TWI538329B - 用於控制光帶寬之方法及裝置 - Google Patents

Description

用於控制光帶寬之方法及裝置 發明領域

所揭露的標的係有關於一種用於控制雷射光帶寬之方法。

發明背景

於許多科學及工業的應用中，對於例如雷射的光源的帶寬的準確了解係為重要的，諸如，舉例來說，對於深紫外線(DUV)半導體光蝕刻中的關鍵尺寸控制，其中一基材或晶圓被一光源所產生的光束照射，同時該基材或晶圓沿著該光束的光軸而軸向移動。

雷射光的帶寬係為雷射所輸出的雷射光的強度光譜的寬度，且依據該雷射光的波長或頻率可得到此寬度。與光源光譜的細節相關的任何適當的度量(metric)或數學結構可使用於估算雷射光的帶寬。例如，位於最大尖峰強度片斷(X)的光譜的完全寬度(被稱為FWXM)可使用於估算該雷射光帶寬。如另一個範例，含有累積光譜強度片段(Y)的光譜的寬度(被稱為EY)可使用於估算該雷射帶寬。

發明概要

於一般方面，一種方法包括，產生一光束；能夠控制所產生的光束的帶寬於一第一帶寬範圍內，包括能夠啟動及控制一第一帶寬致動系統，其連接至與所產生的光束光耦合的第一光學特徵；以及能夠控制所產生的光束的帶寬於一第二帶寬範圍內，包括能夠啟動及控制一第二帶寬致動系統，其連接至與所產生的光束光耦合的第二光學特徵。該第二帶寬範圍係有別於該第一帶寬範圍。

實施上可包括一或多個下述特徵。例如，該方法亦可包括，接收一將所產生的光束的帶寬從第一帶寬範圍改變至第二帶寬範圍的請求。該方法可包括，因應一切換指令，而切換於第一範圍內的帶寬控制與第二範圍內的帶寬控制之間。

該方法可包括，切換於第一範圍之內的帶寬控制與第二範圍之內的帶寬控制之間。該切換包括，選擇第二目標帶寬資訊；設定該第一帶寬致動系統為一第一固定狀態；將一帶寬測量系統從一第一組態切換至一第二組態；當運作於該第二組態的時候，從該帶寬測量系統接收所測量的帶寬資訊；判定所測量的帶寬資訊是否與該第二目標帶寬資訊相匹配；以及啟動該第二帶寬致動系統以導致該第二光學特徵來修正所產生的光束的帶寬，直到判定所測量的帶寬資訊與該第二目標帶寬資訊相匹配為止。該方法可包括，於設定該第一帶寬致動系統設定為第一固定狀態之前，儲存關於該第一帶寬致動系統的一或多個組件的狀態的資訊。

該第一固定狀態可為，該第一帶寬致動系統在接收到一將所產生的光束的帶寬從第一帶寬範圍改變至第二帶寬範圍之請求的時刻的狀態。可從該第一帶寬致動系統於接收一請求，而將所產生的光束的帶寬從第一帶寬範圍改變至第二帶寬範圍的時刻的狀態函數，來判定該第一固定狀態。

該方法可包括，控制該第二帶寬致動系統以降低所測量的帶寬資訊與第二目標帶寬資訊之間的絕對誤差，直到接收到將所產生的光束的帶寬從第二帶寬範圍改變至第一帶寬範圍的請求為止。

該方法可包括，將該帶寬測量系統從第一組態切換至第二組態之後，控制該第二帶寬致動系統於一重置模式。

該方法可包括，於接收到將所產生的光束的帶寬從第二帶寬範圍改變至第一帶寬範圍的請求的時候，切換於第二範圍之內的帶寬控制與第一範圍之內的帶寬控制之間。該交換包括，選擇第一目標帶寬資訊；設定第二帶寬致動系統為第二固定狀態；將該帶寬測量系統從第二組態切換至第一組態；當運作於第一組態的時候，從該帶寬測量系統接收所測量的帶寬資訊；判定所測量的帶寬資訊是否與該第一目標帶寬資訊相匹配；以及啟動該第一帶寬致動系統以導致第一光學特徵來修正所產生的光束的帶寬，直到判定所測量的帶寬資訊與該第一目標帶寬資訊相匹配為止。

該第二固定狀態可為，該第二帶寬致動系統在接收到將所產生的光束的帶寬從第二帶寬範圍改變至第一帶寬範圍之請求的時刻的狀態。該第二固定狀態可為於校準期間所判定的預定狀態。

該方法亦可包括，控制該第一帶寬致動系統以降低所測量的帶寬資訊與第一目標帶寬資訊之間的絕對誤差，直到接收到將所產生的光束的帶寬從第一帶寬範圍改變至第二帶寬範圍的請求為止。該方法亦可包括，發送一信號至該第一帶寬致動系統，以返回至設定該第一帶寬致動系統為第一固定狀態前所儲存的狀態。該方法亦可包括，將該帶寬測量系統從第二組態切換至第一組態之後，控制該第一帶寬致動系統於一重置模式。

該方法可包括，切換於第一範圍之內的帶寬控制與第二範圍之內的帶寬控制之間。於第一範圍之內的帶寬控制與第二範圍之內的帶寬控制之間的切換可包括，將一帶寬測量系統從第一組態切換至第二組態。

將該帶寬測量系統從第一組態切換至第二組態可包括，從第一組校準變數切換至第二組校準變數。該第一組校準變數可預先判定，並組構以提供一被調諧來估算於第一帶寬範圍的帶寬的度量；而該第二組校準變數可預先判定，並組構以提供一被調諧來估算於第二帶寬範圍的帶寬的度量。

該光束可藉由產生一雷射光束而產生。

於另一個一般方面，一種裝置包括一產生光束的光源；一帶寬測量系統，組構以接收一部分從該光源輸出的光束，且組構以測量該光束部分的帶寬並提供該帶寬測量；複數個帶寬致動系統，每一個帶寬致動系統包括一或多個帶寬致動器，且每一個帶寬致動系統係連接至與所產生的光束光耦合的光學特徵，並可運作以修正所連接的光學特徵，而選擇一於所產生的光束的帶寬範圍內的帶寬；以及一連接至該帶寬測量系統及該等複數個帶寬致動系統的控制系統。該控制系統係組構以基於一所提供的帶寬測量及一所選擇的目標帶寬，而切換於啟動並運作一第一帶寬致動系統、與獨立且分別於啟動並運作該第一帶寬致動系統而啟動並運作一第二帶寬致動系統之間。

