TWI397759B - 基板對準裝置的眼識系統以及該系統之控制對焦的方法 - Google Patents

Description

基板對準裝置的眼識系統以及該系統之控制對焦的方法

本申請案根據35 U.S.C. §119主張2008年12月19日申請的第10-2008-0130455號韓國專利申請案的優先權和從其產生的所有益處，所述韓國專利申請案的內容以全文引用的方式併入本文中。

本發明涉及一種用於基板對準裝置的眼識系統和一種用於對其進行對焦的方法，且更明確地說，涉及一種用於基板對準裝置的眼識系統，其能夠通過在使用眼識系統的基板對準裝置中自動執行眼識系統的焦距控制(即，對焦)且因此迅速地設置相機的焦距來減少眼識系統的焦距控制時間，以及一種用於控制所述眼識系統的焦距的方法。

至今已使用陰極射線管(cathode ray tube,CRT)作為顯示裝置。然而，CRT具有體積和重量較大的缺點。因此，近年來，例如液晶顯示裝置(liquid crystal display device,LCD)等平板顯示面板、電漿顯示面板(plasma display panel,PDP)和有機發光裝置(organic light emitting device,OLDE)的使用正在增加。平板顯示面板具有輕型、纖細和低功率消耗的特性。

通過將一對平板基板彼此接合來製造平板顯示面板。舉例來說，當製造LCD時，製造其中形成多個薄膜電晶體和畫素電極的下部基板，且接著製造其中形成彩色濾光片和共用電極的上部基板。此後，將液晶滴落在下部基板上，且將密封劑塗施到下部基板的邊緣區中。隨後，在安置其中形成畫素電極的下部基板以使其面向其中形成共用電極的上部基板之後，將上部基板與下部基板彼此接合並密封起來以進而製造LCD。

為了製造LCD，需要用於滴落液晶的液晶滴落裝置、用於塗施用於基板密封的密封劑的密封劑分配器裝置以及用於組合下部基板與上部基板的基板接合裝置。

液晶滴落裝置、密封劑分配器裝置和基板接合裝置在平臺或表面板上對準基板。接著，將液晶或密封劑滴落或塗施在所述基板上，或將兩個基板彼此接合。

上述裝置包含用於基板對準的基板對準裝置。此基板對準裝置包含用於對基板執行X、Y、Z和θ控制的校準區段和用於觀測基板並使對準點同步(synchronizing)的眼識系統。

基板對準裝置使用眼識系統來觀測基板，且根據觀測結果來控制校準區段，進而對準基板。此時，在使用眼識系統觀測基板之前，控制眼識系統的焦距。

在常規眼識系統的焦距控制(即，對焦)中，操作者使用眼識系統的相機所觀測的圖像來手動控制焦距。也就是說，通過上下移動相機來使焦距同步。然而，在操作者手動控制眼識系統的相機的焦距的情況下，其花費較長的處理時間。此外，由於對每個基板執行焦距控制，所以生產率受損。

本發明提供一種用於基板對準裝置的眼識系統和一種對所述眼識系統的焦距控制方法，其能夠通過自動控制用於基板對準裝置的眼識系統的焦距來減少焦距控制時間且改進生產率。

根據示範性實施例，一種用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法(所述基板對準裝置使用相機區段所拍攝的圖像來對準基板)包含：通過所述相機區段拍攝圖像以用於焦距控制；將儲存圖像與為焦距控制而拍攝的圖像進行比較，且將對應於為焦距控制而拍攝的圖像的儲存圖像設置作為比較圖像，其中所述儲存圖像包含在所述相機區段的焦距位置處拍攝的焦距圖像以及包含拍攝位置與焦距位置之間的距離長度的資訊的移動圖像；計算對應於所述比較圖像的距離長度的資訊；以及使所述相機區段移動所述所計算的距離長度。

可將儲存圖像儲存在單獨的儲存區段中，且用於儲存所述儲存圖像的方法可包含：通過操作相機區段來辨識焦距位置；將在相機區段的焦距位置處拍攝的圖像儲存為焦距圖像；以及通過使相機區段從焦距位置上下移動來拍攝圖像，且儲存所拍攝的圖像及其移動距離作為移動圖像。

