TWI585466B - 偏振光照射裝置 - Google Patents

Description

偏振光照射裝置

本發明是關於一種用於液晶面板製造等的偏振光照射裝置。

作為在製造液晶面板等時，進行對液晶面板的配向膜或視角補償膜的配向層等的配向處理時的技術，有通過對配向膜照射規定波長的偏振光來進行配光的、被稱作所謂光配向的技術。作為用以進行該光配向的裝置，例如提出有組合著棒狀(bar-like)燈與具有線柵(wire grid)狀的格柵的偏振元件的偏振光照射裝置。

該偏振光照射裝置具有光照射部，該光照射部包括：放射光配向處理所需的波長的光即紫外線的棒狀燈，及將來自棒狀燈的紫外線朝向工件反射並聚光的聚光鏡。偏振光照射裝置在該光照射部的光出射側還具備作為偏振元件的線柵型偏振元件。由此，來自光照射部的光在由線柵型偏振元件偏振後被照射至工件，從而進行光配向處理。

[現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-265290號公報

如所述般的偏振光照射裝置使光入射至線柵型偏振元件等偏振板，並將經偏振的光照射至工件，因此為了高效地向工件照射光，有效的是增大偏振板。然而，偏振板可製作的尺寸存在限制，難以大型化，因此現狀為使棒狀燈正上方的反射板的形狀在棒狀燈的軸心方向觀察時成為橢圓形狀，藉此成為聚光型，從而減少光的損耗，但即便如此也難以獲得足夠的光量。

本發明鑒於所述情況而完成，目的在於提供可增大從裝置出射的光的光量而不會使偏振板大型化的偏振光照射裝置。

本發明的偏振光照射裝置包括光源、主反射板、偏振板、以及輔助反射板。光源射出包含紫外線的光。主反射板對從光源射出的光的配光進行控制。偏振板相對於主反射板，配設在由主反射板而使配光被控制的光的前進方向側，並且所述偏振板入射從光源射出的光與由主反射板而使配光被控制的光而出射偏振光。輔助反射板配設在主反射板與偏振板之間，並且將從光源射出的光及由主反射板而使配光被控制的光中的不朝向偏振板的光反射至主反射板側。

根據本發明，可增加從裝置出射的光的光量而不會使偏振板大型化。

1、40‧‧‧偏振光照射裝置

5‧‧‧光源

6‧‧‧角棒

7‧‧‧半導體元件

10‧‧‧主反射板

11‧‧‧主反射面

12‧‧‧空隙部

20‧‧‧輔助反射板

21‧‧‧輔助反射面

22‧‧‧開口部

25‧‧‧輔助反射板框架

30‧‧‧偏振板

31‧‧‧偏振板框架

35‧‧‧帶通濾波器

36‧‧‧濾波器框架

C‧‧‧燈中心

L1、L2、L3、L4、L3'、L4'‧‧‧光

SE‧‧‧理想橢圓形狀

SR‧‧‧理想圓形狀

W‧‧‧工件

X、Y、Z‧‧‧軸

Y1‧‧‧箭頭

圖1是表示一實施例的偏振光照射裝置的構成的分解立體圖。

圖2是圖1所示的偏振光照射裝置的X軸方向觀察的剖面圖。

圖3是表示圖1所示的偏振光照射裝置中的光的照射狀態的說明圖。

圖4是關於進行試驗的偏振光照射裝置的條件的說明圖。

圖5是關於進行試驗的偏振光照射裝置的輔助反射板的說明圖。

圖6是表示一實施例的偏振光照射裝置的變形例的說明圖。

圖7是表示一實施例的偏振光照射裝置的變形例的說明圖。

圖8是關於未設置輔助反射板的偏振光照射裝置的說明圖。

以下說明的實施例的偏振光照射裝置1包括光源5、主反射板10、偏振板30、以及輔助反射板20。光源5射出包含紫外線的光。主反射板10對從光源5射出的光的配光進行控制。偏振板30相對於主反射板10，配設在由主反射板10而使配光被控制的 光的前進方向側，並且入射從光源5射出的光與由主反射板10而使配光被控制的光而出射偏振光。輔助反射板20配設在主反射板10與偏振板30之間，並且將從光源5射出的光及由主反射板10而使配光被控制的光中的不朝向偏振板30的光反射至主反射板10側。

