TWI439329B - 刷子洗淨裝置 - Google Patents

Description

刷子洗淨裝置 發明領域

本發明係有關一種可藉一對軋輥刷而對朝預定方向搬送之基板進行刷洗處理之刷子洗淨裝置。

發明背景

液晶顯示裝置所使用之玻璃製基板上可形成電路圖形。對基板上形成電路圖形時係採用微影製程。微影製程則一如周知，係於上述基板上塗布抗蝕劑，再對該抗蝕層隔著形成有電路圖形之光罩加以照光。

其次，去除抗蝕層之未照光之部分或已照光之部分，再蝕刻已去除抗蝕層之部分。繼之，於蝕刻後，自基板上去除抗蝕層，而反覆進行複數次上述一連串之步驟，以於上述基板上形成電路圖形。

前述微影製程中，藉顯影液、蝕刻液或蝕刻後去除抗蝕層所用之剝離液等處理液處理上述基板之步驟，以及使用處理液進行處理後，再藉洗淨液進行洗淨之步驟，皆不可或缺。

在洗淨基板之洗淨步驟中，舉例言之，在洗淨去除基板上所附著之處理液時，對於在處理槽內搬送之基板，可藉噴水器噴嘴噴射洗淨液，而由基板上洗淨去除處理液。

然而，基板上強力附著有微粒等汙物時，對基板僅憑噴射洗淨液，無法確實洗淨去除汙物。故而，此時將對搬 送於處理槽內之基板藉軋輥刷進行洗淨。

上述軋輥刷具有刷軸，該刷軸之兩端部以外之部分設有包含刷毛之刷部。上述刷軸之兩端部則以接合部連結有支軸。一對支軸則分別為軸承體所支持而呈可旋轉之狀態。各軸承體則裝設固定於洗淨槽內所設之架台等安裝部上。

近來，基板已有大型化之趨勢。基板一旦大型化，上述軋輥刷即將對應基板之寬度大小而增長。軋輥刷一旦增長，可支持其刷軸之兩端部所連結之支軸並使其呈可旋轉之狀態之一對軸承體之間隔亦將增大。

一對軸承體之間隔一旦增大，則極難以將該等軸承體之軸芯以高精度設成一致。一對軸承體之軸芯若非以高精度設成一致者，則該等軸承體所支持之軋輥刷將無法圓滑地旋轉，上述支軸及軸承体將提早受損。

因此，如專利文獻1中所示，可於用以支持上述軋輥刷之機機架上，設置位於同一垂直面上，且在水平方向上按預定間隔分設之具有平坦面之第1安裝部與第2安裝部。其次，於第1安裝部與第2安裝部分別設置可支持設於上部軋輥刷之刷軸之兩端部之支軸而使其呈可旋轉之狀態之一對第1軸承體，以及可支持設於下部軋輥刷之刷軸之兩端部之支軸而使其呈可旋轉之狀態之一對第2軸承體。

【專利文獻1】特開2006－116465號公報

發明揭示

而，專利文獻1所示之習知技術，必須使可供設置第1軸承體與第2軸承體之上述第1安裝部與第2安裝部位於同一垂直面上，並在水平方向上按預定間隔加以分設而設置於上述機架上。

然而，設於機架上之第1安裝部與第2安裝部若自同一垂直面上偏移，則將裝設於各安裝部之各一對第1、第2軸承體之軸芯亦將發生偏移。

各一對第1、第2軸承體之軸芯若發生偏移，則藉該等軸承體支持設於刷軸之兩端部之支軸時，應力將經支軸而施加於第1、第2軸承體所支持之支軸及刷軸。

支軸及刷軸承受應力之狀態下，軋輥刷若長時間進行旋轉驅動，則該應力將使支軸及刷軸發生破裂，而可能由該破裂部分開始發生斷裂。進而，支軸及刷軸所承受之應力將作用於軸承體，而亦為上述軸承體提早受損之原因。

本發明則可提供一種刷子洗淨裝置，即便支持軋輥刷之刷軸之一端部與另一端部之位置未以高精度設成一致，亦不致對上述軋輥刷之刷軸施加應力。

本發明係一種刷子洗淨裝置，具有於刷軸設有刷部之一對軋輥刷，且使朝預定方向搬送之基板通過前述一對軋輥刷間，加以洗淨。該刷子洗淨裝置包含有：徑向軸承，係支持上述刷軸之一端部，使其可旋轉者；旋轉驅動源，係連結於上述徑向軸承所支持而可旋轉之上述刷軸之一端 部，且旋轉驅動上述刷軸者；及，一對支持滾子，係外周面形成凸狀之曲面，且藉前述曲面以點接觸狀態支持上述刷軸之另一端部，使其可旋轉者。

