TWI397943B - 位置修正裝置、真空處理裝置及位置修正方法 - Google Patents

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Description

位置修正裝置、真空處理裝置及位置修正方法
本發明係有關一種搬運技術，特別是有關一種沒有位置偏移的搬運技術。
如第17圖所示，在半導體晶圓等的基板101上，於外周端部形成有表示方向的刻痕102。當以搬運機械手臂搬運具有刻痕102的基板101時，將導致產生位置偏移。
在使用複數個搬運機械手臂時，因為蓄積誤差，因為以下的原因，而導致基板的位置偏移增大。
當基板的收付次數較多時。
當搬運機械手臂的手臂的數量較多，因個體差而產生不均時。
藉由收付位置和複數個搬運機械手臂的位置關係，而導致基板朝向各種方向時。
近年來，必須高精確度的進行基板101的中心部或刻痕102的位置定位的製程增加，而不能忽視基板101的位置偏移的問題。
又，尋求加大基板上的有效面積，例如，在基板101上做為取得晶片的有效區域，在直徑200mm的基板中，將比邊緣5mm更內側處設為有效區域，若能保證該有效區域內的膜質則較佳，但在300mm中，有要求將邊緣3mm以內設為有效區域之保證，將導致搬運偏移的容許值變小。
由於刻痕102大致有1.5mm左右的缺口，因此為了不使基板載置台露出至刻痕102的底面，除了將邊緣3mm以內設為有效區域的條件之外，亦需滿足所謂將基板101的搬運精確度設為1.5mm以內的條件，而在無法容許搬運精確度的累積較多的複雜製程、或在不容許基板101的位置偏移的製程中，也產生必須正確位置定位刻痕102的方向。
第18圖的符號105係連接有複數個處理室112至116、122至126的真空處理裝置。在兩台的搬運室110、120中，分別配置有搬運機械手臂118、128，搬運室110、120之間以收付室130連接。
在收付室130內配置有台131，藉由配置於一方的搬運室110內的搬運機械手臂118，從處理室112至116取出搬運對象物並配置於台131上，藉由另一方的搬運室120內的搬運機械手臂128，將搬運對象物搬入至與另一方的搬運室120連接的處理室122至126而構成。
圖中，符號141至143為載置於台131上的搬運對象物，搬運對象物係形成有刻痕的基板。
該搬運機械手臂118、128係在可伸縮的腕部137、147的前端，分別安裝有手柄135a、135b、145a、145b，在手柄135a、135b、145a、145b上，分別載置搬運對象物141至143，在配置於與台131上不同的位置時，搬運機械手臂118、128係以旋轉軸119、129為中心，使腕部137、147旋轉，而使腕部137、147伸長。
因而，當在與台131上不同的位置上配置搬運對象物141至143時，手柄135a、135b、145a、145b的方向不成為平行。因此，配置於搬運機械手臂118、128的手柄135a、135b、145a、145b上的各搬運對象物141至143，其之刻痕146至148即使與手柄相對朝向一定方向，但是台131上的搬運對象物141至143的刻痕146至148則朝向不同的方向。
然後，刻痕146至148的方向之偏移，係於將搬運對象物141至143從兩台的搬運機械手臂118、128的一方移載到另一方的情況下更加擴大。
為了解決上述不良情況，而旋轉搬運對象物141至143，設置用來修正刻痕146至148的方向的修正移動裝置，使搬運機械手臂和修正移動裝置交互動作，而進行位置修正之例，但是基板位置的修正中，由於搬運機械手臂不進行基板的搬運，因此有所謂產率降低的問題。
又，有在收付室130內的搬運對象物141至143的中心位置偏移成為問題之情況，在以往技術中，以第19圖(a)及(b)所示的裝置進行修正。
第19圖(a)係從搬運機械手臂移載到插銷155上的基板151，位於與左右的限制構件154a、154b的上方分離的位置的狀態，當使插銷155下降時，基板151與限制構件154a、154b的座面接觸，限制構件154a、154b以中心軸156a、156b為中心旋轉，而使限制構件154a、154b的側壁立起。
此時，即使基板151偏移至左右，基板151按押到立起途中的側壁，由於移動到側壁和側壁所挾持的位置，因此偏移可被修正。
如此，在機械性定心時，由於限制構件154a、154b與基板151接觸，因此有所謂產生灰塵的問題。又，難以進行位置定位之機構之調整。
[專利文獻1]日本特開平10－270533號公報[專利文獻2]日本特開平8－46013號公報
本發明係為了解決上述以往的技術而創作者，係提供一種不需使搬運機械手臂動作，而可進行位置修正的位置修正裝置、以及位置修正方法。