而且，以下說明的實施例的偏振光照射裝置1還包括僅透過特定波長的光的帶通濾波器35，帶通濾波器35配設在輔助反射板20與偏振板30之間。

而且，以下說明的實施例的偏振光照射裝置1中，主反射板10是使從光源5射出的光向偏振板30聚光的聚光型的反射板，輔助反射板20將從光源5照射至輔助反射板20的光朝向光源5反射。

而且，以下說明的實施例的偏振光照射裝置1中，光源5形成為線狀，沿著光源5的軸心的方向觀察輔助反射板20時的輔助反射面21的形狀，由以光源5的軸心為中心的圓形的一部分形狀而形成。

[實施方式]

其次，根據附圖對實施例的偏振光照射裝置進行說明。圖1是表示一實施例的偏振光照射裝置的構成的分解立體圖。圖2是圖1所示的偏振光照射裝置的X軸方向觀察的剖面圖。該圖所示的偏振光照射裝置1例如用於液晶面板的配向膜或視角補償膜的配向膜等的製造中。照射至工件W的表面的紫外線的偏振軸的 基準方向根據工件W的構造、用途、或者所要求的規格而適當設定。以下，將工件W的寬度方向稱作X軸方向，將與X軸方向正交且工件W的長邊方向(也稱作搬送方向)稱作Y軸方向，將與Y軸方向及X軸方向正交的方向稱作Z軸方向。另外，關於與Z軸平行的方向，將表示Z軸方向的箭頭的前端朝向的方向稱作上方，將與表示Z軸方向的箭頭的前端朝向的方向相向的方向稱作下方。

本實施例的偏振光照射裝置1包括：光源5，射出包含紫外線的光；主反射板10，對從光源5射出的光的配光進行控制；以及偏振板30，相對於主反射板10配設在由主反射板10而使配光被控制的光的前進方向側，並且入射從光源5射出的光與由主反射板10而使配光被控制的光而出射偏振光。其中，光源5為棒狀或者線狀的光源。

而且，光源5為例如在紫外線透過性的玻璃管內封入了水銀、氬氣、氙氣等稀有氣體而成的高壓水銀燈、或在高壓水銀燈中進一步封入了鐵或碘等金屬鹵化物而成的金屬鹵化物燈等管形燈，至少具有直線狀的發光部。光源5的發光部的長邊方向與X軸方向平行，光源5的發光部的長度比工件W的寬度長。光源5可從線狀的發光部射出例如包含波長為200nm至400nm的紫外線的光，光源5射出的光為具有各種偏振軸成分的所謂非偏振的光。

而且，主反射板10在與光源5相向的面，具有反射從光 源5射出的光的主反射面11，主反射面11的沿著形成為棒狀的光源5的軸心的方向觀察時的形狀即軸心方向觀察的形狀，也就是X軸方向觀察下的形狀為橢圓的一部分開口而成的形狀。主反射板10以作為光源5的軸心的燈中心C位於主反射面11的橢圓的2個焦點中的一個焦點的位置的方式而設置，另一焦點側開口。主反射板10為所謂的聚光型反射板，即，主反射面11如所述般成為橢圓的一部分的形狀，由此在將光源5配置在一個焦點的位置時，使從光源5射出的光向另一焦點附近聚光。而且，主反射板10以在Z軸方向上開口的朝向而配設。

