TWI496416B - 結晶體單元 - Google Patents
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Description
本發明係有關於一種雙旋Y形切割結晶體單元的技術領域,尤指一種SC切割結晶單元,於其中使C波形的結晶體阻抗(crystal impedance,CI)小於B波形的結晶體阻抗。
雙旋Y形切割結晶體單元例如SC切割結晶體單元在溫度衝擊(thermal-shock)特性及其他特性上有良好的表現。是故,雙旋Y形切割結晶體單元係用作例如恆溫式的高穩定結晶體震盪器。在SC切割結晶體單元中,不僅只有作為主要震盪的C波形,還有因為與C波形的震動頻率相近而造成不正常震盪(頻率跳躍)的B波形。是故,有壓抑B波形的以穩定C波形的震盪之需求。
第3a圖及第3b圖係用於解釋相關技術的結晶體單元之一例的圖示,於第3a圖,係SC切割結晶體元件的方位角(azimuthal)圖,而第3b圖係結晶體元件之視圖。
上述結晶體單元係由SC切割結晶體元件1組成。結晶體元件1的主面(principal surface)係與於對結晶體軸(X,Y,Z)以逆時針方向旋轉θ°及Φ
°繞X軸及Z軸左旋的新轉軸(X’,Y”,Z’)之Y”軸正交。簡言之,上述結晶體單元係由雙旋Y形切割結晶體板所組成,其中與Y軸正交的主面(Y面)係以θ°及Φ
°繞X軸及Z軸為中心左旋。
實際上,舉例而言,雙旋Y形切割結晶體板係以θ°繞X軸旋轉,於後以Φ
°繞新產生的Z’旋轉。或者,雙旋Y形切割結晶體板繞Z軸旋轉Φ
°角度,於後繞新產生的X’向左旋轉θ°。一般而言,θ係指方向角,而Φ
係指傾斜角,且方向角θ對於溫度特性(頂峰溫度)有影響,而傾斜角Φ
對結晶體阻抗有影響。
此外,如第4圖所示,上述結晶體係三方(trigonal)結晶體。是故,x軸(實線)係120°的區間內存在作為電軸(electric axis),而Y軸(鍊線)係作為機械軸(mechanical axis)存在以與X軸正交。另,第4圖係剖面圖,其中穿過紙本平面的方向係作為視軸(optical axis)的Z軸,並與Z軸正交。據此,SC切割結晶體的傾斜角Φ
(22°)係透過將Y軸作為基準以逆時針方向旋轉30°(30-Φ
)°,也就是,以與X軸相差30°為基準,順時針方向旋轉8°。
結晶體元件1係例如沿X’軸方向形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,而X’軸定義為長度L、Z’軸定義為寬度W、而Y”定義為厚度T。激發電極(excitation electrode,未圖示)係形成於結晶體元件1的兩個主面,而引導電極(leading electrode)係由其末端的兩側延伸,並被未說明的手段所持定,而結晶體元件1係密封地封裝,以形成結晶體單元。
(專利文獻1)日本專利JP-A-2006-345115
(專利文獻2)日本專利JP-A-H11-177376
(專利文獻3)日本專利JP-A-S56-122516
然而,具有前述設置(SC切割)的結晶體單元,B波形(從屬震盪)係產生厚度扭轉(thickness-twisting)震動,俾使其接近C波形的厚度切變(thickness-shear)震動,而B波形的結晶體阻抗與C波形的結晶體阻抗係互相相等。據此,有著B波形對應C波形的震盪,產生不正常的震盪的問題。
為此,例如日本專利JP-A-2006-345115提出了一種對應C波形及B波形的諧振電路(resonant circuit),用以壓抑B波形、以穩定於C波形的震盪。然而,於此例中,存在有LC電路或類似電路作為諧振電路時需複雜化電路的問題,其增加了元件數量而複雜化了設計。
此外,這些問題不僅是發生在SC切割結晶體單元中發生,並同樣的在雙旋Y形切割結晶單元其中B波形對應C波形時產生。舉例而言,這些問題同樣的發生在如方向角θ為33°而傾斜角Φ
為19°的IT切割結晶體單元中,以及方向角θ為33°而傾斜角Φ
為15°的FC切割結晶體單元中。
本發明的一目的為提供一種雙旋Y形切割結晶單元,其中B波形的結晶體阻抗相對大於C波形者,俾使C波形的震盪較為容易。
根據本發明的第一態樣,係提供一種雙旋Y形切割結晶體單元,包括:結晶體元件,係分別對結晶體軸(X,Y,Z)的X軸及Z軸為中心以逆時針方向旋轉θ°及,其主面係與新產生的旋轉結晶體軸(X’,Y’’,Z’)的Y’’軸正交,且形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,其中結晶體元件的長邊方向係相當於對作為主面的旋轉結晶體軸之X’-Z’平面的中央軸X’軸以逆時針方向旋轉α°角之軸方向,而該α角係設定成為(30-)°±45°。
