TWI294048B - - Google Patents

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TWI294048B
TWI294048B TW090113822A TW90113822A TWI294048B TW I294048 B TWI294048 B TW I294048B TW 090113822 A TW090113822 A TW 090113822A TW 90113822 A TW90113822 A TW 90113822A TW I294048 B TWI294048 B TW I294048B
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Taiwan
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laser light
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optical system
laser
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TW090113822A
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Shimizu Shigeo
Yamanaka Akihiro
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Ntn Toyo Bearing Co Ltd
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Description

1294048
【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種缺陷修正方法及缺陷修正裝置，尤 有關一種對於動態矩陣驅動方式（TFT方式）液晶顯示器之 裝k工私中所產生之缺陷以製造工程中之整合工程修正其 缺陷之缺陷修正方法及缺陷修正裝置。 【習知之技術】
近年來，液晶顯不器（LCD)已在筆記型電腦之主顯示 器領域確立其地位，且亦漸漸在桌上型電腦之顯示器之領 域確立其地位。在此種狀況下，因須求擴大故LCD須低價、 格化’因須削減成本故對LGD業者而言其目標為提高良品 率而以接近完成品之整合狀態實行缺陷之修正。 在此’所謂整合狀態者係 基板之狀態，於玻璃基板間已 驅動回路而給予訊號則可使其 整合狀態中已經經過甚多之製 時則只有廢棄製品，如此即會 而使成本提高。 指組合構成L C D之兩片玻璃 經封入有液晶，故只要接續 作為顯示器而作動。於此種 4工程’在此時刻發生缺陷 影響到最終出貨製品之成本
广合狀態之主要缺陷係包括有缺少本來應接續之S 二電極開放缺陷’肖電極相互間產生短路之短 ΓΛ 所產生之缺"。在作為製品出貨時其整 陷將成為嚴重的問冑，其較嚴重者 ::動時形成有光線常時穿透之像素之缺陷，此缺陷5 為受點缺陷」。亮點缺陷因上述光線穿透之故其4
1294048 --—------- 五、發明說明（2) :j明顯而易使LCD顯示品f大幅降低故無法作為製品而 特別ί明有關常態白色模式（normally white •uZd I /上之焭點缺陷之修正。此處所謂的常態白色模 式LCD者係指於電·FF之狀態時產生光線通過像素之= ⑽之狀態下像素將光線遮光之模式之⑽、，而最 ’穿，型LCD大部份皆採用此模式。才目對於此， Ϊ ί之存在’在常態黑色模式下因黑色顯示品質較 吊悲白色核式LCD為差，故現在幾不採用。 、 所謂位於常態白色模式LCD上之亮點缺陷者係指因 極開路或短路缺陷或TFT作動不良等使驅 ^素電極上所產生者。作為修正此種亮點缺陷之Λ力已 k案有特，平8- 1 1 0527號公報所揭示者。習知所提案之修 =方法係藉由將形成亮點缺陷之像素之m之源極卜漏 電⑹與閉電極以被稱為雷射焊燒之方法實行短 次漏 點缺陷改成黑點缺陷之方法。 时儿 第3圖為說明修正此種亮點缺陷之方法用之圖示 第3圖（a)中’係跨越形成有m圖樣之基板n而介 緣 層14於源電極（或漏電極）12與閘電極13之重合部上以 物透鏡15照射以雷射光16而利用雷射光16所產生之埶处十 接電極12及13而使之電短路者。藉此，如第3圖（1))^ = ^ 電極1 2及1 3係被接續。 7’ 以往於此雷射焊燒上如第4圖所示般係使用附 之YAG雷射光源等’藉由長槽17與結像透鏡18將雷射H關
I 2075-4081-PF;ahddub.p t d 第5頁 !294〇48 五、發明說明（4) ------ 斤仏查出之免點缺各用之雷射· 被插入兩射本> t 先，以及一修正光學系，係 者。之光軸上而將雷射光形成為光束收斂狀態 因此藉由前述諸發明利用雷 提高修正準確率 田射先之光束收斂即可大幅 ^其特徵在於：檢查裝備係 察=糸之光轴與雷射光源之光軸配置糸立將战 一，其特徵在於··藉由掃瞄雷射朵可每—φ 4 + ，短路之缺陷修正及成為亮點缺 ：：:、虽目互間 焊接。 、旧 < 原因之電極相互間之 又’其特徵在於：藉由將平Α銘 雷射光。 口移動於水平方向而掃瞄 【發明之實施型態】 圖。發明之缺陷修正裝置之全體構成之立體 於第1圖中’雷射照射機構j係包體 外之雷射光的雷射光源與以CCD照 ，、、、、田射烊燒 觀察光學系，雷射光軸與觀察學硯-缺陷部用之 轴。X - γ平台2係將夹具台4所抓持予之糸工之杜光軸係形成為同 (水平方向）。而2軸平台3係將雷射照移，於[Y方向 ，(上下方向）。主控電腦5係控制裝置全體2動於Z軸方 =機構6係處理包括於雷射照射機構 ：：僮像素 拍攝之像素而判別亮點缺陷之物品。 CCD…、像機所 各裝置。穿透照明8係自χ-γ平A ? I 1用電腦7係控制 十口2之下方照射工件而成為 — 1 Ν·
I 麵 2075-4081-PF;ahddub.ptd 第7頁 1294048 五、發明說明（5) 觀察與像素處理時之光源。
第2圖為本發明之一實施型態之缺陷修正方法之說明 圖。於本發明中，為實行光束收斂係將雷射光1 6如第4圖 所示般其並非以長槽1 7縮絞，而係以將雷射光束1 6集光之 光束收斂狀態加以使用，故可抑制相似雷射強度之不均， 而可提高修正準確率。亦即，以光束收斂方式為組合像素 聚焦位置與雷射聚焦位置（光束收斂位置）係於結像透鏡18 之雷射光源側插入修正透鏡1 9而實現利用光束收斂之修 正。於光束收斂之場合，雷射光16如第2圖（b)所示因具有 高斯分布故嚴格地論之仍是有強度不均現象之存在，但因 相對於修正對象其光束系十分之小故成為無不均一問題之 程度。因此依本發明之以光束收斂方式實行雷射烊燒修正 故可大幅提高修正準確率。 ^ 亮點缺陷之修正係於亮點缺陷像素之TFT源電極（或$ 電極)一與閘電極之重合部上照射以自搭載於雷射照射機構 ΐΐίϋίίϊ器所輸出之雷射光’而藉由將電極相』 曰干接使，、成為電紐路而使亮點缺陷變成黑點 時，藉由將Χ-Υ平台2重複地移動;3此 目苗而將多電極㈣。 移㈣水千方向使雷射光们
在整合狀態下之亮點缺陷上， 電開放。使用本發明之實施型態之雷身日;：路部位 源設定地較雷射焊燒之場合為強，—=:須將雷射 位將短路部位切除即可達到電開放之射電極短路
1294048 五、發明說明（7) 第4圖為習知之使用長槽之光學系之示意圖 符號說明】 3〜Z轴平台； 5〜主控電腦； 7〜控制用電腦 11〜基板； 1 3〜閘電極； 1 5〜對物透鏡 17〜長槽； 1 9〜修正透鏡< ❿ 2〜X-Y軸平台； 4〜夾具台； 6〜像素處理機構 8〜穿透照明； 1 2〜源電極 1 4〜絕緣層 1 6〜雷射光 1 8〜結像透鏡
2075-4081-PF;ahddub.ptd 第10頁