主反射板10沿著形成為棒狀的光源5，以所述的形狀相對於光源5平行地延伸。此外，主反射板10在主反射面11的橢圓開口側的相反側的部分，在橢圓的曲率為最大的部分附近處，形成著在橢圓的周方向、或者Y軸方向上空開的空隙即空隙部12。也就是，空隙部12形成在從光源5觀察時在Z軸方向上主反射面11的橢圓開口側的相反側。主反射板10利用該空隙部12，而使橢圓的內側與外側的空間連通。而且，主反射板10構成為基材包含玻璃，成為由多層膜形成主反射面11的冷鏡(cold mirror)。

而且，偏振板30可從如下的光中提取出僅在基準方向上振動的偏振軸的光，所述光是從光源5射出且具有均等地在各個方向上振動的各種偏振軸成分的光。另外，一般將僅在基準方向上振動的偏振軸的光稱作直線偏振。而且，偏振軸是光的電場及磁場的振動方向。

偏振板30相對於光源5及主反射板10，配設於在Z軸方向上主反射面11的橢圓開口側處。作為聚光型反射板的主反射板10以可使光聚光於該偏振板30的方式配設。而且，偏振板30的X軸方向與Y軸方向上的周圍由偏振板框架31包圍，由此偏振板30由偏振板框架31保持。

偏振板30成為如下的線柵偏振元件，即，由在石英玻璃等基板上等間隔地平行配置多個直線狀的電導體(例如，鉻或鋁合金等金屬線)而成。電導體的長邊方向與基準方向正交。電導體的間距理想的是從光源5射出的紫外線的波長的1/3以下。偏振板30反射或吸收從光源5射出的紫外線中的與電導體的長邊方向平行的偏振軸的紫外線的大部分，使與電導體的長邊方向正交的偏振軸的紫外線通過並朝向工件W照射。

另外，本實施例中，偏振板30的電導體的長邊方向與Y軸方向平行地配置，使與X軸方向平行的偏振軸的紫外線通過。也就是，本實施例中，基準方向與X軸方向平行。

在偏振板30與光源5之間，配設著僅透過從光源5射出的特定波長的光的帶通濾波器35，帶通濾波器35以與偏振板30接近或者接觸的狀態而配設。該帶通濾波器35包含周知的帶通濾波器，可透過從光源5射出的光中的例如254nm或365nm等規定波長的紫外線，並限制其他波長的光透過。而且，帶通濾波器35與偏振板30同樣地，以面向Z軸方向的朝向而配設，並且帶通濾波器35的X軸方向與Y軸方向上的周圍由濾波器框架36包 圍。由此，帶通濾波器35由濾波器框架36保持。

進而，在主反射板10與偏振板30之間配設著輔助反射板20，該輔助反射板20使從光源5射出的光及由主反射板10而使配光被控制的光中的不朝向偏振板30的光向主反射板10側反射。詳細來說，輔助反射板20配設在主反射板10中開口的部分與帶通濾波器35之間，或者光源5與帶通濾波器35之間，輔助反射板20以與帶通濾波器35接近或者接觸的狀態而配設。

該輔助反射板20在與光源5或主反射板10相向的面，具有反射來自光源5或主反射板10的光的輔助反射面21。輔助反射面21的形成為棒狀的光源5的軸心方向觀察的形狀，也就是X軸方向觀察的形狀成為圓形的一部分開口而成的圓形的一部分形狀。

輔助反射板20以燈中心C位於輔助反射面21的圓形的中心的位置的方式而設置，且成為Z軸方向上位於比圓形的中心的位置靠主反射板10側的部分被去除所得的形狀。由此，輔助反射板20在Z軸方向上朝向光源5或主反射板10所位於的一側而開口。

而且，輔助反射面21的半徑比以燈中心C為中心的徑向上的從燈中心C到主反射板10的外端為止的距離大。因此，在Z軸方向上主反射板10與輔助反射板20雙方所位於的部分，輔助反射板20位於以燈中心C為中心的徑向上的外側。