實施上可包括一或多個下列特徵。例如，該裝置亦可包括一目標帶寬開關，其係組構被設定為一選擇自複數個相異目標帶寬範圍的目標帶寬範圍內的目標帶寬。該裝置可包括一接收所產生的光束的光刻裝置。

該光源可包括一雷射光源，且該光束可為一雷射光束。

該等光學特徵中的至少一個可包括一色散元件。該等光學特徵中的至少一個可包括一光束擴展器。

於另一個一般方面，一種控制脈衝雷射光束的帶寬的方法包括，產生該脈衝雷射光束；從一帶寬測量系統接收所測量之該脈衝雷射光束的帶寬資訊；以及基於所接收之測量的帶寬資訊，而控制所產生的雷射光束的帶寬於複數個帶寬範圍內，包括啟動並控制複數個帶寬致動系統，其等係各自連接至一與所產生之雷射光束光耦合的光學特徵。該等複數個範圍中的每一帶寬範圍係相異於該等複數個範圍中的其他帶寬範圍的每一者。

可使用這樣的帶寬控制裝置及方法，能夠控制雷射光帶寬於一較窄的帶寬(例如，於0.5皮米(pm)以下的範圍之中)及一較寬的帶寬(例如，於0.5與1.7pm之間的範圍之間)。

圖式簡單說明

第1圖為一提供輸入至一例如光刻機械的裝置的光系統的方塊圖；

第2圖為第1圖的光系統的帶寬選擇系統的方塊圖；

第3圖為一可使用於第1圖的光系統中的範例光源的方塊圖；

第4圖為一可被第1圖的光系統的控制系統所使用的控制方案的方塊圖；

第5圖為一使用於第1圖的光系統中的控制系統的方塊圖；

第6圖為一用於選擇第1圖的光系統中的帶寬的程序的流程圖；

第7圖為一用於運作第1圖的光系統的第一帶寬致動系統的程序的流程圖；

第8圖為一用於從啟動控制該第一帶寬致動系統切換至第1圖的光系統的第二帶寬致動系統的程序的流程圖；

第9圖為一用於運作第1圖的光系統的第二帶寬致動系統的程序的流程圖；

第10圖為一用於從啟動控制該第二帶寬致動系統切換至第1圖的光系統的第一帶寬致動系統的程序的流程圖；及

第11圖為一用於運作第一帶寬致動系統於閉迴路轉移模式中的程序的流程圖。

較佳實施例之詳細說明

參考第1圖，一光系統100包括一產生傳送至裝置106的光束104的光源102。該裝置106可包括一包括掃瞄器的光刻機械，該掃瞄器需要於各自所選擇的波長中心且具有各自的帶寬的數個波長。為此目的，該光系統100亦包括一從光源102接收光束140並精密地調諧該光源102的光譜輸出的帶寬選擇系統(亦被稱為譜線窄化模組)108、一測量傳送至該裝置106的光束104的一或多個屬性(包括帶寬資訊)的光束分析模組110、以及一連接至該譜線窄化模組108、該光源102、該光束分析模組110、與該裝置106的控制系統112。帶寬資訊包括任何可使用於判定帶寬的資訊。因此，帶寬資訊可為實際的帶寬，或者其可為另一個可由其而計算出帶寬的測量屬性測量。

於其他目的之中，如上文所討論，該控制系統112提供運作及控制該光源102於複數個相異的帶寬範圍，並且使得該光源102能夠於合理的時間之內(例如，小於五秒)自動地切換於該等帶寬範圍之間，而不需要人工介入以實行切換。於某些實施中，一帶寬範圍係由一較高帶寬值和一較低帶寬值及該較高值與該較低值之間的所有帶寬所界定。一帶寬範圍亦可以，或者替代地，僅由一較高帶寬值和一較低帶寬值及低於(高於)該較高(較低)值的所有帶寬所界定。若各範圍的較高值不相等，並且/或者若各範圍的較低值不相等，一帶寬範圍係與另一帶寬範圍相異。帶寬範圍可為相異的，但仍重疊，甚至即使該等較高與較低值不相等。例如，一第一帶寬範圍可為低於0.5pm(較高範圍)的所有帶寬值，而一第二帶寬範圍可為介於0.5與1.7pm之間的值。

該控制系統112係能夠實行切換，使得一旦切換完成，沒有明顯干擾到該光源102的正常運作。該控制系統112亦組構以控制該光源102的某些其他屬性(例如，能量輸出、觸發次數、時機、及放射線量)。該控制系統112從該光束分析模組110、該裝置106、及該光源102的組件接收輸入，而實行此等運作。此外，該控制系統112可連接至一例如監視器、光或聲音設備的輸出設備116，以提供使用者直接的反饋。

同樣參考第2圖，該譜線窄化模組108可包括一帶寬控制模組120，其包括以硬體及軟體的任何組合的形式的電子設備。該模組120係連接至兩個或更多個帶寬致動系統122、124、126。該等致動系統122、124、126中的每一者可包括一或多個連接至一光學系統138的各自光學特徵132、314、136的致動器。該帶寬控制模組120從該控制系統112接收一信號114，該信號114包括運作或控制一或多個帶寬致動系統122、124、126的特定指令。

每一光學特徵132、314、136係與該光源104所產生的光束140光耦合。包括光學特徵132、314、136的光學系統138可包括例如反射光柵的色散光學元件、及例如可旋轉稜鏡折射光學元件。一包括由致動系統所控制的光學特徵之光學系統的範例，可於2009年10月23日提出申請且發明名稱為”用於選擇並控制光源帶寬的系統方法及裝置”之美國申請案第12/605,306號(‘306申請案)中找到，其全部內容係併入本案中以供參考。於‘306申請案中，敘述一光學系統包括一擴束器(包括一或多個稜鏡)、及例如光柵的色散元件。

該等致動系統122、124、126的致動器中的每一者係為一用於移動或控制該光學系統138的各自光學特徵132、134、136的機械裝置。該等致動器接收來自模組120的能量，並且將該能量轉換為傳至該光學系統138的光學特徵132、134、136的某種運動。例如，於’306申請案中致動系統係敘述為例如動力裝置(使力作用於光柵區域)、及用於使擴束器的一或多個稜鏡旋轉的旋轉台。該等致動系統122、124、126可包括，例如，如步進馬達的馬達、閥、壓力控制裝置、壓電裝置、線性馬達、液壓致動器、音圈、等等。

