TWI587585B

TWI587585B - 電性接點及電性連接裝置

Info

Publication number: TWI587585B
Application number: TW104104752A
Authority: TW
Inventors: 澁谷健一
Original assignee: 日本麥克隆尼股份有限公司
Priority date: 2014-06-23
Filing date: 2015-02-12
Publication date: 2017-06-11
Also published as: KR20150146383A; CN105322337A; TW201601384A; JP2016008835A; CN105322337B; JP6404008B2; KR101678146B1

Description

電性接點及電性連接裝置

本發明係有關電性接點及電性連接裝置，例如可運用在與配線基板或半導體積體電路等所具備的電極接觸之電性接點、或具有複數個電性接點之電性連接裝置。

將相向配設的配線基板上的電子電路等予以彼此電性連接之電性接點，係眾所皆知。以這樣的電性接點而言，例如可舉出專利文獻1或專利文獻2所記載者。

專利文獻1記載之電性接點1，如圖22、圖23所示，具有相同形狀的2個接觸銷2、及螺旋彈簧(coil spring)3。接觸銷2，主要具有卡止爪4、卡止孔5、凸緣部6、銷先端部2A。卡止爪4相向設置2個，受到具有可撓性之支撐棒部4A支撐。藉此，使2個卡止爪4彼此接近遠離。卡止孔5，為供另一方的接觸銷2的卡止爪4嵌合之孔，配合卡止爪4的寬度而形成為矩形狀。藉此，2個接觸銷2繞著長度方向的軸錯開90度而於上下方向面對面，並沿著上下方向相對地接近而卡合，如此一來，一方的接觸銷2的2個卡止爪4便卡止於另一方的接觸銷2的卡止孔5的開口，2個接觸銷2被連結。凸緣部6，為受到螺旋彈簧3抵接之部分。2個接觸銷2在分別插入至螺旋彈簧3的狀態下卡合，藉此，螺旋彈簧3的兩端分別抵接至各凸緣部6，而組裝成電性接點1。像這樣組裝成的電性接點1的兩端部，會分別成為與外部的電極等電性連接之銷先端部2A。

此外，專利文獻2記載之電性接點7，如圖24所示般，具有柱塞(plunger)8、螺旋彈簧9。柱塞8形成為細長板狀，在其上部設有承受螺旋彈簧9之擴寬部8A，在該擴寬部8A的上部形成有與電極接觸之端子部8B。在擴寬部8A的下部，形成有上下移動自如地插入至螺旋彈簧9內之芯棒部8C。螺旋彈簧9，其內徑形成為能夠讓芯棒部8C上下移動自如地插入。螺旋彈簧9的下端部側的直徑逐漸變小，直徑最小的下端部係與外部的電極等接觸。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特表2008-516398號公報

[專利文獻2]日本特開2004-152495號公報

專利文獻1記載之電性接點1，若隨著該電性接點1的伸縮而一方的接觸銷2的卡止爪4反覆地接觸另一方的接觸銷2的卡止孔5的周緣，那麼卡止爪4或支撐棒部4A可能因磨耗等而損傷，會發生耐久性不足。

此外，各接觸銷2，其卡止爪4僅卡合於對方側的卡止孔5，彼此的接觸面積小，因此主要負責電性連接的會是螺旋彈簧3。卡止爪4或支撐棒部4A的部分，在插入至螺旋彈簧3內的狀態下，必須撐開而嵌合於對方側的卡止孔5，因此難以將螺旋彈簧3的內徑設計成箍緊接觸銷2。再者，螺旋彈簧3是壓縮彈簧，與接觸銷2的接觸點亦少，因此各接觸銷2與螺旋彈簧3之間的緊貼性會變弱。因此，各接觸銷2的凸緣部6與螺旋彈簧3之接觸部分會成為主要的電流通通路，但接觸面積狹窄而容易引起磨耗、腐蝕等，電性接觸性不佳。此外，接觸銷2的接觸端係呈V字狀的切口，當接觸對象為半球狀的凸塊(bump)電極的情形下，若於V字的深度方向有些微的位置偏差，則電性接觸性會突然變差。

再者，為了實現不同長度的電性接點1，接觸銷2及螺旋彈簧3皆必須運用符合該長度用者。當電性接點1的種類多的情形下，各單元零件所花費成本亦會變高。

專利文獻2記載之電性接點7，由柱塞8及螺旋彈簧9這2個零件所形成，為其優點。但，由於螺旋彈簧9的內徑被設定成能夠讓柱塞8的芯棒部8C上下移動自如地插入之尺寸，因此柱塞8與螺旋彈簧9彼此會時而接觸時而不接觸，電性接觸性不佳。將柱塞8與彈簧9予以電性連接的，主要是柱塞8的擴寬部8A與彈簧9的上端部之接點。因此，接觸面積狹窄，容易因磨耗、腐蝕等引起接觸不良，有電性接觸性不佳而耐久性不足之問題。

此外，其藉由螺旋彈簧9的端部與一方的電極相接，但由於螺旋彈簧9係捲繞成螺旋狀，因此端部的截斷端附近並非水平，在這一點電性接觸性亦不佳。

再者，若為了實現不同長度的電性接點7，而柱塞8及螺旋彈簧9皆運用符合該長度用者，那麼各單元零件所花費成本也會變高。相對於此，若僅針對螺旋彈簧9準備不同長度用的情形下，若是較長的電性接點7，那麼螺旋彈簧9內部沒有柱塞8存在的部分會變長，如果徑方向受到某些外力則容易變形，以電性接點7而言恐無法充分發揮功能。

本發明係有鑑於以上問題點而研發，欲提供一種以較少單元數而能夠實現充分的電性接觸性之電性接點，或運用了這樣的電性接點之電性連接裝置。

第1本發明之電性接點，其特徵為，具備：(1)柱塞兼用螺旋彈簧，為柱塞部和螺旋彈簧部藉由同一線材一體地形成，該柱塞部與第1接觸對象接觸，該螺旋彈簧部於壓縮時會蓄勢而朝伸張方向彈推；及(2)柱塞，為與第2接觸對象接觸之板狀的柱塞，上述柱塞部當中基端側的線材部分與該柱塞的平面電性接觸，且藉由上述螺旋彈簧部而於上述伸張方向可伸縮地受到支撐。

