TWI605995B - Connection nozzle assembly structure (a) - Google Patents

Description

連接吸嘴的組裝結構(一)

本發明係提供一種用以連接晶片吸嘴的組裝結構，尤指一種可自動調整整體結構垂直的偏移及水平定位的組裝結構。

在半導體的封裝製程中需要將切割、研磨後的晶片作吸取與放置的動作，所以會有一裝置去完成吸取與放置的處理，而此裝置上與晶片的吸取與放置的接觸會有一固定座與吸嘴。

隨著晶片的厚度越來越薄，現在市場上常見的規格約在30~50um，而且可能越來越薄，造成吸取與放置的作業會產生因為人為裝置吸嘴疏忽無法平壓，或因為吸嘴無法均勻施力造成晶片與接觸面產生空氣或無法與底膠完全接合，而造成晶片的破損，致使原本吸取與放置的固定座與吸嘴已無法符合生產的需求，除了在吸嘴上以要求平面方式製作外，更有各種不同為解決薄型晶片的固定座與吸嘴產生。

習用常見用來與吸嘴連接組裝的結構，其中之一是在固定座上設有一夾爪，並將吸嘴直接嵌入在夾爪中，但正是因吸嘴是嵌入在固定座上方的夾爪中，使得吸嘴在安裝嵌入後不易取出，造成更換上的難度，於安裝吸嘴時，難免會碰到吸嘴的吸晶面，而造成吸嘴污染，並易有因疏忽而未將吸嘴推置到底，使其與固定座接面平貼呈傾斜，無法確保安裝吸嘴後一定是平面，會造成晶片破裂，且因夾爪與吸嘴之間是以組裝上的緊配來固定，容易使吸嘴會因為夾爪的壓力產生形變，造成晶片壓傷破損。

在習用與吸嘴連接組裝的結構中，另有固定座以其位於真空孔底部的凸接結構來與設置在吸嘴的對應內凹結構，雖較夾爪更容易安裝吸嘴，但因吸嘴上需另設有對應的內凹結構，易於其生產過程中變形，也同樣在安裝時有吸嘴污染的問題。再者，吸嘴因其材質，於其製造時易有較大的公差，雖預設有對應凹凸的結構關係，但容易滑動與變形，造成晶片壓傷破損。

對應的緊配關係來固定吸嘴的組裝結構，亦可在固定座下方延伸出定位腳與吸嘴上定位孔搭配，但亦會因定位腳與吸嘴之間的緊配結構，在吸嘴的安裝與取出上都有難度，且吸嘴與固定座間以緊配合來定位，無法進行結構上的調整，並在安裝時有接觸污染吸嘴的機會。

習用組裝結構中，也有針對上述以對應的緊配關係來固定吸嘴進行改良，而在固定座上鑲嵌有一磁鐵，並在吸嘴上加設有可供磁吸的鐵片或不銹鋼片，來取代緊配合的組裝結構，雖能改善緊配合結構的組裝問題，但也造成其他技術問題，固定座與吸嘴之間的鐵片或不銹鋼片無法完全緊密結合，有洩漏真空之可能性情況，且磁鐵與吸嘴上鐵片或不銹鋼片之間的磁性吸附結構沒有相應的定位處，會造成吸嘴組裝上水平偏移問題。

又，習用以緊配關係來固定吸嘴的組裝結構都是著眼在組裝後吸嘴平面度的問題，但針對所吸取的晶片如果發生有與吸嘴非呈平面的垂直偏移(傾斜)的問題，上述僅對吸嘴與固定座間平面度的結構上改良無法解決垂直偏移(傾斜)的問題，尤其當晶片厚度越來越薄時，此一問題之影響會越來越明顯。

有鑑於此，係針對習用結構進行改良，提供一種連接吸嘴的組裝結構，用以供吸嘴裝設，該組裝結構包括一固定座，該固定座上具有一導磁的本體並設有至少二定位部，該定位部分別設置在該固定座的不同側處；一吸嘴底座，該吸嘴底座具有一導磁的本體並裝設有該吸嘴，該吸嘴底座對應該定位部各設有一定位柱，且以該定位柱對應插接於該定位部，以將該吸嘴底座組接於該固定座，並限制該固定座與該吸嘴底座組裝結構上的水平位移，以利該吸嘴的操作使用；所述的吸嘴底座設有一凹部，用以設置一磁鐵，且該固定座具有導磁性，使該固定座與該吸嘴底座之間透過磁性吸附而組合連接並可防止磁力由該吸嘴下面端外漏。

