TWI451625B - 串接式微機械雙鉗式帶通濾波器 - Google Patents

串接式微機械雙鉗式帶通濾波器 Download PDF

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TWI451625B
TWI451625B TW100100326A TW100100326A TWI451625B TW I451625 B TWI451625 B TW I451625B TW 100100326 A TW100100326 A TW 100100326A TW 100100326 A TW100100326 A TW 100100326A TW I451625 B TWI451625 B TW I451625B
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Chieh Chuan Feng
Ming Hui Chen
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Description

串接式微機械雙鉗式帶通濾波器
本發明係關於一種帶通濾波器，尤其是一種串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，特別是具有較佳濾波效果之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器。
一般而言，濾波器為現今通訊電路普遍應用的元件之一，其主要用途為在某一特定頻率範圍內，可選擇讓部分訊號通過，並抑制其他訊號，進而達到阻隔訊號或將訊號分類之目標。在評估一濾波器之濾波能力優劣時，常有幾個指標因素，例如3dB 頻寬、插入損失IL (insertion loss)、品質因數Q (quality factor)、型態因素SF (shape factor)及阻帶抑制(stopband rejection)等，故一般工程師在設計一濾波器時，常針對上述之指標因素進行設計或改良。
惟，現今之通訊系統正朝向高穩定性、頻率選擇性佳及高頻寬的方向發展，而以往半導體製程技術較難達到高品質之濾波器。為改善上述之問題，主要係在矽基材料上利用半導體製程技術結合微機械系統技術研製之機械式濾波器，藉以提高濾波器之品質因數Q 及整體系統之穩定度。
有鑑於此，請參照第1圖所示，該圖揭示一種習知之三埠雙鉗樑震盪器9(揭示於Embedded MEMS Filter Chip and its Fabrication for VHF Applications,IEEE 2005 )，該習知之三埠雙鉗樑震盪器9具有一樑體91、二基體92、一輸入電極93及一輸出電極94。該樑體91具有二端部911及一傳輸表面912；該二基體92分別與該樑體91之二端部911結合；該輸入電極93及該輸出電極94各具有一導電面931及941朝向該樑體91之傳輸表面912，且各該導電面931及941均與該傳輸表面912之間具有一預設距離d。按，前述習知三埠雙鉗樑震盪器9之作動原理，主要係由一驅動電壓Vi 經由一輸入阻抗RQ1輸入至該輸入電極93，由該導電面931與該傳輸表面912產生靜電力變化而使該樑體91產生震盪，再由該樑體91之震盪與該導電面941作用產生一輸出電流Io ，該輸出電流Io 經由一輸出阻抗RQ2輸出電壓Vo ；其中，一直流偏壓Vp 連接於該二基體92與接地端。
藉由上述習知三埠雙鉗樑震盪器9之等效電路模擬出頻率響應圖如第2圖所示，其具有一傳輸零點，且3dB 頻寬約為6.53KHz，插入損失IL (insertion loss)高達29.86dB ，品質因素Q 為1592，型態因素SF (shape factor)為8.7也過大，因此，該習知三埠雙鉗樑震盪器9之濾波效能並不優越。
綜上所述，習知之三埠雙鉗樑震盪器9大致上仍具有能量耗損高、頻寬窄、SF 過大及阻帶抑制能力差等缺點，故有加以改良設計之必要。
本發明的目的乃改良上述之缺點，係提供一種串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，該濾波器係可提升濾波能力者。
為達到前述發明目的，本發明所運用之技術內容包含有：
