1309222 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 承般*發月&有關於—種工作系統’特別是指—種且有二 【先前：】數料_、統上移載的雙承盤工細。 載：Γ:系統係用以移載複數料片，在系統對料片移 =中’料片通過複數工作站，該等工作站可為檢測儀 片工作的裝置。以工作站是檢測儀並用以 執订檢測功能來說，該承盤工作系統即為一檢測系統η。 /閱圖1、圖2 ’在此以習知之晶圓料片檢測機 說明，其包含前述檢測系統^、—輸送“ 12 一中沖 制一進料機械手臂14，及—出料機械手臂15。 该輸送系統12用以輸人及輸出托盤16，該托盤^可 置多數個待檢測料片⑹，並從輸送系統^之一進口位 未示）進入’經中央控制單元13統籌控制而被輸送至 厂檢剛糸統U附近。進料機械手臂14將托盤^上之待檢 則料片161置入檢測系統u _，中央控制單元則依是否 達到檢測標準而分別收集—符合檢測標準的料片i6i，透過 出料機械手臂15置放料送系統12之—特定位置上的托 盤Μ收集’·未符合檢測標準的料片161，則置放於輸送系 統12之另一特定位置上的托盤16收集。 檢測系統U包含-工作承盤⑴、四台檢測儀心、 ll2b、112c、112d’及二翻轉裝置113。其中，每一檢測儀 U2係為感光耦合裝置（Charge c〇up〗ed Devic幻簡稱 1309222 攝像儀，各設置於該工作承盤〗丨丨之 叫’力對每一通過苴 -作區的料片161數位存像，並將數據送㈣央控制單^ 13加以比對，其中檢測儀U2a、mb負責檢測料片⑹之 正面而檢測儀收、_則負責檢測料片⑹之反面。 =作承盤⑴係呈圓形並於其頂面靠近外緣處 =^用以夾置料片⑹用的治具114，㈣工作⑲ ^ 6G度㈣角度持續順時針旋轉後並作預定時間 的停留：且檢測儀〗12之工作區域與工作承盤⑴之各個治 具114每次所停留的位置相對應。 將托機械手f 14配合工作承盤111每次停留的時間， 將托盤16上的所有料片161以每次一個 承盤111之並中一'.Λ呈七 、砂王以工作 +…”中…具114内。以其中-料片161而言，其 檢測系統11中的檢測過程包括下述六個步驟： 。一、進料機械手臂14將該料片161移至-治具114内 二、、該料片⑹受治具114夾持而隨該承盤lu旋轉移 具U4轉往檢測儀112a之工作區域下停留，使料 …正面文檢’在這停留時間内該進料機械手臂Μ又將 料片161補入工作承盤ill之另-個治具114内。 卩承盤111再旋轉60度，先前在該檢測儀112a 品域下的治具114移轉至檢測儀⑽之卫作區域下， —1/ 161正面停留再受檢；同時，進料機械手臂14又補 ;片ί61於工作承盤111之另一治具114上，而原來由進 料機械手劈14 a 向原术由進 補入的料片161則隨著治具U4被移轉至檢 1309222 測儀112a停留受檢。因此，工作承盤U1每一次旋轉而停 留，該等機械手臂14及檢測儀i12a、U2b皆重複一次動作 並互相配合。 四..完成檢測儀112b檢測的料片161持續因工作承盤 111的旋轉而抵達檢測儀U2c。配合參閱圖3，由於檢測儀 112c係用以檢測料片161之背面，因此當工作承盤丨丨丨旋 轉到位並作停留，-位於工作承盤lu與檢測儀mc之間 的翻轉裝置113將該料片161由正面以吸嘴117從治具114 内吸起，使該料>；161自ji作承盤lu如圖中箭號〗方向作 18〇度垂直翻轉，翻轉後該料片161之背面朝上並置於檢測 儀1…之卫作區域，待檢測完畢之後，翻轉裝置ιΐ3又將 料片⑹沿反箭號！的方向翻轉⑽度回來，再置回原來放 置該料片161的治具114上。 卜々傲丄丄丄的硬轉 而抵達檢測儀112d而進行如同卜汁沾料
檢測方式。 $仃如冋上述的枓片⑹翻轉的背面 1 i d T乃1 G I隨著工作承般 料的抵Γ片輸出位置116並作停留讀^ 對==側的出料機械手臂15將該料… 舍好σ檢’貝J才承準而發屮批人 a 該料…至輸送系：特::料置機械手… 放，如此，從料片⑹的輸入至Η置上的托盤16置 托^上的料片⑹皆檢不斷的循環直至該等 7 1309222 由以上可知，工作承盤lu每次旋轉後所停留的時間， 相當於配合各元件的工作時間，以六片進料的工作承盤⑴ 來說，除了輸入與輸出步驟之外，主要還有檢測兩次料片 ⑹正面及兩次料片161背面，其中又以料片i6i背面的檢 測耗時最久，以上述的過程看來每一背面檢 —翻轉裝置113將粗η〗以… 而要叹有 測完再反, Μ具114㈣起後翻轉’待檢 二 …置放於治具114内’因此以時間上來說，除 了人反轉之而時外尚需加上料月161受檢測儀Η ^的基本時間，因此社作承盤⑴每—次的停留時間^ 1配合該—翻轉而延君，因此拖緩了總體檢測的效率。 