TWI611190B - 可更換子板之探針卡及其使用方法 - Google Patents

Description

可更換子板之探針卡及其使用方法

本發明係與探針卡有關，特別是關於一種可更換子板之探針卡及其使用方法。

請參閱我國專利編號577988，該專利所提供之探針卡主要包含有一母板、一設於該母板底面且設有探針之探針頭，以及一設於該母板頂面之子板，該母板之頂面設有多數用以與測試機電性連接的測試接點，藉由母板及子板的內部電路以及設於母板及子板之電子元件所構成的處理電路，該等測試接點係分別與探針電性連接。此種探針卡主要係用以供處理電路之至少部分的電子元件設於該子板，以解決無子板之探針卡可供測試接點及處理電路設置之面積不足的問題。

隨著現今電子產品之電子元件運作條件越趨高頻，探針卡之性能需求亦越趨高頻化，探針卡必須能在受測之電子元件與測試機之間有效傳輸高頻測試訊號，如此方能準確地反應出測試結果。然而，習用之如前述具有子、母板的探針卡未有符合高頻測試需求之設計，因此仍有待改進。

有鑑於上述缺失，本發明之主要目的在於提供一種可更換子板之探針卡，可符合高頻測試之需求。

為達成上述目的，本發明所提供之可更換子板之探針卡包含有一母板、一子板、至少一中介體，以及一探針頭。該母板具有朝向相反方向之一上表面及一下表面、複數設於該上表面之電性接點、一子板對應區，以及一位於該子板對應區內的探針區，該等電性接點將該母板之上表面區分出一鄰接該母板一周緣的第一測試區、位於該子板對應區與該第一測試區之間的至少一第二測試區，以及位於該子板對應區內的至少一中介體連接區，該母板之電性接點包含有複數位於該第一測試區之第一測試接點、複數位於該第二測試區之第二測試接點，以及複數位於該中介體連接區之中介體連接點。該子板設有至少一電子元件，該子板具有朝向相反方向之一上表面及一下表面，該子板之下表面具有至少一中介體連接區，該子板之中介體連接區設有複數中介體連接點。該中介體係連接該母板之中介體連接點及該子板之中介體連接點，使得該子板係以其下表面朝向該母板之上表面且位置對應該子板對應區地設置於該母板上方，該等第一測試接點及第二測試接點其中一部分係與該母板之中介體連接點電性連接並透過該中介體而與該子板電性連接。該探針頭係設於該母板之下表面，該探針頭設有位置對應於該探針區之複數探針，各該探針係與該等第一測試接點及第二測試接點至少其中之一電性連接，部分之探針係透過該母板及該中介體而與該子板電性連接。

藉此，該等第一測試接點及第二測試接點其中一部分係能先將測試訊號傳送至該子板，以使測試訊號經由該子板上的電子元件處理後再傳送至探針；而該等第一測試接點及第二測試接點中的另一部分則可將測試訊號不經由該子板而直接傳送至探針，未經子板之訊號傳送路徑較短，可使測試訊號受到較少的電磁干擾，因此適用於傳送高頻訊號。此外，該等第二測試接點係較該等第一測試接點更靠近該子板及該等探針，因此經由第二測試接點之訊號傳 送路徑也會較短，尤其是未與子板電性連接之第二測試接點更可符合高頻測試需求。

較佳地，該母板之第二測試區及中介體連接區可共同圍繞該探針區。例如，該母板可具有複數該第二測試區及複數該中介體連接區，各該中介體連接區係位於二該第二測試區之間。藉此，該第二測試區與該探針區之間不受中介體連接區分隔開，使得第二測試接點更靠近子板及探針，因此更縮短訊號傳送路徑，探針甚至可直接銲接於該母板下表面位置對應於第二測試區的電性接點，不但不會受到該母板下表面位置對應於中介體連接區的電性接點影響，也不會增加佈針複雜度，更可縮短訊號傳送路徑。