所述的固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該磁鐵設有一開孔，用以與該吸嘴底座共同相通於該真空通道，其中該吸嘴底座設有一密封槽，該密封槽係圍繞在該凹部外側，並夾設於該固定座與該吸嘴底座之間，且於該密封槽設置有一密封件，該密封件係採用具彈性的材料，以確保真空密閉性，該密封件係高出該吸嘴底座且其高度係配合於該固定座下端面與該吸嘴底座上端面之間所預留之一調整空間，該調整空間的高度係用以補償因傾斜而產生的高度落差。

所述的吸嘴底座兩側各設有一把手，以便於裝卸。

本發明所採行的另一技術手段為，該組裝結構包括一固定座，該固定座上具有一導磁的本體並設有至少二定位部，該定位部分別設置在該固定座的不同側處；一吸嘴底座，該吸嘴底座具有一導磁的本體並裝設有該吸嘴，該吸嘴底座對應該定位部各設有一定位柱，且以該定位柱對應插接於該定位部，以將該吸嘴底座組接於該固定座，並限制該固定座與該吸嘴底座組裝結構上的水平位移，以利該吸嘴的操作使用；該吸嘴底座設有 至少一凹部，用以設置一磁鐵，以供該固定座與該吸嘴底座之間以磁性吸附而組合連接。

其中該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該吸嘴底座設有一真空孔，用以相通於該固定座的真空通道，其中該吸嘴底座設有一密封槽，該密封槽係圍繞在該凹部外側，並夾設於該固定座與該吸嘴底座之間，且於該密封槽設置有一密封件，該密封件係採用具彈性的材料，以確保真空密閉性，該密封件係高出該吸嘴底座且其高度係配合於該固定座下端面與該吸嘴底座上端面之間所預留之一調整空間，該調整空間的高度係用以補償因傾斜而產生的高度落差。

所述的吸嘴底座兩側各設有一把手，以便於裝卸。

本發明所採行的又一技術手段為該組裝結構包括一固定座，該固定座具有一導磁的本體並設有至少二定位部，該定位部係具有一上寬下窄的錐狀孔道，並於該固定座下端面形成有一下端孔；一吸嘴底座，具有一導磁的本體並裝設有該吸嘴，該吸嘴底座對應該定位部各設有一定位柱，且以該定位柱對應插置於該下端孔，以將該吸嘴底座組裝於該固定座，並限制該固定座與該吸嘴底座組裝結構上的水平位移；一密封件，該密封件夾設於該固定座與該吸嘴底座之間，該定位部以該錐狀孔道相對位在該下端孔上方的孔道來提供在該吸嘴底座傾斜時，該定位柱所需的相對位移空間，以利該吸嘴下端面貼合於一呈傾斜的晶片表面，並利用該密封件維持該固定座與該吸嘴底座組裝結構的密合度。

所述的錐狀孔道具有一與垂直線夾有1度至5度的傾斜面，其中該傾斜面與垂直線之夾角較佳的範圍是在2度至2.5度之間。

所述的定位部分別設置在該固定座的不同側處。

所述的吸嘴底座設有一凹部與一密封槽，該凹部用以設置一磁鐵，使該固定座與該吸嘴底座之間透過磁性吸附而組合連接，並可防止磁力由該吸嘴下面端外漏，且該密封槽係圍繞在該凹部外側，該密封件設置於該密封槽，該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該凹部底面設一真空孔，且該磁鐵設有一開孔，用以與該凹部共同相通於該真空通道，該密封件係高出該吸嘴底座且其高度係配合於該固定座下端面與該吸嘴底座上端面之間所預留之一調整空間，該調整空間的高度係用以補償因傾斜而產生的高度落差。

