TWI408389B - The use of multi-strobe test is the test of the test apparatus and test method - Google Patents

Description

利用多重選通之試驗被試驗裝置之試驗裝置及試驗方法

本發明係有關於一種試驗裝置及試驗方法。

作為半導體試驗裝置，已知有一種裝置，其測定被試驗元件響應試驗信號而輸出之響應信號的眼狀開口部(eye opening)(以下，稱作資料窗口)的寬度(以下，稱作資料寬度)(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1 WO2007/091413號

半導體試驗裝置，根據資料寬度是否處於特定範圍內，來判定被試驗元件的良否。半導體試驗裝置，產生資料寬度的測定中所用的選通信號，並基於選通信號來分別檢測響應信號的前緣及後緣。由響應信號的前緣及後緣的時序差，能夠檢測資料寬度。

但是，先前的資料寬度檢測法中，係在不同的試驗週期內檢測響應信號的前緣及後緣，因此無法效率良好地檢測響應信號的資料寬度。該問題，隨著近年來被試驗元件的接腳(pin)數的增加而變得顯著。

因此，於本說明書中所包含之技術革新(innovation)的1個側面中，目的在於提供一種能夠解決上述課題之試驗裝置及試驗方法。該目的可藉由申請專利範圍的獨立項所記載之特徵的組合而達成。又，附屬項規定本發明更有利的具體例。

亦即，若根據本說明書中所包含之技術革新相關之一側面之裝置的一例(exemplary)，提供一種試驗裝置，其包括：多重選通產生部，其在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測部，其對應於各個選通，檢測被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測部，其基於資料檢測部所輸出的邏輯值的各變化點，檢測用以表示響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度。

又，若根據本說明書中所包含的技術革新相關的一側面之方法的一例(exemplary)，提供一種試驗方法，其包括：多重選通產生階段，其在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測階段，其對應於各個選通，檢測被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測階段，其基於在資料檢測階段中檢測出來的邏輯值的各變化點，檢測用以表示響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度。

再者，上述發明概要並未列舉本發明的所有必要特徵，該等特徵群的次組合亦可成為發明。

以下，藉由發明的實施形態來說明本發明的(一)側面，然而以下的實施形態並非對關於申請專利範圍之發明作出限制，又，發明的解決手段不一定必需包含實施形態中所說明的特徵的所有組合。

第1圖係表示關於本實施形態的試驗裝置100的構成。於本圖中，試驗裝置100，對半導體電路等被試驗元件200進行試驗。試驗裝置100，可與被試驗元件200的複數個接腳(pin)相連接。試驗裝置100，對被試驗元件200供給試驗信號101。被試驗元件200，對應於試驗信號101，而輸出響應信號102。試驗信號101，例如可為具有預定的邏輯圖案之信號或時脈信號等。

試驗裝置100，具有複數個試驗功能部(在本例中，是試驗功能部20、試驗功能部40、試驗功能部60)、控制部70、位準比較器80、多重選通產生部(多觸發產生部)82、期待值產生部83、及元件窗口判定部84。試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60，分別連接於被試驗元件200的不同的輸出接腳(插腳)。試驗裝置100，可具有對應於被試驗元件200的接腳數之數量之試驗功能部。

試驗功能部20，具有資料檢測部22、選擇部24、及資料寬度檢測部25。資料寬度檢測部25，具有窗口逐次判定部26、及窗口蓄積判定部28。試驗功能部40及試驗功能部60，可分別具有與試驗功能部20相同的構成。

位準比較器80，將自被試驗元件200所接收之響應信號102的信號位準，與預定的臨界值進行比較。位準比較器80，可將響應信號102的信號位準，與相對較高電壓的臨界值VH及相對較低電壓的臨界值VL分別進行比較。位準比較器80，可針對每個臨界值而生成表示響應信號102的信號位準與臨界值的比較結果之邏輯資料，並輸出至資料檢測部22。

例如，位準比較器80，輸出邏輯信號103，該邏輯信號103在響應信號102的信號位準大於臨界值VH時，表示通過(邏輯值0)，在小於臨界值VH時表示失敗(邏輯值1)。又，位準比較器80，輸出邏輯信號104，該邏輯信號104，在響應信號102的信號位準小於臨界值VL時表示通過(邏輯值0)，在大於臨界值VL時表示失敗(邏輯值1)。

試驗裝置100，可具有對應於被試驗元件200的各個接腳之複數個位準比較器80。各個位準比較器80，可向對應的試驗功能部的資料檢測部22，輸出邏輯信號103及邏輯信號104。

多重選通(multistrobe)產生部82，在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通信號之多重選通信號105。例如，多重選通產生部82，可產生包含等間隔的複數個選通信號之多重選通信號105。

多重選通產生部82，能夠以複數個選通信號，遍及比響應信號102的週期更長的期間而配置的方式，來產生各個多重選通信號105。例如，將多重選通信號105中所含的複數個選通信號的間隔乘以選通信號的數量所得的時間，可為比響應信號102的週期更長的時間。再者，也能夠藉由被試驗元件200的響應信號102的週期變短，使得多重選通的期間比響應信號102的週期更長。更具體而言，當響應信號102的週期為試驗週期的1/2時，多重選通產生部82，可遍及長於試驗週期的1/2且短於試驗週期之期間，而生成多重選通信號105。

