TWI378527B - Elevator linear motor drive - Google Patents

Description

1378527 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種掌握及處理基板之系統及方法，該基板可例如為磁碟；特 別是關於一種系統及方法，可以改良基板載具在一使用磁性管路之基板處理系統 内之移動。 【先前技術】 發明之背景 基板之處理’係如磁碟之形成，乃是一種繁複且複雜之作業。需先使用大型 客製化之機具，以執行數種特別的步驟，以在基板上塗布多層物質，其後再加熱 及冷卻該基板。用來處理基板的機器通常體積龐大，且需使用相當大的空間才能 操作。此外，這些機器都必須在高科技的潔淨室内操作，建造及維護該潔淨空間 相當昂貴。因此，確有需要縮小基板處理器機之整體體積。 此外，目前業界也亟需改進各基板單元的製作速度，以將機器的效用提到最 高旧而’提高處理速度乃是-種挑戰，因為其令有許多處理步驟有其最小時間 需求’例如在塗布基板時，塗布特定塗層、加熱及冷卻，都有其既定時間需求。 結果，許纽良方_是針對並無提⑽值的處理步驟。例如提高縣板由一步 驟移送到下一步騾所需的時間。 就此而言’目前已知之技術，例如由美國加州聖塔克拉拉物隱公司所 產製的驗视统，即提出多種可以縮小機器整體體積的解決方案。該· ^⑧機器在美_第6,9_號（以下稱「叫利」）中另有較詳細的描述， 細案之内峨本案之參考。其卜種改良乃在於將處理腔體作疊層式的建 構，結果只需使用習知技術所需一半空間，即可用來執行兩倍的處理步驟。將昇 1378527 降um统的任—側，以在—基板達到該同層之處理腔體終站時 ，將它由 該處理層移送到另-處理層^在該⑻丨專利中並提出多種其他改良，不過，其内 容與本案較不相關。 國際專利公開案W0 2006/026886A1 (以下稱「886專利」）也揭示-種基板 處理系統tfij具有一層式處理腔體。與該〇〇1專利所述的2〇〇Lean⑧系、統極為相 似該886專利揭不-個昇降模組以將一基板由一層傳送到另一層，並揭示使用 磁性手段’ 卩紐馬達，料該基板載紅搬送手段。 在例如該001專利與該886專利所述的基板處理系統中，基板的移動也需使 用-載具，以在基板於雜巾㈣時，支職基板。絲板必須設計成需只在該 基板的外側邊緣緊緊抓住該基板，才不會妨礙其塗布作# ^結果該載具只能不 穩固的保持絲板’只要有__微_動由任何方向達賴具，即可將基板震 出載具之外’制整個祕必婦卫，進行維修^ @此該在該基板處理系統 内移動時，必須避免任何振動。最主要的是，必須盡量減小與該基板表面垂直方 向的加速力。不過’ ±述需求必須與提昇處理速度的需求相權衡，因為處理速度 愈咼，該基板更可能因其高速移動而振出到載具之外。 因此目前㈣有·_種改良的基板處理綠，可以儘量驗無增加價值步驟的 處理時間’能避免對賴具及該基板產生振動，且能簡化該紐在_疊層式系統 中各層間移動之步驟》 【發明内容】 發明之簡沭 以下發明之簡述是用來提供對本發明數種面向及特徵的基本理解。發明的簡 述不是對本發_全面性展現，因此並不是用來特職明本發明的_性或最重 1^/8527 要的7L件’也;來界定本發明的範圍。其唯_目的只是細簡要的方式顯示 本發明某些概念，作為其下本發明詳細酬的前奏。 本發明的實施例提供—基板處理系統，具有-磁性管路架置，以改良—基板 載具在系財的鶴。