又，本發明的其他目的在於提供一種不會產生灰塵的位置修正裝置、以及位置修正方法。
又，提供一種使用此等位置修正裝置，而可位置定位的真空裝置。
為了解決上述課題，本發明之位置修正裝置，係具備有：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；使前述載置台上下移動的台升降機構；暫時放置前述搬運對象物的暫時放置部；及使前述暫時放置部移動於對前述旋轉軸線構成特定的交叉角度而傾斜的斜向上下方向之斜方向修正移動裝置。
又，本發明的位置修正裝置，係前述旋轉軸線為鉛直配置，前述一平面設為水平面。
又，本發明的位置修正裝置，係使位於前述載置台上的前述搬運對象物之下方的前述暫時放置部的上部，可與配置於前述載置台上的前述搬運對象物之背面接觸，可使位於前述暫時放置部上的前述搬運對象物之下方的前述載置台的表面，與配置於前述暫時放置部上的前述搬運對象物的背面接觸而構成。
又，本發明之位置修正裝置，係具備有：檢測裝置，係用來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；及在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述斜方向修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度；以及控制前述載置台和前述斜方向修正移動裝置，使前述搬運對象物移動，使前述搬運對象物的中心位於前述旋轉軸線上的控制裝置。
又，本發明之位置修正裝置，係具備有：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；在前述載置台的上方位置，上下移動前述搬運對象物的基板升降機構；暫時放置前述搬運對象物的暫時放置部；及使前述暫時放置部移動於對前述旋轉軸線構成特定的交叉角度而傾斜的斜向上下方向之斜方向修正移動裝置。
又，本發明的位置修正裝置，係前述旋轉軸線為鉛直配置，前述一平面係設為水平面。
又，本發明的位置修正裝置，係使位於前述載置台上的前述搬運對象物之下方的前述基板升降機構的上部，可與配置於前述載置台上的前述搬運對象物之背面接觸，可使位於前述基板升降機構上的前述搬運對象物下方的前述載置台的上部，與配置於前述基板升降機構上的前述搬運對象物的背面接觸而構成。
又，本發明的位置修正裝置，係具備有：檢測裝置，係用來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；及在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述斜方向修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度；以及控制前述載置台和前述斜方向修正移動裝置，使前述搬運對象物移動，使前述搬運對象物的中心位於前述旋轉軸線上的控制裝置。
又，本發明的位置修正裝置，係具備有：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；在前述一平面內使配置於前述載置台上的前述搬運對象物移動的面內修正移動裝置。
又，本發明的位置修正裝置，係前述旋轉軸線為鉛直配置，前述一平面係設為水平面。
又，本發明的位置修正裝置，係具備有：檢測裝置，係用來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；和在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述面內修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度；以及控制前述載置台和前述面內修正移動裝置，使前述搬運對象物移動，使前述搬運對象物的中心位於前述旋轉軸線上的控制裝置。
又，本發明的真空處理裝置，係具備有：搬運室；與前述搬運室連接，在真空環境內可處理搬運對象物而構成的一至複數台的處理室；以及與前述搬運室連接，配置有一至複數台的申請專利範圍第1至11項中任一項的位置修正裝置的收付室。
