TWI305297B - Method of projecting image and the device of the same - Google Patents

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f 130,5297 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於將配置多個因應於依據傳送所射入之 光的描畫資訊之控制信號而調變的描畫元件之空間光調變 '元件，對描畫面朝向既定之掃描方向，相對地移動而進行 * 描畫之描畫方法及描畫裝置。 【先前技術】 以往，已知各種在描畫面上形成影像資料表示之所要的 Φ 二維圖案之描畫裝置。

在如上述所示之描畫裝置上，例如，提議各種利用數位 微反射鏡元件（DMD)等空間光調變元件因應於影像資料調 變光束而進行曝光之各種曝光裝置。DMD係在矽等半導體 . 基板上之記憶體單元（SRAM陣列）將多個微反射鏡排列成L 列xM行之二維形狀所構成者，係藉著控制依據在記憶體單 元所儲存之電荷的靜電力，使微反射鏡傾斜，而可改變反 射面之角度者。而且，藉著在沿著曝光面之固定的方向掃 ^ 描本DMD而進行曝光。 在此，在該DMD，首先，向SRAM陣列傳送影像資料， 藉著在該傳送後重設各微反射鏡，因應於向SRAM陣列所 寫入之影像資料的內容（「0」或「1」）微反射鏡傾斜成既 定之角度（「ON」或「OFF」），可改變光之反射方向。 【專利文獻1】特開20 04-233718號公報 【發明內容】 【發明要解決之課題】 可是，以往因逐列依序地向SRAM傳送並寫入影像資 J305297 料’而向SRAM陣列傳送全部之列的影像資料後，進行如 上述所示之重設，其傳送時間需要很長的時間，調變速度 變慢’曝光時間整體變成很長。又，因調變速度慢，高解 析度之曝光亦困難。 本發明鑑於上述之情況，其目的在於提供可使空間光調 變元件之調變速度更高速化的描畫方法及描畫裝置。 【解決課題之方式】 本發明之第一種描畫方法，係使用將多個因應於依據傳 # 送所射入之光的描畫資訊之控制信號而調變的描畫元件， 配置成二維狀的空間光調變元件之描畫方法，向該空間光 調變元件之該描畫元件傳送控制信號而進行調變，而且將 該空間光調變元件對描畫面在既定之掃描方向相對地移動 ' 而進行描畫，其特徵爲：該空間光調變元件對該掃描方向 , 分割成多個方塊區域；並列地傳送該多個各方塊區域的控 制信號。 又，在該描畫方法，可作成在各方塊區域進行調變，而 φ 且藉著控制各方塊區域之調變的時序及/或朝向掃描方向 之移動速度而控制在對應於各方塊區域之描畫面上的各描 畫區域之配置。 又可作成，對該掃描方向，在利用自該描畫面看配置於 下游側之方塊區域而進行描畫後，利用配置於上游側之方 塊區域進行該描畫。 又可作成，對該掃描方向，控制各方塊區域之調變的時 序及/或朝向掃描方向之移動速度，使對應於自描畫面看配 置於下游側之方塊區域的描畫區域和對應於配置於上游側 ,1305297 之方塊區域的描畫區域重疊。 又可作成，對該掃描方向，控制各方塊區域之調變的時 序及/或朝向該掃描方向之移動速度，使在對應於自描畫面 看配置於下游側之方塊區域的描畫區域之對該掃描方向的 * 描畫點間，配置對應於配置於上游側之方塊區域的描畫區 * 域之描畫點。 又可作成，控制各方塊區域之調變的時序及/或朝向掃描 方向之移動速度，使對應於各方塊區域之各描畫區域之描 φ 畫點，在接描方向隔著相同之間隔配置。 又可作成將各方塊區域對該掃描方向再分割成多個分 割區域；在各方塊區域向該各分割區域依序地傳送該控制 信號，而且自其傳送完了時刻依序地進行該調變。 . 又可作成，藉著控制在各方塊區域之分割區域的調變之 時序及/或朝向掃描方向之移動速度，而控制在對應於分割 區域之描畫面上的各分割描畫區域的配置。 又可作成，對該掃描方向，在利用自描畫面看配置於下 Φ 游側之方塊區域的分割區域進行描畫後，利用配置於上游 側之方塊區域的分割區域進行該描畫。 又可作成，對該掃描方向，控制在各方塊區域的分割區 域之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動速度，使對應於 自描畫面看配置於下游側之方塊區域的分割區域之分割描 畫區域和對應於配置於上游側之方塊區域的分割區域之分 割描畫區域重疊。 又可作成，對該掃描方向，控制在各方塊區域的分割區 域之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動速度，使在對應 • 130,5297 於自描畫面看配置於下游側之方塊區域的分割區域之分割 描畫區域的對掃描方向之描畫點間，配置對應於配置於上 游側之方塊區域的分割區域之分割描畫區域的描畫點。 又可作成，控制在各方塊區域的分割區域之調變的時序 及/或朝向掃描方向之移動速度，使對應在方塊區域之分割 ' 區之各分割描畫區域之描畫點，在掃描方向隔著相同間隔 配置。 又.，可將在各方塊區域之分割區域的個數N設定爲滿足 _ 下式的大小。 N = Tsr/Ttr 但，Ttr :各分割區域之調變時間