根據本發明的第二態樣之雙旋Y形切割結晶體單元,該雙旋Y形切割結晶體單元係SC切割結晶體單元,於其中該結晶體元件係設定成使θ角為33°,而角為22°。
根據本發明的第三態樣之雙旋Y形切割結晶體單元,係在第一態樣之雙旋Y形切割結晶單元中,該雙旋Y形切割結晶體單元係IT切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為19°;或係FC切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°、角為15°
根據本發明以SC切割結晶體單元為例的各種態樣,於B波形的結晶體阻抗可被顯著地增加為相對C波形的二十倍。據此,避免了B波形的不正常震盪,藉以穩定C波形的震盪。
根據本發明的第二及第三態樣,係進一步闡明第一樣態的雙旋Y形切割結晶單元,並且發揮了第一樣態的功效。
此外,於專利文獻2說明了基於其壓力敏感及其他的
特性,而設定SC切割結晶體單元為XX’軸±45°。然而,於本發明以SC切割結晶體單元為例的情況,係由公式(30-)°±45°導出α°為+53°或-37°。是故,本發明與專利文獻1完全不同。
於下,係參考第1圖(橫向旋轉圖)及第2圖(結晶體阻抗特性圖)說明本發明之一實施例。此外,於相關例子中相同的元件部分,係以相同的元件符號標示,其說明係簡化或省略。
結晶體單元係由SC切割結晶體元件1所組成,其主面係以對結晶體軸(X,Y,Z)(請參考第3a圖及第3b圖)的X軸及Z軸為中心的方向角θ 33°及傾斜角22°正交於旋轉結晶體軸(X’,Y’’,Z’)的Y’’。於此例中,係如上所述(請參考第4圖)對X軸的逆時針旋轉傾斜角(22°)對Y軸則成為從X軸向同方向旋轉30°而以(30-)°表示。
結晶體元件1係沿X’軸方向形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,Y’’定義為厚度T;X’軸定義為長度L;Z’軸定義為寬度W;而結晶體元件1係作為基準結晶體元件1A。舉例而言,將長度L設定為3.2mm,並將寬度W設定為1.8mm,這使得兩側的長寬(L/W)比成為1.8。此外,只要將兩側的長寬(L/W)比設為接近1.8或更高,基本上可增加B波形的結晶體阻抗對應C波形的結晶體阻抗(請參考專利文獻3)。於是,於本實施例中,如第1圖所示,基準結晶體元件1A係以此處為主面的平面X’-Z’的X’軸(傾斜角=22°)為基準(0°)做平面內旋轉,以於此例中得到結晶體元件1的對應結晶體阻抗。
第2圖係基於平面內旋轉的實驗結果所得到的基本結晶體阻抗特性視圖。然而,結晶體元件以X’軸為基準(0°)其平面內旋轉角α在逆時針方向及順時針方向±90°的範圍係標畫於橫座標(abscissa)上。再且,對應平面內旋轉角α的C波形(曲線A)及B波形(曲線B)的結晶體阻抗值係標畫於縱座標(ordinate)。
於此,當以X軸做為基準的X’軸的平面內旋轉角α時,係加上一傾斜角Φ
(22°),而平面內旋轉角α變為(Φ
+α)。此外,如上所述由於傾斜角Φ
係對X軸(30-Φ
)°,故平面內旋轉角α亦可用(30-Φ
)表示。
此外,於此實驗之基準結晶體元件1A及結晶體元件1係由激發電極(未圖示)所延伸的引導電極於兩個主面持定其末端的兩側。
如第2圖所示,當以X’軸為基準的平面內旋轉角α的範圍係介於±90°,其C波形(曲線A)的結晶體阻抗係大致上固定在20Ω。這是因為C波形(厚度切變震動)係充分的激發了,即使當X軸的長度被平面內旋轉所改變,亦不會對結晶體阻抗造成影響。
相比之,B波形的結晶體阻抗到達20Ω的最小值,其係相等於C波形對X’軸以8°,及8°±90°的98°及-82°做平面內旋轉的值。接著,B波形的結晶體阻抗在53°到-37°即8°±45°時到達接近200Ω的最大值。簡言之,B波形的結晶體阻抗在相對X’軸(最小值)平面內旋轉角α=8°時集中,在±45°時到達最大值,而在±90°時到達最小值。
根據這些事實,將相對X’軸的平面內旋轉角α°設定為53°及-37°,即可使SC切割結晶體單元B/C結晶體阻抗B波形相對C波形的比率顯著地增加大約二十倍。於是,例如相較於利用LC電路壓抑B波形,其元件的數量減少,而使得電路設計較為容易。
於上述實施例,於SC切割結晶體單元中,相對X’軸(傾斜角Φ
=22°)B波形的結晶體阻抗在的平面內旋轉角α為8°時達到最小(8°±90°),而B波形的結晶體阻抗在平面內旋轉角α為8°±45°時達到最大。同時,如上所述,平面內旋轉角α=8°係相當於(30-Φ
)°。據此,B波形的結晶體阻抗達到最大的平面內旋轉角α=(8°±45°)可表示為(30-Φ
)°±90°。於此例中,B波形的結晶體阻抗在(30-Φ
)°±90°達到最小,而在介於中間的(30-Φ
