TWI334489B - Debugging apparatus for testing program and semiconductor testing apparatus and debugging and testing method for testing progame - Google Patents

Description

1334489 14937ρίΠ 修正日期:99年9月1日 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發關於-侧試程纽錯裝£、半導體測試裝 置、測試程式除錯方法及測試方法。特別是本發明關於一 種虛擬執行半導體測試裝置用的測試程式並進行測試程式 =錯^測試程式除錯裝置及測試程式除錯方法，以及藉 置式而對被測試元件進行測試之半導體測試裝 【先前技術】 程置藉由執行半導體賴裝置用的測試 各i測試?。供給測試圖案，並進行被測試元件的 生成、ini2程式由用於規定測試條件、測試圖案的 測ΐ裝的指令構成，並對應半導體 且，在測試程式製元f的種類而製作或變更。而 常動作進行驗證=气時，，_測試程式是否正 通用電腦模擬半導 &知技錢藉由在工作站等 錯裝置中，執行试裝置及被測試元件之測試程式除 曰本專利早期式程式，而進行測試程式的驗證（例如 但是，如特開2001-51025號公報）。 測試程式的執行^述，剛試程式由膨大的指令構成，所以 除錯裝置不能只二，大量的時間。而且，習知的測試程式 數個測試專案中試程式的部分指令，即使在只對複 成複數個測試圖案。卩分剛試專案進行驗證，和只對用於生 田、中的部分測試圖案之指令進行驗證的情 14937pifl 爲第9313〇319號中文說明書無劃線修正4 修正日期:"年9月！日 況下，也必須執行測試程式的所有指令。因此，存在需 在測試程式的驗證上花費大量時間之課題。 而 【發明内容】 一因此，本發明的目的是提供一種能夠解決上述課題 測試裝置。該目的由權利要求範圍中的獨立項所記述之 徵的組合實現。而且，從屬項規定本發明之更加有利的具 體例子。 〃 本發明的第1形態爲進行半導體測試裝置用的測 式的除錯之賊程式除錯裝置，包括模擬侧試元件 測試7L件模擬設備、執行測試程式並模擬半導體測試裝 置，且向被測試元件模擬設備供給測試圖案之半導體測言^ 裝置模擬設備。 半導體測職置模擬設備具錢於獲取測試程式中 應驗證之指令的·即驗· _驗證翻獲取部、使測 試程式巾的驗證範圍以外的範断非驗證範财所包 非，證範_指令巾的’胁進行被賴耕模擬設備的 设疋之奴指令以外的非設定指令簡單化的指令簡單化 部、用於執行魏範®巾所包含的驗證範 令及利用齡解化部被簡單化之非設定指令的指令執行 部0 "也可使非設定指令包括作爲非設定指令，用於進行測 '^圖^的生成之圖案生成指令，及對測試圖案，將從被測 試兀件模擬設備峨出的輸出圖案與麟值進行比較之圖 案比較指令；指令簡單化部將_生成指令及圖案比較指 1334489 14937pifl 修正日期:99年9月1日 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 令簡單化；指令執行部執行驗證範圍相令及設定指令，以 及被簡單化之圖案生成指令及圖案比較指令。 也可使指令簡單化部將非設定指令作爲不利用指令 執行部執㈣指令而設定；指令執行部執行驗證範圍指令 及設定指令，而不執行非設定指令。

本發明的第2形態爲進行半導體測試裝置用的測試程 式的除錯之測試程式除錯裝置，包括模擬被職元件的被 測試元件顯設備、執制試料賴擬半導體測試裝 置，且與被測試元件模擬設備進行測試 體測試裝置模擬設備。 午导 半導體測試裝置模擬設備獲取測試程式中應驗證之 即驗證範圍；被測試元件類設備使根據測試 S的驗證範圍以外的範圍即非驗證範圍所包含之非驗 =圍指令巾的，祕進行制試元賴擬設備設定的設 疋才日令以外的非設定指令之模擬簡單化並執行。