一串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，係包含：一輸入震盪件，具有一第一樑體及二第一基體，且該輸入震盪件之第一樑體的二端分別固接該輸入震盪件之二第一基體；一輸出震盪件，具有一第二樑體及二第二基體，且該輸出震盪件之第二樑體的二端分別固接該輸出震盪件之二第二基體；一輸入電極，具有一第一導電面朝向該輸入震盪件之第一樑體，且該輸入電極之第一導電面與該輸入震盪件之第一樑體間隔設置；一輸出電極，具有一第二導電面朝向該輸出震盪件之第二樑體，且該輸出電極之第二導電面與該輸出震盪件之第二樑體間隔設置；及一共用電極，具有一第三導電面朝向該輸入震盪件之第一樑體及該輸出震盪件之第二樑體，且該共用電極之第三導電面與該輸入震盪件之第一樑體及該輸出震盪件之第二樑體間隔設置。
本發明所運用之技術內容另可以為：
一串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，係包含：一輸入震盪件，具有一第一樑體及二第一基體，且該輸入震盪件之第一樑體的二端分別固接該輸入震盪件之二第一基體；一輸出震盪件，具有一第二樑體及二第二基體，且該輸出震盪件之第二樑體的二端分別固接該輸出震盪件之二第二基體；至少一傳輸震盪件，各具有一第三樑體及二第三基體，且該傳輸震盪件之第三樑體的二端分別固接該傳輸震盪件之二第三基體；一輸入電極，具有一第一導電面朝向該輸入震盪件之第一樑體，且該輸入電極之第一導電面與該輸入震盪件之第一樑體間隔設置；一輸出電極，具有一第二導電面朝向該輸出震盪件之第二樑體，且該輸出電極之第二導電面與該輸出震盪件之第二樑體間隔設置；及數個共用電極，各具有一第四導電面朝向任二相鄰之震盪件的樑體，且該共用電極之第四導電面各與該任二相鄰之震盪件的樑體間隔設置。
為讓本發明之上述及其他目的、特徵及優點能更明顯易懂，下文特舉本發明之較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：
請參照第3圖所示，其揭示本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器的第一實施例，其包含一輸入震盪件1、一輸出震盪件2、一輸入電極3、一輸出電極4及一共用電極5。該輸入震盪件1及該輸出震盪件2係沿一第一軸向X1依序設置；該輸入電極3與輸入震盪件1呈上下間隔設置(依第3圖而言)；該輸出電極4與輸出震盪件2呈上下間隔設置(依第3圖而言)；該共用電極5同時與該輸入及輸出震盪件1、2呈上下間隔設置。
該輸入震盪件1較佳係由CMOS製程材料等半導體材料所製成，在本實施例中，可選擇由矽基材料所製成。該輸入震盪件1係沿一第一軸向X1設置，該輸入震盪件1具有一第一樑體11及二第一基體12。該第一樑體11較佳係為一長方體，該第一樑體11之短邊較佳平行於該第一軸向X1且具有一寬度W、該第一樑體11之長邊較佳平行於一第二軸向X2且具有一長度L、及該第一樑體11具一厚度h且較佳平行於一第三軸向X3；舉例而言，該寬度W可以為10微米，該長度L可以為40微米，該厚度h可以為2微米。其中，該第一軸向X1、第二軸向X2互不平行，該第三軸向X3與第一軸向X1及第二軸向X2位於不同一平面，且該第一軸向X1、第二軸向X2較佳係形成互相垂直，及第三軸向X3較佳係與第一軸向X1及第二軸向X2垂直。該第一樑體11具有一第一傳輸埠111及一第二傳輸埠112，該第一傳輸埠111位於該第一樑體11之下表面(依圖面而言)，且沿該第三軸向X3與該輸入電極3有一間距，該第二傳輸埠112位於該第一樑體11之下表面(依圖面而言)，且沿該第三軸向X3與該共用電極5有一間距，該第一傳輸埠111及該第二傳輸埠112為具有電壓訊號傳遞功能的傳輸埠；該二第一基體12分別固接於該第一樑體11在該第二軸向X2上之兩端。
該輸出震盪件2較佳與輸入震盪件1平行設置且位於同一平面，該輸出震盪件2具有一第二樑體21及二第二基體22。該第二樑體21具有一第三傳輸埠211及一第四傳輸埠212，且該第二樑體21之構造及尺寸較佳與該輸入震盪件1之第一樑體11相同，於此不多贅述。該第二樑體21與該輸入震盪件1之第一樑體11的主要差異僅係在於：該第三傳輸埠211及該第四傳輸埠212位於該第二樑體21之下表面，且沿該第三軸向X3分別朝向該輸出電極4及該共用電極5且有一間距。該二第二基體22分別固接於該第二樑體21在該第二軸向X2上之兩端。
