TWI364702B - High power laser flat panel workpiece treatment system controller - Google Patents
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Description
1364702 .-九、發明說明： 【發明所屬之^技術領域】 發明領域 本揭露標的是關於一高脈衝重複率雷射系統（例如準 5 分子或分子氟氣體放電雷射系統)的時序及能量控制，對於 對具有覆蓋了一或多層的基板的一面板上的材料進行表面 處理有用’該一或多層包括一非晶石夕上層並被炫化及再社 晶成一細長的多晶形式的矽，例如，對於隨後形成用於製 造產品，如平坦面板顯示器的薄膜電晶體有用。這類系統 10 可被用於，例如低溫多晶矽製程(“LTPS”）或細光束連續橫 向結晶（“tbSLS”）系統。 本申請案主張於2006年6月2日提出申請的序列號為 60/810,527的美國專利申請案之優先權。本申請案也主張於 2007年 5 月 21 曰提出申請、名為 High Power Laser Flat Panel
15 Workpiece Treatment System Controller、序列號為 11/— 的美國專利申請案之優先權。本申請案與下列共審查中之 美國專利申請案有關：於2005年5月26曰提出申請的名為 SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE 20 BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE的美 國專利申請案11/138，175(代理人案號為2004-0132-01);名 為 VERY HIGH ENERGY, HIGH STABILITY GAS DISCHARGE LASER SURFACE TREATMENT SYSTEM並 於2004年2月18日提出申請的美國專利申請案 5 10/781，251(代理人案號為2003-0105-02);名為LASER LTPS SYSTEM並於2004年7月1日提出申請的美國專利申請案 10/884,547(代理人案號為2004-0062-01);以及名為LASER LTPS SYSTEM OPTICS並於2004年7月1日提出申請的美國 專利申請案10/884，101，其等揭露在此以參照形式被併入本文。 L· 11¾- J 發明背景 在高脈衝重複率雷射系統之領域中，例如準分子或分 子氟氣體放電雷射系統，對於對具有覆蓋了一或多層的基 板的一面板上的材料進行表面處理有用，該一或多層包括 一非晶矽上層並被熔化及再結晶成一細長的多晶形式的 石夕，例如’對於隨後形成用於製造產品，如平坦面板顯示 器的薄膜電晶體有用，需要較好的系統控制，這是申請人 所要解決的。這類系統可被用於，例如低溫多晶矽製程 (“LTPS”)或細光束連續橫向結晶（‘‘tbSLS’，）系統。 【發明内容】 發明概要 一種脈衝式DUV工件處理裝置與方法被揭露，其用於 發射光來照射載於-工作台上的卫件而使該卫件上的一材 料結晶化，其可包含一脈衝式雷射DUV光源及一光學元件 串，該光學元件串產生寬度非常窄且非常細長的—束光脈 衝’该束光脈衝具有_組在—脈衝對脈衝基礎上需要被維 持在一各自被選擇的窄範_數值内的參數，其可包含. 一雷射控制器；一工作台控制器；一系統控制器 =收來自一顧客配方控制命令產生器的程序配方控 r=:控制信號給該雷射控制器及該工作台控制 程脖:3續庫驅動程序控制11，該資料庫驅動 二制器可包含.包含可由一 用者介面來選擇的-般程序命令步驟的一資二 ::法可包含使用者的程序控制客制化，且二= ::::解譯器將透過該外部程序使用者介面被選擇： =_換為一個(或多個)各自的一般腳本。該裝置* 者則擎，其向使用者指出可由該使用 者從OEM貞料庫巾選_程序命令步驟，這 ^^㈣庫中的任務來執行。該裝置與方法可<包含一子程 = 及該-作台控制器 、 控制讀行—命令；—GUI用戶端， 、輪入來自使用者的配方定義並發送使用者命令_程序 ^器。該⑽用戶端可包含—顯示器，其顯示來自包含今 射及工作台的一群組之至少—裝置 : = 介面與： 面物軌。該裝置財法可進—步包含_〇e ^貧料庫，其可包含該OEM所供應的唯讀任務 系統控制器讀寫資料庫，其包含使用者提供的定 資料庫包含在程序控制期間可被該程序词服=用 =集或腳柄般任料義；—命令" ΠΓΓΓΓ的一使用者輸八參數與來自該。心 庫的一個-般η組合。該輪入參數可能先前被儲存於 該MSC資料庫中且該一般命令被包含在該OEM資料庫中的 腳本内°該裝置與方法可進一步包含與該程序伺脈器通 訊的複數個程序控制子系統，每一子系統包含一訊息佇列 及訊息迴圈；與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯且串聯存 取該各自子系統的—訊息幫浦，以及可進一步包含一裝置 "面’其與來自包含該雷射及該工作台的一群組之至少一 裝置通訊並使用一語言轉換器將該通訊從該命令解譯器内 用的 •5份叭得俠两一衣直苻疋的袈置語f枪 式 種脈衝式DUV工件處理裝置被揭露，其可發射光來 “、、射載於一工作台上的工件而使該工件上的一材料結晶 化，可包含一脈衝式雷射DUV光源及一光學元件串，該光 :元件$產生寬度非常窄且非常細長的—束光脈衝，該束 光脈衝具有_組在_脈衝對脈衝基礎上需要被維持在—各 自，選擇的窄範_數值⑽參數，其可包含：_雷射押 ，，—工作台控制器；-系統控制器，該系統控制器在 各自獨立的程序中執行―各自的任務以便以單個 ，以多個非再進人的執行緒來編碼—任務。該各 疏 =核心任務，每-如任務㈣峨 以單個執行緒執行。每—執行緒具有—各自的訊^ 包Γ順序且無阻斷地存取—各自的任務。該訊息^可 3訊息件列及一訊息迴圈，以及可進一步包含 誤的系統處理器。争统虛採έ 理錯 自錢處理㈣息可被·該訊息幫浦 =。-種脈衝式鑛卫件處理裝置被揭露 來照射載於一工祚j赞射光 ' 口上的工件而使該工件上的一材料結晶 1364702
化，可包含一脈衝式雷射DUV光源及一光學元件串，，該光 學元件串產生寬度非常窄且非常細長的一束光脈衝，該束 光脈衝具有一組在一脈衝對脈衝基礎上需要被維持在一各 自被選擇的窄範圍的數值内的參數，其可包含：一雷射控 5 制器；一工作台控制器；複數個處理裝置，由一系統裝置 管理器使用至少兩個獨立作用的執行緒來控制，其中一個 包含到每一處理裝置的一裝置介面。該兩個獨立作用的執 行緒可包含與所有該等各自的裝置相關聯的一控制執行緒 以及與所有該等各自的裝置相關聯的一診斷執行緒。每一 10 獨立作用的執行緒可包含一獨立的通訊通道。該系統控制 器可使用與裝置類型無關的一般裝置命令。該等裝置命令 可對應於高階動作。該裝置與方法可包含GUI用戶端在發送 使用者命令到該程序伺服器之前將配方定義作為參數儲存 在該MSC資料庫中，以及可進一步包含一訊息佇列及一訊 15 息迴圈。該裝置與方法可包含該至少兩個獨立作用的執行 緒，其等包含一或多個獨立作用的執行緒，每一個作為到 該等處理裝置中之各自一個的一獨立裝置介面。該至少兩 個獨立作用的執行緒可包含與該各自的裝置相關聯的一各 自的控制執行緒以及與該各自的裝置相關聯的一各自的診 20 斷執行緒。每一獨立作用的執行緒可包含一獨立的通訊通 道。該系統控制器可使用與裝置類型無關的一般裝置命 令。該等裝置命令可對應於高階動作。 圖式簡單說明 第1圖以方塊圖形式概要地舉例顯示根據本揭露標的 9 1364702 的一實施例之層面的一主系統控制器（“MSC”）； 第2圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分的層面； 第3 A - B圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標 5 的的一實施例之層面的一MSC之一部分的一架構邏輯圖； 第4圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分的一伺服器常駐程式 程序圖； 第5圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 10 的一實施例之層面的一MSC之一部分； 第6圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一 MSC之一部分； 第7圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一系統之一範例； 15 第8圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一 MSC之一部分的一架構部署圖； 第9圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一伺服器常駐程式訊息迴圈； 第10圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 20 一訊息表； 第11圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 一訊息表； 第12 A及第12 B圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據 本揭露標的的一實施例之層面的UML圖； 10 1364702 第13圖以概要的芕.塊_圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一UML圖； 第14A及第14B圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據 本揭露標的的一實施例之層面的UML類別圖； 5 第15圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的UML類別圖； 第16圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的UML類別圖； 第17圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 10 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第18圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第19圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分； 15 第2 0 A - B圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層 面，可被用以實現中性語言格式到裝置語言格式的轉換的 資料庫及腳本程式碼； 第21圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分； 20 第22圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第23圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第24圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 11 1364702 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； - 第25圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第2 6圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 5 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第27圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第28圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 10 第29圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第30圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第31圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 15 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第32圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第33圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 20 第34圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第35圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第36圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 12 1364702 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； - 第37圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第38圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 5 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第39圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕；
第40圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 10 第41圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第4 2 A - E圖以方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的的 一實施例之層面的陣列資料庫表； 第4 3 A - C圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露 15 標的的一實施例之層面的一 MSC之一部分； 第44圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一 MSC之一部分。 較佳實施例之詳細說明 20 根據本揭露標的之一實施例的層面，包含一軟體實施 控制器的一主系統控制器（“MSC”）架構可被提供給一高功 率延長細光束表面處理系統，如上述之LTPS雷射退火系 統。例如第1圖中以方塊圖形式概要說明的MSC 10具有控 制器軟體，其可以作用為一主系統控制器以控制雷射表面 13 1364702 處理系統的硬體元件，例如申請人提及的TCZ 900X脈衝式 延長細光束雷射退火系統’該系統用於一工件之基板上的 一層中的非晶矽退火，該工件為一TCZ 900X雷射退火裝置 中的雷射退火系統所處理的一面板。該MSC可以控制製程 5 的各個層面，例如雷射操作層面、該工件相對於高功率Duv 照射之延長細光束的配置及該工件相對於DUV輻射之延長 細光束的移動’以及該TCZ 900X機器的其他操作層面。使 用該MSC 10軟體，製程工程師可以定義配方及專案、執行 工作以處理矽基板並監測機器效能。該MSC的架構能夠與 1〇該TCZ 900X裝置聯合作用。根據本揭露標的之一實施例的 層面，為了使TCZ 900X工具的操作最具有成本效益且同時 提供操作彈性以使該工具操作易於適應隨一顧客組織内的 顧客與時間以及用途這二者而變化的顧客需要，工具元件 對於該TCZ 900X工具的某些操作層面可以被最佳化以達 15 到足夠高的通量。 以下是幫助理_解該MSC 10之操作的一詞彙表 用語 工作 __定 k -- 工作是可在作制中排蘇涵^ “配方”或一“專案”。 抵次(lot) 配方 次是-或多個匣盒(cassett^T^；-個血 型地由達25個工件/基板組成。 '、 -配方疋用於處理-基板的所有參數的· 一多器。換言之，它是一影^1。 基板可能易受不同的製程條件影響。一
一任務是具有排序、分支一動石 集合》 14 1364702 動作 一動作是一低階系統或裝置命令集合，或 • 可能是對另一任務的呼叫。 基板 矽基板是結晶過程的樣本(工件）。 批次間的維護 一批次與下一批次之間所需的維護動作。 影像間的維護 許多影像可存在於一基板中。這些可能是 在該系統準備下一影像時可被執行的維 護動作。 影像開始位置 這是相對於該基板之開始角落(start comer)的開始位置。 影像結束位置 這是“對於該基板之結束角落(end comer) 的結束位置β 影像步階 這是光束縱軸上2個脈衝之間的中線距 離。 影像光束寬度 寬度，例如橫越輻射光束之一短軸的一半 最大值的全寬。 基板旋轉 例如一個0°或90°方向。 基板大小 所有基板都是矩形的。大小由長度及寬度 定義且因此對應於工業標準的基板大小 被分類為第2、3或4代。 自動聚焦 例如，如工作台中的感測器可以測量實際 的基板位置且該系統可以補償由於基板 厚度或其他而造成的小變化。 平台高度 例如，該平台的垂直位置。 配方 配方定義被用以使一基板結晶的製程參 數。 專案排程 一些專案(特別是監測專案)可能在一週期 基礎上被執行。專案排程指定何時執行專 案：每曰、每週或每月。為了確保當一預 定專案被執行時機器是可操作的，預定專案 可在當日的第一基板被處理之前被執行。 專案管理器 專案管理器是幫助製程工程師產生、修改 及刪除專案的MSC模組。 配方管理器 配方管理器是幫助製程工程師產生/修改/ 刪除可包括影像的配方的MSC模組。 程序管理器/工作管理器 程序管理器是會助製程工程師添加/移除/ 重新排序該工作佇列中的專案與配方的 MSC模組。它也允許製程工程師開始及停 止該工作仔列。 裝置就緒狀態 這是當執行一(感興趣的)任務所必需的所 有初始條件都被滿足時的一裝置狀態。這 隨裝置及任務而變化。 LTPS 低溫多晶發 tbSLS 細光束連續橫向結晶。 MSC 主系統控制器。這是一個具有自訂架構及 控制雷射表面處理工具的軟體的基於 Linux PC的解決方案。 製程工程師 一製程工程師是執行每日的生產操作，例 如處理基板的一個個體。製程工程師被限 制存取系統。 現場服務工程師 一現場服務工程師是執行曰常的製程最 佳化及效能監測操作的一個個體。這些可 以是系統廠商訓練的可部分額外存取系 統的工程師。 15 1364702 管理具 一管理員是執行臨時的故障檢修及效能操 作的一個個體。他們可以完全存取統。 製程最佳化 這是在一生產基板過程之前決定製程參 數細節的疊代過程 MES 製造執行系統 SEMI 半導體設備與材料提供者論壇 ~SECS SEMI設備通訊標準 GEMS 一般設備模形 根據本揭露標的之一實施例的層面，一MSC 10可以由 以下組成：兩個或多個主要的軟體元件、用於以，例如常 駐程式程序(daemon process)來發出裝置命令並檢查裝置情 5況（如狀態）的一裝置20以及允許使用者定義配方並執行工 作的一圖形使用者介面(“GUI，，)40。根據本揭露標的之一實 施例的層面，該MSC 10可以使用一（或多）個資料庫來持續 儲存其資料。該（等）資料庫可以使用兩個綱目：能夠包含系 統特定資訊的唯讀一般(OEM)綱目以及包含使用者特定資 10 訊的讀寫使用者特定(MSC)綱目。 該MSC 10可以與，例如在TCP/IP插座上使用一特定通 sfl協定的大部分裝置進行通訊，且也可以與該〇1；1使用者介 面進行通訊。 該MSC 10可以分別在架構及設計層級上被描述，包括 15該系統的伺服器、通訊、使用者介面及資料庫層面。 下列名§司及縮寫字可被用於描述該MSC 1〇的操作及 設計。 常駐程式程序：在一伺服器上執行的一電腦程序，其 應使用者請求連續檢查裝置狀態並發出裝置命令； 2〇 〇EM綱目.包含製造者提供的相對上是靜態的資訊的 一唯讀綱目； 16 1364702 _。MSC綱目：包含使用者提供的配方定義的一讀寫綱目； • ICE9資料庫：一關連式資料庫，包含該MSC綱目及該 . OEM綱目； MES :製造執行系統； • 5 SEMI :半導體設備與材料國際標準； - SECS/GEM: SEMI設備通訊標準與一般設備模型介面。 • 根據本揭露標的之一實施例的層面’促成該架構之結 構與操作的高階特徵可以包括專案排程、安全與存取控
• 制、模組概念（生命週期計數器）、工作流程、使用SEMI 10 SECS/GEM標準的MES介面、報告以及效能。 根據本揭露標的之一實施例的層面，這些能夠提供基 於事件及基於排程的專案排程、安全與存取控制、模組的 彈性及-般引進、模組的監測，而不僅僅是用於模組更換 的裝置、螢幕，生命週期計數器的彈性與一般機制，在狀 15 L欄標中以數值及文字顯示維護計數器，診斷、下載與控 ㈣胃螢幕’使用SEMI SE(：s/gem介面 W. MES 80的整合，糞垒刼Λ m 專案報告，排程與資料夾/檔案結構，以及 -. 效能度量。 這類特徵可利用 專案排程： 安全與存取控制： 20 下列高階元件來被實施： 伺服器-專案排程 GUI-安全管理； 伺服器-安全管理； 模組概念(生命週期計數ϋ) : GUI·系統組態管理 GUI-報告管理； 17 1364702 5 一 GUI-工作管理； 工作流程： GUI-專案管理； GUI-工作流程引擎； GUI-報告管理； MES介面： 伺服器-MES介面； 報告： GUI-報告管理； 效能： 词服器-工作處理。 該MSC 10可以使用 浥合方法來處理利用執行緒還 是程序來，例如劃分所執行的工作之架構問題。在此方法 10 15 20 中，核心任務在單個程序内的執行緒中執行，但是兮等任 務的編碼㈣上可能是單執行緒的。這可透過每 =有^身的訊息幫浦（具有—訊息仔列及訊息迴圏）而成 ，‘ϋίΐ息幫浦實質上可以按順序但無阻斷地存取任 務。根據本揭露標的之-實施例的層面，在該MSC 10的一 控制應用中，此混合方法能夠實現兩全其美(執行如程序）。 根據本揭露標的之一實竑办丨从a I 用於每裝置介面有一執行I::二個執行緒可被 夠使該裝置介面更貞責通心戈巾此方法能 ==裝置。如上面所解釋的，同步不是問題’因為 無夠一具::身的訊息幫浦，其等能_ 裝置介邱料㈣為存在也可_望地使該 併-:=Γ者=::MSC1_ 兩巳出現。例如，設計可利 18 1364702 用該訊息幫浦來-處環>錯誤’如任何其他訊息。然而，—錯 • 誤訊息可被指配特別的優先順序。因此，一錯誤訊息可從 • 訊息仔列中被立即處理’即便它不位於該佇列的前面。使 用其他方法，如使用信號來中斷執行緒可能會使MSC 1 〇中 • 5的資源及物件處於一未知狀態。確保該^13(： 10可以回應錯 誤訊息及使用者中斷阻斷呼叫可從該MSC 10中被去除且 - 該訊息幫浦能夠在某個可接受的時限内被維護。 根據本揭露標的之一實施例的層面，設計工程師可使 # 用一腳本語言來定義任務並將它們儲存在OEM資料庫中。 1〇同樣地，該MSC 10可以僅輪詢該等裝置，即沒有任何來自 該等裝置的中斷可被用於唯讀存取。一裝置可能也只有單 個通訊通道用於控制及診斷。因此，沒有腳本可被需要用 於狀態迴圈邏輯’單個程序及平行執行緒中的多個腳本解 譯器可被避免。 15 駭所錢接_MSC 1G㈣置都具㈣立的通訊 ⑨道用於控制及診斷，則可能也不需要每裝置介面產生一 - 執行緒。只有兩個執行緒可被需要而與裝置數無關’一個 ’ 帛於控制而另—個用於診斷，然而，由於某些效能原因， 申請人已決定每裝置使用-個。根據本揭露標的之一實施 例的層面，某些限制被申請人辨識出並考量。例如，該控 制器系統可使用-個-般機制來發出對應於高階動作而^ 裝置類型無關的裝置命令。裝置命令可被儲存於一資料庫 或槽案中而不是被硬接線在程式碼中。影像參數可被添加 到影像中而不將修改編碼到，例如，使用者介面勞幕。 19 1364702 一 任務的任務參數之數目與類型可被變化·，且添加額外 的任務或改變任務參數的數目/類型不需要將修改編碼到 使用者介面螢幕。TCP-IP可能是到該等裝置的主要通訊類 型。該系統在等待得到裝置的回應時也可以是回應及不阻 5斷的。該系統可使用一個一般且彈性的機制來代表模組並 更新它們的維護計數器，以及如需要，在裝置工作期間可 執行平行處理，該裝置在一TCZ 900X結晶過程期間被控制 以，例如，使通量最大化。該系統也提供一個一般工作流 程引擎’允許使用者定義、執行及報告專案。該系統使用 10 SEMI SECS/GEM介面與MES 80進行通訊。 根據本揭露標的之一實施例的層面，該MSC 軟體控 制器可以與下列硬體一起被使用：一AMD Opteron X86-64 位元雙處理器CPU、一隨機存取記憶體(ram)、一；RAID1 SCSI' — RAID 1 Sata、一視訊卡、一網路介面卡(NIC)以及 15 一觸摸螢幕顯示器。該系統也可使用一作業系統（如Linux
Fedora)、一關連式資料庫（如p〇stgres DBMS)以及一腳本引 擎(如 Python)。 根據本揭露標的之一實施例的層面，該MSC 10可以是 物件導向以及基於UML的。此架構與設計可被利用本申請 20案中所討論之套件圖、類別圖、順序圖、元件圖及部署圖 來舉例說明及理解。根據本揭露標的之一實施例的層面，， 除了其他問題’錯誤處理與修復，以及該MSC 10之此類及 其他層面對通量的影響可能是申請人選擇1〇之架 構與操作的兩個主要驅動力。 20 1364702 根據本揭露標的之一實施例的層面，該架構的—概觀 可從以下情況開始：MSC軟體的功能可由至少兩頂層元件· 一伺服器常駐裎式程序及一GUI用戶端提供。該伺服器常駐 程式程序’例如第1圖中的伺服器20，能夠負責執行該等裝 5置命令並監測該等裝置的狀態，同時該GUI用戶端，例如第 1圖中的GUI 40’能夠負責取得來自使用者的使用者特定的 資訊配方定義並發送使用者命令到該伺服器常駐程式程序 20。該GUI用戶端40也可向該使用者顯示該等裝置的狀態及 結晶過程的進度。一 MSC系統的一頂層設計之範例可在第1 10 及第2圖中被看到，其指示出一組說明性的該系統10之主要 元件及它們的關係。 根據本揭露標的之一實施例的層面，如第1及第2圖之 方塊圖顯示，一OEM綱目資料庫22可與一MSC綱目資料庫 24分開。這可能是因為該OEM綱目資料庫22可包含唯讀資 15 訊’例如資料任務定義資料。工具使用者不能被期望修改 它《藉由使該OEM綱目資料與該MSC綱目資料分開，可易 於用來自工作系統提供者，例如MSC系統製造商（該0EM) 的新任務定義來升級該系統且對於，例如總系統，也更易 於被客制化以滿足一特定使用者的需求，例如最佳化該使 2〇用者的特定的受控製造系統之通量及其他需求的最好方法。