又，本發明的位置修正方法，係使用：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；及對前述一平面朝向斜向方向移動前述搬運對象物的斜方向修正移動裝置，來檢測出：配置於前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；及在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述斜方向修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度，於前述載置台上搭載前述搬運對象物的狀態下，使前述載置台旋轉前述誤差角度，將在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線，設為與前述斜方向修正移動裝置的前述搬運對象物的前述一平片內的移動方向平行，藉由前述斜方向修正移動裝置使前述搬運對象物移動，以使前述一平面內的移動距離成為前述誤差距離，而使前述搬運對象物的中心位置位於前述旋轉軸線上。
又，本發明的真空修正方法，係鉛直配置前述旋轉軸線，並將前述一平面設為水平面。
又，本發明的真空修正方法，係前述斜方向修正移動裝置在不與前述載置台表面接觸的狀態下，移動前述搬運對象物。
又，本發明的位置修正方法，係使用：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；及在前述一平面內移動前述搬運對象物的面內修正移動裝置，來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；和在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線之間的直線、和被前述面內修正移動裝置移動的前述搬運對象物之移動方向所構成的角度之誤差角度，於前述載置台上搭載前述搬運對象物，使前述載置台旋轉前述誤差角度，將在前述水平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線，設為與前述搬運對象物的移動方向平行，藉由前述面內修正移動裝置，使前述搬運對象物移動，而使前述誤差距離成為零，並使前述搬運對象物的中心位置位於前述旋轉軸線上。
又，本發明的位置修正方法，係鉛直配置前述旋轉軸線，並將前述一平面設為水平面。
本發明係如上所述而構成，斜方向修正移動裝置或面內修正移動裝置，係副軸的移動方向，將與主軸的旋轉軸線垂直的平面內的移動方向的成分、及連結與旋轉軸線垂直的平面內的載置台的旋轉中心O和搬運對象物的中心O，的線段OO’的誤差角度α設為0°或180°，而使搬運對象物在與旋轉軸線垂直的平面內旋轉。
然後，使在與旋轉中心O和搬運對象物的旋轉軸線垂直的平面內的搬運對象物的中心O’一致，以具有與線段OO’平行的方向的成分，且使在與旋轉軸線垂直的平面內的移動距離與線段OO’的誤差距離L相等，而移動搬運對象物。
此外，搬運對象物應該位於理想位置的中心，不一定需要與載置台的旋轉中心一致。此時，理想位置的中心和移動前的搬運對象物的中心的距離為誤差距離，與搬運對象物的旋轉軸線垂直的平面內的中心，不是與旋轉中心而與理想中心一致亦可。
由於不需使用搬運機械手臂而可進行位置修正，因此可避免產率的降低。
不需要具有高精確度的位置定位功能的搬運機械手臂，而可以低價的裝置進行校正。
第1圖的符號5係表示本發明的一實施例的真空處理裝置。
該真空處理裝置5係具有：收付室30、和二至複數台的搬運室10、20。在此為兩台，以符號10表示者為第一搬運室，以符號20表示者為第二搬運室，在收付室30連接有第一、第二搬運室10、20。
第一搬運室10係連接有搬入室12和1至複數台的處理室13至16，第二搬運室20連接有搬出室22、和1至複數台的處理室23至26。
在第一、第二搬運室10、20中，分別配置有第一、第二搬運機械人18、28，配置在搬入室12內的搬運對象物，藉由第一搬運機械人18取出，而搬入到處理室13至16內，在進行處理之後，搬入到收付室30，藉由第二搬運機械手臂28取出，再搬入至處理室23至26內，在進行處理之後，搬入到搬出室22，而取出到真空處理裝置5的外部。搬運對象物為矽晶圓等的基板，一部分形成有刻痕。
在各處理室13至16、23至26進行的處理，例如在真空環境內，藉由紫外線照射或電漿照射，清洗或活性處理搬運對象物的表面，又，其他的例子為藉由濺鍍方法或蒸鍍方法於搬運對象物表面形成薄膜，並藉由電漿進行蝕刻。
在收付室30配置有一台至複數台本發明第一例的位置修正裝置31至33，搬入到收付室30內的搬運對象物，係載置於位置修正裝置31至33上的特定位置。第1圖的符號41至43係表示載置於位置修正裝置31至33上的搬運對象物。
第2圖(a)及(b)至第7圖(a)及(b)係用來說明第一例的位置修正裝置31至33、和使用其之位置修正方法的圖面。第8圖(a)至第13圖(a)、及後述的第14圖(a)至第16圖(a)，係第二、第三的位置修正裝置的平面圖。第8圖(b)至第13圖(b)、及第14圖(b)至第16圖(b)為側面圖。
