CN115735306A - 用于光源的控制装置 - Google Patents

Abstract

一种控制光源的空闲模式的装置，该光源在生产模式期间产生供输出设备使用的生产光束。该装置包括：指令单元和与指令单元通信的空闲单元。指令单元被配置为创建包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定，在空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。集合中的每个属性可以被分配有在连续的值范围内的任何值。空闲单元被配置为与光源通信。空闲单元被配置为：从指令单元接收空闲计划；存储空闲计划；并且在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。

Description

用于光源的控制装置

相关申请的交叉引用

本申请要求于2020年6月24日提交的题为“CONTROL APPARATUS FOR AN OPTICALSOURCE”的美国申请No.63/043,301的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

所公开的主题涉及被配置为在空闲模式下控制或操作光源的装置。

背景技术

光刻是在诸如硅晶片之类的衬底上图案化半导体电路的过程。光源产生深紫外(DUV)光，该DUV光被用来曝光晶片上的光致抗蚀剂。DUV光是具有例如约100纳米(nm)至约400nm的波长的光。通常，光源是激光源(例如，准分子激光器)，而DUV光是脉冲激光束。来自光源的DUV光与投射光学系统相互作用，投射光学系统将光束通过掩模投射到硅晶片上的光致抗蚀剂上。以这种方式，一层芯片设计被图案化到光致抗蚀剂上。随后蚀刻和清洁光致抗蚀剂和晶片，然后重复光刻工艺。

发明内容

在一些总体方面，一种装置被配置为控制光源的空闲模式，该光源在生产模式期间产生生产光束以供输出设备使用。该装置包括：指令单元和与指令单元通信并被配置为与光源通信的空闲单元。指令单元被配置为创建包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定，在空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。集合中的每个属性能够被分配有在连续的值范围内的任何值。空闲单元被配置为：从指令单元接收空闲计划；存储空闲计划；并且在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。

实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，在空闲模式期间，光源可以产生脉冲空闲光束，并且该编码属性集合可以包括多个触发模式的序列，每个触发模式对脉冲空闲光束进行限定。每个触发模式可以包括以下中的一项或多项：空闲光束产生脉冲的速率；空闲光束的脉冲的能量；空闲光束的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的间隔；以及延长突发之间的间隔的停顿。

该编码属性集合可以包括以下中的一项或多项：电压，两个或更多腔室之间的放电定时目标；光源内的一个或多个属性或设置；以及提供给光源内的致动器的一个或多个信号。

空闲单元可以被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令：输出设备和除输出设备之外的实体。空闲单元可以被配置为在生产模式期间、在空闲模式期间或者在除生产模式和空闲模式之外的时间期间接收与空闲模式相关的命令。

该装置可以包括量测单元，该量测单元被配置为感测光源的一个或多个条件。指令单元可以与量测单元通信，该指令单元被配置为基于对来自量测单元的感测到的条件中的一个或多个的分析来创建空闲计划。

指令单元可以被配置为基于来自用户的输入来创建空闲计划。指令单元可以被配置为基于对光源的先前状态的分析来创建空闲计划。指令单元可以被配置为基于寻求优化或改进光源和输出设备中的一者或多者的性能的分析来创建空闲计划。指令单元可以被配置为基于包括确定光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度的分析来创建空闲计划。编码属性中的一个或多个的值的变化可以包括以下中的一项或多项：延长空闲光束的脉冲突发之间的间隔的停顿的变化；空闲光束产生脉冲的速率的变化；空闲光束的脉冲能量的变化；空闲光束的脉冲突发的总数的变化；以及每个突发内的脉冲数的变化。可以通过分析在光源在先前空闲模式下、在先前生产模式下或在先前空闲模式和先前生产模式两者下的操作期间从量测单元收集的数据来确定光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度。

在空闲模式期间，光源可以被配置为产生空闲光束或不产生光束。在空闲模式期间，光源可以产生未落在输出设备所需的生产属性集合内的脉冲空闲光束。

在其他总体方面，一种装置包括：光源；生产单元，该生产单元被配置为与光源通信；以及空闲单元，该空闲单元被配置为与光源通信。光源被配置为处于多个操作模式之一，该多个操作模式包括：生产模式，在生产模式下产生供输出设备使用的生产光束；以及空闲模式，在空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。生产单元被配置为在生产模式期间操作光源。空闲单元被配置为：在包括在光源的任何操作模式期间在内的时间下的任何时刻，接收空闲计划，该空闲计划包括编码属性集合，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定；在接收到指令后，向光源提供空闲计划，从而在空闲模式期间操作光源。

实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，光束可以是脉冲光束并且该编码属性集合可以包括多个触发模式的序列，每个触发模式对空闲脉冲光束进行限定。每个触发模式可以包括以下中的一项或多项：空闲光束产生脉冲的速率；空闲光束的脉冲的能量；空闲光束的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的间隔；以及延长突发之间的间隔的停顿。

该编码属性集合可以包括以下中的一个或多个：电压，两个或更多腔室之间的放电定时目标；光源内的一个或多个属性或设置；以及提供给光源内的致动器的一个或多个信号。

空闲单元可以被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令：输出设备和除输出设备之外的实体。空闲单元可以被配置为在生产模式期间、在空闲模式期间或者在除生产模式或空闲模式之外的时间期间接收与空闲模式相关的命令。

该装置可以包括量测单元，该量测单元被配置为感测光源的一个或多个条件。该装置可以包括与空闲单元和量测单元通信的指令单元，该指令单元被配置为创建空闲计划。

空闲计划的编码属性集合中的每个属性可以被分配有在连续的值范围内的任何值。

光源可以被配置为接受、处理和执行所提供的空闲计划，执行所提供的空闲计划包括执行在所提供的空闲计划内的相关联的触发模式。

生产单元可以是输出设备内的组件。

在其他总体方面，一种装置包括：多个光源，至少一个光源相对于输出设备处于服务中；生产单元；和空闲单元。每个处于服务中的光源被配置为处于多个操作模式之一，该多个操作模式包括：生产模式，在该生产模式下产生供输出设备使用的生产光束；空闲模式，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。生产单元被配置为与处于服务中的光源通信并在生产模式期间操作处于服务中的光源。空闲单元被配置为：在任何时刻，接收包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对一个或多个处于服务中的光源在空闲模式下的操作进行限定；在接收到命令后，向处于服务中的光源提供空闲计划，从而在空闲模式期间操作处于服务中的光源。

实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，空闲计划可以包括编码属性集合，这些编码属性一起对多个处于服务中的光源在空闲模式下的操作进行限定。空闲单元可以被配置为向多个处于服务中的光源中的每一个提供空闲计划，从而在相应的空闲模式期间操作处于服务中的光源。空闲单元可以被配置为向多个处于服务中的光源中的每一个提供空闲计划，从而在不同时刻处或在相同时间下或在重叠的时刻处在相应的空闲模式期间操作处于服务中的光源。

在空闲模式期间，处于服务中的光源可以产生脉冲空闲光束，并且编码属性集合可以包括多个触发模式的序列，每个触发模式对脉冲空闲光束进行限定。

空闲单元可以被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令：输出设备和除输出设备之外的实体。

该装置可以包括指令单元，该指令单元被配置为基于可编程指令集来创建空闲计划。

在其他总体方面，执行一种用于控制光源的模式的方法。该方法包括使得光源能够在生产模式下或在空闲模式下操作，在该生产模式下光源产生供输出设备使用的生产光束，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。该方法包括：在包括在生产模式下或在空闲模式下操作光源时在内的时间下的任何时刻，接收空闲计划，该空闲计划包括编码属性集合，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定。该方法还包括：在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。

实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，可以通过以下中的一个或多个方式向光源提供空闲计划：在中止光源在生产模式下的操作之后，基于所提供的空闲计划来开始光源在空闲模式下的操作；并且基于所提供的空闲计划，继续光源在空闲模式下的操作。

该方法可以包括存储空闲计划。该方法可以包括指使光源在空闲模式下操作，该指使步骤包括指使光源产生未落在输出设备所需的生产属性集合内的空闲光束或者不产生光束。该方法可以包括基于以下中的一项或多项来创建空闲计划：对光源的一个或多个感测到的条件的分析、来自用户的输入、对光源的先前状态的分析、寻求优化或改进光源和输出设备中的一者或多者的性能的分析、以及光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度。