1捉也y使被測試元件模擬設備預先保持對從半導體測 :裝置模擬設備所供給的職圖案之 令之來自半導體測試裝置模擬設備的測試圖: 輸出預先所保持的輸出圖案。 件谁的第3形態爲藉由執行職程式而對被測試元 半導體測試裝置，包括獲取測試程式中的被 獲取邱Γ 4應制的指令範圍即測試範圍之測試範圍 圍所ί含之圍以外的範圍即非測試範 〈非測令巾的’用於進行被職元件設 6 1334489 !4937?1〇 修正日期·· 99年9月1日 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 定的設定指令以外的非設定指令簡單化之指令簡單化部、 $行測試範圍所包含的測試範圍指令，設定指令及由指令 簡單化部被簡單化之非設定指令的指令執行部。 一也可使非設定指令包括作爲非設定指令，用於進行測 忒圖案的生成之圖案生成指令，及對測試圖案，將從被測 =元件所輸出的測試圖案與期待值進行比較之圖案比較指 7，指令簡單化部將圖案生成指令及圖案比較指令簡單 指令執行部執行職範關令及設定指令，以及被簡 單化之圖案生成指令及圖案比較指令。 本發明的第4形態爲利用測試程式除錯裝置的測試程 ^除錯方法’其巾制試程式除料置包括觀被測試元 ^被測試元件模擬設備、執行半導制試裝置用的測試 半導體測試裝置’且對被測試元件模擬設備供 圖㈣半導體賴裝置模擬設備；包括獲取測試程 ^中應驗證之指令的範_驗證範_階段、使測試程式 2 =範圍以外的範圍即非驗證範圍所包含之非驗證範 ^中的’用於進行被職元件模擬賴的設定之設 勺曰ί以外的非設定指令簡單化的階段、執行驗證範圍中所 驗證範圍指令’設定指令及被簡單化之非設定指令 杜、&本發明的第5形遙爲藉由執行測試程式而對被測S元 +進行測試的職方法，包域 ^ 測試元件的測嗜之浐八的r円ρ、， 應4用於破 W中_試範圍以外的範圍即非測試範圍所包含之非^ 1334489 14937ρίΠ 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 ' 修正日期年9月】日 試範圍指令中的，用於進行被測試元件的設定之执^ 以外的非設定指令簡單化的階段、執行測試範園^曰丄 =測試範圍指令，奴指令及被簡單化之非設定指令二 竹ill上述㈣的概要並未卿本發明_有必要料 徵’廷些賴群的子集也可又形成發明。 有义要特 如利用本發明，可提供—種能夠在短時間 式除錯= 的所需的測試專案進行測試之 易僅為ΐΐ二他二特徵和優點能更明顯 明如下。 實_，並配合所附圖式，作詳細說 【實施方式】 以下：===:明進行說明，但是 形態中所說明之特徵的、，利要求的發明，而且實施 所必須的。、'、冑、、且5也未必是發明的解決方法 -的二施形態的測試程式除錯裝置 工作站等__“ J，式除錄裝置100藉由_ 被測試元件202的動# ’並模擬半導體測試裝置細及 動作並進行除錯。這，而驗證測試程式110是否正常地 s，，由於測試程式除錯裝置100模擬 1334489 14937pifl 修正日期:99年9月1日 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 半導體測試裝置200及被測試元件202，所以首先參照圖 2’對實際的半導體測試裝置200的構成及動作進行說明。 圖2爲關於本發明的一實施形態的半導體測試裝置 200之構成的一個例子。半導體測試裝置2〇〇包括與被測 試元件202連接並進行被測試元件2〇2和測試圖案的收授 之測試模組206、對測試模組206進行控制的測試模組控 制邛204、將測试模組控制部204和測試模組2〇6進行連 接的測試fill流排222。