該位置修正裝置31至33係具有主軸53和副軸63。
主軸53係鉛直的配置，其下端係安裝於旋轉機構51。在主軸53的上端安裝有表面與主軸53垂直即被水平安裝的載置台55。符號58為主軸53的中心軸線，是載置台55的旋轉軸線。旋轉軸線58為鉛直。
當藉由旋轉機構51以旋轉軸線58為中心旋轉時，載置台55的表面以旋轉軸線58為中心，在與主軸53垂直的面內即水平面內旋轉。
台升降機構52亦安裝於主軸53，當使台升降機構52動作時，構成可沿著旋轉軸線58的方向，即朝向鉛直方向上下移動而構成。藉此，將載置台55的表面設為水平，而構成可朝向鉛直方向上下動作。
第2圖(a)及(b)係表示藉由第一的搬運機械人18，將搬運對象物41至43配置於載置台55上的狀態，在此，為了說明本發明，如第2圖(a)所示，搬運機械手臂41至43的中心O’與旋轉軸線58僅分離誤差距離L。
圖中符號O係位於與旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內，而通過搬運對象物41至43的中心O’的直線與旋轉軸線58交叉的點，為載置台55的旋轉中心。連結該旋轉中心O和搬運對象物41至43的中心O’的線段OO’，係位於與旋轉軸線58垂直的平面內(水平面)。
然後，副軸63係不需與主軸53的旋轉軸線58平行，而被斜向地配置，其下端安裝於斜方移動機構62。在副軸63的上端安裝有暫時放置部66，在第一例的位置修正裝置31至33中，斜方向修正移動裝置60係由斜方移動機構62、副軸63、和暫時放置部66所構成。
斜方移動機構62係不移動其中心軸線68的位置，而沿著與中心軸線68平行地移動副軸63而構成，這是因為與主軸53垂直的平面(水平面)相對為斜向方向的移動之故，暫時放置部66的移動係可分解成：將斜向方向的移動投影至與主軸53垂直的平面(水平面)的該平面內的移動方向的成分、和與其垂直的方向即鉛直的移動方向的成分。
將副軸63的中心軸線68、和主軸53的中心軸線58所構成的角度之交叉角度設為β(β<90°)時，暫時放置部66沿著中心軸線68僅朝向斜向方向移動距離T時，和暫時放置部66的旋轉軸線58垂直的平面內的成分之移動距離X為X＝T．sinβ，鉛直方向的成分的移動距離Y為Y＝T．cosβ。從該關係可算出僅以期望的量，使暫時放置部66朝向與旋轉軸線58垂直的方向即水平方向移動時，沿著副軸63的旋轉軸線68的方向即斜向方向的移動量。
第2圖(a)的符號64係表示使暫時放置部66以交叉角度β朝向斜向方向移動時，與旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內的移動方向。
暫時放置部66係具有向斜向上方或鉛直上方突出的一至複數根插銷，插銷的前端位於與旋轉軸線58垂直的相同平面內(水平面)，於其上可載置板狀、圓盤狀的搬運對象物而構成。
第一搬運機械人18在於載置台55上載置搬運對象物41至43的狀態下，連結載置台55的旋轉中心O和搬運對象物41至43的中心O’的線段OO’，不與和暫時放置部66的旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內的移動方向64平行。
第2圖(a)的符號α係線段OO’和與暫時放置部66的旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內的移動方向64所構成的誤差角度，第2圖(a)至第7圖(a)的符號F，係表示位於載置台55上的理想位置時的搬運對象物41至43的輪廓，當載置台55的旋轉中心O和搬運對象物41至43的中心O’不一致時，搬運對象物41至43的一部分從理想位置的輪廓F露出，符號69則表示所露出的部分。
在載置台55的上方配置有檢測裝置56。該檢測裝置56係與控制裝置57連接，當拍攝載置台55上的搬運對象物41至43時，控制裝置解析攝影結果，而算出誤差距離L和誤差角度α而構成。
檢測裝置56係為：CCD感測器、變位感測器、LED感測器、LED光纖感測器等的光學測定器或非接觸測定器，廣泛包含可以進行位置測定者。
為了解決載置台55上的搬運對象物41至43的位置偏移，而配置在理想的位置上，首先，控制裝置57係使載置台55旋轉，如第3圖(a)及(b)所示，將線段OO’設為與暫時放置部66的旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內的移動方向64平行或一致。結果，搬運對象物41至43從理想的輪廓F露出的部分69，係朝向副軸63側、或朝向與副軸63相反側。在該狀態下，誤差角度α為0度或180度。
