CN101867353A - 晶体单元 - Google Patents
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Abstract
Description
技术领域
本发明涉及双旋转Y切割晶体单元的技术领域,并且具体地,涉及一种SC切割晶体单元,其中使得C模式下的晶体阻抗(CI)相对于B模式下的CI更小。
背景技术
诸如SC切割晶体单元的双旋转Y切割晶体单元在热冲击性能等方面是优异的。因此,例如,该双旋转Y切割晶体单元被用于恒温型的高稳定性晶体振荡器。在SC切割晶体单元中,不仅仅存在用于主振动的C模式,还存在由于振动频率接近C模式的振动频率而导致异常振荡(频率跃变)的B模式。因此,需要抑制该B模式,以便保证以C模式振荡。
图3a和图3b是用于说明现有技术的晶体单元的一个实例的示意图,其中图3a是SC切割晶体元件的切割方位角的图表,而图3b是晶体元件的示意图。
晶体单元包括SC切割晶体元件1。该晶体元件1的主表面垂直于最新旋转的晶体轴(X’,Y”,Z’)中的Y”轴,这些最新旋转的晶体轴(X’,Y”,Z’)以晶体轴(X,Y,Z)的X轴和Z轴为中心,以θ°(大约33°)和(大约22°)逆时针旋转而向左侧旋转。简言之,晶体单元包括双旋转Y切割晶体板,其中垂直于Y轴的主表面(Y表面)以X轴和Y轴为中心以θ°和向左侧旋转。
实际上,例如,双旋转Y切割晶体板以X轴为中心旋转θ°,并且随后以新生成的Z’轴为中心旋转可选地,该双旋转Y切割晶体板以Z轴为中心向左侧旋转φ°,并且随后以新生成的X’轴为中心向左侧旋转θ°。总的来说,θ是指方向角,而φ是指倾斜角,并且方向角θ对温度特性(峰值温度)有影响,而倾斜角φ对CI有影响。
此外,如图4所示,晶体是三角晶体。因此,用作电轴的X轴(实线)以120°的间隔存在,用作机械轴的Y轴(点划线)存在为垂直于X轴。顺便提及,图4是截面图,其中穿过纸面的方向是用作光轴的Z轴,并且该截面图垂直于Z轴。因此,利用在逆时针方向上旋转了30°的Y轴作为标准时,作为SC切割晶体元件的倾斜角是 ,即,通过利用从X轴旋转角度30°作为标准,顺时针方向旋转了8°的角度。
例如,晶体元件1形成为在X’轴方向上较长的矩形几何形状,并且将X’轴限定为长度L,将Z’轴限定为宽度W,且将Y”轴限定为厚度T。例如,激励电极(未示出)形成在晶体元件1的两个主表面上,并且引出电极从该晶体元件的一端的两侧延伸。于是,引出电极从其延伸的晶体元件1的一端的两侧由未图示出的装置保持,并且该晶体元件1被密封封装,以形成晶体单元。
引用列表
专利文献
日本专利文献1:JP-A-2006-345115
日本专利文献2:JP-A-H11-177376
日本专利文献3:JP-A-S56-122516
发明内容
技术问题
然而,在具有上述结构(SC切割)的晶体单元中,产生了作为厚薄扭转振动的B模式(次振动),使得与作为厚薄切变振动的C模式(主振动)接近,并且B模式下的CI与C模式下的CI彼此相等。因此,具有这样的问题,即,相对于以C模式的振荡,发生了以B模式的异常振荡。
由于该事实,例如,JP-A-2006-345115公开了提供一种关于C模式下和B模式下的振荡频率的谐振电路,目的在于抑制B模式以确保以C模式振荡。然而,在这种情况下,存在用作谐振电路的LC电路等需要使电路复杂的问题,这增加了零部件的数目而使设计复杂。
顺便提及,这些问题不仅仅发生在SC切割晶体单元中,而且同样地发生在其中相对于C模式产生了B模式的双旋转Y切割晶体单元中。例如,这些问题甚至同样地发生在例如其中方向角θ是33°且倾斜角φ是19°的IT切割晶体单元中,以及方向角θ是33°且倾斜角φ是15°的FC切割晶体单元中。
本发明的一个目的是提供一种双旋转Y切割晶体单元,其中使得B模式下的CI相对于C模式下的CI相对较大,以使得以C模式的振荡容易。
解决问题的方法
根据本发明的第一方面,提供一种双旋转Y切割晶体单元,包括:晶体元件,其分别以晶体轴(X,Y,Z)的X轴和Z轴为中心在逆时针方向上旋转角度θ°和角度φ°,该晶体元件的主表面垂直于新生成的旋转晶体轴(X’,Y”,Z’)中的Y”轴,并且该晶体元件形成为在一个方向上较长的矩形几何形状,其中,当利用X’轴作为在用作主表面的旋转晶体轴的X’-Z’平面中的中心轴,将该晶体元件在逆时针方向上旋转了角度α°时,该晶体元件的长边的方向相当于轴向,并且其中将该角度α°设定为
根据本发明的第二方面,在双旋转Y切割晶体单元中,其中该双旋转Y切割晶体单元是SC切割晶体单元,其中晶体元件被构造成使得角度θ为33°而角度φ为22°。
根据本发明的第三方面,在根据本发明第一方面的双旋转Y切割晶体单元中,其中该双旋转Y切割晶体单元是IT切割晶体单元,其中,晶体元件被构造成使得角度θ为33°而角度φ为19°,或者是FC切割晶体单元,其中角度θ为33°而角度φ为15°。
本发明的有益效果
根据本发明的各方面,如通过将SC切割晶体单元作为实例所描述的,可以使B模式下的CI相对于C模式下的CI增加二十倍,以显著的更大。因此,防止了以B模式的异常振荡,以取保以C模式的振荡。
根据本发明的第二和第三方面,阐明了根据第一方面的双旋转Y切割晶体单元,并且此外,完成了根据第一方面的功效。
附图说明
图1是用于说明本发明的一个实施例的晶体元件(SC切割)的平面内旋转的视图;
图2是用于说明本发明的一个实施例的关于平面内旋转的CI特性图;
图3a和图3b是用于说明现有技术的晶体单元的一个实例的视图,其中图3a是SC切割晶体元件的切割方位角图,而图3b是晶体元件的示意图;以及
