TWI384578B - 監測電路、監測裝置及其監測方法 - Google Patents

Description

監測電路、監測裝置及其監測方法

本發明是有關於一種監測電路、監測裝置及其監測方法，且特別是有關於一種監測載入載出晶圓是否發生異常之監測電路、監測裝置及其監測方法。

於半導體製程中，晶圓(wafer)對於製造半導體裝置而言是相當重要的。晶圓通常係承載於一載台(carrier)之上。而在處理晶圓的過程時，通常係由一操作器(manipulator)從此載台來載出此晶圓，並將晶圓傳送至一處理室(chamber)以進一步進行處理，之後，操作器再將處理後之晶圓載入至此載台中，以完成載入載出晶圓的動作。

當操作器在載入或載出晶圓時，若晶圓於載台中的位置偏移時，例如是突出於載台之外時，則可能導致操作器無法正常載入或載出此晶圓，嚴重時，還可能造成晶圓的損壞。因此，如何於載入及載出晶圓的過程中，避免對此晶圓造成損壞，乃業界所致力之方向之一。

本發明係有關於一種監測電路、晶圓載入載出異常監測裝置及其監測方法，藉由提供一感測資訊，以表示晶圓是否突出於載台之一側，並依據此感測資訊判斷晶圓突出於載台之此側之時間是否超過一預定時間。若超過預定時間，還可觸發一異常事件來表示傳送機台在載入或載出晶圓時發生異常。如此，還可於此異常事件中停止機台對此晶圓進行載入或載出的動作，來避免對此晶圓造成損壞。

依據本發明之第一方面，提出一種晶圓載入載出異常監測裝置，包括一感測單元及一偵測單元。感測單元用以提供一感測資訊，感測資訊用以表示晶圓是否突出於一載台之一側。偵測單元用以依據感測資訊來判斷晶圓突出於載台之此側之時間是否超過晶圓被載入或載出之一預定時間。若超過預定時間，則偵測單元更用以觸發一異常事件。

依據本發明之第二方面，提出一種監測電路，包括一感測單元及一偵測單元。感測單元用以提供一感測資訊。偵測單元包括一第一控制單元、一設定單元、一操作單元、一驅動單元、及一第二控制單元。第一控制單元用以接收一第一偵測電壓及一第二偵測電壓，並依據感測資訊之電壓位準輸出第一偵測電壓及第二偵測電壓之其中之一。設定單元用以儲存一第一儲存電壓。當第一控制單元輸出第一偵測電壓時，設定單元接收第一偵測電壓而提高第一儲存電壓之位準。當第一控制單元輸出第二偵測電壓時，設定單元接收第二偵測電壓而降低第一儲存電壓之位準。操作單元用以依據第一儲存電壓之位準，以選擇性地啟動閂鎖並提供一第二儲存電壓。驅動單元係受控於第二儲存電壓，以提供一驅動訊號。第二控制單元用以接收一第三偵測電壓，並依據驅動訊號之電壓位準，選擇性地提供一警示訊號，警示訊號具有第三偵測電壓之電壓位準。當第一儲存電壓大於一門檻值時，操作單元啟動閂鎖並提供第二儲存電壓。驅動單元於第二儲存電壓之控制下，提供具有高電壓位準之驅動訊號來驅動第二控制單元，以使第二控制單元提供警示訊號。

為讓本發明之上述內容能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。

請參照第1圖，其繪示依照本發明一實施例之監測方法之流程圖。本監測方法用以監測一傳送機台從一載台之一前側載入或載出一晶圓時是否發生異常，本監測方法包括下列步驟。於步驟S120中，提供一感測資訊，此感測資訊用以表示晶圓是否突出於載台之一側。於步驟S140中，依據感測資訊判斷晶圓突出於載台之此側之時間是否超過晶圓被載入或載出之一預定時間。若超過此預定時間，則於步驟S160中，觸發一異常事件。茲將應用本發明之監測方法之晶圓載入載出異常監測裝置說明如下。

