TWI589423B - Compression molding device and mold surface parallelism adjustment method, mold height adjustment method - Google Patents

Description

壓縮成形裝置及模面平行度的調整方法、模高的調整方法

本發明係有關於以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形之壓縮成形裝置及在壓縮成形裝置之調整模面平行度與模高的方法。

在以樹脂材料對半導體晶片等進行壓縮成形的情況，要求提高成形品的生產力。亦要求高效率地提高壓縮成形裝置整體的設置空間。

為了滿足這種要求，在日本特開2010-94931號公報(專利文獻1)所記載之壓縮成形裝置，對2個壓縮成形用模具進行積層配置，並設置使2個模具之各個的上模及下模的模面閉合的開閉模手段。此開閉模手段包含齒條與小齒輪。在專利文獻1所記載之壓縮成形裝置，更設置可對應於被供給至各個模具之基板的厚度之厚度調整機構。

具有將該2個壓縮成形用模具積層配置的模製機構部之模製單元(壓縮成形裝置)的組立，在常温之環境氣體下(冷狀態)進行。在此時，使2個模具之模高40(參照後述之第4圖、第14圖)一致(作成相同的高度)。此外，模高40係如第4圖(第14圖)所示，是各個壓縮成形用模具的高度(鎖模狀態之上下兩模的高度)。

可是，在使用已使該模高40一致之2個壓縮成形用模具進行壓縮成形的情況，對該各模具加熱(成為熱狀態)，因為具有將該2個壓縮成形用模具積層配置的模製機構部之模製單元(壓縮成形裝置)的各機構及各部(各自以相異之熱膨脹係數)發生熱膨脹，所以上下配置之2個壓縮成形用模具的模高逐漸變成相異。尤其，在配置既定複數個模製單元的壓縮成形裝置，因為各模製單元之熱彼此互相影響，所以此傾向係顯著。

【先行專利文獻】 【專利文獻】

[專利文獻1]日本特開2010-94931號公報

可是，在專利文獻1所記載之壓縮成形裝置，為了調整2個模具之模面平行度，或為了調整上述之模高，需要分解由齒條與小齒輪所構成之開閉模機構。結果，無法充分提高壓縮成形裝置之成形品的生產力。

本發明係鑑於如上述所示之問題而開發者，本發明之一個目的在於提供可提高成形品之生產力的壓縮成形裝置及在該壓縮成形裝置之調整模面平行度的方法。

又，本發明之其他的目的在於提供可提高成形品之生產力的壓縮成形裝置及在該壓縮成形裝置之調整模高的方法。

本發明之壓縮成形裝置包括：模製單元，係用以以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形；及與模製單元鄰接之單元。

上述之模製單元包括：第1成形模，係具有第1上模與第1下模；第2成形模，係對第1成形模在上下方向所積層配置，並具有第2上模與第2下模；上部固定平台，係固定第1成形模之第1上模；下部固定平台，係設置於上部固定平台之下方；中間板，係在第1成形模之第1下模與第2成形模之第2上模之間固定該兩者之狀態所設置，而且設置成對上部固定平台及下部固定平台可在上下方向移動；滑動板，係在固定第2成形模之第2下模的狀態所設置，而且設置成對上部固定平台及下部固定平台可在上下方向移動；鎖模機構，係對第1成形模及第2成形模施加所要之鎖模力；傳達機構，係將鎖模機構之鎖模力傳達至滑動板及中間板；連接部，係連接傳達機構與中間板；及調整機構，係設置於連接部上，並用以調整第1成形模及第2成形模之模面平行度或模高。

該調整機構包含：上側構件；下側構件；及軸，係貫穿上側構件及下側構件，並具有位於上側構件內之第1部分及位於下側構件內之第2部分；第1陽螺絲部形成於軸之第1部分，方向及間距之至少一方與第1陽螺絲部相異的第2陽螺絲部形成於軸之第2部分；藉由使軸轉動，調整上側構件與下側構件之間隙，構成為可調整模面平行度或可調整該模高。

