TWI398970B - 發光二極體裝置的製造方法及噴塗設備 - Google Patents

Description

發光二極體裝置的製造方法及噴塗設備

本發明是有關於一種發光二極體裝置的製造方法及噴塗設備，且特別是有關於一種能夠有效提高發光效率與混光效果的發光二極體裝置的製造方法及噴塗設備。

隨著半導體科技的進步，現今的發光二極體已具備了高亮度的輸出，加上發光二極體具有省電、體積小、低電壓驅動以及不含汞等優點，因此發光二極體已廣泛地應用在顯示器與照明方面的領域。一般而言，發光二極體所發出的光線，可藉由螢光材料所激發出不同顏色的色光混光以達到所需的色度，而目前最常見到關於白光的應用。

圖1為習知一種發光二極體裝置的剖面示意圖。請參照圖1，習知的發光二極體裝置100，乃是將螢光粉體122分散於封膠材料124中，之後再以點膠的方式將分散有螢光粉體122的封膠材料124形成在在發光二極體110上。若封膠材料124與螢光粉體122之間的相容性不佳，將螢光粉體122分散於封膠材料124中極易有螢光粉體122在封膠材料124中分佈不均的問題。如此將導致發光二極體裝置100所發出的光線便會發生亮度不均或顏色不均的現象。如果要使螢光粉體122能均勻地分散在封膠材料124中，則必須選擇能夠使螢光粉體122均勻分散的封膠材料124。然而，一般能夠使螢光粉體122均勻分散於其中的封膠材料1247往往透光性與出光效率較不佳。除此之外，即便所選擇的封膠材料124與螢光粉體122的相容性佳，螢光粉體122仍然會在封膠材料124中產生不均勻的沉降，因此會造成發光二極體裝置100的發光效率與光色分布不佳。

有鑑於此，本發明提出一種發光二極體裝置的製造方法，能夠提高發光二極體的發光效率。

本發明又提出一種噴塗設備，能夠製作出發光效率良好的發光二極體裝置。

本發明提出一種發光二極體裝置的製造方法。首先，提供發光二極體。接著，提供至少一種螢光體溶液，此螢光體溶液包括溶劑以及分散於溶劑中的螢光粉體，其中，螢光粉體的粒徑介於5～30微米之間。繼之，將此至少一種螢光體溶液塗佈在發光二極體上。然後，進行固化程序，以使螢光體溶液固化成螢光層。再來，在螢光層上塗佈封膠層，此封膠層包覆住發光二極體及螢光層。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中在發光二極體上塗佈多種螢光體溶液且當固化程序之後，多種螢光體溶液固化成多個螢光圖案，且此多個螢光圖案構成單一膜層。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中在發光二極體上塗佈多種螢光體溶液且當固化程序之後，多種螢光體溶液固化成多層螢光層，且此多層螢光層是垂直堆疊。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，更包括添加分散劑到至少一種螢光體溶液中。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中分散劑具有化學式(1)：

R-A-X----------(1)，

其中R代表有機化合物取代基，A表示矽或金屬原子，且X代表水解性官能基。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中R為芳香族化合物取代基或是脂肪族化合物取代基。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中A所表示的金屬原子為鈦或鋁。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中X包括鹵素或烷氧基。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中X包括矽酸四乙酯(Tetraethyl silicate,TEOS)、矽酸四甲酯(Tetra methyl silicate,TMOS)、甲基三甲氧基矽烷(CH₃ Si(OCH₃ )₃ )或甲基三乙氧基矽烷(CH₃ Si(OCH₂ CH₃ )₃ )。如以鈦為R-A-X的化合物具體例，則例如為四異丙醇鈦、四正丁醇鈦、或單烷氧基三鈦等化合物。如以鋁為R-A-X的化合物具體例，則例如為三異丙醇鋁或三正丁醇鋁等化合物。