此處，較佳是，上述柱塞，係設有2個而夾持上述柱塞部當中基端側的線材部分。

此外，較佳是，上述柱塞部，具有朝向上述第1接觸對象側之線材部分、及與上述第1接觸對象接觸之線材部分、及遠離上述第1接觸對象側之線材部分；又，較佳是，與上述第1接觸對象接觸之線材部分係以波浪狀延伸，並藉由朝上述第1接觸對象側突出之複數個突出部與上述第1接觸對象接觸。

第2本發明，為具有複數個將第1接觸對象及第2接觸對象間電性接觸之電性接點的電性連接裝置，其特徵為：作為至少一部分的電性接點，係運用了第1本發明之電性接點。

此處，較佳是，除了第1本發明之電性接點(第1電性接點)以外，還運用使用了柱塞之第2電性接點，上述第1電性接點的柱塞與上述第2電性接點的柱塞為同一形狀之物。

按照第1本發明，能夠實現以較少單元數而能實現充分的電性接觸性之電性接點。按照第2本發明，能夠實現運用了第1本發明的電性接點之電性連接裝置。

11‧‧‧電性連接裝置

12‧‧‧被檢查體

13‧‧‧凸塊電極(第2接觸對象)

15‧‧‧配線基板

16‧‧‧下側殼

17‧‧‧上側殼

18‧‧‧框架

19‧‧‧導引板

20‧‧‧訊號波形重視電性接點

22‧‧‧配線基板的接觸墊(第1接觸對象)

62‧‧‧第1柱塞

63‧‧‧第2柱塞

64‧‧‧螺旋彈簧

200‧‧‧第1實施形態之電性接點

201‧‧‧柱塞兼用螺旋彈簧

262‧‧‧柱塞部

263‧‧‧柱塞

264‧‧‧螺旋彈簧部

266‧‧‧結合部

268‧‧‧接觸部

[圖1]第1實施形態之電性接點示意立體圖。

[圖2]第1實施形態之電性連接裝置示意平面圖。

[圖3]第1實施形態之電性連接裝置示意截面圖(圖2的III-III線剖視截面圖)。

[圖4]第1實施形態之電性連接裝置示意截面圖(圖2的IV-IV線剖視截面圖)。

[圖5]第1實施形態之電性連接裝置中的電性接點的安裝部分示意要部放大截面圖，為表示未與被檢查體的電極接觸之狀態的電性接點的正面或側面示意截面圖。

[圖6]第1實施形態之電性連接裝置中的電性接點的安裝部分示意要部放大截面圖，為表示與被檢查體的電極接觸之狀態的電性接點的正面或側面示意截面圖。

[圖7]訊號波形重視電性接點示意正面圖。

[圖8]訊號波形重視電性接點示意側面圖。

[圖9]圖7的IX-IX線剖視截面圖。

[圖10]圖7的X-X線剖視截面圖。

[圖11]訊號波形重視電性接點的第1柱塞示意正面圖。

[圖12]訊號波形重視電性接點的第2柱塞示意正面圖。

[圖13]訊號波形重視電性接點的螺旋彈簧示意正面圖。

[圖14]第1實施形態的電性接點示意正面圖。

[圖15]第1實施形態的電性接點示意側面圖。

[圖16]第1實施形態的電性接點示意平面圖。

[圖17]第1實施形態的電性接點示意底面圖。

[圖18]第1實施形態的電性接點中的柱塞兼用螺旋彈簧示意正面圖。

[圖19]第1實施形態的電性接點中的柱塞兼用螺旋彈簧示意側面圖。

[圖20]第1實施形態的電性接點中的柱塞兼用螺旋彈簧之柱塞部的接觸部形狀例示意說明圖。

[圖21]第1實施形態的電性接點中的柱塞兼用螺旋彈簧之柱塞部的結合部線材所描繪之軌跡例示意說明圖。

[圖22]習知之電性接點(其1)示意立體圖。

[圖23]圖22之電性接點的分解立體圖。

[圖24]習知之電性接點(其2)示意立體圖。

(A)第1實施形態

以下參照圖面，說明本發明之電性接點及電性連接裝置的第1實施形態。

首先參照圖2~圖6，說明運用了第1實施形態的電性接點之第1實施形態的電性連接裝置11。另，第1實施形態的電性連接裝置11，其被檢查體為四角形之物，但即使被檢查體為其他形狀之物，仍可運用本發明。

圖2為第1實施形態之電性連接裝置示意平面圖，圖3為圖2的III-III線剖視截面圖，圖4為圖2的IV-IV線剖視截面圖。此外，圖5及圖6分別為第1實施形態之電性連接裝置中的電性接點的安裝部分示意要部放大截面圖，圖5表示電性接點未與被檢查體的電極接觸之狀態，圖6表示電性接點與被檢查體的電極接觸之狀態。此處，圖5(A)及圖6(A)分別為以可目視電性接點的正面側之方式描繪之截面圖，圖5(B)及圖6(B)分別為以可目視電性接點的側面側之方式描繪之截面圖。另，下文中，遵照圖2~圖6中的上下方向，記述為「上下」。

電性連接裝置11，為用於被檢查體12的通電試驗等之裝置。被檢查體12，例如為積體電路等半導體元件。被檢查體12，於其下面設有複數個凸塊電極13(參照圖5、圖6)。凸塊電極13，為設於被檢查體12的下面之電極。複數個凸塊電極13，在被檢查體12的下面，係以一列、複數列、矩陣狀或其他排列之方式配備。

電性連接裝置11，主要具有配線基板15、下側殼16、上側殼17、框架18、導引板19、電性接點。

第1實施形態之電性連接裝置11，運用了2種類的電性接點。圖5及圖6，揭示安裝著其中一方的電性接點20之狀態。另一方的電性接點200為第1實施形態之電性接點，與電性接點20幾乎同樣地，被安裝於電性連接裝置11中的電性接點的安裝部分。電性接點20，如後述般，其導電性比第1實施形態的電性接點200還良好，主要利用於測定訊號波形中有重疊的部分(以下或將電性接點20稱為訊號波形重視電性接點)。

