TWI567854B - 管口指標裝置及基板處理裝置 - Google Patents

Description

管口指標裝置及基板處理裝置

本發明是有關一種指標裝置，特別是一種管口指標裝置及包含此指標裝置之基板處理裝置。

半導體製程中常需要蝕刻或清洗基板。為了精密控制製程的結果，蝕刻或清洗前需要事先模擬輸送化學品之管路相對於基板的位置，或是校正管路相對於基板的位置。習知量測管路於基板之投影位置之方法是在管路之出口端設置一延伸圓棒。在模擬或校正時，藉由延伸圓棒即可指出管路出口於基板上之投影位置。然而，延伸圓棒是具有實體之物件，導致操作者難以用筆在延伸圓棒所指出的位置上畫上適當之標記。

有鑑於此，如何操作者能夠輕易地在管路出口於基板上之投影位置畫上標記便是目前極需努力的目標。

本發明提供一種管口指標裝置及基板處理裝置，其是在管路之一流體出口端設置一發光單元，並藉由發光單元所產生之指示光指出管路於一基板之一投影位置。由於發光單元所產生之指示光不會佔據實體空間，因此操作者可輕易地於指示光所指出之位置畫上標記。

本發明一實施例之管口指標裝置包含一本體以及一發光單元。本體之一端具有一連接部，用以使本體套接於一管路之一流體出口端。發光單元設置於本體內，用以產生一指示光，以指出管路之一流體出口或一中心於一基板之一投影位置。

本發明另一實施例之基板處理裝置包含一平台、一管路以及一管口指標裝置。平台用以承載一基板。管路設置於平台之上方，其中管路具有一流體出口，用以輸出一流體至基板，以蝕刻或清洗基板。管口指標裝置包含一本體以及一發光單元。本體之一端具有一連接部，用以使本體套接於一管路之一流體出口端。發光單元設置於本體內，用以產生一指示光，以指出管路之一流體出口或一中心於一基板之一投影位置。

以下藉由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當更容易瞭解本發明之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。

以下將詳述本發明之各實施例，並配合圖式作為例示。除了這些詳細說明之外，本發明亦可廣泛地施行於其它的實施例中，任何所述實施例的輕易替代、修改、等效變化都包含在本發明之範圍內，並以申請專利範圍為準。在說明書的描述中，為了使讀者對本發明有較完整的瞭解，提供了許多特定細節；然而，本發明可能在省略部分或全部特定細節的前提下，仍可實施。此外，眾所周知的步驟或元件並未描述於細節中，以避免對本發明形成不必要之限制。圖式中相同或類似之元件將以相同或類似符號來表示。特別注意的是，圖式僅為示意之用，並非代表元件實際之尺寸或數量，有些細節可能未完全繪出，以求圖式之簡潔。

請參照圖1至圖3，本發明之一實施例之基板處理裝置包含一平台40、一管路20以及一管口指標裝置10。平台40用以承載一基板30。可以理解的是，平台40可藉由旋轉軸41驅動而旋轉，進而帶動基板30旋轉。於一實施例中，基板30為一加工基板(例如矽基板、玻璃基板或藍寶石基板等)或具有校正刻度之一校正板。舉例而言，操作者可依據校正板之刻度校正管路20的位置。管路20設置於平台40的上方，且其具有至少一流體出口21。管路20可輸送一流體至基板30，以蝕刻或清洗基板30。有關基板處理裝置之其它機構並非本發明之技術特徵，且本發明所屬技術領域中具有通常知識者可利用習知技術加以實現，故在此不再贅述。

接續上述說明，管口指標裝置10包含一本體11以及至少一發光單元12a、12b。本體11之一端具有一連接部111。連接部111可使本體11套接於管路20之流體出口21端。於一實施例中，管口指標裝置10更包含一螺帽112，其設置於連接部111之外側。藉由螺帽112迫緊連接部111，可使本體10鎖固於管路20之一流體出口21端。於一實施例中，本體11之連接部111之外側具有朝管路20之一流體出口方向漸縮之一錐面111b。螺帽112從錐面111b較小之端轉動至錐面111b較大之一端，即可有效迫緊連接部111。

發光單元12a、12b設置於本體11內，用以產生一指示光。於一實施例中，發光單元12a、12b可為一雷射二極體或一發光二極體，其中以雷射二極體為較佳之選擇。如圖3所示，發光單元12a所產生之指示光之光路是沿著管路20之流體出口方向延伸，因此，發光單元12a所產生之指示光即可指出管路20之流體出口21於基板30之一投影位置31。於一實施例中，發光單元12a所產生之指示光之光路與基板30之表面垂直，如圖3所示。但不限於此，於一實施例中，發光單元12a所產生之指示光之光路與基板30之表面具有一夾角，發光單元12a所產生之指示光以斜向投射至基板30，但其投射位置於管路20之流體出口於基板30之投影位置相對應。於一實施例中，此夾角範圍介於15度至90度。