在本發明之一實施例中，上述之發光二極體裝置的製造方法，其中封膠層包括樹脂或矽膠。

本發明提出一種噴塗設備，用以在發光二極體表面噴塗螢光層，此噴塗設備包括：攪拌槽、振動槽、第一連通管、緩衝槽、第二連通管、噴塗裝置及第三連通管。攪拌槽中裝有螢光體溶液，此螢光體溶液包括溶劑以及分散於溶劑中的螢光粉體，其中螢光粉體的粒徑介於5～30微米之間。振動槽設置於攪拌槽之一側。第一連通管位於攪拌槽與振動槽之間，且攪拌槽中的螢光體溶液經由第一連通管流向振動槽。緩衝槽設置於振動槽之一側。第二連通管位於振動槽與緩衝槽之間，且振動槽中的螢光體溶液經由第二連通管流向緩衝槽。噴塗裝置設置於緩衝槽之一側。第三連通管位於緩衝槽與噴塗裝置之間，此緩衝槽中的螢光體溶液經由第三連通管流向噴塗裝置，其中，噴塗裝置設置於發光二極體之一側，以將螢光體溶液噴塗至發光二極體表面。

在本發明之一實施例中，上述之噴塗設備，其中攪拌槽設有攪拌棒裝置、氣泡產生裝置或是流體產生裝置。

在本發明之一實施例中，上述之噴塗設備，其中攪拌棒裝置的轉速為500～8000rpm。

在本發明之一實施例中，上述之噴塗設備，其中振動槽裝設有振動棒裝置、底部振動盤或是振動壁。

在本發明之一實施例中，上述之噴塗設備，其中振動槽的振動頻率0.1～100KHz。

在本發明之一實施例中，上述之噴塗設備，其中噴塗裝置包括供應管以及多個噴嘴，而多個噴嘴與供應管連接。

在本發明之一實施例中，上述之噴塗設備，其中噴塗裝置包括多條供應管以及多個噴嘴，而每一噴嘴與對應的一條供應管連接。

基於上述，本發明所提出之發光二極體裝置的製造方法，由於螢光層與封膠材料是分別形成在發光二極體上，因此可選擇具有較高出光效率的封膠材料，以提高發光二極體的發光效率。此外，本發明所提出之噴塗設備，可經由精密的噴塗裝置將螢光粉體均勻地塗佈在發光二極體上，因此能夠製作出發光效率良好的發光二極體裝置。

為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

發光二極體裝置的製造方法

圖2A~2C為本發明之發光二極體裝置的製造方法流程示意圖。首先，提供發光二極體210，如圖2A所示。在本實施例中，發光二極體210例如是放置於一器皿210a內。

接著，請參照圖2B，提供至少一種螢光體溶液220，此螢光體溶液220包括溶劑222以及分散於溶劑222中的螢光粉體224，其中，螢光粉體224的粒徑介於5～30微米之間。並且將此至少一種螢光體溶液220塗佈在發光二極體210上。在本實施例中，螢光體溶液220的塗佈是使用噴墨程序。然後，進行固化程序，以使螢光體溶液220固化成螢光層220L，如圖2C所示。

在上述發光二極體裝置的製造方法中，藉由調整改變發光二極體210上塗佈多種螢光體溶液220以及進行固化程序之步驟可形成多種形式的螢光層220L。例如，可以在發光二極體210上依序進行多種螢光體溶液220的塗佈與固化程序，以形成多個螢光圖案，且此多個螢光圖案構成單一膜層。舉例來說，如圖3A所示，上述多個螢光圖案所構成之單一膜層之螢光層220L’是由紅色螢光圖案R、綠色螢光圖案G及藍色螢光圖案B彼此交錯的方式排列所構成。而圖3A之螢光層220L’的形成方式是先噴塗紅色螢光溶液且進行固化程序以形成紅色螢光圖案R，之後再噴塗綠色螢光溶液且進行固化程序以形成綠色螢光圖案G，之後噴塗藍色螢光溶液且進行固化程序以形成藍色螢光圖案B。當然，本發明不限制所選用的螢光圖案顏色、顏色種類、顏色數目、排列方式以及噴塗的順序，使用者可視實際情況作設計。

