TWI496416B - 結晶體單元 - Google Patents

結晶體單元 Download PDF

Info

Publication number
TWI496416B
TWI496416B TW099111364A TW99111364A TWI496416B TW I496416 B TWI496416 B TW I496416B TW 099111364 A TW099111364 A TW 099111364A TW 99111364 A TW99111364 A TW 99111364A TW I496416 B TWI496416 B TW I496416B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
axis
crystal
rotating
angle
waveform
Prior art date
Application number
TW099111364A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201101683A (en
Inventor
Toshio Sugiyama
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co
Publication of TW201101683A publication Critical patent/TW201101683A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI496416B publication Critical patent/TWI496416B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02007Details of bulk acoustic wave devices
    • H03H9/02015Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
    • H03H9/02023Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of quartz
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/02551Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of quartz substrates
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543Characteristics of substrate, e.g. cutting angles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

結晶體單元
本發明係有關於一種雙旋Y形切割結晶體單元的技術領域,尤指一種SC切割結晶單元,於其中使C波形的結晶體阻抗(crystal impedance,CI)小於B波形的結晶體阻抗。
雙旋Y形切割結晶體單元例如SC切割結晶體單元在溫度衝擊(thermal-shock)特性及其他特性上有良好的表現。是故,雙旋Y形切割結晶體單元係用作例如恆溫式的高穩定結晶體震盪器。在SC切割結晶體單元中,不僅只有作為主要震盪的C波形,還有因為與C波形的震動頻率相近而造成不正常震盪(頻率跳躍)的B波形。是故,有壓抑B波形的以穩定C波形的震盪之需求。
第3a圖及第3b圖係用於解釋相關技術的結晶體單元之一例的圖示,於第3a圖,係SC切割結晶體元件的方位角(azimuthal)圖,而第3b圖係結晶體元件之視圖。
上述結晶體單元係由SC切割結晶體元件1組成。結晶體元件1的主面(principal surface)係與於對結晶體軸(X,Y,Z)以逆時針方向旋轉θ°及Φ °繞X軸及Z軸左旋的新轉軸(X’,Y”,Z’)之Y”軸正交。簡言之,上述結晶體單元係由雙旋Y形切割結晶體板所組成,其中與Y軸正交的主面(Y面)係以θ°及Φ °繞X軸及Z軸為中心左旋。
實際上,舉例而言,雙旋Y形切割結晶體板係以θ°繞X軸旋轉,於後以Φ °繞新產生的Z’旋轉。或者,雙旋Y形切割結晶體板繞Z軸旋轉Φ °角度,於後繞新產生的X’向左旋轉θ°。一般而言,θ係指方向角,而Φ 係指傾斜角,且方向角θ對於溫度特性(頂峰溫度)有影響,而傾斜角Φ 對結晶體阻抗有影響。
此外,如第4圖所示,上述結晶體係三方(trigonal)結晶體。是故,x軸(實線)係120°的區間內存在作為電軸(electric axis),而Y軸(鍊線)係作為機械軸(mechanical axis)存在以與X軸正交。另,第4圖係剖面圖,其中穿過紙本平面的方向係作為視軸(optical axis)的Z軸,並與Z軸正交。據此,SC切割結晶體的傾斜角Φ (22°)係透過將Y軸作為基準以逆時針方向旋轉30°(30-Φ )°,也就是,以與X軸相差30°為基準,順時針方向旋轉8°。
結晶體元件1係例如沿X’軸方向形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,而X’軸定義為長度L、Z’軸定義為寬度W、而Y”定義為厚度T。激發電極(excitation electrode,未圖示)係形成於結晶體元件1的兩個主面,而引導電極(leading electrode)係由其末端的兩側延伸,並被未說明的手段所持定,而結晶體元件1係密封地封裝,以形成結晶體單元。
(習知技術文獻) (專利文獻)
(專利文獻1)日本專利JP-A-2006-345115
(專利文獻2)日本專利JP-A-H11-177376
(專利文獻3)日本專利JP-A-S56-122516
然而,具有前述設置(SC切割)的結晶體單元,B波形(從屬震盪)係產生厚度扭轉(thickness-twisting)震動,俾使其接近C波形的厚度切變(thickness-shear)震動,而B波形的結晶體阻抗與C波形的結晶體阻抗係互相相等。據此,有著B波形對應C波形的震盪,產生不正常的震盪的問題。
為此,例如日本專利JP-A-2006-345115提出了一種對應C波形及B波形的諧振電路(resonant circuit),用以壓抑B波形、以穩定於C波形的震盪。然而,於此例中,存在有LC電路或類似電路作為諧振電路時需複雜化電路的問題,其增加了元件數量而複雜化了設計。