如第2圖所示，該MSC綱目讀寫資料庫24可被鏈結到複 數個子系統，例如一批次管理子系統230、一配方管理子系 統232、一安全管理子系統234、一專案管理子系統236、一 系統組態管理子系統270以及一工作處理子系統4 2。該〇 E M 21 1364702 綱目唯讀資，料庫22也可以被連接到該配方管理子系統.一， 232、該安全管理子系統234以及該專案管理子系統236。一 外部伺服器2〇(可以是一主機）可透過一TCP/IP插座及一伺 服器通訊管理系統丨〇 〇及程序管理子系統240被連接到該 5 MSC綱目資料庫24並且也透過該伺服器通訊管理子系統 100被連接到一事件管理子系統250。該MSC資料庫24也可 以與一報告管理子系統29〇通訊，該報告管理子系統290可 透過一工作流程引擎子系統280被連接到該專案管理子系 統236 〇 10 根據本揭露標的之一實施例的層面，架構任務定義能 夠以巨集或腳本被儲存在一資料庫中。根據該架構，一命 令解譯器可被使用以分析那些任務定義並執行該等裝置命 令。藉由’例如以巨集或腳本(在此共同稱為腳本)將任務定 義儲存在一資料庫中，該主控制器的邏輯可從已編譯的程 15式碼中移入一資料庫中的資料中。這能夠提供一彈性方法 以即時改變該主系統控制器10的功能及智慧而不重新編譯 MSC軟體的程式碼。 如下面在該架構之程序圖中可被討論的，每一子系統 可具有其自身的訊息幫浦，該訊息幫浦具有一訊息仵列及 訊迴圈。使用此訊息幫浦實質上使該等子系統的存取串 聯化，從而使它們成為單執行緒的。只有幾個服務子系統 中沒有訊息幫浦且它們可以是多執行緒的。單執行緒的系 統沒有同步問題。它們也能易於編碼及維護。該等裝置介 面可以以它們自己的執行緒執行。工作處理器對該等裝置 22 "面作出無阻斷呼叫。為了提供來自該工作處理器的<個 私鐘的回應，該等無阻斷呼叫可能是必需的。該MSC 1〇 的呵階設計可以利用下列分別顯示於第3-7圖中的視圖 來被'τ兒明性地描述：邏輯圖、程序圖、資料圖、及部署圖。 根據本揭露標的之一實施例的層面，一邏輯圖3〇〇可說 月該系統如何處理該MSC 10的功能需求。這可能是該設計 的個物件模型。在第1及第3圖所說明的該伺服 器20端’ 以下元件可以是一MSC系統1〇之邏輯圖的一部分。一工作 β理器30、310可包含該MS(：伺服器2〇的一閘管理器。它可 10以回應來自該GUI 40的控制訊息並控制工作的執行。一工 作處理器42、312可包含該MSC系統伺服器20的主幹。它可 利用一命令解譯器314來執行工作，例如具有來自一命令程 式館管理器316的命令回呼(callback)的一 Python。該等命令 回呼可被分類成組，例如用於與裝置通信的裝置命令、用 15於與該Msc 10進行資料傳送的資料命令以及用以與該 MSC 10通信的系統命令。一資料物件管理器32〇可促進資 料命令的實施。 一或多個裝置介面，如雷射介面330、平台介面332、 主分配（“MD”)盒介面334、光束穩定控制器（“BSC”）介面 20 336、衰減器介面338、子系統n-1介面340以及子系統η介面 342 ’可被用以與一TCZ 900Χ裝置中的這類實體或邏輯裝 置進行通訊，如所表示的。該等裝置介面也可提供一高階 抽象給裝置與該MSC伺服器20之間的通訊。在該MSC系統 伺服器20中被處理的到裝置的所有通訊可以利用中性語言 23 1364702 格式(NLF)來被執行’接著對.於海一特定的裝置，該nlf命 令（或在此稱為“一般命令”)可被轉換為裝置格式(DF)特定 的命令（“裝置特定的命令”)並透過該等各自的裝置介面 330-342被發送到此裝置。一狀態管理器5〇、35〇可透過裝 5置介面330-342監測裝置的狀態。該狀態管理器350也可以 登錄MSC伺服器20中的狀態訊息。一υι通訊管理器6〇、370 可以促進伺服器20與GUI 40之間的通訊。根據它是用於控 制還是用於報告狀態之通訊目的，此元件之多於一個的實 體可被用於MSC祠服器20中-一UI控制通訊管理器60、370 10用於控制訊息而一UI狀態通訊管理器6〇、370’用於狀態訊 息。控制訊息可以進入以及離開該MSC伺服器20，即它們 能為雙向的。然而，狀態訊息只可以離開彳司服器2〇，即它 們可能是單向的。在兩種情況中，該伺服器2〇可以等待GUI 40來啟動一通訊連接請求。一專案/工作排程器32、38〇可 15被用以在一每日、每週或每月基礎上或者根據其他資料(例 如該雷射所生產的脈衝數、所處理的面板數等等)在週期性 的或其他被選擇的執行時間内排程活動維護、服務、監測 及/或效能報告專案。一安全服務34、390可以藉由以下來 提供安全及存取控制：鑑別/授權給使用者以及控制存取該 20伺服器層面中的系統特徵’例如，控制登錄以及控制根據， 例如’使用者ID及鑑別、機器利用度等等，利用該msc 10 來執行某些操作的能力，其操作範圍不是此申請案的主 題。一 MES 80介面400可以提供到以及自外部系統的通 訊，例如，利用SEMISECS/GEM介面標準。 24 1364702
根據本揭露標的一、實，施例的層面，在該伺服器20 内，多個服務可被提供，包括用以提供該MSC伺服器20中 的一物件發現能力的一命名服務、用以提供一高階抽象給 該MSC伺服器20中的資料存取的一資料存取服務420、用以 5 提供該MSC伺服器20中的執行緒及同步能力的一執行緒服 務430以及促進該MSC伺服器20中主要元件間的通訊的一 訊息服務440。如上面所指出的，在該MSC控制系統中能夠 有兩個資料庫：該唯讀OEM資料庫22，其可包含系統定義 的任務及參數，以及該讀寫MSC資料庫24，其可包含使用 10 者修改的資料’例如，配方、批次、專案及工作的資料。除 了該資料存取服務所提供的抽象，應用邏輯與資料存取間 的進一步分離可以藉由利用資料存取物件(DAO)輔助類別 而被實現，該等輔助類別能夠包含用以在沒有任何應用邏 輯的情況下’檢索並更新該資料庫中的資料之程式碼。 15 根據本揭露標的之一實施例的層面，在第2及第3圖中 所說明的該GUI 40端，以下元件可以是MSC 10控制器系統 之邏輯圖的一部分。一配方管理器510可用以允許使用者使 用該GUI 40來產生、更新、刪除、複製以及貼上配方及其 相關影像。一專案管理器520可允許使用者根據系統提供的 20任務使用該GUI 40來產生、更新及刪除專案，以及也允許 使用者提供，例如排程給專案。一工作管理器/程序管理器 530可允許使用者產生、刪除、重新排序及執行來自該GUI 40的工作。該工作/程序管理器530也可以允許使用者終 止、重新開始或中止工作的執行。該工作/程序管理器53〇 25 1364702 也可以允許工作被執行於步進模式（step mode)中」(每一工作 之後停止）或連續模式中（工作/程序間沒有停止），以及可以 透過一伺服器控制通訊訊息管理器540對該MSC伺服器20 發送及接收控制訊息。一狀態/事件管理器550可允許使用 5 者檢視來自該MSC伺服器20的透過伺服器狀態通訊管理器 560的狀態訊息，以及也允許使用者根據，例如時序、嚴重 性及訊息内容來濾除狀態訊息。一系統組態管理器570可允 許使用者更新該伺服器/GUI系統組態及裝置組態資訊。系 統組態資訊變化可以藉由再新快取值而被立即應用到該 10 GUI 40及伺服器20中。裝置組態變化可在該等裝置可被重 〇 新連接或在適當的工作可被執行時被應用。該等伺服器通 訊管理器540、560可促進GUI 40與伺服器20之間的通訊。 根據它是用於控制還是用於報告狀態之通訊目的，此元件 之多於一個的實體可被用於該GUI中-該伺服器控制通訊管 15理器540用於控制訊息而該伺服器狀態通訊管理器560用於 狀態訊息。控制訊息可以進入以及離開該GUI 40，即可能 是雙向的。狀態訊息只可以離開MSC伺服器20，即可能是 單向的。然而，在兩種情況中，該GUI 40首先建立到該MSC 伺服器20的連接以進行通訊。一安全管理器58〇可以藉由鑑 20別/授權給使用者來提供安全及存取控制，以及也可以控制 存取GUI 40層面中的系統特徵。一工作流程引擎59〇可以允 許使用者利用自訂螢幕(custom screen)來定義、執行及報告 專案。此元件可提供對該專案管理系統元件52〇中可得的— 般功能的自訂檢視(custom view)。該工作流程引擎590也可 26 1364702 .以使用一報告管理系統600來顯示報告，該等報告具有該系 • 統中各種元件所產生的及該報告管理器600所顯示的專案 • 執行結果報告。一資料存取服務610可提供一高階抽象給來 自GUI 40的資料存取。 . 5 根據本揭露標的之一實施例的層面，在第4圖中以方塊 " 圖形式所說明的一伺服器常駐程式程序圖650處理非功能 性需求，如該MSC 10的並行性、效能及可縮放性。第4圖 中舉例顯示之該示範性程序圖650操取了該設計之執行緒 ^ 處理及同步層面。兩個元件：一執行緒服務及一訊息服務 10 提供該MSC伺服器20中的並行性及元件内通訊能力。該執 行緒服務元件提供該M S C伺服器2 0中的高階執行緒處理及 同步能力。該訊息服務元件促進MSC伺服器20中主要元件 間的通訊。它由一訊息佇列660及一訊息幫浦670所組成’ 該訊息佇列660儲存自其他元件接收的訊息而該訊息幫浦 15 670以一先入先出（FIF0)順序將訊息發送到該元件。由各種 ' 執行緒在該MSC 10中使用訊息佇列660就像由不同的程序 ^ - 使用共用的記憶體一樣。當可能不再有訊息要發送時，該 ' 訊息幫浦670執行緒能等待一執行緒條件變數，舉例而言 即’在發佈一訊息到一訊息目的元件之訊息佇列66〇之後， 20訊息源元件能夠喚醒該目的元件的等待執行緒。由於在該 訊息幫浦670中沒有忙等待迴圈，所以這能夠提供最大化的 效能。 該MSC伺服器20中的每一主要元件能夠在其自身的執 行緒中執行，該執行緒具有一各自的訊息幫浦67〇及相關的 27 1364702 訊息仵列660。·這些，元并藉由相互發佈訊息而彼此通訊，從 而提供一異步通訊流程。與單個裝置330’_342’(顯示於第8 圖中）的通訊藉由在一各自的裝置介面元件330-342中使用 該訊息作列660而能夠被串聯化。由於每一裝置介面 5 330-342執行其自身的執行緒’所以命令能夠被同時發送到 多個裝置330，-342,》 MSC伺服器20的每一主要元件在其自身的執行緒中執 行的另一優點是該元件能夠被編碼成單執行緒的而沒有多 執行緒的程式化的複雜性。服務元件’如訊息服務440、命 10名服務410及資料存取服務420(顯示於第3圖中）可能是多執 行緒的，因為多於一個的執行緒能夠同時使用那些服務。 藉由限制該多執行緒的程式化在幾個服務元件内，大部分 MSC伺服器20的元件能易於編碼及維護。 在第5圖中以方塊圖开；> 式概要地舉例說明的一資料圖 15 680能夠處理資料需求，即該MSC 10的資料儲存及檢索機 制。該MSC伺服器20及GUI 40中的該資料存取服務元件 420(為了方便說明而被分開顯示於第5圖中，儘管根據本揭 露標的的一實施例之層面，實際上只有一個被需要且被實 際使用’雖然分開的單元在-些實施例中也可以是可能的) 20能夠提供一高階抽象給該MSC 10中的資料存取。該（等）資 料存取服務元件420可能隱藏了被用以緒存及檢索賴％ 1〇中的資料的實際資料庫的細節，是為了藉此提供與臆 應用及呈現邏輯無關的-資料儲存庫層。該紙〇 ι〇可以使 用兩個資料儲存庫，-個(24)用於讀出及寫入與使用者特定 28 1364702 的資訊配方相騎資料，而另—個(22)只用於讀細卿 定的資《統及裝置组態資料。該等讀出及寫人存取㈣ 在第5圖之該示範性資料圖_中被顯示為雙向通訊。該等 唯讀存取路徑在第5圖之該示範性資料圖_中被顯示為單 在第6圖中以方塊圖形式概要地舉例說明的_⑽資料 圖，該_資料需求，類似於上面對於該飼服器所指出的 那些。資料存取服務元件（為了說明而顯示兩個僮管可能 只有-個被需要）提供存取該MSC綱目資料庫部㈣以及 H)該OEM綱目資料庫部分22給該批次管理元件·、該配方管 理元件510、系統組態管理元件57〇及安全管理元件，: 該程序管理元件530、報告管理元件60〇及事件管理元件只 被提供以到該資料庫之MSC綱目部分的連接。 第7圖以概要的方塊圖形式顯示根據本揭露標的之層 15面的一照射處理系統7〇〇，如一雷射照射細光束處理系統。 這可包括一雷射裝置控制器710、一工作台控制器72〇、其 他η個裝置的一控制器及一系統控制器，例如Msc 1〇，該 系統控制器之一實施例的一範例可在第43A、第43B及第 43C圖中被看到。 20 根據本揭露標的的一實施例之層面，透過舉例及以方 塊圖的形式概要地顯示於第8圖中的一部署圖8〇〇能夠處理 一 MSC 10的拓撲層面及通訊層面。此部署圖8〇〇描述軟體 到硬體上的映射並反映其分配層面。第8圖之示範性部署圖 顯示該MSC 10軟體如何能夠實際以硬體實現。該MSC 1〇 29 1364702 可能是該TCZ 900X專案的一軟體元件.。_該MSC伺服器20、 MSC GUI40及該兩個資料庫/資料庫部分(MSC 24及OEM 22)可在單個64-位元的雙處理器Linux機器810上執行。該 MSC 10可被連接到多個實體裝置330’-336’，其等可能是 5 TCZ 900X機器的一部分。該MSC 10與該等裝置330’-336’ 之間的通訊在此示範性配置中在極大程度上可以透過如第 8圖中舉例說明的TCP/IP插座。同樣地，一USB介面可被用 以與一光束度量單元830中的照相機（未被顯示）通訊，或與 其他光束度量裝置通訊。該MSC伺服器20可利用如第8圖中 10 舉例說明的TCP/IP插座與該MSC GUI 40進行通訊。該等裝 置中的一些（如雷射330’及BSC 336’）可能只具有串聯埠用 於通訊。在那些情況中，該MSC 10可以透過一TCP/IP連接 而連接到Lantronics模組840，接著該Lantronics模組840能夠 將串聯埠信號轉換入TCP/IP，反之亦然。該MSJC 10可以對 15 其MSC 24及OEM 22資料庫/資料庫部分使用PostgresQL 〇 該MSC伺服器20可以使用libpq連接到該等資料庫22、24且 使用JDBC連接到MSC GUI 40。該MSC 10及該等裝置 330’-338’也可以位於一私有的LAN上，一LAN開關814在一 Cisco VPN PIXP方火牆820後面。從該防火牆820夕卜面存取該 20 MSC 10在有限的實體中可被允許，該等實體使用VPN穿透 該防火牆820。 第10圖的表格顯示根據本揭露標的的一實施例之層面 被用於該系統之元件中的通訊的各種訊息。第11圖的表格 顯示可被使用的說明性訊息。 30 1364702 -- 現在跳到第12A圖，圖中說明.了根據本揭露標的的—實 施例之層面’該MSC 10伺服器20中的各種組織階層3000及 • 通訊鏈結，包括一MSC物件模組3002(其與一MSC排程模組 3010通訊）、一MSC任務模組3012、一MSC影像模組3014、 . 5 — MSC批次模組3016、一MSC專案模組3018及MSC工作模 - 組3020及MSC配方模組3022及一MSC訊息模組3024。圖中 - 進一步顯示了該MSC物件模組3002及一 MSC執行緒模組 3004及一MSC訊息幫浦模組3006與一MSC工作管理器模組 φ 3009、一MSC裝置介面模組3〇32、一MSC伺服器模組3〇34、 10 — MSC UI通訊管理器模組3036、一MSC工作處理器模組 3038、一MSC狀態管理器模組3040、一MSC工作排程器模 組3041及一 MSC排程計時模組3042的一說明性連接。 在第12B圖中也說明了一MSC訊息幫浦模組3006與如 下的說明性可執行命令的一示範性連接：處理訊息發 15佈訊息（）、發送（）及獲取下一訊息，以及一MSC訊息佇列 - 模組3039及一MSC訊息迴圈模組3043，也說明了一MSC工 • _ 作管理器模組3009與可執行命令：開始工作佇列停止 - 工作佇列（）終止工作佇列（）及重新開始工作佇列（）的一示 範性連接’及與一MSC工作佇列模組3044及一MSC工作模 20組3020的通訊。也說明了一 MSC命名服務模組3050與一 MSC物件映射模組3052通訊以及一MSC裝置介面模組3054 與一MSC資料格式化器3056通訊以及一MSC資料存取服務 模組3060透過一 MSC通訊模組3062與兩個獨立的模組 (MSC安全服務模組3066及MSCMES介面模組3068)與一 31 1364702 MSC結果設定模組3064通訊。 . 第13圖以方塊圖形式說明根據本揭露標的的一實施例 之層面的一MSC 10伺服器設計裝置介面之一範例，其顯 示’例如’一 MSC插座模組3082透過一MSC伺服器插座模 5 組3086連接到一 MSC使用者介面通訊模組3〇88以及透過一 MSC用戶端插座模組3084連接到一額外的]yiSC裝置介面模 組3096。也顯示了一MSC裝置介面模組3〇9〇透過一MSC通 訊介面模組3092連接到該額外的MSC裝置介面模組3〇96、 一MSC平台介面模組3098、一MSC雷射介面模組3100及一 10 MSCMD盒介面模組3102。 第14A圖以方塊圖形式說明根據本揭露標的的一實施 例之層面的一MSC 10伺服器設計管理器類別介面，包括一 MSC狀態管理器模組3040與一 MSC狀態迴圈模組3122通 訊。也透過說明的方式顯示了一 MSC資料物件管理器模組 15 3124透過一MSC工作模組3020與該等各自的串聯鏈結平行 通訊’例如’MSC任務模組3012及MSC專案模組3018及MSC 影像模組3014、MSC配方模組3022及MSC批次模組3016。 也說明了一 MSC工作處理器模組3038與一 MSC資料物件管 理器模組3152、一MSC命令程式館管理器模組3154、一MSc °專案模組3018及一MSC命令解譯器模組3158通訊。同樣如 第14B圖甲所顯示的，具有如下可執行命令及資訊：初始化 ()、再新排程（）、計時器結束㈠及添加工作到佇列㈠的一 MSC工作排程器模組3041可以與具有如開始計時器（）的可 執行命令的一MSC排程計時器模組3〇42通訊。也說明了具 32 1364702 有如-下可執行命令及資訊的—MSC安全服務模組：獲取組 態模式（）、登入使用者（）、切換使用者（）、列出使用者（）、 更新使用者（）' 登入角色(·）'切換角色（）、列出角色（）、 更新角色（）、獲取登入資訊（）、被允許㈠及檢查許可權㈠。 5 跳到第15圖，圖t以方塊圖形式顯示了一MSC伺服器 解譯器介面的一說明，包括，例如，一MSC命令解譯器模 組3120與一 pyt〇non解譯器模組3 i 22通訊以及一 MSC命令 程式館管理器模組3130透過一MSC命令回呼模組3132與一 MSC系統命令回呼模組3132、一 MSC資料命令回呼模組 10 3134及一 MSC裝置命令回呼模組3136通訊。 第16圖以方塊圖形式概要地顯示一MSC GUI設計的一 範例，包括以下包含被列出的代表性的可執行命令及資訊 的模組。如上面所指出的一安全管理器模組3〇66、也顯示 於第2圖中的一批次管理器模組23〇(列出批次㈠、獲取批次 15 ()、產生批次（）、更新批次（）、刪除批次（））；一配方管理 器模組232(列出配方（）、獲取配方（）、產生配方（）、更新 配方（）、删除配方（）、列出配方影像㈠、添加配方影像〇、 更新配方影像（）、移除配方影像（）、重新排序配方影像 ());一工作管理器模組3009(列出工作（）、獲取工作（）、添 20加工作到佇列（）、從佇列中移除工作（）、重新排序工作佇 列（）、開始工作佇列（）、停止工作佇列（）及設定工作佇列 模式（））；一報告管理器模組29〇(列出報告（）、顯示報告 ());一狀態管理器模組3〇4〇(顯示所有訊息（）、濾除訊息 ());一系統組態管理器模組570(列出組態（獲取組態〇、 33 更新組態參數（））；一專 取專牵M 案S，理器模組236(列出專案（）、獲 取專案（）、產生專案（） 设 專案任務（）、沬知直安新專（）、刪除專案（）、列出 案任務（）1 ^ )、更新專案絲（）、移除專 6 “任務（）），以及一工作流程管理器 、，，且280(產生自訂檢視 視〇、執行自視（）、更新自訂檢 仃自讀視（）、自訂檢視結束（））β 2 圖顯不®形使用者介面(“GUI”)顯示器“主，，勞幕 範例的說明，除了日期與時間以外其在沿著 ο螢幕2400的底部的位置 10 _ 置上還可以指示，一系統狀態 _斤示之〇K )、目則最近的“警報，，之-指示2404(如 斤:之無）及系統條件之—指示24〇6(如所示之“處理 中”）。。沿著頂部的是當時登入者的角色之一指示謂(如所 厂、之操作者）以及使使用者按照系統層級到達其他 顯示（例 15 批-人、配方、工作、專案及系統）的選擇按鈕2412，還 有登錄及幫助功能触2414β同樣顯示於此示範性“主，，蟹 幕中的是使用者ID號2彻。選擇，例如，登錄能夠使使用 者到達此中請案巾別處所描述之第18圖的GUI榮幕216〇。 跳到第19圖’圖中以概要的方塊圖形式說明了外部通 訊處理（“ECP”)9〇2到資料及訊息處理（“DMp，，)9〇6的一連 20 接，一執行緒的插座伺服器、一訊息幫浦及一執行緒的資 料庫連接到’例如前端GUI處理4〇或後端伺服器處理2〇中之 任一者或這二者。 第20A圖說明，例如，pyth〇n雷射類別或pyth〇n任務腳 本中的實現中性語言格式（“NLF”)到裝置格式（“DF”）的一 34 1364702 裝置抽象的程式m2〇B ®巾触軸示了 PGStgreSQL - 中的這類程式碼。 . 根據本揭路標的的-實施例之層面，主系統控制器 (MSC)軟體旎夠作用如同一主系統控制器以控制一 • 5 900X裝置/工件處理工具的硬體元件。利用該MSC軟體，製 -· $工_能_義配方及專案、執行作以處财基板以 - 及監測機器效能等等。 現在跳到第43A-43C圖，圖中以概要的方塊圖形式顯示 # 根據本揭露標的的一實施例之層面的一系統控制器，如第7 10圖的系統控制器MSC 1〇。一主機910(如工廠自動主機）可 以，例如透過一 GEM程式館904而連接到一外部通訊處理 (“ECP’’)902。一資料及訊息處理(“DMp，，)9〇6可以連接到該 ECP 902及到一工具；|呆作者的一GUI介面40。該DMP 906也 可以連接到該後端伺服器處理（“BSP，，)20及到一診斷資料 15分析處理(“DAS”)908 ’其也可以’例如，透過一裝置驅動 器介面12〇(顯示於第43C圖中）與該OEM資料庫22通訊及透 鲁· 過裝置驅動器120a(顯示於第43C圖中）與裝置120b通訊。該 - BSP 2〇也可以透過裝置驅動器介面120及裝置驅動器 120a(顯示於第43C圖中）與裝置120b通訊。一裝置處理器也 20 可以直接或者透過該DAS 908或BSP 20(透過如第43C圖中 所示之該等裝置驅動器）與該等裝置通訊。 常駐程式程序後端伺服器處理(“BSP”)20能夠發出裝 置命令及檢查裝置狀態。該圖形使用者介面前端GUI處理 (“FGP”)40能夠允許使用者與該系統互動，例如定義配方及 35 執行工作。一受 夠路由該料理之^程序自f料及訊从理(‘替”)·能 管。一當的訊心以及作為資料庫存取的一導 來自裝==_取_器處_，，_收集 理。一常冑料料㈣訊並將其提供給其他處 他處理的f 息⑽卿鮮，)_收來自其 邱㈣/ 形式絲它…常駐程式程序外 。。理（ECP”)能夠處理外部通訊如 (“MES”)叫φ。 仃系統 在使用貝料庫來持續儲存其資料時，該MES 1〇能夠 10使用具有複數個綱目的—資料庫例如五個綱目_ — 〇咖 唯°賣肩目，其包含系統特定的資訊；-MSC讀寫綱目，其 月t*夠匕a使用者特定的資訊；一資料健倉則唯讀綱目，其 月匕夠包3裝置資料；一狀態唯讀綱目，其能夠包含裝置狀 態以及-登錄器112唯讀綱目，其能夠包含該系統所產生的 15日w資料。根據本揭露標的的—實施例之層面，該Μ%架 構能夠包括該系統的伺服器、通訊、使用者介面及資料庫 層面。該軟體可包括多個功能，例如，匯入/匯出；模組概 念（生命週期計數器）；基板概念；工作流程(例如，具有自 訂專案螢幕）；專案排程；具有視覺指示/色彩的使用者可組 2〇配的狀態欄標；匣盒的圖形及文字表示；專案/批次的執行 時間參數；使用SEMI SECS/GEM標準的MES介面；安全及 存取控制；較細微的錯誤處理以及可更新性(版本管理等等）。 該等上述的高階特徵能夠用來滿足某些系統需求，例 如檔案格式的配方/影像/專案的匯入/匯出，包括專案/批次 36 1364702 --的複製/貼上；配方的階層式結構；對配方/影像參數的改良 的-致性檢查；參數的存取控制(例如，誰能夠改變它們等 等）；參數中的相依性；空配方；依據Ε盒裝卸台（咖_ station)號碼、操作者ID、基板m等等的批次定義；與僅僅 5是裝置相反，對-基板概念、一彈性的及—般的引進模組 概念、-監測器模組能力的需要；用於模組更換的榮幕； 用於生命週期計數器的彈性及一般機制；以數值及文字在 狀態標欄中顯示維護計數器；用於診斷、下載及控制的自 訂專案螢幕；具有—資料夾/财結構的專案報告.、排程； 1〇基於事件及排程的專案排程；工作仔列的閒置逾時；工件 位置的變化’例如，玻璃基板的旋轉伴隨著對結晶圖的改 變，額外的配方處理狀態資訊；g盒的圖形表示；當添加 到該工作仔列時該批次及專案的執行時間；安全及存取控 制；編碼腳本以保護使用者的智慧財產；使用序列號與裝 15置的介面連接以識別一裝置；裝置元件的控制，例如，用 於匣盒下載/卸載的一機器人；使用者可組配的狀態欄標； 更細微的錯誤處理；對，例如一遺漏或偏離規格的脈衝的 損壞修復；著色的狀態欄標及專案；與使用SEMI SECS/GEM介面的顧客的MES80整合；可更新性及性能度量。 "° 下面顯示了它們可被應用到的示範性特徵及元件。 匯入/匯出： GUI-配方管理； GUI-專案管理； 配方的階層式結構： GUI-配方管理； 模組概念（生命週期計數器）：GUI-系統組態管理； 37 1364702 10 15 * . ; J· - GUI-報告管理； 基板概念： GUI-批次管理； 具有自訂專案螢幕的工作流程 :GUI-專案管理； GUI-工作流程引擎； GUI-報告管理； 專案排程： 伺服器-專案排程； 使用者可組配的狀態欄標-視 覺指示/色彩： 伺服器-狀態管理； GUI-程序管理； GUI-事件管理； 匣盒的圖形及文字表示： 伺服器-工作處理； GUI-程序管理； 專案/批次的執行時間參數： GUI-程序管理； 安全及存取控制： GUI-安全管理； 改良的錯誤處埋： 伺服器-工作處理； GUI-程序管理； MES介面： 伺服器-MES介面。 根據本揭露標的的一實施例之層面，該MSC 10的一示 20 範性低階設計可利用該系統之示範性元件的類別圖來被描 述。下面根據本揭露標的的一實施例之層面來討論可能在 一MSC伺服器20中的元件的階層（從最低到最高）之一示範 性列表。 一核心物件元件可包含大部分為該MSC伺服器20中的 38 1364702 所有元件所共有的資料物件類別，該等資料物件類別可被… 組配從而不具有邏輯且僅包含資料。在大多數情況中，該 資料也是公用的，藉此任何元件都能夠存取這類資料物件 中的資料。下列的示範性類別可是該核心物件元件的一部分： 5 MgC.物件(MSCObjecti，其可是此元件中最顯著的類 別，及該MSC 10中所有其他主要類別的較佳基礎類別。為 MSC 10中所有類別所共有的行為能在此類別中被實現。該 MSC 10中的大多數類別可以衍生自該MSC物件類別，包 括：MSC基元(MSCAtom) ’其可能是一個多種資料類型的 10持有器，該持有器可使用一聯合來儲存資料的任何類型： 整數、實數、字串、布林或物件資料類型；Msc當數 {MSCConstants) ’其可以提供一命名空間給所有伺服器元 件中所使用的常數；MSC對(MSrPhr)，其可以在標準容器 集合中使用一對字串來進行簡化；MSC例外 15 (MSCException)，其可能是該MSC伺服器20中的一基礎例 外類別’所有特定應用的例外類別可被預計衍生自此；MSC 公用程式(MSCUtils) ’其可包含字串及其他被所有元件使 用的各種公用方法；MSC影像(MSdlmage)，其可能是影像 的一種資料物件類型且可包含影像參數；MSC配方 20 ( MSCRecipe)，其可能是配方的一種資料物件類型並包含 配方參數及每一配方的一影像列表；MSC^^nusnnt)， 其可能是批次的一種資料物件類型，且包含批次參數及可 用於一批次的一配方列表；MSC任輅HVlSCTask)，其可能是 專案中的任務的一種資料物件類型且包含對應於任務的， 39 例如Python腳本中的任務參數、—主體及執行時間參數；MSc JLl.CMSCProject)»其可能是專案的一種資料物件類型，且 可包含專案參數及一任務列表；msc工作nviscj,，其可 能是工作的一種資料物件類型且可包含批次/專案的名稱 5及工作狀態，MSC狀態檢杳（MSCStatusCheck)，其可能是 包含一裝置參數的狀態檢查資訊的一種資料物件類型，且 可被一狀態迴圈使用以檢查一裝置參數的狀態； 1 料(MSCStatusData·! ’其可能是包含一裝置參數的所有該 等狀態檢查的一種資料物件類型，且可被一狀態迴圈使用 10以檢查一裝置狀態是否是一錯誤、警告或其他操作資訊； MSC狀態_命令（MSCStatusCommand)，其可能是包含一狀賤 命令及其相關輸入的名稱且也可以返回引數參數名稱的— 種資料物件類型，且可被一狀態迴圈使用以決定裝置及系 統狀態。 15 根據本揭露標的的一實施例之層面，一執行緒 (ThreMService)元件可能是在該MSC伺服器20中提供高階 執行緒處理及同步能力的一個元件，其在使用執行緒時可 包括下列示範性類型（l)MSC勃扞缺fMSCThreacn，可能是 一抽象類別’其能夠被任何需要一個新執行緒的類別所繼 20承。接著該繼承類別可以實現該MSCThread的run〇方法。 為了啟動該執行緒執行，該MSC可以呼叫該MSCThread的 start()方法’接著該start()方法能夠呼叫該run()方法。該類 別能夠包裝常用的執行緒管理應用程式設計介面(“API”）。 pthread的互斥與條件變數的其他特徵可以具有它們自身的 40 1364702 包裝類別。(2)MSC互斥（MSCMutex)可能是能夠封裝一 - Pthread的互斥（提供一機制以鎖定及解鎖物件）及使物件執 . 行緒安全的一類別。(3)MSC可銷定的铷彳 (MSCLockableObject)可能是提供一機制給物件使之是執行 . 5緒安全的一類別且’例如，執行緒安全的物件可能需要衍 " 生自此類別。(4)MSC單一銷定（MSCSing丨能是使用 - MSCLockableObject而允許同步存取多執行緒的程式碼的 一包裝類別。此類別可被一 MSCLockableObject利用來使方 • 法在一物件層級上同步化。當該MSCLockableObject的物件 10 使用一遞迴互斥時’該MSCSingleLock的巢狀式使用可被允 ^ 0 (5)MSC等待條件（MSCWaitCondition)可能是在互斥已 被鎖定的情況下使用所呼叫的wait()及notify()方法來實現 一pthread的條件變數以通知一等待的執行緒的一類別。接 著當該wait()可被呼叫時該互斥可被自動釋放且當n〇tify() 15方法喚醒該等待執行緒時該互斥也可被自動重新獲得。此 類別可被MSC §fL息幫浦（MSCMsgPumps)使用來通知等待 籲- 的 MS’CMsgPumps。 、 - 根據本揭露標的的一實施例之層面，一系統公用程式 元件可提供被所有元件使用的常用公用程式，如用於全系 20統範圍的登錄及檢索系統組態資訊的公用程式。下列示範 性類別可能是此元件的一部分。 (l)M§Pni擋案歲理器nusClTniFileHandler)可提供公用 方法來處理組態檔案，該等方法在此情況中可能是全域的 且可用來載入來自一伺服器組態檔案的組態參數。該等參 41 1364702 數可被指定為選項=數值對，每行有一規格。空白行及注釋 行也可被允許。（2)MSC登錄（MSCLog)可揾供昝絲铱六u及 定義如MSCConstants類別中所定義的訊息的各種錯誤層級 及嚴重性。 5 根據本揭露標的的一實施例之層面，一命名服務 丨ngService)元件可在該MSC伺服器20中提供物件發現 能力，且可包括下列類別。MSC侖么服菘 (MSCNamingService、亓‘杜能县力钱MSr伯叩矜中提供 物件發現的一服務類別。物件可被一元件儲存在該命名服 10 務中且接著被其他元件使用。由於這是一個服務，所以它 可能是多執行緒的及執行緒安全的。 根據本揭露標的的一實施例之層面，一訊息服務 (MessageService)it件可促進該MSC伺服器20中主要元件 間的通訊，且可包括下列類別》mMSC訊‘良(MSCM⑽age、 15 可能是包含被用以透過儲存一字串在一訊息中而在MSC伺 服器元件間通訊的訊息資訊的一類別。(2)MSC訊身、幫浦 (MSCMessagePump)可能是實現一機制以取得來自訊息佇 〆 列的訊息並將它們發送到該等伺服器元件的一類別。 (3)MSC訊息作列（MSCMessageOueue、可能是包括被用以在 20 伺服器元件間通訊的訊息的一先入先出（FIFO)容器且可被 MSCMessagePump使用來儲存及檢索訊息的一類別。
