TWI522743B - 著色感放射線性組成物、固化膜及其製備方法、彩色濾光片及其製備方法、用於噴墨印刷的墨水、固態影像感測器、液晶顯示裝置以及有機el顯示裝置 - Google Patents
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Description
本發明是關於著色感放射線性組成物;使用所述組成物之固化彩色膜、彩色濾光片以及用於噴墨印刷之墨水;用於製備彩色濾光片的方法;固態影像感測器;液晶顯示裝置以及有機EL顯示裝置。
彩色濾光片是固態影像感測器及液晶顯示器之基本組件。尤其在用於固態影像感測器之彩色濾光片中,將需要改良顏色分離及解析度。
近年來,隨著趨向薄膜固態影像感測器之傾向,對於增加彩色抗蝕劑中著色劑之濃度的要求不斷提高。
舉例而言,專利文獻1提出藉由將具有特定結構之單體組合於含
有高顏料含量之感光性樹脂組成物中來增加著色劑之濃度以解決此要求。
參考文獻
專利文獻
專利文獻1:JP-A2007-328148。
我們評估並檢查了專利文獻1中所述之感光性組成物,且最近發現在室溫下靜置6個月後,塗有專利文獻1中所述之感光性組成物的表面上出現凹坑缺陷,且在冷藏6個月後,塗有專利文獻1中所述之感光性組成物的表面上沈積晶體。
本發明解決了上述問題,且具體言之,目標在於提供著色感放射線性組成物,其即使在室溫下靜置6個月後亦不會在塗有其之表面上造成凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後亦不會在塗有其之表面上造成晶體沈積;以及使用所述組成物之彩色濾光片、用於噴墨印刷之墨水、固態影像感測器、液晶顯示裝置以及有機EL顯示裝置。
藉由對解決上述問題之仔細研究,基於以下發現完成本發明:另外含有濃度為0.1ppm至10ppm之甲苯的著色感放射線性組成物即使在室溫下靜置6個月後亦不會在塗有其之表面上造成凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後亦不會在塗有其之表面上造成晶體沈積。
所述問題是由以下組態[1]、較佳由組態[2]至[17]解決。
[1]一種著色感放射線性組成物,包括(1)著色劑、(2)光可聚合化合物、(3)甲苯、(4)光起始劑以及(5)黏合劑樹脂,其中著色感放射線性組成物中甲苯之濃度為0.1ppm至10ppm。
[2]如[1]所述之著色感放射線性組成物,其中以固體含量表示之光可聚合化合物之濃度為5質量%或大於5質量%。
[3]如[1]或[2]所述之著色感放射線性組成物,其中以固體含量表示之著色劑之濃度為40%或大於40%。
[4]如[1]至[3]中任一項所述之著色感放射線性組成物,其中光起始劑為肟(oxime)光起始劑。
[5]如[1]至[4]中任一項所述之著色感放射線性組成物,其中黏合劑樹脂為鹼溶性樹脂。
[6]如[1]至[5]中任一項所述之著色感放射線性組成物,其中著色劑為顏料。
[7]如[6]所述之著色感放射線性組成物,其中顏料為綠色顏料。
[8]一種固化膜,其是藉由使如[1]至[7]中任一項所述之著色感放射線性組成物固化來獲得。
[9]一種用於製備固化膜之方法,包括以下步驟:將如[1]至[7]中任一項所述之著色感放射線性組成物塗覆於基板上;以及使所塗覆之著色感放射線性組成物曝光。
[10]一種彩色濾光片,其是藉由使用如[1]至[7]中任一項所述之著色感放射線性組成物來形成。
[11]一種用於製備彩色濾光片之方法,包括以下步驟:將如[1]至[7]中任一項所述之著色感放射線性組成物塗覆於基板上;以及使所述著色感放射線性組成物進行圖案化曝光。
[12]一種用於噴墨印刷之墨水,包括如[1]至[7]中任一項所述之著色感放射線性組成物。
[13]一種固態影像感測器、液晶顯示裝置或有機EL顯示裝置,包括如[10]所述之彩色濾光片或藉由如[11]所述之方法所獲得之彩色濾光片。
[14]如[1]至[7]中任一項所述之著色感放射線性組成物,更至少包括界面活性劑、聚合抑制劑以及有機溶劑。
[15]如[1]至[7]以及[14]中任一項所述之著色感放射線性組成物,其中以所述組成物之總固體計,所述光起始劑之含量為1質量%至15質量%。
[16]如[1]至[7]以及[15]中任一項所述之著色感放射線性組成物,其中以所述組成物之總固體計,所述光可聚合化合物之含量為0.1質量%至20質量%。
[17]如[1]至[7]、[14]至[16]中任一項所述之著色感放射線性組成物,其中所述光可聚合化合物為多官能性單體。
本發明使得有可能提供著色感放射線性組成物,其即使在室溫下靜置6個月後亦不會在塗有其之表面上造成凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後亦不會在塗有其之表面上造成晶體沈積;以及使用所述組成物之彩色濾光片、用於噴墨印刷之墨水、固態
影像感測器、液晶顯示裝置以及有機EL顯示裝置。
下文將詳細說明本發明。如本文中所使用,以「至」表示之數值範圍意謂包含在「至」之前及之後所指示之值作為下限及上限的範圍。
如本文中所使用,「放射線」意欲包含可見光線、紫外線、遠紫外線、電子束、X射線以及類似物。亦如本文中所使用,「著色層」是指由彩色濾光片中所用之像素及/或黑色矩陣構成之層。
在本發明之著色感放射線性組成物中,總固體是指總著色感放射線性組成物中除有機溶劑外之組分的總質量。
如本文中所使用,「烷基」意欲包含可經取代或未經取代之「直鏈、分支鏈以及環狀」烷基。如本文中所使用,「(甲基)丙烯酸酯」是指丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯中之兩者或任一者,「(甲基)丙烯酸」是指丙烯酸及甲基丙烯酸中之兩者或任一者,且「(甲基)丙烯醯基」是指丙烯醯基及甲基丙烯醯基中之兩者或任一者。
如本文中所使用,術語「單體物質」與「單體」是同義詞。如本文中所使用,單體與寡聚物及聚合物不同,且是指重量平均分子量為2,000或小於2,000之化合物。如本文中所使用,「光可聚合化合物」是指具有可聚合官能基之化合物,且可為單體或
聚合物。所述可聚合官能基是指聚合反應中所涉及之基團。
當本文中在未提及「經取代」及「未經取代」之情況下表述基團(原子團)時,不僅包含不具有取代基之彼等基團,而且包含具有取代基之彼等基團。舉例而言,「烷基」意欲不僅包含不具有取代基之烷基(未經取代之烷基),而且包含具有取代基之烷基(經取代之烷基)。
如本文中所使用,本發明之彩色濾光片中之「著色區域」包含著色像素區域(著色圖案)及形成彩色濾光片中之遮光膜之區域。
[著色感放射線性組成物]
本發明之著色感放射線性組成物(下文有時稱為「本發明之組成物」)是包括(1)著色劑、(2)甲苯、(3)光可聚合化合物、(4)光起始劑以及(5)黏合劑樹脂之著色感放射線性組成物,其特徵在於所述著色感放射線性組成物中所述甲苯之濃度為0.1ppm至10ppm。
已發現,含有濃度為0.1ppm至10ppm之甲苯的本發明之組成物即使在室溫下靜置6個月後亦不會在塗有其之表面上造成凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後亦不會在塗有其之表面上造成晶體沈積。下文詳細描述本發明之組成物中所含之各種組分。
(1)著色劑:
本發明中所用之著色劑不受特別限制,且通常已知之多種染料及顏料可單獨使用或以其兩者或大於兩者之混合物形式使用,且可適當地選擇以適合光可聚合組成物之應用。當使用本發明之
光可聚合組成物製備彩色濾光片時,可使用形成彩色濾光片之彩色像素的彩色著色劑(諸如R、G、B以及類似物)以及通常用於形成黑色矩陣之黑色著色劑。
下文參考適合應用於彩色濾光片之著色劑的實例來詳細描述著色劑。可使用之彩色顏料包含多種通常已知之無機顏料或有機顏料。不論使用無機顏料還是有機顏料,其較佳儘可能地精細,因為其較佳具有高透射率,且當亦考慮便於處理性時,這些顏料之平均初始粒徑較佳為0.01微米至0.1微米,更佳為0.01微米至0.05微米。
無機顏料包含以金屬氧化物、金屬錯合物以及類似物為代表之金屬化合物,具體言之諸如鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻以及銀之金屬的氧化物,以及這些金屬之複合氧化物。亦可使用氮化鈦、銀-錫化合物、銀化合物以及類似物。
可較佳用於本發明中之顏料列於下文。然而,本發明並不限於以下清單。
C.I.顏料黃1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、
188、193、194、199、213、214以及類似物;C.I.顏料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73以及類似物;C.I.顏料紅1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279;C.I.顏料綠7、10、36、37、58;C.I.顏料紫1、19、23、27、32、37、42;C.I.顏料藍1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、80;C.I.顏料黑1。
這些有機顏料可單獨使用或以各種組合形式使用以增加顏色純度。
當著色劑為染料時,可獲得將其均勻溶解之著色組成物。可用作著色感放射線性組成物中所含之著色劑的染料不受特別限制,且可使用通常已知用於彩色濾光片之染料。舉例而言,可使用吡唑(pyrazole)偶氮染料、苯胺基(anilino)偶氮染料、三苯基甲烷(triphenylmethane)染料、蒽醌(anthraquinone)染料、蒽吡啶酮(anthrapyridone)染料、苯亞甲基(benzylidene)
染料、氧喏(oxonol)染料、吡唑并三唑(pyrazolo-triazole)偶氮染料、吡啶酮(pyridone)偶氮染料、花青(cyanine)染料、啡噻嗪(phenothiazine)染料、吡咯并吡唑(pyrrolopyrazole)甲亞胺(azomethine)染料、、呫噸(xanthene)染料、酞菁(phthalocyanine)染料、苯并哌喃(benzopyran)染料、靛青(indigo)染料、吡咯亞甲基(pyrromethene)染料以及類似物。亦可使用這些染料之聚合物。
有時宜使用酸性染料及/或其衍生物,藉由用水或鹼顯影而自未經照射之區域完全移除黏合劑及/或染料。另外,亦有利地使用直接染料、鹼性染料、媒染染料、酸性媒染染料、冰染染料(azoic dye)、分散染料、油溶性染料、食用染料及/或其衍生物以及類似物。
酸性染料之具體實例包含(但不限於)例如酸性茜素紫N(acid alizarin violet N);酸性黑1、2、24、48;酸性藍1、7、9、15、18、23、25、27、29、40至45、62、70、74、80、83、86、87、90、92、103、112、113、120、129、138、147、158、171、182、192、243、324:1;酸性鉻紫K;酸性品紅(acid Fuchsin);酸性綠1、3、5、9、16、25、27、50;酸性橙6、7、8、10、12、50、51、52、56、63、74、95;酸性紅1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、183、198、211、215、216、217、249、252、257、260、266、274;酸性紫6B、7、9、17、
19;酸性黃1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、42、54、72、73、76、79、98、99、111、112、114、116、184、243;食用黃(Food Yellow)3;以及這些染料之衍生物。
亦較佳使用其他酸性偶氮、呫噸以及酞菁染料,以及諸如下述之酸性染料:C.I.溶劑藍44、38;C.I.溶劑橙45;若丹明(Rhodamine)B以及若丹明110,以及這些染料之衍生物。
其中,著色劑較佳由以下選出:三芳基甲烷著色劑、蒽醌著色劑、甲亞胺著色劑、苯亞甲基著色劑、氧喏著色劑、花青著色劑、啡噻嗪著色劑、吡咯并吡唑甲亞胺著色劑、呫噸著色劑、酞菁著色劑、苯并哌喃著色劑、靛青著色劑、吡唑偶氮著色劑、苯胺基偶氮著色劑、吡咯并吡唑偶氮著色劑、吡啶酮偶氮著色劑、蒽吡啶酮著色劑以及吡咯亞甲基著色劑。
此外,可組合使用顏料及染料。
可用於著色感放射線性組成物中之著色劑較佳為染料或顏料。特別是,希望顏料之平均粒徑(r)為20奈米r300奈米,較佳為125奈米r250奈米,尤其較佳為30奈米r200奈米。使用具有所述平均粒徑之顏料允許獲得具有高對比率及高透光率之像素。如本文中所使用,「平均粒徑」是指由顏料之初始粒子(單一微晶)之集合(assembly)構成的二級粒子之平均粒徑。平均初始粒徑可藉由計算在藉由SEM或TEM觀察時不顯示聚集之粒子之區域中所量測的100個粒子之大小的平均值來測定。
此外,可用於本發明中之顏料較佳地具有使得處於平均粒徑±100奈米中之二級粒子佔總粒子之70質量%或大於70質量%、
較佳80質量%或大於80質量%的二級粒子之粒徑分布(下文簡稱為「粒徑分布」)。在本發明中,藉由使用散射強度分布來測定粒徑分布。
具有上文所定義之平均粒徑及粒徑分布的顏料可藉由將市售顏料及視情況存在之其他顏料(通常平均粒徑大於300奈米)較佳地以顏料混合物形式與分散劑及溶劑混合/用分散劑及溶劑分散,同時使用例如珠粒研磨機、輥磨機或其類似物之研磨機對其進行研磨來製備。由此獲得之顏料通常呈顏料分散液形式。
-顏料之粉碎-
在本發明中,必要時,可使用精細且具有均一大小之有機顏料粉末。顏料之粉碎可藉由以下步驟達成:由顏料及水溶性有機溶劑以及水溶性無機鹽製備高黏度液體組成物,以及藉由使用濕磨機或類似物施加機械力來對其進行研磨。
顏料之粉碎製程中所用之水溶性有機溶劑包含甲醇、乙醇、異丙醇、正丙醇、異丁醇、正丁醇、乙二醇、二乙二醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇、丙二醇單甲醚乙酸酯以及類似物。
可使用少量其他較低水溶性或水不溶性溶劑,例如苯、二甲苯、乙苯、氯苯、硝基苯、苯胺、吡啶、喹啉、四氫呋喃、二噁烷、乙酸乙酯、乙酸異丙酯、乙酸丁酯、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、環己烷、甲基環己烷、鹵化烴、丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、二甲基甲醯胺、二甲亞碸、N-甲基吡咯啶酮以及類似物,只要其吸附於顏料且不排放
至流出物中即可。必要時,在顏料之粉碎製程中,溶劑可單獨使用或以其兩者或大於兩者之混合物形式使用。
在本發明中於顏料之粉碎製程中所用之水溶性無機鹽包含氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、氯化鋇、硫酸鈉以及類似物。
粉碎製程中所用之水溶性無機鹽的量以質量計為顏料之1倍至50倍,且研磨作用隨著所述量增加而增加,但由於產生率,更佳量以質量計為1倍至10倍。此外,較佳使用水分含量為1%或小於1%之無機鹽。
按100質量份顏料計,粉碎製程中所用之水溶性有機溶劑的量在50質量份至300質量份之範圍內,較佳在100質量份至200質量份之範圍內。
在顏料之粉碎製程中濕磨機之操作條件不受特別限制,但當研磨機為捏合機(kneader)時,用研磨介質進行有效研磨之操作條件如下:葉片之旋轉速度較佳為10轉/分鐘至200轉/分鐘,且兩個軸之旋轉速度的比率較佳相對較高,因為研磨作用增加。操作時間較佳為1小時至8小時,包含濕磨時間,且設備之內部溫度較佳為50℃至150℃。用作研磨介質之水溶性無機鹽在研磨後較佳粒徑為5微米至50微米,具有窄粒徑分布及球形形狀。
-顏料之摻合(混色)-
這些有機顏料可單獨使用或以各種組合使用以增加顏色純度。所述組合之具體實例如下所示。舉例而言,可使用之紅色顏料包含蒽醌顏料、苝(perylene)顏料以及二酮基吡咯并吡咯(diketopyrrolopyrrole)顏料,其可為單獨或呈其中至少一者與雙
偶氮黃色顏料、異吲哚啉(isoindoline)黃色顏料、喹啉黃(quinophthalone)黃色顏料或苝紅色顏料、蒽醌紅色顏料或二酮基吡咯并吡咯紅色顏料以及類似物之混合物形式。舉例而言,蒽醌顏料包含C.I.顏料紅177,苝顏料包含C.I.顏料紅155及C.I.顏料紅224,且二酮基吡咯并吡咯顏料包含C.I.顏料紅254,且由於彩色再現性,其較佳與C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃139或C.I.顏料紅177混合。此外,紅色顏料與其他顏料之間的質量比較佳為100:5至100:80。當其在此範圍內時,可降低在400奈米至500奈米下之透光率,可改良顏色純度且可達成足夠顯色性。特別是,所述質量比最佳在100:10至100:65之範圍內。當紅色顏料彼此組合時,可控制質量比以達成所需色度。