又，多重選通產生部82，亦可在響應信號102的週期短於預定的時間之場合，以遍及比響應信號102的週期更長的期間而配置的方式，產生各個多重選通信號105。例如，多重選通產生部82，亦可對應於響應信號102的頻率變化，來切換多重選通信號105是否遍及比響應信號102的週期更長的期間而配置。

期待值產生部83，將自被試驗元件200所接收的響應信號102的邏輯值的期待值108，對選擇部24輸出。期待值產生部83，可輸出與試驗信號101對應的期待值108。

資料檢測部22，對應於各個選通信號，來檢測被試驗元件200所輸出的響應信號102的邏輯值。資料檢測部22，可藉由多重選通產生部82所輸出的多重選通信號105，來對邏輯信號103及邏輯信號104進行鎖存，以生成分別對應的邏輯資料106及邏輯資料107。資料檢測部22，將邏輯資料106及邏輯資料107輸出至選擇部24。

選擇部24，基於期待值產生部83所輸出的期待值108，選擇邏輯資料106及邏輯資料107的任一者。選擇部24，將所選擇的任一種邏輯資料，作為選擇資料109而輸出至資料寬度檢測部25。

例如，在期待值108為「1」之場合，選擇部24，可選擇與高電壓的臨界值VH對應的邏輯資料106。在期待值108為「0」之場合，選擇部24，可選擇與低電壓的臨界值VL對應的邏輯資料107。在選擇資料109為「0」之場合，則表示響應信號102的邏輯值與期待值108一致的「通過」狀態，在選擇資料109為「1」之場合，則表示響應信號102的邏輯值與期待值108不一致的「失敗」狀態。

資料寬度檢測部25，基於資料檢測部22所輸出的邏輯值的各變化點，檢測用以表示響應信號102的邏輯值與預定的期待值108一致的期間之資料寬度。資料寬度檢測部25，可基於在1個多重選通信號105中檢測出來的所有變化點，而在該多重選通信號的期間，檢測出用以表示響應信號102的邏輯值與預定的期待值108一致的期間之資料寬度。資料寬度檢測部25，可基於選擇部24所輸出的選擇資料109的各變化點，來檢測資料寬度。

資料寬度檢測部25，在1個多重選通信號105中，檢測到響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點、及響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之場合，則基於第1變化點及第2變化點的各位置，來檢測資料寬度。例如，資料寬度檢測部25，可基於自選擇部24所接收的選擇資料109自「1」變為「0」之第1變化點、及自「0」變為「1」之第2變化點的位置，來檢測資料寬度。

更具體而言，資料寬度檢測部25，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之後，檢測到響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化的第2變化點之場合，可基於第1變化點及第2變化點的相對位置差，來檢測資料寬度。例如，資料寬度檢測部25，可藉由計數器來檢測第1變化點及第2變化點的相對相位差，藉此來檢測資料寬度。

窗口逐次判定部26，將窗口逐次判定結果110輸出至控制部70，該窗口逐次判定結果110表示在每一個多重選通信號105中檢測出來的資料寬度是否處於預定的容許範圍內。具體而言，窗口逐次判定部26，基於自選擇部24所接收的選擇資料109自「1」變為「0」之第1變化點、及自「0」變為「1」之第2變化點，來檢測響應信號102的資料寬度。窗口逐次判定部26，可基於控制部70所輸出的資料寬度基準值112，來判定響應信號102的資料寬度是否處於容許範圍內。

窗口蓄積判定部28，輸出窗口蓄積判定結果114，該窗口蓄積判定結果114表示在複數個多重選通信號105中檢測出來的各個第1變化點當中相位最遲者與各個第2變化點當中相位最早者的相對相位差，是否處於預定的容許範圍內。窗口蓄積判定部28，可將自選擇部24所接收的選擇資料109，與複數個多重選通信號105所包含的相位不同之複數個選通信號，分別相關聯(相對應)而蓄積。又，窗口蓄積判定部28，可基於所蓄積的比較結果，來檢測第1變化點當中相位最遲的變化點的相位、與第2變化點當中相位最早的變化點的相位。

窗口蓄積判定部28，對於相位不同的各個多重選通信號105，可將選擇資料109蓄積於不同位址的記憶體中。又，窗口蓄積判定部28，可基於控制部70所輸出之資料寬度基準值112，來判定響應信號102的資料寬度是否處於容許範圍內。

試驗裝置100，可對被試驗元件200的複數個接腳並行地進行試驗。元件窗口判定部84，基於各個試驗功能部所具有的資料寬度檢測部25的判定結果，來判定被試驗元件200的良否。具體而言，元件窗口判定部84，自試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所具有的各個窗口蓄積判定部28，獲取對各個接腳之窗口蓄積判定結果114。