所述的吸嘴底座亦具有導磁性，設有至少一凹部與一密封槽，該凹部設有一磁鐵，以供該固定座與該吸嘴底座之間以磁性吸附而組合連接，可防止磁力由該吸嘴下面端外漏，且該密封槽係圍繞在該凹部外側，該密封件設置於該密封槽，其中該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該吸嘴底座設有一真空孔，用以相通於該固定座的真空通道，該密封件係高出該吸嘴底座且其高度係配合於該固定座下端面與該吸嘴底座上端面之間所預留之一調整空間，該調整空間的高度係用以補償因傾斜而產生的高度落差，其中該密封件係採用具彈性的材料，以確保真空密閉性。

所述的吸嘴底座兩側各設有一把手，以便於裝卸。

本發明相較與先前技術具有以下功效：本發明的組裝結構，其固定座利用在不同側處的定位部，配合吸嘴底座的定位柱，以定位柱對應插置於定位部的下端孔之對應結構關係作為組裝固定座以及吸嘴底座的水平定位，使吸嘴不會有水平位移問題。

再者，因為吸嘴是直接平貼在吸嘴底座上，取代先前技術中以緊配合組裝吸嘴的結構，而不會有吸嘴變形的問題。

組裝結構中的吸嘴底座在密封槽中設置有密封件，利用密封件的彈性可將固定座、吸嘴、吸嘴底座、晶片或其吸附物等相關可能產生各種不平整或傾斜進行修正，讓吸嘴可以平整吸附或平貼在晶片或吸附物上，以確保平面度。

由於組裝結構中的吸嘴底座設有磁鐵，配合有導磁性的固定座及吸嘴底座，使固定座與吸嘴底座之間能透過磁性吸附而組合連接，可避免吸嘴面端的磁性外漏，且因為吸嘴底座設有把手，利用把手來操作組裝吸嘴底座，讓操作人員在不碰觸到吸嘴下端面的情況下，能夠快速、方便地將吸嘴底座連同吸嘴安裝到固定座上或是由固定座拆下，且不會汙染吸嘴用以吸晶的下端面，亦無需拆下的固定座來安裝或卸除。

操作環境的溫度雖有機會影響磁鐵的磁力，但因吸嘴使用期限較短，在其需要被更換前，溫度對磁力之影響，不至於會影響到對晶片的吸取放置作業，除非在吸嘴其使用期限到達前，磁鐵已因居禮溫度而造成其完全消磁。

於固定座中，其定位部具有的錐狀孔道，錐狀孔道以其傾斜面所圍繞之上寬下窄的錐狀結構空間，提供吸嘴底座在傾斜時，因固定座位置不變，定位柱所需的相對位移空間，使吸嘴底座能配合密封件，藉由傾斜來對應修正因整體組裝以及晶片本身或其他因素等可能產生的垂直偏移問題進行修正。

