CN216083407U - 夹取式转印模制设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种夹取式转印模制设备，其包括一滚轮固定装置以及间隔地设置于滚轮固定装置的一夹具。滚轮固定装置用来固定一金属滚轮，并且金属滚轮表面包覆有一基板，而夹具能用来可拆卸地夹持于基板的对应两侧，使基板稳固地设置于金属滚轮。基板呈正方形，并且基板的边长介于1.0米～1.5米之间，而金属滚轮的长度介于1.6米～1.8米之间。由此，减少定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。

Description

夹取式转印模制设备

技术领域

本实用新型涉及一种转印模制设备，特别是涉及一种夹取式转印模制设备。

背景技术

现有的转印基板在进行光刻曝光时，若是要形成有交错的光刻图案，则通常会将转印基板进行转向而后再次曝光。举例来说，转印基板将先沿一X轴方向曝光，而后再沿与X轴垂直的一Y轴方向进行曝光，以形成交错的曝光图案。

然而，由于现有的转印基板在转向后仍须再次定位，因而导致时常有定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。因此，如何通过结构设计的改良，来克服上述的缺陷，已成为该项事业所欲解决的重要课题之一。

实用新型内容

本实用新型实施例针对现有技术的不足提供一种夹取式转印模制设备，其能有效地改善现有的转印基板所可能产生的缺陷。

本实用新型的其中一个实施例公开一种夹取式转印模制设备，所述夹取式转印模制设备包括：一滚轮固定装置，用来固定一金属滚轮，并且所述金属滚轮表面包覆有一基板；其中，所述基板的呈正方形，并且所述基板的边长介于1.0米～1.5米之间，而所述金属滚轮的长度介于1.6米～1.8米之间；以及一夹具，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述夹具能用来能拆卸地夹持于所述基板的对应两侧，使所述基板稳固地设置于所述金属滚轮。

优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一无尘腔体，并且所述滚轮固定装置以及所述夹具设置于所述无尘腔体中。

优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光阻涂布装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述光阻喷涂装置能用来对所述基板喷涂一光阻液。

优选地，所述光阻喷涂装置包含一光阻槽及连接于所述光阻槽的一喷嘴，并且所述光阻槽能用来容纳所述光阻液，而所述喷嘴能用来从所述光阻槽抽取所述光阻液并将所述光阻液喷涂于所述基板上。

优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一移动装置，连接所述喷嘴且能用来移动所述喷嘴。

优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一软烤装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述软烤装置包含多个软烤灯，并且每个所述软烤灯为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯。

优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光刻装置，间隔地设置于所述软烤装置，并且所述光刻装置包含多个光刻光源，而所述光刻装置能用来对所述基板照射一光刻光线。

优选地，所述滚轮固定装置还包含一转动机构，安装于所述金属滚轮，并且所述转动机构用来使所述金属滚轮以介于2900转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度转动。

优选地，所述滚轮固定装置还包含一转动机构，安装于所述金属滚轮，并且所述转动机构用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟至25转/分钟的一浸润速度转动。

优选地，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述转动机构，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述转动机构运行时，所述转动机构会转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。

本实用新型的其中一有益效果在于，本实用新型所提供的所述夹取式转印模制设备，其能通过“所述夹具间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述夹具能用来可拆卸地夹持于所述基板的对应两侧，使所述基板稳固地设置于所述金属滚轮”的技术方案，以减少定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。

为能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本实用新型实施例的夹取式转印模制设备的立体示意图。

图2为本实用新型实施例的夹具夹持基板的立体示意图。

图3为本实用新型实施例的夹具、金属滚轮以及基板的分解示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本实用新型所公开有关“夹取式转印模制设备”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本实用新型的优点与效果。本实用新型可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的构思下进行各种修改与变更。另外，本实用新型的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。此外，以下如有指出请参阅特定图式或是如特定图式所示，其仅是用以强调于后续说明中，所述及的相关内容大部份出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。以下的实施方式将进一步详细说明本实用新型的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本实用新型的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

请参阅图1至图3所示，其为本实用新型的实施例，需先说明的是，本实施例所对应到的附图及其所提及的相关数量与外形，仅用来具体地说明本实用新型的实施方式，以便于了解本实用新型的内容，而非用来局限本实用新型的保护范围。

如图1所示，本实用新型实施例提供一种夹取式转印模制设备100，其包括：一滚轮固定装置1、一夹具2、一光阻喷涂装置3、一移动装置4、一软烤装置5、一光刻装置6以及一无尘腔体7，但本实用新型不限于此。举例来说，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述夹取式转印模制设备100也可以不包含有所述软烤装置5以及所述无尘腔体7。

以下为方便说明与理解，将依序说明所述滚轮固定装置1、所述夹具2、所述光阻喷涂装置3、所述移动装置4、所述软烤装置5、所述光刻装置6以及所述无尘腔体7的具体结构，并适时地说明上述各装置之间的相对位置及操作关系。