可以通过以下方式来向光源提供空闲计划：向光源提供空闲计划，直到不再接收到命令。

在其他总体方面，执行一种用于控制光源的模式的方法。该方法包括使光源能够在生产模式下或在空闲模式下操作，在该生产模式下光源产生供输出设备使用的生产光束，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。该方法包括接收包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定。集合中的每个属性可以被分配有在一个范围内的任何值，并且不限于一组离散值。该方法包括：在接收到与空闲模式相关的命令时，向光源提供空闲计划。

实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，可以通过以下方式向光源提供空闲计划：在中止光源在生产模式下的操作之后，基于所提供的空闲计划来开始光源在空闲模式下的操作；以及基于所提供的空闲计划，继续光源在空闲模式下的操作。

该方法可以包括存储空闲计划。该方法可以包括指使光源在空闲模式下操作，该指使步骤包括指使光源产生未落在输出设备所需的生产属性集合内的空闲光束或者不产生光束。该方法可以包括基于以下中的一项或多项来创建空闲计划：对光源的一个或多个感测到的条件的分析、来自用户的输入、对光源的先前状态的分析、寻求优化或改进光源和输出设备中的一个或多个的性能的分析、以及光源对编码属性中的一个或多个的值变化的灵敏度。

附图说明

图1是包括指令单元和空闲单元的装置的框图，该装置被配置为在空闲模式下控制或操作光源，光源当在生产模式下操作时向输出设备提供生产光束；

图2A是图1的装置的框图，其中光源在生产模式下操作；

图2B是图1的装置的框图，其中光源在真正空闲模式下操作；

图2C是图1的装置的框图，其中光源在热空闲模式下操作；

图3是由装置创建并提供给光源的空闲计划的实现的示意图，该空闲计划提供关于在空闲模式下操作的指令；

图4是光源的实现的框图，并且还包括生产单元和量测单元，其中的一个或多个可以与装置通信；

图5是通用单元(其可以对应于指令单元、空闲单元、生产单元或量测单元)的实现的框图，该通用单元包括一个或多个模块；

图6是光源和输出设备的实现的框图，其中光源为双级光源；

图7是包括图1的指令单元和多个光源系统的装置的实现的框图，每个光源系统包括相对于相应输出设备而布置的相应光源；

图8是由图1的装置、图7的装置或图7的任何一个光源系统所执行的过程结合由图1、图4、图6和图7的任何一个光源所执行的过程的流程图；以及

图9是图1的装置在热空闲模式下操作的实现的框图。

具体实施方式

参见图1，装置100被配置为在空闲模式下控制或操作光源140。如图2A中所示，在生产时间期间，光源140在生产模式下操作，其中光源140产生生产光束160以供输出设备165使用并按需要由输出设备165使用。相比之下，存在输出设备165不需要生产光束160的空闲时间。在这些空闲时间期间，装置在空闲模式下操作光源140，其中不产生供输出设备165使用的生产光束160。图2B和图2C示出了用于空闲模式操作的两种可能配置。在图2B中，操作在空闲模式下的光源140不产生任何光束，并且这种模式可以被称为真正空闲模式。而在图2C中，操作在空闲模式下的光源140产生空闲光束162，并且这种模式可以被称为热空闲模式。空闲光束162具有可以变化的属性，并且在不同时间，这样的属性可能不对应于输出设备165所要求的生产属性集合或者可能在该生产属性集合的范围之外。

在空闲模式期间，光源140处于待机状态并准备好根据指令尽可能快地切换回到生产模式。装置100被配置为以尽可能减少光源140的磨损和退化的方式而在空闲模式下操作光源140。此外，装置100被配置为以将光源140保持在能够从空闲模式实现更快恢复的状态中的方式而在空闲模式下操作光源140。也就是说，装置100使得光源140能够更快速地从空闲模式转变到生产模式，但是仍然减少光源140的劣化。装置100可以防止光源140的计划外停机，并且还可以提高另外在光源140长时间不使用或停机之后可能会被降低的剂量稳定性。

装置100包括指令单元110，指令单元110被配置为创建空闲计划115，空闲计划115包括编码属性集合，这些编码属性一起对光源140在空闲模式下的操作进行限定。装置100包括与指令单元110通信的空闲单元120，空闲单元120被配置为与光源140通信。空闲单元120被配置为从指令单元110接收空闲计划115；并存储空闲计划115以供以后使用。

在一些实现中，空闲单元120和指令单元110中的一者或多者不同于光源140和输出设备165。在其他实现中，空闲单元120和指令单元110中的一者或多者被集成在输出设备165中。

指令单元110可以在任何合适的时间向空闲单元120提供空闲计划115，只要在光源140需要执行空闲计划115之前提供即可。如图2B和图2C中所示，指令单元110已将空闲计划115提供至空闲单元120或正向空闲单元120提供空闲计划115，并且空闲单元120在接收到与空闲模式相关的命令105后向光源140提供空闲计划115。空闲单元120被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令105：输出设备165和除输出设备165之外的实体。例如，人类操作员或另一计算机(诸如在输出设备165或指令单元110内)可以向空闲单元120提供命令105。此外，空闲单元120被配置为在生产模式期间、在空闲模式期间或在除了生产模式和空闲模式以外的时间期间接收与空闲模式相关的命令105。

光源140可以是产生脉冲生产光束160的脉冲光源。在生产模式下操作光源140至少部分地由于在高重复率和强脉冲功率下操作的要求而导致光源140内的组件的磨损。因此，光源140在生产模式下的操作也使用光源140内的大量资源。因此，当输出设备165不再需要生产光束160时，减少光源140的使用以防止光源140磨损太快是有意义的。另一方面，此时完全关闭光源140可能是不切实际的，因为这样做使得在一段时间不活动之后重新启动光源140(以返回到生产模式)会更加耗时。从光源140的完全关闭执行重新启动所损失的时间意味着操作输出设备165所损失的时间，这导致输出设备165的操作效率的损失。此外，当从完全生产模式转变到完全关闭或从一段时间不活动转变到完全生产模式时，光源140更可能遭受瞬态效应(操作参数的激增或尖峰)。因为这个原因，装置100以减少所使用的资源、减少瞬态效应、延长光源140的寿命的方式而在空闲模式下操作光源140，并且还将光源140维持在需要更少的时间来重新启动(即，返回到生产模式并准备好产生生产光束160)的状态。

瞬态效应常常是高度可变的，在一个光源140与另一个光源140之间不同，随时间变化，并且取决于该特定光源140的使用细节和历史。瞬态效应的表现也可以是可变的。还参考下面的图4和图6，瞬态效应包括：例如，激发机构441的效率(诸如电压效率)的变化，容纳增益介质442的一个或多个腔室中的能量突发瞬变的形状和大小的变化，生产光束160的光谱带宽的瞬变，生产光束160的波长的变化，生产光束160的其他属性(诸如指向、发散和束轮廓)的变化，对生产光束160的脉冲重复率的变化的可变灵敏度，以及热或温度瞬变。当光源140恢复生产模式并达到稳态操作时，这些表现中的一些展现出渐近行为。并且，每种表现的渐近行为可以以不同于其他表现的速率而收敛。

如下文更详细地讨论的，装置100至少部分地通过使用空闲计划115来实现有效的空闲模式并且更快速地返回到生产模式，在空闲计划115中，编码属性集合中的每个属性可以被分配有在连续的值范围内的任何值。可以认为编码属性集合在连续的值范围内是无限可编程的，并且每个属性都可以随时间进行调整或修改。换句话说，每个属性不限于一组不同的值，并且每个属性可以采取可以编程的任何值，其中唯一的限制是实际限制而不是理论限制。编码属性集合可以包括任意数目的触发模式，可以以任意顺序排列属性，可以随时改变触发模式的序列，属性或触发模式可以是可重复的。

参见图3，示出了空闲计划115的示例315，空闲计划315包括触发模式317i的序列316，其中i是任何正整数。每个触发模式317i包括编码属性集合，这些编码属性一起对脉冲空闲光束162进行限定。例如，序列316以以下触发模式开始：[FP1]：[FP2]：[FP1]：[FP3]：[FP3]：[FP1]。此外，空闲计划115的序列可以是可重入的，这意味着序列可以在正被执行时被中断，然后它可以在序列中它被停止的点处重新启动。或者，空闲计划115中的顺序可以重新启动，即每次进入空闲模式时从头开始。