由_面向言，該磁性管路的設置_可以提供—載具在該 基板處理魏的-昇降機子系統中，能夠迅速而安定㈣，其方式為使用磁性管 路，以轉移-線性馬達產生的磁力，因而使該線性馬達可位於該系統外部，位於 不會妨礙該昇降機移動的位置。 輯本發明的—面向，本發明乃是提供-載送⑽，以在-具有至少一腔體 的土板處理系統巾載送—基板。該載送系統包括：位於該腔體内之軌道；一基板 載具，裝載於該軌道上，以載送絲板；多數雜元件，附設於該載具；一線性 馬達’及錄魏管道’位於該線性馬達與職具之S ;其巾綱性管道將該磁 力由遠線性馬達傳送職具，以產生磁性搞合，用以移賴載具。該線性馬達可 位於各該腔體外部。各該磁性元件可包括-磁塊，位於-金屬塊之上。該磁性管 道可呈「L」形。該磁性管道可呈「煙囪」形。該基板處理系統可包括至少二層 之處理腔，其中一第—層疊設於一第二層之上方。該系統可另包括一昇降機腔， 用以將該载具由該處理腔之一層移送到另一層。該系統可另包括—昇降機線性馬 達’位於該昇降機腔外部，其中該昇降機線性馬達與該昇降機腔内一系列相隣的 磁性官道對應，以使該磁性管道引導該載具由一處理腔進入該昇降機腔。該系列 相瞵的磁性管道另可引導該載具，由該昇降機腔進入一處理腔。 根據本發明另一面向，係提供一基板處理系統的昇降機子系統，該昇降機子 系統包括：一昇降機腔，可保持一真空；至少一線性馬達，位於該昇降機腔外部， 其中該線性馬達產生一磁性動力；一可動載具，包含多數磁性元件；一可垂直移 1378527 動祕懸，μ垂直祕賴具；及多紐構件，瞻料降碰，用以將該 磁場由該線性馬物合到該磁性元件。該昇降機子系統可另包括_系列之相· 構件’絲解除該載具與在—相連的纽腔巾之_線性馬達之齡，並將該載具 引導到該昇降機財。該昇降機子线可另包含_系列之軌條，附設於該昇降機 座，以引導該載具到該昇降機腔中。該多數柱構件可位於該載具底板之下，以藉 高職載具所施之重力，而提升雜具的穩紐。純構件可職「[」形， • #此使該線性馬達在該載具耗合到其下方之柱構件時，可位於該昇降機腔的側 • 壁。該昇降機腔中位於該線性馬達與該多數構件間的壁板，可以薄金屬材料製 作。該壁板可為銘質》該柱構件可以透氣軟質金屬製成，以減少該磁場在該線性 馬達與雜構制之損耗1柱構件可為—4_列不鏽各該磁性元件 可包括一磁塊’附於一金屬塊上。 依據本發明另-面向’係提供-基板處理系統，該系統包括 > 系列處理腔； 軌道，位於各該處理腔之内；一基板載具，載設於該軌道上，用以載送該基板在 各處理腔間移動；多數磁性元件，附設在該載具上；一線性馬達；及多數磁性管 _ 道’位於該線性馬達與該載具之間；其中該磁性管道將該磁力由該線性馬達傳送 到該載具，以產生-磁性耗合，用以載送該載具。該系列處理腔可包括一第一層 _腔體及-第二層相隣腔體，該第二層相隱腔體位於該第—層相鱗腔體之上。 該基板處理系統可另包括一昇降機腔，可將該載具在該第一層及該第二層處理腔 之間移送。该基板處理系統可另包括一昇降機線性馬達位於該昇降機腔外部， 其中韻降機線性馬達與在該昇降機腔㈣相隣磁性管道相職，以使該 磁性管道將該載具引導進出該昇降機腔。 【實施方式】 1378527 在說明本案發明之前’必須先聲明本發明並不限於在此所述的任何特定實 例，因其實施方式容有變化。也需說明，在說明書中所用的辭囊只是用來摇述特 定的實施例，並不能用來限定本發明之範圍。本發明的範圍只能透過所附的申請 專利範圍來界定。 本發明的數面向均揭示··供彻魏f道來缩短將—基板及—載具在一疊 • 層式多層基板處理系統中’由一層移動到另-層所需的時間。本發明使用較少數 . 