固定座的錐狀孔道，其傾斜面與垂直線的角度乃考量固定座、吸嘴、晶片所有可能產生的垂直偏移最大傾斜度所設計，以利垂直偏移發生時與密封件搭配，修正垂直偏移度為平整。

在吸嘴底座傾斜時，其與固定座會因傾斜而有高度上的落差，密封件可用來保持兩者之間的密合度。

10、10A、10B‧‧‧固定座

11‧‧‧接合部

111‧‧‧真空通道

12‧‧‧定位部

120‧‧‧錐狀孔道

121‧‧‧上端孔

122‧‧‧下端孔

13‧‧‧調整空間

20、20A、20B‧‧‧吸嘴底座

21‧‧‧定位柱

22、22A、22B‧‧‧真空孔

23、23A、23B‧‧‧密封槽

24、24A、24B‧‧‧凹部

25‧‧‧真空空間

26‧‧‧固定凹部

27‧‧‧把手

28、28A、28B‧‧‧密封件

29、29A、29B‧‧‧磁鐵

30、30A、30B‧‧‧吸嘴

31‧‧‧通道

32‧‧‧流通孔

33‧‧‧下端面

40‧‧‧晶片

第1圖為本發明第一實施例之立體圖；第2圖為本發明第一實施例之底視立體圖；第3圖為本發明第一實施之分解圖；第4圖為本發明第一實施例之剖面圖；第5圖為本發明第一實施例之吸取晶片示意圖；第5A圖為第5圖之局部放大圖；第6圖為本發明第一實施例之垂直調整示意圖；第6A圖為第6圖之局部放大圖；第7圖為本發明第二實施例之立體圖第8圖為本發明第二實施例之底視立體圖；第9圖為本發明第二實施例之分解圖；第10圖為本發明第二實施例之剖面圖；第11圖為本發明第二實施例吸取晶片示意圖；第12圖為本發明第二實施例之垂直調整示意圖；第13圖為本發明第三實施例之立體圖第14圖為本發明第三實施例之底視立體圖；第15圖為本發明第三實施例之分解圖；第16圖為本發明第三實施例之剖面圖；第17圖為本發明第三實施例吸取晶片示意圖；第18圖為本發明第三實施例之垂直調整示意圖。

請參閱第1至3圖，係本發明第一實施例之立體圖及分解圖，本發明連接吸嘴的組裝結構中之組裝結構包括一固定座10、一吸嘴底座20，並於吸嘴底座20裝設有一吸嘴30，吸嘴30是以其下端面吸咐一晶片40。

固定座10具有一金屬本體並其上端面設置有一接合部11，用以接合一真空吸氣機(未圖示)，且接合部11具有一真空通道111，真空通道111貫穿接合部11以及下方的固定座10。

同參第5A圖中所示，固定座10設有二定位部12，定位部12分別設置在固定座10的不同側處。定位部12係貫穿固定座10並具有一上寬下窄的錐狀孔道120，使分別於固定座10上下兩端面形成有一上端孔121與一下端孔122，且定位部12的錐狀孔道120具有一與垂直線夾有1度至5度的傾斜面。

依實際需求，錐狀孔道120的傾斜面與垂直線之夾角θ可為2度、2.5度、3度、3.5度、4度或是4.5度，其夾角θ較佳的範圍是在2度至2.5度之間。

固定座10可選擇性在定位部12的上端孔121處加設一頂蓋(圖中未示)以防止灰塵或雜物掉入定位部12內而影響其功能，有於需要時，可增加定位部12的數目。

此外，本實施例固定座10之定位部12的錐狀孔道120可以只貫通固定座10的下端面，而只形成下端孔122。

吸嘴底座20於上端面對應固定座10上各定位部12的位置設有一定位柱21以及一用以與真空通道111相通的真空孔22，且吸嘴底座20於下端面設有一相通於真空孔22的真空空間25與一固定凹部26，固定凹部26可供吸嘴30黏固密合固定。由於吸嘴30因為是平貼固定在吸嘴底座20下方，可確保吸嘴30的平面度。

於吸嘴底座20上端面，利用定位柱21對應插置於固定座10的下端孔122，以將吸嘴底座20組裝於固定座10下方，並藉由定位部12與定位柱21之間插置的結構來限制固定座10與吸嘴底座20組裝結構上的水平位移，使兩者相對位置受限而不能再左右移動，以利吸嘴30於真空下的操作使用。

本實施例中的固定座10與吸嘴底座20具有導磁性，且吸嘴底座20於真空通道111下方設有一凹部24，且真空孔22相對位在凹部24底面，並以一磁鐵29設置於凹部24中，使固定座10與吸嘴底座20之間利用磁性吸附而組合連接，且由於固定座10及吸嘴底座20皆為導磁材質，可防止磁力由吸嘴30下面端外漏。

吸嘴底座20以磁性吸附於固定座10，能改善習用嵌入式的組合結構，在安裝易有因疏忽而未將吸嘴底座20推置於最底部以與固定座10接面平貼，使得吸嘴底座20所組裝的吸嘴30也一併呈傾斜，於作業時造成所吸附的晶片40破裂的問題

磁鐵29亦設有一開孔，用以與凹部24共同相通於真空通道111。

吸嘴底座20另在凹部24外側設有一密封槽23，如第3圖所示，密封槽23係圍繞在凹部24外側，並在密封槽23中黏固密合設置有一密封件28，密封件28上端接合於固定座10之底面，且於組裝後係夾設於固定座10與吸嘴底座20之間。密封件28與密封槽23係對應設成相同外形。