在一種實施形態，在上述之壓縮成形裝置，軸係可從和模製單元與鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作 而使其轉動，而作成在不使模製單元與鄰接之單元分離下可調整模面平行度或可調整模高。

在一種實施形態，在上述之壓縮成形裝置，傳達機構係由肘節連桿機構所構成，並包含：第1連桿構件，係使滑動板移動；第2連桿構件，係使中間板移動；第3連桿構件，係具有：第1端，係與對上部固定平台及下部固定平台不動之固定構件連結成可轉動；及第2端，係與第1連桿構件連接成可轉動；在第1端與第2端之中點的位置將第2連桿構件連接成可轉動；及第4連桿構件，係連接第3連桿構件與鎖模機構。

在一種實施形態，在上述之壓縮成形裝置，鄰接之單元包含如下之構件中的至少一個：入口裝載單元，係將嵌入構件與樹脂材料供給至各個第1成形模及第2成形模；出口裝載單元，係包含：取出機構，係從各個第1成形模及第2成形模取出成形品；及收容部，係收容成形品；及其他的模製單元。

在一種實施形態，在上述之壓縮成形裝置，具備複數個該模製單元；將複數個模製單元設置成可彼此拆裝。

本發明之模面平行度的調整方法係調整壓縮成形裝置之模面平行度的方法，而該壓縮成形裝置係包括模製單元及與模製單元鄰接之單元，並以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形。

上述之方法包括：供給步驟，係對各個第1成形模及第2成形模供給嵌入構件與樹脂材料，而該第1成形模係具有第1上模與第1下模，該第2成形模係積層配置於第1成 形模之下方，並具有第2上模與第2下模；及調整步驟，係使用設置於連接部上之調整機構來調整第1成形模及第2成形模之模面平行度，而該連接部係連接傳達機構與中間板，該傳達機構係用以傳達鎖模機構之鎖模力，該中間板係設置於第1成形模之第1下模與第2成形模之第2上模之間。

在上述之調整模面平行度的步驟，從和模製單元與鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作軸而使其轉動，調整模面平行度，而該軸具有方向及間距之至少一方彼此相異的第1陽螺絲部與第2陽螺絲部。

在一種實施形態，在上述之模面平行度的調整方法，在不使模製單元與鄰接之單元分離下調整模面平行度。

本發明之模高的調整方法，係調整壓縮成形裝置之模高的方法，而該壓縮成形裝置係包括模製單元及與模製單元鄰接之單元，並以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形。

上述之方法包括：供給步驟，係對各個第1成形模及第2成形模供給嵌入構件與樹脂材料，而該第1成形模係具有第1上模與第1下模，該第2成形模係積層配置於第1成形模之下方，並具有第2上模與第2下模；及調整步驟，係使用設置於連接部上之調整機構來調整第1成形模及第2成形模之模高，而該連接部係連接傳達機構與中間板，該傳達機構係用以傳達鎖模機構之鎖模力，該中間板係設置於第1成形模之第1下模與第2成形模之第2上模之間。

在上述之調整模高的步驟，從和模製單元與鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作軸而使其轉動，調整模 高，而該軸具有方向及間距之至少一方彼此相異的第1陽螺絲部與第2陽螺絲部。

在一種實施形態，在上述之模高的調整方法，在不使模製單元與鄰接之單元分離下調整模高。

若依據本發明之壓縮成形裝置及模面平行度的調整方法，因為可從和模製單元及與其鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作調整機構，所以可在不使模製單元及與其鄰接之單元分離下調整模面平行度，進而可調整模高。