儲存所拍攝的圖像及其移動距離作為所述移動圖像可使用通過使相機區段從焦距位置以相等間隔移動來拍攝的圖像，且所述相等間隔可在所述相機區段的焦距深度的近似50%到近似90%的範圍內，或具有在相機區段的整個移動距離的近似1/100到近似1/10000的範圍內的值。

將儲存圖像與為焦距控制而拍攝的圖像進行比較且將對應於為焦距控制而拍攝的圖像的儲存圖像設置作為比較圖像可包含：將構造為焦距控制而拍攝的圖像的畫素的灰階資料與儲存圖像的畫素的灰階資料進行比較；以及將灰階資料恒定保持在與為所述焦距控制而拍攝的圖像的所述灰階資料的誤差範圍內的儲存圖像設置為比較圖像。

可通過將圖像劃分為多個部分且比較所述經劃分部分中的畫素的灰階資料的平均值或所述圖像的一個部分中的灰階資料的平均值來執行所述灰階資料的比較。

將儲存圖像與為所述焦距控制而拍攝的圖像進行比較且將對應於為所述焦距控制而拍攝的圖像的儲存圖像設置為比較圖像可包含：將背景與對準標記之間的邊界介面的斜率、所述對準標記的大小、所述對準標記的解析度、圖像相似性以及為所述焦距控制而拍攝的圖像的邊緣解析度中的一者或一者以上與儲存圖像進行比較。

根據另一示範性實施例，一種用於基板對準裝置的眼識系統包含：相機區段，其用以拍攝圖像；以及眼識控制區段，其包含用以控制相機區段的焦距的焦距控制單元和用以顯示相機區段所拍攝的圖像的圖像顯示單元，其中焦距控制單元包含：圖像儲存部分，其用以儲存儲存圖像，所述儲存圖像包含在相機區段的焦距位置處拍攝的焦距圖像，以及通過使相機區段從所述焦距位置上下移動來拍攝的移動圖像；圖像比較部分，其用以將相機區段所拍攝的圖像與圖像儲存部分中所儲存的儲存圖像進行比較；以及相機控制部分，其根據圖像比較部分的比較結果來使相機區段上下移動。

所述眼識系統可進一步包含：光源，其用以向相機區段提供光；以及擴散區段，其具有球形或半球形形狀以擴散從所述光源提供的光。

為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

下文將參看附圖詳細描述特定實施例。然而，本發明可以不同形式體現，且不應被解釋為限於本文中所陳述的實施例。相反，提供這些實施例是為了使得本揭示內容將為徹底且完整的，且將把本發明的範圍全面地傳達給所屬領域的技術人員。此外，相同或相似參考標號代表相同或相似的組成元件，儘管其出現在本發明的不同實施例或圖式中。

圖1說明根據本發明實施例的基板對準裝置的概念圖。圖2說明根據本發明實施例的用於基板對準裝置的眼識系統的概念圖。

參看圖1和圖2，根據所述實施例的基板對準裝置包含：平臺200，基板100安放在所述平臺200處；對準區段300，其用於對安放在平臺200上的基板100執行X、Y、Z和θ控制；眼識系統400，其用於檢測基板100的對準位置；以及對準控制區段500，其用於根據眼識系統400來控制對準區段300的操作。

有效的是，基板100使用透光基板。舉例來說，基板100可使用玻璃基板或塑膠基板。可將柔性基板用作基板100。此處，在基板100的一側處形成對準標記以用於對準。

平臺200通過固持基板100來防止在執行處理基板100的製程(例如，液晶滴落、密封劑塗施或基板接合)時由於基板100的搖動而引起的處理故障。因此，儘管平臺200上未繪示，但可採用用於滴落液晶的裝置、用於塗施密封劑的裝置或用於接合基板的裝置。

