度的激光聚焦光斑面积测量装置，该装置可用于测量十微米至百微米量级激光聚焦光斑面积。
所述激光聚焦光斑面积测量装置，包括：激光器、聚焦器件、光敏靶材料和图像采集处理模块，所述激光器与所述聚焦器件光路连接；所述聚焦器件与所述光敏靶材料光路连接，所述激光聚焦在所述光敏靶材料上形成光斑轮廓；所述图像采集处理模块采集所述光斑轮廓的图像，并测量所述光斑轮廓图像后得到光斑尺寸。
优选地，所述光斑轮廓通过烧蚀所述光敏靶材料形成。
优选地，所述激光聚焦后功率密度低于所述光敏靶材料的烧蚀阈值。
优选地，所述激光聚焦光斑面积测量装置还包括衰减透镜组，所述衰减透镜组设置于所述聚焦器件与所述光敏靶材料相连接的光路上，并分别与所述聚焦器件与所述光敏靶材料光路连接。
优选地，所述衰减透镜组的透过率α满足下式：
ψ≤α·I≤1.5ψ
其中，I为所述激光能量，ψ为所述光敏靶材料的烧蚀阈值。
优选地，所述激光聚焦光斑面积测量装置还包括固定靶支架，所述固定靶支架夹紧所述光敏靶材料至少两相对端，所述光敏靶材料平铺于所述固定靶支架上。
优选地，所述激光聚焦光斑面积测量装置还包括机械调节部件，所述激光器和所述聚集部件固定于所述机械调节部上，并随所述机械调节部沿所述机械调节部的轴线运动和/或随所述机械调节部沿所述机械调节部的横向运动。
优选地，机械调节部件为垂直调节机构和/或水平调节机构；所述光敏靶材料为调光相纸。
优选地，所述图像采集处理模块包括图像采集装置和图像处理装置，所述图像采集装置面向所述光敏靶材料获取所述图像，所述图像采集装置与所述图像处理装置数据连接。
优选地，所述图像采集装置为光学显微镜，所述光学显微镜的倍率为50～1000倍。
本发明的有益效果包括但不限于：
(1)本发明所提供的激光聚焦光斑面积测量装置，具有较好的通用性，可适用于任何波长、脉冲或连续工作模式，光斑功率密度大于调光相纸烧蚀能量阈值的激光；
(2)本发明所提供的激光聚焦光斑面积测量装置，具有高效的优点。利用机械调节部分可高效的实现相同条件下，不同光斑面积的重复测量，保证测量的可重复性；图像采集处理部分也可实现多组光斑图像的同时采集和数据处理，提高了测量效率；
(3)本发明所提供的激光聚焦光斑面积测量装置，具有0.01平方微米的面积测量精度，该装置测量结果的面积测量分辨率可达0.01μm2；直径测量范围为10μm≤光斑直径d≤1mm，面积测量范围为78.5μm2≤光斑面积S≤7.85×105μm2；光斑面积测量下限Smin＝78.5μm2，测量的相对误差0.127％；光斑面积上限Smax＝7.85×105μm2，测量的相对误差为0.127×10-7。
附图说明
图1是本发明优选实施例中激光聚焦光斑面积测量装置的结构示意图。
部件和附图标记列表：
部件名称 附图标记
激光器 100
聚焦器件 201
衰减透镜组 202
调光相纸 301
固定靶架 302
光斑轮廓 303
垂直调节机构 401
水平调节机构 402
图像采集装置 501
图像处理装置 502
具体实施方式
下面结合实施例详述本发明，但本发明并不局限于这些实施例。
参见图1，本发明提供的激光聚焦光斑面积测量装置，包括：激光器100、聚焦器件201、光敏靶材料和图像采集处理模块，激光器100与聚焦器件201光路连接，聚焦器件201的出射端与光敏靶材料光路连接，激光聚焦在光敏靶材料上形成光斑轮廓303；图像采集处理模块采集光斑轮廓303的图像，并测量光斑轮廓303图像后得到光斑尺寸。
激光器100出射激光经聚焦器件201后聚焦于光敏靶上烧蚀光敏靶后形成光斑轮廓303；图像采集处理模块采集含光斑轮廓303的图像后，测量得到光斑尺寸。该装置尤其适用于对微推力器的输出激光光斑进行测量。
通过将激光聚焦于光敏靶材料表面，激光对光敏靶材料进行适度地烧蚀，仅在光敏靶材料表面形成能准确反映激光光斑尺寸的光斑轮廓303，通过对形成光斑轮廓303的尺寸进行测量，从而测量得到所需激光聚焦光斑尺寸。
本文中光斑尺寸包括光斑的直径、面积等参数。
本文中光斑轮廓303是指聚光聚焦后所形成的光斑的外周形状。通过对激光光斑尺寸的转换，能有效提高测量准确性，同时避免过于复杂的操作测算步骤，即可得到较准确的光斑测量结果。光敏靶材料可以为各类能与激光发生烧蚀作用形成所需光斑轮廓303的材料。聚焦器件201包括所需的各类聚焦光学器件。图像采集处理模块包括各类现有的图像采集装置501和图像处理装置502，例如光学显微镜等部件，图像处理装置502可以为电脑等能运行所需软件的装置。
优选的，光斑轮廓303通过烧蚀光敏靶材料形成。
优选的，光敏靶材料为调光相纸301。