Tsi·:對各分割區域之控制信號的傳送時間 ' 本發明之第二種描畫方法，係使用將多個因應於依據傳 . 送被射入之光的描畫資訊之控制信號調變的描畫元件，配 置成二維狀的空間光調變元件之描畫方法，向空間光調變 元件之描畫元件傳送控制信號而進行調變，而且將該空間 φ 光調變元件對描畫面在既定之掃描方向相對地移動而進行 描畫，其特徵爲：將空間光調變元件分割成多個方塊區域； 並列地傳送該多個各方塊區域的控制信號。 本發明之第一種描畫裝置，具備有：空間光調變元件， 將多個因應於依據傳送被射入之光的描畫資訊之控制信號 而調變的描畫元件’配置成二維狀；移動裝置，將空間光 調變元件對描畫面在既定之掃描方向相對地移動；及控制 裝置’向空間光調變元件之描畫元件傳送控制信號而進行 該調變’而且控制移動裝置之朝向掃描方向的移動速度， l3〇5297 其特徵爲：將空間光調變元件對該掃描方向分割成多個方 塊區域，控制裝置具有在各方塊區域所設置之多個控制信 號傳送部，向各方塊區域並列地傳送控制信號。 • 又，在該描畫裝置，可將控制裝置作成係對各方塊區域 進行調變者，而且藉著控制該各方塊區域之調變的時序及/ 或朝向掃描方向之移動速度而控制在對應於各方塊區域之 描畫面上的各描畫區域之配置。 又，可將控制裝置作成，對該掃描方向，在自描畫面看 ® 配置於下游側之方塊區域進行調變後，對配置於上游側之 方塊區域進行調變。 又，可將控制裝置作成，對掃描方向，控制各方塊區域 之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動速度，使對應於自 * 描畫面看配置於下游側之方塊區域的描畫區域和對應於配 . 置於上游側之方塊區域的描畫區域重疊。 又，可將控制裝置作成，對掃描方向，控制各方塊區域 之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動速度，使在對應於 φ 自描畫面看配置於下游側之方塊區域的描畫區域之對掃描 方向的描畫點間，配置對應於配置於上游側之方塊區域的 描畫區域之描畫點。 又，可將控制裝置作成，控制各方塊區域之調變的時序 及/或朝向該掃描方向之移動速度，使對應於各方塊區域之 各描畫區域之描畫點，在掃描方向隔著間隔配置。 又，將各方塊區域對掃描方向再分割成多個分割區 域；可將控制裝置作成，在各方塊區域向各分割區域依 序地傳送控制信號，而且自該傳送完了時刻依序地進行 ,1305297 調變。 又，可將控制裝置作成，藉著控制在各方塊區域之分割 區域的調變之時序及/或朝向掃描方向之移動速度，而控制 對應於分割區域之描畫面上的各分割描畫區域的配置。 又，可將控制裝置作成，對掃描方向，在對自描畫面看 * 配置於下游側之方塊區域的分割區域進行該調變後，對配 置於上游側之方塊區域的分割區域進行調變。 又，可將控制裝置作成，對掃描方向，控制在各方塊區 # 域的分割區域之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動速 度，使對應於自描畫面看配置於下游側之方塊區域的分割 區域之分割描畫區域和對應於配置於上游側之該方塊區域 的該分割區域之分割描畫區域重疊。 • 又，可將控制裝置作成，對該掃描方向，控制在各方塊 , 區域的分割區域之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動 速度，使在對應於自描畫面看配置於下游側之方塊區域的 分割區域之分割描畫區域的對掃描方向之描畫點間，配置 φ 對應於配置於上游側之方塊區域的分割區域之分割描畫區 域的描畫點。 又，可將控制裝置作成，控制在各方塊區域的分割區域 之調變的時序及/或朝向掃描方向之移動速度，使對應於各 方塊區域之分割區域之各分割描畫區域的描畫點，在掃描 方向隔著相同間隔配置。 又，可將在各方塊區域之分割區域的個數N設定爲滿足 下式的大小。 N = T s r / T t r -10- 1305297 但，Ttr :各分割區域之調變時間 T s r :對各分割區域之控制信號的傳送時間 在此，該「並列地傳送多個各方塊區域的控制信號」意 指，至少在既定之時刻同時傳送至少2個方塊區域之控制 信號即可，不僅各方塊區域之控制信號的傳送開始時序相 ' 同之情況，亦包含傳送開始時序在各方塊區域僅相差既定 之時間的情況。 又，該「對掃描方向」「分割」，在排列有描畫元件之正 φ 交的兩方向之中的其中一個方向爲和掃描方向相同之方向 的情況，意指對該方向分割，而在該正交的兩方向之任一 個方向都不是和掃描方向相同之方向的情況，意指對於對 該掃描方向之傾斜角比較小的方向分割。 本發明之第二種描畫裝置，具備有：空間光調變元件， _ 將多個因應於依據傳送被射入之光的描畫資訊之控制信號 而調變的描畫元件，配置成二維狀；移動裝置，將該空間 光調變元件對描畫面在既定之掃描方向相對地移動；及控 φ 制裝置，向空間光調變元件之描畫元件傳送控制信號而進 行調變，而且控制移動裝置之朝向掃描方向的移動速度， 其特徵爲：將空間光調變元件分割成多個方塊區域；控制 裝置具有在各方塊區域所設置之多個控制信號傳送部，向 各方塊區域並列地傳送控制信號。 【發明之效果】