這是因為上述基板對準裝置可被包含作為液晶滴落裝置、密封劑分配器裝置和基板接合裝置的元件。基板對準裝置可附接到基板接合裝置、密封劑分配器裝置和液晶滴落裝置的外側。此處，基板接合裝置中的基板對準裝置可對上部基板和下部基板中的一者執行X、Y、Z和θ移動。

平臺200形成為與基板100的形狀相同的板形狀。在平臺200上形成用於對準基板100的平臺對準標記。因此，有可能精確地將基板100對準在平臺200上方。

此處，有效的是採用平臺200的多個平臺對準標記和基板100的多個對準標記。在此實施例中，通過使基板100的對準標記與平臺200的對準標記同步來對準基板100。當將上部基板與下部基板彼此接合時，使上部基板的對準標記與下部基板的對準標記對準。

校準區段300通過對基板100的微小調整來將基板100安置在平臺200上的目標位置處。此時，校準區段300通過在X、Y、Z和θ方向上移動基板100來對準基板100的位置。

眼識系統400通過410來拍攝基板100和平臺200的對準標記，且將所拍攝的圖像提供給眼識控制區段420。此實施例中的眼識系統400自動控制相機區段410的焦距。也就是說，眼識系統400可使用從相機區段410提供的圖像來自動控制相機區段410的焦距。

對準控制區段500使用通過眼識系統400拍攝的圖像或圖像資料來控制校準區段300的操作。因此，有可能精密地控制基板100的位置。

此處，操作者可通過使用從眼識系統400輸出的圖像控制對準控制區段500來對準基板100。

在上述基板對準裝置中，通過移動基板100來對準平臺200與基板100。然而，還有可能通過移動平臺200來對準平臺200與基板100。此外，在將基板對準裝置安置在基板接合裝置的情況下，可通過移動平臺200(即，表面板，基板100固定在此處)來對準兩個基板。

下文將描述基板對準裝置的基板對準操作。

此實施例中的基板對準裝置通過執行基板對準操作來將基板對準在目標位置處。出於此目的，首先，將基板100安置在平臺200上。

接著，使用眼識系統400檢查基板100的對準標記是否與平臺200的平臺對準標記同步。在基板100與平臺200的對準標記彼此同步的情況下，不執行對準操作。

然而，在基板100的對準標記未與平臺200的對準標記同步的情況下，通過經由校準區段300在X、Y、Z和θ方向上移動基板100來對準基板100。也就是說，執行用於使基板100與平臺200的對準標記彼此同步的操作。此時，眼識系統400即時提供圖像以使基板100與平臺200的對準標記同步。

由於在眼識系統400未聚焦的情況下，難以精確地檢驗基板100與平臺200的對準標記是否彼此同步，所以在使用眼識系統400執行基板100的對準操作之前，執行對眼識系統400進行對焦的操作。

因此，非常重要的是精確地對眼識系統400進行對焦以便精確對準基板100。然而，如背景技術中所描述，存在這樣的缺點：眼識系統400的對焦過程的處理時間根據操作者的熟練程度而變得較長。

此實施例提供自動執行眼識系統400的對焦過程的方案。

在此實施例中，眼識系統400包含相機區段410和眼識控制區段420，所述眼識控制區段420用於使用從相機區段410提供的所拍攝圖像來自動控制相機區段410的焦距，且在外部顯示所拍攝圖像。此外，眼識系統400包含相機移動區段430，其用於移動相機區段410以控制相機區段410的焦距。

此實施例描述通過移動相機區段410來控制眼識系統400的焦距。然而，本發明不限於此實施例，且有可能通過上下移動基板100或平臺200來控制焦距。

相機區段410包含用於拍攝圖像的相機411(即，拍攝單元)和透鏡412。

儘管未繪示，但相機區段410可包含多個透鏡。相機區段410可通過調整透鏡之間的距離長度來精密地控制相機的焦距。

眼識控制區段420包含：焦距控制單元421，其用於使用來自相機區段410的所拍攝圖像來自動控制相機區段410的焦距；以及圖像顯示單元422，其用於顯示來自相機區段410的所拍攝圖像。