的機械元件，即可將該載具移送進入-昇降機系統中，同時，也只需以極小的剪 • 切磁力（shearmagneticforces)即可將該載具由-相連處理腔移送到-昇降機腔。 此外本發月使用磁性管道’特別是其柱構件的相隣設置方式，可使該載具在整 體系統之移動更為穩定，而降低基細ί震離一載具的可能性。 第1圖即顯示本發明-實例的基板處理系统1〇〇，該系統⑽包括一系列之 處理腔Η)2，用來塗布各種塗料到一基板1〇3，及作其他處理。該基板進入該系 統’並負載在-載具上，如第2圖所示。該載具1〇4接觸該基板以外側邊， 但只接觸到少伽1G6，肋使其表面敎雜祕，以健布及作其他處理。 # 該載具具有一載具座108，用以將該載具⑽在該系統100的各處理腔1〇2間移 送0 . 如第2圖所示，_具⑽的載具座⑽設有輪子116，可套在系統中的轨 道（不於其他圖中）上》雖然可以使用磁性輪，但在此所使用的輪子並無磁 I·生如本文所述，使用線性馬達作為移送系統可大大減少立即加速及減速控制所 需之強大的摩擦力。該載具座1〇8也包括一磁性移送系統的一部份。換言之在 本實施例中使用一磁性移送機構，其中使用一線性馬達來將該載具在各處理腔間 移送，並進出該昇降機。該線性馬達可為一磁阻型纖⑽e)線性馬達。 1378527 在該載具座⑽上設磁性材料、磁塊或兩者112俱設，以與該線性馬達互動。在 -實施例中，元件m是以磁性㈣製作。而在其他實施财元件ιΐ2則為各 別的磁塊。另在其他實施例中，該元件112則為各別的磁塊，附貼在磁性材料上。 第3圖顯示該磁性移送機構的一實施例。在第3圖中，有一真空隔牆將機器 中的真空部份，亦即標示124之部份，與該機器中的大氣環境部份亦即標示122 之部份’加以齡。該線性馬達11G是位於核環境中，而該載具⑽賴在執 道114上’則是位於真空側。將磁性能量糕合以移動該載具的方式，則是以磁場 管道118加以達成。磁場管道118界定並導引該磁場，由該線性馬達ιι〇朝向位 於該載具座的磁'_合元件112。因此，當該線性馬達ι職動後，可將該耗合 的載具座108由-處理腔移_另_處理腔，或進人該將機及㈣昇降機移出。 在第3圖所示的實施例中，為能夠提供在該基板處理系統内的線性路徑中穩 定移動’該載具座是與-系列的軌條114互動。該軌條ιΐ4沿該處理腔及昇降機 腔長度方向設置⑽賴具座設有輪子116，可沿該軌舰動，崎該載具保持 直線移動。在第3圖中該載具1()4的移動是向頁面移出及移入，如其中標記％所 示0 在本發明-面向中’是使用磁性管道來延伸及矮正一線性馬達之反應元件 (如载具座的磁塊）所在位置，以保持該磁性稱合。在一種典型的設計中該線 馬達位於…亥互動元件（例如為—磁塊、鐵或其他導電材料）平行之處。由於 使用磁性軟質材料’例如4〇〇系列不鏽鋼或鐵，該線性馬達所產生的磁力可以利 用磁性管道118導引到不同角度及位置。 第4A-4C圖顯示該磁性管道118轉向導引該線性馬達ιι〇所生磁力之功能。 在實例中’翻性管道可形成為一系列的柱構件ιΐ8，如第Μ圖所示。該柱 1378527 構件m為長形’且有不_長度使一磁塊可以沿該長形之柱構件n8所形成 的路峨’並以與該_件m所形成的娜動。該馬達可為—線性馬達 110 ’可以-隔牆（未圖示）與該柱構件118隔離，但仍可將其磁力傳送到該柱 構件118 “顺與—載具連結時…如在本實施_基板處理系統，該载具 與該基板可以依相同路徑行進。第4B圖顯示如何設置該柱構件以使一載具沿 f曲路從12G打進。第4C _顯示如何以訂製型的柱構件⑴設計使該載 具120沿各種不同方向行進，纟中所使用的線性馬達則只提供一線性移動路徑。