若依據本發明之描畫方法及描畫裝置，因作成將空間光 調變元件對掃描方向分割成多個方塊區域，且並列地傳送 該多個各方塊區域的控制信號，因此和如以往般向SRAM -11- ,1305297 逐列傳送並寫入影像資料，且在向S R A Μ陣列傳送全部之 列的影像資料後重設之情況相比，可使調變速度更高速。 例'如，在作成分割成4個方塊區域之情況，可使調變速度 變成4倍。 又’在該描畫方法及描畫裝置，在作成在各方塊區域進 ' 行調變’而且藉著控制各方塊區域之調變的時序及/或朝向 掃描方向之移動速度，而控制在對應於各方塊區域之描畫 面上的各描畫區域之配置的情況，可任意地控制各方塊區 • 域之各描畫區域的配置。例如，可對掃描方向按照同一間 隔配置各方塊區域之各描畫區域的描畫點，可實現等分布 之解析度。 又，在作成將各方塊區域對掃描方向再分割成多個分割 • 區域’在各方塊區域向各分割區域依序地傳送控制信號， . 而且自其傳送完了時刻依序地進行調變之情況，因在各方 塊區域，可作成在一個分割區域之重設時間之間向其他的 分割區域傳送影像資料，可使各方塊區域之調變速度更高 φ 速化。例如，在作成將各方塊區域分割成3個分割區域之 情況，因可使調變速度再變成3倍，藉著組合各方塊區域 之分割和在各方塊區域之各分割區域的分割，而和以往之 情況相比（在解析度相同之情況），可使調變速度變成1 2倍。 又，因可作成在各方塊區域之調變時間之間描畫各分割 區域的描畫點，可提高解析度。例如，在將各方塊區域分 割成3個分割區域之情況，可使解析度變成3倍。 【實施方式】 以下，參照圖面詳細說明使用本發明之描畫方法及描畫 -12- 1305297 裝置的實施形態1之曝光裝置。本實施形態之曝光裝置係 使用將多個因應於傳送被射入之光的控制信號調變之描畫 元件，在正交之方向配置成二維狀的空間光調變元件之曝 光裝置，在對該空間光調變元件之控制信號的傳送方法具 有特徵，首先，說明本實施形態之曝光裝置的整體構造。 ' 第1圖係表示使用本實施形態之曝光裝置的槪略構造之立 體圖。 本實施形態之曝光裝置10如第1圖所示，具備在表面 φ 吸附感光材料1 2後保持之平板形的移動用工作台1 4。而’ 在4支腳部16所支撐之厚板狀的設置台18之上面，設置 沿著工作台移動方向延伸之2支導件20。工作台1 4配置成 其長邊方向朝向工作台移動方向，而且利用導件20支撐成 • 可往復移動。 在設置台1 8之中央部，設置有口字形之門22，且跨在 移動用工作台14之移動路徑。3字形之門22的端部各個 固定於設置台1 8的兩側面。夾著該門2 2在一側設置掃描 φ 器24，在另一側設置檢測感光材料1 2的前端及後端之多個 (例如2個）感測器26。掃描器24及感測器26各自安裝於 門22，固定配置於移動用工作台14之移動路徑的上方。此 外，掃描器24及感測器26和用以控制該等之後述的控制 部連接。 掃描器2 4如第2圖及第3 (B)圖所示’具備排列成2列5 行之大致矩陣形的1〇個曝光頭30。此外’在以下’在表示 排列於第m列第η行之各個曝光頭的情況’以曝光頭30mη 表示。 -13- 1305297 各曝光頭3 0具備係空間光調變元件之數位微反射鏡 件（以下稱爲DMD)36。DMD36係將作爲描畫元件之微反 鏡在正交之方向排列成二維狀者，安裝於曝光頭30，使 微反射鏡之排列方向和掃描方向形成既定之設定傾斜角 0。因此’各曝光頭30之曝光區域32如第3(B)圖所示 形成對掃描方向傾斜之矩形的區域。此外，在以下，在 示排列於第m列第η行之各個曝光頭的曝光區域之情況 以曝光區域32mn表示。 # 在DMD36之光射入側，設置：光纖陣列光源（省略 示），光纖之發光點沿著對應於曝光區域3 2之長邊的方 排列成一列；及聚光透鏡系統（省略圖示），係與使自光 陣列光源所射出之雷射光變成平行光，並修正而使該平 、 光化之雷射光的光量分布變成均勻後，聚光於DMD36上 . 又，在DMD30之光反射側配置成像透鏡系統（省略 示），將用DMD36所反射之雷射光成像於感光材料120 描畫面。 φ 而，如第3 (A)圖所示，將排列成線狀之各列的曝光頭 各個在其排列方向配置成錯開既定間隔，隨著工作台1 4 移動，雖然每個曝光頭30在感光材料12上形成帶狀的 曝光區域34 ’但是該帶狀的已曝光區域34各個和相鄰之 曝光區域34部分重疊。因而，第1列之曝光區域321 1 曝光區域3 2 1 2之間之無法曝光之部分可利用第2列之曝 區域3 2 2 1曝光。 DMD36如第4圖所示，係將微反射鏡58利用支柱支 而配置於SRAM陣列（記億體單元）56上者，如上述所示 元 射 該 度 表 圖 向 纖 行 〇 圖 的 30 之 已 已 和 光 撐 將 -14- 1305297 構成像素之多個（例如，間矩13.68 # m、1 024個χ768個）微 反射鏡5 8在正交之方向排列成二維狀而構成之反射鏡組 件。