元件窗口判定部84，在試驗功能部20、試驗功能部40、或試驗功能部60的任一者所輸出的判定結果，表示處於資料寬度基準值112的範圍之外之場合，則可判定被試驗元件200為不良。元件窗口判定部84，可將判定結果通知給控制部70。

第2圖係表示檢測響應信號102的資料寬度之方法的一例。本例的檢測方法，係分別使用各別的多重選通，來檢測響應信號102的上升變化點(前緣)及下降變化點(後緣)。本圖中之響應信號102的頻率為1 Gbps，相當於響應信號102的1週期之資料寬度為1000 ps。相對於此，多重選通產生部82，在響應信號102的上升變化點周邊、及響應信號102的下降變化點周邊，分別遍及600 ps的期間而輸出多重選通信號105。

多重選通產生部82，在檢測響應信號102的上升變化點時，可在比預料響應信號102上升之時序更早之時序中，開始多重選通信號105的輸出。又，多重選通產生部82，在檢測響應信號102的下降時序時，可在比預料響應信號102下降之時序更早之時序中，開始多重選通信號105的輸出。

第3圖係表示在響應信號102的頻率變高且多重選通產生部82所產生之多重選通信號105的輸出期間長於資料寬度時，響應信號102與多重選通信號105的關係。與第2圖的情況同樣地，多重選通產生部82，在檢測響應信號102的上升變化點之場合，自響應信號102的上升時序的跟前，遍及600 ps而輸出多重選通信號105。又，多重選通產生部82，在檢測響應信號102的下降變化點時，自響應信號102的下降時序的跟前，遍及600 ps而輸出多重選通信號105。

然而，由於在第3圖中，響應信號102的頻率高於第2圖中之響應信號102的頻率，因此，多重選通產生部82，遍及比響應信號102的資料寬度長之期間而輸出多重選通信號105。其結果，在1個多重選通信號105的期間內，有時包含響應信號102的上升變化點及下降變化點這兩者。此時，如第2圖中所說明，若在2個變化點的檢測中，使用分別不同之複數個多重選通信號105，則將會實施兩次同等之測定，從而導致試驗的效率下降。因此，試驗裝置100，在1個多重選通信號105的期間內包含2個變化點時，較佳為使用1個多重選通信號105，來檢測響應信號102的2個變化點。

第4圖係表示在藉由1個多重選通信號105來檢測響應信號102的2個變化點時，響應信號102與多重選通信號105的關係。多重選通產生部82，自響應信號102的第1資料變化點的跟前，開始多重選通信號105的輸出，並且持續多重選通信號105的輸出，直至響應信號102的第2資料變化點之後為止。試驗裝置100，藉由使用1個多重選通信號105來檢測響應信號102的2個變化點，可縮短資料寬度的測定時間。

第5圖係表示資料寬度的檢測方法的詳細。被試驗元件200所輸出之響應信號102，其值係響應於試驗裝置100對被試驗元件200輸出的試驗信號101而發生變化。但是，因雜訊等的影響，響應信號102的變化點會產生抖動。試驗裝置100，可檢測相當於未產生抖動的期間之資料窗口的資料寬度，並且基於資料寬度的長度，來判定被試驗元件200的良否。

於本實施形態中，資料寬度的測定中所用的多重選通信號105，具有相位分別不同之16個選通信號。多重選通產生部82，在響應信號102的第1變化點的跟前的時序中，輸出第1相位之選通信號。多重選通產生部82緊跟著第1相位之選通信號，以固定間隔，依序生成複數個選通信號。多重選通產生部82，在響應信號102的值發生變化之第2時序之後，生成第16相位的選通信號。

選擇部24，基於期待值108的值，選擇邏輯資料106及邏輯資料107當中的其中一者，並將選擇資料109輸出至資料寬度檢測部25。在位準比較器80的輸出值與期待值108一致之場合，則選擇資料109表示通過(邏輯值0)，在位準比較器80的輸出值與期待值108不一致之場合，則選擇資料109表示失敗(邏輯值1)。

例如，在第5圖中之第1次測定中，在多重選通信號105的第1相位至第3相位中，響應信號102的邏輯值與期待值108不一致，因此，選擇部24輸出「1」。在多重選通信號105的第4相位至第12相位中，響應信號102的邏輯值與期待值108一致，因此，選擇部24輸出「0」。同樣地，選擇部24，在多重選通信號105的第13相位至第16相位中，輸出「1」。

窗口逐次判定部26，獲取選擇部24所輸出的選擇資料109。窗口逐次判定部26，檢測到在第4相位中選擇資料109自「1」變為「0」，並且在第13相位中選擇資料109自「0」變為「1」之情況。其結果，窗口逐次判定部26，檢測到資料寬度為相當於選通間隔Ts的9倍9Ts之長度。

窗口逐次判定部26，自控制部70接收資料寬度基準值112。窗口逐次判定部26，將檢測出來的資料寬度的值與資料寬度基準值112進行比較，來判定被試驗元件200的對應之接腳的良否。例如，當資料寬度基準值112表示「5Ts以上、10Ts以下」時，相當於多重選通信號105的9Ts之長度，滿足資料寬度基準值112所示之條件。因此，此時，窗口逐次判定部26，可判定被試驗元件200的對應之接腳為正常，並將判定結果對控制部70輸出。