請參照第2圖，其繪示依照本發明一實施例之晶圓載入載出異常監測裝置200之方塊圖。監測裝置200包括一感測單元262與一偵測單元264。監測裝置200用以監測位於一載台220中的晶體是否被異常地載入或載出。於本發明之一實施例中，監測裝置200例如更包括一傳送機台240。並請同時參照第3A圖，其繪示第2圖之晶圓載入載出異常監測裝置200之載台220及其部分架構之一例之側視圖。

載台220用以承載一晶圓222，載台220例如為一卡式桌檯(cassette table)，而上述之晶圓222例如係承載於卡式桌檯之其中一個卡槽之內。傳送機台240用以從載台220之一側(例如：前側SD)載入或載出此晶圓222。於實作中，傳送機台240例如包括一機械手臂242a及一控制器242b。機械手臂242a用以於控制器242b之控制下，以進行載入載出晶圓222的動作。如第3A圖所示，傳送機台240之機械手臂242a係從載台220之此前側SD來對此晶圓222進行載入或載出之操作。

感測單元262用以提供一感測資訊(例如為一感測訊號S1)，其係用以表示晶圓222是否突出(protrude)於載台220之此前側SD。舉例來說，請同時參照第3A及3B圖。第3B圖繪示第3A圖之載台220所承載之晶圓222突出於載台220之此前側SD時之側視圖。如第3A及3B圖所示，感測單元262例如包括一傳送器Tx與一接收器Rx，且係設置於載台220之此前側SD上。傳送器Tx係傳送感測訊號S1至接收器Rx。偵測單元264係依據感測訊號S1之狀態，來判斷晶圓222是否突出於載台220之此前側SD。

也就是說，於上述之例中，當接收器Rx接收到此感測訊號S1時，此時，感測訊號S1未被遮斷(block)，故可量測到一第一電壓位準，此時，依據具有第一電壓位準之此感測訊號S1，偵測單元264便能得知晶圓222並未突出於載台220之此前側SD，如第3A圖所示。對應地，當接收器Rx未接收到此感測訊號S1時，此時，感測訊號S1會被遮斷、故可量測到一第二電壓位準，此時，依據具有第一電壓位準之此感測訊號S1，偵測單元264便能得知晶圓222可能突出於載台220之此前側SD，如第3B圖所示。如此，偵測單元264便能依據感測訊號S1之位準(如上述之第一電壓位準或第二電壓位準)，來判斷出晶圓222是否突出於載台220之此前側SD。

當偵測單元264依據感測訊號S1判斷出晶圓222突出於載台220之此前側SD時，偵測單元264更用以判斷晶圓222突出於載台220之此前側SD之時間，是否超過一預定時間。若偵測單元264判斷超過此預定時間，則偵測單元264會觸發一異常事件。

茲以對晶圓222進行載出的操作來將上述之預定時間及異常事件說明如下。請參照第4A~4C圖，其分別繪示第2圖之晶圓222被適當地載入、載出時、及載出後之側視圖。當傳送機台240適當地載入晶圓222時，感測訊號S1係不會被遮斷，如第4A圖所示。當傳送機台240載出晶圓222時，感測訊號S1將會被遮斷，例如被機械手臂242a遮斷，如第4B圖所示，如被機械手臂242a所拿取之晶圓222所遮斷。之後，感測訊號S1係被持續遮斷，並於完成載出晶圓222時恢復未被遮斷之狀態，如第4C圖所示。因此，於正常操作下，傳送機台240在載出晶圓222的此段過程所需之時間，係可設定為上述之預定時間。替代地，載入晶圓222所需之時間亦可設為此預定時間。

當偵測單元264判斷超過此預定時間時，則可能表示此時之晶圓222可能係突出於載台220之此前側SD，例如是在載出晶圓222之前即已突出於載台220之此前側SD之外，或是載入晶圓222時，晶圓222未被完整地承載於載台220中而突出於載台220之此前側SD之外。此時，若傳送機台240再對此晶圓222進行載入或載出的動作時，則可能對此晶圓222造成損壞。因此，於本發明之實施例中，當偵測單元264判斷超過此預定時間時，偵測單元264便會觸發異常事件，以表示傳送機台240在載入或載出晶圓222時發生異常，如上述之例中，晶圓222係未被正確地承載於載台220之中。