10‧‧‧肘節連桿機構

10A~10D‧‧‧連桿構件

10E‧‧‧橫桿

10F‧‧‧滾珠螺桿

11、12‧‧‧成形模

11A、12A‧‧‧上模

11B、12B‧‧‧下模

13‧‧‧上部固定平台

14‧‧‧中間板

15‧‧‧滑動板

16、161、162‧‧‧下部板

17‧‧‧下部固定平台

17A‧‧‧固定構件

18‧‧‧連結構件

18α‧‧‧小齒輪

18β1、18β2‧‧‧齒條

19‧‧‧柱

19A‧‧‧側框架

20‧‧‧入口裝載機

30‧‧‧出口裝載機

100‧‧‧平行度調整機構

100A、100B‧‧‧調整構件

110A、110B‧‧‧箱體

120A、120B‧‧‧蓋體

130A、130B‧‧‧鎖定螺帽

140A、140B‧‧‧上下移動體

150A、150B‧‧‧彈簧

160A、160B‧‧‧螺絲部

170‧‧‧六角孔部

200‧‧‧加壓機構

1000、2000、3000‧‧‧模製機構部

A‧‧‧模製單元

B‧‧‧入口裝載單元

C‧‧‧出口裝載單元

第1圖係表示本發明之壓縮成形裝置之整體構成的平面圖。

第2圖係表示在第1圖所示之壓縮成形裝置中增設模製單元之狀態的圖。

第3圖係第1圖所示之壓縮成形裝置所含的模製機構部(開模狀態)的正視圖。

第4圖係第1圖所示之壓縮成形裝置所含的模製機構部(鎖模狀態)的正視圖。

第5圖係表示模製機構部之肘節連桿機構之構造(開模狀態)的放大圖。

第6圖係表示模製機構部之肘節連桿機構之構造(鎖模狀態)的放大圖。

第7圖係用以說明肘節連桿機構之連桿之動作的圖。

第8圖係用以說明肘節連桿機構之變形例的連桿之動作的圖。

第9圖係用以說明肘節連桿機構之另外之變形例的連桿之動作的圖。

第10圖係表示在本發明之模面平行度的調整方法所使用之平行度調整機構的構造的剖面圖。

第11圖係表示第10圖所示之平行度調整機構吸收藉2個成形模所成形之構件的厚度之差異之狀態(之一)的剖面圖。

第12圖係表示第10圖所示之平行度調整機構吸收藉2個成形模所成形之構件的厚度之差異之狀態(之二)的剖面圖。

第13圖係表示模製機構部之變形例的正視圖。

第14圖係表示模製機構部之其他的變形例的正視圖。

第15圖係表示積層模製機構部之其他的變形例的側面圖。

以下，說明本發明之實施形態。此外，對相同或相當之部分附加相同的參照符號，並有不重複其說明的情況。

此外，在以下所說明之實施形態，在言及個數、數量等的情況，除了有特別記載的情況，本發明之範圍係未必限定為該個數、數量等。又，在以下之實施形態，各個構成元件係除了有特別記載的情況，對本發明未必是必需者。

第1圖係表示本實施形態之壓縮成形裝置之整體構成的平面圖。如第1圖所示，本實施形態之壓縮成形裝置包括：模製單元A，係包含以樹脂材料對已搭載例如半導體晶片之基板(嵌入構件)進行壓縮成形(樹脂密封成形)模製機構部 1000；入口裝載單元B，係包含將嵌入構件供給至模製單元A之成形模的入口裝載機20；及出口裝載單元C，係包含從模製單元A之成形模取出成形品的出口裝載機30與收容該成形品的收容部。入口裝載機20及出口裝載機30係在第1圖中之上下方向移動。此外，在各模製單元A，為了調整成形模之模面平行度，設置後述之調整機構100。

模製單元A、入口裝載單元B及出口裝載單元C係經由螺栓或銷等之連結機構彼此連結成可拆裝。在第1圖之例子，模製單元A係設置2個，但是此個數係可因應於產量來調整增減。模製單元A亦可是1個，如第2圖所示，亦可增設至例如4個。