根據本揭露標的的一實施例之層面，一資料存取服務 (DataAccessService)元件可在該MSC伺服器20中提供一高 階抽象層給資料存取。被用於MSC(其具有OEM綱目及MSC 42 1364702 綱 >目）之TCZ 900X資料庫的資料庫伺服器..20可能是 PostgreSQL。libpqpp套件可被用於到該資料庫的高階C++ API。下列示範性類別可能是此元件的一部分。（l)MSC資 料存取服務(MSCDataAccessService)可提供一高階資料庫 5 抽象層，該層隱藏了 MSC中所使用的實際資料庫的基本細 節。⑵MSC連接（MSCConnection)可能是如果一連接可能還 未開通則實現到該資料庫的一連接介面以連接到該資料 庫，以及能夠被用於以參考指標來執行詢問（包括基於異動 的詢問）的一類別。⑶MSC結果集合（MSCResultSet)可# 10 持有藉由在該資料庫上執行一詢問而返回的結果的一類 別，該等結果能夠以字串自此類別中被檢索。 根據本揭露標的的一實施例之層面，一安·全服__ (SecurityService)元件可在該伺服器層中提供安全及存取控 制服務。 15 根據本揭露標的的一實施例之層面，一資料格式彳匕$ (DataFormatter)元件可能是提供公用方法將裝置命令從中 性語言格式（NLF)轉換為裝置格式（DF)並轉換回來的—元 件。下列示範性類別可能是此元件的一部分。MSC資料年色 式」匕器（MSCDataFormattpr)可能是轉換裝置命令以及在中 20性語言格式（NLF)與裝置格式（DF)之間來回回應的一類 別。該MSC 10可使用中性語言格式從而提供一統一的語言 格式與ICE9系統中各種類型的裝置通訊。 根據本揭露標的的一實施例之層面，—裝_置 (DeviceDrivers!元件可包含連接到MSC 10的各種裝置的裝 43 1364702 置驅動器。此元件冲··的屬:置驅動器類別可以實現抽象基礎 類別中的方法：MSC通訊介面（MSCCommlnterface)。該等 裝置驅動器可以是動態共用的程式館，藉此額外的裝置能 夠被添加而不重新編譯該MSC 10的操作程式碼。如果一命 5 令為了一裝置而存在以，例如檢索其序列號，則該裝置可 以檢索該序列號並使用該序列號在一訊息登錄該裝置時及 /或在裝置狀態報告時識別該裝置。下列不範性類別可能是 此元件的一部分。MSC通訊介面（MSCCommTntprfar^可能 是提供一標準API給所有被用以與該等實體裝置進行通訊 10 的裝置驅動器使用的一類別。該MSC 10可以使用此抽象類 別與各種裝置統一通訊，而與以下所使用的協定無關： TCP/IP插座、USB、CORBA等等。 根據本揭露標的的一實施例之層面，一 (Devicelnterface)元件可被估用’其可包括此元件的一或多 15個實體，該（等）實體可被用以與該ICE9雷射退火裝置中的 實體或邏輯裝置進行通訊’以及可提供一高階抽象給裝置 與該伺服器20間的通訊《從該MSC伺服器20内部到裝置的 通訊可利用中性語言格式(NLF)來被執行。NLF命令在被發 送到裝置之前可被轉換為每一裝置特定的裝置格式(DF)。 20下列示範性類別可能是此元件的一部分。（1 )MSC裝置介面 IMaC^gvicelnterface)可能是提供一高階API給MSC 10與裝 置進行通訊的一類別。對於到附接在MSC 10上的一實體或 邏輯裝置的每個連接，此類別可能具有一實體。此類別藉 由載入符合該MSCCommlnterface抽象類別的一裝置驅動 44 1364702 器而可以與备_自的裝置進行通訊。該MSCDevicelnterface 也可以使對該裝置的多個通訊請求串聯化。在載入該裝置 驅動器之後，此類別可以首先呼叫init()方法，後面接著呼 叫多個set〇方法以設定裝置參數。然後該 5 MSCDevicelnterface可以呼叫open()方法，後面接著多個 write()及read()方法。最後該MSCDevicelnterface可以呼叫 close()方法。(2)MSC裝置介面DAO(MSCDevir_pTnterfaceDAO)可能 是該MSCDevicelnterface的一資料存取輔助類別，其可以對 此類別的Deviceinterface元件的一資料庫作出呼叫。(3)MSC 10 插座(MSCSocket)可能是包含以包裝方法實現並用於低階 插座通訊的一個一般TCP/IP插座的一類別。(4)MSC伺服器 插座（MSCServerSocket)可能是使用該MSCSocket類別來實 現該伺服器端的TCP/IP插座連接的一類別。(5)MSC用戶端 插座（MSCClientSocket)可能是使用該MSCSocket類別來實 15 現該用戶端的TCP/IP插座連接的一類別。 根據本揭露標的的一實施例之層面，一使用者介面通 訊（UserlnterfaceCommunication)元件可被用以促進該 MSC 伺服器20與GUI 40之間的通訊。根據通訊目的，例如用於 控制或用於報告狀態，此元件的兩個實體可被用於MSC伺 20月艮器20中，即UI控制通訊管理器用於控制訊息而UI狀態通 訊管理器用於狀態訊息。控制訊息可以進入以及離開該 MSC伺服器20，即它們能為雙向的。狀態訊息只可以離開 伺月艮器20。因此它們可能是單向的。在兩種情況中，該伺 服器等待該GUI 40來啟動通訊連接請求。下列示範性類別 45 1364702 可能是此元件的一部分。 (l)MSCUTi番訊瞢理器（MSCUICommManager、可能是 該GUI 40與該伺服器20之間的一通訊介面，其可以使用 TCP/IP插座來與該GUI 40通訊，且可被用以發送控制以及 5 診斷訊息給該GUI 40。當連接可能最初從該GUI 40處被建 立時，該伺服器20藉由請求該GUI 40發送識別資訊(例如使 用者ID及/或已加密的密碼）而可以鑑別該連接，且如果鑑別 失敗，則該伺服器20可以終止該連接。(2)MSCUI訊.氣收艟 器（MSCUIMessageListener)可能是被用以接收來自該GUI 10 40的由該MSC UI通訊管理器370、370’產生並管理的控制訊 息的一類別。此類別可以在一工作者執行緒中執行，藉此 其主機元件執行緒不會被阻斷，同時此執行緒可能在等待 接收來自該GUI 40的訊息。(3)MSCUI訊轉釋哭 (MSCUIMessageTranslator)可能是將用户端的訊息轉譯為 15 伺服器程式碼（反之亦然）且因為UI通訊管理器370、370,以 及UI訊息收聽器都能夠呼叫它而需要是執行緒安全的一類別。 根據本揭洛標的的一實施例之層面，一狀態管理号 iStatusManager_1350元件可以監測所有_置的狀態，以及也 將狀態訊息登錄在MSC饲服20中。下列示範性類別可能 20是此元件的一部分。U)MSC狀熊普理p (MSCStatusManager、 可能是登錄自該系統1〇中任何地方接收的狀態訊息的一類 別。它也可以產生並管理一狀態迴圈來為裝置狀態而連續 輪询裝置，且如果一嚴重的錯疾被檢測到，則通知該MSC； 工作管理器310類別。(2)MSC狀能管理器 46 1364702 DAO(MSCStatusManagerDAO)可能是作用為MSC狀態管理 器350的一資料存取輔助類別。對來自該MSC狀態管理器類 別的一資料庫的呼叫可從此類別中被作出。(3)MSC肤能询 圈（MSCStatusLcmp、可能是為裝置狀態而連續輪詢裝置的 5 一類別。該MSCStatusLoop可以監測該等裝置的嚴重或錯誤 的狀態指示。該MSCStatusLoop也可以檢索來自該等裝置的 某些參數的值並將它們發佈給該GUI 40。該MSCStatiisT nnp 也能夠執行系統命令以檢查生命週期計數器及其他系統或 裝置參數是否已經超過它們的臨限值，且如果是，則也可 10 以使該GUI 40執行以下所請求的動作中之一個：彈出一或 多個被選擇的對話方塊、以圖像形式顯示一錯誤或警告訊 息以及/或者利用一腳本來執行一自訂動作。下列來自一資 料庫的示範性命令可被該狀態迴圈執行以決定裝置及系統 狀態。 15 TellSystem<系統命令及參數>< 系統命令結果〉
TellDevice<具有裝置命令及參數的裝置名稱 >< 裝置命令結果> DeriveStatus〈輸入參數名稱><;衍生參數名稱〉 (4)MSC狀態迴圃 DAf^MSCStatusLc^pDAm可能是MSC狀 態迴圈的資料存取輔助類別，對來自該MSCStatusLoop類別 20的一資料庫的呼叫可從此類別中被作出。 根據本揭露標的的一實施例之層面，一工作處理器 (JobPr_^essor)元件312可能是構成MSC伺服器20的主幹的 一元件。該工作處理器元件312可以利用一命令解譯器（如 Python)以來自該命令程式館管理器316的命令回呼來執行 47 1364702 工作。該等命今回呼可被分類成三個組：（1)用於與裝置通r_ 信的裝置命令、（2)用於與該MSC 10進行資料傳送的資料命 令以及(3)用以與該MSC 10進行通信的系統命令。該資料物 件管理器320可促進資料命令的實施。下列示範性類別可能 5 是此元件的一部分。mMSC工作虚理器 (MSCJobProcessor)312可能异刹用一 Python解譯器來執行 工作並也提供來自使用該命令程式館管理器316的一 Python腳本引擎的回呼的一類別。該MSCJobProcessor可解 碼自該MSC綱目資料庫24檢索的已編碼腳本。(2)MSC命今 10 程式館管理器（MSCCommandLibrarvManager)可能是包含 用於該Python腳本引擎的回呼的一類別，該等回呼可被分 類成三組：（1)裝置回呼、（2)資料回呼，以及(3)系統回呼。 裝置回呼能夠提供與裝置的通訊。資料回呼能夠允許為了 系統、裝置及配方參數的資料檢索。系統回呼能夠，例如 15 提供訊息登錄及系統控制功能。 下列示範性命令回呼可被Python腳本支援： TellDevice<^置名稱><裝置命令><命令參數>
TellSystem<^、統命令><命令參數>
GetValue<取得參數名稱> 20 PutValue<設定參數名稱><設定參數值>
LogMessage<^置名稱><訊息嚴重性訊息文字〉 LogParameter〈參數名稱><參數值>
RunProcedure〈程序名稱><程序類型 ><;程序參數〉。<裝置名 稱> 是發送裝置命令的裝置的名稱。< 裝置命令> 是中性語言 48 1364702 格.式(N_LE)的裝置命令。命令(例如“取得連接狀態，，)能，夠^被 發送到任何裝置。回應可以是下列兩種值中之一個，例如， “OK”(如果裝置目前被連接）及“NOK”(如果無法連接到裝 置）。<系統命令〉可以是以下一種：（1)開始狀態迴圈、（2) 5停止狀態迴圈。<取得參數名稱>可以是以下一種：（l)Data.< 使用者參數名稱>、（2瓜6乂以.<裝置名稱><裝置參數名稱 >、（3)Module.〈模組名稱〉〈模組參數名稱>、（4)c〇mponent.< 模組名稱>.<元件名稱>·<元件參數名稱>、（5)System.<系統 參數名稱>、（6)Task.名稱、（7)Task.<任務參數名稱>、（8)Lot. 10名稱、（9)Lot.第一配方、（i〇)L〇t.下一配方、⑴)Redpe名 稱、（12)Redpe·第一影像、（13)Redpe 下一影像、 (14)Recipe.<配方參數名稱>、（15)Image 名稱、（16)Image < 影像參數名稱>。 <設定參數名稱>可以是以下一種：（1)]〇扣3<使用者參 15數名稱>、（2)System•〈系統參數名稱>、（3)Module.〈模組名 稱><模組參數名稱>、（4)(：〇11^〇1^1^.<模組名稱><元件名稱 ><元件參數名稱>。 <元件嚴重性>可以是以下一種：（1)“嚴重的”、（2)‘‘錯 誤、（3)警告”、（4)“資訊”。<參數名稱>可以和<取得參數 20名稱>相同。<程序名稱>可能是儲存在TCZ 900X資料庫之 MSC綱目'貝料庫24中的一程序的名稱。〈程序類型>可指定 β玄被儲存的程序呼叫所返回的結果集合的類型，“〇，，為正常 的結果集合而“1”為基於參考指標的結果集合。 (3)MSC »p 々解譯器（Msccommandlnterpreter)可能是 49 1364702 用於該Python命令解譯器3-.14的一包裝類，其可載入並執行 Python腳本。 模組中元件的生命週期計數器總是能夠透過使用模組 化的Python腳本而被更新，該等Pyth〇n腳本能夠封裝用於更 5新該等計數器的邏輯。該等ρΥ^〇η腳本藉由使用該GetVaiue 及該SetValue命令並將Module.〈模組名稱><模組參數名稱〉 或Component.q^組名稱 >< 元件名稱 元件參數名稱 >作 為參數傳遞而能夠存取生命週期計數器或任何其他模組資 §fl。為了支援改良的錯誤處理，該等Python腳本能夠捕獲 10例外並在下一影像或下一配方重新開始來取代只繼續下一 批次。 (4)MSC 資料物件管理器（MSCDataObjectManager)可能 是實現MSC命令程式館管理器中定義的該等資料回呼所提 供的資料檢索能力的一類別。它允許檢索系統、裝置、專 I5 案、任務、批次及配方參數。它允許設定及檢索來自Python 腳本的使用者定義的參數。 工作管理器（JobManager)30可能是可能為該MSC伺服 器20的一閘管理器的一元件，其可以回應來自該GUI 40的 控制訊息並控制工作的執行。下列類別可能是此元件的一 20 部分。（l)MSC工作營理器（MSCJobManager)30可能县tg?應、 來自該GUI 40的控制訊息以及也通知該GUI 40任何重大事 件（如該伺服器20中的嚴重錯誤）的一類別。該 MSCJobManager 30服務工作佇列中的工作。該 MSCJobManaeer 30使用該MSC工作處理器42來執行工 50 1364702 作。如旲玆MSCTrthManager 30接收來自該工作排程器32的 - 一工作可被添加到該工作佇列的通知，則該 MSCJobManaaer 30發送一控制訊息給該GUI 40要求它再 新該工作佇列的顯示。如果該工作佇列中沒有工作，則該 . 5 將該工作佇列修復到步進模式。如果該 系統閒置達一預先組配的逾時，則其藉由執行一預先定義 — 的備用專案而使該等裝置處於一已知狀態中。（2)MSC工作 管理器DAOnviSCJobManagerDAm矸能县玆A/rs「τ作管呷 φ 器的一資料存取輔助類別，且可以呼叫來自此類別的工 10 作管理器元件的一資料庫。 该1作排程器（JobScheH”丨可粑早仵闬储疗卞人^ MSC綱目中預先定義的專案排程來排程要執行的工作/專 案的元件。下列類別可能是此元件的一部分。（1 )MSC工 可缺從該資料庫巾讀出該 15等專案排程、為每一預定工作決定下一執行時間、根據， - 爿如它們的執行時間將該等排程從頭到尾排序以及使用該 • 歐排程計時器類別來等待直到到達該列表中第-排程的 - 執行時間（該M S C排程計時器能夠被，例如，用以用與時間 無關地執行的工作仵列來排程工作，因此，等待預定時間 20來排隊等候工作。）的一類別。接著該伽㈣蔣 :應於該列表中第-排程的專案添加到該工作仵列的末 已在該工作^丁列中的任何專案獲得優先權。該 重複此過程直到職離開。該MSC工作排程 器32類別以其自身的訊息迴圈在自己的執行緒中執行（類 51 1364702 .似於第9圖中對於該工作處理器所顯示的），而準備好處理 任何進入的訊息。同樣地，預定工作可以，例如僅在一系 統定義的預先組配的時間視窗内執行。它們不能在該時間 視窗外被執行且如果它們錯過它們的視窗，則一警告訊息 5 可能被登錄。 該GUI 40可被期待在使用者產生、更新或刪除專案時 通知該MSC工作排程器32。根據此通知，該MSC工作排程 器32類別藉由從該MSC綱目資料庫24中檢索專案排程以及 重新估計專案執行時間而更新預定專案的執行時間。該 10 MSC工作排程器32也能夠中斷該MSC排程計時器，如果此 類別已在使用它來等待。 (2) MSC排科計時(MSCSchedulerTimerl可能是以其 自身的訊息迴圈在自己的執行緒中執行的一類別。該MSC 排程計時器可能是該M S C工作排程器3 2類別的一辅助類 15別。該MSC排程計時器等待直到給定的時間已過去且接著 通知該MSC工作排程器32類別該時間已過去並等待來自該 MSC工作排程器32類別的一進入的訊息》 (3) MES介面「MESInterfacepo可能是提供到達及來自 外部系統的通訊的一元件，如使用SEMI SECS/GEM介面標 20 準的 MES80。 伺服器常駐程式（ServerDaemon)可能是包含該MSC伺 服器20的主程式的一元件。下列類別可能是此元件的一部 分。(l)MSC伺服器主埕式（MSCServerMain)可能县該MSC 伺服器20的主程式。它產生MSC伺服器20的一介面以管理 52 1364702 ·、ι π a該飼服器20的功能。（2MSC伺服器（MSCSen^rpn，g,丨可衝 ‘ 是該MSC伺服器20本身的代表。它載入系統組態、啟動並 • 初始化所有該等MSC伺服器20的元件。在系統關閉時，它 停止所有的元件並清除資源。它在啟動時執行init腳本。如 ， 5果需要它也執行損壞修復》(3)MSC飼服器 • QA.Q(MSCServerDAO)可能I MSC佰服1§川的資料行取辅 - 助類別。所有從伺服器元件到資料庫的呼叫都能夠從此類 別中被作出。(4)MSC當駐裎式（MSCDaemon)牺別提供將呼 • 叫程式轉換為一常駐程式的功能。其分成兩個新的程序、 10 產生一個新的對話期以及將來自控制臺的常駐程式分開。 除了上述元件以外，一外部USB介面元件還可被用以 與光束度量裝置830的照相機裝置進行通訊。同樣地， COLDAS 824(Cymer股份有限公司的一產品，其使用，例 如，到該雷射330,的一CORBA介面）可被用以獲取來自該雷 15 射330’的診斷資訊。MSC 10將COLDAS 824作為一邏輯裝 置並使用符合MSCCommlnterface的一裝置驅動器來連接 •. 到它。
- MSC 10的使用者介面設計可以使用該UI中主螢幕的 螢幕草圖來被描述，如該等參考附圖所示。以下可能是MSC 20 GUI中套件的階層（從最低到最高）。 ice9.msc.core套件包含該GUI 40中所有套件使用的共 同類別。其也包含main〇方法來啟動GUI 40。下列主要類別 可能是此套件的一部分。 數（Constants、可能县句.令該啓個fil JT 40中被使用的 53 1364702 常數的一類別。預-設面板（DefaultPaneH可能县GUI 40中所” 使用的所有面板的基礎類別。其實現所有面板所共有的功 能。MSC系統性皙（MSCSvstemProuerties)可能是載入來自 一資料庫的系統層級的性質的一類別，該資料庫能夠被用 5以控制GUI螢暮的查看與感覺。啟動MSCfStartMSC)可能是 具有啟動該GUI 40的main()方法的一類別。MSC動態參數 類別提供該GUI 4〇中動態參數螢幕的顯示 及更新功能。這些類別使用具有控制器、模型及檢視類別 的標準模型視界控制器(MVC)設計型樣。 ίο 套件包含該GUI 4〇中所有套件使用的常 用公用方法。其包含載入影像'使襴位元中的資料生效、 將表格中的資料分類等等的公用方法。ice9.msc.comm套件 促進GUI 40與該伺服器20之間使用Java中的TCP/IP插座 API的通訊。此套件也提供一高階抽象給來自GUI 40的使用 15 Java中的JDBC API的資料存取。下列類別可能是此套件的 一部分。(U插座遠接（SocketConn)管現該GUI 40中使用 TCP/IP的插座通訊。(2)命今插座連接（CommandSocketConn) 使用該SocketConn類別來對該伺服器20發送及接收控制訊 息。被發送到該伺服器20的所有該等訊息包括連接第一次 20 被建立時該伺服器20返回的對話期ID。該伺服器20使用此 對話期ID來加強存取控制。（3)診斷插庙遠桩 (DiagnosticSocketConn)佶用該 SocketConn類別來接收來自 該伺服器的狀態訊息。i4)MSC資料廉連接（MSCDBConn) 提供一標準的連接裝置(例如，一Java資料庫連接(“JDBC”)） 54 給該MSQ資料庫。使用此連接，儲存於該MSC; 10資料庫的… 程序能夠被執行以檢索及更新]^5(： 1〇中的資料。 ipe9.msc.seciiHty_套件鑑別及授權使用者到該gui 40中 的各種特徵。其使使用者登入生效。其根據使用者的角色 來決定存取控制。下列類別可能是此套件的一部分： 幺全官理器（SecuritvManaffer):升啣％栌博宁令秤肀斧 錄進入該系統的一使用者或一角色。其支援兩種安全類 型·基於使用者的安全以及基於群組的安全。如果該系統 可被組配為是基於使用者的安全的，則它期望使用者1〇及 使用者密碼被提供。接著它找到對應於來自該資料庫的使 用者的角色。另一方面，如果該系統可被組配為是基於群 組的安全的，則它期望角色ID、角色密碼及使用者ID被提 供《不管哪一種組態被選擇，最後該系統都知道誰是使用 該糸統的使用者及他/她能夠扮演的角色。從該角色中它能 夠決定使用者許可權。 角色及許可權能夠被預先定義。它們能夠被儲存在該 OEM綱目中。可能具有三種常見的角色：操作者(製程工程 師）；服務工程師（現場服務工程師）；以及管理員。 對於每-角色’許可權能夠使用其等能夠執行的動作 來被疋義。使用者能夠在任何特徵上執行的共同動作可能 有五種：檢視；產生；修改；刪除；執行。 該系統允許許可權被該MSC的供應者(〇EM)設定在任 何層級上。許可權能夠被設;t在下列層級上：系統；特徵； 實體。 1364702 設定於該系統層級（即資料庫層級）的許可權能夠被設 定於該特徵層級（即表格層級）的許可權超越，而設定於該特 徵層級的許可權能夠接著被設定於該實體層級（即攔位層 級）的許可權超越。 5 此類別的兩個重要方法可能是：bool is All〇wed(對話期 ID字串、特徵HD字串、動作碼字串）；bool checkPermission(對 話期ID字串、許可權ID字串、動作碼字串）。 該bool is Allowed〇方法能夠被用以檢查對一給定特徵 的存取。如果該存取未被允許，則對應的選單或按紐可能 10 被去能。該checkPermission()方法能夠被用以檢查欄位層級 安全。如果’例如一許可權ID可被附加到該資料庫中的一 任務參數’則該GUI中對應的參數列能夠根據來自該 checkPermission()方法的返回值而被致能/去能。 一icetmsc.SYsconfig套件允許使用者更新系統及裝置 15 組態資訊。其使用來自該ice9.msc.core套件的 MSCDynParam類別來顯示及更新系統及裝置組態參數。系 統組態螢幕上的欄標的數目及内容可能是資料庫驅動的。 通常’對於被附接在該MSC 10的每一裝置，一攔標可被顯示。 一.icejjpsc.status,套件允許使用者檢視來自MSC伺服器 20 20的狀態訊息。其也允許使用者根據，例如時序、嚴重性 及訊息内容來;慮除狀態訊息。其使用具有控制器、模型及 檢視類別的該標準模型視界控制器（MVC)設計型樣。為了 顯示狀態訊息，該GUI 40收聽來自該伺服器2〇的“狀態訊 息”的訊息。一套件允許使用者產生、更新及 56 刪除GUI中的專案。其使用具有控制器、模型及檢視類別 的該標準模型視界控制器（MVC)設計型樣。此套件也允許 使用者提供排程給專案。一專案可能被限制在最多一排程 上。任務可具有一參數以指示其是否能夠被排程。如果一 5專案包含禁止排程的任務，則該專案不能被排程。如果一 任務的可排程參數改變了，則該系統能夠重新使包含該任 務的排程生效並通知使用者一預定任務是否變成不可排程 的。如果該使用者決定使用基於範本的專案螢幕來控制、 診斷或下載，則自訂螢幕能夠使用所請求的範本來被顯 10示。進入及離開該資料庫的專案資料的保存及檢索仍然能 夠使用標準的專案定義（即一專案可能僅僅是具有任務參 數的任務之一集合）來被執行。所以，該(3111中的基於範本 的自訂邏輯能夠在該標準格式與該基於範本的自訂格式之 間來回轉換專案資料。為了匯入/匯出及複製/貼上專案，一 15 XML格式能夠被使用β 為了易於檢視專案資訊，一樣式表單能夠被用以將該 XML格式轉換為一文字格式。專案排程資訊可能不被包括 在專案的匯入/匯出中。同樣地，該匯入/取代功能可能不被 支援。一匯入能夠產生一新專案。如果具有相同名稱的一 2〇專案已經·存在，則它能夠錯誤訊息輸出（error out)。匯出的 XML文件能夠被分成兩區段：標頭及主體。為了確保匯出 資料的完整性’ 一散列能夠被產生用於該主體區段中的匯 出資料並被包括在該標頭區段中。 匯入時’如果該主體區段的散列與被儲存於該標頭區 57 1364702 段的散列不匹配，則一警告能夠被顯示給使用者。接著該 匯入操作能夠根據使用者的選擇而繼續或中止。 一k^.msc.recipe套件允許使用者產生、更新、刪除、 複製及貼上GUI中的配方及其相關影像。其使用具有控制 5器、模型及檢視類別的一標準模型視界控制器（MVC)設計 型樣。使用者能夠利用資料夾來組織配方。這些資料夾"5J* 能並非擋案系統中真正的資料夾。資料夾階層（如母子關係) 旎夠被儲存於該資料庫中。短配方名稱不必為資料夾内唯 一的。一配方的長名稱包括其資料夾階層。一配方的長名 10稱中的資料夾名稱能夠由斜線(/)分隔。該GUI從該資料庫 中檢索該資料夾階層並顯示它。對配方及影像參數的一致 性檢查包括配方參數中的比較。