試驗裝置100，使用複數個多重選通信號105，實施複數次響應信號102的測定，藉此可提高測定精度。由於被試驗元件200輸出響應信號102之時序會發生變動，因此選擇部24所輸出之選擇資料109，在每次測定時會發生變動。例如，在第5圖中之第2次測定中，選擇部24，在第5相位至第14相位之間，輸出「0」來作為選擇資料109。而在第3次測定中，選擇部24，在第2相位至第11相位之間，輸出「0」。

窗口蓄積判定部28，在複數個多重選通信號105的產生期間，可將選擇部24所輸出的選擇資料109，與多重選通信號105所包含的選通信號的各個相位相關聯而記憶。進而，窗口蓄積判定部28，可基於選擇部24所輸出的選擇資料109，來檢測資料窗口的前緣相位及後緣相位。

窗口蓄積判定部28，在檢測資料窗口的前緣相位之場合，則選擇在複數次測定結果當中，選擇部24所輸出之選擇資料109自「0」變為「1」之相位當中最早的相位。例如，在第5圖中，在第3次測定中，選擇資料109自「0」變為「1」之第12相位，為最早的相位。因此，窗口蓄積判定部28，檢測出選擇資料109自「0」變為「1」之相位之跟前一個相位即第11相位為後緣相位。

窗口蓄積判定部28，基於檢測出來的前緣相位及後緣相位的值，來檢測資料寬度。窗口蓄積判定部28，可藉由將檢測出來的資料寬度與資料寬度基準值112進行比較，來判定對應之接腳的良否。

窗口蓄積判定部28，將接腳的良否判定結果對元件窗口判定部84輸出。元件窗口判定部84，自試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60，獲取對分別對應之被試驗元件200的接腳之判定結果。元件窗口判定部84，可基於所獲取的判定結果，來判定被試驗元件200的良否。

第6圖係表示基於資料寬度的測定結果，來判定被試驗元件200為良品之方法。接腳1所輸出的響應信號102中的資料窗口的前緣相位為第5相位，後緣相位為第11相位。接腳2之前緣相位為第6相位，後緣相位為第11相位。接腳3之前緣相位為第4相位，後緣相位為第10相位。

相當於前緣相位與後緣相位的相位差之資料寬度，分別為6Ts、5Ts、及6Ts，處於所有資料寬度基準值112所示的5Ts至10Ts之範圍內。由於所有接腳的資料寬度測定值處於基準範圍內，因此，元件窗口判定部84判定被試驗元件200為良品。

第7圖係表示基於資料寬度的測定結果，來判定被試驗元件200為不良品之方法。於本圖中，接腳2之前緣相位為第6相位，後緣相位為第10相位。因而，接腳2的資料寬度為4Ts，不處於基準範圍內。因此，元件窗口判定部84，判定被試驗元件200為不良品。元件窗口判定部84，可將判定結果116輸出至控制部70。

於以上的說明中，窗口蓄積判定部28，判定被試驗元件200的各個接腳的良否，並且將窗口蓄積判定結果114輸出至元件窗口判定部84。然而，窗口蓄積判定部28，亦可將檢測出來的資料寬度的值，輸出至元件窗口判定部84。元件窗口判定部84，亦可基於各個試驗功能部所具有的窗口蓄積判定部28所輸出的資料寬度的值、及控制部70所輸出的資料寬度基準值112，來判定被試驗元件200的良否。

如上所述，試驗裝置100，藉由將對應於複數個多重選通信號105中所含的複數個選通信號的相位之選擇資料109加以蓄積，可高精度地檢測響應信號102的資料寬度。進而，試驗裝置100，藉由並行地實施被試驗元件200的接腳的試驗，可於短時間判定被試驗元件200的良否。

第8圖係表示關於其他實施形態之響應信號102與多重選通信號105的關係。在第8圖中，在多重選通產生部82產生多重選通信號105之期間內，不包含響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點。因此，多重選通產生部82，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之後，未檢測到響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之場合，則亦可調整多重選通信號105的位置，直至在響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之後，檢測到響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點為止。例如，多重選通產生部82，亦可將多重選通信號105的位置，調整為第8圖的位置調整後選通信號所示的位置。

進而，資料寬度檢測部25，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之後，未檢測到響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之場合，則可基於第1變化點直至多重選通信號105的終點為止的期間，來檢測資料寬度。例如，當多重選通信號105處於第8圖所示的位置調整前選通信號的位置之場合，則資料寬度檢測部25，可將第1變化點與位置調整前選通信號所含的最後的相位的選通信號之間，設為資料寬度。

又，多重選通產生部82，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之後，未檢測到響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之場合，則能夠以資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度處於預定的容許範圍之外為條件，延後多重選通信號105的相位。例如，當多重選通信號105處於第8圖的位置調整前選通信號所示的位置時，在資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度不處於資料寬度基準值112的範圍內之情況下，多重選通產生部82，可延後多重選通信號105的相位，以變更為位置調整後選通信號所示的位置。