密封件28係採用具彈性的絕緣材質，能確保固定座10與吸嘴底座20之間的結構氣密性(如第4、5圖中所示)，使於真空操作下能維持兩者間的真空度，以利吸嘴30於真空下的操作使用。密封件28本身材質的彈性可以將固定座10、吸嘴底座20、吸嘴30以及晶片40相關之可能產生各種結構上不平整或傾斜進行修正，讓吸嘴30可以平整地吸附或平貼在晶片40上。

實際上，溫度有機會影響吸嘴底座20中的磁鐵29，進而影響其磁力，但因吸嘴30使用期限較短，在吸嘴30需要被更換前，溫度對磁鐵29磁力之影響，不會影響到吸取放置作業，除非在吸嘴30其使用期限到達前，磁鐵29已因居禮溫度而造成其完全消磁。

同參第4、5圖中所示，吸嘴底座20下端面固定有吸嘴30，吸嘴30頂面設置通道31與複數貫穿吸嘴30的流通孔32，流通孔32相通於吸嘴底座20的真空孔22、真空空間25，而與固定座10的真空通道111相互連通，使得真空通道111與流通孔32形成氣流通道，使吸嘴30利用真空吸氣機(圖中未示)透過真空通道111吸氣時所產生的真空吸力來拾取一晶片40。此時，晶片40會貼合於吸嘴30組裝後用以吸取晶片40的下端面33。

在通常的操作情況下，吸嘴30能夠以其下端面33直接貼合於晶片40，但在如晶片40本身表面不平整或是晶片40在非正常置放等例外情況下，會造成晶片40表面相對與吸嘴30的下端面33係呈現傾斜狀態。

在上述情況下，為使吸嘴30的下端面33貼合於相對呈傾斜的晶片40表面，吸嘴30及吸嘴底座20需配合傾斜，以在不損晶片40結構的情況下仍能保持與晶片40貼合。

同參第6、6A圖中所示，吸嘴底座20以定位柱21插置在固定座10的錐狀孔道120的下端孔122，且錐狀孔道120相對在下端孔122上方具有逐漸加寬孔徑的孔道，此即為錐狀孔道120的傾斜面所圍繞之下窄上寬的錐狀結構空間，且在吸嘴底座20傾斜時，固定座10是維持原位，而是以其錐狀孔道120提供吸嘴底座20在傾斜時，定位柱21所需的相對位移空間，使吸嘴底座20依傾斜方向而能對應上下垂直調整。

在吸嘴底座20傾斜時，其與固定座10會因傾斜而有高度上的落差，此時利用夾設於固定座10與吸嘴底座20之間的密封件28來保持兩者之間的密合度。

密封件28高出吸嘴底座20上端面之高度係配合於固定座10下端面與吸嘴底座20上端面間所預留之一調整空間13，其高度係綜合考量晶片40本身以及與晶片40吸取放置相關所需各元件組合之公差來設定，同時利用密封件28的彈性，可用來補償因相對傾斜而產生的垂直高度落差，以在吸嘴底座20傾斜時保持整體結構上的氣密度，並能自動修正因組裝所累積的垂直公差偏移。

定位部12的錐狀孔道120可配合密封件28，修正因結構上組裝公差的垂直偏移，亦可在晶片40表面與吸嘴30呈傾斜的使用情況下搭配調整操作，且錐狀孔道120的下端孔122與吸嘴底座20的定位柱21之間對應的結構關係同時可讓整體組裝結構無相對水平位移。錐狀孔道120的傾斜面與垂直線之角度θ係綜合考量固定座10、吸嘴底座20、吸嘴30與晶片40等可能產生垂直偏移最大傾斜度所設置。

於組裝第一實施例的組裝結構時，先將密封件28置入密封槽23，其次將磁鐵29置於吸嘴底座20的凹部24，再將吸嘴30黏固在吸嘴底座20的固定凹部26，最後，用手抓住吸嘴底座20兩側所設置的把手27，以將吸嘴底座20的定位柱21對準固定座10的定位部12插入，而藉磁鐵29的吸引力，將吸嘴底座20連同黏固的吸嘴30吸附於固定座10下方。反之，於拆卸時，僅用手抓住吸嘴底座20的把手27而向下拔出，即可將吸嘴底座20及吸嘴30一併卸下。