再者，於此異常事件中，偵測單元264還可關閉控制器242b之電源，以使機械手臂242a停止進行載入載出晶圓222的動作。於實作中，此機械手臂242a例如為氣壓式之機械手臂，而控制器242b例如係藉由驅動空氣驅動器(air driver)，來控制機械手臂242a之移動。因此，偵測單元264可關閉此空氣驅動器，以使機械手臂242a停止運作。如此，將可停止傳送機台240對突出於載台220外之此晶圓222進行載入或載出的動作，而避免對此晶圓222造成損壞。

此外，於一實作之例子中，傳送機台240更用以移動載台220，以定位載台220至一操作位置。此操作位置為傳送機台240可適當地載入或載出此晶圓222之位置。此操作位置例如是第4A圖中以虛線所繪示之載台220之位置。於此實作之例子中，第2圖之監測裝置200可更包括另一感測單元266，用以提供另一感測資訊(例如是一感測訊號S2)，以表示載台220是否定位於操作位置上。如此，在感測單元262提供感測訊號S1之前，偵測單元264更用以依據感測訊號S2判斷載台220是否已被定位於此操作位置上。若已被定位於此操作位置上，則偵測單元264才會致能感測單元262，以使感測單元262提供感測訊號S1。

再者，偵測單元264還可包括一時間設定器264a。此時間設定器264a可用以設定上述之預定時間。而且，偵測單元264可更包括一重置開關264b，用以回應於一外力以重置偵測單元264。如此，當重置開關264b重置偵測單元264時，偵測單元264便會啟動控制器264b之電源，並重新依據感測訊號S1進行判斷的動作，例如重新執行步驟S140及S160。如此，於晶圓222突出於載台220之前側SD所導致的異常事件中，當使用者在排除此異常事件的原因之後，使用者便能施加此外力至重置開關264b，來重置偵測單元264，以恢復正常的操作。

本實施例之監測裝置200例如可由以下所揭露之一監測電路來實現。請參照第5圖，其繪示為本發明一實施例之監測電路260之一例之電路圖。於第5圖中，監測電路260包括感測單元262(未繪示於第5圖中)及偵測單元264。偵測單元264包括兩個控制單元(例如：兩個電壓控制器2641及2642)、一設定單元(例如：一儲存器2643)、一操作單元(例如：一閂鎖器2644)、與一驅動單元(例如：一驅動器2645)。

電壓控制器2641用以接收一第一偵測電壓(例如：一正電壓VP1)及一第二偵測電壓(例如：一接地電壓GND)，並依據感測訊號S1之電壓位準，輸出正電壓VP1及接地電壓GND之其中之一。儲存器2643用以儲存一第一儲存電壓V1。當電壓控制器2641輸出正電壓VP1時，儲存器2643接收正電壓VP1而提高第一儲存電壓V1之位準。當電壓控制器2641輸出接地電壓GND時，儲存器2643接收接地電壓GND而降低第一儲存電壓V1之位準。

閂鎖器2644用以依據第一儲存電壓V1之位準，以選擇性地啟動閂鎖並提供一第二儲存電壓V2。驅動器2645係受控於第二儲存電壓V2，以提供一驅動訊號Sd。電壓控制器2642用以接收一第三偵測電壓(例如：一正電壓VP2)，並依據驅動訊號Sd之電壓位準，選擇性地提供一警示訊號So。警示訊號So具有正電壓VP2之電壓位準。

茲將監測電路260如何提供警示訊號So的操作方式係說明如下。當電壓控制器2641依據感測訊號S1輸出正電壓VP1而提高儲存器2643之第一儲存電壓V1之位準、且使得第一儲存電壓V1大於一門檻值時，閂鎖器2644啟動閂鎖並提供第二儲存電壓V2。驅動器2645於第二儲存電壓V2之控制下，提供具有高電壓位準之驅動訊號Sd來驅動電壓控制器2642，以使電壓控制器2642提供警示訊號So。