然後，如上述所示在微反射鏡5 8之正下，經由包含合 葉及軛之支柱配置在一般之半導體記憶體的生產線所製造 之矽閘的CMOS之SRAM陣列56。 ' 向DMD36之SRAM陣列56寫入作爲控制信號之數位信 號時，將因應於該數位信號之控制電壓施加於在各微反射 鏡5 8所設置的電極部（圖上未示），利用藉著該控制電壓之 9 施加所產生的靜電力，使支柱所支撐之微反射鏡58在以對 角線爲中心± α度（例如±10度）之範圍傾斜。第5(A)圖表示 微反射鏡58爲ON狀態之傾斜+ 〇:度之狀態，第5(B)圖表 示微反射鏡5 8爲OFF狀態之傾斜一 α度之狀態。而，在微 ' 反射鏡5 8爲ON狀態時射入微反射鏡5 8之光Β，朝向感光 - 材料1 2反射：在微反射鏡5 8爲OFF狀態時射入微反射鏡 5 8之光B，朝向感光材料1 2以外之吸光材料反射。 在此，在本曝光裝置之DMD36如第6圖所示，分割成 φ 由多個微反射鏡列構成之4個方塊區域A〜D。而，向該方 塊區域A~D並列的傳送該方塊區域a〜D之控制信號。此 外，該微反射鏡列爲在微反射鏡5 8排列之正交的二方向之 中對該掃描方向之傾斜角較大的方向將微反射鏡5 8配置 成一列者。 因如上述所示向DMD36之.各方塊區域A〜D並列的傳送 控制信號，在各曝光頭3 0，如第7圖所示，在各方塊區域 A〜D設置4個控制信號傳送部6〇 a〜60D。此外，在第7圖， 省略控制信號傳送部60C之圖示。又，雖然在本實施形態， -15- 1305297 如上述所示作成將D M D 3 6分割爲4個方塊區域，但是未限 定如此，只要係2個以上之方塊區域，分割成幾個方塊區’ 域都可。 各控制信號傳送部60A~60D如第7圖所示，具備P個位 移暫存器電路61、閂鎖電路62及列驅動器電路6 3。在P * 個位移暫存器電路61，自控制器65輸入時鐘信號CK，因 應於該時鐘信號CK在P個位移暫存器電路61各自同時寫 入各一個控制信號。而，向P個位移暫存器電路61各自寫 φ 入N個控制信號後，向閂鎖電路62傳送該ΝχΡ個之一列 的控制信號。 然後，在該情形下向列驅動器電路63傳送已傳送到閂 鎖電路62之一列的控制信號後，在SRAM陣列56之既定 . 列寫入自列驅動器電路63所輸出之一列的控制信號。在列 解碼器64根據位址信號選擇寫入控制信號之既定列。 然後，如上述所示將控制信號閂鎖於閂鎖電路62，在 SRAM陣列56之既定列寫入控制信號之間，將下一列之控 φ 制信號寫入位移暫存器電路6 1。 此外，利用控制器65控制對位移暫存器電路6 1、閂鎖 電路62、列驅動器電路63及SRAM陣列56寫入控制信號 之時序。 而，如上述所示在SRAM陣列56寫入控制信號後’利 用電壓控制部66向在各微反射鏡58所設置之電極部施加 因應於該所寫入之控制信號的控制電壓，將各微反射鏡5 8 重設。 在此，在各方塊區域A ~D所設置之電壓控制部66爲， -16 - 1305297 可向將在各方塊區域A〜D之微反射鏡列再每隔K列所分 之3個分割區域1 ~ 3輸出控制電壓者。此外，雖然在本 施形態，作成分割爲3個分割區域，但是未限定如此， 要係2個以上之分割區域，作成分割爲幾個分割區域都Θ 又，將在各方塊區域A〜D之分割區域的個數Ν設定 * 滿足下式的大小較佳， N = Tsr/Ttr 但，Ttr :各分割區域之重設時間 • Tsr :對各分割區域之控制信號的傳送時間。 而，在本曝光裝置10,如第7圖所示，設置控制曝光 置整體之控制部70及向各曝光頭30之控制信號傳送 60A~60D輸出控制信號之資料控制部68，利用控制部 控制如上述所示之對DMD36的SRAM陣列56之控制信 . 的寫入及微反射鏡58之驅動。又，控制部70亦爲驅動 制移動移動用工作台1 4之工作台驅動裝置72者。 其次，詳細說明本實施形態之曝光裝置1 0的作用。 φ 首先，在省略圖示之既定的資料製作裝置，製作因應 應在感光材料1 2曝光之影像的影像資料後，向資料控制 68輸出該影像資料。然後，在資料控制部68，根據該影 資料產生向各曝光頭30輸出之控制信號。此外，本實施 態之曝光裝置，因係向DMD36之各方塊區域A~D傳送控 信號，而在各方塊區域A ~ D驅動控制微反射鏡5 8者， 各方塊區域A~D亦產生該控制信號。 而，如上述所示在資料控制部68產生各曝光頭30之 制信號，而且自控制部70對工作台驅動裝置72輸出工 割 實 只 ί ° 爲 裝 部 70 控 於 部 像 形 制 在 控 作 -17- 13.05297 台驅動控制信號，工作台驅動裝置7 2因應於工作台驅動控 制信號，沿著導件20向工作台移動方向以所要之速度移動 移動用工作台14。然後，在移動用工作台14通過門22下， 而安裝於門2 2之感測器2 6檢測到感光材料1 2的前端時， 自資料控制部68向各曝光頭30輸出控制信號，各曝光頭 ' 30之描畫開始。 