每个触发模式317i包括例如以下中的一项或多项：空闲光束产生脉冲的速率；空闲光束的脉冲的能量；空闲光束的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的间隔；以及延长突发之间的间隔的停顿。在所示示例中，触发模式FPi可以由这些编码属性来给出：[CP1,CP2,CP3,CP4,CP5,CP6]，其中CP1对应于空闲光束162的脉冲突发的总数，CP2对应于产生空闲光束162的脉冲的重复率，CP3对应于空闲光束162的每个突发内的脉冲总数，CP4对应于突发之间的间隔，CP5对应于空闲光束162的目标能量，以及CP6对应于延长超过突发间间隔的时间停顿。

在一些实现中，该编码属性集合包括以下中的一项或多项：施加到光源140的激发机构(诸如光源440的激发机构441)的电压、在光源140的两个或更多腔室之间的放电定时或差分定时目标(诸如在图6的光源640中)；光源140内的一个或多个属性或设置；以及提供给光源140内的致动器的一个或多个信号(诸如提供给光源440的致动器信号445)。装置100可以在任何时间实现空闲计划115的创建，即使在光源140处于生产模式时(图2A)。在讨论光源140和输出设备165的结构之后，将在下面更详细地讨论装置100的附加特征和特性。

参见图4，光源140的实现440被示为同时在生产模式下操作。光源440包括激发机构441和由激发机构441可操作地控制的增益介质442。光源440被配置为在生产模式期间产生脉冲生产光束460。当光源440处于生产模式下时，激发信号443被施加到光源440并激发激发机构441。另一方面，光源440在空闲模式下操作，其中空闲单元120向光源440提供空闲计划115并且不产生供输出设备165使用的生产光束460，如上面关于图2B和图2C所述。当光源440处于空闲模式下(或不处于生产模式下)时，激发信号443不被施加到光源440并且激发机构441不被激发(诸如图2B中所示的空闲模式)，或者激发信号443在空闲计划115的控制下被施加(诸如图2C中所示的空闲模式)。

因此，当在空闲模式下时，激发信号443由空闲单元120生成，而当在生产模式下时，激发信号443由生产单元450生成。激发信号443是任何类型的信号，该信号足以使光源440生成生产光束460(以及当在空闲模式下操作时还生成空闲光束162)。

激发机构441响应于激发信号443来激发增益介质442。增益介质442是适合于在输出设备165处的应用所需的波长、能量和带宽下产生生产光束160的任何介质。例如，增益介质442可以是诸如气体或液体之类的流体、晶体、玻璃或半导体。

激发机构441是能够激发增益介质442的任何机构。例如，激发机构441可以是多个电极，其在由电极所界定的体积中产生放电，这样的放电激发增益介质442。激发信号443可以是例如电信号(诸如电压信号)或使附加元件(诸如电压或电流源)生成电信号的命令信号，该电信号被提供给激发机构441。激发信号443可以是随时间变化的直流(DC)电信号或交流(AC)电信号，诸如正弦波电压信号或方波电压信号。此外，空闲计划115中的一个或多个编码属性可以对应于激发信号443的属性，这样的属性包括时变信号的最大幅度、时变信号的平均幅度、时变信号的频率、时变信号的占空比和/或与时变信号相关的任何其他属性。在光源440是双级源的一些实现中(诸如图6中所示)，可以存在两组与相应增益介质442相关联的激发机构441。在这些实现中，可以存在两个激发信号442，每个激发信号被提供给激发机构441之一，并且差分定时装置被配置为控制两个激发信号442之间的相对定时。在这样的实现中，空闲计划115的一个或多个编码属性还可以对应于这两个激发信号442之间的相对定时。

光源440还可以包括光学元件的集合444，该集合444包括一个或多个光学设备，以用于与增益介质442所产生的光束相互作用、形成光束和调整光束。例如，这样的光学元件可以包括光谱特征选择装置，其被配置为调整光束460的至少一个光谱特征(诸如波长或带宽)。在一些实现中，光谱特征选择装置包括诸如棱镜、反射镜和衍射元件之类的光学组件。可以将一个或多个致动器信号445提供给与集合444内的光学元件相关联的致动器，从而控制光学元件的操作(例如，运动、几何布置或其他物理方面)。在生产模式期间，生产单元450可以向致动器供应致动器信号445。此外，空闲计划115中的一个或多个编码属性可以对应于致动器信号445的属性。

装置100的实现400被示为还包括量测单元451。量测单元451被配置为感测光源440的一个或多个条件。指令单元110与量测单元451通信。如下文进一步讨论的，指令单元110被配置为基于对来自量测单元451的感测到的条件中的一个或多个的分析来创建空闲计划115。此外，量测单元451还可以与生产单元450通信。

参见图5，每个单元525可以对应于指令单元110、空闲单元120、生产单元450或量测单元451，每个单元525可以包括以下模块中的任一个：电子处理模块526、计算机可读存储器模块527和输入/输出模块528。电子处理模块526包括适合用于执行计算机程序的一个或多个处理器(诸如通用或专用微处理器)以及任何一种数字计算机的任何一个或多个处理器。通常，电子处理器从只读存储器、随机存取存储器(RAM)或两者接收指令和数据。电子处理模块526可以包括任何类型的电子处理器，该电子处理器执行指令并访问被存储在存储器模块527中的数据。电子处理器还能够将数据写入到存储器模块427。

存储器模块527可以是诸如RAM之类的易失性存储器，或者是非易失性存储器。在一些实现中，存储器模块527包括非易失性和易失性部分或组件。存储器模块527可以存储在单元525的操作中使用的数据和信息。例如，空闲单元120内的存储器模块527可以存储从指令单元110接收的空闲计划115。作为另一个示例，生产单元450内的存储器模块527可以存储从光源440和/或输出设备165接收的信息。

输入/输出模块528是允许单元525与操作员、光源440、其他单元和/或在另一电子设备上运行的自动化过程交换数据和信号的任何种类的接口。例如，指令单元110可以通过指令单元110的输入/输出模块528来接收与空闲计划115相关的数据。在另一示例中，指令单元110可以接收来自光源440的数据和/或输出设备165。输入/输出模块528可以包括视觉显示器、键盘和通信接口中的一者或多者，诸如并行端口、通用串行总线(USB)连接和/或任何类型的网络接口，诸如例如以太网。输入/输出模块528还可以允许在没有物理接触的情况下通过例如IEEE 802.11、蓝牙或近场通信(NFC)连接来进行通信。

单元525通过相应的数据连接而被耦合到其他单元、光源440和/或输出设备165。这些数据连接可以是物理电缆或其他物理数据管道(诸如支持基于IEEE 802.3的数据传输的电缆)、无线数据连接(诸如经由IEEE 802.11或蓝牙来提供数据的数据连接)或有线和无线数据连接的组合。

虽然每个单元525(空闲单元120、指令单元110、生产单元450、量测单元451)被示为单独的实体，但是在一些实现中，一个或多个单元525可以被实现为其他组件(诸如光源440或输出设备165)或其他单元525的一部分。例如，在一些实现中，生产单元450是输出设备165内的组件或与输出设备165相关联的组件。

参见图6，光源140的实现640和装置100的实现600被示为光刻系统670的一部分。光源640产生脉冲生产光束660，脉冲生产光束660被提供给作为光刻曝光装置665的输出设备165。光源640例如是输出脉冲生产光束660(其可以是激光束)的准分子光源。当脉冲生产光束660进入光刻曝光装置665时，它被引导通过投射光学系统675并被投射到晶片676上以在晶片676上的光致抗蚀剂上形成一个或多个微电子特征。光刻系统670还包括生产单元350的实现650。在图6的示例中，生产单元650连接到光源640和光刻曝光装置665的组件。在此示例中，生产单元650可以接收与脉冲生产光束660相关的数据或来自光刻曝光装置665的其他信息，和/或可以向光刻曝光装置665发送命令。另外，生产单元650可以从量测单元651接收与光源640相关的数据。在其他示例中，生产单元650仅连接到光源640。

在图6中所示的示例中，光源640是两级激光系统，其包括向功率放大器(PA)643B提供种子光束645的主振荡器(MO)643A。MO 643A和PA 643B可以被认为是光源640的子系统或作为光源640的部分的系统。功率放大器643B从主振荡器643A接收种子光束645并且放大种子光束645以生成用于在光刻曝光装置665中使用的生产光束660。例如，主振荡器643A可以发射脉冲种子光束645，种子脉冲能量为每脉冲约1毫焦耳(mJ)，并且这些种子脉冲可以被功率放大器643B放大到大约10到15mJ。