輔助反射板20沿著形成為棒狀的光源5，以所述形狀相 對於光源5平行地延伸。此外，輔助反射板20在輔助反射面21的圓形開口側的相反側的部分，由在圓形的周方向、或者Y軸方向上空開的空隙而形成開口部22。

詳細來說，開口部22在輔助反射板20上，形成於輔助反射面21離帶通濾波器35最近的附近處，Y軸方向上的開口部22的寬度比同方向上的偏振板30的寬度稍大。輔助反射板20與偏振板30的位置關係為，以Z軸方向觀察時開口部22包含配設著偏振板30的區域的方式而配設。而且，輔助反射板20與主反射板10同樣地構成為基材包含玻璃，成為由多層膜形成輔助反射面21的冷鏡。

本實施例的偏振光照射裝置1包含如以上般的構成，以下，對其作用進行說明。圖3是表示圖1所示的偏振光照射裝置中的光的照射狀態的說明圖。偏振光照射裝置1中，在對液晶面板的配向膜或視角補償膜的配向膜等工件W進行配向處理時，一邊由工件W的搬送裝置(省略圖示)，將工件W在與Y軸方向平行的箭頭Y1方向上搬送，一邊從光源5射出包含紫外線的光。

從光源5射出的光中的一部分的光朝向輔助反射板20的開口部22的方向，通過開口部22而入射至帶通濾波器35(例如圖3的L1)。帶通濾波器35僅透過紫外線而不透過紫外線以外的光，並從光入射側的面的相反側的面僅出射紫外線。

從帶通濾波器35出射的紫外線入射至偏振板30，該偏振板30位於帶通濾波器35中的輔助反射板20所位於一側的相反 側。輔助反射板20的開口部22的Y軸方向上的開口部22的寬度比偏振板30的寬度稍大，開口部22以Z軸方向觀察時包含配設著偏振板30的區域的方式而配設，因此從開口部22出射並透過帶通濾波器35的紫外線幾乎均入射至偏振板30。

偏振板30不通過入射的紫外線中的與構成偏振板30的電導體的長邊方向平行的偏振軸的紫外線的大部分，而僅通過與電導體的長邊方向正交的偏振軸的紫外線。由此，偏振板30僅使在基準方向上振動的紫外線從帶通濾波器35所位於一側的面的相反側的面聚光至焦點F而出射。從偏振板30出射的在基準方向上振動的紫外線照射至工件W，對工件W，利用僅在該基準方向上振動的紫外線進行配向處理。

而且，從光源5射出的光中的朝向主反射板10的主反射面11的光由主反射面11反射，其一部分朝向輔助反射板20的開口部22的方向(例如，圖3的L2)。朝向開口部22的光通過開口部22而入射至帶通濾波器35，僅出射紫外線。從帶通濾波器35出射的紫外線入射至偏振板30，僅出射在基準方向上振動的紫外線並將其照射至工件W而進行配向處理。

另外，主反射板10的主反射面11以可使從光源5射出的光向偏振板30聚光的方式而設置，由此，主反射板10可對從光源5射出的光的配光進行控制。因此，由主反射面11反射的光的大部分朝向輔助反射板20的開口部22，透過帶通濾波器35與偏振板30，由此成為在基準方向上振動的紫外線並照射至工件W。

而且，從光源5射出的光中的不朝向輔助反射板20的開口部22的方向或主反射面11的方向的光的大部分朝向輔助反射板20的輔助反射面21，並由輔助反射面21反射。輔助反射面21因成為以燈中心C為中心的圓形的形狀，所以從光源5射出並朝向輔助反射面21的光(例如，圖3的L3、L4)向光源5的方向反射(例如圖3的L3'，L4')。以此方式朝向光源5的方向的光的一部分透過光源5，而另一部分的光通過光源5的附近，由此該光朝向最初從光源5向輔助反射面21前進時的方向的相反方向。由此，該光朝向主反射板10的主反射面11的方向，並由主反射面11反射。