該輸入電極3較佳為一長方體，該輸入電極3之長邊較佳平行於該第一軸向X1，該輸入電極3之短邊較佳平行於該第二軸向X2且具有一寬度We ；舉例而言，該寬度We 可以為16微米。又，該輸入電極3具有一輸入端31及一第一導電面32，其中，該輸入端31可接收外部輸入電壓，該第一導電面32朝向該輸入震盪件1之第一樑體11並對位於該第一傳輸埠111，且該第一導電面32與該第一傳輸埠111呈上下間隔設置；於本實施例中，該間隔可為3000之一預設距離d。
該輸出電極4較佳為一長方體，該輸出電極4之長邊較佳平行於該第一軸向X1，該輸出電極4之短邊較佳平行於該第二軸向X2且具有一寬度We ；舉例而言，該寬度We 可以為16微米。又，該輸出電極4具有一輸出端41及一第二導電面42，其中，該輸出端41可輸出內部電壓，該第二導電面42朝向該輸出震盪件2之第二樑體21並對位於該第三傳輸埠211，且該第二導電面42與該第三傳輸埠211呈上下間隔設置，於本實施例中以該預設距離d作為該間隔。
該共用電極5較佳為一長方體，該共用電極5之長邊較佳平行於該第一軸向X1，該共用電極5之短邊較佳平行於該第二軸向X2且具有一寬度We ；舉例而言，該寬度We 可以為16微米。又，該共用電極5具有一第三導電面51，且該第三導電面51朝向該輸入震盪件1之第一樑體11及該輸出震盪件2之第二樑體21，且該第三導電面51分別對位於該第二傳輸埠112及第四傳輸埠212。再者，該第三導電面51與該第二傳輸埠112及第四傳輸埠212呈上下間隔設置，且於本實施例中以該預設距離d作為該間隔。其中該共用電極5較佳與該輸入電極3及該輸出電極4位於同一平面。
請再參照第3圖，該圖揭示本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器第一實施例，當該濾波器作動時，首先將一直流偏壓Vp施加於該輸入震盪件1的任一第一基體12，且亦同時施加於該輸出震盪件2的任一第二基體22，再將一驅動電壓Vi 經由一輸入阻抗RQ1電性相接於該輸入電極3之輸入端31。藉此，當該驅動電壓Vi 發生變化時，該輸入電極3上所聚集的電荷同時產生變化，經由該第一導電面32與該第一傳輸埠111間的庫倫靜電力作用使得該輸入震盪件1之第一樑體11產生震盪；又，該第一樑體11震盪會同時使該第二傳輸埠112與該共用電極5上之第三導電面51產生作用，使該共用電極5上之電荷分佈發生改變；又當該第三導電面51上電荷發生改變，亦會使該第三導電面51與該第四傳輸埠212間產生庫倫靜電力作用，進一步使得該輸出震盪件2之第二樑體21產生震盪；最後，由於該第三傳輸埠211與該輸出電極4之第二導電面42間為固定電壓差，而當該第二樑體21產生震動時會改變該第三傳輸埠211及該第二導電面42間之預設距離d，當該預設距離d改變便會使得電容值發生變化，進而產生電流變化，再由該輸出電極4上之輸出端41經由一輸出阻抗RQ2輸出一輸出電壓Vo ，完成整體濾波器之濾波行為。
簡言之，當由該輸入電極3之輸入端31接收一驅動電壓，藉由電荷間的靜電力驅使該輸入震盪件1之第一樑體11發生震盪，再將該震盪效果經由該共用電極5傳遞至該輸出震盪件2上，使該輸出震盪件2之第二樑體21發生震盪，又進一步使該輸出電極4上之電荷分佈發生改變，得到一電壓電壓輸出。相較於習知之三埠雙鉗樑僅由一震盪件產生震盪輸出，本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器可由該輸入震盪件1之震盪效果傳遞至該輸出震盪件2之後再將電壓輸出，所以會有訊號相加的效果。
請參照第4圖，該圖揭示本發明之上述串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，經由等效電路實驗模擬的結果，其3dB 頻寬約為160.2KHz，插入損失IL 約為0.08dB ，品質因素Q 為64.98，而阻帶抑制約為13dB ，相較於習知之三埠雙鉗樑震盪器，本發明的確能有效增加頻寬並強化阻帶抑制能力。