配線基板15，為支撐下側殼16、上側殼17等之板狀的配線基板。配線基板15的配線，係與對被檢查體12做試驗之試驗機本體(未圖示)的配線連接。配線基板15，為構成試驗機本體側的電極之構件，且電性接點20、200的下端部和設於配線基板15的上面之接觸墊22接觸，而被電性導通。

下側殼16，為在與上側殼17疊合的狀態下用來支撐電性接點20、200之構件。在下側殼16，設有供電性接點20、200的下端部插入之第1支撐孔16A，其具有比電性接點20、200的外徑還稍大之直徑。複數個第1支撐孔16A，分別設於和被檢查體12的下面的各凸塊電極13相對應之位置。在第1支撐孔16A內，形成有承受並支撐電性接點20、200之下側承受部16B。下側承受部16B，係將第1支撐孔16A的下端部的內徑予以縮小而形成。下側承受部16B的內徑被設定為，使得後述訊號波形重視電性接點20的下側支撐肩部73或第1實施形態之電性接點200的下側支撐肩部273鉤住下側承受部16B，且供電性接點20、200的下端部貫通。電性接點20、200的下側支撐肩部73、273鉤住下側承受部16B，藉此，使得電性接點20、200受到下側承受部16B支撐。

下側殼16，被重疊於配線基板15的上側。在配線基板15的上面當中和各第1支撐孔16A相對應的位置，設有接觸墊22，其藉由配線連接至試驗機本體。插入於第1支撐孔16A之電性接點20、200的下端部被推壓而接觸各接觸墊22，而實現電性接觸。

在下側殼16，設有銷頭部嵌合孔23(參照圖3)。該銷頭部嵌合孔23，為用來供導引銷37的頭部39嵌合之孔。銷頭部嵌合孔23的內徑，被設定為與該導引銷37的頭部39的外徑近乎相同之尺寸，使得導引銷37的頭部39沒有游隙地嵌合。

上側殼17，為與下側殼16協作，用來支撐電性接點20、200全體之構件。上側殼17，被重疊於下側殼16，藉由該些下側殼16與上側殼17，將電性接點20、200以電性接點20、200能夠伸縮之狀態予以支撐。在上側殼17，在和下側殼16的第1支撐孔16A相對應之位置，設有第2支撐孔17A。第2支撐孔17A，形成為與第1支撐孔16A的上側開口相同之內徑(比電性接點20、200的外徑還稍大之直徑)，將電性接點20、200可上下移動地收納並支撐於內部。複數個第2支撐孔17A，分別設於和配備於被檢查體12的下面的各凸塊電極13相對應之位置，使得收納著的電性接點20、200的上端部電性接觸至凸塊電極13。

在第2支撐孔17A內，形成有從上側支撐電性接點20、200之上側承受部17B。上側承受部17B，係將第2支撐孔17A的上端部的內徑予以縮小而形成。上側承受部17B的內徑被設定為，使得後述訊號波形重視電性接點20的上側支撐肩部79或第1實施形態之電性接點200的上側支撐肩部279鉤住上側承受部17B，且供電性接點20、200的上端部貫通，藉此，電性接點20、200受到上側承受部17B支撐。

藉由第1支撐孔16A與第2支撐孔17A，構成納入並支撐電性接點20、200全體之電性接點支撐孔27。電性接點20、200，在被納入於電性接點支撐孔27之狀態下，電性接點20、200處於蓄勢狀態(受到外力而縮短之狀態)，而成為電性接點20、200的下端部受到設於配線基板15的上面之接觸墊22推壓之狀態。

在上側殼17，設有銷軸部嵌合孔28(參照圖3)。銷軸部嵌合孔28，為供後述導引銷37的軸部40嵌合之孔。銷軸部嵌合孔28的內徑，被設定為與導引銷37的軸部40的外徑近乎相同之尺寸，將導引銷37的軸部40沒有游隙地嵌合。

框架18，為用來將配線基板15、下側殼16及上側殼17予以一體地固定並支撐，且將導引板19可上下移動地支撐之構件。框架18，主要具有外框部31、固定用凸緣部32、上下移動支撐用凸緣部33(參照圖4)。

外框部31，形成為四角形的框體狀，而圍繞下側殼16、上側殼17及導引板19的周緣部。在外框部31的下面，設有定位用銷(或定位用孔；均未圖示)，在配線基板15的上面，和外框部31側的定位用銷(或定位用孔)相對應，而設於定位用孔(或定位用銷；均未圖示)。藉此，外框部31的下面的定位用銷(或定位用孔)，會與配線基板15的上面的定位用孔(或定位用銷)嵌合，使得外框部31與配線基板15被正確地定位並支撐。在外框部31的四隅，裝配有固定螺絲35(參照圖2)。固定螺絲35，透過外框部31的四隅的貫通孔(未圖示)而旋入配線基板15的螺絲孔(未圖示)，將該些外框部31與配線基板15固定。

固定用凸緣部32，係在外框部31的四角筒狀的開口部的相向之內側面，以彼此相向的方式設有2個。各固定用凸緣部32，形成為彼此朝內側水平延伸之近乎半圓板狀。各固定用凸緣部32的下面的高度(距配線基板15之高度)，被設定為和重疊下側殼16及上側殼17之高度近乎相同值。藉此，便將被重疊於配線基板15上之下側殼16及上側殼17，藉由各固定用凸緣部32與配線基板15予以包夾支撐。此處，將上側殼17與下側殼16放入固定用凸緣部32的下方時，下側殼的下面被設計成和外框部31的下面成為相同。

在各固定用凸緣部32的中央，形成有供導引銷37嵌合之銷孔38。銷孔38的內徑，被設定為與導引銷37的軸部40的外徑近乎相同之尺寸。

導引銷37，具有頭部39與軸部40。頭部39，形成為與下側殼16的銷頭部嵌合孔23的內徑近乎相同之外徑的圓板狀。軸部40，形成為與上側殼17的銷軸部嵌合孔28及固定用凸緣部32的銷孔38的內徑近乎相同之外徑的圓棒狀。