)°±45°時達到最大。
上述這些事實中除了SC切割結晶體單元,具有C波形及B波形的雙旋Y切割結晶體單元的事例亦引發了相同的現象,舉例來說,具有傾斜角Φ
的IT切割結晶體單元其旋轉角係相對X軸19°。據此,當對X軸的旋轉角為(30-Φ
)°±45°時,B波形的結晶體阻抗係達到最大,使得關於C波形的結晶體阻抗的B/C比例顯著的提高。以此,本發明基本上不僅可應用於SC切割結晶體單元,更可以應用於具有C波形及B波形的雙旋Y切割結晶體單元。
1...結晶體元件
1A...基準結晶體元件
第1圖係為結晶體元件(SC切割)的平面內旋轉圖,用以解釋本發明之一實施例;
第2圖係為對應平面內旋轉結晶體阻抗特性圖,用以解釋本發明之一實施例;
第3a圖及第3b圖係為說明習知結晶體單元一例之示意圖,其中第3a圖係SC切割結晶體元件之剪切方位角圖,而第3b圖細節晶體元件之視圖
第4圖係為示意正交於結晶體(石英)的Z軸平表面之剖面圖,用以解釋相關例子。
1...結晶體元件
1A...基準結晶體元件
Claims (4)
- 一種雙旋Y形切割結晶體單元,包括:結晶體元件,係分別對結晶體軸(X,Y,Z)的X軸及Z軸為中心以逆時針方向旋轉θ°及,其主面係與新產生的旋轉結晶體軸(X’,Y’’,Z’)的Y’’軸正交,且形成一邊方向較長的長方形幾何形狀,其中相對於在作為主面的旋轉結晶體軸之X’-Z’平面中作為中央軸之Y’’軸,X’軸以逆時針方向旋轉α°角時,該結晶體元件的長邊方向係相當於經旋轉之X’軸方向,而該α角係設定成為(30-)°±45°。
- 如申請專利範圍第1項之雙旋Y形切割結晶體單元,其中,該雙旋Y形切割結晶體單元係SC切割結晶體單元,而該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為22°。
- 如申請專利範圍第1項之雙旋Y形切割結晶體單元,其中,該雙旋Y形切割結晶體單元係IT切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為19°;或係FC切割結晶體單元,該結晶體元件係設定成使θ角為33°,角為15°。
- 如申請專利範圍第1至3項中任一項之雙旋Y形切割結晶體單元,其中,該結晶體元件係形成一邊方向較長的長方形幾何形,X’軸定義為長度L,Z’軸定義為寬度W時,L/W比設為1.8或更高。
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JP6412384B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2018-10-24 | 株式会社アルバック | 水晶振動子、この水晶振動子を有するセンサヘッド、成膜制御装置、および成膜制御装置の製造方法 |
EP4032185A4 (en) * | 2019-09-16 | 2023-11-08 | Rakon Limited | DOUBLE ROTATION QUARTZ RESONATORS WITH REDUCED SENSITIVITY TO ACCELERATION |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4375604A (en) * | 1981-02-27 | 1983-03-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of angle correcting doubly rotated crystal resonators |
US4701661A (en) * | 1985-05-28 | 1987-10-20 | Frequency Electronics, Inc. | Piezoelectric resonators having a lateral field excited SC cut quartz crystal element |
US20040173141A1 (en) * | 2002-09-02 | 2004-09-09 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | IT-cut quartz crystal unit |
TW200746630A (en) * | 2006-05-01 | 2007-12-16 | Epson Toyocom Corp | Piezoelectric resonator and method for manufacturing thereof |