進一步來說，於第5圖中，電壓控制器2641包括一第一負載元件(例如：一電阻器R1)及一第一電控元件(例如：一繼電器RL1)。繼電器RL1例如包括五個端點(pin)，例如包括一電源端PW1、一接地端G1、一共同端COM1、一常開端NO1、及一常閉端NC1。電源端PW1用以接收感測訊號S1。接地端G1係經由第一電阻R1耦接至接地電壓GND。常開端NO1用以接收正電壓VP1。常閉端NC1用以接收接地電壓GND。共同端COM1用以輸出正電壓VP1及接地電壓GND之其中之一。

當感測訊號S1為第一電壓位準時，例如為低電壓位準時，繼電器RL1將不會被激磁，故共同端COM1與常閉端NC1導通，以從共同端COM1輸出接地電壓GND。而當感測訊號S1為一第二電壓位準時，例如為高電壓位準時，繼電器RL1將會被激磁，故繼電器RL1係被感測訊號S1驅動使得共同端COM1與常開端NO1導通，以從共同端COM1輸出正電壓VP1。

儲存器2643例如包括一第一吸收單元(例如：一第一電容器C1)、一充電路徑PT1、及一放電路徑PT2。第一電容器C1之一端係耦接至接地電壓GND，如連接點n1所示。第一電容器C1係用以儲存第一儲存電壓V1。充電路徑PT1包括一第二負載元件(例如：一可變電阻VR)及一第一導流元件(例如：一第一二極體D1)。可變電阻VR之一端係耦接至電容器C1之另一端，如連接點n2所示。第一二極體D1係耦接至可變電阻VR之另一端，如連接點n3所示。放電路徑PT2包括一第三負載元件(例如：一第二電阻R2)及一第二導流元件(例如：一第二二極體D2)。第二電阻R2之一端係耦接至第一電容器C1之另一端，如連接點n4所示。第二二極體D2係耦接至第二電阻R2之另一端，如連接點n5所示。

當電壓控制器2641輸出正電壓VP1時，第一二極體D1導通，第一電容器C1經由可變電阻VR接收正電壓VP1，以使第一電容器C1進行充電而提高第一儲存電壓V1之位準。當電壓控制器2641輸出接地電壓GND時，第二二極體D2導通，第一電容器C1經由第二電阻R2接收接地電壓GND，以使第一電容器C1進行放電而降低第一儲存電壓V1之位準。

再者，當第一電容器C1經由充電路徑PT1上之可變電阻VR進行充電時，此時充電之時間常數係可由第一電容器C1之電容值與可變電阻VR之阻抗值所決定。故知，改變可變電阻VR之阻抗值，即可改變充電之時間常數。因此，藉由對應地設計第一電容器C1與可變電阻VR之特性，可達到改變第一電容器C1之充電時間之目的。故設定單元(包括第一電容器C1與可變電阻VR)之功能係可實質上等效於第2圖之時間設定器264a。

閂鎖器2644包括一第四負載元件(例如：一第三電阻器R3)、一第二吸收元件(例如：一第二電容器C2)、一第一邏輯閘(例如：一第一或閘OR1)及一第二邏輯閘(例如：一第二或閘OR2)。第三電阻器R3及第二電容器C2係為串聯。第一或閘OR1包括一輸入端IN1、一輸入端IN2、及一輸出端OT1。輸入端IN1用以接收第一儲存電壓V1。輸入端IN2耦接至接地電壓GND。輸出端OT1用以依據第一儲存電壓V1之位準，輸出一第三儲存電壓V3。第二或閘OR2包括輸入端IN3、一輸入端IN4、及一輸出端OT2。輸入端IN3用以接收第三儲存電壓V3。輸入端IN4用以接收一第四儲存電壓V4。輸出端OT2用以依據第三儲存電壓V3及第四儲存電壓V4之電壓位準，輸出第二儲存電壓V2。輸出端OT2係經由串聯之第三電阻器R3及第二電容器C2耦接至接地電壓GND，以於第三電阻器R3及第二電容器C2之串聯連接點n6上產生第四儲存電壓V4，並回授至輸入端IN4。