測試模組控制部綱具有 ^0、應用程式21〇、語言解析執行部212、測試器= =14及測試器匯流排驅動器216。而且，應用程式加 作爲測試範圍獲取部218及指令簡單 ::部=模組施具有寄存器224、記憶體2=:試 内容；====之測試的 並依據，使半^ 式⑽的語法解析， 應用程式程測4裝置200進行動作。 動作，進行向被測試元件202 解析執行部212協同 ，度庫214將利用語‘==苡=等。 之物式110的指令轉換馬3 212進仃語法解軒 進行測定動作的指示。缺後， .< 過剛試器匯流排222，物=匯流排驅動器2!6通 案資料轉送到寄存器224。 ° &式庫214所生成之圖 案資料的生成和測試额 進行測定動作的„姑从 X疋且對測4¼組2〇6 14937ρΐΠ 修正曰期:99年9月1曰 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 粗，ί Ϊ器^4存儲由測試器程式庫214所生成的圖案資 制对抽二所子儲的圖案資料直接或通過記憶體226供給到 ^ ^部228。然後，測試執行部228根據寄存器224 i t、體226存儲的圖案資料，進行被測試元件202的測 二’、:!!h式結果存儲到寄存器224或記憶體I中。然 I所器匯流排驅動器216將寄存器224或記憶體226 的測試結果，通過測試器匯流排222取入到測試 *214巾。然後，應用程式21G根據被取入到測試 214中的測試結果，進行被測試元件 202的好壞 |疋、被測試元件202的特性解析等。 彻f 1所示之測試程式除錯裝置議模擬上述的半導體 ^曰ς、置200及被測試元件2〇2的動作，驗證測試程式削 地動作並進仃除錯。下面，參照圖1對測試程式 示日装置1〇〇的構成及動作進行說明。 測试程式除錯裝置咖$有模擬被測試元件脱的被 設備、1G4 '執行測試程式11G並模擬半導體 :目I二二置 ’向被測試元件2G2供給測試圖案之半導體 u置模擬設備觀。半導體測試裝置模擬設備1〇2具 則'^模組施進行仿真的測試模經模擬器108、對測 私、模組模擬器108進行控制的模擬器控制部腿、將模擬 部廳和測試模組模擬器⑽進行虛擬連接之虛擬 器匯流排124、對被測試元件模擬設備1〇4的測試結 果進行解析之測試結果解析判定部136。 模擬器控制部106包括測試程式11〇、應用程式112、 14937pif1 爲第9313G319號中麵鴨觸線修正卒 修正日期:99年9月1曰 模擬器、測试器程式庫116及測試器匯流排 及指;fl單^且’應用程式112作爲驗證範圍獲取部120 13〇 〇 存。。126、虛擬記憶體128及虛擬測試執行部 進行部：:圖/所示的测試模組控制部204 的動作二===:示的測試模組 之除錯的物件2士解=爲f用測試程式除錯裝置謂 語法解析，並依二=:=測試程式_ 執行部二==測試程式"。及語言解析 之測試圖案的施加㈣f。元件f擬設備104 執行部的—個例子，、°耘式U6爲本發明之指令 法解析之測試程式11〇的^言解析執行部114而進行語 並進行圖案資料的生点、"轉換爲寄存器級別的指令， 對測試模測試Ϊ組模擬請的設定，且 器匯流排模擬器118 則疋動作的指示。而且，測試 試器程式庫】16°所生^ =試器匯流排124，將由測 虛擬寄存器⑶將送到虛擬寄存器咖 料進行存儲，並將所存儲的圖=116所生成的圖案資 體128供給到虛擬測試執行。貝^直接或通過虛擬記憶 部130根據虛擬寄存哭丨^ '然後，虛擬測試執行 ^ 或虛擬記憶體128存儲的圖案 I S ] 1334489 14937pifl 修正日期:99年9月1日 爲第93130319號中文說明書_線修正本 貢料丄進行被測試元件模擬設備1〇4的虛擬測試，並將虛 擬測試結果存儲到虛擬寄存器m或虛擬記㈣128中。 然^，測試器匯流排模擬器118將虛擬寄存器126或虛擬 jL、體128中所存儲的虛擬測試結果，通過虛擬測試器匯 流排124取入到測試器程式庫116中。