在此，詳細說明在各曝光頭3 0之D M D 3 6的驅動控制。 首先，自資料控制部68向各控制信號傳送部60A~60D Φ 逐列傳送依上述方式所產生之DMD36之各方塊區域A~D 的控制信號。此時，按照第8(A)圖所示之時序傳送各方塊 區域A~D的控制信號。 即，向各方塊區域A~D在時序上只錯開所預設之時間地 • 傳送控制信號。 . 然後，利用在各方塊區域A~D所設置之控制信號傳送部 60 A〜60D，將依上述方式所傳送之控制信號依上述方式寫入 各方塊區域A〜D的SRAM陣列56。 φ 接著，如第8(A)圖所示，自控制信號之傳送完了之方塊 區域依序地因應於該所傳送之控制信號將微反射鏡5 8重 設。 在第8(B)圖表示按照如第8(A)圖所示之時序向各方塊 區域A ~ D傳送控制信號，而將各方塊區域A〜D之微反射鏡 5 8重設後，在感光材料1 2所描畫之描畫點的一例。此外， 第8(B)圖所示之白圓表示利用方塊區域A之微反射鏡58 所描畫的描畫點，雙重圓表示利用方塊區域B之微反射鏡 5 8所描畫的描畫點，黑圓表示利用方塊區域C之微反射鏡 -18- 1305297 5 8所描畫的描畫點，斜線圓表示利用方塊區域D之微反射 鏡5 8所描畫的描畫點。又，在本實施形態之曝光裝置的 DMD36如第8(B)圖所示，各方塊區域A〜D的微反射鏡58 係各自僅對掃描畫方向傾斜設置角度0而通過同一掃描線 上。 * 如上述所示藉著將各方塊區域A ~D之調變的時序僅錯 開所預設之時間，如第8(B)圖所示，例如，可作成在方塊 區域A之微反射鏡5 8的描畫點之間間隔同一間隔配置方塊 # 區域B、方塊區域C及方塊區域D之微反射鏡58的描畫點。 此外，在第8(B)圖之方塊區域A的調變時間之間描畫的方 塊區域B~D之描畫點不是在同一圖框所描畫的點，而是在 各自相異之圖框所描畫的點。在此，圖框（frame)爲在將自 ' 方塊區域A至方塊區域D爲止依序地傳送控制信號後依序 . 地重設之處理當作一個處理單位考慮的情況之該一個單 位。 又’爲了如上述所示作成在方塊區域A的描畫點之間間 φ 隔同一間隔配置方塊區域B、方塊區域C及方塊區域D之 描畫點’除了錯開各方塊區域a~d之調變的時序以外，亦 可作成控制感光材料12朝向掃描方向的移動速度，即移動 用工作台14之移動速度。 在控制部7 0因應於各方塊區域a〜D之調變的時序的偏 離而預設移動用工作台14之移動速度，控制工作台驅動裝 置72’使移動用工作台14以該所預設之移動速度移動。 又’雖然在本實施形態之曝光裝置，如上述所示作成錯 開各方塊區域A〜D之調變的時序，但是未必要錯開，如第 -19- 1305297

1 I 9圖所示，亦可作成向各方塊區域A~D同時傳送控制信部 同時重設在各方塊區域A〜D之微反射鏡58。 此外’亦可作成預先將移動用工作台14之移動速度 設定爲所要之移動速度，對於該移動速度控制或設定各 塊區域A~D之調變的時序。 ‘ 又，亦可作成控制各方塊區域A~D之調變的時序或移 用工作台14之移動速度，使各方塊區域a〜D的描畫點 叠5 〇 • 此外’在第12圖表示，爲了比較，不是如上述之實 形'態所示向各方塊區域A~D傳送控制信號後依序地重設 而是在向全部之方塊區域A〜D傳送控制信號後重設之情 的描畫點之一例。如第12(A)圖所示在向全部之方塊區 - A ~ D傳送控制信號後重設之情況，如第1 2 (B)圖所示， . 如，變成在方塊區域A之微反射鏡5 8的描畫點之間不規 地配置方塊區域B、方塊區域C及方塊區域D之微反射 58的描畫點。這係由於利用各方塊區域a ~D描畫之時序 φ 掃描速度無關，而僅根據調變時間決定。 在本實施形態之曝光裝置，各自依上述方式驅動控制 各曝光頭30之DMD36，而在感光材料12形成描畫點。 然後，感光材料12和移動用工作台14 一起以固定速 移動，利用掃描器24在和工作台移動方向相反之方向掃 感光材料12，在各曝光頭30形成帶狀的已曝光區域34 依上述之方式，掃描器24對感光材料12之掃描完了 而用感測器2 6檢測到感光材料1 2之後端時，移動用工 台1 4利用工作台驅動裝置72，沿著導件20回到位於門 預 方 動 重 施 5 況 域 例 則 鏡 和 在 度 描 作 -20- 22 1305297 之_最上游側的原點，設置新的感光材料1 2後，再沿著導件 20自門22的上游側向下游側以固定速度移動。 其次’說明使用本發明之描畫方法及描畫裝置的實施形 態> 2之曝光裝置。本實施形態之曝光裝置之構成和該實施 形態1的曝光裝置大致相同，在各曝光頭30之DMD36的 • 驅動控制方法和該實施形態1之曝光裝置相異。因此，以 下僅說明在各曝光頭30之DMD36的驅動控制方法。 首先’和該實施形態1 一樣，自資料控制部6 8向各控 φ 制信號傳送部60A~60D逐列傳送DMD36之各方塊區域A~D 的控制信號。而，例如，在方塊區域A，如第1 〇 (A)圖所示， 向各分割區域1〜3依序地傳送控制信號，自該傳送完了時 刻依序地將在各分割區域1 ~ 3之微反射鏡5 8重設。