於第5圖中，偵測單元264更包括一緩衝器2646。緩衝器2646包括相互串聯之兩反相閘INV1及INV2。閂鎖器2644係用以經由兩反相閘INV1及INV2，以接收第一儲存電壓V1。當第一儲存電壓V1大於門檻值時，例如大於可使第一或閘OR1進入操作狀態之電壓值時，第一或閘OR1輸出具有高電壓位準之第三儲存電壓V3，且第二或閘OR2輸出具有高電壓位準之第二儲存電壓V2，並產生具有高電壓位準之第四儲存電壓V4，以使閂鎖器2644啟動閂鎖並提供第二儲存電壓V2。

再者，偵測單元264可更包括上述之重置開關264b，其係耦接至輸出端OT2，用以回應於外力耦接第二電容器C2至接地電壓GND，來降低第四儲存電壓V4之位準，以使閂鎖器2644解除閂鎖，而不再提供第二儲存電壓V2。

驅動器2645包括一第五負載單元(例如：一第四電阻器R4)及一切換單元(例如：一電晶體Q)。電晶體Q包括三個端，其係應地至一基極端B、一集極端C、及一射極端E。基極端B用以經由第四電阻器R4接收第二儲存電壓V2。集極端C耦接至正電壓VP1。射極端E用以輸出驅動訊號Sd。當第二儲存電壓V2具有高電壓位準時，電晶體Q提供具有高電壓位準之驅動訊號Sd。

電壓控制器2642包括一第二電控單元(例如：一繼電器RL2)。繼電器RL2亦例如包括五個端點，例如包括一電源端PW2、一接地端G2、一共同端COM2、一常開端NO2、一常閉端NC2。電源端PW2用以接收驅動訊號Sd。接地端G2係耦接至接地電壓GND。共同端COM2用以接收正電壓VP2。常開端NO2用以選擇性地提供警示訊號So。常閉端NC2可浮接，亦可作為其它應用所使用。其中，繼電器RL2於具有高電壓位準之驅動訊號Sd之驅動下，繼電器RL1將會被激磁，以從常開端NO2提供警示訊號SO。

故知，於第5圖所繪示之電路圖中，當此晶圓突出於載台外時，感測訊號S1之電壓位準將會改變，此監測電路260便可依據感測訊號S1之電壓位準的改變，來進行電性訊號之傳遞，以產生上述之警示訊號So。如此，便可藉由此警示訊號So來停止傳送機台對晶圓執行載入或載出的動作。如此，可避免對此晶圓造成損壞。

此外，於另一實施例中，操作單元可替代性地由一計數器來實現。此計數器係利用計數的方式來計算第一儲存電壓V1高於此門檻值的時間，並據以選擇性致能與選擇性地提供第二儲存電壓V2。

於再一實施例中，電控元件可替代性地由一比較器所實現。舉例來說，第一電控元件可由一比較器來實現。此比較器係用來比較第一感測資訊之位置與一預定電壓值，並據以決定將第一偵測電壓與第二偵測電壓之其中之一輸出之。相仿地，第二電控元件亦可由另一比較器來實現，其之作法不於此重述。

於又一實施例中，吸收元件可替代地性由一金屬半場效電晶體(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,MOSFET)來實現，而導流元件亦可由MOSFET來實現。

於上述所揭露之實施例中，如何以元件來實現監控電路僅係用以說明而為之，本發明並不被限定只能以所揭露之元件來實現。

本發明上述實施例所揭露之監測電路、晶圓載入載出異常監測裝置及其監測方法，藉由提供一感測資訊，以表示晶圓是否突出於載台之一側，並依據此感測訊號判斷晶圓突出於載台之此側之時間是否超過傳送機台用以載入或載出晶圓之預定時間。如此，可在晶圓突出於載台之此側之外時，觸發一異常事件，以表示傳送機台在載入載出晶圓時發生異常。再者，於此異常事件中，還可停止機台對此晶圓進行載入或載出的動作，來避免對此晶圓造成損壞。

