TWI326742B - - Google Patents

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TWI326742B
TWI326742B TW096104724A TW96104724A TWI326742B TW I326742 B TWI326742 B TW I326742B TW 096104724 A TW096104724 A TW 096104724A TW 96104724 A TW96104724 A TW 96104724A TW I326742 B TWI326742 B TW I326742B
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Chang Hung Peng
Ming Chien Kuo
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Cooler Master Co Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • F04B43/046Micropumps with piezoelectric drive

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

丄屬742 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關幫浦結構,尤指—種應用於流體運輸或 循環系統上之薄膜幫浦。 【先前技術】
/習知常見的壓電式幫浦結構,如第一圖所示,該結構 如包括一腔體10,該腔體1〇的底面設有一進水管道仙及 出士 g道102 ’同時在進水管道1〇1及出水管道⑽之内 口上分別設置止逆閥20及20a,於該腔體_頂面則 設有一薄膜103,該薄膜1〇3的上方則平貼一致動元件、 脱,此致動元件1〇4係為堡電片;藉此,該致動元件 1〇4通電之後’帶動薄膜1〇3於中段產生上、下擺動作用 ,(如圖式箭頭所示)’亦因兩止逆閥2◦、施位於進水管 道101及出水管道102的特殊位置設計,當致動元件1〇4 上擺時,該腔體_部之壓力小於外部屋力,兩止逆闕2〇 、20a皆會朝上移動’則止逆閥2〇會使進水管道诎盘炉 體1〇的通道開通,令流人進水管道而内的工作流體^ 進到腔體_部,而止逆閥2〇a則將出水管道1〇2與腔體 的通道擔住,流出出水管道1G2的工作流體不會再^ :腔體10内;而當致動元件1〇4下壓時,帶動該薄膜⑽ 差縮該腔體10之空間以產生遂力,兩止逆_、施皆會 朝下私動Μ止20a會將出水管道⑽肖腔體的通 ^開通進而使在腔體1〇内部被壓迫的工作流體自出水管 d02机出’止逆閥2〇則將進水管道ι〇ι與腔體的通道 5 1,326742 擋住,腔體10内的水不會流出進水管道1〇1,藉 上、下擺動作用,使得工作流體可循序漸進地自進水= ιοί進入腔體1〇,再流出出水管道1〇2,因此,= 構成為推動工作流體流動之源頭。 / 然而,此種的壓電式幫浦結構卻存在若干缺陷, ’由於其進水管道101及出水管道1〇2皆設於該腔 面,雖然其結構已較以往舊有結構更為縮小,使得管道位 f的設計:不易再縮減’難以應用在更為薄型的應用空間 中,如目前的筆記型電腦或應用於微小化的生醫器材使用 ,再者,該致動元件104所擺動之方式係由中段產生上、 下k動之作用,當致動元件1Q4向下㈣,同時帶動該薄 ::03向下屢迫腔體10内的工作流體,而使工作流體往兩 邊机動,雖然在進水管道1〇1及出水管道1〇2的管口分別 設有止逆閥20、施’防止工作流體流入進水管道ι〇ι而 產生回流情況’但致動元件1〇4是以中間位置作為擺動區 域’因此造成該該致動元件1〇4的擺動幅度過小,使得每 :次擺動時,進出腔體10的流量不高,成為該幫浦結構未 盡理想之處。 【發明内容】 針對上述之缺失’本發明之主要目的在於提供一種薄 膜幫浦及具有薄膜幫浦之裝置,制用以單邊扇形擺動之 =動几件作動’以上、下大幅度擺動之作動方式愿迫流經 f浦内部之工作流體,,驅使該工作流體形成單—方向之流 動方式除可塵縮5亥鲁浦之結構使其更薄型化外,其單邊 6 义⑽742 大幅度擺動之運動模式配合水流動方向 其循環系統之工作效率。 