下側殼16的銷頭部嵌合孔23、及上側殼17的銷軸部嵌合孔28、及各固定用凸緣部32的銷孔38，係供導引銷37穿通，藉此設置成使得軸位於同一軸心上。

導引銷37的頭部39嵌合至下側殼16的銷頭部嵌合孔23，軸部40嵌合至上側殼17的銷軸部嵌合孔28及固定用凸緣部32的銷孔38，而進行下側殼16、上側殼17及框架18之定位。將下側殼16及上側殼17，藉由框架18的各固定用凸緣部32的下面與配線基板15從上下予以包夾並支撐於框架18的開口內，藉此，該些配線基板15、下側殼16、上側殼17及框架18彼此被正確地定位並一體地固定。

上下移動支撐用凸緣部33，為用來將導引板19可上下移動地支撐於框架18的開口內之部分。上下移動支撐用凸緣部33，分別形成為四角形的框體狀的框架18中的開口部四隅。各上下移動支撐用凸緣部33，如圖4所示，主要具備板部42、導引螺絲孔43、彈簧孔44。

板部42，為分別設於框架18的外框部31的四隅而與框架18一體化之板材，且被懸架成連絡形成隅的2個框部分。板部42的下面的高度，被設定為和固定用凸緣部32的下面成為相同高度。板部42的上面的高度，被設定為板部42的上面與導引板19的凸緣部54的下面彼此抵接，藉此，使得被檢查體12的凸塊電極13與電性接點20、200的上端部最適當地接觸。具體而言，板部42的上面的高度被設定為，使得被檢查體12的凸塊電極13與電性接點20、200的上端部接觸，而電性接點20、200成為被壓縮之狀態(參照圖6)。

在板部42，設有導引螺絲孔43與彈簧孔44。導引螺絲孔43，為用來將導引螺絲46螺合之螺絲孔。導引螺絲孔43，在各板部42的中央部僅設有1個(參照圖2)。彈簧孔44，為用來支撐彈簧47之孔。彈簧孔44，在各導引螺絲孔43的兩側各設有2個。

導引螺絲46，為用來規範框架18的開口內中的導引板19之位置，且使導引板19可上下移動之螺絲。導引螺絲46，由頭部48、導引部49、螺紋桿部50所構成。

頭部48，為壓住導引板19防止脫落之部分。在頭部48的上面，形成有供一字起子卡合之一字溝51。

導引部49，為引導導引板19上下移動之部分。導引部49設於頭部48與螺紋桿部50之間，嵌合至導引板19的導引孔59而引導導引板19上下移動。導引部49的長度被設定為，在頭部48的下面與導引板19接觸且被支撐之狀態(導引板19被彈簧47往上推之狀態)下，使得電性接點20、200的上端部被納入於導引板19的縮小部57。圖5揭示電性接點20、200的上端部被納入於導引板19的縮小部57之狀態。

螺紋桿部50，為用來將導引螺絲46固定於板部42之部分。螺紋桿部50，與板部42的導引螺絲孔43螺合而將導引螺絲46固定於板部42。

彈簧47，為用來彈性地支撐導引板19之構件。彈簧47的上端，被安裝於板部42的彈簧孔44而與導引板19的凸緣部54的背面抵接。計8根的彈簧47，係將被4根的導引螺絲46的導引部49可上下移動地支撐之導引板19從下側予以彈推。藉此，導引板19的凸緣部54在接觸至導引螺絲46的頭部48的下面以前會朝上方被往上推，呈現接觸前的待命狀態。

導引板19，為用來當將被檢查體12安裝至電性連接裝置11時，將被檢查體12予以定位並支撐，且使被檢查體12的各凸塊電極13與相對應之電性接點20、200整合之構件。導引板19，主要由納入凹部53、凸緣部54所構成。

納入凹部53，為納入被檢查體12並予以支撐之部分。納入凹部53，形成為近乎四角形的皿狀。納入凹部53的底部的內側形成為四角形，其尺寸被設定為比被檢查體12的外形略大。此處，由於被檢查體12為四角形，故納入凹部53的底部的內側亦形成為四角形，但當被檢查體12為其他形狀的情形下，納入凹部53的底部的內側亦會成為配合被檢查體12之形狀。

設計成在被檢查體12安裝至納入凹部53的底部的內側之狀態下，做被檢查體12的定位。在納入凹部53的底板部55，設有多數個導引孔56。導引孔56，為用來引導並納入被檢查體12的各凸塊電極13之開口。各導引孔56，形成為比凸塊電極13還略大，而能夠容易地納入凸塊電極13。藉由被檢查體12被納入至納入凹部53，被檢查體12的各凸塊電極13，便能夠位於各導引孔56的內部的上側。

在導引孔56的下端部，形成有縮小部57，其不讓凸塊電極13通過，且納入電性接點20、200的上端部。縮小部57，容許電性接點20、200的上端部貫通並納入，使得電性接點20、200可與凸塊電極13接觸。

在納入凹部53的上側開口53A的下側形成有傾斜面53B。傾斜面53B，為用來引導被檢查體12以導向納入凹部53的底部。

凸緣部54，形成於和框架18的上下移動支撐用凸緣部33相對應之納入凹部53的四隅的位置。在各凸緣部54，設有供導引螺絲46的頭部48抵接之魚眼座(spot facing)部58。在魚眼座部58，設有可上下移動地嵌合至導引螺絲46的導引部49之導引孔59。導引螺絲46的導引部49嵌合至凸緣部54的導引孔59而可上下移動地受到支撐，藉由凸緣部54之支撐，以導引板19被彈簧47朝上方彈推。旋轉導引螺絲46，將安裝著被檢查體12之納入凹部53朝下方推壓，藉此導引板19會被下壓，被檢查體12的凸塊電極13便與電性接點20、200的上端部接觸而能夠進行檢查。

如上述般，第1實施形態之電性連接裝置11，運用了2種類的電性接點20及200。亦可設計成，在導引板19的導引孔56的上面附近，或在上側殼17的上側承受部17B的上面附近等設置標記，以便表示與該位置的凸塊電極13接觸之電性接點是電性接點20或電性接點200的哪一種。舉例來說，作為標記，可舉出不同著色或記號(「○」、「△」等)或突起形狀等，此外，亦可設計成僅對其中一方給予標記，另一方則不給予標記以便可識別。