主振荡器643A包括具有两个细长电极641A(其构成激发机构341)的放电腔室646A、作为气体混合物的增益介质642A、以及用于在电极641A之间循环气体的风扇。将谐振器形成在放电腔室646A的一侧上的光束转向器647A(其可以构成线变窄模块)和放电腔室646A的第二侧上的输出耦合器648A之间。线变窄模块647A可以包括诸如光栅之类的衍射光学器件，该衍射光学器件对放电腔室646A的光谱输出进行精细调谐。

光源640还包括光束耦合光学系统649，光束耦合光学系统649根据需要修改输出光束的尺寸或形状以形成种子光束645。

量测单元651可以包括接收输出光束(来自输出耦合器648A的种子光束645)的线中心分析模块。线中心分析模块是测量系统，其可以被用来测量或监测光谱特征，诸如种子光束645的波长。线中心分析模块可以被放置在光源640的其他位置，或者它可以被放置在光源640的输出处。

功率放大器643B包括光束耦合光学系统648B，光束耦合光学系统648B从主振荡器643A接收种子光束645并且将种子光束引导通过放电腔室646B并到达光束转向光学元件647B，光束转向光学元件647B修改或改变种子光束645的方向，使得它被送回到放电腔室646B中。放电腔室646B包括一对细长电极641B、作为气体混合物的增益介质642B和用于在电极641B之间循环气体混合物的风扇。

在相应的放电腔室646A、646B中使用的增益介质642A、642B的气体混合物可以是任何适合用于在输出设备(光刻曝光装置665)处的应用所需的波长和带宽处产生光束的气体。对于准分子源，气体混合物可以包含诸如例如氩气或氪气之类的惰性气体(稀有气体)、诸如例如氟气或氯气之类的卤素、以及除氦气和/或氖气之外的痕量氙气，作为缓冲气体。气体混合物的具体示例包括发射大约193nm波长的光的氟化氩(ArF)、发射大约248nm波长的光的氟化氪(KrF)或发射大约351nm波长的光的氯化氙(XeCl)。通过将电压643(激发信号343)施加到相应的细长电极641A、641B，准分子增益介质(气体混合物)在高压放电中被短(例如，纳秒)电流脉冲泵浦。

量测单元651还可以包括带宽分析模块652，其中可以测量光束660的各种参数(诸如带宽和/或波长的光谱特征)。输出光束660也可以被引导通过光束准备系统653。光束准备系统653可以包括例如脉冲展宽器，其中输出光束660的每个脉冲例如在光学延迟单元中在时间上被展宽，以调整撞击光刻曝光装置665的光束的性能属性。光束准备系统653还可以包括能够作用于光束660上的其他组件，诸如例如反射和/或折射光学元件(诸如例如透镜和反射镜)、滤光片和光学孔径(包括自动快门)。

生产光束660是脉冲光束并且可以包括在时间上彼此分离的一个或多个脉冲突发。每个突发可以包括一个或多个光脉冲。在一些实现中，突发包括数百个脉冲，例如100-400个脉冲。

如上面所讨论的，当通过向电极641A施加电压643A来泵浦增益介质642A(或642B)时，增益介质642A发射光。当以脉冲的形式将电压643A施加到电极641A时，从增益介质642A发射的光也被脉冲化。因此，脉冲的生产光束660的重复率由电压643A施加到电极641A的速率来确定，电压643A的每次施加产生光脉冲。光脉冲传播通过增益介质642A并通过输出耦合器648A离开腔室646A。因此，通过将电压643A周期性地、重复地施加到电极641A来产生脉冲串。脉冲的重复率可以在大约500Hz和6000Hz之间。在一些实现中，重复率大于6000Hz，并且例如可以是12000Hz或更高。

来自生产单元650的信号也可以被用来分别控制能量向主振荡器643A和功率放大器643B内的电极641A、641B的施加，以用于控制功率放大器643B和主振荡器643A的相应脉冲能量，并且因此，控制生产光束660的能量。在提供给电极641A的信号643A和提供给电极641B的信号643B之间可以有延迟。延迟量可以影响生产光束660的属性，诸如生产光束660的相干量或生产光束660的带宽。脉冲生产光束660可以具有在几十瓦的范围内的平均输出功率，例如从大约50W到大约130W。在输出处的光束660的辐照度(即，每单元面积的平均功率)可以在从60W/cm²到80W/cm²的范围内。

再次参见图1，如上面所讨论的，指令单元110创建空闲计划115，并将所创建的空闲计划115提供给与光源140相关联的空闲单元120。在接收到命令105后，空闲单元120向光源140提供空闲计划115，从而使光源140在空闲模式下操作，如图2B和图2C中所示。创建的空闲计划115可以被应用于多个不同的光源。这种布置的实现如图7中所示。在图7中，装置778包括指令单元110和三个光源系统778A、778B、778C，每个光源系统778A、778B、778C包括相应的光源740A、740B、740C。虽然在装置778中示出了三个光源系统778A、778B、778C，但是空闲计划115可以仅被应用于一个或两个或三个以上的光源系统。

每个光源740A、740B、740C可以随时相对于其相应的输出设备765A、765B、756C处于服务中。与光源140一样，每个光源740A、740B、740C被配置为处于多个操作模式之一，该多个操作模式包括：生产模式，在该生产模式下产生供输出设备765A、765B、756C使用的生产光束；以及空闲模式，在该空闲模式下不产生供输出设备765A、765B、765C使用的生产光束。在图7中所示的时间点，光源740A、740C正在空闲模式下操作并产生相应的空闲光束762A、762C，而光源740B在生产单元750B的控制下正在生产模式下操作并产生生产光束760B。

指令单元710将空闲计划715供应给每个相应的空闲单元720A、720B、720C(在空闲计划715由光源实现之前)。此外，空闲单元720A、720C已经接收到相应的命令705A、705C以向相应的光源740A、740C提供空闲计划715。空闲计划715可以在任何时间被提供给光源740A、740B、740C(在它已经被相应的720A、720B、720C接收之后)。例如，它可以同时被提供给两个或更多光源，诸如图7中所示，提供给光源740A、740C。或者，它可以在不同的时间被提供，诸如图7中所示，其中空闲计划715没有被提供给光源740B，而是被提供给光源740A、740C。以这种方式，空闲计划715是模块化的。

光源740A、740B、740C可以共享一些共同的属性，而一些属性可以是不同的。作为示例，指定触发脉冲重复率高达6000Hz的空闲计划715只能被应用于能够以6000Hz操作的光源，而不适用于实现重复率不大于4000Hz的光源。可能需要共享光源740A、740B、740C之间的一些其他属性，以便空闲计划715的模块化在所有三个光源740A、740B、740C之间工作。

参见图8，由装置100(或装置400)执行过程880以用于控制光源140(或任何光源440、640、740A、740B、740C)的操作模式。结合由光源140执行的过程890来执行过程880。

过程880包括创建空闲计划115(881)，空闲计划115包括一起对光源140在空闲模式下的操作进行限定的编码属性集合。过程880还包括：确定是否接收到命令105(882)，并且如果已经接收到命令105，则向光源14提供空闲计划115(883)。

过程890包括在生产模式下操作光源140，其中光源140正在产生供输出设备165使用的生产光束160(891)。过程890包括确定是否接收到空闲命令(892)。空闲命令是指使光源140在空闲模式下操作的命令，在空闲模式下不产生供输出设备165使用的生产光束160。此外，空闲命令(指使光源140在空闲模式下操作)由外部实体提供，诸如生产单元450或手动用户。为了使光源140能够在接收到空闲命令(892)时进入空闲模式，空闲计划115(883)的提供需要在接收到空闲命令(892)之前发生。

光源140在接收到空闲命令(892)后执行所提供的空闲计划115(893)。具体地，光源140基于所提供的空闲计划115来在空闲模式下操作(893)。另外，过程890还可以包括在空闲模式开始操作之前中止光源140在生产模式下的操作。例如，在892处接收到空闲命令后，光源140可以中止生产模式下的操作。当在空闲模式下操作时(893)，光源140确定是否接收到用以结束空闲模式操作的指令或命令(诸如来自生产单元450或用户)(894)，并且如果接收到这样的指令(894)，则光源确定是否接收到用以进入操作的生产模式的指令(895)。如果接收到用以进入操作的生产模式的指令(895)，则光源在生产模式下操作(891)。否则，过程890结束。