請參照第5圖，其係繪示本發明串接式微機械雙鉗式帶通濾波器之第二實施例。由於在串接之震盪件數量增加時，能有效提升濾波器之濾波能力，因此本第二實施例係增加震盪件及共用電極之數量，其與該第一實施例之差別在於：在該輸入及輸出震盪件1、2之間設置至少一傳輸震盪件6及數個共用電極7。其中，該至少一傳輸震盪件6之尺寸、構造及材料較佳與該輸入及輸出震盪件1、2相同，且沿該第一軸向X1依序設置於該輸入及輸出震盪件1、2之間；該數個共用電極7之尺寸及設置方向較佳與該第一實施例之共用電極5相同。此外，該傳輸震盪件6，具有一第五傳輸埠611及一第六傳輸埠612，且該第五傳輸埠611及該第六傳輸埠612亦均為具有電壓訊號傳遞功能之傳輸埠；該共用電極7亦具有一第四導電面71，該第四導電面71可以朝向該輸入震盪件1之第一樑體11及與該輸入震盪件1相鄰的傳輸震盪件6之第三樑體61，並對位於該第一樑體11之第二傳輸埠112及該第三樑體61之第六傳輸埠612；或者該第四導電面71可以朝向任二相鄰之傳輸震盪件6之第三樑體61，並對位於該二第三樑體61之第五傳輸埠611或第六傳輸埠612；又或者該第四導電面71可以朝向該輸出震盪件2之第二樑體21及與該輸出震盪件2相鄰的傳輸震盪件6之第三樑體61，並對位於該第二樑體21之第三傳輸埠211及該第三樑體61之第五傳輸埠611，或是對位於該第二樑體21之第四傳輸埠212及該第三樑體61之第六傳輸埠612；換言之，該共用電極7之第四導電面71係可對位於任二相鄰之該震盪件的奇數傳輸埠，或可對位於任二相鄰之該震盪件的偶數傳輸埠。
請再參照第5圖所示，為方便說明，在本實施例中選擇該至少一傳輸震盪件6之數量為一個；而該數個共用電極7之數量為二個，且係分別為一第一共用電極7a及一第二共用電極7b。該輸入震盪件1、該傳輸震盪件6及該輸出震盪件2沿該第一軸向X1依序平行設置且位於同一平面，該輸入電極3之第一導電面32對位朝向該輸入震盪件1之第一傳輸埠111，該第一共用電極7a之第四導電面71a對位朝向該輸入震盪件1之第二傳輸埠112及該傳輸震盪件6之第六傳輸埠612，該第二共用電極7b之第四導電面71b對位朝向該傳輸震盪件6之第五傳輸埠611及該輸出震盪件2之第三傳輸埠211，該輸出電極4之第二導電面42對位朝向該輸出震盪件2之第四傳輸埠212。
如上述之本發明串接式微機械雙鉗式帶通濾波器進行作動時，首先亦由該輸入電極3之輸入端31接收一驅動電壓，藉由該第一導電面32與該輸入震盪件1之第一傳輸埠111之靜電力作用使該第一樑體11產生震盪；該第一樑體11震盪會改變該第二輸出埠112與該第一共用電極7a的第四導電面71a之預設距離，使該第一共用電極7a上之電荷分佈發生改變，再由該第四導電面71a與該傳輸震盪件6之第六傳輸埠612作用，使該第三樑體61產生震盪；同理，該第三樑體61震盪會改變該第五傳輸埠611與該第二共用電極7b的第四導電面71b之預設距離，使該第二共用電極7b上之電荷分佈發生改變，再由該第四導電面71b與該輸出震盪件2之第三傳輸埠211作用，使該第二樑體21產生震盪；最後，該第二樑體21震盪會改變該第四傳輸埠212與該輸出電極4之第二導電面42之預設距離d，當該預設距離d改變便會使得電容值發生變化，進而由該輸出電極4上之輸出端41輸出電壓，完成整體濾波器之濾波作業。
簡言之，由該輸入電極3接收一驅動電壓，利用電荷間的靜電力驅使該輸入震盪件1之第一樑體11發生震盪，再將該震盪效果經由該第一共用電極7a傳遞至該傳輸震盪件6上，使該傳輸震盪件6之第三樑體61發生震盪，再經由該第二共用電極7b將該震盪效果傳遞至該輸出震盪件2上，最後，由該輸出震盪件2之第二樑體21之震盪，進一步使該輸出電極4上之電荷分佈改變，得到一輸出電壓。
請參照第6圖所示，該圖揭示藉由上述之串接設置，將本發明串接式微機械雙鉗式帶通濾波器之傳輸震盪件6串接數量增加至13個，亦即本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器共具有15個震盪件及14個共用電極時之俯視圖。藉由等效電路之實驗模擬可獲得其結果如第7圖所示，其中3dB 頻寬約為169.5KHz，插入損失IL 約為0.77dB ，而阻帶抑制約為150dB ，可證實連接該震盪件之數量越多，該濾波器之頻寬越大。另一方面，因數量增加也提高阻帶抑制能力，相對頻率阻絕性也更優越。因此，以一濾波器之濾波能力而言，增加該震盪件之數量確實可達到提升濾波能力之功效。
綜上所述，本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器可藉由改良及組合其基本結構，進而達到寬頻增寬、SF 較接近1及更強化阻帶抑制能力；簡言之，本發明之雙鉗式帶通濾波器可達到較習知濾波器有較佳濾波能力之功效。