於圖3所示之實施例中，管口指標裝置10包含多個發光單元12a、12b，其中發光單元12a用以指出管路20之流體出口21於基板30之投影位置，而發光單元12b則用以指出管路20之中心於基板30之投影位置。因此，發光單元之數量以及所欲指出之投影位置可依據實際需求而有不同的設計。於一實施例中，發光單元12a、12b所產生之指示光可為一有色光，例如紅光、綠光或藍光。於一實施例中，指出管路20之流體出口21以及中心於基板30之投影位置之指示光可使用不同之有色光。舉例而言，指出管路20之流體出口21之投影位置可用紅光，而指出管路20之中心之投影位置可用綠光。

請參照圖2以及圖3，於一實施例中，管口指標裝置10更包含一定位元件13，其設置於本體11內。定位元件13具有與管路20之流體出口21相對應之一凸柱131。當管口指標裝置10套接於管路20之流體出口21端時，凸柱131即插入管路20之流體出口21。依據此結構，發光單元12a與定位元件13之凸柱131即代表發光單元12a與管路20之流體出口21為對正狀態。於一實施例中，定位元件13以可更換的方式設置於本體11內。如此可配合不同管路20的設計更換不同的定位元件13。可以理解的是，發光單元12a、12b亦是以可更換的方式設置於本體11內，以配合不同管路20的設計。

請再參照圖2以及圖3，於一實施例中，管口指標裝置10更包含一電池模組14，其與發光單元12a、12b電性連接。電池模組14用以提供發光單元12a、12b所需之電源。較佳者，管口指標裝置10更包含一開關元件15，其與發光單元12a、12b電性連接。開關元件15可選擇性啟動發光單元12a、12b。

綜合上述，本發明之管口指標裝置及基板處理裝置是在管路之流體出口端設置至少一發光單元，並藉由發光單元所產生之指示光指出管路之流體出口於基板上之投影位置。由於發光單元所產生之指示光不會佔據實體空間，因此操作者可輕易地以筆或其它適當工具於指示光所指出之位置畫上標記。

以上所述之實施例僅是為說明本發明之技術思想及特點，其目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本發明之內容並據以實施，當不能以之限定本發明之專利範圍，即大凡依本發明所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本發明之專利範圍內。

10‧‧‧管口指標裝置
11‧‧‧本體
111‧‧‧連接部
111b‧‧‧錐面
112‧‧‧螺帽
12a、12b‧‧‧發光單元
13‧‧‧定位元件
131‧‧‧凸柱
14‧‧‧電池模組
15‧‧‧開關元件
20‧‧‧管路
21‧‧‧流體出口
30‧‧‧基板
31‧‧‧投影位置
40‧‧‧平台
41‧‧‧旋轉軸

圖1為一立體圖，顯示本發明一實施例之管口指標裝置。 圖2為一剖面圖，顯示本發明一實施例之管口指標裝置沿圖1所示之AA方向之剖面結構。 圖3為一剖面圖，顯示本發明一實施例之管口指標裝置沿圖1所示之BB方向之剖面結構。

10‧‧‧管口指標裝置

11‧‧‧本體

111‧‧‧連接部

111b‧‧‧錐面

112‧‧‧螺帽

12a、12b‧‧‧發光單元

13‧‧‧定位元件

131‧‧‧凸柱

14‧‧‧電池模組

20‧‧‧管路

21‧‧‧流體出口

30‧‧‧基板

31‧‧‧投影位置

40‧‧‧平台

41‧‧‧旋轉軸

Claims (13)

1. 一種管口指標裝置，包含：一本體，其一端具有一連接部，用以使該本體套接於一管路之一流體出口端；一發光單元，其設置於該本體內，用以產生一指示光，以指出該管路之一流體出口或一中心於一基板之一投影位置；以及一定位元件，其設置於該本體內，且具有與該管路之該流體出口相對應之一凸柱。
2. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該發光單元包含一雷射二極體或一發光二極體。
3. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該發光單元以可更換的方式設置於該本體內。
4. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該發光單元為多個。
5. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該指示光為一有色光。
6. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該指示光之光路與該基板之表面垂直。
7. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該指示光之光路與該基板之表面具有一夾角。
8. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該定位元件以可更換的方式設置於該本體內。
9. 如請求項1所述之管口指標裝置，更包含：一螺帽，其設置於該連接部之外側，以鎖固該本體於於一管路之一流體出口端，其中該本體之該連接部之外側具有朝該管路之一流體出口方向漸縮之一錐面。
10. 如請求項1所述之管口指標裝置，更包含：一開關元件，其與該發光單元電性連接，用以選擇性啟動該發光單元。
11. 如請求項1所述之管口指標裝置，其中該基板為一加工基板或具有校正刻度之一校正板。
12. 一種管口指標裝置，包含：一本體，其一端具有一連接部，用以使該本體套接於一管路之一流體出口端；一發光單元，其設置於該本體內，用以產生一指示光，以指出該管路之一流體出口或一中心於一基板之一投影位置；以及一螺帽，其設置於該連接部之外側，以鎖固該本體於於一管路之一流體出口端，其中該本體之該連接部之外側具有朝該管路之一流體出口方向漸縮之一錐面。
13. 一種基板處理裝置，包含：一平台，其用以承載一基板一管路，其設置於該平台之上方，其中該管路具有一流體出口，用以輸出一流體至該基板，以蝕刻或清洗該基板；以及如請求項1至12任一項所述之一管口指標裝置。