然後測試結果解 析判定部136對測試器程式庫116、虛擬寄存器126或虛 擬記憶體m巾崎儲之虛賴試結果，和預先所生成之 虛擬測試結_期純騎比㈣究。織，測試結果解 析判定部136對測試程式UG是否正常動作進行驗證並 將驗證結果通㈣戶。例如，當虛_試結果和期待值不 同寺將开v成虛擬測試結果的起因之測試程式的行號 碼等在顯示$上進行顯示’或湘印表機進行列印。 圖3所示爲測試程式n〇及圖案程式3〇〇之構成的一 個例子’則武程式11〇在每測試專案的識別識別字即測試 號碼302 ’具有用於規定測試條件的測試條件指令集綱， 於測疋來自被測試元件搬或測試模組模擬器⑽之 ，出圖案的測^指令集规。測定指令集 306包括用於進 =试她206或測試模組模擬器1〇8的設定之指令即設 2 用於進行測試圖案的生成之指令即圖案生成 ^丨侧=從被測試元件搬或被測試元件模擬設備1〇4 一'、1 11 所輸出的輪出圖案，與預先所生成的期待值進 二比t圖案比較指令312。設定指令308爲例如寄存器 疋❿且’圖案程式細由圖案生成指令310調出， 用於生成測試圖案的資訊。具體地說，圖案程式3〇〇 12 1334489 14937pifl 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年9月1日 與測試圖案的位址314形成對應， 的圖案資料316。 ’、寺用於表不測試圖案 圖1所示的測試程式除錯裝置ι〇 3所示的測試程式110,而進行制 3由依-人執仃圖 用戶也可選擇在測試程式！ 1G中UG的驗證，但是 在圖案程式300中應驗證之圖’或 之測試程式HG的部分指令=^的_ ’並對所選擇 意即，驗證範随取部⑶根戶的指示輸入 取測試程式no中應驗證之指令㈣_驗 =

如，當測試程式no中的測試號碼3〇2 _試號碼3 J 範圍由用戶指定時，驗證範圍獲取部12〇獲取測試號碼搬 或測試號碼302的範圍作爲驗證範圍。*且，驗證範_ 取部120也可根據用戶的指示輸人，獲取圖案程式3〇〇 ^ 應驗證之測試圖案的範圍作爲驗證範圍。例如，當圖案程 式300中的測試圖案的位址314或測試圖案的地:314'的 範圍由用戶指定時，驗證範圍獲取部12〇也可獲取被指定 之測試圖案的位址314的測試圖案，或被指定的測試圖案 的位址314之範圍的測試圖案作爲驗證範圍。而且，當圖 案粒式300中的測試圖案的地址314及計數的範圍由用戶 才曰疋時，驗證範圍獲取部12〇也可從被指定之測試圖案的 地址314，獲取被指定之計數範圍的測試圖案作爲驗證範 圍。另外，當測試圖案的位址314、測試圖案的位址的範 圍，以及測試圖案的地址314及計數的範圍中的任一個都 未被指定時，驗證範圍獲取部12〇也可獲取圖案程式3〇〇 [S] 13 1334489 14937pifl 爲第93Π0319號中文說明書無劃線修正本 修正日期：99年9月】日 所有的測試圖案作爲驗證範圍。 然後，指令簡單化部122使測試程式ι10中的，驗證 範圍獲取部120所獲取之驗證範圍以外的範圍即非驗證= 圍所包含的指令即非驗證範圍指令中，用於進行被測試元 件模擬設備104的設定的指令即設定指令施以外的指 令，即非設定指令簡單化。例如，指令簡單化部122使非 設定指令即圖案生成指令310及圖案比較指令312簡單 化，並轉換爲簡易的指令。例如，指令簡單化部檢測 出被設于®案生成指令31〇的前部之測試圖案的執行指 令，並在包含有測試圖案的執行指令之測試專案中，使 測試圖案的執行指令處於後部的指令簡單化。 又 然後，測試器程式庫116執行驗證範圍獲取部12〇 獲取之驗證範圍中包含的指令即驗證範圍指令，非驗證範 圍指令中的設定指令308，以及非驗證範圍指令中由 ==122被簡單化之非設定指令，並使測試模組‘ m 108動作。