雖然本發明已利用上述較佳實施例揭示，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者在不脫離本發明之精神和範圍之內，相對上述實施例進行各種更動與修改仍屬本發明所保護之技術範疇，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
 [本發明]
1．．．輸入震盪件
11．．．第一樑體
111．．．第一傳輸埠
112．．．第二傳輸埠
12．．．第一基體
2．．．輸出震盪件
21．．．第二樑體
211．．．第三傳輸埠
212．．．第四傳輸埠
22．．．第二基體
3．．．輸入電極
31．．．輸入端
32．．．第一導電面
4．．．輸出電極
41．．．輸出端
42．．．第二導電面
5．．．共用電極
51．．．第三導電面
6．．．傳輸震盪件
61．．．第三樑體
611．．．第五傳輸埠
612．．．第六傳輸埠
62．．．第三基體
7．．．共用電極
71．．．第四導電面
L．．．樑體長度
W．．．樑體寬度
h．．．樑體厚度
We ．．．電極寬度
X1．．．第一軸向
X2．．．第二軸向
X3．．．第三軸向
[習知]
9．．．三埠雙鉗樑
91．．．樑體
911．．．端部
912．．．傳輸表面
92．．．基體
93．．．輸入電極
931．．．導電面
94．．．輸出電極
941．．．導電面
Vi ．．．驅動電壓
RQ1．．．輸入阻抗
RQ2．．．輸出阻抗
Io ．．．輸出電流
Vo ．．．輸出電壓
Vp ．．．直流偏壓
d．．．預設距離
第1圖：習知之三埠雙鉗樑震盪器立體圖。
第2圖：習知之三埠雙鉗樑震盪器之等效電路模擬頻率響應圖。
第3圖：本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器第一實施例立體圖。
第4圖：本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器第一實施例之等效電路模擬頻率響應圖。
第5圖：本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器第二實施例立體圖。
第6圖：本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器具有15震盪件之俯視圖。
第7圖：本發明之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器具有15震盪件之等效電路模擬頻率響應圖。
1．．．輸入震盪件
11．．．第一樑體
111．．．第一傳輸埠
112．．．第二傳輸埠
12．．．第一基體
2．．．輸出震盪件
21．．．第二樑體
211．．．第三傳輸埠
212．．．第四傳輸埠
22．．．第二基體
3．．．輸入電極
31．．．輸入端
32．．．第一導電面
4．．．輸出電極
41．．．輸出端
42．．．第二導電面
5．．．共用電極
51．．．第三導電面
X1．．．第一軸向
X2．．．第二軸向
X3．．．第三軸向

Claims (14)

  1. 一串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，係包含：一輸入震盪件，具有一第一樑體及二第一基體，且該輸入震盪件之第一樑體的二端分別固接該輸入震盪件之二第一基體；一輸出震盪件，具有一第二樑體及二第二基體，且該輸出震盪件之第二樑體的二端分別固接該輸出震盪件之二第二基體；一輸入電極，具有一第一導電面朝向該輸入震盪件之第一樑體，且該輸入電極之第一導電面與該輸入震盪件之第一樑體間隔設置；一輸出電極，具有一第二導電面朝向該輸出震盪件之第二樑體，且該輸出電極之第二導電面與該輸出震盪件之第二樑體間隔設置；及一共用電極，具有一第三導電面朝向該輸入震盪件之第一樑體及該輸出震盪件之第二樑體，且該共用電極之第三導電面與該輸入震盪件之第一樑體及該輸出震盪件之第二樑體間隔設置。
  2. 依申請專利範圍第1項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入震盪件之第一樑體具有一第一傳輸埠及一第二傳輸埠，該輸出震盪件之第二樑體具有一第三傳輸埠及一第四傳輸埠，該輸入電極之第一導電面對位於該輸入震盪件之第一傳輸埠，該輸出電極之第二導電面對位於該輸出震盪件之第三傳輸埠，該共用電極之第三導電面對位於該輸入震盪件之第二傳輸埠及該輸出震盪件之第四傳輸埠。