除了上述圖3A所示之螢光層之組成之外，根據本發明之另一實施例，如圖3B所示，在發光二極體210上依序進行多種螢光體溶液220的塗佈與固化程序之後，可形成多層形式的螢光層220L”，且此多層形式的螢光層220L”是垂直堆疊。舉例而言，多層形式的螢光層220L”是由紅色螢光圖案R、綠色螢光圖案G及藍色螢光圖案B由下而上依序堆疊而形成。類似地，圖3B之螢光層220L”的形成方式是先噴塗紅色螢光溶液且進行固化程序以形成紅色螢光圖案R，之後再於紅色螢光圖案R上噴塗綠色螢光溶液且進行固化程序以形成綠色螢光圖案G，之後再於綠色螢光圖案G上噴塗藍色螢光溶液且進行固化程序以形成藍色螢光圖案B。但本發明不限制所選用的螢光圖案顏色、顏色種類、顏色數目、堆疊的順序以及噴塗的順序。另外，上述以垂直堆疊方式所形成的多層螢光層220L”，各螢光層除了可以發出不同色光以混光為白光外，此多層形式的螢光層220L”還可防止水氣進入發光二極體210中而具有保護發光二極體210的功效。

值得一提的是，在上述圖2B的步驟中，為了使所提供的螢光體溶液220中的螢光粉體224能均勻地分散在溶劑222中，本發明更可以添加分散劑到上述的螢光體溶液220中。而上述分散劑具有化學式(1)：

R-A-X　----------(1)，

其中R代表有機化合物取代基，A表示矽或金屬原子，且X代表水解性官能基。

更詳細地說，上述化學式(1)中，R例如可為芳香族化合物取代基或是脂肪族化合物取代基；A所表示的金屬原子例如可以是鈦或鋁；而X則代表能夠水解的官能基，如鹵素或烷氧基。舉例來說，上述分散劑R-A-X中的A為矽時，分散劑R-A-X的具體例可為矽酸四乙酯(Tetraethyl silicate,TEOS)、矽酸四甲酯(Tetra methyl silicate,TMOS)、甲基三甲氧基矽烷(CH₃ Si(OCH₃ )₃ )或甲基三乙氧基矽烷(CH₃ Si(OCH₂ CH₃ )₃ )；分散劑R-A-X中的A為鈦時，分散劑R-A-X的具體例可為四異丙醇鈦、四正丁醇鈦、或單烷氧基三鈦；而分散劑R-A-X中的A為鋁時，分散劑R-A-X的化合物具體例則可以是三異丙醇鋁或三正丁醇鋁。

此外，上述螢光體溶液220所使用的溶劑222，其沸點約在攝氏100~200度間。

將上述之分散劑加入螢光體溶液220後，可將此螢光體溶液220塗佈於發光二極體210上，然後經過固化的加熱程序時，會進行下列式(2)的反應：

R-A-X+M→R-A-O-M+XOH-------(2)

其中M表示螢光粉體。換言之，分散劑R-A-X會與螢光粉體M產生鍵結，而使得螢光粉體M的周圍被分散劑所包圍，藉以防止螢光粉體M之間聚集在一起，以達到分散的效果。

另外，若螢光體溶液220中含有水，那麼將上述分散劑加入螢光體溶液220中，還會進行水解反應。舉例來說，使用矽酸四乙酯作為分散劑加入螢光體溶液220後，會進行下列式(3)的水解反應：

Si(OC₂ H₅ )₄ +2H₂ O→SiO₂ +4C₂ H₅ OH--------(3)

上述水解反應所產生的二氧化矽(SiO₂ )層會披覆於螢光粉體224的表面上。換言之，將上述具有螢光粉體224以及矽酸四乙酯(分散劑)的螢光體溶液220塗佈在發光二極體210上以及進行固化程序之後以形成螢光層220L之後，螢光粉體224表面所覆蓋的二氧化矽層可以對螢光粉體產生保護的作用。另外，由於螢光粉體224表面的氧化矽為奈米級，因此螢光粉體224表面的氧化矽還可對光線產生散射的效果。此外，氧化矽與螢光粉體224之間具有良好的黏著效果、且可對螢光粉體224表面產生修飾的效果。

在完成圖2C所示的螢光層220L之固化程序之後，接下來，請繼續參照圖2D，在螢光層220L上塗佈封膠層230，其中封膠層230例如可使用樹脂或矽膠等材料。封膠層230可保護發光二極體210及螢光層220L，使水氣無法進入發光二極體裝置200中，可增加發光二極體裝置200的使用壽命與可靠度。