而且，作爲非設定指令的簡單化的其他例子， =簡單化部m也可將非設定齡狀㈣由測試器程 式庫m被執行的指令。而且，測試器程式庫116 行驗證範圍指令及贱指令，㈣騎非設定指令。 如上所述，藉由使從用戶所獲取之驗證範圍以 令簡單化’可在短時間㈣好所指定之驗證 ς 證。另外，即使爲在戶所獲取之驗證範圍以 中，因不使被測試元件模Μ設備104&寄存器 ^ 指令簡單化進行，而將測試程式110的部分指 1334489 14937pifl 爲第93 U〇3l9號中文說明書無劃線修正芊 修正日期:99年9月J曰 範圍的情況下，也可利用與驗證測試程式11〇的全部之p 合相同的環境，使被測試元件模擬設備1〇4進行動作，^ 以能夠正確地對測試程式110進行驗證。 而且，在其他例子中，也可取代利用指令簡單化部122 之非設定指令的簡單化，而使被測試元件模擬設備1〇4將 基於非設定指令的模擬簡單化執行。具體地說，被測試元 件模擬設備104具有將對從半導體測試裝置模擬設備1〇2 所供給的測試圖案之輸出圖案，預先進行保持的輸出圖案 表格138。而且，被測試元件模擬設備1〇4對來自根據非 設定指令之半導體測試裝置模擬設備102的測試圖案，輸 出與該測試圖案形成對應並預先進行保持之輸出圖案。藉 此，能夠減少利用被測試元件模擬設備1〇4之模擬的時 間’並可迅速地對驗證範圍進行驗證。 而且’圖2所示之半導體測試裝置2〇〇雖然藉由依次 執行圖3所示的測試程式11〇，可進行被測試元件2〇2的 ，試’但用戶也可選擇在測試程式11()中應測試之指令的 範圍’或在圖案程式300中應測試之圖案資料的範圍，並 對所選擇之測試程式11〇的一部分進行測試。 意即’測試範圍獲取部218根據用戶的輸入指示，獲 取測試程式110中應進行測試之指令的範圍即測試範圍。 例如’當測試程式110中的測試號碼302或測試號碼302 的範圍由用戶指定時’測試範圍獲取部218獲取測試號碼 3〇2或測試號碼3〇2的範圍作爲試驗範圍。而且，測試範 圍獲取部218也可根據用戶的指示輸入，獲取圖案程式3〇〇 ί ε] 15 1334489 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 ， 修正曰期：99年9月1曰 中應測試之測試圖案的範圍作爲測試範圍。例如，當圖案 程式300中的測試圖案的位址314或測試圖案的地址314 的範圍由用戶指定時，測試範圍獲取部218也可獲取被指 定之測試圖案的位址314的測試圖案，或被指定的測試圖 案的位址314之範圍的測試圖案作爲測試範圍。而且，當 圖案程式300中的測試圖案的地址314及計數的範圍由用 戶指定時，測試範圍獲取部218也可從被指定之測試圖案 的地址314,獲取被指定之計數範圍的測試圖案作爲測試 ® 範圍。另外’當測試圖案的位址314、測試圖案的位址的 範圍，以及測試圖案的地址314及計數的範圍中的任一個 ； 都未被指定時，測試範圍獲取部218也可獲取圖案程式3〇〇 所有的測試圖案作爲測試範圍。 然後，指令簡單化部220使測試程式11〇中的，測試 範圍獲取部218所獲取之測試範圍以外的範圍即非測試範 圍所包含的指令即非測試範圍指令中，用於進行被測試元 件202的設定的指令即設定指令3〇8以外的指令，即非設 # 定指令簡單化。例如，指令簡單化部220使非設定指令即 圖案生成指令310及圖案比較指令312簡單化，並轉換爲 簡易的指令。然後，測試器程式庫214執行測試範圍獲取 部218所獲取之測試範圍中包含的指令即測試範圍指令， 非測試範圍指令中的設定指令3〇8，以及非測試範圍指令 中由指令簡單化部22〇被簡單化之非設定指令並使測^ 模組°而且，作爲非設定指令的簡單化的其他例 子，指令簡單化部22〇也可將非設定指令設定爲不由測試