也就是，由光源5射出並直接朝向輔助反射板20的輔助反射面21的光在輔助反射面21上前進方向發生反轉而朝向光源5的方向，通過光源5或者通過其附近，由此朝向主反射面11的方向並由主反射面11反射。由主反射面11反射的光與從光源5射出並直接朝向主反射面11而由主反射面11反射的光同樣地，大部分朝向輔助反射板20的開口部22，並透過帶通濾波器35與偏振板30，由此成為在基準方向上振動的紫外線並照射至工件W。

如所述般由主反射面11反射的光大部分朝向開口部22，並透過帶通濾波器35與偏振板30，由此成為在基準方向上振動的紫外線並照射至工件W。

本實施例的偏振光照射裝置1中，將從光源5射出的光中的直接朝向輔助反射板20的開口部22的光以外的光，由主反 射板10與輔助反射板20反射並導向開口部22，由此可將從光源5射出的大部分的光作為在基準方向上振動的紫外線並照射至工件W。

而且，在如所述般由偏振光照射裝置1照射紫外線的情況下，作為光源的光源5一邊發熱一邊發光，因該熱而溫度變高的空氣向上方流動，並從空隙部12向主反射板10的上方散放。由此，偏振光照射裝置1的溫度不會變得過高，並將紫外線照射至工件W。

而且，相對於未設置輔助反射板20的偏振光照射裝置40，發明者等人對偏振光照射裝置1設置著輔助反射板20的情況下的光量的變化進行了試驗。圖8是關於未設置輔助反射板的偏振光照射裝置的說明圖。首先，如現有的偏振光照射裝置般，對未設置輔助反射板20的偏振光照射裝置40進行說明。該偏振光照射裝置40與本實施例的偏振光照射裝置1同樣地，具有線狀的光源5作為光源，且包括主反射板10，該主反射板10具有由橢圓的一部分形狀形成的主反射面11。

而且，在主反射板10的開口側配設著僅透過紫外線的帶通濾波器35，在帶通濾波器35中的配設著光源5或主反射板10的一側的相反側，配設著使透過的光偏振而出射的偏振板30。在未設置著輔助反射板20的偏振光照射裝置40中，因無輔助反射板20，所以從光源5直接或者由主反射板10的主反射面11反射而未透過帶通濾波器35與偏振板30的光，由濾波器框架36或偏 振板框架31所遮蔽，由此不會照射至工件W。

發明者等人通過試驗，而求出相對於由偏振光照射裝置40照射至工件W側的光量的、由本實施例的偏振光照射裝置1照射至工件W側的光量。

圖4是關於進行試驗的偏振光照射裝置的條件的說明圖。圖5是關於進行試驗的偏振光照射裝置的輔助反射板的說明圖。在偏振光照射裝置1、偏振光照射裝置40之間進行試驗，所述偏振光照射裝置1、偏振光照射裝置40是將從燈中心C到偏振板30為止的距離為115mm、光源5的有效發光長度(X軸方向的長度)為800mm、一邊的長度為50mm的正方形的偏振板30在X軸方向上排列8塊而成。而且，在設置有輔助反射板20的偏振光照射裝置1中，將Y軸方向上的輔助反射板20的開口部22的寬度設為70mm，將輔助反射面21的半徑設為96.9mm來進行試驗。另外，輔助反射板20由配設在開口部22的部分的輔助反射板框架25固定，開口部22的寬度即70mm成為Y軸方向上的輔助反射板框架25彼此的距離。

由所述偏振光照射裝置1、偏振光照射裝置40使光源5發光，並使用優志旺(USHIO)電機股份有限公司製造的紫外線累計光量計．UVD-S254來作為紫外線測定器，對透過偏振板30的紫外線的量進行測定。結果，在將未設置輔助反射板20的偏振光照射裝置40的光量設為1.0的情況下，在具備輔助反射板20的偏振光照射裝置1中，確認光量為1.2。