如图1所示，所述滚轮固定装置1用来固定包覆有一基板300的一金属滚轮200，并且所述滚轮固定装置1包含一转动机构11及安装于所述转动机构11的一夹持机构12。其中，所述转动机构11能用来安装于所述金属滚轮200，并且所述夹持机构12用来夹持所述金属滚轮200。进一步地说，当所述转动机构11运行时，所述转动机构11会转动所述夹持机构12，使所述金属滚轮200被所述夹持机构12转动。

进一步地说，所述夹持机构12包含一圆形弹性筒夹(图未绘)，并且所述夹持机构12是通过油压驱动的方式，使所述圆形弹性筒夹可以夹持所述金属滚轮200，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述圆形弹性筒夹也可以是车床夹头等其他夹具，并且所述夹持机构12也可以通过气压驱动或手动的方式，使所述圆形弹性筒夹能夹持所述金属滚轮200。

需要说明的是，所述转动机构11还包含有一速度控制器(图未绘)，其能用来使所述金属滚轮200以介于2900转/分钟(RPM)至4500转/分钟的一甩干速度转动，但本实用新型不限于此。举例来说，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述速度控制器也能用来使所述金属滚轮200以介于1转/分钟(RPM)至25转/分钟的一浸润速度转动。

需要补充说明的是，于本实施例中，所述基板300主要由聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate,PET)制成，并且所述基板300的呈正方形，并且所述基板300的边长介于1.0米～1.5米之间，但本实用新型并不限于此。举例来说，于本实用新型的其他实施例中，所述基板300也可以是由具有透明特性的任一树脂制成。此外，于本实施例中，所述金属滚轮200的长度介于1.6米～1.8米之间，并且所述金属滚轮200优选由不锈钢制成，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述金属滚轮200也可以由锡、铅、锌、铝、铜、黄铜、铁、镍、钴、钨、铬或其硬度大于铬的金属制成。

所述滚轮固定装置1介绍至此，以下将开始介绍所述夹具2。如图1至图3所示，所述夹具2间隔地设置于所述滚轮固定装置1，并且所述夹具2能用来可拆卸地夹持于所述基板300的对应两侧，使所述基板300稳固地设置于所述金属滚轮200。

进一步地说，于本实施例中，所述夹具2呈长条状，并且所述夹具2的长度略大于所述基板300的边长，而所述夹具2的长度小于所述金属滚轮200的长度。此外，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述夹具2也可以由双面胶带或普通胶带取代，但本实用新型不限于此。

所述夹具2介绍至此，以下将开始介绍所述光阻喷涂装置3。如图1所示，所述光阻喷涂装置3间隔地设置于所述滚轮固定装置1，并且所述光阻喷涂装置3能用来对所述基板300喷涂一光阻液(图未绘)以对应形成一光阻层(图未绘)。其中，于本实施例中，所述光阻液由正光阻剂形成，并且所述光阻液主要是由酚醛树脂(Phenol-formaldehyde resin)制成，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述光阻液也可以由环氧树脂(Epoxy resin)等正光阻剂材料制成。

具体来说，所述光阻喷涂装置3包含间隔地设置于所述滚轮固定装置1的一光阻槽31及一喷嘴32，并且所述喷嘴32连接于所述光阻槽31，而所述喷嘴32能用来喷涂所述光阻液。其中，所述光阻槽31内储存有所述光阻液，而所述喷嘴32能自所述光阻槽31抽取所述光阻液，并将所述光阻液喷涂于包覆在所述金属滚轮200上的所述基板300。

需要说明的是，于本实施例中，所述喷嘴32为压电式喷嘴，但本实用新型并不限于此。举例来说，于其他实施例中，所述喷嘴32也可以为连续式喷嘴。更详细地说，相比于现有的涂布喷嘴，当所述喷嘴32为压电式喷嘴时，所述光阻液形成液滴时的形状更为规则，并且所述光阻液被喷涂时能被更加精准地设置于所述基板300。

此外，当所述喷嘴32为压电式喷嘴时，所述光阻液不需加热，因此所述光阻液不易发生化学变化，并且由于所述光阻液的温度持续保持在稳定的状态，即使所述光阻液被长时间不间断地喷印后，所述光阻液的粘度及表面张力保持相对的稳定，从而可以使所述光阻液涂布于所述基板300时的均匀度提升。

当所述喷嘴32为连续式喷嘴时，所述光阻液形成液滴的速度提升，进而使所述喷嘴32的喷涂速度增加。需要说明的是，当所述喷嘴32为压电式喷嘴或连续式喷嘴时，所述喷嘴32同时也为溶剂型喷嘴，否则所述喷嘴32将容易被腐蚀而降低使用寿命。

具体来说，当所述光阻喷涂装置3在包覆于所述金属滚轮200的所述基板300上喷涂所述光阻液时，所述金属滚轮200被所述滚轮固定装置1夹持并转动，以使所述基板300被所述光阻液均匀地喷涂，续而形成设置于所述基板300的所述光阻层。