由於本發明將螢光粉體的塗佈與膠體封裝製程是分開進行，因此在選擇封膠層230的材料時，可以不需要考慮螢光粉體與封膠材料的相容性，因而可直接選擇具有高出光率的封膠材料。

噴塗設備

上述圖2B所示之發光二極體裝置的螢光體溶液之塗佈程序可以利用噴塗程序來完成。圖4為依照本發明一實施例的一種噴塗設備示意圖。

請參照圖4，本發明提出一種噴塗設備300，用以在發光二極體210表面噴塗螢光層，此噴塗設備300包括：攪拌槽310、振動槽320、第一連通管315、緩衝槽330、第二連通管325、噴塗裝置340及第三連通管335。在圖4所繪示的設備300僅繪示出其中一種螢光體溶液的設備為例來說明。若要於發光二極體210表面上噴塗兩種以上的螢光體溶液，那麼將需要兩組以上的與圖4所繪示相同的設備來進行。更詳細而言，倘若要在發光二極體210表面上噴塗紅色、綠色以及藍色三種螢光體溶液，那麼需要三組噴塗設備300，其分別裝有紅色、綠色以及藍色三種螢光體溶液。為了能夠清楚的說明，以下僅以其中一組噴塗設備300來說明組成結構。此領域技術人員可知，若採用多種螢光體溶液，其他的噴塗設備與以下所描述的噴塗設備300相同或相似。

請參照圖4，攪拌槽310中裝有螢光體溶液220，此螢光體溶液220包括溶劑222以及分散於溶劑222中的螢光粉體224(如圖2B所示)，其中螢光粉體224的粒徑介於5～30微米之間。攪拌槽310是用以使螢光體溶液220中的螢光粉體224均勻地分佈在溶劑222中。

在本發明中，攪拌槽310可以是各種的攪拌形式。如圖5A所示，攪拌槽310的設置可使用攪拌棒裝置312，攪拌槽310藉由攪拌棒裝置312的轉動，可使螢光體溶液220中的螢光粉體224均勻地分佈在溶劑222中，而在使用攪拌棒裝置312以使螢光粉體224均勻分佈在溶劑222中時，攪拌棒裝置312的轉速較佳為500～8000rpm。

此外，在本發明的另一實施例中，上述攪拌槽310則可使用如圖5B所示的氣泡產生裝置314，攪拌槽310可透過氣泡產生裝置314所產生的氣泡P使螢光粉體224均勻地分佈在溶劑222中。

而在本發明的又一實施例中，上述攪拌槽310則可使用如圖5C所示的流體產生裝置316，攪拌槽310可利用流體產生裝置316所產生的流體F帶動螢光粉體224均勻地分佈在溶劑222中。

請再繼續參照圖4，振動槽320設置於攪拌槽310之一側。第一連通管315位於攪拌槽310與振動槽320之間，且攪拌槽310中的螢光體溶液220經由第一連通管315流向振動槽320。為了去除螢光溶液220中的氣泡、並使螢光粉體224在溶劑222中的分佈更為均勻，尤其是，為要克服螢光粉體224彼此間因靜電吸附所造成的粉體團聚現象，藉由使螢光體溶液220通過振動槽320可達成上述目的。

在本發明中，振動槽320可以是各種的振動形式。如圖6A所示，振動槽320可以藉由震動棒裝置322以產生振動V，特別是，在本發明之噴塗設備300中，振動槽320的振動頻率較佳為0.1~100KHz。

此外，在本發明的其他實施例中，振動槽320的振動亦可由其他震動裝置所產生，例如圖6B所示的底部振動盤324、或是圖6C所示的振動壁326。然而，上述振動槽320的振動裝置僅為舉例，並非用以限定本發明。

請再繼續參照圖4，緩衝槽330設置於振動槽320之一側。第二連通管325位於振動槽320與緩衝槽330之間，且振動槽320中的螢光體溶液220經由第二連通管325流向緩衝槽330。當螢光體溶液220經過攪拌槽310的攪拌混合以及振動槽320的振動以驅趕氣泡之後，接著將於緩衝槽330中等待噴塗程序的進行。