在其他 之方塊區域B ~ D，亦和上述一樣，向各分割區域1 ~ 3依序 ， 地傳送控制信號，而且自該傳送完了時刻依序地將在各分 割區域1〜3之微反射鏡58重設。而，如第10(A)圖所示， 將時序僅錯開所預設之時間地傳送各方塊區域A~D之各分 φ 割區域1〜3的控制信號。 在第10(B)圖表示按照如第10(A)圖所示之時序向各方 塊區域A〜D之各分割區域1~3傳送控制信號，而將在各方 塊區域A〜D之各分割區域1〜3的微反射鏡58重設後，在感 光材料12所描畫之描畫點的一例。此外，第10(B)圖所示 之白圓表示利用方塊區域A之微反射鏡58所描畫的描畫 點，雙重圓表示利用方塊區域B之微反射鏡5 8所描畫的描 畫點，黑圓表示利用方塊區域C之微反射鏡5 8所描畫的描 畫點，斜線圓表示利用方塊區域D之微反射鏡5 8所描畫的 -21 - ‘1305297 描畫點。 如上述所示藉著在各方塊區域A ~D向各分割區域 送控制信號而依序地重設，而且將各方塊區域A~D 割區域1 ~3的重設之時序僅錯開所預設之時間，如I 圖所示，例如，可作成在方塊區域A之微反射鏡5 8 ' 點之間間隔同一間隔配置方塊區域B、方塊區域C 區域D之微反射鏡58的描畫點，而且可作成在僅舞 圖所示之調變時間，感光材料1 2移動之間重複3次 φ 方塊區域A~D之微反射鏡58的描畫點。在此情況 直接控制或設定各分割區域1~3之重設時序，亦可 由各方塊區域A~D之重設時序的控制，控制或設定 各方塊區域A〜D之各分割區域1〜3的重設時序。此 - 第1〇(Β)圖的調變時間之間所描畫的方塊區域A~D _ 點不是在同一圖框所描畫的點，而是在各自相異之 描畫的點。又，爲了如上述所示作成在方塊區域A 點之間間隔同一間隔配置方塊區域B、方塊區域C φ 區域D之描畫點，而和該實施形態1 —樣，亦可作 各方塊區域A〜D之調變的時序之偏離而控制感光木 朝向掃描方向的移動速度，即移動用工作台14之 度。 此外，雖然在本實施形態之曝光裝置，如上述所 錯開各方塊區域A~D之各分割區域1 ~3的調變之時 是未必要錯開，如第Π圖所示，亦可作成向各方 A〜D之各分割區域} ~3同時傳送控制信號，同時重 方塊區域A〜D之各分割區域1 ~ 3的微反射鏡5 8。 1~3傳 之各分 i 10(B) 的描畫 及方塊 ；10(B) 描畫各 ，亦可 作成經 在這些 外，在 之描畫 圖框所 的描畫 及方塊 成配合 ί料12 移動速 示作成 序，但 塊區域 設在各 -22- ,1305297 又，亦可作成控制各方塊區域A〜D之各分割區域1 調變之時序或移動用工作台14之移動速度，使各方塊 A~D之各分割區域1~3的描畫點重疊。 又，雖然在上述之實施形態，作成將DMD36在掃 向分割成多個方塊區域A〜D，但是未限定爲掃描方向 ' 如亦可作成在和掃描方向正交之方向分割，作爲多個 區域，向該各方塊區域並列地傳送控制信號。而，亦 成將如上述所示所分割之方塊區域在掃描方向或在和 0 方向正交之方向再分割，作爲分割區域，和上述之實 態一樣，向分割區域進行控制信號之傳送及調變。 又’雖然在上述之實施形態，說明了在空間光調變 具備DMD之曝光裝置，但是除了這種反射型空間光調 . 件以外，亦可使用透射型空間光調變元件。 又’雖然在上述之實施形態，列舉所謂的平床式 Bed Type)之曝光裝置，但是亦可採用具有捲繞感光材 鼓之所謂的外鼓式之曝光裝置。 φ 又’上述之實施形態之係曝光對象的感光材料1 2 刷基板或顯不器用之濾光器亦可。又，感光材料12之 係片狀者，或是長條形者（軟性基板）都可。 又’在本發明之描畫方法及裝置亦可應用於在噴墨 列表機之描畫控制。例如，用和本發明相同之方法可 噴墨之描畫點。即，可考慮將本發明之描畫元件置換 用噴墨等打上描畫點之元件。 【圖式簡單說明】 弟1圖係表不使用本發明之描畫裝置的一實施形態 〜3的 區域 描方 ，例 方塊 可作 掃描 施形 元件 變元 (Flat 料之 係印 形狀 式等 控制 爲利 之曝 -23- 1305297 光裝置的外觀之立體圖。 第2圖係表示第1圖所示之曝光裝置的掃描器之構 立體圖。 第3(A)圖係表示在感光材料形成之已曝光區域的 圖，第3(B)圖係表示各曝光頭之曝光區域的排列之圖 第4圖係表示第1圖之曝光裝置的DMD之構造的 放大圖》 第5圖係用以說明DMD之動作的立體圖。 Ϊ 第6圖係表示在DMD之方塊區域之圖。 .第7圖係在各方塊區域所設置之控制信號傳送部的 構造圖。 第8(A)圖係表示在各方塊區域之控制信號的傳送 -變之時序圖，第8(B)圖係表示在依據第8(A)圖所示的 . 描畫之情況的描繪點之一例的圖。 第9圖係表示各方塊區域之控制信號的傳送及調變 序圖的其他例之圖。 • 第10(A)圖係表示在各方塊區域之各分割區域的控 號之傳送及調變的時序圖，第10(B)圖係表示在依據第 圖所示之時序描畫之情況的描繪點之一例的圖。 第1 1圖係表示在各方塊區域之各分割區域的控制 之傳送及調變的時序之其他例之圖。 第12(A)圖係表示在以往之曝光裝置的控制信號之 及調變的時序圖，第12(B)圖係表示在依據第12(A)圖 之時序描畫之情況的描繪點之一例的圖。 【主要元件符號說明】 造的 平面 〇 部分 槪略 及調 時序 之時 制信 10(A) 信號 傳送 所示 -24- .1305297