基於來自光束分析模組110及裝置106的輸入，該譜線窄化模組108產生一光束150(顯示於第2圖中)，其係被窄化至供給該控制系統112的目標帶寬之內。

該光束分析模組110包括一帶寬測量系統(亦被稱為帶寬計)111，其包括至少一個測量該光束104的帶寬資訊的感測器。該帶寬測量系統111使用干涉或色散儀器(例如分光計)。例如，該帶寬測量系統111可包括一或多個具有不同脈衝響應函數的分光計，例如於2005年10月4日所公告且發明名稱為”用於測量雷射輸出帶寬的方法及裝置”之美國專利第6,952,267號(‘267專利)中所述之，其全部內容係併入本案中以供參考。每一分光計提供一輸出，其代表有關或含有關於該光束104帶寬的資訊的測量參數。該帶寬測量系統111亦包括一計算裝置，其利用分光計輸出作為一方程組的一部份。該等方程式使用該分光計特定的預定校準變數，並且被用以根據一或多個度量來計算該光束104的帶寬的估計值。這類度量可為位於達到最大值的某些百分比或片斷(X)的光譜完全寬度(FWXM)，或者其可為該寬度含有總能量的某些百分比或片斷(Y)的部份(EY)。

該帶寬測量系統111包括複數組預定校準變數。該等組中的每一者係組構以提供一準確調諧的度量，來估算於一特定波長範圍且位於特定中心波長的帶寬。例如，當運作該帶寬致動系統122以主動控制該光學特徵132時，可預期的是，一第一組預定校準變數可與估算於第一帶寬範圍的帶寬相關。又例如，當運作該帶寬致動系統124以主動控制該光學特徵134時，可預期的是，一第二組預定校準變數可與估算於第二帶寬範圍的帶寬相關。

於某些實施中，該光源102可例如為一產生作為該光束104的脈衝雷射光束的脈衝雷射光源。亦參考第3圖，如此實施的一個範例，該光源102包括一提供種子雷射光束305至一功率放大器(PA)310的主控振盪器(MO)300。該控制系統112係經由一連接335而耦接至該主控振盪器300，且藉由一連接340的方式而耦接至該功率放大器310。該功率放大器300可例如為一再生環型共振器，如2009年3月27日提出申請且發明名稱為”再生環型共振器”之美國申請案第12/413,341號所敘述之，其全部內容係併入本案中以供參考。該主控振盪器300能夠精密調諧參數，例如中心波長及相對較低的輸出脈衝能量的帶寬。該功率放大器310接收來自該主控振盪器300的種子雷射光束305，並且放大此輸出以達到用於輸出至該裝置106中使用的該光束104(於此實施中，其係為一雷射光束)中的必要功率。

該主控振盪器300包括一具有兩個細長電極的放電腔、一雷射氣體、及一用於使該氣體循環於該等電極之間的風扇，並且一雷射諧振器係形成於位在該放電腔的一側的該譜線窄化模組108、與一位在該放電腔的第二側的輸出耦合器315之間。該主控振盪器300亦可包括一接收來自該輸出耦合器315的輸出的譜線中心分析模組320、及一或多個根據所需來修正雷射光束的尺寸及/或形狀的光束修正光學系統325。使用於該放電腔中的雷射氣體可為任何用於產生必須波長及帶寬的雷射光束的適當氣體，例如，該雷射氣體可為放射波長約193nm的光的氟化氬(ArF)、或放射波長約248nm的光的氟化氪(KrF)。

該功率放大器310包括一功率放大器放電腔，並且若其為一再生環型放大器，該功率放大器310亦包括一將雷射光束反射回該放電腔以形成一循環路徑的光束反射器330。該功率放大器放電腔包括一對細長電極、一雷射氣體、及一用於使該氣體循環於該等電極之間的風扇。該種子雷射光束305係藉由重覆通過該功率放大器310而被放大。該光束修正光學系統325提供一方法(例如，部分反射鏡)而與該種子雷射光束305內耦合、且與來自該功率放大器310的一部分被放大的輻射外耦合，以形成該輸出雷射光束104。

再次參考第1圖，來自該光源102的輸出雷射光束104可額外地被引導通過一光束修正系統160，其可包括一或多個脈衝拉伸器、一自動光閘、以及一光束傳送單元。於該脈衝拉伸器，該輸出雷射光束104的脈衝中的每一者可於例如一光延遲單元中被拉伸，以調整照射該裝置106的雷射光束之例如放射線量或曝光的性能屬性。在進入將雷射光束104導引至該裝置106的光束傳送單元之前，離開該脈衝拉伸器的雷射光束104可接著被導引通過該自動光閘。

參考第4及5圖，使用一從目標帶寬資訊410與測量帶寬資訊415之間的差405的絕對值所得到的錯誤信號400，來運作該控制系統112。可直接由該帶寬測量系統111的輸出425來判定所測量的帶寬資訊415，或者可藉由將雜訊420從該帶寬測量系統111的輸出425移除來判定。來自該控制系統112的輸出114係發送至該譜線窄化模組108(明確地係連接至輸出信號致動系統122、124、126的帶寬控制模組120)，其係連接至該光源102而導致該光源102運作的改變，以藉此改變來自光源102的帶寬435輸出。該帶寬測量系統111接收一部份的該光束104用於分析帶寬，該光束部份具有一帶寬430，其係為由該等帶寬致動系統122、124、126中的一或多個所控制的帶寬435與對該帶寬435的干擾440之組合，該干擾440係由於光源內變化的屬性所引起，例如舉例來說，腔內氣體或該光源102中光學組件的熱效應、該光源102的輸出能量的改變、該光源102中的組件的校準或位置的改變、以及聲波效應(透過該光束104的脈衝的重複率的改變之效應而可看到此聲波效應)。