图4是示出与用于说明所述现有实例的晶体(石英)的Z轴垂直的平面的截面图。
附图标记
1.晶体元件
1A标准晶体元件
具体实施方式
下面,将参考图1(平面内旋转图)和图2(CI特性图)来描述本发明的一个实施例。顺便提及,与所述现有实例相同的那些部分用相同的附图标记表示,并且将简化或者省略其描述。
晶体单元包括SC切割晶体元件1,该SC切割晶体元件1的主表面垂直于旋转晶体轴(X’,Y”,Z’)中的Y”轴,该旋转晶体轴(X’,Y”,Z’)具有以晶体轴(X,Y,Z)中的X轴和Z轴为中心的33°的方向角θ和22°的倾斜角φ(参见图3a和图3b)。在这种情况下,如上所述,当由从X轴以相同的方向旋转了30°的Y轴来表示时,从X轴逆时针旋转的倾斜角φ(22°)是(参见图4)。
晶体元件1形成为在X’轴方向上较长的矩形几何形状,同时将Y”轴限定为厚度T,X’轴限定为长度L,而Z’轴限定为宽度W,并且该晶体元件1用作为标准晶体元件1A。例如,将长度L设定为3.2mm,并将宽度W设定为1.8mm,这使得边L/W的比率是1.8。顺便提及,假设将边L/W的比率设定为大约1.8或者更大,那么可以根本上增大B模式相对于C模式的CI(参见JP-A-S56-122516)。于是,在本实施例中,如图1所示,利用X’轴(倾斜角)作为标准(0°),标准晶体元件1在作为该晶体元件1的主表面的平面X’-Z’中平面内旋转,以获得在该情况下的各晶体元件1的CI值。
图2是基于关于所述平面内旋转的实验结果的基本CI特性图。然而,当晶体元件利用X’轴作为标准(0°)在大约±90°的范围内在逆时针方向上和顺时针方向上旋转的时候,将平面内旋转角α绘制在横坐标上。此外,将C模式(曲线A)和B模式(曲线B)中关于该平面内旋转角α的CI值绘制在纵坐标上。
这里,当将X’轴作为标准的平面内旋转角α使用X轴作为标准(0°)的时候,将倾斜角与其相加,并且该平面内旋转角α变成此外,由于如上所述从X轴的倾斜角φ是所以该平面内旋转角α也可以利用作为标准来表示。顺便提及,在本实验中的标准晶体元件1A和晶体元件1利用引出电极的各一端的两侧来保持,该引出电极从在该标准晶体元件1A和晶体元件1二者的主表面上的激励电极(未示出)延伸。
如图2所示,当利用X’轴作为标准的平面内旋转角α在±90°的范围内的时候,使得C模式下的CI(曲线A)基本恒定为20Ω。这是因为即使在X轴的长度由于平面内旋转而改变的时候,也足以激发C模式(厚薄切变振动)而不会对CI具有影响。
相反,在作为从X’的平面内旋转角α的8°处,以及等于8°±90°的98°和-82°处,B模式下的CI(曲线B)达到等于C模式下的CI的最小值20Ω。于是,在等于8°±45°的53°和-37°处,B模式下的CI达到的最大值200Ω。简言之,B模式下的CI以从X’轴的平面内旋转角α=8°为中心(最小值),并且在该中心的±45°处达到最大值,并且在该中心的±90°处达到最小值。
利用这些事实,将从X’轴的平面内旋转角α设定为53°和-37°,这使得能够将在SC切割晶体单元中的B模式下的CI关于C模式下的CI的比率B/C增加大体二十倍,以显著的更大。因此,可以防止以B模式异常振荡,以使得易于以C模式振荡。于是,例如,与使用LC电路抑制B模式的情况相比,减少了零部件的数目,使得电路设计简单。
在上述实施例中,在SC切割晶体单元中,B模式下的CI最小化时的从X’轴(倾斜角φ=22°)的平面内旋转角α是8°(8°±90°),而B模式下的CI最大化时的平面内旋转角α是8°±45°。此时,如上所述,平面内旋转角α=8°相当于因此,可以将CI最大化时的平面内旋转角α=(8°±45°)表达为在这种情况下,B模式下的CI在时最小化,而在其中间的时最大化。
除了在上述实例中的SC切割晶体单元之外,这些事实在具有C模式和B模式的双旋转Y切割晶体单元的情况中引起相同的现象,例如,从X轴的旋转角,即,倾斜角φ是19°的IT切割晶体单元。因此,当从X轴的旋转角是时,B模式下的CI最大化,以使得关于C模式下的CI的比率B/C显著更大。利用这些事实,本发明基本上不仅仅可以应用于SC切割晶体单元,而且还可以应用于具有C模式和B模式的双旋转Y切割晶体单元。
Claims (3)
1.一种双旋转Y切割晶体单元,包括:
晶体元件,该晶体元件分别以晶体轴(X,Y,Z)的X轴和Z轴为中心在逆时针方向上旋转角度θ°和角度φ°,该晶体元件的主表面垂直于新生成的旋转晶体轴(X’,Y”,Z’)的Y”轴,并且该晶体元件形成为在一个方向上较长的矩形几何形状,
其中,当将X’轴作为所述旋转晶体轴中的X’-Z’平面中的中心轴,使所述晶体元件在所述逆时针方向上旋转角度α°时,该晶体元件的长边的方向对应于轴向,其中所述旋转晶体轴中的X’-Z’平面用作所述主表面,并且
其中,将所述角度α°设定为(30-φ)°±45°。
2.根据权利要求1所述的双旋转Y切割晶体单元,
其中,所述双旋转Y切割晶体单元是SC切割晶体单元,其中所述晶体元件被构造成角度θ为33°而角度φ为22°。
3.根据权利要求1所述的双旋转Y切割晶体单元,
其中,所述双旋转Y切割晶体单元是IT切割晶体单元,其中所述晶体元件被构造成角度θ为33°而角度φ为19°,或者所述双旋转Y切割晶体单元是FC切割晶体单元,其中角度θ为33°而角度φ为15°。
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---|---|---|---|---|
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WO2021053519A1 (en) | 2019-09-16 | 2021-03-25 | Rakon Limited | Doubly rotated quartz crystal resonators with reduced sensitivity to acceleration |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2531304Y2 (ja) * | 1991-01-31 | 1997-04-02 | 日本電波工業株式会社 | Scカットの水晶振動子 |
CN1253416A (zh) * | 1998-10-30 | 2000-05-17 | 汤姆森-无线电报总公司 | 优化切割的石英基片上的低损耗表面声波滤波器 |
WO2005008887A1 (ja) * | 2003-07-18 | 2005-01-27 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Scカット水晶振動子 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56122516A (en) * | 1980-03-04 | 1981-09-26 | Nec Corp | Quartz oscillator |
US4375604A (en) * | 1981-02-27 | 1983-03-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of angle correcting doubly rotated crystal resonators |
US4701661A (en) * | 1985-05-28 | 1987-10-20 | Frequency Electronics, Inc. | Piezoelectric resonators having a lateral field excited SC cut quartz crystal element |
JPH11177376A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-07-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
JPH11225040A (ja) * | 1998-02-05 | 1999-08-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
JP2000040937A (ja) * | 1998-07-21 | 2000-02-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
JP2003324332A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-11-14 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 2回回転yカット水晶振動子とこれを用いた発振器 |
JP2004007420A (ja) * | 2002-03-26 | 2004-01-08 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス |
US7011887B2 (en) * | 2002-09-02 | 2006-03-14 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | IT-cut quartz crystal unit |
JP3980972B2 (ja) * | 2002-09-02 | 2007-09-26 | 日本電波工業株式会社 | 短冊形のitカットの水晶振動子 |
JP4069773B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス |
JP4628878B2 (ja) | 2005-06-07 | 2011-02-09 | 日本電波工業株式会社 | 水晶発振回路 |
JP4967707B2 (ja) * | 2006-05-01 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子およびその製造方法 |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2531304Y2 (ja) * | 1991-01-31 | 1997-04-02 | 日本電波工業株式会社 | Scカットの水晶振動子 |
CN1253416A (zh) * | 1998-10-30 | 2000-05-17 | 汤姆森-无线电报总公司 | 优化切割的石英基片上的低损耗表面声波滤波器 |
WO2005008887A1 (ja) * | 2003-07-18 | 2005-01-27 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Scカット水晶振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201101683A (en) | 2011-01-01 |
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