更佳地，該母板可具有位於該探針區之二相對側的二該第二測試區，以及位於該探針區之另二相對側的二該中介體連接區，該母板能定義出一實質上通過各該第二測試區中心之第一假想直線以及一實質上垂直於該第一假想直線之第二假想直線，該第二假想直線係實質上通過該母板之各該中介體連接區中心；換言之，相鄰之第二測試區與中介體連接區的中心位置約相差90度，如此之設計使得該母板之電性接點分佈得更為簡潔，不但可提高空間利用性，且可降低佈針複雜度。此外，該母板可具有一將其第二測試區及中介體連接區與該第一測試區分隔開之中間區；如此之設計使得該母板之電性接點分佈得更為簡潔、降低佈針複雜度，並可供電子元件或其他電性接點設於該中間區。

較佳地，該子板可具有一位置對應該探針區之電子元件區，以及位於該電子元件區外圍之複數該中介體連接區，該至少一電子元件係設於該電子元件區，該母板具有位於該探針區外圍之複數該中介體連接區，該子板之中介體連接區藉由複數該中介體而分別連接於該母板之中介體連接區。藉此，該子板之中介體連接區係與電子元件區分開且位於電子元件區外圍，可使得該子板之中介體連接點與電子元件的分佈更為簡潔，且其之間需設置外部跳線時可 更為簡潔有系統。換言之，該子板之上表面可(但不限於)設有複數電性接點，該等電性接點位置對應該子板之中介體連接區且分別與該子板之中介體連接點電性連接，以藉由在該子板上表面的電性接點與電子元件之間設置外部跳線而使得該等中介體連接點與電子元件電性連接。

較佳地，與中介體連接點電性連接之第一測試接點的數量係大於與中介體連接點電性連接之第二測試接點的數量。如此之設計可讓經過子板之訊號傳送路徑有較多數是位於第一測試區，以使第一測試區主要傳送中、低頻訊號而第二測試區主要傳送高頻訊號。

較佳地，未與該子板電性連接之第二測試接點在全部第二測試接點中所佔之比例係高於未與該子板電性連接之第一測試接點在全部第一測試接點中所佔之比例。如此之設計可讓第二測試區之較短訊號傳送路徑的比例大於第一測試區之較短訊號傳送路徑的比例，以使該探針卡有相當數量之極短的訊號傳送路徑，以更為符合高頻測試需求。

較佳地，該母板可具有一位於該探針區之下透光孔，該子板具有一位置對應該下透光孔之上透光孔。藉此，該探針卡可適用於諸如CIS(CMOS image sensor)等影像感測元件或者其他光電元件的檢測作業。

較佳地，該中介體可為一具有彈性頂針之電路板、一穿設有複數彈性件之連接板以及一異方性導電膠三者其中之一。

藉由下述之使用方法，本發明所提供之可更換子板之探針卡可隨不同測試需求更換子板，以節省成本。

本發明所提供之可更換子板之探針卡的使用方法包含有下列步驟：a)使用該探針卡測試一第一待測物；b)備製適用於測試一第二待測物之另一子板； c)拆卸該探針卡之子板；d)將該另一子板安裝於該探針卡；以及e)使用設有該另一子板之探針卡測試該第二待測物。

此外，依照使用需求，更可(但不限於)在該步驟e)之前將該探針頭更換為適用測試該第二待測物之另一探針頭。

藉此，只要將該探針卡之子板更換為適用於待測物之子板，或者視使用需求而更將該探針卡之探針頭更換為適用於待測物之探針頭，其他部分不需更換，即可對不同之待測物進行檢測，如此可節省針對不同待測物購買不同之探針卡的成本。

較佳地，在該步驟a)及該步驟e)中，可依據一測試訊號之頻率以及該測試訊號為單端訊號(single-ended signal)或差動訊號(differential signal)而選擇性地將該測試訊號傳送至該第一測試區或該第二測試區。