以下，首先說明訊號波形重視電性接點20之構成，針對第1實施形態的電性接點200，則著重說明和訊號波形重視電性接點20不同之處。

圖7~圖13分別為訊號波形重視電性接點20的全體或構成單元示意投影圖。訊號波形重視電性接點20，具有1個第1柱塞62、2個第2柱塞63、1個螺旋彈簧64。

第1柱塞62，為板狀的柱塞，用來與訊號波形重視電性接點20所接觸之2構件當中的第1接觸對象亦即電極等(當運用於第1實施形態之電性連接裝置11 的情形下為配線基板15的接觸墊22)接觸。第1柱塞62，形成為具有導電性，其形成方法並無限定。舉例來說，可藉由對板材做切削加工或衝床加工等來形成第1柱塞62，或是亦是利用微影技術來形成第1柱塞62。若形成之原始材料不是導電性材料，則亦可在外形上已形成而成為第1柱塞62之前的狀態下，藉由鍍覆或塗布來附著導電性材，以完成第1柱塞62。後述第2柱塞63之形成方法，亦如同第1柱塞62之形成方法。

第1柱塞62，如圖11所示，大致分為結合部66、彈簧承受部67、接觸片68。第1柱塞62的長度被做成為，當組裝至電性連接裝置11時，和從配線基板15的接觸墊22至上側殼17的上面之高度尺寸近乎相等(參照圖5(A))。

結合部66，當第1柱塞62與2個第2柱塞63彼此結合時係直接被疊合，為用來將第1柱塞62與第2柱塞63電性接觸之部分。結合部66形成為長的板狀，以便能夠使第2柱塞63以廣泛的面積穩定地接觸。結合部66的部分，能夠分為結合棒部69、先端插入部70、防止脫離部71。

結合棒部69，為用來受到螺旋彈簧64支撐之部分，其被設定為比螺旋彈簧64還稍長的尺寸。結合棒部69的寬度尺寸，被設定為和螺旋彈簧64的緊貼小徑部84的內徑近乎相同尺寸。結合棒部69的截面形狀的四隅部分和螺旋彈簧64的緊貼小徑部84的內徑部相接。螺旋彈簧64的緊貼小徑部84的內徑部的圓形狀，與結合棒部69的外接圓一致或呈略小，以螺旋彈簧64的緊貼小徑部84略箍緊結合棒部69之狀態組裝(參照圖9、圖10)。

先端插入部70，為組立時用來引導結合棒部69插入至螺旋彈簧64內之部分。先端插入部70，形成於結合棒部69的先端部(圖11中的上端部)。先端插入部70，具有平緩而彎曲的傾斜面，以免對於插入方向造成妨礙，而能夠容易地插入至螺旋彈簧64內。先端插入部70，當組裝時，係位於2個第2柱塞63的接觸片77之間，發揮使接觸片77的突起77A的間隔穩定之功用。接觸片77的突起77A的間隔，係受到先端插入部70的厚度，也就是結合部66的厚度所規範，結合部66的厚度尺寸，是考量接觸片77的突起77A的間隔而訂定。

防止脫離部71，為當先端插入部70插入至螺旋彈簧64內時，用來避免先端插入部70從螺旋彈簧64脫離之部分。防止脫離部71，形成於和彈簧承受部67相反邊之端部。防止脫離部71，係使先端插入部70的基端部朝兩側突起而形成。朝兩側突起之防止脫離部71的寬度，被設定為比螺旋彈簧64的端部的緊貼小徑部84的內徑還略超出(參照圖9)。

彈簧承受部67，為用來承受螺旋彈簧64之部分。彈簧承受部67，為設於結合部66與接觸片68之交界部分的階部。相對於結合部66的寬度而言，接觸片68寬度形成得較寬，它們的交界的階部成為彈簧承受部 67。螺旋彈簧64的端部的緊貼小徑部84抵接彈簧承受部67。藉由螺旋彈簧64的彈力，第1柱塞62以電性接點22的單元而言係以容許些微上下移動的方式受到支撐。

接觸片68，為用來與該電性接點20的第1接觸對象(配線基板15的接觸墊22)接觸而電性連接之部分。接觸片68，接連著結合部66的基端側(圖11的下側)而一體地設置。接觸片68，係藉由具有比下側殼16的第1支撐孔16A及上側殼17的第2支撐孔17A的內徑還稍小的寬度尺寸之近乎矩形狀的矩形板狀部，以及貫通下側殼16的下側承受部16B且接連著矩形板狀部而寬度比矩形板狀部還小之尺寸的先端部來形成。接觸片68的先端部，形成為曲線狀以便穩定地接觸平坦面狀的配線基板15的接觸墊22。在接觸片68，於矩形板狀部與先端部之交界形成有下側支撐肩部73。下側支撐肩部73，係鉤住下側殼16的下側承受部16B，避免接觸片68從第1支撐孔16A脫落。在下側支撐肩部73鉤住下側殼16的下側承受部16B之狀態下，接觸片68的端部(圖5、圖9的下端部)從第1支撐孔16A朝下方突出。

第2柱塞63，為板狀的柱塞，其與第1柱塞62協作，用來使2個接觸對象間，亦即第1接觸對象(配線基板15的接觸墊22)與第2接觸對象(凸塊電極13)之間電性導通。第2柱塞63，是以第2接觸對象(凸塊電極13)作為直接的接觸對象。

第2柱塞63，如圖12(A)所示，大致能夠分成結合部75、彈簧承受部76、接觸片77。此處，圖12(A)揭示第2柱塞63本身，圖12(B)及(C)則揭示第2柱塞63的變形例。

2個第2柱塞63包夾第1柱塞62，在該狀態下藉由螺旋彈簧64而被組裝，構成該訊號波形重視電性接點20。在2個第2柱塞63的結合部75相向之狀態下，包夾住第1柱塞62的結合部66。在1個第1柱塞62與2個第2柱塞63電性連接之狀態下，各柱塞62、63分別與接觸墊22及凸塊電極13接觸，使接觸墊22及凸塊電極13間電性導通。

2個第2柱塞63具有同一形狀。藉由使同一形狀的第2柱塞63相向來構成該訊號波形重視電性接點20，便能對第2接觸對象(凸塊電極13)進行良好的接觸。2個第2柱塞63各者，即使在第1柱塞62的夾持狀態下仍能彼此獨立地滑動。就算第2接觸對象(凸塊電極13)的形狀是球狀形狀等這類會因些微的位置偏差而造成接觸高度等變化之形狀，也因為可做獨立的滑動，故各第2柱塞63的上下方向位置會追蹤該接觸高度的變化等，而能夠提高電性接觸的確切性。