圖像顯示單元422將來自相機區段410的所拍攝圖像即時供應到例如監視器等顯示裝置。

焦距控制單元421包含：圖像儲存部分421-1，其用於儲存在相機區段410聚焦的狀態下所拍攝的主圖像，以及通過基於主圖像而上下移動相機區段410來拍攝的移動圖像；圖像比較部分421-2，其用於將相機區段410所拍攝的圖像與儲存在圖像儲存部分421-1中的圖像進行比較；相機控制部分421-3，其用於根據圖像比較部分421-2的比較結果來上下移動相機區段410。

在此實施例中，通過手動地在開始時移動相機區段410一次來對相機區段410進行對焦，且將此時由相機區段410捕捉到的圖像儲存作為主圖像。此外，相機區段410此時的位置被定義為相機區段410的焦距位置。接著，隨著以某一距離上下移動相機區段410來拍攝圖像，且將所拍攝圖像儲存在圖像儲存部分421-1中作為移動圖像。

此後，在控制眼識系統400的焦距的情況下，將相機區段410在當前位置處拍攝的用以控制焦距的圖像與儲存在圖像儲存部分421-1中的圖像(即，主圖像和移動圖像)進行比較。在比較之後，計算所拍攝圖像與主圖像之間的距離長度。接著，使相機區段410移動所計算的距離長度以執行相機區段410的對焦操作。

下文將闡釋使用上述眼識系統400的對焦操作。出於此目的，將基板100安置在基板對準裝置的平臺200上，且將眼識系統400安置在對應位置處。

圖3說明用於闡釋根據本發明實施例的眼識系統400的焦距控制方法的流程圖。圖4是用於闡釋根據本發明實施例的儲存圖像的產生和儲存的流程圖。

如圖3所說明，首先，在步驟S110中，通過眼識系統400的相機區段410來拍攝用於焦距控制的圖像。

在步驟S120中，通過將所拍攝圖像與儲存圖像進行比較，來將對應於所拍攝圖像的儲存圖像設置為比較圖像。此處，儲存圖像包含在相機區段410的焦距位置處拍攝的主圖像(即，焦距圖像)以及通過使相機區段410從焦距位置上下移動來拍攝的移動圖像。

隨後，在步驟S130中，計算所設置的比較圖像與主圖像之間的距離長度，且在步驟S140中，使相機區段410移動所述距離長度。通過此操作，完成眼識系統400的自動焦距控制。

此處，在開始時通過一次操作捕捉到的圖像被儲存以用作儲存圖像。

出於此目的，如圖4的流程圖所繪示，操作者通過操作眼識系統400的相機區段410來確立最佳焦距位置。在步驟S210中，將在所設置焦距位置處拍攝的圖像儲存為主圖像，即焦距圖像。此處，焦距位置被稱為其中相機區段410所拍攝的圖像的解析度為最佳的位置。

接著，雖然使相機區段410從焦距位置上下移動，但在步驟S220中，根據移動距離來拍攝圖像，且將所拍攝圖像儲存為移動圖像。

根據上文所描述的方法來產生儲存圖像，且將其儲存在單獨的儲存區段中。

此時，將關於其中拍攝移動圖像的相機區段位置與焦距位置分開多少距離(即，相機區段的距離長度值)的資訊連同移動圖像一起儲存。

此處，移動圖像使用通過使相機區段410從焦距位置以相等距離上下移動來拍攝的圖像。

有效的是，移動距離在相機區段410的透鏡412的焦距深度的近似50%到近似90%的範圍內。舉例來說，在相機區段410的焦距深度為50μm的情況下，移動距離可為20μm到45μm。此時，在移動距離小於上述值的情況下，相機區段410拍攝過多圖像。因此，花費大量處理時間來將所拍攝圖像與儲存圖像進行比較。此外，在移動距離大於上述值的情況下，相機區段410的移動範圍變大，且因此難以精確地控制焦距。