优选的，聚焦光斑的功率密度低于光敏靶材料的烧蚀阈值。采用各类现有方法调节均可。将聚焦光斑的功率密度调节至光敏靶材料的烧蚀阈值后，能提高检测准确性。
优选的，还包括衰减透镜组202，衰减透镜组202设置于聚焦器件201与光敏靶材料相连接的光路上，并分别与聚焦器件201与光敏靶材料光路连接。聚焦激光仅在光敏靶材料上进行最低限度的烧蚀，避免了过度烧蚀导致的测量误差。以激光微推进器所输出单束激光的能量为例，所形成聚焦光斑的功率密度在105W/cm2至109W/cm2量级，所形成聚焦光束经过衰减透镜组202后功率密度可下降到调光相纸301的烧蚀阈值，保证了光斑面积测试结果的准确性。
在一具体实施例中，衰减透镜组202为一组滤光片。
本发明中，衰减透镜组202透过率α的选择主要由所测激光波长λ、激光能量I和光敏靶材料的烧蚀阈值ψ决定。衰减透镜组202透过率α满足下式：
ψ≤α·I≤1.5ψ
已知激光能量I和烧蚀阈值ψ时，即可确定衰减透镜组202的透过率α。按上式选择衰减透镜组202，测量准确度较高。
激光束经过聚焦器件201成为十微米至百微米直径的聚焦光斑，经过衰减镜组后能量下降到调光相纸301的烧蚀阈值。
优选的，还包括固定靶支架，固定靶支架夹紧光敏靶材料至少两相对端，光敏靶材料平铺于固定靶支架上。通过该支架能使光敏靶材料平铺，便于聚焦光斑在其上形成清洗的光斑轮廓303图像，提高测量结果准确性。光敏靶部分包括调光相纸301和固定靶架302，调光相纸301固定在靶架上，经过激光烧蚀后在表面产生光斑轮廓303。
优选的，还包括机械调节部件，激光器100和聚集部件固定于机械调节部上，并随机械调节部沿机械调节部的轴线、横向或纵向中至少一个方向运动。通过设置机械调节部，激光器100和聚集部件能在轴向上上、下运动，即可实现一次安装多次测量的效果，提高重复试验的效率，保证重复试验的结果复现准确性。机械调节部件可实现相同条件下聚焦光斑面积的多次重复测量，也可实现在不同焦距条件时的光斑面积的测量。固定靶架302与聚焦器件201的距离可通过机械调节部分控制
优选的，还包括机械调节部件，激光器100和聚集部件固定于机械调节部上，并随机械调节部沿机械调节部的横向运动。通过设置机械调节部可增加聚焦光斑在光敏靶材料上的成像自由度。
机械调节部分包括水平调节机构402和垂直调节机构401，可实现相同条件下聚焦光斑面积的多次测量，也可实现不同焦距条件下的光斑面积测量。
优选的，机械调节部件为垂直调节机构401和/或水平调节机构402。
参见图1，在一具体实施例中，机械调节部件包括垂直调节机构401和水平调节机构402。垂直调节机构401设置于水平调节机构402的一侧。垂直调节机构401和水平调节机构402的驱动轴均与置物平台相连接。激光器100和聚集部件固定连接于置物平台上。
优选的，图像采集处理模块包括图像采集装置501和图像处理装置502，图像采集装置501面向光敏靶材料获取图像，图像采集装置501与图像处理装置502数据连接。图像处理装置502可以为具有数据处理能力的电脑。图像采集处理部分包括高倍光学显微镜和电脑，高倍光学显微镜将光斑图像采集到电脑中，通过软件测量得到光斑面积数据。
优选的，图像采集装置501为光学显微镜，光学显微镜的倍率为50～1000倍。
在一具体实施例中，高倍光学显微镜将光斑图像放大、采集并输出到电脑中，通过电脑预装的显微镜配套软件，可从光斑图像中测量得到光斑的面积数据。高倍光学显微镜可实现最大1000倍的光学放大倍数，测量软件的长度测量精度为0.1微米，面积测量精度为0.01平方微米，保证了光斑面积测量结果的高精度。
在一具体实施例中，参见图1，本发明提供的激光聚焦光斑面积测量装置包括激光器100、聚焦器件201、衰减透镜组202、调光相纸301、固定靶架302、光斑轮廓303、垂直调节机构401、水平调节机构402、图像采集装置501和图像处理装置502。激光器100、聚焦器件201以及衰减透镜组202固定于置物平台上。激光器100、聚焦器件201以及衰减透镜组202依序光路连接。激光器100的出射端与聚焦器件201的入射端光路连接。聚焦器件201的出射端与衰减透镜组202的入射端光路连接。衰减透镜组202出射的激光为聚焦后的激光，激光功率密度得到控制后，照射于调光相纸301上。调光相纸301的两端被固定靶架302夹住并拉平后，调光相纸301正对衰减透镜组202出光端设置。聚焦激光在调光相纸301上形成仅为聚焦光斑轮廓303的烧蚀轮廓。烧蚀轮廓形成后，图像采集装置501获取光斑轮廓303图像，并对所得图像进行处理测量所形成的光斑轮廓303的尺寸。