更&心玄帛浦及 為達成上述之目的,本發明係主要提供一 及具有薄膜幫浦之裝置,該結構 括體= 體内係具有一第—腔室 要'm玄腔 -敝—4 ^ 月工至’且该第一腔室盘第 :::道而=之,兩側分別設有-進水 連通狀態,於該二―:室之:::與第二腔室形成 有閥體,以防止工作…=同側内壁面上分別設 面执有產生回流狀態,另,於該腔體頂 膜上、下擺動,壓迫第帶動薄 、弟腔至内之工作流體產生單一 之循環流動,藉此,除兮暫法从城 乃π 接曰料法 帛浦結構更為薄型化外,更 ^ώα /之工作效能,使得工作流體之流量增大。 【實施方式】 凊參閱第二圖及第三圖’係分別為本發明之立體 ㈣示意圖及組合完成圖。如圖所示,本發明之幫浦料 係以:腔體1為主體,該腔體i内分別具有—第—腔室U 及第一腔至12,該第一腔室u及第二腔室12係用以容置 ,作流體,於本實施例中該第一腔室u係大於第二腔室口 亚相互區隔,且兩者相互連通,於本實施例中在兩者之間 設有-通孔13使第-腔室U及第二腔室12相互連通,而^ 腔體1之外緣左、右側分別設有一進水管道14及一出水管 ,15,且該進水管道14及出水管道15分別與第一腔室 第二腔室12相互連通’另於該第一腔室⑽壁面且對應於 7 1326742 件4之擺動頻率可依不同之需要作不同之調款。 最後,該腔體1亦可與—殼體6對應結將前述之 薄臈3及致動元件4包覆於其中,該殼體6上開設有複數 個穿槽61、61a及61b,係分別對應於該致動元件4、帝 極導線5以及第二讀之位置,並使該致動元件4外: 而具有延展之空間’該致動元件4亦同時穿設該電極導線 5,其組合完成圖如第三圖所示。 請參閱第四圖及第五圖,係為切明之操作示意剖視 圖,可應用於液體運輸系統或循環系統(如水冷循環系统 )等,如®所示’該進水f道14以水#道15分別連接系 統之之導管7,使薄膜幫浦與系統中所包括之其它組件形 成連通狀態(圖未明示),以便於工作流體進到該薄膜幫 浦中;其中,當電源經由導線5導電至該致動元件4上, 致使該致動元件4之擺動端42產生單邊扇形擺動作用,如 弟四圖所示,在該致動元件4之擺動端42向下擺動時,同 時帶動該薄膜3 1缩第一腔室n内部空間以產生壓力,迫 使工作流體產生衝力衝過該閥體2a (如箭頭所示)而往第 二腔室_動,雖有少部分之工作流體會往進水管道14流 動,㈣膜3產生之衝力亦會壓迫閥體2緊閉該進水管道 14之官口 ’以防止工作流體回流至進水管道14 ;而當該致 動το件4之擺動端42往上擺動時,如第五圖所示,該薄膜 3恢復其原大以釋放第一腔室u内之空間,使第一腔室Μ 内4之壓力小於外部壓力’而迫使工作流體自進水管道11 衝過該闕體2 (如箭頭所示)流進至第-腔室11内,而殘 9 1326742 存於出水管道15及第二腔室12内之工作流體亦因壓力而產 生—衝力,以衝壓該閥體2a,反使得閥體2a緊閉該通孔 阻擔出水管道15及第二腔室12中所存有之工作流體回 流至第-腔室11中,藉此使薄膜幫浦内部之工作流體形成 較大流量且呈單一方向之流動。 …此外,该進水官這14及出水管道15之設置位置除了前 述設於腔體1纟、右兩側外,亦可依不同之需要而改變該 進水管道14及出水管道15之位置,如第六圖所示,該進水 管道14設於腔體!之-側並與第—腔室u形成連通狀態, 而該出水管道關設於馳體丨之底部位置,並與該第二 月:至12形成連通;或如第七圖所示,該進水管道及出水 管道15皆設於該腔體丨之底部,且進水管仙及出水管道 =分別與第一腔別及第二腔室12形成連通’設於第一腔 室11内之閥體2之位置對應於該進水管道14之位置,以阻 擋工作流體回流至進水管道14内;藉此,經由該閥體2之 作用’使得進入該腔體1内之工作流體形成一進一出之幫 浦作用,以改善習知中之幫浦結構出水量過小之缺失。 請參閱第八圖’係為本發明之第二實施例之結構俯視 圖。