此處，通過基於焦距位置使相機區段410向上移動所述移動距離來拍攝向上方向上的移動圖像，且通過使相機區段410向下移動所述移動距離來拍攝向下方向上的移動圖像。

舉例來說，將移動距離設置為1，且將通過使相機區段410從焦距位置向上移動10次來拍攝的移動圖像分別儲存為第1到第10移動圖像。接著，將通過使相機區段410從焦距位置向下移動10次來拍攝的移動圖像分別儲存為第11到第20移動圖像。此時，請注意，第1到第10移動圖像分別是在向上方向上與焦距位置分開1到10的位置處拍攝的，且第11到第20移動圖像分別是在向下方向上與焦距位置分開1到10的位置處拍攝的。也就是說，已知第5移動圖像是在向上方向上與焦距位置分開5的位置處拍攝的，且第13移動圖像是在向下方向上與焦距位置分開3的位置處拍攝的。

當然，本發明不限於此實施例，且移動距離可以各種方式來設置。舉例來說，移動距離可在相機區段410的整個移動距離的近似1/100到近似1/10000的範圍內。即，在相機區段410的整個移動距離為100mm的情況下，移動距離可在0.01mm到1mm的範圍內。

因此，在此實施例中，將儲存圖像與為當前焦距控制而拍攝的圖像進行比較，且使用比較結果來判斷相機區段410與焦距位置分開多少距離。

當比較圖像時，比較儲存圖像中哪一圖像類似於所拍攝圖像。

此處，當比較圖像時，將所拍攝圖像的灰階資料與儲存圖像的灰階資料進行比較。也就是說，圖像包含多個畫素，且每一畫素具有0到255個灰階資料中的一者。畫素的灰階資料可根據畫素的解析度而改變。因此，圖像根據相機區段410的拍攝位置而具有其自身的灰階資料。

具有在誤差範圍內與所拍攝圖像的灰階資料相同的灰階資料的儲存圖像被設置為比較圖像。此處，誤差範圍為±10%。圖像可具有數目為至少1000且甚至大於1,000,000的畫素。因此，當比較所有畫素的灰階資料時，花費較長時間來執行比較。因此，優選的是將圖像劃分為多個部分，且比較所劃分部分中的灰階資料的平均值。當然，本發明不限於此實施例，且可僅比較圖像的畫素中位於某些部分中的畫素。通過此操作，有可能將待比較的圖像的灰階資料的數目減少到小於100，例如10到100。此外，可比較一些部分中的灰階資料，或可比較一些部分中的灰階資料的平均值。舉例來說，有可能比較對準標記的中心區中的灰階資料。

比較方法不限於以上描述。舉例來說，可比較兩個圖像的邊緣區的解析度；可比較兩個圖像的相似性；或可使用印刷在圖像上的對準標記的大小和/或解析度來將兩個圖像彼此比較。此外，可使用兩個圖像的背景與對準標記之間的邊界介面的斜率來將兩個圖像彼此比較。

圖像的解析度表示當在通過相機獲得的圖像中辨識對準標記時被辨識為背景的畫素資料與被辨識為對準標記的畫素資料的邊界值群組所佔據的畫素數目。舉例來說，在具有邊界值的群組的畫素數目較大的情況下，背景與對準標記之間的邊界介面看起來延展。另一方面，在具有邊界值的群組的畫素數目較小的情況下，背景與對準標記之間的邊界介面看起來清晰。因此，有可能使用解析度資料的變化來實施自動對焦。

圖像的相似性表示相對于所對齊的參考對準標記而獲得的相似性。相似性表示通過將從圖像取得的所有資料(例如整個圖像的亮度、大小和形狀以及解析度)與所對齊的參考對準標記的資訊進行比較來計算的比較值。

由於可能在對準標記的大小方面引起變化(這在實踐中在對準標記的大小比較中存在散焦的情況下辨識到)，所以可通過使用大小變化作為資料來實施自動對焦。

可通過使用背景與對準標記之間的邊界介面的斜率(即，從所捕捉圖像中的背景與對準標記之間的邊界介面獲得的資料變化值的斜率)來實施自動對焦。舉例來說，如果邊界介面清晰，那麼可迅速地產生邊界介面上的畫素資料的變化(即，斜率大小)。如果邊界介面不清晰，那麼逐漸產生畫素資料的變化(即，斜率大小)。因此，通過使用通過計算變化獲得的值作為斜率來比較圖像，且因此可實現自動對焦。