可使用之綠色顏料包含鹵化酞菁顏料,其可為單獨或呈其與雙偶氮黃色顏料、喹啉黃黃色顏料、甲亞胺黃色顏料或異吲哚啉黃色顏料之混合物形式。舉例而言,所述顏料之實例較佳包含C.I.顏料綠7、36、37或58與C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃150、C.I.顏料黃180或C.I.顏料黃185之混合物。綠色顏料與黃色顏料之間的質量比較佳為100:5至100:200。當所述質量比在上述範圍內時,可降低在400奈米至500奈米下之透光率,可改良顏色純度且可獲得接近於NTSC模式中之目標色調之色調設計值,而主波長不向更長波長移位。所述質量比尤佳在100:20至100:150之範圍內。
可使用之藍色顏料包含單獨或呈與二噁嗪(dioxazine)紫色顏料之混合物形式的酞菁顏料。一個尤佳實例包含C.I.顏料藍
15:6與C.I.顏料紫23之混合物。
藍色顏料與紫色顏料之間的質量比較佳為100:0至100:100,更佳為100:70或小於100:70。
亦可使用無機顏料,包含例如由金屬顏料、金屬化合物、金屬氧化物或類似物、碳黑以及類似物組成之含金屬無機顏料。本發明之光可聚合組成物可不僅用於形成彩色濾光片之著色區域(像素),而且亦形成黑色矩陣,在所述情況下用於形成黑色矩陣之黑色顏料包含碳、鈦黑、氧化鐵、氧化鈦、銀-錫、銀以及類似物,以及基於含有金屬氧化物(諸如氧化鈦以及類似物)之金屬混合物之顏料。
用作本發明之著色劑的顏料較佳為綠色顏料。
下文詳細描述鈦黑分散液。鈦黑分散液是指含有鈦黑作為著色材料之分散液。
鈦黑在光可聚合組成物中之可分散性及分散穩定性是藉由合併其成為預製備之鈦黑分散液來改良。
下文解釋鈦黑。
-鈦黑-
鈦黑是指含有鈦原子之黑色粒子。其較佳為鈦之低價氧化物、三氮化鈦或類似物。鈦黑粒子可視情況經表面改質以改良可分散性或防止聚集或用於其他目的。如JP-A2007-302836中所示,其可塗有氧化矽、氧化鈦、氧化鍺、氧化鋁、氧化鎂或氧化鋯,或經拒水材料處理。
鈦黑之粒徑不受特別限制,但較佳為3奈米至2000奈
米,更佳為10奈米至500奈米,甚至更佳為20奈米至200奈米,以改良可分散性及著色性質。
鈦黑之比表面積不受特別限制,但如藉由BET所測定,通常為約5平方公尺/公克至150平方公尺/公克,尤佳為約20平方公尺/公克至100平方公尺/公克,以便鈦黑在已經拒水材料表面處理後可具有一定程度之拒水效能。
市售鈦黑之實例包含例如來自三菱材料株式會社(Mitsubishi Materials Corporation)之鈦黑10S、12S、13R、13M、13M-C、13R以及13R-N;來自赤穂化成株式會社(AKO KASEI Co.,LTD.)之替拉克D(Tilack D),以及類似物,但本發明並不限於這些實例。
以著色感放射線性組成物之總固體計,著色感放射線性組成物中所含之著色劑的含量(濃度)較佳為40質量%或大於40質量%,更佳為44質量%或大於44質量%,甚至更佳為48質量%。上限不受特別限制,但較佳為60質量%。
當著色劑之含量在上述範圍內時,可在由著色感放射線性組成物製備之彩色濾光片中達成適當色度。此外,可在鹼性顯影期間防止窄顯影寬容度,因為所述組成物經充分光固化以保持膜之強度。
<顏料分散液>
當著色劑為顏料時,本發明之組成物較佳藉由預先將顏料以及顏料分散劑、有機溶劑、顏料衍生物以及其他組分以及類似物分散以製備顏料分散液,且將所得顏料分散液與(2)光可聚合化
合物、(3)甲苯、(4)光起始劑以及(5)黏合劑樹脂混合來製備。
製備顏料分散液之方法不受特別限制,且可藉由例如預先利用均質機或類似物將顏料及顏料分散劑之預混物分散且藉由使用氧化鋯珠粒或類似物之珠粒分散器(例如來自格茨曼公司(GETZMANN)之迪普曼高速分散機(DISPERMAT))或類似物將混合物精細分散來進行。
可用於本發明中之顏料分散劑包含聚合物分散劑[例如聚醯胺基胺及其鹽、聚羧酸及其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質之聚胺基甲酸酯、改質之聚酯、改質之聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸共聚物以及萘磺酸/甲醛縮合物],以及聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺、顏料衍生物以及類似物。聚合物分散劑可進一步根據其結構分類為直鏈聚合物、末端改質之聚合物、接枝聚合物以及嵌段聚合物。
聚合物分散劑藉由吸附於顏料表面來用於防止顏料再聚集。因此,較佳結構包含具有用於顏料表面之錨定部分的末端改質之聚合物、接枝聚合物以及嵌段聚合物。另一方面,顏料衍生物起到藉由對顏料表面進行改質來促進聚合物分散劑吸附於顏料的作用。
具有用於顏料表面之錨定部分的末端改質之聚合物包含例如JP-A-H3-112992、JP-A2003-533455以及類似專利中所述之具有末端磷酸基之聚合物;JP-A2002-273191以及類似專利中所述之具有末端磺酸基的聚合物;JP-A-H9-77994以及類似專利中所述之具有有機染料之部分骨架或雜環之聚合物;JP-A2008-29901以及
類似專利中所述之藉由用在一端具有羥基或胺基之寡聚物或聚合物且用酸酐改質所製備之聚合物;等等。此外,JP-A2007-277514中所述之含有兩個或大於兩個用於顏料表面之末端錨定部分(有機染料以及類似物之酸性基團、鹼性基團、部分骨架或雜環)的聚合物因為優良的分散穩定性而同樣較佳。
具有用於顏料表面之錨定部分的接枝聚合物包含例如JP-A-S54-37082、JP-A-H8-507960、JP-A2009-258668以及類似專利中所述之聚(低碳伸烷基亞胺)與聚酯之反應產物;JP-A-H9-169821以及類似專利中所述之聚烯丙基胺與聚酯之反應產物;JP-A2009-203462中所述之具有鹼性基團及酸基基團之兩性分散劑樹脂;JP-A-H10-339949、JP-A2004-37986以及類似專利中所述之大分子單體以及含氮單體之共聚物:JP-A2003-238837、JP-A2008-9426、JP-A2008-81732以及類似專利中所述之具有有機染料之部分骨架或雜環的接枝聚合物;JP-A2010-106268以及類似專利中所述之大分子單體與含酸性基團之單體之共聚物;等等。其中,JP-A2009-203462中所述之具有鹼性基團以及酸性基團之兩性分散劑樹脂由於顏料分散液之可分散性及分散穩定性以及由使用所述顏料分散液之著色感放射線性組成物所示之可顯影性而尤佳。
可用於藉由自由基聚合來製備具有用於顏料表面之錨定部分之接枝聚合物的大分子單體包含已知大分子單體,諸如大分子單體AA-6(具有末端甲基丙烯醯基之聚甲基丙烯酸甲酯)、AS-6(具有末端甲基丙烯醯基之聚苯乙烯)、AN-6S(具有末端甲基丙烯
醯基之苯乙烯-丙烯腈共聚物)以及AB-6(具有末端甲基丙烯醯基之聚丙烯酸丁酯),購自東亞合成株式會社(Toagosei Co.,Ltd.);普拉克爾FM5(PLACCELs FM5)(甲基丙烯酸2-羥基乙酯與5莫耳當量ε-己內酯之加合物)以及FA10L(丙烯酸2-羥基乙酯與10莫耳當量ε-己內酯之加合物),購自大賽璐化學工業株式會社(Daicel Chemical Industries,Ltd.);以及JP-A-H2-272009以及類似專利中所述之聚酯大分子單體。其中,對於溶劑具有高可撓性及親和力之聚酯大分子單體尤佳用於改良顏料分散液之可分散性及分散穩定性以及由使用顏料分散液之著色感放射線性組成物所示之可顯影性,其中以JP-A-H2-272009中所述之聚酯大分子單體為代表之彼等聚酯大分子單體為最佳。
具有用於顏料表面之錨定部分的較佳嵌段聚合物包含JP-A2003-49110、JP-A2009-52010以及類似專利中所述之嵌段聚合物。
可用於本發明中之顏料分散劑亦可購得,其具體實例包含「迪斯畢克(Disperbyk)-101(聚醯胺基胺磷酸酯)、107(羧酸酯)、110(含酸性基團之共聚物)、130(聚醯胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子量共聚物)」以及「畢克(BYK)-P104、P105(高分子量不飽和聚羧酸)」,購自畢克化學公司(BYK Chemie);「埃弗卡(EFKA)4047、4050至4010至4165(聚胺基甲酸酯聚合物)、埃弗卡4330至4340(嵌段共聚物)、4400至4402(改質之聚丙烯酸酯)、5010(聚酯醯胺)、5765(高分子量聚羧酸鹽)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮顏料
衍生物)」,購自埃弗卡公司(EFKA);「味之素(AJISPER)PB821、PB822、PB880、PB881」,購自味之素精細化學株式會社(Ajinomoto Fine-Techno Co.,Inc.);「富勞倫(FLOWLEN)TG-710(胺基甲酸酯寡聚物)」以及「泊里富勞(POLYFLOW)第50E號、第300號(丙烯酸共聚物」,購自共榮社化學株式會社(Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.);「迪斯帕隆(DISPARLON)KS-860、873SN、874、#2150(脂族聚羧酸)、#7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725」,購自楠本化成株式會社(Kusumoto Chemicals,Ltd.);「戴莫(DEMOL)RN、N(萘磺酸/甲醛聚縮物)、MS、C、SN-B(芳族磺酸/甲醛聚縮物)」、「赫莫吉諾(HOMOGENOL)L-18(聚羧酸酯聚合物)」、「艾牧金(EMULGEN)920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)」以及「艾特敏(ACETAMIN)86(硬脂胺乙酸酯)」,購自花王公司(Kao Corporation);「索斯帕思(Solsperse)5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮顏料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、17000、27000(末端官能化之聚合物)、24000、28000、32000、38500(接枝聚合物)」,購自阿維西亞公司(Avecia Inc.);「尼科爾(Nikkol)T106(聚氧乙烯脫水山梨糖醇單油酸酯)以及MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)」,購自日光化學株式會社(Nikko Chemicals Co.,Ltd.);西諾科特(Hinoact)T-8000E,購自川研精細化學株式會社(Kawaken Fine Chemicals,Co.,Ltd.);等等。
這些顏料分散劑可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。特別是,顏料衍生物與聚合物分散劑較佳在本發明中組合使用。此外,本發明之顏料分散劑可以具有用於顏料表面
之錨定部分的末端改質之聚合物、接枝聚合物或嵌段聚合物與鹼溶性樹脂之組合的形式使用。所述鹼溶性樹脂包含(甲基)丙烯酸共聚物、衣康酸(itaconic acid)共聚物、丁烯酸共聚物、順丁烯二酸共聚物、部分酯化之順丁烯二酸共聚物以及類似物,以及在側鏈中具有羧酸之酸性纖維素衍生物,及藉由用酸酐對含羥基聚合物進行改質所獲得之樹脂,其中(甲基)丙烯酸共聚物尤佳。JP-A-H10-300922中所述之N上經取代之順丁烯二醯亞胺單體共聚物;JP-A2004-300204中所述之醚二聚物共聚物;以及JP-A-H7-319161中所述之含有可聚合基團之鹼溶性樹脂亦較佳。
較佳地,以下所示之JP-A2010-106268中所述之樹脂較佳用於改良可分散性、可顯影性以及沈澱,其中在側鏈中具有聚酯鏈之聚合物分散劑尤佳用於改良可分散性,而具有酸性基團及聚酯鏈之樹脂較佳用於改良藉由光微影形成之圖案之可分散性及解析度。分散劑中之酸性基團較佳是由於吸附性而pKa為6或小於6之酸性基團,其中羧酸、磺酸以及磷酸尤佳。
下文解釋較佳用於本發明中之JP-A2010-106268中所述之分散劑。
較佳分散劑為接枝共聚物,其在分子中具有由聚酯結構、聚醚結構以及聚丙烯酸酯結構選出之含有40個至10000個除氫原子外之原子的接枝鏈,且較佳含有至少由以下式(1)至式(4)中之任一者表示之結構單元,更佳為至少由以下式(1A)、式(2A)、式(3A)、式(3B)以及式(4)中之任一者表示之結構單元。
在式(1)至式(4)中,W1、W2、W3以及W4各獨立地表示氧原子或NH,尤佳為氧原子。
在式(1)至式(4)中,X1、X2、X3、X4以及X5各獨立地表示氫原子或單價有機基團。X1、X2、X3、X4以及X5較佳表示氫原子或C1-12烷基,更佳為氫原子或甲基,由於合成限制而尤佳為甲基。
在式(1)至式(4)中,Y1、Y2、Y3以及Y4各獨立地為二價鍵聯基團,而無任何特別結構性限制。由Y1、Y2、Y3以及Y4表示之二價鍵聯基團由以下所示之鍵聯基團(Y-1)至鍵聯基團(Y-21)以及類似基團例示。在以下所示之結構中,A及B表示分別在式(1)至式(4)中鍵結於左端基團及右端基團之鍵。在以下所示之結構中,(Y-2)以及(Y-13)由於易於合成而更佳。
[化學式2]
在式(1)至式(4)中,Z1、Z2、Z3以及Z4各獨立地為單價有機基團而無任何特別結構性限制,但具體言之包含烷基、羥基、烷氧基、芳氧基或雜芳氧基、烷基硫醚基團、芳基硫醚基團或雜芳基硫醚基團、胺基以及類似基團。其中,由Z1、Z2、Z3以及Z4表示之單價有機基團較佳具有空間推斥效應,尤其用於改良可分散性,其中由Z1至Z3表示之有機基團較佳各獨立地為C5-24烷基或C5-24烷氧基,尤佳各獨立地為含有C5-24分支鏈烷
基之烷氧基或含有C5-24環狀烷基之烷氧基。由Z4表示之有機基團各獨立地為C5-24烷基,尤佳各獨立地為C5-24分支鏈烷基或C5-24環狀烷基。
在式(1)至式(4)中,n、m、p以及q各表示1至500之整數。
在式(1)及式(2)中,j及k各獨立地表示2至8之整數。在式(1)及式(2)中,j及k較佳為4至6之整數,最佳為5,以改良分散穩定性及可顯影性。
在式(3)中,R3表示分支鏈或直鏈伸烷基。在式(3)中,R3較佳為C1-10伸烷基,更佳為C2或C3伸烷基。
在式(4)中,R4表示氫原子或單價有機基團,且所述單價有機基團之結構不受特別限制。在式(4)中,R4較佳為氫原子、烷基、芳基以及雜芳基,更佳為氫原子或烷基。當式(4)中之R4為烷基時,所述烷基較佳為C1-20直鏈烷基、C3-20分支鏈烷基或C5-20環狀烷基,更佳為C1-20直鏈烷基,尤佳為C1-6直鏈烷基。關於式(4)中之R4,在接枝共聚物中可組合使用具有不同結構之兩個或大於兩個R4基團。
接枝共聚物較佳含有以接枝共聚物之總質量計,在10質量%至90質量%之範圍內,更佳在30質量%至70質量%之範圍內的由式(1)至式(4)表示之結構單元。當含有在所述範圍內之由式(1)至式(4)表示之結構單元時,顏料分散良好且形成具有良好可顯影性之光阻擋膜。
此外,接枝共聚物可含有具有不同結構之兩種或大於兩
種接枝共聚物。
由以上式(1)表示之結構單元更佳為由以下式(1A)表示之結構單元以改良分散穩定性及可顯影性。
由以上式(2)表示之結構單元更佳為由以下式(2A)表示之結構單元以改良分散穩定性及可顯影性。
在式(1A)中,X1、Y1、Z1以及n具有與關於式(1)中之X1、Y1、Z1以及n所定義相同之含義,且亦涵蓋類似較佳範圍。
在式(2A)中,X2、Y2、Z2以及m具有與關於式(2)中之X2、Y2、Z2以及m所定義相同之含義,且亦涵蓋類似較佳範圍。由以下式(3)表示之結構單元更佳為由以下式(3A)或式(3B)表示之結構單元以改良分散穩定性及可顯影性。
在式(3A)或式(3B)中,X3、Y3、Z3以及p具有與關於以上式(3)中之X3、Y3、Z3以及p所定義相同之含義,且亦涵蓋類似較佳範圍。
接枝共聚物更佳具有由以上式(1A)表示之結構單元。
接枝共聚物之具體實例包含以下所示之化合物。應注意,在以下例示性化合物中,在各結構單元旁邊所指示之數值是指結構單元之含量[以質量%表示,視情況寫為(重量%)]。
[化學式5]
[化學式6]
[化學式7]
[化學式8]
[化學式9]
[化學式10]
[化學式11]
[化學式12]
[化學式13]
[化學式14]
[化學式15]
[化學式16]
[化學式17]
[化學式22]
[化學式34]
本發明中之分散劑較佳為具有聚酯鏈之化合物,諸如例示性化合物72。
以下所示之分散劑亦較佳用作本發明中之分散劑。
按100質量份用作著色劑之顏料計,顏料分散劑之含量較佳為1質量份至80質量份,更佳為5質量份至70質量份,甚至更佳為10質量份至60質量份。
具體言之,按100質量份之顏料計,聚合物分散劑之用量較
佳在5質量份至100質量份之範圍內,更佳在10質量份至80質量份之範圍內。