16 1334489 14937ριΠ 修正曰期:99年9月1日 爲弟93130319號中文說明書無劃線修正本 器程式庫2Μ被執行的指令。而且，測試器程式庫⑽也 可執行測試翻指令及奴齡，㈣執行非設定指令。 =所述，藉由使㈣戶所獲取之職範圍料的指令簡 夺間内對用户所指定之測試範圍進行測試。 另卜卩使為在攸用戶所獲取之測試範圍以外的指令 因不使被測試元件202的寄存器值等的設定指令簡單化進 行’而將測試程式11㈣—部分作爲測試範圍的情況下， ί:利：=:Γ式程式110的全部進行測試之場合相同的 她，使被測试元件搬進行動作，所以能夠正確 試程式110進行測試。 」 以上’利用實施形態對本發明進行了說明， ==巧定於，實施形態所記述的範圍；上 述實施形,4上’可加以多樣的變更或改良。由權利要求範 圍的記述可知’這種加以變更或改良的形態 發明的技術範圍中。 由上述：明可知’如利用本發明，可提供一種能夠在 短時間内正確地制試程式巾包含的所需指 測試程式㈣裝置及測雜式㈣方法，㈣還提供2 能夠有選擇地對測試程式中包含的所需專 導體測試裝置及測試方法。 丁 νΙΛ之+

雖然本發明已以較佳實施例揭露如上H 限定本發明，任何Μ此技藝者，衫脫縣發明之精神 和範圍内’當可作些許之更動與潤飾 月，神 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。χ月之保濩 17 14937pin 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 修正曰期:99年9月1臼 【圖式簡單說明】 圖1所示爲測試程式除錯裝置1〇〇之構成的一個例 子。 圖2所不爲半導體測試裝置2〇〇之構成的一個例子。 圖3所示爲測試程式11〇及圖案程式3〇〇之構成的一 個例子。 【主要元件符號說明】 100 :測試程式除錯裝置 102 .半導體測試裝置模擬設備 104 :被測試元件模擬設備 106:模擬器控制部 108 :測試模組模擬器 110 :測試程式 112 :應用程式 114 :語言解析執行部 116 :測試器程式庫 118 .測試器匯流排模擬器 120 .驗證範圍獲取部 122 :指令簡單化部 124 :虛擬測試器匯流排 126 :虛擬寄存器 128 :虛擬記憶體 130 .虛擬測試執行部 136 :測試結果解析判定部 1334489 修正日期:99年9月1曰 14937pifl 爲第93130319號中文說明書無劃線修正卒 138 :輸出圖案表格 200 :半導體測試裝置 202 :被測試元件 204 :測試模組控制部 206 .測試核組 210 :應用程式 212 :語言解析執行部 214 :測試器程式庫 216 :測試器匯流排驅動器 218 :測試範圍獲取部 220 :指令簡單化部 222 :測試器匯流排 224 :寄存器 226 :記憶體 228 :測試執行部 300 :圖案程式 302 :測試號碼 304 :測試條件指令集 306 :測定指令集 308 .設定指令 310 :圖案生成指令 312 :圖案比較指令 314 :測試圖案的位址 316 :圖案資料

Claims (1)

1334489 14937pifl 爲弟93130319痛中文說明書無劃線修正本 修正曰期：99年9月1曰 七、申請專利範圍： 1.一種測試程式除錯裝置，爲對用於一半導體測試裝 置的一測試程式進行除錯之測試程式除錯裝置，包括： 一被測試元件模擬設備，用以模擬一被測試元件；以 及 一半導體測試裝置模擬設備，執行該測試程式並模擬

該半導體賴裝置，且向輯測試元倾擬設備供給 試圖案，包括： 一驗證範圍獲取部，用於獲取該測試程式中驗證 之指令的範圍即一驗證範圍； 、 卜扎令簡單化部，使該測試程式中的該驗證範圍 以外的範圍即一非驗證範圍中所包含之一非驗證範圍指令 中，用於進行該被測試元件模擬設備的設定之一設定指令 以外的一非設定指令簡單化；以及 7 紙卜扣令執行部，用於執行該驗證範圍中所包含的