該控制系統112包括一子系統(舉例來說，子程式)，例如目標帶寬開關500(第5圖)，其可基於來自一使用者或來自該裝置106所提供的目標帶寬資訊410，而從複數個目標範圍中選擇目標帶寬範圍。該控制系統112的其他子系統包括一組與每一目標範圍相關聯的運作模式。該控制系統112於該等模式中的每一者中係使用比例、積分、及微分控制值中的一或多個值。對於一第一目標帶寬範圍505，於完成被認為是能夠轉移至一第一範圍正常模式510之暫時模式的第一範圍切換模式535之後，該控制系統112運作於被認為是穩態模式的第一範圍正常模式510。例如，該第一範圍正常模式510可為一使用比例、積分、及微分控制值中一或多個值的閉迴路控制模式。於該第一範圍正常模式510中，運作該第一代寬致動系統122。該第一範圍切換模式535可為一開迴路控制模式或一閉迴路控制模式。

該控制系統112於第一範圍正常模式510中的運作，可類似於2002年5月21日所公告且發明名稱為”可調整角度色散之用於雷射的波長選擇器”之美國專利第6,393,037號(‘037專例)中所敘述之運作、以及於2008年4月9日提出申請且發明名稱為”改進帶寬控制的雷射光刻系統”之美國申請案第2008/0253413號(‘413申請案)中所敘述之運作，其兩者之等全部內容係併入本案中以供參考。於此等參考資料中，係於入射至一色散元件之前改變光束的放大率，且因放大率改變，從色散元件反射的光的帶寬隨之改變。藉由主動發起擴束器(一組稜鏡中的一或多個稜鏡)的定向(例如，角度)的改變，可該光束的放大率。因此，於該第一範圍正常模式510中，該控制系統112可組構以控制該帶寬致動系統122來修正該光學特徵(一擴束器)132的定向(例如，角度)，而變更該光學系統138中的色散元件(一光柵)所提供之角度色散的幅度，來選擇該第一帶寬範圍中的一帶寬。

對於一第二目標帶寬範圍515，於完成一能夠轉移至第二範圍正常模式525之暫時模式的第二範圍切換模式520之後，該控制系統112運作於第二範圍正常模式525(被認為是一穩態模式)。例如，該第二範圍正常模式525可為一使用低增益積分控制的閉迴路控制模式，而該第二範圍切換模式520可為一使用高增益比例-積分控制的閉迴路控制。一”低”增益一般係產生非常強烈穩定(所謂”超阻尼”)但稍微緩慢(與致動器速度有關)的閉迴路性能。一”高”增益係產生次阻尼(振盪)性能，但關於致動器速度係比低增益較快。此等模式中的每一者係參考第6-10圖而更詳細地敘述如下文。

為了簡單，示於第5圖中並敘述如下文的控制系統112包括兩個目標帶寬範圍，且運作於此等兩個目標範圍之間。然而，該控制系統112可包括三個或更多個目標範圍，且該控制系統112所實行的程序可被修正為延伸至三個或更多個目標範圍。對於三個或更多個範圍，該目標帶寬開關500切換於此等三個或更多個範圍之間，且視所需，該控制系統112包括對應運作於其他目標範圍之中及切換於其他目標範圍之間的其他模式。

亦參考第6圖，該控制系統112執行一用於運作並控制該光源102的程序600，包括控制輸出至該裝置106的光束104的帶寬。

該控制系統112實行平行的流程，其中兩個係顯示於第6圖中。於一第一流程中(顯示於圖式左手邊如一廣義流程)，該控制系統112開啟該光源102(步驟602)，並且輸出指令至該光源102以產生一光束(步驟604)。舉例來說，若該光源102係為第3圖中所顯示之包括主控振盪器300及功率放大器310的雷射光源，則該控制系統112(透過連接335及340)控制來至雷射光源於預定脈波重複率的脈衝能量及累積放射線能量輸出。於此實例中，該控制系統112亦以脈衝與放射線能量的反饋及前饋控制，而提供彼此相關之該主控振盪器的腔內放電及該功率放大器的腔內放電的觸發。該控制系統112判定是否已接收到一請求(舉例來說，來自該裝置106)以關掉該光源102(步驟606)，若是如此，該控制系統112關閉該光源102(步驟608)。

該控制系統112亦實行一用於控制該光束104的帶寬的第二流程(顯示於圖式右手邊)，同時該控制系統112輸出指令置該光源102(步驟604)。於此第二流程中，該控制系統112運作一第一帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統122)於該第一範圍正常模式510中(步驟610)。該控制系統112判定是否已接收到一例如來自該裝置106或來自使用者的請求，將該光束104的帶寬從該第一帶寬範圍改變至一與該第一帶寬範圍相異的第二帶寬範圍(步驟615)。若未接收到該請求(步驟615)，則該控制系統112持續運作該第一帶寬致動系統122於該第一範圍正常模式510中(步驟610)。若於另一方面，已接收到該請求(步驟615)，則該控制系統112從該第一帶寬致動系統的主動控制，切換至一第二帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統124)於該第二範圍切換模式520中的主動控制(步驟620)。

於切換完成之後(步驟620)，該控制系統112運作該第二帶寬致動系統於該第二範圍正常模式525中(步驟625)。該控制系統112判定是否已接收到一例如來自該裝置106或來至使用者的請求，將該光束104的帶寬從該第二帶寬範圍改變至該第一帶寬範圍(步驟630)。若該控制系統112判定未接收到請求(步驟630)，則該控制系統112持續運作該第二帶寬致動系統於該第二範圍正常模式525中(步驟625)。若該控制系統112判定已接收到該請求(步驟630)，則該控制系統112從該第二帶寬致動系統的主動控制，切換至該第一帶寬致動系統於第一範圍切換模式535的主動控制(步驟635)。當切換完成時，該控制系統112重新運作該第一帶寬致動系統於該第一範圍正常模式510中(步驟610)。

參考第7圖，該控制系統112實行一用於運作該第一帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統122)於第一範圍正常模示510的範例程序610。於該程序610中，該控制系統112從該帶寬測量系統111接收所測量的帶寬資訊415(步驟700)。於此實例中，因為該控制系統112正運作於第一範圍正常模式510，該帶寬測量系統111使用第一組預定校準變數來估算部分該光束104的帶寬資訊。舉例來說，該帶寬測量系統111可使用例如EY度量(其為該寬度含有總能量的某些百分比或片斷”Y”(例如，95%)的部份)的度量來估算該光束104的帶寬。該控制系統112判定所測量的帶寬資訊415是否與目標帶寬資訊410相匹配(步驟705)。