暫時放置部66係預先位於載置台55的下方，控制裝置57使斜方移動機構62動作，當副軸63朝向斜向方向拉長時，暫時放置部66朝向與旋轉軸線58的方向即鉛直方向之交叉角度β(β<90°)所交叉的斜向上方向移動。
載置台55係從背面側使暫時放置部66與載置台55搬運對象物41至43抵接而構成，暫時放置部66在與搬運對象物41至43的背面接觸時，停止暫時放置部66的移動。第4圖(a)及(b)係表示其狀態。
例如，在此，暫時放置部66的大小比載置台55的大小大，暫時放置部66可從搬運對象物41至43的載置台55的外周與外側部分的背面抵接。
然後，使台升降機構52動作，如第5圖(a)及(b)所示，當使載置台55下降時，搬運對象物41至43的背面與載置台55的表面分離，取代載置於載置台55上，而成為載置於暫時放置部66上的狀態。
在該狀態下，搬運對象物41至43係從載置台55移動到暫時放置部66，朝向搬運對象物41至43的中心O’與載置台55的旋轉中心O的方向，而斜向移動副軸63。
從搬運對象物41至43的理想的輪廓F露出的部分69，位於比旋轉中心O更接近副軸63之處，搬運對象物41至43的中心O’位於副軸63的下端和載置台55的旋轉中心O之間時，副軸63係伸長。
與此相反，從理想的輪廓F露出的部分69係位於與副軸63相對比旋轉中心O更遠處，而載置台55的旋轉中心O位於副軸63的下端和搬運對象物41至43的中心O’之間時，副軸係縮短。
此時朝向斜向方向伸長副軸63的量，或朝向斜向方向縮短的量，即搬運對象物41至43的斜向方向的移動距離T0 為T0 ＝L/sinβ時，搬運對象物41至43係在與旋轉軸線58垂直的平面內(水平面)，朝向與線段OO’平行的方向僅移動誤差距離L，因此，如第6圖(a)及(b)所示，搬運對象物41至43的中心O’係位於旋轉軸線58上。
在該狀態下，如第7圖(a)及(b)所示，使載置台55上升，使載置台55的表面與搬運對象物41至43的背面接觸，當更上升時，搬運對象物41至43與暫時放置部66分離，而從暫時放置部66上移動至載置台55上。此時，搬運對象物41至43的中心O’與載置台55的旋轉中心O一致。
在該狀態下，搬運對象物41至43係藉由第二搬運機械手臂28，沒有誤差的從收付室30搬運到第二搬運室20內。
運對象物41至43形成有刻痕46至48，當限定搬運對象物41至43和第二搬運機械手臂28的手柄之相對位置關係時，以檢測裝置56檢測出刻痕46至48的方向，使搬運對象物41至43的中心O’與載置台55的旋轉中心O一致之後，旋轉搬運對象物41至43期望角度，而使刻痕46至48朝向期望的方向。例如，可使刻痕46至48位於連結搬運對象物41至43的中心O’、和第二搬運機械手臂28的旋轉軸線29的直線上。
上述雖說明載置台55上下移動，而移載搬運對象物41至43之情況，但本發明並不限定於此。
第8圖(a)及(b)至第13圖(a)及(b)的符號34為本發明的第二例的位置修正裝置，取代上述第一例的位置修正裝置31至33而配置於收付室30內。
當與第一例的位置修正裝置31至33相同的構件附加相同符號而進行說明時，該位置修正裝置34與第一例的位置修正裝置31至33相同，主軸53被鉛直地配置，而其下端安裝於旋轉機構51。
載置台55水平的安裝在主軸53的上端，當使旋轉機構51動作時，載置台55以主軸53的旋轉軸線58為中心，在與旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內旋轉而構成。又，與第一例相同，具有斜方修正移動裝置60，當朝向斜向方向移動副軸63時，暫時放置部66係移動於對旋轉軸線58構成交叉角度β的方向即斜向方向而構成。
此外，第二例的位置修正裝置34與第一例的位置修正裝置31至33不同，在主軸53沒有設置台升降機構，雖然不上下移動主軸53，但鉛直配置有取代其之複數個插銷73，插銷73係藉由設置於各插銷73下端的台升降機構72而上下移動而構成。
使用該位置修正裝置34來修正載置台55上的搬運對象物41至43的位置時，首先，僅旋轉載置台55誤差角度α，如第9圖(a)及(b)所示，將連結旋轉中心O和搬運對象物41至43的中心O’的線段OO’，設為與暫時放置部66的旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內的移動方向64平行。結果，誤差角度α成為0度或180度。
使插銷73位於比載置台55更下方的位置，而在載置台55上載置搬運對象物41至43的狀態下，使插銷73上升時，插銷73的上部可與搬運對象物41至43的背面抵接而構成。