接下来讨论过程880和过程890的细节。特别地，光源140可以在生产单元450的控制下被启用为在生产模式下操作(891)。替代地，光源140可以在空闲单元120的控制下被启用为在空闲模式下操作(893)。在指令单元110创建空闲计划115之后(881)，空闲计划115可以被发送到空闲单元120并且由空闲单元120存储直到在空闲单元120处接收到命令105(882)。空闲单元120可以从以下中的一者或多者接收命令105(882)：输出设备165和不同于输出设备165的实体(诸如用户或另一计算机或机器)。空闲单元120可以接收来自指令单元110的命令105(882)。空闲单元120可以在光源140正在生产模式下操作时、在光源140正在空闲模式下操作时、或在除了在生产模式和空闲模式下操作以外的一段时间期间、或在过程890期间的任何时间下，接收命令105(882)。空闲单元120可以向光源140提供空闲计划115(883)。

在光源140处对空闲计划115的接收可以在任何时刻(包括在生产模式下操作光源140时)发生，只要它发生在空闲命令的接收之前(892)。替代地或附加地，可以在空闲模式下操作时接收新的空闲计划115(893)。此外，(空闲计划115的)编码属性集合中的每个属性都可以被分配有在一个范围内的任何值，并且该值不限于一组离散值。

如上面所提及的，过程880还可以包括在空闲计划115被创建(881)之后存储空闲计划115(例如，在空闲单元120处)。特别地，如果空闲单元120在创建空闲计划115(881)之后接收空闲计划115与空闲单元120接收命令(882)之间存在延迟，则存储空闲计划115可能是有帮助的。例如，空闲计划115可以被存储在空闲单元120的存储器模块527内。

提供给光源140的空闲计划115(在883处)可以伴随有用以开始在空闲模式下操作的指令(892)。对光源140开始在空闲模式下操作的指令可以包括用于产生空闲光束162的一个或多个指令，这样的空闲光束162是未落在生产设备140所需的生产属性集合内的光束输出，诸如图2C中所示。这种对光源140开始在空闲模式下操作的指令(892)可以包括根本不产生光束的一个或多个指令，诸如图2B中所示。

如上面所讨论的，光源140可以产生脉冲光束作为生产光束160和空闲光束162。空闲计划115的编码属性集合可以包括触发模式的序列，其中每个触发模式对脉冲空闲光束162进行限定，诸如图3中所示。触发模式FPi包括一个或多个编码属性。可能的编码属性的示例包括：空闲光束162产生脉冲的速率；空闲光束162的脉冲的能量；空闲光束162的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的时间间隔；以及延长空闲光束162的脉冲突发之间的时间间隔的时间停顿。

在上面参考图4讨论的实现中，编码属性集合可以包括提供给激发机构441的激发信号443的值。因此，在上面讨论的示例中，该激发信号443可以是提供给电极的电压，并且因此，编码属性可以包括与该电压相关联的一个值或一组值。在上面参考图6讨论的实现中，编码属性集合可以包括两个或更多腔室646A、646B之间的放电定时的目标值。该放电定时可以对应于由主振荡器643A产生的脉冲和由功率放大器643B产生的脉冲的出现之间的定时差。

编码属性集合可以包括光源140内的一个或多个属性或设置。该编码属性集合可以包括提供给光源140内的致动器的一个或多个信号。例如，该编码属性集合可以包括提供给控制线变窄模块647A内的光学元件的致动器的一个或多个信号。与线变窄模块647A相关联的致动器之一可以调整一个或多个棱镜相对于光栅的位置或角度，从而调整种子光束645的光谱属性(并且因此，调整在空闲模式期间从种子光束645产生的空闲光束)。

如上面参考图8所讨论的，指令单元110创建空闲计划115(881)。指令单元110可以基于对光源140的一个或多个感测到的条件的分析来创建空闲计划115(881)。例如，光源140的感测到的条件可以从量测单元451被提供给指令单元110。例如通过指令单元110内的输入/输出模块528，指令单元110可以基于来自用户的输入来创建空闲计划115(881)。指令单元110可以基于对光源140的先前状态的分析来创建空闲计划115(881)。指令单元110可以基于寻求优化或改进光源140和输出设备165中的一者或多者的性能的分析来创建空闲计划115(881)。

指令单元110可以基于包括确定光源140对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度的分析来创建空闲计划115(881)。例如，指令单元110可以通过修改编码属性的值来探测光源140，然后分析光源140的感测到的条件如何变化(通过量测单元451)。指令单元110可以确定光源140对延长空闲光束162的脉冲突发之间的间隔的停顿的变化的敏感度。指令单元110可以确定光源140对空闲光束162产生脉冲的速率的变化的敏感度。指示单元110可以确定光源140对空闲光束162的脉冲能量的变化的灵敏度。指示单元110可以确定光源140对空闲光束162的脉冲突发的总数的变化的灵敏度。指令单元110可以确定光源140对空闲光束162的每个突发内的脉冲数的变化的灵敏度。通过分析在光源140在先前空闲模式下、在先前生产模式下或在先前空闲模式和先前生产模式两者下的操作期间从量测单元451收集的数据，指令单元110可以确定光源140对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度。

通过确定该灵敏度，指令单元110可以确定如何最好地创建空闲计划115(881)。

在一些实现中，过程890还可以包括一个或多个查询(其可以在空闲模式操作期间的任何时间下发生)，每个查询确定是否已经接收到指令以结束空闲模式操作(894)并进入生产模式操作(895)。过程890可以在接收到这样的指令后将光源140的操作从空闲模式切换到生产模式。并且，过程890还可以包括在操作的空闲模式期间监测一个或多个信号(893)，并且如果一个或多个信号超过阈值，则自动从空闲模式切换到生产模式(在步骤894为“是”并且在步骤895为“是”)。

在图8中所示的实现中，空闲计划115在空闲模式下的操作期间由光源140无限重复(893)。因此，在该实现中，为了停止在空闲模式下操作，光源140将需要接收用以中止或停止的命令(894)。在其他实现中，空闲计划115被重复有限次数，之后光源140自动停止在空闲模式下操作(并进入真正空闲模式，在该模式下它停止产生任何光束直到光源140被另外命令(例如，如果被指使进入生产模式(895)或进入另一个空闲模式(892)。在这种情形中，空闲计划115具有有限数目的触发模式([FPi]，其中i是有限的)，并且在所有触发模式都用完之后，光源140自动停止触发并等待下一个指令以进入生产模式(891)或等待接收要被加载并执行的新的空闲计划115(893)。

接下来讨论可能的空闲模式和空闲计划115的一些示例，包括如何创建空闲计划115。空闲模式和空闲计划115中的任何一个都可以在任何时间进行操作，并且彼此不相互排斥。因此，可以是指令单元110以特定方式为光源140创建第一组空闲计划，而指令单元以不同方式为同一光源创建第二组空闲计划140。第一组空闲计划和第二组空闲计划可以在不同的时间被使用，并且基于光源140的操作周围的环境或输出设备165的状态来进行选择以供使用。

在一个示例中，空闲计划115包括启用/禁用标志，该标志指使光源140在真正空闲模式下操作，在该模式下光源140不产生任何光束脉冲，如图2B中所示，或者在热空闲模式下操作，在该模式下光源140产生空闲光束162，如图2C中所示。例如，如果标志被设置为“启用”，则这是对光源140在接收到空闲计划115后在热空闲模式下操作的指令。替代地，可以将启用/禁用标志包括在提供给空闲单元120的命令105中；使得空闲单元120在禁用标志被提供的情况下指使光源140进入真正空闲模式，而不必向光源140提供整个空闲计划115。另外，命令105还可以被用来指使空闲单元120中止或退出光源140在热空闲模式下的操作。在其他实现中，即使光源140已经接收到要遵循的空闲计划115并且正在热空闲模式下操作，光源140实际上根本不产生空闲光束162可能是谨慎的或必要的，即使光源140被命令在空闲模式下操作。例如，输出设备165的操作员可能最看重节省光束162的脉冲，并且愿意在退出空闲模式并进入生产模式之后接受一些性能下降。或者可能需要对指使光源140在热空闲模式下操作的空闲计划115进行简单且快速的超控。

在一些实现中，命令105是诸如由用户或由输出设备165提供的外部手动命令。可以在任何时间发送命令105。在其他实现中，在自动事件发生后发送命令105。例如，如果量测单元451感测到需要停止生产光束160(或空闲光束162)的错误，则命令105可以被发送到空闲单元120以指使光源140进入真正空闲模式。在此示例中，量测单元451将命令105传送至空闲单元120。