此外,這些問題不僅是發生在SC切割結晶體單元中發生,並同樣的在雙旋Y形切割結晶單元其中B波形對應C波形時產生。舉例而言,這些問題同樣的發生在如方向角θ為33°而傾斜角Φ 為19°的IT切割結晶體單元中,以及方向角θ為33°而傾斜角Φ 為15°的FC切割結晶體單元中。
本發明的一目的為提供一種雙旋Y形切割結晶單元,其中B波形的結晶體阻抗相對大於C波形者,俾使C波形的震盪較為容易。
根據本發明的第一態樣,係提供一種雙旋Y形切割結晶體單元,包括:結晶體元件,係分別對結晶體軸(X,Y,Z)的X軸及Z軸為中心以逆時針方向旋轉θ°及,其主面係與新產生的旋轉結晶體軸(X’,Y’’,Z’)的Y’’軸正交,且形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,其中結晶體元件的長邊方向係相當於對作為主面的旋轉結晶體軸之X’-Z’平面的中央軸X’軸以逆時針方向旋轉α°角之軸方向,而該α角係設定成為(30-)°±45°。
根據本發明的第二態樣之雙旋Y形切割結晶體單元,該雙旋Y形切割結晶體單元係SC切割結晶體單元,於其中該結晶體元件係設定成使θ角為33°,而角為22°。
根據本發明的第三態樣之雙旋Y形切割結晶體單元,係在第一態樣之雙旋Y形切割結晶單元中,該雙旋Y形切割結晶體單元係IT切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為19°;或係FC切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°、角為15°
根據本發明以SC切割結晶體單元為例的各種態樣,於B波形的結晶體阻抗可被顯著地增加為相對C波形的二十倍。據此,避免了B波形的不正常震盪,藉以穩定C波形的震盪。
根據本發明的第二及第三態樣,係進一步闡明第一樣態的雙旋Y形切割結晶單元,並且發揮了第一樣態的功效。
此外,於專利文獻2說明了基於其壓力敏感及其他的 特性,而設定SC切割結晶體單元為XX’軸±45°。然而,於本發明以SC切割結晶體單元為例的情況,係由公式(30-)°±45°導出α°為+53°或-37°。是故,本發明與專利文獻1完全不同。
於下,係參考第1圖(橫向旋轉圖)及第2圖(結晶體阻抗特性圖)說明本發明之一實施例。此外,於相關例子中相同的元件部分,係以相同的元件符號標示,其說明係簡化或省略。
結晶體單元係由SC切割結晶體元件1所組成,其主面係以對結晶體軸(X,Y,Z)(請參考第3a圖及第3b圖)的X軸及Z軸為中心的方向角θ 33°及傾斜角22°正交於旋轉結晶體軸(X’,Y’’,Z’)的Y’’。於此例中,係如上所述(請參考第4圖)對X軸的逆時針旋轉傾斜角(22°)對Y軸則成為從X軸向同方向旋轉30°而以(30-)°表示。
結晶體元件1係沿X’軸方向形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,Y’’定義為厚度T;X’軸定義為長度L;Z’軸定義為寬度W;而結晶體元件1係作為基準結晶體元件1A。舉例而言,將長度L設定為3.2mm,並將寬度W設定為1.8mm,這使得兩側的長寬(L/W)比成為1.8。此外,只要將兩側的長寬(L/W)比設為接近1.8或更高,基本上可增加B波形的結晶體阻抗對應C波形的結晶體阻抗(請參考專利文獻3)。於是,於本實施例中,如第1圖所示,基準結晶體元件1A係以此處為主面的平面X’-Z’的X’軸(傾斜角=22°)為基準(0°)做平面內旋轉,以於此例中得到結晶體元件1的對應結晶體阻抗。
第2圖係基於平面內旋轉的實驗結果所得到的基本結晶體阻抗特性視圖。然而,結晶體元件以X’軸為基準(0°)其平面內旋轉角α在逆時針方向及順時針方向±90°的範圍係標畫於橫座標(abscissa)上。再且,對應平面內旋轉角α的C波形(曲線A)及B波形(曲線B)的結晶體阻抗值係標畫於縱座標(ordinate)。
於此,當以X軸做為基準的X’軸的平面內旋轉角α時,係加上一傾斜角Φ (22°),而平面內旋轉角α變為(Φ +α)。此外,如上所述由於傾斜角Φ 係對X軸(30-Φ )°,故平面內旋轉角α亦可用(30-Φ )表示。
此外,於此實驗之基準結晶體元件1A及結晶體元件1係由激發電極(未圖示)所延伸的引導電極於兩個主面持定其末端的兩側。
如第2圖所示,當以X’軸為基準的平面內旋轉角α的範圍係介於±90°,其C波形(曲線A)的結晶體阻抗係大致上固定在20Ω。這是因為C波形(厚度切變震動)係充分的激發了,即使當X軸的長度被平面內旋轉所改變,亦不會對結晶體阻抗造成影響。
相比之,B波形的結晶體阻抗到達20Ω的最小值,其係相等於C波形對X’軸以8°,及8°±90°的98°及-82°做平面內旋轉的值。接著,B波形的結晶體阻抗在53°到-37°即8°±45°時到達接近200Ω的最大值。簡言之,B波形的結晶體阻抗在相對X’軸(最小值)平面內旋轉角α=8°時集中,在±45°時到達最大值,而在±90°時到達最小值。
根據這些事實,將相對X’軸的平面內旋轉角α°設定為53°及-37°,即可使SC切割結晶體單元B/C結晶體阻抗B波形相對C波形的比率顯著地增加大約二十倍。於是,例如相較於利用LC電路壓抑B波形,其元件的數量減少,而使得電路設計較為容易。
於上述實施例,於SC切割結晶體單元中,相對X’軸(傾斜角Φ =22°)B波形的結晶體阻抗在的平面內旋轉角α為8°時達到最小(8°±90°),而B波形的結晶體阻抗在平面內旋轉角α為8°±45°時達到最大。同時,如上所述,平面內旋轉角α=8°係相當於(30-Φ )°。據此,B波形的結晶體阻抗達到最大的平面內旋轉角α=(8°±45°)可表示為(30-Φ )°±90°。於此例中,B波形的結晶體阻抗在(30-Φ )°±90°達到最小,而在介於中間的(30-Φ )°±45°時達到最大。
上述這些事實中除了SC切割結晶體單元,具有C波形及B波形的雙旋Y切割結晶體單元的事例亦引發了相同的現象,舉例來說,具有傾斜角Φ 的IT切割結晶體單元其旋轉角係相對X軸19°。據此,當對X軸的旋轉角為(30-Φ )°±45°時,B波形的結晶體阻抗係達到最大,使得關於C波形的結晶體阻抗的B/C比例顯著的提高。以此,本發明基本上不僅可應用於SC切割結晶體單元,更可以應用於具有C波形及B波形的雙旋Y切割結晶體單元。
1...結晶體元件
1A...基準結晶體元件
第1圖係為結晶體元件(SC切割)的平面內旋轉圖,用以解釋本發明之一實施例;
第2圖係為對應平面內旋轉結晶體阻抗特性圖,用以解釋本發明之一實施例;
第3a圖及第3b圖係為說明習知結晶體單元一例之示意圖,其中第3a圖係SC切割結晶體元件之剪切方位角圖,而第3b圖細節晶體元件之視圖
第4圖係為示意正交於結晶體(石英)的Z軸平表面之剖面圖,用以解釋相關例子。
1...結晶體元件
1A...基準結晶體元件