又，在第1圖、第2圖之例子，依序配設模製單元A、入口裝載單元B及出口裝載單元C，但是例如亦可以排列模製單元A、入口裝載單元B及出口裝載單元C成為一體之一台母機、與僅具備模製單元A之一台或複數台子機的方式構成壓縮成形裝置。

此外，在第1圖、第2圖所示之例子，亦可作成對模製單元A以手動供給嵌入構件與樹脂材料，並取出成形後之成形品。

其次，使用第3圖、第4圖，說明模製機構部1000的構造。第3圖、第4圖係分別表示模製機構部1000之開模狀態及鎖模狀態的正視圖。

如第3圖、第4圖所示，模製機構部1000包含在上下方向所積層配置的2個成形模11、12。成形模11包含上 模11A及下模11B，成形模12包含上模12A及下模12B。

模製機構部1000更包含：上部固定平台13，係固定成形模11之上模11A；中間板14，係固定成形模11之下模11B及成形模12之上模12A；滑動板15，係固定成形模12之下模12B；下部板16，係設置於滑動板15之下方；下部固定平台17，係設置於下部板16之下方；連結構件18，係連結中間板14與下部板16；及柱19，係連結上部固定平台13與下部固定平台17。

中間板14及滑動板15係可對上部固定平台13及下部固定平台17在上下方向移動。中間板14所連結之下部板16及滑動板15係藉設置於滑動板15之下方的肘節連桿機構10在上下方向驅動。藉此，進行成形模11、12之開模狀態(第3圖)與鎖模狀態(第4圖)的切換。

肘節連桿機構10包含：連桿構件10A(第1連桿構件)，係使滑動板15移動；連桿構件10B(第2連桿構件)，係具有連桿構件10A之一半的長度，並經由下部板16使中間板14移動；連桿構件10C(第3連桿構件)，係與連桿構件10A、10B連結；及連桿構件10D(第4連桿構件)，係連結連桿構件10C、橫桿10E及滾珠螺桿10F。成形模11、12之鎖模力係經由滾珠螺桿10F及連桿構件10A~10D傳達至中間板14及滑動板15。在此時，若中間板14移動距離L，則滑動板15移動距離2L。藉此，可對成形模11、12同時鎖模。

連桿構件10C之一方的端部係與對下部固定平台17不動之固定構件17A連結成可轉動，連桿構件10C之另一 方的端部係與連桿構件10A連結成可轉動。在該一方之端部與該另一方的端部之中點的位置，將連桿構件10B連結成可對連桿構件10C轉動。

在使用第1圖~第4圖所示之模製機構部1000，以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形時，首先，將嵌入構件與樹脂材料供給至各個成形模11、12。接著，在已固定成形模11之上模11A的狀態，使用設置於該滑動板之下方的肘節連桿機構10，使中間板14僅移動距離L，同時使滑動板15僅移動距離2L，而對成形模11、12施加所要之鎖模力。

模製機構部1000之組立係在常温之環境氣體下(冷狀態)進行。在此時，如第4圖所示，使成形模11、12之模高40(成形模11、12的高度)一致。

在使用已使該模高40一致之成形模11、12進行壓縮成形的情況，對成形模11、12加熱(成為熱狀態)。在此，因為模製機構部1000之各機構及各部各自以相異之熱膨脹係數發生熱膨脹，所以成形模11、12的模高逐漸變成相異。在模製機構部1000，使用後述之平行度調整機構100，調整模高。

第5圖、第6圖係各自表示成形模11、12之在開模狀態、鎖模狀態的肘節連桿機構10之構造的放大圖。在對成形模11、12施加鎖模力的步驟，從第5圖所示之成形模11、12的開模狀態使滾珠螺桿10F動作，而使各連桿構件轉動至成為第6圖所示之狀態。