結合部75，當第1柱塞62與第2柱塞63彼此結合時，為用來與第1柱塞62的結合部66疊合而電性接觸之部分。2個第2柱塞63的結合部75將第1柱塞62的結合部66從兩側夾持，使第1柱塞62與第2柱塞63電性接觸。結合部75，形成為長的板狀，以便能夠以盡可能廣泛的面積來實現與第1柱塞62的結合部66之接觸。結合部75，由結合棒部80、先端插入部81、防止脫離部82所構成。

結合棒部80，為用來在夾持著第1柱塞62的結合部66之狀態下受到螺旋彈簧64支撐之部分，其被設定為比螺旋彈簧64還稍長之尺寸。結合棒部80的截面尺寸(寬度、厚度尺寸)係被選定為，第1柱塞62的結合棒部69與夾住它之2個結合棒部80所形成之以橫截面觀察時計8個角隅部分(參照圖9)，會和螺旋彈簧64的緊貼小徑部84的內徑部內接之程度的尺寸。換言之，螺旋彈簧64的緊貼小徑部84的內徑係被設定為，會成為結合棒部80、69、80結合而成之截面形狀的外接圓之尺寸，而被設計成將結合棒部80、69、80的結合體略箍緊之狀態(參照圖9、圖10)。為了成為這樣的箍緊狀態，結合棒部80的寬度尺寸，係呈比第1柱塞62的結合棒部69的寬度尺寸還窄之尺寸。

先端插入部81，為用來引導結合棒部80插入至螺旋彈簧64內之部分。先端插入部81，形成於比結合棒部80還靠先端側(圖12中的下側)。先端插入部81，具有對於插入方向不造成妨礙之外形，以便能夠順暢地插入至螺旋彈簧64內。舉例來說，在第1柱塞62的結合棒部69與其中一方的第2柱塞63的結合棒部80事先插入至螺旋彈簧64內之狀態下，最後另一方的第2柱塞63的結合棒部80被插入至螺旋彈簧64內，此時，使得另一方的結合棒部80的先端插入部81能夠順暢地插入至螺旋彈簧64內。

防止脫離部82，為當先端插入部81插入至螺旋彈簧64內時，用來避免該先端插入部81從螺旋彈簧64脫離之部分。防止脫離部82，設於先端插入部81的基端部(結合棒部80與先端插入部81之交界部分)。防止脫離部82，係使先端插入部81的基端部朝兩側突起而形成。該朝兩側突起之防止脫離部82的寬度尺寸，被設定為當組合完成時會比螺旋彈簧64的端部的緊貼小徑部84的內徑還略超出(參照圖10)。亦即，在2個結合棒部80重疊於第1柱塞62的結合棒部69的兩側之狀態下，位於疊合於結合棒部69的兩側之2個防止脫離部82的外側之4個角隅部(圖10所示位於防止脫離部82的外側之各2個角隅部)，係被設定為比螺旋彈簧64的端部的緊貼小徑部84的內徑還略超出。

彈簧承受部76，為用來與螺旋彈簧64的一端抵接並承受其彈推力之部分。彈簧承受部76，為設於結合部75與接觸片77之交界部分的階部。相對於結合部75的寬度而言，接觸片77寬度形成得較寬，形成交界之具有寬度差的部分(階部)成為彈簧承受部76。藉由螺旋彈簧64的端部的緊貼小徑部84抵接至彈簧承受部76，第2柱塞63於電性接點22內會被螺旋彈簧64可滑動地支撐。

接觸片77，為用來與第2接觸對象(凸塊電極13)接觸而電性連接之構件。接觸片77，接連著結合部75的基端側(圖12的上側)而一體地設置。接觸片77，係藉由具有寬度尺寸為比上側殼17的第2支撐孔17A的內徑還稍小的尺寸之近乎矩形板狀部，以及貫通上側殼17的上側承受部17B而伸入至導引板19的縮小部57之比矩形板狀部的寬度尺寸還小之寬度尺寸的先端部來形成。在接觸片77，於矩形板狀部與先端部之交界形成有上側支撐肩部79。上側支撐肩部79，係鉤住上側殼17的上側承受部17B，避免接觸片77從第2支撐孔17A拔出。在上側支撐肩部79鉤住上側殼17的上側承受部17B之狀態下，接觸片77的上端部(參照圖12)從第2支撐孔17A朝上方突出。

各接觸片77的上端部先端，形成有2個突起狀。亦即，接觸片77的先端的中央呈U字狀窪陷而形成凹部，在凹部的兩側形成有2個突起77A。又，在突起77A形成有推拔面77B(參照圖8)。藉此，2個突起77A分別形成為2個刀尖狀。上述夾著凹部而相向之2個推拔面77B所造成的空間，係作用成為納入凸塊電極13的頂部的隆起之空間。藉此，在凸塊電極13與第2柱塞63接觸時，凸塊電極13的頂部側會被納入2個推拔面77B所造成的空間，即使凸塊電極13與第2柱塞63的先端接觸，也能防止被過度壓扁。當2個第2柱塞63夾持第1柱塞62時，推拔面77B係被配設於可從周看見之外側(參照圖8)。計4個突起77A，確實地接觸凸塊電極 13，並以其接觸點稍微刺向凸塊電極13，以便確實地電性接觸。

第2柱塞63，如圖12(B)及(C)所示，亦可設計成導入結構上的巧思(狹縫)，以使2個突起77A容易朝第2柱塞63的寬度方向擴展。

螺旋彈簧64，如圖13所示，為包覆第1柱塞62及第2柱塞63的結合棒部69、80的外周，各端部與各彈簧承受部67、76各自抵接並以相對於各柱塞62、63而言容許上下移動之方式予以支撐，使第1柱塞62及第2柱塞63間電性導通之構件。在螺旋彈簧64的兩端部間，第1柱塞62及第2柱塞63的結合部66、75是以疊合的狀態受到支撐。