該等一致性檢查本身能夠 與該等配方及影像參數的其他資訊一起被儲存於該資料庫 的OEM綱目中。例如’它們可以被儲存為 15 Image.EndX<Image.StartX。該 GUI檢索來自該 OEM綱目的 檢查、代替該等參數的值以及估計該等檢查為真或假。 為了匯入/匯出及複製/貼上配方，一XML格式能夠被使用。 為了易於檢視配方及影像資訊，一樣式表單能夠被用 以將該XML格式轉換為一文字格式。一匯入能夠適當地產 20生一新配方或影像。如果具有相同名稱的一配方已經存 在，則它錯誤訊息輸出。影像能夠被附加到一配方中現存 的影像列表中而不管匯入的XML檔案中的影像名稱。如上 面在該ice9.msc.proj節中所描述的，匯出檔案的完整性藉由 保存匯出文件中匯出資料的一散列而能夠被證實。 58 1364702 5 r ice9.msc.lot奈件分.許#用者逢生、更新及刪:除GTIT 中的批次。其使用具有控制器、模型及檢視類別的該標準 模型視界控制器(MVC)設計型樣。 為了複製/貼上批次，一XML格式能夠被使用。 一ice9.msc.iob奈件介▲許#用者逢峰、刪除、重新排序 及執行來自該GUI 40的工作。其也允許使用者終止、重新 開始或中止工作的執行。其允許工作被以步進或連續模式 執行。其對該MSC伺服器20發送及接收控制訊息。其也顯 • 10 示結晶圖及系統狀態。系統狀態欄標的數目及内容可能是 資料庫驅動的。該系統使用具有控制器、模型及檢視類別 的該標準模型視界控制器（MVC)設計型樣。當使用者添加 一工作到該工作佇列中時，該GUI 40允許該使用者藉由點 擊第34圖中說明的添加工作到佇列螢幕1〇〇中的編輯按鈕 102來提供執行時間參數。點擊該編輯按鈕產生如第33圖中 15 ·. 說明的對應工作批次或專案的修改螢幕。可選擇地，一個 僅列出該對應批次或專案的參數的新螢幕能夠被顯示。不 管該使用者是否提供執行時間參數，該GUI 40能夠複製該 資料庫中的工作並將其添加到該工作仵列。 該添加工作螢幕100也可以具有一選擇切換1〇4用於指 20 示批次或工作的類型，該選擇切換104也可以將列表從工作 切換到批次。該添加工作螢幕100可顯示在一列表106中可 選擇的工作。一旦做出一選擇’使用者可以點擊OK按鈕108 或取消按鈕110。 當該等排程到達它們的執行時間時，該等預定的工作 59 1364702 也被添加到該工作佇列的末端。根據一系統組態參數，如 果工作排程可被組配成手動的，則該系統在執行該工作之 前會提示使用者。另一方面，如果該工作排程被組配成自 動的，則該工作被執行而不提示該使用者。為了得到匣盒 5 的圖形表示、結晶圖以及系統狀態值，該GUI 40收聽來自 該伺服器20的‘‘狀態參數”訊息。為了得到結晶圖，下列參 數可利用來自腳本的LogParameter命令而被發送到該GUI 40 : Lot.名稱；Recipe.名稱；Image.名稱；Stage.目前 Y。 對於錯過的脈衝，將具有一空間的“2”附加到該 10 Stage.CurrentY參數的目前Y位置值。如果玻璃基板被旋 轉’則結晶圖需要相應地調整。除了包含參數的名稱及數 值以外’來自該伺服器20的該等“狀態參數”訊息包含能夠 被用以指示被該GUI 40所採取的一動作的屬性。這些動作 屬性能夠被儲存在該資料庫中的狀態表中。該GUI 40能夠 15 使用該等動作屬性來執行以下一或多個動作：彈出一對古舌 方塊；顯示一圖像或警告信號；顯示一星號或驚嘆號標記； 發送一電子郵件或呼叫；執行一基於自訂腳本的動作。 一 ice9.msc.wor_里套件提供自訂專案螢幕。其使用範 本來提供自訂檢視以產生、修改及執行專案。其使用該 20 ice9.msc.Pr〇j套件的類別來儲存及檢索來自該資料庫之 MSC綱目的專案。此套件能夠被視為該ice9 msc pr〇j套件之 上的一抽象層。此套件根據該等範本中所包含的資訊以自 訂檢視呈現利用該ice9.msc.proj套件自該資料庫檢索出的 專案定義。三個範本已被識別出：診斷、控制及下載。額 60 1364702 外的範本能夠按:照需要被添加。此套件中的工作流程引擎 將標準專案定義轉換成自訂檢視。使用者能夠使用這些自 . 5了檢視來產生及修改專案。接著該工作流程引擎將該等自 。丁檢視轉換回该4標準專案定義。利用該等自訂檢視，該 • 5等使用者也能夠交互地執行專案。當使用者點擊這些自訂 • 檢視中之一個中的執行按鈕時，在該等場景之後，該工作 • 流程引擎產生一工作並將其添加到該工作仔列而使其被立 即執行。接著該工作流程引擎藉由重定向狀態視窗中的狀 • 態訊息而在相同的自訂檢視中顯示該專案執行的結果。 10 一 ice9.msc.reporting套件允許使用者列出以及檢視由 該系統中的各種伺服元件所產生的報告。 根據本揭露標的的一實施例之層面，一資料庫設計能 夠包括如用表格所描述的該MSC 10之一資料庫設計。 該資料庫中的表格能夠儲存安全、工作排程、模組以 15及配方階層資訊。這能包括具有使用者ID及密碼以及使用 者的等級(例如使用者的角色）的一使用者表，以及能包括其 •- 他安全，如歸屬於特定使用者(如製程工程師、現場服務工 • 程師或管理員）的密碼及許可權。一表格能夠追蹤，例如對 話期’如具有下列資料的—MSC::對話期表：對話期 2〇 ID(PK);對話期使用者ID ;對話期角色m ;對話期類型 (GUI、MES等等）；對話期啟動時間；對話期結束時間。— MSC::動作表可具有以下資料；動作碼檢視、產生、 更新、刪除、執行專等），動作指述(ActjonDesc)。一μ%. 特徵表可包括.特徵碼(批次、配方、專案、工作、狀織 61 1364702 .符列、排程等等）、特徵描述(FeatureDesc);.以及—msc·. 存取控制表可包括以下資料：特徵碼（PK-1);許可權 ID(PermID)(PK-l)。 該等許可權ID也能夠被添加到該OEM綱目22中的參數 5表以控制欄位層級的存取。一 MSC::排程可能是排程功能的 一部分，且可包括以下資料：排程ID(PK);排程類型（每時、 每曰、每週、每月）；遞迴次數(即每時、每曰、每週、每月 出現）；遞迴週期類型（小時、日、周、月）；遞迴週期；開 始時間：開始日期。這可藉由利用，例如第29、30、31及 10 32圖的GUI螢幕2132、2134、2136及2138而被使用。使用 者可以在時序選擇框2142上選擇每時、每曰、每週或每月， 這能夠分別為每時、每曰、每週、每月的排程產生第29_33 圖之各自的螢幕各自的2132、2134、2136及2138中透過說 明的方式所顯示的排程視窗2144、2144’、2144”或2144，，，。 15如能被看到的，這些各自的視窗2144-2144”，在一每時、每 曰、每週、每月的基礎上致能排程時間及頻率的選擇。 一 MSC::工作排程可包括：工作⑴^^);排程 ID(PK-l);有效指示元（真或假）；下一執行時間；以及一 MSC::模組表可包括：模組ID(pK);模組名稱；以及一 msc:: 20兀*件表可包括：模組ID(PK);元件IDpK-i);元件名稱； 順序號碼。—MSC::模組參數表可包括：模組n^pK—i);參 數名稱(PK-1);參數值；以及所有其他一般的參數相關行。 MSC.:元件參數表可包括：模組ID(PK-l);元件 ID(PK-l);參數名稱(1^_1);參數值；以及所有其他一般的 62 .參數相關行。一 MSC··:配方資料夾表死包括：資料夾 ID(PK);資料夾名稱；母資料失1〇。 除了》玄酉己方ID以外，還能夠添加一基板到批次配方 表且在該配方表中添加該母資料失出的_行。已編碼的腳 5本能夠㈣存在該資料庫中。下財數：系關置逾時(在 分鐘内）、排程器手動/自動模式及執行預定任務的視窗（在 刀鐘内）可以與下列任務參數，即任務能夠或不能夠被預定 一起被添加到該資料庫中的系統參數列表中。當該等狀態 檢查失敗時’以下能作為，如動作類型被添加到該狀態表 Η)中：彈出-對話方塊、顯示一錯誤或警告圖像或者使用一 腳本來執行一自訂動作。 第42Α-42Ε圖說明示範性的Msc資料庫24及〇ΕΜ資料 庫22表，如一〇ΕΜ—表單表25〇〇，其包含，例如表單」d(pK) 及表單_名稱資料且可被鏈結到對於每一表單都包含，例如 15變數_標記、變數_uom、變數-資料-類型、變數—類型、變 數—預設、變數_必需的、變數_確認符、變數-次序、變數_ 列表及變數一内部資料的一0EM-表單—變數表25〇2。也可能 包括的是包含，例如x序列及y序列資料的—Msc_n2_資料 表2510、也包含X序列及y序列資料的一 MSC—資料表 20 2508、包含，例如變數_名稱及變數_數值資料的一MSC_ 組通—變數表2506以及包含，例如裝置」d、變數名稱及變 數_數值資料的一MSC—裝置一變數表2504。也舉例顯示的是 一 MSC-線型光束-標頭表2520及一MSC_原始光束_標頭表 2530，每一個都包含各自的丨1)_1(1及比」(1資料以及各自的11)_ 63 1364702 時間標記、rb.二時.間標記及lb一專案_id及rb_專案一id資料且被 鏈結到各自的一河5(：_線型光束—計算表2524及MSC_原始 光束—計算表2532以及一 MSC—線型光束—資料表2522及 MSC一原始光束_資料表2534，該等表2524及2532分別包 5含，例如lb_id、rb_id、lb一操取Jd、rb棟取」d、lb_名稱、 rb—名稱及lb_數值、rb_數值資料。該等表2524及2532包含， 例如lb一id、rb_id、lb一檔案名稱、rb檔案名稱及lb-檔案資 料、rbjf案資料的資料。 第42B圖中舉例顯示的是額外的〇EM/MES資料庫表。 10包含專案-ld(pK)、專案一名稱、專案一描述及專案—類型資 料的一oem一專案表2540被鏈結到包含任務一id(PK)、任務— 名稱、任務_描述及任務—類型資料的一 〇enl-任務表2544以 及被鍵結到一 oem_專案_任務表2546及一 msc_專案任務 表2548，表2546及表2548每一個都可包含一專案中的任務 15的專案-id、任務—id及任務一順序。該表2540也可被鏈結到 一 oem一專案_變數表2542，其可包含專案_id及變數_名稱資 料連同變數_標記、變數_u〇m、變數_資料_類型、變數類 型、變數_預設、變數一必需的、變數—確認符、變數次序、 變數_列表及變數_内部資料。該表2544可被鏈結到一oem_ 20任務_變數表2560，其可包含任務_id及變數_名稱資料以及 變數一標記、變數_uom、變數〜資料_類型、變數-類型、變 數_預設、變數_必需的、變數—確認符、變數—次序、變數 列表及變數_内部資料。 該表2548可被鏈結到一msc一專案表2550，其可包含專 64 1364702 案_丨4資料及.專案_名稱、專案_描述及專案_類型資料且可/. 被鏈結到包含，例如專案_id及登錄_時間標記資料以及登 錄_訊息資料的一msc_專案_登錄表2552。該表2544可被鏈 結到一oem_任務_變數表2560，其可包含任務_id及變數_ 5 名稱資料以及變數_標記、變數_uom、變數_資料_類型、 變數_類型、變數_預設、變數_必需的、變數_確認符、變 數_次序、變數_列表及變數_内部資料。 可能也具有一msc_彳宁列_狀態表2564，其可包含仔列_ 狀態及佇列_模式資料，以及一msc_任務_變數表2566，其 10 可包含專案_id、任務_id、變數_名稱及任務_順序及變數_ 數值資料，以及一msc_佇列_狀態表，其可包含佇列_狀態 及佇列_模式。 第42C圖舉例顯示一 oem_裝置表2570，其可包含裝置 _id、裝置_名稱及是内部資料(isinternal data)。該表2570可 15 被鏈結到一oem_錯誤表2572，其可包含裝置_id、錯誤_號 碼及錯誤_訊息資料，以及可被鏈結到一oem_命令_查詢表 2574，其可包含裝置_id、命令—名稱、數值_nif及數值_df 資料，以及可被鏈結到一oem_裝置_變數表2576,其可包含 裝置_id及變數_名稱資料以及變數_標記、變數_uom、變數 20 _資料_類型、變數_類型、變數_預設、變數_必需的、變數 _確認符、變數_次序、變數_列表及變數_内部資料。 該表2570也可被鏈結到一oem_裝置_命令表2580,其可 包含裝置_id及命令_名稱資料以及低_階層_命令、(^_資料_ 轉換、nif_資料_轉換及查詢_必需的資料。該表2570也可被 65 1364702 鏈結到一oem一警告表2582.’其可'包含裝置_id、警告一號碼 及警告—訊息資料。該表2570及該表258〇頁可被鏈結到一 oem_狀態_命令表2578，其可包含裝置_id、回呼_名稱、命 令一參數、命令_返回一值及命令顺序資料。 第42D圖舉例顯示一 msc_配方表26〇〇，該表26〇〇包含 配方_id、配方_名稱及配方_描述資料且可被鏈結到一msc 配方_登錄表2602及-msc_g己方〜變數表26〇4，該表26〇2包 含，例如配方—id、登錄_時間標記及登錄_訊息資料而該表 2604包含配方—id、變數—名稱及變數—數值資料。該表26〇〇 ίο 也可被鏈結到一msc—批次—配方表26〇6,其可包含，例如批 15 次_丨(1、配方一id及配方_順序資料。一msc_批次表2592可包 含批次一id、批次_名稱及批次—描述資料且被鏈結到該表 2606以及到包含批次」d、登錄—時間標記及登錄-訊息資料 的一msc—批次一登錄表2594以及到包含批次jd、變數名稱 及變數_數值資料的-__批次_變數表2596。可能也具有 包含佇列」d、工作Jd、工作—類型、工作—狀態、工作—時 間標記及工作J序資料的—工作表259〇。 20 第42E圖舉例顯示其他表格，例如包含影像」d、配方 」d、影像_名稱及影像順序f料的―麗—影像表纖且 該表贏可被鏈、_包麵像」d、魏—謂及變數數值 資料的-露—影像—魏表26舰制包含轉μ、登錄 時間標記及登錄-訊息資料的-丽—影像—登錄表2640。一— _-狀態表制可包含攔標>欄標—名稱及攔標順序資 枓且被_仏统L難^、狀態_標記、狀態 66 1364702 _uom及狀態_順序資料·的TjD.em一狀態一細節表2612，且該表 • 2612也可被鏈結到可包含狀態一名稱、參數_操作者、參數 . 值及參數_狀態資料的一狀態—參數表2614。 其他表格可包括包含佇列一id、工作一id '配方_id、影 . 5像_id、任務—id及狀態資料的一msc_狀態表2616,包含版本 _前置、版本_主要、版本一次要、版本_修補及版本—尾置資 • 料的一〇em—版本表2620，包含佇列jd、工作—id、工作類 型、工作一狀態、工作-時間標記及工作_順序資料的一 • 佇列表2622，包含裝置-id、登錄一時間標記、登錄_類型及 10登錄-訊息資料的一 msc_登錄表2624以及都包含x序列與y 序列資料的一 msc_air—資料表2626及一 msc_ait_資料表 2634 °
根據本揭露標的的一實施例之層面，一個資料及訊息 映射處理(DMP)906能夠經由如第19、第43A-C及第44圖中 15所說明的該ECP 902Gem介面904與一主機系統910通訊。該 ' 設計能夠包括由Asyst科技提供的三個產品（ConX300、GEM ·· 及SDR)。根據本揭露標的的一實施例之層面，一系統概觀 • 能夠包括該TCZ90〇X(其中在檔案名稱中有時被稱為ice9) 由兩個主要的軟體元件組成：MSC(主系統控制器）l〇及 20 ECP(外部通訊處理）902，該ECP 902是介於一工廠主機910 與該MSC 10之間的一訊息轉譯服務。該ECP 902能使用一 TCZ900X廠商程式館（例如該gEm程式館904)來交換到該 工廠主機910的訊息，以及也與該MSC 10進行通訊。 下列名詞及縮寫字可被用於描述該MES 80的設計。 67 1364702 名詞 定義 TCZ900X TCZ900X是製造平坦面板顯示器的一創新的生產 工具。它是一LTPS(低溫多晶矽製程)或一tb SLS(細 光束連續橫向結晶)工具。 ECP 與工廠主機及MSC互動的一處理 操作者 實際上存取該設備的材料蜂及控制面板的人。這是 操作該雷射退火機器(例如該TCZ900X)的人，如製 程工程師。 主機 經由該SECS/GEM介面而被連接到該TCZ900X設 備的一電腦。 CiHM 一般設備模型 SECS SEMI設備通訊標準 SEMI 半導體設備及材料國際組織 sv 狀態變數 DV 資料變數 — CEID 集合事件Π) 下列設計考量可能是對於MSC/ECP 902整合、多程序 或多執行緒處理的設計的一部分，由於Ecp 9〇2及Msc 1〇 可能是在相同伺服器上執行的兩個不同處理（儘管也被設 5計成在分開的機器上獨立執行，以及介面也是單執行緒或 多執行緒），由於ECP 902使用類似於MSC 10的一方法（其中 該ECP 902使用分開的執行緒與該主機91〇說話並與Msc 10通訊）。 根據本揭露標的的一實施例之層面，該MSC 1〇與咳 10 SECS廠商軟體之間的通訊可被提供以一個一般功能，該一 般功能也可被擴充以允許該雷射退火機器的終端使用者所 需要的客制化，同時提供該MSC 10的中央核心可以不必被 修改以支援一標準GEM介面（例如GEM程式館9〇4)。MES 80提供形成該ECP 902的SECS/GEM主機介面之中央部分 15的一組類別，該等類別可以是可再用的、高品質的、穩定 的及可擴充的以滿足這類終端使用者的特定需求。該實施 68 1364702 _ v ‘可以隱藏在該介面之後，在此使一實施變化對其他MSC 1〇 . 處理的影響最小化是可能及可實施的。一Asyst GWGEM實
. 施可能最少需要5個分開執行的執行緒，包括主ECP、GEM 擴充處理、GEM訊息處理、GEM常駐程式及SDR常駐程式。 • 5根據該等GEM及SDR需求，這些元件中的每一個都與該 • GEM&SDR DLL介面連接。此外，該GEM組態能夠允許應 - 用開發者開發一機制以在上面列出的該等必需的處理之間 進行通訊。GEM常駐程式程序協調該ecp 902任務、主要訊 • 息及處理器任務與擴充任務之間的所有互動。該GEM常駐 10 程式包含GEM邏輯的主要部分。 該主ECP 902可被視為到該GEM系統的主要介面。該 ECP 902不合併或不包括任何設備特定的軟體模組且可被 限制為僅僅處理那些SECS/GEM通訊特定的任務以及介面 連接(interfacing to)到該等GEM程式館。該ECP 902的目的 15可能是對總SECS/GEM解決方案起到一訊息轉譯器、發送 • 器及一伺服器的作用。該ECP 902可能被需要介面連接到如 •- 下面詳細描述的該GEM擴充處理、該GEM訊息處理及該 - DMP 906。 三類使用者能夠使用該MSC軟體，包括製程工程師， 20 其執行例如在一TCZ900X細長光束雷射退火裝置中處理一 基板的每日生產操作，且被限制存取該系統而只能夠執行 某些任務和專案。例如，製程工程師不能編輯或刪除任務 及專案。現場服務工程師可執行每日的製程最佳化及效能 監測操作’.即為主要存取該系統以及可以不負責準備低階 69 1364702 命令或啟麟祕柄，㈣統工程師^ #理員可執行臨 時的管理、故障檢修及效能監測操作，即為對該系統具有 管理員存取權完全存取㈣、統但不負責準備低階命令或 啟動除錯模式的訓練系統工程師。 下列矩陣顯示該等^^者類別的在申H :
批次管理 製程工程師 現場服務工 管理員 - 專案 不是所有的專銮 V V 編輯任務 X X V 排程 X ~1 —--—j 1 — V 配方監測器 V 1 - V 執行配方對列 V 1 ----— 1 ~~~ W 損壞修復 錯誤修復 V 1~~--- 1 V — 1-— V V 登入 報告 V V -- 1 — 1 — V V
當該MSC 10與該等附接的裝置互動同時處理矽基板 時可被預計提供一秒左右範圍内的回應時間。 下面是該MSC 10的一需求列表。括弧中的對照參考是 ίο指層-元件-類別碼’例如程式是指該GUI 層之系統組態元件中的模組類別。 對於一般功能群組，在此列出的一般功能需求是該 MSC的一般功能需求。該系統能夠具有下列高階功能：處 理該基板效能報告週期監測（GUI-JOB、GUI-REP、 15 gui-sch);製程最佳化可以是基板處理的一部分 (GUI-CFG);使用者能夠利用該使用者介面(UI)來更新全系 統範圍的組態參數(GUI-CFG) ;UI能夠是工作流程驅動的。 GUI 40的一些部分(如第23_32圖所說明的自訂專案螢幕）能 70 1364702 夠類比基本工侏流程(GUI-WFE) ; MSC能夠支援可服務性 及可維護性（GUI-PRJ、SVR-SCR-MOD)。 對於配方管理器功能群組，在此列出的配方資訊需求 可能是與該配方資訊的批次及配方的特性及管理有關的需 5 求：一配方可能是用於一基板處理的所有參數的一容器。 它可包含一或多個影像GUI-RCP-RCP ; —配方可具有如下 參數：基板旋轉：〇或90,基板大小：2、3、4、5GUI-RCP-RCP。
該等配方參數的數目可以不是固定的。添加到該配方的額 外參數不能參與對使用者介面螢幕的編碼修改 10 (GUI-RCP-DYN、DB-OEM-PAR)。使用者能夠提供對配方 的唯一描述(GUI-RCP-IMG)。一影像能夠具有如下參數：
開始位置：（50mm，0mm)、結束位置：（l〇〇mm，36〇mm)、能 量密度：l〇〇〇mJ/cm2 ;步階：lum、能量模式：EXT，INT、 自動聚焦：開’關、聚焦：5um，（GUI-RCP-IMG)。該等影 15像參數的數目可以不是固定的。添加到該影像的額外參數 不可以參與對使用者介面螢幕的編碼修改(GUUCP.DYN、 DB-OEM-PAR)。使用者能夠產生、修改、刪除、保存及載 入一配方(GUI-RCP-RCM)。該等使用者能夠將一配方保存 到及載入自一檔案以用於穿過機器傳遞配方。 20 該等使用者能夠將一影像保存到及載入自一檔案以用 於穿過配方或機器傳遞影像。該等使用者在編輯配方的同 時能夠複製/貼上影像(GIH-RCP-CPY) ^該等使用者能夠複 製/貼上配方以產生新配方（GUI-RCP-CPY)。當—配方、皮修 改時，配方層級的一致性檢查能夠被執行以確保該配方的 71 1364702 有效性。一些參數可能是必需的或可取捨的。配方層級的 一致性檢查之範例可能是：位置值小於基板大小、脈衝能 蓋小於最大值、步階在某一範圍内、偏焦量（focus offset) 在自動聚焦模組範圍内（GUI-RCP-RCP、DB-0EM-PAR)。 5當執行配方層級的一致性檢查時，該系統可以假定參數的 常數值’如最小及最大值。數值可以是可由現場工程師控 制的（即控制能夠是基於角色的）。該系統可設定最小及最大 值以確保無損壞、無漏失及安全（GUI-RCP-RCP、 DB_〇EM-PAR)。額外的配方層級的一致性檢查可以不需要 10程式碼重新編譯。該等檢查可以是動態的（GUI-RCP-RCP、 DB-0EM-PAR)。每一一致性檢查可以是一表格中的一列或 者其可以是一儲存的程序(DB-0EM-PAR)。一致性檢查及誰 能夠修改它們等等可被附加在配方及影像參數中 (DB-OEM-PAR^配方與影像參數間可能具有相依性。配方 15的產生或更新時間檢查能夠確保去除任何這類相依性。例 如，在一配方定義中’結束X不能大於開始X。同樣地，一 配方或影像參數值可被對照一裝置參數檢查一致性 (DB-0EM-PAR)。 一批次包含一或多個基板。一批次中的不同基板可使 20用不同的配方（GUI-L0T-L0T)。使用者能夠產生、修改、 刪除、保存及載入一批次(GUI-L0T-L0T)。當一批次/配方 正被工作佇列處理時’該使用者能夠修改它。該系統被期 望複製該批次/配方並將該複本用作處理(GUI-J0B-QUE)。 該使用者能夠存取被組配在本地機器上的任何裝置 72 1364702 10 15 (包括網路裝置），同時執行影像/配方/專案的匯入/匯出 (GUI-RCP-EXP) 〇下列影像參數能夠被可選擇地命名為步 階->間距；間距->丫方向中的傾斜；偏航->X方向中的傾斜 (GUI-RCP-IMG)。該MSC可以支援該批次中不被使用的面 板。其能夠對此使用零配方（GUI-LOT-LOT)。在任何給定 的時間，可能有多達1000個配方是可得的。因此，分組這 些配方的能力能夠是可得的。此分組可高達10個層級。例 如一配方名稱為CRYS800-CHUNG-200QCIF。它包括，例 如能量密度（CRYS800)、工程師（CHUNG)及裝置名稱 (200QCIF)。一示範性目錄結構可以為：cry_>tfI-LCD-> 200QCIF->ENGR名稱->資料·>2個以上層級(GUI_RCp_FLD)。 從影像上檢視配方的佈局的一個新欄標可被需要 (GUI-RCP-GRP)。該系統可提供一文字檔案用於匯入/匯出 能夠被瀆出、被共用及易於被傳遞的配方 (Gm-RCP-EXP)。在生產中’典型地，每一基板有一配方 可被使用°因此’對—批次中的所有基板都使用相同配方 的功月t*如所有，，按紐可能是必需的（GUI-LOT-LOT)。 可月匕有夕於自的匠盒载入平台。在該批次定義中該 MSC 10可能需要匣各肚今 裝卸台號碼作為使用者的輸入 20 (GUI 對於雷射掃描過程，輸人參數可被需要： a.批次資§fL .批次ij)、制▲ I程步驟、數量、操作者ID ; b.製程 S §fl ·光束寬度及長ώ、拉， Α知描間距及長度、能量密度、雷 射輸出能量、基板旌魅 GUI-RCP- _______ 疋轉或傾斜角度（GUI-LOT-LOT、 s系統月b夠將一基板ID與該批次定義的配 73 1364702 方相聯結(GUI-LOT-LOT)。該系統對於配方影像螢幕可以 具有一個基於方格的佈局（GUI-RCP-IMG)。該系統可以追 縱與該配方分開的基板資訊(guplot-lot)。 對於維護管理器群組，在此列出的維護/監測/服務專案 5需求可能是與維護/監測/服務專案及其執行有關的需求。一 專案可能是與一個別模組或該整個系統有關的維護、監測 及操作任務的一集合。任務的範例可能是：下載雷射有關 的監測資料（雷射）；雷射的操作（雷射）；均勻性的測量（系 統）；強度的測量（系統）；焦平面校準（系統）；平台的絕對/ 10相對運動（平台）；關閉SMM/TMM的閉迴圈（BSC 336，）；下 載來自SMM的脈衝能量（BSC 336’)(GUI-PRJ-PRJ)。維護及 監測任務具有參數。使用者可以提供資料給這些參數。使 用者可能不能改變任務定義（GUI-PRJ-TSK)。任務的該等任 務參數之數目及類型可以變化。添加額外的任務或改變任 15務參數的數目/類型不能參與對該等使用者介面螢幕的編 碼修改(GUI-PRK-DYN、DB-OEM-PAR)。使用者可以產生、 載入、保存及修改專案(GUI-PRJ-PJM)。該等使用者能夠複 製/貼上及/或匯入/匯出來自一檔案的一專案。該等使用者 能夠按照要求執行一專案（GUI-JOB-QUE)。在執行一專案 20中的一任務之前，該系統可以保存該等裝置的狀態，以及 恢復該狀態如果一錯誤出現(SVR-SCR-TSK)。 使用者可以提供專案的唯一描述(GUI-PRJ-PRJ)。該使 用者可以提供機器及系統組態參數（gukfgjys、 GUI-CFG-DEVh當執行一專案時，如果新計算出來的值正 74 1364702 好在所定義的最小及最大值之外，則該系統能夠恢復舊值 • (SVR-SCR-TSK)。該MSC 10能夠收集資料用於服務及維護 (SVR-SCR-MOD)，例如有多少脈衝被雷射激發。該系統可 以將該MSC作為模組的一集合來取代裝置的一集合。一模 5 組可以是一起工作的元件的一群組。例如，雷射系統頻譜 ' 分析模組(“SAM”)具有30個光學元件〇該整個模組可被更換 * 以達到服務之目的（DB-OEM-MOD) »該MSC軟體可以是通 用得足以支援由於服務而產生的模組數及一模組之元件的 _ 變化。其能夠具有增加或減少該模組數的彈性 10 (GUI-CFG-MOD、DB-OEM-MOD)。該系統能夠大致估計 (approximate)個別元件的脈衝數(SVR-SCR-MOD)，例如包 括用於服務及維護的維護計數器（如生命週期計數 器KDB-OEM-MOD)。該MSC 10能夠監測所有模組，即知 道所有模組都在工作。如果該MSC 10檢測到一個不作用的 15 模組’則其能夠報告這樣的情況並停止操作需求該模組 (SVR-SCR-MOD、SVR-STS-STL)。