依據本發明，由於藉徑向軸承支持軋輥刷之刷軸之一端部並使其呈可旋轉之狀態，另一端部則使一對支持滾子之凸狀曲面與外周面形成點接觸狀態而支持之，故即便支持刷軸之一端部與另一端部之左右一對支持位置發生水平方向或垂直方向之偏移，該偏移亦將為另一端部之支持滾子所構成之支持構造所吸收。

藉此，可防止被支持而可旋轉之軋輥刷之刷軸承受應力，故可防止刷軸之損傷及可支持刷軸之一端部並使其呈可旋轉之狀態之徑向軸承之損傷。

圖式簡單說明

第1圖係裝設有代表本發明一實施例之刷子單元之刷子洗淨裝置之縱截面圖。

第2圖係刷子洗淨裝置之概略構造圖。

第3圖係由斜上方觀察刷子單元之立體圖。

第4圖係由斜下方觀察刷子單元之立體圖。

第5圖係由斜下方觀察由一對支持體卸下外罩後之刷子單元之立體圖。

第6圖係顯示連結於一對軋輥刷之刷軸之一端之第1支軸之支持構造之立體圖。

第7圖係顯示連結於一對軋輥刷之刷軸之另一端之第2 支軸之支持構造之立體圖。

第8圖係顯示可上下驅動設於第1支持體之第1上部可動體與第1下部可動體之上下驅動機構之立體圖。

第9圖係放大顯示上下驅動機構之立體圖。

第10圖係第2支持體之設有第2旋轉凸輪體之部分之放大立體圖。

第11圖係顯示第1、第2旋轉凸輪體之正面圖。

第12圖係顯示刷軸與支持軸之連結構造者。

第13圖係可支持第2支軸之支持滾子之截面圖。

第14圖係使用卸除用夾具而卸除上部軋輥刷時之立體圖。

第15圖係顯示於刷軸之一端卡合有卸除用夾具之鉤部之狀態之立體圖。

第16圖係顯示於刷軸之另一端卡合有卸除用夾具之鉤部之狀態之立體圖。

用以實施發明之最佳形態

以下，參照圖示說明本發明之實施例。

第1圖係顯示橫式之刷子洗淨裝置之縱截面圖，該刷子洗淨裝置包含處理槽1。該處理槽1內則如第2圖所示，設有複數之搬送滾子2所構成之搬送機構3。該等搬送滾子2可藉未圖示之驅動機構而朝預定方向旋轉驅動。

上述處理槽1之一端形成有搬入口4，由該搬入口4將對標本1內送入諸如液晶顯示面板等所使用之玻璃製之基板 W。送入處理槽1之基板W可藉受旋轉驅動之上述搬送滾子2而進行搬送，並由形成於上述處理槽1之另一端之搬出口5送出。

如第1圖所示，上述處理槽1構成形成於其上面之開口部7可藉外罩6而進行開閉。上述處理槽1內，沿行基板W之搬送方向按預定間隔分設有可對藉上述搬送滾子2而搬送於該處理槽1內之基板W進行刷洗作業之2個刷子單元11(顯示於第2圖)。上述處理槽1之底部則經排液管8而與廢液槽9相連通。

上述刷子單元11則如第3圖乃至第5圖所示，包含由第1支持體12與第2支持體13所支持，而構成軸向之一端部與另一端部如後述般使軸線呈平行狀態之上部軋輥刷14與下部軋輥刷15

各支持體12、13皆包含矩形之底板17。該底板17之上面分別立設有構成第1、第2導引機構之截面形狀呈字狀之導引構件18。如第6與第7圖所示，各導引構件18之內面上部沿上下方向設有線型導軌19。

第1支持體12設有第1上部可動體21與第1下部可動體22，並使其等可朝上下方向移動，第2支持體13則設有第2上部可動體23與第2下部可動體24，並使其等可朝上下方向移動。