高倍光学显微镜采用上光仪器有限公司的型号11XB-PC金相显微镜，可实现最大1000倍的光学放大倍数，对采集到的图像在电脑中使用配套的金相测试分析软件，可实现面积测量0.01平方微米的测量精度，满足对十微米至百微米量级直径的激光微推进聚焦光斑面积测量要求。
使用是，打开激光器100，并在调光相纸301上形成烧蚀的光斑轮廓303，图像采集装置501获取光斑轮廓303的图像后，传输至图像处理装置502，处理结果显示在显示屏上。
在该实施例中，聚焦光斑面积测量装置性能指标：
1)面积测量分辨率为0.01μm2；
2)直径测量范围为10μm≤光斑直径d≤1mm，面积测量范围为78.5μm2≤光斑面积S≤7.85×105μm2；
3)测量精度：
对于光斑面积测量下限Smin＝78.5μm2，测量的相对误差0.127％；
对于光斑面积上限Smax＝7.85×105μm2，测量的相对误差为0.127×10-7。
由上可知，本发明提供的激光聚焦光斑面积测量装置，对光斑面积测量装置的测量精度优于99％。该装置结构简单，测量过程简便，无需对光斑进行直接测量和分析，且准确度较高。
以上所述，仅是本发明的几个实施例，并非对本发明做任何形式的限制，虽然本发明以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限制本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案的范围内，利用上述揭示的技术内容做出些许的变动或修饰均等同于等效实施案例，均属于技术方案范围内。

Claims (10)

1.一种激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，包括：激光器、聚焦器件、光敏靶材料和图像采集处理模块，所述激光器与所述聚焦器件光路连接；所述聚焦器件与所述光敏靶材料光路连接，所述激光聚焦在所述光敏靶材料上形成光斑轮廓；所述图像采集处理模块采集所述光斑轮廓的图像，并测量所述光斑轮廓图像后得到光斑尺寸。
2.根据权利要求1所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述光斑轮廓通过烧蚀所述光敏靶材料形成。
3.根据权利要求1所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述激光聚焦后功率密度低于所述光敏靶材料的烧蚀阈值。
4.根据权利要求1所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述激光聚焦光斑面积测量装置还包括衰减透镜组，所述衰减透镜组设置于所述聚焦器件与所述光敏靶材料相连接的光路上，并分别与所述聚焦器件与所述光敏靶材料光路连接。
5.根据权利要求4所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述衰减透镜组的透过率α满足下式：
ψ≤α·I≤1.5ψ
其中，I为所述激光能量，ψ为所述光敏靶材料的烧蚀阈值。
6.根据权利要求/1所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述激光聚焦光斑面积测量装置还包括固定靶支架，所述固定靶支架夹紧所述光敏靶材料至少两相对端，所述光敏靶材料平铺于所述固定靶支架上。
7.根据权利要求1所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述激光聚焦光斑面积测量装置还包括机械调节部件，所述激光器和所述聚集部件固定于所述机械调节部上，并随所述机械调节部沿所述机械调节部的轴线、横向或纵向中至少一个方向运动。
8.根据权利要求7所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，机械调节部件为垂直调节机构和/或水平调节机构；所述光敏靶材料为调光相纸。
9.根据权利要求1所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述图像采集处理模块包括图像采集装置和图像处理装置，所述图像采集装置面向所述光敏靶材料获取所述图像，所述图像采集装置与所述图像处理装置数据连接。
10.根据权利要求9所述的激光聚焦光斑面积测量装置，其特征在于，所述图像采集装置为光学显微镜，所述光学显微镜的倍率为50～1000倍。