• · 不是所有連接到該MSC 10的裝置都是智慧的。該MSC • 1〇能夠提供遺漏的智慧。即便一裝置是智慧的，該MSC 10 仍然能夠監測該裝置。例如，原始光束分析儀本身不具有 20智慧。該衰減器具有其自身的智慧。該MSC 10仍然必 須監測衰減器338’(SVR-STS-STL)。MSC能夠具有一專案以 診斷來自該GUI 40的雷射。該MSC 10能夠允許使用者透過 該GUI 40根據模式、頻率、脈衝數及平均數來提供各種雷 射模式組態。該任務能夠執行一雷射再填充、檢查可變組 75 1364702 態中的雷射模式以及將結果寫入一報告檔案 (GUI-PRJ-PJM、SVR-SCR-PJC)。該雷射診斷報告檔案可以 是一特殊的字元定界的（如一分號)文字檔案，一標頭列後面 接著數值列。當該雷射診斷任務被執行時，該報告能夠被 5自動產生。該報告檔案的名稱及位置能遵循一明確的命名 協定(GUI-REP-PRJ)。該MSC 10能具有一專案以將來自該 雷射的資料下載到該GUI 40。該MSC 10能夠允許使用者透 過該GUI 40根據模式、頻率及脈衝數來提供各種預先執行 的組態。該任務能夠執行可變的預先執行的組態、檢索來 10自雷射的診斷的、可組配的、原始發射(Rawshot)、10K及 1M資料以及最後將結果寫入一報告檔案（GUI_PRj_pjM、 SVR-SCR-PJC)。該雷射下載報告檔案可以是一特殊的字元 定界的（如一分號）文字擋案，一標頭列後面接著數值列。當 該雷射下載任務被執行時，該報告能夠被自動產生。該報 15告樓案的名稱及位置能遵循一明確的命名協定 (GUI-REP-PRJ)。該報告槽案能包括包含已下載的雷射資料 的檔案的名稱及位置（GUI-REP-PRJ)。該Msc 1〇能具有一 專案以控制來自該GUI 40的雷射。該MSC 10能夠允許使用 者在任何設備（例如該雷射）上執行任何任務，包括完全初始 20化、再填充及注入。其也能夠允許任何有效命令被發送給 "亥雷射。來自該sx備（例如該雷射）的回應可被顯示在該Gui 中（GUI-PRJ-PJM、SVR-SCR-PJC)。無論何時—專案被執 行’該MSC 10都能夠產生一專案報告。—專案報告能包括 結果摘要及該專案中所有任務的開始/結束時間。其能包括 76 1364702 任務報告及資料播·案的別在。其能使用明確的檔案命名及 . 位置協定。如果舊報告超過一age，則其能夠將它們刪除 (GUI-REP-PRJ、SVR-SCR-PJC)。 下列監測資料及互鎖功能可被需要:監測資料；即時 , 5雷射穩定性、最後的商素注入數、雷射脈衝的累積總數、 ' 氣體交換後雷射脈衝的累積數、p-透鏡加熱溫度、即時聚 • 焦。互鎖及警告功能（限於製程中J:當p-p穩定性超過期望 的範圍時雷射照射停止、與雷射狀態有關的警告(例如異常 # 的雷射管溫度、遺漏的脈衝、雷射與控制PC間的通訊錯誤、 10突然的雷射輸出能量變化等等）(DB-OEM-SPR、 SVR-SCR-ERH、DB-OEM-STS)。一功能如該等上述的專利 及共審查中之專利申請案中之一或多個中所提及的Cymer Online(即LTPS online)能夠被用以即時遠端地收集資料。用 於診斷、下載及控制到該雷射及其他裝置的專案的自訂螢 15 幕可被提供(GUI-PRJ-PJM、SVR-SCR-PJC)。一彈性及一般 . 機制可被提供以收集及儲存模組中裝置的及元件的生命週 ® · 期計數器。三種值：1)期望的生命週期、2)維護生命週期、 - 3)目前的生命週期可被收集（SVR-SCR-MOD、 DB-MSC-MOD)。該MSC 10可以追蹤該模組層級的東西 20 (SVR-SCR-MOD、DB-MSC-MOD)。當一模組被取代時， 一GUI 40的螢幕可被用以輸入新的序列號及清除相關的生 命週期計數器（GUI-CFG-MOD)。 對於程序管理器群組’在此指出的批次處理需求可能 疋與批次處理的執行及工作的執行有關的需求。使用者能 77 1364702 '夠對該工作佇列添加及移除工作（GUI-JOB-QUE)。使用者 能夠改變該工作佇列中的工作順序(gui j〇b_qUE)。使用 者能夠開始、停止及重新開始該工作佇列 (GUI-JOB-QUE)。當該等使用者開始該工作佇列時，該系 5統能夠從該佇列的前面開始處理該工作佇列中的批次 (SVR-JOB_JBM) 〇該使用者藉由添加一批次到該工作佇列 中、將其移到前面並開始該佇列而能夠立即執行該批次處 理(GUI-JOB-QUE)。當該系統可能在執行該批次處理時， 結晶過程的進度及基板位置能夠透過圖形（例如具有不同 10色彩的一矩形區域)在該GUI中被顯示（GUI-JOB-CRY)。該 系統在處理該批次的同時能夠執行程序層級的一致性檢查 及錯誤處理《該等一致性檢查可以在機器層級、模組層級' 批次/配方層級、基板層級及影像層級上。該系統在處理該 批次的同時也能夠執行批次間、配方間及影像間的維護 15 (SVR-SCR-L0T) 8預先定義的專案的一排程引擎可以，例 如在一每時、每日、每週或每月的基礎上排程它們 (SVR-SCH、GUI-SCH); —排程引擎可以是可組配的以自 動及手動地執行專案。在手動組態中，預定專案在被執行 前可能需要使用者證實（GUI-CFG-SYS、GUI-JOB-QUE)。 20為了處理該批次，該系統可執行數個步驟，該等步驟可以 是並聯以及串聯的（SVR-SCR-LOT)。多次掃描可能被需要 以在長時期内處理該基板。該系統架構能夠支援這個。兩 影像在該基板的處理期間能夠（對稱或不對稱地）重疊。該系 統架構能夠支援這個（SVR-SCR-LOT、GUI-JOB-CRY)。該 78 1364702 -基板能夠被手動或自動載入^ • w · 除了仔列模式以外，一工作仵列還可以具有一步進模 式。在步進模式中，工作的執行在每一步驟之後（即在處理 每一工作之後)可以停止（GUI-JOB-QUE)。如果在處理該批 5次或該專案的同時出現一錯誤，則該工作佇列能夠被停止 (SVR-STS-ERH、GUI-JOB-QUE)。該工作佇列可具有一可 組配的閒置逾時。如果該逾時發生，則該系統能夠將該等 裝置放入一已知狀態中（例如將雷射返回到備用狀 態 XGUI-SYS-CFG、SVR-JOB-JBM)。 專案以及配方都能夠被添加到該工作仔列以及從中被 移除(GUI-JOB-QUE)。預定專案也能夠被顯示在該工作佇 列中。如果它們滿足它們的排程準則，那麼它們能夠被添 加到該佇列中的適當位置。缺少校準可能需要由該平台上 的一偏移來移動影像(GUI-RCP-IMG)。生產中對於特殊裝 15置的類別旋轉可被需要。對於目前的處理配方，開始及估 計的結束時間可被顯示在該GUI中（GUI-JOB-STS)。該系統 能夠提供對正在處理中的匣盒内的基板的可見性（最好是 圖形的）(GUI-J〇B-CAS)。處理細節的圖形表示可包括：a 該處理中的步驟、b目前正被掃描的基板的截面，以及c. 20該處理中的剩餘步驟(GUI-J0B-QUE)。3-D圖形可被用於該 結晶過程的視覺化。 執行時間參數值可以就在一批次或專案被添加到該工 作佇列（即該批次可以是一範本且該批次的一實體能夠被 添加到該工作佇列）之前被收集（GUI-JOB-QUE)。該MSC中 79 1364702 的專案排程可，以-是基於事件以及基於排程的一組合,. (SVR-SCH-SCHp該系統在執行一批次或專案之前能夠檢 查資源的可用性（例如公用程式的可用性，如Nitr〇gen及
Water)(SVR-SCR-LOT、SVR-SCR-PRJ)。預定專案能夠可 5取捨地被指定只在一特定的時間視窗内執行 (GUI-SCH-SCH、SVR-SCH-SCH) 任務可具有指示它們能 否被排程的性質。該排程引擎能防止不能被排程的專案的 排程(DB-OEM-PAR、GUI-SCH-SCH)。 對於安全管理器群組，在此列出的安全 '稽核及存取 10控制需求可能是與該系統、配方資訊、任務資訊、批次處 理的執行及任務的執行之安全及存取控制有關的需求。該 系統能夠支援三個使用者存取等級：製程工程師、現場服 務工程師及管理員。該管理員具有最大存取權，後面是該 現場服務工程師，然後是該製程工程師，即現場服務工程 15師能夠管理者存取該系統(db-MSC-ACS)，而製程工程師只 可以執行某些任務及專案（DB-MSC-PAR)。 s亥系統不必保留該配方資訊的修改歷史(DB-MSC-RCP)。 如果—現場服務工程師開始一配方處理，則該製程工程師 稍後可以取消它(DB_MSC-ACS。該MSC 10可以是彈性的足 2〇以支援基於單個登入以及使用者ID的追蹤 (GUI-SEC-SCM)。下列存取等級（基於角色）可被需要·· a· 製程工程師、b.現場服務工程師、c.管理員。該管理員能夠 執行能夠為該製程工程師及現場服務工程師可得的所有功 能。現場服務工程師及製程工程師角色重疊 80 (GUI-SEC-SCM)。該MSC 10能顯示如第18圖中所說明的<〜 螢幕，在，例如執行一配方之前，基於角色的登入後面接 著能輸入使用者的ID ^該使用者的id能夠被包括在配方處 理報告中。使用者能夠產生配方而不用輸入一使用者ID。 一ID在配方被處理時可被需要(GUI_SEC SCM)。使用者不 能改變任務腳本(DB-MSC-ACS)。該等任務腳本中資訊可能 為機器提供者所有。 在此列出的一般介面需求可能與通訊介面有關。根據 該等特定裝置介面需求，除非明確指出，否則Tcp/ip可能 疋6亥主系統控制器1〇與該等裝置之間所需的一種主要通訊 類型（SVR-DEV-DRV)。該系統能夠使用一個一般機制來發 出對應於向階動作的裝置命令。此機制可以與裝置類型無 關（SVR-DEV-FMT)。該等裝置命令能夠被儲存在一資料庫 或檔案中。在程式碼中’它們可以是或可以不是硬接線式 的(DB-OEM-CMD)。 s玄主系統控制器1〇與該等裝置之間的通訊可能是出於 兩個目的：控制及診斷(SVr_DEV-DRV)。在，例如一命令 被給定（即掃描被啟動）之後，該主系統控制器丨〇能夠等待直 到曝光完成（SVR-SCR-LOT)。該主系統控制器丨〇能夠知道 該等附接裝置的序列號且如果該等裝置提供命令以檢索它 們的序列號’則其在通訊期間使用它們來識別該等裝置 (SVR-DEV-DRV。該主系統控制器1〇能夠輪詢該等裝置， 藉此該等裝置的任何中斷都不被處理(SVR-DEV-DRvp該 系統能夠與顧客的MES 80整合。該MSC 10能支援該3£厘1 1364702 標準：SEMI設備通訊標準及一般設備模型（SECS/GEM)介 面以促進與一主機910的通訊。可能有’例如透過如第8圖 中所示之VPN 820到該MSC 10的一WAN或LAN連接。 服務及維護區域實際上可能被分開。存取來自該服務 5區域的雷射狀態資訊可被需要。從一不同的實體區域監測 該MSC可以是可能的。該介面協定能夠支援四個通訊模 式：1)只接收、2)只發送、3)接收後接著發送、4)發送後接 著接收(SVR-DEV-DRV)。 在此列出的雷射介面需求可能是與該主系統控制器10 10 和該雷射裝置模組的通訊有關的需求。該MSC 10與該雷射 330’之間可能有一通訊介面用於實現控制目的。目前大約 有10-15個這類命令（SVR-DEV-DRV)。該MSC 10與該雷射 330’之間可能有一通訊介面用於實現診斷目的。目前大約 有30-100個這類命令（SVR-DEV-DRV)。該MSC 10能使用一 15 COLDAS 824來獲得來自，例如申請人的受讓人-Cymer股份 有限公司所銷售的XLA或XLX系列的雷射以及具有類似的 診斷措施的相關Cymer雷射的診斷資訊(SVR-DEV-DRV)。 該等雷射中的一些具有一個以上的串聯埠RS232或 RS422,後者用於所需的快速回應而前者用於可接受的緩慢 20 回應（SVR-DEV-DRV)。 在此列出的平台介面需求可能是與該MSC 10和一平 台裝置模組的通訊有關的需求。使用者能夠利用遠端地執 行控制軟體或其他類似的機制來檢視來自該MSC 10的平 台裝置的GUI 40。該MSC 10與該平台之問可能有一通訊介 82 1364702 面用於實現診斷及控制目的CSyR-DEV-DRV)。在此列出的 該MDBox 334’介面需求可能是與該MSC 10和該主分配盒 裝置模組的通訊有關的需求《該MSC 10與該MDBox 334’ 之間可能有一通訊介面用於實現診斷及控制目的以及有另 5 —通訊介面用於管理及登錄（SVR-DEV-DRV)。在此列出的 BSC 336’介面需求可能是與該MSC 10和該BSC 336’裝置 模組的通訊有關的需求。該MSC 10與該BSC 336’之間可能 有一通訊介面用於實現控制目的（SVR-DEV-DRV)。在此列 出的衰減器338’介面需求可能是與該MSC 10和該衰減器 10 338’裝置模組的通訊有關的需求。該MSC 10與該衰減器 338’之間可能有一通訊介面用於實現控制目的 (SVR-DEV-DRV)。在此列出的處理器介面需求可能是與該 MSC 10和該匣盒處理器裝置模組的通訊有關的需求。一機 器人能夠被用於基板的載入及卸載。在該MSC 10看來，該 15 機器人能夠被作為具有到使用Lantronics TCPAP介面840的 該MSC 10的一串聯介面的任何其他裝置 (SVR-DEV-ROB)。該系統可能要考量此控制裝置可能不具 有儲存能力（SVR-DEV-ROB)。在此列出的處理快門介面需 求可能與該MSC 10和該處理快門裝置模組的通訊有關的 20 需求。一通訊介面可能存在（SVR-DEV-DRV)。 在此列出的光束度量介面需求可能與該MSC 10和該 光束度量裝置模組830的通訊有關的需求《該光束度量介面 可以在該MSC 10内或該MSC 10外（SVR-DEV-DRV)。在此 列出的報告需求可能與該MSC 10產生及呈現報告和日誌 83 1364702 有關的需求。該系統能夠摘取批次或專案執行資訊並將其 儲存在一資料庫中以供稍後檢索（SvR_SCR_PRj、 SVR-SCR-LOT)。使用者能夠檢視並列印該批次/專案資訊 及批次/專案執行資訊(GUI-REP-PRJ、GUI-REP-LOT)。使 5用者能夠檢視/列印事件日誌(GUI-STS)。該系統能夠保留 批次及專案執行的歷史。同樣地，該系統日誌可被需要用 於損害修復、存取日誌等等(DB-MSC-JOB)。當一專案或批 次被執行時，執行日誌可被保存一段時間（DB-MSC-JOB)。 寊料分析可被需要。趨勢資料可被需要。該等報告大部分 10可被需要用於診斷。它們可能是具有簡單格式的檔案。使 用者可能利用Excel來分析該資料。該MSC 10能夠報告系統 及裝置組態(GUI-REP-CFG)。額外的狀態參數(如雷射高電 壓等等）對於目前的執行製程可能是必需的以及是使用者 可選擇的。該MSC 10能夠在該工作佇列螢幕(例如第33圖中 15所說明的螢幕）中顯示這些。一 FSE能夠組配狀態欄標 (GUI-JOB-STS、GUI-CFG-STS)。 在此列出的錯誤處理、例外及錯誤修復需要可能是與 該MSC 10所進行的任務執行的例外及錯誤修復有關的需 求。該MSC 10中的一事件迴圈能夠輪詢所有附接裝置的狀 20 態。此輪詢的大部分能夠透過該MDBox 334,來被執行 (SVR-STS-STL^該MSC 10可能不負責處理該等裝置中的 快速錯誤’但其能夠報告該等裝置的狀態。該MSC 10在其 開始掃描之後可能沒有任何控制(S VR_STS-STL)。每一裝置 命令可能有一逾時用以確認(SVR-DEV-DRV)。該事件迴圈 84 1364702 Λ .中-的逾時參數可以是可調整的。所有的逾時時期可以是資 . 料庫驅動的（GUI-CFG-SYS)。顯示來自該系統的狀態及錯 . 誤的一視窗能夠被打開用於檢視。其可具有日期、時間、 錯誤碼、源檔案、行號等等（GUI-STS-STM)。由錯誤層級、 . 5 模組層級或錯誤碼超越錯誤的一能力可被提供 (GUI-JOB-QUE)。所有錯誤能夠被登錄在該事件日諸中 (SVR-STS-STM)。每一介面都可能有—交握逾時 (GUI-CFG-DEV)。初始化、狀態檢查、專案執行、批次間 ^ 檢查、配方間檢查、影像間檢查及掃.描的錯誤可能是嚴重 10 的。掃描期間的公用程式錯誤可能被作為警告對待且可能 被忽略(SVR-SCR-LOT)。如果一錯誤被檢測出，則該系統 能夠停止並給該使用者一個選項以中止、重試或超越及繼 續（SVR-JOB-JBM、GUI-JOB_QUE)。現場服務工程師及管 理員能夠超越一錯誤並繼續（DB-MSC-ASC)。該等裝置的手 15動初始化(GUI-PRJ-PJM)可被需要。警告可作為資訊訊息被 - 顯示，而這不會停止程序流程(SVR-STS-STL)。如果批次處 理由於一錯誤而被停止或中止’則根據使用者的選擇，修 - 復可能是：開始下一影像、開始下一基板或開始下一批次。 在一錯誤狀況中，該MSC 10能夠提供下列選項：重新開始 20 該基板、跳躍該基板或中止該整個批次(SVR-SCR-LOT)。 預計的錯誤類型為：模組或系統層級上的確認逾時、來自 裝置的狀態錯誤、校準錯誤、參數測量錯誤、可疑的計算 結果(DB-0EM-STS)。一損壞修復程序可能包括： 1、MSC 10能夠連續輪詢該MDBox 334’的狀態 85 1364702 2、 MSC 10能夠管理，“冷狀態(state _)’，損壞修復曰誌 3、 在伺服器損壞時，]yiDBox 334,可能在此輪詢中是遺漏的 4、 MDBox 334’能夠發送信號到雷射及平台以停止 5、 一旦被再啟動，MSC 10能夠審核其曰誌以決定這是一 5 損壞還是一正常關機。 6、 在一損壞情況中，其能夠取指紋以及開始初始化及狀態 檢查程序以及能夠從該系統被損壞之處重新開始。 在一損壞修復狀態中，該MSC 10能夠（從自己的日誌以 及從該等狀態的日誌中）辨識損壞狀態。其能夠擷取指紋以 10決定所有模組目前可能被置於什麼狀態中。該仵列能夠被 停止。使用者能夠被通知該損壞並被呈現以包含一指紋資 訊的一螢幕。操作者的手動介入可能被需要來調整配方以 供重新開始(SVR-SCR-TSK)。對於一遺漏的脈衝，該MSC 10能夠根據一使用者的選擇來修復。這可能是正常的錯誤 15處理之一部分（SVR-SCR-ERH)。較高能量層級上的修復可 能是不可能的且因此該MSC 10可以要求使用者繼續下一 基板或下一批次(SVR-SCR-ERH)。玻璃/基板偶爾可能會破 碎。此檢測可能不是自動的。該操作者可以根據裝置的狀 態資訊而目測它。一手動中止可以產生(GUI-JOB-QUE)。 20該MSC 10能夠收集資料並將其儲存在該資料庫中以供故 障檢修(SVR-STS-STM、DB-MSC-LOG)。該MSC 10能夠處 理硬關機(即一裝置的電源丟失或意外關機)(SVR-STS-ERH)。如 果一參數超過一臨限值，則一目觀指示可被提供。一狀態 迴圈可產生一警報及/或提供目視提示(GUI-JOB-STS)。 86 1364702 在此列出〜的故能，需求可能是與工件產品的可服務性、 . 可維護性'回應性及通量有關的效能需求。為了使通量最 . 大化’在曝光期間’平行的任務可能需要被執行。例如， 在曝光基板時’雷射診斷能夠被同時收集 . 5 (SVR-SCR-LOT)。為了使通量最大化，該系統藉由，例如 並聯執行任務而可以去除或最小化等待時間 (SVR-SCR-LOT)。基板曝光時間可能小於9〇秒 (SVR-SCR-LOT)。基板交換時間可能小於μ秒 # (SVR-DEV_R0B)。該MSC丨〇軟體可允許每小時大約30個基 10板的一通量（SVR-SCR-LOT)。中斷間的平均時間應該小於 一周。停止時間應該被設計成在一個24小時的週期中不多 於30分鐘（即大約98%的可用性）。 在此列出的可用性需求可能是與該產品的簡便用法有 關的可用性需求。除了觸摸螢幕功能以外或者作為觸摸螢 15幕功能之一可選擇的實施例，鍵盤及滑鼠支援可被需要。 在配方產生期間，一觸摸螢幕可能不是如此有用的。對於 製程工程師及現場服務工程師進行的每日執行而言，如果 ' 可得’觸摸螢幕可能是有用的。該GUI 40的Stylus式觸摸螢 幕操作可被提供(GUI)。如果真實狀況(reai estate)很擁擠則 20觸摸螢幕可能優先順序較低。被顯示在該螢幕上的資訊越 多越好(GUI)。 除了在上述需求列表中所指出的該等使用者介面之 外，該MSC 10還有多個外部介面需求。鑒於硬體介面，該 MSC 1〇軟體與下列裴置介面連接：主分配模組 87 1364702 (“MDBox”）、雷射、光束穩定控制器（“BSC”）、平台、衰減 器338’ '處理快門、光束度量、處理器、匣盒及機器人。 基於MSC 10的機器間的一軟體介面允許資訊（如配方及影 像）的一匯入/匯出。該MSC 10也能夠使用，例如一平台裝 5 置的軟體介面來，例如檢索診斷資訊。下列介面可被用於 該MSC與其他裝置的通訊：TCP、HTTP、CORBA及USB。 主要是出於收集監測資訊以及提交低階命令給該等裝置之 目的，該MSC軟體與相關聯的硬體以適當的速度及準確度 進行即時通訊而使上述功能成為可能。該MSC 10軟體的品 10 質屬性包括彈性、可靠性、靈活性(dynamicness)、使用者 親和性、使用容易、及直覺的且使用者友好的一使用者介面。 下列是關於就特定的行為者（即製程工程師、現場服務 工程師及管理員）該MSC 10的使用案例(“UCS”）。 關於管理配方，例如使用第22圖中舉例說明的該GUI 15 40的“配方”介面螢幕2000，下列子使用案例應用。首先可 能有所有使用者可得的一產生配方子使用案例，藉此該使 用者一旦登入就在該資料庫中以其相關聯的影像資料產生 一新配方。該使用者要求該系統產生由該使用者命名的一 配方。如果登入並被授權，該使用者可以使用“產生，，按鈕 20 2002，該按鈕2〇〇2對於被授權的使用者將被啟動。該使用 者此夠輸入配方名稱在“名稱”方抱2008中，如第22圖中所 說明的CRY5800/JOHN/R4被添加到所示之使用者“J〇HN” 配方列表2030中。該系統將該配方放入編輯模式。該使用 者提供配方參數。該使用者添加影像到該配方。該使用者 88 1364702 :,,.... 使用下面所討論的匯入配方使用案例或.者，例如在“參數” - 顯示2004中可取捨地匯入配方資料。該使用者使用下面所 . 討論的貼上配方：(吏用案例可取捨地貼上配方資料。該使用 者使用下面所討論的匯入影像使用案例可取捨地將影像匯 5 入該配方。該使用者使用下面所討論的貼上影像使用案例 - 可取捨地將一影像貼上到該配方中。該使用者提供影像參 - 數。該使用者使用下面所討論使用案例可取捨地。該使用 者使用下面所討論的匯出影像使用案例可取捨地匯出一影 # 像。該使用者使用下面所討論的複製影像使用案例可取捨 10地複製一影像。該使用者向該系統指示其已完成改變。該 系統執行配方及影像資料的一致性檢查。該系統在該資料 庫，例如該MSC綱目中產生並儲存該配方。 可能有所有使用者可得的一修改配方子使用案例，藉 此該使用者一旦登入就在該資料庫中修改一現存配方。該 15使用者利用“修改，，按鈕2004從一選取列表中選擇一配方而 - 料統從資料庫巾檢索所請求祕方並將其放入編輯模 鲁- 式。錢用者選擇，例如“參數，，顯示2〇〇4或“影像，，顯示2〇〇6 來編輯配方影像及/或參數，且在如第22圖巾所說明的“參 數If況中，對該配方添加或刪除影像、在，例如“名稱，，方 20框2008中改變該配方名稱來修改參數列表2〇2〇及/或“數值” 歹表2022以及可取捨地使用對於該產生配方使用案例所指 出的該等匯入、选制 Η. , Ώ t 複製、貼上及類似功能。 可月b有一刪除配方子使用案例，藉此該被授權使用者 一且入’使用’例如“刪除，，按鈕2〇24從該資料庫中刪除 89 1364702 一現存配方'.9該使用者從一選取列表中選擇一配方並將其 刪除。 可能有一匯入配方子使用案例，藉此該使用者在產生 或編輯配方的同時使用’例如“匯入，’按鈕2026匯入來自一 外部檔案的配方資料^該使用者提供常駐在網路驅動器上 的一檔案的名稱，且該系統用自該檔案讀出的配方資料來 填充該配方產生或編輯模式以供該使用者隨後使用如上 述。該使用者繼續如在該產生配方及修改配方使用案例中 所描述的該配方產生或編輯模式。 可月b有一匯出配方子使用案例，藉此該使用者一旦登 入，使用，例如第22圖之螢幕2000中所示的“匯出，，按鈕2〇28 將一配方匯出到一外部檔案中。該系統提供配方的一選取 列表且該使用者選擇一配方及保存了匯出的配方資料的檔 案的名稱’包括常駐在該等網路驅動器上的檔案的名稱。 15 可旎有一匯入影像子使用案例，藉此一旦登入，該使 用者在產生或編輯配方的同時，例如使用該“匯入”按紐 2026並選擇該“影像”顯示襄來匯人來自—外部檔案的一 影像。該系統要求該使用者提供一標案的名稱，包括常駐 20 ==器上的棺案的名稱，且該系統用自該槽案讀出 的衫像貝料來填充該配方產生或編輯模式。 可月有一匯出影偉子使用案例，藉此一旦登入，該使 用者在產生或編輯配方的同時，例如選擇該“匯出，，按叙 ==影像”顯示2〇06來匯出一影像到一外部檔荦中。 錢用者提供該影像數目及保存了匯出的影像資料^槽 90 1364702 案的名稱.'，包括常駐在該等網路驅動器上的檔案的名稱/ . 可能有一複製配方子使用案例，藉此該使用者使用， . 例如“複製，，按鈕2032將一配方複製到系統剪輯板以稍後在 配方編輯模式中貼上它。該使用者提供該資料庫中一配方 . 5的名稱且該系統用自該資料庫中讀出的配方資料來填充該 . 剪輯板，使得，例如參數及/或影像在各自的螢幕2020及 - 2022中可得。 可能有一貼上配方子使用案例，藉此在產生或編輯配 φ 方的同時’該使用者使用’例如“貼上，，按鈕2034來貼上來 10自系統剪輯板的配方資料。該系統用自該系統剪輯板中讀 出的配方資料來填充該配方產生或編輯模式。該使用者繼 續如在該產生配方及修改配方案例中所描述的該配方產生 或編輯模式。 可能有一複製影像子使用案例’藉此在產生或編輯配 15 方的同時，該使用者例如’使用該“複製”按紐2032及選擇 ' 該“影像”螢幕2006來複製一影像到系統剪輯板。該系統要 •- 求該使用者提供該配方中要複製的影像數目並利用所提供 - 的影像數目’用來自該配方的影像資料填充該剪輯板。該 使用者繼續如在該產生配方及修改配方使用案例中所描述 20 的該配方產生或編輯模式。 可能有一貼上影像子使用案例，藉此在產生或編輯配 方的同時，該使用者，例如使用該“貼上”按紐2034及選擇 該“影像”螢幕2006(例如產生第23圖中透過說明的方式所顯 示的螢幕）來將來自一系統剪輯板的一影像貼上到一配方 91 1364702 中。該系統用自系統剪輯板中嶺出的被選擇的影像資料來 填充該配方產生或編輯模式，如視窗2010及視窗2112中所 說明的，在該視窗2010中，當該“影像”欄標2006被選擇時 一配方的影像可被列出，而在該視窗2012中，一給定影像 5 的參數值可被檢視。 可能有一列出配方子使用案例，藉此，一旦登入，該 使用者列出該資料庫中的所有配方。該系統顯示一階層式 資料夾結構的資料庫中所有配方的名稱。 可能有一檢視配方子使用案例，藉此該使用者檢視並 10 列印出該資料庫中一配方的資料。該系統顯示該配方的資 料（包括影像資料)給該使用者，且該使用者可取捨地要求該 系統列印該配方資料。 可能有如下的管理專案子使用案例，其等可在該GUI 40介面中產生螢幕2050，該螢幕2050可包括一專案名稱方 15框2052 ’該使用者在此可添加或編輯一專案名稱’以及第 24圖的一專案描述方框2054，其含義該專案的一簡述。可 能有一產生專案子使用案例，藉此，該使用者一旦登入就 產生一新專案用於維護或監測。該使用者要求該系統使用 以下兩種檢視中之一種來產生一專案：標準檢視或自訂檢 20視。該系統將該專案放入編輯模式中。該系統顯示該標準 檢視’例如第25圖中該螢幕2050,上的2060處所示的而在 2062處顯示該自訂檢視。該使用者使用，例如第24圖之視 窗2053將任務添加到該專案中。該使用者可取捨地啟動/停 止被添加到該專案的任務，同樣如視窗2053中舉例顯示 92 5 5 10 的。該使用者提供該等被添加到該專案的任務的執行時間 參數。該使用者向該系統指示出其已完成改變。該系統^ 行專案資料的-致性檢查。該系統在該資料庫中產生並儲 存該專案。如果該使用者要求自訂檢視，則該系統顯示一 自訂檢視，例如來自訪圖之視t2Q62中所列出的那心 例如雷射控制、雷射診斷 '雷射下載、平台控制、平^ :及平台下載’且該使用者能夠從，例如診斷、下 ^中選擇-專案範本。該系統根據所選擇的範本顯示―自上 j她6.28圖中舉觸示的控制範本2〇7〇、 :斷範本誦及下本2_。f績用錢供，例如 圖術雇中的物⑹所提供的 :括在秦中的任務、例如利用第23圖之螢幕 ;窗編、2(H2所提供的任務的執行時間參數等等） 15 ::可取捨地為一立即應要求的執行而執。： 統月b夠將該專案添加到工作佇列 ^ 4 20 從資料庫中檢索所請求的專案並將龙=索。該系統 幕上所說明的編輯模式中。:放入如第24圖之該螢 該使_加任務到該專索;:將;=標準： 可取捨地啟動/停止該專案 從中刪除°該使用者 使用者使用編輯任務使用案:窗的任務。該 J如’藉由選擇視窗2051 93 務來蝙輯該專案中呈現的任務。該使用者也 Γ、中任務的順序。該使用者能夠改變該專案