例如，亦可在載置台55設計貫通孔，可插通插銷73而構成，使載置台55的大小比搬運對象物41至43小，而使插銷73的上端與比載置台55的外周位於更外側的搬運對象物41至43的背面抵接亦可。
各插銷73的上端係在搬運對象物41至43的背面和三處以上的點接觸。
在該狀態下，當使插銷73上升時，如第10圖(a)及(b)所示，搬運對象物41至43從載置台55上移載至插銷73上。
位於將暫時放置部66配置在插銷73上的搬運對象物41至43的下方，使副軸63伸長，而使暫時放置部66朝向斜向方向上升時，暫時放置部66的上端係與搬運對象物41至43的背面接觸而構成。在接觸處上，停止暫時放置部66的移動，使插銷73下降時，如第11圖(a)及(b)所示，搬運對象物41至43係移動到暫時放置部66上。
此時，從理想的輪廓F露出的部分69，位於比旋轉中心O更遠離副軸63之處，載置台55的旋轉中心O位於副軸63的下端和搬運對象物41至43的中心O’之間的位置時，由於搬運對象物41至43的中心O’接近載置台55的旋轉中心O，因此，藉由斜方移動機構62來縮短副軸63，一邊維持交叉角度β，一邊使搬運對象物41至43朝向斜向下方下降。
若暫時放置部66朝向斜向方向移動，而與旋轉軸線58垂直的平面內的成分(水平成分)的大小為誤差距離L，則搬運對象物41至43的中心O’因搭載於旋轉軸線58上，故插銷73上升的移動距離Y為Y＝T0 ．cosβ(但T0 ＝L/sinβ)。
第12圖(a)及(b)係使暫時放置部66僅朝向斜向方向下降距離T0 ，而使搬運對象物41至43與載置台55接觸的狀態，該中心O’與旋轉中心O一致。
第13圖(a)及(b)係使暫時放置部66更下降，而使搬運對象物41至43移載至載置台55上的狀態。
然後，更為了調節刻痕46至48的方向，亦可使搬運對象物41至43的中心O’和載置台55的旋轉中心O一致後，僅旋轉載置台55期望的量。
與上述相反，當突出部分69位於副軸63側，當搬運對象物41至43的中心O’位於副軸63的下端和載置台55的旋轉中心O中間時，為了使搬運對象物41至43的O’接近載置台55的旋轉中心O，而將連結旋轉中心O和搬運對象物41至43的中心O’的線段OO’，設為與暫時放置部66的旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內的移動方向64平行之後，使暫時放置部66朝向斜向方向上升，使暫時放置部66的上端與插銷73上的搬運對象物41至43的背面接觸，從載置台55移載至暫時放置部66，更朝向斜向上方向上升，而朝向與副軸63的中心軸線68平行的斜向方向僅移動距離T0 (＝L/sinβ)。
藉由該移動，搬運對象物41至43的中心O’，係位於中心軸線58上。然後，使插銷73移動至上方，使搬運對象物41至43從暫時放置部66上移載到插銷73上，使暫時放置部66下降而後退之後，使插銷73下降，而載置於載置台55上時，搬運對象物41至43的中心O’和載置台55的旋轉中心O為一致。
以上，搬運對象物41至43雖然在不與載置台55接觸的狀態下，僅移動誤差距離L，但在可容許一邊接觸一邊移動時，修正移動裝置將搬運對象物41至43移動到與旋轉軸線58垂直的方向(水平方向)亦可。
第14圖(a)及(b)至第16圖(a)及(b)的符號35，係表示本發明之第三例的位置修正裝置。
即使在該位置修正裝置35中，雖然主軸53鉛直的配置，而於其下端安裝有旋轉機構51，雖然上端的載置台55在與與旋轉軸線58垂直的平面(水平面)內旋轉而構成，但不具有台升降機構或基板升降機構。
在第三例的位置修正裝置35中，於載置台55的側方配置有副軸83。副軸83的中心軸線84係與旋轉軸線58垂直配置。在副軸83的載置台55側的端部安裝有按押構件86。
副軸83的相反側的端部係與水平移動機構82連接，藉著該水平移動機構82、副軸83、和按押構件86，構成將搬運對象物41至43移動至與旋轉軸線58垂直的方向(水平方向)的面內修正移動裝置80。
第14圖(a)及(b)係搬運對象物41至43藉由第一搬運機械人18搭載於載置台55上的狀態，與上述情況相同，搬運對象物41至43中心O’與載置台O的中心相對，位置偏移僅產生誤差角度α和誤差距離L。
說明使用該位置修正裝置35的位置偏移的修正順序。
在載置台55使用與搬運對象物41至43相同的大小，或比搬運對象物41至43小者，更於產生位置偏移的狀態下，從搬運對象物41至43的輪廓之理想輪廓F露出的部分，亦可從載置台55露出。第14圖(a)(及第15圖(a))的符號89，係表示所露出的部分。