如圖所示’該薄膜幫浦係以一腔體i為主體,直” 腔體1之内部具有-第—腔室η及第二腔室12,於本實施 =中該第二腔室12係設於該第—腔室u之—側,且兩者經 一通孔13相互連通,另該腔體1具有-進水管道14及一 出水管道15 ’且該進水管道14及出水管道係設於同一側邊 ,該進水管道U及出水管道15分別與第—腔室〇及第二腔 10 1326742 • id成連通狀'⑮,於該第-腔室11之内壁面且對應於該 .s水m4位置設有—閥體2,另於第二腔室12之内壁面 且對應表通孔13位置設有一閱體2a;又於該腔體】之頂面 •設有一薄膜3,且同時覆蓋於第-腔如及第二腔室12之 位置H專月吴3之上表面則設有-致動元件4,該致動 元件4刀別具有一固定端41及擺動端42,該固定端41係與 複數電仏‘線5電性連接,且於本實施例中該固定端⑴系 籲λ進水g道14及出水官道15同側,以利該致動元件4之擺 動端42形成單邊扇形擺動作用;最後,該腔體i亦可與一 ⑥體6對應結合’以將前述之薄臈3及致動元件4包覆於 其中。 因此田6又於腔體1上之致動元件4通電後,致使該 致動兀件4之擺動端42產生單邊扇形擺動作用,在擺動端 42向下擺動時,同時帶動薄膜3向第一腔室u内部壓縮, 藝造成第-腔室11内壓力增大,迫使存留於第一腔Μ内之 工作流體產生衝力而同時向進水管道14及出水管紐方向 移動,當工作流體往進水管道14流動時,所產生之衝力合 衝壓對應於該進水管道14位置之閥體2,使間體2緊閉該 進水管道14,以避免工作流體流入該進水管道㈣產生回 流現象,在此同時,向出水管道15流動之工作流體所產生 之衝力則將閥體2a衝離,使工作流體經由該第二腔室㈣ 流動至其它組件位置;而當該致動元件4向上擺動,該薄 膜3恢復原狀後而使第—腔室心之麗力恢復,造成外部 壓力大於第-腔室11内部塵力,迫使工作流體流入進水管 1326742 道14並推離該閥體2而進到該第一腔室π内,另外,存於 第二腔室12之工作流體亦因壓力作用而產生一衝力,衝壓 設於通孔13位置上之閥體2a,使閥體2a緊閉該通孔13,以 阻擔X作流體Θ流至第-腔室丨丨内,俾使該薄膜幫浦形成 單一流向之循環作用。 凊參閱第九圖,係為包括本發明之薄膜幫浦所應用之 裝置結構俯視圖。如圖所示,於本實施例中該幫浦結構係 • &括-腔體1 ’其中該腔體!内具有一第一腔室u,於腔 體1之左、右j則分別設有一進水管道14及一出水管道巧, X於該第-腔室11内壁面且對應於進水管道14之位置上設 有一閥體2,係用以防止第一腔室_之工作流體回流至 進水管道14中,另該腔體}之頂面設有一薄膜3,該薄膜 3之上表面則平貼—致動元件4,該致動元件4具有一固 疋端41及擺動端42,該固定端41與電極導線5電性連接, _ ^提供所需要之電力;最後,該腔體丨可與—殼體6對應 接合,=將前述之元件包覆於其中;此外,該進水管道^ 及出水g道15之位置除了前述之分別設於腔體工對應之— 側外,可依不同需要改變其位置,可同時設於腔體工之同 側’或是腔體1之底部位置,或是同時設於一側邊及 位置。 另外°亥脸肢1係連接一第二腔體8,而該第二腔體 :内具::第二腔室8卜該第二腔體8之左、右側則設有 …進水官遏82及-出水管道83,且該進水管道犯經由一導 吕7 /、月工组1之出水管道15形成連通,而於第二腔室幻内 12
壁面设有一閥體2a ’且對應於該進水管道沿之位置上,此 外,出水管道亦連接導管7 ;因此,當設於該薄膜幫浦上 之致動元件4通電運作時,會呈單邊扇形擺動方式運作, 致動兀件4產生下壓動作後,帶動薄膜3壓縮第一腔室^ 内部空間而增大該空間壓力,迫使存留在第一腔室^内之 工作流體產生衝力自出水管道15流出,並經由導管7衝過 第二腔體8内所設之閥體2a,而依序流動至第二腔室81、 出水管道83、導管7,進而流動至其它組件内,另一方面 ,亦有少部分之工作流體同時衝擊第一腔室u所設之閥體 2 ’以使朗體2關該進水管道14,防止該進水管道14 外之工作流體回流至該腔體!内;而當該致動元件4往上 擺動時,使第-腔室n内部塵力回復常態,致使外部堡力 大於腔體1内部壓力,你 力作抓體會經由進水管道14進到該