據來自診斷、 下載及控制的專案範本顯示一自訂形式。該 中所顯示的任務來 能夠改變該專案中 使用者忐夠修改專案資料(例如被包括在該專案 中的任 務任務的執行時間參數等等）。該使用者能夠可取捨地為 -立即應要求的執行而執行該專案 ，藉此該系統將該專案 添加到工作仵列的上面、如果該工作仔列還未被開始則在 步進桓式中開始該工物取及顯示卫作執行的結果。 可能有一刪除專案子使用案例，藉此該使用者從該資 15料庫中刪除一現存專案。該使用者從一選取列表中選擇一 專案並將其刪除。 可能有一列出專案子使用案例，藉此該使用者在，例 如第24圖之視窗2056中列出該資料庫中的所有專案。可能 有所有使用者可得的一檢視專案子使用案例，藉此一旦登 20入，該使用者檢視自視窗2056之列表中（如視窗2053及2058 中）選擇的該資料庫中的一專案。可能有所有使用者可得的 一列出任務子使用案例，藉此一旦登入，該使用者在，例 如視is 2051中列出s亥資料庫中的所有任務。可能有所有使 用者可得的一匯入專案子使用案例’藉此一旦登入，則在 94 1364702 —·τ. 7 -產生或編輯專案的同時，該使用者利用，例如第24圖之該 榮幕2050上的匯入”按紐來匯入來自一外部樓案的專案資 • 料。該系統用自一指定檔案中讀出的專案資料來填充該專 案產生或編輯檔案。 . 5 可能有一匯出專案子使用案例，藉此一旦登入，該使 ' 用者利用，例如第24圖之該螢幕2050上的“匯出，，按鈕將一 - 專案匯出到一外部檔案中。該使用者要求該系統將一專案 匯出到一被選擇的外部檔案中。該系統利用所提供的專案 • 名稱’以來自該資料庫的專案資料產生一新檔案或更新現 10存檔案。可能有所有使用者可得的一複製專案子使用案 例，藉此一旦登入’該使用者使用，例如第24圖之該螢幕 2050上的“複製”按紐將一專案複製到該系統剪輯板中以稍 後在專案編輯模式中貼上它。該使用者提供該專案名稱。 該系統利用所提供的專案名稱，以來自該資料庫的專案資 15 料來填充該剪輯板。 第26圖之該雷射控制的控制範本可包括方塊2〇72中屬 ·- 於步進式的一步驟列表。其也可具有一方框2074用於完全 ' 初始化、一方框2〇75以選擇一命令給該雷射、方框2076用 於再填充及引入氣體管理命令以及一方框2078用於來自該 20雷射的回應。第27圖之該雷射診斷的診斷範本2080可包 括’例如複數個可選擇的雷射檢查模式資訊方框2〇82，其 等在被選擇時可顯示一模式指示元、一數值指示元、一頻 率指示元、多個脈衝指示元及一平均數指示元。可能也有 方框2084用於注釋及能夠被選擇以執行一氣體再填充的 95 1364702 一方框2086。第-28圖之該雷射下載的下載範本2090可包括 ；一---· 複數個預先執行的資訊方框2092,其等可顯示，例如模式、 數值、脈衝數及頻率，以及複數個方框2094，用以選擇， 例如診斷、可組配、原始發射、10K及1M。其也可包括一“執 5 行”方框。 可能有一貼上專案子使用案例，藉此在產生或編輯專 案的同時，該使用者使用，例如第24圖之該螢幕2050上的 “貼上”按鈕來貼上來自一系統剪輯板的專案資料。該系統 用自該系統剪輯板中讀出的專案資料來填充專案產生或編 10 輯模式。該使用者繼續如在產生專案及修改專案使用案例 中所描述的該專案產生或編輯模式。 在管理工作佇列使用案例之情況下，可能有下列子使 用案例。可能有一添加工作到工作佇列中的子使用案例， 藉此該使用者將一批次或專案添加到該工作佇列中以利用 15 該工作佇列來處理該批次或執行該工作。該系統提供批次/ 專案的一選取列表，從中該使用者選擇一批次或專案並提 供執行時間參數給該批次或專案。（該批次的執行時間參數 可能是基板ID、操作者ID、匣盒裝卸台號碼等等。該專案 的執行時間參數可能是操作者ID、注釋等等。）該系統將該 20 批次或專案添加到該工作仵列中。 可能有一從工作佇列中移除工作的子使用案例，藉此 該使用者從該工作佇列中移除一批次/專案。該使用者從該 工作佇列中選擇一批次/專案並要求該系統將其從該工作 佇列中移除。該系統從該工作佇列中移除該批次/專案。 96 1364702 可能有·-改-變工作佇列中的工作順序的子使用案例，， 藉此該使用者改變該工作佇列中的工作順序。該使用者從 該工作佇列中選擇一工作並要求該系統在該工作佇列中將 其向上或向下移動。該系統將該工作移到該工作佇列中的 5 新位置。 可能有一開始工作佇列的子使用案例，藉此一旦登 入，該使用者開始該工作佇列2106以從該佇列的前面開始 處理該工作佇列中的工作。該使用者要求該系統利用，例 如第33圖之“工作”螢幕2110的“開始”按鈕2102來開始該工 10 作佇列。該系統更新狀態視窗2100來指示該工作佇列可能 在執行。如果該工作佇列2106之前被暫停，則該系統繼續 該專案中的下一專案。否則，該系統將未被處理的工作從 該佇列2106的前面取走（例如該狀態視窗2100中的“批次 1”）、複製該工作以及使用該複本以開始一個接一個地執 15 行。如果一批次正被處理，則該系統透過圖形在一視窗（例 如第33圖中的2107)中顯示該結晶過程的進度及目前執行 的批次的基板位置。該系統也顯示該匣盒的一圖形表示 2104，例如，哪塊基板目前正被處理、還有多少基板要被 處理等等。該系統將該工作佇列2106中目前處理的批次的 20 狀態更新為如視窗2100中的“處理中”。當一工作的處理完 成並成功時，該系統將該工作佇列2106中該工作的狀態改 變為“已處理’’，如視窗2100對於工作P2所示的。如果該系 統未能成功執行該工作，則其將該工作佇列中該工作的狀 態改變為“未能處理”。 97 1364702 可能有一停止工作仵列的子使用案例，藉此該使用者 用’例如螢幕2110上的“停止”按鈕2114來停止該工作佇列 以防止其處理該工作仵列21 〇6中的剩餘工作21 〇8。該使用 者要求該系統停止該工作仵列2106。該系統檢查一工作 5 2108是否正在執行。如果一工作，例如該工作仵列21〇6中 的“批次1”正在執行，則該系統提示該使用者選擇下面的一 個：中止該目前執行的工作、暫停目前執行的工作、在結 束該目前執行的工作之後停止。如果該使用者選擇中止， 則該系統終止該目前執行的工作。如果該使用者選擇暫 10停，則6亥系統在結束該工作之目前執行的任務之後停止。 如果該使用者選擇停止，則該系統在該目前執行的工作結 束後停止該工作佇列2106〇該系統更新該狀態視窗2100以 指示該工作佇列可被停止。 可能有一檢視工作佇列的子使用案例，藉此該使用者 15用，例如第33圖之該螢幕2110來檢視該工作佇列2106中的 工作列表。 可能有一將該工作佇列放入步進模式中的子使用案 例，藉此該使用者用，例如第33圖之“停止，，模式選擇鈕以劝 將該工作佇列2106放入步進模式中，藉此該工作佇列在執 20行每-工作2108之後停止。該系統更新該狀態視窗21_ 指示該工作仵列2106可能在步進模式中。 可能有-將該K宁列移出步進模式的子使用案例， 藉此該使用者將該工作仵列從步進模式令移走夢此該工 作仵列21G6開始-個接—個地執行工作。該系統使用，例 98 1364702 a - 如“連續”模式選擇钮2122將諺工作佇列放入連續模式中， . 藉此其開始一個接一個地執行其中的所有工作。該系統更 • 新該狀態視窗2100以指示該工作佇列2106在連續模式中。 可能有一檢視系統狀態子使用案例，藉此該使用者 . 5在’例如第33圖之視窗2130，或第35、36圖之螢幕中查看 - 該系統及裝置的目前狀態。該系統在多個狀態欄標上顯示 - 該系統及裝置的目前狀態，每一狀態攔標顯示狀態參數的 目前值。該系統根據嚴重性提供視覺指示元，如該等欄標 φ 的色彩及該等欄標上的狀態參數的色彩：嚴重、錯誤、警 10告或訊息。如果維濩被需要用於裝置、元件及模組，則該 系統也提供視覺或文字指示元。 在官理專案排程使用案例之情況下，可能有如下多個 子使用案例。可能有一添加一專案到維護排程中的子使用 案例’藉此，例如使用第24圖之該螢幕，使用者添加一專 Μ案到-排程(例如用於排程監測的維護排程）中。該使用者從 赢 輯取列表2140中選擇一專案。該系統添加該專案到該維 ㈣程中並將其放入—致能狀態。該使用者使用維護排程 使用案例（例如第29圖中所示的2142)中一專案的編輯排程 來提供該專案排程。按照該專案的排程，該系統添加該專 案到該工作作列(例如第29圖中的2144)的上面。例如，如果 所提供的排程是每週的，則當該工作仲列駡可在一周的 第-天被開始時，該系統在那天執行該專案。 可能有-從維護排程中移除專案的子使用案例藉此 -且入該使用者利用’例如“刑除”鍵屬將一專案從 99 1364702 用於預定監測的維護排程中移除。該系統從該維護排程中 移除該專案。 可能有一致能維護排程中的一專案的子使用案例，藉 此該使用者利用，例如第29圖之螢幕上的“應用”按鈕2150 5 來啟動該維護排程中的一專案用於排程。該系統致能該專 案用於預定維護。按照該專案的排程，該系統在那天的第 一配方被處理時執行該專案。 可能有一去能維護排程中的一專案的子使用案例，藉 此，該使用者利用，例如第29圖中的“取消”按鈕2152來停 10 止該維護排程中的一專案，藉此其將不會被排程。 可能有維護排程中一專案的一編輯排程的子使用案 例，藉此該使用者利用，例如“修改”按鈕2156來修改該維 護排程中一專案的排程。該使用者從該維護排程中選擇一 專案，該系統要求該使用者提供該專案的排程。該使用者 15 在，例如第29圖之該視窗2142中以每日、每週或每月提供 該排程。該系統更新該專案的維護排程。 可能有一檢視維護排程的子使用案例，藉此該使用者 檢視該維護排程2142。 在登入子使用案例之情況下，下列子使用案例可應 20 用。可能有一登入使用者的子使用案例，在該案例之情況 下一使用者能夠利用，例如第18圖之該螢幕2160而被登入。 可能有一切換使用者的子使用案例，在該案例之情況 下該使用者改變登入的使用者。 可能有一登出使用者的子使用案例，在該案例之情況 100 1364702 下丄該使用者登出該系統。 .〜 可能有一註冊使用者的子使用案例，在該案例之情況 下該使用者將一新的使用者註冊到該系統中。該系統要求 該使用者提供使用者ID、密碼及該新的使用者的角色(操作 5 者/製程工程師、現場服務工程師或管理員中的一個）。該系 統將該使用者與所提供的資料添加到該資料庫中的使用者 列表中。 可能有一未註冊使用者的子使用案例，在該案例之情 況下該管理員能夠將一現存使用者從該系統中移除。 10 可能有一改變使用者登入密碼的子使用案例，在該案 例之情況下該使用者能夠改變其登入密碼。 可能有一登入角色的子使用案例，藉此該使用者在被 授權的角色下登入該系統。 可能有一切換角色的子使用案例，藉此該使用者將登 15 入角色變為另一個。該系統要求該使用者從下列列表選擇 該等角色中的一個：操作者/製程工程師、現場服務工程師 或管理員。該系統要求該使用者提供提供使用者ID及密 碼。該系統使目前登入的角色登出並使行為者以被選擇的 角色登入該系統。 20 可能有一切換角色的子使用案例，藉此該使用者將登 入使用者變為他自己/她自己。該系統要求該使用者提供使 用者ID，且該系統使目前登入的角色登出並使行為者登入 該系統。 可能有一登出角色的子使用案例，藉此該使用者登出 101 該系統胃系統使該鼻:^養該系統登出。該系統關閉其主 顯示視窗。 可能有一改變角色登入密碼的子使用案例，藉此該管 理員改變任何角色的密碼。該系統改變該資料庫中被選擇 5的角色的㈣。該系統通知該使用者該密碼被成功改變。 在5理模組的使用案例之情況下，可能有如下多個子 使用案例》可能有一列出模組的子使用案例，藉此一旦登 入，該使用者列出該資料庫中的所有模組。 可月b有所有使用者可得的一檢視模組的子使用案例， 10藉此一旦登人’該使用者在，例如第37圖之榮幕2細上檢 視該資料庫中的一模組。該系統提供模組的一選取列表。 該系統從該資料庫中檢索所請求的模組並將其放入如視窗 2204中的檢視模組2202。該系統顯示包含該模組的所有元 件及裝置的列表；包括名稱、序列號、維護計數器等等。 15 可能有一修改模組的子使用案例，藉此該使用者修改 該資料庫中一模組的某些元件參數(例如維護計數器該系 統提供模組的一選取列表。該系統從資料庫中檢索所請求 的模組並將其放入編輯模式中。該系統在螢幕2200上的“模 組元件”2206下顯示包含該模組的所有元件及裝置的列 20表；在螢幕22〇〇上的“元件性質”2208下顯示名稱、序列說、 維護計數器等等。該使用者編輯參數資料，如該等維護今十 數器。該系統將該模組儲存在該資料庫中。 在組配系統使用案例之情況下，可能有如下多個子使 用案例。可能有一編輯系統組態的子使用案例，藉此—曰 102 1364702 登入’該使用者修改該機器或系統組態資訊。該使用者要 求該系統編輯該系統組態資訊。該系統將該系統組態放入 編輯模式中。該使用者在例如第37、35及36圖之螢幕2200、 2200’及2200”上修改系統組態資訊。該系統將該系統組態 5資訊保存在資料庫中。第37圖之螢幕2200透過說明的方式 顯示當模組欄標被選擇時的顯示，視窗2202顯示該模組列 表’（如所看見的）其能夠被選擇由該使用者修改。也被顯示 的是一視窗2204,其指示一被選擇模組的模組性質，例如 “光學元件”。該螢幕2200也可以包括一視窗2206，其顯示 10 一被選擇模組的元件，以及視窗2208，其顯示該被選擇元 件的元件性質。第35圖之該螢幕2200,舉例說明當系統攔標 被選擇時所顯示的。在此情況中，一視窗2210顯示參數及 各自參數的值。第36圖之該螢幕2200”舉例說明當“狀態，，攔 標被選擇時所顯示的。顯示了一狀態欄標名稱方框(例如所 15說明的維護），以及識別該等狀態欄標(例如摘要、雷射、平 台及系統）的一視窗。一視窗2216顯示可得的狀態參數而— 視窗2218顯示該等狀態欄標參數。 第38圖的角色螢幕2300及第39圖的使用者螢幕23〇〇, 舉例說明角色及使用者欄標所選擇的顯示，在該等螢幕上 20 —使用者藉由在方框2312中插入一密碼而可以作為自視窗 2310中選擇的一角色登入，以及如果使用者ID出現在視窗 2314中且被輸入在方框2316中、角色在方框2318中被選擇 及一密碼被輸入在方框2320中，則使用者可被該ID指定角色。 第40及41圖的螢幕2400及2400’可以分別在—視窗 103 1364702 2402中顯示所有訊息(例如錯誤及警報訊息)或者用第41圖 之視窗2404中的-據波器來選擇某些類型❾訊息/警報，透 過該視窗2404，例如某—時間、裝置、訊息嚴重性層級及 滤波週期連同一顯示視窗2406中被滤波的訊息可被選擇。 5 V能有—檢視系統組態的子使用案例，藉此該使用者 檢視該機器或系統組態資訊。該系統以多個棚標來顯示該 系統組態’每一裝置有一個。 可能有-組配系統狀態的子使用案例，藉此該使用者 添加新的狀態欄標及改變該等現存狀態爛標的内容。該系 1〇統顯示該資料庫中現存狀態欄標的一列表。該系統也顯示 5亥貝料庫中所有狀態參數的—列表。該使用者可取捨地添 加新的狀態欄標到該狀態欄標列表中並添加一或多個狀態 參數到該新產生的狀態搁標中。該使用者藉由添加、重新 排序或移除-現存狀態欄標中的參數而修改該現存狀態搁 標的内容。該使用者可取捨地重新排序該等狀態搁標。該 使用者可取捨地刪除一現存狀態欄標。 將被該領域中具有通常知識者所理解的是：一種脈衝 式DUV工件處理裝置與方法被揭露，其用於發射光來照射 載於工作台上的工件而使該工件上的一材料結晶化其 20可包含一脈衝式雷射DUV光源及—光學元件串，該光學元 件串產生寬度非常窄且非常細長的一束光脈衝，該束光脈 衝具有一組在一脈衝對脈衝基礎上需要被維持在一各自被 選擇的窄範圍的數值内的參數，其可包含：一雷射控制器； 一工作台控制器；一系統控制器，該系統控制器接收來自 104 1364702 制H歸7產生㈣&序配方控制要求並提供控 俯过給錢射控制器及該工作台控制器且可包A . 一 :料:驅動程序控制器，該資料庫驅動程序控：可包 ^包d由-❹者透過-外部料❹者介 =程序命令步驟的一資料庫。該裝置與方法可包含使 ίο 將透過制客制化，且也可包含—解譯器，該解譯器 ^卜。卩料使用者介面㈣擇的料命令步驟轉換 為:個（或多個)各自的_般腳本。該裝置與方法可包含一工 丨擎’其向使用者指出可由該使用者從〇ΕΜ資料庫 擇的程序命令步驟，這可根據儲存於該〇脑資料庫中 來=來執行。該裝置與方法可包含一程序飼服器，其對 :含該雷射控制器及該工作台控制器的-群組的二裝 15 二:=Γ行一命令;，用戶端，其輸入來自使用 :㈣方發送使用者命令給該程序伺服器。該⑽ 二可包含一顯示器’其顯示來自包含該雷射及工作台 =-群組之至少—裝置雜^及/或者該1件上的結晶 20 狀態，以經由—介面與-製造執行系統介面進行 通訊。該裝置與方法可進-步包含— 〇EM唯讀f料庫，其 ^包含該0EM所供應的唯讀任務定義；制器讀 寫㈣庫’其包含使用者提供的配方㈣。該0腹資料庫 包含在程序控制期間可被該程序伺服器使用的巨集或腳本 形式的—般任務定義卜命切料，其將儲存於朦資 料庫中的-使用者輪人參數與來自該0EMf料庫的一個— 般命令組合。簡人參數錢先前賊細娜SC資料庫 105 1364702 中且該一般命令被包含在該0ΕΜ資韩庫中的一腳本内。該 裝置與方法可進一步包含與該程序伺服器通訊的複數個程 序控制子系統’每一子系統包含一訊息佇列及訊息迴圈·， 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯且串聯存取該各自子系 5統的一訊息幫浦，以及可進一步包含一裝置介面，其與來 自包含該雷射及該工作台的一群組之至少一裝置通訊並使 用一語言轉換器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中 性語言格式轉換為—裝置特定的裝置語言格式。一種脈衝 式DUV工件處理裝置被揭露，其可發射光來照射載於一工 10作台上的工件而使該工件上的一材料結晶化，可包含一脈 衝式雷射DUV光源及一光學元件串，該光學元件串產生寬 度非常窄且非常細長的一束光脈衝，該束光脈衝具有一組 在一脈衝對脈衝基礎上需要被維持在一各自被選擇的窄範 圍的值内的參數，其可包含：一雷射控制器；一工作台控 15制器；一系統控制器，該系統控制器在一各自獨立的程序 中執行一各自的任務以便以單個執行緒或以多個非再進入 的執行緒來編碼一任務。該各自的任務包含核心任務，每 一核心任務在單個程序内一各自的執行緒中以單個執行緒 執行。每一執行緒具有一各自的訊息幫浦來按順序且無阻 2〇斷地存取-各自的任務m幫浦可包含_訊息仔列及 一 息迴圈’以及可進一步包含處理錯誤的系統處理器。 系統處理器訊息可被彻該訊息幫浦來處理…種脈衝式 DUV工件處理裝置被揭冑，其可發射光來照射載於一工作 台上的工件而使該工件上的―材料結晶化，可包含一脈衝 106 1364702 15 式雷射DUV光源及—光學元件卑，該光學元件串產生寬度 非常窄且非常細長的一束光脈衝，該束光脈衝具有-組在 -脈衝對脈衝基礎上需要被維持在_各自被選擇的窄範圍 的數值内的參數，其可包含：一雷射控制器；-工作台控 制器；複數個處理裝置，由-系統裝置管理器使用至少兩 個獨立作用的執行緒來控制，該等處理裝置中之一個包含 每處理裝置的冑置介面。該兩個獨立作用的執行緒可 已3，、所有該等各自的裝置相關聯的一控制執行緒以及與 所有4等各自的襄置相關聯的一診斷執行緒。每一獨立作 用的執订緒可包含-獨立的通訊通道。該系統控制器可使 用與裝置類型無關的-般裝置命令。該等裝置命令可對岸 於高階動作。該裝置與方法可包含⑽用戶端在發送使用者 命令到該程賴服將配枝義料參數儲存在該 聰資料庫中，以及可進1包含—訊息㈣及_訊包迴 圈。該裝置與方法可包含該至少兩個獨立作用的執行緒， 其等包含-或多個獨立作用的執行緒，每—個作為該# 理裝置中之各自一個的一獨立裝置介面。該至处 作用的執行緒可包含與該各自的裝置相關聯的:各自t 制執⑽以及與該各自的裝置相關聯的一各自的診斷:控 20緒。母一獨立作用的執行緒可包含一獨立 執行 *統控制器可使用與裝置類型無關的—道:該 裝置命令可對應於高階動作。 、° 7 °該等 將被該領域中具有通常知識者進1 本揭露標的的一實施例之層面，細伞Λ 疋·根據 、，先束雷射退火系統的利 107 U64702 用可能有助於，例如在處理基板時退火一非晶石夕層形成— 多晶矽層，在其中於該層形成，例如薄膜電晶體，且有了 較好的晶體(例如較長的晶界），製造具有相同的較高層級效 能的較小的薄膜電晶體是可能的。這可以使，例如以該旯 5板中的薄膜電晶體形成的較亮的顯示器成為可能，即所謂 的板上系統(system on glass)顯示器（“s〇G”），控制電極被嵌 入該顯示器面板並與該面板自身外部相反。該等面板也能 夠被製成具有較高解析度及其他效能增強（如較快的回應 時間）以減少，如模糊。在製造被雷射退火的薄膜電晶體多 10晶矽面板時的明顯增強的程序控制能夠有助於實現這些改 良的面板。根據本揭露標的之層面，也利用那種被控制的 細光束雷射退火而被有利形成的這類TFT面板及有機發光 二極體(“OLED )’能夠被較便宜地製造且具有這類增強的 效能特性以及其他’例如增強的OLED生命週期。此外，（以 15增加的產率且因此較低的成本所製造的）增強的多晶石夕顯 示器面板提供許多超越基於目前被使用的非晶石夕的顯示器 面板的優點’如上述的那些還有，例如較好的小中型顯示 器面板、在0LED所需的高電流負載下的較好的穩定性。而 且根據本揭露標的之層面’較好的程序控制要加在這些利 20 處上。 高功率（如大於1000W的準分子雷射退火，雷射輸出被 形成一#常長（如超過500mm)及非常細（如在1〇μηι的光束 寬度以下）的光)準分子(如XeCl或XeF)雷射退火系統目前被 認為是用於在大基板（第3代及以上）上執行非晶相退火以獲 108 1364702 得上述，有利的薄膜電晶體及oled結果的—極佳裝置^該雷 射細長光束能夠，例如熔化非晶矽的一局部區域接著爷 局部區域自一鄰接的冷卻區域結晶出來形成—晶種而^ (長）晶體藉由以下而能夠被獲得：相對於另—個或彼此移動 5 該光束及基板以在相對運動的方向中延長該晶體，因此， 例如產生相對均勻且長度被延長並具有比經由其他處理進 行退火可得的較小晶粒的多晶石夕晶體之電子移動性更高的 晶體。根據本揭露標的之層面，該細光束致能在該受控的 結晶機器中連續產生一小的液化區域，該液化區域與畫在 10 β玄面板工件表面上的一固態晶種區域相鄰。除了製作出更 好的晶體以外，該光束寬度還能夠致能在單種氣體中退火 一面板，還增加了面板通量。 根據本揭露標的的一實施例之層面，該系統可被封裝 在一主控制器機樞中，其可包含該主系統控制器（“MSC”) 15伺服器 '該主分配模組(“MDM”）、該資料擷取服務(“DAS”) 伺服器及現場服務工程師（“FSE”)伺服器。這些可以利用一 個具有8GB的RAM並運行CentOS用於控制（MSC)及資料操 取(DAS)的雙Opteron伺服器，以及一個運行Wind〇ws 2003 OS用於診斷的雙P4伺服器、一個具有3TB的儲存空間的儲 20 存陣列、一Cisco開關及PIX防火牆及一個用於LAN連接的 16琿的LantronixTCP/IP轉換器來被實現。 該MSC及DAS可以與該處理設備（裝置）的各種硬體元 件通訊，例如一個1220W，6kHz XeF DUV的雷射、一個光 束傳遞單元(其具有，例如主動光束操控及穩定模組以及主 109 1364702 動照明器自動聚焦控制）平台精確馬達控制器、一投影 光學元件模組(“POM”)(其包括馬達控制，用於溫度、光束 月匕里及光束波形的度置感測器）、其他設備（例如電及流體公 用能力及一材料處理器及一工廠自動主機），其等由終端使 5用者顧客選擇且是該退火系統/控制器製造商事先未知的 且該MSC及DAS及裝置必須與之介面連接及/或被其等執行。 根據本揭露標的的一實施例之層面，該控制器提供多 個設計優點。該系統是高可用性_24_7_7中的一個。該控制 器被分配以，例如由該等受控裝置處理的硬性的即時需 10求、整體協調、控制、操作者回授及由該Msc處理的資料 收集及多條資料流路徑（如本地操作者控制及工廠主機可 得的）。該系統也是高可適應性的，能夠，例如控制及監測 任意一組智慧裝置並允許修改該裝置組及/或代替該裝置 組中具有相同功能的不同裝置而不需要對任何或所有模組 15的控制器碼進行實質上的任何重寫/重新編譯且必定不需 要全部重寫或重新編譯。 該等裝置命令不是硬接線到該控制器碼的。它們能夠 因效能原因而被動態儲存及載入以及被快取。該G U丨設計不 對，例如任何任務或系統層級的裝置或其他組態限制參數 20數目。例如，額外的參數可被添加到一任務中而不用將修 改編碼到，例如該等使用者介面螢幕。與該等裝置通訊的 TCP/IP也是’其中需要Lantronix能夠被用以轉換，例如串 聯通訊協定。系統命令可以被異步執行’以便在，例如等 待來自一或多個裝置的一回應時(例如當計時關鍵命令時) 110 不阻斷該系統。_.
該軟體的大部分"SPU H B c++ 於制的㈣來被實現，如 以&夠以很好理解且易於使 現。控制及資料收集(如任務)能夠 =