藉由檢測裝置56觀察搬運對象物41至43，藉由控制裝置57，使載置台55朝向已露出的部分89位於載置台55和按押構件86之間的方向旋轉。此時，如第15圖(a)及(b)所示，連結載置台55的旋轉中心O和搬運對象物41至43的中心O’的線段OO’，係成為與副軸83的中心軸線84平行。在該狀態下，誤差角度為0度或180度。線段OO’和中心軸線84即使在高度方向不一致，亦可為平行。
在該狀態下，搬運對象物41至43的中心O’係位於載置台55的旋轉中心O和按押構件86之間的位置，使水平移動機構82動作，使副軸83伸長，按押構件86與搬運對象物41至43接觸。
再者，使副軸83伸長，藉由按押構件86按押搬運對象物41至43，僅朝向與副軸83的中心軸線84平行的方向即與線段OO’平行的方向移動誤差距離L時，使搬運對象物41至43的中心O’與載置台55的旋轉中心O一致，可解除誤差。
此外，在想修正搬運對象物41至43的刻痕的方向時，更可旋轉載置台55期望角度。
此外，在上述各例子中，雖然鉛直地配置主軸53，但本發明並不限定於此。
13至16、23至26．．．處理室
30．．．收付室
31至33．．．位置修正裝置
41至43．．．搬運對象物
52．．．台升降機構
55．．．載置台
56．．．檢測裝置
57．．．控制裝置
58．．．旋轉軸線
60．．．斜方向修正移動裝置
66．．．暫時放置部
72．．．基板升降機構
80．．．面內修正移動裝置
L．．．誤差距離
α．．．誤差角度
β．．．交叉角度
第1圖係用來說明本發明真空裝置之說明圖。
第2圖(a)及(b)係用來說明本發明的第一例之位置修正裝置的動作之圖(1)。
第3圖(a)及(b)係用來說明本發明的第一例之位置修正裝置的動作之圖(2)。
第4圖(a)及(b)係用來說明本發明的第一例之位置修正裝置的動作之圖(3)。
第5圖(a)及(b)係用來說明本發明的第一例之位置修正裝置的動作之圖(4)。
第6圖(a)及(b)係用來說明本發明的第一例之位置修正裝置的動作之圖(5)。
第7圖(a)及(b)係用來說明本發明的第一例之位置修正裝置的動作之圖(6)。
第8圖(a)及(b)係用來說明本發明的第二例之位置修正裝置的動作之圖(1)。
第9圖(a)及(b)係用來說明本發明的第二例之位置修正裝置的動作之圖(2)。
第10圖(a)及(b)係用來說明本發明的第二例之位置修正裝置的動作之圖(3)。
第11圖(a)及(b)係用來說明本發明的第二例之位置修正裝置的動作之圖(4)。
第12圖(a)及(b)係用來說明本發明的第二例之位置修正裝置的動作之圖(5)。
第13圖(a)及(b)係用來說明本發明的第二例之位置修正裝置的動作之圖(6)。
第14圖(a)及(b)係用來說明本發明的第三例之位置修正裝置的動作之圖(1)。
第15圖(a)及(b)係用來說明本發明的第三例之位置修正裝置的動作之圖(2)。
第16圖(a)及(b)係用來說明本發明的第三例之位置修正裝置的動作之圖(3)。
第17圖係搬運對象物和刻痕之例。
第18圖係以往技術的真空裝置之例。
第19圖係以往技術的位置修正裝置之例。
31至33．．．位置修正裝置
51．．．旋轉機構
41至43．．．搬運對象物
52．．．台升降機構
53．．．主軸
55．．．載置台
56．．．檢測裝置
57．．．控制裝置
58．．．旋轉軸線
60．．．斜方向修正移動裝置
62．．．斜方移動機構
63．．．副軸
64．．．移動方向
66．．．暫時放置部
68．．．中心軸線
69．．．露出部分
α．．．誤差角度
β．．．交叉角度

Claims (14)

  1. 一種位置修正裝置，其特徵為具備有：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；使前述載置台上下移動的台升降機構；暫時放置前述搬運對象物的暫時放置部；及使前述暫時放置部移動於對前述旋轉軸線構成特定的交叉角度而傾斜的斜向上下方向之斜方向修正移動裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之位置修正裝置，其中，前述旋轉軸線係鉛直配置，前述一平面係設為水平面。
  3. 如申請專利範圍第1項之位置修正裝置，其中，使位於前述載置台上的前述搬運對象物之下方的前述暫時放置部的上部，可與配置於前述載置台上的前述搬運對象物之背面接觸，可使位於前述暫時放置部上的前述搬運對象物之下方的前述載置台的表面，與配置於前述暫時放置部上的前述搬運對象物的背面接觸而構成。