如上文所描述，如果比較圖像被設置，那麼易於計算對應於比較圖像的儲存圖像與在焦距位置處拍攝的主圖像(即，焦距圖像)分開多少距離。這是因為如先前提及，儲存圖像包含關於每一儲存圖像與焦距位置分開多少距離的資訊。

通過以上操作，有可能判斷在當前時間相機區段410與焦距位置分開多少距離。可通過根據判斷結果移動相機區段410來自動控制相機區段410的焦距。舉例來說，如上文所提及，將考慮儲存在彼此分離1時所拍攝的第1到第10移動圖像和第11到第20移動圖像的情況。在比較操作中判斷得出在當前時間所拍攝的圖像與第5移動圖像相同的情況下，注意到相機區段410在向上方向上與焦距位置分開5。因此，有可能通過使相機區段410在向下方向上移動5來將相機區段410安置在焦距位置處。同時，在比較操作中判斷得出在當前時間所拍攝的圖像與第17移動圖像相同的情況下，注意到相機區段410在向下方向上與焦距位置分開7。因此，有可能通過使相機區段410在向上方向上移動7來將相機區段410安置在焦距位置處。

如上文所描述，根據此實施例，有可能通過比較並分析為當前焦距設置而拍攝的圖像與先前所拍攝的圖像來自動計算相機區段410與焦距位置分開多少距離。接著，有可能通過使用所計算的結果將相機區段410移動到焦距位置來自動控制相機區段410的焦距。

下文將描述根據本發明實施例的修改的眼識系統。

圖5(a)和圖5(b)說明根據本發明修改的眼識系統的一部分的概念圖。圖6(a)和圖6(b)說明根據本發明修改的根據眼識系統的擴散區段的形狀而獲取的圖像圖片。

參看圖5(a)和圖5(b)，眼識系統包含：光源440，其用於向相機區段410提供光；以及擴散區段450，其用於使從光源440提供的光擴散，且將經擴散的光提供到相機區段410。在此修改中，擴散區段450具有球形形狀(如圖5(a)所說明)或半球形形狀(如圖5(b)所說明)。

在以板形形狀使用擴散區段450的情況下，從光源440發射的光不會均勻地擴展，而是聚集在中心區處，如圖6(a)所說明。因此，難以精確地拍攝圖像。

因此，在此實施例中，通過以球形形狀製造擴散區段450(如圖5(a)所繪示)，光不會聚集在中心區處而是均勻地擴展，如圖6(b)所描述。因此，可拍攝精確的圖像。此外，有可能改進照明的均勻性。

如圖5(b)所說明，眼識系統可進一步包含投光器460，其用於將通過擴散區段450發射的光誘導到基板方向，即其中安置待拍攝的對象的方向。此處，投光器460可使用分束器。

如上文所描述，根據本發明的實施例，有可能使用事先設置且在拍攝位置與焦距位置之間的距離長度被測量的儲存圖像來獲知為焦距控制而拍攝的圖像與焦距位置分開多少距離。通過此操作，有可能通過使相機區段移動多達所述距離長度來自動控制相機區段的焦距。

此外，根據本發明的實施例，有可能通過用呈球形或半球形形狀的擴散板使光擴散來防止提供到相機區段的光集中在中心區中。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100．．．基板