第5圖顯示另一實施例’其中該柱構件118為「L」形，而由固定部152支 撐，並位於該載具座1〇8下方，該載具1〇8可在該基板處理系統⑽中行進。該 多數柱構件118位於該載具底側之下方，用以提高作用於該載具的重力，而提高 該載具的穩定度。也就是說，賴雜馬達職生_場加以料，以吸附位在 載具座的磁性元件’而該f曲的磁力可以提高作用於該載具的重力。該固定部152 附著在該處理㈣元件’例如雜隔牆、昇降機等之上。第6圖即本實施例 令相關元件的放大詳細圖。圖中顯示該柱構件118提供—穩定的磁賴合到該載 具座108，並可避免不必要的振動，故可降低使該基板（未圖示）自該載具1〇4 脫離的機會。如第6圖所示’元件U2為個別的磁塊m，附著在磁性材料塊n3。 在另一實施例令，本發明是使用磁性耦合來使該線性馬達u〇裝置在該處理 腔外部的大氣環境112中，而不是位在真空124中。兩者以隔牆126隔離。線性 馬達110有許多線路及元件位在該外部，故可形成較高度的真空，以避免由該線 性馬達110所產生的汙染或干擾。 在另一替代性的實施例中，是將該線性馬達設在該真空中，而與該裁具的直 接形成磁性耦合。但是，在這種設計下，該柱構件需設置成可與該線性馬達互動， 1378527 然後形成-直角，以引導該磁場而與該載具適#互動。類似這種設計可以避免該 載具在處理腔之間移動時，產生不要的側向移動。 該磁|±官道有《•種應用是使用在—基板處理系統的綺機子系統中，一如 第1圖所7F的幵降機子系I在-實施例中，該昇雜子系統包括一昇降機腔， 與-處理腔102相連，該處理腔1G2位於多數處理腔第丨排128及第2排13〇的 端點。韻降機子綠設計成可將—載具及基板自—排移動到另-排以繼續進 行處理。本發明糊磁性管道，形成在該昇降機腔126⑽相對應柱構件總成， 可以將-載具裝制將機腔⑶中’並在其中加·心使用—侧的線性馬 達，設置在該昇降機腔外部’以提供磁力到該柱構件，以將該載具移進該昇降機 腔。 第7圖顯示本發明所使用的昇降機132的一實施例。其中有兩具線性馬達 ll〇a與110b設在該料機腔隔牆130卜部。該昇降齡31〇在一昇降機構上作 上、下移動’該昇降機構可為一昇降機柱或鏈條312。軌道114及柱構件固定在 昇降機座310。當該昇降機132將該昇降機座31()對準位該處理腔的下方或上方 位置時，該柱構件118即對準-相對應的線性馬達u〇a或u〇b。在這個位置上 啟動該線性馬達，使其力場透過該隔牆134傳送到該柱構件118，用以載送該載 具 104。 第8圖顯示本發明一實施例的昇降機中，相關元件的擴大圖，但未顯示其隔 牆134 ’故可見到該線性馬達。在本實施例中該柱構件118將該線性馬達的 磁場彎曲成90度，成為「L」形。該柱構件118位於該載具座1〇8的下方，故使 6玄線性馬達所產生的磁力透過柱構件us向上傳送，以與位在該載具座丨⑽上的 磁塊或磁性材料112形成一磁性耦合。第8圖另顯示該柱構件丨18的特定設計， 1378527 以及其與該載具座1()8的磁塊112的互動。該柱構件US位在—軌條架136上， 該執條架136在該昇降機腔内，而與昇降機134的背板138相連。軌條叫位於 該轨條架Β6上，用以在該載具座1〇8進入該昇降機腔内時提供水平方向之導 引。補具座75可由-自頁面後方延伸出的平面（作為參相），進人該昇降機 腔。 在該載具進人該機腔之後，料降機可以提起或降下該背板138，視實 際需要而定。«具座⑽即制在該軌條114，並在上移動。而在該昇降機抵 達所需層次之後’研機即停止，並啟動該線性馬達，以使練構件1丨8弯曲該 磁場，以將該載具座⑽移送出該昇降機腔，而進入新到的層次上賴近處理腔 中。 該延伸的柱齡設計可使域性馬_定在料賴外㈣位置。該柱構件 將該磁場加以延伸，以與該附在該載具的磁性材料作適當的互^在該昇降機 中，當該背板138提起或降下時，是把柱構件U8由該線性馬達ιι〇移開，因而 不需使用魏力量來抵抗該線性馬達所產生之磁場。以該柱構件簡單的機械移 動，即可使賴雜鱗性馬達_力齡。本發_設計相免除使用如 該886專利所述，使用反向磁力的必要性。 在本發明的一實例中，是使用可透氣的磁性柱構件，設於線性馬達中已設置 的柱構件緊隣，用城少磁獅加餘構件可以設計成具有最纽益，亦即， 使用積層式柱構件以減小渦流損失（eddy currem 1〇&防）。 在本發明另一實施例中，是以該柱構件反向作為偵測器以探測磁場。可以 在該延伸的轉壯附加-_額賴期器（—μ%丨丨他以_)，用 以讀取該柱構件另-側_場不過’這種作法會導致力量的流失。 1378527

以上疋對本發—干實例的特定方式所為的說明但由本發明的原理實可行 生出其他實施•此外，所述的操作也可以不同_序加以執行1施例令所干丁 的順序只是可_例而已。本發明的操作也伽重排、改變、或減_， 其方式不-而足’但均在本翻範圍之心所有在本發明範_的實施例尚包 括用來實施及含棚可執行指令娜結構在其中的電腦可讀記錄媒介物α 種電腦可讀記錄媒介物可包括任何可由泛用型或專用型細處理的任何種類的 媒介物，為㈣’魏断讀取記錄齡物可紐：_、瞻、卿_、 DVD CD ROM或其他辟碟片儲存裝置，磁性磁㈣存裝置或其他磁性儲存裝 置’以及任何其觸介物，可时攜帶續存所需程式碼手段，而型式為電腦可 執行指令或資料結構，並可以—泛用型或專用型電腦加以存取的媒介物。上述專 用型電腦可包«麟子束工具 '電子紅具贼其他各_體電路處理工具。 當將資訊透過-網路或其他通信連線或連結（餘以硬體線路、無線或硬體線路 及…線之…）提供到-電腦，該電腦即將該連结視為一電腦可讀取媒介物。因 此’任何上述連線均可適當視為電腦可讀取媒介物。上述方式的組合也將包括在 該電腦可讀取媒介物贼義内。而電腦可執行指令則包括，例如可使—泛用型電 腦 '專用型電腦或特定目的處理裝置執行特定功能或—崎定功能的指令及資 料0 本發明中所提及之參考方向（例如：上方、下方、向上、向下、左、右'向 左向右 '頂部、底部、之上、之下等），都只是用來說明以幫助讀者理解本 發明的實細例’而不能用來限定本發明，特別是關於位置、方向或用途。但在申 凊專利範圍特別限定的，即不在此限。對連結關係的說明，例如附著、柄合、連 ”。等’也應以其廣義加以理解，且在連結關係中可能包含中介元件，以及相關元 [S3 】2 1378527 件間的移動。因此’對連結關係的說明不能推論成兩元件必須直接連結或其間 存在固定的關係。 在某些實例巾，可能說明到元件的「端點」具有特定_性及/或與其他零件 相連。但習於斯藝的人士均知’本發明並不限定元件在與其他零件的連結點之 後，即完全不再延伸。因此，「端點」[詞應作廣義解釋，而應包括鱗近後靠、 前靠或以其他《接近-特定树…連結、—構件或其他物品的端面的區域。 特此聲明：在本賴書所含的事項，以及·情顯示，鑛娜為例示之用， 而不是用來關。對本發日_細細__更，仍视離峨申請專利範 圍所界定的本發明精神範圍。 在說明書所制之贿，在其範圍上限與下限_巾間數值，以及其他所述 的數值及在其範_的中間數值，除另外特別說明以外，計到其下限值單位的十 分之-，都在本㈣·圍之内，在±職少範_的上隨及下限位都可 分別包含在其餘’也都在本發糊内。但在所述範_如有排除的限制， 則不在此限。所義制如果包括—種或二種極限，騎含的極_卜的範圍， 也在本發明範圍以内。 除另有說明者外，本發明書所使用的技術或科學辭彙都與本發明所屬領域 内’具有通常知触術的人士-般所卿的意動目^ _在實施或試驗本發明 時，也可使用卿祕相似咖__及材料，但本件說明書只在說明 ’以揭示及說明提及該 較佳的方法及材料。所提示的出版品都併入本案作為參考 出版品時相關的方法及/或材料。 及「該」都包括複數的 另需S兒明，在衣文及所附的申請專利範圍中，「 指稱對象，但文中有其他明確說明者，不在此限。 13 [s] ^/8527 與其實際出版曰期可能不符， 本文所討論的出版品只是因為其出刊日期早於樹請曰，才加以提件。不 得用以解釋料狀已經承認本發明不得主張比該^版品更早的權利日，例如 較早的發明日等。此外，所提供的各歧品出版曰 但其正確曰期均能各別加以確認。 習於斯藝之人士在閱讀本件說明書後均能理解，本案所說明及展示的各別獨 ”施例，有其不_元件及特徵，都可以與其他數種實施_任何特徵互相分 離或結合，仍不脫離本發明的範圍及精神。