在一些实现中，空闲计划115以手动配置而被创建和提供。图3中所示的序列316(包括用于在热空闲模式下操作的空闲计划115中的触发模式317i)可以在文件、其他媒体中被列出，或者可以在指令单元110上运行的软件内被硬编码(并且作为空闲计划115提供给空闲单元120)。以这种方式，序列316被预编程。光源140执行空闲计划115中所包含的序列316。空闲计划115可以被存储在可以位于光源140本地的空闲单元120中，或者被存储在一些紧密耦合的硬件中，诸如例如与光源140通信的通用计算机。这种通用计算机可以从光源140接收数据，向光源140发送命令，存储数据，以及向其他用户发送数据，其他用户诸如输出设备165的操作员、客户或现场服务人员。通用计算机可以执行程序(利用它从光源140接收到的数据)，做出判决，并且决定向光源140发送哪些控制命令或向用户发送哪些数据。这种通用计算机可以被用来实现空闲单元120。

在其他实现中，空闲计划115以动态配置被创建并被提供给光源140。在动态配置中，指令单元110确定空闲计划115(包括触发模式317i的序列316)，并将空闲计划115提供给空闲单元120，空闲单元120将其提供给光源140。光源140接受空闲计划115并在热空闲模式下操作。

空闲计划115从空闲单元120到光源140的传输可以通过将新文件上传到光源140内的控制器而发生，并且光源140中的控制器读取并执行该文件。在其他实现中，空闲单元120直接控制光源140，诸如当在上述通用计算机内实现时。在其他实现中，空闲单元120可以控制光源140的一些方面(诸如例如致动器设置)并且光源140中的机载控制器可以控制其他方面(诸如脉冲速率和突发模式)。

在一些实现中，借助一系列的一个或多个命令、数据、现有配置项(诸如可配置项)、参数和/或机器常量，空闲计划115从空闲单元120到光源140的传输可以通过直接传输到由光源140内的控制器操作的软件来发生。

在其他实现中，指令单元110可以使用动态自适应配置来创建触发模式317i的序列316。指令单元110可以使用在光源140的先前或当前操作期间由光源140或量测单元451收集的数据来创建空闲计划115。指令单元110可以执行在一些参数空间上优化光源140的性能的过程，然后指令单元110可以连续地或周期性地更新该过程。

在动态自适应配置的一些实现中，指令单元110使用在其操作时从光源140感测和存储的数据来产生用于输出设备165的生产光束160。例如，参考图6，当光刻曝光装置665处理若干晶片676时，指令单元110可以在生产模式下使用从光源640获得的数据。指令单元110可以确定光源640对被划分成各个范围的每个长度的触发停顿是如何敏感的；例如，停顿的范围可以从突发间间隔(其可能花费50-100毫秒(ms))，到晶片线变化(wafer linechange)(其可能花费100-200毫秒)，到晶片交换(wafer exchange)(其可能花费15-60秒)，到批交换(lot exchange)(其可能花费至少300秒)，到更长的停顿。指令单元110可以确定光源140对哪些停顿范围最敏感，然后指令单元可以根据那些停顿范围设置触发模式317i以指使光源140产生空闲光束162的脉冲。

作为另一个示例，指令单元110可以调整空闲计划115以确保光源140以下面方式操作：确保气体控制器以维持气体混合物(诸如气体混合物642)的可接受状态的方式进行响应。例如，可以调整空闲计划115以确保将气体混合物642的特定组分维持在气体混合物642内的特定浓度之上。

作为另外的示例，指令单元110可以在预设时间向空闲单元120发送命令105以进入热空闲模式，而无需等待被指使。

在动态自适应配置的其他实现中，指令单元110可以获得在先前的热空闲模式下的操作期间从光源140收集的数据(例如，经由量测单元451)以确定光源140对特定属性或属性的变化的灵敏度，诸如光源140的触发中的停顿(其在空闲光束162的脉冲之间产生停顿)、产生空闲光束162的脉冲的重复率、空闲光束162的脉冲的能量目标和占空比。参考图9，指令单元110和/或空闲单元120甚至可以将测试空闲计划915发送给光源140以根据一组测试触发模式917T操作光源140并产生测试光束962t。指令单元110可以以在最灵敏的条件(或属性)下产生脉冲的方式对空闲计划115(包括序列316和触发模式317i)进行调整，从而允许光源140在这些最敏感的条件下训练它的其他自适应或学习算法。实现这一点的一种方式是让空闲单元120在一个方向上调整触发模式917T，然后指令单元110可以确定灵敏度是否通过这种调整而增加(例如，通过分析来自量测单元451的一个或多个输出)。如果指令单元110确定灵敏度增加，则空闲单元120可以继续调整触发模式917T，直到指令单元110确定灵敏度停止增加(或减少或达到边界)。如果通过这种调整没有增加灵敏度，则空闲单元120可以在不同的(例如，正交或相反)方向上进行调整。

在动态自适应配置的其他实现中，例如，对于生产光束160的数百万或数千万个脉冲，指令单元110在更长的时间段内从量测单元451获得数据。指令单元110可以基于这样的数据来确定是否需要更高的占空比。例如，提供给指令单元110的数据可以指示产生空闲光束162的脉冲时的效率的降低，并且效率的降低不能通过气体注入(诸如氟气注入)而被充分补偿到一个或多个容纳增益介质442的腔室中，因为这种气体注入在当前空闲计划115下由开环控制方法来控制。空闲光束162的占空比的增加可以使氟控制方法转变为闭环控制，从而提高氟气注入的浓度并且提高效率。最终，一旦效率已经恢复到可接受的水平，空闲光束162的占空比就被降低，以减少在空闲模式期间触发的脉冲总数，并且因此减少光源140的磨损和总体成本。这种动态自适应操作是可能的，因为指令单元110(其生成空闲计划115)蕴含了有关光源140的其他部分如何工作的知识(诸如气体控制和操作效率)，并且指令单元110能够基于该知识和关于光源140的性能的测量结果来决定如何调整空闲计划115以获得期望的结果。

在动态自适应配置的其他实现中，指令单元110可以使用关于光源140如何触发(即，产生光束(其可以是产生光束160或空闲光束162)的脉冲)的先前数据，来确定该光源140的冷启动的苛刻性。冷启动是从空闲模式(即不产生空闲光束162)到生产模式的转变。“苛刻”的冷启动需要更多的转变时间。对于遭受更苛刻冷启动的那些光源140，指令单元110可以创建更积极的空闲计划115。例如，更积极的空闲计划115可以包括以更高的占空比产生脉冲以防止光源140内的模块变得太“冷”。如果模块从空闲模式转变到生产模式需要太多时间，则模块太冷。另一方面，如果光源140的冷启动不太苛刻，则指令单元110可以创建具有较低占空比或较长停顿或者甚至不产生脉冲(图2B)的较不积极的空闲计划115。

在其他实现中，装置100可以被配置为每当它检测到机会可用时就启动热空闲模式。例如，指令单元110可以确定光源140已经处于真正空闲模式中很长一段时间，并且变得太冷，并且正在接近冷启动将需要大量时间的状态。在这种情况下，指令单元110可以将命令105发送至空闲单元120以自动进入热空闲模式(使用空闲计划115)来保持光源140足够热以有效重启。

可以使用以下条款进一步描述实施例：

1.一种用于控制光源的空闲模式的装置，该光源在生产模式期间产生供输出设备使用的生产光束，该装置包括：

指令单元，该指令单元被配置为创建空闲计划，该空闲计划包括编码属性集合，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定，在空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束，其中集合中的每个属性能够被分配有在连续的值范围内的任何值；以及

空闲单元，该空闲单元与指令单元通信并且被配置为与光源通信，该空闲单元被配置为：

从指令单元接收空闲计划；

存储空闲计划；以及

在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。

2.根据条款1所述的装置，其中在空闲模式期间，该光源产生脉冲空闲光束，并且编码属性集合包括多个触发模式的序列，每个触发模式对脉冲空闲光束进行限定。

3.根据条款2所述的装置，其中每个触发模式包括以下中的一项或多项：空闲光束产生脉冲的速率；空闲光束的脉冲的能量；空闲光束的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的间隔；以及延长突发之间的间隔的停顿。

4.根据条款1所述的装置，其中编码属性集合包括以下中的一项或多项：电压，两个或更多腔室之间的放电定时目标；光源内的一个或多个属性或设置；以及提供给光源内的致动器的一个或多个信号。

5.根据条款1所述的装置，其中空闲单元被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令：输出设备和除输出设备之外的实体。