200．．．平臺

300．．．對準區段

400．．．眼識系統

410．．．相機區段

411．．．相機

412．．．透鏡

420．．．眼識控制區段

421．．．焦距控制單元

421-1．．．圖像儲存部分

421-2．．．圖像比較部分

421-3．．．相機控制部分

422．．．圖像顯示單元

430．．．相機移動區段

440．．．光源

450．．．擴散區段

460．．．投光器

500．．．對準控制區段

S110~S140、S210~S220．．．步驟

圖1說明根據本發明實施例的基板對準裝置的概念圖。

圖2說明根據本發明實施例的用於基板對準裝置的眼識系統的概念圖。

圖3說明用於闡釋根據本發明實施例的眼識系統的焦距控制方法的流程圖。

圖4說明用於闡釋根據本發明實施例的儲存圖像的產生和儲存的流程圖。

圖5(a)和圖5(b)說明根據本發明實施例的修改的眼識系統的一部分的概念圖。

圖6(a)和圖6(b)說明根據本發明實施例的修改的根據眼識系統的擴散區段的形狀獲取的圖像圖片。

S110~S140．．．步驟

Claims (8)

1. 一種用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法，所述基板對準裝置使用相機區段所拍攝的圖像來對準基板，所述用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法包括：通過所述相機區段拍攝圖像以用於焦距控制；將儲存圖像與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像進行比較，且將對應於為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的儲存圖像設置為比較圖像，其中所述儲存圖像包括在所述相機區段的焦距位置處拍攝的焦距圖像以及包括拍攝位置與所述焦距位置之間的距離長度的資訊的移動圖像；計算對應於所述比較圖像的距離長度的資訊；以及使所述相機區段移動所計算的距離長度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法，其中將所述儲存圖像儲存在單獨的儲存區段中，且用於儲存所述儲存圖像的方法包括：通過操作所述相機區段來辨識所述焦距位置；將在所述相機區段的所述焦距位置處拍攝的圖像儲存為所述焦距圖像；以及通過使所述相機區段從所述焦距位置上下移動來拍攝圖像，且將所拍攝的圖像及其移動距離儲存為所述移動圖像。
3. 如申請專利範圍第2項所述之用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法，其中將所述所拍攝的圖像及其移動距離儲存為所述移動圖像使用通過使所述相機區段從所述焦距位置以相等間隔移動來拍攝的圖像，且所述相等間隔在所述相機區段的焦距深度的50%到90%的範圍內，或具有在所述相機區段的整個移動距離的1/100到1/10000的範圍內的值。
4. 如申請專利範圍第1項所述之用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法，其中將所述儲存圖像與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像進行比較且將對應於為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的所述儲存圖像設置為所述比較圖像包括：將構造為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的畫素的灰階資料與所述儲存圖像的畫素的灰階資料進行比較；以及將灰階資料恒定保持在與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的所述灰階資料的誤差範圍內的所述儲存圖像設置為所述比較圖像。
5. 如申請專利範圍第4項所述之用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法，其中通過將圖像劃分為多個部分且比較經劃分的部分中的畫素的灰階資料的平均值或所述圖像的一個部分中的灰階資料的平均值來執行所述灰階資料比較。
6. 如申請專利範圍第1項所述之用於控制基板對準裝置的眼識系統的焦距的方法，其中將所述儲存圖像與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像進行比較且將對應於為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的所述儲存圖像設置為所述比較圖像包括：將背景與對準標記之間的邊界介面的斜率、所述對準標記的大小、所述對準標記的解析度、圖像相似性和為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的邊緣解析度中的一者或一者以上與所述儲存圖像進行比較。
7. 一種用於基板對準裝置的眼識系統，包括：相機區段，用以拍攝圖像；以及眼識控制區段，包含用以控制所述相機區段的焦距的焦距控制單元和用以顯示所述相機區段所拍攝的所述圖像的圖像顯示單元，其中，所述焦距控制單元包括：圖像儲存部分，用以儲存儲存圖像，所述儲存圖像包含在所述相機區段的焦距位置處拍攝的焦距圖像和通過使所述相機區段從所述焦距位置上下移動來拍攝的移動圖像；圖像比較部分，用以將所述相機區段所拍攝的圖像與所述圖像儲存部分中所儲存的所述儲存圖像進行比較；以及相機控制部分，根據所述圖像比較部分的比較結果來使所述相機區段上下移動。
8. 如申請專利範圍第7項所述之用於基板對準裝置的眼識系統，更包括：光源，用以向所述相機區段提供光；以及擴散區段，具有球形或半球形形狀以使從所述光源提供的所述光擴散。