較佳地，當該測試訊號為高頻訊號或差動訊號，則將該測試訊號傳送至該第二測試區。

有關本發明所提供之可更換子板之探針卡及其使用方法的詳細構造、特點、組裝或使用方式，將於後續的實施方式詳細說明中予以描述。然而，在本發明領域中具有通常知識者應能瞭解，該等詳細說明以及實施本發明所列舉的特定實施例，僅係用於說明本發明，並非用以限制本發明之專利申請範圍。

10‧‧‧探針卡

20‧‧‧母板

20a‧‧‧線路

21‧‧‧上表面

211‧‧‧第一測試區

212‧‧‧第二測試區

213‧‧‧中介體連接區

214‧‧‧中間區

22‧‧‧下表面

23‧‧‧電性接點(第一測試接點)

24‧‧‧電性接點(第二測試接點)

25‧‧‧電性接點(中介體連接點)

26‧‧‧子板對應區

27‧‧‧探針區

28‧‧‧周緣

29‧‧‧下透光孔

30‧‧‧子板

31‧‧‧上表面

312‧‧‧電性接點

32‧‧‧下表面

322‧‧‧中介體連接區

324‧‧‧中介體連接點

33‧‧‧電子元件區

34‧‧‧電子元件

35‧‧‧上透光孔

40‧‧‧中介體

41、42‧‧‧電性接點

41a、42a‧‧‧彈性頂針

44‧‧‧彈性件

46‧‧‧導電微粒

50‧‧‧探針頭

52‧‧‧探針座

54‧‧‧探針

61、62、63、64‧‧‧訊號傳送路徑

L1‧‧‧第一假想直線

L2‧‧‧第二假想直線

第1圖為本發明一第一較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡的頂視圖。

第2圖為第1圖沿剖線2-2的剖視圖。

第3圖為第1圖沿剖線3-3的剖視圖。

第4圖為本發明該第一較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡之一母板的頂視圖。

第5圖為本發明該第一較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡之一子板的底視圖。

第6-8圖為本發明該第一較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡之一中介體的剖視示意圖，係顯示三種不同態樣之中介體。

第9圖為本發明一第二較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡之一母板的頂視圖。

第10圖為本發明一第三較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡之一母板的頂視圖。

第11圖為本發明一第四較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡的頂視圖。

第12圖為第11圖沿剖線12-12的剖視圖。

申請人首先在此說明，在以下將要介紹之實施例以及圖式中，相同之參考號碼，表示相同或類似之元件或其結構特徵。

請參閱第1圖至第4圖，本發明一第一較佳實施例所提供之可更換子板之探針卡10包含有一母板20、一子板30、二中介體40，以及一探針頭50。

該母板20為一電路板，具有朝向相反方向之一上表面21及一下表面22，以及複數設於該上表面21之電性接點23、24、25。該母板20具有一與該子板30形狀對應之子板對應區26，以及一位於該子板對應區26內且概位於該母板20正中央之探針區27，依據該等電性接點23、24、25之位置分佈，該母板20之上表面21可區分出一鄰接該母板20之周緣28且呈環形的第一測試區211(佈設有電性 接點23)、位於該子板對應區26與該第一測試區211之間的二第二測試區212(佈設有電性接點24)、位於該子板對應區26內的二中介體連接區213(佈設有電性接點25)，以及一將該等第二測試區212及中介體連接區213與該第一測試區211分隔開之中間區214，該中間區214可為一環狀中間圈，該環狀中間區214的寬度大於兩個電性接點23或兩個電性接點24間的距離。換言之，該母板20之電性接點包含有用以與測試機電性連接之複數位於該第一測試區211之第一測試接點23、複數位於該等第二測試區212之第二測試接點24，以及用以與子板30電性連接之複數位於該等中介體連接區213之中介體連接點25。

該子板30為一電路板，具有朝向相反方向之一上表面31及一下表面32。請參閱第5圖，該子板30之下表面32具有二中介體連接區322，該二中介體連接區322之形狀及位置係對應於該母板20之中介體連接區213，且該子板30之中介體連接區322設有與該母板20之中介體連接點25數量及位置對應之複數中介體連接點324。

該二中介體40係分別設於該母板20之該二中介體連接區213與該子板30之該二中介體連接區322之間，且該二中介體40係連接該母板20之中介體連接點25及該子板30之中介體連接點324，使得該子板30係以其下表面32朝向該母板20之上表面21地設置於該母板20上方，且該子板30之位置對應於該子板對應區26。第2圖中僅顯示其中一該中介體40，亦即設於第4圖中靠左邊之中介體連接區213上的中介體40，另一該中介體40係設於第4圖中靠右邊之中介體連接區213上，惟未顯示於圖式中。

舉例而言，各該中介體40可為一上下表面設置有彈性頂針之電路板。如第6圖所示，該中介體40之電路板之上表面的電性接點41延伸有彈性頂針41a，下表面的電性接點42延伸有彈性頂針42a，並且，透過電路板內部佈線(圖中未示)，彈性頂針42a與彈性頂針41a係電性連接。該中介體40裝設時，該電路 板上表面之彈性頂針41a係電性頂接該子板30之中介體連接點324，該電路板下表面的之彈性頂針42a係電性頂接該母板之中介體連接點25，並且藉由多個螺絲(圖中未示)將子板30鎖固於該母板20上，如此一來，該母板20之中介體連接點25將透過中介體40而與該子板30電性連接。必須說明的是，將子板30機械固定於母板30的方式不限於使用諸如螺絲之類的鎖固元件，例如可使用扣具、壓合固接、黏著等方式達成。

其次，如第7圖所示，各該中介體40亦可為一穿設有複數彈性件44(例如彈性導電銷pogo pin)之連接板，以藉由該等彈性件44之上、下端分別頂抵該子板30之中介體連接點324及該母板20之中介體連接點25，使得該母板20之中介體連接點25與該子板30電性連接。

再者，如第8圖所示，各該中介體40亦可為一異方性導電膠(anisotropic conductive film；簡稱ACF)，並以其中之導電微粒46而使該母板20之中介體連接點25與該子板30電性連接。在此情況下，子板30可藉由該異方性導電膠而直接固定在母板20上，而不需使用諸如螺絲之類的鎖固元件或扣具。

如第2圖及第3圖所示，該等第一測試接點23及第二測試接點24其中一部分係藉由該母板20之內部線路而與該母板20之中介體連接點25(未顯示於第2、3圖中以簡化圖式)電性連接，並透過該中介體40而與該子板30電性連接。換言之，其餘之第一測試接點23及第二測試接點24未與該中介體40及該子板30電性連接。詳而言之，如第1圖及第3圖所示，某些第二測試接點24可透過母板20內部的線路20a(請參閱第1圖)而電性連接至母板20之中介體連接點25，並透過中介體40而與該子板30電性連接。

如第1圖所示，該子板30具有一位置對應該探針區27之電子元件區33，以及至少一設於該電子元件區33之電子元件34(例如電阻、電感、電容及繼電器等等)，該電子元件34係用以對傳送至該子板30之訊號進行調整及處理。 在本實施例中，該子板30設有六電子元件34，且該等電子元件34皆位於該上表面31，然而，該子板30之電子元件34數量不限且亦可設於該下表面32。事實上，該母板20亦可設有用以調整及處理訊號之電子元件(圖中未示)，例如可(但不限於)設於該中間區214。

如第2圖及第3圖所示，該探針頭50包含有一固定於該母板20之下表面22的探針座52，以及複數設於該探針座52之探針54，此部份係屬於習知技術，容申請人在此不詳加敘述。該等探針54之位置係對應於該探針區27，各該探針54係銲接於該母板20之下表面22的電性接點(圖中未示)，並藉由該母板20之內部線路或更藉由該中介體40及該子板30而與該等第一、二測試接點23、24至少其中之一電性連接。該等第一、二測試接點23、24係用以與一測試機(圖中未示)電性連接，用以將測試機送出之測試訊號傳送至探針54進而傳送至待測物(圖中未示)，並將反應測試結果之訊號回傳至測試機。以下內容將僅以由測試機傳送測試訊號至探針為例說明本發明之作用，而由待測物回傳至測試機的訊號為類似的情況，則不重複贅述。

換言之，該等探針54皆與第一測試接點23或第二測試接點24電性連接，藉以接收由第一測試接點23或第二測試接點24傳送之測試訊號。然而，僅有部分之探針54透過該母板20及該中介體40而與該子板30電性連接，以接收經由該子板30之電子元件34調整及處理過的測試訊號，其餘之探針54則未與中介體40及子板30電性連接，以接收不經由該子板30之電子元件34調整及處理的測試訊號。

舉例而言，該子板30之電子元件34可包含有一繼電器，該繼電器可將測試訊號選擇性地傳送至二個以上的探針54其中之一，並可使一探針54選擇性地接收二個以上的測試訊號其中之一。該子板30之電子元件34可包含有電阻、 電感及電容等等，藉以達到穩壓、濾波、交流耦合(AC couple)或其他電性功能、進行空間、路徑或訊號轉換等等。

如第2圖所示，有經過第一測試接點23的訊號傳送路徑(亦稱為第一測試區211之訊號傳送路徑)中，未經子板30之訊號傳送路徑61通常較有經子板30之訊號傳送路徑62更短。如第3圖所示，有經過第二測試接點24的訊號傳送路徑(亦稱為第二測試區212之訊號傳送路徑)中，未經子板30之訊號傳送路徑63通常較有經子板30之訊號傳送路徑64更短。此外，該等第二測試接點24係較該等第一測試接點23更靠近該子板30及該等探針54，因此第二測試區212之訊號傳送路徑會較短。訊號傳送路徑越短，測試訊號受到的電磁干擾越少，則越適用於傳送高頻訊號(例如1GHz至5GHz之訊號)。因此，本發明之探針卡10能以較長之訊號傳送路徑傳送中、低頻訊號，而以較短之訊號傳送路徑傳送高頻訊號，尤其是未經子板30的第二測試區212之訊號傳送路徑63，更可符合高頻測試需求。第2圖及第3圖中各該訊號傳送路徑61、62、63、64非依照實際情況繪製，而僅以簡單之線條示意，以便說明；其中，第3圖之訊號傳送路徑64實際上有經過中介體40，惟中介體40非位於第3圖所示之剖面上。

在本發明之探針卡10的母板20中，與中介體連接點25電性連接之第一測試接點23(如第2圖之訊號傳送路徑62經過者)的數量可大於與中介體連接點25電性連接之第二測試接點24(如第3圖之訊號傳送路徑64經過者)的數量。如此之設計可讓經過子板30之訊號傳送路徑有較多數是位於第一測試區211，以使第一測試區211主要(但不限於)傳送中、低頻訊號，而第二測試區212主要(但不限於)傳送高頻訊號。

在本發明之探針卡10的母板20中，未與該子板30電性連接之第二測試接點24(如第3圖之訊號傳送路徑63經過者)在全部第二測試接點24中所佔之比例，可高於未與該子板30電性連接之第一測試接點23(如第2圖之訊號傳送 路徑61經過者)在全部第一測試接點23中所佔之比例。如此之設計可讓第二測試區212之較短訊號傳送路徑的比例大於第一測試區211之較短訊號傳送路徑的比例，以使該探針卡10有相當數量之極短的訊號傳送路徑(亦即未經子板30之第二測試區212的訊號傳送路徑)，以更為符合高頻測試需求。

在本實施例中，該母板20之第二測試區212及中介體連接區213共同交錯環狀圍繞該探針區27，且第二測試區212與中介體連接區213係交錯設置，亦即，各該中介體連接區213係位於二該第二測試區212之間，且共同位於一假想之內圓周之周緣內，如此之設計可使得各該第二測試區212與該探針區27之間不受中介體連接區213分隔開，使得第二測試接點24更靠近子板30及探針54，因此更縮短訊號傳送路徑，探針54甚至可直接銲接於該母板20下表面位置對應於第二測試區212的電性接點(圖中未示)，不但不會受到該母板20下表面位置對應於中介體連接區213的電性接點(圖中未示)影響，也不會增加佈針複雜度，更可縮短訊號傳送路徑。

在本實施例中，該母板20之該二第二測試區212位於該探針區27之二相對側(在第4圖中為上側及下側)，該母板20之該二中介體連接區213位於該探針區27之另二相對側(在第4圖中為左側及右側)，該母板20之平面方向能定義出一實質上通過各該第二測試區212中心之第一假想直線L1以及一實質上垂直於該第一假想直線L1之第二假想直線L2，且該第二假想直線L2係實質上通過該母板20之各該中介體連接區213中心，換言之，相鄰之第二測試區212與中介體連接區213的中心位置約相差90度。如此之設計使得該母板20之電性接點分佈得更為簡潔，不但可提高空間利用性，並可降低佈針複雜度。

然而，如第9圖所示之本發明一第二較佳實施例，以及第10圖所示之本發明一第三較佳實施例，該母板20之第二測試區212及中介體連接區213亦可非共同圍繞該探針區27，且該母板20的第二測試區212及中介體連接區213 不限為各兩個，亦可各僅有一個或各為兩個以上，且不限為交錯設置。此外，該母板20亦可不具有如前述之中間區214，惟具有中間區214之設計可使得該母板20之電性接點分佈得更為簡潔、降低佈針複雜度，並可供電子元件或其他電性接點設於該中間區214。

該中介體40以及該子板30之中介體連接區322則係如同前述之該母板20的中介體連接區213而可在數量及位置對應調整。在前述之第一較佳實施例中，該母板20具有位於該探針區27外圍之複數該中介體連接區213，該子板30則對應地具有位於該電子元件區33外圍之複數該中介體連接區322，該子板30之中介體連接區322藉由複數該中介體40而分別連接於該母板20之中介體連接區213。藉此，該子板30之中介體連接區322係與電子元件區33分開且位於電子元件區33外圍，第二測試區212及中介體連接區322亦共同交錯環狀圍繞該電子元件區33，可使得該子板30之中介體連接點324與電子元件34的分佈更為簡潔，且其之間需設置外部跳線時可更為簡潔有系統，或甚至不需外部跳線。換言之，該子板30之上表面31可(但不限於)設有複數電性接點312(如第1圖所示)，該等電性接點312位置對應該子板30之中介體連接區322且分別與該子板30之中介體連接點324電性連接，以藉由在該子板30上表面的電性接點312與電子元件34之間設置外部跳線而使得該等中介體連接點324與電子元件34電性連接。然而，該等電子元件34亦可藉由該子板30之內部線路而與中介體連接點324電性連接而不需外部跳線。

如第11圖及第12圖所示之本發明一第四較佳實施例，該母板20可具有一位於該探針區27(位置對應該子板30之電子元件區33)之下透光孔29，且該子板30具有一位置對應該下透光孔29之上透光孔35。藉此，該探針卡可適用於諸如CIS(CMOS image sensor)等影像感測元件或者其他光電元件的檢測作業；亦即，該探針卡在進行檢測作業時，光線能透過上、下透光孔35、29而照射於待 測物，以使光線受待測物接收後轉換成電信號再回傳到測試機，以量測待測物接收光源的訊號是否有問題。

本發明之探針卡除了前述之優點以外，更可藉由下述之使用方法而應用於不同的檢測作業，以節省成本。

本發明所提供之可更換子板之探針卡的使用方法實施例包含有下列步驟：

a)使用該探針卡10測試一第一待測物(圖中未示)。亦即利用該等探針54點觸第一待測物之電性接點，以將測試機送出之測試訊號傳送至第一待測物，再將反應測試結果之訊號回傳至測試機。

b)備製適用於測試一第二待測物(圖中未示)之另一子板(圖中未示)。該另一子板之結構係類同於原先的子板30，惟針對第二待測物所需之訊號處理而設有不同之電子元件。此步驟亦可在步驟a)之前進行。

c)拆卸該探針卡10之子板30。該子板30之安裝及卸除可使用一般機械常用之技術手段，例如，可參考先前技術中所述之我國專利編號577988，容申請人在此不詳加敘述。

d)將該另一子板安裝於該探針卡10。亦即，步驟c)及步驟d)係更換該探針卡10之子板。

e)使用設有該另一子板之探針卡10測試該第二待測物。亦即利用該等探針54點觸第二待測物之電性接點，以將測試機送出之測試訊號傳送至第二待測物，再將反應測試結果之訊號回傳至測試機。

此外，依照使用需求，更可(但不限於)在該步驟e)之前將該探針頭50更換為適用測試該第二待測物之另一探針頭。

藉此，只要將該探針卡之子板更換為適用於待測物之子板，或者視使用需求而更將該探針卡之探針頭更換為適用於待測物之探針頭，其他部分 不需更換，即可對不同之待測物進行檢測，如此可節省針對不同待測物購買不同之探針卡的成本。例如，對於不同世代、型號或款式之液晶驅動器(LCD driver)的不同待測晶圓，若其腳位或功能差異不大，可使用相同的母板搭配不同樣式的子板來測試不同型號的待測晶圓，如此便可因母板重複使用而節省大量成本。

此外，在該步驟a)及該步驟e)中，可依據一測試訊號之頻率以及該測試訊號為單端訊號(single-ended signal)或差動訊號(differential signal)而選擇性地將該測試訊號傳送至該第一測試區211或該第二測試區212。較佳地，當該測試訊號為高頻訊號或差動訊號，則將該測試訊號傳送至該第二測試區212，更好的方式係以如同第3圖所示之訊號傳送路徑63而使該測試訊號由母板20直接傳送至探針54而不經由子板30，如此因訊號傳輸路徑短而可將訊號衰減量降到最低。

最後，必須再次說明，本發明於前揭實施例中所揭露的構成元件，僅為舉例說明，並非用來限制本案之範圍，其他等效元件的替代或變化，亦應為本案之申請專利範圍所涵蓋，此外本發明於方法實施例中，若實施為可能，各步驟可以不需具先後順序之關係，且可以全部或部分同時進行。

10‧‧‧探針卡

20‧‧‧母板

20a‧‧‧線路

21‧‧‧上表面

211‧‧‧第一測試區

212‧‧‧第二測試區

214‧‧‧中間區

23‧‧‧電性接點(第一測試接點)

24‧‧‧電性接點(第二測試接點)

28‧‧‧周緣

30‧‧‧子板

31‧‧‧上表面

312‧‧‧電性接點

33‧‧‧電子元件區

34‧‧‧電子元件

Claims (16)

1. 一種可更換子板之探針卡，包含有：一母板，具有朝向相反方向之一上表面及一下表面、複數設於該上表面之電性接點、一子板對應區，以及一位於該子板對應區內的探針區，該等電性接點將該母板之上表面區分出一鄰接該母板一周緣的第一測試區、位於該子板對應區與該第一測試區之間的至少一第二測試區，以及位於該子板對應區內的至少一中介體連接區，該母板之電性接點包含有複數位於該第一測試區之第一測試接點、複數位於該第二測試區之第二測試接點，以及複數位於該中介體連接區之中介體連接點；一子板，設有至少一電子元件，該子板具有朝向相反方向之一上表面及一下表面，該子板之下表面具有至少一中介體連接區，該子板之中介體連接區設有複數中介體連接點；至少一中介體，係連接該母板之中介體連接點及該子板之中介體連接點，使得該子板係以其下表面朝向該母板之上表面且位置對應該子板對應區地設置於該母板上方，該等第一測試接點及第二測試接點其中一部分係與該母板之中介體連接點電性連接並透過該中介體而與該子板電性連接；以及一探針頭，係設於該母板之下表面，該探針頭設有位置對應於該探針區之複數探針，各該探針係與該等第一測試接點及第二測試接點至少其中之一電性連接，部分之探針係透過該母板及該中介體而與該子板電性連接。
2. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中該母板之第二測試區及中介體連接區共同圍繞該探針區。
3. 如申請專利範圍第2項所述之可更換子板之探針卡，其中該母板具有複數該第二測試區及複數該中介體連接區，各該中介體連接區係位於二該第二測試區之間。
4. 如申請專利範圍第3項所述之可更換子板之探針卡，其中該母板具有位於該探針區之二相對側的二該第二測試區，以及位於該探針區之另二相對側的二該中介體連接區，該母板能定義出一實質上通過各該第二測試區中心之第一假想直線以及一實質上垂直於該第一假想直線之第二假想直線，該第二假想直線係實質上通過該母板之各該中介體連接區中心。
5. 如申請專利範圍第2項所述之可更換子板之探針卡，其中該母板具有一將其第二測試區及中介體連接區與該第一測試區分隔開之中間區。
6. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中該子板具有一位置對應該探針區之電子元件區，以及位於該電子元件區外圍之複數該中介體連接區，該至少一電子元件係設於該電子元件區，該母板具有位於該探針區外圍之複數該中介體連接區，該子板之中介體連接區藉由複數該中介體而分別連接於該母板之中介體連接區。
7. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中與中介體連接點電性連接之第一測試接點的數量係大於與中介體連接點電性連接之第二測試接點的數量。
8. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中未與該子板電性連接之第二測試接點在全部第二測試接點中所佔之比例係高於未與該子板電性連接之第一測試接點在全部第一測試接點中所佔之比例。
9. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中該母板具有一位於該探針區之下透光孔，該子板具有一位置對應該下透光孔之上透光孔。
10. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中該子板之上表面設有複數電性接點，該等電性接點位置對應該子板之中介體連接區且分別與該子板之中介體連接點電性連接。
11. 如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡，其中該中介體為一具有彈性頂針之電路板、一穿設有複數彈性件之連接板以及一異方性導電膠三者其中之一。
12. 一種如申請專利範圍第1項所述之可更換子板之探針卡的使用方法，包含有下列步驟：a)使用該探針卡測試一第一待測物；b)備製適用於測試一第二待測物之另一子板；c)拆卸該探針卡之子板；d)將該另一子板安裝於該探針卡；以及e)使用設有該另一子板之探針卡測試該第二待測物。
13. 如申請專利範圍第12項所述之可更換子板之探針卡的使用方法，其中在該步驟e)之前更包含有一步驟，係將該探針頭更換為適用測試該第二待測物之另一探針頭。
14. 如申請專利範圍第12項所述之可更換子板之探針卡的使用方法，其中在該步驟a)及該步驟e)中，依據一測試訊號之頻率以及該測試訊號為單端訊號或差動訊號而選擇性地將該測試訊號傳送至該第一測試區或該第二測試區。
15. 如申請專利範圍第14項所述之可更換子板之探針卡的使用方法，其中當該測試訊號為高頻訊號或差動訊號，則將該測試訊號傳送至該第二測試區。
16. 一種可更換子板之探針卡，包含有：一母板，具有一子板對應區、鄰接該母板一周緣的一第一測試區，以及位於該子板對應區與該第一測試區之間的二第二測試區； 一子板，設置於該子板對應區，該子板具有一電子元件區及二中介體連接區，該二第二測試區與該二中介體連接區交錯圍繞該電子元件區；二中介體，連接該子板之該二中介體連接區與該母板；以及一探針頭，係設於該母板之一下表面，該探針頭設有複數探針，各該探針係與該第一測試區或各該第二測試區電性連接，部分之探針係透過該母板及該二中介體其中之一而與該子板電性連接。