以上的實施例的偏振光照射裝置1中，在主反射板10與偏振板30之間，配設著輔助反射板20，該輔助反射板20將從光源5或主反射板10射出或反射出的不直接朝向偏振板30的光反射至主反射板10側，因此該光可由主反射板10反射後朝向偏振板30。由此，可有效利用在不具備輔助反射板20的現有的偏振光照射裝置40中，未入射至偏振板30而損耗掉的來自光源5的直接光，且可增加透過偏振板30並朝向工件W照射的光的量。結果，可增加從偏振光照射裝置1出射的光的光量而不會使偏振板30大型化。

而且，輔助反射板20將到達輔助反射面21的光朝向主反射板10反射而非直接向偏振板30側反射，且從主反射板10朝向偏振板30反射，因此可使來自偏振板30的出射光不會大幅擴散地出射。由此，在紫外線的照射範圍內，可進行照度不會大幅變化的照射。結果，可使從偏振光照射裝置1出射的光的照射狀態成為更適合的狀態，且可增加光量。

而且，在偏振板30的主反射板10側，配設僅透過特定波長的光的帶通濾波器35，輔助反射板20配設在帶通濾波器35的主反射板10側，因此可使更多的光透過帶通濾波器35後，透過偏振板30。由此，可使更多的紫外線從帶通濾波器35入射至偏振板30，從而可使在基準方向上振動的大部分紫外線從偏振板30照射至工件W。結果，可有效地進行工件W的配向處理而不會使偏振板30大型化。

而且，主反射板10成為聚光於偏振板30的聚光型反射板，因而可使朝向偏振板30的光的量更確實地增加。而且，輔助反射板20使從光源5照射至輔助反射板20的光朝向光源5反射，因此可使不朝向偏振板30的光從光源5側朝向主反射板10。由此，可將從光源5未照射至偏振板30或主反射板10而照射到輔助反射板20的光，由主反射板10反射後朝向偏振板30。結果，可使從偏振光照射裝置1出射的光的光量更確實地增加而不會使偏振板30大型化。

而且，沿著光源5的軸心的方向觀察輔助反射板20時的輔助反射面21的形狀，由以光源5的軸心為中心的圓形的一部分形狀而形成，因此可使從光源5照射到輔助反射面21的光更確實地朝向光源5側反射。由此，使照射到輔助反射面21的光更確實地從光源5朝向主反射板10，並由主反射板10向偏振板30的方向反射。也就是，通過將以燈中心C為中心的圓形的輔助反射板20配設在偏振板30上部，而可使現有的偏振光照射裝置40中未入射至偏振板30而損耗掉的來自光源5的光更確實地入射至偏振板30。結果，可使從偏振光照射裝置1出射的光的光量更確實地增加而不會使偏振板30大型化。

[變形例]

另外，所述偏振光照射裝置1中，輔助反射板20是在得到固定的狀態下配設，但輔助反射板20也可設置成可移動。例如，輔助反射板20可使Y軸方向上位於開口部22的兩側的輔助反射 板20中的一者或者兩者移動，通過使輔助反射板20移動，可將開口部22也設成可開閉。通過這樣將開口部22設成可開閉，不僅可通過光源5的點燈與熄燈，也可通過開口部22的開閉來進行紫外線的照射或非照射。由此，可減少光源5的點燈與熄燈的切換次數，從而可實現光源5的長壽命化。而且，在剛點燈後不久發光尚未穩定的光源5的情況下，在維持著光源5的點燈的狀態下將開口部22開閉，由此即便在從紫外線的非照射狀態切換為照射狀態時，也可照射在短時間內穩定的紫外線。