。部份元件及特徵是經過放大， 圖式中所顯示之元件，比例未必與實際相符 以清楚顯示其内容。 【圖式簡單說明】 本專利說明書所附的圖式納入本件專利說明書中，並成為其一部份，是用來 例不本發_實_，並與本案的制内容共_來說·展示本發明的原理。 圖式的目的只細_方式例示本發明實施例的主要特徵1式並不是用來顯示 實際上的範例的全部特徵，也不是用來表示其中各元件之相對尺寸，或其比例。 第1圖表示本發明一實施例的基板處理系統。 第2圖表示本發明一實施例的载具立體圖。 第3圖表示本發明的磁性載送機構一實施例的側視圓。 第4A圖表示本發明一實施例中，一磁性管道或柱構件以方向性改變一磁性 反應物的路線的功能示意圖。 第4B圖表示本發明一實施例中，一柱構件以方向性改變一磁性反應物的路 線成為一曲線的功能示意圖。 第4C圖表示本發明一實施例中，一柱構件以方向性改變一磁性反應物的路 1378527 線的功能示意圖。 第5圖表示本發明一實施例中，一載具座與一線性馬達作磁性互動的示意圖。 第6圖為第5圖之詳細圖。 第7圖為本發明一面向的昇降機。 第8圖為本發明一面向的昇降機與線性馬達的放大圖。