各可動體21~24皆包含可與上述線型導軌19卡合而進行滑動之滑動部25。各滑動部25則設有安裝板26並呈板面垂直之狀態。如第6圖所示，第1上部可動體21與第1下部可 動體22之安裝板26分別設有一對徑向軸承28(僅圖示第1上部可動體21)，並呈軸芯在水平方向上一致之狀態。一對徑向軸承28則為外罩29所覆蓋。第6圖中顯示了第1下部可動體22為外罩29所覆蓋，第1上部可動體21則已卸除外罩29之狀態。

另，第4與第5圖中則顯示第1上部可動體21與第1下部可動體22分別為外罩29所覆蓋之狀態。

設於各第1上部可動體21與第1下部可動體22之安裝板26上之各一對徑向軸承28支持有藉後述之接合部32而連結於上述上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之刷軸31之一端上，並呈可裝卸及可旋轉之狀態之第1支軸33。

另，上述各軋輥刷14、15之刷軸31之兩端部以外之部分之外周面上，舉例言之，藉以螺旋狀捲裝保持有刷毛之保持構件等方式而形成有刷部34。

上述上部軋輥刷14之第1支軸33藉接合部37而連結於上述安裝板26之寬度方向之端部上所設之第1旋轉驅動源35之旋轉軸36上。上述下部軋輥刷15之第1支軸33，亦同樣藉接合部41而連結於上述安裝板26之寬度方向之端部之上述第1旋轉驅動源35之下方所設之第2旋轉驅動源38之旋轉軸39上。

如第7圖所示，上述上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之刷軸31之另一端，則藉與連結上述第1支軸33與刷軸31之一端之上述接合部32相同構造之接合部32，連結有第2支軸42，並呈可裝卸之狀態。

上述上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之第2支軸42分別為設於上述第2支持體13之第2上部可動體23與第2下部可動體24所支持，並呈可旋轉之狀態。

即，第2上部可動體23與第2下部可動體24之安裝板26上，沿行與軋輥刷14、15之軸線垂直之水平方向按預定間隔設有一對柱狀之安裝構件43。各安裝構件43則使軸線與上述各軋輥刷14、15之軸線平行而設置安裝軸44，各安裝軸44則裝設有支持滾子45，並使其呈可旋轉之狀態。

如第13圖所示，上述支持滾子45之外周面形成朝寬度方向彎曲之凸狀曲面46。其次，上述第2支軸42則為上述一對支持滾子45之凸狀曲面46以點接觸狀態所支持，並呈可旋轉之狀態。藉此，第2支軸42即可朝一對支持滾子45沿軸線方向移動，並朝與軸線方向交錯之方向進行搖動。

一對安裝構件43中，在比為一對支持滾子45所支持之第2支軸42位於更上側之部分，藉未圖示之螺桿而裝設有橫構件48，並呈可裝卸之狀態。該橫構件48則藉螺軸51而設有可防止1為一對支持滾子45所支持之第2支軸42自上述支持滾子45大幅上移之壓制滾子49，並呈可旋轉之狀態。即，壓制滾子49對第2支軸42之外周面雖為非接觸狀態，但可藉各軋輥刷14、15之重量而防止第2支軸42自支持滾子45上移。

如上所述，第1支軸33為徑向軸承28所支持並呈可旋轉之狀態、第2支軸42則為一對支持滾子45所支持並呈可旋轉之狀態之上部軋輥刷14與下部軋輥刷15，可藉上述第1旋轉 驅動源35與第2旋轉驅動源38之作動，而分別進行旋轉驅動。

用以對上述刷軸31之一端與另一端連結上述第1支軸33與第2支軸42之個別之接合部32之構造係如第12圖所示。即，連接於刷軸31之一端之第1、第2支軸33、42之先端上，設有與上述刷軸31相同外形大小之凸緣52。該凸緣52在圓周方向上按預定間隔穿設有複數(諸如4個)之通孔53(僅圖示2個)。上述凸緣52之上述刷軸31之一端面所連接之端面上，則設有圓盤狀之凸部54。

上述刷軸31之一端面上形成有可供嵌合上述凸部54之凹部55，以及於該凹部55之周邊部對應上述通孔53之複數螺孔56。其次，上述第1、第2支軸33、42可將凸緣52之凸部54嵌合於刷軸31之凹部55，並使該凸緣52接觸刷軸31之一端面，而由通孔53對上述螺孔56螺合作為結合機構之連結螺桿57，以連結成可裝卸之狀態。