綜上所述，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

200．．．監測裝置

220．．．載台

222．．．晶圓

240．．．傳送機台

242a．．．機械手臂

242b．．．控制器

260．．．監測電路

262、266．．．感測單元

264．．．偵測單元

264a．．．時間設定器

264b．．．重置開關

2641、2642．．．電壓控制器

2643．．．儲存器

2644．．．閂鎖器

2645．．．驅動器

S1、S2．．．感測訊號

S120~S160．．．流程步驟

第1圖繪示依照本發明一實施例之監測方法之流程圖。

第2圖繪示依照本發明一實施例之晶圓載入載出異常監測裝置之方塊圖。

第3A圖繪示第2圖之晶圓載入載出異常監測裝置之載台及其部分架構之一例之側視圖。

第3B圖繪示第3A圖之載台所承載之晶圓突出於載台之此側時之側視圖。

第4A~4C圖分別繪示第3A圖之晶圓被適當地載入、載出時、及載出後之側視圖。

第5圖繪示為依據本發明一實施例之監測電路之一例之電路圖。

S120~S160．．．流程步驟

Claims (30)

1. 一種晶圓(wafer)載入載出異常監測裝置，包括：一第一感測單元，用以提供一第一感測資訊，該第一感測資訊用以表示一晶圓是否突出於一載台之一側；及一偵測單元，用以依據該第一感測資訊，判斷該晶圓突出於該載台之該側之時間是否超過該晶圓被載入或載出之一預定時間，若超過該預定時間，則該偵測單元更用以觸發一異常事件，該偵測單元包括：一第一控制單元，用以依據該第一感測資訊之電壓位準，輸出一偵測電壓；一設定單元，用以儲存一第一儲存電壓，並依據該偵測電壓調整該第一儲存電壓之位準；一操作單元，用以依據該第一儲存電壓之位準，選擇性地啟動閂鎖並提供一第二儲存電壓；一驅動單元，係受控於該第二儲存電壓，以提供一驅動訊號；及一第二控制單元，用以依據該驅動訊號之電壓位準，選擇性地提供一警示訊號。
2. 如申請專利範圍第1項所述之監測裝置，其中該偵測單元包括：一時間設定器，用以設定該預定時間。
3. 如申請專利範圍第1項所述之監測裝置，更包括：一傳送機台，該傳送機台包括一機械手臂及一控制器，其中該機械手臂用以於該控制器之控制下進行載入載出該晶圓的動作； 其中，當該偵測單元觸發該異常事件時，該偵測單元更用以關閉該控制器之電源，以使該機械手臂停止進行載入載出該晶圓的動作。
4. 如申請專利範圍第3項所述之監測裝置，其中該偵測單元包括：一重置開關，用以回應於一外力以重置該偵測單元，當該重置開關重置該偵測單元時，該偵測單元啟動該控制器之電源，並重新依據該第一感測資訊進行判斷的動作。
5. 如申請專利範圍第3項所述之監測裝置，其中該傳送機台更用以移動該載台，以定位該載台至一操作位置，該操作位置係可使該傳送機台載入或載出該晶圓，該監測裝置更包括：一第二感測單元，用以提供一第二感測資訊，該第二感測資訊用以表示該載台是否定位於該操作位置上；其中，在該第一感測單元提供該第一感測資訊之前，該偵測單元更用以依據該第二感測資訊判斷該載台是否已被定位於該操作位置上，若已被定位於該操作位置上，則該偵測單元致能該第一感測單元，以使該第一感測單元提供該第一感測資訊。
6. 如申請專利範圍第1項所述之監測裝置，其中該第一感測資訊係為一感測訊號。
7. 一種監測方法，用以監測一傳送機台從一載台之一側載入或載出一晶圓(wafer)時是否發生異常，該方法包括：提供一第一感測資訊，該第一感測資訊用以表示該晶 圓是否突出於該載台之該側；以及依據該第一感測資訊判斷該晶圓突出於該載台之該側之時間，是否超過該晶圓被載入或載出之一預定時間，若超過該預定時間，則觸發一異常事件；其中該觸發該異常事件之步驟包括：依據該第一感測資訊之電壓位準，輸出一偵測電壓；儲存一第一儲存電壓，並依據該偵測電壓調整該第一儲存電壓之位準；依據該第一儲存電壓之位準，選擇性地啟動閂鎖並提供一第二儲存電壓；依據該第二儲存電壓，提供一驅動訊號；及依據該驅動訊號之電壓位準，選擇性地提供一警示訊號。