當同時使用顏料衍生物時,按100質量份之顏料計,顏料衍生物之用量較佳在1質量份至30質量份之範圍內,更佳在3質量份至20質量份之範圍內,尤佳在5質量份至15質量份之範圍內。
當使用顏料作為著色劑且亦使用顏料分散劑時,以可聚合組成物之總固體計,著色劑及分散劑之總含量較佳為30質量%或大於30質量%及90質量%或小於90質量%,更佳為40質量%或大於40質量%及85質量%或小於85質量%,甚至更佳為50質量%或大於50質量%及80質量%或小於80質量%,以改良固化敏感度及彩色密度。
顏料分散液較佳更含有顏料衍生物。
術語「顏料衍生物」是指具有部分地經酸性基團、鹼性基團或鄰苯二醯亞胺基甲基置換之有機顏料結構的化合物。較佳含有具有酸性基團或鹼性基團之顏料衍生物以改良可分散性及分散穩定性。
用於構成顏料衍生物之有機顏料包含二酮基吡咯并吡咯顏料、偶氮顏料、酞菁顏料、蒽醌顏料、喹吖啶酮(quinacridone)顏料、二噁嗪顏料、紫環酮(perinone)顏料、苝顏料、硫靛(thioindigo)顏料、異吲哚啉顏料、異吲哚啉酮(isoindolinone)顏料、喹啉黃顏料、還原(threne)顏料、金屬錯合物顏料以及類似物。顏料衍生物中所含之酸性基團較佳為磺酸、羧酸以及其四級銨鹽,更佳為羧酸基及磺酸基,尤佳為磺酸基。顏料衍生物中
所含之鹼性基團較佳為胺基,尤佳為三級胺基。
尤佳顏料衍生物為喹啉、苯并咪唑酮(benzimidazolone)以及異吲哚啉顏料衍生物,更佳為喹啉及苯并咪唑酮顏料衍生物。
以顏料之總質量計,顏料分散液中顏料衍生物之含量較佳為1質量%至50質量%,更佳為3質量%至30質量%。顏料衍生物可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
當同時使用顏料衍生物時,按100質量份之顏料計,顏料衍生物之用量較佳在1質量份至30質量份之範圍內,更佳在3質量份至20質量份之範圍內,尤佳在5質量份至15質量份之範圍內。
顏料分散液較佳含有有機溶劑。有機溶劑是基於顏料分散液中所含之多種組分的溶解度、使用顏料分散液之著色感放射線性組成物的塗布性以及類似性質來選擇。可用於顏料分散液中之有機溶劑包含下文所述者。
顏料分散液中有機溶劑之含量較佳為50質量%至95質量%,更佳為70質量%至90質量%。
除上述組分外,顏料分散液可更含有(5)黏合劑樹脂及/或具有其他結構之聚合物材料以改良使用顏料分散液之著色感放射線性組成物的分散穩定性或使其可顯影性最佳化或用於其他目的。
下文將描述黏合劑樹脂(5)。具有其他結構之聚合物材料包含例如聚醯胺基胺及其鹽、聚羧酸及其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質之聚胺基甲酸酯、改質之聚酯、改質之聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸共聚物(尤佳為在側鏈中含有羧酸及可聚合基團
之(甲基)丙烯酸共聚物)、萘磺酸/甲醛縮合物以及類似物。這些聚合物材料藉由吸附於顏料表面而用於防止顏料再聚集,且因此,其較佳包含具有用於顏料表面之錨定部分的末端改質之聚合物、接枝聚合物以及嵌段聚合物,例如包括含雜環單體之接枝共聚物及含有烯系不飽和鍵作為共聚物單元之可聚合寡聚物。
其他聚合物材料更包含聚醯胺基胺磷酸鹽、高分子量不飽和聚羧酸、聚醚酯、芳族磺酸/甲醛聚縮物、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚酯胺、聚氧乙烯脫水山梨糖醇單油酸酯、聚氧乙烯單硬脂酸酯以及類似物。
這些具有其他結構之聚合物材料可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
顏料分散液中其他聚合物材料之含量較佳為所述顏料之20質量%至80質量%,更佳為30質量%至70質量%,甚至更佳為40質量%至60質量%。
(2)光可聚合化合物:
可基於彩色濾光片之製備方法適當地選擇光可聚合化合物,且光可聚合化合物包含感光性化合物及/或熱可固化化合物以及類似物,尤佳為感光性化合物。光可聚合化合物特定地由具有至少一個、較佳兩個或大於兩個烯系不飽和末端鍵之化合物選出。所述化合物通常在工業領域中已知,且可用於本發明中而無特別限制。這些化合物可呈任何化學形式,例如單體、預聚物(亦即,二聚物、三聚物以及寡聚物)或其混合物以及其聚合物。本發明中之光可聚合化合物可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形
式使用。
更具體言之,單體及其預聚物之實例包含不飽和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、異丁烯酸、順丁烯二酸以及類似物)及其酯、醯胺及其聚合物,較佳為不飽和羧酸與脂族多元醇化合物之酯;不飽和羧酸與脂族多元胺化合物之醯胺;以及其聚合物。此外,亦宜使用具有親核性取代基(諸如羥基、胺基或巰基)之不飽和羧酸酯或醯胺藉由與單官能性或多官能性異氰酸酯或環氧化物之加成反應或藉由與單官能性或多官能性羧酸之脫水縮合反應產生的反應產物以及類似物。此外,具有親電子取代基(諸如異氰酸酯基或環氧基)之不飽和羧酸酯或醯胺與單官能性或多官能性醇、胺或硫醇之加成反應產物,以及具有可消除取代基(諸如鹵素或甲苯磺醯氧基)之不飽和羧酸酯或醯胺與單官能性或多官能性醇、胺或硫醇之取代反應產物亦較佳。作為替代性實例,亦可使用藉由以不飽和膦酸、乙烯基苯衍生物(諸如苯乙烯)、乙烯基醚、烯丙基醚或類似物置換不飽和羧酸所獲得之化合物。
這些化合物之具體實例包含JP-A2009-288705之第0095至0108段中所述之化合物,其亦宜用於本發明中。
光可聚合化合物亦較佳包含在大氣壓下沸點為100℃或大於100℃且含有至少一個加成可聚合烯系不飽和基團之化合物。所述化合物之實例包含單官能性丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯,諸如聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯以及(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯;多官能性丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯,諸
如聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己二醇(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯醯氧基丙基)醚、異氰尿酸三(丙烯醯基氧基乙基)酯,藉由環氧乙烷或環氧丙烷與多官能性醇(諸如甘油或三羥甲基乙烷)加成且接著使其(甲基)丙烯酸化所獲得之化合物,如JP-B-S48-41708、JP-B-S50-6034以及JP-A-S51-37193中所述之胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯,JP-A-S48-64183、JP-B-S49-43191以及JP-B-S52-30490中所述之聚酯丙烯酸酯,以及藉由使環氧樹脂與(甲基)丙烯酸反應所產生之環氧丙烯酸酯;以及其混合物。
其他實例包含藉由使多官能性羧酸與具有環狀醚基團及烯系不飽和基團(諸如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯以及類似物)之化合物反應所獲得之多官能性(甲基)丙烯酸酯。
可使用之其他較佳光可聚合化合物包含JP-A2010-160418、JP-A2010-129825、日本專利第4364216號以及類似專利中所述之卡多(cardo)樹脂,亦即,具有茀環及兩個或大於兩個烯系可聚合官能基之化合物。
在大氣壓下沸點為100℃或大於100℃且含有至少一個加成可聚合烯系不飽和基團之其他較佳化合物包含JP-A2008-292970之第[0254]至[0257]段中所述之化合物。
另外,亦宜使用由以下式(MO-1)至式(MO-5)表示之自由基可聚合單體。應注意,當在式中T為氧基伸烷基時,其在
碳原子末端處鍵結於R。
在以上各式中,n為0至14,且m為1至8。在一個分
子中出現超過一次之R及T可各自相同或不同。
在由以上式(MO-1)至(MO-5)表示之自由基可聚合單體之每一者中,至少一個R基團表示由-OC(=O)CH=CH2或-OC(=O)C(CH3)=CH2表示之基團。
由以上式(MO-1)至式(MO-5)表示之自由基可聚合單體的具體實例包含JP-A2007-269779之第0248至0251段中所述之化合物,其亦宜用於本發明中。
此外,在JP-A-H10-62986中描述為式(1)及式(2)之藉由環氧乙烷或環氧丙烷與多官能性醇加成且接著使其(甲基)丙烯酸化所獲得之化合物及其具體實例亦可用作光可聚合化合物。
其中,較佳光可聚合化合物包含二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯,以及已經由乙二醇或丙二醇基團引入(甲基)丙烯醯基之彼等結構。亦可使用這些化合物之寡聚物。
光可聚合化合物可為具有酸性基團(諸如羧基、磺酸基或磷酸基)之多官能性單體。因此,可直接使用如在上文所述之混合物的情況下具有未反應羧基之烯系化合物,或必要時,非芳族羧酸酐可與烯系化合物之羥基反應以引入酸性基團。在後一情況下,所用之非芳族羧酸酐之具體實例包含四氫鄰苯二甲酸酐、烷基化四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、烷基化六氫鄰苯二甲酸酐、丁二酸酐以及順丁烯二酸酐。
在本發明中,具有酸值之單體較佳為由脂族聚羥基化合物與不飽和羧酸之酯組成之多官能性單體,其中所述脂族聚羥基
化合物之未反應羥基已與非芳族羧酸酐反應以引入酸性基團,尤佳為脂族聚羥基化合物為季戊四醇及/或二季戊四醇之彼等酯。其包含以商標名稱M-510、M-520以及類似名稱購自例如東亞合成株式會社的多元酸改質之丙烯酸寡聚物。
這些單體可單獨使用,或由於使用單一化合物之製造困難而以其兩者或大於兩者之混合物形式使用。此外,必要時,可組合使用不具有酸性基團之多官能性單體及具有酸性基團之多官能性單體。
具有酸性基團之多官能性單體的酸值較佳為0.1毫克KOH/公克至40毫克KOH/公克,尤佳為5毫克KOH/公克至30毫克KOH/公克。若多官能性單體之酸值過低,則在顯影劑中之溶解度降低,但若其過高,則其難以製備或處理且光聚合效能降低,導致低固化性(諸如像素之表面光滑度)。因此,當組合使用具有不同酸性基團之兩種或大於兩種多官能性單體時或當同時使用不具有酸性基團之多官能性單體時,有必要將所有多官能性單體之酸性基團控制在以上範圍內。
此外,較佳含有具有己內酯結構之多官能性單體作為可聚合單體。具有己內酯結構之多官能性單體不受特別限制,只要其分子中具有己內酯結構即可,且以藉由用(甲基)丙烯酸及ε-己內酯使諸如三羥甲基乙烷、二-三羥甲基乙烷、三羥甲基丙烷、二-三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、三季戊四醇、甘油、雙甘油或三羥甲基三聚氰胺之多元醇酯化所獲得的ε-己內酯改質之多官能性(甲基)丙烯酸酯例示。其中,具有由以下式(1)表示之
己內酯結構的多官能性單體較佳。
其中全部六個R基團均為由以下式(2)表示之基團,或六個R基團中之一個至五個為由以下式(2)表示之基團:
其中R1表示氫原子或甲基,m表示整數1或2,且星號(*)表示鍵結點,而其餘部分為由以下式(3)表示之基團:
其中R1表示氫原子或甲基,且星號(*)表示鍵結點。
在本發明中,具有己內酯結構之多官能性單體可單獨使用或以其兩者或大於兩者之混合物形式使用。
此外,本發明中之具體單體亦較佳包含由以下式(i)或式(ii)表示之化合物選出的至少一者。
[化學式46]
在以上式(i)及(ii)中,E各獨立地表示-((CH2)yCH2O)-或-((CH2)yCH(CH3)O),y各獨立地表示0至10之整數,X各獨立地表示丙烯醯基、甲基丙烯醯基、氫原子或羧基。
在以上式(i)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基之總數為三或四,m各獨立地表示0至10之整數,且m之總和為0至40之整數,其限制條件為當m之總和為0時,任一X為羧基。
在以上式(ii)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基之總數為五或六,n各獨立地表示0至10之整數,且n之總和為0至60之整數,其限制條件為當n之總和為0時,任一X為羧基。
在以上式(i)中,m較佳為0至6之整數,更佳為0至4之整數。
此外,m之總和較佳為2至40之整數,更佳為2至16之整數,尤佳為4至8之整數。
在以上式(ii)中,n較佳為0至6之整數,更佳為0至4之整數。
此外,n之總和較佳為3至60之整數,更佳為3至24之整數,尤佳為6至12之整數。
此外,-((CH2)yCH2O)-或-((CH2)yCH(CH3)O)-在氧原子端處鍵結於X之式(i)或式(ii)之實施例較佳。
由以上式(i)或式(ii)表示之化合物可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。特別是,全部六個X基團均為丙烯醯基之式(ii)之實施例較佳。
此外,特定單體中由式(i)或式(ii)表示之化合物的總含量較佳為20質量%或大於20質量%,更佳為50質量%或大於50質量%。
由以上式(i)或式(ii)表示之化合物可藉由先前已知之方法合成,包括藉由環氧乙烷或環氧丙烷之開環加成反應將開環之骨架鍵結於季戊四醇或二季戊四醇;以及使例如(甲基)丙烯醯氯與開環之骨架之末端羥基反應以引入(甲基)丙烯醯基。每個步驟為眾所周知的,且由式(i)或式(ii)表示之化合物可容易由熟習此項技術者合成。
在由以上式(i)及式(ii)表示之化合物中,季戊四醇衍生物及/或二季戊四醇衍生物更佳。
具體言之,實例包含由以下式(a)至式(f)表示之化合物(下文亦稱為「例示性化合物(a)至例示性化合物(f)」),其中例示性化合物(a)、例示性化合物(b)、例示性化合物(e)以及例示性化合物(f)較佳。
[化學式47]
[化學式48]
由式(i)及式(ii)表示之市售特定單體包含例如以SR-494購自沙多瑪公司(Sartomer)的具有四個伸乙基氧基鏈之四官能性丙烯酸酯;分別以DPCA-60購自日本化藥株式會社(Nippon Kayaku Co.,Ltd.)的含有六個伸戊基氧基鏈之六官能性丙烯酸酯,及以TPA-330購得的含有三個伸異丁基氧基鏈之三官能性丙烯酸酯;以及類似物。
其他較佳光可聚合化合物包含如JP-B-S48-41708、JP-A-S51-37193、JP-B-H2-32293以及JP-B-H2-16765中所述之胺基甲酸酯丙烯酸酯;以及JP-B-S58-49860、JP-B-S56-17654、JP-B-S62-39417以及JP-B-S62-39418中所述的具有氧化乙烯骨架
之胺基甲酸酯化合物。此外,具有極高曝光速度之組成物可藉由使用JP-A-S63-277653、JP-A-S63-260909及JP-A-H1-105238中所述的在分子中具有胺基結構或硫醚結構之加成光可聚合化合物來獲得。
其他較佳光可聚合化合物為在同一分子中具有兩個或大於兩個巰基(SH)之多官能性硫醇化合物。特別是,由以下式(i)表示之彼等化合物較佳。
其中R1表示烷基,R2表示n價脂族基,其可含有除碳原子外之原子,R0表示烷基而非H,且n表示2至4。
由以上式(I)表示之多官能性硫醇化合物的具體實例包含具有以下結構式之1,4-雙(3-巰基丁醯氧基)丁烷[式(II)]、1,3,5-參(3-巰基丁氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮[式(III)]以及季戊四醇肆(3-巰基丁酸)酯[式(IV)],以及類似物。這些多官能性硫醇可單獨使用或以其大於一者之組合形式使用。
[化學式50]
多官能性硫醇較佳地以佔除溶劑外之總固體在0.3重量%至8.9重量%,更佳0.8重量%至6.4重量%範圍內之量併入組成物中。可藉由添加多官能性硫醇來改良所述組成物之穩定性、氣味、敏感度、解析度、可顯影性、黏著力以及類似性質。
使用這些包含其結構之光可聚合化合物(無論其將單獨使用或組合使用)之方法的細節、欲添加之量以及類似物可任意選擇以適合組成物之最終效能設計。舉例而言,較佳結構含有每一分子多個不飽和基團,且在許多情況下,較佳官能度為2或大於2,以改良敏感度。為增加固化之著色膜之強度,官能度為3或大於3之化合物較佳,且敏感度與強度皆可藉由組合使用具有不同官能度/不同可聚合基團(例如丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯化合物、乙烯基醚化合物)來最佳化。此外,可組合使用官能度為3或大於3且具有不同氧化乙烯鏈長度之光可聚合化合物,因為可使組成物之可顯影性最佳化且可達成出色可圖案化性