10 曝光裝置 12 感光材料 14 移動用工作台 24 掃描器 30 曝光頭 36 DMD 56 S R A Μ陣歹1] 58 微反射鏡 60A〜60D 控制信號傳送部

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Claims (1)

1. Ί3Ό5297 第 94135807 號 #年心月Π曰修正本 ί®畫方法及描畫裝置」專利案 (2007年6月11日修正) 十、申請專利範圍： 1. 一種描畫方法，係使用將多個因應於依據傳送被射入之 光的描畫資訊之控制信號而調變的描畫元件，配置成二 維狀的多個空間光調變元件之描畫方法，將該控制信號 傳送到該空間光調變元件之該描畫元件而進行該調變， 而且將該空間光調變元件對描畫面，在既定之掃描方向 相對地移動而進行描畫，其特徵爲： 將該多個空間光調變元件的每一個，對該掃描方向分 割成多個方塊區域； 並列地傳送該多個各方塊區域的該控制信號。 2_如申請專利範圍第1項之描畫方法，其中，在該各方塊 區域進行該調變，而且藉著控制該各方塊區域之該調變 的時序及/或朝向該掃描方向之移動速度，而控制對應於 該各方塊區域之該描畫面上的各描畫區域之配置。 3.如申請專利範圍第2項之描畫方法，其中，對該掃描方 向，在利用自該描畫面看配置於下游側之該方塊區域進 行該描畫後，利用配置於上游側之該方塊區域進行該描 4.如申請專利範圍第2項之描畫方法，其中，對該掃描方 向，控制該各方塊區域之該調變的時序及/或朝向該掃描 方向之移動速度，使對應於自該描畫面看配置於下游側 之該方塊區域的描畫區域和對應於配置於上游側之該方 塊區域的描畫區域重疊。 1305297 5. 如申請專利範圍第2項之描畫方法，其中，對該掃描方 向，控制該各方塊區域之該調變的時序及/或朝向該掃描 方向之移動速度，使在對應於自該描畫面看配置於下游 側之該方塊區域的描畫區域之對該掃描方向的描畫點 間’配置對應於配置於上游側之該方塊區域的描畫區域 之描畫點。 6. 如申請專利範圍第5項之描畫方法，其中，控制該各方 塊區域之該調變的時序及/或朝向該掃描方向之移動速 度’使對應於該各方塊區域之該各描畫區域之描畫點在 該掃描方向隔著相同之間隔配置。 7. 如申請專利範圍第1項之描畫方法，其中： 將該各方塊區域對該掃描方向再分割成多個分割區 域； 在該各方塊區域向該各分割區域依序地傳送該控制信 號，而且自該傳送完了時刻依序地進行該調變。 8. 如申請專利範圍第7項之描畫方法，其中，藉著控制該 各方塊區域之該分割區域的該調變之時序及/或朝向該 掃描方向之移動速度，而控制對應於該分割區域之該描 畫面上的各分割描畫區域的配置。 9. 如申請專利範圍第8項之描畫方法，其中，對該掃描方 向，在利用自該描畫面看配置於下游側之該方塊區域的 該分割區域進行該描畫後，利用配置於上游側之該方塊 區域的該分割區域進行該描畫。 1 〇.如申請專利範圍第8項之描畫方法，其中，對該掃描方 向，控制該各方塊區域的該分割區域之該調變的時序及/ 1305297 或朝向該掃描方向之移動速度，使對應於自該描畫面看 配置於下游側之該方塊區域的該分割區域之分割描畫區 域和對應於配置於上游側之該方塊區域的該分割區域之 分割描畫區域重疊。 11.如申請專利範圍第8項之描畫方法，其中，對該掃描方 向，控制該各方塊區域的該分割區域之該調變的時序及/ 或朝向該掃描方向之移動速度，使在對應於自該描畫面 看配置於下游側之該方塊區域的該分割區域之分割描畫 區域的對該掃描方向之描畫點間，配置對應於配置於上 游側之該方塊區域的該分割區域之分割描畫區域的描畫 點。 1 2.如申請專利範圍第1 1項之描畫方法，其中，控制該各 方塊區域的該分割區域之該調變的時序及/或朝向該掃 描方向之移動速度，使對應於該各方塊區域的該分割區 域之該各分割描畫區域之描畫點，在該掃描方向隔著相 同之間隔配置。 13. 如申請專利範圍第7至12項中任一項之描畫方法，其 中，該各方塊區域之該分割區域的個數N爲滿足下式的 大小， N = Tsr/Ttr 但’ Ttr :該各分割區域之調變時間 Tsr :對該各分割區域之該控制信號的傳送時間。 14. 一種描畫方法，係使用將多個因應於依據傳送被射入之 光的描畫資訊之控制信號而調變的描畫元件，配置成二 維狀的多個空間光調變元件之描畫方法，將該控制信號 1305297 傳送到該空間光調變元件之該描畫元件而進行該調變， 而且將該空間光調變元件對描畫面，在既定之掃描方向 相對地移動而進行描畫，其特徵爲： 將該多個空間光調變元件的每一個分割成多個方塊區 域； 並列地傳送該多個各方塊區域的該控制信號。 