因有數個用以判定此匹配的不同方式，可使用任何適當的測試來比較所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410。舉例來說，匹配的判定可以將帶寬錯誤(距目標)的最後N個讀數的加權總合與一臨界值比對。帶寬錯誤係為所測量的帶寬與該目標帶寬之間的絕對差。如另一個範例，匹配的判定可以簡單地偵測(可能已過濾的)所測量的帶寬與一目標帶寬之間的算術差的正負號何時改變。

於可被稱為”最佳估計”的技術中，該控制系統112可藉由將(雜訊)測量(來自所測量的帶寬資訊415)與一基於電流致動器指令的預測(使用數學模型)結合，來估算一帶寬。於此實例中，該控制系統112藉由判定此最佳估計是否與一目標帶寬不同，來判定所測量的帶寬資訊415是否與該目標帶寬資訊410相匹配。

於另一個範例中，匹配的判定可包括判定該帶寬錯誤在一定的連續時間量是否於一臨界之中。於又另一個範例中，匹配的判定可包括判定該帶寬錯誤的變化率是否改變正負號至少N次(此可被視為N個振盪的錯誤信號振盪)。此外，此等匹配的判定大部分為獨立的，致使數種可能的獨立的匹配判定中的一或多個可被結合，而用以判定所測量的帶寬資訊415是否與該目標帶寬資訊410相匹配(步驟705)。

於某些實施中，若所測量的帶寬資訊415與目標帶寬資訊410之間的差400的絕對值低於一預定臨界值，則所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410相匹配。若所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410相匹配，則該控制系統112使該第一帶寬致動系統122維持於其目前的狀態中(步驟710)。若所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410並不匹配，則該控制系統112將該第一帶寬致動系統122調整至一方向，其導致該光學特徵132移動至一新的位置來選擇較接近該目標帶寬資訊(舉例來說，一目標帶寬)的新帶寬資訊(例如一新的帶寬)(步驟715)。

於某些實施中，於該第一範圍正常模式510中，該控制系統112利用調整入射至該譜線窄化模組108的色散元件的光束的放大率，來維持所測量的帶寬資訊415靠近該目標帶寬資訊410。

參考第8圖，該控制系統112實行一程序620，而從該第一帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統122)的主動控制切換至該第二帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統124)於該第二範圍切換模式520中的主動控制。該控制系統112儲存關於該第一帶寬致動系統122目前狀態的資訊(步驟800)。舉例來說，該控制系統112儲存關於該光學系統138的光學特徵132(舉例來說，擴束器的角度或色散元件的角度色散的幅度)的目前狀態的資訊。該控制系統112亦藉由輸出其係於該第二範圍切換模式520的通知作為該輸出裝置116的信號，而提供該通知(步驟805)。

該控制系統112接著設定該第一帶寬致動系統122為一事先校準的固定狀態(步驟810)。舉例來說，該第一帶寬致動系統122中的該等致動器中的每一個係被設定為各別的固定狀態。可使用適當的測量方法以預先判定該固定狀態。舉例來說，該固定狀態可為，該第一帶寬致動系統在接收到一將所產生的光束的帶寬從第一帶寬範圍改變至第二帶寬範圍之請求的時刻的狀態。如另一個範例，可從該第一帶寬致動系統於接收一請求，而將所產生的光束的帶寬從第一帶寬範圍改變至第二帶寬範圍的時刻的狀態函數，來判定該固定狀態。

儘管該第一帶寬致動系統122係於該固定狀態，該第一帶寬致動系統122亦可能對光束104的帶寬產生影響。因而，兩個或更多個帶寬致動系統可於任何時刻影響該光束104的帶寬，但於任何時刻僅有一個帶寬致動系統被主動控制。該光束104的實際帶寬於任何時間皆為所有致動器狀態的一函數，儘管於任何一個特定時刻，該等帶寬致動系統中僅有一個係使用於控制帶寬於其特定的帶寬範圍內。舉例來說，該控制系統112於步驟625主動控制該第二帶寬致動系統，但於此期間，該控制系統112亦使該第一帶寬致動系統維持於固定狀態中，且該光束104的帶寬取決於這兩個帶寬致動系統狀態。舉例來說，該第二帶寬致動系統可被使用於控制並選擇一”粗略的”帶寬範圍，而該第一帶寬致動系統可被使用於以一”精密的”方式來控制並選擇一帶寬。

該控制系統112亦發送一信號至該帶寬測量系統111，而從一使用與第一帶寬範圍內之測量較調諧的第一組預定校準變數的第一組態，切換至一使用與第二帶寬範圍內之測量較調諧的第二組預定校準變數的第二組態(步驟815)。

該控制系統112運作該第二帶寬致動系統124於一轉移模式中(步驟820)。於此模式中，該控制系統112從該帶寬測量系統111接收所測量的帶寬資訊415(舉例來說，所測量的帶寬)(步驟821)，並且判定所測量的帶寬資訊415是否與該目標帶寬資訊410相匹配(步驟822)。如同上文相對於步驟705所述，該控制系統112可使用任何適當的方法來判定匹配。於某些實施中，該控制系統112使用雜訊濾波與定限邏輯的組合作來出匹配的判定，如上文第4圖中所述。因此，舉例來說，在被該控制系統112接收之前，從所測量的帶寬資訊415濾除雜訊420。此外，該控制系統112在作出此判定時可利用基本定限邏輯。因此，該控制系統112可判定該錯誤信號400(即，所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410之間的絕對差)是否小於一預定的臨界值。

若該控制系統112判定沒有匹配(步驟822)，則該控制系統112將第二帶寬致動系統124調整至一方向，其導致該光學特徵134移動至一新的位置來選擇較接近該目標帶寬資訊410(舉例來說，一目標帶寬)的新帶寬資訊(例如一新的帶寬)(步驟830)。於此步驟期間，該第一帶寬致動系統122(以及除了該帶寬致動系統124之外的其他帶寬致動系統)係於該固定狀態。此外，於轉移模式期間(步驟820)，提供至該控制系統112的反饋增益非常高，而能夠更快速完成轉移至運作該第二帶寬致動系統124於該第二範圍正常模式525。