腔至11内,而同時存於第二腔體8内部之工作流體則 亦因壓力產生衝力,直接衝壓設於第二腔: ,迫使閥體2a緊閉進水管道取、,^ 1fe2a ^ 1 ^ A s、82,以阻擋工作流體回流至腔 …,致使工作流體產生單—方向之循環作用。 -】=,係為包含本發明之薄膜幫浦應用之另 衣置⑺構俯視圖。如圖所示,該結構係、包括 该腔體1内部係具有-第—腔室與該腔Μ之左、 右側分別設有一進水管道〗4 工 腔室η之頂面設有—薄膜3另於該第一 動元件4,該致動元件4則且;:=3之上表面設有—致 有—固定端41及擺動端42, 而更與複數電極導線5電性連接,而該擺勤 ^一則在通電後產生單邊扇形擺動作用1,該腔體!可 ?該對應接合’以將前述之元件包覆於其中;此外 m ^迢14及出水管道15之位置除了前述之分別設於 之一側外’可依不同需要改變其位置,可同時 於一側邊及底部位置ί"1之底部位置,或是同時設 另外4腔體1之進水管道14及出水管道15分別連接 體=體9及一第二腔體8 ’且該第二腔體8及第三腔 r 8及::有一第二腔室81及第三腔室9卜該第二腔 旦弟—腔體9之左、右側分別具有一進水管道82、92 二T水官道83、93 ’且該第三腔體9之出水管道93係與 水管道1續由m形錢通狀態,另該第 之進水管道82與腔體1之出水管道15經由-導管 兮通’於第三腔室91内壁面設有—閥體2且對應於 Μ 7 S迢92之位置’同時於第二腔室81内壁面且對應出 水管道15之位置則設有另—閥㈣;藉此,當設於腔體i 之致動凡件4開始作動而形成向下擺動,帶動薄膜3壓 腔體1之第—腔室11内部空間,迫使工作流體往進水管 逼14及出水官運15流動,而工作流體因受擠壓而產生之衝 2經由出水管道15而穿越該閥體h ’並依序流動至第二 腔室8卜出水管道83、導管?,進而繼續往其它組件流動 ’同時衝往進水管道14之工作流體,則衝壓設於第三腔體 9内之閥體2 ’以緊閉該第三腔體9之進水管道93位置, 、防止進水s道92外之工作流體回流至第三腔室91内;而 1326742 當致動元件4向上擺動後,則使第一腔室11恢復原來空間 ’因外部壓力大於第一腔室11内之壓力,迫使工作流體自 進水管道92衝過該閥體2,進而流到第一腔室11内,同時 存於第二腔體8内之工作流體亦產生一衝力,衝壓設於第 二腔室81内之閥體2& ’使該關㈣閉該進水f道犯之位 置,以避免工作流體回流至第一 # 植上 月工至Π内,猎此,使得兮 溽牍萬浦形成單一方向之循環作用。 、^ 惟以上所述之實施方式, 能以此限定本發明實施範圍,#驭1土之貝轭貫例,當不 說明書内容所作之等效變化或依本發明申請專利範圍及 專利涵蓋範圍。 夕年白應屬本發明下述之 1326742 【主要元件符號說明】 (習知)
腔體10 進水管道101 出水管道102 薄膜103 致動元件104 止逆閥20 (本發明) 腔體1 第一腔室11 穿槽111 第二腔室12 通孔13 進水管道14 出水管道15 閥體2、2a 柱體21 板體22 薄膜3 致動元件4 固定端41 擺動端42 電極導線5 殼體6 穿槽 61、61a、 61b 導管7 第二腔體8 第二腔室81 進水管道82 出水管道83 第一腔體9 第一腔室91 進水管道92 出水管道93 擺動角度0 變形量51 、 52

Claims (1)

  1. 十、申請專利範圍: 1.—種薄膜幫浦,係包括: 一腔體,該腔體上分別具有一進水管道及一出水管道; 一第一腔室,係設於該腔體内,與該進水管道形成連通 一第二腔室,係設於該腔體内,與該第一腔室及該出水 管道形成連通; 複數閥體,係分別設於該第—腔室及第二腔室之内壁面 上,用以防止工作流體之回流,其中一閥體係對應於進 水管道之位置,另一閥體則對應於第一腔室及第二腔室 所連通之位置上; —薄膜,係設於該腔體頂面位置; —致動元件’係平貼於該薄膜之上表面,該致動元件具 有一固定端及一擺動端,· 藉由該致動元件之縣稿產生單邊大幅度扇形擺動作 用,使該腔體内部之體積產生變化,以使存於腔體内部 =工作流體自進水管道導人並自出水f道導出,而產生 單一方向之流動。 2.如申請專祕㈣1項所述之薄㈣浦,其巾該腔體更 對應連接-殼體,該殼體上開設有複數穿槽,且分ς ,於該致動元件之固定端、擺動端及第二腔室之位置。 ^申請專利範圍第2項所述之薄膜幫浦,其中該固定端 电性連接複數電極導線。 1如申請專利範圍第3項所述之薄膜幫浦,其中該複數電 IS 1326742 極‘線係穿設於該對應之穿槽中。 5. 申請專利範圍第1項所述之薄膜幫浦,其中該第-腔 室及第二腔室間設有—通孔。 6·=申請專利範圍第i項所述之薄膜幫浦,其中該第一腔 ^郴近1進水官迢之内壁面設有一穿槽,另該閥體係具 柱収及一板體,該柱體係穿設於該穿槽中,另該板 體恰對應於該進水管道之位置。 