在此時，如第7圖所示，包含使滑動板15移動之連桿構件10A的三角形、與包含經由下部板16使中間板14 移動之連桿構件10B的三角形在保持將連桿構件10C作為共同邊之2：1的比之相似形的狀態進行變形。藉此，可一面使滑動板15僅移動距離2L，一面使中間板14僅移動距離L。

在上述之壓縮成形裝置，因為以有效地利用滑動板15之下方空間的方式設置肘節連桿機構10，所以模製機構部1000之足跡變小，而可使壓縮成形裝置小形化。

作為一個變形例，如第8圖所示，想到將連桿構件10A之長度及移動距離、與連桿構件10B之長度及移動距離的比設為3：1。例如，在成形模11、12之大小彼此相異的情況、或在成形模11、12對大小相異之成形品進行成形的情況，可使用第8圖之變形例。

作為其他的變形例，如第9圖所示，亦想到設置2個下部板161、162及其所連結之連桿構件10B1、10B2，並與滑動板15一起對3個成形模積層。在第9圖之例子，在下部板161僅移動距離L之間，下部板162僅移動距離3L，滑動板15僅移動距離4L。依此方式，在對任意之所要個數之壓縮成形用的模具進行積層配置的裝置，可採用將連桿構件10C分割成所要個數，並在從該分割點所選擇之點利用對連桿構件進行銷連結的連桿，對各模具進行鎖模的構成。

此外，在第3圖~第9圖，為了便於圖示及說明，以一條線畫連桿構件10A~10D，但是實際上連桿構件10A~10D係板狀之構件。

而，在本實施形態之模製機構部1000，為了調整成形模11、12之模面的平行度，將平行度調整機構100設置 於4條連結構件18的各條。

第10圖係表示平行度調整機構之構造的剖面圖。如第10圖所示，平行度調整機構100包含：調整構件100A、100B，係安裝於被分割成2個之連結構件18A、18B的各個；及軸100C，係設置成跨在調整構件100A、100B。調整構件100A、100B各自包含箱體110A、110B、蓋體120A、120B、鎖定螺帽130A、130B、上下移動體140A、140B、彈簧150A、150B、及螺絲部160A、160B。六角孔部170形成於軸100C。

鎖定螺帽130A、130B及上下移動體140A、140B係以螺絲固定於螺絲部160A、160B。螺絲部160A、160B由螺距彼此相異之同方向的陽螺絲所構成。例如，螺絲部160A係M10之陽螺絲，螺絲部160B係M16之陽螺絲。依此方式，藉由形成螺距彼此相異之同方向的陽螺絲，在使軸100C轉動時，可調整調整構件100A、100B間的間隙(第10圖所示之G)。軸100C係藉由將六角板手插入六角孔部170而可使其轉動。因為此操作可從例如在第2圖中表示「微調整」之箭號的方向，即與複數個模製單元A所排列之方向正交的方向進行，所以可在不使模製單元A、入口裝載單元B及出口裝載單元C分離下進行。

作為別的構成，亦可藉直徑相同(例如M10)而反向之陽螺絲構成螺絲部160A、160B。可是，因為藉由利用同方向之陽螺絲的螺距差，可使軸100C之每一轉之「間隙G的調整量」變成微小，所以可進行間隙G之微小的調整。

藉由在複數個平行度調整機構100調整調整構件 100A、100B間的間隙，可調整成形模11、12之模面平行度。在本實施形態之壓縮成形裝置，因為可在不使模製單元A、入口裝載單元B及出口裝載單元C分離下調整模面平行度，所以可充分提高成形品之生產力。

又，在第1圖~第4圖所示之例子的模製機構部1000，分別對4支柱19設置調整機構100，而設置4個調整機構100。

此外，因為在成形模11、12之嵌入構件的厚度有差異的情況(例如使相異之零件成形的情況，或即使是同種類的零件，亦各基板的厚度有不均的情況)，所以將彈簧150A、150B設置於調整構件100A、100B。第11圖、第12圖表示吸收藉成形模11、12所成形之構件的厚度之差異的狀態。藉彈簧150A、150B之彈性變形，吸收在成形模11、12之嵌入構件之厚度的差異，而可對成形模11、12施加所要之鎖模力。