=證範圍指令’該設定指令及該指令簡單化部被 早化之該非設定指令。 θ 2.如申請專利範圍第1項所述的測試程式除錯裝w， 更包括： ι 圖δ亥非設定指令包含用於進行該測試圖案的生成之— 卷生成指令，及對該測試圖案，將從該被測試元件模擬 所輪出的輸出圖案與期待值進行比較之一圖案比較指 。亥指令簡單化部將該圖案生成指令及該圖案比較指 1334489 14937pifl 線修正本 修正日期:"年9月i臼 爲第93130319號中文說明書無劃 令簡單化；以及 及、^指執行部執行該驗證範圍指令及該設定指令，以 及被間早化之該_生成指令及該贿比較指令。 3·如申請專利範圍第1項所述的測試程式除錯裝置， ^指令簡單化部將婦設定指令作以則該指人 執行部執行的指令而設定；以及 Ύ 該指令執行部執行該驗證範圍指令及該設定 不執行該非設定指令。 而 4. -種測試程式除錯裝置，爲進行—半導體測 用的一測試程式的除錯之測試程式除錯裴置，包括：χ 一被測試70件模擬設備，用以模擬-獅m元件；以 及 該半置模擬設備，執行該測試程式並模擬 4導體糾裝置，且與該制試元件模㈣ 試圖案的收授；包括： 丁剩 該半導體測試裝置模擬設備獲取該測試程 驗證之指令的範圍即一驗證範圍；以及 ^ 該被測試元件模擬設備使根據該測試程式 ^驗證範圍以外的範___非驗證範圍所包含之驗说 範圍心令巾’祕進行馳賴元件模擬設備設 定指令以外的一非設定指令之模擬簡單化並執行。叹 5. 如申請專概㈣4項料的測試料除錯裝 更包括： 、夏’ 21 1334489 14937ρΐΠ 爲第93130319號中文說明書無劃線修正本 ' 修正日期:99年9月1曰 • 雜測試元件模擬設備縣保持對從該半導體削 裝置模擬設備所供給的該測試圖案之— I =設= “二= 忒圖案’輸出預先所保持的該輸出圖案。 6.-種半導體測試裝置，_由執行 一被測試元件進行測試的半導體測試裝置，式而對 -測試範圍獲取部’獲取該測試程式二被 • 件的測試使用的指令範圍，即-測試範圍；μ被'収疋 一指令簡單化部，使該測試程 ’ 的範圍即-非測試範圍所包含之_ ‘ $二 .=被：件設定的-設定指令以外的；:定: -指令執行部’執行該職範s =令該設定指令及由該指令簡單化部被簡單二: • 包括7.如申5月專利範圍第6項所述的半導體測試裝置，更 圖案指Γ包含用於進行該測試圖案的生成之一 "^ 對該測試圖案，將從該被測試元件所輸 ^與期待值進行比較之-圖案比較指令； 入…f彳"料化部將該圖案生成指令及該圖案比較指 令間早化；以及 執行部執行朗試範_令及該設定指令，以 亥被間早化之該圖案生成指令及該圖案比較指令。 22 1334489 14937pin 爲第931細9號巾纖明書無劃 , 修正臼期:"年9月1臼 置的測試程式除錯方法I二除錯裝 測試裝置_測試程 ==二半導體 ^皮測試糾模擬設備供給—測試_的導 置模擬設備，包括： 干導體測喊裝 的階f取該測試程式中驗證之指令的範圍即—驗證範圍 證範===== ，模擬設備的設定之-設定指令以外的 單化的階段；以及 N又疋心7間 執行該驗證範圍中所包含的一驗證 指令及被簡單化之該非設定指令的階段。曰7 t又疋 9.-種測試方法’聽由執行—測 試元件進行測試的測試方法，包括： ^對一被測 外獲取該測試程式中用於該被測試元件的測試之指令 的範圍即一測試範圍的階段； 使該測試程式中的該測試範圍以外的範圍即非測試 範圍所^之非齡中的，用於進行該被測試元 件的設d定指令以外的—非設定指令簡單化 段；以及 執打該測試範圍中所包含的一測試範圍指令該設定 指令及被簡單化之該非設定指令的階段。

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