若該控制系統112判定有匹配(步驟822)，則該控制系統112運作於相對簡短的重置模式，於此模式中，其初始一系列重置函數以允許其學習並設定其他系統狀態至一新的運作條件(步驟825)。因為帶寬致動器的調整會導致其他雷射參數(舉例來說，能量、雷射增益、等等)改變而足以使其等之控制系統無法作用於令人接受的程度，所以包括該重置模式。該重置模式實質上給與此等其他控制系統”學習”並適應新的雷射參數的時間。一般，從任何帶寬範圍至任何其他帶寬範圍的任何切換，重置可為必要的。此外，每一類型的轉移可具有其本身獨特的重置函數。於該控制系統112判定該重置模式已完成之後(步驟830)，該控制系統112接著運作該第二帶寬致動系統於該第二範圍正常模式525(步驟625)。

參考第9圖，該控制系統112實行一用於運作該第二帶寬致動系統(例如，舉例來說，帶寬致動系統124)於第二範圍正常模式525的範例程序625。於該程序625期間，該控制系統112從該帶寬測量系統111接收所測量的帶寬資訊415(步驟900)。於此實例中，因為該控制系統112正運作於第二範圍正常模式525，該帶寬測量系統111正使用第二組預定校準變數來估算部分該光束104的帶寬資訊。舉例來說，該帶寬測量系統111可使用例如EX度量(其為該寬度含有總能量的某些百分比或片斷(例如，95%)的部份)的度量來估算該光束104的帶寬。該控制系統112判定所測量的帶寬資訊415是否與目標帶寬資訊410相匹配(步驟905)。如同上文相對於步驟705所述，該控制系統112可使用任何適當的方法來判定匹配。於某些實施中，若若所測量的帶寬資訊415與目標帶寬資訊410之間的差400的絕對值低於一預定臨界值，則所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410相匹配。若所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410相匹配(步驟905)，則該控制系統112使該第二帶寬致動系統124維持於其目前的狀態中(步驟910)。若所測量的帶寬資訊415與該目標帶寬資訊410並不匹配，則該控制系統112將該第二帶寬致動系統124調整至一方向，其導致該光學特徵134移動至一新的位置來選擇較接近該目標帶寬資訊(舉例來說，一目標帶寬)的新帶寬資訊(例如一新的帶寬)(步驟915)。

於某些實施中，該光學特徵134係為例如光柵的色散光學本體，而於第二範圍正常模式525，該控制系統112調整一或多個作用於該譜線窄化模組108中的光柵的力，以維持所測量的帶寬資訊415接近該目標帶寬資訊410。這樣的第二範圍正常模式525係敘述於上文所討論的’306申請案中。再者，於該第二範圍正常模式525，由於該第一帶寬致動系統122維持在其固定狀態(步驟810)，該第一光學特徵132係維持在一固定狀態。

於某些實施中，僅於該光源102的特定運作條件下，舉例來說，若該光源102的重複率維持在一預定的適當範圍內，該控制系統112可實行該第二帶寬致動系統124的主動控制(步驟905-915)。因此，若該光源102於所預定的適當範圍之外發光，則該控制系統112使該第二帶寬致動系統124維持在其目前的狀態，有效地運作於一開迴路模式。

參考第10圖，該控制系統112實行一程序635，而從該第二帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統124)的主動控制切換至該第一帶寬致動系統(例如，舉例來說，該帶寬致動系統122)於第一範圍切換模式535的主動控制。該控制系統112運作該第一帶寬致動系統122於一轉移模式(步驟1000)。於某些實施中，於該轉移模式(步驟1000)，該第一帶寬致動系統122係被命令控制在步驟800所儲存的狀態。

該控制系統112接著設定該第二帶寬致動系統124為一固定狀態(步驟1005)。舉例來說，於該第二帶寬致動系統124中的該等致動器中的每一個係被設定為各自的固定狀態。於某些實施中，該固定狀態可為，該第二帶寬致動系統在接收到一將所產生的光束的帶寬從第二帶寬範圍改變至第一帶寬範圍之請求的時刻的狀態。於其他實施中，該固定狀態為校準期間所判定之預先判定的狀態。

該控制系統112發送一信號至該帶寬測量系統111，而從一使用與第二帶寬範圍內之測量較調諧的第二組預定校準變數的第二組態，切換至一使用與第一帶寬範圍內之測量較調諧的第一組預定校準變數的第一組態(步驟1010)。該控制系統112亦藉由輸出其係於該第一範圍切換模式535的通知作為該輸出裝置116的信號，而提供該通知(步驟1015)。

然後，該控制系統112運作於相對簡短的重置模式，於此模式中，其初始一系列重置函數以允許其學習並設定其他系統狀態至一新的運作條件(步驟1020)。該控制系統112於判定該重置模式已完成(步驟1025)之後，該控制系統112接著運作該第一帶寬致動系統於第一範圍正常模式510(步驟610)。

亦參考第11圖，於某些實施中，轉移模式於步驟1000中可為一閉迴路控制模式，於其中，該控制系統112從該帶寬測量系統111接收所測量的帶寬資訊415(舉例來說，所測量的帶寬)(步驟1021)，並且判定所測量的帶寬資訊415是否與該目標帶寬資訊410相匹配(步驟1022)。如同上文相對於步驟705所述，該控制系統112可使用任何適當的方法來判定匹配。舉例來說，該控制系統112使用雜訊濾波與定限邏輯的組合來作出判定，如上文第4圖中所述。若該控制系統112判定沒有匹配(步驟1022)，則該控制系統112將第一帶寬致動系統122調整至一方向，其導致該光學特徵132移動至一新的位置來選擇較接近該目標帶寬資訊410(舉例來說，一目標帶寬)的新帶寬資訊(例如一新的帶寬)(步驟1023)。於此步驟期間，該第二帶寬致動系統124(以及除了該第一帶寬致動系統122的任何帶寬致動系統)係維持於其各別的固定狀態。若該控制系統112判定有匹配(步驟1022)，則該控制系統112運作於該簡短的重置模式(步驟1025)。

如上文所討論，該光系統100可為一運作於光刻機械106上的雷射系統。於此實例中，該雷射系統100係能夠運作並控制雷射光源102於兩個或更多個相異帶寬。例如，於此實施中，第一相異的帶寬範圍可為例如小於約0.5pm之較窄的帶寬範圍，而第二相異的帶寬範圍可為例如於約0.5與約1.7pm之間的較寬的帶寬範圍。這樣較寬的帶寬範圍係有用於例如聚焦鑽孔(focus drilling)的應用，其能夠使特定的光刻加工(例如，產生接觸孔)更有效且適當地被實行。