  4. 如申請專利範圍第1項之位置修正裝置，其中，係具備有：檢測裝置，係用來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；及 在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述斜方向修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度；以及控制前述載置台和前述斜方向修正移動裝置，使前述搬運對象物移動，而使前述搬運對象物的中心位於前述旋轉軸線上的控制裝置。
  5. 一種位置修正裝置，其特徵為具備有：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；在前述載置台的上方位置，上下移動前述搬運對象物的基板升降機構；暫時放置前述搬運對象物的暫時放置部；及使前述暫時放置部移動於對前述旋轉軸線構成特定的交叉角度而傾斜的斜向上下方向之斜方向修正移動裝置。
  6. 如申請專利範圍第5項之位置修正裝置，其中，前述旋轉軸線係鉛直配置，前述一平面係設為水平面。
  7. 如申請專利範圍第5項之位置修正裝置，其中，使位於前述載置台上的前述搬運對象物之下方的前述基板升降機構的上部，可與配置於前述載置台上之前述搬運對象物的背面接觸，可使位於前述基板升降機構上的前述搬運對象物下方的前述載置台的上部，與配置於前述基板升降機構上的前述搬運對象物的背面接觸而構成。
  8. 如申請專利範圍第5項之位置修正裝置，其中，係具備有：檢測裝置，係用來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；及在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述斜方向修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度；以及控制前述載置台和前述斜方向修正移動裝置，使前述搬運對象物移動，而使前述搬運對象物的中心位於前述旋轉軸線上的控制裝置。
  9. 一種真空處理裝置，其特徵為具備有：搬運室；與前述搬運室連接，在真空環境內可處理搬運對象物而構成的一至複數台的處理室；以及與前述搬運室連接，配置有一至複數台的申請專利範圍第1至8項中任一項的位置修正裝置的收付室。
  10. 一種位置修正方法，其特徵為：係使用：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；及對前述一平面朝向斜向方向移動前述搬運對象物的斜方向修正移動裝置， 來檢測出：配置於前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；及在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線、和被前述斜方向修正移動裝置移動的前述搬運對象物之前述一平面內的移動方向所構成的角度之誤差角度，於前述載置台上搭載前述搬運對象物的狀態下，使前述載置台旋轉前述誤差角度，將在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線，設為與前述斜方向修正移動裝置的前述搬運對象物的前述一平面內的移動方向平行，藉由前述斜方向修正移動裝置使前述搬運對象物移動，以使前述一平面內的移動距離成為前述誤差距離，而使前述搬運對象物的中心位置位於前述旋轉軸線上。
  11. 如申請專利範圍第10項之位置修正方法，其中，係鉛直配置前述旋轉軸線，並將前述一平面設為水平面。
  12. 如申請專利範圍第10項之位置修正方法，其中，前述斜方向修正移動裝置，係在不與前述載置台表面接觸的狀態下，移動前述搬運對象物。
  13. 一種位置修正方法，其特徵為：係使用：以旋轉軸線為中心，在與前述旋轉軸線垂直的一平面內，旋轉搬運對象物的載置台；及 在前述一平面內移動前述搬運對象物的面內修正移動裝置，來檢測出：前述載置台上的前述搬運對象物的中心、和前述旋轉軸線之間的前述一平面內的距離之誤差距離；和在前述一平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線之間的直線、和被前述面內修正移動裝置移動的前述搬運對象物之移動方向所構成的角度之誤差角度，於前述載置台上搭載前述搬運對象物，使前述載置台旋轉前述誤差角度，將在水平面內連結前述搬運對象物的中心和前述旋轉軸線的直線，設為與前述搬運對象物的移動方向平行，藉由前述面內修正移動裝置使前述搬運對象物移動，而使前述誤差距離成為零，並使前述搬運對象物的中心位置位於前述旋轉軸線上。
  14. 如申請專利範圍第13項之位置修正方法，其中，係鉛直配置前述旋轉軸線，並將前述一平面設為水平面。
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