  3. 依申請專利範圍第1或2項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入電極、該輸出電極及該共用電極位於同一平面。
  4. 依申請專利範圍第1或2項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入電極、該輸出電極及該共用電極各為一長方體且其長邊平行於一第一軸向。
  5. 依申請專利範圍第1或2項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入震盪件之第一樑體及該輸出震盪件之第二樑體各為一長方體且長邊平行於一第二軸向。
  6. 依申請專利範圍第4項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入震盪件之第一樑體及該輸出震盪件之第二樑體各為一長方體且長邊平行於一第二軸向，且該第一軸向與該第二軸向為相互垂直。
  7. 一串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，係包含：一輸入震盪件，具有一第一樑體及二第一基體，且該輸入震盪件之第一樑體的二端分別固接該輸入震盪件之二第一基體；一輸出震盪件，具有一第二樑體及二第二基體，且該輸出震盪件之第二樑體的二端分別固接該輸出震盪件之二第二基體；至少一傳輸震盪件，各具有一第三樑體及二第三基體，且該傳輸震盪件之第三樑體的二端分別固接該傳輸震盪件之二第三基體；一輸入電極，具有一第一導電面朝向該輸入震盪件之第一樑體，且該輸入電極之第一導電面與該輸入震盪件之第一樑體間隔設置；一輸出電極，具有一第二導電面朝向該輸出震盪件之第二樑體，且該輸出電極之第二導電面與該輸出震盪件之第二樑體間隔設置；及數個共用電極，各具有一第四導電面朝向任二相鄰之震盪件的樑體，且該共用電極之第四導電面各與該任二相鄰之震盪件的樑體間隔設置。
  8. 依申請專利範圍第7項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入震盪件之第一樑體具有一第一傳輸埠及一第二傳輸埠、該輸出震盪件之第二樑體具有一第三傳輸埠及一第四傳輸埠及至少一傳輸震盪件之第三樑體具有一第五傳輸埠及一第六傳輸埠，該輸入電極之第一導電面對位於該輸入震盪件之第一傳輸埠，該輸出電極之第二導電面對位於該輸出震盪件之第三傳輸埠或第四傳輸埠，而該數個共用電極之第四導電面對位於任二相鄰之該震盪件的奇數傳輸埠，或對位於任二相鄰之該震盪件的偶數傳輸埠。
  9. 依申請專利範圍第7或8項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中該輸入電極、該輸出電極及該數個共用電極位於同一平面。
  10. 依申請專利範圍第7或8項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入電極、該輸出電極及該共用電極各為一長方體且其長邊平行於一第一軸向。
  11. 依申請專利範圍第7或8項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入震盪件之第一樑體、該輸出震盪件之第二樑體及該傳輸震盪件之第三樑體各為一長方體且其長邊平行於一第二軸向。
  12. 依申請專利範圍第10項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入震盪件之第一樑體、該輸出震盪件之第二樑體及該傳輸震盪件之第三樑體各為一長方體且其長邊平行於一第二軸向，且該第一軸向與該第二軸向為相互垂直。
  13. 依申請專利範圍第1、2、7或8項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該震盪件之樑體係由半導體材料之矽基材料所製成。
  14. 依申請專利範圍第1、2、7或8項所述之串接式微機械雙鉗式帶通濾波器，其中，該輸入電極與該輸入震盪件之第一樑體的間隔、該輸出電極與該輸出震盪件之第二樑體的間隔及該共用電極與該任二相鄰震盪件之樑體的間隔各為一預設距離。
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