利用吸嘴底座20的把手27，可讓操作人員在不碰觸到吸嘴30下端面33的情況下，而將吸嘴30直接安裝到固定座10上或是由固定座10取下， 不會汙染吸嘴30的下端面33，也不需要拆下設備上的固定座10就可以快速、方便將吸嘴30安裝到固定座10上。

請參閱第7至12圖，其係顯示本發明第二實施例相關圖面，該實施例之結構與第一實施例大部份相同並具有相同功能，為簡化起見，故標以相同符號並省略相關說明。第二實施例的固定座10A、吸嘴30A僅在尺寸大於第一實施例，兩者功能相同。

第二實施例的吸嘴底座20A具有一呈橢圓形的真空孔22A，真空孔22A與真空通道111相通。吸嘴底座20A在真空孔22A以外的上端面設有至少一凹部24A，以分別設置有一磁鐵29A，且設有一圍繞在凹部24A外側呈長方形的密封槽23A，密封槽23A對應設置有一同樣呈長方形的密封件28A。

本實施例的凹部24A其數目，只要配合設置的磁鐵29A所提供的磁性足以讓吸嘴底座20A吸附於固定座10A而組合連接，不限於磁鐵的數量或形狀。依實際需要，密封件28A可選擇性圍繞在所有凹部24A外側或是各別圍繞。

請參閱第13至18圖，其係顯示本發明第三實施例相關圖面，該實施例之結構與第一、二實施例大部份相同並具有相同功能，為簡化起見，故標以相同符號並省略相關說明。第三實施例的固定座10B、吸嘴30B僅在尺寸大於第二實施例，兩者功能相同。

第三實施例的吸嘴底座20B具有一呈橢圓形的真空孔22B，真空孔22B與真空通道111相通。吸嘴底座20B在真空孔22B以外的上端面設有至少一凹部24B，以分別設置有一磁鐵29B，且設有一圍繞在凹部24B外側呈長方形的密封槽23B，密封槽23B對應設置有一同樣呈長方形的密封件28B。

本實施例的凹部24B其數目，只要配合設置的磁鐵29B所提供的磁性足以讓吸嘴底座20B吸附於固定座10B而組合連接，不限於磁鐵的數量或 形狀。依實際需要，密封件28B可選擇性圍繞在所有凹部24B外側或是各別圍繞。

本發明中的組裝結構，依第一至三實施例中所示可配合為三種不同規格使用，亦可依晶片大小更換適合的吸嘴底座使用，且吸嘴亦可依需求更換不同款式、形狀而相同尺寸，而獲得相同之效果者。

以上所述僅為本發明之較佳實施例而已，非因此即侷限本發明之專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所為之簡易修飾及等效結構變化，均應同理包含於本發明之專利範圍內。

10‧‧‧固定座

11‧‧‧接合部

111‧‧‧真空通道

12‧‧‧定位部

20‧‧‧吸嘴底座

27‧‧‧把手

30‧‧‧吸嘴

Claims (17)