6.根据条款1所述的装置，其中空闲单元被配置为：在生产模式期间、在空闲模式期间或者在生产模式和空闲模式之外的时间期间，接收与空闲模式相关的命令。

7.根据条款1所述的装置，还包括量测单元，该量测单元被配置为感测光源的一个或多个条件。

8.根据条款7所述的装置，其中指令单元与量测单元通信，该指令单元被配置为基于对来自量测单元的感测到的条件中的一个或多个的分析来创建空闲计划。

9.根据条款1所述的装置，其中指令单元被配置为基于来自用户的输入来创建空闲计划。

10.根据条款1所述的装置，其中指令单元被配置为基于对光源的先前状态的分析来创建空闲计划。

11.根据条款1所述的装置，其中指令单元被配置为基于寻求优化或改进光源和输出设备中的一者或多者的性能的分析来创建空闲计划。

12.根据条款1所述的装置，其中指令单元被配置为基于包括确定光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度的分析来创建空闲计划。

13.根据条款12所述的装置，其中编码属性中的一个或多个的值的变化包括以下中的一项或多项：延长空闲光束的脉冲突发之间的间隔的停顿的变化；空闲光束产生脉冲的速率的变化；空闲光束的脉冲能量的变化；空闲光束的脉冲突发的总数的变化；以及每个突发内的脉冲数的变化。

14.根据条款12所述的装置，其中确定光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度包括：分析在光源在先前空闲模式下、在先前生产模式下或在先前空闲模式和先前生产模式两者下的操作期间从量测单元收集的数据。

15.根据条款1所述的装置，其中在空闲模式期间，光源被配置为产生空闲光束或不产生光束。

16.根据条款1所述的装置，其中在空闲模式期间，光源产生未落在输出设备所需的生产属性集合内的脉冲空闲光束。

17.一种装置，包括：

光源，该光源被配置为处于多个操作模式之一，该多个操作模式包括：

生产模式，在该生产模式下产生供输出设备使用的生产光束；以及

空闲模式，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束；

生产单元，该生产单元被配置为与光源通信并在生产模式期间操作光源；以及

空闲单元，该空闲单元被配置为与光源通信并：

在包括在光源的任何操作模式期间在内的时间下的任何时刻，接收空闲计划，该空闲计划包括编码属性集合，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定；以及

在接收到命令后，向光源提供空闲计划，从而在空闲模式期间操作光源。

18.根据条款17所述的装置，其中在空闲模式期间，该光源产生脉冲光束并且编码属性集合包括多个触发模式的序列，每个触发模式对空闲脉冲光束进行限定。

19.根据条款18所述的装置，其中每个触发模式包括以下中的一项或多项：空闲光束产生脉冲的速率；空闲光束的脉冲的能量；空闲光束的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的间隔；以及延长突发之间的间隔的停顿。

20.根据条款17所述的装置，其中编码属性集合包括以下中的一项或多项：电压，两个或更多腔室之间的放电定时目标；光源内的一个或多个属性或设置；以及提供给光源内的致动器的一个或多个信号。

21.根据条款17所述的装置，其中空闲单元被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令：输出设备和除输出设备之外的实体。

22.根据条款17所述的装置，其中空闲单元被配置为在生产模式期间、在空闲模式期间或者在除生产模式或空闲模式之外的时间期间接收与空闲模式相关的命令。

23.根据条款17所述的装置，还包括量测单元，该量测单元被配置为感测光源的一个或多个条件。

24.根据条款23所述的装置，还包括与空闲单元和量测单元通信的指令单元，该指令单元被配置为创建空闲计划。

25.根据条款17所述的装置，其中空闲计划的编码属性集合中的每个属性可以被分配有在连续的值范围内的任何值。

26.根据条款17所述的装置，其中光源被配置为接受、处理和执行所提供的空闲计划，执行所提供的空闲计划包括：执行在所提供的空闲计划内的相关联的触发模式。

27.根据条款17所述的装置，其中生产单元是输出设备内的组件。

28.一种装置，包括：

多个光源，至少一个光源相对于输出设备处于服务中，并且每个处于服务中的光源被配置为处于多个操作模式之一，该多个操作模式包括：

生产模式，在该生产模式下产生供输出设备使用的生产光束；以及

空闲模式，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束；

生产单元，该生产单元被配置为与处于服务中的光源通信并在生产模式期间操作处于服务中的光源；以及

空闲单元，该空闲单元被配置为：

在任何时刻，接收包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对一个或多个处于服务中的光源在空闲模式下的操作进行限定；以及

在接收到命令后，向处于服务中的光源提供空闲计划，从而在空闲模式期间操作处于服务中的光源。

29.根据条款28所述的装置，其中空闲计划包括编码属性集合，这些编码属性一起对多个处于服务中的光源在空闲模式下的操作进行限定。

30.根据条款29所述的装置，其中空闲单元被配置为：向多个处于服务中的光源中的每一个提供空闲计划，从而在相应的空闲模式期间操作处于服务中的光源。

31.根据条款30所述的装置，其中空闲单元被配置为：向多个处于服务中的光源中的每一个提供空闲计划，从而在不同时刻处或在相同时间处或在重叠的时刻处在相应的空闲模式期间操作处于服务中的光源。

32.根据条款28所述的装置，其中在空闲模式期间，处于服务中的光源产生脉冲空闲光束，并且编码属性集合包括多个触发模式的序列，每个触发模式对脉冲空闲光束进行限定。

33.根据条款28所述的装置，其中空闲单元被配置为从以下中的一者或多者接收与空闲模式相关的命令：输出设备和除输出设备之外的实体。

34.根据条款28所述的装置，还包括指令单元，该指令单元被配置为基于可编程指令集来创建空闲计划。

35.一种用于控制光源的模式的方法，该方法包括：

使得光源能够在生产模式下或在空闲模式下操作，在该生产模式下光源产生供输出设备使用的生产光束，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束；

在包括在生产模式下或在空闲模式下操作光源时在内的任何时刻，接收空闲计划，该空闲计划包括编码属性集合，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定；以及

在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。

36.根据条款35所述的方法，其中向光源提供空闲计划包括以下中的一项或多项：

在中止光源在生产模式下的操作之后，基于所提供的空闲计划来开始光源在空闲模式下的操作；以及

基于所提供的空闲计划，继续光源在空闲模式下的操作。

37.根据条款35所述的方法，还包括存储空闲计划。

38.根据条款35所述的方法，还包括指使光源在空闲模式下操作，该指使步骤包括指使光源产生未落在输出设备所需的生产属性集合内的空闲光束或者不产生光束。

39.根据条款35所述的方法，还包括基于以下中的一项或多项来创建空闲计划：对光源的一个或多个感测到的条件的分析、来自用户的输入、对光源的先前状态的分析、寻求优化或改进光源和输出设备中的一者或多者的性能的分析、以及光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度。

40.根据条款35所述的方法，其中向光源提供空闲计划包括向光源提供空闲计划直到不再接收到命令。

41.一种用于控制光源的模式的方法，该方法包括：

使得光源能够在生产模式下或在空闲模式下操作，在该生产模式下光源产生供输出设备使用的生产光束，在该空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束；

接收包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定，其中集合中的每个属性能够被分配有在一个范围内的任何值，并且不限于一组离散值；以及

在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。

42.根据条款41所述的方法，其中向光源提供空闲计划包括以下中的一项或多项：

在中止光源在生产模式下的操作之后，基于所提供的空闲计划来开始光源在空闲模式下的操作；以及

基于所提供的空闲计划，继续光源在空闲模式下的操作。

43.根据条款41所述的方法，还包括存储空闲计划。

44.根据条款41所述的方法，还包括指使光源在空闲模式下操作，该指使步骤包括指使光源产生空闲光束或不产生光束，该空闲光束未落在输出设备所需的生产属性集合内。

45.根据条款41所述的方法，还包括基于以下中的一项或多项来创建空闲计划：对光源的一个或多个感测到的条件的分析、来自用户的输入、对光源的先前状态的分析、寻求优化或改进光源和输出设备中的一者或多者的性能的分析、以及光源对编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度。

其他实现在权利要求的范围内。

Claims (30)

1.一种用于控制光源的空闲模式的装置，所述光源在生产模式期间产生供输出设备使用的生产光束，所述装置包括：

指令单元，所述指令单元被配置为创建空闲计划，所述空闲计划包括编码属性集合，所述编码属性一起对所述光源在所述空闲模式下的操作进行限定，在所述空闲模式下不产生供所述输出设备使用的所述生产光束，其中所述集合中的每个属性能够被分配有在连续的值范围内的任何值；以及