月專利|巳圍第5項所述之薄膜幫浦,其中該第二腔 —H方、°玄通孔之内壁面設有一穿槽,另該闕體係具有 主版及一板體,該柱體係穿設於該穿槽中,另該板體 恰對應於該通孔之位置。 8. ^請專利範圍第1項所述之薄膜幫浦,其中該固定端 係舁§亥出水管道同側邊。 9. ^申I利範圍第1項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 出水s遏係分別設於腔體相互對應之一側位置。 10.:明專利乾圍第i項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 及出水管道係設於腔體同側位置。 11專利範圍第1項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 及出水官道係設於腔體底部。 12. 利範圍第1項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 7 s道係分別設於腔體_側邊及底部位置。 利Γ第1項所述之薄觀,其中該固定端 电! 生連接设數電極導線。 14·如申請專利範圍第i項所述之薄膜幫浦,其中該致動元 19 1326742 • 件係為一壓電片。 15· —種薄膜幫浦,係包括: - 一腔體’该腔體上分別具有一進水管道及一出水管道; - 一薄膜,係設於該腔體頂面位置;以及 一致動元件,係平貼於該薄膜之上表面,該致動元件具 有一固定端及一擺動端,該擺動端係以單邊扇型擺動作 動; 鲁 籍由5亥致動元件所產生之扇形大幅度擺動作用,使腔體 内部之體積產生變化,以使存於腔體内部之工作流體自 進水管道導入並自出水管道導出,而產生單一方向之流 動。 16.如申請專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中該腔體更 對應連接一殼體,該殼體上開設有複數穿槽,且分別對 應於該致動元件之固定端、擺動端。 • 17.如申請專利範圍第16項所述之薄膜幫浦,其中該固定端 更電性連接複數電極導線。 18. 如申請專利範圍第17項所述之薄膜幫浦,其中該複數電 極導線係穿設於該對應之穿槽中。 19. 如申請專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中該固定端 係與該出水管道同側邊。 而 20. 如申請專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 及出水管道係分別設於腔體相互對應之一側位置。 Μ.如申請專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 及出水管道係設於腔體同側位置。 20 申明專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 ' 及出水管道係設於腔體底部。 23 女 • 申凊專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中進水管道 .μ及出水管道係分別設於腔體一側邊及底部位置。 ' 如申凊專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中該腔體内 更包括: 鲁 —第—腔室,係與該進水管道相連通; 25 一第^腔室,係與該第一腔室及該出水瞀道相連通。 • ^申請專利範圍第24項所述之薄膜幫浦,其中該第一腔 至與弟一腔室間設有一通孔。 26. 如申請專利範圍苐25項所述之薄膜幫浦,其中該第二腔 室且對應該通孔位置設有一閥體。 27. 如申凊專利範圍第邡項所述之薄膜幫浦,其中該第二腔 室鄰近於該通孔之内壁面設有一穿槽,另該閥體係具有 • —柱體及一板體,該柱體係穿設於該穿槽中,另該板體 恰對應於該通孔之位置。 28. 如申請專利範圍第24項所述之薄膜幫浦,其中該第一腔 室之内壁面且對應於進水管道位置設有〜閥體。 29. 如申請專利範圍第28項所述之薄膜幫浦,其中該第一腔 室鄰近於進水管道之内壁面設有一穿槽,另該閥體係^ 有一柱體及一板體,該柱體係穿設於該穿槽中,另該板 體恰對應於該進水管道之位置。 