Claims (4)

  1. 一種雙旋Y形切割結晶體單元,包括:結晶體元件,係分別對結晶體軸(X,Y,Z)的X軸及Z軸為中心以逆時針方向旋轉θ°及,其主面係與新產生的旋轉結晶體軸(X’,Y’’,Z’)的Y’’軸正交,且形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,其中相對於在作為主面的旋轉結晶體軸之X’-Z’平面中作為中央軸之Y’’軸,X’軸以逆時針方向旋轉α°角時,該結晶體元件的長邊方向係相當於經旋轉之X’軸方向,而該α角係設定成為(30-)°±45°。
  2. 如申請專利範圍第1項之雙旋Y形切割結晶體單元,其中,該雙旋Y形切割結晶體單元係SC切割結晶體單元,而該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為22°。
  3. 如申請專利範圍第1項之雙旋Y形切割結晶體單元,其中,該雙旋Y形切割結晶體單元係IT切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為19°;或係FC切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為15°。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之雙旋Y形切割結晶體單元,其中,該結晶體元件係形成一邊方向較長的長方形幾何形,X’軸定義為長度L,Z’軸定義為寬度W時,L/W比設為1.8或更高。
TW099111364A 2009-04-14 2010-04-13 結晶體單元 TWI496416B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009097897A JP4864114B2 (ja) 2009-04-14 2009-04-14 水晶振動子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201101683A TW201101683A (en) 2011-01-01
TWI496416B true TWI496416B (zh) 2015-08-11

Family

ID=42933811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW099111364A TWI496416B (zh) 2009-04-14 2010-04-13 結晶體單元