CN201810644917.3A 2018-06-21 2018-06-21 激光聚焦光斑面积测量装置 Pending CN108955582A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810644917.3A CN108955582A (zh) 2018-06-21 2018-06-21 激光聚焦光斑面积测量装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810644917.3A CN108955582A (zh) 2018-06-21 2018-06-21 激光聚焦光斑面积测量装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108955582A true CN108955582A (zh) 2018-12-07

Family

ID=64491702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810644917.3A Pending CN108955582A (zh) 2018-06-21 2018-06-21 激光聚焦光斑面积测量装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108955582A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112435271A (zh) * 2020-12-02 2021-03-02 电子科技大学中山学院 一种应用于激光光斑质量测量的灼烧轮廓分割方法
CN114563162A (zh) * 2022-02-17 2022-05-31 武汉思创精密激光科技有限公司 一种光纤激光器输出光斑直径测试装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1737675A (zh) * 2005-07-27 2006-02-22 大连理工大学 一种利用激光退火提高掺稀土氧化铝薄膜光学特性的方法
CN101666916A (zh) * 2008-09-05 2010-03-10 复旦大学 可实现聚焦和跟踪伺服以获得可控亚微米直径激光光斑输出的方法及系统
CN102192706A (zh) * 2010-03-12 2011-09-21 国家纳米科学中心 一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法
CN102261952A (zh) * 2011-06-21 2011-11-30 中国人民解放军济南军区72465部队 一种极窄脉宽单脉冲激光光斑探测方法及装置
CN102564734A (zh) * 2011-03-15 2012-07-11 北京国科世纪激光技术有限公司 激光损伤阈值自动测试装置及测试方法
CN103162941A (zh) * 2013-03-01 2013-06-19 长春理工大学 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置
CN104807742A (zh) * 2015-04-16 2015-07-29 西北核技术研究所 一种激光聚焦辐照效应实验装置及方法
CN104874913A (zh) * 2015-06-11 2015-09-02 温州大学 调节激光光斑大小与靶材定位的装置及其方法
CN106762499A (zh) * 2016-11-24 2017-05-31 中国人民解放军装备学院 碟片工质盘透射式激光烧蚀微推力器
CN107860334A (zh) * 2017-11-01 2018-03-30 西北核技术研究所 高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置及方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1737675A (zh) * 2005-07-27 2006-02-22 大连理工大学 一种利用激光退火提高掺稀土氧化铝薄膜光学特性的方法
CN101666916A (zh) * 2008-09-05 2010-03-10 复旦大学 可实现聚焦和跟踪伺服以获得可控亚微米直径激光光斑输出的方法及系统
CN102192706A (zh) * 2010-03-12 2011-09-21 国家纳米科学中心 一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法
CN102564734A (zh) * 2011-03-15 2012-07-11 北京国科世纪激光技术有限公司 激光损伤阈值自动测试装置及测试方法