依據前述連結構造，凸緣52對刷軸31之連結螺桿57之連結方向，與洗淨基板W時對刷軸31賦與之振動方向垂直，且，設於凸緣52之凸部54與設於刷軸31之凹部55嵌合，故因此而發生於刷軸31之振動，將因該刷軸31與第1、第2支軸33、42之連結部分之影響，而不易增大。

上述上部軋輥刷14與下部軋輥刷15將因增長而增加重量，故使用第14乃至第16圖所示之卸除用夾具58由第1、第2支持體12、13進行卸除作業。上述卸除用夾具58包含有吊昇軸59，以及設於該吊昇軸59之兩端，並卡合於上述刷軸 31之兩端部而呈可裝卸之狀態之鉤部61。

其次，若將鉤部61卡合於上部軋輥刷14之刷軸31之兩端部，則對上述吊昇軸59卡合鏈條吊車之鉤部(皆未圖示)後，卸下以上述第1支軸33之凸緣52作為刷軸31之一端之連結螺桿57，並自刷軸31分解出第1支軸33。

接著，若自安裝構件43卸除設有保持第2支軸42而使其不致自支持滾子45上移之壓制滾子49之橫構件48，則使鏈條吊車捲昇而藉上述卸除用夾具58吊昇上部軋輥刷14，即可自一對支持體12、13卸除上述上部軋輥刷14。

卸除上述上部軋輥刷14後，對下部軋輥刷15亦可同樣自一對支持體12、13加以卸除。藉此，上部軋輥刷14與下部軋輥刷15即便增長而增重，亦可輕易進行該等軋輥刷14、15之修理點檢及更換作業。

上述基板W可搬送於上述上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之間。上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之間隔則可對應基板W之厚度及洗淨條件等，藉上下驅動機構63朝上下方向驅動該等軋輥刷14、15而設定。

上述上下驅動機構63可沿導引構件18而上下驅動設於第1支持體12之第1上部可動體21與第1下部可動體22，一旦第1上部可動體21與第1下部可動體22進行上下移動，其上下移動將經動力傳達機構64而傳達至設於第2支持體13之第2上部可動體23與第2下部可動體24。

上述上下驅動機構63如第8及第9圖所示，包含有設於第1支持體12之底板17之下面之上部上下用驅動源65，以及 下部上下用驅動源66。各驅動源65、66之旋轉軸65a、66a則分別連結有第1凸輪軸67之一端。各第1凸輪軸67則為設於上述底板17下面之各一對軸承構件70所支持，並呈可旋轉之狀態。

一對第1凸輪軸67分別設有第1旋轉凸輪體68。上述第1旋轉凸輪體68如第11圖所示，具有盤狀體69，該盤狀體69之一側面上，形成有藉圓弧狀之凹部71而於外周面構成凸輪面72之凸輪部73。

一對第1旋轉凸輪體68之凸輪面72上，卡合有設於第1驅動構件75之下端部並呈可旋轉之狀態之凸輪從動件76。上述凹部71之內周面與上述凸輪面72之間隔則設成與上述凸輪從動件76之外形大小大致相同。

藉此，可保持上述凸輪從動件76之外周面與凸輪面72之接觸狀態不致分離，故可限制設有凸輪從動件76之第1驅動構件75朝上下方向自由移動。

如第8圖所示，上述一對第1驅動構件75係由形成於上述底板17上之開口部17a朝該底板17之上面側突出者。與為上部上下用驅動源65所旋轉驅動之第1旋轉凸輪體68之旋轉連動而上下移動之一方之第1驅動構件75之上端，則與設於第1支持體12之第1上部可動體21連結，與為下部上下用驅動源66所旋轉驅動之第1旋轉凸輪體68之旋轉連動而上下移動之他方之第1驅動構件75之上端，則與第1下部可動體22連結。

因此，若藉上部上下用驅動源65旋轉驅動第1旋轉凸輪 體68，則可藉其旋轉而沿行設於第1支持體12之線型導軌19而朝上昇方向或下降方向驅動第1上部可動體21，若藉下部上下用驅動源66旋轉驅動第1旋轉凸輪體68，則可藉其旋轉而同樣朝上昇方向或下降方向驅動第1下部可動體22。

上述第1上部可動體21與第1下部可動體22之上下移動，可藉上述動力傳達機構64而傳達至設於第2支持體13之上述第2上部可動體23與第2下部可動體24。藉此，設於第2支持體13之第2上部可動體23與第2下部可動體24，即可與上述第1上部可動體21與第1下部可動體22之上下移動進行連動。