或類似的程序語言功能_存= ^由-命々程式館單元或類似物來存取裝置。工 二：行專案或配方而可以在根據本揭露標的的一； 把例之層面的受控的處理系統上被執行。專案可以被該I 統操作者利用，例如任務來I 特定Μ 務耒產生，-配方形成-任務的一 務疋版本。在執辦㈣，該命令解譯H可削以分析任 ^從而’例如執行裝置命令。因此，控制邏輯能夠從已 、^的程式碼t被移到’例如儲存於記憶體中的動態資料 /例如在任務執行期間’任務可以來自該OEM綱目而參 15 可來自該MSC綱目且該命令解譯器可使用這些來提供一 (或多個）裝置命令給一裝置。 20 例如PostgreSQL以其參數化的腳本格式可被組配成 是使用者控制的並具有總體層級的變數，該等變數可允許 使用者控制系統行為，例如連接逾時、校準因子及裝置致 能/去能。制者可蚊義並被致能。專案及配方可包括專 一曰級的參數，包括任務及相關聯的參數與許可權。也可 以有圖表範本被使用。〇咖控制的層面可包括一啟動程式 使用者組態、GUI查看與感覺(例如色彩、攔標、標記等等）。 ΜOEM機密的（及已加密的)任務與類別聊本 控制。-内部設置可包括DMP的路有表及訊息映射。裝置 111 1364702 •設置及可利用性可包括組態（例如所謂的‘‘鮮明（Bold)，，列 表）、NLF到DF的轉換及一裝置列表（例如具有可被動態載 入的驅動器共用物件的裝置之一表格）。 裝置迴圈資料可能在一連續輪詢迴圈中，其可被節流 5到一特定的相對緩慢的資料流。分開的執行緒(如每裝置有 一個）可被一時間“同步執行緒”同步化。操作彈性可能需要 的許多屬性(如幾百個屬性）可以利用，以一屬性-數值形式 (例如使用正規化的數值)被儲存在postgreSQL中。該狀態迴 圈可被緩衝及被大量複製及被時間/裝置分區。内建的製圖 10及報告特徵可被用以監測該受控的雷射退火系統或其他類 型的受控系統的操作。例如在該雷射退火類型的系統中， 該系統中各點處的雷射能量及有關性質、光束波形及其他 性質、平台及度量位置及該整個雷射退火系統中的溫度可 被製圖/被報告。資料可以以一相對高的資料率（如以或高於 15 6kHz)被串流並具有屬性，如該雷射屬性串流中的大約24個 欄位及該度量串流中的大約70個攔位。 系統登錄可允許’例如MSC元件登錄到一中央登錄器 常駐程式’該常駐程式也可以接收來自該等系統裝置中之 許多裝置的資訊。該登錄器常駐程式藉由寫入一 20 PostgreSQL資料庫中及經由該DMP平行發送訊息到該GUI 而可以緩衝、儲存。該GUI能夠允許透過裝置、時間/曰期、 嚴重性等等來濾除喜愛日誌及裝置、時間/曰期、嚴重性等 專的報告產生。 一資料綱目（如該OEM)可被用於自我啟動而另一資料 112 1364702 ";· ^ 綱目可被用以重疊使用者設定，例如在缺少MSC綱目設定 的情況下應用程式預設可被添加到該OEM綱目設定。由裝 • 置的時間標記進行的分區可被用於狀態及串流資料，其可 允許，例如資料保持的簡化及快速加強。該OEM綱目與MSC . 5綱目之間可能有一資料庫鏈結，其等可被分開是為了，例 . 如確保資料收集及控制功能彼此不干擾，但在一些情況 下，如當在一些情況中該MSC中也需要資料被該DAS擷取 的時候，該MSC綱目及OEM綱目可能必須，例如經由該資 • 料庫鏈結、dblink而彼此通訊。該控制器也可以有利地使用 10功能’如XML及HMAC的自訂C擴充功能，例如XML訊息 可被用在DMP中及該GUI中而HMAC可被用於專案/配方鎖定。 中性語言格式到裝置格式的轉換可利用一實體·屬性_ 數值格式，其可被用以提供從一般命令(如任務腳本所使用 的）到裝置待定的命令的映射。這也使容易替代一裝置變為 15可能，該裝置具有另一裝置的一組命令並執行相同或類似 • 的功能，但具有自己唯一的一組命令或至少一些這類命 令。例如，來自不同製造者的各種不同的材料處理機器人 • 之間具有非標準的命令組或至少一些非標準的命令，它們 可以取代該控制器及材料處理系統。如另一範例，一較新 20的雷射模組可被代入，其可具有附加或不同的模組且因此 具有附加或不同的命令。此外，如在裝置之間，一些屬性 是共同的，但許多屬性對於—給定裝置也可以是唯一的， 且該資料庫組織允許以具有相同功能但不同預設行為的另 一裝置來取代一裝置，這簡化了裝置的添加或取代。 113 1364702 裝置變數可，作為，例如表格之一列表的一部分被包含 在一表格中（如以PostgreSQL表示），如下所示： create table oem device variable 5 deviceid int not null, variablename text not null, variablelabel text, variable_uom text, variable_data」ype text not null, 10 variable_type text not null, variabledefault text, variable_required char(l) not null, variable_validator text, variable_order int, 15 variable_list text, variable_internal int, variable_public int not null 且可包含如下一表格： 變數_標記 變數_資料 _類型 變數_ 類型 變數_預設 變數_祐認符 變數_列表 致能的裝置 文字 選擇 假 IS一ALPHA 真：假 發送全部狀態給 該GU1 文字 選擇 真 IS一ALPHA 真；假 裝置連接企圊 整數 輸入 3 INSTANTCHECK:[…] 裝置連接逾時 文字 輸入 5 IS_ALPHANUM 命令占位 文字 輪入 % IS_ALPHANUM 讀出终止器 文字 輸入 &#13; IS^ALPHANUM 裝置程式館 文字 輸入 libmscomegabus. so IS_ALPHANUM 登錄層級 文字 輸入 0 IS_ALPHANUM IP位址 文字 輸入 ice91antronix IS_ALPHANUM 埠號 文字 輸入 3004 IS_ALPHANUM 支援的服務模式 文字 選擇 否 IS_ALPHA 否：是 114 20 1364702 變數也可以利用，如一同步執行緒而被加入裝置中t 母—裝置可以具有其自己的資料收集執行緒但使用一同步 執行緒能夠允許，例如資料的交互相關。 資料藉由選擇一特定的表格形式，如一狀態登錄(例如 5 das_狀態_登錄）而被選擇，該das—狀態—登錄可包括一裝置 M、一時間標記、一狀態名稱、一狀態值及一狀態u〇m的一 列表。包含介於被選擇的開始時間標記與停止時間標記之 間的一狀態的一表格可利用一特定的裝置id及被選擇的開 始及停止時間標記來被產生。最後，一表格可被列印或被 10 顯示在該GUI上’該表格顯示被選擇變數的已重新排列的狀 態值，如平台_CX、平台_CY及平台_cz以及該等被選擇的 值之間的時間標記。資料可以以圖表形式（如雷射輸出能量 對時間）被顯示於該GUI上。利用呈正規化格式的資料能夠 提供一組相對固定的屬性及一高資料率，資料可被裝置及 15時間標記分區。資料可以以每雷射發射有一次記錄的速率 被串流以及，例如，被加上一唯一的發射數標籤，藉此越 過裝置的資料被單擊數同步化。 能夠為該領域中具有通常知識者所理解的是上述本揭 露標的的實施例之層面只打算成為較佳實施例且並非意在 20限制該（等)揭露標的之揭露，尤其是不僅僅限制為一特定的 較佳實施例。能夠對該（等）揭露發明的實施例之層面做出許 夕能被該領域中具有通常知識者所理解與瞭解的變化及修 改°該等附屬的申請專利範圍被打算在範圍及意義方面不 僅涵蓋該（等）揭露標的的實施例之層面，還有該領域中具有 115 1364702 通常知識者可容易明白的這類等效及其他修改與變化。除 了上述對該（等）揭露標的的實施例之被揭露及被主張的層 面的變化與修改以外，其他也能夠被實現。 雖然在此專利申請案中被詳細描述及說明且被需要來 5 滿足35 U.S.C. §112的該高功率雷射平坦面板工件處理系統 控制器的實施例之該等特定層面完全能夠達到任何上述目 的，即問題被解決或任何其他原因或者達到上述一（或多個） 實施例之層面的目的，但該領域中具有通常知識者要理解 本揭露標的的該（等）所描述的實施例之該等所描述的層面 10 僅僅是示範、說明及表示該標的，該標的被該揭露標的廣 泛考量。實施例之該等被描述及被主張的層面的範圍完全 包含其他實施例，根據該說明書的教示，這些實施例對該 領域中具有通常知識者來說可能現在是或將是明顯的。該 高功率雷射平坦面板工件處理系統控制器的範圍僅僅且完 15 全只由該等附屬的申請專利範圍限制且沒有超出該等附屬 的申請專利範圍所列舉的。除非特別指出，在這些申請專 利範圍中以單數形式提及一元件並不打算指“一且唯一”且 在翻譯此主張的元件（claim element)時其也不能指“ 一且唯 一”，而是指“一或多個”。一（或多個）實施例之該等上述層 20 面的任何元件之所有結構上及功能上的等效是該領域中具 有通常知識者已知或稍後將已知的，其等在此以參照形式 被特別併入且打算由該等申請專利範圍所包含。該說明書 及/或該等申請專利範圍中所使用的以及在該說明書及/或 本申請案的申請專利範圍中被特別給定一含義的任何名詞 116 1364702 使用二 不⑽典或此名詞的其他被普遍 ，-裝置或方法並不被打算或不必處 :破时 中所揭露的實施例之層面解決的每 。月案 10 它將被該等申請專利範圍所包含。在本=有二為 、辑或方法步驟被打算該給公眾，不管該元件、疋 件或方法步驟在該等申請專利範圍中是否被明確指出^ :等附屬的申請專利範圍中沒有主張的元件要根據％ 狂‘ C.§U2中第6段的狀來被解釋，除非該元件被利用片 "。用以··.之裝置，’來明確列舉或者在—方法申請專利範圍 的情況下，f亥元件被列舉為一“步驟，，來取代一“動作”。 15 忒領域中具有通常知識者也能夠理解的是：在履行美 國的專利法規時，申請人已揭露附屬於本申請案之說明書 的任何各自㈣請專利範圍中所列舉的每—項發明的至： -授予權利及可行的實施例且在—些情況下只揭露一個。 20 為了降低專利申請案的長度及起草時間以及使本專利申請 案對於該(等)發明者或其他人較具有可讀性，中請人有時或 對本申請案通篇使用了限定動詞（例如“是，，、“做，，、“具有”' 包括”或類似物）及/或其他限定動詞（例如“產生，，、“致使，，、 “取樣”、“讀出’，或“發送信號，，類似物）或任何動名詞（例如 “使用”、“採取”、“保持，，、“使得，，或類似物），定義了本揭 露標的之一實施例的一特徵/元件、一動作或功能，以及/ 或者描述本揭露標的的一實施例之任何其他層面。無論這 種限定詞或片語或類似物在什麼地方被用以描述其中所揭 117 U04702 露之該-或多個實施例中任何一個的—層面你任何特 徵元件、系統、子系統、元件、子元件、程序或演算法 步驟、特定的材料或類似物），為了說明申請人已發明的標 的之範圍，其能夠在前面被加上下列限制片語中之一或多 5個或者全部”舉例而言，，、“例如”、“舉例來說,，、“僅說明 地，，、“僅透過說明的方式”而被讀出及被主張，以及/或者包 括下列片語中之任何-或多個或者全部：“可能是，，、“能夠 為”及類似物。所有這種特徵、科、步驟、材料及類似物 可被認為只是作為該一或多個被揭露的實施例之一可能的 層面來被☆述而不是作為任何_或多個實施例之唯一可能 的實施或者任何實施例之任何層面（部分或步驟），及/或所 主張之本發明的唯-可能的實施例，即便在履行該等專利 法規的需求時，申請人只揭露了所主張之標的一實施例之 任何此類層面或任何實施例的一個單一的可據以實施的範 Μ ^。除非在本巾請案或此中請案之書狀中被明確及特別地 這樣聲月·申清人認為所主張之標的的任何被揭露的實施 例之特定層面或任何特定的被揭露的實施例總共為一且 方式來實現所主張之標的或任何此類申請專利範圍 中所列舉的任何特徵或元件，否則申請人不打算使本專利 月案中所主張之標的的任何被揭露的實施例之任何被揭 路的層面的任何描述被解釋為實現所主張之標的及其任何 2面、特徵或元件的唯—方法，且因此不打算限制任何申 。月專利範圍，該申請專利範圍廣泛得足以涵蓋任何此類被 I露的實施連同所主張之標的的其他可能的實施例，以及 118 1364702 5 15 20 分別涵蓋此類被揭露的實施例之被揭露的層面、特徵或元 件。申請人特別、明確並毫不含糊地打算使任何申請專利 範圍(其具有附4於它的-附射請專利制，該附屬的申 :專利範®具有其直接或間接誠的該或該等母_請專利 範圍令所列舉的標的之任何特徵、元件、步鄉、層面或類 似物的任何進-步細節）能夠被解釋為意指該⑻母申請專 鄉圍中的列舉廣泛到足以涵蓋進一步的細節連同其他實 X進纟的細即並非是實施任何此類母申請專利範圍 張㈣面、或元件的唯—方法㈣此也 异使任何此類附屬申請專利範圍中的層 進該各自的|由▲主击立，伙 亏傲^凡件項 範圍之較廣泛制任何此類母，請專利 請專利範时所列舉的進⑽包括_屬的申 【阐式簡單說明】 ^圖以方塊圖形式概要地舉例顯示根露 的—實施例之層面的一主系統控制器(“MSC”）；標的 ^圖關要的方塊圖形式舉例顯示 的—實施例之層面的一獄之-部分的層面；胃心的 ^圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據 第=L之要一MSC之—部分的一架構邏輯圖 的_絲_械麻揭露t 的實施例之層面的一 MSC之 襟的 程序圖； 心的-伺服器常駐程式 的 第5圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標 119 1364702 的一實施例之層面的.一MSC之一部分； 第6圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分； 第7圖以概要的方塊圖形式舉例顯不根據本揭露標的 5 的一實施例之層面的一系統之一範例； 第8圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分的一架構部署圖； 第9圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一伺服器常駐程式訊息迴圈； 10 第10圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 一訊息表； 第11圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 一訊息表； 第12A及第12B圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據 15 本揭露標的的一實施例之層面的UML圖； 第13圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一UML圖； 第14 A及第14 B圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據 本揭露標的的一實施例之層面的UML類別圖； 20 第15圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的UML類別圖； 第16圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的UML類別圖； 第17圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 120 1364702 可被使用的：τ說明性圖形使用者介面螢幕； 第18圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第19圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 5 的一實施例之層面的一MSC之一部分； 第20Α-Β圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層 面，可被用以實現中性語言格式到裝置語言格式的轉換的 資料庫及腳本程式碼； 第21圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 10 的一實施例之層面的一MSC之一部分； 第22圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第23圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 15 第24圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第25圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第26圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 20 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第27圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第28圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 121 1364702 第2 9圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第30圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 5 第31圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第32圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第33圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 10 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第3 4圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第35圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 15 第3 6圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第37圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第38圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 20 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第3 9圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 第4 0圖舉例顯示根據本揭露標的的一實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面螢幕； 122 1364702 第則舉例顯示根據本揭霧標的的—實施例之層面的 可被使用的一說明性圖形使用者介面榮_幕. 第42A-E圖以方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的的 一實施例之層面的陣列資料庫表； 5 帛43A_C®以概要的方_形式舉_絲據本揭露 標的的一實施例之層面的一 MSC之一部分； 第44圖以概要的方塊圖形式舉例顯示根據本揭露標的 的一實施例之層面的一MSC之一部分。 【主要元件符號說明】 10.. .主系統控制器/MSC系統 20. · .MSC系統伺服器/祠服器常駐程式程序/外部伺服器/常駐程式程序 後端伺服器處理/資料庫伺服器 22.·.OEM唯讀綱目資料庫 24…MSC讀寫綱目資料庫 30.. .MSC工作管理器 32…專案/工作排程器或者MSC工作排程器 34…安全月_ 40…圖形使用者介面/GUI用戶端/前端GUI處理 42…工作處理子系統/MSC工作處理器 5〇…狀態管理器 60· · .UI通訊管理器/U!控制通訊管理器/uj狀態通訊管理器 80· ·.顧客製造執行系統/MES介面 123 1364702 100.. .伺服器通訊管理子系統/添加工作到佇列螢幕 102.. .編輯按紐 104…選擇切換 106.. .列表 108.. .0.按紐 110.. .資料倉儲/取消按紐 112…登錄器 120.. .襄置驅動器介面 120a···裝置驅動器 120b，332’-342’·..裝置 230.. .批次管理子系統/批次管理器模組 232.. .配方管理子系統/配方管理器模組 234.. .安全管理子系統 236.. .專案管理子系統/專案管理器模組 240.. .程序管理子系統 250…事件管理子系統 270.. .系統組態管理子系統 280.. .工作流程引擎子系統/工作流程管理器模組 290.. .報告管理子系統/報告管理器模組 300.. .邏輯圖 310.. .MSC工作管理器 124 1364702 312!..工作處理器元件 314.. . Python命令解譯器 316.. .MSC命令程式館管理器 320.. .資料物件管理器 330.. .雷射介面 332.. .平台介面 334.. .主分配盒介面 336.. .光束穩定控制器介面 338.. .衰減器介面 340.. .子系統n-1介面 342.. .子系統η介面 330’...雷射裝置 334，. ..MD 盒 336’...BSC 裝置 338’...衰減器 350.. .MSC狀態管理器 370.. .UI通訊管理器/UI控制通訊管理器 370’...UI狀態通訊管理器 380.. .專案/工作排程器 390…安全月晒 400.. .MES 介面 125 1364702 410.. .命名月艮矛务 420…資料存取月^·元件 430…執行緒服務 440…訊息服務 500.. .批次管理元件 510…配方管理器/配方管理元件 520.. .專案管理器/專案管理系統元件 530.. .工作/程序管理器或程序管理元件 540…伺服器控制通訊管理器 550.. .狀態/事件管理器 560.. .伺服器狀態通訊管理器 570.. .系統組態管理器模紐7系統組態管理元件 580…安全管理器/安全管理元件 590…工作流程引擎 600.. .報告管理系統/報告管理器/報告管理元件 610…資料存取月呀务 650…伺服器常駐程式程序圖 660…訊息佇列 670.. .訊息幫浦 680…資料圖 700…照射處理系統 126 1364702 710.. .雷射裝置控制器 720.. .工作平台控制器 800.. .部署圖 810.. .雙處理器Linux系統 814.. .LAN 開關 820.. . Cisco VPN PIX 防火牆
824.. .COLDAS 830.. .光束度量單元/光束度量裝置模組 840.. .Lantronicsi莫組/Lantronics TCP/IP 介面 902…外部通訊處理 904.. .ECP Gem 介面/GEM 程式館 906.. .常駐程式程序資料及訊息處理/資料及訊息映射處理 908.··診斷資料分析處理 910.. .主機系統/工廠主機 2000.·.“配方”介面螢幕 2000’，205 卜 2053，2056-2058，2107，2010-2012，2130，2204，2210， 2216-22卜 2310，2314…視窗 2002…“產生”胁 2004.. .“修改”按紐/“參數”顯示 2006.. .“影像”顯示/“影像”欄標 2008·..“名稱’方框 127 1364702 2020.. “參數”列表 2022.. “數值”列表 2024.. .“刪除”按紐 2026…“匯入，，按紐 2028.. .“匯出”按钮 2030…配方列表 2032.. .“複製”按钮 2034.. .“貼上”按紐 2050，2050’...營幕 2052.. .專案名稱方框 2054.. .專案描述方框 2060.. .標準檢視 2062…自訂檢視 2070.. .雷射控制的控制範本 2072.. .方塊 2074-2078，2084-2086，2094，2312，2316，2318，2320···方框 2080.. .雷射診斷的診斷範本 2082…雷射檢查模式資訊方框 2090.. .雷射下載的下載範本 2092.. .預先執行的資訊方框 2100.. .狀態視窗 128 1364702 2102…“開始”餘 2104.. .圖形表示 2106.. .工作佇列 2108…剩餘工作 2110.. ·“工作”螢幕 2114··.“停止”按紐 2120.·.“停止”模式選擇鈕
2122.. .“連續”模式選擇鈕 2132-2138，2200-2200”，2400’…螢幕 2140.. .選取列表 2142.. .時序選擇方框/視窗/維護排程 2144.. .排程視窗/工作佇列 2144，-2144，”···排程視窗 2146··.“刪除”鍵
2150.. .“應用”按紐 2152.. .“取消”按紐 2156.. .“修改”按紐 2160.. .GUI 螢幕 2202…檢視模式/視窗 2206…模組元件/視窗 2208…元件性質/視窗 129 1364702 2300.. .角色螢幕 2300’...使用者螢幕 2400.. . GUI顯示器“主”螢幕 2402.. .系統狀態/視窗 2404.. .目前最近的警報的指示/視窗 2406.. .系統狀況的指示/顯示視窗 2410.. .當時登入者的角色的指示 2412".選擇独 2414…登錄及幫助功能_ 2418.. .使用者ID號 2500.. .0.M_ 表單表 2502.. .OEM_表單_變數表 2504.. .MSC_裝置_變數表 2506.. .MSCJag_ 變數表 2508…MSC_water_ 資料表 2510.. .1.8(：_112_資料表 2520.. . MSCJ|_型光束_標頭表 2522.. . MSCJ|_型光束_資料表 2524…MSCJ^型光束_計算表 2530.. . MSC_原始光束_標頭表 2532.. . MSC_原始光束_計算表 130 1364702 2534.. . MSC_原始光束_資料表 2540.. .oem—專案表2540 2542…oem_專案—變數表 2544…oem一任務表2544 2546…oem_專案_任務表 2548.. .msc_專案_任務表
2550.. .msc_ 專案表 2552".msc_專案_登錄表 2560.. .oem—任務—變數表 2564…mscji宁列_狀態表 2566.. .msc_任務_變數表 2570.. .oem_ 裝置表 2572.. .oem_錯誤表
2574.. .oem_命令_查詢表 2576…oem_裝置_變數表 2578.. . oemjRM_命令表 2580.. .0.m_裝置_命令表 2582.. .0.m_ 警告表 2590.. .msc_：L作表 2592.. . msc_批次表 2594.. .msc_批次_齡彔表 131 2596.. .1.(：_批次_變數表 2600.. . msc_ 配方表 2602".msc_配方_登錄表 2604.. .1118〇_配方_變數表 2606.. .1118._批次_配方表 2610.. .oemjR態表 2612.. . oemjR 態_細節表 2614"雇_狀態_參數表 2616.. .msqjyt態表 2620."oem_j&本表 2622".msc」宁列表 2624".msc_^lt 表 2626…msc_air_資料表 2634.. .msc_alt_/^料表 2636.. 2638.. .msc_影像_變數表 2640".msc_影像_登錄表 3000.. .組織階層 3002.. .MSC物件模組 3004.. .MSC執行緒模組 3006.. .MSC訊息幫浦模組 1364702 3009.. . MSC工作管理器模組 3010.. . MSC# 程模組 3012…MSC任務模組 3014.. .MSC影像模組 3016.. .MSC批次模組 3018.. .MSC專案模組 3020.. .MSC工作模組
3022.. .MSC配方模組 3024.. .MSC訊息模組 3032.. .MSC裝置介面模組 3034.. .MSa衫务模組 3036.. .MSC UI通訊管理器模組 3038.. .MSC工作處理器模組 3039". MSC訊息佇列模組
3040.. .MSC狀態管理器模組 3041.. .MSC工作排程器模組 3042". MSC#程計時模組 3043 ...MSC訊息迴圈模組 3044.. .MSC工作佇列模組 3050.. .MSC命名模組 3052.. .MSC物件映射模組 133 1364702 3054.. . MSC裝置介面模組 3056.. .MSC資料格式化器 3060.. .MSC資料存取服務模組 3062.. .MSC通訊模組 3064.. . MSC結果設定模組 3066.. .MSC安全月Si务模組7安全管理器模組 3068.. .MSC MES 介面模組 3082.. .MSC插座模組 3084.. .MSC用戶端插座模組 3086.. . MSC伺服器插座模組 3088.. . MSC使用者介面通訊模组/MSC GUI通訊管理器 3090.. .MSC裝置介面模組 3092.. . MSC通訊介面模組 3096.. .額外的MSC裝置介面模組 3098.. .MSC平台介面模組 3100.. . MSC雷射介面模組 3102.. .MSC MD盒介面模組 3120.. .MSC命令解譯器模組 3122.. 以8(：狀態迴圈模組/1>^〇11〇11解譯器模組 3124，3154...MSC資料物件管理器模組 3130，3154...MSC命令程式館管理器模組 1364702 3132.. .MSC命令回呼模组/ MSC系統命令回呼模組 3134.. . MSC資料命令回呼模組 3136.. . MSC裝置命令回呼模組 3152.. . MSC資料物件管理器模組 3158.. . MSC命令解譯器模組
135
Claims (1)
1364702 十、申請專利範.圍： 1. 一種脈衝式深紫外線(DUV)工件處理裝置，用於發射光 來照射載於一工作台上的工件而使該工件上的—材料 結晶化，包含一脈衝式雷WDUV光源及一光學元件串， 該光學元件串產生寬度非常窄且非常細長的一束光脈 衝，該束光脈衝具有一組在一脈衝對脈衝基礎上需要被 維持在一各自被選擇的窄範圍的值内的參數，包含： 一雷射控制器； 一工作台控制器； ίο 一系統控制器，接收來自一顧客配方控制命令產生 器的程序配方控制要求並提供控制信號給該雷射控制 器及該工作台控制器，包含： 一資料庫驅動程序控制器，包含： 2·如申請專利範圍第1項所述之裝置’更包含 使用者間的程序控制客制化。 -貝料庫’包含可由__使用者透過—外部 使用者介面來選擇的-般程序命令步驟。 解課益，將透過該外部程序使用者介面而被 置，更包含：