螺旋彈簧64，形成為中間部呈大徑而兩端部呈小徑。中間部的直徑係被選定為，不會與第1柱塞62的結合棒部69及夾住它之2個第2柱塞63的結合棒部80所形成的截面形狀抵接之大小(參照圖9)，中間部為發揮伸縮之螺旋彈簧的功能之部分。中間部的外徑，被設定為比第1柱塞62及第2柱塞63的最大寬度尺寸還稍大。螺旋彈簧64當中小徑的兩端部成為緊貼小徑部84。緊貼小徑部84的內徑係被設定為，比外接於第1柱塞62的結合棒部69及夾住它之2個第2柱塞63的結合棒部80所形成的截面形狀之外接圓的直徑還略小。

訊號波形重視電性接點20，是將1個第1柱塞62與2個第2柱塞63，在使各自之接觸片68、77朝向相反方向而將結合部66、75疊合之狀態下，藉由螺旋彈簧64合為一體，並在各彈簧承受部67、76的位置將螺旋彈簧64卡止，使第1柱塞62及第2柱塞63不可遠離地且可滑動地組裝而成。

接下來，說明第1實施形態之電性接點200的構成。圖1、圖14~圖19分別為第1實施形之電性接點200的全體或構成單元示意立體圖或投影圖。

第1實施形態之電性接點200，具有2個柱塞263、1個柱塞兼用螺旋彈簧201。

第1實施形態之電性接點200中的2個柱塞263，和訊號波形重視電性接點20中的2個第2柱塞63為同一或同樣之物。因此，省略柱塞263的詳細構成的說明(參照圖12)。當第1實施形態之電性接點200中的柱塞263，與訊號波形重視電性接點20中的第2柱塞63為同一之情形下，對於第1實施形態之電性接點200與訊號波形重視電性接點20能使零件共通化，有助於削減成本。

以下說明中，作為對於柱塞263的各部之符號，係使用比和第2柱塞63中相對應之部分的符號還大上「200」之符號，以便特定柱塞263的各部單元。

柱塞兼用螺旋彈簧201，為藉由此1構件，而同時發揮訊號波形重視電性接點20中的第1柱塞62與螺旋彈簧64的功能之構件。

柱塞兼用螺旋彈簧201，具有柱塞部262及螺旋彈簧部264。

柱塞部262，為和訊號波形重視電性接點20中的第1柱塞62發揮同樣功能之部分。柱塞部262，為用來與第1實施形態的電性接點200所接觸之2構件當中的第1接觸對象(當運用於第1實施形態之電性連接裝置11的情形下為配線基板15的接觸墊22)接觸之部分，構成柱塞部262之線材部分係設於同一平面上。該平面，能夠對應到訊號波形重視電性接點20當中設有第1柱塞62的板材之平面。柱塞部262，具有結合部266及接觸部268。

接觸部268，為與該電性接點200的第1接觸對象(配線基板15的接觸墊22)接觸而電性連接之部分。接觸部268，具有如同使從螺旋彈簧部264接續之線材，沿著第1柱塞62中的接觸片68的外形匍匐而成之形狀，其形狀被做成和接觸片68的外形近乎一致。因此，亦具備下側支持肩部273，下側支撐肩部273，係鉤住下側殼16的下側承受部16B，避免接觸部268從第1支撐孔16A無謂地突出。接觸部268的先端部形狀，不限於圖18所示者，亦可具有如圖20示例這樣其他的形狀。圖20(A)揭示以2點接觸之先端部形狀例子，圖20(B)揭示以直線狀接觸之先端部形狀例子，圖20(C1)及圖20(C2)揭示一部分從線材延伸之平面超出，以增加接觸長度之先端部形狀例子。

結合部266，為在螺旋彈簧部264的內部空間內受到2個柱塞263夾持，使柱塞部262與2個柱塞263電性結合之線材部分。構成結合部266之線材，係從構成接觸部268之線材接續。凡是以被2個柱塞263夾持之方式在上述平面上使線材以直線狀或曲線狀延伸來形成結合部266皆可，線材所描繪之軌跡並無限定。圖21揭示結合部266的線材所描繪之軌跡的數例。圖21(A)揭示從接觸部268將線材略微拉出來做成結合部266的例子。圖21(B)揭示從接觸部268將線材朝上方以波浪狀拉出來做成結合部266的例子。圖21(C)揭示從接觸部268將線材朝上方以直線狀拉出來做成結合部266的例子。如圖21(B)~圖21(C)所示這樣，在接觸部268的上方保有一定程度長度之結合部266的長度，係被選定為夾持結合部266之柱塞263的結合棒部280的長度以下。

螺旋彈簧部264，為支撐2個柱塞263，且於壓縮時，將柱塞263朝上方，將從自身接續之柱塞部262的接觸部268朝下方彈推之物。螺旋彈簧部264，形成為上端部及中間部呈大徑而下端部呈小徑。上端部及中間部的直徑係被選定為，不會與柱塞262的結合部266及夾住它之2個柱塞263的結合棒部280所形成的截面形狀抵接之大小(參照圖16)。螺旋彈簧部264的上端的線材，是以被包夾於2個柱塞263之間之方式，於將從上方觀察上端部及中間部時的圓形劃成兩份之線(直徑)上延伸(參照圖16)。中間部，為發揮伸縮的螺旋彈簧之功能的部分。螺旋彈簧部264當中小徑的下端部成為緊貼小徑部284。緊貼小徑部284，為藉由小徑將柱塞部262及夾持它之作為2個柱塞263的部分予以箍緊(參照圖17)，將柱塞部262及柱塞263相互可滑動地支撐之部分。

第1實施形態之電性接點200中，是僅在螺旋彈簧部264的下端部設置緊貼小徑部284，但亦可設計成在螺旋彈簧部264的上端部或中間部的一部分等也設置緊貼小徑部，以增加將柱塞部262及柱塞263相互可滑動地支撐之部分，以便能夠進行更穩定的支撐。

如以上般構成之訊號波形重視電性接點20或第1實施形態之電性接點，係如下述般使用。

首先，被檢查體12被安裝至電性連接裝置11。此時，被檢查體12被安裝於導引板19的納入凹部53。亦即，被檢查體12，是沿著上側開口53A的傾斜面53B一面被定位一面被安裝至底板部55。藉此，被檢查體12的凸塊電極13便被納入至底板部55的導引孔56。此外，訊號波形重視電性接點20的接觸片77的上端部或第1實施形態之電性接點200的接觸片277的上端部，會被納入至縮小部57。