更具體而言，在被供給至成形模11、12之構件的厚度有差異的情況，因為連結構件18B被固定於肘節連桿機構10，所以連結構件18A所連結之中間板14上下地動作，而吸收厚度之差異。在移至鎖模狀態時，因為構件比較厚者先被固定，構件比較薄者後被固定，所以在構件之厚度比較薄者的調整構件100A、100B內發生間隙41。第11圖所示之例子的情況係因為下部調整構件100B側之嵌入構件的厚度比較薄，所以在下部調整構件100B側發生間隙41。第12圖所示之例子的情況係因為上部調整構件100A側之嵌入構件的厚度比較薄，所以在上部調整構件100A側發生間隙41。

又，使用調整機構100，亦可與模面平行度之調整 一樣地調整模高。若依據本實施形態之壓縮成形裝置，因為可在不使模製單元A、入口裝載單元B及出口裝載單元C分離下調整模高，所以可充分提高成形品之生產力。

第13圖係表示模製機構部之變形例的圖。如第13圖之模製機構部2000所示，亦可使用包含加壓機構200及小齒輪18α與齒條18β1、18β2的構造，替代肘節連桿機構10。加壓機構200係使中間板14及其所連結之小齒輪18α僅移動距離L，隨著，齒條18β2及滑動板15係僅移動距離2L。

在本變形例，亦藉由設置調整機構100，可進行成形模11、12之模面平行度的調整或模高的調整。

此外，在上述之例子，說明了包括4支柱19及4個調整機構100之壓縮成形裝置，但是本發明之範圍係未限定如此。例如，調整機構100之個數係可任意變更。又，柱19的構造亦未限定為上述者，例如，如第14圖、第15圖之模製機構部3000所示，亦可是在成形模11、12之兩側具備2個側框架19A的構造。在此情況，亦調整機構100包含：調整構件100A、100B，係安裝於被分割成2個之連結構件18A、18B的各個；及軸100C，係設置成跨在調整構件100A、100B。

以上，說明了本發明之實施形態，但是應認為這次所揭示之實施形態係在全部的事項上是舉例表示，不是用以限制者。本發明之範圍係藉申請專利範圍所表示，包含在與申請專利範圍具有同等之意義及範圍內之全部的變更。

10A~10C‧‧‧連桿構件

14‧‧‧中間板

15‧‧‧滑動板

16‧‧‧下部板

17A‧‧‧固定構件

18‧‧‧連結構件

L、2L‧‧‧距離

Claims (9)