所述光阻喷涂装置3介绍至此，以下将开始介绍所述移动装置4。如图1所示，所述移动装置4间隔地设置于所述滚轮固定装置1，并且所述移动装置4连接且能用来移动所述喷嘴32。其中，当所述喷嘴32对包覆于所述金属滚轮200的所述基板300进行喷涂作业时，所述移动装置4能用来使所述喷嘴32相对于所述金属滚轮200移动，进而使所述基板300能被均匀地涂布。

所述移动装置4介绍至此，以下将开始介绍所述软烤装置5。如图1所示，所述软烤装置5间隔地设置于所述滚轮固定装置1，所述软烤装置5包含多个软烤灯51，并且每个所述软烤灯51为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯，而所述软烤装置5的每个所述软烤灯51于本实施例中为优选为近红外线灯。其中，所述软烤装置5能用来烘烤所述光阻层，并使所述光阻层的溶剂含量降低。更详细地说，所述软烤装置5能用来使所述光阻层的溶剂及过多的水分自所述光阻层中挥发出来，并使所述溶剂在所述光阻层中的含量至少降低至5％左右。

所述软烤装置5介绍至此，以下将开始介绍所述光刻装置6。如图1所示，所述光刻装置6间隔地设置于所述软烤装置5，并且所述光刻装置6包含多个光刻光源61及间隔地设置于多个所述光刻光源61的一光罩(图未绘)，而所述光刻装置6能用来对所述基板300上的部分所述光阻层照射，进而对应形成一图案化光阻层(图未绘)。其中，多个所述光刻光源61包含多个发光二极管(图未绘)，其用来发出波长248纳米～365纳米的紫外光，并且所述图案化光阻层形成有多个光刻图案。

进一步地说，所述光刻装置6的多个所述光刻光源61所发出的紫外光能通过所述光罩并对应形成一图案化光线，所述图案化光线照射于部分所述光阻层时，所述金属滚轮200被所述滚轮固定装置1夹持并转动，使部分所述光阻层被所述图案化光源均匀地照射，进而于所述光阻层对应形成所述图案化光阻层。

需要说明的是，当所述基板300经由多个所述光刻光源61照射后，所述夹具2将被拆卸下来，而后所述基板300将转向90度后再次配合所述夹具2安装于所述金属滚轮200，并再次通过多个所述光刻光源61照射，进而形成具有交错的光刻图案的所述图案化光阻层。

所述光刻装置6介绍至此，以下将开始介绍所述无尘腔体7。如图1所示，所述滚轮固定装置1、所述夹具2、所述光阻喷涂装置3、所述移动装置4、所述软烤装置5以及所述光刻装置6设置于所述无尘腔体7中，并且所述无尘腔体7的等级于本实施例中为美国联邦标准分级1～美国联邦标准分级500。其中，所述无尘腔体7用来避免所述基板300被环境中的污染源黏附。

[实施例的有益效果]

本实用新型的其中一有益效果在于，本实用新型所提供的所述夹取式转印模制设备100，其能通过“所述夹具2间隔地设置于所述滚轮固定装置1，并且所述夹具2能用来可拆卸地夹持于所述基板300的对应两侧，使所述基板300稳固地设置于所述金属滚轮200”的技术方案，以减少定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。

以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例，并非因此局限本实用新型的申请专利范围，所以凡是运用本实用新型说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本实用新型的申请专利范围内。

Claims (10)

1.一种夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备包括：

一滚轮固定装置，用来固定一金属滚轮，并且所述金属滚轮表面包覆有一基板；其中，所述基板的呈正方形，并且所述基板的边长介于1.0米～1.5米之间，而所述金属滚轮的长度介于1.6米～1.8米之间；以及

一夹具，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述夹具能用来能拆卸地夹持于所述基板的对应两侧，使所述基板稳固地设置于所述金属滚轮。

2.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一无尘腔体，并且所述滚轮固定装置以及所述夹具设置于所述无尘腔体中。

3.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光阻喷涂装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述光阻喷涂装置能用来对所述基板喷涂一光阻液。

4.根据权利要求3所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述光阻喷涂装置包含一光阻槽及连接于所述光阻槽的一喷嘴，并且所述光阻槽能用来容纳所述光阻液，而所述喷嘴能用来从所述光阻槽抽取所述光阻液并将所述光阻液喷涂于所述基板上。

5.根据权利要求4所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一移动装置，连接所述喷嘴且能用来移动所述喷嘴。

6.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一软烤装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述软烤装置包含多个软烤灯，并且每个所述软烤灯为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯。

7.根据权利要求6所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光刻装置，间隔地设置于所述软烤装置，并且所述光刻装置包含多个光刻光源，而所述光刻装置能用来对所述基板照射一光刻光线。

8.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述滚轮固定装置还包含一转动机构，安装于所述金属滚轮，并且所述转动机构用来使所述金属滚轮以介于2900转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度转动。

9.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述滚轮固定装置还包含一转动机构，安装于所述金属滚轮，并且所述转动机构用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟至25转/分钟的一浸润速度转动。

10.根据权利要求8所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述转动机构，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述转动机构运行时，所述转动机构会转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。

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