(patternability)。選擇/使用光可聚合化合物之方法亦是達成與組成物中所含其他組分(例如光起始劑、著色劑(顏料)、黏合劑聚合物以及類似物)之相容性及可分散性的重要因素,且舉例而言,相容性有時可藉由使用低純度化合物或組合兩種或大於兩種化合物來改良。亦有可能選擇特定結構以改良與諸如基板之硬表面的黏著力。
光可聚合化合物之濃度(含量)較佳為著色感放射線性組成物之總固體的5質量%或大於5質量%,更佳為10質量%或大於10質量%,甚至更佳為15質量%或大於15質量%。上限為30質量%,但不受特別限制。
(3)甲苯:
本發明之著色感放射線性組成物含有0.1ppm至10ppm之甲苯。當甲苯之濃度為0.1ppm至10ppm時,可獲得這樣一種著色感放射線性組成物,其即使在室溫下靜置6個月後亦不會在塗有其之表面上造成凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後亦不會在塗有其之表面上造成晶體沈積。
甲苯之含量為0.1ppm至ppm,較佳為3ppm至10ppm,更佳為5ppm至10ppm。
當甲苯之含量為0.1ppm或大於0.1ppm及10ppm或小於10ppm時,可獲得這樣一種著色感放射線性組成物,其即使在室溫下靜置6個月後亦不會在塗有其之表面上造成凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後亦不會在塗有其之表面上造成晶體沈積。
(4)光起始劑:
本發明之可聚合組成物較佳更包括光起始劑以進一步改良敏感度。較佳含有光起始劑,因為其賦予可聚合組成物感光性以使其成為宜用於彩色抗蝕劑以及類似物之感光性組成物。可使用之光起始劑為下述稱為光起始劑之物質。
光起始劑不受特別限制,只要其具有起始光可聚合化合物之聚合的能力即可,且其可適當地由已知光起始劑選出,例如其較佳對UV至可見光區之放射線敏感且其可為與光激發之增感劑發生一些反應以產生活性基團之活化劑或起到起始陽離子性聚合作用之起始劑,此取決於單體之類型。光起始劑較佳含有至少一種在約300奈米至800奈米(更佳為330奈米至500奈米)之區域中分子吸收係數為至少約50之組分。
光起始劑包含例如鹵化烴衍生物(例如具有三嗪骨架之衍生物、具有噁二唑骨架之衍生物以及類似物)、醯基膦化合物(諸如醯基膦氧化物(acylphosphine oxide))、六芳基聯咪唑(hexaarylbiimidazole)、肟化合物(諸如肟衍生物)、有機過氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳族鎓鹽(aromatic onium salt)、酮肟醚、胺基苯乙酮化合物、羥基苯乙酮以及類似物。
具有三嗪骨架之鹵化烴化合物包含例如若林(Wakabayashi)等人之日本化學會通報,42,2924(1969)(Bull.Chem.Soc.Japan,42,2924(1969))中所述之化合物;英國專利第1388492號中所述之化合物;JP-A-S53-133428中所述之化合物;德國專利第3337024號中所述之化合物;F.C.謝菲爾(F.C.Schaefer)等人之有機化學期刊:29,1527(1964)(J.Org.Chem.:29,
1527(1964))中所述之化合物;JP-A-S62-58241中所述之化合物;JP-A-H5-281728中所述之化合物;JP-A-H5-34920中所述之化合物;美國專利第4212976號中所述之化合物,以及類似物。
美國專利第4212976號中所述之化合物包含例如具有噁二唑骨架之化合物(例如2-三氯甲基-5-苯基-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(1-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(2-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三溴甲基-5-苯基-1,3,4-噁二唑、2-三溴甲基-5-(2-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-苯乙烯基-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(1-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-正丁氧基苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三溴甲基-5-苯乙烯基-1,3,4-噁二唑以及類似物)等。
除上述者外之光起始劑包含吖啶(acridine)衍生物(例如9-苯基吖啶、1,7-雙(9,9'-吖啶基)庚烷以及類似物)、N-苯基甘胺酸以及類似物、多鹵素化合物(例如四溴化碳、苯基三溴甲基碸、苯基三氯甲基酮以及類似物)、香豆素(coumarins)(例如3-(2-苯并糠醯基)-7-二乙基胺基香豆素、3-(2-苯并糠醯基)-7-(1-吡咯啶基)香豆素、3-苯甲醯基-7-二乙基胺基香豆素、3-(2-甲氧基苯甲醯基)-7-二乙基胺基香豆素、3-(4-二甲基胺基苯甲醯基)-7-二乙基胺基香豆素、3,3'-羰基雙(5,7-二正丙氧基香豆素)、3,3'-羰基雙(7-二乙基胺基香豆素)、3-苯甲醯基-7-甲氧基香豆素、3-(2-糠醯基)-7-二乙基胺基香豆素、3-(4-二乙基胺基桂皮醯基)-7-二乙基胺基香豆
素、7-甲氧基-3-(3-吡啶基羰基)香豆素、3-苯甲醯基-5,7-二丙氧基香豆素、7-苯并三唑-2-基香豆素,JP-A-H5-19475、JP-A-H7-271028、JP-A2002-363206、JP-A2002-363207、JP-A2002-363208、JP-A2002-363209以及類似專利中所述之香豆素化合物等)、醯基膦氧化物(例如雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基膦氧化物、雙(2,6-二甲氧基苯甲醯基)-2,4,4-三甲基戊基苯基膦氧化物、魯克林(Lucirin)TPO以及類似物)、茂金屬(例如雙(η5-2,4-環戊二烯-1-基)-雙(2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦、六氟磷酸(1-)(η5-環戊二烯基)(η6-茴香基)鐵(1+)以及類似物),以及JP-A-S53-133428、JP-B-S57-1819、JP-B-S57-6096以及美國專利第3615455號中所述之化合物等。
酮化合物包含例如二苯甲酮、2-甲基二苯甲酮、3-甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、4-甲氧基二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4-氯二苯甲酮、4-溴二苯甲酮、2-羧基二苯甲酮、2-乙氧羰基二苯甲酮、二苯甲酮四羧酸或其四甲酯,4,4'-雙(二烷基胺基)二苯甲酮(例如4,4'-雙(二甲基胺基)二苯甲酮、4,4'-雙(二環己基胺基)二苯甲酮、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮以及4,4'-雙(二羥基乙基胺基)二苯甲酮)、4-甲氧基-4'-二甲基胺基二苯甲酮、4,4'-二甲氧基二苯甲酮、4-二甲基胺基二苯甲酮、4-二甲基胺基苯乙酮、二苯基乙二酮(benzil)、蒽醌、2-第三丁基蒽醌、2-甲基蒽醌、菲醌、呫噸酮、噻噸酮(thioxanthone)、2-氯噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、茀酮(fluorenone)、2-苯甲基二甲基胺基-1-(4-(N-嗎啉基)苯基)-1-丁酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(N-嗎啉基)-1-丙酮、2-羥基-2-
甲基-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙醇寡聚物、安息香(benzoin)、安息香醚(例如安息香甲醚、安息香乙醚、安息香丙醚、安息香異丙醚、安息香苯醚以及二苯基乙二酮二甲基縮酮)、吖啶酮、氯吖啶酮、N-甲基吖啶酮、N-丁基吖啶酮、N-丁基-氯吖啶酮等。
羥基苯乙酮化合物、胺基苯乙酮化合物以及醯基膦化合物亦宜用作光起始劑。更具體言之,例如亦可使用JP-A-H10-291969中所述之胺基苯乙酮起始劑及日本專利第4225898號中所述之醯基膦氧化物起始劑。可使用之羥基苯乙酮起始劑包含豔佳固(IRGACURE)-184、達羅固(DAROCUR)-1173、豔佳固-500、豔佳固-2959以及豔佳固-127(所有商標名稱均來自巴斯夫公司(BASF))。可使用之胺基苯乙酮起始劑包含市售產品豔佳固-907、豔佳固-369以及豔佳固-379(所有商標名稱均來自巴斯夫公司)。可使用之其他胺基苯乙酮起始劑包含JP-A2009-191179中所述的具有與長波輻射源匹配之吸收波長(諸如365奈米或405奈米)之化合物。可使用之醯基膦起始劑包含市售產品豔佳固-819以及達羅固-TPO(兩個商標名稱皆來自巴斯夫公司)。
光起始劑更佳包含肟化合物。可使用之肟起始劑的具體實例包含JP-A2001-233842中所述之化合物、JP-A2000-80068中所述之化合物以及JP-A2006-342166中所述之化合物。
宜用作本發明中之光起始劑的肟化合物(諸如肟衍生物)包含例如3-苯甲醯氧基亞胺基丁-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊-3-酮、2-乙
醯氧基亞胺基-1-苯基丙-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙-1-酮、3-(甲苯磺醯基氧基)亞胺基丁-2-酮以及2-乙氧羰基氧基亞胺基-1-苯基丙-1-酮以及類似物。
肟酯化合物包含英國化學會志:柏爾金匯刊第二輯(1979)第1653-1660頁(J.C.S.Perkin II(1979)pp.1653-1660)、英國化學會志:柏爾金匯刊第二輯(1979)第156-162頁、光聚合物科學與技術雜誌(1995)第202-232頁(Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)pp.202-232)以及JP-A2000-66385中所述之化合物;JP-A2000-80068、JP-A2004-534797以及JP-A2006-342166中所述之化合物,以及類似物。
亦宜使用市售產品,諸如豔佳固-OXE01(來自巴斯夫公司)及豔佳固-OXE02(來自巴斯夫公司)。
除上述者外,可使用之肟酯化合物包含JP-A2009-519904中所述的具有鍵結於咔唑氮原子之肟之化合物;美國專利第7626957號中所述的在二苯甲酮部分中含有雜取代基之化合物;JP-A2010-15025及美國專利申請公開案2009-292039中所述的在染料部分中含有硝基之化合物;WO2009/131189中所述之酮肟化合物;美國專利第7556910號中所述的在同一分子中含有三嗪骨架及肟骨架之化合物;JP-A2009-221114中所述的在405奈米下具有最大吸收且亦對g線源具有良好敏感度之化合物,以及類似物。
較佳地,亦宜使用JP-A2007-231000及JP-A2007-322744中所述之環狀肟化合物。在環狀肟化合物中,JP-A2010-32985及JP-A2010-185072中所述的與咔唑染料成環之環狀肟化合物尤
佳,因為其具有高光吸收及高敏感度。此外,亦宜使用JP-A2009-242469中所述的在特定位點處具有不飽和鍵之肟化合物,因為其可藉由自無聚合活性基團再生活性基團而達成高敏感度。
尤佳為JP-A2007-269779中所示的具有特定取代基之肟化合物以及JP-A2009-191061中所示的具有硫芳基之肟化合物。
具體言之,較佳肟光起始劑為由以下式(1)表示之化合物。應注意,肟化合物可為(同側)-異構體或(對側)-異構體或者(同側)-異構體與(對側)-異構體之混合物,此取決於肟之N-O鍵的幾何結構。
在式(1)中,R及B各獨立地表示單價取代基,A表示二價有機基團,且Ar表示芳基。
由R表示之單價取代基較佳為單價非金屬基團。
單價非金屬基團可為烷基、芳基、醯基、烷氧羰基、芳氧羰基、雜環、烷硫基羰基、芳硫基羰基或類似基團。這些基團可具有一個或大於一個取代基。以上所列之取代基可進一步經另一取代基取代。
所述取代基包含鹵素原子、芳氧基、烷氧羰基或芳氧羰基、醯氧基、醯基、烷基、芳基以及類似基團。
視情況經取代之烷基較佳為C1-30烷基,其實例特定地包含甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、癸基、十二烷基、十八烷基、異丙基、異丁基、第二丁基、第三丁基、1-乙基戊基、環戊基、環己基、三氟甲基、2-乙基己基、苯甲醯甲基、1-萘甲醯基甲基、2-萘甲醯基甲基、4-甲基硫基苯甲醯甲基、4-苯基硫基苯甲醯甲基、4-二甲基胺基苯甲醯甲基、4-氰基苯甲醯甲基、4-甲基苯甲醯甲基、2-甲基苯甲醯甲基、3-氟苯甲醯甲基、3-三氟甲基苯甲醯甲基以及3-硝基苯甲醯甲基。
視情況經取代之芳基較佳為C6-30芳基,其實例特定地包含苯基(phenyl)、聯苯(biphenyl)、1-萘基(1-naphthyl)、2-萘基(2-naphthyl)、9-蒽基(9-anthryl)、9-菲基(9-phenanthryl)、1-芘基(1-pyrenyl)、5-稠四苯基(5-naphthacenyl)、1-茚基(1-indenyl)、2-薁基(2-azulenyl)、9-茀基(9-fluorenyl)、聯三苯基(terphenyl)、聯四苯基(quaterphenyl)、鄰甲苯基、間甲苯基或對甲苯基(o-,m- or p-tolyl)、二甲苯基(xylyl)、鄰茴香基、間茴香基或對茴香基、均三甲苯基(mesityl)、并環戊二烯基(pentalenyl)、聯萘基(binaphthalenyl)、聯三萘基(ternaphthalenyl)、聯四萘基(quaternaphthalenyl)、并環庚三烯基(heptalenyl)、伸聯苯基(biphenylenyl)、二環戊二烯并苯基(indacenyl)、茀蒽基(fluoranthenyl)、苊基(acenaphthylenyl)、乙烯合蒽基(aceanthrylenyl)、丙烯合萘基(phenalenyl)、茀基(fluorenyl)、蒽基(anthryl)、聯蒽基(bianthracenyl)、聯三蒽基(teranthracenyl)、聯四蒽基(quateranthracenyl)、蒽醌基
(anthraquinolyl)、菲基(phenanthryl)、聯伸三苯基(triphenylenyl)、芘基(pyrenyl)、屈基(chrysenyl)、稠四苯基(naphthacenyl)、七曜烯基(pleiadeny)、苉基(picenyl)、苝基(perylenyl)、聯五苯基(pentaphenyl)、稠五苯基(pentacenyl)、聯伸四苯基(tetraphenylenyl)、異稠六苯基(hexaphenyl)、稠六苯基(hexacenyl)、茹基(rubicenyl)、蔻基(coronenyl)、聯伸三萘基(trinaphthylenyl)、異稠七苯基(heptaphenyl)、稠七苯基(heptacenyl)、苒基(pyranthrenyl)以及莪基(ovalenyl)。
視情況經取代之醯基較佳為C2-20醯基,其實例特定地包含乙醯基、丙醯基、丁醯基、三氟乙醯基、戊醯基、苯甲醯基、1-萘甲醯基、2-萘甲醯基、4-甲基硫基苯甲醯基、4-苯基硫基苯甲醯基、4-二甲基胺基苯甲醯基、4-二乙基胺基苯甲醯基、2-氯苯甲醯基、2-甲基苯甲醯基、2-甲氧基苯甲醯基、2-丁氧基苯甲醯基、3-氯苯甲醯基、3-三氟甲基苯甲醯基、3-氰基苯甲醯基、3-硝基苯甲醯基、4-氟苯甲醯基、4-氰基苯甲醯基以及4-甲氧基苯甲醯基。
視情況經取代之烷氧羰基較佳為C2-20烷氧羰基,其實例特定地包含甲氧羰基、乙氧羰基、丙氧羰基、丁氧羰基、己氧羰基、辛氧羰基、癸氧羰基、十八烷氧羰基以及三氟甲氧羰基。
視情況經取代之芳氧羰基的實例特定地包含苯氧羰基、1-萘氧羰基、2-萘氧羰基、4-甲基硫基苯氧羰基、4-苯基硫基苯氧羰基、4-二甲基胺基苯氧羰基、4-二乙基胺基苯氧羰基、2-氯苯氧羰基、2-甲基苯氧羰基、2-甲氧基苯氧羰基、2-丁氧基苯氧羰基、3-氯苯氧羰基、3-三氟甲基苯氧羰基、3-氰基苯氧羰基、3-硝基苯
氧羰基、4-氟苯氧羰基、4-氰基苯氧羰基以及4-甲氧基苯氧羰基。
視情況經取代之雜環較佳為含有氮原子、氧原子、硫原子或磷原子之芳族或脂族雜環。
具體實例包含噻吩基(thienyl)、苯并[b]噻吩基(benzo[b]thienyl)、萘并[2,3-b]噻吩基(naphtho[2,3-b]thienyl)、噻嗯基(thianthrenyl)、呋喃基、哌喃基、異苯并呋喃基、色烯基(chromenyl)、呫噸基(xanthenyl)、啡噁噻基(phenoxathiinyl)、2H-吡咯基(2H-pyrrolyl)、吡咯基(pyrrolyl)、咪唑基(imidazolyl)、吡唑基(pyrazolyl)、吡啶基、吡嗪基(pyrazinyl)、嘧啶基(pyrimidinyl)、噠嗪基(pyridazinyl)、吲嗪基(indolizinyl)、異吲哚基(isoindolyl)、3H-吲哚基、吲哚基、1H-吲唑基、嘌呤基(purinyl)、4H-喹嗪基(4H-quinolizinyl)、異喹啉基(isoquinolyl)、喹啉基、酞嗪基(phthalazinyl)、萘啶基(naphthyridinyl)、喹喏啉基(quinoxanilyl)、喹唑啉基(quinazolinyl)、噌啉基(cinnolinyl)、喋啶基(pteridinyl)、4aH-咔唑基(4aH-carbazolyl)、咔唑基、β-咔啉基(β-carbolinyl)、啡啶基(phenanthridinyl)、吖啶基、呸啶基(perimidinyl)、啡啉基(phenanthrolinyl)、啡嗪基(phenazinyl)、啡呻嗪基(phenarsazinyl)、異噻唑基(isothiazolyl)、啡噻嗪基(phenothiazinyl)、異噁唑基(isoxazolyl)、呋吖基(furazanyl)、啡噁嗪基(phenoxazinyl)、異色滿基(isochromanyl)、色滿基(chromanyl)、吡咯啶基(pyrrolidinyl)、吡咯啉基(pyrrolinyl)、咪唑啶基(imidazolidinyl)、咪唑啉基(imidazolinyl)、吡唑啶基(pyrazolidinyl)、吡唑啉基(pyrazolinyl)、哌啶基
(piperidyl)、哌嗪基(piperazinyl)、吲哚啉基(indolinyl)、異吲哚啉基、奎寧環基(quinuclidinyl)、嗎啉基(morpholinyl)以及噻噸酮基(thioxantholyl)。
視情況經取代之烷硫基羰基的實例特定地包含甲硫基羰基、丙硫基羰基、丁硫基羰基、己硫基羰基、辛硫基羰基、癸硫基羰基、十八烷硫基羰基以及三氟甲硫基羰基。
視情況經取代之芳硫基羰基特定地包含1-萘硫基羰基、2-萘硫基羰基、4-甲基硫基苯硫基羰基、4-苯基硫基苯硫基羰基、4-二甲基胺基苯硫基羰基、4-二乙基胺基苯硫基羰基、2-氯苯硫基羰基、2-甲基苯硫基羰基、2-甲氧基苯硫基羰基、2-丁氧基苯硫基羰基、3-氯苯硫基羰基、3-三氟甲基苯硫基羰基、3-氰基苯硫基羰基、3-硝基苯硫基羰基、4-氟苯硫基羰基、4-氰基苯硫基羰基以及4-甲氧基苯硫基羰基。
由B表示之單價取代基為芳基、雜環、芳基羰基或雜環羰基。這些基團可具有一個或大於一個取代基。取代基之實例包含以上所列之取代基。此外,以上所列之取代基可進一步經另一取代基取代。
其中,以下所示之結構尤佳。
在以下結構中,Y、X以及n具有與下文式(2)中分別關於Y、X以及n所定義相同之含義,且亦包含類似較佳實例。
[化學式52]
由A表示之二價有機基團包含C1-12伸烷基、伸環烷基以及伸炔基。這些基團可具有一個或大於一個取代基。取代基之實例包含以上所列之取代基。此外,以上所列之取代基可進一步經另一取代基取代。
其中,A較佳為未經取代之伸烷基、經烷基(例如甲基、乙基、第三丁基、十二烷基)取代之伸烷基、經烯基(例如乙烯基、烯丙基)取代之伸烷基或經芳基(例如苯基、對甲苯基、二甲苯基、茴香基、萘基、蒽基、菲基、苯乙烯基)取代之伸烷基,以增加敏感度並抑制隨時間因熱引起之褪色。
由Ar表示之芳基較佳為C6-30芳基,其可具有取代基。取代基之實例包含與列為視情況經取代之芳基之具體實例的經取代之芳基上的取代基類似之取代基。
其中,經取代或未經取代之苯基較佳用於增加敏感度並抑制隨時間因熱引起之褪色。
在式(1)中,由Ar以及相鄰S形成之「SAr」之結構較佳為以下所示結構中之任一者以改良敏感度,其中Me表示甲基,且Et表示乙基。
[化學式53]
肟化合物較佳為由以下式(2)表示之化合物。
在式(2)中,R及X各獨立地表示單價取代基,A及Y各獨立地表示二價有機基團,Ar表示芳基,且n為0至5之整數。
在式(2)中,R、A以及Ar具有與關於以上式(1)中之R、A以及Ar所定義相同之含義,且亦包含類似較佳實例。
由X表示之單價取代基可為烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、醯氧基、醯基、烷氧羰基、胺基、雜環或鹵素原子。此外,這些基團可具有一個或大於一個取代基。取代基之實例包含以上所列之取代基。此外,以上所列之取代基可進一步經另一取代基取代。
其中,X較佳為烷基以改良在溶劑中之溶解度及在長波長區域中之吸收。
此外,式(2)中之n表示0至5之整數,較佳為0至2之整數。
由Y表示之二價有機基團可為以下所示結構中之任一者,其中星號(*)表示以上式(2)中Y與相鄰碳原子之鍵結點。
其中,以下所示結構較佳用於達成高敏感度。
[化學式56]
此外,肟化合物較佳為由以下式(3)表示之化合物。
在式(3)中,R及X各獨立地表示單價取代基,A表示二價有機基團,Ar表示芳基,且n為0至5之整數。
在式(3)中,R、X、A、Ar以及n具有與以上式(2)中分別關於R、X、A、Ar以及n所定義相同之含義,且亦包含類似較佳實例。
較佳使用之肟化合物(C-4)至肟化合物(C-13)之具體實例如下所示,但本發明並不限於這些實例。
[化學式58]
肟化合物在350奈米至500奈米之波長區域中具有最大吸收波長,較佳地在360奈米至480奈米之波長區域中具有吸收波長,尤佳地在365奈米及455奈米下具有高吸光度。
肟化合物在365奈米或405奈米下之莫耳吸收係數較佳為1,000至300,000,更佳為2,000至300,000,尤佳為5,000至
200,000,以改良敏感度。
所述化合物之莫耳吸收係數可藉由已知方法測定,且具體言之,例如其較佳在作為溶劑之乙酸乙酯中在0.01公克/公升之濃度下藉由使用紫外-可見光光譜光度計(來自瓦里安公司(Varian)之卡利-5(Carry-5)光譜光度計)來測定。
必要時,在本發明中可組合使用兩種或大於兩種光起始劑。
以感放射線性組成物之總固體計,著色感放射線性組成物中光起始劑之含量(若使用兩種或大於兩種起始劑則為總含量)較佳在0.1質量%至20質量%之範圍內,更佳在0.5質量%至10質量%之範圍內,尤佳在1質量%至8質量%之範圍內。當其在所述範圍內時,可達成良好敏感度及可圖案化性。
在本發明中,可含有增感劑以改良光起始劑產生自由基之效率或使光起始劑對更長波長敏感。可用於本發明中之增感劑較佳經由電子轉移機制或能量轉移機制使光起始劑敏感。
增感劑包含例如JP-A2008-32803之第[0101]至[0154]段中所述之化合物。
以固體計,可聚合組成物中增感劑之含量較佳為0.1質量%至20質量%,更佳為0.5質量%至15質量%,以改良光深吸收之效率及起始劑降解之效率。增感劑可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
(5)黏合劑樹脂:
本發明之感放射線性組成物可更含有黏合劑聚合物以改良膜
性質或必要時用於其他目的。
黏合劑聚合物不受特別限制,但較佳為鹼溶性樹脂以改良可顯影性及可圖案化性。
<鹼溶性樹脂>
鹼溶性樹脂可適當地從由在分子中含有至少一個促進鹼溶解之基團的高分子量有機線性聚合物(較佳為具有丙烯酸共聚物或苯乙烯共聚物作為主鏈之分子)組成之鹼溶性樹脂選出。聚羥基苯乙烯樹脂、聚矽氧烷樹脂、丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺樹脂以及丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂較佳用於改良耐熱性,而丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺樹脂以及丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂較佳用於使可顯影性最佳化。
促進鹼溶解之基團(下文亦稱為「酸性基團」)包含例如羧基、磷酸基、磺酸基、酚系羥基以及類似基團,較佳為可溶於有機溶劑中且用弱鹼水溶液(尤佳為(甲基)丙烯酸)可顯影之基團。可單獨含有或以兩者或大於兩者之組合形式含有這些酸性基團。
能夠在聚合後提供酸性基團之單體包含例如含羥基單體,諸如(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯;含環氧基單體,諸如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯;含異氰酸酯之單體,諸如(甲基)丙烯酸2-異氰酸基乙酯;以及類似物。用於引入酸性基團之這些單體可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。舉例而言,為了將酸性基團引入鹼溶性黏合劑中,含有酸性基團之單體及/或能夠在聚合後提供酸性基團之單體(下文有時稱為「用於引入酸性基團之單體」可用作單體組分並進行聚合。
應注意,當使用能夠在聚合後提供酸性基團之單體作為單體組分以引入酸性基團時,在聚合後需要例如下文所述之用於提供酸性基團之處理。
為製備鹼溶性樹脂,例如可應用藉由自由基聚合之已知方法。藉由自由基聚合來製備鹼溶性樹脂之多種聚合條件(諸如溫度、壓力、自由基起始劑之類型及量、溶劑類型以及類似物)可容易由熟習此項技術者選擇或可以實驗方式測定。
用作鹼溶性樹脂之高分子量有機線性聚合物較佳為在側鏈中具有羧酸之聚合物,例如甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、丁烯酸共聚物、順丁烯二酸共聚物、部分酯化之順丁烯二酸共聚物、鹼溶性酚樹脂(諸如酚醛清漆(Novolac)樹脂)以及類似物;以及在側鏈中具有羧酸之酸性纖維素衍生物,以及含羥基聚合物與酸酐之加合物。特別是,(甲基)丙烯酸及與其可聚合之其他單體之共聚物較佳作為鹼溶性樹脂。與(甲基)丙烯酸可聚合之其他單體包含(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物以及類似物。(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳基酯包含(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環己酯以及類似物;乙烯基化合物包含苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯啶酮、甲基丙烯酸四氫糠酯、聚苯乙烯大分
子單體、聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體以及類似物;且JP-A-H10-300922中所述之N上經取代之順丁烯二醯亞胺單體包含N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺以及類似物。與(甲基)丙烯酸可聚合之這些其他單體可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
鹼溶性樹脂亦較佳包括藉由基本上基於以下式(ED)表示之化合物(下文有時稱為「醚二聚物」)之單體組分聚合所獲得之聚合物(a)作為基本聚合物組分(A):
式(ED)
在式(ED)中,R1及R2各獨立地表示氫原子或視情況經取代之C1-25烴基。因此,本發明之可固化樹脂組成物可形成具有極佳耐熱性及透明度之固化之塗布膜。在代表醚二聚物之以上式(1)中,由R1及R2表示的視情況經取代之C1-25烴基不受特別限制,但包含例如直鏈或分支鏈烷基,諸如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第三戊基、硬脂醯基、月桂基或2-乙基己基;芳基,諸如苯基;脂環基,諸如環己基、第三丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸基、異冰片烷基、金剛烷基或2-甲基-2-金剛烷基;經烷氧基取代之烷基,諸如1-甲氧基乙基或1-乙氧基乙基;經芳基取代之烷基,諸如苯甲基;或類似基團。其中,一級或二級碳上之取代基(諸如甲基、乙基、環己基或苯甲基)尤佳用於改良耐熱性,因為其難以用酸或熱消除。
醚二聚物之具體實例包含例如2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二甲酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二乙酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(正丙基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(異丙基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(正丁基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(異丁基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(第三丁基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(第三戊基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(硬脂基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(月桂基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(2-乙基己基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(1-甲氧基乙基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(1-乙氧基乙基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二苯甲酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二苯酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二環己酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(第三丁基環己基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(二環戊二烯基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(三環癸基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(異冰片烷基)酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二金剛烷酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二(2-甲基-2-金剛烷基)酯以及類似物。其中,2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二甲酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二乙酯、2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二環己酯以及2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸二苯甲酯尤佳。這些醚二聚物可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。衍生自由以上式(ED)表示之化合物的結構可與其他單體共聚合。
當使用著色感光性組成物作為正型抗蝕劑組成物時,宜使用鹼溶性酚樹脂。鹼溶性酚樹脂包含例如酚醛清漆樹脂或乙烯基聚合物以及類似物。
酚醛清漆樹脂包含例如藉由使酚與醛在酸催化劑存在下縮合所獲得之樹脂。所述酚包含例如苯酚、甲酚、乙基苯酚、丁基苯酚、二甲苯酚、苯基苯酚、兒茶酚、間苯二酚、連苯三酚(pyrogallol)、萘酚或雙酚A,或類似物。
所述醛包含例如甲醛、多聚甲醛、乙醛、丙醛或苯甲醛,或類似物。
酚及醛可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
酚醛清漆樹脂之具體實例包含例如間甲酚、對甲酚或其混合物與甲醛的縮合產物。
酚醛清漆樹脂之分子量分布可藉由部分分離或其他方法改變。此外,酚醛清漆樹脂可與具有酚系羥基之低分子量組分(諸如雙酚C及雙酚A)混合。
為改良本發明中之著色感放射線性組成物的交聯效率,可使用具有可聚合基團之鹼溶性樹脂。具有可聚合基團之有用鹼溶性樹脂為在側鏈中含有烯丙基、(甲基)丙烯醯基或烯丙氧基烷基或類似基團之鹼溶性樹脂以及類似物。具有可聚合基團之聚合物的實例包含狄安娜(Dianal)NR系列(來自三菱麗陽株式會社(Mitsubishi Rayon Co.,Ltd.));福托姆(Photomer)6173(含COOH之聚胺基甲酸酯丙烯酸寡聚物,來自鑽石三葉草公司(Diamond Shamrock Co.,Ltd.));威士高特(VISCOAT)R-264及KS抗蝕劑
(KS RESIST)106(兩者皆購自大阪有機化學工業株式會社(Osaka Organic Chemical Industry Ltd.));賽克羅姆(CYCLOMER)P系列(諸如賽克羅姆P ACA230AA)及普拉克爾CF200系列(兩者皆購自大賽璐化學工業株式會社);艾貝克(Ebecryl)3800(來自大賽璐UCB株式會社(Daicel-UCB Co.,Ltd.))以及類似物。這些含有可聚合基團之鹼溶性樹脂較佳包含胺基甲酸酯改質的含可聚合雙鍵之丙烯酸系樹脂,其是藉由除了一個異氰酸酯基保持未反應外,預先使異氰酸酯基與OH基團反應且使含(甲基)丙烯醯基之化合物與含羧基之丙烯酸系樹脂反應來獲得;含不飽和基團之丙烯酸系樹脂,其是藉由使含羧基之丙烯酸系樹脂與在分子中含有環氧基及可聚合雙鍵兩者之化合物反應來獲得;酸側位環氧丙烯酸酯樹脂;含可聚合雙鍵之丙烯酸系樹脂,其是藉由使含OH之丙烯酸系樹脂與含可聚合雙鍵之二元酸酐反應來獲得;藉由使含OH之丙烯酸系樹脂與含有異氰酸酯基及可聚合基團之化合物反應所獲得之樹脂;JP-A2002-229207以及JP-A2003-335814中所述之樹脂,其是藉由鹼性處理含酯基且在側鏈中之α位或β位處具有離去基(諸如鹵素原子或磺酸酯基)之樹脂來獲得;以及類似物。
尤佳之鹼溶性樹脂為(甲基)丙烯酸苯甲酯/(甲基)丙烯酸共聚物及由(甲基)丙烯酸苯甲酯/(甲基)丙烯酸/其他單體構成之多組分共聚物。其他實例包含甲基丙烯酸2-羥基乙酯共聚物;JP-A-7-140654中所述之(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苯甲酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯
氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體/甲基丙烯酸苯甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物,以及甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苯甲酯/甲基丙烯酸共聚物;以及類似物。
鹼溶性樹脂之酸值較佳為30毫克KOH/公克至200毫克KOH/公克,更佳為50毫克KOH/公克至150毫克KOH/公克,最佳為70毫克KOH/公克至120毫克KOH/公克。
此外,鹼溶性樹脂之重量平均分子量(weight average molecular weight;Mw)較佳為2,000至50,000,更佳為5,000至30,000,最佳為7,000至20,000。
鹼溶性樹脂可在本文中用作分散劑或用作輔助樹脂。以組成物之總固體計,組成物中鹼溶性樹脂之含量較佳為5質量%至40質量%,更佳為7質量%至33質量%,甚至更佳為9質量%至30質量%,尤佳為11質量%至25質量%。
其他組分:
本發明之著色感放射線性組成物除含有(1)著色劑、(2)光可聚合化合物、(3)甲苯、(4)光起始劑以及(5)黏合劑樹脂外,亦可含有其他組分。
所述其他組分包含有機溶劑、界面活性劑、UV吸收劑、聚合抑制劑、黏著力改良劑以及類似物。
<有機溶劑>
本發明之著色感放射線性組成物通常可藉由使用除甲苯外之
有機溶劑來製備。基本上,有機溶劑不受特別限制,只要滿足多種組分之溶解度及著色感放射線性組成物之塗布性即可,但較佳基於UV吸收劑及黏合劑樹脂之溶解度、塗布性以及安全性進行選擇。為製備根據本發明之著色感放射線性組成物,較佳含有至少兩種有機溶劑。
有機溶劑較佳包含酯,例如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、氧乙酸烷基酯(諸如氧乙酸甲酯、氧乙酸乙酯、氧乙酸丁酯(例如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯以及類似物)、3-氧丙酸烷基酯(諸如3-氧丙酸甲酯、3-氧丙酸乙酯以及類似物(例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯以及類似物)、2-氧丙酸烷基酯(諸如2-氧丙酸甲酯、2-氧丙酸乙酯、2-氧丙酸丙酯以及類似物(例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯)、2-氧基-2-甲基丙酸甲酯以及2-氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯以及類似物)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-側氧基丁酸甲酯、2-側氧基丁酸乙酯以及類似物;醚,例如二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚乙酸酯、甲二醇乙醚乙酸酯(methyl cellosolve acetate)、乙二醇乙醚乙酸酯(ethyl cellosolve acetate)、二乙二醇
單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯以及類似物;酮,例如甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮以及類似物;以及芳族烴,例如二甲苯以及類似物。
這些有機溶劑亦較佳以其兩者或大於兩者之混合物形式使用以改良UV吸收劑及鹼溶性樹脂之溶解度、經塗布表面之狀態或類似性質。在此情況下,在以上清單中,尤佳為由自以下各物選出之兩個或大於兩個成員構成之混合溶液:3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇乙醚乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙基卡必醇乙酸酯(ethyl carbitol acetate)、丁基卡必醇乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇甲醚以及丙二醇甲醚乙酸酯。
著色感放射線性組成物中有機溶劑之含量是以使得組成物之總固體含量較佳為5質量%至80質量%、更佳為5質量%至60質量%、尤佳為10質量%至50質量%以改良塗布性之方式進行選擇。
<界面活性劑>
本發明之組成物可含有多種界面活性劑以進一步改良塗布性。可使用之界面活性劑包含多種界面活性劑,諸如含氟界面活性劑、非離子性界面活性劑、陽離子性界面活性劑、陰離子性界面活性劑以及矽酮界面活性劑。
特別是當本發明之組成物含有含氟界面活性劑時,由其製備之塗布溶液之液體性質(尤其可流動性)經進一步改良以使
得可進一步改良塗層厚度之均一性且減少塗布消耗。因此,當使用由含有含氟界面活性劑之組成物製備之塗布溶液來形成膜時,基板表面與塗布溶液之間的界面張力降低,藉此改良基板表面上之可濕性及基板表面上之塗布性。此有利之處在於,即使使用少量塗布溶液來形成約數微米之薄膜,亦可更便利地形成均勻且均一厚度之膜。
含氟界面活性劑之氟含量較佳為3質量%至40質量%,更佳為5質量%至30質量%,尤佳為7質量%至25質量%。氟含量在以上範圍內之含氟界面活性劑對於塗布之膜之厚度均一性及減少塗布消耗有效,且亦高度可溶於組成物中。
含氟界面活性劑包含例如梅格法克(Megafac)F171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780、F781(全部來自大日本油墨化學工業株式會社(DIC Corporation));氟瑞德(Fluorad)FC430、FC431、FC171(全部來自住友3M株式會社(Sumitomo 3M Limited));瑟氟隆(SURFLON)S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC1068、SC-381、SC-383、S393、KH-40(全部來自朝日玻璃株式會社(ASAHI GLASS CO.、LTD.));PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(來自歐諾瓦公司(OMNOVA))以及類似物。
非離子性界面活性劑特定地包含甘油、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷以及其乙氧基化物及丙氧基化物(例如甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物以及類似物);聚氧乙烯月桂醚、聚氧乙烯
硬脂醚、聚氧乙烯油醚、聚氧乙烯辛基苯醚、聚氧乙烯壬基苯醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯(普洛尼克(Pluronic)L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2,來自巴斯夫公司),特窗尼克(Tetronic)304、701、704、901、904、150R1,派歐寧(PIONIN)D-6112-W(來自竹本油脂株式會社(TAKEMOTO OIL & FAT CO.,LTD.))、索斯帕思(Solsperse)20000(來自路博潤日本公司(Lubrizol Japan Limited))以及類似物。
陽離子性界面活性劑特定地包含酞菁衍生物(以商標名稱埃弗卡-745購自森下仁丹產業株式會社(Morishita Sangyo K.K.));有機矽氧烷聚合物KP341(來自信越化學工業株式會社(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.));(甲基)丙烯酸(共)聚合物泊里富勞第75號、第90號、第95號(來自共榮社化學株式會社);W001(來自裕商株式會社(Yusho Co.,Ltd.));以及類似物。
陰離子性界面活性劑特定地包含W004、W005、W017(來自裕商株式會社)以及類似物。
矽酮界面活性劑包含例如「東麗(Toray)矽酮DC3PA」、「東麗矽酮SH7PA」、「東麗矽酮DC11PA」、「東麗矽酮SH21PA」、「東麗矽酮SH28PA」、「東麗矽酮SH29PA」、「東麗矽酮SH30PA」以及「東麗矽酮SH8400」,來自道康寧東麗有限公司(Dow Corning Toray Co.,Ltd.);「TSF-4440」、「TSF-4300」、「TSF-4445」、「TSF-4460」以及「TSF-4452」,來自邁圖高新材料公司(Momentive Performance Materials Inc.);「KP341」、「KF6001」以及「KF6002」,
來自信越矽酮株式會社(Shin-Etsu Silicone,Co.,Ltd.);「畢克307」、「畢克323」以及「畢克330」,來自畢克日本株式會社(BYK Japan KK);以及類似物。
所述界面活性劑可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
以組成物之總質量計,界面活性劑之添加量較佳為0.001質量%至2.0質量%,更佳為0.005質量%至1.0質量%。
<聚合抑制劑>
本發明之組成物較佳地含有少量聚合抑制劑以在製備或儲存組成物期間抑制光可聚合物質不合需要之熱聚合。
可用於本發明中之聚合抑制劑包含氫醌(hydroquinone)、對甲氧基苯酚、二第三丁基-對甲酚、連苯三酚、第三丁基兒茶酚、苯醌(benzoquinone)、4,4'-硫基雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥胺鈰鹽以及類似物。
此外,感放射線性組成物可含有輔增感劑(co-sensitizer)以進一步改良敏化染料或起始劑對活性放射線之敏感度或抑制光可聚合化合物由氧引起之聚合或用於其他目的。此外,必要時可添加已知添加劑,諸如稀釋劑、塑化劑、油增感劑以及類似物,以改良固化膜之性質。
若使用聚合抑制劑,則以本發明中所用著色感光性樹脂組成物之總固體計,其含量較佳在0.001質量%至0.015質量%之範圍內,更佳在0.03質量%至0.09質量%之範圍內。
<黏著力改良劑>
本發明之組成物可含有黏著力改良劑以改良與硬表面(諸如基板)之黏著力。黏著力改良劑可為矽烷偶合劑、鈦偶合劑或類似物。
矽烷偶合劑較佳具有烷氧矽烷基作為可以化學方式鍵結於無機材料之可水解基團。其亦較佳具有藉由與有機樹脂相互作用或形成一鍵而對於有機樹脂顯示親和力之基團,諸如(甲基)丙烯醯基、苯基、巰基、縮水甘油基或氧雜環丁烷基,尤佳地為(甲基)丙烯醯基或縮水甘油基。
因此,本發明中所用之矽烷偶合劑較佳為具有烷氧矽烷基及(甲基)丙烯醯基或環氧基之化合物,具體言之為具有以下所示之結構的(甲基)丙烯醯基-三甲氧基矽烷化合物或縮水甘油基-三甲氧基矽烷化合物或類似物。
本發明中之矽烷偶合劑亦較佳為在一個分子中具有至少兩個反應性不同之官能基的矽烷化合物,尤佳為具有胺基及烷氧基官能基之矽烷化合物。所述矽烷偶合劑包含例如N-β-胺基乙基-γ-胺基丙基-甲基二甲氧基矽烷(以商標名稱KBM-602購自信越化學工業株式會社(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.))、N-β-胺基乙基-γ-胺基丙基-三甲氧基矽烷(以商標名稱KBM-603購自信越化
學工業株式會社)、N-β-胺基乙基-γ-胺基丙基-三乙氧基矽烷(以商標名稱KBE-602購自信越化學工業株式會社)、γ-胺基丙基-三甲氧基矽烷(以商標名稱KBM-903購自信越化學工業株式會社)、γ-胺基丙基-三乙氧基矽烷(以商標名稱KBE-903購自信越化學工業株式會社)以及類似物。
若使用矽烷偶合劑,則以本發明中所用之著色感光性樹脂組成物中的總固體計,添加量較佳在0.1質量%至5.0質量%之範圍內,更佳在0.2質量%至3.0質量%之範圍內。
<UV吸收劑>
本發明之組成物可含有UV吸收劑。可使用之UV吸收劑包含水楊酸酯、二苯甲酮、苯并三唑、經取代之丙烯腈以及三嗪UV吸收劑。水楊酸酯UV吸收劑之實例包含水楊酸苯酯、水楊酸對辛基苯酯、水楊酸對第三丁基苯酯以及類似物;且二苯甲酮UV吸收劑之實例包含2,2'-二羥基-4-甲氧基二苯甲酮、2,2'-二羥基-4,4'-二甲氧基二苯甲酮、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮、2-羥基-4-甲氧基二苯甲酮、2,4-二羥基二苯甲酮、2-羥基-4-辛氧基二苯甲酮以及類似物。此外,苯并三唑UV吸收劑之實例包含2-(2'-羥基-3',5'-二第三丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2'-羥基-3'-第三丁基-5'-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2'-羥基-3'-第三戊基-5'-異丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2'-羥基-3'-異丁基-5'-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2'-羥基-3'-異丁基-5'-丙基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2'-羥基-3',5'-二第三丁基苯基)苯并三唑、2-(2'-羥基-5'-甲基苯基)苯并三唑、2-[2'-羥基-5'-(1,1,3,3-四甲基)苯基]苯并三唑以及類似物。
經取代之丙烯腈UV吸收劑之實例包含2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸乙酯、2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸2-乙基己酯以及類似物。此外,三嗪UV吸收劑之實例包含單(羥基苯基)三嗪化合物,諸如2-[4-[(2-羥基-3-十二烷氧基丙基)氧基]-2-羥基苯基]-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[4-[(2-羥基-3-十三烷氧基丙基)氧基]-2-羥基苯基]-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪以及2-(2,4-二羥基苯基)-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪;雙(羥基苯基)三嗪化合物,諸如2,4-雙(2-羥基-4-丙氧基苯基)-6-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(2-羥基-3-甲基-4-丙氧基苯基)-6-(4-甲基苯基)-1,3,5-三嗪以及2,4-雙(2-羥基-3-甲基-4-己氧基苯基)-6-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪;參(羥基苯基)三嗪化合物,諸如2,4-雙(2-羥基-4-丁氧基苯基)-6-(2,4-二丁氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4,6-參(2-羥基-4-辛氧基氧基苯基)-1,3,5-三嗪以及2,4,6-參[2-羥基-4-(3-丁氧基-2-羥基丙氧基)苯基]-1,3,5-三嗪;以及類似物。在本發明中,這些不同UV吸收劑可單獨使用或以其兩者或大於兩者之組合形式使用。
本發明之組成物可含有或可不含有UV吸收劑,且若存在,則以本發明之組成物的總固體質量計,UV吸收劑之含量較佳為0.001質量%或大於0.001質量%及1質量%或小於1質量%,更佳為0.01質量%或大於0.01質量%及0.1質量%或小於0.1質量%。
<製備著色感放射線性組成物>
製備本發明之著色感放射線性組成物的實施例不受特別限制,但這些組成物可藉由例如混合本發明之基本組分及多種視情況選用之添加劑來製備。
出於移除雜質或減少缺陷之目的或出於其他目的,感放射線性組成物較佳經由過濾器來過濾。可使用通常用於過濾目的之任何過濾器以及類似物,而無任何特別限制。
「藉由經由過濾器過濾來將濁度(turbidity)控制於30ppm或小於30ppm之方法」可解釋為藉由經由過濾器過濾含有染料之聚合溶液來製備濁度為30ppm或小於30ppm之含有染料之聚合溶液的方法。在此方法中,自聚合溶液移除染料之聚集體達到使聚合溶液之濁度變成30ppm或小於30ppm的程度。此方法之優點是對用於染料之溶劑的寬泛選擇。用於過濾之過濾器不受特別限制,且可使用通常用於過濾目的之任何過濾器以及類似物。
用於過濾器之材料的實例包含氟樹脂,諸如聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene;PTFE);聚醯胺樹脂,諸如耐綸(nylon)-6及耐綸-6,6;聚烯烴樹脂(包含高密度及超高分子量聚烯烴),諸如聚乙烯及聚丙烯(polypropylene;PP);等等。在所述材料中,聚丙烯(包含高密度聚丙烯)較佳。
過濾器之孔徑不受特別限制,但例如為約0.01微米至20.0微米,較佳為約0.01微米至5微米,更佳為約0.01微米至2.0微米。
當過濾器之孔徑在以上範圍內時,可更有效地移除小粒子以使得濁度可進一步降低。
本文過濾器之孔徑可藉由參考由過濾器製造商指定之標稱值來選擇。市售過濾器可由例如日本保爾株式會社(Nihon Pall Ltd.)、東洋濾紙高新技術株式會社(Advantec Toyo Kaisha,Ltd.)、
日本英瑞司株式會社(Entegris Japan Co.,Ltd.)(以前是日本微晶株式會社(Nihon Mykrolis K.K.))、北澤微過濾器株式會社(KITZ MICRO FILTER CORPORATION)以及類似公司供應之多種過濾器選出。
過濾可藉由組合使用兩個或大於兩個過濾器來進行。
舉例而言,過濾可藉由起初使用第一過濾器,接著使用具有與第一過濾器不同之孔徑之第二過濾器來進行。
在此情況下,經由第一過濾器過濾及經由第二過濾器過濾可各進行一次或兩次或大於兩次。
由於與關於以上第一過濾器所述類似之材料或類似物形成之過濾器可用作第二過濾器。
本發明之組成物較佳藉由噴墨塗布來塗覆以使得其較佳具有適合用於噴墨記錄設備之性質。
因此,當使用本發明之組成物進行噴墨記錄時,其在射出(firing)期間之溫度下的墨水黏度較佳為100毫帕斯卡.秒或小於100毫帕斯卡.秒,更佳為50毫帕斯卡.秒或小於50毫帕斯卡.秒,以改良墨滴噴射,且較佳應適當地控制組成物比率並進行測定以達到以上範圍。
著色感放射線性組成物在25℃(室溫)下之黏度為0.5毫帕斯卡.秒或大於0.5毫帕斯卡.秒及200毫帕斯卡.秒或小於200毫帕斯卡.秒,較佳為1毫帕斯卡.秒或大於1毫帕斯卡.秒及100毫帕斯卡.秒或小於100毫帕斯卡.秒,更佳為2毫帕斯卡.秒或大於2毫帕斯卡.秒及50毫帕斯卡.秒或小於50毫帕斯卡.秒。在室溫下具有高
黏度之感放射線性組成物防止滴液,即使將其塗覆於具有不規則表面之基板上亦如此,藉此可形成均一的遮光膜。若25℃下之黏度高於200毫帕斯卡.秒,則感放射線性組成物可能會在運輸(在設備中運輸)方面遇到問題。
本發明之組成物的表面張力較佳為20毫牛頓/公尺至40毫牛頓/公尺,更佳為23毫牛頓/公尺至35毫牛頓/公尺。當將其塗覆於矽基板或金屬導線之表面上時,表面張力較佳為20毫牛頓/公尺或大於20毫牛頓/公尺以防止滴液,或較佳為35毫牛頓/公尺或小於35毫牛頓/公尺以改良對於基板或類似物之黏著力或親和力。
本發明之著色感放射線性組成物可用於多種應用,諸如固化膜、用於固態影像感測器之彩色濾光片、用於液晶顯示裝置之彩色濾光片、用於有機EL顯示裝置之彩色濾光片、用於印刷之墨水、用於噴墨印刷之墨水以及類似物。
固化膜及其製備方法:
藉由使本發明之組成物固化而獲得之固化膜具有高顏色純度、高吸收係數(儘管是薄層)以及良好耐久性(特別是耐熱性及耐光性)。此外,因為所述組成物即使在使用白光LED作為背光時亦可形成具有良好色調之著色顏料,以使得當其應用於併有白光LED之液晶顯示裝置時其明顯有效,所以其被用來形成用於液晶顯示裝置之彩色濾光片中的著色顏料。一種製備固化膜之方法包括以下步驟:將著色感放射線性組成物塗覆於基板上;以及使所述著色感放射線性組成物曝光。具體言之,可在給定基板或
基底材料上,藉由用著色感放射線性組成物塗布基板或類似物或將基板或類似物浸於著色感放射線性組成物中以形成著色感放射線性組成物層並使其固化,來形成固化膜。或者,可藉由利用噴墨記錄法或已知印刷方法(諸如織物印染或平版印刷)將組成物塗覆於基板上,或較佳在基板上形成著色感放射線性組成物層,使其曝光形成圖案,且接著如下文所述使其顯影以移除著色感放射線性組成物層之未曝光區域(因為可形成高度精密圖案),來形成圖案化之固化膜。
彩色濾光片及其製備方法:
一種製備本發明之彩色濾光片的方法包括以下步驟:將著色感放射線性組成物塗覆於基板上;以及使所述著色感放射線性組成物曝光。具體言之,其包括以下步驟:將如上文所述之本發明之著色感放射線性組成物塗覆於基底材料上以形成著色感放射線性組成物層(下文亦稱為「形成著色感放射線性組成物層之步驟」);經由遮罩使所述著色感放射線性組成物層曝光形成圖案(下文亦稱為「曝光步驟」);以及使曝光之著色感放射線性組成物層顯影以形成著色圖案(下文亦稱為「著色像素」)(下文亦稱為「顯影步驟」)。
本發明之彩色濾光片是藉由製備彩色濾光片之本發明方法所製備之彩色濾光片。
本發明之彩色濾光片應包括藉由製備彩色濾光片之本發明方法所製備之至少一種紅色圖案(紅色像素)。本發明之彩色濾光片的一個特定較佳實施例為例如包括紅色圖案與其他著色圖案之組
合的多色過濾器(例如包括至少紅色圖案、藍色圖案以及綠色圖案的三種或大於三種顏色之彩色濾光片)。
<形成著色感放射線性組成物層之步驟>
在形成著色感放射線性組成物層之步驟中,將本發明之著色感放射線性組成物塗覆於基底材料上以形成著色感放射線性組成物層。
可用於此步驟中之基底材料為例如上面安裝有諸如電荷耦合裝置(Charge Coupled Devices;CCD)或互補金屬氧化物半導體(Complementary Metal-Oxide Semiconductors;CMOS)之影像感測器(光偵測器)的用於固態影像感測器之基板(例如矽基板)。
可在用於固態影像感測器之基板的具有影像感測器之側面(正面)或不具有影像感測器之側面(背面)上形成本發明中之著色圖案。
可在用於固態影像感測器之基板上之影像感測器之間或在用於固態影像感測器之基板的背面上提供遮光膜。
此外,必要時可在基底材料上提供底塗層以改良與覆蓋層之黏著力,或防止物質擴散,或使基板表面變光滑。
本發明之著色感放射線性組成物可藉由多種塗布技術塗覆於基底材料上,諸如狹縫塗布(slit coating)、噴墨塗布、旋塗、流塗(flow coating)、輥塗以及網版印刷。
著色感放射線性組成物層之厚度較佳為0.1微米至10微米,更佳為0.2微米至5微米,甚至更佳為0.2微米至3微米。
塗覆於基底材料上之著色感放射線性組成物層可藉由使
用熱板、烘箱或類似物在50℃至140℃之溫度下保持10秒至300秒來進行乾燥(預烘烤)。
<曝光步驟>
在曝光步驟中,在形成著色感放射線性組成物層之步驟期間所形成之著色感放射線性組成物層是例如使用諸如步進器之曝光系統經由具有預定遮罩圖案之遮罩曝光形成圖案。
可用於曝光之放射線(光)尤佳包含諸如g線及i線之紫外線(尤佳為i線)。放射劑量(曝光劑量)較佳為30毫焦耳/平方公分至1500毫焦耳/平方公分,更佳為50毫焦耳/平方公分至1000毫焦耳/平方公分,尤佳為80毫焦耳/平方公分至500毫焦耳/平方公分。
<顯影步驟>
接著,進行鹼性顯影處理,藉此著色感放射線性組成物層的在曝光步驟期間未經照射之區域溶解於鹼性水溶液中,而僅保留光固化區域。
顯影液較佳地為對下伏之影像感測器或電路或類似物無害之有機鹼性顯影液。顯影溫度通常為20℃至30℃,且顯影時段通常為20秒至90秒。為進一步移除殘餘物,顯影近來可持續120秒至180秒。或者,藉由每60秒旋轉來移除顯影液以及新鮮供應顯影液之步驟可重複若干次以進一步改良殘餘物之移除。
用於顯影液之鹼性試劑包含例如有機鹼性化合物,諸如氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、咕啉(corrin)、吡咯、哌啶以及1,8-二氮雜雙環-[5,4,0]-7-
十一碳烯,且這些鹼性試劑較佳用純水稀釋以製備濃度為0.001質量%至10質量%、較佳0.01質量%至1質量%之鹼性水溶液並用作顯影液。
無機鹼亦可用於顯影液,較佳包含例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉以及類似物。
當使用由所述鹼性水溶液組成之顯影液時,通常在顯影之後用純水沖洗。
接著,較佳進行乾燥及後續熱處理(後烘烤)。若欲形成多色圖案,則可藉由對於每種顏色依次重複上文所述之步驟來製備固化膜。由此獲得彩色濾光片。後烘烤是在顯影後進行的熱處理,用以完成固化,通常是在100℃至240℃、較佳200℃至240℃下進行熱固化處理。
所述後烘烤處理可對顯影之塗布層藉由使用諸如熱板、對流烘箱(熱空氣循環乾燥機)或高頻加熱器之加熱構件在上述條件下連續或分批操作來進行。
除上述步驟外,本發明之製備方法可視情況包括已知用於固態影像感測器之彩色濾光片之製備方法的其他步驟。舉例而言,所述方法可視情況包括藉由在形成著色感放射線性組成物層之步驟、曝光步驟以及顯影步驟後加熱及/或曝光來使所形成之著色圖案固化的步驟。
當使用本發明之著色感放射線性組成物時,例如可能會堵塞塗布機或管道之噴嘴,或著色感放射線性組成物或顏料可能會在塗布機中沈積/沈澱/乾燥以引起污染或類似情況。為有效地洗
去由本發明之著色感放射線性組成物產生之污染物,較佳使用上文關於組成物所列之溶劑作為清洗液。此外,JP-A-H7-128867、JP-A-H7-146562、JP-A-H8-278637、JP-A2000-273370、JP-A2006-85140、JP-A2006-291191、JP-A2007-2101、JP-A2007-2102、JP-A2007-281523以及類似專利中所述之清洗液亦宜用作清洗液以洗去本發明之著色感放射線性組成物。
在所述清單中,烷二醇單烷基醚羧酸酯及烷二醇單烷基醚較佳。
這些溶劑可單獨使用或以其兩者或大於兩者之混合物形式使用。當混合兩種或大於兩種溶劑時,較佳混合含有羥基之溶劑與不含羥基之溶劑。含有羥基之溶劑與不含羥基之溶劑的質量比為1/99至99/1,較佳為10/90至90/10,更佳為20/80至80/20。丙二醇單甲醚乙酸酯(propylene glycol monomethyl ether acetate;PGMEA)與丙二醇單甲醚(propylene glycol monomethyl ether;PGME)以60/40比率之混合溶劑尤佳。為改良清洗液進入污染物中之滲透,清洗液可含有上文關於組成物所列之界面活性劑。
彩色濾光片中之著色圖案(著色像素)的膜厚度較佳為2.0微米或小於2.0微米,更佳為1.0微米或小於1.0微米。
此外,著色圖案(著色像素)之尺寸(圖案寬度)較佳為2.5微米或小於2.5微米,更佳為2.0微米或小於2.0微米,尤佳為1.7微米或小於1.7微米。
本發明之彩色濾光片可用於液晶顯示裝置、固態影像感測器以及有機EL裝置中,尤佳地用於固態影像感測應用中。當其
用於液晶顯示裝置中時,在其含有具有優良光譜性質及耐熱性之金屬錯合物染料作為著色劑之同時,液晶分子之配向極少受電阻率損失影響且可顯示具有良好色調之高品質影像。
<液晶顯示裝置>
本發明之彩色濾光片包括色調及耐光性優良之著色像素以使得其特別適合作為用於液晶顯示裝置之彩色濾光片。併有所述彩色濾光片之液晶顯示裝置允許顯示具有良好色調之高品質影像。
顯示裝置之定義及多種顯示裝置之詳情描述於例如「電子顯示裝置(佐佐木盛田,工業調查會出版株式會社,1990)(Electronic Display Devices(by Akio Sasaki,Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.,1990))」、「顯示裝置(伊吹統秋,產業圖書株式會社,1989)(Display Devices(by Sumiaki Ibuki,Sangyotosyo Inc.,1989))」以及類似文獻中。此外,液晶顯示裝置描述於例如「新一代液晶顯示技術(由內田達雄編,工業調查會出版株式會社,1994)(Next Generation Liquid Crystal Display Technology(edited by Tatsuo Uchida,Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.1994))」中。可應用本發明之液晶顯示裝置不受特別限制,但本發明可應用於例如「新一代液晶顯示器技術(Next Generation Liquid Crystal Display Technology)(同上)」中所述之多種類型之液晶顯示裝置。
其中,本發明之彩色濾光片尤其有效用於彩色TFT液晶顯示裝置。彩色TFT液晶顯示裝置描述於例如「彩色TFT液晶顯示器(共立出版株式會社,1996)(Color TFT Liquid Crystal Displays (KYORITSU SHUPPAN CO.,LTD.,1996))」中。本發明亦可應用
於寬視角液晶顯示裝置,諸如共平面切換型(In-Plane Switching;IPS)或半色調-灰度方法(Halftone-Grayscale Method)諸如MVA,及STN、TN、VA、OCS、FFS以及R-OCB,以及類似物。
此外,本發明之彩色濾光片亦可應用於稱為彩色濾光片陣列(Color-filter On Array;COA)之光高清晰度模式。COA模式液晶顯示裝置中之彩色濾光片層不僅需要滿足如上文所述之典型特徵,而且有時需要滿足層間介電質之特徵,亦即,低介電性及剝離劑(stripper)抗性。本發明之彩色濾光片是藉由將(A)金屬錯合物染料與本發明之複合物形成化合物以上述比例組合並使其固化來獲得,其可顯著防止液晶材料之電阻率損失,從而消除液晶分子之配向損失,亦即,顯示器品質損失。此有助於改良色調,諸如高顏色純度,藉此可提供具有高解析度及優良長期耐久性之COA模式液晶顯示裝置。為滿足所需低介電性特徵,可將樹脂塗層塗覆於彩色濾光片層上。
此外,甚至5微米或小於5微米之傳導路徑亦可藉由使用本發明來形成,與COA模式著色層之需求一致,其必須包括用於將著色層上之ITO電極連接至在著色層下方之驅動板之端子的傳導路徑,諸如邊長為約1微米至15微米之正方形通孔或U形凹槽,尤佳為尺寸(亦即邊長)為5微米或小於5微米之傳導路徑。這些影像顯示模式描述於例如「EL、PDP以及LCD顯示器-技術與市場之最新趨勢-第43頁(東麗研究中心株式會社之調查研究部2001)(EL,PDP,and LCD Displays-The Latest Trends in Technologies and Markets-p.43(Investigative Research Department
of Toray Research Center,Inc.2001))」以及類似文獻中。
除本發明之彩色濾光片外,本發明之液晶顯示裝置包括多種元件,諸如電極基板、偏光膜、延遲膜、背光、隔片以及視角補償膜。本發明之彩色濾光片可應用於由這些已知元件構成之液晶顯示裝置。這些元件描述於例如「94年液晶顯示器市場-相關材料與化學品(肯塔羅適馬CMC出版有限公司1994)('94 The Market of Liquid Crystal Display-Related Materials and Chemicals (Kentaro Shima CMC Publishing Co.,Ltd.1994))」以及「LCD市場2003年第II卷-當前視點與未來展望(竹馬奎特富士凱美萊總研,2003)(LCD Market 2003 Vol.II-Present Aspect & Future Outlook(Ryokichi Qmote Fuji Chimera Research Institute,Inc.,2003))」中。
背光描述於SID會議輯要1380(2005)(A.今野等人)(SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et al.));顯示器月刊,2005年12月,第18-24頁(適馬康裕),同前,第25-30頁(八木隆明)(Monthly Journal of Displays,December 2005,pp.18-24(Yasuhiro Shima),ibid.,pp.25-30(Takaaki Yagi))以及類似文獻中。
使用本發明之彩色濾光片的液晶顯示裝置當與通常已知之冷陰極管之三波長管組合時可達成高對比度,且當使用紅色、綠色以及藍色LED光源(red,green and blue LED light source;RGB-LED)作為背光時,其可進一步提供具有高亮度、高顏色純度以及良好彩色再現性之液晶顯示裝置。
<固態影像感測器>
本發明之固態影像感測器包括如上文所述的本發明之用於固
態影像感測器之彩色濾光片。本發明之固態影像感測器的結構不受特別限制,只要其包括本發明之用於固態影像感測器之彩色濾光片且起固態影像感測器之作用即可,但例如特定地設計如下。
結構經設計成包括位於基底材料上的各自構成固態影像感測器(CCD影像感測器、CMOS影像感測器或類似物)之光捕捉區域之多個光電二極體及由多晶矽或類似物製成之轉移電極;在所述光電二極體及所述轉移電極上設置以僅在每個光電二極體之光捕捉部分處敞開的由鎢或類似物製成之遮光膜;在所述遮光膜上形成以覆蓋遮光膜之整個表面及每個光電二極體之光捕捉部分的由氮化矽或類似物製成之裝置保護膜;以及位於所述裝置防護膜上的本發明之用於固態影像感測器之彩色濾光片。
此外,所述結構可設計成包括位於裝置保護層上且在彩色濾光片之下(在靠近基底材料之一側上)之光聚焦構件(例如微透鏡或類似物;與下述相同)或位於彩色濾光片上之光聚焦構件以及類似物。
以下實例進一步說明本發明,但本發明不應解釋為限於這些實例且可在不脫離本發明之精神的情況下作出改變。除非另外規定,否則「份」是以質量計。室溫是指25℃。
<製備顏料黃139>
在珠粒研磨機(直徑為0.3毫米之氧化鋯珠粒)中使包括13.0質量份C.I.顏料黃139(平均初始粒徑為70奈米)、3.0質量份顏料分散劑畢克-161(來自畢克公司(BYK))以及90質量份PGMEA
之混合溶液均質化3小時以製備顏料分散液。接著,使用具有降壓功能之高壓均質機NANO-3000-10(來自日本碧公司(BEE Japan,Inc.))在2000公斤/立方公分之壓力下且在500公克/分鐘之流速下進一步分散所述分散液。重複此分散液處理10次以得到顏料分散液。藉由動態光散射(麥奇克(Microtrac)奈米粒徑儀(Nanotrac)UPA-EX150(來自日機裝株式會社(Nikkiso Co.,Ltd.))測定顏料分散液中顏料之平均初始粒徑為25奈米。
<製備C.I.顏料紅254之分散液>
在珠粒研磨機(直徑為0.3毫米之氧化鋯珠粒)中將包括14.0質量份C.I.顏料紅254(平均初始粒徑為75奈米)、4.0質量份顏料分散劑畢克-161(來自畢克公司)以及85質量份PGMEA之混合溶液分散3小時以製備顏料分散液。接著,使用具有降壓功能之高壓均質機NANO-3000-10(來自日本碧公司)在2000公斤/立方公分之壓力下且在500公克/分鐘之流速下進一步分散所述分散液。重複此分散液處理10次以得到顏料分散液。藉由動態光散射(麥奇克奈米粒徑儀UPA-EX150(來自日機裝株式會社)測定顏料分散液中顏料之平均初始粒徑為30奈米。
<製備顏料藍15:6>
在珠粒研磨機(直徑為0.3毫米之氧化鋯珠粒)中將包括11.5質量份C.I.顏料藍15:6(平均初始粒徑為55奈米)、3.5質量份顏料分散劑畢克-161(來自畢克公司)以及85質量份PGMEA之混合溶液分散3小時以製備顏料分散液。接著,使用具有降壓功能之高壓均質機NANO-3000-10(來自日本碧公司)在2000公斤/
立方公分之壓力下且在500公克/分鐘之流速下進一步分散所述分散液。重複此分散液處理10次以得到顏料分散液。藉由動態光散射(麥奇克奈米粒徑儀UPA-EX150(來自日機裝株式會社)測定顏料分散液中顏料之平均初始粒徑為25奈米。
[製備顏料分散液]
(製備G顏料分散液1)
在珠粒研磨機(直徑為0.3毫米之氧化鋯珠粒)中將包括11.0份顏料綠36、3.0份顏料綠7、如上文所述製備之5.0份顏料黃139、2.0份顏料分散劑樹脂A(結構式如下所示)、4.0份顏料分散劑樹脂B(結構式如下所示)、50.0份丙二醇甲醚乙酸酯(下文稱為「PGMEA」)以及25.0份環己酮之混合溶液分散3小時以製備顏料分散液。接著,使用具有降壓功能之高壓均質機NANO-3000-10(來自日本碧公司)在2000公斤/立方公分之壓力下且在500公克/分鐘之流速下進一步分散所述分散液。
重複此分散液處理10次以得到G顏料分散液1。
Mw=30000
顏料分散劑樹脂B
Mw=14000
(製備G顏料分散液2)
除了G顏料分散液1中之顏料綠36替換為顏料綠58以外,以與G顏料分散液1相同之方式獲得G顏料分散液2。
(製備R顏料分散液1)
在珠粒研磨機(直徑為0.3毫米之氧化鋯珠粒)中將包括如上文所述製備之14.0份顏料紅254、5.0份顏料黃139、6.0份顏料分散劑樹脂A、60.0份PGMEA以及15.0份環己酮之混合溶液分散3小時以製備顏料分散液。接著,使用具有降壓功能之高壓均質機NANO-3000-10(來自日本碧公司)在2000公斤/立方公分之壓力下且在500公克/分鐘之流速下進一步分散所述分散液。
重複此分散液處理10次以得到R顏料分散液1。
(製備B顏料分散液1)
在珠粒研磨機(直徑為0.3毫米之氧化鋯珠粒)中將包括如上文所述製備之15.2份顏料藍15:6、3.8份顏料紫23、6.0份顏料分散劑樹脂B、50.0份PGMEA以及25.0份環己酮之混合溶液分散3小時以製備顏料分散液。接著,使用具有降壓功能之高壓均質機NANO-3000-10(來自日本碧公司)在2000公斤/立方公分之壓力下且在500公克/分鐘之流速下進一步分散所述分散液。
重複此分散液處理10次以得到B顏料分散液1。
[製備著色感放射線性組成物]
(實例1)
將以上所獲得之G顏料分散液1與以下所示組成之多種組分混合並攪拌以製備實例1之著色感放射線性組成物。
<組成物>
3:7之混合物
(實例2至實例27,以及比較實例1至比較實例6)
除了將實例1中所用之化合物改為表1及表2中所述之化合物及量以外,以與實例1相同之方式製備這些組成物。
(實例26)
除了將實例15中之光起始劑改為豔佳固OXE-01至豔佳固907(來自巴斯夫公司)以外,以與實例15相同之方式製備此組成物。
(實例27)
除了將實例15中之光起始劑由豔佳固OXE-01改為以下所示結構之三嗪起始劑(T-1)以外,以與實例15相同之方式製備此組成物。
(測定甲苯濃度)
自根據已知方法藉由氣相層析製備之0ppm至20ppm之校準曲線測定實例各樣品中之甲苯濃度。
<評估1:在室溫下靜置後之缺陷(凹坑)>
使實例1之組成物在25℃室溫下靜置180天且藉由使用旋塗
機以1.0微米之乾燥後厚度塗覆於上底漆之玻璃晶圓上,並在100℃下在熱板上熱處理(預烘烤)120秒。用光學顯微鏡觀察此樣品之1公分×1公分的方形區域且藉由對0.5微米或大於0.5微米之凹坑缺陷的數目進行目測計數來評估。亦以相同方式評估實例2至實例27以及比較實例1至比較實例6。
-評估分級-
5:無缺陷;4:1個至4個缺陷;3:5個至9個缺陷,勉強可接受;2:20個或大於20個缺陷,不可接受;1:分布廣泛的缺陷;絕對不可接受。
<評估2:冷藏後之晶體沈積>
在4℃下冷藏實例1之組成物180天且藉由使用旋塗機以1.0微米之乾燥後厚度塗覆於上底漆之玻璃晶圓上,並在100℃下在熱板上熱處理(預烘烤)120秒。
用光學顯微鏡觀察此樣品之1公分×1公分的方形區域且藉由對0.5微米或大於0.5微米之晶體缺陷的數目進行目測計數來評估。亦以相同方式評估實例2至實例27以及比較實例1至比較實例6。
-評估等級-
5:無晶體缺陷;4:1個至3個缺陷;3:4個至6個缺陷,勉強可接受;
2:10個或大於10個缺陷,不可接受;1:分布廣泛的缺陷;絕對不可接受。
在表1中,M-b、M-c以及M-d如下所示。
表格展示,在實例1至實例27中,即使在室溫下靜置6個月後在塗布表面上亦未出現凹坑缺陷,且即使在冷藏6個月後在塗布表面上亦未沈積晶體,所述實例1至實例27包括:(1)著色劑、(2)光可聚合化合物、(3)甲苯、(4)光起始劑以及(5)黏合劑樹脂,其中甲苯濃度為0.1ppm至10ppm。然而,發現甲苯濃度超出0.1ppm至10ppm之比較實例1至比較實例6不如述實例有效。
[實例100]
製備固態影像感測器
(1)製備著色感放射線性組成物
除了C.I.顏料藍15:6分別替換為下述著色顏料以外,以與B顏料分散液1相同之方式製備用於紅色(R)之顏料分散液R-1及用於綠色(G)之顏料分散液G-1。
用於形成RGB彩色像素之著色顏料
-用於紅色(R)之顏料:C.I.顏料紅254
-用於綠色(G)之顏料:C.I.顏料綠36與C.I.顏料黃139之70/30[質量比]混合物
(2)製備用於固態影像感測器之彩色濾光片
除了顏料分散液替換為用於紅色之顏料分散液R-1及用於綠色(G)之顏料分散液G-1且不添加染料聚合物(A)以外,藉由與實例8相同之程序製備用於紅色(R)之著色可固化組成物R-2及用於綠色(G)之著色可固化組成物G-2。
(3)製備上底漆之矽基板
在烘箱中在200℃下熱處理6吋之矽晶圓30分鐘。接著,以
1.5微米之乾燥後厚度將抗蝕劑溶液塗覆於此矽晶圓上,且藉由在烘箱中在220℃下加熱1小時來進一步乾燥以形成底塗層,藉此獲得上底漆之矽晶圓基板。
(4)圖案化
將綠色可固化組成物G-2塗覆於上底漆之矽晶圓的底塗層上以形成著色可固化組成物層(塗布層)。接著,在熱板上在100℃下熱處理(預烘烤)此塗布層120秒以使得其乾燥後厚度為0.5微米。
接著,藉由使用i線步進器曝光系統FPA-3000i5+(來自佳能株式會社(Canon,Inc.)),在365奈米波長下,經由1.2微米×1.2微米之拜耳(Bayer)圖案遮罩使塗布層曝光。
接著,將具有經照射之塗布層的矽晶圓基板置於旋轉噴淋顯影機(型號DW-30,來自康拓斯有限公司(CHEMITRONICS CO.,LTD.))之水平轉台上,且在23℃下用CD-2000(來自富士軟片電子材料株式會社(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.))覆液顯影60秒以在矽晶圓基板上形成1.2微米×1.2微米之綠色(G)著色圖案。
隨後,使用用於紅色(R)之著色感放射線性組成物R-2形成1.2微米×1.2微米之紅色(R)著色圖案。此外,使用實例8中所製備之用於藍色(B)之著色感放射線性組成物形成1.2微米×1.2微米之藍色(B)著色圖案,藉此製備用於固態影像感測器之彩色濾光片。
(5)評估
當將全色濾光片併入固態影像感測器中時,發現固態影像感
測器提供高解析度及優良顏色分離。
[實例101]
製備液晶顯示裝置
(1)製備用於液晶顯示裝置之彩色濾光片
在下述條件下藉由狹縫塗布將綠色可固化組成物G-2塗覆於550毫米×650毫米之玻璃基板上,接著在真空下乾燥並預烘烤(在100℃下80秒),以在所述玻璃基板上形成著色感放射線性組成物之塗布層(著色可固化組成物層)。
(2)狹縫塗布條件
-塗布頭末端處之孔徑寬度:50微米
-塗布速度:100毫米/秒
-基板與塗布頭之間的間隙:150微米
-乾燥後厚度:1.75微米
-塗布溫度:23℃
接著,藉由2.5千瓦超高壓汞燈以100毫焦耳/平方公分,使用來自日立高新技術株式會社(Hitachi High-Technologies Corporation)之LE4000A,經由線寬為20微米之光罩使著色可固化組成物之塗布層曝光形成圖案。曝光後,用1%無機顯影劑水溶液(以商標名稱CDK-1購自富士電子材料株式會社)覆蓋塗布層之整個表面且使其靜置60秒。
(3)熱處理
靜置後,用純水噴淋頭洗去顯影劑,且在烘箱中在220℃下熱處理(預烘烤)所得曝光(光固化)並顯影之塗布層1小時。由此獲得在玻璃基板上具有著色可固化組成物(著色層)圖案之
彩色濾光片。
接著,使用用於紅色(R)之著色可固化組成物R-2以相同方式形成線寬為20微米之著紅色(R)之線圖案。此外,使用實例8之著色感放射線性組成物以相同方式形成線寬為20微米之著藍色(B)之線圖案,藉此製備用於液晶顯示裝置之包含黑色矩陣之彩色濾光片。
(4)評估
將全色濾光片與ITO透明電極、偏光膜以及類似物組合以製備液晶顯示裝置。塗有本發明之可聚合組成物的表面高度均一,且液晶顯示裝置提供不含影像缺陷之良好影像品質。
Claims (16)
- 一種著色感放射線性組成物,包括(1)著色劑、(2)具有2個以上的末端乙烯性不飽和鍵的光可聚合化合物、(3)甲苯、(4)光起始劑、(5)鹼溶性樹脂、以及(6)甲苯以外的有機溶劑,其中使所述著色感放射線性組成物之總固體含量成為5質量%至60質量%的量而含有所述甲苯以外的有機溶劑,所述著色感放射線性組成物中所述甲苯的濃度為0.1ppm至10ppm。
- 如申請專利範圍第1項所述的著色感放射線性組成物,其中以固體含量表示的所述光可聚合化合物的濃度為5質量%或大於5質量%。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的著色感放射線性組成物,其中以固體含量表示的所述著色劑的濃度為40%或大於40%。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的著色感放射線性組成物,其中所述光起始劑為肟光起始劑。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的著色感放射線性組成物,其中所述著色劑為顏料。
- 如申請專利範圍第5項所述的著色感放射線性組成物,其中所述顏料為綠色顏料。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的著色感放射線性組成物,其中所述甲苯以外的有機溶劑為選自酯類、醚類及酮類的至少一種。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的著色感放射線性組成物,其更含有界面活性劑。
- 一種固化膜,其是藉由使如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的著色感放射線性組成物固化來獲得。
- 一種用於製備固化膜的方法,包括以下步驟:將如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的著色感放射線性組成物塗覆於基板上;以及使所述著色感放射線性組成物曝光。
- 一種彩色濾光片,其是藉由使用如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的著色感放射線性組成物來形成。
- 一種用於製備彩色濾光片的方法,包括以下步驟:將如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的著色感放射線性組成物塗覆於基板上;以及使所述著色感放射線性組成物進行圖案化曝光。
- 一種用於噴墨印刷的墨水,包括如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的著色感放射線性組成物。
- 一種固態影像感測器,包括如申請專利範圍第11項所述的彩色濾光片或藉由如申請專利範圍第12項所述的製備彩色濾光片的方法所獲得的彩色濾光片。
- 一種液晶顯示裝置,包括如申請專利範圍第11項所述的彩色濾光片或藉由如申請專利範圍第12項所述的製備彩色濾光片的方法所獲得的彩色濾光片。
- 一種有機EL顯示裝置,包括如申請專利範圍第11項所述的彩色濾光片或藉由如申請專利範圍第12項所述的製備彩色濾光片的方法所獲得的彩色濾光片。
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