CN102261952A (zh) * 2011-06-21 2011-11-30 中国人民解放军济南军区72465部队 一种极窄脉宽单脉冲激光光斑探测方法及装置
CN103162941A (zh) * 2013-03-01 2013-06-19 长春理工大学 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置
CN104807742A (zh) * 2015-04-16 2015-07-29 西北核技术研究所 一种激光聚焦辐照效应实验装置及方法
CN104874913A (zh) * 2015-06-11 2015-09-02 温州大学 调节激光光斑大小与靶材定位的装置及其方法
CN106762499A (zh) * 2016-11-24 2017-05-31 中国人民解放军装备学院 碟片工质盘透射式激光烧蚀微推力器
CN107860334A (zh) * 2017-11-01 2018-03-30 西北核技术研究所 高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置及方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112435271A (zh) * 2020-12-02 2021-03-02 电子科技大学中山学院 一种应用于激光光斑质量测量的灼烧轮廓分割方法
CN112435271B (zh) * 2020-12-02 2023-06-20 电子科技大学中山学院 一种应用于激光光斑质量测量的灼烧轮廓分割方法
CN114563162A (zh) * 2022-02-17 2022-05-31 武汉思创精密激光科技有限公司 一种光纤激光器输出光斑直径测试装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106383105B (zh) 可自动调整测样距离的拉曼光谱测量装置与方法
CN105784334B (zh) 基于光电探测器和ccd相机的光纤激光光束质量测量方法
CN103675053B (zh) 一种基于表面等离子体谐振的局部电化学成像测试系统
CN101140196A (zh) 透镜焦距的测量装置及其测量方法和光学质量评估方法
US5382789A (en) Near field scanning optical microscope
CN102998290B (zh) 一种荧光寿命显微成像系统
CN104634766B (zh) 一种基于泵浦‑探针技术的超分辨装置和方法
CN108226120B (zh) 一种测量片状激光光束尺寸和能量分布的装置及方法
CN102566048A (zh) 一种基于象散的样品轴向漂移补偿方法和装置
CN113008849B (zh) 紫外-近红外宽波段微区光致发光光谱测试装置
CN112485235B (zh) 具备超快时间分辨光谱能力的透射电子显微镜样品杆系统和应用
CN106403843A (zh) 基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法
CN109807471A (zh) 一种激光打标装置及方法
CN203164118U (zh) 一种荧光寿命显微成像系统
JPS6222084B2 (zh)
CN103954598A (zh) 一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法及装置
CN108955582A (zh) 激光聚焦光斑面积测量装置
CN105510809B (zh) 脉冲激光模拟单粒子试验系统及方法
CN101435767B (zh) 薄膜吸收多通道测量装置及测量方法
CN106841236B (zh) 透射光学元件疵病测试装置及方法
CN112595493B (zh) 一种激光损伤阈值和非线性吸收的共靶面测量装置和方法
CN104748674A (zh) 焦点监测装置和方法
CN206095586U (zh) 一种新型光纤折射率分布测量装置
CN107490566A (zh) 基于二元光学元件的艾里光束光片照明显微成像装置
CN104807742A (zh) 一种激光聚焦辐照效应实验装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20181207

RJ01 Rejection of invention patent application after publication