空闲单元，所述空闲单元与所述指令单元通信并且被配置为与所述光源通信，所述空闲单元被配置为：

从所述指令单元接收所述空闲计划；

存储所述空闲计划；以及

在接收到与所述空闲模式相关的命令后，向所述光源提供所述空闲计划。

2.根据权利要求1所述的装置，其中在所述空闲模式期间，所述光源产生脉冲空闲光束，并且所述编码属性集合包括多个触发模式的序列，每个触发模式对所述脉冲空闲光束进行限定。

3.根据权利要求2所述的装置，其中每个触发模式包括以下中的一项或多项：所述空闲光束产生脉冲的速率；所述空闲光束的脉冲的能量；所述空闲光束的脉冲突发的总数；每个突发内的脉冲数；突发之间的间隔；以及延长突发之间的所述间隔的停顿。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述编码属性集合包括以下中的一项或多项：电压，两个或更多腔室之间的放电定时目标；所述光源内的一个或多个属性或设置；以及提供给所述光源内的致动器的一个或多个信号。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述空闲单元被配置为从以下中的一者或多者接收与所述空闲模式相关的命令：所述输出设备和除所述输出设备之外的实体。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述空闲单元被配置为：在生产模式期间、在空闲模式期间或者在除所述生产模式和所述空闲模式之外的时间期间，接收与所述空闲模式相关的命令。

7.根据权利要求1所述的装置，还包括量测单元，所述量测单元被配置为感测所述光源的一个或多个条件。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述指令单元与所述量测单元通信，所述指令单元被配置为基于对来自所述量测单元的感测到的条件中的一个或多个的分析来创建所述空闲计划。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述指令单元被配置为基于以下中的一项或多项来创建所述空闲计划：

来自用户的输入；

对所述光源的先前状态的分析；

寻求优化或改进所述光源和所述输出设备中的一者或多者的性能的分析；以及

包括确定所述光源对所述编码属性中的一个或多个的值的变化的敏感度的分析。

10.根据权利要求9所述的装置，其中所述编码属性中的一个或多个的值的变化包括以下中的一项或多项：延长所述空闲光束的脉冲突发之间的间隔的停顿的变化；所述空闲光束产生脉冲的速率的变化；所述空闲光束的脉冲能量的变化；所述空闲光束的脉冲突发的总数的变化；以及每个突发内的脉冲数的变化。

11.根据权利要求9所述的装置，其中确定所述光源对所述编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度包括：分析在所述光源在先前空闲模式下、在先前生产模式下或在先前空闲模式和先前生产模式两者下的操作期间从量测单元收集的数据。

12.根据权利要求1所述的装置，其中在所述空闲模式期间：

所述光源被配置为产生空闲光束或不产生光束；或者

所述光源产生未落在所述输出设备所需的生产属性集合内的脉冲空闲光束。

13.一种装置，包括：

光源，所述光源被配置为处于多个操作模式之一，所述多个操作模式包括：

生产模式，在所述生产模式下产生供输出设备使用的生产光束；以及

空闲模式，在所述空闲模式下不产生供所述输出设备使用的所述生产光束；

生产单元，所述生产单元被配置为与所述光源通信并在所述生产模式期间操作所述光源；以及

空闲单元，所述空闲单元被配置为与所述光源通信并：

在包括在所述光源的任何操作模式期间在内的任何时刻，接收空闲计划，所述空闲计划包括编码属性集合，所述编码属性一起对所述光源在所述空闲模式下的操作进行限定；以及

在接收到命令后，向所述光源提供所述空闲计划，从而在所述空闲模式期间操作所述光源。

14.根据权利要求13所述的装置，还包括与所述空闲单元通信的指令单元，所述指令单元被配置为创建所述空闲计划。

15.根据权利要求13所述的装置，其中所述空闲计划的所述编码属性集合中的每个属性可以被分配有在连续的值范围内的任何值。

16.根据权利要求13所述的装置，其中所述光源被配置为接受、处理和执行所提供的所述空闲计划，执行所提供的所述空闲计划包括：执行在所提供的所述空闲计划内的相关联的触发模式。

17.根据权利要求13所述的装置，其中所述生产单元是所述输出设备内的组件。

18.一种装置，包括：

多个光源，至少一个光源相对于输出设备处于服务中，并且每个处于服务中的光源被配置为处于多个操作模式之一，所述多个操作模式包括：

生产模式，在所述生产模式下产生供所述输出设备使用的生产光束；以及

空闲模式，在所述空闲模式下不产生供所述输出设备使用的所述生产光束；

生产单元，所述生产单元被配置为与所述处于服务中的光源通信并在所述生产模式期间操作所述处于服务中的光源；以及

空闲单元，所述空闲单元被配置为：

在任何时刻，接收包括编码属性集合的空闲计划，所述编码属性一起对一个或多个处于服务中的光源在所述空闲模式下的操作进行限定；以及

在接收到命令后，向所述处于服务中的光源提供所述空闲计划，从而在所述空闲模式期间操作所述处于服务中的光源。

19.根据权利要求18所述的装置，其中所述空闲计划包括编码属性集合，所述编码属性一起对多个处于服务中的光源在所述空闲模式下的操作进行限定。

20.根据权利要求19所述的装置，其中所述空闲单元被配置为：

向所述多个处于服务中的光源中的每一个，提供所述空闲计划，从而在相应的空闲模式期间操作所述处于服务中的光源；或者

向所述多个处于服务中的光源中的每一个，提供所述空闲计划，从而在不同时刻处或在相同时间处或在重叠的时刻处在相应的空闲模式期间操作所述处于服务中的光源。

21.根据权利要求18所述的装置，其中在所述空闲模式期间，所述处于服务中的光源产生脉冲空闲光束，并且所述编码属性集合包括多个触发模式的序列，每个触发模式对所述脉冲空闲光束进行限定。

22.根据权利要求18所述的装置，还包括指令单元，所述指令单元被配置为基于可编程指令集来创建所述空闲计划。

23.一种用于控制光源的模式的方法，所述方法包括：

使得所述光源能够在生产模式下或在空闲模式下操作，在所述生产模式下所述光源产生供输出设备使用的生产光束，在所述空闲模式下不产生供所述输出设备使用的所述生产光束；

在包括在所述生产模式下或在所述空闲模式下操作所述光源时在内的任何时刻，接收空闲计划，所述空闲计划包括编码属性集合，所述编码属性一起对所述光源在所述空闲模式下的操作进行限定；以及

在接收到与所述空闲模式相关的命令后，向所述光源提供所述空闲计划。

24.根据权利要求23所述的方法，其中向所述光源提供所述空闲计划包括以下中的一项或多项：

在中止所述光源在生产模式下的操作之后，基于所提供的所述空闲计划来开始所述光源在空闲模式下的操作；以及

基于所提供的所述空闲计划，继续所述光源在空闲模式下的操作。

25.根据权利要求23所述的方法，还包括存储所述空闲计划。

26.根据权利要求23所述的方法，还包括指使所述光源在空闲模式下操作，该指使步骤包括指使所述光源产生未落在所述输出设备所需的生产属性集合内的空闲光束或者不产生光束。

27.根据权利要求23所述的方法，还包括基于以下中的一项或多项来创建所述空闲计划：对所述光源的一个或多个感测到的条件的分析、来自用户的输入、对所述光源的先前状态的分析、寻求优化或改进所述光源和所述输出设备中的一者或多者的性能的分析、以及光源对所述编码属性中的一个或多个的值的变化的灵敏度。

28.根据权利要求23所述的方法，其中向所述光源提供所述空闲计划包括向所述光源提供所述空闲计划直到不再接收到所述命令。

29.一种用于控制光源的模式的方法，所述方法包括：

使得所述光源能够在生产模式下或在空闲模式下操作，在所述生产模式下所述光源产生供输出设备使用的生产光束，在所述空闲模式下不产生供所述输出设备使用的所述生产光束；

接收包括编码属性集合的空闲计划，所述编码属性一起对所述光源在所述空闲模式下的操作进行限定，其中所述集合中的每个属性能够被分配有在一个范围内的任何值，并且不限于一组离散值；以及

在接收到与所述空闲模式相关的命令后，向所述光源提供所述空闲计划。

30.根据权利要求29所述的方法，其中向所述光源提供空闲计划包括以下中的一项或多项：

在中止所述光源在生产模式下的操作之后，基于所提供的所述空闲计划来开始所述光源在空闲模式下的操作；以及

基于所提供的所述空闲计划，继续所述光源在空闲模式下的操作。

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