上述動力傳達機構64包含一端藉接合部77而連結於一對第1凸輪軸67之另一端，且呈可裝卸之狀態之一對連動軸78。各連動軸78之另一端則如第10圖所示，分別藉接合部80而連結有第2凸輪軸79之一端，並呈可分解之狀態。一對第2凸輪軸79則分別設有第2旋轉凸輪體81。第2旋轉凸輪體81之構造與第11圖所示之上述第1旋轉凸輪體68相同，故省略其說明。

上述第2凸輪軸79為設於上述第2支持體13之底板17下面之一對軸承構件82所支持，並呈可旋轉之狀態。各第2旋轉凸輪體81之凸輪面72上則卡合有於第2驅動構件83(顯示於第4、第5圖)之下端設置成可旋轉之凸輪從動件84。

一對第2驅動構件83係由形成於上述底板17之開口部17a(顯示於第10圖)朝上面側突出者。如第4與第5圖所示，藉上部上下用驅動源65而旋轉驅動之一方之連動軸78側之 第2旋轉凸輪體81所上下驅動之一方之第2驅動構件83之上端與第2上部可動體23連結，他方之第2驅動構件83之上端則與第2下部可動體24連結。

即，若藉上部上下用驅動源65與下部上下用驅動源66之作動而旋轉驅動第1凸輪軸67，則其旋轉將經連動軸78而傳達至第2凸輪軸79，故可使第1旋轉凸輪體68與第2旋轉凸輪體81連動旋轉。

若使第1旋轉凸輪體68與第2旋轉凸輪體81連動旋轉，則該等凸輪體68、81可使第1驅動構件75與第2驅動構件83連動而上下移動，故設於第1支持體12與第2支持體13之第1上部可動體21與第2上部可動體23及第1下部可動體22與第2下部可動體24，即可連動而上下移動。

因此，可與各一對上部可動體21、23及下部可動體22、24之上下移動連動，而使上部軋輥刷14與下部軋輥刷15分別在水平狀態下進行上下移動。

如第10圖所示，一對第2凸輪軸79分別設有驅動旋轉齒輪86，該等驅動旋轉齒輪86之旋轉則可傳達至從動旋轉齒輪87。從動旋轉齒輪87則設於受支持於上述第2支持體13之底板17下面並呈可旋轉之狀態之支軸88。該支軸88則按預定間隔設有複數之角度檢知圓板89。各角度檢知圓板89則設有未圖示之缺口。各角度檢知圓板89係由各缺口在圓周方向上錯開角度而設於上述支軸88上者。

上述底板17設有與上述角度檢知圓板89對向而可檢知各角度檢知圓板89之缺口之檢知感測器90。該等檢知感測 器90，在第2凸輪軸79旋轉，且其旋轉經驅動旋轉齒輪86與從動旋轉齒輪87而傳達至上述支軸88，而使角度檢知圓板89與該支軸88一同旋轉時，可藉已檢知角度檢知圓板89之缺口之一檢知感測器90，檢知此時之第2凸輪軸79之旋轉角度，即，經連結有第2凸輪軸79之連動軸78而為上部上下用驅動源65與下部上下用驅動源66所旋轉驅動之一對第1凸輪軸67之旋轉角度。

上述上部上下用驅動源65與下部上下用驅動源66可藉來自檢知感測器90之檢知訊號，而限制其驅動。藉此，上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之上下方向之位置，即，上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之間隔，可依基板W之厚度及洗淨條件等而設定。

如第3圖所示，第1支持體12與第2支持體13之底板17下面，分別為下部外罩91所覆蓋，上面側則為上部外罩92所覆蓋。藉此，即可遮蓋設於上述底板17之下面與上面之各種零件。

如第2圖所示，可對上述上部軋輥刷14及將洗淨之基板W上面藉噴嘴體93供給洗淨液。如第3乃至第5圖所示，各軋輥刷14、15之刷軸31之一端與另一端所連結之第1、第2支軸33、42，設有可阻止所供給之洗淨液流過各支軸33、42，而流至處理槽1之外部之一對阻液構件94。

依據上述構造之刷子洗淨裝置，設於上部軋輥刷14之刷軸31之一端之第1支軸33與第1旋轉驅動源35之旋轉軸36連結，設於另一端之第2支軸42則為設於第2上部可動體23 之一對支持滾子45之凸狀曲面46以點接觸狀態所支持。