30. 如申請專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中該致動元 件係為一壓電片。 21 U26742 31.如申請專利範圍第15項所述之薄膜幫浦,其中該固定端 更電性連接複數電極導線。 .種具有薄膜幫浦之裝置,係包括: 脸肽,该腔體上分別具有一進水管道及一出水管道; —薄膜,係設於該腔體頂面位置;以及 —致動元件’係平貼於該_之上表面,紐動元件具 有—固定端及一擺動端,該擺動端係以單邊扇型擺動作 第二腔體,係與該腔體相連通; 藉由邊致動70件所產生之扇形大幅度擺動作用,使腔體 内部之體積產生變化,以使存於腔體内部之工作流體自 進水管道導人並自出水管道導出,而產生單—方向之流 動。 L 33.如申請專利範圍第’所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 :該第二腔體更包括-第二腔室、—進水管道及一出ς 官道,且該進水管道及出水管道與該第二腔室 34·如申請專利範圍第32項所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 中該第二腔體之進水管道係與腔體之出水管道相連:、 35·如申請專利範圍第32項所述之具㈣,浦^置,1 中該第二腔體之出水管道係與腔體之進水管道了 36·如申請專利範圍第32項所述之具有薄膜幫浦之 盆 ^該第二腔體之内壁面且對應進水管道位置設有_間- 37·如申請專利範圍第32項所述之具有薄膜幫浦之裝置,盆 22 丄獨742 水 :該腔體更包括-腔室,域月空體上之進水管道及出 管道相連通。 8.如申請專利範圍第32項所述之具有薄膜幫浦之裝置,龙 中該腔室之内壁面且對應進水管道位置設有一閥體。〜 39.如申請專利範圍第32項所述之具有薄膜幫浦之裝置,发 中該腔體更連接一第三腔體。 /、
    40‘如申請專利範圍第39項所述之具有薄膜幫浦之聚置,发 :該第三腔體更包括-第三腔室、—進水管道^一出^ 官這,且該進水管道及出水管道與該第三腔室相連通。 •如申請專利範圍第39項所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 :該第三腔室之内壁面且對應進水管道位置設有—閱、
    42.如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜幫浦之裳置,发 中。玄腔體更對應連接一殼體,該殼體上開設有複數穿 槽’且分別對應於該致動元件之固定端、擺動端。 3.如申請專利範㈣42項所述之具有_幫浦之裝置,其 中該固定端電性連接複數電極導線。 " 44·如申請專利範圍第43項所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 中該複數電極導線係穿設於該對應之穿槽中。 " 45. 如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜^浦之裝置,发 中該致動元件係為一壓電片。 〃、 46. 如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜幫浦之裝置,发 中該固定端電性連接複數電極導線。 /、 47. 如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 中進水管道及出水管道係分別設於腔體相互對應之 位置。 48. 如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜幫浦之装置,其 中進水官道及出水管道係設於腔體同側位置。 49. 如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 中進水管道及出水管道係設於腔體底部。 50. 如申請專利範圍第34項所述之具有薄膜幫浦之裝置,其 中進水管道及出水管道係分別設於腔體一側邊及底部位 置。
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