在此狀態下，若被檢查體12被壓下，則各凸塊電極13會與訊號波形重視電性接點20中的2個第2柱塞63的突起77A接觸，或與第1實施形態之電性接點200中的2個柱塞263的突起277A接觸，各電性接點20、200會被壓縮(例如參照從圖5狀態變化至圖6狀態)。

當接觸片77、277的先端的突起77A、277A即將接觸凸塊電極13時，突起77A、277A將會在凸塊電極13的球面上朝圓周方向滑開，朝彼此互相遠離的方向移動之力起作用，確實地接觸凸塊電極13。

在訊號波形重視電性接點20被壓縮的狀態下，可滑動地受到夾持之第1柱塞62及第2柱塞63間會確實地電性接觸。此外，在第1實施形態之電性接點200被壓縮的狀態下，可滑動地受到夾持之柱塞兼用螺旋彈簧201的柱塞部262，會與柱塞263之間電性接觸。

此處，由於2個第2柱塞63或2個柱塞263是呈各自獨立滑動，因此就算像是當凸塊電極13變形的情況等對於2個第2柱塞63的突起77A或2個柱塞263的突起277A之接觸部分的高度不同的情形下，2個第2柱塞63或2個柱塞263仍會追蹤其形狀而一面錯開一面接觸。

藉此，2個接觸對象(配線基板15的接觸墊及凸塊電極13)間會藉由訊號波形重視電性接點20或第1實施形態之電性接點200而電性連接。在此狀態下，便透過訊號波形重視電性接點20或第1實施形態之電性接點200在2個接觸對象間傳輸電性訊號。

訊號波形重視電性接點20中，第1柱塞62及第2柱塞63皆形成為平板狀，藉由面接觸來授受電性訊號。另一方面，第1實施形態之電性接點200中，柱塞兼用螺旋彈簧201的柱塞部262是由線材所形成，而柱塞263形成為平板狀，是藉由線接觸來授受電性訊號。因此，從電性訊號授受的觀點看來，可以說訊號波形重視電性接點20的性能會比第1實施形態之電性接點200來得高。

在運用了第1實施形態之電性連接裝置11的檢查裝置中，從被檢查體12讀入的訊號，有些是訊號波形的形狀的重要度較大之訊號，另有些是相較於訊號波形而言在任意時間點下的邏輯(「1」或「0」)或定電壓值或定電流值的重要度較大之訊號(數位訊號等)。亦即，有些訊號對於2個接觸對象間之傳輸要求嚴格的精度，另有些訊號對於精度要求較低。第1實施形態之電性連接裝置11中，在傳輸前者的訊號之處會運用訊號波形重視電性接點20，在傳輸後者的訊號之處則運用第1實施形態之電性接點200。

按照第1實施形態之電性接點200，能夠發揮以下效果。

按照第1實施形態之電性接點200，藉由柱塞兼用螺旋彈簧這1個構件來發揮柱塞的功能及螺旋彈簧的功能，因此能夠減少零件數。其結果，能夠預期有簡易的組立工程或低價化。

此外，柱塞兼用螺旋彈簧當中與第1接觸對象接觸之部分，具有和柱塞近似之外形形狀，故與接觸對象之接觸能夠做得良好。如上述般，若按照以專利文獻2 記載之螺旋彈簧與接觸對象接觸之技術，則是以螺旋線材的端部來與接觸對象接觸，因此成為接觸不佳之物。

又，按照第1實施形態之電性接點200，作為該電性接點200中的柱塞263，亦可運用和訊號波形重視電性接點20中的第2柱塞63相同之構件，從這點看來也可使其價廉。

再者，按照第1實施形態之電性接點200，當欲實現長度不同的第1實施形態之電性接點200的情形下，只要改變柱塞兼用螺旋彈簧201的長度(例如接觸部的長度)便可因應，而能夠在不同長度的電性接點中共用柱塞263。此外，藉由選定柱塞兼用螺旋彈簧201的線材的直徑，能夠容易地選定2個柱塞263間的間隔。

此外，按照第1實施形態之電性接點200，作為與第1接觸對象之接觸部分，係設計成運用將線圈線材彎折而形成的接觸部，故先端形狀的自由度高，能夠運用和接觸對象的形狀等相對應之先端形狀。

按照第1實施形態之電性連接裝置11，係因應測定時流通之訊號的性質等來分別使用訊號波形重視電性接點20及第1實施形態之電性接點200，故在不太重視訊號波形之處的2構件的接觸對象間能夠運用電性接點200，而能夠視各處來運用適合該處的品質之電性接點。其結果，能夠使第1實施形態之電性連接裝置11成為價廉之物。

(B)其他實施形態

上述第1實施形態之說明中雖亦提及了種種變形實施形態，但能夠進一步舉出以下示例之變形實施形態。

第1實施形態之電性連接裝置11中，訊號波形重視電性接點20及第1實施形態之電性接點200係混雜存在，但當然亦可以裝載之電性接點全部為第1實施形態之電性接點200的方式來構成電性連接裝置。

上述當中，揭示了設置2個第2柱塞63及1個第1柱塞62而成之訊號波形重視電性接點20、或2個柱塞263及1個柱塞兼用螺旋彈簧201中的柱塞部262之第1實施形態之電性接點200，但與第1接觸對象或第2接觸對象連接之柱塞或柱塞部亦可設計成各自設置1個。在此情形下，只要考量各1個的柱塞或柱塞部來選定螺旋彈簧64或柱塞兼用螺旋彈簧201的兩端或一端的緊貼小徑部之直徑，並設計成能夠支撐即可。反之，與第1接觸對象連接之柱塞有1個，而與第2接觸對象連接之柱塞或柱塞部有2個亦可。以線圈線材來構成2個柱塞部的情形下，可構成為將相當於接觸部的部分設計成於上下方向繞2圈。

本發明之電性接點，能夠使用於所有和配線基板或半導體積體電路等所配備的電極等接觸之裝置。此外，本發明之電性連接裝置，為至少一部分使用了本發明之電性接點之裝置，裝置的用途並不限於檢查裝置。