8. 如申請專利範圍第7項所述之監測方法，更包括：以一時間設定器設定該預定時間。
9. 如申請專利範圍第7項所述之監測方法，其中該傳送機台包括一機械手臂及一控制器，該機械手臂用以於該控制器之控制下進行載入載出該晶圓的動作，其中，觸發該異常事件之步驟包括：關閉該控制器之電源，以使該機械手臂停止進行載入載出該晶圓的動作。
10. 如申請專利範圍第9項所述之監測方法，其中，在關閉該控制器之電源之步驟後，該方法更包括：回應於一外力啟動該控制器之電源，並重新執行判斷 的步驟。
11. 如申請專利範圍第7項所述之監測方法，其中該傳送機台更用以移動該載台，以定位該載台至一操作位置，該操作位置係可使該傳送機台載入或載出該晶圓，其中在提供該第一感測資訊之步驟前，該方法更包括：提供一第二感測資訊，該第二感測資訊用以表示該載台是否定位於該操作位置上；以及依據該第二感測資訊判斷該載台是否已被定位於該操作位置上，若該載台已被定位於該操作位置上，則執行提供該第一感測資訊之步驟。
12. 如申請專利範圍第7項所述之監測方法，其中該第一感測資訊係為一感測訊號。
13. 一種監測電路，包括：一第一感測單元，用以提供一第一感測資訊；以及一偵測單元，包括：一第一控制單元，用以接收一第一偵測電壓及一第二偵測電壓，並依據該第一感測資訊之電壓位準，輸出該第一偵測電壓及該第二偵測電壓之其中之一；一設定單元，用以儲存一第一儲存電壓，當該第一控制單元輸出該第一偵測電壓時，該設定單元接收該第一偵測電壓而提高該第一儲存電壓之位準，當該第一控制單元輸出該第二偵測電壓時，該設定單元接收該第二偵測電壓而降低該第一儲存電壓之位準；一操作單元，用以依據該第一儲存電壓之位準，以選擇性地啟動閂鎖並提供一第二儲存電壓； 一驅動單元，係受控於該第二儲存電壓，以提供一驅動訊號；及一第二控制單元，用以接收一第三偵測電壓，並依據該驅動訊號之電壓位準，選擇性地提供一警示訊號，該警示訊號具有該第三偵測電壓之電壓位準；其中，當該第一控制單元依據該第一感測資訊輸出該第一偵測電壓而提高該設定單元之該第一儲存電壓之位準、且使得該第一儲存電壓大於一門檻值時，該操作單元啟動閂鎖並提供該第二儲存電壓，該驅動單元於該第二儲存電壓之控制下，提供具有高電壓位準之該驅動訊號來驅動該第二控制單元，以使該第二控制單元提供該警示訊號。
14. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該第一控制單元包括一第一負載元件及一第一電控元件，該第一電控元件包括：一第一端，用以接收該第一感測資訊；一第二端，係經由該第一負載元件耦接至該第二偵測電壓；一第三端，用以接收該第一偵測電壓；一第四端，用以接收該第二偵測電壓；以及一第五端，用以輸出該第一偵測電壓及該第二偵測電壓之其中之一；其中，當該第一感測資訊具有一第一電壓位準時，該第五端與該第四端導通，以從該第五端輸出該第二偵測電壓，而當該第一感測資訊具有一第二電壓位準時，該第一 電控元件係被該第一感測資訊驅動使得該第五端與該第三端導通，以從該第五端輸出該第一偵測電壓。
15. 如申請專利範圍第14項所述之監測電路，其中該第一負載元件係由一電阻器所實現，而該第一電控元件係由一繼電器所實現。
16. 如申請專利範圍第14項所述之監測電路，其中該第一電控元件係由一比較器所實現。
17. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該設定單元包括：一第一吸收元件，用以儲存該第一儲存電壓，該第一吸收元件之一端係耦接至該第二偵測電壓；一充電路徑，包括：一第二負載元件，其之一端係耦接至該第一吸收元件之另一端；及一第一導流元件，係耦接至該第二負載元件之另一端；以及一放電路徑，包括：一第三負載元件，其之一端係耦接至該第一吸收元件之該另一端；及一第二導流元件，係耦接至該第三負載元件之另一端；其中，當該第一控制單元輸出該第一偵測電壓時，該第一導流元件導通，該第一吸收元件之該另一端經由該第二負載元件接收該第一偵測電壓，以使該第一吸收元件進行充電而提高該第一儲存電壓之位準； 其中，當該第一控制單元輸出該第二偵測電壓時，該第二導流元件導通，該第一吸收元件之該另一端經由該第三負載元件接收該第二偵測電壓，以使該第一吸收元件進行放電而降低該第一儲存電壓之位準。