同樣地，設於下部軋輥刷15之刷軸31之一端之第1支軸33與第2旋轉驅動源38之旋轉軸39連結，設於另一端之第2支軸42則為設於第2上部可動體23之一對支持滾子45之凸狀曲面46以點接觸狀態所支持。

因此，支持各刷軸31之一端之第1支軸33與另一端之第2支軸42之位置即便在水平方向或垂直方向上發生偏移，因以一對支持滾子45之凸狀曲面46以點接觸狀態支持第2支軸42，故上述第2支軸42可對應偏移而移位，以吸收偏移之影響。

即，第2支軸42以與一對支持滾子45之凸狀曲面46之接觸點為支點而為之所支持，並可對水平方向及垂直方向分別進行搖動。因此，指示各刷軸31之一端之第1支軸33與另一端之第2支軸42之位置即便發生偏移，其偏移亦可由第2支軸42之搖動移位所吸收，故第1、第2支軸33、42及連結有該等支軸33、42之各軋輥刷14、15之刷軸31將不致承受應力。

故而，各軋輥刷14、15即便長時間進行旋轉驅動，亦無因應力而使刷軸31及第1、第2支軸33、42發生破裂，或由上述破裂部分開始斷裂之虞，且可避免支持第1支軸33之徑向軸承28提早受損。

支持上述上部軋輥刷14之刷軸31之一端之第1支軸33之第1上部可動體21，以及支持下部軋輥刷15之刷軸31之一端之第1支軸33之第1下部可動體22，若沿行導引構件18之 線型導軌19而上下移動，則其上下移動將經動力傳達機構64而使支持各軋輥刷14、15之刷軸31之另一端所連結之第1支軸33並使其呈可旋轉之狀態之第2上部可動體23與第2下部可動體24進行連動。

藉此，設於上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之刷軸31之一端與另一端之第1支軸33與第2支軸42，即可分別朝上下方向驅動相同距離程度，故可使上部軋輥刷14與下部軋輥刷15水平地上下移動。

亦即，調整上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之間隔時，由於該等軋輥刷14、15可水平地上下移動，故可在軸向全長上將上述間隔設定成均一。即，可使上部軋輥刷14與下部軋輥刷15平行地上下移動。

上述上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之上下驅動，係分別藉上部上下用驅動源65與下部上下用驅動源66旋轉驅動一對第1、第2旋轉凸輪體68、81。其次，藉於下端設有卡合於上述第1、第2旋轉凸輪體68、81之凸輪面72之凸輪從動件76之第1驅動構件75與第2驅動構件83，將其旋轉改換為上下移動，再將其上下移動傳達至第1上部可動體21與第1下部可動體22及第1、第2下部可動體22、24。

上述第1、第2旋轉凸輪體68、81之凸輪面72係由凹部71所形成，上述凸輪從動件76則置入於上述凹部71內而與上述凸輪面72卡合。其次，沿行凹部71之徑向之大小與凸輪從動件76之外徑大小，係設定成大致相同，故可確實維持凸輪從動件76與凸輪面72之接觸狀態。

即，使基板W通過上部軋輥刷14與下部軋輥刷15間而進行洗淨時，即便發生上推上部軋輥刷14或下部軋輥刷15，尤其是發生上推上部軋輥刷14之力時，亦不致使凸輪從動件76因該力而自凸輪面72上移，而使第1、第2上部可動體21、23(即上部軋輥刷14)朝上方位移。

藉此，上部軋輥刷14與下部軋輥刷15之間隔可常保固定，故可藉該等軋輥刷14、15而確實進行基板W之洗淨。

各軋輥刷14、15於刷軸31之一端連結第1支軸33並使其呈可分解之狀態，並於另一端連結第2支軸42並使其呈可分解之狀態，以徑向軸承28支持該等第1支軸33並使其呈可旋轉之狀態，亦以支持滾子45支持第2支軸42並使其呈可旋轉之狀態。

受支持而呈可旋轉之狀態之第1、第2支軸33、42將因長期使用而受損，故構成損壞時可更換之可分解構造。其次，若對刷軸31構成可與第1、第2支軸33、42分解自如之構造，則可能於其連接部分增大對各軋輥刷14、15造成之振動。