而且，所述偏振光照射裝置1中，主反射板10與輔助反射板20均為基材由玻璃形成而反射面由多層膜形成，而主反射板10或輔助反射板20也可由所述以外的材料設置。主反射板10或輔助反射板20例如也可整體包含鋁等金屬。而且，主反射板10的主反射面11或輔助反射板20的輔助反射面21也可並非由嚴格的橢圓形狀或圓形狀形成。

圖6是表示一實施例的偏振光照射裝置的變形例的說明圖。主反射面11或輔助反射面21例如如圖6所示，也可包含近似於理想橢圓形狀SE或理想圓形狀SR的曲線的多條直線。通過使主反射面11或輔助反射面21如所述般包含多條直線，而可使主反射板10、輔助反射板20由金屬板的彎曲加工而成形，因而主反射板10或輔助反射板20的成形變得容易。如所述般，主反射板10或輔助反射板20可無關於材質或構成，只要由所需的形狀來形成便可適當反射光的反射面，則不論材質或構成如何均可。

而且，所述偏振光照射裝置1中，光源5是使用管形的所謂的放電燈來進行說明的，但光源5也可使用放電燈以外的燈。就光源5而言，只要為可將例如射出波長200nm至400nm的紫外線的發光二極體(Light-Emitting Diode，LED)芯片、激光二極體(laser diode)、有機電致發光(electroluminescence，EL)等小型燈隔開而配置成直線狀等並射出包含紫外線的光的燈，則也可為放電燈以外的燈。

圖7是表示一實施例的偏振光照射裝置的變形例的說明圖。光源5例如如圖7所示，也可包含配設在角棒6的側面的多個半導體元件7。因比起使用燈時，半導體元件7的波長更具選擇性，所以無需使用帶通濾波器35便可使紫外線等特定波長的光入射至偏振板30。因此，通過在光源5中使用半導體元件7，而可省略帶通濾波器35。

已對本發明的幾個實施例進行了說明，但所述實施例是作為示例而提示，不旨在限定發明的範圍。所述實施例可由其他各種形態來實施，在不脫離發明的主旨的範圍內可進行各種省略、轉換、變更。所述實施例或其變形與包含在發明的範圍或主旨內同樣地，及與其均等的範圍內。

1‧‧‧偏振光照射裝置

5‧‧‧光源

10‧‧‧主反射板

11‧‧‧主反射面

12‧‧‧空隙部

20‧‧‧輔助反射板

21‧‧‧輔助反射面

22‧‧‧開口部

30‧‧‧偏振板

31‧‧‧偏振板框架

35‧‧‧帶通濾波器

36‧‧‧濾波器框架

C‧‧‧燈中心

W‧‧‧工件

Y、Z‧‧‧軸

Claims (4)

1. 一種偏振光照射裝置，其特徵在於，包括：光源，射出包含紫外線的光；主反射板，對從所述光源射出的光的配光進行控制；偏振板，相對於所述主反射板，配設在由所述主反射板而使配光被控制的光的前進方向側，並且所述偏振板入射從所述光源射出的光與由所述主反射板而使配光被控制的光而出射偏振光；以及輔助反射板，配設在所述主反射板與所述偏振板之間，並且將從所述光源射出的光及由所述主反射板而使配光被控制的光中的不朝向所述偏振板的光反射至所述主反射板側。
2. 如申請專利範圍第1項所述的偏振光照射裝置，其中還包括僅透過特定波長的光的帶通濾波器，所述帶通濾波器配設在所述輔助反射板與所述偏振板之間。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的偏振光照射裝置，其中所述主反射板是使從所述光源射出的光向所述偏振板聚光的聚光型的反射板，所述輔助反射板使從所述光源照射至所述輔助反射板的光朝向所述光源反射。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的偏振光照射裝置， 其中所述光源形成為線狀，沿著所述光源的軸心的方向觀察所述輔助反射板時的反射面的形狀，由以所述光源的軸心為中心的圓形的一部分形狀而形成。