於某些實施中，可使用於測量該光束104的帶寬的度量可為平均絕對散焦(mean absolute defocus,MAD)，其係敘述於2009年8月25日提出申請之美國申請案第61/236,848號”雷射光光源的主動頻譜控制”，其全部內容係併入本案中以供參考。

該控制系統112可包括一或多個數位電子電路、電腦硬體、韌體、及軟體。該控制系統112亦可包括恰當的輸入與輸出裝置、電腦處理器、以及有形地具現於機械可讀取儲存裝置中而藉由一可程式處理器所執行的電腦程式產品。具現(上文所討論的)該技術的程序可由一執行程式指令的可程式處理器所實行，而藉由運作輸入資料及產生恰當的輸出來實行所欲的功能。一般，一處理器從唯讀記憶體及/或隨機存取記憶體接收指令與資料。適於有形地具現電腦程式指令與資料的儲存裝置包括所有形式的非揮發記憶體，以範例的方式包括，例如EPROM、EEPROM、及快閃記憶體裝置的半導體記憶體裝置；例如內部硬碟及可移磁碟的磁碟；磁光碟；以及唯讀記憶光碟(CD-ROM)。任何前述可特別設計的ASICs(特定應用積體電路)所輔助，或合併於其中。

其他實施係於下述申請專利範圍的範圍之中。

100．．．光系統

102．．．光源

104．．．光束

106．．．裝置

108．．．帶寬選擇系統

110．．．光束分析模組

111．．．帶寬測量系統

112．．．控制系統

114．．．信號

116．．．輸出設備

120．．．帶寬控制模組

122．．．帶寬致動系統

124．．．帶寬致動系統

126．．．帶寬致動系統

132．．．光學特徵

134．．．光學特徵

136．．．光學特徵

138．．．光學系統

140．．．光束

150．．．光束

160．．．光束修正系統

300．．．主控振盪器

305．．．種子雷射光束

310．．．功率放大器

315．．．耦合器

320．．．譜線中心分析模組

325．．．光束修正光學系統

330．．．光束反射器

335．．．連接

340．．．連接

400．．．錯誤信號

405．．．差

410．．．目標帶寬資訊

415．．．測量帶寬資訊

420．．．雜訊

425．．．輸出

430．．．帶寬

435．．．帶寬

440．．．干擾

500．．．目標帶寬開關

505．．．第一目標帶寬範圍

510．．．第一範圍正常模式

515．．．第二目標帶寬範圍

520．．．第二範圍切換模式

525．．．第二範圍正常模式

535．．．第一範圍切換模式

600．．．程序

602-635．．．步驟

610．．．程序

700-715．．．步驟

620．．．程序

800-835．．．步驟

625．．．程序

900-915．．．步驟

635．．．程序

1000-1030．．．步驟

第1圖為一提供輸入至一例如光刻機械的裝置的光系統的方塊圖；

第2圖為第1圖的光系統的帶寬選擇系統的方塊圖；

第3圖為一可使用於第1圖的光系統中的範例光源的方塊圖；

第4圖為一可被第1圖的光系統的控制系統所使用的控制方案的方塊圖；

第5圖為一使用於第1圖的光系統中的控制系統的方塊圖；

第6圖為一用於選擇第1圖的光系統中的帶寬的程序的流程圖；

第7圖為一用於運作第1圖的光系統的第一帶寬致動系統的程序的流程圖；

第8圖為一用於從啟動控制該第一帶寬致動系統切換至第1圖的光系統的第二帶寬致動系統的程序的流程圖；

第9圖為一用於運作第1圖的光系統的第二帶寬致動系統的程序的流程圖；

第10圖為一用於從啟動控制該第二帶寬致動系統切換至第1圖的光系統的第一帶寬致動系統的程序的流程圖；及

第11圖為一用於運作第一帶寬致動系統於閉迴路轉移模式中的程序的流程圖。

100．．．光系統

102．．．光源

104．．．光束

106．．．裝置

108．．．帶寬選擇系統

110．．．光束分析模組

111．．．帶寬測量系統

112．．．控制系統

114．．．信號

116．．．輸出設備

120．．．帶寬控制模組

122．．．帶寬致動系統

124．．．帶寬致動系統

126．．．帶寬致動系統

132．．．光學特徵

134．．．光學特徵

136．．．光學特徵

138．．．光學系統

140．．．光束

160．．．光束修正系統

Claims (27)