然而，上述第1、第2支軸33、42與刷軸31之連結構造係於支軸33、42設置凸緣52，並使該凸緣52與上述刷軸31之端面接觸，而藉螺桿軸51進行結合。此外，並於凸緣52形成凸部54，而於刷軸31之端面上形成有可與上述凸部54嵌合之凹部55。

亦即，刷軸31與支軸33、42之凸緣52，係藉螺桿軸51及凸部54與凹部55之嵌合而對與徑向垂直之方向之軸向進 行結合，故洗淨基板W時，即便對各軋輥刷14、15造成徑向之振動，亦可防止該振動因刷軸31與支軸33、42在軸向上連結之結合部分而增大。

上述一實施例中，雖藉壓制滾子而防止為一對支持滾子所支持之第2支軸自支持滾子45上移，但因軋輥刷將因增長而增重，故即便不設壓制滾子，亦可藉其重量防止上移。

1‧‧‧處理槽

2‧‧‧搬送滾子

3‧‧‧搬送機構

4‧‧‧搬入口

5‧‧‧搬出口

6‧‧‧外罩

7‧‧‧開口部

8‧‧‧排液管

9‧‧‧廢液槽

11‧‧‧刷子單元

12‧‧‧第1支持體

13‧‧‧第2支持體

14‧‧‧上部軋輥刷

15‧‧‧下部軋輥刷

17‧‧‧底板

17a‧‧‧開口部

18‧‧‧導引構件

19‧‧‧線型導軌

21‧‧‧第1上部可動體

22‧‧‧第1下部可動體

23‧‧‧第2上部可動體

24‧‧‧第2下部可動體

25‧‧‧滑動部

26‧‧‧安裝板

28‧‧‧徑向軸承

29‧‧‧外罩

31‧‧‧刷軸

32‧‧‧接合部

33‧‧‧第1支軸

34‧‧‧刷部

35‧‧‧第1旋轉驅動源

36‧‧‧旋轉軸

37‧‧‧接合部

38‧‧‧第2旋轉驅動源

39‧‧‧旋轉軸

41‧‧‧接合部

42‧‧‧第2支軸

43‧‧‧安裝構件

44‧‧‧安裝軸

45‧‧‧支持滾子

46‧‧‧凸狀曲面

48‧‧‧橫構件

49‧‧‧壓制滾子

51‧‧‧螺桿軸

52‧‧‧凸緣

53‧‧‧通孔

54‧‧‧凸部

55‧‧‧凹部

56‧‧‧螺孔

57‧‧‧連結螺桿

58‧‧‧卸除用夾具

59‧‧‧吊昇軸

61‧‧‧鉤部

63‧‧‧上下驅動機構

64‧‧‧動力傳達機構

65‧‧‧上部上下用驅動源

66‧‧‧下部上下用驅動源

65a、66a‧‧‧旋轉軸

67‧‧‧第1凸輪軸

68‧‧‧第1旋轉凸輪體

69‧‧‧盤狀體

70‧‧‧軸承構件

71‧‧‧凹部

72‧‧‧凸輪面

73‧‧‧凸輪部

75‧‧‧第1驅動構件

76‧‧‧凸輪從動件

77‧‧‧接合部

78‧‧‧連動軸

79‧‧‧第2凸輪軸

80‧‧‧接合部

81‧‧‧第2旋轉凸輪體

82‧‧‧軸承構件

83‧‧‧第2驅動構件

84‧‧‧凸輪從動件

86‧‧‧驅動旋轉齒輪

87‧‧‧從動旋轉齒輪

88‧‧‧支軸

89‧‧‧角度檢知圓板

90‧‧‧檢知感測器

91‧‧‧下部外罩

92‧‧‧上部外罩

93‧‧‧噴嘴體

94‧‧‧阻液構件

W‧‧‧基板

第1圖係裝設有代表本發明一實施例之刷子單元之刷子洗淨裝置之縱截面圖。

第2圖係刷子洗淨裝置之概略構造圖。

第3圖係由斜上方觀察刷子單元之立體圖。

第4圖係由斜下方觀察刷子單元之立體圖。

第5圖係由斜下方觀察由一對支持體卸下外罩後之刷子單元之立體圖。

第6圖係顯示連結於一對軋輥刷之刷軸之一端之第1支軸之支持構造之立體圖。

第7圖係顯示連結於一對軋輥刷之刷軸之另一端之第2支軸之支持構造之立體圖。