【發明内容】 因此’本發明之目的，即在提供一種利用二工作 分別對於料片的IP c = t ^ 作系統。 、®工作以提高工#效率的雙承盤工 包含-第-承盤、至少一第一工作站 第一工作站，及一翻轉裝置 本發明雙承盤卫作系統係用以移載複數料片， 一第一 ：¾無、f_ 一第二承盤、至少 可供==複數間隔設置於該承盤頂面近外緣處且各 立每1 m卩m繞細減轉，並使 其母—㊅置部依衫時抵達至少-預^作位置、至Γ 預定搬移位置。 至少— 作位罟料叹置於該第-承盤之-側且對應其預定工 ，兮承盤之一权置部抵達該預定工作位置 "卫作站可對該設置部上的料片工作；第二工作站 1309222 設置於該第二承盤之— ^ ^對應其n作位置處，當胃 第-承盤之u部抵達㈣定 可對該設置部上的料片工作。 "亥第一工作站 每-工作站可為檢測儀或是任何可對科片工作 ，而所述之工作位署总* 展置 置係為工作站所能完成其工作内容 效區域，且該承盤的預定工 作區。 ™立罝即對應每一工作站的工 該翻轉裝置設置於兮笛 墙 第一、第二承盤之間，當該第- 承盤之一设置部上之料片姆兮楚 窨邱垃嬙J去 、、、〜第一工作站的工作，且該設 置邛接續抵達該預定搬移位置時， T成翻轉裝置將該設置部 上之料片持起後翻面，並置放 .^ 置放於5亥第一承盤1，藉此該第 一工作站可接續對該料片工作。 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 以下配合參考圖式之一個較佳實施例的詳細說明中，將可 清楚的呈現。 參閱圖4，本發明雙承盤工作 —糸、，死之較佳實施例係應用 f一晶圓料片檢測機中，作為一檢測系統3使用。該晶圓 料片檢測機更包含-輸送系統2、_中央控制單元4、一進 料機械手臂5，以及一出料機輔丰辟 機械手# 6。該檢測系統3包含 —第一承盤31、四個工作站32、— 弟一承盤33、一第一翻 轉裝置34,及一第二翻轉裝置3 Μ其中’工作站的數目可 依工作目的及需求作調整，本竇 ^ +貫知例中，該等工作站32即 為CCD攝像儀，用以檢測每一料 枓片71之正、反兩面而分為 1309222 第—正面攝像儀321、一第二正面攝像儀 面攝像儀323,及一第二反面攝像儀324。…2、—第—反 載滿料片7丨的托盤7透過該輸送2朝該 3移送’進料機械手臂5可將該托盤7上的料片71」統 入檢測系統3,由各攝像儀321〜324 &測 = 32W24檢測出的數據即傳送至該中央控制單元4交 ，然後分別將符合或未符合檢測標準的料片71 “料機 手臂6將該料片71置於該輸送系統2之托盤7上收集 :例中’第一承…第二承盤33具有相同的 二構、規格以及運作模式，其中第—承盤31係專供攝像儀 321、322檢測料g +工工 尬 儀⑺” 之正面’而第二承盤33係專供攝像 儀324檢測料片71之背面。該等承盤31、33皆且有 四個平均設置於承盤31、33頂面而鄰近外緣且各可供二料 片71置放的設置部，而實施例中的每-設置部是為一'可夾 置-料片71的治具35。其中，該等攝像儀32ι〜似之 區皆能對應到各承盤31、33之治具35所預定停留的位置 上0 該第一承盤每次以9G度的順時針角度繞其心轴持 續旋轉後並作預定時間的停留，而每一次的停留，該進料 機械手臂5可將托盤7上的料片71 一次以一個的方式持起 ，並以料片71正面朝上的方向置人對應治具35内。 方才置入治具35内的料片71隨即受該治具^炎持並 隨著第一承盤31、經90度的旋轉而抵達下一預定停留的位 置’而該位置則為該第一正面攝像儀321的工作區域，在 10 1309222 述進料及檢測之動作 dr迢的時間内’該第一正面攝像儀32i對該一料片η進 行攝影並將數據傳往中央控制單丨4比對，同時，該進料 機械手臂5再將一新的料片7i置入下一個治具35上。如 此又第it面攝像儀321檢測的該料片71以相同的方式 再以90度的旋轉而抵達下—個預定停留的位置，並受工作 區位在該位置上的第二正面攝像冑322檢測，同時，該 料機械手f 5及該第—正面攝像儀321又分別重複—次上 。亥第一承盤33同樣具有四個平均設置於該承盤頂 面而鄰近外緣且各可供-料片71置放的治具35,而該第_ 翻轉裝置34則設置於二承盤31、33之間。參閱圖5及圖6 ，該第-翻轉裝置34包括一具有一吸嘴⑷的第一取放臂 341及—具有一吸嘴344的第二取放臂342,位於該第二正 面攝像儀322的工作區的治具35經由第—承盤31持續旋 轉9〇度而抵達到一搬移位置311停留，此時容置該料片η 的治具35打開並由該第—取放f 341之吸嘴由正面吸起該 料片並朝第一取放臂341迴轉18〇度而使該料片 面且移出第一承盤3卜由第二取放臂342之吸嘴344從料 片7】之反面吸起且承接，再沿圖5 t箭號π方向置入該第 =盤33之-搬移位置311上的治具％内，此時移動到對 立置上的治具35亦已為打開而供料片71置入的狀態。 ' :上此時5亥料片71已經翻面’接下來該第二承盤33 亦以母··人90度的順時針方向直續旋轉後作預定時間的停留 ’並且逐—通過該第—反面攝料323及該第二反面攝像 11 1309222 的工作區域檢測，並由該等檢測裝 $ /由·»r n » 夏 ' 324 據再傳至該t切制單元4比對 在財㈣料，本實施财 方向係同樣為順時針旋轉且皆為间牛― 的疑轉 宽n ， 疋轉且白為问步的動作’也就是說告 弟-承盤3】順時針旋轉9〇度 ^田 針旋轉90谇乐—承盤33也順時 、，轉纟，並作相同時間的停留。第二承盤3 逆時針的方向旋轉，/λ可以 ^ /、需使第一及第二反面攝像儀+ 工作區配合第二承盤33 輯儀324之 此外，卫作站32的數目可如留的位置即可。 咅料㈣f求增減，但要注 忍的疋該等承盤31、33上的、、Λ且以如 戈〆王 毒-計的"具35數目以及承盤31、33 每_人㈣轉㈣度亦需隨工作站Κ的數目調整。 通過該等反面攝像儀323、324工 ^ Μ 5 __ 44 u ±Λ . 乍區的一具35將被 方疋轉至#片輸出位置37停留，被 35打開並由該第二_裝置38將㈣U 71從該治且的治具 持起後翻面’使得該料片71正面再声朝上°〆〜、35内 械手臂6從正面承接料片71並由該中〜控制單元=料機 機械手臂6依照是否符合檢測的標準而將該 於該輸送系統2之托盤7上收集。 彳片71置敌 歸納上述，本發明雙承盤工作系 33同步的動作使㈣71於該等承盤3卜3兩承盤卜 攝像儀32卜324之取像，相較 移载並受各 詻昍茲士德λ船 知早一承盤的結構，太 =雙承盤31、33的設計’專以第—承盤31檢‘ 將料片/番rm 33 _科片71之背面’因此可 將抖片71翻轉的動作與定點檢測的動作分開，不需如2 12 1309222 2在m翻出、檢測、翻回，因此每次承盤3卜33 ρ, χ 縮 亦即大幅縮短料片71檢測時 間’提高整體效率。 &惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 =此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明中請專利 已圍及發明說明内容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍 屬本發明專利涵蓋之範圍内。
【圖式簡單說明】 圖1是-俯視圖，說明習知承盤工作系統為一檢測系 統’而該-檢測系統應祕—晶圓料片檢測機中； 圖2是一侧視圖’說明治具因工作承盤的旋轉而轉往 個檢測儀之作區域下停留並使料片正面受檢； 圖3疋侧視圖，說明第一翻轉裝置將一料片從一治 具上由正面吸起’並朝—第三個檢測儀作⑽度翻轉後停 留受檢’檢測後該第一翻轉裝置又將料片反方向翻轉回來 而再置回該治具上； 圖4是-晶圓料片檢測機之示意圖，說明本發明雙承 盤工作系統之較佳實施例係使用於該晶圓料片檢測機之一 檢測系統中； 圖5疋侧視圖，說明本實施例中之一第一翻轉裝置 將-位於一搬移位置上的料片由一第一取放臂之吸嘴由正 面吸起’並朝該第二承盤迴# 18G度而使該料片翻後，由 該第二取放臂之吸嘴由料片之反面吸起且承接，·及 圖6是-類似圖5之視圖，第二取放臂之吸嘴承接該 13 1309222 第一取放臂上之料片，再以料片反面朝上之方向置入該第 二承盤之一搬移位置上的治具。
14 1309222 【主要元件符號說明】 2 ....... ----輸送糸統 3 ....... •…檢測系統 31…… …·第一承盤 311 ···. …·搬移位置 32…… …·工作站 321… —苐 正面攝像儀 322 ·· •…第二正面攝像儀 323 ·_·_ …·弟 反面攝像儀 324… •…第二反面攝像儀 33…… •…第二承盤 34…… •…第一翻轉裝置 341 ··· …·第一取放臂 342 …·第二取放臂 343 ..... ••吸嘴 344 ••吸嘴 35....... ••治具 36....... ••料片輸入位置 37....... ••料片輸出位置 38....... ••第二翻轉裝置 4 ........ ••中央控制單元 5 ........ …進料機械手臂 6 ........ …出料機械手臂 7 ........ ••托盤 71....... ••料片 I〜Π 箭號
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