1. 一種用於控制光帶寬(bandwidth)的方法，包含：產生一光束；致能控制所產生的光束的帶寬於一第一目標帶寬範圍內，包括致能啟動及控制一第一帶寬致動系統，其連接至與所產生的光束光耦合的第一光學特徵；以及致能控制所產生的光束的帶寬於一第二目標帶寬範圍內，包括致能啟動及控制一第二帶寬致動系統，其連接至與所產生的光束光耦合的第二光學特徵；其中：該第二目標帶寬範圍係有別於該第一目標帶寬範圍，只有該第一帶寬致動系統係用於控制所產生的光束的帶寬於該第一目標帶寬範圍內，且只有該第二帶寬致動系統係用於控制所產生的光束的帶寬於該第二目標帶寬範圍內。
2. 如申請專利範圍第1項之方法，更包含接收一將所產生的光束的帶寬從第一目標帶寬範圍改變至第二目標帶寬範圍的請求。
3. 如申請專利範圍第1項之方法，更包含，因應一切換指令，而切換於第一目標範圍內的帶寬控制與第二目標範圍內的帶寬控制之間。
4. 如申請專利範圍第1項之方法，更包含切換於第一目標範圍內的帶寬控制與第二目標範圍內的帶寬控制之間，其 中該切換包括：選擇第二目標帶寬資訊；設定該第一帶寬致動系統為一第一固定狀態；將一帶寬測量系統從一第一組態切換至一第二組態；從該帶寬測量系統接收所測量的帶寬資訊；判定所測量的帶寬資訊是否與該第二目標帶寬資訊相匹配；及啟動該第二帶寬致動系統以導致該第二光學特徵來修正所產生的光束的帶寬，直到判定所測量的帶寬資訊與該第二目標帶寬資訊相匹配為止。
5. 如申請專利範圍第4項之方法，其中，從該帶寬測量系統接收所測量的帶寬資訊包括，當運作於該第二組態時接收所測量的帶寬資訊。
6. 如申請專利範圍第4項之方法，更包含，於設定該第一帶寬致動系統設定為第一固定狀態之前，儲存關於該第一帶寬致動系統的一或多個組件的狀態的資訊。
7. 如申請專利範圍第4項之方法，其中該第一固定狀態係為，該第一帶寬致動系統在接收到將所產生的光束的帶寬從第一目標帶寬範圍改變至第二目標帶寬範圍之請求的時刻的狀態。
8. 如申請專利範圍第4項之方法，其中，該第一固定狀態係從該第一帶寬致動系統於接收一請求而將所產生的光束的帶寬從第一目標帶寬範圍改變至第二目標帶寬範圍的 時刻的狀態之函數來判定。
9. 如申請專利範圍第4項之方法，更包含控制該第二帶寬致動系統，以降低所測量的帶寬資訊與該第二目標帶寬資訊之間的絕對誤差，直到接收到一將所產生的光束的帶寬從第二目標帶寬範圍改變至第一目標帶寬範圍的請求為止。
10. 如申請專利範圍第4項之方法，更包含，將該帶寬測量系統從第一組態切換至第二組態之後，控制該第二帶寬致動系統於一重置模式。
11. 如申請專利範圍第4項之方法，更包含，於接收到將所產生的光束的帶寬從第二目標帶寬範圍改變至第一目標帶寬範圍的請求的時候，切換於第二目標範圍內的帶寬控制與第一目標範圍內的帶寬控制之間，交換包括：選擇第一目標帶寬資訊；設定該第二帶寬致動系統為一第二固定狀態；將該帶寬測量系統從該第二組態切換至該第一組態；當運作於該第一組態的時候，從該帶寬測量系統接收所測量的帶寬資訊；判定所測量的帶寬資訊是否與該第一目標帶寬資訊相匹配；及啟動該第一帶寬致動系統以導致該第一光學特徵來修正所產生的光束的帶寬，直到判定所測量的帶寬資訊與該第一目標帶寬資訊相匹配為止。
12. 如申請專利範圍第11項之方法，其中該第二固定狀態係為，該第二帶寬致動系統在接收到將所產生的光束的帶寬從第二目標帶寬範圍改變至第一目標帶寬範圍之請求的時刻的狀態。
13. 如申請專利範圍第11項之方法，其中該第二固定狀態係為於校準期間所判定的預定狀態。
14. 如申請專利範圍第11項之方法，更包含控制該第一帶寬致動系統，以降低所測量的帶寬資訊與該第一目標帶寬資訊之間的絕對誤差，直到接收到將所產生的光束的帶寬從第一目標帶寬範圍改變至第二目標帶寬範圍的請求為止。
15. 如申請專利範圍第11項之方法，更包含發送一信號至該第一帶寬致動系統，以返回至設定該第一帶寬致動系統為第一固定狀態前所儲存的狀態。
16. 如申請專利範圍第11項之方法，更包含，將該帶寬測量系統從該第二組態切換至該第一組態之後，控制該第一帶寬致動系統於一重置模式。
17. 如申請專利範圍第1項之方法，更包含切換於第一目標範圍內的帶寬控制與第二目標範圍內的帶寬控制之間，其中於第一目標範圍內的帶寬控制與第二目標範圍內的帶寬控制之間的切換包含，將一帶寬測量系統從一第一組態切換至一第二組態。
18. 如申請專利範圍第17項之方法，其中將該帶寬測量系統從該第一組態切換至該第二組態包括，從第一組校準變 數切換至第二組校準變數。
19. 如申請專利範圍第18項之方法，其中：該第一組校準變數係為預先判定，並組構以提供一被調諧來估算於第一目標帶寬範圍的帶寬的度量；該第二組校準變數係為預先判定，並組構以提供一被調諧來估算於第二目標帶寬範圍的帶寬的度量。
20. 如申請專利範圍第1項之方法，其中產生該光束包括產生一雷射光束。
21. 一種用於控制光帶寬的裝置，包含：一產生一光束的光源；一帶寬測量系統，其組構以接收從該光源輸出的光束的一部分，且組構以測量該光束部分的帶寬並提供該帶寬測量；複數個帶寬致動系統，每一個帶寬致動系統包括一或多個帶寬致動器，且每一個帶寬致動系統係連接至與所產生的光束光耦合的光學特徵，並可運作以修正所連接的光學特徵，來選擇一於所產生的光束的目標帶寬範圍內的帶寬；及一連接至該帶寬測量系統及該等複數個帶寬致動系統的控制系統，該控制系統係組構以：基於一所提供的帶寬測量及一所選擇的目標帶寬，而切換於啟動並運作一第一帶寬致動系統、與獨立且分別於啟動並運作該第一帶寬致動系統而啟動並運作一第二帶寬致動系統之間， 切換及啟動僅該第一帶寬致動系統以控制所產生的光束的帶寬於一第一目標帶寬範圍內，且切換及啟動僅該第二帶寬致動系統以控制所產生的光束的帶寬於一第二目標帶寬範圍內。
22. 如申請專利範圍第21項之裝置，更包含一組構以被設定於一目標帶寬的目標帶寬開關，該目標帶寬係於一選擇自複數個相異目標帶寬範圍的目標帶寬範圍之內。
23. 如申請專利範圍第21項之裝置，其中該光源包括一雷射光源，且該光束係為一雷射光束。
24. 如申請專利範圍第21項之裝置，更包含一接收所產生的光束的光刻裝置。
25. 如申請專利範圍第21項之裝置，其中該等光學特徵中的至少一個包括一色散元件。
26. 如申請專利範圍第21項之裝置，其中該等光學特徵中的至少一個包括一擴束器。
27. 一種控制脈衝雷射光束的帶寬的方法，包括：產生脈衝雷射光束；從一帶寬測量系統接收所產生的該雷射光束的測定帶寬資訊；及基於所接收之該測定帶寬資訊，控制所產生的該雷射光束的帶寬於複數個目標帶寬範圍之內，包括啟動並控制複數個各自連接至一與所產生之該雷射光束光耦合的光學特徵的帶寬致動系統；其中： 該等複數個目標帶寬範圍中的每一目標帶寬範圍係相異於該等複數個目標帶寬範圍中的其他目標帶寬範圍的每一者，且該等帶寬致動系統中只有一個被啟動並被控制以在任何特定時刻將該帶寬控制在一特定目標帶寬範圍內。