多重選通產生部82，在資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度處於資料寬度基準值112的範圍內之場合，則可不變更多重選通信號105的相位。多重選通產生部82，可基於窗口逐次判定部26之判定結果，來判斷是否變更多重選通信號105的相位。又，多重選通產生部82，可基於控制部70的控制，來判斷是否變更多重選通信號105的相位。

第9圖係表示關於其他實施形態之響應信號102與多重選通信號105的關係。資料寬度檢測部25，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之前，未檢測到響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之場合，則可基於多重選通信號105的始點直至第2變化點為止的期間，來檢測資料寬度。例如，當多重選通信號105處於第9圖的位置調整前選通信號所示的位置時，資料寬度檢測部25，可將位置調整前選通信號所含的最初的相位的選通信號與第2變化點之間，設為資料寬度。

又，多重選通產生部82，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之前，未檢測到響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點之場合，則以資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度處於預定的容許範圍之外為條件，來提前多重選通信號105的相位。例如，當多重選通信號105處於第9圖的位置調整前選通信號所示的位置時，在資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度不處於資料寬度基準值112的範圍內之情況下，多重選通產生部82，可提前多重選通信號105的相位，以變更為位置調整後選通信號所示的位置。多重選通產生部82，在資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度處於資料寬度基準值112的範圍內之場合，可不變更多重選通信號105的相位。

第10圖係表示關於其他實施形態之響應信號102與多重選通信號105的關係。可能產生下述場合：多重選通產生部82，在1個多重選通信號105中，在響應信號102的邏輯值自期待值108發生變化之第2變化點之後，檢測到響應信號102的邏輯值變為期待值108之第1變化點。在此場合，則多重選通產生部82，可使多重選通信號105的相位發生變化，直至資料寬度檢測部25檢測出來的資料寬度處於預定的容許範圍內為止。多重選通產生部82，可藉由提前多重選通信號105的相位，而變為第10圖的位置調整後選通信號1的位置。又，多重選通產生部82，可藉由延後多重選通信號105的相位，而變為第10圖的位置調整後選通信號2的位置。

第11圖係表示關於其他實施形態之試驗裝置100的構成。於本圖中，試驗裝置100，更具備元件抖動判定部86。又，試驗功能部20，更具有抖動檢測部29。抖動檢測部29，在各個多重選通信號105中，檢測第1變化點或第2變化點的任一個變化點的抖動。

抖動檢測部29，具有輸出抖動逐次判定結果之抖動逐次判定部30，該抖動逐次判定結果，表示在每一個多重選通信號105中檢測出來的抖動是否處於預定的容許範圍內。又，抖動檢測部29，具有輸出抖動蓄積判定結果120之抖動蓄積判定部32，該抖動蓄積判定結果120，表示在複數個多重選通信號105中檢測出來的變化點的相位當中最遲之相位與最早之相位的相對相位差是否處於預定的容許範圍內。控制部70，對抖動逐次判定部30、及抖動蓄積判定部32，輸出抖動量基準值122。進而，控制部70，可將選擇應測定抖動量之選擇資料109的變化點的極性之邊緣選擇信號124，對抖動逐次判定部30及抖動蓄積判定部32輸出。

試驗裝置100，可對被試驗元件200的複數個接腳並行地進行試驗。抖動檢測部29，係針對被試驗元件200的每個接腳所設，試驗裝置100，可具有元件抖動判定部86，其基於各個抖動檢測部29的判定結果，來判定被試驗元件200的良否。即，試驗功能部40及試驗功能部60，既可與試驗功能部20同樣地具有抖動檢測部29，元件抖動判定部86，亦可基於試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所輸出的判定結果，來判定被試驗元件200的良否。

抖動逐次判定部30，獲取選擇部24遍及複數次而測定出來的選擇資料109。抖動逐次判定部30，基於選擇資料109，檢測產生抖動之多重選通信號105的相位範圍。抖動逐次判定部30，在邊緣選擇信號124為「1」時，可測定選擇資料109自「1」變為「0」之時序中之抖動量。又，抖動逐次判定部30，在邊緣選擇信號124為「0」時，可測定選擇資料109自「0」變為「1」之時序中之抖動量。

抖動逐次判定部30，在測定出來的抖動量處於抖動量基準值122所示的範圍內時，將表示測定出來的接腳為正常之抖動蓄積判定結果120，輸出至控制部70。與此相對，抖動逐次判定部30，在測定出來的抖動量不處於抖動量基準值122所示的範圍內時，將表示測定出來的接腳不正常之抖動蓄積判定結果120，輸出至控制部70。

抖動蓄積判定部32，將選擇部24遍及複數次而測定出來的選擇資料109，與多重選通信號105所含之複數個選通信號的相位相關聯(相對應)而蓄積。抖動蓄積判定部32，基於所蓄積之選擇資料109，來檢測抖動量。抖動蓄積判定部32，可基於控制部70所輸出之抖動量基準值122，來判定對應之接腳的抖動量的良否。