請再參照圖4，噴塗裝置340設置於緩衝槽330之一側。第三連通管335位於緩衝槽330與噴塗裝置340之間，此緩衝槽330中的螢光體溶液220經由第三連通管335流向噴塗裝置340。噴塗裝置340設置於發光二極體210之一側，以將螢光體溶液220噴塗至發光二極體210的表面。

在本發明中，噴塗裝置340可以是各種的噴塗形式。如圖7A所示，噴塗裝置340包括供應管342以及多個噴嘴346，而多個噴嘴346與供應管342連接。此外，噴塗裝置340還可透過控制閥344精確地控制螢光體溶液220的流量、或對發光二極體210進行噴塗的時間。

而在本發明的另一實施例中，上述的噴塗裝置340還可以如圖7B所示，噴塗裝置340可包括多條供應管342a~c以及多個噴嘴346a~c，而每一噴嘴346a~c與對應的一條供應管342a~c連接。圖7B所示之供應管342a~c以及噴嘴346a~c可以連通至同一個噴塗設備，以使噴嘴346a~c噴出相同的螢光體溶液。

然而，供應管342a~c以及噴嘴346a~c也可以各自連通至不同的螢光體溶液的噴塗設備。舉例來說，可使用供應管342a提供紅色螢光溶液，透過噴嘴346a以及控制閥344a，可在發光二極體210的表面進行紅色螢光層的塗佈；使用供應管342b提供綠色螢光溶液，透過噴嘴346b以及控制閥344b，可在發光二極體的表面進行綠色螢光層的塗佈；至於供應管342c則提供藍色螢光溶液，透過噴嘴346c以及控制閥344c，在發光二極體的表面進行藍色螢光層的塗佈。在此實施例中，每一條供應管(342a、342b或342c)可提供一種不同顏色的螢光溶液，其中，每一種不同的螢光溶液則分別是來自不同的噴塗設備(攪拌槽、震動槽以及緩衝槽)。

此處要說明的是，本發明不限制噴塗裝置340的形式。在其他的實施例中，亦可使用針頭或噴墨頭等不同形狀的噴塗裝置。

此外，上述噴塗設備300還可包括循環系統350，循環系統350透過循環管路345與緩衝槽330相連，循環系統350例如可為汲水幫浦。在緩衝槽330內未被使用的螢光體溶液220，可透過循環系統350而回到攪拌槽310內被使用。

綜上所述，本發明所提出的發光二極體裝置的製造方法，由於將螢光粉體的塗佈與膠體封裝的製造程序分離，因此可不受螢光粉體與封膠材料間相容性的限制，可直接選用具有高出光效率的膠體材料而提升發光二極體裝置整體的發光效率。而本發明所提出的噴塗設備，可精確地控制螢光粉體的塗佈量或塗佈圖案，可用簡單的方式將螢光粉體塗佈於發光二極體上，因而可製作出發光效率良好、且混光效果均勻的發光二極體裝置。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100、200．．．發光二極體裝置

110、210．．．發光二極體

122、224．．．螢光粉體

124．．．封膠材料

220．．．螢光體溶液

222．．．溶劑

220L,220L’,220L”．．．螢光層

230．．．封膠層

R．．．紅色螢光圖案

G．．．綠色螢光圖案

B．．．藍色螢光圖案

300．．．噴塗設備

310．．．攪拌槽

312．．．攪拌棒裝置

314．．．氣泡產生裝置

315．．．第一連通管

316．．．流體產生裝置

320．．．振動槽

322．．．震動棒裝置

324．．．底部振動盤

325．．．第二連通管

326．．．振動壁

330．．．緩衝槽

335．．．第三連通管

340．．．噴塗裝置

342、342a、342b、342c．．．供應管

344．．．控制閥

345．．．循環管路

346、346a、346b、346c．．．噴嘴

350．．．循環系統

P．．．氣泡

F．．．流體

V．．．振動

圖1為習知一種發光二極體裝置的剖面示意圖。

圖2A~2D為本發明之發光二極體裝置的製造方法流程示意圖。

圖3A為本發明的一種螢光層上視示意圖。

圖3B為本發明的另一種螢光層上視示意圖。

圖4為依照本發明一實施例的一種噴塗設備示意圖。

圖5A~5C為不同的攪拌裝置示意圖。

圖6A~6C為不同的震動裝置示意圖。

圖7A~7B各為本發明的一種噴塗裝置340示意圖。

200．．．發光二極體裝置

210．．．發光二極體

220L．．．螢光層

230．．．封膠層

Claims (18)