18. 如申請專利範圍第17項所述之監測電路，其中該第一吸收元件係由一電容器所實現，而各該導流元件係由二極體所實現。
19. 如申請專利範圍第17項所述之監測電路，其中該第一吸收元件係由金屬半場效電晶體(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,MOSFET)所實現，且各該導流元件係由MOSFET所實現。
20. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該操作單元包括：一第四負載元件及一第二吸收元件，係為相互串聯；一第一邏輯閘，包括：一第一輸入端，用以接收該第一儲存電壓；一第二輸入端，耦接至該第二偵測電壓；及一第一輸出端，用以依據該第一儲存電壓之位準，輸出一第三儲存電壓；以及一第二邏輯閘，包括：一第三輸入端，用以接收該第三儲存電壓；一第四輸入端，用以接收一第四儲存電壓；及一第二輸出端，用以依據該第三儲存電壓及該第四儲存電壓之電壓位準，輸出該第二儲存電壓，該第二輸出端係經由串聯之該第四負載元件及該第二吸收元件 耦接至該第二偵測電壓，以於該第四負載元件及該第二吸收元件之串聯連接點上產生該第四儲存電壓，並回授至該第四輸入端；其中，當該第一儲存電壓大於可使該第一邏輯閘進入操作狀態之該門檻值時，該第一邏輯閘輸出具有高電壓位準之該第三儲存電壓，且該第二邏輯閘輸出具有高電壓位準之該第二儲存電壓，並產生具有高電壓位準之該第四儲存電壓，以使該操作單元啟動閂鎖並提供該第二儲存電壓。
21. 如申請專利範圍第20項所述之監測電路，更包括：一重置開關，係耦接至該第二輸出端，用以回應於一外力耦接該第二吸收元件至該第二偵測電壓，來降低該第四儲存電壓之位準，以使該操作單元解除閂鎖。
22. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該驅動單元包括：一第五負載元件；以及一切換元件，包括：一第一端，用以經由該第五負載元件接收該第二儲存電壓；一第二端，耦接至該第一偵測電壓；及一第三端，用以輸出該驅動訊號；其中，當該第二儲存電壓具有高電壓位準時，該切換元件提供具有高電壓位準之該驅動訊號。
23. 如申請專利範圍第22項所述之監測電路，其中 該切換元件係由電晶體所實現。
24. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中第二控制單元包括一第二電控元件，其包括：一第一端，用以接收該驅動訊號；一第二端，係耦接至該第二偵測電壓；一第三端，用以選擇性地提供該警示訊號；以及一第五端，用以接收該第三偵測電壓；其中，該第二電控元件係於具有高電壓位準之該驅動訊號之驅動下，以從該第三端提供該警示訊號。
25. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該偵測單元更包括一緩衝器，該緩衝器包括：相互串聯之一第一反相閘及一第二反相閘；其中，該操作單元係用以經由該第一反相閘及該第二反相閘來接收該第一儲存電壓。
26. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該控制單元係由電壓控制器所實現。
27. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該操作單元係由閂鎖器所實現。
28. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該操作單元係由計數器所實現。
29. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該驅動單元係由驅動器所實現。
30. 如申請專利範圍第13項所述之監測電路，其中該感測資訊係為感測訊號。