元件抖動判定部86，獲取試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所輸出之分別對應的接腳中的抖動蓄積判定結果126。元件抖動判定部86，基於所獲取之各個接腳的抖動蓄積判定結果126，來判定被試驗元件200的良否。元件抖動判定部86，可將判定結果通知給控制部70。

第12圖係表示抖動量的檢測方法。圖中的各信號及選擇資料109，等於第5圖所示的各信號及選擇資料109。抖動蓄積判定部32，基於第12圖所示的選擇資料109，來檢測產生抖動之多重選通信號105的相位範圍的前緣及後緣。

於第12圖中，選擇資料109自「1」變為「0」之下降變化點的時序，在第1次測定至第5次測定中，分別為第4相位、第5相位、第2相位、第4相位、及第5相位。因此，抖動蓄積判定部32，檢測在第2相位至第4相位的範圍內，選擇資料109自「1」變為「0」之情況。即，抖動蓄積判定部32，檢測選擇資料109自「1」變為「0」時的抖動的前緣相位(第12圖內的J1)為第2相位，抖動的後緣相位(第12圖內的J2)為第4相位，因此抖動量為3Ts之情況。

同樣地，選擇資料109自「0」變為「1」之上升變化點的時序，在第1次測定至第5次測定中，分別為第13相位、第15相位、第12相位、第15相位、及第14相位。因此，抖動蓄積判定部32，檢測在第12相位至第15相位的範圍內，選擇資料109自「1」變為「0」之情況。即，抖動蓄積判定部32，檢測選擇資料109自「0」變為「1」時的抖動的前緣相位(第12圖內的J3)為第12相位，抖動的後緣相位(第12圖內的J4)為第15相位，因此抖動量為3Ts之情況。

第13圖係表示基於每個接腳的抖動量的測定結果，來判定被試驗元件200為良品之方法。於接腳1中，下降邊緣之抖動的前緣相位J1及後緣相位J2，分別為第2相位及第4相位，因此，抖動量為3Ts。同樣地，於接腳2及接腳3中，下降邊緣之抖動量，分別為4Ts。與此相對，上升邊緣之抖動量，於接腳1至接腳3中，分別為3Ts、3Ts、及5Ts。

於第13圖中，抖動量基準值122的最小值為1Ts，抖動量基準值122的最大值為4Ts。又，控制部70對抖動蓄積判定部32輸出的邊緣選擇信號124，表示選擇下降邊緣之情況。因此，試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所具有之抖動蓄積判定部32，將接腳1至接腳3之下降邊緣的抖動量，與抖動量基準值122所示之值進行比較。

於第13圖中，接腳1至接腳3之下降邊緣的抖動量，處於抖動量基準值122的範圍內，因此，抖動蓄積判定部32，判定對應之接腳為良品。元件抖動判定部86，基於試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所具有的抖動蓄積判定部32所輸出之抖動蓄積判定結果126，判定被試驗元件200為良品。

第14圖係表示基於每個接腳的抖動量的測定結果，來判定被試驗元件200為不良品之方法。於本圖中，各個接腳之抖動量，係與第13圖之抖動量相等。但是，與第13圖的情況之不同之處在於，邊緣選擇信號124表示選擇上升邊緣之情況。因此，試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所具有之抖動蓄積判定部32，基於上升邊緣的抖動量，來判定對應之接腳的良否。

於上升邊緣中，接腳3的輸出資料的抖動量為5Ts，超過基準抖動量的最大值即4Ts。因而，被連接於接腳3之試驗功能部60所具有的抖動蓄積判定部32，判斷接腳3不正常。元件抖動判定部86，可基於試驗功能部60所具有的抖動蓄積判定部32所輸出之抖動蓄積判定結果126，判定被試驗元件200為不良品。

於以上的說明中，抖動蓄積判定部32，判定被試驗元件200的各個接腳的良否，並且將抖動蓄積判定結果126輸出至元件抖動判定部86。然而，抖動蓄積判定部32，亦可將檢測出來的資料寬度的值輸出至元件抖動判定部86。元件抖動判定部86，亦可基於試驗功能部20、試驗功能部40、及試驗功能部60所具有的抖動蓄積判定部32所輸出的抖動量的值與控制部70所輸出之抖動量基準值122，來判定被試驗元件200的良否。元件抖動判定部86，可將判定結果128輸出至控制部70。

如上所述，試驗裝置100，藉由與複數個多重選通信號105中所含的複數個選通信號的相位相關聯(相對應)地蓄積選擇資料109，可高精度地檢測響應信號102的抖動量。進而，試驗裝置100，藉由並行地實施被試驗元件200的接腳的試驗，可於短時間判定被試驗元件200的良否。

以上，利用實施形態來說明本發明的一側面，但本發明的技術範圍並不限定於上述實施形態所記載的範圍內。熟悉本技術者明白可對上述實施形態施加各種變更或改良。由申請專利範圍之記載可知該施加有各種變更或改良之形態亦可包含於本發明的技術範圍內。