US20080203858A1 (en) * | 2003-07-18 | 2008-08-28 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sc Cut Crystal Resonator |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56122516A (en) * | 1980-03-04 | 1981-09-26 | Nec Corp | Quartz oscillator |
JP2531304Y2 (ja) * | 1991-01-31 | 1997-04-02 | 日本電波工業株式会社 | Scカットの水晶振動子 |
JPH11177376A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-07-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
JPH11225040A (ja) * | 1998-02-05 | 1999-08-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
JP2000040937A (ja) * | 1998-07-21 | 2000-02-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
FR2785473B1 (fr) * | 1998-10-30 | 2001-01-26 | Thomson Csf | Filtre faibles pertes a ondes acoustiques de surface sur substrat de quartz de coupe optimisee |
JP2003324332A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-11-14 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 2回回転yカット水晶振動子とこれを用いた発振器 |
JP2004007420A (ja) * | 2002-03-26 | 2004-01-08 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス |
JP3980972B2 (ja) * | 2002-09-02 | 2007-09-26 | 日本電波工業株式会社 | 短冊形のitカットの水晶振動子 |
JP4069773B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス |
JP4628878B2 (ja) * | 2005-06-07 | 2011-02-09 | 日本電波工業株式会社 | 水晶発振回路 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4375604A (en) * | 1981-02-27 | 1983-03-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of angle correcting doubly rotated crystal resonators |
US4701661A (en) * | 1985-05-28 | 1987-10-20 | Frequency Electronics, Inc. | Piezoelectric resonators having a lateral field excited SC cut quartz crystal element |
US20040173141A1 (en) * | 2002-09-02 | 2004-09-09 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | IT-cut quartz crystal unit |
US20080203858A1 (en) * | 2003-07-18 | 2008-08-28 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sc Cut Crystal Resonator |
TW200746630A (en) * | 2006-05-01 | 2007-12-16 | Epson Toyocom Corp | Piezoelectric resonator and method for manufacturing thereof |
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