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7973457B2 (zh)
JP (1) JP4864114B2 (zh)
CN (1) CN101867353B (zh)
TW (1) TWI496416B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150049782A1 (en) * 2013-08-14 2015-02-19 Keysight Technologies, Inc. Thermal Substitution Power Measurement System with RF Self-Heating Temperature Sensor
JP6412384B2 (ja) * 2014-09-25 2018-10-24 株式会社アルバック 水晶振動子、この水晶振動子を有するセンサヘッド、成膜制御装置、および成膜制御装置の製造方法
EP4032185A4 (en) * 2019-09-16 2023-11-08 Rakon Limited DOUBLE ROTATION QUARTZ RESONATORS WITH REDUCED SENSITIVITY TO ACCELERATION

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4375604A (en) * 1981-02-27 1983-03-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of angle correcting doubly rotated crystal resonators
US4701661A (en) * 1985-05-28 1987-10-20 Frequency Electronics, Inc. Piezoelectric resonators having a lateral field excited SC cut quartz crystal element
US20040173141A1 (en) * 2002-09-02 2004-09-09 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. IT-cut quartz crystal unit
TW200746630A (en) * 2006-05-01 2007-12-16 Epson Toyocom Corp Piezoelectric resonator and method for manufacturing thereof
US20080203858A1 (en) * 2003-07-18 2008-08-28 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Sc Cut Crystal Resonator

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56122516A (en) * 1980-03-04 1981-09-26 Nec Corp Quartz oscillator
JP2531304Y2 (ja) * 1991-01-31 1997-04-02 日本電波工業株式会社 Scカットの水晶振動子
JPH11177376A (ja) * 1997-12-12 1999-07-02 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Scカットの水晶振動子
JPH11225040A (ja) * 1998-02-05 1999-08-17 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Scカットの水晶振動子
JP2000040937A (ja) * 1998-07-21 2000-02-08 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Scカットの水晶振動子
FR2785473B1 (fr) * 1998-10-30 2001-01-26 Thomson Csf Filtre faibles pertes a ondes acoustiques de surface sur substrat de quartz de coupe optimisee
JP2003324332A (ja) * 2002-02-28 2003-11-14 Toyo Commun Equip Co Ltd 2回回転yカット水晶振動子とこれを用いた発振器
JP2004007420A (ja) * 2002-03-26 2004-01-08 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス
JP3980972B2 (ja) * 2002-09-02 2007-09-26 日本電波工業株式会社 短冊形のitカットの水晶振動子
JP4069773B2 (ja) * 2003-03-19 2008-04-02 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス
JP4628878B2 (ja) * 2005-06-07 2011-02-09 日本電波工業株式会社 水晶発振回路

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4375604A (en) * 1981-02-27 1983-03-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of angle correcting doubly rotated crystal resonators
US4701661A (en) * 1985-05-28 1987-10-20 Frequency Electronics, Inc. Piezoelectric resonators having a lateral field excited SC cut quartz crystal element
US20040173141A1 (en) * 2002-09-02 2004-09-09 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. IT-cut quartz crystal unit
US20080203858A1 (en) * 2003-07-18 2008-08-28 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Sc Cut Crystal Resonator
TW200746630A (en) * 2006-05-01 2007-12-16 Epson Toyocom Corp Piezoelectric resonator and method for manufacturing thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP4864114B2 (ja) 2012-02-01
CN101867353B (zh) 2014-03-19
TW201101683A (en) 2011-01-01
US20100259131A1 (en) 2010-10-14
US7973457B2 (en) 2011-07-05
CN101867353A (zh) 2010-10-20
JP2010251959A (ja) 2010-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106505965B (zh) 晶体振子
JP2014027505A5 (zh)
JP2014027506A5 (zh)
JP4516021B2 (ja) Scカット水晶振動子
TWI496416B (zh) 結晶體單元
JP5789914B2 (ja) 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス
JP2014007693A5 (zh)
JP2007028538A (ja) 弾性表面波装置
JP6569874B2 (ja) 水晶振動子及びその製造方法
JP2014138414A5 (zh)
JP5972686B2 (ja) 水晶振動素子
JP2010200197A (ja) 弾性表面波デバイス
US20170324024A1 (en) Crystal vibrator and crystal vibration device
JP2009232447A (ja) Atカット水晶振動子及びその製造方法
JP2013258452A5 (zh)
JP2017118412A5 (zh)
US20170257077A1 (en) Crystal resonator
WO2016181882A1 (ja) 水晶振動素子及び水晶振動子
JP2014200025A5 (zh)
JP6005442B2 (ja) 水晶振動素子
JP6626661B2 (ja) 圧電振動子
JP2017069931A (ja) 圧電振動子
JP5872660B2 (ja) 水晶振動片
JP6017350B2 (ja) 水晶振動素子
JP2020141382A (ja) 弾性表面波共振子

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees