TWI454596B - Electrolytic regeneration treatment device - Google Patents

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TWI454596B
TWI454596B TW100130449A TW100130449A TWI454596B TW I454596 B TWI454596 B TW I454596B TW 100130449 A TW100130449 A TW 100130449A TW 100130449 A TW100130449 A TW 100130449A TW I454596 B TWI454596 B TW I454596B
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Inventor
Yoshikazu Saijo
Hisamitsu Yamamoto
Takahiro Ishizaki
Original Assignee
Uyemura C & Co Ltd
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Description

電解再生處理裝置
本發明係有關於一種電解再生處理裝置，該電解再生處理裝置係用以在製造印刷電路板等的製程，將在除溶膠處理所使用之處理液電解後再生。
在將通孔或通路形成於印刷電路板所使用的樹脂基板時，由於鑽頭或雷射與樹脂的摩擦熱而產生是樹脂氣體的溶膠。為了保持印刷電路板之電性連接可靠性，需要利用化學處理方法等除去在通孔或通路所產生之溶膠(除溶膠處理)。
一般，在該化學處理方法，將過錳酸鈉或過錳酸鉀等之過錳酸鹽的溶液用作處理液。該處理液儲存於除溶膠處理槽。將該樹脂基板浸泡於除溶膠處理槽內的處理液並實施除溶膠處理時，溶膠被氧化並從通孔或通路除去溶膠，另一方面，處理液中的過錳酸鹽成為錳酸鹽。然後，為了將該處理後的處理液再用於除去溶膠，進行使處理液中的錳酸鹽變成過錳酸鹽的電解再生處理。
以往的電解再生處理裝置包括：電解再生槽，係儲存處理液；電極，係浸泡於該電解再生槽內的處理液中；進給側導管，係向電解再生槽輸送從除溶膠處理槽所排出之處理液；及回流側導管，係向除溶膠處理槽輸送電解再生處理後的處理液。處理液在除溶膠處理槽與電解再生槽之間循環。在這種電解再生處理裝置，為了提高再生效率，一般在電解再生槽內配設複數個電極(例如專利第3301341號公報)。
可是，在如上述所示將複數個電極配設於除溶膠處理槽的方式，因為需要使電解再生槽的容量變大(除溶膠處理槽之約1~2倍的容量)，所以需要確保用以設置電解再生槽的設置面積，而且使用大量的處理液。
本發明係鑑於上述之問題點而開發者，其目的在於提供一種電解再生處理裝置，該電解再生處理裝置係可小型化，而且可使將處理液電解再生之部分的液量變少。
本發明之電解再生處理裝置係用以在除溶膠處理槽將在除溶膠處理所使用之處理液電解後再生。該電解再生處理裝置係包括再生處理部、進給側導管及回流側導管。該再生處理部係包含：筒狀部，係具有作用為陽極之內周面；及陰極，係配設於該筒狀部內，並在與該內周面隔離之狀態沿著該筒狀部的延設方向延伸。在該再生處理部，經由該筒狀部的該內周面與該陰極的間隙輸送該處理液。該進給側導管係下游側端部與該筒狀部連接，並將從該除溶膠處理槽所排出之該處理液引導至該再生處理部。該回流側導管係上游側端部與該筒狀部連接，並將從該再生處理部所排出之該處理液引導至該除溶膠處理槽。
以下，一面參照圖面一面詳細說明本發明之實施形態的電解再生處理裝置。
<第1實施形態>
如第1圖所示，本發明之第1實施形態的電解再生處理裝置11係在製造印刷電路板之製程，為了在除去溶膠再利用在除溶膠處理用過的處理液，用以將處理液電解後再生。在以下，作為處理液L，列舉使用過錳酸鈉或過錳酸鉀等之過錳酸鹽的溶液的情況加以說明。該處理液L儲存於除溶膠處理槽13。
構成印刷電路板的基板部分之省略圖示的樹脂基板被浸泡於除溶膠處理槽13內的處理液，而被實施除溶膠處理。因此，在該樹脂基板的通孔或通路所存在的污物被處理液L氧化，而從通孔或通路除去溶膠。另一方面，在除溶膠處理所使用之處理液L中，過錳酸鹽的一部分被還原，而成為錳酸鹽。因此，為了在除去溶膠再利用該處理液，處理液L係在電解再生處理裝置11，被實施將錳酸鹽氧化成過錳酸鹽的電解再生處理。
如第1圖所示，電解再生處理裝置11具有進給側導管15、回流側導管17、再生處理部19、泵41及過濾器43。
進給側導管15的上游側端部15a與除溶膠處理槽13的側面連接。進給側導管15的下游側端部15b與再生處理部19的上游側端部連接。
回流側導管17的上游側端部17a與再生處理部19的上游側端部連接。回流側導管17的下游側端部17b配設於可使處理液L流入除溶膠處理槽13內的位置。在本實施形態，回流側導管17的下游側端部17b配置於除溶膠處理槽13所儲存之處理液L之液面的上方或處理液L內。
如第2圖所示，再生處理部19包含作為筒狀的的3支配管23、及於各配管23各配設一個之共3個的陰極25。3支配管23由第1配管231、第2配管232及第3配管233所構成。
各配管23具有在軸向長的圓筒形。各配管23在縱向(延設方向)的兩端具有開口部。這些配管23配置成縱向朝向鉛垂方向，並彼此平行。這些配管23配置成在水平方向排列。
各配管23的內周面31作用為陽極。各配管23利用具有導電性的材料所形成。作為構成各配管23的材料，列舉例如不銹鋼等的金屬材料。作為不銹鋼，可列舉例如SUS316等。
如第2(A)、(B)圖所示，在各配管23內，配設陰極25。各陰極25在與配管23之內周面31隔離的狀態沿著配管23的縱向延伸。各陰極25的兩端部分別從配管23之兩端的開口部突出。陰極25利用具有導電性的材料所形成。作為構成陰極25的材料，列舉例如銅等的金屬材料。陰極25利用例如聚四氟乙烯等之絕緣體(不導電體)被覆表面的一部分，亦可用以調整陰極25之表面積。在本實施形態，雖然陰極25具有圓柱形形狀，但是未限定如此，例如亦可是角柱形等其他的形狀。
於各配管23之兩端的開口部附近，在其內周面31與陰極25之間分別配設密封構件39。各密封構件39構成具有貫穿孔的圓筒形，而陰極25插穿該貫穿孔。各密封構件39塞住成使各配管23之兩端的開口部成為液密之狀態。
在各配管23之兩端所配設的密封構件39以與內周面(陽極)31隔離之狀態支撐陰極25。各密封構件39發揮防止在再生處理部19內流動之處理液從各配管23之兩端的開口部洩漏的功用、及將陰極25與陽極(內周面31)絕緣的功用。作為構成各密封構件39的材料，列舉例如具有絕緣性之合成樹脂、合成橡膠等。作為該合成樹脂，可列舉例如聚四氟乙烯等。
各配管23及各陰極25係在與縱向垂直之截面的形狀在縱向之約整體大致固定。因此，是各配管23的內周面31與所對應的陰極25之間的間隙之流路的截面形狀亦在縱向之約整體大致固定。
3支配管23中，第1配管231位於最上游，第三配管233位於最下游。第1配管231具有進給側導管15之下游側端部15b所連接的連接部27。該連接部27設置於第1配管231之一端部(上游側端部)231a。該連接部27具有從第1配管231的側面向徑向(寬度方向)外側突出的圓筒形形狀。連接部27設置於比密封構件39更靠近縱向的內側。
第1配管231之另一端部(下游側端部)231b經由連結管35與第2配管232之一端部(上游側端部)232a連通。第2配管232之另一端部(下游側端部)232b經由連結管37與第3配管233之一端部(上游側端部)233a連通。
第3配管233具有回流側導管17之上游側端部17a所連接的連接部29。該連接部29設置於第3配管233的另一端部(下游側端部)233b。該連接部29具有從第3配管233的側面向徑向(寬度方向)外側突出的圓筒形形狀。連接部29設置於比密封構件39更靠近縱向的內側。
各配管23之內周面31與陰極25的間隙成為處理液L的流路。於各配管23內，在比各密封構件39更靠近縱向的內側形成處理液L的流路。各配管23的內側空間及連結管35、37的內側空間僅透過連接部27及連接部29與外部連通。第1配管231、第2配管232及第3配管233形成從連接部27連續至連接部29的一條流路。經由連接部27向第1配管231內流入的處理液L係其總是按照第1配管231、連結管35、第2配管232、連結管37及第3配管233的順序在再生處理部19內流動，再經由連接部29向回流側導管17流出。
此外，各配管23的一端部及另一端部未必是位於各配管23之縱向之最端邊的部位。即，如第2(A)圖所示，各配管23的一端部意指在各配管23內之處理液L的流路中與上游側之約端部的位置對應的部位，各配管23的另一端部意指在各配管23內之處理液L的流路中與下游側之約端部的位置對應的部位。
如第1圖所示，利用整流器21對再生處理部19的陽極與陰極25之間施加電壓。整流器21與省略圖示的外部電源連接。整流器21的負極與各陰極25之上端連接，整流器21的正極與第1配管231的外周面連接。因為各配管23及連結管35、連結管37利用導電性材料構成整體，所以藉由整流器21的正極與第1配管231的外周面連接，而使各配管23的內周面31作用為陽極。
各陰極25之長度及各配管23之長度雖無特別限定，但是因為愈長愈易彎曲變形，所以如本實施形態所示作成連結複數支配管23並將陰極25配設於配管23內的構成較佳。因此，可在使總長度變長下，將各陰極25及各配管23之長度抑制成短。
陰極25與陽極31的距離(極間距離)係愈近愈易發生由在陰極25之表面所產生之錳酸鹽的堆積所造成之短路，另一方面，愈遠電流愈難流動，而使用電壓變高的傾向。因此，雖然在考慮這些事項下調整極間距離，但是在本實施形態，因為是進給側導管15與第1配管231直接連接，處理液直接流入是各配管23的內周面31與陰極25之間隙的流路的構成，所以與如以往般使用電解再生槽的情況相比，可使在配管23內之流路流動之處理液的流速變快。因此，在本實施形態，利用流速快之處理液的流動，從陰極25之表面除去在陰極25的表面所產生之錳酸鹽的效果比以往大。因此，在本實施形態，亦可使極間距離比以往小。
從使在再生處理部19之液量(浸泡量)變小的觀點，各配管23的內徑小較佳，但是在考慮與上述之陰極25的極間距離下適當地設計。
各配管23內的流路流動之處理液L的流速，調整為例如5~100mm/杪是較佳的。藉由流速是5mm/秒以上，而可得到從陰極25之表面除去(沖走)在陰極25之表面所產生之溶膠的優異效果。另一方面，藉由流速是100mm/秒以下，而可抑制陰極25與處理液L之接觸時間變成過短。因此，可抑制再生處理液L的效率變成過低。
此外，再生處理中(來自整流器21的通電中)，在使在配管23之流路流動之處理液L的流速變慢，而再生處理結束(停止通電)後，亦可為了從表面除去溶膠而使流速變快。此控制亦可例如每隔既定時間重複。又，此控制亦可利用省略圖示的控制手段自動執行，亦可利用作業員以手動執行。
又，亦可使流速因各配管23而異。要依此方式對各配管23改變流速，可採用例如使配管23之內徑相異等的方法。
又，亦可各配管23的外周面為了提高隔熱性或抑制彎曲變形而利用其他的構件被覆。
在本實施形態，因為包括如上述所示的構成，所以電解再生處理裝置11的浸泡量可比除溶膠處理槽13的浸泡量更小。具體而言，電解再生處理裝置11的浸泡量與除溶膠處理槽13的浸泡量之比係約1：2~1：20較佳，係約1：3~1：10更佳。此外，在電解再生處理裝置11的浸泡量，不僅再生處理部19的浸泡量，亦包含進給側導管15的浸泡量及回流側導管17的浸泡量。此外，在使用電解再生槽之以往的裝置，電解再生處理裝置的浸泡量(電解再生槽的浸泡量、進給側導管15的浸泡量及回流側導管17的浸泡量之總和)與除溶膠處理槽的浸泡量之比是約2：1~1：1。
陽極電流密度是約1~30A/dm2 較佳。藉由陽極電流密度是1A/dm2 以上，而可使陽極與陰極25之間的電位充分達到至將錳酸鹽離子電解成過錳酸鹽離子的再生電位(MnO4 2- →MnO4 - +e)。因此，可抑制再生效率降低。另一方面，藉由陽極電流密度是30A/dm2 以上，因為可抑制氫氣的產生，而可抑制再生效率降低。又，陰極電流密度是約0.3~30000A/dm2 較佳。
內周面31與陰極25的面積比是約3：1~1000：1較佳。該比例例如可如上述所示藉由以絕緣體被覆陰極25之表面的一方分等來調整。陰極25的面積變大時，因為在陰極25之表面所產生的溶膠量變多，所以陰極25的面積係比內周面31的面積小較佳。
在作為處理液L，使用過錳酸鈉或過錳酸鉀等之過錳酸鹽之溶液的情況，在再生處理部19之電解再生溫度(處理液L的溫度)是約30℃~90℃較佳。處理液L的溫度係例如可藉由將各配管23加熱器，或將進給側導管15或回流側導管17加熱來調整。作為加熱手段，列舉例如利用具有蒸氣或電熱線等之加熱源的管套，被覆各配管23、進給側導管15、回流側導管17等的方法。
泵41配設於進給側導管15的中途。泵41驅動時，處理液L係從除溶膠處理槽13被排出，再經由進給側導管15被送至再生處理部19的第1配管231。處理液L經由第1配管231的連接部27，向第1配管231內流入。處理液L係在利用整流器21對陰極25與內周面31之間施加電壓的狀態在各配管23之流路流動的過程被電解處理。在再生處理部19被電解處理所再生的處理液L係從第3配管233被排出，再經由回流側導管17，被送至除溶膠處理槽13。
過濾器43配設於回流側導管17的中途。在再生處理部19，利用電解再生處理在陰極25之表面產生溶膠(二氧化錳)。該溶膠係利用處理液L的流動從陰極25之表面被除去，再與處理液L一起被送至回流側導管17。過濾器43捕捉處理液L所含的溶膠。過濾器43係定期更換，或定期除去附著於過濾器43的溶膠。
此外，過濾器43亦可於回流側導管17設置複數個。又，亦可替代在回流側導管17設置過濾器43，在回流側導管17設置省略圖示之溶膠除去用之小槽。
第3圖係表示在第1圖的除溶膠處理槽更設置溶膠除去用的配管45之形態的示意圖。在該配管45，設置過濾器47及泵49。配管45的基端部45a與除溶膠處理槽13的側面連接。配管45的前端部45b配置於除溶膠處理槽13的上方。藉由設置這種配管45、泵49及過濾器47，而可更提高溶膠的除去效率。
第4圖係表示在電解再生處理裝置11之再生處理部19之變形例的示意圖。該變形例的再生處理部19係雖然在第1配管231、第2配管232及第3配管233形成從上游側的連接部27連接至下游側的連接部29的一條流路上，與第2圖所示的再生處理部19一樣，但是本變形例的再生處理部19在下游側的配管23配置於比上游側的配管23更上方上與第2圖所示的再生處理部19相異。即，第2配管232配置於比第1配管231更上方，第3配管233配置於比第2配管232更上方。又，各配管23配置成其縱向相對於水平方向微稍傾斜。
具體而言，在第4圖，第1配管231係連結管35所連接之下游側的部位位於比設置連接部27之上游側的部位更上方(在第4圖，向左斜上方傾斜)。第2配管232係連結管37所連接之下游側的部位位於比連結管35所連接之上游側的部位更上方(在第4圖，向右斜上方傾斜)。第3配管233係設置連接部29之下游側的部位位於比連結管37所連接之上游側的部位更上方(在第4圖，向左斜上方傾斜)。
因此，在本變形例，利用電解所產生之氣體係按照處理液L的流動移至再生處理部19的下游側，從第3配管233被排出後，經由回流側導管17與處理液L一起被送至下游側。然後，該氣體係從回流側導管17的下游側端部17b被排出。並因應於需要被收集。此外，亦可在再生處理部19排氣。具體而言，亦可另外將排氣用的排出口設置於再生處理部19的配管23或連結管35、37。
<第2實施形態>
其次，說明本發明之第2實施形態的電解再生處理裝置11。第5圖係表示本發明之第2實施形態的電解再生處理裝置11之再生處理部19的示意圖。在該第2實施形態的電解再生處理裝置11，因為再生處理部19以外的構成係與第1實施形態一樣，所以省略說明。
在該第2實施形態，在進給側導管15流動的處理液L分別被引導至第1配管231的上游側端部231a、第2配管232的上游側端部232a及第3配管233的上游側端部233a。而且，處理液L在各配管23內的流路從上游側往下游側流動，而從第1配管231的下游側端部231b、第2配管232的下游側端部232b及第3配管233的下游側端部233b被排至回流側導管17。
如第5圖所示，在該第2實施形態，具有：與各配管23之上游側端部231a、232a、233a連接的上游側分支管部234、及與各配管23之下游側端部231b、232b、233b連接的下游側分支管部235。
上游側分支管部234具有其上游側的部位是一支管，並在往下游側的中途分支成3支管的構造。下游側分支管部235具有其下游側的部位是一支管，並在往上游側的中途分支成3支管的構造。上游側分支管部234的上游側端部234a與進給側導管15的下游側端部15b連接。下游側分支管部235的下游側端部235b與回流側導管17的上游側端部17a連接。上游側分支管部234的3個下游側端部234b與各配管23的上游側端部231a、232a、233a連接。下游側分支管部235的3個上游側端部235a與各配管23的下游側端部231b、232b、233b連接。
各配管23之內周面31與陰極25的間隙成為處理液L的流路。於各配管23內，在比各密封構件39更靠近縱向的內側形成處理液L的流路。各配管23的內側空間、上游側分支管部234的內側空間及下游側分支管部235的內側空間僅透過上游側分支管部234的上游側端部234a及下游側分支管部235的下游側端部235b與外部連通。經由上游側分支管部234的上游側端部234a向各配管23內流入的處理液L係其總量經由下游側分支管部235的下游側端部235b向回流側導管17流出。
泵41與第1實施形態一樣，配設於進給側導管15。即，因為泵41配設於分支之前的部位(比分支部更上游側的部位)，所以可利用一台泵41向各配管23供給處理液L。
又，在該第2實施形態，在將在各配管23內之流路流動之處理液L的流速設為與第1實施形態之在各配管23內的流路流動之處理液L的流速一樣的情況，可將在進給側導管15及回流側導管17流動之處理液L的流速提高至第1實施形態之情況的約3倍。因此，在第2實施形態，可使在再生處理部19與除溶膠處理槽13之間循環之處理液L的循量比第1實施形態的大。
此外，在第5圖所示的形態，雖然舉例表示再生處理部19具有上游側分支管部234與下游側分支管部235的情況加以說明，但是亦可是進給側導管15及回流側導管17分支成數支的構成。具體而言，在此情況，進給側導管15具有藉由分支所形成之省略圖示的3個下游側端部，這些下游側端部與各配管23的上游側端部連接。而且，回流側導管17具有藉由分支所形成之省略圖示的3個上游側端部，這些上游側端部與各配管23的下游側端部連接。
<第3實施形態>
第6圖係表示本發明之第3實施形態的電解再生處理裝置11之再生處理部19的示意圖。如第6圖所示，第3實施形態的電解再生處理裝置11具有再生處理部19、上游側分支管部234、下游側分支管部235及開閉閥61、62。再生處理部19包含第1配管組件191、第2配管組件192及第3配管組件193。各配管組件具有與第4圖所示之再生處理部19相同的構造。具體而言，係如以下所示。
第1配管組件191包含：作為筒狀部的3支配管231、232、233、及在各配管內各配設一個之共3個陰極25。第1配管組件的3支配管係上游側第1配管231、中央部第2配管232及下游側第3配管233。這些配管231、232、233串接。第1配管組件的3個陰極25係配設於配管231內的上游側第1陰極251、配設於配管232內的中央第1陰極252及配設於配管233內的下游側第1陰極253。
關於第2配管組件亦一樣，3支配管係串接之上游側第2配管231、中央部第2配管232及下游側第2配管233。3個陰極係配設於配管231內的上游側第2陰極251、配設於配管232內的中央第2陰極252及配設於配管233內的下游側第2陰極253。
關於第3配管組件亦一樣，3支配管係串接之上游側第3配管231、中央部第3配管232及下游側第3配管233。3個陰極係配設於配管231內的上游側第3陰極251、配設於配管232內的中央第3陰極252及配設於配管233內的下游側第3陰極253。
第1配管組件191、第2配管組件192及第3配管組件193利用上游側分支管部234及下游側分支管部235並列地連接。上游側分支管部234的上游側端部234a與進給側導管15的下游側端部15b連接。下游側分支管部235的下游側端部235b與回流側導管17的上游側端部17a連接。
在進給側導管15流動的處理液L係利用上游側分支管部234分支後，分別被引導至第1配管組件191的上游側端部、第2配管組件192的上游側端部及第3配管組件193的上游側端部。通過各配管組件的處理液L從第1配管組件191的下游側端部、第2配管組件192的下游側端部及第3配管組件193的下游側端部排出，在下游側分支管部235匯流後，向回流側導管17流出。
開閉閥61分別設置於各配管組件的上游側端部與上游側分支管部234之間。開閉閥62分別設置於各配管組件的下游側端部與下游側分支管部235之間。各配管組件係可對進給側導管15及回流側導管17拆裝。具體而言，各配管組件的上游側端部係可在與開閉閥61連接的部分拆裝，各配管組件的下游側端部係可在與開閉閥62連接的部分拆裝。
上游側分支管部234具有其上游側的部位是一支管，並在往下游側的中途分支成3支等的構造。下游側分支管部235具有其下游側的部位是一支管，並在往上游側的中途分支成3支等的構造。
在第3實施形態，例如在對第1配管組件191進行維修的情況，在關閉第1配管組件191之開閉閥61、62的狀態從開閉閥61、62拆下第1配管組件191。在第1配管組件191之維修中，可在電解再生處理使用第2配管組件192及第3配管組件193。
此外，在第3實施形態，亦可在各配管組件，各配管並設成彼此平行。又，在第3實施形態，亦可在各配管組件，線狀地連接各配管。
<第4實施形態>
第7(A)圖係表示本發明之第4實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部19及溫度調整部71的示意圖。如第7(A)圖所示，第4實施形態的溫度調整部71包含：捲繞於筒狀部23之各配管(在第7(A)圖為第3配管233)的管71a、及省略圖示的進給機構。管71a的內部係利用省略圖示的進給機構所送入之溫度調整用流體(熱媒體)所流動的流路。因此，因為可對各筒狀部23冷卻及/或加熱，所以可將在筒狀部23內流動之處理液L的溫度調整至所要之範圍。作為溫度調整用流體，可使用水等之液體或空氣等之氣體。溫度調整部71更具有用以使溫度調整用流體循環的路徑較佳。
第7(B)圖係表示溫度調整部71之第1變形例的剖面圖。該第1變形例的溫度調整部71包含：在筒狀部23之各配管(在第7(B)圖為第3配管233)所設置的管套71b、及省略圖示的進給機構。管套71b係以與各筒狀部23的外面之間隔著既定間隙71c的方式包覆筒狀部23之外面的大致整體。間隙71c是利用省略圖示的進給機構所送入之溫度調整用流體所流動的流路。因此，可將各筒狀部23冷卻及/或加熱。溫度調整部71更具有用以使溫度調整用流體循環的路徑較佳。管套71b亦可與筒狀部23一體成形，亦可在分開地成形後，安裝於筒狀部23。
第7(C)圖係表示溫度調整部71之第2變形例的示意圖。該第2變形例的溫度調整部71包含：在筒狀部23之各配管(在第7(C)圖為第3配管233)所設置的散熱片71d。散熱片71d係利用從各筒狀部23的外面向徑向外側豎立之多片直立片所構成。相鄰之直立片配置成彼此隔著間隔。散熱片71d亦可與筒狀部23一體成形，亦可在分開地成形後，安裝於筒狀部23。
因為這種散熱片71d具有大的表面積，所以可提高與筒狀部23之周圍的流體(空氣等)的熱交換效率。因此，可冷卻器各筒狀部23。又，亦可藉由對散熱片71d送暖風等，而對各筒狀部23加熱。又，溫度調整部71更具有用以對散熱片71d送空氣之省略圖示的風扇較佳。因此，可更提高溫度調整的效率。
第8圖係表示該溫度調整部之第3變形例的示意圖。在該該第3變形例，作為溫度調整部71，將冷卻風扇71e配設於再生處理部19的附近。該冷卻風扇71e可向再生處理部19送空氣而冷卻再生處理部19的筒狀部23。
<第5實施形態>
第9圖係表示本發明之第5實施形態的電解再生處理裝置11之再生處理部19的示意圖。第10(A)圖係表示第5實施形態之輔助陽極81之一例的立體圖。第10(B)圖係表示第5實施形態之輔助陽極81之其他的例子的立體圖。
第5實施形態之再生處理部19具有輔助陽極81。在第9圖，表示將輔助陽極81配設於第2圖所示之再生處理部19的第3配管233內之狀態。雖省略圖示，輔助陽極81亦配設於第1配管231及第2配管232內。
輔助陽極81係在與陰極25隔離之狀態與陰極25相對向配置。輔助陽極81具有以包圍陰極25之周圍的方式沿著陰極25延伸的筒狀。輔助陽極81與筒狀部23的內周面31接觸。輔助陽極81藉由與筒狀部23的內周面31接觸而與筒狀部23的內周面31以電性連接。
輔助陽極81係在陰極25的縱向設置成從對應於上游側端部233a的位置至對應於下游側端部233b的位置。輔助陽極81整體形成複數個貫穿孔81a。藉由設置這種複數個貫穿孔81a，經由連結管37到達輔助陽極81的處理液L可經由貫穿孔81a向輔助陽極81的內側流入。而且，處理液L可在筒狀部23內被進行電解再生處理後，經由貫穿孔81a向輔助陽極81的外側流出，再從連接部29向筒狀部23的外部流出。
作為設置複數個貫穿孔81a的輔助陽極81，可列舉例如如第10(A)圖所示將網狀的導電性片捲成圓筒形者，如第10(B)圖所示，將複數個貫穿孔81a形成於導電性片者(沖孔板)等。輔助陽極81係利用導電性材料所形成。作為構成導電性片的材料，雖然列舉例如不銹鋼、銅等的金屬，但是未限定如此，亦可是其他的金屬，亦可是金屬以外的導電性材料。作為不銹鋼，可列舉例如SUS316等。
輔助陽極81係在將陰極25安裝於筒狀部23之前，從筒狀部23的開口部被插入筒狀部23內。然後，將陰極25安裝於筒狀部23的端部。
此外，在第5實施形態，雖然舉例表示複數個貫穿孔81a形成於輔助陽極81之整體的情況，但是未限定如此。亦可複數個貫穿孔81a僅形成於輔助陽極81的一部分。
<第6實施形態>
第11圖係表示本發明之第6實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部19的示意圖。如第11圖所示，在第6實施形態，更將氣體排出閥88設置於第4圖所示的再生處理部19。氣體排出閥88設置於連接部29。
在筒狀部23的各配管，藉由將處理液L進行電解再生處理，而將處理液L中的錳酸鹽再生成過錳酸鹽，另一方面，在陰極25之表面產生以二氧化錳(MnO2 )為主成分的溶膠。為了從陰極25之表面除去該溶膠，使過氧化氫溶液定期地向再生處理部19流通，進行將陰極25洗淨的處理較佳。進行該洗淨處理時，因化學反應而產生氣體。
在本第6實施形態，因為設置氣體排出閥88，所以可向再生處理部19的外部排出因洗淨處理所產生之氣體。作為氣體排出閥88，例如可使用連接部29內的壓力超過既定值時打開的壓力閥、自動控制電磁閥等。
尤其，因為第6實施形態的再生處理部19係如第11圖所示配置成連接部29及氣體排出閥88位於上部，所以在筒狀部23之各配管所產生的氣體沿著處理液L的流向與處理液L一起被送至上方，而到達連接部29。因此，難發生所產生之氣體滯留於筒狀部23內等的不良。
此外，作為洗淨處理之具體的步驟，列舉例如在除溶膠處理槽13內，替代處理液L，裝入過氧化氫溶液，與使處理液L循環的情況一樣，使過氧化氫溶液向再生處理部19流通的方法。
<第7實施形態>
第12(A)圖係表示本發明之第7實施形態的電解再生處理裝置11之再生處理部19的平面圖。第12(B)圖係第12(A)圖之正視圖。第12(C)圖係第12(B)圖之X IIC-X IIC線剖面圖。第13圖係表示第7實施形態之再生處理部19的剖面圖。
在第7實施形態之再生處理部19，筒狀部23的各配管在其延設方向的一端具有開口部，而延設方向的另一端被封閉。又，在該再生處理部19的陰極25，包含：基部26，係安裝於筒狀部23之各配管的端部；延伸部28，係從配管的開口部插入配管內，並從基部26沿著配管的延設方向延伸；及配線連接部24，係從基部26的外面朝向與該外面正交之方向延伸。
再生處理部19的筒狀部23包含6支配管，這些配管串接。筒狀部23的各配管具有圓筒形形狀。筒狀部23的各配管包含：圓筒形的管本體部23a，係在縱向(延設方向)佔有配管的大半區域；凸緣部23c，係設置於配管之縱向的一端；及縮徑部23b，係連接該凸緣部23c與管本體部23a之間。
筒狀部23之各配管之縱向的另一端23e，即管本體部23a的端部23e未開口而關閉。凸緣部23c是以包圍配管之開口部的方式朝向徑向外側擴大之圓環形的部位。縮徑部23b發揮在配管之一端的附近使配管之內徑及外徑比管本體部23a更小的功用。因此，因為可使凸緣部23c的外徑變小，所以可小型地形成配管，又，因為可使開口部之開口徑變小，所以可提高防止漏液之效果。
在位於最下部之第1配管231之另一端23e側的部位，設置從管本體部23a的下面朝向下方延伸的連接部27。該連接部27與上述的實施形態一樣，連接進給側導管15的下游側端部15b。凸緣部27a設置於該連接部27的前端，並與在進給側導管15之下游側端部15b所設置之省略圖示的凸緣部相對向配置，利用省略圖示的螺栓及螺帽相連結。第1配管231之下游側的部位利用連結管35與位於其上部之第2配管232之上游側的部位(第2配管232之另一端23e側的部位)連結。
第2配管232與位於其上方的第3配管233利用與上述一樣的連結管35連結第2配管232之下游側的部位與第3配管233之上游側的部位(第3配管233之另一端23e側的剖位)。以後，一樣地連結相鄰的配管之間。
在最上部之第6配管236之下游側的部位，設置從管本體部23a的上面向上方延伸的連接部29。該連接部29與上述的實施形態一樣，連接回流側導管17的上游側端部17a。在該連接部29，與與連接部27一樣地設置凸緣部29a。
筒狀部23之各配管利用具有導電性的材料所形成，內周面31作用為陽極。作為具有導電性的材料，雖然列舉例如不銹鋼、銅等的金屬材料，但是未限定如此，亦可是其他的金屬，亦可是金屬以外的導電性材料。作為不銹鋼，可列舉例如耐鹼性等之耐藥品性優異的SUS316等。
如第13圖所示，陰極25的基部26安裝於配管的凸緣部23c，而且塞住配管的開口部。延伸部28從該基部26沿著管本體部23a的延伸方向延伸。配線連接部24連接整流器21的配線。基部26、延伸部28及配線連接部24係一體成形。
基部26具有外徑與配管之凸緣部23c同等的圓盤形狀。基部26經由具有與基部26同等之外徑之圓盤形狀的絕緣墊99與凸緣部23c相對向配置。
在基部26，沿著圓周方向形成複數個螺絲插通孔26a。在凸緣部23c，於與基部26之螺絲插通孔26a對應的位置形成複數個螺絲插通孔23d。在將這些螺絲插通孔26a、23d之位置對準的狀態，將圓筒形的絕緣套筒95插入這些螺絲插通孔26a、23d。螺栓93插入各絕緣套筒95，而螺帽97與其前端部螺合。
圓環形的絕緣墊圈90及墊圈93a介於螺栓93與基部26之間。圓環形的絕緣墊圈96及墊圈97a介於螺帽97與凸緣部23c之間。依此方式，利用基部26及絕緣墊99以液密狀態塞住配管的開口部。作為構成各絕緣構件的材料，例如可使用具有絕緣性的材料，列舉例如合成樹脂、合成橡膠等。作為該合成樹脂，可列舉例如聚四氟乙烯等。
延伸部28從基部26的內面朝向與該內面正交之方向延伸。延伸部28配置成通過管本體部23a的大致中心，並與配管的內周面31隔離。延伸部28延伸至超過管本體部23a之縱向之中央的位置。延伸部28延伸至配管之另一端23e的附近。延伸部28具有棒狀、板狀等的形狀。
在延伸部28，為了防止延伸部28與配管之內周面31的接觸而安裝絕緣構件94。該絕緣構件94從延伸部28朝向往配管之內周面31的方向延伸。在延伸部28是長條的情況，因為延伸部28因重力或處理液L之流動所造成的壓力等而易彎曲變形，所以絕緣構件94設置於延伸部28的前端部28a或其附近較佳。
絕緣構件94從延伸部28的前端部28a向管本體部23a的徑向外側延伸。作為絕緣構件94的形狀，雖然列舉從延伸部28往管本體部23a之內周面31在兩側延伸成棒狀的形狀、從延伸部28往管本體部23a之內周面31延伸成放射狀(例如十字狀)的形狀、圓盤形狀等，但是在使處理液L在管本體部23a的流動變成圓滑上，是棒狀或放射狀的形狀較佳。
在本第7實施形態，雖然將絕緣構件94設置於延伸部28的前端部，但是絕緣構件94未必設置於延伸部28的前端部。此外，在長條之延伸部28彎曲變形時，因為延伸部28之前端部的位置變化最大，所以在本實施形態，絕緣構件94設置於延伸部28的前端部。
第7實施形態的再生處理部19係藉由如上述所示將複數支配管串列地連結，而如第12(B)圖所示具有鋸齒狀的形狀(蛇行的形狀)，整體上形成一條流路。該再生處理部19利用支撐構件以如第12(B)圖所示的姿勢支撐。該支撐構件具有板狀的底構件91、及從該底構件91的兩側分別向上方延伸的一對直立部92、92。在一方的直立部92，形成被插入各配管並被支撐之省略圖示的6個插通孔。在另一方的直立部92，形成被插入各配管並被支撐之省略圖示的6個插通孔。底構件91在四角落具有螺栓插穿用的貫穿孔98，並利用省略圖示的螺栓固定於裝置內之所要的位置。
又，在第7實施形態，筒狀部23的各配管配置成其縱向相對水平方向稍微傾斜。具體而言，在第12(B)圖，第1配管231係連結管35所連接之下游側的部位位於比設置連接部27之上游側的部位更上方(在第12(B)圖，向左斜上方傾斜)。第2配管232係下游側的部位位於比上游側的部位更上方(在第12(B)圖，向右斜上方傾斜)。以下一樣地，第3~第6配管233~236係下游側的部位位於比上游側的部位更上方。
雖然筒狀部23之各配管的傾斜角度，即配管之縱向相對於水平方向的夾角θ在第12(B)圖所示的形態是3度，但是未限定如此，夾角θ愈大，具有配管內之氣體愈易向下游側移動的優點。另一方面，夾角θ愈小，具有可使在再生處理部19之上下方向的尺寸愈小型的優點。
又，在第12(B)圖所示的形態，雖然在筒狀部23，相鄰配管之間的夾角，即配管之縱向之間的夾角是6度，但是未限定如此。在以使再生處理部19小型為優先的情況，可將相鄰配管之間配置成彼此平行，或使另一方的配管相對一方的配管傾斜配置成彼此之夾角成為約數度(例如大於0度且未滿10度)。另一方面，在以筒狀部23內之氣體易向下游側移動為優先的情況，在相鄰配管，可使另一方的配管相對一方的配管傾斜配置成彼此之夾角成為銳角，具體而言，例如大於10度且未滿90度。
此外，在第7實施形態，如第12(B)圖所示，雖然舉例表示將第1配管配置於最下方，將第6配管配置於最上方(在上下方向設置再生處理部19)的情況，但是未限定如此，例如亦可將再生處理部19水平地配置成各配管位於相同的高度。又，亦可將再生處理部19配置成對水平方向傾斜。
又，在第7實施形態，雖然筒狀部23的各配管係在一端具有開口部，另一端被塞住，但是亦可在兩端具有開口部。
<實施形態的概要>
如以上之說明所示，在上述的實施形態，進給側導管15的下游側端部15b與在再生處理部19之作為筒狀部的配管23連接。因此，從除溶膠處理槽13所排列之處理液L經由進給側導管15向配管23直接流入，然後，向配管23內所流入的處理液L在經由配管23之內周面31與陰極25的間隙被輸送之間被電解，而被進行再生處理。再生處理後從再生處理部19所排出之處理液L經由回流側導管17被引導至除溶膠處理槽13。
因此，在上述的實施形態，因為不需要如以往之該電解再生槽，所以可使電解再生處理裝置小型化，而可使裝置的設置面積變小。又，可使將處理液進行電解再生之部分(再生處理部)的液量變少。
又，在如以往使用電解再生槽的情況，電解再生槽的浸泡量大，在陰極及陽極的周圍流動之處理液L的流速小。因此，陰極及陽極之周圍的處理液的替換不充分，而未被高效率地電解。另一方面，在上述的實施形態，從除溶膠處理槽13所排出之處理液L經由進給側導管15向配管23直接流入，並經由配管23之內周面31與陰極25的間隙被輸送。即，在上述的實施形態，因為處理液L沿著陰極25及陽極31流動，所以陰極25及陽極31之周圍的處理液L高效率地替換，而被高效率地電解。
又，在上述的實施形態，因為是處理液L從進給側導管15向配管23直接流入，且處理液L在配管23與陰極25之間隙(流路)流動的構成，所以可使在流路流動之處理液L的流速變大。又，處理液L沿著陰極25的縱向流動。因此，在陰極25之表面所產生的溶膠比以往易利用處理液L的流動沖走。因此，溶膠難滯留於陰極25。從陰極25之表面所沖走的溶膠被上述的過濾器43等捕捉。因此，只是定期地更換過濾器43，而可使裝置長期穩定地運轉。
又，在上述的實施形態，電極的維修係簡單。例如，預先將閥設置於配管的上游側及下游側，藉由關閉這些閥，而可從裝置拆下配管及陰極。而且，可易於進行將所拆下之配管及陰極更換成別的元件，或除去陰極所附著之溶膠的作業。
又，在該第1實施形態，第1配管231、第2配管232及第3配管233形成處理液L所流通的一條流路。而且，各配管23平行地並設。因此，與在該第1實施形態，利用一條配管形成長度為第1配管231、第2配管232及第3配管233之各流路長度的總和之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短。
又，在該第1實施形態的變形例，第1配管231、第2配管232及第3配管233形成一條流路，而且配置成下游側的配管23位於比上游側的配管23更上方。因此，在再生處理部19因處理液L被電解所產生之氣體不會違反處理液L的流動方向，而可沿著處理液L的流動方向一面移動一面在再生處理部19內上昇。因此，因為電解所產生之該氣體沿著處理液L的流動方向向再生處理部19的下游側圓滑地移動，所以滯留於再生處理部19的現象受到抑制。
又，在第2實施形態，因為可使錳酸鹽的濃度高之電解再生處理前的處理液L分別流入第1配管231、第2配管232及第3配管233，所以與第1配管231、第2配管232及第3配管233形成一條流路的第1實施形態相比，可提高電解再生處理之效率。
又，在第1實施形態之變形例、第6實施形態及第7實施形態，該筒狀部包含具有作用為陽極之內周面的第1配管、及具有作用為陽極之內周面的第2配管，該陰極包含：第1陰極，係配設於該第1配管內，並在與該第1配管之內周面隔離的狀態沿著該第1配管的延設方向延伸；及第2陰極，係配設於該第2配管內，並在與該第2配管之內周面隔離的狀態沿著該第2配管的延設方向延伸；該進給側導管的該下游側端部與第1配管的上游側端部連接，該第1配管的下游側端部與該第2配管的上游側端部連接，該第2配管係在相對該第1配管傾斜之狀態配設成其延設方向與該第1配管的延設方向構成銳角。
在這些構成，藉由第1配管的下游側端部與第2配管的上游側端部連接，而第1配管與第2配管形成處理液所流通的一條流路。即，該一條流路係將進給側導管的下游側端部所連接之第1配管的上游側端部作為處理液的入口，且處理液按照第1配管的下游側端部、第2配管的上游側端部及第2配管的下游側端部之順序流動的流路。而且，第2配管在相對第1配管傾斜之狀態配設成其延設方向與第1配管的延設方向構成銳角。因此，在該構成，與利用一條配管形成長度為第1配管之流路長度與第2配管之流路長度的總長之直線狀之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短。
又，在第1實施形態之變形例、第6實施形態及第7實施形態，該第2配管配置於比該第1配管更上方，該第1配管相對水平方向傾斜成其下游側端部比上游側端部更高，該第2配管相對水平方向傾斜成其下游側端部比上游側端部更高。
在這些構成，因為位於下游側的第2配管配置於比位於上游側的第1配管更上方，所以在再生處理部因處理液被電解所產生之氣體不會違反處理液的流動方向，而可沿著處理液的流動方向一面移動一面在再生處理部內上昇。因此，因為電解所產生之該氣體沿著處理液的流動方向向再生處理部的下游側圓滑地移動，所以滯留於再生處理部的現象受到抑制。而且，在該構成，因為各配管如上述所示相對水平方向傾斜，所以該氣體在各配管內往下游側更易圓滑地移動。
又，在第3實施形態，該筒狀部包含：具有作用為陽極之內周面的上游側第1配管與具有作用為陽極之內周面的下游側第1配管所串接的第1配管組件、及具有作用為陽極之內周面的上游側第2配管與具有作用為陽極之內周面的下游側第2配管所串接的第2配管組件，該陰極包含：上游側第1陰極，係配設於該上游側第1配管內，並在與該上游側第1配管之內周面隔離的狀態沿著該上游側第1配管之延設方向延伸；下游側第1陰極，係配設於該下游側第1配管內，並在與該下游側第1配管之內周面隔離的狀態沿著該下游側第1配管之延設方向延伸；上游側第2陰極，係配設於該上游側第2配管內，並在與該上游側第2配管之內周面隔離的狀態沿著該上游側第2配管之延設方向延伸；及下游側第2陰極，係配設於該下游側第2配管內，並在與該下游側第2配管之內周面隔離的狀態沿著該下游側第2配管之延設方向延伸；在該進給側導管流動之該處理液分別被引導至該第1配管組件的上游側端部及該第2配管組件的上游側端部，並以從該第1配管組件的下游側端部及該第2配管組件的下游側端部向該回流側導管排出該處理液的方式，將該第1配管組件與該第2配管組件並列地連接。
在這些構成，使用配管組件，該配管組件係藉由上游側配管與下游側配管串接，而流路長度比僅單一配管(僅上游側配管或僅下游側配管)的情況長，並提高電解再生處理性能。而且，使用因應於所需之電解再生處理性能之個數的該配管組件來構築再生處理部。那時，將第1配管組件及第2配管組件並列地連接成在進給側導管流動的處理液分別被引導至第1配管組件之上游側端部及第2配管組件之上游側端部。因此，可使電解再生處理前之處理液，即錳酸鹽之濃度高的處理液分別向第1配管組件及第2配管組件流入。因此，與將第1配管組件及第2配管組件串接而形成一條流路的構成相比，可提高電解再生處理之效率。
又，藉由預先準備複數個由上游側配管及下游側配管所串接的配管組件，因為在構築再生處理部時只要如上述所示將第1配管組件及第2配管組件並列地連接即可，所以可提高作業性。
又，在該構成，在設置輸送液體用之泵的情況，只是將一台泵設置於進給側導管或回流側導管，而可使處理液向第1配管組件及第2配管組件流入。又，在設置過濾器的情況，只是將一個過濾器設置於回流側導管，而可過濾通過第1配管組件及第2配管組件的處理液。因此，可使元件數變少。
又，在第3實施形態，該下游側第1配管係在相對該上游側第1配管傾斜成其延設方向與該上游側第1配管之延設方向構成銳角的狀態所配設，該下游側第2配管係在相對該上游側第2配管傾斜成其延設方向與該上游側第2配管之延設方向構成銳角的狀態所配設。
在該構成，在第1配管組件係以下游側第1配管相對上游側第1配管如上述所示傾斜的方式所配設，在第2配管組件係以下游側第2配管相對上游側第2配管如上述所示傾斜的方式所配設。即，因為在第1配管組件，2支配管配置成V字形，在第2配管組件，2支配管配置成V字形，所以與利用一支配管形成長度為2支配管的總長之直線狀之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短，而變成小型。
又，在第3實施形態，更具有：第1閥，係可限制該處理液對該第1配管組件的流入；及第2閥，係可限制該處理液對該第2配管組件的流入。
在該構成，例如在進行第1配管組件之維修的情況，藉由關閉第1閥，限制處理液對第1配管組件的流入，而可進行第1配管組件之各配管或各陰極的維修。而且，因為在第1配管組件的維修中，限制處理液對第1配管組件的流入，所以第2配管組件可用於電解再生處理。
又，在第7實施形態，構成為該筒狀部係在其延設方向的一端具有開口部，該延設方向的另一端被關閉，該陰極係包含：基部，係安裝於該筒狀部的該一端；延伸部，係從該開口部插入該筒狀部內，並從該基部沿著該筒狀部的延設方向延伸。
在該構成，在筒狀部的一端設置開口部，另一端被關閉。因此，在將陰極安裝於筒狀部時，將陰極的延伸部從筒狀部的開口部插入筒狀部內，並將陰極的基部安裝於筒狀部的一端，藉此，可將延伸部定位於筒狀部內之所要的位置。即，因為陰極的安裝作業係僅在筒狀部的一端進行即可，所以與開口部設置於筒狀部之兩端的情況相比，對筒狀部之陰極的安裝作業或更換作業變得簡單。又，因為對筒狀部之陰極的安裝部位僅筒狀部之一端，所以與開口部設置於筒狀部之兩端而對筒狀部之陰極的安裝部位位於兩端的情況相比，可更減少來自安裝部位之漏液的可能性。
在第5實施形態，該再生處理部更包含配置於該筒狀部內而且與該筒狀部以電性連接的輔助陽極，該輔助陽極係在與該陰極隔離之狀態與該陰極相對向配置。
在該構成，因為再生處理部更包含輔助陽極，所以與作用為陽極的部位僅筒狀部之內周面的情況相比，陽極的面積增加。因此，因為可增加對再生處理部的通電量，所以可提高電解再生處理性能。
又，在第5實施形態，該輔助陽極具有以包圍該陰極之周圍的方式沿著該陰極延伸的筒形狀，並具有複數個貫穿孔。
在該構成，因為輔助陽極具有複數個貫穿孔，所以即使以包圍該陰極之周圍的方式將輔助陽極配置於筒狀部內，處理液亦經由複數個貫穿孔到達筒狀部的內周面。因此，筒狀部的內周面仍然作用為陽極。而且，因為輔助陽極具有以包圍該陰極之周圍的方式沿著該陰極延伸的筒形狀，所以可在陰極之周圍有效地增加陽極的表面積。
在該第7實施形態，為了防止該陰極與該筒狀部之內周面的接觸，更具有安裝於該陰極並從該陰極往該筒狀部之內周面的絕緣構件。
在該構成，因為該絕緣構件安裝於陰極，所以例如即使是陰極彎曲變形等而陰極朝向接近筒狀部之內周面接近的方向移動的情況，亦在陰極與筒狀部之內周面接觸之前，絕緣構件與筒狀部之內周面接觸。因此，可防止陰極與筒狀部之內周面的接觸。
在第4實施形態，更具有用以調整該筒狀部之溫度的溫度調整部。
在該構成，因為即使是在再生處理部在電解再生處理時產生熱的情況，亦可抑制處理液的溫度上昇，所以可抑制處理液的溫昇所造成之處理液的品質降低等的不良，而可抑制處理液的溫昇所造成之裝置之不良的發生。又，在溫度調整部不僅具有冷卻筒狀部的冷卻手段，而且亦具有加熱手段的情況，可更精密地管理處理液的溫度。
在第6實施形態，更具有用以排出在該再生處理部所產生之氣體的氣體排出閥。
在該構成，可經由該氣體排出閥向裝置外排出在再生處理部因處理液被電解所產生之氣體。
<其他的實施形態>
雖然以上說明了本發明之實施形態的電解再生處理裝置，但是本發明未限定為上述的實施形態，可在不超出其主旨之範圍內進行各種變更、改良等。例如，在上述的實施形態，雖然舉例說明處理液使用過錳酸鹽之溶液的情況，但是未限定如此。
又，在上述的實施形態，雖然舉例說明在再生處理部的筒狀部使用圓柱形之配管的情況，但是未限定如此。亦可該筒狀部例如是角柱形狀、截圓錐形狀、截角錐形狀、酒桶形狀、U字管形狀等。
又，在上述的實施形態，雖然舉例說明再生處理部具有第1配管、第2配管及第3配管之3支配管的情況，但是配管的支數亦可是1支或2支，亦可是4支以上。
又，在該第2實施形態，雖然舉例說明除溶膠處理槽所連接之一支進給側導管在中途分支後和各配管連接的情況，但是未限定如此。例如，亦可在除溶膠處理槽連接複數支進給側導管，而各進給側導管與對應的配管連接。具體而言，例如亦可是在除溶膠處理槽13的側面連接3支進給側導管，其中一支進給側導管15的下游側端部15b與第1配管231的上游側端部連接，別的進給側導管15的下游側端部15b與第2配管232的上游側端部連接，剩下之一支進給側導管15的下游側端部15b與第3配管233的上游側端部連接的構成。在此情況，關於回流側導管17亦一樣地亦可設置3支。
在該第5實施形態，雖然舉例表示輔助陽極81是包覆陰極25之延伸部28的周圍整體之筒形狀的情況，但是未限定如此。亦可輔助陽極81不是與陰極25之延伸部28的全周圍相對向，而是僅與延伸部28之一部分相對向的形態。又，雖然舉例表示輔助陽極81與配管之內周面31接觸的情況，但是未限定如此。輔助陽極81只要採取將輔助陽極81與配管之內周面31以電性連接之其他的手段，未必要接觸，例如亦可配置成靠近配管之內周面31，或配置於配管之內周面31與陰極25的中央附近。
又，在該第5實施形態，雖然舉例表示為了增加陽極之表面積而設置輔助陽極的情況，但是例如藉由將複數個凹凸設置於陽極配管之內周面，而可增加陽極之表面積。又，亦可使用在表面設置了複數個凹凸的輔助陽極。
又，在該第7實施形態，雖然舉例表示由基部26、延伸部28及配線連接部24所一體成形的陰極25，但是未限定如此。例如，亦可分開地形成基部26與延伸部28。進而，在利用絕緣性材料形成基部26的情況，可省略上述的絕緣墊99。
以下，雖然列舉實施例更具體說明本發明，但是本發明未限定為以下的實施例。
<實施例>
按照第1表~第3表之第1~第15實施例及第1、第2比較例所示的各條件進行電解再生處理。作為在該電解再生處理所使用之水溶液，使用以下所示者。在各測試，將水溶液的溫度設為75℃。
(水溶液中的成分)
過錳酸鉀：25g/升
錳酸鈉：15g/升
氫氧化鈉：80g/升
又，在第1~第15實施例的電解再生處理，使用第1圖及第2圖所示的電解再生處理裝置11。
在第1、第2比較例的電解再生處理，使用將該水溶液儲存於專利文獻1(專利第3301341號公報)之如第1圖所示的電解再生槽，並將陽極及陰極浸泡於該水溶液中者。在第1、第2比較例，將向電解再生槽供給該水溶液的進給側導管與電解再生槽的一側面連接，並將使從電解再生槽所排出之該水溶液回到除溶膠處理槽的回流側導管與和該一側面相對向的側面連接。
關於各表中之電解再生處理裝置內的液量，在第1~第15實施例，意指在再生處理部19、進給側導管15及回流側導管17所存在之水溶液的量，而在第1、第2比較例，意指在電解再生槽、、進給側導管及回流側導管所存在之水溶液的量。
各表中的電極對a意指第2圖所示之第1配管231的內周面(陽極)31與在該第1配管231內所配設的陰極25，電極對b意指第2配管232的內周面(陽極)31與在該第2配管232內所配設的陰極25，電極對c意指第3配管233的內周面(陽極)31與在該第3配管233內所配設的陰極25。
各表中的電極通過流速是在陰極及陽極的附近，該水溶液於1秒內前進的距離(mm/秒)，係如以下所示算出的值。設在再生處理部該水溶液所通過之流路的截面積為Amm2 ，設泵流量為BmL/秒時，電極通過流速係如下式所示。
電極通過流速(mm/秒)=B×1000/A
第1~第15實施例，流路的截面積A是在與配管23之縱向垂直的截面之配管23與陰極25之間隙的面積。又，在第1、第2比較例，將在與進給側導管所連接之電解再生槽的該一側面平行之截面之該水溶液的面積設為流路的截面積A。
各表中之過錳酸鈉的再生率(g/AH)是將每小時之處理時間的再生量除以使用電流量(A)的值。過錳酸鈉再生量(g)表示每小時之處理時間的再生量。過錳酸鈉再生量(g/升)表示將每小時之處理時間的再生量再除以總液量的值。
表中的溶膠量表示在經過5小時之處理時間後滯留於再生處理部19的溶膠量。
第1表~第3表表示各測試的結果。
在再生處理部19是使該水溶液向第1配管231直接流入之構成的第1~第15實施例，因為在再生處理部19該水溶液所流動之流路的截面積小，所以藉由改變泵41的流量，而可第1表~第3表所示在例如1mm/秒~300 mm/秒之寬廣範圍調整電極通過流速。
另一方面，如第1、第2比較例所示在將陰極及陽極浸泡於該電解再生槽之構成的情況，因為流路的截面積A變大，所以難如實施例所示在寬廣範圍調整電極通過流速。因此，在如第1、第2比較例所示之構成的情況，難使電極通過流速快至5mm/秒以上或25mm/秒以上。
如第3表所示，在第1、第2比較例，因為利用儲存該水溶液的電解再生槽、及浸泡於該水溶液中的陰極與陽極構成再生處理部，所以再生處理部的液量是在除溶膠處理槽之液量的1.5倍。另一方面，在第1~第15實施例，因為是使該水溶液向再生處理部19的配管231直接流入的構成，所以再生處理部19的液量是在除溶膠處理槽之液量的1/10。
相對於在第1實施例，溶膠量是1.0g，在第1、第2比較例，溶膠量為3.2g，成為大值。其理由係，因為相對於在第1實施例，電極通過流速是5mm/秒，而在第1、第2比較例，電極通過流速是低至2mm/秒，所以認為溶膠易累積於陰極。
又，在第2~第14實施例，因為將電極通過流速設定成25mm/秒以上的大值，所以溶膠量減少至更小值。尤其在電極通過流速為100mm/秒以上的情況，在陰極幾乎不會累積溶膠。
又，在第13實施例，由於將電極通過流速設定成300mm/秒的大值，過錳酸鉀再生率變成稍低。
又，在第15實施例，雖然將電極通過流速設為1mm/秒，比第1、第2比較例之電極通過流速更小，但是即使是此情況，溶膠量亦僅2.6g，比第1、第2比較例之3.2g小。推測其理由係，相對於在第15實施例，在再生處理部19該水溶液沿著陰極25的縱向流動，而在第1、第2比較例，在電解再生槽該水溶液朝向與陰極之縱向大致垂直的方向流動的關係。
在第2比較例，將陽極電流密度設定成30A/dm2 之大值。依此方式使陽極電流密度變大時，有過錳酸鉀之再生率變小的傾向。另一方面，在第7實施例，雖然過錳酸鉀之再生率為比其他的實施例更小的值(1.21g/A‧小時)，但是與第2比較例相比時，過錳酸鉀之再生率的降低程度被抑制為小。因此，在第7實施例，與第2比較例相比，可說將過錳酸鉀再生的效率優異。
又，在第1、第2比較例，因為使用電解再生槽，所以總液量變大。因此，過錳酸鉀再生量(g/升)變小，而效率差。
綜合以上的實施形態，係如以下所示。
(1)上述之實施形態的電解再生處理裝置係用以在除溶膠處理槽將在除溶膠處理所使用之處理液電解後再生。該電解再生處理裝置係包括再生處理部、進給側導管及回流側導管。該再生處理部係包含：筒狀部，係具有作用為陽極之內周面；及陰極，係配設於該筒狀部內，並在與該內周面隔離之狀態沿著該筒狀部的延設方向延伸。在該再生處理部，經由該筒狀部的該內周面與該陰極的間隙輸送該處理液。該進給側導管係下游側端部與該筒狀部連接，並將從該除溶膠處理槽所排出之該處理液引導至該再生處理部。該回流側導管係上游側端部與該筒狀部連接，並將從該再生處理部所排出之該處理液引導至該除溶膠處理槽。
在該構成，進給側導管的下游側端部與再生處理部連接。因此，從除溶膠處理槽所排出之處理液經由進給側導管，向筒狀部直接流入。然後，筒狀部內所流入的處理液經由筒狀部之內周面與陰極的間隙被輸送之間被電解後進行再生處理。再生處理後從再生處理部所排出之該處理液經由回流側導管，被引導至除溶膠處理槽。
在該構成，與將處理液儲存於電解再生槽內，再將陰極及陽極浸泡於該處理液之以往的構成相異，使從除溶膠處理槽所排出之處理液經由進給側導管，向筒狀部直接流入。然後，使在再生處理部所電解的處理液向與筒狀部連接的回流側導管直接流出，而向除溶膠處理槽側輸送。即，在該構成，該筒狀部係兼具作為陽極之功能、及作為介於進給側導管與回流側導管之間並用以使處理液在陽極與陰極之間隙流動之流路的功能。因此，在該構成，因為不需要如以往之該電解再生槽，所以可使電解再生處理裝置小型化，而且可使將處理液電解再生之部分(再生處理部)的液量變少。
(2)在電解再生處理裝置，最好該筒狀部係包含：第1配管，係具有作用為陽極之內周面；及第2配管，係具有作用為陽極之內周面；該陰極係包含：第1陰極，係配設於該第1配管內，並在與該第1配管之內周面隔離的狀態沿著該第1配管的延設方向延伸；及第2陰極，係配設於該第2配管內，並在與該第2配管之內周面隔離的狀態沿著該第2配管的延設方向延伸；在此情況，該第2配管係其延設方向與該第1配管的延設方向平行，而且與該第1配管並設成在寬度方向與該第1配管相鄰；該進給側導管的該下游側端部係與第1配管的一端部連接，該第1配管的另一端部係與該第2配管的一端部連接較佳。
在該構成，藉由第1配管與第2配管的端部之間連通，而第1配管與第2配管形成處理液所流通的一條流路。即，該一條流路係將進給側導管的下游側端部所連接之第1配管的一端部作為處理液的入口，且處理液按照第1配管之另一端部、第2配管之一端部及第2配管之另一端部的順序流動的流路。而且，第2配管係與第1配管平行地並設。因此，在該構成，與利用一支配管形成長度為第1配管之流路長度與第2配管之流路長度的總和之直線狀之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短。
(3)在第1配管與第2配管形成一條流路的情況，該第2配管係配置於比該第1配管更上方較佳。
在該構成，因為位於下游側的第2配管配置於比位於上游側的第1配管更上方，所以在再生處理部因處理液被電解所產生之氣體不會違反處理液的流動方向，而可沿著處理液的流動方向一面移動一面在再生處理部內上昇。因此，因為電解所產生之該氣體沿著處理液的流動方向向再生處理部的下游側圓滑地移動，所以滯留於再生處理部的現象受到抑制。
(4)在該電解再生處理裝置，最好該筒狀部係包含：第1配管，係具有作用為陽極之內周面；及第2配管，係具有作用為陽極之內周面；該陰極係包含：第1陰極，係配設於該第1配管內，並在與該第1配管之內周面隔離的狀態沿著該第1配管的延設方向延伸；及第2陰極，係配設於該第2配管內，並在與該第2配管之內周面隔離的狀態沿著該第2配管的延設方向延伸；在此情況，該進給側導管的該下游側端部係與第1配管的上游側端部連接；該第1配管的下游側端部係與該第2配管的上游側端部連接；該第2配管係在相對該第1配管傾斜成其延設方向與該第1配管之延設方向構成銳角的狀態所配設較佳。
在該構成，藉由第1配管的下游側端部與第2配管的上游側端部連接，而第1配管與第2配管形成處理液所流通的一條流路。即，該一條流路係將進給側導管的下游側端部所連接之第1配管的上游側端部作為處理液的入口，且處理液按照第1配管之下游側端部、第2配管之上游側端部及第2配管之下游側端部的順序流動的流路。而且，第2配管係在相對第1配管傾斜成其延設方向與第1配管之延設方向構成銳角的狀態所配設。因此，在該構成，與利用一支配管形成長度為第1配管之流路長度與第2配管之流路長度的總和之直線狀之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短。
(5)在相對於第1配管傾斜之狀態配設第2配管的情況，該第2配管係配置於比該第1配管更上方；該第1配管係相對水平方向傾斜成其下游側端部比上游側端部更高；該第2配管係相對水平方向傾斜成其下游側端部比上游側端部更高較佳。
在該構成，因為位於下游側的第2配管配置於比位於上游側的第1配管更上方，所以在再生處理部因處理液被電解所產生之氣體不會違反處理液的流動方向，而可沿著處理液的流動方向一面移動一面在再生處理部內上昇。因此，因為電解所產生之該氣體沿著處理液的流動方向向再生處理部的下游側圓滑地移動，所以滯留於再生處理部的現象受到抑制。而且，在該構成，因為各配管如上述所示相對水平方向傾斜，所以該氣體在各配管內往下游側更易圓滑地移動。
(6)在該電解再生處理裝置，最好該筒狀部係包含：第1配管，係具有作用為陽極之內周面；及第2配管，係具有作用為陽極之內周面；該陰極係包含：第1陰極，係配設於該第1配管內，並在與該第1配管之內周面隔離的狀態沿著該第1配管的延設方向延伸；及第2陰極，係配設於該第2配管內，並在與該第2配管之內周面隔離的狀態沿著該第2配管的延設方向延伸；在此情況，構成為在該進給側導管流動的該處理液分別被引導至在該第1配管之該延設方向的一端部及在該第2配管之該延設方向的一端部，從在該第1配管之該延設方向的另一端部及在該第2配管之該延設方向的另一端部向該回流側導管排出該處理液較佳。
在該構成，與筒狀部之第1配管與第2配管形成一條流路之上述的構成相比，可提高電解再生處理之效率。關於其理由，列舉處理液是過錳酸鹽之水溶液的情況加以說明。
在除溶膠處理槽在除溶膠處理所使用之處理液係過錳酸鹽的一部分被還原成錳酸鹽。從除溶膠處理槽所排出並經由進給側導管被送至再生處理部的處理液，在從筒狀部的上游側往下游側的過程被電解。因此，處理液中的錳酸鹽被氧化而成為過錳酸鹽。因此，因為在筒狀部之下游側之錳酸鹽的濃度比在筒狀部之上游側之錳酸鹽的濃度低，所以在筒狀部之下游側之電解再生處理的效率比在筒狀部之上游側之電解再生處理的效率低。
在該構成，因為在該進給側導管流動之該處理液分別被引導至該第1配管之延設方向的一端部及該第2配管之延設方向的一端部，所以可使錳酸鹽之濃度高之電解再生處理前的處理液分別向第1配管及第2配管流入。因此，和由第1配管與第2配管形成一條流路之上述的構成相比，可提高電解再生處理之效率。
(7)在該電解再生處理裝置，最好該筒狀部係包含：第1配管組件，係由具有作用為陽極之內周面的上游側第1配管與具有作用為陽極之內周面的下游側第1配管所串接；及第2配管組件，係由具有作用為陽極之內周面的上游側第2配管與具有作用為陽極之內周面的下游側第2配管所串接；該陰極係包含：上游側第1陰極，係配設於該上游側第1配管內，並在與該上游側第1配管之內周面隔離的狀態沿著該上游側第1配管的延設方向延伸；下游側第1陰極，係配設於該下游側第1配管內，並在與該下游側第1配管之內周面隔離的狀態沿著該下游側第1配管的延設方向延伸；上游側第2陰極，係配設於該上游側第2配管內，並在與該上游側第2配管之內周面隔離的狀態沿著該上游側第2配管的延設方向延伸；下游側第2陰極，係配設於該下游側第2配管內，並在與該下游側第2配管之內周面隔離的狀態沿著該下游側第2配管的延設方向延伸；在此情況，構成為在該進給側導管流動的該處理液分別被引導至在該第1配管組件的上游側端部及該第2配管組件的上游側端部，將該第1配管組件與該第2配管組件並列連接成從該第1配管組件的下游側端部及該第2配管組件的下游側端部向該回流側導管排出該處理液較佳。
在該構成，使用配管組件，該配管組件係藉由上游側配管與下游側配管串接，而流路長度比僅單一配管(僅上游側配管或僅下游側配管)的情況長，且提高電解再生處理性能。而且，使用因應於所需之電解再生處理性能之個數的該配管組件，構築再生處理部。那時，將第1配管組件與第2配管組件並列連接成在進給側導管流動的處理液分別被引導至第1配管組件的上游側端部及第2配管組件的上游側端部。因此，可使電解再生處理前的處理液，即錳酸鹽之濃度高的處理液分別向第1配管組件及第2配管組件流入。因此，與將第1配管組件及第2配管組件串接而形成一條流路的構成相比，可提高電解再生處理之效率。
又，藉由預先準備複數個由上游側配管及下游側配管所串接的配管組件，因為在構築再生處理部時只要如上述所示將第1配管組件及第2配管組件並列地連接即可，所以可提高作業性。
又，在該構成，在設置輸送液體用之泵的情況，只是將一台泵設置於進給側導管或回流側導管，而可使處理液向第1配管組件及第2配管組件流入。又，在設置過濾器的情況，只是將一個過濾器設置於回流側導管，而可過濾通過第1配管組件及第2配管組件的處理液。因此，可使元件數變少。
(8)在該筒狀部包含第1配管組件與第2配管組件的情況，該下游側第1配管係與該上游側第1配管並設成其延設方向與該上游側第1配管的延設方向平行，而且在寬度方向與該上游側第1配管相鄰；該下游側第2配管係與該上游側第2配管並設成其延設方向與該上游側第2配管的延設方向平行，而且在寬度方向與該上游側第2配管相鄰較佳。
在該構成，在第1配管組件，下游側第1配管係與上游側第1配管平行地並設，在第12配管組件，下游側第2配管係與上游側第2配管平行地並設。即，因為在第1配管組件，2支配管配置成U字形，在第2配管組件，2支配管配置成U字形，所以與利用一支配管形成長度為2支配管的總長之直線狀之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短。
(9)在該筒狀部包含第1配管組件與第2配管組件的情況，亦可該下游側第1配管係在相對該上游側第1配管傾斜成其延設方向與該上游側第1配管之延設方向構成銳角的狀態所配設；該下游側第2配管係在相對該上游側第2配管傾斜成其延設方向與該上游側第2配管之延設方向構成銳角的狀態所配設。
在該構成，在第1配管組件，下游側第1配管係以相對上游側第1配管如上述所示傾斜的方式所配設，在第2配管組件，下游側第2配管係以相對上游側第2配管如上述所示傾斜的方式所配設。即，因為在第1配管組件，2支配管配置成V字形，在第2配管組件，2支配管配置成V字形，所以與利用一支配管形成長度為2支配管的總長之直線狀之流路的情況相比，可在同程度地保持電解再生處理的效率下，使配管之延設方向的長度變短。
(10)在該電解再生處理裝置，最好更具有：第1閥，係可限制該處理液對該第1配管組件的流入；及第2閥，係可限制該處理液對該第2配管組件的流入。
在該構成，例如在進行第1配管組件之維修的情況，藉由關閉第1閥，限制處理液對第1配管組件的流入，而可進行第1配管組件之各配管或各陰極的維修。而且，因為在第1配管組件的維修中，限制處理液對第1配管組件的流入，所以第2配管組件可用於電解再生處理。
(11)在該電解再生處理裝置，最好該筒狀部係在其延設方向的兩端具有開口部；該再生處理部係更包含配設於各開口部之附近的密封構件；在此情況，該密封構件係構成具有該陰極所插穿之貫穿孔的筒形狀，並介於該筒狀部的該內周面與該陰極之間，利用絕緣材料所形成較佳。
在該構成，藉由陰極插穿在筒狀部之各開口部的附近所配設之密封構件的貫穿孔，而可在將陰極與陽極(筒狀部的內周面)絕緣之狀態使筒狀部支撐。
(12)該電解再生處理裝置，亦可構成為該筒狀部係在其延設方向的一端具有開口部，而該延設方向的另一端被封閉；該陰極係包含：基部，係安裝於該筒狀部的該一端；及延伸部，係從該開口部插入該筒狀部內，並從該基部沿著該筒狀部的延設方向延伸。
在該構成，在筒狀部的一端設置開口部，而另一端被封閉。因此，在將陰極安裝於筒狀部時，將陰極的延伸部從筒狀部的開口部插入筒狀部內，並將陰極的基部安裝於筒狀部的一端，藉此，可將延伸部定位於筒狀部內之所要的位置。即，因為陰極的安裝作業係僅在筒狀部的一端進行即可，所以與開口部設置於筒狀部之兩端的情況相比，對筒狀部之陰極的安裝作業或更換作業變得簡單。又，因為對筒狀部之陰極的安裝部位僅筒狀部之一端，所以與開口部設置於筒狀部之兩端而對筒狀部之陰極的安裝部位位於兩端的情況相比，可更減少來自安裝部位之漏液的可能性。
(13)在該電解再生處理裝置，最好該再生處理部係更包含輔助陽極，該輔助陽極係配置於該筒狀部內，而且與該筒狀部以電性連接；該輔助陽極係在與該陰極隔離之狀態與該陰極相對向配置。
在該構成，因為再生處理部更包含輔助陽極，所以與作用為陽極的部位僅筒狀部之內周面的情況相比，陽極的面積增加。因此，因為可增加對再生處理部的通電量，所以可提高電解再生處理性能。
(14)在該電解再生處理裝置，該輔助陽極係具有以包圍該陰極之周圍的方式沿著該陰極延伸的筒形狀，並具有複數個貫穿孔較佳。
在該構成，因為輔助陽極具有複數個貫穿孔，所以即使以包圍該陰極之周圍的方式將輔助陽極配置於筒狀部內，處理液亦經由複數個貫穿孔到達筒狀部的內周面。因此，筒狀部的內周面仍然作用為陽極。而且，因為輔助陽極具有以包圍該陰極之周圍的方式沿著該陰極延伸的筒形狀，所以可在陰極之周圍有效地增加陽極的表面積。
(15)在該電解再生處理裝置，為了防止該陰極與該筒狀部之內周面的接觸，更具有絕緣構件，該絕緣構件係安裝於該陰極，並從該陰極往該筒狀部之內周面較佳。
在該構成，因為該絕緣構件安裝於陰極，所以例如即使是陰極彎曲變形等而陰極朝向接近筒狀部之內周面接近的方向移動的情況，亦在陰極與筒狀部之內周面接觸之前，絕緣構件與筒狀部之內周面接觸。因此，可防止陰極與筒狀部之內周面的接觸。
(16)在該電解再生處理裝置，更具有用以調整該筒狀部之溫度的溫度調整部較佳。
在該構成，因為具有該溫度調整部，所以即使是在再生處理部在電解再生處理時產生熱的情況，亦可抑制處理液的溫度上昇，所以可抑制處理液的溫昇所造成之處理液的品質降低等的不良，而可抑制處理液的溫昇所造成之裝置之不良的發生。又，在溫度調整部不僅具有冷卻筒狀部的冷卻手段，而且亦具有加熱手段的情況，可更精密地管理處理液的溫度。
(17)在該電解再生處理裝置，更具有用以排出在該再生處理部所產生之氣體的氣體排出閥較佳。
在該構成，可經由該氣體排出閥向裝置外排出在再生處理部因處理液被電解所產生之氣體。
11．．．電解再生處理裝置
13．．．除溶膠處理槽
15．．．進給側導管
17．．．回流側導管
15a、17a．．．上游側端部
15b、17b．．．下游側端部
19．．．再生處理部
21．．．整流器
23．．．筒狀部
25．．．陰極
27．．．連接部
29．．．連接部
31．．．內周面
35．．．連結管
37．．．連結管
39．．．密封構件
41．．．泵
43．．．過濾器
231．．．第1配管
232．．．第2配管
233．．．第3配管
231a、232a、233a．．．上游側端部
231b、232b、233b．．．下游側端部
L．．．處理液
第1圖係表示本發明之第1實施形態的電解再生處理裝置與該電解再生處理裝置所連接之除溶膠處理槽的示意圖。
第2(A)圖係表示將電解再生處理裝置之再生處理部放大的示意圖。第2(B)圖係從底面側觀看該再生處理部之配管及陰極的示意圖。
第3圖係表示在第1圖的除溶膠處理槽連接具有過濾器及泵之配管之構成的示意圖。
第4圖係表示該電解再生處理裝置之再生處理部之變形例的示意圖。
第5圖係表示本發明之第2實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部的示意圖。
第6圖係表示本發明之第3實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部及其附近的示意圖。
第7(A)圖係表示本發明之第4實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部及溫度調整部的示意圖。第7(B)圖係表示該再生處理部及該溫度調整部之第1變形例的剖面圖。第7(C)圖係表示該再生處理部及該溫度調整部之第2變形例的示意圖。
第8圖係表示第4實施形態之該再生處理部及該溫度調整部之第3變形例的示意圖。
第9圖係表示本發明之第5實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部的示意圖。
第10(A)圖係表示第5實施形態之輔助陽極之一例的立體圖。第10(B)圖係表示第5實施形態之輔助陽極之其他的例子的立體圖。
第11圖係表示本發明之第6實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部及氣體排出閥的示意圖。
第12(A)圖係表示本發明之第7實施形態的電解再生處理裝置之再生處理部的平面圖。第12(B)圖係第12(A)圖之正視圖。第12(C)圖係第12(B)圖之X IIC-X IIC線剖面圖。
第13圖係表示第7實施形態之再生處理部的剖面圖。
19．．．再生處理部
23．．．配管
25．．．陰極
27．．．連接部
29．．．連接部
31．．．內周面
35．．．連結管
37．．．連結管
39．．．密封構件
231．．．第1配管
232．．．第2配管
233．．．第3配管
231a、232a、233a．．．上游側端部
231b、232b、233b．．．下游側端部

Claims (10)

  1. 一種電解再生處理裝置，用以在除溶膠處理槽將在除溶膠處理所使用之處理液電解後再生，該電解再生處理裝置係包括：再生處理部係包含：筒狀部，係具有作用為陽極之內周面；及陰極，係配設於該筒狀部內，並在與該內周面隔離之狀態沿著該筒狀部的延設方向延伸；經由該筒狀部的該內周面與該陰極的間隙輸送該處理液；進給側導管，係下游側端部與該筒狀部連接，並將從該除溶膠處理槽所排出之該處理液引導至該再生處理部；及回流側導管，係上游側端部與該筒狀部連接，並將從該再生處理部所排出之該處理液引導至該除溶膠處理槽；該筒狀部係包含：第1配管，係具有作用為陽極之內周面；及第2配管，係具有作用為陽極之內周面；該陰極係包含：第1陰極，係配設於該第1配管內，並在與該第1配管之內周面隔離的狀態沿著該第1配管的延設方向延伸；及第2陰極，係配設於該第2配管內，並在與該第2配管之內周面隔離的狀態沿著該第2配管的延設方向延伸；該進給側導管的該下游側端部係與該第1配管的上游側端部連接；該第1配管的下游側端部係與該第2配管的上游側端部連接； 該第2配管係在相對該第1配管傾斜成其延設方向與該第1配管之延設方向構成銳角的狀態所配設；該第2配管係配置於比該第1配管更上方；該第1配管係相對水平方向傾斜成其下游側端部比上游側端部更高；該第2配管係相對水平方向傾斜成其下游側端部比上游側端部更高。
  2. 如申請專利範圍第1項之電解再生處理裝置，更設置有複數個配管組件，在每一配管組件中，內部設有該第1陰極的該第1配管與內部設有該第2陰極的該第2配管串接；該些配管組件相對於該進給側導管與該回流側導管並列連接。
  3. 如申請專利範圍第2項之電解再生處理裝置，其中更包括：複數個閥，該些閥分別限制該處理液流入所對應之該配管組件。
  4. 如申請專利範圍第1項之電解再生處理裝置，其中該筒狀部係在其延設方向的兩端具有開口部；該再生處理部係更包含密封構件，該密封構件係配設於各開口部之附近，構成具有該陰極所插穿之貫穿孔的筒形狀，並介於該筒狀部的該內周面與該陰極之間，利用絕緣材料所形成。
  5. 如申請專利範圍第1項之電解再生處理裝置，其中該筒狀部係在其延設方向的一端具有開口部，而該延設方 向的另一端被封閉；該陰極係包含：基部，係安裝於該筒狀部的該一端；及延伸部，係從該開口部插入該筒狀部內，並從該基部沿著該筒狀部的延設方向延伸。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之電解再生處理裝置，其中該再生處理部係更包含輔助陽極，該輔助陽極係配置於該筒狀部內，而且與該筒狀部以電性連接；該輔助陽極係在與該陰極隔離之狀態與該陰極相對向配置。
  7. 如申請專利範圍第6項之電解再生處理裝置，其中該輔助陽極係具有以包圍該陰極之周圍的方式沿著該陰極延伸的筒形狀，並具有複數個貫穿孔，其中該處理液經由該些貫穿孔向該輔助陽極的外側流出。
  8. 如申請專利範圍第1項之電解再生處理裝置，其中為了防止該陰極與該筒狀部之內周面的接觸，更具有絕緣構件，該絕緣構件係安裝於該陰極，並從該陰極往該筒狀部之內周面延伸成棒狀或放射狀。
  9. 如申請專利範圍第1項之電解再生處理裝置，其中更具有用以調整該筒狀部之溫度的溫度調整部。
  10. 如申請專利範圍第1項之電解再生處理裝置，其中更具有用以排出在該再生處理部所產生之氣體的氣體排出閥。
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