1. 一種連接吸嘴的組裝結構，以供一吸嘴裝設，該組裝結構包括：一固定座，該固定座上具有一導磁的本體並設有至少二定位部，該定位部分別設置在該固定座的不同側處；一吸嘴底座，該吸嘴底座具有一導磁的本體並裝設有該吸嘴，該吸嘴底座對應該定位部各設有一定位柱，且以該定位柱對應插接於該定位部，以將該吸嘴底座組接於該固定座，並限制該固定座與該吸嘴底座組裝結構上的水平位移，以利該吸嘴的操作使用；該吸嘴底座設有一凹部，用以設置一磁鐵，且該固定座具有導磁性，使該固定座與該吸嘴底座之間透過磁性吸附而組合連接，並可防止磁力由該吸嘴下面端外漏。
2. 如請求項1所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該磁鐵設有一開孔，用以與該吸嘴底座共同相通於該真空通道。
3. 一種連接吸嘴的組裝結構，以供一吸嘴裝設，該組裝結構包括：一固定座，該固定座上具有一導磁的本體並設有至少二定位部，該定位部分別設置在該固定座的不同側處；一吸嘴底座，該吸嘴底座具有一導磁的本體並裝設有該吸嘴，該吸嘴底座對應該定位部各設有一定位柱，且以該定位柱對應插接於該定位部，以將該吸嘴底座組接於該固定座，並限制該固定座與該吸嘴底座組裝結構上的水平位移，以利該吸嘴的操作使用；該吸嘴底座設有至少一凹部，用以設置一磁鐵，以供該固定座與該吸嘴底座之間以磁性吸附而組合連接。
4. 如請求項3所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該吸嘴底座設有一真空孔，用以相通於該固定座的真空通道。
5. 如請求項1或3所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該吸嘴底座設有一密封槽，該密封槽係圍繞在該凹部外側，並夾設於該固定座與該吸嘴底座之間，且於該密封槽設置有一密封件，該密封件係採用具彈性的材料，以確保真空密閉性。
6. 如請求項5所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該密封件係高出該吸嘴底座且其高度係配合於該固定座下端面與該吸嘴底座上端面之間所預留之一調整空間，該調整空間的高度係用以補償因傾斜而產生的高度落差。
7. 一種連接吸嘴的組裝結構，以供一吸嘴裝設，該組裝結構包括：一固定座，該固定座具有一導磁的本體並設有至少二定位部，該定位部係具有一上寬下窄的錐狀孔道，並於該固定座下端面形成有一下端孔；一吸嘴底座，具有一導磁的本體並裝設有該吸嘴，該吸嘴底座對應該定位部各設有一定位柱，且以該定位柱對應插置於該下端孔，以將該吸嘴底座組裝於該固定座，並限制該固定座與該吸嘴底座組裝結構上的水平位移；一密封件，該密封件夾設於該固定座與該吸嘴底座之間，該定位部以該錐狀孔道相對位在該下端孔上方的孔道來提供在該吸嘴底座傾斜時，該定位柱所需的相對位移空間，以利該吸嘴下端面貼合於一呈傾斜的晶片表面，並利用該密封件維持該固定座與該吸嘴底座組裝結構的密合度。
8. 如請求項7所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該錐狀孔道具有一與垂直線夾有1度至5度的傾斜面。
9. 如請求項8所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該傾斜面與垂直線之夾角θ較佳的範圍是在2度至2.5度之間。
10. 如請求項7所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該定位部分別設置在該固定座的不同側處。
11. 如請求項7所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該吸嘴底座設有一凹部與一密封槽，該凹部用以設置一磁鐵，使該固定座與該吸嘴底座之間透過磁性吸附而組合連接，並可防止磁力由該吸嘴下面端外漏，且該密封槽係圍繞在該凹部外側，該密封件設置於該密封槽。
12. 如請求項11所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該凹部底面設一真空孔，且該磁鐵設有一開孔，用以與該凹部共同相通於該真空通道。
13. 如請求項7所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該吸嘴底座設有至少一凹部與一密封槽，該凹部設有一磁鐵，以供該固定座與該吸嘴底座之間以磁性吸附而組合連接，可防止磁力由該吸嘴下面端外漏，且該密封槽係圍繞在該凹部外側，該密封件設置於該密封槽。
14. 如請求項13所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該固定座於上端面設有一接合部，該接合部具有一真空通道，該吸嘴底座設有一真空孔，用以相通於該固定座的真空通道。
15. 如請求項11或13所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該密封件係高出該吸嘴底座且其高度係配合於該固定座下端面與該吸嘴底座上端面之間所預留之一調整空間，該調整空間的高度係用以補償因傾斜而產生的高度落差。
16. 如請求項11或13所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該密封件係採用具彈性的材料，以確保真空密閉性。
17. 如請求項1或2或3或4或7或11或13或14所述之連接吸嘴的組裝結構，其中，該吸嘴底座兩側各設有一把手，以便於裝卸。