如申請專利範圍第1項所述之裝 如申料㈣圍第！項所述之裝置，更包含： 一個或多個各自的一般腳本。 〒述之裝置，更包含： 136 丄364702 一工作流程引擎，向使用者指出可由該使用者根據 儲存於OEM資料庫中的任務從該OEM資料庫中選擇的 程序命令步驟。 6.如申請專利範圍第2項所述之裝置，更包含： 一工作流程引擎’向使用者指出可由該使用者根據 儲存於〇EM資料庫中的任務從該〇£河資料庫中選擇的 程序命令步驟。 7·如申請專利範圍第3項所述之裝置，更包含： 一工作流程引擎’向使用者指出可由該使用者根據 儲存於OEM資料庫中的任務從該〇EM資料庫中選擇的 程序命令步驟。 8·如申請專利範圍第4項所述之裝置，更包含： 一工作流程引擎，向使用者指出可由該使用者根據 儲存於OEM資料庫中的任務從該0EM資料庫中選擇的 程序命令步驟。 9’如申請專利範圍第1項所述之裝置，更包含： 一程序伺服器，對來自包含該雷射控制器及該工作 台控制器的一群組中的一裝置之一控制器執行一命令； 一圖形使用者介面（GUI)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序伺服器。 1〇.如申請專利範圍第2項所述之裝置，更包含： 一程序伺服器，對來自包含該雷射控制器及該工作 台控制器的一群組中的一裝置之一控制器執行一命令· 一圖形使用者介面（GUI)用戶端，輸入來自使用者 137 的配方定義並發送使用者命令給該程序伺服器。 U.如申請專利範圍第3項所述之裝置，更包含： 一程序伺服器，對來自包含該雷射控制器及該工作 台控制器的—群組中的—裝置之-控制器執行一命令； 一圖形使用者介面（GUI)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序伺服器。 U如申請專利範圍第4項所述之裝置，更包含： 10 一程序伺服器，對來自包含該雷射控制器及該工作 口控制器的—群組令的一裝置之一控制器執行一命令； —圖形使用者介面（GUI)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序伺服器。 13.如申請專利範圍第5項所述之裝覃，更包含： 15 一程序伺服器’對來自包含該雷射控制器及該工作 台控制器的—群組中的-裝置之—控制器執行-命令； —圖形使用者介面_)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序词服器。 14’如申請專利範圍第6項所述之裝置，更包含： 20 —程序词服器’對來自包含該雷射控制器及咳工作 台控制器的-群組中的-裝置之-控制器執行—命令； 一圖形使用者介面(GUI)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序饲服器。 15.如申請專利範圍第7項所述之裝置，更包含.° 。控制㈣-群組中的一裝置之一控制器執行一命令; 138 1364702 一圖形使用者介面（GUI)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序伺服器。 16.如申請專利範圍第8項所述之裝置，更包含：
一程序伺服器，對來自包含該雷射控制器及該工作 台控制器的一群組中的一裝置之一控制器執行一命令； 一圖形使用者介面（GUI)用戶端，輸入來自使用者 的配方定義並發送使用者命令給該程序伺服器。 如申請專利範圍第9項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端包含： 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 如申請專利範圍第10項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端包含： 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 19. 如申請專利範圍第11項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端包含： 20 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 20. 如申請專利範圍第12項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端包含： 139 1364702 -·顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 21. 如申請專利範圍第13項所述之裝置，更包含： 5 該GUI用戶端包含： 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 22. 如申請專利範圍第14項所述之裝置，更包含： 10 該GUI用戶端包含： 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 23. 如申請專利範圍第15項所述之裝置，更包含： 15 該GUI用戶端包含： 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 24. 如申請專利範圍第16項所述之裝置，更包含： 20 該GUI用戶端包含： 一顯示器，顯示來自包含該雷射及工作台的一群組 之至少一裝置的狀態以及/或者該工件上的結晶過程的 狀態。 25. 如申請專利範圍第17項所述之裝置，更包含： 140 1364702 ..·該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系.統介-面· ' 進行通訊。 • 26.如申請專利範圍第18項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面 . 5 進行通訊。 ' 27.如申請專利範圍第19項所述之裝置，更包含： " 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面 進行通訊。 • 28.如申請專利範圍第20項所述之裝置，更包含： 10 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面 進行通訊。 29.如申請專利範圍第21項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面進 行通訊。 15 30.如申請專利範圍第22項所述之裝置，更包含： ' 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面 •- 進行通訊。 - 31.如申請專利範圍第23項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面 20 進行通訊。 32. 如申請專利範圍第24項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端經由一介面與一製造執行系統介面 進行通訊。 33. 如申請專利範圍第25項所述之裝置，更包含： 141 1364702 一 OEM唯讀資料庫〃·'包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 方定義。 5 34.如申請專利範圍第26項所述之裝置，更包含： 一OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 方定義。 10 35.如申請專利範圍第27項所述之裝置，更包含： 一OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 方定義。 15 36.如申請專利範圍第28項所述之裝置，更包含： 一 OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 方定義。 20 37.如申請專利範圍第29項所述之裝置，更包含： 一 OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 方定義。 142 1364702 38.如申請專利範圍第3.0項所述之裝置，更包含： • 一OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 • 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 . 5 方定義。 ' 39.如申請專利範圍第31項所述之裝置，更包含： • 一OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； • 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 10 方定義。 40.如申請專利範圍第32項所述之裝置，更包含： 一OEM唯讀資料庫，包含該OEM所供應的唯讀任 務定義； 一主系統控制器讀寫資料庫，包含使用者提供的配 15 方定義。 ' 41.如申請專利範圍第33項所述之裝置，更包含： ® - 該OEM資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 - 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 一命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資料 20 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的—— 般命令組合。 42.如申請專利範圍第34項所述之裝置，更包含： 該OEM資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 143 1364702 一命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資料 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的一一 般命令組合。 43.如申請專利範圍第35項所述之裝置，更包含： 5 該OEM資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 一命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資料 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的—— 般命令組合。 10 44.如申請專利範圍第36項所述之裝置，更包含： 該Ο E Μ資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 一命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資料 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的一一 15 般命令組合。 45. 如申請專利範圍第37項所述之裝置，更包含： 該OEM資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 一命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資料 20 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的-- 般命令組合。 46. 如申請專利範圍第38項所述之裝置，更包含： 該Ο E Μ資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 144 1364702 •.一-命令解譯器，將儲存於主系統控制器(MSC)資料 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的一― . 般命令組合。 47·如申請專利範圍第39項所述之裝置，更包含： • 5 該0EM資料庫包含在程序控制㈣可被該程序词 . 服器使用的巨集或腳本形式的-般任務定義； 命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資料 庫中的一使用者輸入參數與來自該OEM資料庫的-- 般命令組合。 10 48.如申請專利範圍第4〇項所述之裝置，更包含： 忒OEM資料庫包含在程序控制期間可被該程序伺 服器使用的巨集或腳本形式的一般任務定義； 命令解譯器，將儲存於主系統控制器（MSC)資 料庫中的一使用者輸入參數與來自該〇EM資料庫的一 15 一般命令組合。 ^ 49·如申請專利範圍第41項所述之裝置，更包含： 該輪入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該〇£河資料庫中的一腳本内。 5〇·如申凊專利範圍第42項所述之裝置，更包含： 20 該輪入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該OEV[資料庫中的一腳本内。 51.如申請專利範圍第43項所述之裝置，更包含： 該輪入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該OEM資料庫中的一腳本内。 145 1364702 52. 如申請專利範-野嘌44項所述之裝置，更包含： 該輸入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該OEM資料庫中的一腳本内。 53. 如申請專利範圍第45項所述之裝置，更包含： 5 該輸入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該OEM資料庫t的一腳本内。 54. 如申請專利範圍第46項所述之裝置，更包含： 該輸入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該OEM資料庫中的一腳本内。 10 55.如申請專利範圍第47項所述之裝置，更包含： 該輸入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 般命令被包含在該OEM資料庫中的一腳本内。 56. 如申請專利範圍第48項所述之裝置，更包含： 該輸入參數先前被儲存於該MSC資料庫中且該一 15 般命令被包含在該OEM資料庫中的一腳本内。 57. 如申請專利範圍第41項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 一子系統包含一訊息佇列及訊息迴圈； 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 20 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 58. 如申請專利範圍第42項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 一子系統包含一訊息 <宁列及訊息迴圈； 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 1364702 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 - ' 59.如申請專利範圍第43項所述之裝置，更包含： • 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 一子系統包含一訊息佇列及訊息迴圈； . 5 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 ' 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 ' 60.如申請專利範圍第44項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 φ 一子系統包含一訊息佇列及訊息迴圈； 10 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 61.如申請專利範圍第45項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 一子系統包含一訊息佇列及訊息迴圈； 15 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 ' 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 ® · 62.如申請專利範圍第46項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 一子系統包含一訊息佇列及訊息迴圈； 20 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 63.如申請專利範圍第47項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 一子系統包含一訊息仔列及訊息迴圈； 147 1364702 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 64. 如申請專利範圍第48項所述之裝置，更包含： 與該程序伺服器通訊的複數個程序控制子系統，每 5 一子系統包含一訊息仵列及訊息迴圈； 與每一訊息佇列及訊息迴圈相關聯的一訊息幫 浦，使該各自子系統的存取串聯化。 65. 如申請專利範圍第49項所述之裝置，更包含： 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 10 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 66. 如申請專利範圍第50項所述之裝置，更包含： 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 15 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 67. 如申請專利範圍第51項所述之裝置，更包含： 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 20 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 68. 如申請專利範圍第52項所述之裝置，更包含： 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 148 1364702 <-- 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 • 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 • 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 69.如申請專利範圍第53項所述之裝置，更包含： 5 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 m " 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 • 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 • 70.如申請專利範圍第54項所述之裝置，更包含： 10 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 71. 如申請專利範圍第55項所述之裝置，更包含： 15 一裝置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 •組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 ® - 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 ' 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 72. 如申請專利範圍第56項所述之裝置，更包含： 20 一農置介面，與來自包含該雷射及該工作台的一群 組之至少一裝置通訊並使用一語言轉換器，該語言轉換 器將該通訊從該命令解譯器内所使用的一中性語言格 式轉換為一裝置特定的裝置語言格式。 73. —種脈衝式深紫外線(DUV)工件處理裝置，用於發射光 149 來照射載於一工作台上的工件而使該工件上的一·.材哪Γ 結晶化，包含一脈衝式雷射DUV光源及一光學元件串， 該光學元件串產生寬度非常窄且非常細長的一束光脈 衝’該束光脈衝具有一組在一脈衝對脈衝基礎上需要被 維持在—各自被選擇的窄範圍的值内的參數，包含： 一雷射控制器； 一工作台控制器； 系統控制器，在一各自獨立的程序中執行一各自 10 的任務以便以單個執行緒或以多個非 來铯m t 卜丹進入的執行緒 水編碼一任務。 74’如申請專利範圍第73項所述之裳置，更包人. 該各自的任務包含核心任務，每― 程序内_欠6 . 00 ^心任務在單個 序内各自的執行緒中以早個執行綠執4_。 75·如申請專利範圍第Μ項所述之 订 15 Λ* 更包含： 母一執行緒具有一各自的訊息繫 阻斷地存取-各自的任務。 自來按順序且無 76. 如申請專利範圍第74項所述之裝 卜 更包含： 母一執行緒具有一各自的訊息 阻斷地存取—各自的任務。。 &來按順序且無 20 77. 如申睛專利範圍第75項所述之裝置 該訊息幫浦，包含： 包含： 一訊息佇列及一訊息迴圈。 78. 如申凊專利範園第73項所述之裝置，更勺八 處理錯誤的系統處理器。 3 150 1364702 79.如申請專利範圍第74項所述之裝置，更包含:： • 處理錯誤的系統處理器。 • 80.如申請專利範圍第75項所述之裝置，更包含： 處理錯誤的系統處理器。 . 5 81.如申請專利範圍第76項所述之裝置，更包含： " 處理錯誤的系統處理器。 82.如申請專利範圍第77項所述之裝置，更包含： 處理錯誤的系統處理器。 • 83.如申請專利範圍第78項所述之裝置，更包含： 10 系統處理器訊息被利用該訊息幫浦來處理。 84. 如申請專利範圍第79項所述之裝置，更包含： 系統處理器訊息被利用該訊息幫浦來處理。 85. 如申請專利範圍第80項所述之裝置，更包含： 系統處理器訊息被利用該訊息幫浦來處理。 15 86.如申請專利範圍第81項所述之裝置，更包含： ' 系統處理器訊息被利用該訊息幫浦來處理。 ® - 87.如申請專利範圍第82項所述之裝置，更包含： - 系統處理器訊息被利用該訊息幫浦來處理。 88. —種脈衝式深紫外線(DUV)工件處理裝置，用於發射光 20 來照射載於一工作台上的工件而使該工件上的一材料 結晶化，包含一脈衝式雷射DUV光源及一光學元件串， 該光學元件串產生寬度非常窄且非常細長的一束光脈 衝，該束光脈衝具有一組在一脈衝對脈衝基礎上需要被 維持在一各自被選擇的窄範圍的值内的參數，包含： 151 1364702 一雷射控制器； 一工作台控制器； 複數個處理裝置，由一系統裝置管理器使用至少兩 個獨立作用的執行緒來控制，其中一個包含到每一處理 5 裝置的一裝置介面。 89.如申請專利範圍第88項所述之裝置，更包含： 該兩個獨立作用的執行緒包含與所有該等各自的 裝置相關聯的一控制執行緒以及與所有該等各自的裝 置相關聯的一診斷執行緒。 10 90.如申請專利範圍第88項所述之裝置，更包含： 每一獨立作用的執行緒包含一獨立的通訊通道。 91. 如申請專利範圍第89項所述之裝置，更包含： 每一獨立作用的執行緒包含一獨立的通訊通道。 92. 如申請專利範圍第88項所述之裝置，更包含： 15 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 93. 如申請專利範圍第89項所述之裝置，更包含： 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 94. 如申請專利範圍第90項所述之裝置，更包含： 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 20 95.如申請專利範圍第91項所述之裝置，更包含： 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 96. 如申請專利範圍第92項所述之裝置，更包含： 該等裝置命令對應於高階動作。 97. 如申請專利範圍第93項所述之裝置，更包含： 152 1364702 該等裝置命今對應於高階動作。 ' 98.如申請專利範圍第94項所述之裝置，更包含： • 該等裝置命令對應於高階動作。 99.如申請專利範圍第95項所述之裝置，更包含： , 5 該等裝置命令對應於高階動作。 ' 100.如申請專利範圍第9項所述之裝置，更包含： ' 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 • 101.如申請專利範圍第10項所述之裝置，更包含： 10 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 102.如申請專利範圍第11項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 15 103.如申請專利範圍第12項所述之裝置，更包含： ' 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 ® - 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 - 104.如申請專利範圍第13項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 20 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 105. 如申請專利範圍第14項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 106. 如申請專利範圍第15項所述之裝置，更包含： 153 1364702 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 107. 如申請專利範圍第16項所述之裝置，更包含： 該GUI用戶端在發送使用者命令到該程序伺服器 5 之前將配方定義作為參數儲存在該MSC資料庫中。 108. 如申請專利範圍第57項所述之裝置，更包含： 一訊息佇列及一訊息迴圈。 109. 如申請專利範圍第58項所述之裝置，更包含： 一訊息仵列及一訊息迴圈。 10 110.如申請專利範圍第59項所述之裝置，更包含： 一訊息佇列及一訊息迴圈。 111. 如申請專利範圍第60項所述之裝置，更包含： 一訊息佇列及一訊息迴圈。 112. 如申請專利範圍第61項所述之裝置，更包含： 15 一訊息佇列及一訊息迴圈。 113. 如申請專利範圍第62項所述之裝置，更包含： 一訊息佇列及一訊息迴圈。 114. 如申請專利範圍第63項所述之裝置，更包含： 一訊息仵列及一訊息迴圈。 20 115.如申請專利範圍第64項所述之裝置，更包含： 一訊息佇列及一訊息迴圈。 116.如申請專利範圍第88項所述之裝置，更包含： 該至少兩個獨立作用的執行緒包含一或多個獨立 作用的執行緒，每一個作為到該等處理裝置中之各自一 154 1364702 -一 個的一獨立裝置介面。 卜二 117. 如申請專利範圍第116項所述之裝置，更包含： 該至少兩個獨立作用的執行緒包含與該各自的裝 置相關聯的一各自的控制執行緒以及與該各自的裝置 5 相關聯的一各自的診斷執行緒。 118. 如申請專利範圍第116項所述之裝置，更包含： 每一獨立作用的執行緒包含一獨立的通訊通道。 119. 如申請專利範圍第117項所述之裝置，更包含： 每一獨立作用的執行緒包含一獨立的通訊通道。 10 120.如申請專利範圍第116項所述之裝置，更包含： 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 121. 如申請專利範圍第117項所述之裝置，更包含： 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 122. 如申請專利範圍第118項所述之裝置，更包含： 15 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 123. 如申請專利範圍第119項所述之裝置，更包含： 該系統控制器使用與裝置類型無關的一般裝置命令。 124. 如申請專利範圍第120項所述之裝置，更包含： 該等裝置命令對應於高階動作。 20 125.如申請專利範圍第121項所述之裝置，更包含： 該等裝置命令對應於高階動作。 126. 如申請專利範圍第122項所述之裝置，更包含： 該等裝置命令對應於高階動作。 127. 如申請專利範圍第123項所述之裝置，更包含： 25 該等裝置命令對應於高階動作。 155
Applications Claiming Priority (2)
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