15. —種描畫裝置，具備有：多個空間光調變元件，將多個 因應於依據傳送被射入之光的描畫資訊之控制信號而調 變的描畫元件，配置成二維狀；移動裝置，將該空間光 調變元件對描畫面，在既定之掃描方向相對地移動；及 控制裝置，向該空間光調變元件之該描畫元件傳送該控 制信號而進行該調變，而且控制該移動裝置之朝向該掃 描方向的移動速度，其特徵爲： 將該多個空間光調變元件的每一個對該掃描方向分割 成多個方塊區域，該控制裝置具有設置在該各方塊區域 之多個控制信號傳送部，將該控制信號並列地傳送到該 各方塊區域。 16. 如申請專利範圍第15項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係在該各方塊區域進行該調變者，而且藉著控制該各 方塊區域之該調變的時序及/或朝向該掃描方向之移動 速度，而控制在對應於該各方塊區域之該描畫面上的各 描畫區域之配置。 17. 如申請專利範圍第16項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係對該掃描方向，在自該描畫面看配置於下游側之該 方塊區域進行該調變後，對配置於上游側之該方塊區域 1305297 進行該調變》 18.如申請專利範圍第16項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係對該掃描方向，控制該各方塊區域之該調變的時序 及/或朝向該掃描方向之移動速度，使對應於自該描畫面 看配置於下游側之該方塊區域的描畫區域和對應於配置 於上游側之該方塊區域的描畫區域重疊。 1 9 .如申請專利範圍第1 6項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係對該掃描方向，控制該各方塊區域之該調變的時序 及/或朝向該掃描方向之移動速度，使在對應於自該描畫 面看配置於下游側之該方塊區域的描畫區域之有關該掃 描方向的描畫點間，配置對應於配置於上游側之該方塊 區域的描畫區域之描畫點。 2 0.如申請專利範圔第19項之描畫裝置，其中，該控制裝 置控制該各方塊區域之該調變的時序及/或朝向該掃描 方向之移動速度，使對應於該各方塊區域的該各描畫區 域之描畫點，在該掃描方向隔著相同之間隔配置。 2 1.如申請專利範圍第1 5項之描畫裝置，其中， 將該各方塊區域對該掃描方向再分割成多個分割區 域； 該控制裝置係在該各方塊區域，將該控制信號依序地 傳送到該各分割區域，而且自該傳送完了時刻依序地進 行該調變。 2 2.如申請專利範圍第21項之描畫裝置，其中’該控制裝 置係藉著控制該各方塊區域之該分割區域的該調變之時 序及/或朝向該掃描方向之移動速度，而控制對應於該分 1305297 割區域之該描畫面上的各分割描畫區域的配置。 23.如申請專利範圍第22項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係對該掃描方向，在自該描畫面看配置於下游側之該 方塊區域的該分割區域進行該調變後，對配置於上游側 之該方塊區域的該分割區域進行該調變。 2 4.如申請專利範圍第22項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係對該掃描方向，控制該各方塊區域的該分割區域之 該調變的時序及/或朝向該掃描方向之移動速度，使對應 於自該描畫面看配置於下游側之該方塊區域的該分割區 域之分割描畫區域和對應於配置於上游側之該方塊區域 的該分割區域之分割描畫區域重疊。 25. 如申請專利範圍第22項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係對該掃描方向，控制該各方塊區域的該分割區域之 該調變的時序及/或朝向該掃描方向之移動速度，使在對 應於自該描畫面看配置於下游側之該方塊區域的該分割 區域之分割描畫區域的有關該掃描方向之描畫點間，配 置對應於配置於上游側之該方塊區域的該分割區域之分 割描畫區域的描畫點。 26. 如申請專利範圍第25項之描畫裝置，其中，該控制裝 置係控制該各方塊區域的該分割區域之該調變的時序及 /或朝向該掃描方向之移動速度，使對應於該各方塊區域 的該分割區域之該各分割描畫區域之描畫點，在該掃描 方向隔著相同之間隔配置。 27. 如申請專利範圍第2 1至26項中任一項之描畫裝置’其 中，該各方塊區域之該分割區域的個數N爲滿足下式的 1305297 大小， N = Tsr/Ttr 但，Ttr :該各分割區域之調變時間 Tsr :對該各分割區域之該控制信號的傳送時間。 28.—種描畫裝置，具備有：多個空間光調變元件，將多個 因應於依據傳送被射入之光的描畫資訊之控制信號而調 變的描畫元件，配置成二維狀；移動裝置，將該空間光 調變元件對描畫面，在既定之掃描方向相對地移動；及 控制裝置，將該控制信號傳送到該空間光調變元件之該 描畫元件而進行該調變，而且控制該移動裝置之朝向該 掃描方向的移動速度，其特徵爲： 將該多個空間光調變元件的每一個分割成多個方塊區 域； 該控制裝置具有設在該各方塊區域之多個控制信號傳 送部，用於將該控制信號並列地傳送到該各方塊區域。