第8圖係顯示可上下驅動設於第1支持體之第1上部可動體與第1下部可動體之上下驅動機構之立體圖。

第9圖係放大顯示上下驅動機構之立體圖。

第10圖係第2支持體之設有第2旋轉凸輪體之部分之放大立體圖。

第11圖係顯示第1、第2旋轉凸輪體之正面圖。

第12圖係顯示刷軸與支持軸之連結構造者。

第13圖係可支持第2支軸之支持滾子之截面圖。

第14圖係使用卸除用夾具而卸除上部軋輥刷時之立體圖。

第15圖係顯示於刷軸之一端卡合有卸除用夾具之鉤部之狀態之立體圖。

第16圖係顯示於刷軸之另一端卡合有卸除用夾具之鉤部之狀態之立體圖。

13‧‧‧第2支持體

14‧‧‧上部軋輥刷

15‧‧‧下部軋輥刷

18‧‧‧導引構件

19‧‧‧線型導軌

23‧‧‧第2上部可動體

24‧‧‧第2下部可動體

25‧‧‧滑動部

26‧‧‧安裝板

31‧‧‧刷軸

32‧‧‧接合部

34‧‧‧刷部

42‧‧‧第2支軸

43‧‧‧安裝構件

44‧‧‧安裝軸

45‧‧‧支持滾子

46‧‧‧凸狀曲面

48‧‧‧橫構件

49‧‧‧壓制滾子

51‧‧‧螺桿軸

83‧‧‧第2驅動構件

94‧‧‧阻液構件

Claims (5)

1. 一種刷子洗淨裝置，係具有於刷軸設有刷部之一對軋輥刷，且使朝預定方向搬送之基板通過前述一對軋輥刷間，加以洗淨者，該刷子洗淨裝置包含有：徑向軸承，係支持上述刷軸之一端部，使其可旋轉者；旋轉驅動源，係連結於上述徑向軸承所支持而可旋轉之上述刷軸之一端部，且旋轉驅動該刷軸者；及一對支持滾子，係外周面形成凸狀之曲面，且藉前述曲面以點接觸狀態支持上述刷軸之另一端部之外周面，使其可旋轉者。
2. 如申請專利範圍第1項之刷子洗淨裝置，其中支持一對軋輥刷之刷軸之一端部並使其可旋轉之徑向軸承分別設於第1可動體，而一對第1可動體設置成可藉第1導引機構而朝上下方向移動，且支持上述刷軸之另一端部並使其可旋轉之一對支持滾子分別設於第2可動體，而一對第2可動體設置成可藉第2導引機構而朝上下方向移動，又，前述一對第1可動體係構造成可分別藉上下驅動機構而朝沿上述第1導引機構之上下方向驅動，且對應各第1可動體之各第2可動體沿上述第2導引機構之上下移動係分別藉動力傳達機構而與各第1可動體之上下移動連動。
3. 如申請專利範圍第2項之刷子洗淨裝置，其中前述動力 傳達機構包含有：連動軸，係軸線配置成與上述軋輥刷之軸線平行者；連動用驅動源，係旋轉驅動前述連動軸者；第l旋轉凸輪體，係設於前述連動軸之對應於前述軋輥刷之刷軸一端部之部分者；第2旋轉凸輪體，係設於前述連動軸之對應於前述軋輥刷之刷軸另一端部之部分者；及一對驅動構件，係於下端設有與形成於前述第1旋轉凸輪體與第2旋轉凸輪體之凸輪面分別抵接之凸輪從動件，上端則分別連結前述第1可動體及第2可動體，且藉由前述連動用驅動源一同旋轉驅動前述各旋轉凸輪體與前述連動軸而上下移動者。
4. 如申請專利範圍第3項之刷子洗淨裝置，其中前述旋轉凸輪體具有盤狀體，且該盤狀體之一側面形成有藉凹部而於外周面形成前述凸輪面之凸輪部。
5. 如申請專利範圍第1項之刷子洗淨裝置，其中前述刷軸之至少連結前述旋轉驅動源之一端，藉接合部可分解地連結支軸，前述接合部具有與設於前述支軸之末端之前述刷軸相同直徑之凸緣，且該凸緣構造成可藉結合機構而裝設固定於前述刷軸之端面，又，前述凸緣之端面及供前述凸緣裝設固定之前述刷軸之端面之其中任一者形成有凸部，且其中另一者形成有與前述凸部嵌合之凹部。