應留意的是，對於申請專利範圍、說明書以及圖式中所示的裝置、系統、程式以及方法中之動作、流程、步驟以及階段等各處理之執行順序，只要未特別明示為「更前」、「之前」等，且只要未將前處理之輸出用於後處理中，則可按任意順序實現。關於申請專利範圍、說明書以及圖示中之動作流程，為方便起見而使用「首先，」、「然後，」等進行說明，但並非意味著必須按該順序實施。

由上述說明可知，若根據本發明的實施形態，能夠實現一種可縮短資料寬度或抖動量的試驗時間之試驗裝置及試驗方法。

20．．．試驗功能部

22．．．資料檢測部

24．．．選擇部

25．．．資料寬度檢測部

26．．．窗口逐次判定部

28．．．窗口蓄積判定部

29．．．抖動檢測部

30．．．抖動逐次判定部

32．．．抖動蓄積判定部

40．．．試驗功能部

60．．．試驗功能部

70．．．控制部

80．．．位準比較器

82．．．多重選通產生部

83．．．期待值產生部

84．．．元件窗口判定部

86．．．元件抖動判定部

100．．．試驗裝置

101．．．試驗信號

102．．．響應信號

103、104．．．邏輯信號

105．．．多重選通信號

106、107．．．邏輯資料

108．．．期待值

109．．．選擇資料

110．．．窗口逐次判定結果

112．．．資料寬度基準值

114．．．窗口蓄積判定結果

116、128．．．判定結果

120．．．抖動蓄積判定結果

122．．．抖動量基準值

124．．．邊緣選擇信號

200．．．被試驗元件

第1圖係表示關於本實施形態之試驗裝置100的構成。

第2圖係表示響應信號102與多重選通信號105的關係。

第3圖係表示在多重選通信號105的期間更長於資料寬度之場合，響應信號102與多重選通信號105的關係。

第4圖係表示在藉由1個多重選通信號105來檢測響應信號102的2個變化點之場合，響應信號102與多重選通信號105的關係。

第5圖係表示資料的檢測及判定方法的詳細。

第6圖係表示基於資料寬度的測定結果，來判定被試驗元件200為良品之方法。

第7圖係表示基於資料寬度的測定結果，來判定被試驗元件200為不良品之方法。

第8圖係表示關於其他實施形態之響應信號102與多重選通信號105的關係。

第9圖係表示關於其他實施形態之響應信號102與多重選通信號105的關係。

第10圖係表示關於其他實施形態之響應信號102與多重選通信號105的關係。

第11圖係表示關於其他實施形態之試驗裝置100的構成。

第12圖係表示抖動量的檢測方法。

第13圖係表示基於每個接腳的抖動量的測定結果，來判定被試驗元件200為良品之方法。

第14圖係表示在邊緣選擇信號124是表示選擇上升邊緣之信號之場合的判定方法。

20．．．試驗功能部

22．．．資料檢測部

24．．．選擇部

25．．．資料寬度檢測部

26．．．窗口逐次判定部

28．．．窗口蓄積判定部

40．．．試驗功能部

60．．．試驗功能部

70．．．控制部

80．．．位準比較器

82．．．多重選通產生部

83．．．期待值產生部

84．．．元件窗口判定部

100．．．試驗裝置

200．．．被試驗元件

Claims (18)

1. 一種試驗裝置，是利用多重選通之試驗被試驗元件之試驗裝置，其具備：多重選通產生部，其在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測部，其對應於各個前述選通，檢測前述被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測部，其基於前述資料檢測部所輸出的邏輯值的各變化點，檢測用以表示前述響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度；並且，前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點、及前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的各位置，來檢測前述資料寬度；前述多重選通產生部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，而未檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則調整前述多重選通的位置，直至在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點為止。
2. 如申請專利範圍第1項所述之試驗裝置，其中前述多重選通產生部，以複數個前述選通遍及比前述 響應信號的週期更長的期間而配置之方式，產生各個前述多重選通。
3. 如申請專利範圍第1項所述之試驗裝置，其中前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的相對位置差，來檢測前述資料寬度。
4. 一種試驗裝置，是利用多重選通之試驗被試驗元件之試驗裝置，其具備：多重選通產生部，其在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測部，其對應於各個前述選通，檢測前述被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測部，其基於前述資料檢測部所輸出的邏輯值的各變化點，檢測用以表示前述響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度；並且，前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點、及前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的各位置，來檢測前述資料寬度；前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點 之前，未檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之場合，則基於自前述多重選通的始點直至前述第2變化點為止的期間，來檢測前述資料寬度。
5. 如申請專利範圍第1項所述之試驗裝置，其中前述多重選通產生部，以複數個前述選通遍及比前述響應信號的週期更長的期間而配置之方式，產生各個前述多重選通。
6. 如申請專利範圍第4項所述之試驗裝置，其中前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，未檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於自前述第1變化點直至前述多重選通的終點為止的期間，來檢測前述資料寬度。
7. 如申請專利範圍第4項所述之試驗裝置，其中前述多重選通產生部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之前，未檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之場合，則以前述資料寬度檢測部檢測出來的前述資料寬度處於預定的容許範圍之外為條件，將前述多重選通的相位提前。
8. 如申請專利範圍第6項所述之試驗裝置，其中前述多重選通產生部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，未檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之 第2變化點之場合，則以前述資料寬度檢測部檢測出來的前述資料寬度處於預定的容許範圍之外為條件，將前述多重選通的相位延後。
9. 如申請專利範圍第6項所述之試驗裝置，其中前述資料寬度檢測部包括：窗口逐次判定部，其輸出窗口逐次判定結果，該窗口逐次判定結果，表示在每一個前述多重選通中檢測出來的前述資料寬度是否處於預定的容許範圍內；以及窗口蓄積判定部，其輸出窗口蓄積判定結果，該窗口蓄積判定結果，表示在複數個前述多重選通中檢測出來的各個前述第1變化點當中相位最遲者與各個前述第2變化點中相位最早者之相對相位差，是否處於預定的容許範圍內。
10. 如申請專利範圍第9項所述之試驗裝置，其中前述試驗裝置，對前述被試驗元件的複數個接腳並行地進行試驗，前述資料寬度檢測部，係針對前述被試驗元件的每個接腳所設，前述試驗裝置，更包括元件窗口判定部，其基於各個前述資料寬度檢測部的判定結果，來判定前述被試驗元件的良否。
11. 一種試驗裝置，是利用多重選通之試驗被試驗元件之試驗裝置，其具備：多重選通產生部，其在每個預定的試驗週期，產生包 含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測部，其對應於各個前述選通，檢測前述被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測部，其基於前述資料檢測部所輸出的邏輯值的各變化點，檢測用以表示前述響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度；並且，前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點、及前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的各位置，來檢測前述資料寬度；前述試驗裝置更包括抖動檢測部，其在各個前述多重選通中，檢測前述第1變化點或前述第2變化點的任一者的變化點的抖動。
12. 如申請專利範圍第11項所述之試驗裝置，其中前述多重選通產生部，以複數個前述選通遍及比前述響應信號的週期更長的期間而配置之方式，產生各個前述多重選通。
13. 如申請專利範圍第11項所述之試驗裝置，其中前述抖動檢測部包括：抖動逐次判定部，其輸出抖動逐次判定結果，該抖動逐次判定結果，表示在每一個前述多重選通中檢測出來的前述抖動，是否處於預定的容許範圍內；以及抖動蓄積判定部，其輸出抖動蓄積判定結果，該抖動 蓄積判定結果，表示在複數個前述多重選通中檢測出來的變化點的相位當中最遲的相位與最早的相位之相對相位差，是否處於預定的容許範圍內。
14. 如申請專利範圍第11項所述之試驗裝置，其中前述試驗裝置，對前述被試驗元件的複數個接腳並行地進行試驗，前述抖動檢測部，係針對前述被試驗元件的每個接腳所設，前述試驗裝置更包括元件抖動判定部，其基於各個前述抖動檢測部的判定結果，來判定前述被試驗元件的良否。
15. 一種試驗方法，是利用多重選通之試驗被試驗元件之試驗方法，其包括：多重選通產生階段，在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測階段，對應於各個前述選通，檢測前述被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測階段，基於在前述資料檢測階段中檢測出來的邏輯值的各變化點，檢測用以表示前述響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度；並且，前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點、及前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的各位置，來檢測前述資料寬度； 前述多重選通產生部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，而未檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則調整前述多重選通的位置，直至在前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點之後，檢測到前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點為止。
16. 一種試驗方法，是利用多重選通之試驗被試驗元件之試驗方法，其包括：多重選通產生階段，在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測階段，對應於各個前述選通，檢測前述被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測階段，基於在前述資料檢測階段中檢測出來的邏輯值的各變化點，檢測用以表示前述響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度；並且，前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點、及前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的各位置，來檢測前述資料寬度；前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，在前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之前，未檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之 第1變化點之場合，則基於自前述多重選通的始點直至前述第2變化點為止的期間，來檢測前述資料寬度。
17. 一種試驗方法，是利用多重選通之試驗被試驗元件之試驗方法，其包括：多重選通產生階段，在每個預定的試驗週期，產生包含以預定的時間間隔而配置的複數個選通之多重選通；資料檢測階段，對應於各個前述選通，檢測前述被試驗元件所輸出的響應信號的邏輯值；以及資料寬度檢測階段，基於在前述資料檢測階段中檢測出來的邏輯值的各變化點，檢測用以表示前述響應信號的邏輯值與預定的期待值一致的期間之資料寬度；並且，前述資料寬度檢測部，在1個前述多重選通中，檢測到前述響應信號的邏輯值變為前述期待值之第1變化點、及前述響應信號的邏輯值自前述期待值發生變化之第2變化點之場合，則基於前述第1變化點及前述第2變化點的各位置，來檢測前述資料寬度；前述試驗裝置更包括抖動檢測部，其在各個前述多重選通中，檢測前述第1變化點或前述第2變化點的任一者的變化點的抖動。
18. 如申請專利範圍第15~17項中任一項所述之試驗裝置，其中前述多重選通產生部，以複數個前述選通遍及比前述響應信號的週期更長的期間而配置之方式，產生各個前述多重選通。