1. 一種壓縮成形裝置，包括：模製單元，係用以以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形；及與該模製單元鄰接之單元；該模製單元係包括：第1成形模，係具有第1上模與第1下模；第2成形模，係對該第1成形模在上下方向所積層配置，並具有第2上模與第2下模；上部固定平台，係固定該第1成形模之該第1上模；下部固定平台，係設置於該上部固定平台之下方；中間板，係在該第1成形模之該第1下模與該第2成形模之該第2上模之間固定該兩者之狀態所設置，而且設置成對該上部固定平台及該下部固定平台可在上下方向移動；滑動板，係在固定該第2成形模之該第2下模的狀態所設置’而且設置成對該上部固定平台及該下部固定平台可在上下方向移動；鎖模機構，係對該第1成形模及該第2成形模施加所要之鎖模力；傳達機構，係將該鎖模機構之鎖模力傳達至該滑動板及該中間板；連接部，係連接該傳達機構與該中間板；及調整機構，係設置於該連接部上，並用以調整該第1成形模及該第2成形模之模面平行度或模高； 該調整機構係包含：上側構件；下側構件；及軸，係貫穿上側構件及下側構件，並具有位於該上側構件內之第1部分及位於該下側構件內之第2部分；第1陽螺絲部形成於該軸之第1部分，方向及間距之至少一方與該第1陽螺絲部相異的第2陽螺絲部形成於該軸之第2部分；藉由使該軸轉動，調整該上側構件與該下側構件之間隙，構成為可調整該模面平行度或可調整該模高。
2. 如申請專利範圍第1項之壓縮成形裝置，其中該軸係可從和該模製單元與該鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作而使其轉動，而作成在不使該模製單元與該鄰接之單元分離下可調整該模面平行度或可調整該模高。
3. 如申請專利範圍第1項之壓縮成形裝置，其中該傳達機構係由肘節連桿機構所構成，並包含：第1連桿構件，係使該滑動板移動；第2連桿構件，係使該中間板移動；第3連桿構件，係具有：第1端，係與對該上部固定平台及該下部固定平台不動之固定構件連結成可轉動；及第2端，係與該第1連桿構件連接成可轉動；在該第1端與該第2端之中點的位置將該第2連桿構件連接成可轉動；及第4連桿構件，係連接該第3連桿構件與該鎖模機構。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之壓縮成形裝置，其中該鄰接之單元係包含如下之構件中的至少一個：入口裝載單元，係將嵌入構件與樹脂材料供給至各個該第1 成形模及該第2成形模；出口裝載單元，係包含：取出機構，係從各個該第1成形模及該第2成形模取出成形品；及收容部，係收容該成形品；及其他的該模製單元。
5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之壓縮成形裝置，其中具備複數個該模製單元；將複數個該模製單元設置成可彼此拆裝。
6. 一種模面平行度的調整方法，係調整壓縮成形裝置之模面平行度的方法，而該壓縮成形裝置係包括模製單元及與該模製單元鄰接之單元，並以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形，該方法係包括：供給步驟，係對各個第1成形模及第2成形模供給嵌入構件與樹脂材料，而該第1成形模係具有第1上模與第1下模，該第2成形模係積層配置於該第1成形模之下方，並具有第2上模與第2下模；及調整步驟，係使用設置於連接部上之調整機構來調整該第1成形模及該第2成形模之模面平行度，而該連接部係連接傳達機構與中間板，該傳達機構係用以傳達鎖模機構之鎖模力，該中間板係設置於該第1成形模之該第1下模與該第2成形模之該第2上模之間；在該調整模面平行度之步驟，從和該模製單元與該鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作軸而使其轉動，調整該 模面平行度，而該軸具有方向及間距之至少一方彼此相異的第1陽螺絲部與第2陽螺絲部。
7. 如申請專利範圍第6項之模面平行度的調整方法，其中在不使該模製單元與該鄰接之單元分離下調整該模面平行度。
8. 一種模高的調整方法，係調整壓縮成形裝置之模高的方法，而該壓縮成形裝置係包括模製單元及與該模製單元鄰接之單元，並以樹脂材料對嵌入構件進行壓縮成形，該方法係包括：供給步驟，係對各個第1成形模及第2成形模供給嵌入構件與樹脂材料，而該第1成形模係具有第1上模與第1下模，該第2成形模係積層配置於該第1成形模之下方，並具有第2上模與第2下模；及調整步驟，係使用設置於連接部上之調整機構來調整該第1成形模及該第2成形模之模高，而該連接部係連接傳達機構與中間板，該傳達機構係用以傳達鎖模機構之鎖模力，該中間板係設置於該第1成形模之該第1下模與該第2成形模之該第2上模之間；在該調整模高之步驟，從和該模製單元與該鄰接之單元所排列的方向正交之方向操作軸而使其轉動，調整該模高，而該軸具有方向及間距之至少一方彼此相異的第1陽螺絲部與第2陽螺絲部。
9. 如申請專利範圍第8項之模高的調整方法，其中在不使該模製單元與該鄰接之單元分離下調整該模高。