Claims (1)

  1. hi. 1294048 90113822 六、申請專利範 ·種使用於液晶顯H置之勉>%|丨停正方味^ 電源關閉時光線穿透像辛而f電 : 法’於具有 式的液晶題+ $ F π ΐ t 時將光線遮蔽之模 其特徵在於：不以孔徑（aperture = :之免點缺陷’ 之雷射光的斷®t自雷射光源射出 斂狀態之雷射光修正亮點缺陷。 h Ί、射先束收 2.種使用於液晶顯示裝置之缺陷修正穿置， 光線穿透像素而於電源開啟時將2 = ί:::::::十，修正光線經常穿透像素之亮點缺陷， 於水將成為修正對象之被修正對象基板移動 點缺：檢查裝#，用以檢查被修正對象基板上之像素之亮 .一雷射光源，係可射出修正上述檢查裝備所檢查出之 焭點缺陷用之射出雷射光；以及 一 一集光光學系，係插入上述雷射光之光軸上，於光束 收斂狀悲照射上述雷射光以修正上述光點缺陷，其中，上 述雷射光的光軸上無設置調整上述雷射光之斷面形孔 徑。 3·如申請專利範圍第2項之使用於液晶顯示裝置之缺 陷修正裝置，其中前述檢查裝備係包括觀察光學系並將觀 察光學系之光軸與雷射光源之光軸配置於同軸上，其中上 述集光光學系更包括一修正光學系，上述修正光學系使上
    1294048 _案號90113822_年月日__ 六、申請專利範圍 述雷射光之光束收斂的位置與上述觀察光學系的像素焦點 (focus)位置一致。 4. 如申請專利範圍第2或3項之使用於液晶顯示裝置之 缺陷修正裝置，其中藉由掃瞄雷射光可實行電極相互間之 短路之缺陷修正及成為亮點缺陷之原因之電極相互間之焊 接。 5. 如申請專利範圍第4項之使用於液晶顯示裝置之缺 陷修正裝置，其中藉由將平台移動於水平方向而掃瞄雷射 光0
    2075-4081-PF2.ptc 第12頁
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