1. 一種發光二極體裝置的製造方法，包括：提供一發光二極體；提供至少一螢光體溶液，其包括一溶劑以及分散於該溶劑中的螢光粉體，其中所述螢光粉體的粒徑介於5～30微米之間；將該至少一螢光體溶液塗佈在該發光二極體上；進行一固化程序，以使該螢光體溶液固化成一螢光層；以及在該螢光層上塗佈一封膠層，其包覆住該發光二極體及該螢光層。
2. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中在該發光二極體上塗佈多種螢光體溶液且當該固化程序之後，該些螢光體溶液固化成多個螢光圖案，且該些螢光圖案構成單一膜層。
3. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中在該發光二極體上塗佈多種螢光體溶液且當該固化程序之後，該些螢光體溶液固化成多層螢光層，且該些螢光層是垂直堆疊。
4. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體裝置的製造方法，更包括添加一分散劑至該至少一螢光體溶液中。
5. 如申請專利範圍第4項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中該分散劑具有一化學式：R-A-X，其中R代表有機化合物取代基，A表示矽或金屬原子，且X代表水解性官能基。
6. 如申請專利範圍第5項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中R為芳香族化合物取代基或是脂肪族化合物取代基。
7. 如申請專利範圍第5項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中A所表示的金屬原子為鈦或鋁。
8. 如申請專利範圍第5項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中該分散劑包括鹵素或烷氧基。
9. 如申請專利範圍第5項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中該分散劑包括矽酸四乙酯(Tetraethyl silicate,TEOS)、矽酸四甲酯(Tetra methyl silicate,TMOS)、甲基三甲氧基矽烷(CH₃ Si(OCH₃ )₃ )或甲基三乙氧基矽烷(CH₃ Si(OCH₂ CH₃ )₃ )。
10. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中該封膠層包括樹脂或矽膠。
11. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體裝置的製造方法，其中該溶劑的沸點介於攝氏100~200度間。
12. 一種噴塗設備，用以在一發光二極體表面噴塗一螢光層，該噴塗設備包括：一攪拌槽，該攪拌槽中裝有一螢光體溶液，其包括一溶劑以及分散於該溶劑中的螢光粉體，其中所述螢光粉體的粒徑介於5～30微米之間；一振動槽，設置於該攪拌槽之一側；一第一連通管，其位於該攪拌槽與該振動槽之間，且該攪拌槽中的該螢光體溶液經由該第一連通管流向該振動槽；一緩衝槽，設置於該振動槽之一側；一第二連通管，其位於該振動槽與該緩衝槽之間，且該振動槽中的該螢光體溶液經由該第二連通管流向該緩衝槽；一噴塗裝置，設置於該緩衝槽之一側；一第三連通管，其位於該緩衝槽與該噴塗裝置之間，該緩衝槽中的該螢光體溶液經由該第三連通管流向該噴塗裝置，其中該噴塗裝置設置於該發光二極體之一側，以將該螢光體溶液噴塗至該發光二極體表面。
13. 如申請專利範圍第12項所述之噴塗設備，其中該攪拌槽設有一攪拌棒裝置、一氣泡產生裝置或是一流體產生裝置。
14. 如申請專利範圍第13項所述之噴塗設備，其中該攪拌棒裝置的轉速為500～8000rpm。
15. 如申請專利範圍第12項所述之噴塗設備，其中該振動槽裝設有一振動棒裝置、一底部振動盤或是一振動壁。
16. 如申請專利範圍第12項所述之噴塗設備，其中該振動槽的振動頻率0.1~100KHz。
17. 如申請專利範圍第12項所述之噴塗設備，其中該噴塗裝置包括：一供應管；以及多個噴嘴，其與該供應管連接。
18. 如申請專利範圍第12項所述之噴塗設備，其中該噴塗裝置包括：多條供應管；以及多個噴嘴，每一噴嘴與對應的一條供應管連接。