【主要元件符號說明】 100 系統 102 處理腔 103 基板 104 載具 106 點 108 載具座 110 線性馬達 110a ' 110b 線性馬達 111 磁塊 112 磁性材料、磁塊 113 磁性材料塊 114 軌道 116 輪子 118 磁場管道 120 彎曲路徑 122 大氣環境 124 真空部份 126 隔牆 126 昇降機腔 128 第1排端點 130 第2排端點 132 昇降機 134 隔牆 136 條架 138 背板 [S3 15 1378527 152 固定部 310 昇降機座 312 昇降機柱或鏈條

i s] 16

Claims (1)

1378527 七申5奢專利範圍： 1. —種在一具有至少-腔體的基板處理系統中 位於該腔體内之軌道； 裁送一基板的系統，包括： 一基板載具’裝載於錄道上，以載送該基板，· 少數磁性元件，附設於該載具； 一線性馬達；及

多數磁性管it ’位於該雜馬達與該載具之 該線性馬達傳送_具，以產生磁性麵合， 間；其中該磁性管道將該磁力由 用以移送該載具 2·如申請專利範圍第1項之系統，其中該線性馬達位於各該腔體外部。 3.如申請專利觸2項之系統，其中各該磁性元件包括-磁塊，位於-金屬 塊之上》 4·如申清專利範圍第i項之系統，其中該磁性管道呈「匕」形。 5. 如申請專利範圍帛！項之系統，其中該磁性管道呈「煙函」形。 6. 如申明專利範圍第i項之系統，其中該基板處理系統包括至少二層之處理 • 腔’其中一第一層疊於-第二層之上方。 7. 如申凊專利範圍帛6項之系統，其中該系統另包括一昇降機腔，用以將該載 具由該處理腔的一層移送到另一層。 8. 如申請專利範圍第7項之系統，其中該系統另包括一昇降機線性馬達，位於 該昇降機腔外部，其中該昇降機線性馬達與該昇降機腔内一系列相隣的磁性管道 對應，以使該磁性管道引導該載具由一處理腔進入該昇降機腔。 9. 如申請專利範圍第7項之系統，其中該系列相隣的磁性管道另可引導該載 具，由該昇降機腔進入一處理腔。 m 17 1378527 1〇· —種基板處理系統的昇降機子系统，包括： 一昇降機腔，可保持一真空； 至少-線性馬達，位於該昇降機腔外部，其中該線性馬達產生一磁性動力； -可動載具，包含多數磁性元件； 一可垂直移動昇降機座，用以垂直移動該載具；及 多數柱構件，附於該昇降機座，並將該磁場由該線性馬達耗合到該磁性元件。 π.如申請專利範圍第1〇項之昇降機子系統，另包括-系列之觸柱構件，用 來解除該載具與在-相連的處理时之—線性馬達之輕合，並將該載具引導到該 昇降機腔中。 附設於該 △如申請專利範圍第u項之昇降機子系統，另包含一系列之軌條 昇降機座，以引導該載具到該昇降機腔申。 13·如申請專利範圍第10項之昇降機子系統，其中該多數柱構件位於該載旦底 板之下，以藉由_該所施之重力，而提賴載具的穩定性。

14·如申糊娜13項之細询，嫩瓣軸「l」形，藉此 使該線性馬達顧耦合職下方之柱構件時，可位於該料機腔的側壁。 中請專利範圍第10項之昇降機子系統，其中該昇降機腔中位於該線性馬 達與違多數構件_雜，伽薄金屬材料製作。 K如申請專利範圍第15項之昇降機子系統，其中該壁板為銘質。 ::成如：專利範圍第〗。項之昇降機子系統’其中該柱構一 衣成在該祕馬達與餘構制之損耗。 2如申請專利範圍第17項之昇降機子系統，其中該柱構件為_4 鋼或鐵。 矛、幻个· ^/8527 其中各該磁性元件包括一磁塊 19·如申請專利範圍第17項之昇降機子系統， 附於一金屬塊上。 2〇· ~種基板處理系統，包括： '系列處理腔； 軌道，位於各該處理腔之内；

-基板載具，載設於該軌道上，用 多數磁性元件，附設在該載具上； 一線性馬達；及 以載送該基板在各處理腔間移動； ;其中該磁性管道將該磁力由 多數磁性管道，位於該線性馬達與該載具之間 該線性馬達傳送醜載具，以產生—磁_合，用喊送該栽具 儿如申請專利範圍第20項之基板處理系統，其中該系列處理腔包括一第一層 相鱗腔體及-第二層相鱗腔體，該第二層相隣腔體位於該第一層相隣腔體之上。 22.如申請專利範圍第21項之基板處理系統，另包括一昇降機腔，可將該載具 在該第一層及該第二層處理腔之間移送。

23.如申請專利範圍第21項之基板處理系統，另包括一昇降機線性馬達，位於 該昇降機腔外部；其中該昇降機線性馬達與在該糾機㈣的—捕目齡性管 道相對應，以使該磁性管道將該載具引導進出該昇降機腔。